JP2002370352A - 印刷装置及び発光装置の作製方法 - Google Patents

印刷装置及び発光装置の作製方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェット方式による有機化合物層の形
成を簡便でかつ高速に処理することが可能な印刷装置及
びその装置を用いた発光装置の作製方法を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 筐体１０１には第１圧電素子１０２が装
着された第１弾性板１０３により一方の面が封止された
第１圧力発生室１０６と、第２圧電素子１０４が装着さ
れた第２弾性板１０５により一方の面が封止された第２
圧力発生室１０７が形成されている。第２圧力発生室１
０７には開口部が形成され、そこが吐出口１０８とな
り、混合物が吐出するようになっている。開口１１０が
形成されたノズル１０９は気体を基板面に向かって噴出
するものであり、インクヘッドの吐出口１０８の近傍に
設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一対の電極間に有
機化合物で成る発光体が設けられた発光素子を有する発
光装置の作製方法と、当該発光装置の作製に適用可能な
印刷装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】発光体に有機化合物を用いた発光素子
（以下、有機発光素子という）の構造は、陰極と陽極と
の間に有機化合物層が形成されたサンドイッチ型が一般
的である。低分子系有機化合物を用いる場合は、正孔注
入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層な
ど複数の材料から成る層を組み合わせて形成されてい
る。正孔注入層と正孔輸送層との区別は必ずしも厳密な
ものではなく、これらは正孔輸送性（正孔移動度）が特
に重要な特性である意味において同じである。便宜上正
孔注入層は陽極に接する側の層であり、正孔注入層に接
する層を正孔輸送層と呼んで区別されている。また、陰
極に接する層を電子注入層と呼び、電子注入層に接する
層を電子輸送層と呼んでいる。発光層は電子輸送層を兼
ねる場合もあり、発光性電子輸送層とも呼ばれる。低分
子系有機化合物の層は真空蒸着法により形成する方法が
採られている。
【０００３】これに対し、高分子系有機化合物材料は、
塗布法や印刷法など湿式法により形成される。最近では
インクジェット方式による印刷法が注目されており、当
該技術は特開平１０−１２３７７号公報、特開平１０−
１５３９６７号公報又は特開平１１−５４２７０号公報
などで開示されている。インクジェット方式で用いる有
機化合物材料は、水溶性或いはアルコール又はグリコー
ル系溶剤可溶材料が適用され、ポリパラフェニレンビニ
レン（以下、ＰＰＶと記す）の前駆体などが用いられて
いる。ＰＰＶ前駆体は塩となって水に溶け、塗布後の加
熱により重合して高分子化するものである。
【０００４】これら有機化合物における発光機構は、陰
極から注入された電子と、陽極から注入された正孔が発
光体で成る発光層で再結合して分子励起子を形成し、そ
の分子励起子が基底状態に戻る時に光を放出する現象と
して考えられている。励起状態には一重項状態からの発
光（蛍光）と三重項状態からの発光（燐光）とがある。
輝度は数千〜数万cd/m2に及ぶことから、原理的にも表
示装置などへの応用が十分可能であると考えられてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】有機化合物層を半導体
のように光露光プロセスによりパターン形成することが
耐熱性や耐水性の点から不可能である。真空蒸着法では
シャドーマスクにより有機化合物層をパターン形成する
が、その場合シャドーマスクに付着する有機化合物材料
は利用されず損失することになる。その他にも蒸着装置
のチャンバー内壁や蒸発源の坩堝内に残留する分も損失
分となりので、その利用効率は１０％程度であると見込
まれる。従って、真空蒸着法で形成される低分子系有機
化合物層は、材料の利用効率が悪いという問題点を有し
ていた。
【０００６】勿論、材料のコストが廉価であればそれで
も良いが、高純度化が要求される低分子系有機化合物材
料は高価であり、それが製品のコストに反映されてしま
う。
【０００７】一方、高分子系有機化合物を用いてインク
ジェット方式で有機発光素子を形成すると、このパター
ン形成工程が簡便であることが利点となる。１ドット毎
に有機化合物層を形成することにより、フォトレジスト
パターンやエッチングなどの工程を不要なものとしてい
る。さらに材料の利用効率も遙かに高まり８０％以上を
確保することも可能となる。
【０００８】しかし、効率的な生産方式として、１枚の
大面積基板から複数枚の表示用パネルを切り出す多面取
りの生産方式では、１ドット毎に混合物を滴下していく
インクジェット方式は必ずしも処理能力が高いとは言え
ない。画面サイズが大きくなり画素数が増えるにつれ、
高い位置精度と処理速度の高速化が要求されるので、結
局処理時間が増大してしまうという問題点を有してい
た。
【０００９】また、１ドット毎に混合物を滴下して有機
化合物層を形成する場合、当該混合物の吐出量のばらつ
きや、滴下される位置の揺らぎが発光強度の斑となり、
多数の発光素子をもって形成される発光装置の品質を低
下させる要因となっていた。
【００１０】本発明はこのような問題点を鑑みてなされ
たものであり、インクジェット方式による有機化合物層
の形成を簡便でかつ高速に処理することが可能な印刷装
置及びその装置を用いた発光装置の作製方法を提供する
ことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の印刷装置は、インクヘッドの構成に特徴を
有し、第１圧電素子が装着された第１弾性板と、第２圧
電素子が装着された第２弾性板とを有し、第１の弾性板
により一方の面が封止された圧力発生室と、圧力発生室
に連接し、一方の面が前記第２弾性板により封止された
供給経路とから成るインクヘッドと、気体の噴出により
前記インクヘッドから吐出した混合物を平坦化する手段
とが備えられ、前記第１圧電素子の振動周波数は、前記
第２圧電素子の振動周波数よりも高い周波数で動作し
て、前記混合物を連続的に吐出する機能が備えられてい
る。
【００１２】また他の構成は、第１圧電素子が装着され
た第１弾性板と、第２圧電素子が装着された第２弾性板
とを有し、第１の弾性板により一方の面が封止された圧
力発生室と、圧力発生室に連接し、一方の面が前記第２
弾性板により封止された供給経路とから成るインクヘッ
ドと、気体の噴出により前記インクヘッドから吐出した
混合物を平坦化する手段とが備えられ、第１圧電素子が
装着された第１弾性板により混合物を連続的に吐出し、
第２圧電素子が装着された第２弾性板により混合物の吐
