JP2009164236A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents
表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009164236A JP2009164236A JP2007340226A JP2007340226A JP2009164236A JP 2009164236 A JP2009164236 A JP 2009164236A JP 2007340226 A JP2007340226 A JP 2007340226A JP 2007340226 A JP2007340226 A JP 2007340226A JP 2009164236 A JP2009164236 A JP 2009164236A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- layer
- light
- electrode
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 358
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 85
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 85
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 57
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 43
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 39
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 11
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 21
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 175
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 62
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 58
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 42
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 36
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 19
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 16
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 11
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 6
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 6
- -1 aluminum-neodymium-titanium Chemical compound 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 3
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- ATFCOADKYSRZES-UHFFFAOYSA-N indium;oxotungsten Chemical compound [In].[W]=O ATFCOADKYSRZES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N prehnitene Chemical compound CC1=CC=C(C)C(C)=C1C UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XZLXGTUBUCMRCH-UHFFFAOYSA-N tungsten zinc Chemical compound [Zn].[W] XZLXGTUBUCMRCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
- G09G2300/08—Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
- G09G2300/0809—Several active elements per pixel in active matrix panels
- G09G2300/0842—Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
- G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
- G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
- G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
- G09G3/3225—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
- G09G3/3233—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix with pixel circuitry controlling the current through the light-emitting element
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
- G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
- G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
- G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
- G09G3/3275—Details of drivers for data electrodes
- G09G3/3291—Details of drivers for data electrodes in which the data driver supplies a variable data voltage for setting the current through, or the voltage across, the light-emitting elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/40—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
- H10K71/441—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour in the presence of solvent vapors, e.g. solvent vapour annealing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/111—Organic polymers or oligomers comprising aromatic, heteroaromatic, or aryl chains, e.g. polyaniline, polyphenylene or polyphenylene vinylene
- H10K85/113—Heteroaromatic compounds comprising sulfur or selene, e.g. polythiophene
