KR20090011589A - 잉크젯 장치, 잉크젯 장치의 구동방법 및 이를 이용한표시장치의 제조방법 - Google Patents

잉크젯 장치, 잉크젯 장치의 구동방법 및 이를 이용한표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 각각에 압전소자가 구비된 복수의 노즐을 갖는 잉크젯 장치의 구동방법에 있어서, 상기 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스를 인가하는 단계와; 인가된 상기 구동펄스에 의해 상기 각 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와; 상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하는 토출속도 조절 단계와; 상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 중 적어도 하나를 조절하는 토출량 조절 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있다.

Description

잉크젯 장치, 잉크젯 장치의 구동방법 및 이를 이용한 표시장치의 제조방법{INKJET APPARATUS, DRIVING METHOD OF INKJET APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 잉크젯 장치, 잉크젯 장치의 구동방법 및 잉크젯 장치를 이용한 표시장치의 제조방법에 관한 것으로서, 더 자세하게는 압전방식(piezo-electric type)의 잉크젯 장치 및 이를 이용한 표시장치의 제조방방에 관한 것이다.
평판 표시장치는 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display) 및 OLED(organic light emitting diode) 표시장치 등을 포함한다. 이러한 평판 표시장치에는 기판을 통과하는 빛에 색을 부여하기 위한 컬러필터 및/또는 전압이 인가되면 홀과 전자가 결합하여 여기자를 만들어 빛을 방출하는 유기발광층이 형성된다.
이하에서는 압전방식 잉크젯 장치를 사용하여 기판에 컬러필터나 유기발광층을 형성하는 방법에는 대해 설명하도록 한다.
압전방식 잉크젯 장치는 입력되는 전기적신호에 의해 형상이 변화되는 압전소자(Piezoelectric element)를 사용하여 프린트헤드에 부착된 복수의 노즐을 통해 잉크를 토출하는 방식이다. 프린트헤드에 부착된 각각의 노즐은 제작시 상호 토출 유로 치수에 차이가 발생하게 된다. 각 노즐의 유로 치수의 차이에 의해 각 노즐마다 동일하게 입력된 전기적신호에도 토출량(jetting volume) 및 토출속도(jetting speed)가 달라지게 되며, 이러한 토출량 및 토출속도의 차이에 의해 평판 표시장치에 색차 얼룩이 발생하는 등의 문제점이 있다.
또한, 압전방식 잉크젯 장치에 입력되는 전기적신호는 주로 기판상의 소정의 위치에 소정의 토출량을 토출하도록 구동펄스(driving pulse)로 전달된다. 이러한 구동펄스는 잉크젯 장치의 토출성능을 향상시키도록 더블펄스(double pulse), 트리플펄스(triple pulse), 유니폴라펄스(uni-polar pulse) 혹은 바이폴라펄스(bi-polar pulse) 등 복잡하고 다양한 형태로 개발되어 있다. 그러나, 이러한 구동펄스가 다양하고 복잡할수록 고속프린팅 시 유체진동이 중첩되어 프린팅 품질이 오히려 떨어질 수 있으며 구동컨트롤러의 제조비용이 증가하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있는 잉크젯 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있는 잉크젯 장치의 구동방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있는 잉크젯 장치를 이용한 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 본 발명의 목적은, 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스를 인가하는 단계와; 인가된 상기 구동펄스에 의해 상기 압전소자가 각각 구비된 복수의 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와; 상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하는 토출속도 조절 단계와; 상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 중 적어도 하나를 조절하는 토출량 조절 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법에 의해 달성된다.
상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 기준 토출량 허용범위 밖의 소정의 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 제1토출량 초과범위 밖의 소정의 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 지속시간을 조절한 후, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 기준 토출량 허용범위는 소정의 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이며, 상기 제1토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 상기 제2토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나일 수 있다.
상기 기준 토출량은 25pl 내지 30pl 일 수 있다.
상기 기준 토출속도 허용범위는 소정의 기준 토출속도를 기준으로 -3% 내지 +3% 일 수 있다.
상기 토출량 조절 단계에서 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 조절은 상기 토출속도 조절 단계에서 보다 5배 이하의 작은 단위로 미세하게 조절하는 인가전압의 크기의 미세조절과정일 수 있다.
상기 토출속도 조절단계 및 상기 토출량 조절단계 후에, 상기 각 노즐 별로 조절된 구동펄스를 상기 복수의 압전소자에 인가하는 단계와; 조절된 상기 구동펄스에 의해 상기 각 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와; 상기 각 노즐의 토출속도 및 토출량이 상기 기준 토출속도 허용범위 및 상기 기준 토출량 허용범위 중 적어도 하나를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 상기 인가전압의 크기의 미세조절과정을 통해 검출된 상기 노즐의 토출속도 및 토출량 중 적어도 하나를 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 인가전압의 크기의 미세조절과정은 0.1V 이하 단위로 조절할 수 있다.
상기 토출량 조절 단계에서 상기 지속시간과, 상기 상승시간과, 상기 하강시간은 0.1㎲ 이하의 단위로 조절할 수 있다.
상기 구동펄스는 싱글펄스인 것이 바람직하다.
