JP2016190379A - 液状体吐出装置の駆動設定方法及び駆動設定プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる液状体吐出装置の駆動設定方法を提供する。【解決手段】複数回の吐出の各回に設定された駆動条件に基づいて、複数回の吐出の各回の吐出量を取得し、総吐出量を算出するＡステップＳ３０１と、複数回の吐出のうち、一つの回の吐出を選択するＢステップＳ３０２と、Ｂステップで選択した一つの回の吐出において、一つの回の吐出の吐出量と、目標総吐出量と、総吐出量とに基づいて、吐出量を補正するための駆動条件の変更を行うＣステップＳ３０３と、ＣステップＳ３０３で変更した駆動条件に基づいて、ＢステップＳ３０２で選択した一つの回の吐出の補正された吐出量を取得し、総吐出量を再算出するＤステップＳ３０４と、を含む。【選択図】図１２

Description

本発明は、液状体吐出装置の駆動設定方法及び駆動設定プログラムに関する。

近年、機能性材料を含む液状体を複数のノズルから吐出対象物である基板に対して吐出し、基板上に設けられた配置領域に所定量の液状体を配置した後、乾燥（固化）して薄膜を形成する方法が提案されている。薄膜の代表的な例としては、液晶表示パネルのカラーフィルタや有機ＥＬパネルの発光層、半導体デバイスの金属配線などが挙げられる。

このような方法では、良質な薄膜を形成するために、各ノズルから吐出される液状体の吐出量がノズル間で均等であることが要求される。ノズル間の吐出量のバラツキは、液状体の配置ムラの原因となり、均質な薄膜を形成するのを阻害するからである。

したがって、ノズル間の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキを補償（補正）するための駆動条件（例えば電圧値）を設定することが必要となる。この場合、ノズル毎に独立した駆動条件を設定できることが理想的である。

しかしながら、複数のノズル（ノズルアレイ）を有する吐出ヘッドや、吐出ヘッドの駆動を制御する制御部の構成によっては、実際に設定できる駆動条件に制約が生じてしまう。また、ノズル間の吐出量のバラツキについては、ノズルアレイや吐出ヘッド毎に様々であるため、各ノズルの駆動条件をノズル毎に一律な方法で適切に設定することは困難である。

そこで、ノズル間の吐出量のバラツキを補償する技術として、複数のノズルの所定の駆動条件に基づく吐出量を求め、各ノズルの吐出量の差（バラツキ）に基づき、各ノズルを複数のグループに分類し、グループ毎に各ノズルの吐出量の差が小さくなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、グループ毎に補正された駆動条件を設定する技術が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。

下記特許文献１に記載の技術では、上述したグループ毎に補正された駆動条件を設定することで、ノズル毎に独立した駆動条件を設定することなく、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能である。

特開２００８−２７６０８８号公報

ところで、上述した液状体吐出装置では、吐出ヘッドの走査方向と交差する方向（副走査方向という。）に、複数のノズルがライン状に配列されたノズルアレイを構成している。このため、吐出ヘッドを配置領域の短手方向に沿って走査する場合（横描画という。）の方が、配置領域の長手方向に沿って走査する場合（縦描画という。）よりも、それぞれの配置領域において液状体の吐出が選択されるノズル数が多くなる。

一方、縦描画の方が横描画よりも、それぞれの配置領域において液状体の吐出が選択されるノズル数が少なくなる分だけ、１つのノズルから吐出される液状体の吐出回数（ショット数という。）が多くなる。この場合、上述した各ノズルを複数のグループに分類し、グループ毎に補正された駆動条件を設定したことによる効果が小さくなる。

すなわち、各配置領域において選択されるノズル数が少なくなるほど、各ノズルのショット数毎の吐出量の差（バラツキ）による影響が大きくなる。その結果、各配置領域に配置される液状体の配置量のバラツキが大きくなる。

