200940187 三、英文發明摘要： 圖 \ϊ/ 明 8說 C單 第簡 :號 為符 圖件 表元 :代之 圖定圖 表指表 代案代定绰；ί指一二 /IV Γν %四 五、 本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特 徵的化學式： ❹
Q 六、 發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於對被保持於裝置内的規定的位置之塗佈 對象物’藉由具有複數個吐出喷嘴的塗佈頭吐出著色材料等 的應塗佈的材料之塗佈裝置（c〇ating machine)及塗佈方 法。特別是在吐出、填充多色的著色材料至塗佈對象物的塗 佈區域被分割成小劃分（稱為像素（pixel))之該小劃分的情 形等可期待大的功效。 【先前技術】 最近的資訊終端機的影像顯示技術的進展令人瞠目結 舌，大畫面的或小型的晝面都是非常高的精細度的影像顯 示機器（顯示器（display ))被製造、實用化。這種狀況之 中，對能以低成本進行高品味的影像顯示之顯示器的要求 強烈。響應這種要求的顯示器的關鍵裝置 (…1 一彩色減光片的製造方法有 200940187 用各式各樣的辦法。 • 在關於這種彩色濾光片的製造方法、裝置之習知的塗佈 (coating)技術中，於在塗佈對象物之玻璃基板（glass substrate)等藉由完成遮光功能的種種的材料形成遮光部 成矩陣狀之塗佈對象物中，填充著色材料至該矩陣狀的遮光 部的格子（小劃分之塗佈區域[像素])之中並實現當作彩色 濾光片的功能。 在最近’填充著色材料至該塗佈對象物的[像素]之方法 〇被提出如下的方法：取代不得不依靠複雜的程序之習知的塗 佈技術，藉由裝備吐出、填充著色材料至[像素]之噴墨頭 (inkjet head)的塗佈裝置，在塗佈對象物之形成遮光部成 矩陣狀的玻璃基板等上，由形成於喷墨頭的喷墨噴嘴 (inkjet nozzle)吐出、填充用以實現彩色濾光片的功能之 必要的原色數的著色材料並製造彩色濾光片。 使用搭載該喷墨頭的塗佈裝置吐出、填充著色材料等的 情形，大晝面的彩色液晶電視、電漿電視或以其他的顯示器 ©機器為對象之大型的彩色遽光片，或者小畫面的資訊終端機 用的顯示器等小型的彩色濾光片都是由一片基板大量地分 割，以得到彩色濾光片的情形，一下子需吐出、填充著色材 料等至大大地擴大形成於大的面積的塗佈對象物之多數個 像素。 在具有這種大的面積之作為塗佈對象物的彩色濾光片 的生產中，為了迅速地、有效地完成著色材料之吐出、填充 至所有的像素，如果是具有直線地長長地搭載複數個喷墨頭 素 ❹ ❹ 200940187 的有效塗佈寬的大的墨水吐出部 出部與玻璃基板間的相對的少的較f佈裝置’則能以墨水吐 料至玻璃基板等的所有的像素。動次數吐出、填充著色材 而且’為了在短時間完成吐 有如下的兩個選項： 填充者色材料至各個像 υ、使來自一個噴墨喷嘴的一次吐出量大或者 2)、增加對應像素的喷墨嘴嘴的數目（=高密度地排列）。 但疋，纟η的一下子吐出大量的著色材料的方法中， 因衫色濾光片的像素的縱橫尺寸小到百微米(micr〇n)單 位，且矩陣狀的遮光部的隔壁的高度也低到數“左右，故 右耆色材料由-個像素溢出到接鄰的像素，不同顏色的劃分 接鄰的話’則成[混色]的原因，且即使是相同顏色也會在乾 舞程序後的著色劑填充部的厚度產生差，成為彩色濾光片的 部分的[透過光量的差]，故品味降低或變成被判定為不良品 之低水準的著色材料的塗佈，不實用。 因此，2)的高密度地排列吐出微量的著色材料之喷墨噴 嘴的對策當作選項而留下。 該對策之一在專利文獻i中揭示：將喷嘴數少的幅度的 複數個小的喷墨頭的每一個傾斜排列、配置成相同角度並裝 叹於支撐手段（support means)。據此，藉由提高與塗佈裝 置的掃描方向成直角的方向的喷墨喷嘴的有效排烈密度，使 喷嘴間間距（pitch)與像素（引例稱為濾光元件（fUter element))的接鄰像素間間距一致等，實現著色材料之吐 出、填充至像素所需的喷墨噴嘴的排列密度之方法。 Ο 〇 200940187 據此’若與使喷嘴數多的大的寬 J見厪的—個喷墨頭在與掃 描方向成直角的方向具有相同的傾斜 〜月度的情形比趫，則 實現相同塗佈寬時可減小喷墨頭的掃 — 田万向的尺寸，其結果 右以相同塗佈所需的掃描距離比較， ^ 1t I 幻裝置的總掃描距離 知·，可縮短製造時間。 而且，在專利文獻2中冑示如下之構成：用以解除由於 各個喷墨頭所具備的喷嘴間的吐出量的不均勻性，在彩色 據光片產生彩色深淺（color —§)及/或條紋斑 (stripe lrregularity)之對策為直線地連接喷墨頭，或者 將接鄰的-組喷墨頭錯開於掃描方向，互相重疊其端部而 並列配置，並當作—個長條喷嘴列。準備複數組該長條喷 嘴列，錯開長條嘴嘴列的連接（互相重疊）部分，並列配置 各個長條喷嘴列於與掃描方向成直角的方向，令掃描一個 像素的區域之喷嘴為複數個。據此，因由複數個嘴墨頭的 喷嘴進行著色材料的吐出、帛充至—個像素，故來自喷墨 個體的喷嘴的吐出量的不均勻性被降低，可抑制彩色深淺 及/或條紋斑的產生。 [專利文獻1]日本國特開2〇〇2_273868號公報 [專利文獻2]日本國特許第3925525號公報 【發明内容】 但疋’針對專利文獻1的方法，如在專利文獻2揭示的， 由於無法避免在複數個喷墨頭（在引例為液滴吐出頭）間吐 出量產生一些不均勻性，故有例如在藉由某喷墨頭吐出填 5 200940187 充有著色材料（在引例為液狀材料）的像素中顏色變濃，在藉 .由其他的喷墨頭吐出、填充有I色材料的像素中顏色變薄 . 等，在面板（panel )内產生彩色深藏之問題。 像本發明者這樣在探索吐出吾沾^ ^ * & ®量的不均勻性的原因之 中，注目由各個喷墨喷嘴吐出的著多 J f色材料的量。其結果確認 了來自各個喷墨喷嘴的吐出的量受到同時動作的附近的喷 墨喷嘴的吐出造成的影響’與由該嘴墨噴嘴單獨吐出著色材 料的情形比較，吐出5〜10%左右的著色材料的量増加，據此 ❾產生的透過光量的差及/或彩芦深& X心邑冰淺大。為了以專利文獻2 的方法避免這種影響，需準備許客 千埼矸多長條噴嘴列，並列配置幾 層此等許多長條喷嘴列’由許多喷墨頭吐出、填充著色材料 至-個像素，只具備將該裝置使用於彩色濾光片之原色的數 目係不經濟實用。 像本發明者這樣還由包会 t & 田包3像ι知方式的塗佈技術這樣 的自己的公司的彩色涛# κ 4方 愿九片生產的經驗確認了為了降低透 過光量的差及/或彩色深淺， 队 j稭由將評價尺度之[色度 (chromaticity)]的容耸 /古，λ11 _ , °值（allowable value)抑制到規定 的值而實用化，作為彩色墉 色濾先片的[色度]的容許值在有效區 域全體中為1000分之q _ ，為了實現該[色度]的容許值，令 被吐出、填充至各個像音 素的者色材料的塗佈量不均勻性的容 許值為3/6以下。本發明並 ^ ^ ^ ^ '、目的為以7被吐出、填充至各個 像素的著色材料的塗佈 必A a 佈置不均勻性的容許值為3%以下當作 知色〉慮光片的目標招故 ' ，滿足該規格並實現無彩色深淺及/ 或條紋斑之著色；,, 的吐出、填充至像素為可能的塗佈裝 6 200940187 置、方法。 本發明乃是鑑於上述的間題，其構成如下·· -種塗佈裝置’藉由具有複數個吐出噴嘴的塗佈 由前述吐出喷嘴以微量的液滴塗 藉 特徵為進行如下的程序 佈㈣材至塗佈對象物，其 在藉由控制裝置的控制使前述塗佈頭與對相 動’供給塗佈材至對象物，塗佈前述塗佈頭的有效寬以= 區域之程序中， 的 ❹ :塗伟頭的-掃描進行的塗佈之後，在與掃描方向成 直角的方向使塗佈頭朝重複掃描塗佈區域的一部分 的位置移動，令該端部為重複塗佈， ° 在重複部分朝前述塗佈頭的末端’在吐出喷嘴的吐出量 設有階段的傾斜， 藉由至少-往復以上的塗佈頭的掃描均句地塗佈塗佈 材至對象物全有效區域》 ο 而且，以如下之構成··前述重複的區域的寬為位於至少 塗佈頭的全吐出㈣的兩端之相土出量低的*出噴嘴的 塗佈區域的寬，及/或前述重複的區域的寬為m像素以 上0 【發明的功效】 依照本發明，可實現可在塗佈對象物有 私Λ 、 η双&域全面無 彩色冰淺，均勻地塗佈塗佈材，且也 仏个霄產生沿著塗佈頭 的掃描方向之直線的塗佈量的不均勻性 阻拉成的條紋斑之塗 7 200940187 佈。 【實施方式】 以下一邊參照添附圖面，一邊針對塗佈對象物為彩色滹 光片用玻璃基板，塗佈頭為使用具有多數個噴嘴的噴墨頭的 複合體的實施形態，藉由生產使用紅（R)、綠（G)、藍 色的墨水之彩色濾光片的裝置及方法說明本發明。 圖1是顯示與本發明有關的彩色濾光片製造裝置之斜 ©視圖，圖2是顯示與本發明有關的彩色濾光片製造裝置的主 要部分之俯視圖，圖3是顯示噴墨頭的排列的一例之平面概 略圖’圖4是說明喷墨噴嘴的排列之俯視圖。 在此等各圖中設正交座標系的3軸為χ、γ、ζ，χγ平 面為水平面，Ζ轴方向為鉛直方向，繞鉛直轴的旋轉方向 為0方向。而且，設圖丨的紙面靠近眼前側為上游，紙面 裏頭側為下游。在圖2中紙面右側成上游，紙面左側成下 游。而且，設由上游朝下游的動作為往動，由下游朝上游 〇的動作為復動。 如圖1所示’與本發明有關的彩色濾光片製造裝置1 具備··機台2、吸附平台（adhesive stage)3、塗佈台架 (coating gantry)4、墨水吐出部5、攝影機台架（camera gantry)6、對準攝影機（al ignment⑶託、掃描攝影機 (scan camera)8、基板運送機械手臂（substrate transp〇rt robot)9及控制裝置1〇等。 機台2是當作可動地支撐彩色濾光片製造裝置1的主 200940187 構成部（例如吸附平台3、塗佈台架4、攝影機台架6等）之 -底座發揮功能，主要是藉由石材構成。以石材是為了最小限 . 度地抑制伴隨溫度變化的變形。 吸附平台3如圖2所示具有可確保充分的平面度並承載 形成矩陣狀的遮光部之玻璃基板κ之承載面31，與機台2 一樣以石材構成。在該承載面31形成有連接於未圖示的吸 引泵（pump)，給予玻璃基板等負壓之複數個吸附孔^之與複 數個頂出銷孔（lift pinhole)33，在頂出銷孔33具備有可 ❹上下運動的頂出銷34。而且，玻璃基板〖藉由基板運送機 械手臂9被運送至頂出銷34上，在該頂出銷34的緩慢的 下降後，藉由來自吸附孔32的負壓被固定於承載面。 吸附平台3還可藉由未圖示的平台旋轉驅動手段轉動 驅動於0方向。 塗佈台架4被作成可跨過吸附平台3的尺寸之門型形 狀至V/、備·隔著吸附平台3的寬間隔而立設的兩根支柱 ❹ 部41，架設於兩根支柱部41間的水平框部。而且，在 跨過吸附平台3的狀態了，藉由—對第—線性馬達⑴ m〇tc^)43可行走（running)於χ軸方向而被支樓於機台2 上。-對第-線性馬達43是在機台2的兩端沿著χ軸互相 平行而被安裝。 上述水平框部42可藉由分 一 相r W，刀切曰。δ又W陶根支柱部4 i之 以由線性馬達或、、奋地上田 一/珠螺样（ball screw)構成的驅動機構等 構成的飼服馬達機冑44在Z方向升降。在水平框部42, 墨水吐出邛5是藉由第二線性馬達45可行走於Y轴方向而 200940187 被配設。第二線性馬連45是沿著Y方向被安裝於水平框 —42。 。 - 依照圖3所示的喷墨頭的排列的一例之墨水吐出部5 是用以塗佈紅（R)、綠（G)、藍（Β)的著色材料的任一個，雖 然未特別圖示，惟也設置有用以塗佈其他的著色材料之墨水 吐出部5。 在圖3的例子中，每一 RGB各色的墨水吐出部5是以 並列配置5個喷墨頭51的5段構成一個列，將構成段的噴 ® —分割成3段與2段，以配備此等噴墨頭51六列 成鑛齒狀之合計30個頭（head)構成。 圖4,顯示配置有與一個喷墨頭51並列或接鄰的噴墨 的每—個的喷墨喷嘴52之排列間距p的關係之說明 ' 如圖所示，配設於嗜黑爸^ 的5個嗜里 认於噴墨頭51的噴墨喷嘴52係成列 地被 赁墨喷嘴52的母一個由末端整齊 的他端的於錯開間距P份的位置。而且，顯示距位於該列 ❹間距P妯噴墨喷嘴52 ’接鄰的列的末端的喷墨噴嘴52以 的噴累4配置之位置關係。亦即，在成各個列的噴墨頭51 直角的 ^^之間且為了嫁保塗佈寬於在與掃描方向成 是以間矩向直線地接鄰的兩個端的喷墨頭51之間，全部都 喷嘴P被配置。據此，冑效塗佈寬全體無間隙，喷墨 嘴^以必要的間距P的配置存在。 影機8° ^圖1，在攝影機台架6，對準攝影機7、掃描攝 0 ^ A 4*. A Ο i. 設、固~ 的測定基準位置進行調整之後被裝 夂於攝影機台举 β 6’透過藉由對準攝影機7讀取附 200940187 加於玻璃基板κ上的對準標記（aiignment mark)(參照圖 -5)，计測距基準點的移位並計算機台2上的玻璃基板K的 XY平面中的角度的偏移’根據計算結果使吸附平台3旋 轉，可達成玻璃基板](的對準，並且由玻璃基板所具有的 像素配置的位置資訊等可達成玻璃基板的原點補正。 而且’在攝影機台架6裝設、保持檢測、計測撞擊玻 璃基板Κ的著色材料之掃描攝影機8更佳，該掃描攝影機 8是在攝影機台架6上可往復移動於γ方向、ζ方向而被裝 ❹設、驅動。 此外’依照取代掃描攝影機8採用二次元ccd攝影機， 透過由玻璃基板Κ表面中的撞擊玻璃基板κ的液滴的直徑 運算撞擊玻璃基板Κ的液滴的面積，以一定的步驟慢慢地 提间同度’運算各個面積，可算出液滴的體積，每一個吐 出該著色材料的噴墨喷嘴可高精度地計測、運算著色材料 的吐出量。 接著’也參照圖5至圖8說明如上述構成的彩色濾光 ❹片製造裝置1的動作。圖5是成為彩色濾光片的形成對象的 玻璃基板κ的像素排列之影像圖，圖6Α、Β是顯示與本發 明有關的彩色濾光片製造裝置的概略動作之流程圖，圖7 是顯示使塗佈量具有階段的傾斜之噴墨喷嘴選擇的一例之 圖，圖8是針對一種顏色使其著色材料的吐出、填充設有階 段的傾斜，並以兩次的吐出填充至墨水吐出部5的有效塗佈 寬的邊界附近的像素之影像圖。 在想作成彩色濾光片的玻璃基板Κ的表面如圖5所 200940187 示，預先形成有形成彩色墨水的塗佈劃分之矩陣狀的遮光 部的黑色矩陣BM及對準標記Ml。圖中的[R ]、[ G ]、[ B ]是 表不對應紅、綠、藍色的各個目的色之像素。 而且，彩色濾光片製造裝置1係吸附平台3為非吸附狀 態，塗佈台架4為最上游位置，墨水吐出部5為非吐出狀 態，攝影機台架6為最下游位置。以在基板運送機械手臂9 中的可動支撐台93上承載有玻璃基板K的狀態進行說明。 動作除了有特別的說明的情形外，是根據控制裝置丨〇的押 〇制被驅動控制。 t [搬進玻璃基板（步驟S1)] 首先，基板運送機械手臂9驅動可動支撐台93並將玻 璃基板K運送到吸附平台3的正上面。同時在機台2的吸 附平台3的承載面31中，頂出銷34由頂出銷孔33上升， 基板運送機械手臂9使可動支撐台93慢慢地下降，將玻璃 基板κ放置於頂出銷34的尖端部。在將玻璃基板κ放置於 頂出銷34後，基板運送機械手臂9使可動支撐台93待避'。 ©吸附平台3使支承玻璃基板！^的頂出銷34下降，在與玻璃 基板Κ下降並到達承載自3 i、約略同時，藉由吸引果使負壓 產生於真空吸附孔32,藉由負壓吸附保持玻璃基板κ於承 載面31上。 ' [定位玻璃基板（步驟S2)] 在玻璃基板K之吸附於吸附平台結束後，藉由第一線性 馬達43將對準攝影機7移動到對準標記[的上方。對準 攝影機7拍攝對準標記耵，將所得到的影像資料(image 200940187 data)傳送刻控制裝置1 0 ’影像處理所傳送的影像資料並 - 算出對準標記Ml的各個座標’算出補正玻璃基板κ之機台 2上的XY平面中的角度的偏移與玻璃基板K的原點位置。 玻璃基板K的角度的偏移是藉由驅動控制未圖示的平台旋 轉驅動手段進行玻璃基板K的角度偏移的修正。 [塗佈前準備（步驟S3)] 第一線性馬達4 3使塗佈台架4移動，並使墨水吐出部 5與玻璃基板K中的上游側的塗佈開始位置一致。接著， 〇伺服馬達機構4 4使墨水吐出部5下降，俾喷墨喷嘴5 2的 吐出口與玻璃基板κ的表面之間隙成為0 25mm〜1()inm左右 的微小間隔。 接著，詳細地說明塗佈動作。 [塗佈著色材料（步驟S4)]
對與本發明有關的彩色濾光片製造裝置丨的玻璃基板 K中的全像素gs，塗佈目的色的著色材料之一連串的動作 是透過如下的步驟:如圖8A所示的大的箭頭般藉由由上游 往動至下游的掃描進行之塗佈、移到接鄰塗佈劃分之γ軸方 向移動m圖8Β所示的大的箭頭般藉由由下游朝上游 的復動的掃描進行之塗佈，由喳 至神由噴墨碩51吐出、填充著色材 料至玻璃基板K並結束塗佈動作。 以下更詳細地說明。 [藉由往動進行的塗佈] 藉由第一線性馬達43的驅叙祛♦说△如，， 動使塗佈台架4往動。據 此，墨水吐出部5如圖8A的禁-s β _ 的箭碩所不，在喷墨喷嘴52的 200940187 吐出口與玻璃基柘 κ的表面保持微小間隔而移動。控制裝 置10傳送指令至S i 墨水吐出部5，俾以預定時序（timing)將 -規定的顏色的規定量的著色；M·钮X山$〆你 至J可巴衬枓吐出至當作塗佈目的的像 素gs。據此，適者县认益Δ ,, «里的者色材料被塗佈至玻璃基板κ的黑 色矩陣ΒΜ中的各像素gs(參照圖6β的步驟w、s43)。 並葬動進行的塗佈中，依照控制裝置1〇的指令 來自喷墨頭51的噴墨喷嘴52的著色材料的吐出塗 佈有著色材料的像素的填充量如圖8a所- 里划圃ΟΛ所不，在位於重複塗 ©佈區域的墨水吐出部5的塗佈寬中如以黑白濃淡得知般， 朝末端階段地設有傾斜。雖然在該圖中未顯示，惟其他的 顏色也一樣，約略同時被塗佈。 [往動塗佈結束後的墨水吐出部的γ方向移位 (shift)] 藉由第一線性馬達43的驅動使塗佈台架4移動於玻璃 基板K上至規定的塗佈有效區域的終端或塗佈台架4的移 動端並停止。然後，藉由第二線性馬達4 5的驅動使墨水吐 © 出部5移動於Y方向。 該移動量成為如下的距離：至少塗佈有效寬W以復路 掃描重複掃描包含設有階段的傾斜而被塗佈的像素之區 域，在Y方向使墨水吐出部5移動至吐出、補足著色材料 並填充規定量的著色材料的位置。 [藉由復動進行的塗佈] 藉由第一線性馬達43的驅動使塗佈台架4復動（步驟 S41)。據此，墨水吐出部5如圖8B的箭頭所示，由下游到 14 200940187 上游與往動時一樣，喑塞法嗾 W ΛΑ ,, Τ墨喷嘴52的吐出口與玻璃基板κ 的表面保持微小間隔而移動。 控制裝置1 0傳送#人$ s ρ “Α 寻圮知令至墨水吐出部5，俾以預定時序 將規定的顏色的規定量的著色材料吐出至塗佈對象之像素 gS。據此，在玻璃基板κ的黑色矩陣βμ中的各像素以： 在也包含设有階段的傾咎沾县 刃1貝斜的量的區域之所有的有效像素， 以總量塗佈有成為規定蕃沾基Α 々巩疋量的者色材料（參照圖⑽的 S42、S43)。如此，可藉 士士 , , ❹ 了藉由由上游到下游的一次的往復掃描 填充規定量的著色材料至所有的像素。 若墨水吐出部5到ϋ@ Λ 4c p & 建玻璃基板K中的上游側的塗佈妗 束位置（在步驟S44中為YES)，則第一 。 踝性馬達4 3移動至 機口 2的X軸原點，使塗佈台 ^ ^ ^ t 的仃走停止。然後，藉 由第一線性馬達4 5的驅動，使篆永&山a 置並結束（參照步驟S45)水吐出部5返回到初始位 在依照本發明的著色材料之塗佈於彩色遽光片中，由 ❹ 塗佈頭的一掃描進行的塗佈之後，在與掃描方向成直角的 方向使塗佈頭朝重複掃描塗佈 直角的 ^ ^ ^ ^匕场的一部分之端部的位置 移動，令該端部為重複塗佈，在 罝 末端，在吐出喷嘴的吐出量佈頭的 π A #又的傾斜，可藉A j 一往復以上的塗佈頭的掃描均勻 地塗佈塗佈材至對象物全 有效區域。 τ豕物生 寬為位於至少墨水吐 量低的吐出喷嘴的塗 至少3像素以上較佳 出部的全 佈區域的 此情形的重複的區域的 吐出喷嘴的兩端之相對吐出 寬，及/或重複的區域的寬為 200940187 接著’根據實施例說明藉由本發明的塗佈裝置遍及塗 - 佈區域全面均勻地塗佈之結構。 . [實施例一] 本發明的實施例是以如下進行說明：在可對應代表的 37吋尺寸的高精細電視接收機之寬度18〇 v m、長度53〇以爪 的大小的像素中，藉由搭載墨水吐出部5的塗佈台架4的 一次的往復掃描，由塗佈頭的一掃描進行的塗佈之後在 與掃描方向成直角的方向使塗佈頭朝重複掃描塗佈區域的 © —部分之端部（在本實施例中為4個像素）的位置移動令 該端部為重複塗佈，在重複部分朝前述塗佈頭的末端，在 吐出喷嘴的吐出量設有階段的傾斜，擬吐出、填充規定量 的著色材料至塗佈區域内的彩色濾光片的有效的區域的全 像素。 此情形’因藉由微小的液滴將3色的各個著色材料塗 佈於超過100萬的上述的大小的像素，故喷墨喷嘴52的密 度也需要對應微小的液滴與上述的大小的像素的關係之密 ©度，在此情形下，擬設喷墨噴嘴52的排列密度為1800dpi， 將設來自一個喷墨喷嘴52的著色材料丨發（滴）的吐出量為 30pl(微微公升）50發合計15〇〇pl的著色材料吐出、填充 至在玻璃基板K形成矩陣狀的遮光部之玻璃基板κ的該格 子（=像素）之中，並製造彩色濾光片。 而且，設墨水吐出部5的有效塗佈寬為如下的寬度尺 寸份以上：彩色濾光片有效像素區域的寬W的1/2,加位於 墨水吐出部的全吐出喷嘴的兩端之相對吐出量低的吐出噴 200940187 嘴的塗佈區域的寬或至少3個像素的寬。l8〇〇dpi的喷墨 -喷嘴52的排列間距P成為U.Uvm，惟該 _間距的值由於構成利用現狀的基本的喷墨方式之噴墨嘴嘴 52的構件尺寸、機構上等的限制，很難以一個噴墨頭η 實現。因此，以5個（段）喷墨頭51實現該14 距。 曰] 亦即，形成於一個噴墨頭51的噴墨喷嘴52的排列間 隔是以14.1Ura的5倍的7〇 56y m(36〇dpi)準備。以^ ©錯開該5個喷墨頭51的各個噴墨喷嘴52間距 的配置構成-個列。而且，該列相互的末端的喷墨喷嘴^ 的排列也是以間隔1 4. 11以m連續的排列，確保墨水吐出部 5的塗佈寬與排列密度。 關於著色材料之吐出、填充至像素gs，應付如下的問 題變的重要：由於由喷墨喷嘴52吐出的著色材料的液滴衝 上形成於基板上的矩陣狀的遮光部的隔壁，並溢出到接鄰 的像素gs等，使得雙方的像素gs的填充量脫離規定的量， ©或者越過隔壁並與接鄰的像素以的著色材料混雜而峰 混色等。 像本發明者這樣藉由事前計測由喷墨喷嘴52吐出的 著色材料的液滴，確認了飛翔至基板中的液滴的直徑平均 為40 /z in，故在本實施例中，設距像素gs的縱橫的邊緣為 20/zm以内的區域為吐出禁止區域（該2〇//m為著色材料的 飛翔中的液滴的半徑）。亦即，控制著色材料的吐出，俾使 來自喷墨喷嘴52的著色材料的液滴飛翔、撞擊至像 、S s 200940187 的長度方向49〇Mm，寬度方向14〇/zm的範圍 針對RGB的任一個顏色的塗佈。 為了使液滴揸擊像素的寬度方向的140" m 藉由塗佈台架4的掃描（移動）速度、塗佈台架 色材料的像素gs的相對位置關係，藉由設定著 出時序精度佳地使其撞擊。因此，塗佈台架的 持精度的範圍，且以容許生產性的範圍設定。 另一方面，像素的長度方向的撞擊位置的 ❹通過成為目標的像素gs的長度方向的490 的噴墨噴嘴52吐出、填充著色材料至像素。 制’俾對通過該49〇βιη的範圍的喷墨噴嘴52 塗佈的動作指令。 進入吐出、填充著色材料可能的像素區 490以m之間的喷墨噴嘴52的數目由於嘴墨嘴b 間距為14. 11 # m，故變成34個。 以該34個喷墨喷嘴52吐出、填充著& u 〇 的量如前述，總量為1 5 0 0 ρ 1。在本發明φ ,、， 「从兩 料的吐出、填充將規定的總量填充至像素 δ S之^ (在本實施例中為4個像素）。詳述以分成該兩 色材料的吐出量為如下的量的組合進行填充合 次藉由對規定的填充量設有階段的傾斜之2 〇、 的量，第二次相反地藉由80、60、4〇、20%的 對象之像素gs進行兩次的吐出、填充。 依照該兩次的著色材料的吐出之設有填充 。以下說明 的範固，γ 4與撞擊著 色材料的吐 速度是以維 限制需要由 的寬度之上 因此進行控 進行吐出、 域内的寬度 背52的排列 料至像素gs 次的著色材 中的一部分 次填充的著 i情形：第一 40、60、80% 量，對成為 量的階段的 200940187 傾斜的填充量的調節其進行在本實施例中，不是控制來自 - 各個喷墨噴嘴52的也出量，而是控制進行吐出至像素gs 的喷墨喷嘴52的數目°其比例因成為對象的總數為34個， 故如圖7般適度地使7、14、20、27個噴墨噴嘴52分散並 選擇，藉由由該喷墨喷嘴52進行規定的著色材料的吐出、 填充而實現。 更詳細地說明的話’由該34個噴墨噴嘴吐出的喷嘴的 選擇，如圖7所示以 © 1 )、每隔5個合計7個。以此為A群 2)、除了 1)之外還由1)的喷嘴跳過一個的嘴嘴合計 14個。以此為B群 郢吐出的選擇的喷嘴選擇。合計 3 )、替換2 )的吐 20個。以此為c群 4)、替換1)的吐出、非吐出的選擇的喷嘴選擇。合計 2 7個。以此為D群 〇 在往動(X方向的上游到下游的一次的掃描）中，對在 喷墨頭的㈣的終㈣複㈣的位置的像素 A群、B群、C群、D群的噴墨喑唯一 # 嘴嘴’並執行吐出著色材料 的控制，對其他的像素是傕猙宗 畜疋使規疋的量（ 1 5 0 0pl)吐出，藉由 塗佈台架4的移動在叉方向由上 好婦掏墨水吐出部5至下 游，來自被給予印字（print)指令的喷墨喷嘴Μ的吐出、 填充被進行，使其移動至應塗佈的區域的末端（圖…。 然後，使墨水吐出部方向移動。其移動量為依 照墨水吐出部5的第一次與第二次的掃描之有效塗佈寬的 19 200940187 重疊量至少包含在塗佈量階段地設有傾斜的4 .使墨水吐出部5朝γ方向移動後，使塗佈台架 '由下游掃描至上游。而且’在復動（由χ方向的 上游）中，在重複部分的4個像素中到應塗佈著 疋的量（1500ρΐ)為止，補足階段地設有傾斜的 量，吐出規定的量（15〇〇ρ1)至其他的像素。補 填充s具體上進行來自接受控制指令的對應 52的著色材料的吐出、填充，俾於在往路中藉 ® D群的喷嘴選擇而被塗佈的各個像素，對於在 的像素使用D群進行噴嘴選擇，對於在Β群被 使用C群進行噴嘴選擇，對於在c群被塗佈的 群進行喷嘴選擇，對於在D群被塗佈的像素使 喷嘴選擇。進行重複塗佈的4個像素是如此藉 補足應塗佈的規定的量（15〇〇pl)的著色材料並 效區域全體如圖8B被均勻地塗佈。在圖8中雖 佈一個顏色的狀態，惟其他顏色的像素也一樣 ❹材料。 該階段地設有傾斜的著色材料的吐出量的 適度地使喷墨噴嘴52分散較佳，其理由乃因儘 使各個噴墨噴嘴5 2進行吐出動作，俾儘可能排 墨噴嘴52的動作的影響，如此可實現更穩定的 吐出。 如此依照本發明，除了對著色材料之填充 像素gs藉由吐出的喷嘴的選擇在塗佈量設 個像素。在 4在X方向 下游掃描至 色材料之規 吐出、填充 足的吐出、 的喷墨噴嘴 由 A、B、C、 A群被塗佈 塗佈的像素 像素使用B 用A群進行 由往復掃描 被塗佈，有 然顯示被、塗 塗佈有著色 没定如圖 7 可能獨立地 除接鄰的嘴 著色材料的 於一部分的 有階段的伞貝 20 200940187 斜，藉由重複前述的一部分的俊去 L ^ ^ J 1豕京gs之一往復以上的掃 描，補足至該設有階段的傾斜的德本k ★ ,Μ站 4的像素的填充量外，透過藉 由由位於一個像素範圍的噴墨喷嘴八 .^ Μ 王貝賈分散的位置的喷嘴選擇 進行的吐出、填充而實現設有階舄沾 , 巧又的傾斜的吐出量。據此， 避免在藉由接鄰的多數個喷墨喷喈L , ^ -ΤΓ ^ a： 冋時吐出的情形下發生 的吐出的喷嘴群的末端附近發生的「 L L ^ y, 货玍的ί吐出量相對地比其他 低]之不良影響’可均勻地塗佈著声妊& & = αΑ备此玄 1有巴材枓至塗佈頭的塗佈寬 以上的寬度的塗佈區域。 €> 亦即，在來自各個喷墨喷嘴的吐出量不均勻性消失，彩 色遽光片的評價尺度之[色度]的容許值在有效區域全體中 被達成1 000分之3以内的目標’可實現在彩色濾光片的有 效區域全體中無彩色深淺之在墨水吐出部的掃描方向也無 條紋斑之均勻的塗佈。 在本實施例中雖然是舉出以一次的往復掃描塗佈全塗 佈區域的例子，惟在塗佈寬大的情形下’在增加墨水吐出部 5的掃描的次數’朝接鄰的下一個塗佈為必要的區域之[連 〇 接]的部分中，也藉由進行設有該階段的塗佈量的傾斜的著 色材料的吐出、塗佈，而能應付均勻的塗佈的要求此點β自 明。 而且，在前述的例子中雖然是說明對吸附平A q嫌A α σ 0彳史塗佈 台架4移動於X方向之實施例，惟固定塗佈台架4，你油 R % 便吸附 平台3移動而構成也可能。 【產業上的可利用性】 200940187 以上雖然塗佈裝置的代表的應用例是敘述適用於被使 -用於液晶顯示裝置等的坡璃基板的彩色滤光片製造的例 子’惟該裝置也能適用於展開於塗佈著色材料或塗膜材料 於其他的平面的構件之裝置。 【圖式簡單說明】 圖1是顯示與本發明有關的彩色濾光片製造裝置之斜 視圖。 © 圖2是顯示與本發明有關的彩色濾光片製造裝置的主 要部分之俯視圖。 圖3是顯示噴墨頭的排列的一例之平面概略圖。 圖4是說明噴墨喷嘴的排列之俯視圖。 圖5是玻璃基板的像素排列之影像圖。 圖6是顯示本發明的彩色濾光片製造裝置的動作概要 之流程圖。 圖7是在塗佈量設有階段的傾斜之喷墨喷嘴選擇的一 ©例。 圖8是在塗佈區域的邊界附近的像素設有階段的傾斜 並被塗佈之影像圖。 【主要元件符號說明】 1:彩色濾光片製造裝置（塗佈裝置） 2:機台 3 :吸附平台 22 200940187 4 :塗佈台架 5 :墨水吐出部 6 :攝影機台架 7 :對準攝影機 8 :掃描攝影機 9:基板運送機械手臂 1 0 :控制裝置 3 1 :承載面 0 3 2 :真空吸附孔 3 3 :頂出銷孔 34:頂出銷 41 :支柱部 4 2 :水平框部 43 :第一線性馬達 44 :伺服馬達 4 5 :第二線性馬達 G 5 1 :喷墨頭 5 2 :喷墨喷嘴 93:可動支撐台 g s :像素（被塗佈處） K :玻璃基板（基板） Μ1 :對準標記 Ρ :間距 W :彩色濾光片有效像素區域的寬 23 200940187 X方向：掃描方向 Y方向：與掃描方向正交的方向 ❹
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