한편, 상기 목적은, 복수의 압전소자에 구동펄스를 인가하는 구동펄스 인가부와; 상기 구동펄스 인가부에 의해 상기 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스가 인가되는 경우, 상기 압전소자가 각각 구비된 복수의 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하도록 마련된 토출물 측정부와; 상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐을 검출하며, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하도록 마련된 토출속도 제어부와; 상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량의 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐을 검출하며, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기와, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간 중 적어도 하나를 조절하도록 마련된 토출량 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치에 의해 달성될 수도 있다.
상기 토출물 측정부는 상기 복수의 노즐로부터 토출되는 토출물을 연속 촬영하는 촬영부와, 상기 촬영부에 의해 촬영된 영상으로부터 상기 토출물의 체적 및 속도를 산출하는 영상처리부를 포함할 수 있다.
상기 토출량 제어부는 상기 노즐의 토출량이 상기 기준 토출량 허용범위 밖의 소정의 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 토출량 제어부는 상기 노즐의 토출량이 상기 제1토출량 초과범위 밖의 소정의 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 지속시간을 조절한 후, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 기준 토출량 허용범위는 소정의 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이며, 상기 제1토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 상기 제2토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나일 수 있다.
상기 토출량 제어부에서 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 조절은 상기 토출속도 제어부에서 보다 5배 이하의 작은 단위로 미세하게 조절하는 인가전압의 크기의 미세조절과정일 수 있다.
상기 구동펄스 인가부는 상기 토출속도 제어부 및 상기 토출량 제어부를 조절한 후에, 상기 각 노즐 별로 조절된 구동펄스를 상기 복수의 압전소자에 인가하고; 상기 토출물 측정부는 조절된 상기 구동펄스에 의해 상기 각 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 다시 측정하며; 상기 각 노즐의 토출속도 및 토출량이 상기 기준 토출속도 허용범위 및 상기 기준 토출량 허용범위 중 적어도 하나를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 상기 인가전압의 크기의 미세조절과정을 통해 검출된 상기 노즐의 토출속도 및 토출량 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 구동펄스는 싱글펄스일 수 있다.
또한, 상기 목적은 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스를 인가하는 단계와; 인가된 상기 구동펄스에 의해 상기 압전소자가 각각 구비된 복수의 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와; 상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하는 토출속도 조절 단계와; 상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기와, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 토출량 조절 단계와; 상기 토출속도 조절 단계 및 상기 토출량 조절 단계 후에 소정의 기판상에 상기 토출물을 토출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법에 의해 달성될 수 있다.
상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 기준 토출량 허용범위 밖의 소정의 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 제1토출량 초과범위 밖의 소정의 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 지속시간을 조절한 후, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절할 수 있다.
상기 기준 토출량 허용범위는 소정의 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이며, 상기 제1토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 상기 제2토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나일 수 있다.
상기 기준 토출량은 25pl 내지 30pl 일 수 있다.
상기 토출물 토출 단계 전에 상기 기판상에 복수의 토출물수용홈을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 토출물을 상기 기판상에 토출하여 칼라필터를 형성할 수 있다.
본 발명에 따르면 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있는 잉크젯 장치가 제공된다.
또한, 잉크젯 장치에 마련된 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있는 잉크젯 장치의 구동방법이 제공된다.
그리고, 복수의 노즐을 개별적으로 제어하며, 각 노즐에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어하고, 제조비용을 절감할 수 있는 잉크젯 장 치를 이용한 표시장치의 제조방법이 제공된다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하겠다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다. 이하 본 발명은 잉크젯 장치 및 잉크젯 장치가 액정표시장치에 적용된 예를 중심으로 설명되지만, 본 발명의 잉크젯 장치는 OLED표시장치 등 다른 표시장치에도 적용될 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치(10)는 각각에 압전소자(23)가 구비된 복수의 노즐(25)을 갖는 프린트헤드(21)와, 복수의 압전소자(23)에 구동펄스(15)를 인가하는 구동펄스 인가부(11)와, 인가된 구동펄스(15)에 의해 각 노즐(25)을 통해 토출되는 토출물(28)의 토출속도 및 토출량을 측정하도록 마련된 토출물 측정부(31)와, 각 노즐(25)의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 각 노즐(25)이 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 구동펄스(15)의 인가전압을 조절가능하게 마련된 토출속도 제어부(41)와, 각 노즐(25)의 토출량과 소정의 기준 토출량의 허용범위를 비교하여 각 노즐(25)이 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 구동펄스(15)의 인가전압을 조절가능하게 마련된 토출량 제어부(45)를 포함한다.
구동펄스 인가부(11)는 복수의 노즐(25)로부터 잉크와 같은 토출물(28)을 토출시키도록 소정의 구동펄스(15)를 복수의 압전소자(23)에 인가한다. 우선, 구동펄 스 인가부(11)는 각 노즐(25)를 통해 토출되는 토출물(28)의 토출속도 및 토출량을 측정하기 위해 동일한 구동펄스(15)를 각 노즐(25)에 대응하는 압전소자(23)에 인가하게 된다. 그리고, 구동펄스 인가부(11)는 토출물 측정부(31)에 의해 측정된 값을 기초로 토출속도 제어부(41) 및 토출량 제어부(45)에 의해 조절된 값을 전달받아 조절된 구동펄스(15)를 각 노즐(25)에 대응하는 압전소자(23)에 개별적으로 인가하게 된다. 즉, 구동펄스 인가부(11)는 각 노즐(25)의 상태에 따라 조절된 별개의 구동펄스(15)를 각 압전소자(23)에 개별적으로 인가하게 된다.