例えば、１つの配置領域に吐出量が多いノズルが集中した場合、その配置領域に配置される液状体の配置量は、他の配置領域に配置される液状体の配置量よりも多くなる。この場合、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが困難となり、上述した液状体の配置ムラの原因ともなる。

本発明の一つの態様は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる液状体吐出装置の駆動設定方法及び駆動設定プログラムを提供することを目的の一つとする。

本発明の一つの態様に係る液状体吐出装置の駆動設定方法は、ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置において、吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、ノズルから複数回の吐出を行うことにより、吐出対象物に設けられた配置領域に対して所定量の液状体を配置する際に、ノズルの駆動条件を設定する液状体吐出装置の駆動設定方法であって、複数回の吐出の各回における吐出量の総和である総吐出量の目標値として目標総吐出量を設定し、目標総吐出量に基づいて、ノズルに対して複数回の吐出の各回における駆動条件を設定する駆動条件設定工程と、複数回の吐出のうち少なくとも一つの回において吐出量の補正を行う吐出量補正工程と、を有し、吐出量補正工程は、複数回の吐出の各回に設定された駆動条件に基づいて、複数回の吐出の各回の吐出量を取得し、総吐出量を算出するＡステップと、複数回の吐出のうち、一つの回の吐出を選択するＢステップと、Ｂステップで選択した一つの回の吐出において、一つの回の吐出の吐出量と、目標総吐出量と、総吐出量とに基づいて、吐出量を補正するための駆動条件の変更を行うＣステップと、Ｃステップで変更した駆動条件に基づいて、Ｂステップで選択した一つの回の吐出の補正された吐出量を取得し、総吐出量を再算出するＤステップと、を含むことを特徴とする。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。したがって、この方法によれば、配置領域において液状体の吐出が選択されるノズル数が少なくなる場合でも、配置領域に配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｂステップと、Ｃステップと、Ｄステップとを、この順で繰り返し行う方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を更に小さくすることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｂステップにおいて、複数回の吐出のうち、未だ駆動条件の変更が行われていない回の吐出から、一つの回の吐出を選択する方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を更に小さくすることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップで算出した総吐出量が目標総吐出量と一致している場合、Ｄステップを実施した後に、吐出量補正工程を完了する方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量と一致させることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出の全ての回の駆動条件を変更した場合、Ｄステップを実施した後に、吐出量補正工程を完了する方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に更に近づけることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、最小補正量を予め設定し、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量が、最小補正量よりも小さい場合、吐出量補正工程を完了する方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量により近づけることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出の各回における吐出補正量が略均一となるように、最小補正量を設定する方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｃステップの駆動条件の変更において、総吐出量と目標総吐出量との差が小さくなるように、駆動条件の変更を行う方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｃステップの駆動条件の変更において、目標とする補正量を目標補正量として設定し、目標補正量に基づいて駆動条件の変更を行う方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｃステップにおいて、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量を目標補正量とする方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量と一致させることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、最大補正量を予め設定し、Ｃステップの駆動条件の変更において、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量が最大補正量よりも大きい場合、最大補正量を目標補正量とする方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、最大補正量を予め設定し、Ｃステップの駆動条件の変更において、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量が最大補正量よりも小さい場合、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量を目標補正量とする方法であってもよい。

この方法によれば、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量と一致させることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出の各回における補正量が略均一となるように、最大補正量を設定する方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法において、吐出ヘッドは、ノズルに対応して設けられた駆動素子を有し、複数回の吐出の各々を、駆動素子を駆動することにより行い、駆動条件は、駆動素子に印加する駆動電圧波形であり、駆動条件の変更は、駆動電圧波形の変更であり、複数回の吐出の各々における駆動電圧波形の変更可能範囲に基づき、最大補正量を設定する方法であってもよい。