- H10K85/1135—Polyethylene dioxythiophene [PEDOT]; Derivatives thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係る表示パネルは、有機EL層(発光機能層)18として、少なくとも正孔輸送層18aと電子輸送性発光層18bを有する素子構造からなる有機EL素子OLEDにおいて、画素電極15上に形成される正孔輸送層18aの膜厚を、R、G、Bの各色画素PXr、PXg、PXbごとに、異なる特定の膜厚になるように適宜調整することにより、CIE色度図上で赤色光、緑色光及び青色光の最適な発光色度を設定する。
【選択図】図20
Description
請求項3記載の発明は、請求項1記載の表示装置において、前記発光機能層は、電子ブロッキング性を有する介在層を有し、該介在層の膜厚が、前記各発光色に応じて異なる値を有していることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項1又は2に記載の表示装置において、前記発光機能層は、前記各発光色に応じて異なる色の発光層を有し、前記発光色ごとに前記担体輸送層の膜厚が異なるように形成されていることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項1又は2に記載の表示装置において、前記発光機能層は、前記各発光色に応じて同一色の発光層を有し、前記発光色ごとに前記担体輸送層の膜厚が異なるように形成されていることを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至5のいずれかに記載の表示装置において、前記発光素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする。
請求項7記載の発明は、請求項6記載の表示装置において、前記発光素子に設けられる前記発光機能層は、高分子系の有機材料からなることを特徴とする。
請求項10記載の発明は、請求項8又は9記載の表示装置の製造方法において、前記担体輸送層は、正孔輸送性又は電子輸送性の層であり、前記発光機能層を形成する工程は、前記担体輸送層の膜厚を、前記各発光色に応じて異なる値に形成する工程を含むことを特徴とする。
請求項11記載の発明は、請求項8又は9記載の表示装置の製造方法において、前記発光機能層は、電子ブロッキング性を有する介在層を有し、前記発光機能層を形成する工程は、前記介在層の膜厚を、前記各発光色に応じて異なる値に形成する工程を含むことを特徴とする。
請求項12記載の発明は、請求項8乃至11のいずれかに記載の表示装置の製造方法において、前記発光機能層を形成する工程は、第1の発光色の発光素子を有する前記表示画素が配列される第1の列群の各列に対して、該第1の発光色に対応した前記発光材料溶液を塗布する前記塗布工程が終了した後に、前記第1の発光色と異なる第2の発光色の発光素子を有する前記表示画素が配列される、前記第1の列群と異なる第2の列群の各列に対して、該第2の発光色に対応した前記発光材料溶液を塗布する前記塗布工程を実行する工程を、前記複数の発光色の全てに対して繰り返して実行することを特徴とする。
請求項13記載の発明は、請求項8乃至12のいずれか記載の表示装置の製造方法において、前記発光機能層を形成する工程は、前記各列の前記発光素子が形成される領域に対して塗布する前記発光材料溶液の流量を前記各発光色に応じて異なる値に制御することにより、前記各発光色に応じて前記発光機能層の膜厚を異なる値に設定することを特徴とする。
請求項14記載の発明は、請求項8乃至12のいずれかに記載の表示装置の製造方法において、前記発光機能層を形成する工程は、前記各列の前記発光素子が形成される領域に対して前記発光材料溶液を塗布する際の塗布速度を前記各発光色に応じて異なる値に制御することにより、前記各発光色に応じて前記発光機能層の膜厚を異なる値に設定することを特徴とする。
請求項15記載の発明は、請求項8乃至12のいずれかに記載の表示装置の製造方法において、前記発光機能層を形成する工程は、前記各列の前記発光素子が形成される領域に対して前記発光材料溶液を塗布する際の塗布回数を前記各発光色に応じて異なる値に制御することにより、前記各発光色に応じて前記発光機能層の膜厚を異なる値に設定することを特徴とする。
<表示パネル>
まず、本発明に係る表示装置に適用される表示パネル(有機EL表示パネル)及び表示画素について説明する。
次に、上述したような回路構成を有する表示画素(画素駆動回路及び有機EL素子)の具体的なデバイス構造(平面レイアウト及び断面構造)について説明する。ここでは、トップエミッション型の発光構造を有する有機EL素子を適用した場合のデバイス構造について説明する。
そして、上記画素駆動回路DC、有機EL素子OLED及びバンク17が形成された絶縁性基板11の一面側全域には、例えば図4、図5に示すように、保護絶縁膜(パッシベーション膜)としての機能を有する封止層20が被覆形成されている。さらには、絶縁性基板11に対向するように図示を省略したガラス基板等からなる封止基板が接合されているものであってもよい。
次に、本実施形態に係る表示パネルの製造方法について説明する。
図6乃至図10は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)の製造方法の一例を示す工程断面図である。ここでは、図4、図5(a)に示したIVA−IVA線及びVB−VB線に沿った表示パネルの断面構造のうち、各一部分(トランジスタTr12、キャパシタCs、有機EL素子OLED、選択ラインLs、電源電圧ラインLv等)を便宜的に抜き出した構造を示して、上述した表示パネルの製造方法の概略を説明する。
この画素電極15の形成工程においては、各EL素子形成領域Relに形成される反射層15aが、透明電極層15bとなる導電性酸化金属層により上面及び側面が完全に被覆されて露出しないようにした状態で、当該導電性酸化金属層をエッチングすることにより透明電極層15bのパターニングが行われるので、導電性酸化金属層(ITO等)と反射層15aとの間の電池反応の発生を防止することができるとともに、反射層15aがオーバーエッチングされたり、エッチングダメージを受けたりすることを防止することができる。
次に、上述した表示パネルの製造方法において、有機EL層18(正孔輸送層18a及び電子輸送性発光層18b)の成膜プロセスについてさらに詳しく説明する。
図11、図12は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)の製造方法における正孔輸送層の成膜プロセスを説明するための概念図である。また、図13、図14は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)の製造方法における電子輸送性発光層の成膜プロセスを説明するための概念図である。ここでは、図示を明確にするために、インク塗布処理が実行された各ライン(列)について便宜的にハッチングを施して示した。
ここで、上述した成膜プロセスによる作用効果について実験結果を示して詳しく説明する。
図15は、本実施形態に係る表示装置の製造方法(有機EL層の成膜プロセス)における作用効果の検証結果を示す概略図である。ここで、図15(a)は、パネル基板へのインク塗布方法を示す概略平面図であり、図15(b)は、図15(a)に示した平面図におけるXVB−XVB線及びXVC−XVC線(本明細書においては図15中に示したローマ数字の「15」に対応する記号として便宜的に「XV」を用いる)に沿った断面を示す概略断面形状図である。また、図15(a)においては、図示を明確にするために、有機化合物含有液の塗布処理が実行されるラインについてハッチングを施して示した。
特に、このような製造方法を適用することにより、高分子系の有機化合物含有液を塗布して有機EL層18を形成した有機EL素子OLEDを有する表示装置(表示パネル)において、RGBの各色ごとに異なる膜厚を有する正孔輸送層18aを、均一な膜厚で、かつ、良好な平坦性を有するように形成することができる。
次に、上述した製造方法を用いて製造された表示装置(表示パネル)の作用効果について実験結果を示して検証する。