구동펄스(15)는 구동펄스 인가부(11)로부터 각 노즐(25)에 대응하는 압전소자(23)에 인가된다. 구동펄스(15)가 압전소자(23)에 인가되면 압전소자(23)의 형상을 변형시키고, 압전소자(23)의 변형에 의해 노즐(25)을 통해 토출물(28)이 토출된다.
구동펄스(15)는 인가전압의 크기(H), 인가전압의 상승시간(T1), 인가전압의 지속시간(T2) 및 인가전압의 하강시간(T3) 등의 4가지 요소에 의해 조절될 수 있다. 즉, 구동펄스(15)는 이러한 4가지 요소들 중 적어도 하나를 이용하여 조절될 수 있다.
인가전압의 크기(H)는 구동펄스(15)에 인가된 전압의 최대값이다. 인가전압의 크기(H)는 본 발명의 일예로 지속시간(T2)에 인가되는 전압과 일치한다.
상승시간(T1)은 최초 전압이 인가되어 인가전압이 상승하는 시간을 나타내며, 지속시간(T2)은 최대전압을 유지된 시간을 나타내고, 하강시간(T3)은 최대전압이 하강하는 시간을 나타낸다.
구동펄스(15)는 본 발명의 일예로 싱글펄스(single pulse)방식을 적용하고 있다. 싱글펄스 방식은 한번의 토출을 위해 하나의 펄스를 사용하는 방식으로 구동펄스(15)의 구조가 단순하여 제어가 용이하며 제조비용을 줄일 수 있다. 그리고, 싱글펄스 방식은 고속 프린팅시 유체진동을 최소한 줄여 프린팅 품질을 향상시킬 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 잉크젯 장치(10)는 이에 한정되지 않고, 더블펄스(double pulse) 등 다양한 구동펄스에도 적용될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 토출물 측정부(31)는 구동펄스 인가부(11)에 의해 복수의 압전소자(23)에 구동펄스(15)가 인가되는 경우, 각 노즐(25)을 통해 토출되는 토출물(28)의 토출속도 및 토출량을 측정한다. 토출물 측정부(31)는 복수의 노즐(25)로부터 토출되는 토출물(28)을 연속 촬영하는 촬영부(33)와, 촬영부(33)에 의해 촬영된 영상으로부터 토출물(28)의 체적 및 속도를 산출하는 영상처리부(35)를 포함한다.
촬영부(33)는 각 노즐(25)로부터 토출되는 토출물(28)을 소정의 시간간격을 두고 연속적으로 촬영한다. 촬영부(33)는 본 발명의 일예로 1초당 30프레임(frame)을 촬영하도록 설정되나, 이에 한정되지 않고 다양한 시간간격을 촬영될 수도 있다. 촬영부(33)는 본 발명의 일예로 프린트헤드(21)의 길이방향을 따라 이동하며 각 노즐(25)에서 토출되는 토출물(28)을 촬영하도록 마련된다. 그러나, 이에 한정하지 않고 촬영부(33)는 고정되며, 프린트헤드(21)가 이동가능하게 마련될 수도 있다.
영상처리부(35)는 각 노즐(25) 별로 토출되는 토출물(28)을 촬영한 영상을 수신하여 토출물(28)의 낙하거리(S)와 토출물의 반경(R)을 산출하게 된다.
도 4는 각 노즐(25) 별로 토출물(28)이 낙하하는 과정을 동일한 시간간격을 두고 촬영한 후, 촬영한 토출물(28)을 낙하 위치별로 함께 도시한 것이다. 여기서, 낙하거리(S)는 상하에 위치한 각 토출물(28) 사이의 거리가 된다. 토출물(28) 사이의 시간간격은 촬영부(33)의 촬영 시간간격으로 동일하며, 본 발명의 일예로 토출물(28) 사이의 시간간격은 2초이다.
각 노즐(25)의 토출속도는 토출물(28) 사이의 낙하거리(S)를 촬영 시간간격으로 나누어 계산할 수 있다. 각 노즐(25)의 토출속도가 다를 경우, 각 토출물(28)의 낙하거리(S)는 서로 상이하게 나타나게 된다.
각 노즐(25)의 토출량은 촬영부(33)에서 촬영한 영상에 나타난 토출물(28)의 체적을 계산하면 된다. 즉, 토출량은 영상에 나타난 토출물(28)의 반경(R)과 구의 체적을 구하는 공식을 이용하여 계산할 수 있다.
토출물 측정부(31)는 본 발명의 일예로 촬영부(33) 및 영상처리부(35)를 마련하여 각 노즐(25)의 토출속도 및 토출량을 측정하였으나, 이에 한정하지 않고, 공지의 다양한 방법으로 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정할 수도 있다.