この方法によれば、駆動条件の変更を精度良く行うことができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法において、吐出ヘッドは、ノズルに対応して設けられた駆動素子を有し、複数回の吐出の各々を、駆動素子を駆動することにより行い、駆動条件は、駆動素子に印加する駆動電圧波形であり、駆動条件の変更は、駆動電圧波形の変更である方法であってもよい。

この方法によれば、駆動条件の変更を精度良く行うことができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出のうち、１回目の吐出から順に最終回の吐出に向けて、吐出量補正工程を完了するまで、Ｂステップと、Ｃステップと、Ｄステップとを繰り返し実施する方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出のうち、最終回の吐出から順に１回目の吐出に向けて、吐出量補正工程を完了するまで、Ｂステップと、Ｃステップと、Ｄステップとを繰り返し実施する方法であってもよい。

この方法によれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、本発明の一つの態様に係る液状体吐出装置の駆動設定プログラムは、ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置において、吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、ノズルから複数回の吐出を行うことによって、吐出対象物へ液状体を供給する際に、ノズルの駆動条件を設定する液状体吐出装置の駆動設定プログラムであって、前記何れかの液状体吐出装置の駆動設定方法を実行することを特徴とする。

このプログラムによれば、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる液状体吐出装置の駆動設定方法を実行することができる。

本発明の一実施形態に係る液状体吐出装置の概略構成を示す斜視図である。 ヘッドユニットを構成する各吐出ヘッドの配置構成を示す平面図である。 吐出ヘッドが備えるノズルの走査軌跡と基板との位置関係を示す平面図である。 液状体吐出装置が備える電気回路の概略構成を示す回路図である。 吐出ヘッドを駆動する際の駆動信号及び制御信号のタイミングチャートを示すグラフである。 本発明の一実施形態に係る液状体吐出装置の駆動設定方法を説明するためのフローチャートである。 吐出量測定システムの概略構成を示すブロック図である。 グループ毎に補正された駆動条件を設定するための手順を示すフローチャートである。 ノズル毎の吐出量の分布とグループの分類との関係を示すグラフである。 １つのノズルから複数回の吐出を行うときの各回の液滴と、基板上に設けられた配置領域との位置関係を示す模式図である。 本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法を説明するためのフローチャートである。 図１１に示す吐出量補正工程の手順を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。また、以下の説明で用いる図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素を模式的に示している場合があり、構成要素によっては寸法の縮尺を異ならせて示すこともある。

（液状体吐出装置）
先ず、本発明の一実施形態として、例えば図１に示す液状体吐出装置２００の具体的な構成及びその動作について説明する。なお、図１は、液状体吐出装置２００の概略構成を示す斜視図である。

液状体吐出装置２００は、図１に示すように、直線的に設けられた一対のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１の内部に設けられたエアスライダ及びリニアモータ（共に図示せず。）により主走査方向に移動する主走査移動台２０３とを備えている。また、液状体吐出装置２００は、ガイドレール２０１の上方において、ガイドレール２０１に直交するように直線的に設けられた一対のガイドレール２０２と、ガイドレール２０２の内部に設けられたエアスライダ及びリニアモータ（共に図示せず。）により副走査方向に沿って移動する副走査移動台２０４とを備えている。

主走査移動台２０３上には、吐出対象物としての基板Ｐを載置するためのステージ２０５が設けられている。ステージ２０５は、基板Ｐを吸着した状態で固定する構成となっている。また、ステージ２０５と主走査移動台２０３との間に設けられた回転機構２０７によって、基板Ｐ内の基準軸を主走査方向と副走査方向とに正確に合わせることが可能となっている。

副走査移動台２０４は、回転機構２０８を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッジ２０９を備えている。キャリッジ２０９は、後述する液状体を吐出する複数の吐出ヘッド１１，１２（図１において図示せず。）を備えるヘッドユニット１０と、各吐出ヘッド１１，１２の駆動を制御する制御回路基板３０（図１において図示せず。）とを備えている。また、各吐出ヘッド１１，１２は、液状体を供給する液状体供給機構（図示せず。）と接続されている。

