JP2001286812A - 色剤の塗布方法 - Google Patents
色剤の塗布方法Info
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- JP2001286812A JP2001286812A JP2000106299A JP2000106299A JP2001286812A JP 2001286812 A JP2001286812 A JP 2001286812A JP 2000106299 A JP2000106299 A JP 2000106299A JP 2000106299 A JP2000106299 A JP 2000106299A JP 2001286812 A JP2001286812 A JP 2001286812A
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット方式にて色剤をブラックマト
リックス付き基板に塗布することによりカラーフィルタ
ーを作製するに際して、色剤の吐出開始位置を容易にか
つ正確に決定する。 【解決手段】 ブランク７に色剤を塗布して塗布データ
を形成した時のステージ位置座標と、塗布データをＣＣ
Ｄカメラ５にて撮影した時のステージ位置座標と、基板
のアライメントマークをＣＣＤカメラ５にて撮影した時
のステージ位置座標の３点の座標を測定することにより
色剤の吐出開始位置を決定する。吐出開始位置を容易に
かつ正確に決定でき、位置ずれを起こさない状態で塗布
を開始できる。必要に応じて、ブランク７に色剤を塗布
した時のインクジェットヘッド４における少なくとも２
つのオリフィスから吐出されたドットの位置座標を計測
することによりインクジェットヘッド４の角度を算出
し、それに基づいてインクジェットヘッド４の角度を調
整する。
リックス付き基板に塗布することによりカラーフィルタ
ーを作製するに際して、色剤の吐出開始位置を容易にか
つ正確に決定する。 【解決手段】 ブランク７に色剤を塗布して塗布データ
を形成した時のステージ位置座標と、塗布データをＣＣ
Ｄカメラ５にて撮影した時のステージ位置座標と、基板
のアライメントマークをＣＣＤカメラ５にて撮影した時
のステージ位置座標の３点の座標を測定することにより
色剤の吐出開始位置を決定する。吐出開始位置を容易に
かつ正確に決定でき、位置ずれを起こさない状態で塗布
を開始できる。必要に応じて、ブランク７に色剤を塗布
した時のインクジェットヘッド４における少なくとも２
つのオリフィスから吐出されたドットの位置座標を計測
することによりインクジェットヘッド４の角度を算出
し、それに基づいてインクジェットヘッド４の角度を調
整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶カラーディス
プレイなどに用いられるカラーフィルターの技術分野に
属するものであり、詳しくは色剤をインクジェット方式
にて基板上に塗布してカラーフィルターを製造する技術
に関するものである。
プレイなどに用いられるカラーフィルターの技術分野に
属するものであり、詳しくは色剤をインクジェット方式
にて基板上に塗布してカラーフィルターを製造する技術
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶用カラーフィルターは、ガラスなど
の透明基板上に赤色、緑色および青色の３色の色素をモ
ザイク状またはストライプ状に配置し、それぞれの境界
をブラックマトリックスで区画した構造をしている。こ
のカラーフィルターの製造方法として従来より種々の方
法が採られてきたが、それぞれに一長一短があり、低コ
ストで、しかも画素形成能に優れた方法はなかなか見当
たらない。このようなことから、最近では、コストが低
く、画素形成能も良好な方法として、インクジェット方
式により３色の着色層を基板上に配置する方法が採用さ
れている。
の透明基板上に赤色、緑色および青色の３色の色素をモ
ザイク状またはストライプ状に配置し、それぞれの境界
をブラックマトリックスで区画した構造をしている。こ
のカラーフィルターの製造方法として従来より種々の方