토출속도 제어부(41)는 각 노즐(25)의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐(25)을 검출하며, 검출된 노즐(25)이 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 노즐(25)에 인가되는 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)를 조절한다.
토출속도 제어부(41)는 본 발명의 일예로 토출량 제어부(45)를 조절하기 전 에 조절한다. 토출속도 제어부(41)에서 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)는 본 발명의 일예로 토출량 제어부(45)에서 보다 5배 이상의 큰 단위로 조절한다. 즉, 토출량 제어부(45)에서 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)를 0.1V 단위로 조절한다면, 토출속도 제어부(41)에서 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)는 0.5V 이상의 단위로 조절하게 된다. 그러나, 토출속도 제어부(41)에서 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)는 이에 한정하지 않고 토출량 제어부(45) 보다 3배 이상 등 다양한 단위로 조절될 수도 있다.
토출속도 제어부(41)에서 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)를 조절하는 단위가 토출량 제어부(45) 보다 크므로 토출속도 제어부(41)를 먼저 조절한 후에 토출량 제어부(45)를 조절하는 것이 바람직하다. 그러나, 토출속도 제어부(41)과 토출량 제어부(45)가 동시에 조절될 수도 있으며, 토출량 제어부(45)가 토출속도 제어부(41) 보다 먼저 조절 할 수도 있다.
기준토출속도 허용범위는 본 발명의 일예로 소정의 기준토출속도를 기준으로 -3% 내지 +3% 이다. 그러나, 기준토출속도 허용범위는 기준토출량 및 토출물의 점도나 표면장력 등에 따라 기준 토출속도를 기준으로 -2% 내지 +2% 혹은 -5% 내지 +5% 등 다양하게 설정될 수 있다. 소정의 기준토출속도는 본 발명의 일예로 2.5m/s 내지 3.5m/s 로 설정된다. 그러나, 기준토출속도는 기준토출량 및 토출물의 점도나 표면장력 등에 따라 2.5m/s이하 또는 3.5m/s 이상으로 다양하게 설정될 수 있다.
토출량 제어부(45)는 각 노즐(25)의 토출량과 소정의 기준 토출량의 허용범위를 비교하여 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐(25)을 검출하며, 검출된 노 즐(25)이 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 노즐(25)에 인가되는 구동펄스(15)의 인가전압의 지속시간(T2)과, 상기 구동펄스(15)의 인가전압의 상승시간(T1)과, 구동펄스(15)의 인가전압의 하강시간(T3)과, 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H) 중 적어도 하나를 조절한다.
토출량 제어부(45)는 토출물 측정부(31)에 의해 측정된 토출량이 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 정도에 따라 다양한 방법으로 제어할 수 있다. 즉, 토출물 측정부(31)에 의해 측정된 토출량이 기준 토출량 허용범위를 벗어난 소정의 범위를 제1토출량 초과범위라고 한다. 토출물 측정부(31)에 의해 측정된 토출량이 제1토출량 초과범위를 벗어난 소정의 범위를 제2토출량 초과범위라고 한다.
기준토출량 허용범위는 본 발명의 일예로 소정의 기준토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이다. 그러나, 기준토출속도 허용범위는 기준토출량 및 토출물의 점도나 표면장력 등에 따라 기준토출량을 기준으로 -2% 내지 +2% 혹은 -5% 내지 +5% 등 다양하게 설정될 수 있다. 소정의 기준토출량은 본 발명의 일예로 2.5pl(picoliter) 내지 3.0pl로 설정된다. 그러나, 기준토출량은 기준토출속도 및 토출물의 점도나 표면장력 등에 따라 2.5pl이하 또는 3.0pl 이상으로 다양하게 설정될 수 있다.
기준 토출량 허용범위를 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 라고 하는 경우, 본 발명의 일예로 제1토출량 초과범위는 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 제2토출량 초과범위는 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나이다. 그러나, 제1토출량 초과범위 및 제2토출량 초과범위는 이에 한정되지 않고 기준토출량, 토출물의 점도나 표면장력 등에 따 라 다양하게 설정될 수 있다.
토출량 제어부(45)는 노즐(25)의 토출량이 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 구동펄스(15)의 인가전압의 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 조절한다. 즉, 노즐(25)의 토출량이 제1토출량 초과범위에 해당하여 토출량 허용범위를 크게 벗어나지 않은 경우, 토출량을 미세하게 조절할 수 있는 구동펄스(15)의 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 조절하도록 하는 것이 바람직하다.
토출량 제어부(45)는 노즐(25)의 토출량이 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 구동펄스(15)의 인가전압의 지속시간(T2)과, 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 순차적으로 조절할 수 있다. 즉, 노즐(25)의 토출량이 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 토출량을 다소 크게 조절할 수 있는 구동펄스(15)의 지속시간(T2)을 먼저 조절한 후 토출량을 미세하게 조절할 수 있는 구동펄스(15)의 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 조절하는 것이 바람직하다. 그러나, 토출량 제어부(45)는 노즐(25)의 토출량이 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 노즐(25)의 토출량이 기준 토출량 허용범위에 속하도록 지속시간(T2), 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 조절할 수도 있다.
