KR100720348B1 - 배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화방법 - Google Patents

배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 건조 후의 막 두께의 균일도를 높이는 것을 그 과제로 한다.
본 발명은 유리 기판(30) 위에서의 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역(21)에 대하여 잉크젯 헤드로부터 배향막 잉크를 토출시키는 스텝과, 묘화 영역(21)의 주위인 주위 묘화 영역(22)에 대하여 잉크젯 헤드로부터 배향막 잉크를 토출시키는 스텝과, 주위 묘화 영역(22)의 주위인 주위 묘화 영역(23)에 대하여 잉크젯 헤드로부터 배향막 잉크를 토출시키는 스텝을 포함하여, 주연부(周緣部)인 주위 묘화 영역(23)에서의 건조 후의 배향막 잉크의 융기를 저감시킨다.
배향막 형성 장치, 묘화 영역, 배향막 잉크, 묘화 장치

Description

배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화 방법{ORIENTATION FILM FORMING DEVICE, ORIENTATION FILM FORMING METHOD, DRAWING DEVICE, AND DRAWING METHOD}
도 1은 본 발명에 관한 일 실시예의 구성을 나타내는 블럭도.
도 2는 본 발명에 관한 일 실시예의 묘화 방법을 설명하는 평면도 및 B-B'선에서 본 단면도.
도 3은 종래의 묘화 방법을 설명하는 평면도 및 A-A'선에서 본 단면도.
도 4는 종래의 묘화 방법에서의 주연부(周緣部)의 융기 프로세스를 설명하는 단면도.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 묘화 장치
11 잉크젯 헤드
12 캐리지 기구
13 제어부
20 배향막 잉크
21 묘화 영역
22 주위 묘화 영역
23 주위 묘화 영역
30 유리 기판
본 발명은 배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화 방법에 관한 것이며, 특히 건조 후의 막 두께의 균일도를 높일 수 있는 배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화 방법에 관한 것이다.
종래부터, 잉크젯식의 묘화 장치는 부주사(副走査) 방향으로 다수의 노즐을 구비한 잉크젯 헤드를 가지고 있고, 이 잉크젯 헤드를 캐리지 기구에 의해 주주사(主走査) 방향으로 이동시켜 묘화를 행하는 장치이다.
또, 묘화 장치는 문자나 회화·사진의 인쇄뿐만 아니라, 칼라 액정 장치나 칼라 일렉트로루미네선스(EL) 디스플레이 장치에 사용되는 칼라 필터의 제조에도 넓게 응용되고 있다(특허문헌 1 참조).
잉크젯식의 묘화 장치에서는 호스트 컴퓨터로부터 입력된 묘화 데이터를 전개한 도트 패턴 데이터에 의거하여, 잉크젯 헤드의 각 노즐로부터 잉크를 소정의 타이밍으로 토출시켜, 이들 각 잉크 방울이 유리 기판 등의 묘화 매체에 도포됨으로써 묘화가 행해진다.
도 3은 종래의 묘화 장치를 사용한 묘화 방법을 설명하는 평면도 및 A-A'선에서 본 단면도이다. 이하에서는, 유리 기판에 배향막 잉크를 도포하여 소정 형상, 소정 막 두께(예를 들면, 500Å)의 배향막을 형성하는 경우에 대하여 설명한다. 도 3에서, 묘화 장치는 잉크젯 헤드로부터 유리 기판(1)에서의 4각형 모양의 묘화 영역(2)에 대하여 배향막 잉크를 토출시킨다. 여기서, 배향막 잉크의 조성은 용제(γ 부틸 락톤)가 98%, 고형분(폴리이미드)이 2%로 되어 있다. 또, 묘화 영역(2)은 가로 사이즈가 11mm, 세로 사이즈가 16.5mm로 되어 있다.