図２は、ヘッドユニット１０を構成する各吐出ヘッド１１，１２の配置構成を示す平面図である。ヘッドユニット１０を構成する各吐出ヘッド１１，１２は、図２に示すように、液状体を吐出する複数のノズルｎを有している。

本実施形態では、有機ＥＬパネルの発光層を形成する場合を例示している。このため、各吐出ヘッド１１，１２は、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色発光層に対応する有機ＥＬ発光材料を含む液状体を吐出する。また、一方の吐出ヘッド１１と他方の吐出ヘッド１２とは、互いに副走査方向に位置をずらして配置されており、互いに吐出可能範囲を補完する関係にある。

各吐出ヘッド１１，１２における複数（本実施形態では６０個）のノズルｎは、所定のピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）でライン状に配列されたノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成している。ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成するノズルｎの並び方向は、副走査方向に一致している。また、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成するノズルｎは、互いに千鳥状に配列されている。

吐出ヘッド１１，１２には、各ノズルｎにそれぞれ連通する液室としてのキャビティ（図示せず。）が設けられている。各キャビティには、その可動壁を駆動して容積を可変するための駆動素子としての圧電素子１６（図２において図示せず。）が設けられている。吐出ヘッド１１，１２では、圧電素子１６に駆動信号（駆動電圧）を供給してキャビティ内の液圧を制御することによって、ノズルｎから液滴（液状体）を吐出させることが可能となっている。

ここで、液状体吐出装置２００が備える吐出ヘッド１１，１２の動作の一例として、有機ＥＬパネルの発光層を形成する際の動作について図３を参照して説明する。なお、図３は、吐出ヘッド１１，１２が備えるノズルｎの走査軌跡と、基板Ｐとの位置関係を示す平面図である。

各ノズルｎは、図３に示すように、吐出ヘッド１１，１２を基板Ｐに対して主走査方向に走査させると、基板Ｐに対して連続した所定ピッチ（例えば３６０ｄｐｉ）の走査軌跡を描く。

このとき、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの端部の数個分（本実施形態では３個）のノズルｎは、その特性の特異性に鑑みて使用しないダミーノズル（塗り潰して図示する。）とされている。一方の吐出ヘッド１１が備えるダミーノズルに掛かる走査領域は、他方の吐出ヘッド１２が備えるノズルｎで補完される関係となっている。また、他方の吐出ヘッド１２が備えるダミーノズルに掛かる走査領域は、一方の吐出ヘッド１１のノズルｎで補完される関係となっている。

基板Ｐには、有機ＥＬパネルの各画素に対応する配置領域５０を規定するバンク５１が、感光性樹脂等を用いて予め形成されている。この場合、走査軌跡に関して、配置領域５０に掛かり得るノズルｎと掛かり得ないノズルｎとが存在するが、配置領域５０への液状体の配置は、配置領域５０に掛かり得るノズルｎからの液状体の吐出によって選択的に行われる。

ここで、図３では、一方の吐出ヘッド１１が備えるノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂと、他方の吐出ヘッド１２が備えるノズルアレイ２１Ａ，ノズルアレイ２１Ｂとを構成する各ノズルｎに、それぞれノズル番号Ａ１〜Ａ５，Ｂ１〜Ｂ５と、ノズル番号Ｃ４９〜Ｃ５４，Ｄ４９〜Ｄ５４とを付している。

このノズル番号は、各ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの並び方向におけるノズルｎの配列順を示した通し番号のことである。本実施形態では、１つのノズルアレイにつき、ダミーノズルを除いた１〜５４つのノズル番号を付すことができる。