法が採られてきたが、それぞれに一長一短があり、低コ
ストで、しかも画素形成能に優れた方法はなかなか見当
たらない。このようなことから、最近では、コストが低
く、画素形成能も良好な方法として、インクジェット方
式により３色の着色層を基板上に配置する方法が採用さ
れている。
【０００３】このインクジェット方式によるカラーフィ
ルターの製造方法は、複数のオリフィスを有するインク
ジェットヘッドを使用し、このインクジェットヘッドを
基板と対向させて相対的に移動させながら色剤を吐出し
て基板上に塗布して着色層を形成する方法であり、この
インクジェットヘッドを組み込んだ塗布装置を用いて行
われる３色同時塗布方法の模式図を図１に示す。
ルターの製造方法は、複数のオリフィスを有するインク
ジェットヘッドを使用し、このインクジェットヘッドを
基板と対向させて相対的に移動させながら色剤を吐出し
て基板上に塗布して着色層を形成する方法であり、この
インクジェットヘッドを組み込んだ塗布装置を用いて行
われる３色同時塗布方法の模式図を図１に示す。
【０００４】図１においてＧはステージＳの上に載置さ
れた塗布対象の基板であり、複数個のインクジェットヘ
ッドを備えた塗布装置をこの基板Ｇに対して相対的に移
動させることで色剤をライン状に塗布するように構成さ
れている。すなわち、左側の８つのインクジェットヘッ
ドＨｒは赤色用の色剤を吐出するもので、図示しないフ
レームに取り付けられ、各インクジェットヘッドＨｒに
おける複数のオリフィスが基板Ｇの幅方向に連続するよ
うになっている。同様に、中央の８つの塗布ヘッドＨｇ
は緑色用の色剤を吐出するもので、図示しないフレーム
に取り付けられ、各インクジェットヘッドＨｇにおける
複数のオリフィスが基板の幅方向に連続するようになっ
ている。また同様に、右側の８つのインクジェットヘッ
ドＨｂは青色用の色剤を吐出するもので、図示しないフ
レームに取り付けられ、各インクジェットヘッドＨｂに
おける複数のオリフィスが基板の幅方向に連続するよう
になっている。したがって、複数のオリフィスから色剤
を吐出しながらそれぞれのインクジェットヘッドが一体
となって基板と相対的に移動することで、一度の塗布工
程で３色の色剤が塗布される。
れた塗布対象の基板であり、複数個のインクジェットヘ
ッドを備えた塗布装置をこの基板Ｇに対して相対的に移
動させることで色剤をライン状に塗布するように構成さ
れている。すなわち、左側の８つのインクジェットヘッ
ドＨｒは赤色用の色剤を吐出するもので、図示しないフ
レームに取り付けられ、各インクジェットヘッドＨｒに
おける複数のオリフィスが基板Ｇの幅方向に連続するよ
うになっている。同様に、中央の８つの塗布ヘッドＨｇ
は緑色用の色剤を吐出するもので、図示しないフレーム
に取り付けられ、各インクジェットヘッドＨｇにおける
複数のオリフィスが基板の幅方向に連続するようになっ
ている。また同様に、右側の８つのインクジェットヘッ
ドＨｂは青色用の色剤を吐出するもので、図示しないフ
レームに取り付けられ、各インクジェットヘッドＨｂに
おける複数のオリフィスが基板の幅方向に連続するよう
になっている。したがって、複数のオリフィスから色剤
を吐出しながらそれぞれのインクジェットヘッドが一体
となって基板と相対的に移動することで、一度の塗布工
程で３色の色剤が塗布される。
【０００５】インクジェットヘッドから色剤を吐出し、
その色剤により基板上に着色層を形成するには大きく分
けて次のような３つの方法が採られる。
その色剤により基板上に着色層を形成するには大きく分
けて次のような３つの方法が採られる。
【０００６】図２に示す方法は隔壁を設ける方式であ
る。この方式では、まず図２（ａ）に示すように、基板
１１にライン状の樹脂ブラックマトリックスからなる隔
壁１２を形成し、その隔壁１２の上部１２ａに撥水処理
等を施しておく。そして、図２（ｂ）に示すように、イ
ンクジェットヘッド１３から隔壁１２の中に色剤１４を
付与する。色剤１４は隔壁１２により拡散が防止される
ので、図２（ｃ）に示す如く基板１１上における隔壁１
２の間に着色層１５が形成される。
る。この方式では、まず図２（ａ）に示すように、基板
１１にライン状の樹脂ブラックマトリックスからなる隔
壁１２を形成し、その隔壁１２の上部１２ａに撥水処理
等を施しておく。そして、図２（ｂ）に示すように、イ
ンクジェットヘッド１３から隔壁１２の中に色剤１４を
付与する。色剤１４は隔壁１２により拡散が防止される
ので、図２（ｃ）に示す如く基板１１上における隔壁１
２の間に着色層１５が形成される。
【０００７】図３に示す方法は吸収層を設ける方式であ
る。この方式では、まず図３（ａ）に示すように、基板
２１にライン状の樹脂ブラックマトリックス２２を形成
し、それを覆ってインク吸収層２３をベタで形成する。
次いで、図３（ｂ）に示すように、マスク２４を介して
露光を行ってブラックマトリックス２２の上部２３ａを
硬化させて吸収性を無くした後、図３（ｃ）に示すよう
に、インクジェットヘッド２５からインク吸収層２３に
色剤２６を付与する。色剤２６はインク吸収層２３にし
み込むので、基板２１上におけるブラックマトリックス
２２間に着色層２７が形成される。
る。この方式では、まず図３（ａ）に示すように、基板
２１にライン状の樹脂ブラックマトリックス２２を形成
し、それを覆ってインク吸収層２３をベタで形成する。
次いで、図３（ｂ）に示すように、マスク２４を介して
露光を行ってブラックマトリックス２２の上部２３ａを
硬化させて吸収性を無くした後、図３（ｃ）に示すよう
に、インクジェットヘッド２５からインク吸収層２３に
色剤２６を付与する。色剤２６はインク吸収層２３にし
み込むので、基板２１上におけるブラックマトリックス
２２間に着色層２７が形成される。
【０００８】図４に示す方法は光触媒方式である。この
方式では、まず図４（ａ）に示すように、基板３１にラ
イン状の樹脂ブラックマトリックス３２を形成し、それ
を覆って光触媒層３３をベタで形成する。次いで、図４
（ｂ）に示すように、マスク３４を介して露光を行うこ
とにより、ブラックマトリックス３２の上部以外の部分
３３ａの濡れ性が変化して超親水化する。続いて、図４
（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド３５から光
触媒層３３に色剤３６を付与すると、色剤３６は濡れ性
が変化した光触媒層３３の上にのみ集まるので、基板３
１上におけるブラックマトリックス３２間に着色層３７
が形成される。
方式では、まず図４（ａ）に示すように、基板３１にラ
イン状の樹脂ブラックマトリックス３２を形成し、それ
を覆って光触媒層３３をベタで形成する。次いで、図４
（ｂ）に示すように、マスク３４を介して露光を行うこ
とにより、ブラックマトリックス３２の上部以外の部分
３３ａの濡れ性が変化して超親水化する。続いて、図４
（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド３５から光
触媒層３３に色剤３６を付与すると、色剤３６は濡れ性
が変化した光触媒層３３の上にのみ集まるので、基板３
１上におけるブラックマトリックス３２間に着色層３７
が形成される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記したようなインク
ジェットヘッドを用いた色剤の塗布方法においては、ブ
ラックマトリックス付き基板に対するインクジェットヘ
ッドの吐出開始位置を決定する必要がある。このため、
従来は、インクジェットヘッドを固定するとともにブラ
ックマトリックス付き基板を位置決めピンにてステージ
上に固定し、ヘッドオリフィス位置と書出座標位置との
間のＸ，Ｙ（図５参照）を常に固定値としてステージを
移動することにより吐出開始位置を決定しているが、こ
のような手法では、インクジェットヘッドを交換する場
合や、作製ロットの異なるブラックマトリックス付き基
板を使用する際に、位置ずれが発生する。したがって、
ブラックマトリックス付き基板に一度描画し、ズレを測
定した上で補正をかける必要があった。
ジェットヘッドを用いた色剤の塗布方法においては、ブ
ラックマトリックス付き基板に対するインクジェットヘ
ッドの吐出開始位置を決定する必要がある。このため、
従来は、インクジェットヘッドを固定するとともにブラ
ックマトリックス付き基板を位置決めピンにてステージ
上に固定し、ヘッドオリフィス位置と書出座標位置との
間のＸ，Ｙ（図５参照）を常に固定値としてステージを
移動することにより吐出開始位置を決定しているが、こ
のような手法では、インクジェットヘッドを交換する場
合や、作製ロットの異なるブラックマトリックス付き基
板を使用する際に、位置ずれが発生する。したがって、
ブラックマトリックス付き基板に一度描画し、ズレを測
定した上で補正をかける必要があった。
【００１０】また、カラーフィルターの解像度に対応す
るためにインクジェットヘッドの角度を変える場合、イ
ンクジェットヘッドの角度調整は計算によって求められ
た固定値に設定するようにしているが、このような手法
では、角度調節治具の精度や各インクジェットヘッドの
固有の形状による取付け位置精度に起因する位置ずれが
発生する。したがって、ブラックマトリックス付き基板
に一度描画し、ずれを測定した上で補正をかける必要が
あった。
るためにインクジェットヘッドの角度を変える場合、イ
ンクジェットヘッドの角度調整は計算によって求められ
た固定値に設定するようにしているが、このような手法
では、角度調節治具の精度や各インクジェットヘッドの
固有の形状による取付け位置精度に起因する位置ずれが
発生する。したがって、ブラックマトリックス付き基板
に一度描画し、ずれを測定した上で補正をかける必要が
あった。
【００１１】本発明は、このような背景に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、インクジェッ
ト方式にて色剤をブラックマトリックス付き基板に塗布
することによりカラーフィルターを作製するに際して、
色剤の吐出開始位置を容易にかつ正確に決定することの
できる色剤の塗布方法を提供することにある。
たものであり、その目的とするところは、インクジェッ
ト方式にて色剤をブラックマトリックス付き基板に塗布
することによりカラーフィルターを作製するに際して、
色剤の吐出開始位置を容易にかつ正確に決定することの
できる色剤の塗布方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、一列に並んだ多数のオリフィスを有する
インクジェットヘッドを使用し、ステージ上の基板と相
対的に移動させながら色剤を吐出して基板上に塗布する
色剤の塗布方法において、ブランクに色剤を塗布して塗
布データを形成した時のステージ位置座標と、塗布デー
タをＣＣＤカメラにて撮影した時のステージ位置座標
と、基板のアライメントマークをＣＣＤカメラにて撮影
した時のステージ位置座標の３点の座標を測定すること
により色剤の吐出開始位置を決定するようにしたもので
ある。
め、本発明は、一列に並んだ多数のオリフィスを有する
インクジェットヘッドを使用し、ステージ上の基板と相
対的に移動させながら色剤を吐出して基板上に塗布する
色剤の塗布方法において、ブランクに色剤を塗布して塗
布データを形成した時のステージ位置座標と、塗布デー
タをＣＣＤカメラにて撮影した時のステージ位置座標
と、基板のアライメントマークをＣＣＤカメラにて撮影
した時のステージ位置座標の３点の座標を測定すること
により色剤の吐出開始位置を決定するようにしたもので
ある。
【００１３】また、上記の塗布方法において、さらに、
ブランクに色剤を塗布した時のインクジェットヘッドに
おける少なくとも２つのオリフィスから吐出されたドッ
トの位置座標を計測することによりインクジェットヘッ
ドの角度を算出し、それに基づいてインクジェットヘッ
ドの角度を調整するようにしたものである。
ブランクに色剤を塗布した時のインクジェットヘッドに
おける少なくとも２つのオリフィスから吐出されたドッ
トの位置座標を計測することによりインクジェットヘッ
ドの角度を算出し、それに基づいてインクジェットヘッ
ドの角度を調整するようにしたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の望ましい実施形態を説明する。
明の望ましい実施形態を説明する。
【００１５】図５はステージ上に載置したブラックマト
リックス付き基板とインクジェットヘッドとの位置関係
を示す説明図である。図中１はブラックマトリックス付
き基板であり、位置決めピン２によりステージ３上の所
定位置にセットされる。ステージ３は移動式で、固定し
たインクジェットヘッド４に対してｘ方向及びｙ方向に
移動可能である。また図中５はＣＣＤカメラであり、固
定状態で取り付けられている。そして、インクジェット
ヘッド４のオリフィス位置を（Ｘｈ，Ｙｈ）、ＣＣＤカ
メラ５の位置を（Ｘｃ，Ｙｃ）とし、書出座標位置を
（Ｘｗ，Ｙｗ）とする。また、ブラックマトリックス付
き基板１には、書出座標位置からＸａ，Ｙａの距離にア
ライメントマーク６が設けられている。
リックス付き基板とインクジェットヘッドとの位置関係
を示す説明図である。図中１はブラックマトリックス付
き基板であり、位置決めピン２によりステージ３上の所
定位置にセットされる。ステージ３は移動式で、固定し
たインクジェットヘッド４に対してｘ方向及びｙ方向に
移動可能である。また図中５はＣＣＤカメラであり、固
定状態で取り付けられている。そして、インクジェット
ヘッド４のオリフィス位置を（Ｘｈ，Ｙｈ）、ＣＣＤカ
メラ５の位置を（Ｘｃ，Ｙｃ）とし、書出座標位置を
（Ｘｗ，Ｙｗ）とする。また、ブラックマトリックス付
き基板１には、書出座標位置からＸａ，Ｙａの距離にア
ライメントマーク６が設けられている。
【００１６】インクジェットヘッド４の交換時、または
作製ロットの異なるブラックマトリックス付き基板１の
使用時において、色剤の吐出開始位置、すなわち描画開
始位置を決定する際に行う座標合わせの手順は次のよう
である。
作製ロットの異なるブラックマトリックス付き基板１の
使用時において、色剤の吐出開始位置、すなわち描画開
始位置を決定する際に行う座標合わせの手順は次のよう
である。
【００１７】まず、図６に示すように、ステージ３上に
ブランク７を設置し、そのブランク７にインクジェット
ヘッド４より色剤を吐出して塗布データを形成する。そ
して、この時のステージ位置座標を測定し、ブランク描
画座標（Ｘ１，Ｙ１）とする。
ブランク７を設置し、そのブランク７にインクジェット
ヘッド４より色剤を吐出して塗布データを形成する。そ
して、この時のステージ位置座標を測定し、ブランク描
画座標（Ｘ１，Ｙ１）とする。
【００１８】次いで、ステージ３を移動し、ブランク７
の塗布データをＣＣＤカメラ５にて撮影する。そして、
この時のステージ位置座標を測定し、ブランク描画ＣＣ
Ｄ撮影座標（Ｘ２，Ｙ２）とする。
の塗布データをＣＣＤカメラ５にて撮影する。そして、
この時のステージ位置座標を測定し、ブランク描画ＣＣ
Ｄ撮影座標（Ｘ２，Ｙ２）とする。
【００１９】続いて、ブランク７を除去し、図７に示す
ように、ステージ３上にブラックマトリックス付き基板
１を設置して、アライメントマーク６をＣＣＤカメラ５
にて撮影する。そして、この時のステージ位置座標を測
定し、アライメントマーク撮影座標（Ｘ３，Ｙ３）とす
る。
ように、ステージ３上にブラックマトリックス付き基板
１を設置して、アライメントマーク６をＣＣＤカメラ５
にて撮影する。そして、この時のステージ位置座標を測
定し、アライメントマーク撮影座標（Ｘ３，Ｙ３）とす
る。
【００２０】描画開始位置を決定するには、図５におい
て、インクジェットヘッド４のオリフィス位置（Ｘｈ，
Ｙｈ）と書出座標位置（Ｘｗ，Ｙｗ）とを合致させる必
要がある。すなわち、ステージ３をｘ方向にＸ、ｙ方向
にＹだけ移動すればよいが、このＸとＹは次式で求めら
れる。
て、インクジェットヘッド４のオリフィス位置（Ｘｈ，
Ｙｈ）と書出座標位置（Ｘｗ，Ｙｗ）とを合致させる必
要がある。すなわち、ステージ３をｘ方向にＸ、ｙ方向
にＹだけ移動すればよいが、このＸとＹは次式で求めら
れる。
【００２１】 Ｘ＝Ｘｈ−Ｘｗ ＝（Ｘ１−Ｘ２＋Ｘｃ）−（Ｘｃ−Ｘ３＋Ｘａ） ＝Ｘ１−Ｘ２＋Ｘ３−Ｘａ
【００２２】 Ｙ＝Ｙｈ−Ｙｗ ＝（Ｙ１−Ｙ２＋Ｙｃ）−（Ｙｃ−Ｙ３＋Ｙａ） ＝Ｙ１−Ｙ２＋Ｙ３−Ｙａ
【００２３】よって、上記のようにして測定したステー
ジ位置座標からＸ，Ｙを算出することができ、描画開始
位置を決定することができる。図８は描画開始位置にス
テージを移動させた時の状態を示す説明図である。
ジ位置座標からＸ，Ｙを算出することができ、描画開始
位置を決定することができる。図８は描画開始位置にス
テージを移動させた時の状態を示す説明図である。
【００２４】上記のようにしてインクジェットヘッドと
ブラックマトリックス付き基板の座標合わせを行うが、
さらにインクジェットヘッドと基板との角度合わせが必
要な場合もある。その角度合わせの手順は次のようであ
る。
ブラックマトリックス付き基板の座標合わせを行うが、
さらにインクジェットヘッドと基板との角度合わせが必
要な場合もある。その角度合わせの手順は次のようであ
る。
【００２５】まず、図６に示すのと同様に、ステージ３
上にブランク７を設置し、そのブランク７にインクジェ
ットヘッド４より色剤を吐出する。そして、インクジェ
ットヘッド両端のオリフィスより吐出された色剤による
ドットの位置座標を測定する。そして、図９に示すよう
に、両端のドットの位置座標の差（Ｘｄ，Ｙｄ）からイ
ンクジェットヘッドの角度θを算出し、それに基づいて
インクジェットヘッドの角度を補正する。
上にブランク７を設置し、そのブランク７にインクジェ
ットヘッド４より色剤を吐出する。そして、インクジェ
ットヘッド両端のオリフィスより吐出された色剤による
ドットの位置座標を測定する。そして、図９に示すよう
に、両端のドットの位置座標の差（Ｘｄ，Ｙｄ）からイ
ンクジェットヘッドの角度θを算出し、それに基づいて
インクジェットヘッドの角度を補正する。
【００２６】以上に説明した方法において、ブランクは
インクジェットヘッドのオリフィスの位置を認識するた
めに用いるものであり、ブランクに吐出された色剤はで
きるだけ濡れ広がらず（染み渡らず）に着弾のドットサ
イズを保っていることが望ましい。
インクジェットヘッドのオリフィスの位置を認識するた
めに用いるものであり、ブランクに吐出された色剤はで
きるだけ濡れ広がらず（染み渡らず）に着弾のドットサ
イズを保っていることが望ましい。
【００２７】ここで、色剤の吐出位置を確認する方法と
しては、１つのドットの画像を取り込んでその中心を算
出する方法がある。具体的には、図１０に示すように、
ＣＣＤモニタに１つのドットＤの画像を取り込み、解析
ソフトウェアによりエッジを拾ってそのドットＤの中心
を割り出す方法である。
しては、１つのドットの画像を取り込んでその中心を算
出する方法がある。具体的には、図１０に示すように、
ＣＣＤモニタに１つのドットＤの画像を取り込み、解析
ソフトウェアによりエッジを拾ってそのドットＤの中心
を割り出す方法である。
【００２８】色剤の吐出位置を確認する別の方法として
は、十字に描画してその中心を割り出す方法がある。具
体的には、図１１（ａ）に示すように、ドットＤで十字
を描画してその画像をＣＣＤモニタに取り込み、図１１
（ｂ）に示すように、マスクＭ付きの解析ソフトウェア
によりドットＤの部分の面積率を計算し、一定の面積率
をクリアしたところのマスクＭの中心を中心位置座標と
する。図１１（ｃ）に示すように、ドットＤの部分の面
積率が低い場合はマスクＭの中心は描画中心ではない。
は、十字に描画してその中心を割り出す方法がある。具
体的には、図１１（ａ）に示すように、ドットＤで十字
を描画してその画像をＣＣＤモニタに取り込み、図１１
（ｂ）に示すように、マスクＭ付きの解析ソフトウェア
によりドットＤの部分の面積率を計算し、一定の面積率
をクリアしたところのマスクＭの中心を中心位置座標と
する。図１１（ｃ）に示すように、ドットＤの部分の面
積率が低い場合はマスクＭの中心は描画中心ではない。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、一列に
並んだ多数のオリフィスを有するインクジェットヘッド
を使用し、ステージ上の基板と相対的に移動させながら
色剤を吐出して基板上に塗布する色剤の塗布方法におい
て、ブランクに色剤を塗布して塗布データを形成した時
のステージ位置座標と、塗布データをＣＣＤカメラにて
撮影した時のステージ位置座標と、基板のアライメント
マークをＣＣＤカメラにて撮影した時のステージ位置座
標の３点の座標を測定することにより色剤の吐出開始位
置を決定するようにしたことにより、色剤の吐出開始位
置を容易にかつ正確に決定できることから、ブラックマ
トリックス付き基板を無駄にすることなく、位置ずれを
起こさない状態で色剤の塗布を開始することができる。
並んだ多数のオリフィスを有するインクジェットヘッド
を使用し、ステージ上の基板と相対的に移動させながら
色剤を吐出して基板上に塗布する色剤の塗布方法におい
て、ブランクに色剤を塗布して塗布データを形成した時
のステージ位置座標と、塗布データをＣＣＤカメラにて
撮影した時のステージ位置座標と、基板のアライメント
マークをＣＣＤカメラにて撮影した時のステージ位置座
標の３点の座標を測定することにより色剤の吐出開始位
置を決定するようにしたことにより、色剤の吐出開始位
置を容易にかつ正確に決定できることから、ブラックマ
トリックス付き基板を無駄にすることなく、位置ずれを
起こさない状態で色剤の塗布を開始することができる。
【００３０】さらに、ブランクに色剤を塗布した時のイ
ンクジェットヘッドにおける少なくとも２つのオリフィ
スから吐出されたドットの位置座標を計測することによ
りインクジェットヘッドの角度を算出し、それに基づい
てインクジェットヘッドの角度を調整するようにしたこ
とにより、カラーフィルターの解像度に対応するために
インクジェットヘッドの角度を変えて色剤の吐出開始位
置を決定するような場合や、またインクジェットヘッド
の交換時においても、ブラックマトリックス付き基板を
無駄にすることなく、位置ずれを起こさない状態で色剤
の塗布を開始することができる。
ンクジェットヘッドにおける少なくとも２つのオリフィ
スから吐出されたドットの位置座標を計測することによ
りインクジェットヘッドの角度を算出し、それに基づい
てインクジェットヘッドの角度を調整するようにしたこ
とにより、カラーフィルターの解像度に対応するために
インクジェットヘッドの角度を変えて色剤の吐出開始位
置を決定するような場合や、またインクジェットヘッド
の交換時においても、ブラックマトリックス付き基板を
無駄にすることなく、位置ずれを起こさない状態で色剤
の塗布を開始することができる。
【図１】インクジェットヘッドを組み込んだ塗布装置を
用いて行われる３色同時塗布方法の模式図である。
用いて行われる３色同時塗布方法の模式図である。
【図２】インクジェットヘッドから色剤を吐出して基板
上に着色層を形成する一つの方法を示す説明図である。
上に着色層を形成する一つの方法を示す説明図である。
【図３】インクジェットヘッドから色剤を吐出して基板
上に着色層を形成する別の方法を示す説明図である。
上に着色層を形成する別の方法を示す説明図である。
【図４】インクジェットヘッドから色剤を吐出して基板
上に着色層を形成するさらに別の方法を示す説明図であ
る。
上に着色層を形成するさらに別の方法を示す説明図であ
る。
【図５】ステージ上に載置したブラックマトリックス付
き基板とインクジェットヘッドとの位置関係を示す説明
図である。
き基板とインクジェットヘッドとの位置関係を示す説明
図である。
【図６】ステージ上に設置したブランクにインクジェッ
トヘッドより色剤を吐出して塗布データを形成する様子
を示す説明図である。
トヘッドより色剤を吐出して塗布データを形成する様子
を示す説明図である。
【図７】ステージ上に設置したブラックマトリックス付
き基板のアライメントマークをＣＣＤカメラで撮影する
様子を示す説明図である。
き基板のアライメントマークをＣＣＤカメラで撮影する
様子を示す説明図である。
【図８】描画開始位置にステージを移動させた時の状態
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図９】インクジェットヘッドの角度を補正する場合の
説明図である。
説明図である。
【図１０】色剤の吐出位置を確認する一つの方法の説明
図である。
図である。
【図１１】色剤の吐出位置を確認する別の方法の説明図
である。
である。
１ ブラックマトリックス付き基板 ２ 位置決めピン ３ ステージ ４ インクジェットヘッド ５ ＣＣＤカメラ ６ アライメントマーク ７ ブランク １１ 基板 １２ 隔壁 １３ インクジェットヘッド １４ 色剤 １５ 着色層 ２１ 基板 ２２ ブラックマトリックス ２３ インク吸収層 ２４ マスク ２５ インクジェットヘッド ２６ 色剤 ２７ 着色層 ３１ 基板 ３２ ブラックマトリックス ３３ 光触媒層 ３４ マスク ３５ インクジェットヘッド ３６ 色剤 ３７ 着色層
Claims (3)
- 【請求項１】 一列に並んだ多数のオリフィスを有する
インクジェットヘッドを使用し、ステージ上の基板と相
対的に移動させながら色剤を吐出して基板上に塗布する
色剤の塗布方法において、ブランクに色剤を塗布して塗
布データを形成した時のステージ位置座標と、塗布デー
タをＣＣＤカメラにて撮影した時のステージ位置座標
と、基板のアライメントマークをＣＣＤカメラにて撮影
した時のステージ位置座標の３点の座標を測定すること
により色剤の吐出開始位置を決定することを特徴とする
色剤の塗布方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の塗布方法において、ブ
ランクに色剤を塗布した時のインクジェットヘッドにお
ける少なくとも２つのオリフィスから吐出されたドット
の位置座標を計測することによりインクジェットヘッド
の角度を算出し、それに基づいてインクジェットヘッド
の角度を調整することを特徴とする色剤の塗布方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の塗布方法におい
て、ブランクに塗布された色剤が着弾のドットサイズを
保っていることを特徴とする色剤の塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000106299A JP2001286812A (ja) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 色剤の塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000106299A JP2001286812A (ja) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 色剤の塗布方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001286812A true JP2001286812A (ja) | 2001-10-16 |
Family
ID=18619494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000106299A Pending JP2001286812A (ja) | 2000-04-07 | 2000-04-07 | 色剤の塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001286812A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101197048B1 (ko) | 2005-05-03 | 2012-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린팅 시스템 |
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| WO2023047768A1 (ja) * | 2021-09-24 | 2023-03-30 | 富士フイルム株式会社 | パターン製造方法、プログラム、及びパターン製造装置 |
-
2000
- 2000-04-07 JP JP2000106299A patent/JP2001286812A/ja active Pending
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