4각형 모양의 묘화 영역(2)에 대하여 배향막 잉크가 도포되면, 배향막 잉크는 도 4에 나타낸 제1 단계, 제2 단계 및 제3 단계를 거쳐서 건조된다. 즉, 제1 단계는 유리 기판(1)의 묘화 영역(2)에 배향막 잉크가 도포된 직후이다. 다음에, 제2 단계에서는 주연부(2a)가 중앙부(2b)보다도 먼저 건조가 진행되고(용제가 증발), 배향막 잉크에서의 농도 구배가 생긴다. 이것에 의해, 농도가 낮은 중앙부(2b)로부터 농도가 높은 주연부(2a)로 미건조(未乾燥)의 배향막 잉크가 이동하여, 주연부(2a)가 중앙부(2b)에 비교해 농도가 더 높아진다.
여기서, 단위 시간당 배향막 잉크의 농도 변화율은 농도를 C, 확산 계수를 K, 시간을 t, 배향막 잉크의 두께를 y, 배향막 잉크의 습윤 확산 거리를 x로 하면 다음의 (1)식으로 나타난다.
∂C / ∂t = K (∂2C / ∂x2 + ∂2C / ∂y2)····(1)
다음에, 제3 단계에서는 주연부(2a) 및 중앙부(2b)가 건조되며 주연부(2a)의 농도가 높기 때문에, 중앙부(2b)에 비교하여 융기한 상태로 된다. 예를 들면, 도 3에 나타낸 것처럼 주연부(2a)의 융기 부분의 폭(W1)은 5000Å이다. 융기 높이(H1) 는 3000Å이다.
[특허 문헌 1] 일본공개특허평 9-138410호 공보
그런데, 종래의 묘화 장치에서는 도 4에 나타낸 것처럼 유리 기판(1)에 도포된 배향막 잉크의 건조가 진행됨에 따라, 주연부(2a)가 중앙부(2b)에 비교하여 융기하기 때문에, 막 두께의 균일도가 낮다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기에 비추어 이루어진 것으로서, 건조 후의 막 두께의 균일도를 높일 수 있는 배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하고 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 기판 위에 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역에 대하여 배향막 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 수단과, 상기 묘화 영역의 주위에 상기 배향막 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은 기판 위에 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역에 대하여 배향막 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 공정과, 상기 묘화 영역의 주위에 상기 배향막 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 수단과, 상기 묘화 영역의 주위에 상기 잉크를 토 출시키는 제2 잉크 토출 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 공정과, 상기 묘화 영역의 주위에 상기 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에, 본 발명에 관한 배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화 방법의 실시예를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 또한, 이 실시예에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
(실시예)
도 1은 본 발명에 관한 일 실시예의 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 1에는 잉크젯식의 묘화 장치(10)가 도시되어 있다. 이 묘화 장치(10)에서, 잉크젯 헤드(11)는 부주사 방향으로 다수의 노즐을 구비하며, 예를 들면 유리 기판(30)에 대하여 배향막 잉크(20)를 토출하는 기능을 구비하고 있다.
캐리지 기구(12)는 잉크젯 헤드(11)를 주주사 방향으로 이동시키는 기능을 구비하고 있다. 제어부(13)는 호스트 컴퓨터(도시 생략)로부터 입력된 묘화 데이터(D)를 전개한 도트 패턴 데이터에 의거하여, 잉크젯 헤드(11)의 각 노즐로부터 배향막 잉크(20)를 토출시키기 위한 제어나, 캐리지 기구(12)의 제어를 행하는 기능을 구비하고 있다.
도 2는 일 실시예에서의 묘화 방법을 설명하는 평면도 및 B-B'선에서 본 단면도이다. 이하에서는, 유리 기판(30)에 배향막 잉크(20)(도 1 참조)를 중앙부로부터 외측에 걸쳐 여러 차례(도 2에서는 3회)에 걸쳐서 도포하고, 소정 형상(예를 들 면, 4각형 모양)이며, 균일도가 높은 막 두께의 배향막을 형성하는 경우에 대하여 설명한다.
도 1에 나타낸 묘화 데이터(D)가 제어부(13)에 입력되면, 제어부(13)는 묘화 데이터(D)를 도트 패턴으로 전개한 후, 제1 단계로서 잉크젯 헤드(11)로부터, 도 2에 나타낸 유리 기판(30)에서의 4각형 모양의 묘화 영역(21)에 대하여 배향막 잉크(20)를 토출시킨다. 이것에 의해, 묘화 영역(21)에는 배향막 잉크(20)가 도포된다. 이 묘화 영역(21)은 가로 사이즈가 5mm, 세로 사이즈가 7.5mm로 되어 있다.
그리고, 묘화 영역(21)에 도포된 배향막 잉크(20)의 건조가 소정량 진행하면, 제어부(13)는 제2 단계로서 잉크젯 헤드(11)로부터, 묘화 영역(21)의 주위인 대략 ㅁ자 형상의 주위 묘화 영역(22)에 대하여 배향막 잉크(20)를 토출시킨다. 이것에 의해, 주위 묘화 영역(22)에는 배향막 잉크(20)가 도포된다. 이 주위 묘화 영역(22)은 가로 사이즈가 8mm, 세로 사이즈가 8mm로 되어 있다.
그리고, 주위 묘화 영역(22)(묘화 영역(21))에 도포된 배향막 잉크(20)의 건조가 소정량 진행하면, 마지막으로 제어부(13)는 제3 단계로서 잉크젯 헤드(11)로부터, 주위 묘화 영역(22)의 주위인 대략 ㅁ자 형상의 주위 묘화 영역(23)에 대하여 배향막 잉크(20)를 토출시킨다. 이것에 의해, 주위 묘화 영역(23)에는 배향막 잉크(20)가 도포된다. 이 주위 묘화 영역(23)은 가로 사이즈가 11mm, 세로 사이즈가 16.5mm로 되어 있다.
그리고, 소정 시간 경과하면 묘화 영역(21), 주위 묘화 영역(22) 및 주위 묘화 영역(23)에 도포된 배향막 잉크(20)가 건조한다. 이 경우, 주연부에 상당하는 주위 묘화 영역(23)이 융기한 상태로 되지만, 종래의 묘화 방법(도 4 참조)에 비교하여 융기 정도가 작다. 구체적으로는, 도 2의 경우, 주위 묘화 영역(23)(주연부)의 융기 부분의 폭(W2)은 800Å이고, 종래의 5000Å의 폭(W1)(도 3 참조)에 비교하여 작은 값으로 되어 있다. 또, 융기 높이(H2)는 50Å이고, 종래의 3000Å의 융기 높이(H1)(도 3 참조)에 비교하여 작은 값으로 되어 있다.
이상 설명한 바와 같이, 일 실시예에 의하면, 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역(21)에 대하여 배향막 잉크(20)를 토출시키고, 묘화 영역(21)의 주위(주위 묘화 영역(22), 묘화 영역(23))에 배향막 잉크(20)를 토출시키는 것으로 했으므로, 종래와 같이 한 번에 원하는 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키는 경우에 비교하여, 주연부(묘화 영역(23))의 융기가 경감되어, 건조 후의 막 두께의 균일도를 높일 수가 있다.
[산업상의 이용 가능성]
이상과 같이, 본 발명에 관한 배향막 형성 장치, 배향막 형성 방법, 묘화 장치 및 묘화 방법은 막 두께의 균일도가 요구되는 경우에 유용하다.
본 발명에 의하면, 원하는 묘화 영역보다도 작은 면적의 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키고, 묘화 영역의 주위에 잉크를 토출시키는 것으로 했으므로, 종래와 같이 한 번에 원하는 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키는 경우에 비교하여 주연부의 융기가 경감되어, 건조 후의 막 두께의 균일도를 높일 수가 있다.

Claims (8)

  1. 기판 위에 소정의 묘화 영역에 대하여 배향막 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 수단과,
    상기 묘화 영역의 주연부에 상기 배향막 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 잉크 토출 수단은 상기 묘화 영역의 주연부에 내측으로부터 외측으로 복수회로 나누어 상기 배향막 잉크를 토출시키는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 잉크 토출 수단은 소정 시간 간격을 두고 상기 배향막 잉크를 토출시키는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  4. 기판 위에 소정의 묘화 영역에 대하여 배향막 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 공정과,
    상기 묘화 영역의 주연부에 상기 배향막 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 방법.
  5. 소정의 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 수단과,
    상기 묘화 영역의 주연부에 상기 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 잉크 토출 수단은 상기 묘화 영역의 주연부에 내측으로부터 외측으로 복수회로 나누어 상기 잉크를 토출시키는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 제2 잉크 토출 수단은 소정 시간 간격을 두고 상기 잉크를 토출시키는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
  8. 소정의 묘화 영역에 대하여 잉크를 토출시키는 제1 잉크 토출 공정과,
    상기 묘화 영역의 주연부에 상기 잉크를 토출시키는 제2 잉크 토출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4852257B2 (ja) * 2005-04-08 2012-01-11 芝浦メカトロニクス株式会社 溶液の塗布装置及び塗布方法
CN101344684B (zh) 2007-07-12 2011-12-28 北京京东方光电科技有限公司 液晶显示装置的基板及其制造方法
JP5520614B2 (ja) * 2010-01-15 2014-06-11 株式会社ジャパンディスプレイ 液晶表示装置及びその製造方法
US9223176B2 (en) * 2011-09-21 2015-12-29 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Coating method for liquid crystal alignment film of TFT-LCD
CN102323695B (zh) * 2011-09-21 2013-07-03 深圳市华星光电技术有限公司 Tft-lcd用液晶配向膜的涂布方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020087549A (ko) * 2001-05-14 2002-11-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 배향막 러빙방법
KR20030084608A (ko) * 2002-04-22 2003-11-01 세이코 엡슨 가부시키가이샤 도전막 배선의 형성 방법, 막구조체, 전기 광학 장치, 및전자 기기
KR20040062016A (ko) * 2002-12-31 2004-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 배향막 형성 방법
KR20050031381A (ko) * 2003-09-29 2005-04-06 세이코 엡슨 가부시키가이샤 컬러 필터 기판, 컬러 필터 기판의 제조방법, 컬러 필터기판의 제조장치

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2839133B2 (ja) * 1994-03-31 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法
US5935331A (en) * 1994-09-09 1999-08-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus and method for forming films
JP3390302B2 (ja) * 1995-03-17 2003-03-24 住化プラステック株式会社 防曇剤組成物および農業用フィルム
JPH11300951A (ja) * 1998-04-24 1999-11-02 Canon Inc インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP3585096B2 (ja) * 1999-04-20 2004-11-04 平田機工株式会社 回転式塗布装置
JP3998382B2 (ja) * 1999-12-15 2007-10-24 株式会社東芝 成膜方法及び成膜装置
JP3628997B2 (ja) * 2000-11-27 2005-03-16 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP3985545B2 (ja) * 2002-02-22 2007-10-03 セイコーエプソン株式会社 薄膜形成装置と薄膜形成方法、液晶装置の製造装置と液晶装置の製造方法と液晶装置、及び薄膜構造体の製造装置と薄膜構造体の製造方法と薄膜構造体、及び電子機器
JP4110815B2 (ja) * 2002-03-29 2008-07-02 株式会社日立製作所 液体塗布方法及び装置
JP3685158B2 (ja) * 2002-07-09 2005-08-17 セイコーエプソン株式会社 液状物の吐出方法および液状物の吐出装置
TWI242663B (en) * 2002-07-09 2005-11-01 Seiko Epson Corp Jetting method of liquid, jetting apparatus of liquid, production method of substrate for electro-optical apparatus and production method of electro-optical apparatus
JP3979354B2 (ja) * 2002-11-08 2007-09-19 セイコーエプソン株式会社 膜状構成要素の製造方法
JP3966293B2 (ja) * 2003-03-11 2007-08-29 セイコーエプソン株式会社 パターンの形成方法及びデバイスの製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020087549A (ko) * 2001-05-14 2002-11-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 배향막 러빙방법
KR20030084608A (ko) * 2002-04-22 2003-11-01 세이코 엡슨 가부시키가이샤 도전막 배선의 형성 방법, 막구조체, 전기 광학 장치, 및전자 기기
KR20040062016A (ko) * 2002-12-31 2004-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 배향막 형성 방법
KR20050031381A (ko) * 2003-09-29 2005-04-06 세이코 엡슨 가부시키가이샤 컬러 필터 기판, 컬러 필터 기판의 제조방법, 컬러 필터기판의 제조장치

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