図３において、ノズル番号Ｄ５３，Ｃ５４，Ｄ５４，Ａ１，Ｂ１のノズルｎは、走査中のそれぞれ適切な期間において、同一の配置領域５０に対して液状体を吐出することができる。また、ノズル番号Ｃ５０，Ｃ５３，Ａ２，Ａ５のノズルｎは、走査軌跡がバンク５１に掛かっているため、当該走査中の全期間において液状体の吐出を行わない。このようなノズルｎごとの吐出／非吐出の制御は、後述する各ノズルｎに対応した圧電素子１６への駆動信号の供給のスイッチングによって行われる。

なお、液状体吐出装置２００の構成については、上記実施形態のものに限定されるものではない。例えば、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの配列方向を副走査方向から傾けて、ノズルｎの走査軌跡のピッチがノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂ内におけるノズルｎ間のピッチに対して狭くなるように構成することもできる。また、ヘッドユニット１０における吐出ヘッド１１，１２の数やその配置構成なども適宜変更することができる。また、吐出ヘッド１１，１２の駆動方式としては、例えば、キャビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。

次に、上記液状体吐出装置２００が備える具体的な電気回路の構成及びその動作について、図４及び図５を参照して説明する。なお、図４は、液状体吐出装置２００が備える電気回路の概略構成を示す回路図である。図５は、吐出ヘッド１１，１２を駆動する際の駆動信号及び制御信号のタイミングチャートを示すグラフである。

吐出ヘッド１１，１２は、図４に示すように、各ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂのノズルｎ（図４において図示せず。）毎に設けられた圧電素子１６と、各圧電素子１６への駆動信号（ＣＯＭ）の供給／非供給の切り替えを行うためのスイッチング回路１７と、各圧電素子１６への供給に係る駆動信号の供給ライン（以下、ＣＯＭラインという。）ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を選択するための駆動信号選択回路１８とを備えている。また、吐出ヘッド１１，１２は、制御部を構成する制御回路基板３０と電気的に接続されている。

制御回路基板３０は、それぞれ独立した駆動信号（ＣＯＭ）を生成するＤ／Ａコンバータ（ＤＡＣ）３１Ａ〜３１Ｄと、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄが生成する駆動信号（ＣＯＭ）のスルーレートデータ（以下、波形データという。）ＷＤ１〜ＷＤ４の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路３２と、外部から受信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ３３とを備えている。制御回路基板３０における各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４には、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄで生成された駆動信号がそれぞれ出力されるようになっている。

各ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂにおいて、圧電素子１６の一方の電極１６ｃは、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１ＤのグランドラインＧＮＤに接続されている。また、圧電素子１６の他方の電極（以下、セグメント電極という。）１６ｓは、スイッチング回路１７及び駆動信号選択回路１８を介して、ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に接続されている。また、スイッチング回路１７、駆動信号選択回路１８及び波形データ選択回路３２には、それぞれクロック信号ＣＬＫや、各吐出タイミングに対応したラッチ信号ＬＡＴが入力されるようになっている。

データメモリ３３には、吐出ヘッド１１，１２の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子１６への駆動信号（ＣＯＭ）の供給／非供給（ＯＮ／ＯＦＦ）の切り替えを規定する吐出データ（ＳＩＡ）と、各圧電素子１６に対応したＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を規定する駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄに入力される波形データＷＤ１〜ＷＤ４の種別を規定する波形番号データ（ＷＮ）である。

本実施形態では、吐出データ（ＳＩＡ）は、１ノズル当たり１ビット（０，１）で構成され、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）は、１ノズル当たり２ビット（０，１，２，３）で構成され、波形番号データ（ＷＮ）は、１Ｄ／Ａコンバータ当たり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、これらのデータ構成については適宜変更が可能である。

吐出ヘッド１１，１２では、図５に示すタイミングチャートに従って各ノズルｎに対する駆動制御が行われる。具体的には、先ず、図５に示すタイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データ（ＳＩＡ）、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）、波形番号データ（ＷＮ）が、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路１７、駆動信号選択回路１８及び波形データ選択回路３２に送信される。

そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子１６のセグメント電極１６ｓが、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）で指定された各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に接続された状態となる。例えば、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）が０，１，２，３である場合、対応する圧電素子１６のセグメント電極１６ｓはそれぞれのＣＯＭラインＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３，ＣＯＭ４に接続される。また、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）が設定される。

次に、図５に示すタイミングｔ３〜ｔ４、ｔ４〜ｔ５、ｔ５〜ｔ６の各期間において、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号（ＣＯＭ）が生成される。そして、各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子１６に、生成された駆動信号が供給され、ノズルに連通するキャビティの容積（圧力）制御が行われる。

ここで、タイミングｔ３〜ｔ４における電位上昇成分はキャビティを膨張させ、液状体をノズルｎの内方に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ５〜ｔ６における電位降下成分は、キャビティを収縮させ、液状体をノズルｎの外に押し出して吐出させる役割を果たしている。

駆動信号（ＣＯＭ）における電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分と、電圧成分とは、その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。特に、圧電方式を採用した吐出ヘッド１１，１２では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ６における電圧差を駆動電圧Ｖｈとして規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。

すなわち、この駆動電圧Ｖｈは、各ノズルｎからの吐出量を制御する際の「駆動条件」に対応するものである。なお、生成する駆動信号（ＣＯＭ）は、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、公知の様々な形状のものを適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）を採用する場合などにおいて、駆動信号のパルス幅（時間成分）を吐出量制御の駆動条件として利用することも可能である。

本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に異ならせた複数種の波形データを用意し、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４にそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈの駆動信号（ＣＯＭ）を出力することが可能である。また、用意できる波形データの種類は、波形番号データ（ＷＮ）の情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。

以上のようして、本実施形態の液状体吐出装置２００では、各圧電素子１６（ノズルｎ）とＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４との対応関係を規定する駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と、各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４と駆動信号の種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データ（ＷＮ）とを適切に設定することにより、適切な吐出量で液状体を吐出することが可能である。

したがって、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と波形番号データ（ＷＮ）との関係で定まる各ノズルｎの駆動信号の設定を適切に行うことが、各ノズルｎの吐出量を管理するための重要事項となる。

なお、本実施形態の液状体吐出装置２００では、吐出タイミング毎に駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と波形番号データ（ＷＮ）を更新可能な構成となっているため、吐出データ（ＳＩＡ）の変化に対応させて駆動信号を精細に設定することも可能である。

（駆動設定方法）
次に、上記液状体吐出装置２００の具体的な駆動設定方法について説明する。
本実施形態の駆動設定方法では、図６に示すフローチャートに従って、吐出ヘッド１１，１２が備える複数のノズルｎの駆動条件、すなわち各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の適正条件（駆動電圧Ｖｈ）を設定する。

具体的には、先ず、図６に示すステップＳ１０１において、複数のノズルｎの所定の駆動条件に基づく吐出量を求め、複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択された各ノズルｎの吐出量の差に基づき、選択された各ノズルｎを複数のグループに分類する。そして、グループ毎に選択された各ノズルｎの吐出量の差が小さくなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、グループ毎に補正された駆動条件を設定する（以下、ＣＯＭの設定という。）。

ここで、上記吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎから吐出された液状体の吐出量を測定するための図７に示す吐出量測定システム３００について説明する。なお、図７は、吐出量測定システム３００の概略構成を示すブロック図である。

吐出量測定システム３００は、図７に示すように、吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎに液状体を供給するための液状体供給装置３０１と、吐出ヘッド１１，１２を駆動するための制御回路基板３０２とを備えている。

また、吐出量測定システム３００は、吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎから吐出された液状体を受けてこれを収容するための液状体受容容器３０３と、液状体受容容器３０３の重量を計量するための重量計量装置３０４とを備えている。

また、吐出量測定システム３００は、吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎから吐出された液状体を受ける液状体受容基板３０５と、液状体受容基板３０５を当該基板の面方向に移動させるための基板移動装置３０６と、液状体受容基板３０５上に配置された液状体の体積を測定するための体積測定装置３０７とを備えている。

