JP4539034B2 - 液滴塗布方法、電気光学パネルの製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液状体の液滴吐出方法、液晶の液滴吐出方法、電気光学パネルの製造方法、電子機器の製造方法、コンピュータプログラム、液状体の液滴吐出装置、液晶の液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶パネルの製造に際し、シール剤で囲まれた範囲内に液晶を滴下する装置としてディスペンサーがある。しかし、ディスペンサーを用いた場合、ある一定量まではある程度の精度で液晶を滴下することが可能であるが、それ以下の量を滴下するとなると、吐出量の精度の面での信頼性に欠ける。また、ディスペンサーで液晶を滴下する場合、滴下した跡（滴下痕）がそのままムラになるという現象が起こる。
【０００３】
特開平５−２８１５６２号公報には、一滴が極めて微少量で高精度な吐出が可能なインクジェットを利用した液晶パネルの製造方法が開示されている。同公報によれば、液晶の液滴を吐出するインクジェット本体を０．５ｍｍピッチのライン状に走査させることで、基板上に液晶の液滴をライン状に載せる旨が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−２８１５６２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
インクジェット方式により液晶（液状体）を基板に塗布する場合には、上記従来技術のように、インクジェットヘッド（以下、単に「ヘッド」ということがある）のノズルから吐出させた液晶（液状体）が一滴ずつ基板上に配置される。ヘッドにノズルが複数ある場合には、そのノズルが複数ある分だけ広範囲の描画が一回の走査で行える。
【０００６】
ヘッドに形成された複数のノズルの範囲を超えた領域に対しては、一回の走査で描画を行うことはできない。そこで、そのような領域に対しては、一回目の走査で描画できなかったところを二回目の走査で描画することで、所望の塗布エリアの全体を塗布する。しかしながら、一回目の走査で描画できなかったところを二回目の走査で描画すると、液晶（液状体）の滴下（塗布）ムラが生じる。
【０００７】
本発明の目的は、インクジェット方式を含む液滴吐出方式によって液晶を塗布してなる液晶パネルに、滴下（塗布）ムラが生じない液晶の液滴吐出方法、液晶の液滴吐出装置及び液晶パネルを提供することである。
本発明の他の目的は、インクジェット方式を含む液滴吐出方式によって液状体を塗布してなる電気光学パネルに、滴下（塗布）ムラが生じない液状体の液滴吐出方法、液状体の液滴吐出装置及び電気光学パネルを提供することである。
本発明の更に他の目的は、インクジェット方式を含む液滴吐出方式によって液状体を塗布してなる電気光学パネルの品質の低下を招くことの無い液状体の液滴吐出方法、液状体の液滴吐出装置及び電気光学パネルを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の液状体の液滴吐出方法は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが走査して前記複数のノズルのそれぞれから液状体の液滴を吐出する方法であって、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液状体の液滴を吐出する。その全面に一様に前記液状体が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液状体の液滴を吐出する。
【０００９】
本発明の液晶の液滴吐出方法は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料を含む液滴を吐出する方法であって、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液状体の液滴を吐出する。その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液滴を吐出する。
【００１０】
本発明の液晶の液滴吐出方法は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向と交差する副走査方向における特定位置から前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料を含む液滴を吐出する方法であって、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアのうち、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液晶の境界部分に対応する位置にて、前記液晶と空気との界面が生じないように前記液晶材料を含む液滴を吐出する。その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面のうちの、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液晶の境界部分に対応する位置にて、前記液晶と空気との界面が生じないように前記液滴を吐出する。
【００１１】
本発明の液晶の液滴吐出方法において、全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第１の塗布エリアに前記液滴を吐出し、全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第２の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御する。前記塗布エリアは、前記走査方向に交差する方向に複数設けられ、前記液滴吐出ヘッドの前記単一回としての特定回の前記走査が行われるときに、前記複数のノズルのうち、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第１の塗布エリアに前記液滴を吐出し、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第２の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御する。
【００１２】
本発明の液晶の液滴吐出方法において、前記第２の塗布エリアには、後の工程において前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴が吐出される。前記第２の塗布エリアの前記全面には、前記特定回の後の回の前記液滴吐出ヘッドの前記単一回の走査により前記液晶の液滴が吐出される。
【００１３】
本発明の液晶の液滴吐出方法において、前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域の幅に基づいて、前記第１及び第２の塗布エリアの境界を求める。
【００１４】
本発明の液晶の液滴吐出方法において、更に、互いに隣接する前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域同士の間隔に基づいて、前記第１及び第２の塗布エリアの境界を求める。
【００１５】
本発明の液晶の液滴吐出方法において、前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域の幅をｄ１とし、互いに隣接する前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域同士の間隔をｄ２とし、前記液滴吐出ヘッドの前記走査方向に交差する前記方向の一端部の前記ノズルと他端部の前記ノズルとの間の長さをＬとしたときに、下記式：
ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌ
を満たすｎの最大値を求め、前記ｎの最大値に基づいて、前記第１及び第２の塗布エリアの境界を求める。
【００１６】
本発明の液状体の液滴吐出方法は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料を含む液滴を吐出する方法であって、（ａ） その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に対し単一回の前記走査では前記液晶材料を含む液滴を吐出しきれない大きさの前記液滴吐出ヘッドを複数連結して液滴吐出ヘッド連結体を形成するステップと、（ｂ） 前記液滴吐出ヘッド連結体の前記単一回の走査により、前記塗布エリアの前記全面に対し、前記液滴吐出ヘッド連結体が有する前記複数のノズルのそれぞれから前記液晶材料を含む液滴を吐出するステップとを備えている。
【００１７】
本発明の液晶の液滴吐出方法において、前記塗布エリアは、単一のパネルの表示エリアの全て、又は、単一のチップにおいて液晶膜が形成されるべきエリアの全てに対応している。
【００１８】
本発明の電気光学パネルの製造方法は、（ａ） （配向膜を塗ってラビング処理を行い必要に応じてスペーサ（ギャップ材）を固着させた）基材に液晶材料を含む液滴を液滴吐出ヘッドから吐出するステップを備え、前記（ａ）は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液滴を吐出する。
本発明の電気光学パネルの製造方法は、（ａ） 基材にカラーフィルタ材料の液滴を液滴吐出ヘッドから吐出するステップと、（ｂ） 前記カラーフィルタの上へ液晶材料を含む液滴を前記液滴吐出ヘッドから吐出するステップとを備え、前記（ｂ）は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出する。前記（ｂ）は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液晶材料を含む液滴を吐出する。
【００１９】
本発明の電子機器の製造方法は、上記本発明の電気光学パネルの製造方法で製造された電気光学パネルに実装部品を実装して電子機器を製造するステップを備えたものである。
【００２０】
本発明のコンピュータプログラムは、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、液晶を塗布する基板の塗布エリアに前記液晶の液滴を吐出する動作をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、（ａ） 前記塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出するステップと、（ｂ） 前記全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第１の塗布エリアに前記液滴を吐出し、全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第２の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御するステップとをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムである。
本発明のコンピュータプログラムは、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記走査方向に交差する方向に複数設けられその全面に一様に液晶が塗布されるべき塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出する動作をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、（ａ） 前記塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液晶材料を含む液滴を吐出するステップと、（ｂ） 前記液滴吐出ヘッドの前記単一回としての特定回の前記走査が行われるときに、前記複数のノズルのうち、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第１の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出し、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第２の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出しないように制御するステップとをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムである。
【００２１】
本発明の液状体の液滴吐出装置は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、制御部とを備え、前記液滴吐出ヘッドは、前記走査方向と交差する副走査方向における特定位置から前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液状体の液滴を吐出し、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で前記液状体が吐出された場合に、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアのうち、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液状体の境界部分に対応する位置にて、前記液状体と空気との界面が生じないように前記液状体の液滴が吐出されるように制御する。
前記塗布エリアとは、その全面に一様に前記液状体が塗布されるべきエリアであって、その前記全面のうちの、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液状体の境界部分に対応する位置にて、前記液状体と空気との界面が生じないように、前記塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液状体の液滴が吐出されるように制御する。
【００２２】
本発明の液晶の液滴吐出装置は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、制御部とを備え、前記液滴吐出ヘッドは、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記走査方向に交差する方向に複数設けられ、液晶を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出し、前記制御部は、前記全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第１の塗布エリアに前記液滴を吐出し、全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第２の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御する。
