JP2010046667A - 液状体の液滴吐出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査方向Xに交差する方向Yに間隔を開けて配された複数のノズル54を有する液滴吐出ヘッド52を、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料を含む液滴を吐出する方法であって、前記液滴を塗布する基板の塗布エリア102の全面に前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出する。
【選択図】図20
Description
本発明の他の目的は、インクジェット方式を含む液滴吐出方式によって液状体を塗布してなる電気光学パネルに、滴下(塗布)ムラが生じない液状体の液滴吐出方法、液状体の液滴吐出装置及び電気光学パネルを提供することである。
本発明の更に他の目的は、インクジェット方式を含む液滴吐出方式によって液状体を塗布してなる電気光学パネルの品質の低下を招くことの無い液状体の液滴吐出方法、液状体の液滴吐出装置及び電気光学パネルを提供することである。
n×d1+(n−1)×d2≦L
を満たすnの最大値を求め、前記nの最大値に基づいて、前記第1及び第2の塗布エリアの境界を求める。
本発明の電気光学パネルの製造方法は、(a)基材にカラーフィルタ材料の液滴を液滴吐出ヘッドから吐出するステップと、(b)前記カラーフィルタの上へ液晶材料を含む液滴を前記液滴吐出ヘッドから吐出するステップとを備え、前記(b)は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出する。前記(b)は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液晶材料を含む液滴を吐出する。
本発明のコンピュータプログラムは、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記走査方向に交差する方向に複数設けられその全面に一様に液晶が塗布されるべき塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出する動作をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、(a)前記塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液晶材料を含む液滴を吐出するステップと、(b)前記液滴吐出ヘッドの前記単一回としての特定回の前記走査が行われるときに、前記複数のノズルのうち、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われる第1の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第1の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出し、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われない第2の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第2の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出しないように制御するステップとをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムである。
前記塗布エリアとは、その全面に一様に前記液状体が塗布されるべきエリアであって、その前記全面のうちの、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液状体の境界部分に対応する位置にて、前記液状体と空気との界面が生じないように、前記塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液状体の液滴が吐出されるように制御する。
本発明の液晶の液滴吐出装置は、その全面に一様に液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により前記液晶材料を含む液滴を吐出し、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記単一回としての特定回の前記走査が行われるときに、前記複数のノズルのうち、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われる第1の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第1の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出し、前記特定回における前記走査において前記全面の塗布が行われない第2の前記塗布エリアに対応する前記ノズルからは前記第2の塗布エリアに前記液晶材料を含む液滴を吐出しないように制御する。
本発明の電気光学パネルの前記液滴は、前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に、前記液滴吐出ヘッドの単一回の前記走査により吐出されたものである。
以下、本発明の液状体の液滴吐出方法の一実施形態として、インクジェット方式による液晶滴下方法について説明する。第1実施形態は、インクジェットにより液晶の滴下を行う場合に、スジ状の表示ムラを防ぐための技術である。
ここでの保護膜材料の塗布は、インクジェットによる液滴の吐出により行う。その保護膜材料の液滴塗布方法及び液滴配置方法は、後述する液晶の塗布及び液滴配置と同様の方法を採ることができる。または、後述する液晶と塗布及び液滴配置と同様の方法に代えて、インクジェット方式による公知の保護膜材料の液滴塗布方法及び液滴配置方法を採用することもできる。
ここでの配向膜16の塗布は、インクジェットによる液滴の吐出により行う。その配向膜16の材料の液滴塗布方法及び液滴配置方法は、後述する液晶の塗布及び配置と同様の方法を採ることができる。または、後述する液晶の塗布及び配置と同様の方法に代えて、インクジェット方式による公知の配向膜16の材料の液滴塗布方法及び配置方法を採用することもできる。
本実施形態においては、液滴吐出としてインクジェットを使用する。図5(a)に示すように、液滴吐出装置50は、液滴吐出ヘッド52とステージ60とを備えている。液滴吐出ヘッド52には、タンク56から供給チューブ58を介してスペーサ材が混入された液晶が供給される。