また、吐出量測定システム３００は、制御回路基板３０２を介して吐出ヘッド１１，１２の駆動を制御し、基板移動装置３０６の駆動を制御し、重量計量装置３０４及び体積測定装置３０７の計量動作を制御し、計量結果を基に演算を行うためのパーソナルコンピュータ（ＰＣ）３０８を備えている。

制御回路基板３０２は、上記制御回路基板３０と同じ構成である。また、液状体受容容器３０３は、液状体に侵食されない材質のものであれば何でもよいが、開口部にスポンジ等の多孔質部材を配置するなどして、液状体の揮発を抑える構成となっていることが好ましい。また、重量計量装置３０４には、一般的な電子天秤を用いることができる。また、体積測定装置３０７には、白色干渉法を用いた三次元形状測定装置などを用いることができる。

以上のような構成を有する吐出量測定システム３００では、重量計量装置３０４と体積測定装置３０７との２種類の計測装置を用いて、各ノズルｎの吐出量を重量又は体積として測定することができる。このうち、重量計量装置３０４は、ノズルアレイ１０の全体における平均的な吐出量を高速且つ高精度に測定するのに適している。一方、体積測定装置３０７は、各ノズルｎの個々における吐出量を測定するのに適している。

次に、上記吐出量測定システム３００を用いて、各ノズルｎから吐出された液状体の吐出量を測定した後に、各ノズルｎを複数のグループに分類し、グループ毎に補正された駆動条件（適正駆動電圧）を設定する手順（ＣＯＭの設定手順）について、図８に示すフローチャートに従って説明する。

ＣＯＭを設定する際は、先ず、図８に示すステップＳ２０１において、吐出ヘッド１１，１２を上記吐出量測定システム３００に取り付けた状態において、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂ内の全ノズル（ダミーノズルを除く。）ｎにおける吐出量の平均値を測定する。具体的には、各ノズルｎについてまとまった回数（例えば１０万回）の吐出を行い、その総重量を重量計量装置３０４で計量し、計量結果を除算して測定する。この測定は、２条件の駆動電圧Ｖｈ（例えば、２０Ｖと３０Ｖ）の下でそれぞれ行う。

次に、図８に示すステップＳ２０２において、測定した２条件における駆動電圧Ｖｈと吐出量の平均値との関係を線形補完して、基準吐出量（仕様に応じた設計値）の吐出量の平均値を得るための基準駆動電圧Ｖｓを算出する。また、図８に示すステップＳ２０３において、駆動電圧Ｖｈに対する吐出量の平均値の変化率を、吐出量を駆動電圧Ｖｈによって補正する際の相関係数αとして算出する。

次に、図８に示すステップＳ２０４において、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの全圧電素子に駆動電圧Ｖｈ＝Ｖｓの駆動信号を供給して、液状体受容基板３０５に対し液状体の吐出を行い、その吐出量を測定する。

液状体受容基板３０５の表面には撥液処理がされているため、各ノズルｎから吐出された液状体は、それぞれ基板Ｐ上において独立した半球状の液滴を形成する。そして、この液滴の三次元形状を体積測定装置３０７で測定し、パーソナルコンピュータ３０８で測定データを解析することで、吐出量が得られる。なお、各ノズルｎの１回当たりの吐出量は極めて小さいため、液滴の体積測定（吐出量測定）の精度を上げるべく、各ノズルｎの吐出は、基板Ｐ上の同一箇所に重ねて複数回（例えば３回）行うようにしている。

ここで、上記ステップＳ２０４において測定された各ノズルｎの吐出量をノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの並び方向での空間分布として示すと、図９に示すようなグラフとなる。なお、図９中に示すグラフでは、各ノズルｎの吐出量を基準吐出量に対する相対比（％）で表している。