図16は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)に形成される有機EL素子の素子構造の一例(実験モデル)を示す模式図、及び、干渉効果を説明するための概略図である。ここでは、実験モデルとして青色光を発光する有機EL素子の素子構造を示す。図17、図18は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)に形成される青色光を発光する有機EL素子における、正孔輸送層の膜厚と色度との関係を示す色度図である。ここでは、正孔輸送層の膜厚を変化させたときの色度について、図16(a)に示す素子構造を有する有機EL素子を実際に作製して観測した結果(観測結果;図中黒丸で表記)と、当該素子構造に係る各種パラメータに基づくシミュレーション実験の結果(シミュレーション結果;図中白丸で表記)との双方を示す。また、図19は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)に形成される緑色光及び赤色光を発光する有機EL素子における、正孔輸送層の膜厚と色度との関係を示す色度図であり、図20は、本実施形態に係る表示装置(表示パネル)に形成される有機EL素子における、正孔輸送層の膜厚と発光色度との関係を示す色度図である。ここでは、正孔輸送層の膜厚を変化させたときの色度について、図16(a)に示す有機EL素子の素子構造に係る各種パラメータに基づくシミュレーション実験の結果(シミュレーション結果)を示す。
まず、図示を省略した絶縁性の基板(絶縁性基板11)上にシリコン窒化膜からなる平坦化膜14を形成し、その上面にアルミニウム(Al)の薄膜を形成した後、当該アルミニウム薄膜の表面を酸素(O2)プラズマ洗浄し、その上に銀(Ag)を100nmの膜厚で真空蒸着する。これにより表面が銀による金属光沢(すなわち光反射特性)を有する反射層15aが形成される。
次いで、上記透明電極層15bの表面をUVオゾン洗浄を施して親液化した後、スピンコート法によりPEDOT/PSSを塗布し、乾燥させて、各色ごとに異なる膜厚を有する正孔輸送層18aを成膜する。
次いで、スピンコート法により濃度1.0wt%のキシレン溶液をインターレイヤ層18c上に滴下し、回転数800rpmで5sec、さらに回転数2000rpmで20secの成膜条件で、膜厚70nmの青色発光層(又は電子輸送性発光層)18bを成膜する。
そして、パッシベーション膜として対向ターゲットスパッタ法により窒化シリコンを600nmの膜厚で成膜して封止層20を形成する。
International de l'Eclairage;国際照明委員会)xy色度座標は、CIE(0.207,0.380)であり、シミュレーション結果におけるCIExy色度座標は、CIE(0.163,0.392)であった。また、正孔輸送層18aの膜厚を50nmに設定した場合には、図17(b)に示すように、観測結果におけるCIExy色度座標は、CIE(0.230,0.452)であり、シミュレーション結果におけるCIExy色度座標は、CIE(0.186,0.474)であった。すなわち、正孔輸送層18aの膜厚を25nm、50nmに設定したいずれの場合においても、発光色度は青(B)色の色度領域から大きくはずれており、良好な青色発光が行われないことが判明した。
11 絶縁性基板
12 ゲート絶縁膜
13 保護絶縁膜
14 平坦化膜
15 画素電極
16 層間絶縁膜
17 バンク
18 有機EL層
18a 正孔輸送層
18b 電子輸送性発光層
19 対向電極
DC 画素駆動回路
OLED 有機EL素子
Ls 選択ライン
Lv 電源電圧ライン
Claims (15)
- 複数の表示画素を基板上に2次元配列し、複数の発光色を発光してカラー表示を行う表示装置において、
前記各表示画素は、前記複数の発光色のいずれかの発光色の発光素子を有し、
前記発光素子は、少なくとも、第1の電極と、前記第1の電極に対向して設けられた第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた発光機能層と、を具備し、
前記発光機能層は前記複数の発光色の各々に応じて異なる膜厚を有し、該発光機能層内の発光点と前記第1の電極又は前記第2の電極との間に、担体輸送層を有していることを特徴とする表示装置。 - 前記担体輸送層は、正孔輸送性又は電子輸送性の層であり、該担体輸送層の膜厚が、前記各発光色に応じて異なる値を有していることを特徴とする請求項1記載の表示装置。
- 前記発光機能層は、電子ブロッキング性を有する介在層を有し、該介在層の膜厚が、前記各発光色に応じて異なる値を有していることを特徴とする請求項1記載の表示装置。
- 前記発光機能層は、前記各発光色に応じて異なる色の発光層を有し、前記発光色ごとに前記担体輸送層の膜厚が異なるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示装置。
- 前記発光機能層は、前記各発光色に応じて同一色の発光層を有し、前記発光色ごとに前記担体輸送層の膜厚が異なるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示装置。
- 前記発光素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の表示装置。
- 前記発光素子に設けられる前記発光機能層は、高分子系の有機材料からなることを特徴とする請求項6記載の表示装置。
- 表示パネルの基板上に設けられた互いに直交する複数の行及び複数の列に沿って複数の表示画素が配列され、複数の発光色を発光してカラー表示を行う表示装置の製造方法であって、
前記列毎に異なる発光色の前記発光素子を有する前記各表示画素が配列され、同じ発光色の発光素子を有する前記表示画素が、前記基板上の前記複数の列における、1又は複数の列を隔てて離間した列群の各列に、列方向に沿って配列され、
前記発光素子は、少なくとも、第1の電極と、前記第1の電極に対向して設けられた第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられた担体輸送層を有する発光機能層と、を具備し、
前記表示パネルの前記同じ発光色の発光素子に対応する前記列群の前記発光素子が形成される領域に対して、当該発光色に対応した膜厚の前記発光機能層を形成する発光材料溶液を塗布する塗布工程を、前記各発光色の発光素子に対応する前記各列群に対して順次実行し、前記各発光色の発光素子に応じて異なる膜厚を有する前記発光機能層を形成する工程を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記各発光色の発光素子を有する前記各表示画素は、前記基板上の行方向に沿って一定の周期で配列され、前記同じ発光色の発光素子を有する前記各表示画素は、前記複数の列における一定の数の列を隔てた列群の各列に配列され、
前記塗布工程は、前記同じ発光色の発光素子に対応する前記列群の各列に、前記発光材料溶液を順次塗布することを特徴とする請求項8記載の表示装置の製造方法。 - 前記担体輸送層は、正孔輸送性又は電子輸送性の層であり、前記発光機能層を形成する工程は、前記担体輸送層の膜厚を、前記各発光色に応じて異なる値に形成する工程を含むことを特徴とする請求項8又は9記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光機能層は、電子ブロッキング性を有する介在層を有し、前記発光機能層を形成する工程は、前記介在層の膜厚を、前記各発光色に応じて異なる値に形成する工程を含むことを特徴とする請求項8又は9記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光機能層を形成する工程は、第1の発光色の発光素子を有する前記表示画素が配列される第1の列群の各列に対して、該第1の発光色に対応した前記発光材料溶液を塗布する前記塗布工程が終了した後に、前記第1の発光色と異なる第2の発光色の発光素子を有する前記表示画素が配列される、前記第1の列群と異なる第2の列群の各列に対して、該第2の発光色に対応した前記発光材料溶液を塗布する前記塗布工程を実行する工程を、前記複数の発光色の全てに対して繰り返して実行することを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光機能層を形成する工程は、前記各列の前記発光素子が形成される領域に対して塗布する前記発光材料溶液の流量を前記各発光色に応じて異なる値に制御することにより、前記各発光色に応じて前記発光機能層の膜厚を異なる値に設定することを特徴とする請求項8乃至12のいずれか記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光機能層を形成する工程は、前記各列の前記発光素子が形成される領域に対して前記発光材料溶液を塗布する際の塗布速度を前記各発光色に応じて異なる値に制御することにより、前記各発光色に応じて前記発光機能層の膜厚を異なる値に設定することを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光機能層を形成する工程は、前記各列の前記発光素子が形成される領域に対して前記発光材料溶液を塗布する際の塗布回数を前記各発光色に応じて異なる値に制御することにより、前記各発光色に応じて前記発光機能層の膜厚を異なる値に設定することを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007340226A JP4725577B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 表示装置の製造方法 |
US12/343,966 US20090170230A1 (en) | 2007-12-28 | 2008-12-24 | Manufacturing method of display apparatus and manufacturing apparatus |
KR1020080132896A KR100993498B1 (ko) | 2007-12-28 | 2008-12-24 | 표시장치의 제조방법 및 제조장치 |
TW097150563A TW200932038A (en) | 2007-12-28 | 2008-12-25 | Manufacturing method of display apparatus and manufacturing apparatus |
CN2008101902233A CN101471292B (zh) | 2007-12-28 | 2008-12-26 | 显示装置的制造方法及制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007340226A JP4725577B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009164236A true JP2009164236A (ja) | 2009-07-23 |
JP4725577B2 JP4725577B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=40798949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007340226A Active JP4725577B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 表示装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090170230A1 (ja) |
JP (1) | JP4725577B2 (ja) |
KR (1) | KR100993498B1 (ja) |
CN (1) | CN101471292B (ja) |
TW (1) | TW200932038A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011065288A1 (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-03 | 住友化学株式会社 | 発光装置の製造方法 |
WO2011093115A1 (ja) | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 住友化学株式会社 | 発光装置 |
WO2011118654A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | 住友化学株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP2011210408A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 発光装置の製造方法 |
JP2015135438A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 発光素子表示装置 |
JP2018032020A (ja) * | 2016-08-17 | 2018-03-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、電子機器、および携帯情報端末 |
JP2019025797A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 京セラ株式会社 | 発光装置 |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW468283B (en) | 1999-10-12 | 2001-12-11 | Semiconductor Energy Lab | EL display device and a method of manufacturing the same |
KR101097311B1 (ko) * | 2009-06-24 | 2011-12-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 이를 제조하기 위한 유기막 증착 장치 |
JP5677785B2 (ja) | 2009-08-27 | 2015-02-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
JP5575133B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2014-08-20 | 株式会社カネカ | 集積化有機発光装置、有機発光装置の製造方法および有機発光装置 |
US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
KR101084184B1 (ko) | 2010-01-11 | 2011-11-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 |
KR101193186B1 (ko) | 2010-02-01 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101156441B1 (ko) | 2010-03-11 | 2012-06-18 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 |
US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
KR101223723B1 (ko) | 2010-07-07 | 2013-01-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101743789B1 (ko) * | 2010-10-15 | 2017-06-05 | 가부시키가이샤 제이올레드 | 유기 발광 패널과 그 제조 방법, 및 유기 표시 장치 |
KR101738531B1 (ko) | 2010-10-22 | 2017-05-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20120045865A (ko) | 2010-11-01 | 2012-05-09 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기층 증착 장치 |
KR20120065789A (ko) | 2010-12-13 | 2012-06-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기층 증착 장치 |
US8510170B2 (en) * | 2010-12-22 | 2013-08-13 | Toshiba Global Commerce Solutions Holdings Corporation | Powering a point of sale printer and coupon printer from a shared power supply |
US8552440B2 (en) * | 2010-12-24 | 2013-10-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device |
KR101760897B1 (ko) | 2011-01-12 | 2017-07-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원 및 이를 구비하는 유기막 증착 장치 |
KR101784994B1 (ko) * | 2011-03-31 | 2017-10-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR101840654B1 (ko) | 2011-05-25 | 2018-03-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR101857249B1 (ko) | 2011-05-27 | 2018-05-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시장치제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR101826068B1 (ko) | 2011-07-04 | 2018-02-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 |
JP5529835B2 (ja) * | 2011-11-22 | 2014-06-25 | 富士フイルム株式会社 | 導電性パターン形成方法及び導電性パターン形成システム |
KR101851679B1 (ko) * | 2011-12-19 | 2018-04-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치와, 이의 제조 방법 |
US9884318B2 (en) * | 2012-02-10 | 2018-02-06 | Adam Perry Tow | Multi-axis, multi-purpose robotics automation and quality adaptive additive manufacturing |
KR101959974B1 (ko) * | 2012-07-10 | 2019-07-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20140088810A (ko) * | 2013-01-03 | 2014-07-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
GB2515503A (en) * | 2013-06-25 | 2014-12-31 | Cambridge Display Tech Ltd | Organic light emitting diode fabrication |
JP2016040764A (ja) * | 2014-08-11 | 2016-03-24 | キヤノン株式会社 | 発光装置及び画像形成装置 |
JP6521610B2 (ja) * | 2014-11-10 | 2019-05-29 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 画像表示装置 |
TWI596816B (zh) * | 2015-03-10 | 2017-08-21 | 財團法人工業技術研究院 | 發光元件 |
CN104678617A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-06-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种测试装置及其制作方法、显示装置 |
KR102305920B1 (ko) * | 2015-04-30 | 2021-09-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
CN105140420A (zh) * | 2015-07-07 | 2015-12-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种oled显示面板及其封装方法 |
GB2546002B (en) * | 2015-12-30 | 2019-10-30 | Lg Display Co Ltd | Organic light emitting diode display device |
KR20170080459A (ko) * | 2015-12-30 | 2017-07-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광다이오드표시장치 |
US11211582B2 (en) * | 2016-01-15 | 2021-12-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus with protection layer surrounding the pixel electrode |
TWI573493B (zh) | 2016-02-19 | 2017-03-01 | 財團法人工業技術研究院 | 發光元件 |
KR102551789B1 (ko) * | 2016-06-15 | 2023-07-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
KR102632616B1 (ko) * | 2016-06-27 | 2024-02-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
KR102595916B1 (ko) * | 2018-03-09 | 2023-10-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
CN111902957B (zh) * | 2018-03-29 | 2023-08-29 | 夏普株式会社 | 发光元件及发光器件 |
CN109860405B (zh) * | 2019-01-23 | 2021-07-02 | 太原理工大学 | 基于界面互补色激基发射的白光有机发光二极管 |
US11980046B2 (en) * | 2020-05-27 | 2024-05-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for forming an isolation structure having multiple thicknesses to mitigate damage to a display device |
CN112599572B (zh) * | 2020-12-09 | 2022-12-06 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Oled器件及其制造方法 |
CN113053307B (zh) * | 2021-03-12 | 2022-08-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其控制方法、可穿戴显示设备 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0945477A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Canon Inc | 発光素子及びその製造方法 |
JP2002370352A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-24 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 印刷装置及び発光装置の作製方法 |
JP2003142277A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Tohoku Pioneer Corp | 有機elカラーディスプレイ及びその製造方法 |
JP2005209421A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Sony Corp | 表示装置の製造方法および表示装置 |
JP2005317255A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Seiko Epson Corp | 電界発光素子及び表示素子 |
WO2006009612A1 (en) * | 2004-06-16 | 2006-01-26 | Eastman Kodak Company | Array of light-emitting oled microcavity pixels |
JP2006253015A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンスカラー発光装置 |
JP2006269327A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | 発光装置 |
JP2007026684A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 |
JP2007027042A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 有機el表示装置 |
JP2007294421A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Canon Inc | 多色有機発光装置 |
JP2007305505A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Casio Comput Co Ltd | 表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法 |
JP2008091323A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-04-17 | Canon Inc | 有機発光装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69726771T2 (de) * | 1996-09-18 | 2004-12-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Herstellungsverfahren einer Plasmaanzeigetafel geeignet für winzige Zellstrukturen, Plasmaanzeigetafel, und Vorrichtung zum Anzeigen der Plasmaanzeigetafel |
JP3899566B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2007-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el表示装置の製造方法 |
DE69735666T2 (de) * | 1996-12-17 | 2007-01-25 | Toray Industries, Inc. | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von plasmaanzeige |
US6220912B1 (en) * | 1997-05-09 | 2001-04-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for producing electron source using dispenser to produce electron emitting portions |
US6394578B1 (en) * | 1998-09-02 | 2002-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, liquid crystal display device using the color filter produced by the production process, and ink-jet head |
JP2001130023A (ja) | 1999-08-25 | 2001-05-15 | Canon Inc | インクジェット記録装置および該装置におけるインク検出方法 |
TW468283B (en) * | 1999-10-12 | 2001-12-11 | Semiconductor Energy Lab | EL display device and a method of manufacturing the same |
TW495808B (en) * | 2000-02-04 | 2002-07-21 | Semiconductor Energy Lab | Thin film formation apparatus and method of manufacturing self-light-emitting device using thin film formation apparatus |
TWI264963B (en) * | 2001-03-29 | 2006-10-21 | Hitachi Ltd | Organic EL display and production device of color filter |
JP2007229958A (ja) | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Sharp Corp | 液滴吐出装置およびその制御方法 |
JP5028402B2 (ja) * | 2008-03-12 | 2012-09-19 | カシオ計算機株式会社 | El素子の製造方法及びelパネルの製造方法 |
-
2007
- 2007-12-28 JP JP2007340226A patent/JP4725577B2/ja active Active
-
2008
- 2008-12-24 KR KR1020080132896A patent/KR100993498B1/ko active IP Right Grant
- 2008-12-24 US US12/343,966 patent/US20090170230A1/en not_active Abandoned
- 2008-12-25 TW TW097150563A patent/TW200932038A/zh unknown
- 2008-12-26 CN CN2008101902233A patent/CN101471292B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0945477A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Canon Inc | 発光素子及びその製造方法 |
JP2002370352A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-24 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 印刷装置及び発光装置の作製方法 |
JP2003142277A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Tohoku Pioneer Corp | 有機elカラーディスプレイ及びその製造方法 |
JP2005209421A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Sony Corp | 表示装置の製造方法および表示装置 |
JP2005317255A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Seiko Epson Corp | 電界発光素子及び表示素子 |
JP2008503871A (ja) * | 2004-06-16 | 2008-02-07 | イーストマン コダック カンパニー | 発光oledのマイクロキャビティ画素アレイ |
WO2006009612A1 (en) * | 2004-06-16 | 2006-01-26 | Eastman Kodak Company | Array of light-emitting oled microcavity pixels |
JP2006253015A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンスカラー発光装置 |
JP2006269327A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | 発光装置 |