토출량 제어부(45)는 본 발명의 일예로 구동펄스(15)의 지속시간(T2), 상승시간(T1) 및 하강시간(T3)을 0.1㎲ 이하의 단위로 조절된다. 그러나, 이러한 구동펄스(15)의 지속시간(T2), 상승시간(T1) 및 하강시간(T3)은 이에 한정되지 않고 기준토출량, 토출물의 점도나 표면장력 등에 따라 0.1㎲ 내지 0.5㎲ 의 단위 등으로 다양하게 조절될 수 있다.
토출량 제어부(45)는 구동펄스(15)의 인가전압의 크기를 토출속도 제어부(41)에서 보다 미세한 단위로 조절할 수 있다. 이러한 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정은 본 발명의 일예로 토출속도 제어부(41)에서 보다 5배 이하의 작은 단위로 조절되는 것이 바람직하다. 본 발명의 일예로 토출속도 제어부(41)에서 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)를 0.5V단위로 조절한다면, 토출량 제어부(45)는 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)를 0.1V 이하 단위로 미세하게 조절한다. 토출량 제어부(45)에서의 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)는 이에 한정되지 않고 기준토출량, 토출물의 점도나 표면장력 등에 따라 0.1V 내지 0.5V 의 단위 등으로 다양하게 조절될 수 있다.
구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정은 토출량을 상승시간(T1), 지속시간(T2) 및 하강시간(T3)의 조절보다 좀더 미세하기 위해 사용될 수도 있다. 그리고, 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정은 토출량 조절이 완료된 상태에서 토출속도 및 토출량을 다시 보정하기 위하여 사용될 수도 있다.
토출속도 및 토출량의 보정과정은 다음과 같다. 우선, 토출속도 제어부(41) 및 토출량 제어부(45)를 조절한 후에, 구동펄스 인가부(11)는 각 노즐(25) 별로 조절된 구동펄스(15)를 복수의 압전소자(23)에 인가한다. 그리고, 토출물 측정부(31)는 조절된 구동펄스(15)에 의해 각 노즐(25)을 통해 토출되는 토출물(28)의 토출속도 및 토출량을 다시 측정한다. 그런 후, 토출속도 제어부(41) 및 토출량 제어 부(45)가 각 노즐(25)의 토출속도 및 토출량이 기준 토출속도 허용범위 및 기준 토출량 허용범위 중 적어도 하나를 벗어나는 노즐(25)을 검출하는 경우, 검출된 노즐(25)이 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정을 이용할 수 있다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치에서 구동펄스의 인가전압의 크기(H), 상승시간(T1), 지속시간(T2) 및 하강시간(T3)의 변화에 따른 토출속도 및 토출량의 변화를 나타낸 그래프이다.
이 그래프들은 기준 토출속도가 약 3.0m/s, 기준 토출량이 약28pl로 설정되어 있으며, 토출물(28)의 점도가 약 12cps, 토출물(28)의 표면장력이 약 28dyne/cm로 설정되어 있는 경우의 실험값이다. 이때, 초기 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)는 약 80V, 지속시간(T2)은 약 7.5㎲, 상승시간(T1) 및 하강시간(T3)은 각각 약 2.5㎲로 설정되어 있다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 토출속도는 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)가 0.5V 단위로 변화시 약 0.06m/s만큼 변한다. 그리고, 토출량은 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)가 0.1V 단위로 변화시 약 0.03pl만큼 변한다.
도 5b내지 도 5d에 도시된 바와 같이, 구동펄스(15)의 인가전압의 상승시간(T1)이 0.1㎲ 단위로 변화시 토출량은 약 0.3pl만큼 변하며, 구동펄스(15)의 인가전압의 지속시간(T2)이 0.1㎲ 단위로 변화시 토출량은 약 0.5pl만큼 변하고, 구동펄스(15)의 인가전압의 하강시간(T3)이 0.1㎲ 단위로 변화시 토출량은 약 0.3pl만큼 변한다.
그래프에는 도시되지 않았지만, 구동펄스(15)의 인가전압의 상승시간(T1), 지속시간(T2) 및 하강시간(T3)이 0.1㎲ 단위로 변할 때의 토출속도의 변화가 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)가 0.5V 단위로 변화할 때 보다 작게 나타났다.
이에, 토출속도 제어부(41)를 제어시, 토출속도는 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)를 0.5V 단위로 조절하여 용이하게 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 조절할 수 있다. 그리고, 토출량 제어부(45)를 제어시, 토출량이 제1토출량 초과범위에 속하는 경우, 지속시간(T2)보다 미세하게 조절할 수 있는 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 0.1㎲ 단위로 조절하여 용이하게 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 조절할 수 있다. 그리고, 토출량이 제2토출량 초과범위에 속하는 경우, 지속시간(T2)을 먼저 조절한 후 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 0.1㎲ 단위로 조절하여 용이하게 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 조절할 수 있다. 그리고, 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정에서 인가전압의 크기(H)를 0.1V 단위로 변화시켜 토출량 및 토출속도를 미세하게 조절할 수도 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치의 제어흐름도이다. 이 도면을 기초하여 잉크젯 장치의 구동방법을 상세히 설명한다.
우선, 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스(15)를 인가한다(S1). 그런 후, 토출물 측정부(31)를 이용하여 각 노즐을 통해 토출되는 토출물(28)의 토출속도 및 토출량을 측정한다(S3). 그리고, 토출속도 조절단계에서 각 노즐(25)의 토출속도를 기준 토출속도 허용범위와 비교한다(S5). 그리고, 각 노즐(25)의 토출속도 중에서 기준 토출속도 허용범위 내에 속하는 노즐(25)은 토출속도를 조절하지 않고 토출량 조절 단계로 넘어간다. 그러나, 각 노즐(25)의 토출속도 중에서 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐(25)은 토출속도를 조절하도록 구동펄스의 인가전압의 크기(H)를 조절한다(S7). 이때, 인가전압의 크기(H)는 토출속도를 효과적으로 조절할 수 있도록 적절한 단위로 조절하는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 일예로 토출속도 조절 단계에서의 인가전압의 크기(H)는 0.5V 이상의 단위로 조절될 수 있다. 토출속도 조절 단계 후에는 토출속도 조절단계에서 각 노즐(25)의 토출량을 기준 토출량 허용범위와 비교한다(S9). 그리고, 각 노즐(25)의 토출량 중에서 기준 토출량 허용범위 내에 속하는 노즐(25)은 토출량을 조절하지 않고 구동펄스(15)의 인가전압 조절을 종료한다. 그러나, 각 노즐(25)의 토출량 중에서 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐(25)은 토출량을 조절하도록 구동펄스(15)의 인가전압의 상승시간(T1), 지속시간(T2) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 조절한다. 보다 자세히 설명하며, 각 노즐(25)의 토출량 중 제1토출량 초과범위에 속하는 노즐(25)은 토출량을 조절하도록 구동펄스(15)의 인가전압의 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 조절한다(S13). 그리고, 각 노즐(25)의 토출량 중 제1토출량 초과범위를 벗어나는 경우 즉, 제2토출량 초과범위에 속하는 노즐(25)은 토출량을 조절하도록 구동펄스(15)의 인가전압의 지속시간(T2)과, 상승시간(T1) 및 하강시간(T3) 중 적어도 하나를 순차적으로 조절한다(S15). 그런 후, 조절된 구동펄스(15)에 따라 각 노즐(25)의 토출량 및 토출속도를 다시 측정한다(S17). 그리고, 각 노즐(25)의 토출량 및 토출속도를 기준 토출량 허용범위 및 기준 토출속도 허용범위와 비교한 다(S19). 그리고, 각 노즐(25)의 토출량 및 토출속도 중 기준 토출량 허용범위 및 기준 토출속도 허용범위 내에 속하는 노즐(25)은 구동펄스의 인가전압 조절을 종료한다. 그러나, 각 노즐(25)의 토출량 및 토출속도 중 기준 토출량 허용범위 및 기준 토출속도 허용범위 중 적어도 하나를 벗어나는 노즐(25)은 구동펄스(15)의 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정을 통해 미세하게 조절한다(S21). 이때, 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정은 본 발명의 일예로 토출속도 조절 단계에서의 인가전압의 크기(H)의 조절단위보다 5배 이하의 단위로 조절한다. 즉, 토출속도 조절 단계에서의 인가전압의 크기(H)를 0.5V의 단위로 조절할 경우, 인가전압의 크기(H)의 미세조절과정은 0.1V 이하의 단위로 조절할 수 있다.
이와 같은 토출속도 및 토출량의 조절이 완료한 후, 조절된 구동펄스(15)를 각각의 노즐(25)에 개별적으로 인가하게 된다.
이에, 본 발명에 따른 잉크젯 장치(10)는 복수의 노즐(25)을 개별적으로 제어할 수 있으며, 각 노즐(25)에서 토출되는 토출량 및 토출속도를 간단하고 용이하게 제어할 수 있고, 간단한 구동방법으로 인해 구동컨트롤러 등의 제조비용을 절감할 수 있다.
이하 본 발명에 따라 제조된 액정표시장치(100)를 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다. 도 7은 본 발명에 따라 제조된 액정표시장치의 단면도이고, 도 8은 본 발명에 따라 제조된 액정표시장치에서 토출물 수용홈(125)을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명에 따라 제조된 액정표시장치(100)는 박막트랜지스터 기판(110), 컬 러필터 기판(120) 그리고 양 기판(110, 120)에 위치한 액정층(120)을 포함한다.
박막트랜지스터 기판(110)은 절연기판(111)과, 절연기판(111) 상에 형성된 복수의 박막트랜지스터(112)를 포함한다. 박막트랜지스터(112)는 보호층(113)이 덮고 있으며, 보호층(113)의 일부는 제거되어 박막트랜지스터(112)를 노출시키는 접촉구(114)를 형성한다. 투명한 도전물질로 이루어진 화소전극(115)은 접촉구(114)를 통해 박막트랜지스터(112)와 연결되어 있다.
컬러필터 기판(120)은 절연기판(121)과, 절연기판(121) 상에 형성된 복수의 토출물 수용홈(125)을 포함한다. 토출물 수용홈(125)은 칼라필터(123)를 형성하기 위한 공간으로 블랙매트릭스(122)에 의해 형성된다. 그러나 토출물 수용홈(125)은 이에 한정되지 않고 공지된 다양한 물질로 형성될 수 있다.
블랙매트릭스(122)는 절연기판(121)상에 격자 형상으로 형성된다. 블랙매트릭스(122)는 블랙안료를 포함한 감광물질로 만들어 질 수 있으며, 박막트랜지스터 기판(110)의 박막트랜지스터(112)와 배선(도시하지 않음)과 대응하도록 형성되어 있다.
토출물 수용홈(122)에는 컬러필터(123)가 형성되어 있다. 컬러필터(123)는 유기물로 이루어져 있으며 서로 다른 색상을 가진 3개의 서브층(123a, 123b, 123c)을 포함한다. 블랙매트릭스(122)와 컬러필터(123) 상부에는 투명한 도전물질로 이루어진 공통전극(124)이 형성되어 있다.
양 기판(110, 120) 사이에 위치한 액정층(130)은 화소전극(115)과 공통전극(124)이 형성하는 전계에 의해 그 배열상태가 결정된다. 박막트랜지스터 기 판(110)의 하부에서 공급된 빛은 액정층(130)에서 투과율이 조정된 후 컬러필터(123)를 지나면서 색상이 부여된다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 순차적으로 도시한 단면도로서, 컬러필터(123)의 형성을 나타내고 있다.
도 9a에 도시된 바와 같이, 절연기판(121) 상에는 토출물 수용홈(125)을 형성하도록 격자형상의 블랙매트릭스(122)가 형성된다. 블랙매트릭스(122)는 감광층을 노광 및 현상하여 형성한다.
도 9b에 도시된 바와 같이, 전술한 잉크젯 장치(10)에 의해 각 노즐(25)의 토출량 및 토출속도가 조절된 상태에서, 각 노즐(25)을 통해 각 토출물 수용홈(125)에 토출물(28)인 컬러필터 잉크(28a, 28b, 28c)를 토출한다. 이때, 컬러필터 잉크(28a, 28b, 28c)는 각 노즐(25)을 통해 거의 동일한 량으로 토출되어 토출물 수용홈(125)에 균일한 두께로 형성된다.
도 9c는 컬러필터 잉크(28a, 28b, 28c)를 건조하여 컬러필터층(123)을 형성한 상태를 나타낸다. 그런 후, 블랙매트릭스(122)와 컬러필터(123) 상에 공통전극(124)을 형성하면 컬러필터 기판(120)이 완성된다. 완성된 컬러필터 기판(120)은 컬러필터(123)의 높이가 균일하여, 대비비(contrast ratio) 저하나 얼룩 발생이 감소될 수 있다.
도 7 내지 도 9c에서는 본 발명의 잉크젯 장치가 액정표시장치의 칼라필터기판 형성과정에 적용되는 경우를 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 잉크젯 장치는 표시장치의 유기반도체층 형성과정 및 OLED표시장치의 발광층을 포 함하는 유기층 형성과정 등 다른 표시장치에도 적용될 수 있다.
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치의 개략적인 블록도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치의 구동펄스를 나타낸 그래프,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치의 토출물 측정부의 개략도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치의 토출물 측정부에 의해 촬영된 상태를 나타낸 도면,
도 5a 는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치에서 구동펄스의 인가전압의 크기에 따른 토출속도 및 토출량의 변화를 나타낸 그래프,
도 5b내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치에서 구동펄스의 인가전압의 상승시간, 지속시간 및 하강시간에 따른 토출량의 변화를 나타낸 그래프,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 장치의 제어 흐름도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 단면도,
도 8은 도 7에 도시된 토출물 수용홈의 확대된 사시도,
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 잉크젯 장치 11 : 구동펄스 인가부
15 : 구동펄스 21 : 프린트헤드
23 : 압전소자 25 : 노즐
28 : 토출물 31 : 토출물 측정부
33 : 촬영부 35 : 영상처리부
41 : 토출속도 제어부 45 : 토출량 제어부
100 : 표시장치 110 : 박막트랜지스터기판
120 : 칼라기판 122 : 블랙매트릭스
125 : 토출물수용홈 130 : 액정층

Claims (26)

  1. 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스를 인가하는 단계와;
    인가된 상기 구동펄스에 의해 상기 압전소자가 각각 구비된 복수의 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와;
    상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하는 토출속도 조절 단계와;
    상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 중 적어도 하나를 조절하는 토출량 조절 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 기준 토출량 허용범위 밖의 소정의 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 제1토출량 초과범위 밖의 소정의 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 지속시간을 조절한 후, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기준 토출량 허용범위는 소정의 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이며, 상기 제1토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 상기 제2토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기준 토출량은 25pl 내지 30pl 인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기준 토출속도 허용범위는 소정의 기준 토출속도를 기준으로 -3% 내지 +3% 인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 토출량 조절 단계에서 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 조절은 상기 토출속도 조절 단계에서 보다 5배 이하의 작은 단위로 미세하게 조절하는 인가전압의 크기의 미세조절과정인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 토출속도 조절단계 및 상기 토출량 조절단계 후에, 상기 각 노즐 별로 조절된 구동펄스를 상기 복수의 압전소자에 인가하는 단계와;
    조절된 상기 구동펄스에 의해 상기 각 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와;
    상기 각 노즐의 토출속도 및 토출량이 상기 기준 토출속도 허용범위 및 상기 기준 토출량 허용범위 중 적어도 하나를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 상기 인가전압의 크기의 미세조절과정을 통해 검출된 상기 노즐의 토출속도 및 토출량 중 적어도 하나를 조절 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 인가전압의 크기의 미세조절과정은 0.1V 이하 단위로 조절하는 것을 특 징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 토출량 조절 단계에서 상기 지속시간과, 상기 상승시간과, 상기 하강시간은 0.1㎲ 이하의 단위로 조절하는 것을 특징을 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 구동펄스는 싱글펄스인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 구동방법.
  12. 복수의 압전소자에 구동펄스를 인가하는 구동펄스 인가부와;
    상기 구동펄스 인가부에 의해 상기 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스가 인가되는 경우, 상기 압전소자를 각각 구비한 복수의 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하도록 마련된 토출물 측정부와;
    상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐을 검출하며, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하도록 마련된 토출속도 제어부와;
    상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량의 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐을 검출하며, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압 의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기와, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간 중 적어도 하나를 조절하도록 마련된 토출량 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 토출물 측정부는 상기 복수의 노즐로부터 토출되는 토출물을 연속 촬영하는 촬영부와, 상기 촬영부에 의해 촬영된 영상으로부터 상기 토출물의 체적 및 속도를 산출하는 영상처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 토출량 제어부는 상기 노즐의 토출량이 상기 기준 토출량 허용범위 밖의 소정의 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 토출량 제어부는 상기 노즐의 토출량이 상기 제1토출량 초과범위 밖의 소정의 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 지속시간을 조절한 후, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 기준 토출량 허용범위는 소정의 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이며, 상기 제1토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 상기 제2토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 토출량 제어부에서 상기 구동펄스의 인가전압의 크기 조절은 상기 토출속도 제어부에서 보다 5배 이하의 작은 단위로 미세하게 조절하는 인가전압의 크기의 미세조절과정인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 구동펄스 인가부는 상기 토출속도 제어부 및 상기 토출량 제어부를 조절한 후에, 상기 각 노즐 별로 조절된 구동펄스를 상기 복수의 압전소자에 인가하고;
    상기 토출물 측정부는 조절된 상기 구동펄스에 의해 상기 각 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 다시 측정하며;
    상기 각 노즐의 토출속도 및 토출량이 상기 기준 토출속도 허용범위 및 상기 기준 토출량 허용범위 중 적어도 하나를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 상기 인가전압의 크기의 미세조절과정을 통해 검출된 상기 노즐의 토출속도 및 토출량 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  19. 제12항에 있어서,
    상기 구동펄스는 싱글펄스인 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  20. 복수의 압전소자에 동일한 구동펄스를 인가하는 단계와;
    인가된 상기 구동펄스에 의해 상기 압전소자를 각각 구비한 복수의 노즐을 통해 토출되는 토출물의 토출속도 및 토출량을 측정하는 단계와;
    상기 각 노즐의 토출속도와 소정의 기준 토출속도 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출속도 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출속도 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 크기를 조절하는 토출속도 조절 단계와;
    상기 각 노즐의 토출량과 소정의 기준 토출량 허용범위를 비교하여 상기 기준 토출량 허용범위를 벗어나는 노즐이 검출되는 경우, 검출된 상기 노즐이 상기 기준 토출량 허용범위 내에 속하도록 검출된 상기 노즐에 인가되는 구동펄스의 인가전압의 지속시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 크기와, 상기 구동펄스의 인가전압의 상승시간과, 상기 구동펄스의 인가전압의 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 토출량 조절 단계와;
    상기 토출속도 조절 단계 및 상기 토출량 조절 단계 후에 소정의 기판상에 상기 토출물을 토출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 기준 토출량 허용범위 밖의 소정의 제1토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 토출량 조절 단계에서 상기 노즐의 토출량이 상기 제1토출량 초과범위 밖의 소정의 제2토출량 초과범위에 해당하는 경우, 상기 지속시간을 조절한 후, 상기 상승시간 및 상기 하강시간 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 기준 토출량 허용범위는 소정의 기준 토출량을 기준으로 -3% 내지 +3% 이며, 상기 제1토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +3% 내지 +8% 및 -8% 내지 -3% 중 어느 하나이며, 상기 제2토출량 초과범위는 상기 기준 토출량을 기준으로 +8% 이상 및 -8% 이하 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 기준 토출량은 25pl 내지 30pl 인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  25. 제20항에 있어서,
    상기 토출물 토출 단계 전에 상기 기판상에 복수의 토출물수용홈을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  26. 제20항에 있어서,
    상기 토출물을 상기 기판상에 토출하여 칼라필터를 형성하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
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