本発明の液晶の液滴吐出装置は、その全面に一様に液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液晶材料を含む液滴を吐出し、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記単一回としての特定回の前記走査が行われるときに、前記複数のノズルのうち、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第１の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出し、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第２の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出しないように制御する。
【００２３】
本発明の電気光学パネルは、基板と、前記基板に対し、液滴吐出ヘッドにより吐出された液晶の液滴により形成される薄膜とを備え、前記液滴は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより吐出されたものである。
本発明の電気光学パネルの前記液滴は、前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により吐出されたものである。
【００２４】
本発明の電気光学装置は、上記本発明の電気光学パネルを備えたものである。
【００２５】
本発明の電子機器は、上記本発明の電気光学装置を備えたものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。なお、本発明に係る電子光学パネルとしては、例えば液晶表示パネルが挙げられる。
【００２７】
（実施の形態１）
以下、本発明の液状体の液滴吐出方法の一実施形態として、インクジェット方式による液晶滴下方法について説明する。第１実施形態は、インクジェットにより液晶の滴下を行う場合に、スジ状の表示ムラを防ぐための技術である。
【００２８】
まず、図１を参照して、本実施形態の液晶滴下方法により製造される液晶パネル（電子光学パネル１００）について説明する。なお、液晶パネルには、カラーフィルタを有するものと、有さないものとがある。以下では、カラーフィルタを有する例について説明するが、カラーフィルタが無いものについても、本発明を適用することは可能である。
【００２９】
図１に示すように、電子光学パネル１００は、基材１の上にカラーフィルタ１１を表面に形成したカラーフィルタ基板１０ａと、これに対向配置される対向基板１０ｂとの間に液晶１２が封入されている。カラーフィルタ基板１０ａと対向基板１０ｂとの間には、スペーサー１３が配置されており、両基板の間隔ｔを全面にわたって略一定にする。
【００３０】
カラーフィルタ基板１０ａには、カラーフィルタ保護膜２０（以下ＣＦ保護膜）が形成されており、基材１上に形成されたカラーフィルタ１１を保護している。また、ＣＦ保護膜２０上には、ＩＴＯ１４及び配向膜１６が形成されている。
ＣＦ保護膜２０は、ＩＴＯ１４を形成するときの高温からカラーフィルタ１１を保護する機能、及びカラーフィルタ１１間の凹凸を平坦にしてＩＴＯ１４の断線及び配向膜１６のラビング不良を抑制する機能を備えている。
【００３１】
図２及び図３は、本実施形態に係る電子光学パネル及び電子機器の製造方法を示す説明図である。図４は、本実施形態に係る電子光学パネル及び電子機器の製造方法を示すフローチャートである。図５は、本実施形態に係る液滴吐出装置を示す説明図である。
【００３２】
まず、図２（ａ）に示すように、基材１上に、フォトリソグラフィーあるいはインクジェットやプランジャ等の液滴吐出によってカラーフィルタ１１を形成する（ステップＳ１０１）。
【００３３】
次に、カラーフィルタ１１と、この上に塗布される液状の保護膜材料との濡れ性を向上させるため、図２（ｂ）に示すようにカラーフィルタ１１へ表面改質処理を施し（ステップＳ１０２）、保護膜材料に対する濡れ性を向上させる。濡れ性が悪いと保護膜材料が凝集しやすくなるので、カラーフィルタ１１上へ保護膜材料が均一に塗布されないからである。また、カラーフィルタ１１間へ保護膜材料が浸透しにくくなり、この部分へ気泡が生ずることもあり、電子光学パネルの表示画像品質を低下させるおそれもあるからである。本実施形態においては、ＵＶランプ３を用いて紫外線光を照射することにより表面改質処理を施しているが、この他にも酸素プラズマ処理を適用することができる。特に酸素プラズマ処理によれば、カラーフィルタ１１上の残渣も除去できるので、ＣＦ保護膜２０の品質が高くなり好ましい。
【００３４】
カラーフィルタ１１と、この上に塗布される液状の保護膜材料との濡れ性は、カラーフィルタ１１に対する保護膜材料の接触角βで規定できる（図２（ｃ）参照）。本実施形態に係る電子光学パネルの製造方法においては、前記接触角βは１０度以下が好ましい。この範囲であればカラーフィルタ１１間へ保護膜材料を十分に浸透させ、また、カラーフィルタ１１上へ保護膜材料が均一の厚さで形成できるので、高品質なＣＦ保護膜２０を形成することができる。
【００３５】
表面改質処理が終了したら、図２（ｄ）に示すように、液滴吐出によって液状の保護膜材料をカラーフィルタ１１上へ塗布する（ステップＳ１０３）。
ここでの保護膜材料の塗布は、インクジェットによる液滴の吐出により行う。
その保護膜材料の液滴塗布方法及び液滴配置方法は、後述する液晶の塗布及び液滴配置と同様の方法を採ることができる。または、後述する液晶と塗布及び液滴配置と同様の方法に代えて、インクジェット方式による公知の保護膜材料の液滴塗布方法及び液滴配置方法を採用することもできる。
【００３６】
カラーフィルタ基板１０ａ上へ保護膜材料を塗布したら、保護膜材料中の溶媒を揮発させるため、保護膜材料を乾燥させる（ステップＳ１０４）。本実施の形態においては、図２（ｅ）に示すように、保護膜材料の液滴を塗布した基材１をホットプレート６７上へ載せて、保護膜材料中の溶媒を揮発させる。このとき、ＣＦ保護膜２０の表面を平滑にするために、比較的低温度で、ある程度の時間をかけて乾燥させることが好ましい。具体的には７０℃以下で５分以上の時間を要することが好ましい。ＣＦ保護膜２０の表面状態をより平滑にするためには、５０℃以下で１０分以上の時間を要することが好ましく、さらには３０℃以下で１時間以上の時間を要することが好ましい。なお、乾燥はホットプレート６７に限られず、赤外線ヒータの加熱により乾燥させたり、オーブン内で乾燥させたりしてもよい。このようにして保護膜材料中の溶媒を揮発させて、カラーフィルタ基板１０ａへＣＦ保護膜２０が形成される。
【００３７】
次に、図３（ｆ）に示すように、ＣＦ保護膜２０上へＩＴＯ１４及び配向膜１６を形成する（ステップＳ１０５）。その後、配向膜１６のラビングを行う（ステップＳ１０６）。
ここでの配向膜１６の塗布は、インクジェットによる液滴の吐出により行う。
その配向膜１６の材料の液滴塗布方法及び液滴配置方法は、後述する液晶の塗布及び配置と同様の方法を採ることができる。または、後述する液晶の塗布及び配置と同様の方法に代えて、インクジェット方式による公知の配向膜１６の材料の液滴塗布方法及び配置方法を採用することもできる。
【００３８】
次に、図３（ｇ）に示すように、配向膜１６の上に、シール材３２をスクリーン印刷等により形成する。ここで、シール材３２は、紫外線硬化型樹脂を使用した（ステップＳ１０７）。
【００３９】
シール材の形成が終了したら、図３（ｈ）に示すように、液滴吐出によって液晶３３を配向膜１６上に塗布する（ステップＳ１０８）。ここで、液滴として吐出される液晶３３には、スペーサ１３となるスペーサ材が混入されている。なお、パネルの種類によっては、スペーサが無いものもあるが、ここでは、一般的なスペーサがあるパネルの作成方法について説明する。なお、スペーサは、液晶の塗布の前に散布する形態や、円柱状に作りこむ形態や、液晶中に懸濁させておく形態がある。スペーサに関しては、これらのいずれの形態であってもよい。
【００４０】
ここで、図５を用いて液晶の塗布について説明する。
本実施形態においては、液滴吐出としてインクジェットを使用する。図５（ａ）に示すように、液滴吐出装置５０は、液滴吐出ヘッド５２とステージ６０とを備えている。液滴吐出ヘッド５２には、タンク５６から供給チューブ５８を介してスペーサ材が混入された液晶が供給される。
【００４１】
図５（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２は、配列幅Ｈの間に複数のノズル５４が一定のピッチＰで配列されている。また、それぞれのノズル５４はピエゾ素子（図示せず）を備えており、制御装置６５からの指令によって、任意のノズル５４から液晶の液滴を吐出する。また、ピエゾ素子に与える駆動パルスを変化させることにより、ノズル５４から吐出される液晶の吐出量を変化させることができる。なお、制御装置６５は、パーソナルコンピュータやワークステーションを使用してもよい。
【００４２】
この液滴吐出ヘッド５２の構成の一例について図６、図７を参照して説明する。図６、図７に示すように、液滴吐出ヘッド５２は、例えばステンレス製のノズルプレート１３１と振動版１３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）１３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート１３３と振動板１３２との間には、仕切り部材によって複数の空間１３４と液溜まり１３５とが形成されている。各空間１３４と液溜まり１３５の内部は液状材料(図示せず)で満たされており、各空間１３４と液溜まり１３５とは供給口１３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１３１には、各空間１３４から液状材料１１１を噴射するための微小孔のノズル５４が形成されている。一方、振動板１３２には、液溜まり１３５に塗布液１１１を供給するための孔１３７が形成されている。
【００４３】
振動板１３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図６、図７に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）１３８が接合されている。この圧電素子１３８は、図７に示すように一対の電極１３９，１３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子１３８が接合されている振動板１３２は、圧電素子１３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間１３４内に増大した容積分に相当する液状材料が液溜まり１３５から供給口１３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子１３８への通電を解除すると、圧電素子１３８と振動板１１３とは共に元の形状に戻る。したがって、空間１３４も元の容積に戻ることから、空間内部の塗布液１１１の圧力が上昇し、ノズル５４から基材１に向けて液状材料の噴霧状液滴が吐出される。
【００４４】
なお、液滴吐出ヘッド５２の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ，リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記微小穴から塗布液１１１である液晶を射出させるようにしてもよい。ここで、タンク内の液晶は、前もって脱泡処理されていることが望ましい。尚、液滴吐出ヘッド５２は、タンク内の液晶ないしは液晶と低粘性揮発性液体の混合物を加熱して、該物質の膨張・発泡により、微小穴から液晶を射出させる、所謂バブルジェット（Ｒ）方式として構成されていてもよい。
【００４５】
また、液滴吐出ヘッド５２は、当該ヘッド中心に垂直な回転軸Ａを回転中心として回転軸Ａの周りを回転可能となっている。図５（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させて、ノズル５４の配列方向とＸ方向とに角度θを与えると、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ'＝Ｐ×Ｓｉｎθとすることができる。これにより、液晶の塗布領域や塗布条件に応じて、ノズル５４のピッチを変更することができる。配向処理が施された透明電極付き基板１は、ステージ６０に設置されている。ステージ６０は、Ｙ方向（副走査方向：主走査方向に直交する方向）に移動でき、また、ステージ６０中心に垂直な回転軸Ｂを回転中心として回転軸Ｂの周りに回転できる。
【００４６】
液滴吐出ヘッド５２は、図中Ｘ方向（主走査方向）に往復して、その間に液晶の液滴を配向膜１６上へノズル５４の配列幅Ｈで吐出する。一回の走査で液晶を塗布したら、ステージ６０がＹ方向にノズル５４の配列幅Ｈだけ移動して、液滴吐出ヘッド５２は次の領域へ液晶を吐出する。液滴吐出ヘッド５２の動作、ノズル５４の吐出及びステージ６０の動作は、制御装置６５によって制御される。これらの動作パターンを予めプログラムしておけば、液晶の塗布領域や塗布条件に応じて塗布パターンを変更することも容易である。上記動作を繰り返して、塗布すべき全領域に液晶を塗布することができる。
【００４７】
図８を参照して、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４のピッチと、主走査方向（描画方向）の走査ピッチについて説明する。
図８は、液滴吐出ヘッド５２から吐出された液晶の液滴が滴下された状態を示す平面図である。カラーフィルタ基板１０ａの配向膜１６上に、液晶の液滴が主走査方向（Ｘ方向）に１０μｍ、副走査方向（Ｙ方向）に１００μｍの間隔で、液晶の液滴が滴下されるとする。この場合、副走査方向における液滴の間隔ｙは、ノズル５４のピッチＰと同じであり、主走査方向における液滴の間隔ｘは、液滴吐出ヘッド５２の走査速度と吐出周波数とに依存する。
【００４８】
次に、本実施形態の特徴の一つである、インクジェット方式で吐出される液晶の液滴の配置について説明する。
【００４９】
図２５に示すように、複数のノズル５４が設けられたヘッド５２を、基材１に対して矢印Ｙａに示すように走査させて、各ノズル５４から矢印Ｙｂに示すように液晶の液滴を吐出する。このようにして、基材１上に液晶の薄膜を形成した後に、所定の工程を経て完成した液晶パネルを点灯させると、基材１に対して描画方向に沿うすじ（ムラ）１５４が確認された。
【００５０】
まず、上述した図２５に示した実験について図９及び図１０を参照して説明する。図９は、図２５の実験で使用した液滴吐出ヘッド５２及び基材１上の液滴７１の一状態を示す側面図であり、図１０は、図９の平面図である。
【００５１】
ヘッド５２のノズル５４から液晶の液滴が吐出され、基材１上に滴下されると、その液滴はその滴下点を中心として円状に瞬時に濡れ広がり、所定の径ｄａの液滴７１が形成される。図９及び図１０に示すように、隣り合う液滴７１同士が接触すると、その接触位置からそれらの液滴７１同士が繋がって一体となり、図１１に示すように、単一の薄膜７２が形成される。
【００５２】
そのため、単一の薄膜７２を成膜するためには、隣り合う液滴７１同士が接触するように、ノズル５４間のピッチｐ１が設定される必要がある。本例では、ノズル５４から吐出される一滴当たりの液晶の量に対応して、基材１上で十分に濡れ広がった後の液滴７１の径ｄａが１００μｍであったため、ノズル５４間のピッチｐ１も１００μｍに設定した。
【００５３】
実験の結果、上記のピッチｐ１に設定したノズル５４から液晶の液滴を吐出すると、想定した通りに液滴７１同士が繋がって一体となり、図１１に示すような単一の薄膜７２が得られた。実験過程の、この時点では一見して、所望の塗布範囲をカバーした薄膜７２が形成されており、問題は特に感じられなかった。ところが、その薄膜７２が形成された基材１に対し、後述する所定の工程（ステップＳ１０９〜Ｓ１１１）を施して液晶パネルを作成し、その液晶パネルを点灯させたところ、図２５に示すようなすじ又はムラ１５４が映った。
【００５４】
次に、図１２を参照して、ヘッド５２のノズル５４から吐出され、基材１上に着弾されるまでの液晶の様子について説明する。
【００５５】
図１２（ａ）は、ヘッド５２のヘッド５４から液晶の液滴１１１が吐出された状態を示している。ヘッド５４から吐出されたときの液晶の液滴１１１は、その径が３０〜４０μｍである。
図１２（ｂ）は、ヘッド５４から吐出された液晶の液滴１１１が基材１に着弾した瞬間（液晶の液滴１１１が基材１に最初に接触した時点）の状態を示している。基材１に着弾する瞬間の液晶の液滴１１１の径は、３０〜４０μｍであり、図１２（ａ）に示したヘッド５４から吐出されたときの液晶の液滴１１１の径と変わっていない。
図１２（ｃ）は、液晶の液滴１１１が基材１に滴下された後に、濡れ広がった状態を示している。基材１上で濡れ広がった液滴１１１の径は、１００μｍ前後である。
【００５６】
図１２（ｂ）及び（ａ）に示すように、着弾の瞬間には液滴１１１がヘッド５２から吐出されたままの液滴径（３０〜４０μｍ）で基材１にぶつかり、その後、図１２（ｃ）に示すように、瞬時に濡れ広がる。図１２（ａ）に示される液滴１１１の吐出時の液滴径は、３０〜４０μｍであり、図１２（ｂ）に示される着弾の瞬間には、その大きさの液滴が基材１にぶつかり濡れ広がる（図１２（ｃ））。図１３の符号ａは、図１２（ｂ）に示す着弾の瞬間の液滴１１１の部分を示しており、その径は３０〜４０μｍである。図１３の符号ｂは、図１２（ｃ）に示す濡れ広がった後の液滴１１１の部分を示しており、その径は１００μｍ前後である。
【００５７】
図５（ｃ）に示したように、本実施形態の液滴吐出ヘッド５２が回転軸Ａの周りに回転することにより、見かけ上のノズルのピッチＰ’を可変に設定できる構成である。次に述べる、ノズル５４間のピッチを複数のそれぞれの値に変えたときの、すじ又はムラ１５４の発生を確認する実験は、図５（ｃ）に示す構成を有しているからこそ実現できたものである。
【００５８】
即ち、本発明者は、ヘッド５４間のピッチＰ’を複数のそれぞれの値に設定した実験を行い、そのときの、すじ又はムラ１５４の発生量を検証した。その結果、以下のような知見が得られた。図１４に示すように、インクジェット方式による液晶の描画を行う場合、着弾後の濡れ広がった液滴の径（着弾径：上記例では１００μｍ前後，図１３の符号ｂ）に、ノズルピッチ又は吐出間隔（主走査方向のピッチ）を合わせると、着弾した部分（上記例では、３０〜４０μｍの部分，図１３の符号ａ）には、ムラは発生しないが、濡れ広がった部分（濡れ広がって隣の液滴に結びつくまでに移動した部分，図１３の符号ｂ）にはムラが発生する。この知見は、上述した図２５の状態と対応している。
【００５９】
そこで、図１５に示すように、インクジェット方式により液晶の描画を行う時には、副走査方向（主走査方向と直交する方向）の吐出間隔（ヘッドに複数のノズルがある場合には、それらのノズルピッチ）及び主走査方向の吐出間隔のそれぞれを、濡れ広がる前の着弾直前（＝着弾直後）の液滴径（上記例では、３０〜４０μｍ，図１５及び図１３の符号ａ）以下の間隔にして、その間隔を超えて液晶の液滴１１１が基材１に配置（着弾，滴下）されないようにする。即ち、副走査方向及び主走査方向のそれぞれのピッチを着弾径（図１３及び図１４の符号ｂ）に合わせるのではなく、着弾する寸前の液滴径（図１３及び図１５の符号ａ）以下に合わせて、液晶の液滴１１１を基材１上に配置していく。
【００６０】
なお、図１４では、ノズルピッチについての問題のみを図示し、主走査方向のピッチの問題については図示していないが、ノズルピッチについての問題と同様に考えることができる。即ち、図１４のように、ノズルピッチが広すぎる場合には、符号９１で示すような着弾する寸前の液滴径（図１４及び図１３の符号ａ）を超えた領域に、主走査方向に延在するすじ又はムラができる（図２５参照）のに対し、主走査方向のピッチが広すぎる場合には、副走査方向に延在するすじ又はムラができる（両ピッチとも広すぎる場合には両方向にすじ又はムラができる）。
【００６１】
図１５では、ノズルピッチ及び主走査方向のピッチのそれぞれを着弾する寸前の液滴径（図１５及び図１３の符号ａ）以下に合わせたときの状態を示している。図１５では、着弾し濡れ広がる前の状態の液滴同士が繋がるため、すじやムラの発生が抑制される。
【００６２】
図１５は、ノズルピッチ及び主走査方向のピッチのそれぞれを着弾する寸前の液滴径（図１５及び図１３の符号ａ）よりも小さく設定したときの状態を示しているが、各ピッチは、必ずしも着弾する寸前の液滴径よりも小さい必要は無い。
図１５では、隣接する上記液滴（図１５及び図１３の符号ａ）同士が重なっているが、重なっている必要は無い。図１６に示すように、上記液滴（図１５及び図１３の符号ａ）同士が繋がって単一の薄膜を形成するためには、隣接する上記液滴（図１５及び図１３の符号ａ）同士が接触しさえすればよい。
【００６３】
図１６に示すように、ヘッド５２に複数のノズル５４が形成されている場合には、ノズル５４間のピッチＰｙを、上記した”濡れ広がる前の着弾直前（＝着弾直後）の液滴径（図１３の符号ａ）以下の間隔”とする。また、描画方向（主走査方向：図１０の矢印Ｙｃ参照）において、液滴を吐出する間隔（ピッチ）Ｐｘについても、同様に、上記した”濡れ広がる前の着弾直前（＝着弾直後）の液滴径（図１３の符号ａ）以下の間隔”とする。
【００６４】
図１６及び図１５に示した方法で描画すると、液滴が濡れ広がる前のものが隣の液滴の濡れ広がる前のものと重なるために、滴下痕は映らない。上記のように、描画時に液滴１１１の配置（基材１への滴下）を行うときには、隣り合う液滴１１１同士の間隔（主走査方向及び副走査方向のそれぞれ）が”濡れ広がる前の液滴径以下”となるように行う。
【００６５】
図１７は、本実施形態の変形例を示している。
本変形例は、図１５及び図１６と異なり、主走査方向の偶数列目の濡れ広がる前の着弾直前（＝着弾直後，以後は単に「着弾直前）と記載する）の液滴（図１３の符号ａ）が、奇数列目の濡れ広がる前の着弾直前の液滴（図１３の符号ａ）に比べて、濡れ広がる前の着弾直前の液滴（図１３の符号ａ）の径の概ね半分だけ、副走査方向にずれた位置に滴下される。
【００６６】
図１８は、図１７における液滴の滴下中心位置を互いに接近させた配置を示している。図１５では、符号９２で示す四つの円弧で囲まれた領域は、上記液滴（図１３及び図１５の符号ａ）ではなく、そこから濡れ広がった部分である。そのため、理論上微小ではあるがムラとなる。これに対し、図１８では、ある任意の上記液滴（図１３及び図１７の符号ａ）は、その外周部が周方向全域に亘って、他の上記液滴（図１３及び図１７の符号ａ）と重なっている。そのため、ムラが発生しない。
【００６７】
これを実現する方法には二つある。その一つ目の方法は、複数列目の上記液滴（図１３の符号ａ）を描画するときには、図１７の矢印Ｙｅに示すように、奇数列目の上記液滴（図１３の符号ａ）を描画したときと比べて、ヘッド５２を液滴（図１３の符号ａ）の径の半分だけ副走査方向に基材１に対して相対的にずらして描画する方法である。
【００６８】
その二つ目の方法は、図１９に示すように、一対の（複数の）ヘッド５２を互いに上記液滴（図１３の符号ａ）の径の半分だけ、副走査方向にずらした位置で固定してなるヘッド群５２ａを基材１に対して走査（主走査）させる。奇数列目の上記液滴（図１３の符号ａ）を描画するときには、そのヘッド群５２ａのうちの第１のヘッド５２のノズル５４から上記液滴を吐出させ、偶数列目の上記液滴（図１３の符号ａ）を描画するときには、そのヘッド群５２ａのうちの第２のヘッド５２のノズル５４から上記液滴を吐出させる。
【００６９】
上記のように、本実施形態では、基材１に着弾（滴下）した直後であって濡れ広がる前の状態の液滴１１１が、その液滴１１１に隣接する他の液滴１１１の同じ状態（着弾した直後の濡れ広がる前の状態）のものと互いに接触する位置に滴下されるように、液滴１１１を吐出する。
【００７０】
次に、本実施形態の特徴の一つである、インクジェット方式で液晶（液状体）の液滴を塗布するときの塗布方法について説明する。なお、以下の液晶の塗布方法は、インクジェット方式以外の液滴塗布方法にも適用可能である。
【００７１】
ここでは、液晶の滴下ムラの発生を防止する。この滴下ムラは、副走査を行う前後の主走査でそれぞれ描画された膜の境界部分に生じる改行スジである。
【００７２】
上記の問題の原因を解明したところ、一回目の主走査によって描画された部分には、基板上に液晶（液状体）と空気の界面が生じ、その部分が液晶（液状体）の滴下ムラになることが分かった。
【００７３】
そこで、一単位の塗布範囲（塗布エリア，例えば単一のチップ）の全てに対する描画が、単一回の主走査のみで完了するように行うものである。
【００７４】
上述したように、液晶（液状体）を塗布すべき範囲のうち、インクジェットヘッドのノズルが形成された範囲を超えており一回目の主走査で描画できなかった領域を、二回目の主走査で描画すると、液晶（液状体）の滴下（塗布）ムラが生じる。以下に図を参照して説明する。
【００７５】
図２０は、ウェハー１０１上で複数のチップ１０２が形成される場合を示している。複数のチップ１０２のそれぞれが、例えば携帯電話機用の液晶パネルとして構成される。液滴吐出ヘッド５２に形成された複数のノズル５４を用いて、複数のチップ１０２に対して同時に液晶の液滴を吐出する。
【００７６】
この場合、量産性を上げるためには、一回の主走査（Ｘ方向）で、液滴吐出ヘッド５２が有する液滴吐出ヘッド５２の延在方向の一端側から他端側の全てのノズル５４を使用して、ウェハー１０１上のなるべく広範囲のチップ１０２に対して液滴を塗布するのがよい。
【００７７】
図２０において、ウェハー１０１の左端からチップ１０２が、符号１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ…１０２ｚの列に並んでいる。この場合、同図に示すように、液滴吐出ヘッド５２の一端部側のノズル５４をチップ１０２ａの液滴配置位置に合わせると、液滴吐出ヘッド５２の他端部側のノズル５４が、チップ１０２ｃの途中位置に位置したとする。
【００７８】
量産性を上げるには、液滴吐出ヘッド５２の図２０に示す配置状態において全てのノズル５４を使用対象とするのがよい。即ち、一回目の主走査で、チップ１０２ａ及び１０２ｂの全ての領域、並びにチップ１０２ｃの途中までの領域に対して、液滴を塗布し、二回目の主走査で、チップ１０２ｃの残りの半分とチップ１０２ｄ以降に液滴を塗布するのがよい。このように、液滴吐出ヘッド５２の長手方向の一端部から他端部までの全てのノズル５４を使用対象とすることで、ウェハー１０１の上の複数のチップ１０２の全ての塗布に要する、主走査の回数を少なく抑えることができる。この方法は、量産性に適しており、通常一般には、この方法が採られる。
【００７９】
しかしながら、上記の方法では、図２１に示すように、一つのチップ１０２ｃに対して、２（複数）回の主走査で液晶の液滴を塗布することになる。そのため、チップ１０２ｃにおいて液晶が塗布されるべきエリア（塗布エリア）内には、一回目の主走査で塗布された液晶の塗布領域の端部に空気との界面１０５が生じる。その後、二回目の主走査が行われ、その界面１０５の部分にも液晶の液滴が塗布されるが、その界面１０５の部分は滴下（塗布）ムラとなる。
【００８０】
ここで、上記塗布エリアとは、液晶（液状体）を塗布すべき領域であって、塗布ムラの発生を避けたい面積的に最大の単位の領域（本例ではチップ１０２ａ〜１０２ｚのそれぞれ）である。換言すれば、塗布エリアとは、その全面が一様に塗布されるべき面積的に最大の単位（本例ではチップであるが、１つのウェハで単一の基板を構成するときの基板を含む）のエリアである。塗布エリアは、一般には、単一のパネル内の表示エリアである。
【００８１】
そこで、本実施形態では、図２１及び図２２に示すように、複数の塗布エリア（本例ではチップ１０２ａ〜１０２ｚのそれぞれ）の中で、その全ての領域を一回の主走査では塗布することができない塗布エリア（本例ではチップ１０２ｃ）がある場合には、その塗布エリア（本例ではチップ１０２ｃ）に対しては、その回の主走査では液晶の液滴を塗布しない。滴下ムラを防止するためである。
【００８２】
即ち、図２２のように、チップ１０２ｃの途中位置までしか液滴吐出ヘッド５２がカバーしていない状態で、液滴吐出ヘッド５２の主走査が行われる場合には、チップ１０２ｃは、その全ての領域をその一回の主走査では塗布することができない。このような状況において、その主走査が行われるときには、チップ１０２ｃの上に位置する符号５４ｂで示すノズルからは、液晶の液滴が吐出されないように制御する。それらのノズル５４ｂから液晶の液滴を吐出させないことによって、チップ１０２ｃの上に液晶と空気の界面ができないようにし、塗布ムラを防止する。
【００８３】
通常一般には、量産性の観点から、チップ上に位置するノズルからは液晶の液滴を吐出することで、主走査の回数を抑えようとするが、本実施形態は、量産性を多少犠牲にしてまでも、品質（液晶の塗布ムラ防止）を優先させたものである。
【００８４】
以上のように、この初回の主走査では、チップ１０２ａ及び１０２ｂに液晶の液滴が塗布される。なお、符号５４ａで示すノズルは、元々、この図の位置での主走査では、液晶の液滴が吐出されないノズルである（従来と同様の扱い）。符号５４ａで示すノズルの位置は、液晶の液滴を吐出すべきエリアではない（チップが存在しない）ためである。
【００８５】
次いで、図２２に示す位置から、液滴吐出ヘッド５２が矢印Ｙ方向に副走査を行い、その結果、図２３に示すように、前回（１回目の主走査）に塗布されなかったチップ１０２ｃにおいて、その全ての領域が２回目の主走査で塗布できる位置に液滴吐出ヘッド５２が至ると、その２回目の主走査では、そのチップ１０２ｃに対して液晶の液滴の塗布を行う。
【００８６】
この２回目の主走査においても、１回目の主走査時と同様に、複数の塗布エリア（本例ではチップ１０２ａ〜１０２ｚのそれぞれ）の中で、その全ての領域を一回の主走査では塗布できない塗布エリア（本例ではチップ１０２ｅ）がある場合には、その塗布エリア（本例ではチップ１０２ｅ）に対しては、その主走査では液晶の液滴を塗布しない、という動作が行われる。以後、同様に、３回目以降の主走査が行われる。
【００８７】
上記例においては、各回の主走査時に、２列のチップ１０２ずつ液晶の液滴を吐出する（初回はチップ１０２ａ及び１０２ｂ，２回目は１０２ｃ及び１０２ｄ）と共に、３列目のチップ１０２の位置に対応するノズル５４からは液晶の液滴を吐出しない（初回はチップ１０２ｃ，２回目は１０２ｅ）。液晶の液滴の塗布対象が図２０のウェハー１０１とは異なる場合、即ち、ウェハー上のチップの大きさや配置が図２０のものとは異なる場合には、各回の主走査時に、何列のチップずつ液晶の液滴を吐出し、何列目のチップの位置に対応するノズル５４から液晶の液滴を吐出しないかが変わってくる。ここでは、例えば以下の式から、各回の主走査時に液晶の液滴を吐出すべきチップの列数を求めることができる。
【００８８】
ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌ
を満たすｎの最大値を求める。
但し、図２０に示すように、ｄ１は、チップ１０２の幅（液滴吐出ヘッド５２の延在方向に沿うチップ１０２の辺の長さ，より正確には、チップ１０２における液晶膜を形成すべき領域の幅）であり、ｄ２は、チップ１０２間の間隔（より正確には、互いに隣接するチップ１０２における液晶膜を形成すべき領域同士の間隔）であり、Ｌは、液滴吐出ヘッド５２の延在方向の長さ（より正確には、液滴吐出ヘッド５２の延在方向の一端部のノズル５４と他端部のノズル５４との間の長さ）である。
【００８９】
１回目の主走査では、そのｎ列目のチップまで液晶の液滴を塗布し、（ｎ＋１）列目のチップの位置に対応するノズル５４からは液晶の液滴を吐出しない。
２回目の主走査では、その（ｎ＋１）列目を起算点としてｎ列目（ｎ＋１−１＋ｎ）のチップまで液晶の液滴を塗布し、（ｎ＋１−１＋ｎ＋１）列目のチップの位置に対応するノズル５４からは液晶の液滴を吐出しない。
【００９０】
図２０の例では、
２×ｄ１＋（２−１）×ｄ２≦Ｌ
３×ｄ１＋（３−１）×ｄ２＞Ｌ
が成立するため、ｎの最大値は２である。
１回目の主走査では、その２列目のチップ（１０２ａ及び１０２ｂ）まで液晶の液滴を塗布し、（２＋１＝３）列目のチップ（１０２ｃ）の位置に対応するノズル５４からは液晶の液滴を吐出しない。
２回目の主走査では、その（２＋１＝３）列目を起算点として２列目（２＋１−１＋２＝４）のチップ（１０２ｃ及び１０２ｄ）まで液晶の液滴を塗布し、（２＋１−１＋２＋１＝５）列目のチップ（１０２ｅ）の位置に対応するノズル５４からは液晶の液滴を吐出しない。
【００９１】
上記のように、複数列のチップ１０２に対して液晶の液滴が塗布されるときの各回の主走査は、ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌを満たすｎの最大値の列ずつ行われる。これにより、ある一つのチップ１０２が複数回の主走査で液晶が塗布されることは無い。なお、上記ｎの値は、運転員がコンピュータプログラムに予め入力し、その入力されたｎの値に従って、液滴吐出ヘッド５２による液晶の液滴の塗布が行われることができる。
【００９２】
即ち、単一回の主走査が行われたときに、いずれもチップ（塗布エリア）１０２をとってみても、単一のチップ１０２内に液晶の塗布が行われた領域と、液晶の塗布が行われていない領域とが双方存在することが無い。いずれのチップ１０２をとってみても、単一のチップ１０２は、その単一のチップ１０２内の全ての塗布エリアが必ず単一回の主走査によって液晶が塗布される。このように、単一回の主走査によって単一の塗布エリアの全ての領域に液晶の塗布が行われることにより、その単一の塗布エリア上には、液晶（液状体）と気相の界面ができないため、スキャンの継ぎ目は表示領域にムラとして出現しない。
【００９３】
なお、図２０の液滴吐出ヘッド５２は、各チップ１０２上で、図１５に示すように、液晶の液滴が濡れ広がる前のものが隣の液滴の濡れ広がる前のものと重なるようなノズル５４間のピッチに形成され、かつ主走査方向の吐出間隔もそのように行われる。
【００９４】
また、上記に代えて、図２０の液滴吐出ヘッド５２は、各チップ１０２上で、図１８に示すように、液晶の液滴が濡れ広がる前のものが隣の液滴の濡れ広がる前のものと重なるようなノズル５４間のピッチに形成され、かつ主走査方向の吐出間隔もそのように行われることができる。この場合、図１８に示すように、ある任意の液晶の上記液滴（図１３及び図１７の符号ａ）は、その外周部が周方向全域に亘って、他の液晶の上記液滴（図１３及び図１７の符号ａ）と重なる。
【００９５】
図２４は、本実施形態の変形例を示したものである。
図２０では、単一の塗布エリアの幅ｄ１よりも液滴吐出ヘッド５２の長さＬが大きく、１回の主走査で少なくとも１つの塗布エリアの全ての領域を塗布することができる。これに対し、図２４では、単一のウェハー２０１上に、単一の基板２０２が形成される。図２４のケースでは、塗布エリア（基板２０２）が図２０のケースの塗布エリア（チップ１０２）に比べて大きい。単一回の主走査で、塗布エリアの全ての領域を塗布するためには、基板２０２の幅ｄ１’と同じ範囲には、ノズル５４が形成されている必要がある。
【００９６】
単一の液滴吐出ヘッド５２の長さでは、基板２０２の幅ｄ１’よりも小さい場合には、複数の液滴吐出ヘッド５２Ａ、５２Ｂを連結させることで、幅ｄ１’と同じ範囲にノズル５４が位置するようにする。また、図２０に示すように単一の液滴吐出ヘッド５２の長さが塗布エリア（チップ１０２）のチップ幅ｄ１よりも大きい場合であっても、単一回の主走査でより広範囲の塗布エリアを塗布するために、複数の液滴吐出ヘッド５２が連結されることができる。
【００９７】
この場合、連結される複数の液滴吐出ヘッド５２Ａ、５２Ｂのノズル５４のピッチ▲１▼，▲３▼は、互いに同じであり、規定のピッチに合うように設置される（図１５及び図１８参照）。
【００９８】
更に、複数の液滴吐出ヘッド５２Ａ、５２Ｂの連結部のノズルピッチ▲２▼は、規定されているノズルピッチ▲１▼と同じ長さとなるように設置する。例えば、▲１▼＝▲２▼＝▲３▼＝３０〜４０μｍである。
【００９９】
以上述べたように、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
【０１００】
インクジェットヘッドが複数のスキャンを行って表示エリアに液晶を滴下する場合、その表示エリア内にスキャンの数だけ液晶と空気の界面が生じ、その部分が描画ムラとなっていたが、本実施形態では、液晶の滴下を１度の描画（スキャン）でパネルの表示範囲内全てに行うことで、表示エリア内に液晶と空気の界面を無くし、液晶の滴下ムラを防止する。
【０１０１】
また、描画範囲が広範囲の場合、複数のヘッドを連結させて、１つのヘッドとみなすことで描画の改行作業を無くし、改行の部分での滴下ムラを無くすことができる。
【０１０２】
上記のようにして、液晶の液滴の塗布が終了し、図１１及び図３（ｉ）に示すような単一の薄膜が形成されると、次の工程に進む。即ち、液晶が塗布されたカラーフィルタ基板１０ａと対向基板１０ｂとの貼り合わせ工程を経て（ステップＳ１０９）、電子光学パネル１００が完成する。
【０１０３】
次いで、図３（ｊ）に示すように、完成した電子光学パネル１００にハーネスやＦＣ（Flexible Cable）基板７、あるいはドライバＩＣ５が実装される（ステップＳ１１０）。そして、図３（ｋ）に示すように、携帯電話やＰＤＡ等の電子機器９へ取り付けられて、これらの電子機器が完成する（ステップＳ１１１）。
【０１０４】
本実施形態では、液晶の液滴を対象として、インクジェットによる滴下位置について説明した。これは、配向膜上に液晶を滴下したときに表れる、すじ又はムラが特に問題となるからである。特に液晶が問題となる理由として、液晶とそれに接触する配向膜（例えばポリイミド３％，溶剤９７％）との材料の相性や、液晶の液滴には溶剤が含まれず原液で滴下されることが考えられる。
【０１０５】
しかしながら、インクジェットによる滴下位置に関する本発明は、液晶の液滴に限定されない。即ち、インクジェット塗布法により吐出される液滴に対して広く適用可能である。インクジェット塗布法により塗布される液滴には、様々なものがある。その一つに、電気光学パネル（液晶表示装置や有機ＥＬパネル）の製造に必要な、フォトレジスト膜（１μｍ程度）やオーバーコート膜（１０μｍ以下）や配向膜のような基板全面に亘って一様に塗布されるいわゆるベタ膜を構成するための液滴や、カラーフィルタや有機ＥＬ材料（発光材料インク：ベイク後は、数十ｎｍ）のような各画素内に層として形成される膜を構成するための液滴が含まれる。また、インクジェット塗布法は、電気光学パネルの製造以外で必要なフォトレジスト膜などの液状膜を構成する液滴など、工業用に広く適用可能である。本発明は、これらの液滴に対して、広く適用することが可能である。
【０１０６】
（本発明の適用対象）
本発明に係る電子光学パネルが適用できる電子機器としては、携帯電話機の他に、例えば、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である電子光学パネルを用いる機器が挙げられる。
したがって、これらの電子機器における電気的接続構造であっても、本発明が適用可能であることはいうまでもない。
【０１０７】
また、この電子光学パネルは、透過型又は反射型の電子光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー電子光学パネルであっても同様である。例えば、以上説明した各実施形態においては、いずれもパッシブマトリクス型の電子光学パネルを例示してきたが、本発明の電子光学装置としては、アクティブマトリクス型の電子光学パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電子光学パネル）にも同様に適用することができる。また、透過型又は反射型の電子光学パネルだけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などのように、複数の画素毎に表示状態を制御可能な各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の一実施形態に係る電子光学パネルの構造を示す一部断面図。
【図２】 本実施形態に係る電子光学パネルの製造方法の一部を示す説明図。
【図３】 本実施形態に係る電子光学パネル及び電子機器の製造方法の一部を示す説明図。
【図４】 本実施形態に係る電子光学パネル及び電子機器の製造方法を示すフローチャート。
【図５】 本実施形態に係る液滴吐出装置を示す説明図。
【図６】 本実施形態に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを示す斜視図。
【図７】 本実施形態に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを示す断面図。
【図８】 本実施形態に係る液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを示す説明図。
【図９】 本実施形態に関し、実験例を示す側面図。
【図１０】 本実施形態に関し、実験例を示す平面図。
【図１１】 本実施形態において、薄膜が形成された状態を示す平面図。
【図１２】 本実施形態の液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の状態を示す側面図。
【図１３】 本実施形態において、基板に滴下された液滴を示す平面図。
【図１４】 本実施形態に関し、実験例を示す他の平面図。
【図１５】 本実施形態に係る液滴の配置例を示す平面図。
【図１６】 本実施形態に係る液滴の他の配置例を示す平面図。
【図１７】 本実施形態に係る液滴の更に他の配置例を示す平面図。
【図１８】 本実施形態に係る液滴の更に他の配置例を示す平面図。
【図１９】 本実施形態に係る液滴の更に他の配置例を示す平面図。
【図２０】 本実施形態に係る液滴の吐出例を示す平面図。
【図２１】 本実施形態に係る液滴の吐出例を説明する説明図。
【図２２】 本実施形態に係る液滴の吐出例の一の動作を説明する説明図。
【図２３】 本実施形態に係る液滴の吐出例の他の動作を説明する説明図。
【図２４】 本実施形態に係る液滴の他の吐出例を示す平面図。
【図２５】 本実施形態に関し、実験例を示す他の平面図。
【符号の説明】
１ 基材、 ９ 電子機器、 １０ａ カラーフィルタ基板、 １１ カラーフィルタ、 ２０ カラーフィルタ保護膜（ＣＦ保護膜）、 ５２ 液滴吐出ヘッド、 ５４ ノズル、 １００ 電子光学パネル

Claims (2)

1. 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料、配向膜材料、オーバーコート材料のいずれかの液滴を塗布する方法であって、
   全面の塗布が行われる第１の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第１の塗布エリアに前記液滴を塗布し、全面の塗布が行われない第２の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第２の塗布エリアに前記液滴を塗布しないように制御し、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に前記複数のノズルにより前記液滴を塗布し、
   前記塗布エリアにおける前記液滴を塗布すべき領域の幅をｄ１とし、互いに隣接する前記塗布エリアにおける前記液滴を塗布すべき領域同士の間隔をｄ２とし、前記複数のノズルの前記走査方向に交差する方向の一端部の前記ノズルと他端部の前記ノズルとの間の長さをＬとしたときに、下記式：
   ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌ
   を満たすｎの最大値を求め、前記ｎの最大値に基づいて、前記第１の塗布エリア
   求める液滴塗布方法。
2. 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料、配向膜材料、オーバーコート材料のいずれかの液滴を塗布する電気光学パネルの製造方法であって、
   前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの幅よりも大きな幅で配列された前記複数のノズルを用い、一回の走査で前記塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液滴のいずれかの液滴を塗布し、
   前記塗布エリアにおける前記液滴を塗布すべき領域の幅をｄ１とし、互いに隣接する前記塗布エリアにおける前記液滴を塗布すべき領域同士の間隔をｄ２とし、前記複数のノズルの前記走査方向に交差する前記方向の一端部の前記ノズルと他端部の前記ノズルとの間の長さをＬとしたときに、下記式：
   ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌ
   を満たすｎの最大値を求め、前記ｎの最大値に基づいて、前記第１の塗布エリアを求める電気光学パネルの製造方法。

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