図8は、液滴吐出ヘッド52から吐出された液晶の液滴が滴下された状態を示す平面図である。カラーフィルタ基板10aの配向膜16上に、液晶の液滴が主走査方向(X方向)に10μm、副走査方向(Y方向)に100μmの間隔で、液晶の液滴が滴下されるとする。この場合、副走査方向における液滴の間隔yは、ノズル54のピッチPと同じであり、主走査方向における液滴の間隔xは、液滴吐出ヘッド52の走査速度と吐出周波数とに依存する。
図12(b)は、ヘッド54から吐出された液晶の液滴111が基材1に着弾した瞬間(液晶の液滴111が基材1に最初に接触した時点)の状態を示している。基材1に着弾する瞬間の液晶の液滴111の径は、30〜40μmであり、図12(a)に示したヘッド54から吐出されたときの液晶の液滴111の径と変わっていない。
図12(c)は、液晶の液滴111が基材1に滴下された後に、濡れ広がった状態を示している。基材1上で濡れ広がった液滴111の径は、100μm前後である。
本変形例は、図15及び図16と異なり、主走査方向の偶数列目の濡れ広がる前の着弾直前(=着弾直後,以後は単に「着弾直前)と記載する)の液滴(図13の符号a)が、奇数列目の濡れ広がる前の着弾直前の液滴(図13の符号a)に比べて、濡れ広がる前の着弾直前の液滴(図13の符号a)の径の概ね半分だけ、副走査方向にずれた位置に滴下される。
を満たすnの最大値を求める。
但し、図20に示すように、d1は、チップ102の幅(液滴吐出ヘッド52の延在方向に沿うチップ102の辺の長さ,より正確には、チップ102における液晶膜を形成すべき領域の幅)であり、d2は、チップ102間の間隔(より正確には、互いに隣接するチップ102における液晶膜を形成すべき領域同士の間隔)であり、Lは、液滴吐出ヘッド52の延在方向の長さ(より正確には、液滴吐出ヘッド52の延在方向の一端部のノズル54と他端部のノズル54との間の長さ)である。
2回目の主走査では、その(n+1)列目を起算点としてn列目(n+1−1+n)のチップまで液晶の液滴を塗布し、(n+1−1+n+1)列目のチップの位置に対応するノズル54からは液晶の液滴を吐出しない。
2×d1+(2−1)×d2≦L
3×d1+(3−1)×d2>L
が成立するため、nの最大値は2である。
1回目の主走査では、その2列目のチップ(102a及び102b)まで液晶の液滴を塗布し、(2+1=3)列目のチップ(102c)の位置に対応するノズル54からは液晶の液滴を吐出しない。
2回目の主走査では、その(2+1=3)列目を起算点として2列目(2+1−1+2=4)のチップ(102c及び102d)まで液晶の液滴を塗布し、(2+1−1+2+1=5)列目のチップ(102e)の位置に対応するノズル54からは液晶の液滴を吐出しない。
図20では、単一の塗布エリアの幅d1よりも液滴吐出ヘッド52の長さLが大きく、1回の主走査で少なくとも1つの塗布エリアの全ての領域を塗布することができる。これに対し、図24では、単一のウェハー201上に、単一の基板202が形成される。図24のケースでは、塗布エリア(基板202)が図20のケースの塗布エリア(チップ102)に比べて大きい。単一回の主走査で、塗布エリアの全ての領域を塗布するためには、基板202の幅d1’と同じ範囲には、ノズル54が形成されている必要がある。
本発明に係る電子光学パネルが適用できる電子機器としては、携帯電話機の他に、例えば、PDA(Personal Digital Assistants)と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、POS端末機等、電気光学装置である電子光学パネルを用いる機器が挙げられる。したがって、これらの電子機器における電気的接続構造であっても、本発明が適用可能であることはいうまでもない。
Claims (19)
- 複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを走査して前記複数のノズルのそれぞれから液状体の液滴を吐出する方法であって、
前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液状体の液滴を吐出する
液状体の液滴吐出方法。 - 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料を含む液滴を吐出する方法であって、
前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出する
液晶の液滴吐出方法。 - 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを、前記走査方向と交差する副走査方向における特定位置から前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶の液滴を吐出する方法であって、
前記液滴を塗布する基板の塗布エリアのうち、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液晶の境界部分に対応する位置にて、前記液晶と空気との界面が生じないように前記液晶の液滴を吐出する
液晶の液滴吐出方法。 - 請求項2または3に記載の液晶の液滴吐出方法において、
全面の塗布が行われる第1の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第1の塗布エリアに前記液滴を吐出し、全面の塗布が行われない第2の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第2の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御する
液晶の液滴吐出方法。 - 請求項4記載の液晶の液滴吐出方法において、
前記第2の塗布エリアには、後の工程において前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴が吐出される
液晶の液滴吐出方法。 - 請求項5記載の液晶の液滴吐出方法において、
前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域の幅に基づいて、前記第1及び第2の塗布エリアの境界を求める
液晶の液滴吐出方法。 - 請求項6記載の液晶の液滴吐出方法において、
更に、
互いに隣接する前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域同士の間隔に基づいて、前記第1及び第2の塗布エリアの境界を求める
液晶の液滴吐出方法。 - 請求項4から7のいずれか1項に記載の液晶の液滴吐出方法において、
前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域の幅をd1とし、互いに隣接する前記塗布エリアにおける前記液晶を塗布すべき領域同士の間隔をd2とし、前記液滴吐出ヘッドの前記走査方向に交差する前記方向の一端部の前記ノズルと他端部の前記ノズルとの間の長さをLとしたときに、下記式:
n×d1+(n−1)×d2≦L
を満たすnの最大値を求め、前記nの最大値に基づいて、前記第1及び第2の塗布エリアの境界を求める
液晶の液滴吐出方法。 - 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶の液滴を吐出する方法であって、
(a)その全面に一様に前記液晶が塗布されるべき塗布エリアの前記全面に対し単一回の前記走査では前記液晶の液滴を吐出しきれない大きさの前記液滴吐出ヘッドを複数連結して液滴吐出ヘッド連結体を形成するステップと、
(b)前記液滴吐出ヘッド連結体の前記単一回の走査により、前記塗布エリアの前記全面に対し、前記液滴吐出ヘッド連結体が有する前記複数のノズルのそれぞれから前記液晶の液滴を吐出するステップと
を備えた液晶の液滴吐出方法。 - 請求項2から9のいずれか1項に記載の液晶の液滴吐出方法において、
前記塗布エリアは、単一のパネルの表示エリアの全て、又は、単一のチップにおいて液晶膜が形成されるべきエリアの全てに対応している
液晶の液滴吐出方法。 - (a)基材に液晶材料を含む液滴を液滴吐出ヘッドから吐出するステップを備え、
前記(a)は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液滴を吐出する
電気光学パネルの製造方法。 - (a)基材にカラーフィルタ材料の液滴を液滴吐出ヘッドから吐出するステップと、
(b)前記カラーフィルタの上へ液晶材料を含む液滴を前記液滴吐出ヘッドから吐出するステップとを備え、
前記(b)は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出する
電気光学パネルの製造方法。 - 請求項11または12に記載の電気光学パネルの製造方法で製造された電気光学パネルに実装部品を実装して電子機器を製造するステップを備えた電子機器の製造方法。
- 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、液晶を塗布する基板の塗布エリアに前記液晶の液滴を吐出する動作をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、
(a)前記塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出するステップと、
(b)前記全面の塗布が行われる第1の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第1の塗布エリアに前記液滴を吐出し、全面の塗布が行われない第2の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第2の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御するステップと
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラム。 - 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
制御部とを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記走査方向と交差する副走査方向における特定位置から前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液状体の液滴を吐出し、
前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で前記液状体が吐出された場合に、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアのうち、前記液滴吐出ヘッドの副走査の動作前後のそれぞれの前記走査で吐出された前記液状体の境界部分に対応する位置にて、前記液状体と空気との界面が生じないように前記液状体の液滴が吐出されるように制御する
液状体の液滴吐出装置。 - 走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
制御部とを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記走査方向に交差する方向に複数設けられ、液晶を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出し、
前記制御部は、前記全面の塗布が行われる第1の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第1の塗布エリアに前記液滴を吐出し、全面の塗布が行われない第2の前記塗布エリアに対応する前記ノズルから前記第2の塗布エリアに前記液滴を吐出しないように制御する
液晶の液滴吐出装置。 - 基板と、
前記基板に対し、液滴吐出ヘッドにより吐出された液晶の液滴により形成される薄膜と
を備え、
前記液滴は、走査方向に交差する方向に間隔を開けて配された複数のノズルを有する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから、前記液滴を塗布する基板の塗布エリアの全面に、前記液滴吐出ヘッドにより吐出されたものである
電気光学パネル。 - 請求項17記載の電気光学パネルを備えた電気光学装置。
- 請求項18記載の電気光学装置を備えた電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2010046667A true JP2010046667A (ja) | 2010-03-04 |
Family
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---|---|
JP (1) | JP2010046667A (ja) |
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|
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120330 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121221 |