図９に示すように、吐出ヘッド１１，１２では、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの端部付近にあるノズルｎの吐出量が相対的に多く、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの中央付近にあるノズルｎで吐出量が相対的に少ない傾向がある。

次に、図８に示すステップＳ２０５において、上記ステップＳ２０４での測定に基づき、各ノズルｎのグループ設定を行う。本実施形態では、測定した各ノズルｎの吐出量の順序（吐出量の多い方を上位、吐出量の少ない方を下位とする）に従い、最下位から順に１４個のノズルをグループＡ、グループＡのさらに上位の１４個のノズルをグループＢ、グループＢのさらに上位の１３個のノズルをグループＣ、グループＣのさらに上位の１３個のノズルをグループＤとしてそれぞれ分類する。

次に、図８に示すステップＳ２０６において、グループＡ〜Ｄ毎に各ノズルｎの吐出量の差が小さくなる適正条件、すなわち各グループＡ〜Ｄに対応する適正な駆動電圧Ｖｈ（以下、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤという。）を算出する。

各グループＡ〜Ｄの適正条件については、自由に設定することが可能である。本実施形態では、グループＡ〜Ｄに係る吐出量の統計値をそれぞれ基準吐出量に一致させるための適正駆動電圧ＶｈＡ〜ＶｈＤを、上記ステップＳ２０４における吐出量の測定値、相関係数α、及び基準駆動電圧Ｖｓを基に算出する。

ここで、グループＡ〜Ｄに係る吐出量の統計値とは、各グループに含まれる複数のノズルｎの吐出量の統計から得られる数値のことを言う。本実施形態では、各グループＡ〜Ｄに含まれるノズルｎの吐出量の平均値を採用している。これにより、グループＡ〜Ｄのノズルｎからそれぞれ平均的に滴量（基準吐出量）の液状体を吐出させるための段階的な適正駆動電圧ＶｈＡ〜ＶｈＤが得られる。

なお、本実施形態では、上述した各グループＡ〜Ｄに含まれるノズルｎの吐出量の平均値の他にも、各グループＡ〜Ｄに含まれるノズルｎの吐出量の中央値をグループに係る吐出量の統計値として採用してもよい。

本実施形態における適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、基準駆動電圧Ｖｓに対する相対比として設定される。例えば、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、それぞれ１０１．８％、１００．７％、９９．４％、９７．９％として設定される。このように、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤを相対比で規定することによって、例えば、液状体の粘度が変化して吐出量が一様に変化するような事態が起こった場合に、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂ全体の吐出量の平均値を測定して、基準駆動電圧Ｖｓを再設定すれば済むという利点がある。

次に、図８に示すステップＳ２０７において、各ノズルｎに対応させるべき駆動電圧を適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤの中からグループＡ〜Ｄ毎に選択して設定する。なお、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、上述した制御部である制御回路基板３０において、４つのＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４にそれぞれ供給される駆動信号（ＣＯＭ）に対応させることができる。

なお、各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の適正条件（駆動電圧Ｖｈ）を設定する場合、グループＡ〜Ｄ毎に当該グループに対応する適正駆動電圧をまとめて設定する方法も考えられる。しかしながら、グループＢやグループＤのように、吐出量の分布の範囲（レンジ）が比較的広いグループには、統計値から大きく離れた吐出量のノズルｎが含まれており、このようなノズルｎについて当該グループの統計値を基礎とした適正駆動電圧を設定することは、必ずしも好ましい方法とは言えない。

そこで、本実施形態では、ノズルｎ毎に、各グループＡ〜Ｄに対応する４つの適正駆動電圧うち、当該ノズルの吐出量に最も近い統計値に係るグループに対応するものを選択して設定するようにしている。これにより、ノズルｎの特性に応じた駆動信号を、より高精度に設定することができる。

例えば、図９に示すグラフでは、グループＡ内のノズルについては、全て適正駆動電圧ＶