DE69735666T2

DE69735666T2 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung von plasmaanzeige

Info

Publication number: DE69735666T2
Application number: DE69735666T
Authority: DE
Inventors: Yuichiro Iguchi; Masahiro Matsumoto; Yuko Mikami; Takaki Masaki; Takao Sano; Yoshiyuki Kitamura; Yoshinori Tani; Hideki Ikeuchi
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 1996-12-17
Filing date: 1997-12-16
Publication date: 2007-01-25
Anticipated expiration: 2017-12-17
Also published as: ID21831A; EP0884754A1; EP0884754A4; US20020009536A1; WO1998027570A1; DE69735666D1; US7455879B2; EP0884754B1; CN1123040C; CN1216149A

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer neuen Plasmaanzeige, die für an der Wand befestigte Fernsehgeräte, Informationsanzeigen usw. geeignet ist.
Mit den Fortschritten im Multimediabereich in den letzten Jahren sind Anzeigen für unterschiedliche Arten von Informationen immer wichtiger geworden. In diesem Zusammenhang werden größere und dünnere Anzeigen verlangt, und in vielen Bereichen, einschließlich PCs vom Notebooktyp, werden Flüssigkristallanzeigen eingesetzt. Angesichts des Preises und der Reaktionsgeschwindigkeit ist die Verwendung von Flüssigkristallanzeigen für große Fernsehgeräte jedoch problematisch. Als vielversprechendste Art von Großanzeigen richtet sich die Aufmerksamkeit also auf Plasmaanzeigen.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mittel zur Bereitstellung einer Plasmaanzeige, das die Ausbildung einer Leuchtstoffschicht ermöglicht, die auf diesem Gebiet als hochpräzise Plasmaanzeige eingesetzt werden kann.
Stand der Technik
Eine Plasmaanzeige weist elektrische Entladung auf, die in Entladungsräumen zwischen einem vorderen Glassubstrat und einem hinteren Glassubstrat verursacht werden. Die Entladung führt zur Entwicklung von UV-Strahlung mit 147 nm als zentraler Wellenlänge aus Xenongas, und die UV-Strahlen regen Leuchtstoff an, um eine Anzeige zu ermöglichen. Wenn Entladungszellen, die jeweils selektiv mit rotes, grünes und blaues Licht emittierendem Leuchtstoff beschichtet sind, durch einen Ansteuerschaltkreis angeregt werden, Licht zu emittieren, können sie eine vollfarbige Anzeige bereitstellen.
Eine vor kurzem aktiv entwickelte Plasmaanzeige vom Wechselstromtyp weist eine Struktur auf, in der ein vorderes Glassubstrat mit Anzeigeelektroden, einer dielektrischen Schicht und einer Schutzschicht und ein hinteres Glassubstrat mit Adresselektroden, einer dielektrischen Schicht, Sperrrippen und einer Leuchtstoffschicht verbunden sind und in der durch Sperrrippen getrennte Entladungsräume mit He-Xe- oder Ne-Xe-Gasgemisch gefüllt sind.
Ein herkömmliches Verfahren, das hauptsächlich zur Ausbildung einer Leuchtstoffschicht mit Rot, Grün und Blau, die für eine Plasmaanzeige erforderlich sind, verwendet wird, ist ein Siebdruckverfahren, bei dem Leuchtstoffpasten jeweils aus einem Leuchtstoffpulver und einem Bindemittelharz bestehen. Bei diesem Verfahren wird ein Sieb, das mit den Zwischenräumen zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen entsprechenden Öffnungen ausgestattet und an den anderen Abschnitten durch eine Emulsion abgeschirmt ist, mit Leuchtstoffpasten beschichtet, sodass die Leuchtstoffpasten an jenen Abschnitten durch das Sieb geführt werden können, an denen Leuchtstoffpaste erforderlich ist, d.h. an den Zwischenräumen zwischen den jeweils benachbarten Sperrrippen.
In der Offenlegungsschrift des japanischen Patents Nr. 6-5205 (Kokai) wird ein Verfahren zur Verwendung von Sandstrahlen nach dem Siebdruck vorgeschlagen, und in der Offenlegungsschrift des japanischen Patents Nr. 5-144375 (Kokai) wird ein Siebdruckverfahren nach einer Beschichtung mit einem Vernetzer vorgeschlagen.
Diese Verfahren zur Verwendung von Siebdruck weisen jedoch den Nachteil auf, dass, da das Sieb bei wiederholtem Drucken seine Form verändert, die Genauigkeit gering ist, weshalb die Herstellung einer Leuchtstoffschicht zur Bereitstellung einer hochpräzisen Plasmaanzeige schwierig ist, und außerdem sind die hohen Kosten ein Problem, da die teure Anzeige regelmäßig ausgetauscht werden muss.
Ein bekanntes Verfahren zur Ausbildung einer Leuchtstoffschicht, die für eine hochpräzise Plasmaanzeige geeignet ist, basiert auf der Verwendung von lichtempfindlichen Leuchtstoffpasten, die jeweils aus einem Leuchtstoffpulver und einem lichtemp findlichen Bindemittelharz bestehen. Bei diesem Verfahren wird ein Substrat mit Sperrrippen vollständig mit den lichtempfindlichen Pasten beschichtet, wonach die beschichtete Folie unter Verwendung einer Photomaske teilweise mit UV-Licht bestrahlt wird, um in einem Entwickler lösliche Abschnitte und in dem Entwickler unlösliche Abschnitte zu bilden, und dann entwickelt wird, sodass die notwendigen Abschnitte erhalten bleiben. Bei diesem Verfahren muss jedoch, da jeweils Schichten aus dem roten (R), grünen (G) und blauen (B) Leuchtstoff gebildet werden, der komplizierte Vorgang der Beschichtung, Belichtung, Entwicklung und Trocknung usw. für R, G und B dreimal wiederholt werden. Außerdem bringt das Verfahren den Nachteil mit sich, dass viel Leuchtstoffpaste verloren geht, was wiederum die Kosten in die Höhe treibt.
Auch das Ausstoßen einer Leuchtstoffpaste durch die Spitze einer Tintenstrahldüse zur Bildung einer Leuchtstoffschicht wurde vorgeschlagen. Bei diesem Verfahren muss die Pastenviskosität jedoch bei 0,2 Poise oder weniger gehalten werden, da die Paste durch die Spitze einer Tintenstrahldüse mit kleinem Durchmesser ausgestoßen werden soll. Da die Menge des Leuchtstoffpulvers in der Paste nicht erhöht werden kann, kann deshalb die Dicke der Leuchtstoffschicht nicht passend geregelt werden. Außerdem weist dieses Verfahren das Problem auf, dass die Tintenstrahldüse durch das Leuchtstoffpulver verstopft wird und es deshalb in der Praxis nicht eingesetzt werden kann.
Die JP-A-63-155527 betrifft die Herstellung einer Plasmaentladungsanzeige durch ein Verfahren, bei dem Leuchtstoffmaterial durch eine Düse in Abschnitte auf einem Substrat gespritzt wird. Die EP-A-0806786 schlägt die Verwendung einer Ausgabevorrichtung mit mehreren Düsen (5 bis 30) zum Einbringen einer fluoreszierenden Paste in die Rillen eines Substrats vor.
Die Erfinder führten intensive Untersuchungen mit allen Mitteln zur Herstellung einer Plasmaanzeige frei von oben genannten Nachteilen durch, und das Ergebnis ist die vorliegende Erfindung, die nachstehend genauer erläutert ist.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung einer Plasmaanzeige, die eine äußerst genaue und einfache Ausbildung einer Leuchtstoffschicht in den Zwischenräumen zwischen hoch-präzisen Sperrrippen ermöglicht.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung der oben genannten hochqualitativen Plasmaanzeige mit hoher Produktivität.
Weitere Ziele der vorliegenden Erfindung werden in der nachstehenden Beschreibung erläutert.
Diese Ziele der vorliegenden Erfindung können durch das folgende Verfahren und die folgende Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige vorteilhaft in der Industrie eingesetzt werden.
Das Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige der vorliegenden Erfindung umfasst den Schritt des kontinuierlichen Auftragens einer ein Leuchtstoffpulver und eine organische Verbindung enthaltenden Leuchtstoffpaste mithilfe eines Pastenapplikators, der 64 bis 2.000 Austrittsöffnungen aufweist, auf ein eine Vielzahl von Sperrrippen aufweisendes Substrat in Form von Streifen in den zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen ausgebildeten Zwischenräumen, um eine Leuchtstoffschicht auszubilden, worin für den Zwischenraum (S) zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen und den mittleren Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen die folgende Formel gilt: 10 μm ≤ D < S ≤ 500 μm.
Das Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige der vorliegenden Erfindung umfasst die folgenden bevorzugten Ausführungsformen.

(1) Das Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige der vorliegenden Erfindung umfasst außerdem die Schritte des Beschichtens eines eine Vielzahl von Sperrrip pen aufweisenden Substrats mit drei Leuchtstoffpasten, die jeweils ein rotes, grünes oder blaues Licht emittierendes Leuchtstoffpulver enthalten, in Form von Streifen in den zwischen Sperrrippen am Substrat ausgebildeten Zwischenräumen mithilfe eines Austrittsöffnungen aufweisenden Pastenapplikators sowie des Erhitzens zur Ausbildung einer Leuchtstoffschicht.
(2) Die Austrittsöffnungen sind in einer flachen Platte oder als Düsen oder Nadeln ausgebildet.
(3) Der verwendete Pastenapplikator weist noch bevorzugter 150 bis 2000 Austrittsöffnungen, am besten 640 bis 2000 Austrittsöffnungen, auf.
(4) Der verwendete Pastenapplikator weist 16n ± 5 (n ist eine natürliche Zahl) Austrittsöffnungen auf.
(5) Der verwendete Pastenapplikator weist die Austrittsöffnungen in einem Abstand von 0,12 bis 3 mm auf.
(6) Der verwendete Pastenapplikator weist die Austrittsöffnungen in einem Abstand auf, der 3m-mal (m ist eine ganze Zahl von 1 bis 10) dem Abstand der Sperrrippen entspricht.
(7) Für den verwendeten Pastenapplikator gilt die folgende Formel: L/D = 0,1 bis 600worin L die Länge der Austrittsöffnungen und D der mittlere Durchmesser der Austrittsöffnungen ist.
(8) Der mittlere Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen des zum Beschichten verwendeten Pastenapplikators beträgt 60 bis 400 μm.
(9) Während des Auftragens der Leuchtstoffpasten wird der Abstand zwischen den oberen Enden der auf einem Glassubstrat ausgebildeten Sperrrippen und den Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators bei 0,01 bis 2 mm gehalten.
(10) Pasten, die jeweils ein hinsichtlich der Farbe unterschiedliches Leuchtstoffmaterial enthalten, werden von einem einzigen Pastenapplikator abgegeben, und der kürzeste Abstand zwischen den Austrittsöffnungen, durch die jeweils sich farblich voneinander unterscheidende Leuchtstoffpasten aufgetragen werden, beträgt 600 μm oder weniger.
(11) Zwei oder mehr unabhängige Pastenapplikatoren werden gleichzeitig zum Beschichten verwendet, und die zwei oder mehr Pastenapplikatoren werden so angesteuert, dass sie sich mit der gleichen Geschwindigkeit bewegen.
(12) Das Beschichten wird Farbe für Farbe durchgeführt, und auf die Beschichtung mit jeder Farbe folgt eine Trocknung.
(13) Der Pastenapplikator und das Glassubstrat werden relativ zueinander und parallel zu den Sperrrippen auf dem Glassubstrat bewegt.
(14) Zum Beenden des Auftragens der Leuchtstoffpasten wird der Pastenapplikator im Inneren unter einem Unterdruck gehalten.
(15) Nach dem Beginn der Bewegung des Pastenapplikators und des Substrats relativ zueinander und parallel zu den Sperrrippen auf dem Substrat wird mit dem Auftragen der Leuchtstoffpasten begonnen, und das Auftragen wird beendet, bevor die relative Bewegung beendet wird.
(16) Von jedem der verwendeten Leuchtstoffpulver weisen 50 Gew.-% des Pulvers eine Körnchengröße von 0,5 bis 10 μm und eine spezifische Oberfläche von 0,1 bis 2 m²/g auf.
(17) Jede der verwendeten Leuchtstoffpasten besteht aus 30 bis 60 Gew.-% eines Leuchtstoffpulvers, 5 bis 20 Gew.-% eines Bindemittelharzes und einem Lösungsmittel, worin das Gewichtsverhältnis zwischen Leuchtstoffpulver und Bindemittelharz 6:1 bis 3:1 beträgt.
(18) Das Bindemittelharz ist eine Celluloseverbindung.
(19) Das Lösungsmittel enthält Terpineol.
(20) Ein Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige, worin drei Leuchtstoffpasten, die jeweils ein rotes, grünes oder blaues Licht emittierendes Leuchtstoffpulver enthalten, auf die zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen auf einem Glassubstrat ausgebildeten Zwischenräume aufgebracht werden, um eine Leuchtstoffschicht zu bilden, den Schritt des Entfernens des Leuchtstoffs umfassend, der in anderen Abschnitten als den vorbestimmten Beschichtungspositionen vorhanden ist, indem er an ein Haftmaterial anhaften gelassen wird.
(21) Der an den oberen Enden der Sperrrippen abgelagerte Leuchtstoff wird durch Anhaftenlassen an ein Haftmaterial entfernt.
(22) Für jede der verwendeten Leuchtstoffpasten gilt die folgende Beziehung: (2H + P – W) × 5 ≤ H × (P – W) × a/100 ≤ (2H + P – W) × 30worin H die Höhe (μm) einer jeden Sperrrippe ist; P der Abstand (μm) der Sperrrippen ist; W die Breite (μm) einer jeden Sperrrippe ist; und a der Leuchtstoffpulvergehalt (Vol.-%) der Leuchtstoffpaste ist.
(23) Die verwendeten Leuchtstoffpasten weisen eine Viskosität von 2 bis 50 Pa·s auf.
(24) Die Leuchtstoffpasten sind lichtempfindliche Leuchtstoffpasten.
(25) Jede der verwendeten, lichtempfindlichen Leuchtstoffpasten weist die folgende Zusammensetzung auf: organische Komponente: 15~60 Gewichtsteile Leuchtstoffpulver: 40~80 Gewichtsteile Lösungsmittel: 10~50 Gewichtsteile.
(26) Die Sperrrippen werden in Form von Streifen mit den folgenden Maßen bereitgestellt: Abstand: 100~250 μm Breite: 15~40 μm Höhe: 60~170 μm
(27) Die Sperrrippen sind auf ihrer Deckfläche schwarz.
(28) Für die Seitenwandstärke (T1) der Leuchtstoffschicht an einer der halben Höhe jeder Sperrrippe entsprechenden Stelle und für die Bodenwandstärke (T2) der Leuchtstoffschicht gilt die folgende Beziehung: 10 ≤ T1 ≤ 50 μm 10 ≤ T2 ≤ 50 μm 0,2 ≤ T1/T2 ≤ 5.Die Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige der vorliegenden Erfindung umfasst einen Tisch zur Befestigung eines Substrats mit einer Vielzahl von Sperrrippen, einen Pastenapplikator mit 64 bis 2.000 den Sperrrippen des Substrats zugewandten Austrittsöffnungen, eine Zufuhreinrichtung zur Zuführung einer Leuchtstoffpaste zum Pastenapplikator und eine Bewegungseinrichtung zur dreidimensionalen Bewegung des Tischs und des Pastenapplikators relativ zueinander, worin für das Verhältnis zwischen dem mittleren Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators und dem Zwischenraum (S) zwischen den jeweils benachbarten Sperrrippen die folgende Formel gilt: 10 μm ≤ D < S ≤ 500 μm.Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung können auch folgende Merkmale aufweisen:
(30) Die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators sind nicht kreisrund ausgebildet, und für die Länge (B) der Öffnungen fast senkrecht zu den Sperrrippen sowie für den Zwischenraum (S) zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen gilt die folgende Formel: 10 μm ≤ B ≤ S ≤ 500 μm.
(31) Der Abstand der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators entspricht 3m-mal dem Abstand der Sperrrippen (worin m eine ganze Zahl von 1 bis 10 ist).
(32) Die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators liegen in derselben Ebene.
(33) Die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators sind durch Röhren gebildet, welche die gleiche Form aufweisen.
(34) Die Anzahl der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators beträgt 150 bis 2.000.
(35) Die Anzahl der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators beträgt 16n ± 5 (worin n eine natürliche Zahl ist).
(36) Der Abstand der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators beträgt 0,12 bis 3 mm.
(37) Für den mittleren Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators und für die Länge (L) einer jeden Austrittsöffnung gilt die folgende Beziehung: L/D = 0,1 bis 600.
(38) Der mittlere Durchmesser der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators beträgt 60 bis 400 μm.
(39) Die Mitten der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators liegen oberhalb der Zwischenräume zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen.
(40) Die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators sind mit einem Harzfilm auf Fluorbasis beschichtet.
(41) Die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators sind mit einem amorphen Kohlenstofffilm beschichtet.
(42) Der Pastenapplikator umfasst eine Vielzahl von Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitten, Leuchtstoffpasten-Zufuhröffnungen zur Zuführung von Leuchtstoffpasten zu den Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitten sowie Durchlässen zur Fluidkommunikation zwischen den Speicherabschnitten und den Zufuhröffnungen; die Anzahl der Austrittsöffnungen ist größer als die Anzahl der Speicherabschnitte; und die den jeweiligen Speicherabschnitten entsprechenden Austrittsöffnungen sind zyklisch einer vorbestimmten Abfolge entsprechend annähernd auf einer Geraden angeordnet.
(43) Zwei oder mehr Pastenapplikatoren sind vorgesehen.
(44) Eine Vielzahl von Pastenapplikatoren für jeweils unterschiedliche Leuchtstoffpasten ist bereitgestellt, und eine Vielzahl von Leuchtstoffpasten-Zufuhrvorrichtungen zur Zuführung der Leuchtstoffpasten für die jeweiligen Pastenapplikatoren ist bereitgestellt, sodass die Zwischenräume zwischen den Sperrrippen des Substrats gleichzeitig mit einer Vielzahl von Leuchtstoffpasten beschichtet werden können.
(45) Eine Druckeinstellungseinrichtung, die zur wunschgemäßen Einstellung des Drucks im Pastenapplikator in einem Bereich von Atmosphärendruck bis zu einem Unterdruck imstande ist, und eine Steuereinrichtung zur zeitlichen Steuerung der Druckeinstellung sind bereitgestellt.
(46) Eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Positionen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators, eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Positionen der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen des Substrats, eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Position des oberen Endes der Sperrrippen auf dem Substrat, eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Position der Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators und eine Steuereinrichtung zur Steuerung des Beginns und der Beendigung des Auftragens der Leuchtstoffpaste als Reaktion auf die relative Position der Austrittsöffnungen und des Substrats sind bereitgestellt.
(47) Eine Einstellungseinrichtung zur Einstellung des Neigungsgrads des Pastenapplikators zu den oberen Enden der Sperrrippen des Substrats und eine Steuereinrichtung zum Halten der Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators in einem vorbestimmten Abstand und annähernd parallel zu den oberen Enden der Sperrrippen des Substrats sind bereitgestellt.
(48) Eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Position der vom Pastenapplikator auf das Substrat aufgetragenen Leuchtstoffpaste auf dem Substrat ist bereitgestellt.
(49) Eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Anzahl der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen auf dem Substrat und eine Erkennungseinrichtung, um aus der detektierten Anzahl der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen die zu beschichtenden Zwischenräume zwischen den Sperrrippen zu erkennen, sind bereitgestellt.
(50) Eine Bezugsmarkierungs-Detektionseinrichtung zur Detektion einer Bezugsmarkierung auf dem Substrat sowie eine Bewegungseinrichtung und eine Steuerein richtung zur relativen Bewegung des Pastenapplikators und der Sperrrippen sind bereitgestellt, sodass die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators oberhalb der mit der Leuchtstoffpaste zu beschichtenden Zwischenräume zwischen den Sperrrippen anordenbar sind.
(51) Eine Einrichtung zum Reinigen der Austrittsöffnungsaußenflächen des Pastenapplikators ist bereitgestellt.
(52) Eine Einrichtung zum Entfernen von in anderen Abschnitten als vorbestimmten Beschichtungsstellen auf dem Substrat vorliegender Leuchtstoffpaste ist bereitgestellt.
(52) Drei Beschichtungsvorrichtungen sind drei Leuchtstoffpasten entsprechend hintereinander bereitgestellt und jeweils mit einem Tisch zur Befestigung eines Substrats mit auf der Oberfläche ausgebildeten Sperrrippen, einem Pastenapplikator mit einer Vielzahl von den Sperrrippen des Substrats zugewandten Austrittsöffnungen, einer Zufuhreinrichtung zur Zuführung von Leuchtstoffpasten zum Pastenapplikator und einer Bewegungseinrichtung zur dreidimensionalen Bewegung des Tischs und des Pastenapplikators relativ zueinander ausgestattet.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 ist eine schematische Darstellung einer Beschichtungsvorrichtung zur Veranschaulichung eines Beispiels für den erfindungsgemäßen Beschichtungsvorgang mit einer lichtempfindlichen Paste.
2 ist eine Schnittansicht zur Veranschaulichung der Beziehung zwischen dem Substrat für die Plasmaanzeige der vorliegenden Erfindung und dem Pastenapplikator zur Beschichtung.
3 ist eine allgemeine schematische, perspektivische Darstellung einer Plasmaanzeigen-Herstellungsvorrichtung als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
4 ist eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung eines wichtigen Abschnitts der Plasmaanzeigen-Herstellungsvorrichtung aus 3.
5 ist eine perspektivische Darstellung eines Beispiels für den Pastenapplikator, der in der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
6 ist eine perspektivische Darstellung eines weiteren Beispiels für den Pastenapplikator, der in der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
7 ist eine Schnittansicht und eine Ansicht von unten eines weiteren Beispiels für den Pastenapplikator, der in der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
8 ist eine perspektivische Darstellung der Plasmaanzeigen-Herstellungsvorrichtung als weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
9 ist eine Seitenansicht einer Vorrichtung zum Reinigen der Austrittsöffnungsaußenflächen des Pastenapplikators in der Plasmaanzeigen-Herstellungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
In den oben genannten Abbildungen haben die Zahlen die folgenden Bedeutungen:

2: Basis
4: Substrat
6: Tisch
7: Ansaugöffnung
8: gerillte Leitschiene
9: Gleituntersatz
10: Vorschubspindel
11: Verbindungsstück
12: Lager
16: Wechselstrom-Servomotor
20: Pastenapplikator
22: Haltevorrichtung
24: Horizontalstab
26: Linearantrieb
28: Hebehalterung
29: Expansionsstange
30: Hebemechanismus
32: Y-Achsen-Bewegungshalterung
34: Stütze
36: Querbewegungsmechanismus
38: Sensorträger
40: Höhensensor
41: Verteiler
42: Leuchtstoffpaste
44: Austrittsöffnung
46: Zufuhrschlauch
48: elektromagnetisches Umschaltventil zur Entladung
50: Zufuhreinheit
52: Ansaugschlauch
54: elektromagnetisches Umschaltventil zum Absaugen
56: Leuchtstoffpastenbehälter
58: Zufuhrvorrichtungssteuereinrichtung
60: allgemeine Vorrichtungssteuereinrichtung
62: Motorsteuereinrichtung
64: Sensorhalterung
66: Positionssensor
68: Positionssensor
70: Kameraträger
72: Kamera
74: Bildverarbeitungssystem
76: Antrieb für den Hebemechanismus
78: Antrieb für den Querbewegungsmechanismus
501: Austrittsöffnung
601: Röhrchen
701: Leuchtstoffpasten-Zufuhröffnung
702: Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitt
703: Durchlass
704: Austrittsöffnung
801: Pastenapplikator
802: Pastenapplikator
901: Reinigungsvorrichtung
902: Austrittsöffnungsaußenfläche
903: Abstreifelement
904: Halterung
905: Schale
906: Ablauföffnung
907: Rohr
908: Hebeabschnitt
909: Führung
910: Bewegungseinheit
911: Unterbau
912: Kegelumlaufspindel

Die bevorzugtesten Ausführungsformen der Erfindung
Eine Plasmaanzeige besteht hauptsächlich aus einem vorderen Glassubstrat und einem hinteren Glassubstrat, wobei zwischen den Substraten ein Edelgas eingeschlossen ist.
Das hintere Substrat muss eine auf einem Substrat ausgebildete Leuchtstoffschicht aufweisen, auf dem Elektroden zum Anlegen einer Steuerspannung und Sperrrippen zur Trennung der elektrischen Entladungszellen ausgebildet sind. Außerdem kann auf dem Substrat eine dielektrische Schicht zur Stabilisierung der elektrischen Entladung ausgebildet sein. Das Substrat kann ein Natronglassubstrat oder ein Glassubstrat aus PD200 (hergestellt von Asahi Glass) usw., wie sie für Plasmaanzeigen an geboten werden, oder ein Keramiksubstrat sein. Als Substrat wird vorzugsweise ein 1 bis 3 mm dickes Glassubstrat, noch bevorzugter ein 2 bis 3 mm dickes Glassubstrat, verwendet.
Auf dem Substrat sind Elektroden aus einem leitfähigen Material ausgebildet. Ein bevorzugt verwendetes Elektrodenmaterial ist ein metallisches Material, das zumindest ein aus Gold, Silber, Kupfer, Chrom, Palladium, Aluminium und Nickel ausgewähltes Metall enthält. Ein beliebiges dieser metallischen Materialien wird verwendet, um Elektroden mit einer erforderlichen Struktur auszubilden, vorzugsweise mit einer Dicke von 0,1 bis 10 μm, noch bevorzugter mit einer Dicke von 1 bis 5 μm.
Die Elektrodenstruktur kann beispielsweise durch Aufdrucken einer Struktur auf ein Glassubstrat durch ein Sieb, wobei Metallpaste verwendet wird, die durch Kneten eines Metallpulvers und eines organischen Bindemittels, das eine Celluloseverbindung, wie z.B. Ethylacetat enthält, erhältlich ist, oder durch Ausbilden eines Metallfilms auf einem Glassubstrat durch Vakuumverdampfung oder Sputtern und Ätzen unter Verwendung eines Resists hergestellt werden. In einem weiteren bevorzugten Verfahren können Elektroden durch Beschichten eines Glassubstrats mit einer lichtempfindlichen Paste, die durch Kneten eines Metallpulvers und einer eine lichtempfindliche organische Komponente enthaltenden organischen Bindemittels erhältlich ist, Bestrahlen durch eine Photomaske zu einer Struktur, Entwickeln zur Entfernung der im Entwickler löslichen Abschnitte und Brennen bei 500 bis 600°C hergestellt werden. Dieses Verfahren ermöglicht eine sehr genaue Ausbildung von hochpräzisen Elektroden.
Wenn auf den Elektroden eine dielektrische Schicht ausgebildet wird, kann die Lichtemission stabilisiert werden. Das Dielektrikum kann durch Beschichtung mit einer Glaspaste, die aus einem Glaspulver und einem eine Celluloseverbindung, wie z.B. Ethylcellulose, enthaltenden organischen Bindemittel besteht, und Brennen bei 450 bis 600°C gebildet werden.
Die Sperrrippen können durch verschiedene Verfahren ausgebildet werden. Sie können beispielsweise durch Aufdrucken einer mehrschichtigen Struktur durch ein Sieb unter Verwendung einer Glaspaste, die aus einem Glaspulver und einem eine Celluloseverbindung, wie z.B. Ethylcellulose, enthaltenden organischen Bindemittel besteht, und Brennen bei 450 bis 600°C hergestellt werden.
Die Sperrrippen können außerdem durch vollständiges Beschichten des Substrats mit einer Glaspaste, Laminieren eines Trockenfilmresists und Abschleifen durch Sandstrahlen, wobei eine durch Photolithographie hergestellte Form als Maske verwendet wird, sowie Brennen hergestellt werden. Vorzugsweise werden die Sperrrippen aber hergestellt, indem das Substrat vollständig mit einer lichtempfindlichen Glaspaste, die durch Kneten eines Glaspulvers und einer lichtempfindlichen organischen Komponente erhalten wurde, beschichtet wird, wonach durch Photolithographie unter Verwendung einer Photomaske eine Struktur ausgebildet und das Ganze gebrannt wird. Die Sperrrippen können in Form von Streifen oder eines Gitters ausgebildet werden, um die elektrischen Entladungen der einzelnen elektrischen Entladungszellen zu trennen. In Form von Streifen ausgebildete Sperrrippen sind bevorzugt, da sie leicht und kostengünstig hergestellt werden können.
Genauer gesagt kann in der vorliegenden Erfindung eine Leuchtstoffschicht auf einem Glassubstrat mit hochpräzisen Sperrrippen ausgebildet werden, obwohl dies mit herkömmlichem Siebdruck schwierig ist. Wenn die Sperrrippen beispielsweise in Form von Streifen mit den folgenden bevorzugten Abmessungen ausgebildet sind, kann eine Leuchtstoffschicht mit weniger Fehlern hergestellt werden als durch Siebdruck.
Abstand: 100~250 μm
Breite: 15~40 μm
Höhe: 60~170 μm.
Wenn die Austrittsöffnungen zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen angeordnet sind, kann das Bild leichter erkennbar sein, wenn die oberen Ende der Sperrrippen auf dem Substrat schwarz sind.
In der vorliegenden Erfindung werden auf das Glassubstrat mit den oben beschriebenen Sperrrippen mithilfe eines Pastenapplikators mit einer Vielzahl an Austrittsöffnungen Pasten, die jeweils ein Leuchtstoffpulver enthalten, aufgebracht, um die Leuchtstoffschicht zu bilden.
Die verwendeten Leuchtstoffpulver emittieren rotes, grünes und blaues Licht. In der vorliegenden Erfindung verwendete Leuchtstoffpulver, die rotes Licht emittieren, umfassen Y₂O₃:Eu, YVO₄:Eu, (Y,Gd)BO₃:Eu, Y₂O₃S:Eu, γ-Zn₃(PO₄)₂:Mn, (ZnCd)S:Ag + In₂O₃ usw. Jene, die grünes Licht emittieren, umfassen Zn₂GeO₂:Mn, BaAl₁₂O₁₉:Mn, Zn₂SiO₄:Mn, LaPO₄:Tb, ZnS:Cu,Al, ZnS:Au,Cu,Al, (ZnCd)S:Cu,Al, Zn₂SiO₄:Mn,As, Y₃Al₅O₁₂:Ce, CeMgAl₁₁O₁₉:Tb, Gd₂O₂S:Tb, Y₃Al₅O₁₂:Tb, ZnO:Zn usw. Jene, die blaues Licht emittieren, umfassen Sr₅(PO₄)₃Cl:Eu, BaMgAl₁₄O₂₃:Eu, BaMgAl₁₆O₂₇:Eu, BaMg₂Al₁₄O₂₄:Eu, ZnS:Ag + Rot-Pigment, Y₂SiO₃:Ce usw.
Außerdem ermöglicht die vorliegende Erfindung die Verwendung von Seltenerdmetall-Tantalatleuchtstoff, worin zumindest ein aus Yttrium (Y), Gadolinium (Gd) und Lutetium (Lu) ausgewähltes matrixbildendes Seltenerdmetall durch zumindest ein aus der aus Thulium (Tm), Terbium (Tb) und Europium (Eu) bestehenden Gruppe ausgewähltes Element substituiert ist. Ein bevorzugter Seltenerdmetall-Tantalatleuchtstoff ist Europium-aktiviertes Yttriumtantalat mit der Zusammensetzungsformel Y_1-xEu_xTaO₄ (worin x etwa 0,005 bis 0,1 ist). Ein bevorzugter roter Leuchtstoff ist Europium-aktiviertes Yttriumtantalat, und ein bevorzugter grüner Leuchtstoff ist Terbium-aktiviertes Yttriumtantalat mit der Zusammensetzungsformel Y_1-xEu_xTaO₄ (worin x etwa 0,001 bis 0,2 ist). Ein bevorzugter blauer Leuchtstoff ist Terbium-aktiviertes Yttriumtantalat, dargestellt durch Y_1-xEu_xTaO₄ (worin x etwa 0,001 bis 0,2 ist). Weitere bevorzugte grüne Leuchtstoffe umfassen einen Mangan-aktivierten Zinkleuchtstoff (Zn₂SiO₄:Mn) mit einer mittleren Körnchengröße von 2,0 μm bis 8,0 μm, der, bezo gen auf das Gewicht einer Zinksilicatmatrix (Zn₂SiO₄), mit 0,2 Gew.-% bis weniger als 0,1 Gew.-% Mangan aktiviert ist, und einen Mangan-aktivierten Zinksilicatleuchtstoff der allgemeinen Formel (Zn_1-xn_x)O·αSiO₂ (worin gilt: 0,01 ≤ x ≤ 0,2 und 0,5 < α ≤ 1,5).
Die Körnchengröße der oben genannten Leuchtstoffpulver kann unter Berücksichtigung der Linienbreite, des Zwischenraums zwischen den Linien und der Dicke der Leuchtstoffschichtstruktur, die hergestellt werden soll, ausgewählt werden. Vorzugsweise beträgt die Körnchengröße von 50 Gew.-% der Körnchen jedoch 0,5 bis 10 μm und die spezifische Oberfläche 0,1 bis 2 m²/g. Noch bevorzugter beträgt die Körnchengröße von 50 Gew.-% der Körnchen 0,5 bis 5 μm und die spezifische Oberfläche 0,2 bis 1,0 m²/g. Die Körnchengröße und die spezifische Oberfläche liegen vorzugsweise in diesem Bereich, da die Knetbarkeit der Paste so erhöht werden kann, um die Bildung einer dichten Leuchtstoffschicht zu ermöglichen und so die Lichtemissionseffizienz zu verbessern und die Lebensdauer zu verlängern. Wenn die Körnchengröße des Pulvers weniger als 0,5 μm oder die spezifische Oberfläche 2 m²/g oder mehr beträgt, dann ist das Pulver so fein, dass die Lebensdauer bis zu einer Verringerung der Lichtemissionsluminanz verkürzt wird.
Vorzugsweise besteht das Leuchtstoffpulver aus polyedrischen Körnchen und ist nicht kohäsiv. Insbesondere bevorzugt besteht das Pulver aus kugelförmigen Körnchen, da so eine dichte Leuchtstoffschicht gebildet werden kann, um die Lichtemissionseffizienz vorteilhaft zu verbessern. Vorzugsweise machen die kugelförmigen Körnchen 80 % oder mehr der Körnchenanzahl des fluoreszierenden Pulvers aus. Noch bevorzugter machen die kugelförmigen Körnchen 90 % oder mehr aus. Um den prozentuellen Anteil der kugelförmigen Körnchen zu messen, wird das fluoreszierende Pulver bei 300-facher Vergrößerung mithilfe eines Lichtmikroskops fotografiert, und die Anzahl an zählbaren Körnchen wird bestimmt, um den Anteil an kugelförmigen Körnchen als Prozentsatz der kugelförmigen Körnchen zu bestimmen.
Die in der vorliegenden Erfindung verwendete organische Komponente enthält ein Bindemittelharz, ein Lösungsmittel und, wenn erforderlich, Additive, wie z.B. Weichmacher, Dispersionsmittel und Egalisierungsmittel.
Die Bindemittelharze, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise Polyvinylbutyral, Polyvinylacetat, Polyvinylalkohol, Polyethylen, Siliconpolymere (z.B. Polymethylsiloxan und Polymethylphenylsiloxan), Polystyrol, Butadien-Styrol-Copolymer, Polyvinylpyrrolidon, Polyamide, hochmolekulare Polyether, Ethylenoxid-Propylenoxid-Copolymer, Polyacrylamid und verschiedene Acrylpolymere (z.B. Natriumpolyacrylat, Polyniederalkylacrylate, Polyniederalkylmethacrylate und verschiedene Copolymere und Multipolymere von Niederalkylacrylaten und -methacrylaten). Wenn eine Celluloseverbindung (z.B. Methylcellulose, Ethylcellulose, Hydroxyethylcellulose oder Methylhydroxyethylcellulose) usw. als bevorzugtes Bindemittelharz verwendet wird, weist außerdem die gebildete Leuchtstoffschicht nach dem Brennen wenig Bindemittelrückstände auf.
Die Weichmacher, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise Dibutylphthalat, Dioctylphthalat, Polyethlyenglykol, Glycerin usw.
Die Lösungsmittel, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise auf Alkohol basieren Lösungsmittel, wie z.B. Terpineol, Isobutylalkohol, Isopropylalkohol, Benzylalkohol, 2-Phenoxyethanol, γ-Phenylallylalkohol, Dimethylbenzylcarbinol, β-Phenylethylalkohol, Methylcellosolve, Ethylcellosolve und Butylcellosolve, Methylethylketon, Dioxan, Aceton, Cyclohexanon, Cyclopentanon, Tetrahydrofuran, Butylcarbitolacetat, Dimethylsulfoxid, γ-Butyrolacton, Brombenzol, Chlorbenzol, Dibrombenzol, Dichlorbenzol, Brombenzoesäure, Chlorbenzoesäure und organische Lösungsmittelgemische mit zumindest einem oder mehreren aus den oben genannten. Vor allem auf Alkohol basierende Lösungsmittel sind für die Dispersion des Pulvers von Vorteil. Davon ist Terpineol insbesondere bevorzugt. Wenn Terpineol und andere auf Alkohol basierende Lösungsmittel, wie z.B. Benzylalkohol, als Gemisch verwendet werden, kann außerdem leicht die Viskosität der Paste eingestellt werden.
Das fluoreszierende Pulver, das Bindemittel und das Lösungsmittel werden in einem gewünschten Verhältnis vermischt und verknetet, um eine Leuchtstoffpaste herzustellen. Vorzugsweise wird eine Paste mit einer Viskosität von 2 bis 50 Pa·s verwendet, da so die Dicke der Seitenwand entlang der einzelnen Sperrrippen leicht geregelt werden kann, wenn die Paste zur Beschichtung aufgebracht wird, und außerdem kann so größere Gleichförmigkeit bei der Luminanz und in der Anzeige erreicht werden.
Wenn eine Leuchstoffpaste mit einem Gewichtsverhältnis zwischen Leuchtstoffpulver und Bindemittel von 6:1~3:1 verwendet wird, kann die Gleichförmigkeit in der Dicke weiter verbessert werden, sodass die Herstellung einer hochpräzisen Plasmaanzeige ermöglicht wird. Eine bevorzugte Pastenzusammensetzung besteht aus 30 bis 60 Gew.-% Leuchtstoffpulver, das Licht mit roter, grüner oder blauer Farbe emittiert, 5 bis 20 Gew.-% Bindemittelharz und 20 bis 65 Gew.-% Lösungsmittel. Wenn solch eine Zusammensetzung verwendet wird, kann eine gleichmäßig dicke Leuchtstoffschicht als Seitenwand entlang der einzelnen Sperrrippen und als Bodenwand der einzelnen elektrischen Entladungsräume gebildet werden.
Wenn eine Pastenzusammensetzung verwendet wird, weiche die folgende Gleichung erfüllt, kann außerdem eine gleichmäßig dicke Leuchtstoffschicht als Seitenwand entlang der einzelnen Sperrrippen und als Bodenwand der einzelnen elektrischen Entladungsräume gebildet werden: (2H + P – W) × 5 ≤ H × (P – W) × a ≤ (2H + P – W) × 30worin H die Höhe einer jeden Sperrrippe der herzustellenden Plasmaanzeige ist (μm); P der Abstand der Sperrrippen ist (μm); W die Breite einer jeden Sperrrippe ist (μm); und a der Leuchtstoffpulvergehalt der Leuchtstoffpaste ist (Vol.-%).
In der vorliegenden Erfindung kann die Leuchtstoffpaste einen organischen Farbstoff enthalten, damit die beschichteten Abschnitte leichter von den nicht beschichteten Abschnitten unterschieden werden können. In diesem Fall, wenn die Schichten aus rotem, grünen und blauem Leuchtstoff organische Farbstoffe enthalten, die zur Entwicklung unterschiedlicher Farben in der Lage sind, kann die Untersuchung auf Defekte nach dem Beschichten leichter durchgeführt werden. Die organischen Farbstoffe, die hierin verwendet werden können, umfassen Leukofarbstoffe, Azofarbstoffe, Aminoketonfarbstoffe, Xanthenfarbstoffe, Chinolinfarbstoffe, Aminoketonfarbstoffe, Anthrachinonfarbstoffe, Benzophenonfarbstoffe, Diphenylcyanoacrylatfarbstoffe, Triazinfarbstoffe, p-Aminobenzoesäurefarbstoffe usw., genauer gesagt Sudanblau, Sudan 4, Victoriareinblau, Nilblau, Brillantgrün, Neutralrot, Methylviolett usw.
In der vorliegenden Erfindung kann auch eine lichtempfindliche Leuchtstoffpaste, die eine lichtempfindliche Verbindung als Bindemittelharz umfasst, verwendet werden. Wenn eine lichtempfindliche Leuchtstoffpaste verwendet wird, kann die auf unnötigen Abschnitten aufgebrachte Leuchtstoffpaste durch Belichtung und Entwicklung unter Verwendung einer Photomaske entfernt werden. Vor allem wenn Leuchtstoffpaste auf den Deckflächen der Sperrrippen aufgebracht ist oder in die Zellen neben den zu beschichteten Zellen eintritt, kann eine Vermischung der Farben oder ein Versagen der elektrischen Entladung verhindert werden, indem nur die zu beschichtenden Abschnitte mit Licht bestrahlt und die nicht mit dem Licht bestrahlten Abschnitte durch Entwickeln entfernt werden.
Die organische Komponente mit einer lichtempfindlichen Verbindung, die in der lichtempfindlichen Leuchtstoffpaste verwendet wird, enthält zumindest eine aus lichtempfindlichen Polymeren, lichtempfindlichen Monomeren und lichtempfindlichen Oligomeren ausgewählte lichtempfindliche Komponente sowie, wenn erforderlich, Additive, wie z.B. einen Photopolymerisationsinitiator, ein Sensibilisierungsmittel und einen UV-Lichtabsorber.
Eine lichtempfindliche Leuchtstoffpaste, die aus 15 bis 60 Gewichtsteilen einer organischen Komponente, 40 bis 85 Gewichtsteilen eines Leuchtstoffpulvers und 10 bis 50 Gewichtsteilen eines Lösungsmittels besteht, ist zur Verbesserung der gleichförmigen Dicke und der Strukturformbarkeit effektiv.
Vorzugsweise beträgt die Menge der in der vorliegenden Erfindung verwendeten organischen Komponente, die eine lichtempfindliche Komponente enthält, 15 bis 60 Gew.-%. Wenn die Menge unter 15 Gew.-% liegt, nimmt die Strukturformbarkeit aufgrund von unzureichender Lichtempfindlichkeit ab. Wenn sie über 60 Gew.-% liegt, kann es vorkommen, dass das Bindemittel beim Brennen nur schwer entfernt werden kann und das Brennen unzureichend ist.
Die lichtempfindliche Komponente, die in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, kann entweder eine durch Licht unlöslich werdende lichtempfindliche Komponente oder eine durch Licht löslich werdende lichtempfindliche Komponente sein. Die durch Licht unlöslich werdenden lichtempfindlichen Komponenten, die hierin verwendet werden können, umfassen die folgenden:

(A) eine Komponente, die ein oder mehrere funktionelle Monomere, Oligomere und Polymere mit einer oder mehreren ungesättigten Gruppen pro Molekül umfasst;
(B) eine Komponente, die eine lichtempfindliche Verbindung, wie z.B. eine aromatische Diazoverbindung, aromatische Diazidkomponente oder organische Halogenverbindung, enthält;
(C) ein so genanntes Diazoharz, wie z.B. ein Kondensationsprodukt aus einem auf Diazo basierenden Amin und Formaldehyd. Die durch Licht löslich werdenden lichtempfindlichen Komponenten, die hierin verwendet werden können, umfassen die folgenden:
(D) eine Komponente, die einen Komplex aus einer Diazoverbindung mit einem anorganischen Salz oder einer organischen Säure enthält, oder Chinondiazo;
(E) Naphthochinon-1,2-diazo-5-sulfonat von Phenol- oder Novolakharz usw., erhältlich durch die Kombination von Chinondiazo mit einem geeigneten Polymerbindemittel.

In der vorliegenden Erfindung können alle der oben genannten lichtempfindlichen Komponenten verwendet werden, aber eine lichtempfindliche Komponente gemäß (A) ist insbesondere bevorzugt. Auch eine lichtempfindliche Paste, in die feine anor ganische Körnchen eingemischt sind, kann in der vorliegenden Erfindung einfach eingesetzt werden.
Ein lichtempfindliches Monomer ist eine Verbindung mit einer ungesättigten Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindung. Die lichtempfindlichen Monomere, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise Methylacrylat, Ethylacrylat, n-Propylacrylat, Isopropylacrylat, n-Butylacrylat, sec-Butylacrylat, iso-Butylacrylat, tert-Butylacrylat, n-Pentylacrylat, Allylacrylat, Benzylacrylat, Butoxyethylacrylat, Butoxytriethylenglykolacrylat, Cyclohexylacrylat, Dicyclopentanylacrylat, Dicyclopentenylacrylat, 2-Ethylhexylacrylat, Glycerinacrylat, Glycidylacrylat, Heptadecafluordecylacrylat, 2-Hydroxyethylacrylat, Isobornylacrylat, 2-Hydroxypropylacrylat, Isodecylacrylat, Isooctylacrylat, Laurylacrylat, 2-Methoxyethylacrylat, Methoxyethylenglykolacrylat, Methoxydiethylenglykolacrylat, Octafluorpentylacrylat, Phenoxyethylacrylat, Stearylacrylat, Trifluorethylacrylat, allyliertes Cyclohexyldiacrylat, 1,4-Butanedioldiacrylat, 1,3-Butylenglykoldiacrylat, Ethylenglykoldiacrylat, Diethylenglykoldiacrylat, Triethylenglykoldiacrylat, Polyethylenglykoldiacrylat, Dipentaerythrithexaacrylat, Dipentaerythritmonohydroxypentaacrylat, Ditrimethylolpropantetraacrylat, Glycerindiacrylat, methoxyliertes Cyclohexyldiacrylat, Neopentylglykoldiacrylat, Propylenglykoldiacrylat, Polypropylenglykoldiacrylat, Triglycerindiacrylat, Trimethylolpropantriacrylat, Acrylamid, Aminoethylacrylat, Phenylacrylat, Phenoxyethylacrylat, Benzylacrylat, 1-Naphthylacrylat, 2-Naphthylacrylat, Bisphenol-A-diacrylat, Diacrylat eines Eisphenol-A-ethylenoxid-Additionsprodukts, Diacrylat eines Bisphenol-A-propylenoxid-Additionsprodukts, Thiophenolacrylat, Benzylmercaptanacrylat, durch Substitution der Wasserstoffatome dieser aromatischen Ringe mit 1 bis 5 Chlor- oder Bromatome erhaltene Monomere, Styrol, p-Methylstyrol, o-Methylstyrol, m-Methylstyrol, chloriertes Styrol, bromiertes Styrol, α-Methylstyrol, chloriertes α-Methylstyrol, bromiertes α-Methylstyrol, Chlormethylstyrol, Hydroxymethylstyrol, Carboxymethylstyrol, Vinylnaphthalin, Vinylanthracen, Vinylcarbazol, durch teilweise oder vollständige Substitution der Acrylate in den Molekülen jeder der oben genannten Verbindungen durch Methacrylat erhältliche Verbindungen, γ-Methacryloxypropyltrimethoxysilan, 1-Vinyl- 2-pyrrolidon usw. In der vorliegenden Erfindung können eine oder mehrere dieser Verbindungen verwendet werden.
Wenn neben dem oben genannten eine ungesättigte Säure, wie z.B. eine ungesättigte Carbonsäure, zur lichtempfindlichen Paste zugesetzt wird, kann die Entwickelbarkeit nach der Sensibilisierung weiter verbessert werden. Die ungesättigten Carbonsäuren, die hierin verwendet werden können, umfassen Acrylsäure, Methacrylsäure, Itaconsäure, Crotonsäure, Maleinsäure, Fumarsäure, Vinylessigsäure und Anhydride dieser Säuren usw.
Die Bindemittel, die hierin verwendet werden können, umfassen Polyvinylalkohol, Polyvinylbutyral, Methacrylatpolymere, Acrylatpolymere, Acrylat-Methacrylat-Copolymere, α-Methylstyrolpolymer, Butylmethacrylatharz usw.
Außerdem können auch Oligomere und Polymere verwendet werden, die durch Polymerisieren zumindest einer der oben genannten Verbindungen mit einer Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung erhalten werden. Für die Polymerisation können 10 Gew.-% oder mehr, vorzugsweise 35 Gew.-% oder mehr, beliebiger dieser Monomere und ein anderes lichtempfindliches Monomer copolymerisiert werden.
Wenn als Monomer für die Copolymerisation eine ungesättigte Säure, wie z.B. eine ungesättigte Carbonsäure, copolymerisiert wird, kann die Entwickelbarkeit nach der Sensibilisierung weiter verbessert werden. Die ungesättigten Carbonsäuren, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise Acrylsäure, Methacrylsäure, Itaconsäure, Crotonsäure, Maleinsäure, Fumarsäure, Vinylessigsäure, Anhydride dieser Säuren usw.
Vorzugsweise beträgt die Säurezahl (SZ) des so erhaltenen Polymers oder Oligomers mit Säuregruppen, wie z.B. Carboxylgruppen, in den Seitenketten 50 bis 180. Ein noch bevorzugterer Bereich ist 70 bis 140. Wenn die Säurezahl über 180 liegt, wird der für die Entwicklung geeignete Bereich klein. Wenn der Säurewert unter 50 liegt, nimmt die Löslichkeit der nicht belichteten Abschnitte gegenüber dem Entwickler ab, wodurch die Entwicklerkonzentration erhöht wird, und außerdem lösen sich die belichteten Abschnitte ab, wodurch es schwierig wird, eine hochpräzise Struktur zu erhalten.
In der vorliegenden Erfindung kann, wenn photoreaktive Gruppen zu den Seitenketten oder Molekülenden des oben genannten Polymers oder Oligomers zugesetzt werden, dieses als lichtempfindliches Polymer oder lichtempfindliches Oligomer verwendet werden. Bevorzugte photoreaktive Gruppen sind ethylenisch ungesättigte Gruppen, einschließlich Vinylgruppen, Allylgruppen, Acrylgruppen, Methacrylgruppen usw.
Solche Seitenketten können zu einem Oligomer oder Polymer zugesetzt werden, indem eine ethylenisch ungesättigte Verbindung mit einer Glycidylgruppe oder Isocyanatogruppe oder einem Acrylsäurechlorid, Methacrylsäurechlorid oder Allylchlorid mit den Mercaptogruppen, Aminogruppen, Hydroxylgruppen oder Carboxylgruppen im Polymer einer Additionsreaktion unterzogen wird.
Die ethylenisch ungesättigten Gruppen mit einer Glycidylgruppe, die hierin verwendet werden können, umfassen Glycidylacrylat, Glycidylmethacrylat, Allylglycidylether, Glycidylethylacrylat, Crotonylglycidylether, Glycidylcrotonatether, Glycidylisocrotonatether usw.
Die ethylenisch ungesättigten Verbindungen mit einer Isocyanatgruppe, die hierin verwendet werden können, umfassen (Meth)acryloylisocyanat, (Meth)acryloxylethylisocyanat usw.
Vorzugsweise wird eine ethylenisch ungesättigte Verbindung mit einer Glycidylgruppe oder einem Isocyanat, Acrylsäurechlorid, Methacrylsäurechlorid oder Allylchlorid in einer Menge von 0,05 bis 1 Moläquivalenten pro Moläquivalent der Mercaptogruppen, Aminogruppen, Hydroxylgruppen oder Carboxylgruppen im Polymer zugesetzt.
Die Photopolymerisationsinitiatoren, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise Benzophenon, Methyl-o-benzoylbenzoat, 4,4-Bis(dimethylamin)benzophenon, 4,4-Bis(diethylamino)benzophenon, 4,4-Dichlorbenzophenon, 4-Benzoyl-4-methyldiphenylketon, Dibenzylketon, Fluorenon, 2,2-Diethoxyacetophenon, 2,2-Dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenon, 2-Hydroxy-2-methylpropiophenon, p-t-Butyldichloracetophenon, Thioxanthon, 2-Methylthioxanthon, 2-Chlorthioxanthon, 2-Isopropylthioxanthon, Diethylthioxanthon, Benzyl, Benzyldimethylketanol, Benzylmethoxyethylacetal, Benzoin, Benzoinmethylether, Benzoinbutylether, Anthrachinon, 2-t-Butylanthrachinon, 2-Amylanthrachinon, β-Chloranthrachinon, Anthron, Benzanthron, Dibenzosuberon, Methylenanthron, 4-Azidobenzalacetophenon, 2,6-Bis(p-azidobenzyliden)cyclohexanon, 2,6-Bis(p-azidobenzyliden)-4-methylcyclohexanon, 2-Phenyl-1,2-butadion-2-(o-methoxycarbonyl)oxim, 1-Phenylpropandion-2-(o-ethoxycarbonyl)oxim, 1,3-Diphenylpropantrion-2-(o-ethoxycarbonyl)oxim, 1-Phenyl-3-ethoxypropantrion-2-(o-benzoyl)oxim, Michlers Keton, 2-Methyl-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanon, Naphthalinsulfonylchlorid, Chinolinsulfonylchlorid, N-Phenylthioacridon, 4,4-Azobisisobutyronitril, Diphenyldisulfid, Benzthiazoldisulfid, Triphenylphosphin, Campherchinon, Kohlenstofftetrabromid, Tribromphenylsulfon, Benzoylperoxid und Kombinationen aus einem photoreduzierenden Farbstoff, wie z.B. Eosin oder Ethylenblau, und einem Reduktionsmittel, wie z.B. Ascorbinsäure oder Triethanolamin. In der vorliegenden Erfindung können eines oder mehrere davon verwendet werden.
Vorzugsweise beträgt die Menge des Photopolymerisationsinitiators 0,1 bis 6 Gew.-%, bezogen auf die Menge der lichtempfindlichen Komponente, und noch bevorzugter 0,2 bis 5 Gew.-%. Wenn die Menge des Polymerisationsinitiators zu gering ist, ist die Lichtempfindlichkeit zu gering, und wenn sie zu groß ist, kann der verbleibende Anteil der belichteten Abschnitte zu gering sein.
Auch der Zusatz eines UV-Lichtabsorbers zur lichtempfindlichen Paste ist effektiv. Wenn ein Absorber mit starker UV-Licht-Absorptionsfähigkeit zugesetzt wird, können ein hoher Formfaktor, hohe Genauigkeit und hohe Auflösung erzielt werden. Als UV- Lichtabsorber kann ein organischer Farbstoff zugesetzt werden. Vor allem die Verwendung eines organischen Farbstoffs mit einem großen UV-Absorptionskoeffizienten in einem Wellenlängenbereich von 350 bis 450 nm ist bevorzugt. Die organischen Farbstoffe, die hierin verwendet werden können, umfassen Azofarbstoffe, Aminoketonfarbstoffe, Xanthenfarbstoffe, Chinolinfarbstoffe, Aminoketonfarbstoffe, Anthrachinonfarbstoffe, Benzophenonfarbstoffe, Diphenylcyanoacrylatfarbstoffe, Triazinfarbstoffe, p-Aminobenzoesäurefarbstoffe usw. Ein organischer Farbstoff ist bevorzugt, da er nicht im gebrannten Isolationsfilm verbleibt, auch wenn er als Lichtabsorber zugesetzt wird, und da die Verschlechterung der Isolationsfilmeigenschaften durch den Lichtabsorber verringert werden kann. Von den organischen Farbstoffen sind vor allem Azofarbstoffe und Benzophenonfarbstoffe bevorzugt. Vorzugsweise beträgt die Menge des organischen Farbstoffs 0,05 bis 5 Gew.-%. Wenn die Menge des organischen Farbstoffs zu gering ist, nimmt die Wirkung des Zusatzes eines UV-Lichtabsorbers ab, und wenn sie zu groß ist, werden die Eigenschaften des gebrannten Isolationsfilms schlechter. Noch bevorzugter liegt die zugesetzte Menge des organischen Farbstoffs im Bereich von 0,15 bis 1 Gew.-%.
Auch ein organisches Pigment kann als UV-Lichtabsorber zugesetzt werden, beispielsweise durch Herstellung einer Lösung mit einem organischen Pigment, das in einem organischen Lösungsmittel gelöst ist, Einmischen eines Glaspulvers in das organische Lösungsmittel und Trocknen. Gemäß diesem Verfahren können Kapseln hergestellt werden, worin die Oberflächen der einzelnen Körnchen des Glaspulvers mit einem organischen Film beschichtet sind.
Ein Sensibilisierungsmittel wird zugesetzt, um die Empfindlichkeit der lichtempfindlichen Paste zu verbessern. Die Sensibilisierungsmittel, die hierin verwendet werden können, umfassen beispielsweise 2,4-Diethylthioxanthon, Isopropylthioxanthon, 2,3-Bis(4-diethylaminobenzal)cyclopentanon, 2,6-Bis(4-dimethylaminobenzal)cyclohexanon, 2,6-Bis(4-dimethylaminobenzal)-4-methylcyclohexanon, Michlers Keton, 4,4-Bis(diethylamino)benzophenon, 4,4-Bis(dimethylamino)chalkon, 4,4-Bis(diethylamino)chalkon, p-Dimethylaminocinnamylidenindanon, p-Dimethylaminobenzylidenindanon, 2-(p-Dimethylaminophenylvinylen)isonaphthothiazol, 1,3-Bis(4-dimethylamino benzal)aceton, 1,3-Carbonyl-bis(4-diethylaminobenzal)aceton, 3,3-Carbonylbis(7-diethylaminocumarin), N-Phenyl-N-ethylethanolamin, N-Phenylethanolamin, N-Tolyldiethanolamin, N-Phenylethanolamin, Isoamyldimethylaminobenzoat, Isoamyldiethylaminobenzoat, 3-Phenyl-5-benzoylthiotetrazol, 1-Phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazol usw. In der vorliegenden Erfindung können eines oder mehrere davon verwendet werden. Von den Sensibilisierungsmitteln können einige auch als Photopolymerisationsinitiatoren verwendet werden. Wenn ein Sensibilisierungsmittel zur lichtempfindlichen Paste der vorliegenden Erfindung zugesetzt wird, beträgt die Menge üblicherweise 0,05 bis 10 Gew.-%, bezogen auf die Menge der lichtempfindlichen Komponente. Ein bevorzugter Bereich beträgt 0,1 bis 10 Gew.-%. Wenn die Menge des Sensibilisierungsmittels zu gering ist, kann keine Verbesserung der Lichtempfindlichkeit erreicht werden, und wenn sie zu groß ist, kann der verbleibende Anteil der belichteten Abschnitte zu gering werden.
Eine lichtempfindliche Leuchtstoffpaste wird normalerweise durch Mischen eines Leuchtstoffpulvers, UV-Lichtabsorbers, lichtempfindlichen Polymers, lichtempfindlichen Monomers, Photopolymerisationsinitiators und Lösungsmittels in einem vorgegebenen Verhältnis, Vermischen bis zur Homogenität und Dispergieren des Gemischs mithilfe einer Dreiwalzenmühle oder eines Kneters hergestellt.
Die Viskosität der Paste kann auf geeignete Weise eingestellt werden, indem das Mischverhältnis des Leuchtstoffpulvers, organischen Lösungsmittel, Weichmachers, Ausfällschutzmittels usw. eingestellt wird. Ein bevorzugter Viskositätsbereich beträgt 2 bis 50 Pa·s, ein noch bevorzugterer Bereich beträgt 5 bis 20 Pa·s.
Nachstehend wird beschrieben, wie eine Leuchtstoffschicht der vorliegenden Erfindung hergestellt wird. Eine wie oben beschrieben hergestellte Leuchtstoffpaste wird auf die Zwischenräume zwischen den jeweils benachbarten Sperrrippen des eine Vielzahl von Sperrrippen aufweisenden Substrats aufgetragen. 1 zeigt einen Zustand, in dem die Leuchtstoffpaste durch die Austrittsöffnungen eines Pastenapplikators aufgetragen wird, um die Zwischenräume zwischen den jeweils benachbarten Leuchtstoffen des Substrats, das mit Elektroden, einem Dielektrikum und Sperrrippen ausgestattet ist, zu beschichten. 2 ist eine Darstellung zur Veranschaulichung der Positionsbeziehung zwischen dem Substrat und dem Pastenapplikator und ist für das Verständnis der nachstehend beschriebenen vorliegenden Erfindung von großem Nutzen.
Als Austrittsöffnungen zum Auftragen der Leuchtstoffpaste kann ein Pastenapplikator aus Metall, Keramik oder Kunststoff mit Austrittsöffnungen, Düsen oder Nadeln an der Spitze verwendet werden. Die Austrittsöffnungen können einen Innendurchmesser von 10 bis 500 μm aufweisen, wobei der bevorzugte Durchmesser im Bereich von 50 bis 500 μm liegt. Wenn der Durchmesser der Öffnungen kleiner als 10 μm ist, besteht die Gefahr, dass das Leuchtstoffpulver die Öffnungen verstopft, und wenn der Durchmesser der Öffnungen größer als 500 μm ist, tritt das Problem auf, dass die Leuchtstoffpaste bei hochpräziser Beschichtung in benachbarte Zellen übertritt. Da die Zwischenräume (S) zwischen den jeweils benachbarten Sperrrippen und der mittlere Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen die folgende Formel erfüllen, kann außerdem die Auftragung der Leuchtstoffpaste auf die Deckflächen der Sperrrippen weiter verhindert werden. 10 μm ≤ D ≤ S ≤ 500 μm.
Die Anzahl an Austrittsöffnungen kann 64 bis 2000 betragen. Wenn die Anzahl an Austrittsöffnungen zu gering ist, dauert die Beschichtung zu lange. Wenn die Anzahl 150 oder besser noch mehr beträgt, kann in kurzer Zeit eine Leuchtstoffschicht für eine hochpräzise Plasmaanzeige gebildet werden. Wenn die Anzahl an Öffnungen über 2000 beträgt, ist es schwierig, die Genauigkeit der Austrittsöffnungen zu garantieren und eine hochpräzise Plasmaanzeige bereitzustellen. Wenn die Anzahl an Austrittsöffnungen in einem Bereich von 16n ± 5 (n ist eine natürliche Zahl) gehalten wird, kann leicht eine Leuchtstoffschicht gebildet werden, die für eine Plasmaanzeige geeignet ist, die mit einem Mehrzweckschaltkreis betrieben werden kann.
Wünschenswerterweise beträgt der Abstand zwischen Austrittsöffnungen 0,12 bis 3 mm. Wenn der Abstand weniger als 0,12 mm beträgt, sind die Abstände zwischen benachbarten Austrittsöffnungen so klein, dass die Herstellung des Pastenapplikators schwierig ist. Wenn er über 3 mm beträgt, kann die Beschichtung nur schwer kontrolliert werden, wenn ein Glassubstrat mit in einem Abstand von 300 μm oder weniger ausgebildeten Sperrrippen beschichtet wird. Wenn der Abstand von Austrittsöffnungen 3m-mal (m ist eine ganze Zahl von 1 bis 10) dem Abstand der Sperrrippen entspricht, kann eine effiziente Beschichtung mit hoher Genauigkeit erreicht werden. Wenn ein Pastenapplikator verwendet wird, der die folgende Gleichung erfüllt, kann die Leichtigkeit des Auftragens noch erhöht werden; L/D = 0,1~600worin L die Länge der Austrittsöffnungen und D der mittlere Durchmesser der Austrittsöffnungen ist.
Wenn L/D über 600 beträgt, ist der Druckverlust so groß, dass die aufgetragene Pastenmenge gering gehalten und so die Dicke der Leuchtstoffschicht verringert wird. Wenn es über 0,1 liegt, tropft die Paste frei aus den Austrittsöffnungen.
Um die Leuchtstoffpaste durch die Austrittsöffnungen aufzutragen, wird vorzugsweise kontinuierlich Druck mit einem Wert innerhalb eines bestimmten Bereichs auf die Paste ausgeübt, um die Paste mit einem Druck aufzutragen. So kann die aufgetragene Pastenmenge konstant gehalten und eine stabile Beschichtungsdicke erreicht werden.
Wie in 1 zu sehen können, während die Paste durch die Austrittsöffnungen aufgetragen wird, der Pastenapplikator und das Substrat relativ zueinander und parallel zu den Sperrrippen auf dem Substrat bewegt werden, um das Substrat mit der Leuchtstoffpaste zu beschichten. In diesem Fall kann sich der Pastenapplikator bewegen, während das Substrat fixiert ist, oder das Substrat kann sich bewegen, während der Pastenapplikator fixiert ist. Oder beide können sich gleichzeitig bewegen.
Um das Auftragen der Leuchtstoffpaste durch die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators zu beenden, kann der Pastenapplikator im Inneren unter einem Unterdruck gehalten werden, um das Auftragen der Paste zu beenden, ohne dass am Rand der Beschichtung Flüssigkeit herabtropft, d.h. ohne Veränderung der Beschichtungsdicke.
Wenn das Auftragen der Leuchtstoffpaste begonnen wird, nachdem die relative Bewegung des Pastenapplikators und des Glassubstrats parallel zu den Sperrrippen auf dem Substrat begonnen wurde und bevor die relative Bewegung beendet wurde, kann eine Veränderung der Dicke durch herabtropfende Flüssigkeit am Rand der Beschichtung verhindert werden.
Beim Auftragen beträgt der Abstand zwischen den Spitzen der Austrittsöffnungen und den oberen Enden der Sperrrippen 0,01 bis 2 mm. Noch bevorzugter liegt er im Bereich von 0,05 bis 0,5 mm. Um einen Kontakt zwischen den Austrittsöffnungen und den oberen Enden der Sperrrippen zu verhindern, beträgt der Abstand vorzugsweise 0,01 mm oder mehr, noch bevorzugter 0,05 mm oder mehr. Um zu verhindern, dass die durch die Austrittsöffnungen aufgebrachte Paste unterbrochen wird, beträgt der Abstand außerdem vorzugsweise 2 mm oder weniger, noch bevorzugter 0,5 mm oder weniger.
Wenn mehrere Pastenapplikatoren zur gleichzeitigen Beschichtung in die Vorrichtung eingebaut werden, kann die Beschichtung effizient in kurzer Zeit durchgeführt werden. In diesem Fall kann, wenn die mehreren Pastenapplikatoren mit der gleichen Geschwindigkeit bewegt werden, eine gleichmäßig dicke Beschichtung erzielt werden. Wenn drei oder mehr Pastenapplikatoren eingebaut werden, um eine Paste, die ein Licht mit einer Farbe emittierendes Leuchtstoffmaterial enthält, durch die drei oder mehr Pastenapplikatoren aufzutragen, dann können Leuchtstoffmaterialien mit drei Farben, Rot, Grün und Blau, gleichzeitig als Beschichtung aufgetragen werden. Außerdem ist es auch möglich, Leuchtstoffpasten mit drei Farben mithilfe eines Pastenapplikators aufzutragen. In diesem Fall kann, wenn der kürzeste Abstand zwischen den Austrittsöffnungen, die Leuchtstoffe mit jeweils unterschiedlichen Farben auftragen, bei 600 μm oder mehr gehalten wird, ein Vermischen des roten, grünen und blauen Leuchtstoffs verhindert werden.
Wenn eine Leuchtstoffschicht auf hochpräzisen Sperrrippen ausgebildet wird, kann durch Trocknen nach dem Auftragen jeder Farbe ein Vermischen der Farben verhindert werden.
In der vorliegenden Erfindung kann, nachdem Leuchtstoffpaste durch die Austrittsöffnungen aufgebracht wurde, ein organisches Lösungsmittel, eine organische Komponente usw. zur Entfernung durch Erhitzen, wie z.B. Trocknen oder Brennen, Wasser, abgedampft oder zersetzt werden, um eine Leuchtstoffschicht zu bilden.
Bei diesem Erhitzen wird der Leuchtstoff üblicherweise mit der Beschichtungsfläche nach oben getrocknet, kann aber auch mit der Beschichtungsfläche nach unten getrocknet werden. Wenn die mit Leuchtstoff beschichtete Oberfläche nach unten weist, rinnt die Leuchtstoffpaste entlang der Seiten der Sperrrippen nach unten, sodass auch als Seitenwand entlang der einzelnen Sperrrippen eine Leuchtstoffschicht gebildet wird. Wenn die Leuchtstoffschicht nicht nur als Bodenwand gebildet wird, sondern auch als Seitenwand entlang der einzelnen Sperrrippen, dann kann die Fläche der Leuchtstoffschicht vergrößert werden, um die Luminanz der Plasmaanzeige zu verbessern.
Wenn eine lichtempfindliche Leuchtstoffpaste als Leuchtstoffpaste verwendet wird, kann eine Struktur durch Photolithographie verarbeitet werden. Das ist zur Entfernung des Leuchtstoffs von Nutzen, der durch Auftragen auf ungewünschte Abschnitte, wie z.B. die Deckflächen der Sperrrippen, erhalten wird.
Nachdem die lichtempfindlichen Leuchtstoffpasten mit roter, grüner bzw. blauer Farbe durch die Austrittsöffnungen zur Beschichtung aufgetragen wurden, werden sie durch eine Photomaske bestrahlt, und die Pasten auf den bestrahlten Abschnitten werden durch einen Entwickler löslich oder unlöslich gemacht, um die ungewünschten Abschnitte im Entwicklungsschritt zu entfernen und eine Leuchtstoffschicht zu bilden. Der Entwickler kann ein organisches Lösungsmittel sein, das die organische Komponente in den lichtempfindlichen Pasten löst. Zum organischen Lösungsmittel kann auch Wasser zugesetzt werden, und zwar in einer Menge, welche das Lösungsvermögen des organischen Lösungsmittels nicht auslöscht. Wenn die lichtempfindlichen Pasten eine Verbindung mit sauren Gruppen, wie z.B. Carboxylgruppen, enthält, kann zur Entwicklung eine wässrige alkalische Lösung verwendet werden. Als wässrige Alkalilösung kann eine wässrige Alkalimetalllösung, wie z.B. eine wässrige Natriumhydroxid- oder Calciumhydroxidlösung, verwendet werden, vorzugsweise wird jedoch eine organische wässrige Alkalilösung verwendet, da die Alkalikomponente leicht beim Brennen entfernt werden kann.
Das organische Alkali kann eine Aminverbindung sein. Die Aminverbindungen, die hierin verwendet werden können, umfassen Tetramethylammoniumhydroxid, Trimethylbenzylammoniumhydroxid, Monoethanolamin, Diethanolamin usw. Die Konzentration der wässrigen Alkalilösung beträgt üblicherweise 0,01 bis 10 Gew.-%. Ein bevorzugter Bereich ist 0,1 bis 5 Gew.-%. Wenn die Alkalikonzentration zu gering ist, ist es schwierig, die nicht bestrahlten Abschnitte zu entfernen. Wenn die Alkalikonzentration zu hoch ist, kann sich die Struktur ablösen, und die bestrahlen Abschnitten können unvorteilhafterweise korrodieren. Die Entwicklungstemperatur beträgt im Hinblick auf die Prozesskontrolle vorzugsweise 20 bis 50°C.
In Bezug auf die Dicke der Leuchtstoffschicht kann, wenn die Dicke (T1) der Leuchtstoffschicht als Seitenwand (die halbe Höhe der Sperrrippen) und die Dicke (T2) als Bodenwand die folgende Gleichung erfüllen, eine Plasmaanzeige mit hervorragender Luminanz erzeugt werden: 10 ≤ T1 ≤ 50 μm 10 ≤ T2 ≤ 50 μm.
Wenn T1 oder T2 weniger als 10 μm betragen, durchdringen die durch elektrische Entladungen erzeugten UV-Strahlen die Leuchtstoffschicht, wodurch es schwierig wird, ausreichende Luminanz zu erreichen. Wenn sie mehr als 50 μm betragen, tritt das Problem auf, dass die elektrische Entladungsspannung sehr hoch wird.
Vorzugsweise gilt für T1 und T2 die folgende Beziehung: 0,2 ≤ T1/T2 ≤ 5
Wenn das Verhältnis zwischen der Seitenwanddicke und der Bodenwanddicke zu groß oder zu klein ist, ist die Wahrscheinlichkeit groß, dass der Anzeigeschirm vom Sichtwinkel abhängt, und das ist für große Anzeigen nicht von Vorteil.
Nachdem die Leuchtstoffpasten an vorbestimmten Positionen aufgetragen wurden, werden sie in einem Brennofen gebrannt, um die organische Komponente zu entfernen und eine Leuchtstoffschicht zu bilden. Die Atmosphäre und Temperatur beim Brennen hängen von der Art der Pasten und des Substrats ab. Die Atmosphäre beim Brennen besteht aus Luft, Stickstoff oder Wasserstoff usw. Eine bevorzugte Brenntemperatur ist 300 bis 550°C. Ein noch bevorzugterer Bereich ist 350 bis 500°C.
Wenn der Leuchtstoff auf die Deckflächen der Sperrrippen aufgetragen ist, können die Sperrrippen eventuell keine abgeschlossenen Zellen bilden, wenn die Vorderplatte zum Versiegeln angefügt wird, wodurch elektrische Entladung austreten kann. So kann der auf den Deckflächen abgelagerte Leuchtstoff durch Anhaftenlassen an einem Haftmaterial entfernt werden.
Um die organische Komponente vollständig zu entfernen, ist eine Erwärmung auf 300°C, vorzugsweise 350°C, erforderlich. Um eine Verschlechterung des Leuchtstoffs durch Hitze zu verhindern, sollte die Temperatur jedoch 550°C oder weniger, vorzugsweise 500°C oder weniger, betragen. Als Brennofen kann ein Brennofen vom Chargentyp oder ein Durchlaufbrennofen vom Förderbandtyp oder Walzenherdtyp verwendet werden.
Das Substrat mit einer auf diese Weise gebildeten Leuchtstoffschicht wird mit dem vorderen und hinteren Glassubstrat verbunden und abgedichtet. Das vordere Substrat weist eine die elektrische Entladung aufrechterhaltende Elektrode, bestehend aus einer ITO- und Bus-Elektrode, eine Glasschicht als Dielektrikum und einen Schutzfilm zum Schutz des Dielektrikums vor elektrischer Entladung (üblicherweise Magnesiumoxid) auf, die jeweils darauf ausgebildet sind. Wenn erforderlich werden ein Farbfilter und eine schwarze Matrix oder schwarze Streifen ausgebildet. Die vordere und hintere Platte werden unter Verwendung von Glasfritte usw. abgedichtet.
Danach wird ein Edelgas, wie z.B. Helium, Neon oder Xenon, zwischen die vordere und hintere Platte eingebracht, um den Bildschirm der Plasmaanzeige herzustellen. Außerdem wird eine Treiber-IC angebracht, um eine Plasmaanzeige herzustellen. Dann werden die Elektroden der vorderen und hinteren Platte als Matrix betrieben, um eine Anzeige zu ermöglichen.
Die Vorrichtung zur Leuchtstoffpastenbeschichtung der vorliegenden Erfindung ist nachstehend beschrieben. Die Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige der vorliegenden Erfindung besteht aus einem Tisch zur Befestigung eines Substrats mit einer Vielzahl von Sperrrippen und einem Pastenapplikator mit einer Vielzahl von Austrittsöffnungen, die den zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen auf dem Substrat ausgebildeten Zwischenräumen entsprechen, um Streifen aus den Leuchtstoffpasten auf den Zwischenräumen zwischen den jeweils benachbarten Sperrrippen auszubilden.
3 ist eine allgemeine perspektivische Darstellung einer Ausführungsform der Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige gemäß der vorliegenden Erfindung.
4 ist eine schematische Darstellung des Tischs 6 und des Pastenapplikators 20 aus 3 zur Veranschaulichung eines wichtigen Abschnitts der Produktionsvorrichtung.
In den 3 und 4 sind auf einer Basis 2 ein Paar gerillte Leitschienen 8 bereitgestellt, und auf den gerillten Leitschienen 8 ist der Tisch 6 angeordnet. Der Tisch 6 weist eine Vielzahl von Ansaugöffnungen 7 auf, und ein Substrat 4 mit in einem bestimmten Abstand angeordneten Sperrrippen ist durch Vakuumsaugwirkung auf der Oberfläche des Tischs 6 befestigt. Das Substrat 4 wird mithilfe von nicht dargestellten Hebestiften in Bezug auf den Tisch 6 angehoben und abgesenkt. Außerdem kann der Tisch 6 durch Gleituntersätze 9 auf den gerillten Leitschienen 8 in X-Achsenrichtung hin- und herbewegt werden.
Zwischen dem Paar gerillter Leitschienen 8 erstreckt sich eine Vorschubspindel 10 durch ein Verbindungsstück vom Schraubenmuttertyp 11, das auf der Unterseite des Tischs 6 befestigt ist. Die Vorschubspindel 10 wird an beiden Enden drehbar von Lagern 12 getragen und ist an einem Ende mit einem Wechselstrom-Servomotor 16 verbunden.
Über dem Tisch 6 ist der Pastenapplikator 20 zum Auftragen einer Leuchtstoffpaste über eine Haltevorrichtung 22 mit einem Hebemechanismus 30 und einem Querbewegungsmechanismus 36 verbunden. Der Hebemechanismus 30 ist mit einer Hebehalterung 28 ausgestattet, die zu einer Aufwärts- und Abwärtsbewegung in der Lage ist, und die Hebehalterung 28 ist heb- und senkbar entlang eines Paars von Führungsstangen im Gehäuse des Hebemechanismus 30 befestigt. Im Gehäuse ist außerdem eine Kegelumlaufspindel (nicht dargestellt) drehbar als Vorschubspindel zwischen den Führungsstangen angeordnet und über ein Verbindungsstück vom Schraubenmuttertyp mit der Hebehalterung 28 verbunden. Am oberen Ende der nicht dargestellten Vorschubspindel ist weiters ein Wechselstrom-Servomotor angeschlossen, sodass die Hebehalterung 28 nach Wunsch durch die Drehung des Wechselstrom-Servomotors angehoben oder abgesenkt werden kann.
Der Hebemechanismus 30 ist über eine Y-Achsen-Bewegungshalterung 32 mit einem Querbewegungsmechanismus 36 verbunden. Der Querbewegungsmechanismus 36 ist so aufgebaut, dass er die Y-Achsen-Bewegungshalterung 32 in Y-Achsenrichtung hin- und herbewegt. Die Leitschienen, die Vorschubspindel, das Verbindungsstück vom Schraubenmuttertyp, der Wechselstrom-Servomotor usw., die alle für den Betrieb notwendig sind, sind in einem Gehäuse, wie z.B. dem Hebe mechanismus 30, untergebracht. Der Querbewegungsmechanismus 36 ist durch Stützen 34 auf der Basis 2 befestigt.
In diesem Aufbau kann der Pastenapplikator 20 in Z-Achsen- und Y-Achsenrichtung bewegt werden. Der Pastenapplikator 20 erstreckt sich in die Richtung orthogonal zur Richtung der Hin- und Herbewegung des Tischs 6, d.h. horizontal in Y-Achsenrichtung. Die Haltevorrichtung 22, von der dieser direkt getragen wird, ist drehbar in der Hebehalterung 28 befestigt und kann nach Wunsch in einer vertikalen Ebene in die Pfeilrichtungen aus 3 gedreht werden.
Ein Horizontalstab 24, der sich über der Haltevorrichtung 22 befindet, ist ebenfalls an der Hebehalterung 28 befestigt. An beiden Enden des Horizontalstabs 24 sind elektromagnetische Linearantriebe 26 angebracht. Die Linearantriebe 26 weisen Expansionsstangen 29 auf, die von der Unterseite des Horizontalstabs 24 hervorragen, und die Expansionsstangen 29 sind mit den Enden der Haltevorrichtung 22 in Kontakt, um den Rotationswinkel der Haltevorrichtung 22 zu kontrollieren, sodass die Neigung des Pastenapplikators 20 nach Wunsch eingestellt werden kann.
Auf der Oberseite der Basis 2 sind ein Sensorträger 38 mit der Form eines umgekehrten L und ein Kameraträger 70 mit der Form eines umgekehrten L befestigt. Auf der Spitze des Sensorträgers 38 ist ein Höhensensor 40 zur Messung der Höhe der oberen Enden der Sperrrippen auf der Oberfläche des Substrats 4 auf dem Tisch 6 angebracht. An einem Ende des Tischs 6 sind außerdem Positionssensoren 66 über eine Sensorhalterung 64 befestigt, um die Position der unteren Endflächen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 in Bezug auf den Tisch 6 in vertikaler Richtung zu detektieren.
Auf der Spitze des Kameraträgers 70 ist eine Kamera 72 befestigt, um die Positionen der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen auf der Oberfläche des Substrats 4 oder einer Bezugsmarkierung an beliebiger anderer Stelle als die Sperrrippen zu detektieren. Wie in 4 zu sehen ist, ist die Kamera 72 elektrisch mit einem Bildverarbeitungssystem 74 verbunden und kann die Positionen der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen des Substrats, die Anzahl der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen und die Position der Bezugsmarkierung quantitativ identifizieren.
In 4 weist der Pastenapplikator 20 einen Verteiler 41 auf, der mit einer Leuchtstoffpaste 42 gefüllt ist. Durch die Austrittsöffnungen 44 wird die Leuchtstoffpaste aufgetragen. Der Pastenapplikator 20 ist mit einem Zufuhrschlauch 46 verbunden, der wiederum mit einem elektromagnetischen Umschaltventil 48 zum Auftragen, einer Zufuhreinheit 50, einem Ansaugschlauch 52, einem elektromagnetischen Umschaltventil 54 zum Absaugen und einem Leuchtstoffpastenbehälter 56 verbunden ist. Im Leuchtstoffpastenbehälter 56 ist die Leuchtstoffpaste 42 gelagert.
Die Zufuhreinheit 50 kann eine Konstantpumpe vom Kolbentyp oder Membrantyp, eine Kreiselpumpe, eine Zahnradpumpe oder ein Druckzufuhrsteuergerät zur Extrusion einer Flüssigkeit durch Gasdruck usw. sein.
Bei Empfang eines Steuersignals von einer Zufuhrvorrichtungssteuereinrichtung 58 werden die Zufuhreinheit 50 und die entsprechenden elektromagnetischen Umschaltventile aktiviert, um die Leuchtstoffpaste 42 aus dem Leuchtstoffpastenbehälter 56 herauszusaugen und zum Pastenapplikator 20 zuzuführen.
Die Zufuhrvorrichtungssteuereinrichtung 58 ist außerdem elektrisch mit einer allgemeinen Steuervorrichtung 60 verbunden. Die allgemeine Steuervorrichtung 60 ist elektrisch mit allen Steuerinformationen verbunden, wie beispielsweise Eingaben von einer Motorsteuereinrichtung 62, vom Höhensensor 40, vom Bildverarbeitungssystem 74 der Kamera 72, von einem Hebemechanismusantrieb 76 und einem Querbewegungsmechanismusantrieb 78, und verfügt über die Folgesteuerung des Ganzen. Die allgemeine Steuervorrichtung 60a kann ein beliebiger Mechanismus sein, wie z.B. ein Computer oder eine Folgesteuerungsanlage, solange er Steuerfunktion aufweist.
Weiters empfängt die Motorsteuereinrichtung 62 die Signale vom Wechselstrom-Servomotor 16 zum Antreiben des Tischs 6, die Signale von den Wechselstrom-Servomotoren für den Hebemechanismus 30 und den Querbewegungsmechanismus 36, die Signale vom Positionssensor 68 zum Detektieren der Fahrstellung des Tischs 6, die Signale von den entsprechenden Linearsensoren (nicht dargestellt) für die Y- und Z-Achse zur Detektion der Wirkstellung des Pastenapplikators 20 usw. Anstatt den Positionssensor 68 zu verwenden, kann ein Codierer in den Wechselstrom-Servomotor 16 inkorporiert werden, um die Position des Tischs 6 ausgehend von den vom Codierer kommenden Impulssignalen zu detektieren.
Das Verfahren zum Auftragen einer Leuchtstoffpaste unter Verwendung dieser Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige ist nachstehend beschrieben.
Zuerst bewegen sich, wenn die entsprechenden Wirkabschnitte an ihre Ausgangspositionen zurückkehren, der Tisch 6 und der Pastenapplikator 20 an ihre jeweilige Bereitschaftsposition. In diesem Fall ist der Abschnitt vom Leuchtstoffpastenbehälter 56 zum Pastenapplikator 20 schon mit der Leuchtstoffpaste gefüllt, und das elektromagnetische Umschaltventil 48 zum Auftragen ist geöffnet, während das elektromagnetische Umschaltventil 54 zum Absaugen geschlossen ist. Auf der Oberfläche des Tischs 6 bewegen sich die nicht dargestellten Hebestifte nach oben, und das Substrat 4 wird mithilfe einer nicht dargestellten Beladevorrichtung auf die Spitzen der Hebestifte geladen.
Dann werden die Hebestifte abgesenkt, um das Substrat 4 auf die Oberfläche des Tischs aufzubringen, und mithilfe einer nicht dargestellten Ausrichtungsvorrichtung auf dem Tisch 6 positioniert, wobei es durch Vakuum angesaugt wird.
Danach bewegt sich der Tisch 6 so weit, bis sich die Sperrrippen des Substrats 4 unter der Kamera 72 und dem Höhensensor 41 befinden, und stoppt dann. Die Kamera 72 wird vorher in Position gebracht, um das Bild der Enden der Sperrrippen auf dem Substrat 4, das auf dem Tisch 6 positioniert ist, zu übertragen, und detektiert die Position des Zwischenraums zwischen den Sperrrippen am äußersten Ende durch Bild verarbeitung, wodurch der Abstand vom Bezugspunkt der Kamera 72 erhalten wird. Der Abstand zwischen dem Bezugspunkt der Kamera und der Austrittsöffnung 44 am äußersten Ende des Pastenapplikators 20 in der vorbestimmten Ordinatenposition auf der Y-Achse, andererseits, wird zum Zeitpunkt der Voreinstellung gemessen und in der allgemeinen Steuervorrichtung 60 als Information gespeichert. Wenn der Abstand zwischen dem Bezugspunkt der Kamera und dem Zwischenraum zwischen den Sperrrippen zum Bildverarbeitungssystem 74 übertragen wird, wird der Ordinatenwert auf der Y-Achse, bei dem sich die Austrittsöffnung 44 am äußersten Ende des Pastenapplikators 20 über dem Zwischenraum zwischen den Sperrrippen an den Enden der Sperrrippen befindet, berechnet, damit der Pastenapplikator 20 sich zu der Position bewegen kann. Als Ergebnis befinden sich die Zentren aller Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 über den jeweiligen Zwischenräumen zwischen den Sperrrippen, die mit der Leuchtstoffpaste beschichtet werden sollen, um so die relative Positionierung zwischen Pastenapplikator 20 und Substrat 4 zu beenden.
Bei einem anderen Positionierungsverfahren kann die Kamera 72 auch die Bezugsmarkierung detektieren, die sich an einer anderen Stelle als die Sperrrippen auf dem Substrat 4 befindet. Der Abstand zwischen dem Bezugspunkt der Kamera und den Austrittsöffnungen 44 am äußersten Ende des Pastenapplikators 20 und die Abstände zwischen der Bezugsmarkierung und den Enden der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen, die beschichtet werden sollen, werden zum Zeitpunkt der Voreinstellung gemessen und als Information in der allgemeinen Steuereinrichtung 60 gespeichert. Wenn der Abstand zwischen dem Bezugspunkt der Kamera und der Bezugsmarkierung zum Bildverarbeitungssystem 74 übertragen wird, wird deshalb der Pastenapplikator 20 zur Position zur Beschichtung bewegt.
Außerdem können die Abstände zwischen dem Bezugspunkt der Kamera und den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 auch durch flaches und gleichmäßiges Auftragen der Leuchtstoffpaste durch den Pastenapplikator 20 auf das Substrat, um Streifen aus der Leuchtstoffpaste zu bilden, und Detektieren und Messen der Positionen der Streifen durch Bildverarbeitung erhalten werden, um die absoluten Positio nen zu bestimmen. Da die Positionen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 bestimmt werden können, kann somit die absolute Position des Pastenapplikators erhalten werden. Mithilfe dieses Verfahrens können die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 mit den Zwischenräumen zwischen den Sperrrippen auf der Oberfläche des Substrats 4 abgestimmt werden, um eine Beschichtung zu ermöglichen.
Der Höhensensor 40 detektiert die Position der oberen Enden der Sperrrippen auf dem Substrat 4 in vertikaler Richtung und berechnet die Höhe der oberen Enden der Sperrrippen auf dem Substrat 4 aus der Differenz zwischen der detektierten Position und der Position der Oberseite des Tischs. Zur Höhe wird der vorbestimmte Abstand von den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 zu den oberen Enden der Sperrrippen auf dem Substrat 4 addiert, um die Distanz zu berechnen, die der Pastenapplikator 20 auf dem Z-Achsen-Linearsensor nach unten bewegt werden muss, und der Pastenapplikator 20 wird zur dieser Position bewegt. Auch wenn sich die Position der oberen Enden der Sperrrippen auf dem Substrat 4 auf dem Tisch 6 mit jedem Substrat ändert, bleibt der Abstand zwischen den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 und den oberen Enden der Sperrrippen des Substrats 4, der für die Beschichtung wichtig ist, somit immer konstant.
Der Höhensensor 40, der in der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, kann nach jedem beliebigen Prinzip arbeiten, das eine Messung ermöglicht, und kann beispielsweise vom kontaktlosen Typ, bei dem ein Laser oder Ultraschallwellen usw. verwendet werden, oder vom Kontakttyp sein, bei dem eine Messuhr oder ein Differentialüberträger usw. verwendet werden.
Dann wird damit begonnen, den Tisch 6 in Richtung Pastenapplikator 20 zu bewegen, und er wird auf eine vorbestimmte Beschichtungsgeschwindigkeit beschleunigt, bevor die Beschichtungsstartposition des Substrats 4 die Position unter den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 erreicht. Der Abstand zwischen der Bewegungsstartposition auf dem Tisch und der Beschichtungsstartposition muss lang ge nug sein, damit der Tisch 6 auf die Beschichtungsgeschwindigkeit beschleunigt werden kann.
An einer Stelle, bevor die Beschichtungsstartposition des Substrats an die Position unter den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 kommt, wird der Positionssensor 68 zur Detektion der Position des Tischs 6 angeordnet, und wenn der Tisch 6 die Position erreicht, beginnt die Zufuhreinheit zu arbeiten, um die Zufuhr der Leuchtstoffpaste 42 zum Pastenapplikator 20 zu beginnen. Anstelle des Positionssensors 68 kann auch ein Codierer an den Motor oder die Vorschubspindel angeschlossen sein, um die Position in Bezug auf den Wert des Codierers zu detektieren.
Die Auftragung der Leuchtstoffpaste wird so lange fortgesetzt, bis die Beschichtungsendposition des Substrats 4 eine Position nahe unter den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 erreicht. Da das Substrat 4 sich ständig an einer bestimmten Position auf dem Tisch 6 befindet, wird deshalb ein Positionssensor oder sein Codierwert an der Position des Tischs 6 voreingestellt, die der Position entspricht, an der sich die Beschichtungsendposition des Substrats direkt unter den Austrittsöffnungen befindet, und wenn der Tisch 6 die entsprechende Position erreicht, wird ein Stoppbefehl von der allgemeinen Steuereinrichtung 60 an die Zufuhrvorrichtungssteuereinrichtung 58 übermittelt, um die Zufuhr der Leuchtstoffpaste 42 zum Pastenapplikator 20 zu stoppen. In diesem Fall kann der Pastenapplikator 20 angehoben werden, um die Auftragung der Leuchtstoffpaste vollständig zu stoppen.
Wenn die Leuchtstoffpaste 42 eine Flüssigkeit mit relativ hoher Viskosität ist, ist es schwierig, die Ausgabe durch die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 sofort durch die Wirkung des Restdrucks zu stoppen. Sobald also die Zufuhr der Leuchtstoffpaste 42 gestoppt wurde, wird der Druck des Verteilers 41 des Pastenapplikators 20 wieder auf Atmosphärendruck oder auf Unterdruck gebracht, um die Leuchtstoffpaste aus den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 abzusaugen, damit die Abgabe der Leuchtstoffpaste durch die Austrittsöffnungen in kurzer Zeit gestoppt werden kann. In Bezug auf die Mittel zur Änderung des Drucks des Verteilers 41 auf einen Unterdruck kann, wenn die Zufuhreinheit 50 eine Pumpe ist, die Pumpe um gekehrt betrieben werden, d.h. so, dass die Leuchtstoffpate abgesaugt wird. Im Falle von Druckzuführung kann die Zufuhreinheit 50 mit einer Vakuumquelle verbunden werden, um den Druck des Verteilers 41 auf einen Unterdruck zu ändern.
Als weiteres Mittel zur Änderung des Drucks des Verteilers 41 auf einen Unterdruck kann ein elektromagnetisches Umschaltventil, das mit einer Vakuumquelle verbunden ist, an einer Position zwischen dem elektromagnetischen Umschaltventil 48 zu Entladung und dem Pastenapplikator 20 bereitgestellt werden oder auch im Pastenapplikator 20 selbst, um den Druck auf einen Unterdruck zu ändern. In diesem Fall kann, wenn der Druck der Vakuumquelle von Atmosphärendruck auf einen gewünschten Unterdruck eingestellt werden kann, die Geschwindigkeit, mit der die Leuchtstoffpaste 42 aus den Austrittsöffnungen abgesaugt wird, eingestellt werden. Die Vakuumquelle kann eine Vakuumpumpe oder eine Pumpe vom Absaugtyp oder Kolbentyp, die umgekehrt betrieben werden kann, sein.
Weiters kann der Zeitpunkt der Druckeinstellung durch die Zufuhrvorrichtungssteuereinrichtung 58 und die allgemeine Steuereinrichtung 60 gesteuert werden.
Der Tisch 6 bewegt sich noch weiter, nachdem die Beschichtungsendposition passiert wurde, und stoppt erst bei Erreichen des Endpunkts. In diesem Fall wird, wenn immer noch zu beschichtende Abschnitte vorhanden sind, der Pastenapplikator 20 in Y-Achsenrichtung zum nächsten Beschichtungsstartpunkt bewegt, wonach nach dem gleichen Verfahren beschichtet wird, mit der Ausnahme, dass der Tisch 6 in die umgekehrte Richtung bewegt wird. Wenn eine Beschichtung durchgeführt werden soll, bei der sich der Tisch 6 in die gleiche Richtung bewegt wie beim ersten Mal, wird der Pastenapplikator 20 bis zum nächsten Beschichtungsstartpunkt in Y-Achsenrichtung bewegt, und der Tisch 6 wird auf die X-Achsen-Vorposition zurückgebracht.
Nachdem der Beschichtungsvorgang auf diese Weise abgeschlossen wurde, wird der Tisch 6 an die Stelle bewegt und dort gestoppt, an der das Substrat 4 mithilfe einer Entladevorrichtung abgeladen wird, das Ansaugen des Substrats 4 wird beendet, indem das Vakuum zur Atmosphäre geöffnet wird, und die Hebestifte werden angehoben, um das Substrat 4 von der Oberfläche des Tischs 6 zu trennen und anzuheben.
An diesem Punkt wird das Substrat 4 auf der Unterseite von einer nicht dargestellten Entladevorrichtung getragen und den nachfolgenden Verfahrensschritten zugeführt. Nachdem das Substrat 4 der Entladevorrichtung übergeben wurde, wird der Tisch 6 bei abgesenkten Hebestiften an die Ausgangsposition zurückgeführt.
An diesem Punkt wird das elektromagnetische Umschaltventil 48 zum Auftragen geschlossen, während das elektromagnetische Umschaltventil 54 zum Absaugen geöffnet wird, um die Zufuhreinheit 50 anzusteuern und die Leuchtstoffpaste 42 vom Leuchtstoffpastenbehälter 56 zum Pastenapplikator 20 zuzuführen, und zwar in einer Menge, die für ein Substrat erforderlich ist.
Beim obigen Beschichtungsverfahren sind der Zeitpunkt des Beginns der Zufuhr der Leuchtstoffpaste zum Pastenapplikator 20 an der Beschichtungsstartposition und der Zeitpunkt der Beendigung der Zufuhr der Leuchtstoffpaste zum Pastenapplikator 20 an der Beschichtungsendposition wichtig, um die Genauigkeit der Beschichtungsdicke im vorgegebenen effektiven Bereich zu verbessern. Somit müssen die entsprechenden Vorgänge an den optimalen Punkten durchgeführt werden.
In dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird mit dem Auftragen der Leuchtstoffpaste 42 begonnen, nachdem der Abstand zwischen den Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 und den oberen Enden der Sperrrippen auf dem Substrat 4 eingestellt wurde. Der Grund dafür ist, dass, wenn mit dem Auftragen der Leuchtstoffpaste 42 vor Einstellung des Abstandes zwischen den beiden begonnen wird, sich die Leuchtstoffpaste 42 auf den Flächen der Spitzen der Austrittsöffnungen ausbreitet, wenn sie durch die Austrittsöffnungen aufgetragen wird, sodass andere Abschnitte als die Austrittsöffnungen verschmutzt werden, und im schlimmsten Fall verbinden sich die Leuchtstoffpasten 42 von benachbarten Austrittsöffnungen auf unvorteilhafte Weise, sodass keine genaue Beschichtung möglich ist. Wenn mit dem Auftragen der Leuchtstoffpaste 42 begonnen wird, nachdem die Spitzenflächen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 20 nahe an das Substrat 4 gebracht wurden, wird die Leuchtstoffpaste 42 in die Zwischenräume zwischen den jeweils benachbarten Sperrrippen geleitet, bevor die Leuchtstoffpaste 42 sich auf den Spitzenflächen ausbreitet. So treten keine Schwierigkeiten, wie sie oben beschrieben wurden, auf.
Weiters beschreibt diese Ausführungsform einen Anwendungsfall, bei dem sich das Substrat 4 in X-Achsenrichtung bewegt, während sich der Pastenapplikator 20 in Y-Achsen- und Z-Achsenrichtung bewegt. Der Tisch und der Pastenapplikator können sich jedoch in beliebige Richtungen bewegen, solange der Aufbau oder die Ausführung eine dreidimensionale Bewegung des Pastenapplikators 20 und des Substrats 4 zueinander erlaubt.
Die obige detaillierte Beschreibung beschreibt einen Fall, bei dem mit einer Leuchtstoffpaste beschichtet wird, aber die vorliegende Erfindung kann auch in einem Fall eingesetzt werden, bei dem drei Leuchtstoffe mit roter, blauer und grüner Farbe gleichzeitig aufgetragen werden können.
5 und 6 sind schematische perspektivische Darstellungen von Beispielen für den Pastenapplikator, der in der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird. In 5 sind Öffnungen mit einem bestimmten Durchmesser als Austrittsöffnungen 501 auf einer flachen Oberfläche bereitgestellt. Weiters können die Austrittsöffnungen durch die Anordnung von Röhrchen 601 mit der in 6 dargestellten Gestalt gebildet werden, und dieser Pastenapplikator ist bevorzugt, da bei solch einem Pastenapplikator die Wahrscheinlichkeit einer Verschmutzung geringer ist.
Vorzugsweise sind die Zentren aller Austrittsöffnungen des Pastenapplikators so angeordnet, dass sie sich über den jeweiligen Zwischenräumen zwischen den Sperrrippen befinden, die mit der Leuchtstoffpaste beschichtet werden sollen.
Außerdem beträgt der mittlere Durchmesser der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators vorzugsweise 10 μm bis 500 μm und ist nicht größer als die Zwischenräume zwischen den Sperrrippen, wodurch ein Vermischen von benachbarten Farben verhindert wird.
Die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators müssen nicht unbedingt kreisrund sein, und die Länge der Öffnungen in die fast orthogonal zu den Sperrrippen stehende Richtung kann 10 μm bis 500 μm betragen, wodurch sie kleiner ist als die Zwischenräume zwischen den Sperrrippen. Die Austrittsöffnungen können in diesem Fall länglich, ellipsenförmig oder rechteckig usw. sein. Wenn die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators mit einem Harzfilm auf Fluorbasis, wie z.B. Polytetrafluorethylen, beschichtet sind, kann die Leuchtstoffpaste besser über die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen abgegeben werden, und die Verschmutzung der Außenflächen der Austrittsöffnungen kann ebenfalls verhindert werden.
Wenn die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators mit einem amorphen Kohlenstofffilm (DLC) beschichtet sind, kann außerdem die Oberflächenhärte der Außenflächen und/oder Innenwände der Austrittsöffnungen erhöht werden, um die Verschleißbeständigkeit zu verbessern.
7 ist eine Schnittansicht und eine Ansicht von unten eines weiteren Beispiels für den Pastenapplikator der vorliegenden Erfindung. Ein Pastenapplikator weist eine Vielzahl von Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitten 704, 705 und 706, Leuchtstoffpasten-Zufuhröffnungen 701, 702 und 703 zur Zufuhr von Leuchtstoffpasten zu den Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitten 704, 705 und 706 und Durchgänge 707, 708 und 709 zur Verbindung der Speicherabschnitte 704, 705 und 706 mit Austrittsöffnungen 710, 711 bzw. 712 auf. Wie in der unteren Darstellung zu sehen, ist außerdem die Anzahl der Austrittsöffnungen 710, 711 und 712 größer als die der Speicherabschnitte 704, 705 und 706, und die jeweiligen Austrittsöffnungen 710, 711 und 712 sind jeweils auf geraden Linien angeordnet. Dies ermöglicht das Auftragen von unterschiedlichen Leuchtstoffpasten mit einem Pastenapplikator. Der kürzeste Ab stand zwischen den Austrittsöffnungen zum Auftragen der Leuchtstoffpasten mit unterschiedlichen Farben beträgt 600 μm oder mehr, um das Vermischen der unterschiedlichen Farben zu verhindern.
8 ist eine schematische perspektivische Darstellung zur Veranschaulichung eines wichtigen Abschnitts der Plasmaanzeigen-Herstellungsvorrichtung als weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Anstatt einen Pastenapplikator anzuordnen, können zwei oder mehr Pastenapplikatoren in Y-Richtung angeordnet werden. Die Pastenapplikatoren 801 und 802 werden von einer nicht dargestellten Steuereinrichtung angetrieben, und zwar synchron oder nicht synchron in X- und Y-Richtung. Wenn zwei oder mehr Pastenapplikatoren auf diese Art verwendet werden, um das Substrat 4 auf dem Tisch 6 mit der/den Leuchtstoffpaste(n) zu beschichten, kann die Beschichtungsdauer verkürzt werden.
In diesem Fall können die zwei oder mehr Pastenapplikatoren Leuchtstoffpasten auftragen, die Licht mit der gleichen Farbe emittieren, oder sie können Leuchtstoffpasten auftragen, die Licht mit zwei oder mehr unterschiedlichen Farben emittieren.
Im Hinblick auf die Effizienz sind die zwei oder mehr Pastenapplikatoren in die Richtung orthogonal zu den Sperrrippen vorzugsweise um ein ganzzahliges Vielfaches des Zwischenraums zwischen den benachbarten Sperrrippen voneinander beabstandet, und wenn der Abstand zwischen den benachbarten Pastenapplikatoren weniger als die äußere Breite der einzelnen Pastenapplikatoren beträgt, sind sie in die Richtung parallel zu den Sperrrippen voneinander beabstandet.
Wenn drei solche Pastenapplikatoren für rote, grüne und blaue Leuchtstoffpasten in einer Reihe angeordnet sind, kann effizient eine dreifärbige Leuchtstoffschicht in den Zwischenräumen zwischen den Sperrrippen ausgebildet werden.
9 ist eine schematische Seitenansicht einer Vorrichtung zum Reinigen der Außenflächen von Austrittsöffnungen eines Pastenapplikators.
Eine Reinigungsvorrichtung 901 ist so angeordnet, dass ein Abstreifelement 903 mit einer Austrittsöffnungsaußenfläche 902 eines Pastenapplikators 20 in Kontakt kommen kann. Das Abstreifelement 903 ist ausgebildet, um die Spitze der Austrittsöffnungsaußenfläche zu umwickeln, kann aber auch ausgebildet sein, um nur die Austrittsöffnungsaußenfläche 902 zu kontaktieren. Das Abstreifelement 903 ist auf einer Halterung 904 befestigt, die in einer Schale 905 montiert ist, und bewegt sich zusammen mit der Schale 905 in Querrichtung (Y-Achsenrichtung). Während sich das Abstreifelement 903 in Querrichtung bewegt und in Kontakt mit der Austrittsöffnungsaußenfläche 902 ist, wird die Leuchtstoffpaste, die auf der Austrittsöffnungsaußenfläche abgelagert ist, abgestreift. Die abgestreifte Leuchtstoffpaste wird über eine Ablauföffnung 906 durch ein Rohr 907, das daran angeschlossen ist, in einen nicht dargestellten Pastenabfallbehälter geleitet. Wenn die abgestreifte Leuchtstoffpaste den Pastenabfallbehälter nicht allein durch Gravitation erreicht, sollte eine Vakuumquelle, wie z.B. eine Vakuumpumpe, zum Saugen verwendet werden. Das Abstreifelement 903 befindet sich an einer Position rechts von den Öffnungen des Pastenapplikators 20, wenn die Schale 905 die äußerste rechte Position in 9 erreicht, wo das Abstreifelement 903 von der durch den Pastenapplikator 20 aufgetragenen Leuchtstoffpaste entfernt gehalten wird. Außerdem weist die Schale 905 eine Größe auf, die das Sammeln der gesamten durch den Pastenapplikator 20 aufgetragenen Leuchtstoffpaste ermöglicht.
Weiters ist die Schale 905 mit einem Hebeabschnitt 908 verbunden. Der Hebeabschnitt 908 wird mithilfe eines nicht dargestellten Luftzylinders entlang von Führungen 909 über einer Bewegungseinheit 910 auf und ab bewegt. Wenn sich der Hebeabschnitt 908 am untersten Punkt befindet, befindet sich auch das Abstreifelement 903 am untersten Punkt und in einem bestimmten Abstand von der Austrittsöffnungsaußenfläche 902 des Pastenapplikators 20 entfernt, ohne diesen zu kontaktieren. Der Hebeabschnitt 908 ist so eingestellt, dass sich das Abstreifelement 903 nach oben bewegen kann, um die Austrittsöffnungsaußenfläche 902 des Pastenapplikators 20 zu kontaktieren.
Die Bewegungseinheit 910 wird durch eine Kegelumlaufspindel 912 entlang einer nicht dargestellten Führung auf einem Unterbau 911 gesteuert, um sie in Querrichtung zu bewegen. Die Kegelumlaufspindel 912 ist mit einem nicht dargestellten Servomotor verbunden und kann nach Wunsch durch Steuerung des Motors betrieben werden.
Das Abstreifelement 903 kann aus einem beliebigen Material bestehen, wünschenswerterweise besteht es jedoch aus einem Harz oder Kautschuk, um die Austrittsöffnungsaußenfläche des Pastenapplikators nicht zu beeinträchtigen. Das Material kann unter Berücksichtigung der chemischen Beständigkeit gegenüber der Leuchtstoffpaste ausgewählt werden.
Der Beschichtungsablauf unter Verwendung der Abstreifvorrichtung 901 verläuft wie nachstehend beschrieben. Während sich das Abstreifelement 903 am untersten Punkt befindet, wird zuerst die Schale 905 an eine Position unter dem Pastenapplikator 20 bewegt, und die Leuchtstoffpasten-Zufuhrvorrichtung wird aktiviert, um die Leuchtstoffpaste über den Pastenapplikator 20 abzugeben, zum Entleeren. Nach Beendigung des Entleerens wird der Hebeabschnitt 908 angehoben, damit das Abstreifelement 903 die Austrittsöffnungsaußenfläche 902 des Pastenapplikators 20 kontaktieren kann. Dann wird der nicht dargestellte Servomotor betrieben, um das Abstreifelement 903 in Querrichtung, in 9 nach links, zu bewegen, um die auf der Austrittsöffnungsaußenfläche 902 abgelagerte Leuchtstoffpaste abzustreifen. Danach wird der Pastenapplikator 20 an eine vorbestimmte Position bewegt, um die Zwischenräume zwischen den Sperrrippen mit der Leuchtstoffpaste zu beschichten.
Der Abstreifvorgang kann durchgeführt werden, sobald die Beschichtung der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen mit der Leuchtstoffpaste beendet ist oder nachdem die Beschichtung mehrere Male durchgeführt wurde. Der Zeitpunkt des Abstreifvorgangs hängt vom Ablagerungsgrad der fluoreszierenden Paste auf der Austrittsöffnungsaußenfläche 902 ab.
Durch den Abstreifvorgang ist eine Durchführung der Beschichtung möglich, bei der die Austrittsöffnungsaußenfläche des Pastenapplikators sauber gehalten wird. So können Schwierigkeiten, wie etwa eine Ablagerung der Leuchtstoffpaste auf den oberen Enden der Sperrrippen des Substrats und ein Auftragen der Leuchtstoffpaste auf Zwischenräume zwischen Sperrrippen neben jenen Zwischenräumen zwischen Sperrrippen, die beschichtet werden sollen, verhindert werden, und die Leuchtstoffpaste kann gleichmäßig und stabil auf die Zwischenräume zwischen den Sperrrippen aufgebracht werden.
Vorzugsweise wird ein Mittel zum Entfernen der Leuchtstoffpaste bereitgestellt, die auf anderen Abschnitten als den vorbestimmten Beschichtungspositionen abgelagert ist, wie z.B. auf den oberen Enden der Sperrrippen.
Die Leuchtstoffpaste kann mithilfe von Mitteln wie Spateln zum Abschaben, Kontaktieren der oberen Enden der Sperrrippen mit einem Haftmaterial oder Aufblasen von Druckluft durch Luftdüsen entfernt werden. Das Haftmaterial ist nicht speziell eingeschränkt, solange es diese Eigenschaften aufweist, und es kann beispielsweise aus Polyurethankautschuk, Polyethylenkautschuk, Siliconkautschuk oder einem ihrer Gele ausgewählt sein.
Die Form des Haftmaterials ist nicht speziell eingeschränkt, aber vorzugsweise ist das Haftmaterial ein Band oder eine Walze mit einer Form, die das Kontaktieren mit der Oberfläche des Substrats ermöglicht. Vorzugsweise kontaktiert das Band das Substrat, das befördert wird, während es zwischen einer Ablaufwalze und einer Wickelwalze rotiert wird. Durch den Kontakt kann die Leuchtstoffpaste auf den oberen Enden der Sperrrippen durch Haftung entfernt werden.
Beispiele
Die vorliegende Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahem auf Beispiele genauer erläutert, ist aber nicht auf diese oder durch diese eingeschränkt. In den folgenden Beispielen für die vorliegende Erfindung und in den Vergleichsbeispielen steht „%", sofern nicht anders angegeben, für „Gew.-%". Die gebildete Leuchtstoffschicht wurde im Hinblick auf die folgenden sieben Punkte bewertet.

– Pastenabgabefähigkeit durch die Austrittsöffnungen
– Beschichtungsdauer (Gesamtzeit der Leuchtstoffpastenbeschichtung (exklusive Trocknungsdauer))
– Seitenwanddicke (Mittel der Dicken an neun Stellen in einer Ebene in der Mitte der Höhe der einzelnen Sperrrippen)
– Bodendicke (Mittel der Dicken an neun Stellen in einer Ebene auf der dielektrischen Schicht)
– Dickenverteilung (Differenz zwischen der maximalen Dicke und der minimalen Dicke bei Messungen an neun Stellen)
– Ob die Paste auf den oberen Enden der Sperrrippen abgelagert ist oder nicht
– Vermischen von Farben (Eindringen von Leuchtstoffpaste in Zwischenräume zwischen Sperrrippen neben den Zwischenräumen zwischen Sperrrippen, die beschichtet werden sollen)

Beispiel 1
Ein 340 mm breites, 440 mm tiefes und 2,8 mm dickes Natronglassubstrat, das vollständig mit einer lichtempfindlichen Silberpaste mit einer Dicke von 5 μm siebbedruckt worden war, wurde unter Verwendung einer Photomaske bestrahlt, entwickelt und gebrannt, um 1920 Silberelektroden als Streifen mit einem Abstand von 220 μm auszubilden. Eine Glaspaste aus Glas und einem Bindemittel wurde durch Siebdruck über die Elektroden auf dem Substrat aufgebracht und gebrannt, um eine dielektrische Schicht zu bilden. Danach wurde eine lichtempfindliche Glaspaste aus einem Glaspulver und einer lichtempfindlichen organischen Komponente durch Siebdruck mit einer Dicke von 220 μm aufgebracht und getrocknet. Dann wurde eine Photomaske, die für die Bildung von Sperrrippen zwischen den jeweils benachbarten Elektroden entworfen war, zum Bestrahlen verwendet, und das Ganze wurde entwickelt und gebrannt, um Sperrrippen auszubilden. So wurden 1921 Sperrrippen mit einer Breite von 30 μm und einer Höhe von 130 μm in einem Abstand von 220 μm ausgebildet.
Das Glassubstrat mit den so ausgebildeten Sperrrippen wurde unter Verwendung einer in 3 dargestellten Vorrichtung mit Leuchtstoffpasten mit der folgenden Zusammensetzung beschichtet.
Leuchtstoffpasten: 40 g eines der folgenden Leuchtstoffpulver wurden mit 10 g Ethylcellulose, 10 g Terpineol und 40 g Benzylalkohol vermischt, und das Gemisch wurde mithilfe einer Dreiwalzen-Keramikmühle geknetet, um eine rote, grüne oder blaue Leuchtstoffpaste herzustellen.
Leuchtstoffpulver:

Rot: (Y,Gd,Eu)BO₃ 50 Vol.-% des Pulvers mit einer Körnchengröße von 2,5 μm, spezifische Oberfläche 2,3 m²/g
Grün: (Zn,Mn)₂SiO₄ 50 Vol.-% des Pulvers mit einer Körnchengröße von 2,9 μm, spezifische Oberfläche 1,8 m²/g
Blau: (Ba,Eu)MgAl₁₀O₁₇ 50 Vol.-% des Pulvers mit einer Körnchengröße von 3,1 μm, spezifische Oberfläche 2,5 m²/g.

Die Viskosität der erhaltenen Leuchtstoffpasten betrug 14 Pa·s (rot), 18 Pa·s (grün) bzw. 15 Pa·s (blau).
Ein Pastenapplikator mit 64 Austrittsöffnungen mit einem mittleren Durchmesser von 150 μm in einem Abstand von 660 μm und mit einer Länge von 2 mm wurde zum Auftragen der Leuchtstoffpasten verwendet.
Die rote Leuchtstoffpaste und der Pastenapplikator wurden zum Beschichten verwendet, wobei der Abstand zwischen den oberen Enden der auf dem Glassubstrat ausgebildeten Sperrrippen und den Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators bei 0,1 mm gehalten wurde. Während der Beschichtung wurde der mit der Leuchtstoffpaste gefüllte Pastenapplikator zum kontinuierlichen Auftragen unter Druck gesetzt und mit einer Geschwindigkeit von 50 mm/s parallel zu den Sperrrippen bewegt.
Nach Beginn des Beschichtens wurde im Falle von Rot oder Blau ein Druck von 2,6 kg/cm² ausgeübt, und im Falle von Grün ein Druck von 3 kg/cm², und als der Pastenapplikator zum Ende des Substrats kam, wurde das Beschichten beendet. In diesem Fall wurde 0,1 s bevor der Pastenapplikator die Enden der Sperrrippen erreichte ein Unterdruck angelegt, um den Druck im Pastenapplikator zu verringern. Dann wurde der Pastenapplikator um 42,24 mm in die Richtung orthogonal zu den Sperrrippen bewegt, und die Leuchtstoffpaste wurde aufgetragen. Durch 10-maliges Beschichten wurden in allen drei Zwischenräumen zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen 640 Linien ausgebildet. Dann wurde die Beschichtung bei 80°C 15 min lang getrocknet. Auf ähnliche Weise wurde jeder Zwischenraum zwischen Sperrrippen direkt auf der rechten Seite der Zwischenräume, die mit der roten Leuchtstoffpaste beschichtet waren, mit der grünen Leuchtstoffpaste beschichtet, und jeder Zwischenraum zwischen Sperrrippen direkt auf der linken Seite der Zwischenräume, die mit der roten Leuchtstoffpaste beschichtet waren, wurden mit der blauen Leuchtstoffpaste beschichtet.
Das mit der roten, grünen und blauen Leuchtstoffpaste beschichtete Substrat wurde 15 min lang bei 460°C gebrannt und dann bewertet. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 2
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass anstelle eines Pastenapplikators zwei Pastenapplikatoren verwendet und diese mit 50 mm/s bewegt wurden. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 3
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass zum Beschichten anstelle eines Pastenapplikators drei Pastenapplikatoren, die mit roter, grüner bzw. blauer Leuchtstoffpaste gefüllt waren, verwendet wurden. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 4
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass die Anzahl an Austrittsöffnungen 640 anstelle von 64 betrug und dass die Beschichtung mit einfärbiger Leuchtstoffpaste durch eine einmalige Bewegung des Pastenapplikators beendet wurde. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 5
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass ein Substrat mit in einem Abstand von 120 μm ausgebildeten Elektroden und mit in einem Abstand von 120 μm ausgebildeten Sperrrippen mit einer Breite von 30 μm und einer Höhe von 90 μm verwendet wurde und dass bei jedem Beschichtungsvorgang ein Pastenapplikator mit in einem Abstand von 720 μm ausgebildeten Austrittsöffnungen mit einem Durchmesser von 75 μm verwendet wurde, der für insgesamt 10-maliges Auftragen um 0,36 mm, 46,08 mm, 0,36 mm, 46,08 mm, 0,36 mm, 46,08 mm, 0,36 mm, 46,08 mm und 0,36 mm bewegt wurde.
Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 6
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass ein Substrat mit in einem Abstand von 120 μm ausgebildeten Elektroden und mit in einem Abstand von 120 μm ausgebildeten Sperrrippen mit einer Breite von 30 μm und einer Höhe von 90 μm verwendet wurde und dass bei jedem Beschichtungsvorgang ein Pastenapplikator mit in einem Abstand von 720 μm ausgebildeten Austrittsöffnungen mit einem Durchmesser von 150 μm verwendet wurde, der für insgesamt 10-maliges Auftragen um 0,36 mm, 46,08 mm, 0,36 mm, 46,08 mm, 0,36 mm, 46,08 mm, 0,36 mm, 46,08 mm und 0,36 mm bewegt wurde. Nachdem die Leuchtstoffschicht gebrannt worden war, wurde außerdem eine Haftwalze mit einer Breite von 500 mm und einem Durchmesser von 250 mm so darübergerollt, dass alle oberen Enden der Sperrrippen mit der Walze in Kontakt kamen. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 7
Leuchtstoffpasten mit den folgenden Zusammensetzungen wurden wie in Beispiel 5 beschrieben aufgetragen, und die Beschichtung wurde unter Verwendung einer Photomaske mit 1920 offenen Linien mit einer Breite von 80 μm in einem Abstand von 120 μm bestrahlt. Dann wurde sie mit 0,5 Gew.-% wässriger Triethanolaminlösung entwickelt und gebrannt, um eine Leuchtstoffschicht zu bilden. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Leuchtstoffpasten: 50 g eines der folgenden Leuchtstoffpulver wurden mit 20 g eines Bindemittels (1:1-Copolymer von Isobutylmethacrylat:Acrylsäure, mit einem gewichtsmittleren Molekulargewicht von 24.000), 15 g eines lichtempfindlichen Monomers (Trimethylolpropantriacrylat), 20 g γ-Butyrolacton und 3 g eines Polymerisationsinitiators (Irgacure 907, hergestellt von Ciba Geigy) vermischt, und das Gemisch wurde mithilfe einer Dreiwalzenmühle geknetet, um eine Paste herzustellen.
Leuchtstoffpulver:

Die Viskosität der erhaltenen fluoreszierenden Paten betrug 20 Pa·s (rot), 32 Pa·s (grün) bzw. 19 Pa·s (blau).
Beispiel 8
Leuchtstoffpasten aus 50 g Leuchtstoffpulver, 40 g Bindemittelpolymer (lichtempfindliches Polymer mit einem gewichtsmittleren Molekulargewicht von 43.000 und einer Säurezahl von 95, erhalten durch Additionsreaktion von 0,4 Äquivalenten Glycidylmethacrylat mit jedem Äquivalent der Carboxylgruppen eines Copolymers aus 40 % Methacrylsäure, 30 % Methylmethacrylat und 30 % Styrol), 30 g eines Lösungsmittels (γ-Butyrolacton) und 4 g eines Dispersionsmittels wurden anstelle jener aus Beispiel 1 verwendet. Die jeweiligen Bestandteile der organischen Komponente wurden zum Lösen auf 80°C erhitzt, wonach ein fluoreszierendes Pulver zugesetzt wurde. Das Gemisch wurde mithilfe eines Kneters geknetet, um eine Paste herzustellen. Die Viskosität der Leuchtstoffpasten (rot, grün und blau) betrug 0,05 Pa·s.
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass ein Glassubstrat mit 2000 in einem Abstand von 150 μm ausgebildeten Sperrrippen mit einer Höhe von 120 μm und einer Breite von 30 μm verwendet wurde und dass ein Pastenapplikator mit 640 in einem Abstand von 450 μm ausgebilde ten Austrittsöffnungen mit einem Durchmesser von 80 μm verwendet wurde und dass auf die Entladung der roten Leuchtstoffpaste eine Trocknung bei 80°C für 60 min, wobei die Beschichtungsfläche nach unten wies, eine Entladung der grünen Leuchtstoffpaste, Trocknen bei 80°C für 60 min, wobei die Beschichtungsfläche nach unten wies, eine Entladung der blauen Leuchtstoffpaste, Trocknen bei 80°C für 60 min, wobei die Beschichtungsfläche nach unten wies, und Brennen bei 500°C für 30 min folgte. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 9
Leuchtstoffpasten wurden wie in Beispiel 8 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass Leuchtstoffpasten aus 50 g eines Leuchtstoffpulvers, 40 g eines Bindemittelpolymers, 30 g eines Lösungsmittels (γ-Butyrolacton) und 4 g eines Dispersionsmittels, jeweils mit einer Viskosität von 0,03 Pa·s (rot, grün und blau), verwendet wurden.
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 8 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass ein Glassubstrat mit 2000 in einem Abstand von 360 μm ausgebildeten Sperrrippen mit einer Höhe von 140 μm und einer Breite von 50 μm verwendet wurde, dass ein Pastenapplikator mit 1940 in einem Abstand von 360 μm ausgebildeten Austrittsöffnungen mit einem Durchmesser von 100 μm verwendet wurde und dass eine gleichzeitige Entladung der roten, grünen und blauen Leuchtstoffpaste verwendet wurde und dass auf das Auftragen aller Leuchtstoffpasten 45-minütiges Trocknen bei 80°C folgte. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Beispiel 10
Eine Leuchtstoffschicht wurde wie in Beispiel 8 beschrieben hergestellt, mit der Ausnahme, dass Leuchtstoffpasten aus 50 g eines Leuchtstoffpulvers, 20 g eines Bindemittelpolymers, 20 g Trimethylolpropantriacrylat, 30 g eines Lösungsmittels (γ-Butyrolacton), 4 g eines Dispersionsmittels und ein Photopolymerisationsinitiator („Ir gacure 907", hergestellt von Ciba Geigy) mit einer Viskosität von 0,03 Pa·s (rot, grün und blau) verwendet wurden.
Diese wurde dann unter Verwendung einer Photomaske mit 1920 in einem Abstand von 150 μm ausgebildeten offenen Linien mit einer Breite von 60 μm bestrahlt, mit 0,5 Gew.-% wässriger Triethanolaminlösung entwickelt und 30 min lang bei 500°C gebrannt, um eine Schicht aus fluoreszierendem Material zu bilden. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Vergleichsbeispiel 1
Ein Substrat mit in einem Abstand von 120 μm ausgebildeten Elektroden und in einem Abstand von 120 μm ausgebildeten Sperrrippen mit einer Breite von 30 μm und einer Höhe von 90 μm wurde einem Siebdruck mit roter, grüner und blauer fluoreszierender Pate unterzogen, wobei ein Sieb mit in einem Abstand von 360 μm ausgebildeten Öffnungen mit 80 μm verwendet wurde. Das Substrat wurde 15 min lang bei 460°C gebrannt, um eine Leuchtstoffschicht zu bilden. Die Bewertungsergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefasst.
Gewerbliche Anwendbarkeit
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da leicht eine hochpräzise Leuchtstoffschicht auf den hochpräzisen Zwischenräumen zwischen Sperrrippen ausgebildet werden kann, eine für verschiedenste Anwendungen geeignete hochqualitative Plasmaanzeige mit einer Leuchtstoffschicht erhalten werden, die als hochpräzise Plasmaanzeige verwendet werden kann. Außerdem kann die Plasmaanzeige kontinuierlich und mit hoher Produktivität industriell vorteilhaft produziert werden.
Die durch die vorliegende Erfindung erhaltene hochpräzise Plasmaanzeige ist zum breiten Einsatz im Bereich der an der Wand befestigten Fernsehgeräte und Informationsanzeigen geeignet.

Claims

Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige, wobei das Verfahren den Schritt des kontinuierlichen Auftragens einer ein Leuchtstoffpulver und eine organische Verbindung enthaltenden Leuchtstoffpaste mithilfe eines Pastenapplikators, der 64 bis 2.000 Austrittsöffnungen aufweist, auf ein eine Vielzahl von Sperrrippen aufweisendes Substrat in Form von Streifen in den zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen ausgebildeten Zwischenräumen umfasst, um eine Leuchtstoffschicht auszubilden, worin für den Zwischenraum (S) zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen und den mittleren Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen die folgende Formel gilt: 10 μm ≤ D < S ≤ 500 μm.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 1, worin der verwendete Pastenapplikator 150 bis 2.000 Austrittsöffnungen aufweist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 2, worin der verwendete Pastenapplikator 640 bis 2.000 Austrittsöffnungen aufweist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 1 oder 2, worin zudem für die Anzahl der Austrittsöffnungen im Pastenapplikator die Relation 16n ± 5 gilt (worin n eine natürliche Zahl ist).
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 1, umfassend die Schritte des Beschichtens eines eine Vielzahl von Sperrrippen aufweisenden Substrats mit drei Leuchtstoffpasten, die jeweils ein rotes, blaues oder grünes Licht emittierendes Leuchtstoffpulver enthalten, in Form von Streifen in den zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen ausgebildeten Zwischenräumen mithilfe eines Austrittsöffnungen aufweisenden Pastenapplikators, sowie des Erhitzens zur Ausbildung einer Leuchtstoffschicht.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin die Austrittsöffnungen in einer flachen Platte oder als Düsen oder Nadeln ausgebildet sind.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der verwendete Pastenapplikator die Austrittsöffnungen in einem Abstand von 0,12 bis 3 mm aufweist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der verwendete Pastenapplikator die Austrittsöffnungen in einem Abstand aufweist, der 3m-mal dem Abstand der Sperrrippen entspricht (worin m eine ganze Zahl von 1 bis 10 ist).
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin für den verwendeten Pastenapplikator die folgende Formel gilt: L/D = 0,1 bis 600worin L die Länge der Austrittsöffnungen und D der mittlere Durchmesser der Austrittsöffnungen ist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der mittlere Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen des zum Beschichten verwendeten Pastenapplikators 60 bis 400 μm beträgt.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin während des Auftragens der Leuchtstoffpasten der Abstand zwischen den oberen Enden der auf einem Glassubstrat ausgebildeten Sperrrippen und den Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators bei 0,01 bis 2 mm gehalten wird.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin Pasten, die jeweils ein hinsichtlich der Farbe des emittierten Lichts unterschiedliches Leuchtstoffmaterial enthalten, von einem einzigen Pastenapplikator abgegeben werden und worin der kürzeste Abstand zwischen den Austrittsöffnungen, durch die jeweils sich farblich voneinander unterscheidende Leuchtstoffpasten aufgetragen werden, 600 μm oder weniger beträgt.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin zwei oder mehr unabhängige Pastenapplikatoren gleichzeitig zum Beschichten verwendet werden.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 13, worin die zwei oder mehr Pastenapplikatoren so angesteuert werden, dass sie sich mit der gleichen Geschwindigkeit bewegen.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 5, worin das Beschichten Farbe für Farbe durchgeführt wird und auf die Beschichtung mit jeder Farbe eine Trocknung folgt.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der Pastenapplikator und das Glassubstrat relativ zueinander und parallel zu den Sperrrippen auf dem Glassubstrat bewegt werden.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der Pastenapplikator zum Beenden des Auftragens der Leuchtstoffpasten im Inneren unter einem Unterdruck gehalten wird.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin mit dem Auftragen der Leuchtstoffpasten nach dem Beginn der Bewegung des Pastenapplikators und des Glassubstrats relativ zueinander und parallel zu den Sperrrippen auf dem Glassubstrat begonnen wird und das Auftragen beendet wird, bevor die relative Bewegung beendet wird.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin von jedem der verwendeten Leuchtstoffpulver 50 Gew.-% des Pulvers eine Körnchengröße von 0,5 bis 10 μm aufweisen und jedes der verwendeten Leuchtstoffpulver eine spezifische Oberfläche von 0,1 bis 2 m²/g aufweist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin jede der verwendeten Leuchtstoffpasten aus 30 bis 60 Gew.-% eines Leuchtstoffpulvers, 5 bis 20 Gew.-% eines Bindemittelharzes und einem Lösungsmittel besteht, worin das Gewichtsverhältnis zwischen Leuchtstoffpulver und Bindemittelharz 6:1 bis 3:1 beträgt.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 20, worin das Bindemittelharz eine Celluloseverbindung ist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 20, worin das Lösungsmittel Terpineol enthält.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der an den oberen Enden der Sperrrippen abgelagerte Leuchtstoff durch Anhaftenlassen an einem Haftmaterial entfernt wird.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin für jede der verwendeten Leuchtstoffpasten die folgende Beziehung gilt: (2H + P – W) × 5 ≤ H × (P – W) × a/100 ≤ (2H + P – W) × 30worin H die Höhe (μm) einer jeden Sperrrippe ist; P der Abstand (μm) der Sperrrippen ist; W die Breite (μm) einer jeden Sperrrippe ist; und a der Leuchtstoffpulvergehalt (Vol.-%) der Leuchtstoffpaste ist.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin die verwendeten Leuchtstoffpasten eine Viskosität von 2 bis 50 Pa·s aufweisen.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin die Leuchtstoffpasten lichtempfindliche Leuchtstoffpasten sind.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 26, worin jede der verwendeten, lichtempfindlichen Leuchtstoffpasten die folgende Zusammensetzung aufweist: organische Komponente: 15 bis 60 Gewichtsteile Leuchtstoffpulver: 40 bis 85 Gewichtsteile Lösungsmittel: 10 bis 50 Gewichtsteile
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin die Sperrrippen in Form von Streifen mit den folgenden Maßen bereitgestellt werden: Abstand: 100 bis 250 μm Breite: 15 bis 40 μm Höhe: 60 bis 170 μm
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin die Sperrrippen auf ihrer Deckfläche schwarz sind.
Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin für die Seitenwandstärke (T1) der Leuchtstoffschicht an einer der halben Höhe jeder Sperrrippe entsprechenden Stelle und für die Bodenwandstärke (T2) der Leuchtstoffschicht die folgende Beziehung gilt: 10 ≤ T1 ≤ 50 μm 10 ≤ T2 ≤ 50 μm 0,2 ≤ T1/T2 ≤ 5
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige, umfassend einen Tisch zur Befestigung eines Substrats, auf dessen Oberfläche eine Vielzahl von Sperrrippen ausgebildet sind, einen Pastenapplikator mit 64 bis 2.000 den Sperrrippen des Substrats zugewandten Austrittsöffnungen, eine Zufuhreinrichtung zur Zuführung einer Leuchtstoffpaste zum Pastenapplikator und eine Bewegungseinrichtung zur dreidimensionalen Bewegung des Tischs und des Pastenapplikators relativ zueinander, worin für das Verhältnis zwischen dem mittleren Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators und dem Zwischenraum (S) zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen die folgende Formel gilt: 10 μm ≤ D < S ≤ 500 μm.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 31, worin die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators nicht kreisrund ausgebildet sind und für die Länge (B) einer jeden (Öffnung senkrecht zu den Sperrrippen sowie für den Zwischenraum (S) zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen die folgende Formel gilt: 10 μm ≤ B ≤ S ≤ 500 μm.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach Anspruch 31 oder 32, worin der Abstand der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 3m-mal dem Abstand der Sperrrippen entspricht (worin m eine ganze Zahl von 1 bis 10 ist).
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 33, worin die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators in derselben Ebene liegen.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 34, worin die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators durch Röhren, welche die gleiche Form aufweisen, gebildet sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 35, worin die Anzahl der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 150 bis 2.000 beträgt.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 36, worin die Anzahl der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 16n ± 5 beträgt (worin n eine natürliche Zahl ist).
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 37, worin der Abstand der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 0,12 bis 3 mm beträgt.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 38, worin für den mittleren Durchmesser (D) der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators und für die Länge (L) einer jeden Austrittsöffnung die folgende Beziehung gilt: L/D = 0,1 bis 600.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 39, worin der mittlere Durchmesser der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators 60 bis 400 μm beträgt.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 40, worin die Mitte der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators jeweils oberhalb des Zwischenraums (S) zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen liegt.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 41, worin die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators mit einem Harzfilm auf Fluorbasis beschichtet sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 41, worin die Außenflächen und/oder die Innenwände der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators mit einem amorphen Kohlenstofffilm beschichtet sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 43, worin der Pastenapplikator eine Vielzahl von Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitten, Leuchtstoffpasten-Zufuhröffnungen zur Zuführung von Leuchtstoffpasten zu den Leuchtstoffpasten-Speicherabschnitten sowie Durchlässen zur Fluidkommunikation zwischen den Speicherabschnitten und den Zufuhröffnungen umfasst; worin die Anzahl der Austrittsöffnungen größer als die Anzahl der Speicherabschnitte ist; und worin die den jeweiligen Speicherabschnitten entsprechenden Austrittsöffnungen zyklisch einer vorbestimmten Abfolge entsprechend auf einer Geraden angeordnet sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 44, worin zwei oder mehr Pastenapplikatoren vorgesehen sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 45, worin eine Vielzahl von Pastenapplikatoren für jeweils unterschiedliche Leuchtstoffpasten bereitgestellt ist und worin eine Vielzahl von Leuchtstoffpasten-Zufuhrvorrichtungen zur Zuführung der Leuchtstoffpasten für die jeweiligen Pastenapplikatoren bereitgestellt ist, sodass die Zwischenräume zwischen den Sperrrippen des Substrats gleichzeitig mit einer Vielzahl von Leuchtstoffpasten beschichtet werden können.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 46, worin eine Druckeinstellungseinrichtung, die zur wunschgemäßen Einstellung des Drucks im Pastenapplikator in einem Bereich von Atmosphärendruck bis zu einem Unterdruck imstande ist, und eine Steuereinrichtung zur zeitlichen Steuerung der Druckeinstellung bereitgestellt sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 47, worin eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Positionen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators, eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Positionen der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen jeweils benachbarten Sperrrippen des Substrats, eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Position des oberen Endes der Sperrrippen auf dem Substrat, eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Position der Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators und eine Steuereinrichtung zur Steuerung des Beginns und der Beendigung des Auftragens der Leuchtstoffpaste als Reaktion auf die relative Position der Austrittsöffnungen und des Substrats bereitgestellt sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 48, worin eine Einstellungseinrichtung zur Einstellung des Neigungsgrads des Pastenapplikators zu den oberen Enden der Sperrrippen des Substrats und eine Steuereinrichtung zum Halten der Spitzen der Austrittsöffnungen des Pastenapplikators in einem vorbestimmten Abstand und parallel zu den oberen Enden der Sperrrippen des Substrats bereitgestellt sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 49, worin eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Position der vom Pastenapplikator auf das Substrat aufgetragenen Leuchtstoffpaste auf dem Substrat bereitgestellt ist.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 50, worin eine Detektionseinrichtung zur Detektion der Anzahl der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen auf dem Substrat und eine Erkennungseinrichtung, um aus der detektierten Anzahl der Sperrrippen oder der Zwischenräume zwischen den Sperrrippen die zu beschichtenden Zwischenräume zwischen den Sperrrippen zu erkennen, bereitgestellt sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 51, worin eine Bezugsmarkierungs-Detektionseinrichtung zur Detektion einer Bezugsmarkierung auf dem Substrat sowie eine Bewegungseinrichtung und eine Steuereinrichtung zur relativen Bewegung des Pastenapplikators und der Sperrrippen bereitgestellt sind, so dass die Austrittsöffnungen des Pastenapplikators oberhalb der mit der Leuchtstoffpaste zu beschichtenden Zwischenräume zwischen den Sperrrippen anordenbar sind.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 52, worin eine Einrichtung zum Reinigen der Austrittsöffnungsaußenflächen des Pastenapplikators bereitgestellt ist.
Vorrichtung zur Herstellung einer Plasmaanzeige nach einem der Ansprüche 31 bis 53, worin eine Einrichtung zum Entfernen von in anderen Abschnitten als vorbestimmten Beschichtungsstellen auf dem Substrat vorliegender Leuchtstoffpaste bereitgestellt ist.