出を止める機能が備えられているものである。
【００１３】混合物としては、有機発光材料又はその前
駆体を液体に溶解又は分散させたものを用いる。混合物
を連続的に吐出することにより、１ドット毎にインクを
プリントしていくインクジェット方式と比較して、位置
制御の時間が短縮され、印刷速度を向上させることがで
きる。特に、１枚の大面積基板から複数枚の表示用パネ
ルを切り出すマザーガラスを用いる生産方式に適用する
場合に適している。また、マザーガラスに複数の画素領
域が設けられている場合には、画素領域間の移動の間、
混合物の吐出を瞬時に停止させることで、インクヘッド
をマザーガラスに対してより高速に移動させることがで
きる。第２圧電素子は混合物の吐出を瞬時に止めるため
に設けるものであり、この手段を設けることにより、印
刷の高速化を実現することができる。
【００１４】このような構成のインクジェット方式の印
刷装置を用いた発光装置の作製方法は、インクヘッドか
ら、第１の圧電素子の振動により、連続的に混合物を滴
下して画素領域にストライプ状の有機化合物層を形成す
る第１の段階と、第１の圧電素子の振動を停止させ、第
２の圧電素子により前記混合物の滴下を瞬時に停止する
第２の段階とを有している。この場合、混合物を塗布
し、その塗布面に気体を吹き付けて平坦化しながら、画
素領域にストライプ状の有機化合物層を形成する構成と
しても良い。
【００１５】また、他の構成は、インクジェット方式に
より第１乃至第ｎ（ｎ＞1）の画素領域が区画された基
板上に有機化合物層を形成する発光装置の作製方法にお
いて、インクヘッドから、第１の圧電素子の振動によ
り、連続的に混合物を滴下して第ｎの画素領域にストラ
イプ状の有機化合物層を形成する第１の段階と、第１の
圧電素子の振動を停止させ、第ｎ＋１の圧電素子により
前記混合物の滴下を瞬時に停止して、第２の画素領域へ
前記インクヘッドを移動させる第２の段階とを有してい
る。この場合にも混合物を塗布し、その塗布面に気体を
吹き付けて平坦化しながら、画素領域にストライプ状の
有機化合物層を形成する構成としても良い。
【００１６】上記発光装置の作製方法において、有機化
合物層の第１層目を塗布法により第１の有機化合物層を
形成し、その後インクジェット方式の印刷法により第２
の有機化合物層を形成する工程としても良い。第１の有
機化合物層をポリエチレンジオキシチオフェンなどで形
成すると良い。
【００１７】第１及び第２圧電素子をインクヘッドに組
み入れ、変位を与えるタイミングを同期させることによ
り、混合物を連続的に吐出したり、その吐出を瞬時に止
めることができる。混合物を連続的に吐出して連続した
有機化合物層を形成することにより、１ドット毎にイン
クをプリントしていくインクジェット方式と比較して、
位置制御の時間が短縮され、印刷速度を向上させること
ができる。特に、１枚の大面積基板から複数枚の表示用
パネルを切り出す生産方式に適用する場合に適してい
る。また、大面積基板に複数の画素領域が設けられてい
る場合には、画素領域間の移動の間、混合物の吐出を瞬
時に停止させることで、インクヘッドを大面積基板に対
してより高速に移動させることができる。第２圧電素子
は混合物の吐出を瞬時に止めるために設けるものであ
り、この手段を設けることにより、印刷の高速化を実現
することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図５は本発明のインクジェ
ット方式を用いた印刷装置の構成を示している。印刷装
置はインクヘッド４０１、気体を吹き付けるノズル４０
３、基板を固定するステージ４０５などから成ってい
る。その他付随する要素として、処理する基板を保持す
るカセット４０７、そのカセット４０７から搬出入させ
る搬送手段４０６などを備えていても良い。混合物はリ
ザーバータンク４０２からインクヘッド４０１に供給さ
れる。また、吹き付ける気体は、圧縮容器、フィルタ
ー、流量制御装置などから成る気体供給手段４０４から
供給される。気体は不活性気体を用い、窒素、アルゴン
などを適用する。
【００１９】気体を噴出するノズル４０３はインクヘッ
ド４０１に隣接して設けられている。このノズルから噴
出する気体は、基板４０８上に吐出された混合物を平坦
化する手段として用いる。
【００２０】また、混合物は酸化しやすいものが多いの
で、処理室４０９内は、ガス供給手段４１０により、窒
素などの不活気体を供給し雰囲気を置換しておくことが
望ましい。
【００２１】図１はインクヘッドの構造を断面図として
示している。筐体１０１には第１圧電素子１０２が装着
された第１弾性板１０３により一方の面が封止された第
１圧力発生室１０６と、第２圧電素子１０４が装着され
た第２弾性板１０５により一方の面が封止された第２圧
力発生室１０７が形成されている。第２圧力発生室１０
７には開口部が形成され、そこが吐出口１０８となり、
混合物が吐出するようになっている。開口１１０が形成
されたノズル１０９は気体を基板面に向かって噴出する
ものであり、インクヘッドの吐出口１０８の近傍に設け
られている。
【００２２】第１圧力発生室１０６を構成する第１弾性
板１０３は、第１圧電素子１０２のたわみ変位により第
１圧力発生室１０６の容積を変動させ混合物を吐出させ
る。一方、第２圧力発生室１０７の第２弾性板１０５は
も同様に、第２圧電素子１０４のたわみ変位により第２
圧力発生室１０７の容積を変動させて、混合物の吐出を
停止させる。
【００２３】図３は用いてインクヘッドから混合物を吐
出する動作を説明する図である。第１圧力発生室１０６
は、第１圧電素子１０２の振動により容積を変化させて
混合物を第２圧力発生室１０７を介して吐出口１０８か
ら吐出している。それに伴って混合物１１５はリザーバ
ーから適時供給されている。この時、第２圧電素子１０
４は振動せずに一定の位置にとどまっている。混合物の
吐出を停止するには、第１圧電素子１０２の振動を止
め、第２圧力発生室１０７の圧電素子１０４を第２圧力
発生室１０７の容積が大きくなるように変位させる。圧
電素子１０４の変位と共に、弾性板１０５が変位して第
２圧力発生室の容積を大きくすることができる。この動
作により、混合物の吐出を瞬時に止めることができる。
【００２４】図４は圧電素子に印加する信号電圧のタイ
ミングチャートを示している。第１圧電素子には短い周
期でパルス電圧を与えることにより混合物を連速的に吐
出させている。所定に期間吐出を行い、それを停止させ
る時にそのパルス電圧は停止し、それと同時に第２圧電
素子にパルス電圧を印加して変位を発生させる。これに
より吐出を瞬時で停止させる。
【００２５】このように、２つの圧電素子をインクヘッ
ドに組み入れ、変位を与えるタイミングを図４で示すよ
うに同期させることにより、混合物を連続的に吐出した
り、その吐出を瞬時に止めることができる。
【００２６】図２はインクヘッド他の一例を示してい
る。このインクヘッドの構成は、筐体２０１に第１圧電
素子２０２、第１弾性板２０３、第２圧電素子２０４、
第２弾性板２０５が設けられ、同様に混合物を連続的に
吐出したり、その吐出を瞬時に止めることができる。但
し、第２圧電素子２０４と第２弾性板２０５は圧力発生
室２０７から延在する供給経路２１１の途中に設けられ
ている。この構成では、第２圧電素子２０４が変位する
ことにより、供給路２１１を塞ぎ、混合物の吐出を止め
る機構となっている。その他、気体を噴出するノズル２
０９の構成は図１と同様なものとしている。
【００２７】インクヘッドに設けられる吐出口は一つで
も良いが、より効率的に印刷を行うには複数の吐出口を
設けても良い。例えば、一組の圧力発生室と吐出口を一
対に対応させて設けても良いし、複数の吐出口に対し一
組の圧力発生室を対応させても良い。
【００２８】第１及び第２圧電素子をインクヘッドに組
み入れ、変位を与えるタイミングを同期させることによ
り、混合物を連続的に吐出したり、その吐出を瞬時に止
めることができる。図４で示すように第１圧電素子と第
２圧電素子を同期させて混合物を連続的に吐出させ、有
機化合物層を形成することにより位置制御の時間が短縮
され、印刷速度を向上させることができる。特に、１枚
の大面積基板から複数枚の表示用パネルを切り出す生産
方式に適用する場合に適している。また、大面積基板に
複数の画素領域が設けられている場合には、画素領域間
の移動の間、混合物の吐出を瞬時に停止させることで、
インクヘッドを大面積基板に対してより高速に移動させ
ることができる。第２圧電素子は混合物の吐出を瞬時に
止めるために設けるものであり、この手段を設けること
により、印刷の高速化を実現することができる。
【００２９】
【実施例】[実施例１]図６は、本発明のインクジェット
方式の印刷装置を用い、有機発光素子の一方に電極が形
成された基板上に、画素領域に合わせて高分子系有機化
合物層を形成する様子を模式的に示している。図６にお
いて、６１０は基板であり、基板６１０上には画素領域
６１１、ソース側駆動回路６１２、ゲート側駆動回路６
１３がＴＦＴにより形成されている。ソース側駆動回路
６１２に接続された複数のソース配線とゲート側駆動回
路６１３に接続された複数のゲート配線とで囲まれた領
域が画素領域であり、画素領域にはＴＦＴと該ＴＦＴに
電気的に接続された有機発光素子が形成される。画素領
域６１１はこのような画素がマトリクス状の配列された
領域として区画される。
【００３０】ここで６１４aは赤色に発光する有機化合
物材料と溶媒との混合物（以下、赤色発光層用混合物と
いう）、６１４bは緑色に発光する有機化合物材料と溶
媒との混合物（以下、緑色発光層用混合物という）、６
１４cは青色に発光する有機化合物材料と溶媒との混合
物（以下、青色発光層用混合物という）である。なお、
これらの有機化合物材料は高分子を重合したものを直接
溶媒に溶かして塗布する方法と、前駆体を溶媒に溶かし
たものを成膜した後に加熱重合させる方法とがあるが、
どちらの混合物を採用することも可能である。
【００３１】インクヘッドからは赤色発光層用混合物６
１４a、緑色発光層用混合物６１４b、青色発光層用混合
物６１４cが別々に吐出され、矢印の方向に向かって塗
布される。即ち、赤色に発光すべき有機化合物層、緑色
に発光すべき有機化合物層及び青色に発光すべき有機化
合物層に、同時にストライプ状の発光層が形成される。
【００３２】有機化合物層を形成する高分子系有機化合
物としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリ
チオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリパラフ
ェニレン誘導体、ポリアルキルフェニレン、ポリアセチ
レン誘導体などの有機溶媒に可溶な物質を用いることが
できる。
【００３３】ポリパラフェニレンビニレン誘導体として
は、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレン
ビニレン）：ＲＯ−ＰＰＶを用いることができ、具体的
にはポリ（２−メトキシ−５−（２−エチル−ヘキソキ
シ）−１，４−フェニレンビニレン）：ＭＥＨ−ＰＰＶ
やポリ（２，５−ジメチルオクチルシリル−１，４−フ
ェニレンビニレン）：ＤＭＯＳ−ＰＰＶといった材料を
用いることができる。
【００３４】ポリパラフェニレン誘導体としては、ポリ
（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレン）：ＲＯ
−ＰＰＰを用いることができる。
【００３５】ポリチオフェン誘導体としては、ポリ（３
−アルキルチオフェン）：ＰＡＴを用いることができ、
具体的にはポリ（３−ヘキシルチオフェン）：ＰＨＴ、
ポリ（３−シクロヘキシルチオフェン）：ＰＣＨＴとい
った材料を用いることができる。その他にもポリ（３−
シクロヘキシル−４−メチルチオフェン）：ＰＣＨＭ
Ｔ、ポリ（３−［４−オクチルフェニル］−２，２’ビ
チオフェン）：ＰＴＯＰＴ、ポリ（３−（４オクチルフ
ェニル）−チオフェン）：ＰＯＰＴ−１等を用いること
もできる。
【００３６】ポリフルオレン誘導体としては、ポリ（ジ
アルキルフルオレン）：ＰＤＡＦを用いることができ、
具体的にはポリ（ジオクチルフルオレン）：ＰＤＯＦと
いった材料を用いることができる。
【００３７】ポリアセチレン誘導体としては、ポリプロ
ピルフェニルアセチレン：ＰＰＡ−ｉＰｒ、ポリブチル
フェニルフェニルアセチレン：ＰＤＰＡ−ｎＢｕ、ポリ
ヘキシルフェニルアセチレン：ＰＨＰＡといった材料を
用いることができる。
【００３８】また、これらの高分子系有機化合物の溶媒
としては、トルエン、ベンゼン、クロロベンゼン、ジク
ロロベンゼン、クロロホルム、テトラリン、キシレン、
アニソール、ジクロロメタン、γブチルラクトン、ブチ
ルセルソルブ、シクロヘキサン、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−
２−ピロリドン）、ジメチルスルホキシド、シクロヘキ
サノン、ジオキサンまたは、ＴＨＦ（テトラヒドロフラ
ン）等を用いることができる。
【００３９】また、正孔注入性の高分子化合物としてＰ
ＥＤＯＴ（poly(3,4‐ethylene dioxythiophene)）や、
ポリアニリン（ＰＡ）を用いることもできる。なお、こ
れらの材料は水溶性である。このＰＥＤＯＴは塗布法に
よっても形成可能である。塗布法で形成した第１の有機
化合物層（ＰＥＤＯＴ）の上に、インクジェット方式で
第２の有機化合物層を形成することもできる。
【００４０】その他にも、昇華性を有せず、且つ分子数
が１０以下、又は連鎖する分子の長さが５μm以下の有
機化合物（これを中分子系有機化合物という）を用いる
こともできる。そのような材料の一例は、テトラキス
（２−メルカプト−ヘンズオキサゾラト）タングステン
などが上げられる。高分子有機化合物材料を用いたイン
クジェット方式によるパターン形成では、滴下した混合
物が糸を引いて線状になってしまうなどの問題点がある
が、連鎖する分子数の少ない中分子系有機化合物ではそ
のような不具合が発生しない。また、高分子系有機化合
物材料の混合物を形成する場合には、それを溶かす溶媒
とインクヘッドを構成する部材との組み合わせを考慮す
る必要がある。実際にはインクヘッドを構成する部材を
腐食しない溶媒を用いる必要がある。しかし、中分子系
有機化合物では、水溶液に分散させて用いることも可能
であり、そのような問題が発生しない。
【００４１】なお、ここでいう有機化合物層とは隔壁６
２１に仕切られた画素の列を指し、隔壁６２１はソース
配線の上方に形成されている。即ち、ソース配線に沿っ
て複数の画素が直列に並んだ列を有機化合物層と呼んで
いる。但し、ここでは隔壁６２１がソース配線の上方に
形成された場合を説明したが、ゲート配線の上方に設け
られていても良い。この場合は、ゲート配線に沿って複
数の画素が直列に並んだ列を有機化合物層と呼ぶ。
【００４２】従って、画素領域６１１は、複数のソース
配線もしくは複数のゲート配線の上方に設けられたスト
ライプ状の隔壁により分割された複数の有機化合物層の
集合体として見ることができる。そのようにして見た場
合、画素領域６１１は、赤色に発光するストライプ状の
発光層が形成された有機化合物層、緑色に発光するスト
ライプ状の発光層が形成された有機化合物層及び青色に
発光するストライプ状の発光層が形成された有機化合物
層からなるとも言える。
【００４３】また、上記ストライプ状の隔壁は、複数の
ソース配線もしくは複数のゲート配線の上方に設けられ
ているため、実質的に画素領域６１１は、複数のソース
配線もしくは複数のゲート配線により分割された複数の
有機化合物層の集合体と見ることもできる。
【００４４】図６は画素領域に形成された有機化合物層
全てに対して一括で有機化合物（厳密には混合物）を塗
布する例を示している。即ち、ヘッド部６０１には有機
化合物層の本数と同じ数でノズルが取り付けられてい
る。このような構成とすることで一回の走査で全ての有
機化合物層に塗布することが可能となり、飛躍的にスル
ープットが向上する。
【００４５】また、画素領域を複数のゾーンに分けて、
そのゾーンの中に含まれる有機化合物層の本数と同じ数
でノズルを設けたヘッド部を用いても良い。即ち、画素
領域をｎ個のゾーンに分割したとすると、ｎ回走査すれ
ば全ての有機化合物層に有機化合物材料（厳密には混合
物）を塗布することができる。実際には画素のサイズが
数十μmと小さい場合もあるため、有機化合物層の幅も
数十μm程度となる場合がある。そのような場合、横一
列にノズルを並べることは困難となるため、ノズルの配
置を工夫する必要がある。
【００４６】[実施例２]図７は本発明のインクジェット
方式の印刷装置を用い、有機発光素子の一方に電極が形
成された基板上に、画素領域に合わせて高分子系有機化
合物層６１４を形成する他の一例を模式的に示してい
る。尚、図７において、図６と重複するものは共通の符
号を用いて示し、ここではその説明を省略する。図７で
は、単色毎に塗布する態様であり、インクヘッドから吐
出される混合物は一種類である。この場合、赤色発光層
用混合物、緑色発光層用混合物、青色発光層用混合物を
装填したインクヘッドを個々に設け、単色毎に塗り分け
ることにより、厚さやその後の焼成重合温度などを個々
の色に対して最適に調整することもできる。
【００４７】[実施例３]また、図８は大面積基板（マザ
ーガラス基板）に形成されたパネル部に本発明の印刷装
置を適用する場合に一態様を示すものである。マザーガ
ラス８００には図６と同様の構成の画素領域を有するパ
ネル８０１ａ〜８０１ｆが形成されている。図８では２
つのインクヘッドを８０２ａ、８０２ｂで示している
が、その数は任意に設定することが可能である。隣接す
る画素領域に渡って連続して混合物を塗布する場合に
は、図３及び図４を用いて説明したように、第１及び第
２圧電素子をインクヘッドに組み入れ、変位を与えるタ
イミングを同期させることにより、混合物を連続的に吐
出したり、その吐出を瞬時に止めることができる。それ
により大面積に多数の画素領域が形成された基板に対し
ても、高速で有機化合部層を形成することが可能とな
る。
【００４８】[実施例４]本発明の印刷装置を組み入れた
発光装置の製造装置の一例を図９に示す。図９は複数の
印刷室９０６〜９０８、乾燥室９０３、ロード室９０
１、アンロード室９０２を備え、これらは共通室９０
４、９０９を介して連結されている。中間室９０５は共
通室９０４と９０９の間を連結する部屋である。基板の
搬送は、搬送手段９１０、９１１により行う。印刷室９
０６〜９０８には図１又は図２で示す構成のインクヘッ
ド９１５〜９１７が設けられている。
【００４９】ロード室９０１及びアンロード室９０２に
はそれぞれ基板を保持するカセット９１２、９１３が保
持されている。乾燥室９０３にはシーズヒータを内蔵し
た基板ステージ又はランプ光源、又は温風による加熱手
段９１４が設けられ、印刷後に基板を加熱して乾燥させ
ることができる。
【００５０】それぞれの部屋は仕切弁９２０ａ〜９２０
ｈで区切られているので、印刷は不活性気体中又は、混
合物と同種の溶媒雰囲気中で行うことにより、不純物汚
染を防止することができる。印刷法は真空を必要としな
いので、真空ポンプや気密シールなどを必要とせず装置
の構成が簡単になるという特徴がある。
【００５１】図１０に示す製造装置の構成は、有機発光
素子の電極やパッシベーション膜までを連続形成するこ
とを可能とした装置の構成を示している。印刷室７０５
〜７０７には図１又は図２で示す構成のインクヘッド７
２０〜７２２が設けられている。洗浄室７０２は印刷前
の基板の洗浄を行い、洗浄手段７１８はスピン洗浄、ブ
ラシ洗浄などである。薬液供給手段７１９はアルカリ又
は酸性の洗浄液を供給するものである。その他の洗浄手
段として、紫外光を用いたＵＶ洗浄を採用しても良い。
【００５２】ここで示すロード室７０１、洗浄室７０
２、印刷室７０５〜７０７、共通室７０３、７０８、中
間室７０４は大気圧で各種処理を行う。一方、被膜を形
成する成膜室７１０、７１１は減圧下で処理を行い、排
気手段７２４、７２７が備えられている。排気手段とし
ては、ドライポンプ、油回転ポンプ、ターボ分子ポン
プ、クライオポンプ、メカニカルブースターポンプなど
を適用する。従って、共通室７１６、中間室７０９、成
膜の終わった基板を一時的に蓄えておくアンロード室７
１２にも同様に排気手段７２３、７３１、７３０が備え
られている。それぞれの部屋は仕切弁７００ａ〜７００
ｌで区切られている
【００５３】成膜室７１０は蒸着法により導電膜の成膜
を行い、蒸発源７２６、その加熱手段７２５などが備え
られている。成膜室７１１は、プラズマＣＶＤ法によ
り、窒化シリコン膜やダイヤモンドライクカーボンなど
の被膜を形成する目的で設置されている。そのために、
ガス供給手段７２９、グロー放電発生手段７２８などが
備えられている。有機化合物層に上に電極を形成した
後、連続してパッシベーション膜を形成することがで
き、有機化合物層に不純物の混入を防止することができ
る。
【００５４】[実施例５]図１１はアクティブマトリクス
駆動する発光装置の画素の構造の一例を上面図で示す。
また、図１２は図１１のＡ−Ａ'線に対応した断面図で
あり、両図は共通した符号を用いて画素の構造を説明し
ている。
【００５５】この画素構造は、一つの画素には２つのＴ
ＦＴが設けられ、一方はスイッチング動作を目的とした
ｎチャネル型ＴＦＴ１２０４であり、他方は有機発光素
子に流す電流を制御する動作を目的としたｐチャネル型
ＴＦＴ１２０５である。勿論、本発明を適用するに当た
り、一つの画素に設けるＴＦＴの数に限定はなく、発光
装置の駆動方式に従い適切な回路構成とすれば良い。
【００５６】図１２で示す如く、有機発光素子１１７４
は第１電極１１４６、有機化合物層１１７１、第２電極
１１７２から成っている。第１電極と第２電極はその極
性により陽極と陰極とに区別することができる。陽極を
形成する材料は酸化インジウムや酸化スズ、酸化亜鉛な
どの仕事関数の高い材料を用い、陰極にはＭｇＡｇ、Ａ
ｌＭｇ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｌｉ、ＡｌＬｉ、ＡｌＬｉＡｇな
どのアルカリ金属又はアルカリ土類金属、代表的にはマ
グネシウム化合物で形成される仕事関数の低い材料を用
いる。
【００５７】その上にはパッシベーション膜１１７３が
形成されている。パッシベーション膜には窒化シリコ
ン、酸窒化シリコン、ダイヤモンドライクカーボンなど
酸素や水蒸気に対しバリア性の高い材料を用いて形成す
る。
【００５８】ｐチャネル型ＴＦＴ２０５及びｎチャネル
型ＴＦＴ１２０４はチャネル形成領域やソース及びドレ
イン領域、ＬＤＤ領域などが形成される活性層１１１
６、１１７を多結晶半導体膜で形成している。ゲート絶
縁膜１１８を介して第１ゲート電極１１３３、１１３４
が形成さているが、活性層を挟んで対向して第２ゲート
電極１１０６、１１０８が絶縁膜１１１０、１１１１を
介して設けられている。層間絶縁膜１１４３、１１４４
は無機絶縁膜及び有機絶縁膜を組み合わせて形成されて
いる。配線１１０５は映像データに基づく信号線であ
り、配線１１０７は有機発光素子に電流を供給する電源
供給線である。
【００５９】有機発光素子の第１電極１１４６は、ｐチ
ャネル型ＴＦＴ１２０５の電極１１５３と接続されてい
る。隔壁１１７０は隣接する画素を分離し、インクジェ
ット方式で有機化合物層を形成する時に混合物が隣接す
る画素にまで及ばないように仕切る目的で形成されてい
る。これはポリイミド、アクリルなどの感光性又は熱硬
化型の樹脂材料で、第１電極の端部を覆うように形成し
てある。有機化合物層は縦方向に形成しても良いし、横
方向に形成しても良い。
【００６０】隔壁の間には、インクジェット方式の印刷
装置を用いて一対の隔壁の間に有機化合物層を連続して
形成する。インクヘッドの構成は図１又は図２に示すも
のを用いている。
【００６１】縦方向に有機化合物層を形成した場合は、
図１４（Ａ）のような配置となり、横方向に有機化合物
層を形成した場合は、図１４（Ｂ）のような配置とな
る。図１４（Ａ）において、１４０１は縦方向にストラ
イプ状に形成された隔壁、１４０２aは赤色に発光する
有機化合物層、１４０２bは緑色に発光する有機化合物
層である。勿論、緑色に発光する有機化合物層１４０２
bの隣には青色に発光する有機化合物層（図示せず）が
形成される。なお、隔壁１４０１は絶縁膜を介したソー
ス配線の上方に、ソース配線に沿って形成される。
【００６２】このとき、点線で示される画素１４０３の
相互の距離Ｄは、有機化合物層の膜厚（ｔ）の５倍以上
（好ましくは１０倍以上）とすることが望ましい。これ
は、Ｄ＜５ｔでは画素間でクロストークの問題が発生し
うるからである。なお、距離Ｄが離れすぎても高精細な
画像が得られなくなるので、５ｔ＜Ｄ＜５０ｔ（好まし
くは１０ｔ＜Ｄ＜３５ｔ）とすることが好ましい。ま
た、図１４（Ｂ）において、１４０４は横方向にストラ
イプ状に形成された隔壁、１４０５aは赤色に発光する
有機化合物層、１４０５bは緑色に発光する有機化合物
層である。１４０５cは青色に発光する有機化合物層で
ある。なお、隔壁１４０４は絶縁膜を介したゲート配線
の上方に、ゲート配線に沿って形成される。この場合も
点線で示される画素１４０６の相互の距離Ｄは、有機化
合物層の膜厚ｔの５倍以上（好ましくは１０倍以上）、
さらに好ましくは５ｔ＜Ｄ＜５０ｔ（好ましくは１０ｔ
＜Ｄ＜３５ｔ）とすると良い。
【００６３】[実施例６]本実施例では、有機発光素子を
備えた発光表示装置を作製する例を図１３に示す。図１
３（Ａ）は、発光装置を示す上面図であり、そのＡ−
Ａ'線の断面図を図１３（Ｂ）に示す。絶縁表面を有す
る基板３００（例えば、ガラス基板、結晶化ガラス基
板、もしくはプラスチック基板等）に、画素領域３０
２、ソース側駆動回路３０１、及びゲート側駆動回路３
０３を形成する。これらの画素領域における有機化合物
層は上記実施例に従い、本発明のインクジェット方式の
印刷装置を用いて形成する。また、駆動回路について
は、公知のＴＦＴ及び回路技術を適用すれば良い。
【００６４】また、３１８はシール材、３１９はＤＬＣ
膜であり、画素領域および駆動回路部はシール材３１８
で覆われ、そのシール材は保護膜３１９で覆われてい
る。さらに、接着材を用いてカバー材３２０で封止され
ている。熱や外力などによる変形に耐えるためカバー材
３２０は基板３００と同じ材質のもの、例えばガラス基
板を用いることが望ましく、サンドブラスト法などによ
り図１３に示す凹部形状（深さ３〜１０μm）に加工す
る。さらに加工して乾燥剤３２１が設置できる凹部（深
さ５０〜２００μm）を形成することが望ましい。な
お、３０８はソース側駆動回路３０１及びゲート側駆動
回路３０３に入力される信号を伝送するための配線であ
り、外部入力端子となるＦＰＣ（フレキシブルプリント
サーキット）３０９からビデオ信号やクロック信号を受
け取る。
【００６５】次に、断面構造について図１３（Ｂ）を用
いて説明する。基板３００上に絶縁膜３１０が設けら
れ、絶縁膜３１０の上方には画素領域３０２、ゲート側
駆動回路３０３が形成されており、画素領域３０２は電
流制御用ＴＦＴ３１１とそのドレインに電気的に接続さ
れた発光素子の一方の電極３１２を含む複数の画素によ
り形成される。また、ゲート側駆動回路３０３はｎチャ
ネル型ＴＦＴ３１３とｐチャネル型ＴＦＴ３１４とを組
み合わせたＣＭＯＳ回路を用いて形成される。これらの
ＴＦＴ（３１１、３１３、３１４を含む）は、公知の技
術に従い作製すればよい。
【００６６】画素電極３１２は有機発光素子の陽極とし
て機能する。また、画素電極３１２の両端には隔壁３１
５が形成され、発光素子の電極３１２上には有機化合物
層３１６および有機発光素子の陰極３１７が形成され
る。有機化合物層３１６としては、発光層、電荷輸送層
または電荷注入層などを自由に組み合わせて形成すれば
良い。
【００６７】例えば、実施例１で示すように正孔注入層
としてＰＥＤＯＴから成る第１の有機化合物層を形成
し、その上に本発明のインクジェット方式による印刷装
置を用いて第２の有機化合物層を形成することができ
る。この場合、第２の有機化合物層が発光層となる。適
用する有機化合物材料は、高分子系又は中分子系のもの
が可能であり、その具体例は実施例１で示されている。
【００６８】陰極３１７は全画素に共通の配線としても
機能し、接続配線３０８を経由してＦＰＣ３０９に電気
的に接続されている。さらに、画素領域３０２及びゲー
ト側駆動回路３０３に含まれる素子は全て陰極３１７、
シール材３１８、及び保護膜３１９で覆われている。ま
た、シール材３１８を用いて有機発光素子を完全に覆っ
た後、すくなくとも図１３に示すようにダイヤモンドラ
イクカーボン（ＤＬＣ）膜などからなる保護膜３１９を
シール材３１８の表面（露呈面）に設けることが好まし
い。また、基板の裏面を含む全面に保護膜を設けてもよ
い。ここで、外部入力端子（ＦＰＣ）が設けられる部分
に保護膜が成膜されないように注意することが必要であ
る。マスクを用いて保護膜が成膜されないようにしても
よいし、マスキングテープで外部入力端子部分を覆うこ
とで保護膜が成膜されないようにしてもよい。
【００６９】以上のような構造で有機発光素子をシール
材３１８及び保護膜で封入することにより、有機発光素
子を外部から完全に遮断することができ、外部から水分
や酸素等の有機化合物層の酸化による劣化を促す物質が
侵入することを防ぐことができる。従って、信頼性の高
い発光装置を得ることができる。また、画素電極を陰極
とし、有機化合物層と陽極を積層して図１３とは逆方向
に発光する構成としてもよい。
【００７０】[実施例７]本発明を用いてして製造される
発光装置は、自発光型であるため明るい場所での視認性
に優れ、しかも視野角が広い。従って、様々な電子機器
の表示部として用いることができる。例えば、ＴＶ放送
等を大画面で鑑賞するには対角３０インチ以上（典型的
には４０インチ以上）のテレビ受像器又は映像モニター
装置（発光装置を筐体に組み込んだ表示装置）の表示部
として本発明の発光装置を用いるとよい。
【００７１】尚、映像モニター装置には、パソコン用デ
ィスプレイ、ＴＶ放送受信用ディスプレイ、広告表示用
ディスプレイ等の全ての情報表示用ディスプレイが含ま
れる。また、その他にも様々な電子装置の表示部として
本発明の発光装置を用いることができる。
【００７２】その他にも本発明の発光装置をビデオカメ
ラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ（ヘッド
マウントディスプレイ）、ナビゲーションシステム、音
響再生装置（カーオーディオ、オーディオコンポ等）、
ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情
報端末（モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲー
ム機または電子書籍等）、記録媒体を備えた画像再生装
置（具体的にはデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）等の
記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイ
を備えた装置）などが挙げられる。特に、斜め方向から
見ることの多い携帯情報端末は視野角の広さが重要視さ
れるため、発光装置を用いることが望ましい。それら電
子装置の具体例を図１５、図１６に示す。
【００７３】図１５（Ａ）はテレビ受像器又は映像モニ
ター装置であり、筐体２００１、支持台２００２、表示
部２００３等を含む。本発明により作製される発光装置
は表示部２００３に用いることができる。このテレビ受
像器又は映像モニター装置は自発光型であるためバック
ライトが必要なく、液晶ディスプレイよりも薄い表示部
とすることができる。
【００７４】図１５（Ｂ）はビデオカメラであり、本体
２１０１、表示部２１０２、音声入力部２１０３、操作
スイッチ２１０４、バッテリー２１０５、受像部２１０
６等を含む。本発明により作製される発光装置は表示部
２１０２に用いることができる。
【００７５】図１５（Ｃ）は頭部取り付け型の表示装置
の一部（右片側）であり、本体２２０１、信号ケーブル
２２０２、頭部固定バンド２２０３、表示部２２０４、
光学系２２０５、発光装置２２０６等を含む。本発明に
より作製されるは発光装置２２０６に用いることができ
る。
【００７６】図１５（Ｄ）は記録媒体を備えた画像再生
装置（具体的にはＤＶＤ再生装置）であり、本体２３０
１、記録媒体（ＤＶＤ等）２３０２、操作スイッチ２３
０３、表示部（ａ）２３０４、表示部（ｂ）２３０５等
を含む。表示部（ａ）は主として画像情報を表示し、表
示部（ｂ）は主として文字情報を表示するが、本発明に
より作製される発光装置はこれら表示部（ａ）、（ｂ）
に用いることができる。なお、記録媒体を備えた画像再
生装置には家庭用ゲーム機器なども含まれる。
【００７７】図１５（Ｅ）は携帯型（モバイル）コンピ
ュータであり、本体２４０１、カメラ部２４０２、受像
部２４０３、操作スイッチ２４０４、表示部２４０５等
を含む。本発明により作製される発光装置は表示部２４
０５に用いることができる。
【００７８】図１５（Ｆ）はパーソナルコンピュータで
あり、本体２５０１、筐体２５０２、表示部２５０３、
キーボード２５０４等を含む。本発明により作製される
発光装置は表示部２５０３に用いることができる。
【００７９】また、上記電子装置はインターネットやＣ
ＡＴＶ（ケーブルテレビ）などの電子通信回線を通じて
配信された情報を表示することが多くなり、特に動画情
報を表示する機会が増してきている。有機発光素子の応
答速度は非常に高いため、発光装置は動画表示に好まし
いが、画素間の輪郭がぼやけてしまっては動画全体もぼ
けてしまう。従って、画素間の輪郭を明瞭にするという
本発明により作製される発光装置を電子装置の表示部と
して用いることは極めて有効である。
【００８０】また、発光装置は発光している部分が電力
を消費するため、発光部分が極力少なくなるように情報
を表示することが望ましい。従って、携帯情報端末、特
に携帯電話や音響再生装置のような文字情報を主とする
表示部に発光装置を用いる場合には、非発光部分を背景
として文字情報を発光部分で形成するように駆動するこ
とが望ましい。
【００８１】図１６（Ａ）は携帯電話であり、本体２６
０１、音声出力部２６０２、音声入力部２６０３、表示
部２６０４、操作スイッチ２６０５、アンテナ２６０６
を含む。本発明により作製される発光装置は表示部２６
０４に用いることができる。なお、表示部２６０４は黒
色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消費
電力を抑えることができる。
【００８２】また、図１６（Ｂ）は音響再生装置、具体
的にはカーオーディオであり、本体２７０１、表示部２
７０２、操作スイッチ２７０３、２７０４を含む。本発
明により作製される発光装置は表示部２７０２に用いる
ことができる。また、本実施例では車載用オーディオを
示すが、携帯型や家庭用の音響再生装置に用いても良
い。なお、表示部２７０４は黒色の背景に白色の文字を
表示することで消費電力を抑えられる。これは携帯型の
音響再生装置において特に有効である。
【００８３】以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広
く、あらゆる分野の電子装置に用いることが可能であ
る。
【００８４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の印刷装置
は、第１及び第２圧電素子をインクヘッドに組み入れ、
変位を与えるタイミングを同期させることにより、混合
物を連続的に吐出したり、その吐出を瞬時に止めること
ができる。それにより、有機化合物層を印刷する際の位
置制御の時間が短縮され、印刷速度を向上させることが
できる。
【００８５】このような印刷装置を発光装置を作製に適
用することにより、有機化合物層の形成に必要な処理時
間を短縮することができる。特に、１枚の大面積基板か
ら複数枚の表示用パネルを切り出す生産方式に適用する
場合に適している。大面積基板に複数の画素領域が設け
られている場合には、画素領域間の移動の間、混合物の
吐出を瞬時に停止させることで、インクヘッドを大面積
基板に対してより高速に移動させることができる。第２
圧電素子は混合物の吐出を瞬時に止めるために設けるも
のであり、この手段を設けることにより、印刷の高速化
を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のインクヘッドの構成を説明する断面
図。
【図２】 本発明のインクヘッドの構成を説明する断面
図。
【図３】 本発明のインクヘッドの構成とその動作を説
明する断面図。
【図４】 圧電素子の動作タイミングを説明する図。
【図５】 本発明のインクジェット方式の印刷装置の構
成を説明する図。
【図６】 画素領域を有する基板に有機化合物層の印刷
工程を説明する図。
【図７】 画素領域を有する基板に有機化合物層の印刷
工程を説明する図。
【図８】 複数の画素領域を有する基板に対して有機化
合物層の印刷工程を説明する図。
【図９】 発光装置を形成する製造装置の一例を示す
図。
【図１０】 発光装置を形成する製造装置の一例を示す
図。
【図１１】 有機発光素子の画素の構成を説明する上面
図。
【図１２】 有機発光素子の画素の構成を説明する断面
図。
【図１３】 発光装置の構成を示す上面図及び断面図。
【図１４】 有機発光素子の画素領域に有機化合物層を
形成する形態を示す上面図。
【図１５】 本発明を用いて作製される発光装置を用い
て完成する電子装置の一例を示す図。
【図１６】 本発明を用いて作製される発光装置を用い
て完成する電子装置の一例を示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｊ 2/055 Ｇ０９Ｆ 9/30 ３６５Ｚ ４Ｆ０４２ Ｃ０９Ｋ 11/06 ６８０ Ｈ０５Ｂ 33/04 ５Ｃ０９４ Ｇ０９Ｆ 9/00 ３４２ 33/10 ５Ｇ４３５ 9/30 ３６５ 33/12 Ｂ Ｈ０５Ｂ 33/04 33/14 Ｂ 33/10 33/22 Ｚ 33/12 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ａ 33/14 １０１Ｚ 33/22 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FA04 FB01 HA05 2C057 AF99 AJ01 AR18 BA04 BA14 3K007 AB04 AB18 BA06 BB01 BB02 BB05 BB07 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 4D075 AC08 AC09 AC60 AC73 AC84 AC88 CB08 CB11 CB38 DA06 DB13 DB31 DC24 EA07 EA10 EB31 EB47 EC07 EC11 4F041 AA02 AA05 AB02 BA10 BA13 BA22 BA34 BA38 BA54 BA57 4F042 AA02 AA10 BA01 DD02 DD32 DD38 5C094 AA08 AA43 AA44 AA46 AA48 BA03 BA12 BA27 CA19 CA24 CA25 DA09 DA13 DB01 DB04 EA04 EA05 EB02 FA01 FB01 FB20 GB10 5G435 AA04 AA17 BB05 CC09 CC12 EE37 KK05 KK10 LL04 LL06 LL07 LL14

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】第１圧電素子が装着された第１弾性板と、
    第２圧電素子が装着された第２弾性板とを有し、前記第
    １の弾性板により一方の面が封止された圧力発生室と、
    前記圧力発生室に連接し、一方の面が前記第２弾性板に
    より封止された供給経路とから成るインクヘッドと、気
    体の噴出により前記インクヘッドから吐出した混合物を
    平坦化する手段とが備えられ、前記第１圧電素子の振動
    周波数は、前記第２圧電素子の振動周波数よりも高い周
    波数で動作して、前記混合物を連続的に吐出する機能が
    備えられていることを特徴とする印刷装置。
  2. 【請求項２】第１圧電素子が装着された第１弾性板と、
    第２圧電素子が装着された第２弾性板とを有し、前記第
    １の弾性板により一方の面が封止された圧力発生室と、
    前記圧力発生室に連接し、一方の面が前記第２弾性板に
    より封止された供給経路とから成るインクヘッドと、気
    体の噴出により前記インクヘッドから吐出した混合物を
    平坦化する手段とが備えられ、前記第１圧電素子が装着
    された第１弾性板により混合物を連続的に吐出し、前記
    第２圧電素子が装着された第２弾性板により混合物の吐
    出を止める機能が備えられていることを特徴とする印刷
    装置。
  3. 【請求項３】第１圧電素子が装着された第１弾性板と、
    第２圧電素子が装着された第２弾性板とを有し、前記第
    １の弾性板により一方の面が封止された圧力発生室と、
    前記圧力発生室に連接し、一方の面が前記第２弾性板に
    より封止された供給経路とから成るインクヘッドと、気
    体の噴出により前記インクヘッドから吐出した混合物を
    平坦化する手段とが備えられ、前記第１圧電素子によ
    り、連続的に前記混合物を滴下して、前記第２圧電素子
    により、前記混合物の滴下を停止させる手段が備えられ
    ていることを特徴とする印刷装置。
  4. 【請求項４】請求項１乃至請求項３のいずれか一におい
    て、前記混合物として、有機発光材料又はその前駆体を
    液体に溶解又は分散させたものを用いていることを特徴
    とする発光装置。
  5. 【請求項５】インクジェット方式により有機化合物層を
    形成する発光装置の作製方法において、インクヘッドか
    ら、第１の圧電素子の振動により、連続的に混合物を滴
    下して画素領域にストライプ状の有機化合物層を形成す
    る第１の段階と、前記第１の圧電素子の振動を停止さ
    せ、第２の圧電素子により前記混合物の滴下を瞬時に停
    止する第２の段階とを有することを特徴とする発光装置
    の作製方法。
  6. 【請求項６】インクジェット方式により有機化合物層を
    形成する発光装置の作製方法において、インクヘッドか
    ら、第１の圧電素子の振動により、連続的に混合物を滴
    下して、混合物を塗布し、その塗布面に気体を吹き付け
    て平坦化しながら、画素領域にストライプ状の有機化合
    物層を形成する第１の段階と、前記第１の圧電素子の振
    動を停止させ、第２の圧電素子により前記混合物の滴下
    を瞬時に停止する第２の段階とを有することを特徴とす
    る発光装置の作製方法。
  7. 【請求項７】インクジェット方式により第１乃至第ｎ
    （ｎ＞1）の画素領域が区画された基板上に有機化合物
    層を形成する発光装置の作製方法において、インクヘッ
    ドから、第１の圧電素子の振動により、連続的に混合物
    を滴下して第ｎの画素領域にストライプ状の有機化合物
    層を形成する第１の段階と、前記第１の圧電素子の振動
    を停止させ、第ｎ＋１の圧電素子により前記混合物の滴
    下を瞬時に停止して、第２の画素領域へ前記インクヘッ
    ドを移動させる第２の段階とを有することを特徴とする
    発光装置の作製方法。
  8. 【請求項８】インクジェット方式により第１乃至第ｎ
    （ｎ＞1）の画素領域が区画された基板上に有機化合物
    層を形成する発光装置の作製方法において、インクヘッ
    ドから、第１の圧電素子の振動により、連続的に混合物
    を滴下して、混合物を塗布し、その塗布面に気体を吹き
    付けて平坦化しながら、第ｎの画素領域にストライプ状
    の有機化合物層を形成する第１の段階と、前記第１の圧
    電素子の振動を停止させ、第ｎ＋１の圧電素子により前
    記混合物の滴下を瞬時に停止して、第２の画素領域へ前
    記インクヘッドを移動させる第２の段階とを有すること
    を特徴とする発光装置の作製方法。
  9. 【請求項９】塗布法により第１の有機化合物層を形成
    し、インクジェット方式により前記第１の有機化合物層
    上に第２の有機化合物を形成する工程を有し、前記第２
    の有機化合物層の形成は、インクヘッドから、第１の圧
    電素子の振動により、連続的に混合物を滴下して画素領
    域にストライプ状の有機化合物層を形成する第１の段階
    と、前記第１の圧電素子の振動を停止させ、第２の圧電
    素子により前記混合物の滴下を瞬時に停止する第２の段
    階とを有することを特徴とする発光装置の作製方法。
  10. 【請求項１０】塗布法により第１の有機化合物層を形成
    し、インクジェット方式により前記第１の有機化合物層
    上に第２の有機化合物を形成する工程を有し、前記第２
    の有機化合物層の形成は、インクヘッドから、第１の圧
    電素子の振動により、連続的に混合物を滴下して、混合
    物を塗布し、その塗布面に気体を吹き付けて平坦化しな
    がら、画素領域にストライプ状の有機化合物層を形成す
    る第１の段階と、前記第１の圧電素子の振動を停止さ
    せ、第２の圧電素子により前記混合物の滴下を瞬時に停
    止する第２の段階とを有することを特徴とする発光装置
    の作製方法。
  11. 【請求項１１】第１乃至第ｎ（ｎ＞1）の画素領域が区
    画された基板上に有機化合物層を形成する発光装置の作
    製方法において、塗布法により第１の有機化合物層を形
    成し、インクジェット方式により前記第１の有機化合物
    層上に第２の有機化合物を形成する工程を有し、前記第
    ２の有機化合物層の形成は、インクヘッドから、第１の
    圧電素子の振動により、連続的に混合物を滴下して第ｎ
    の画素領域にストライプ状の有機化合物層を形成する第
    １の段階と、前記第１の圧電素子の振動を停止させ、第
    ｎ＋１の圧電素子により前記混合物の滴下を瞬時に停止
    して、第２の画素領域へ前記インクヘッドを移動させる
    第２の段階とを有することを特徴とする発光装置の作製
    方法。
  12. 【請求項１２】第１乃至第ｎ（ｎ＞1）の画素領域が区
    画された基板上に有機化合物層を形成する発光装置の作
    製方法において、塗布法により第１の有機化合物層を形
    成し、インクジェット方式により前記第１の有機化合物
    層上に第２の有機化合物を形成する工程を有し、前記第
    ２の有機化合物層の形成は、インクヘッドから、第１の
    圧電素子の振動により、連続的に混合物を滴下して、混
    合物を塗布し、その塗布面に気体を吹き付けて平坦化し
    ながら、第ｎの画素領域にストライプ状の有機化合物層
    を形成する第１の段階と、前記第１の圧電素子の振動を
    停止させ、第ｎ＋１の圧電素子により前記混合物の滴下
    を瞬時に停止して、第２の画素領域へ前記インクヘッド
    を移動させる第２の段階とを有することを特徴とする発
    光装置の作製方法。
  13. 【請求項１３】請求項１１又は請求項１２において、前
    記第１の有機化合物層をポリエチレンジオキシチオフェ
    ンで形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
  14. 【請求項１４】請求項５乃至請求項８のいずれか一にお
    いて、前記混合物は、有機発光材料又はその前駆体を液
    体に溶解又は分散させたものであることを特徴とする発
    光装置の作製方法。
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