JP2007026684A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 |
JP2007027042A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 有機el表示装置 |
JP2007294421A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Canon Inc | 多色有機発光装置 |
JP2007305505A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Casio Comput Co Ltd | 表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法 |
JP2008091323A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-04-17 | Canon Inc | 有機発光装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011065288A1 (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-03 | 住友化学株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP2011113646A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 発光装置の製造方法 |
WO2011093115A1 (ja) | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 住友化学株式会社 | 発光装置 |
JP2011159406A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 発光装置 |
WO2011118654A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | 住友化学株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP2011210408A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 発光装置の製造方法 |
JP2015135438A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 発光素子表示装置 |
JP2018032020A (ja) * | 2016-08-17 | 2018-03-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、電子機器、および携帯情報端末 |
JP7044497B2 (ja) | 2016-08-17 | 2022-03-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US11300826B2 (en) | 2016-08-17 | 2022-04-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device, electronic device, and mobile information terminal |
JP2019025797A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 京セラ株式会社 | 発光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100993498B1 (ko) | 2010-11-10 |
CN101471292B (zh) | 2012-05-23 |
TW200932038A (en) | 2009-07-16 |
JP4725577B2 (ja) | 2011-07-13 |
CN101471292A (zh) | 2009-07-01 |
US20090170230A1 (en) | 2009-07-02 |
KR20090072998A (ko) | 2009-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4725577B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP4953166B2 (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
JP4251329B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
US10665811B2 (en) | Electroluminescent display device | |
JP4998710B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP6594863B2 (ja) | 有機el表示パネル及び有機el表示装置 | |
JP2008310974A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP4497185B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
US20170077190A1 (en) | Organic el display panel and organic el display device | |
JP2009218156A (ja) | Elパネル及びelパネルの製造方法 | |
US10879327B2 (en) | Organic EL display panel and method of manufacturing the same, organic EL display device and electronic apparatus | |
JP5428142B2 (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
JP4811292B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
US20190088725A1 (en) | Display device and method of manufacturing display device | |
JP5267845B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP5119635B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
US20090232970A1 (en) | Method of manufacturing el element and method of manufacturing el panel | |
JP2008004362A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP4900876B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP2010079146A (ja) | 表示装置及び表示装置の製造方法 | |
KR20150075135A (ko) | 유기전계발광 표시장치 및 그 제조 방법 | |
JP2009053579A (ja) | 回路基板及びその接続方法 | |
JP2008039950A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP2008004361A (ja) | 表示装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091218 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101022 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110120 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |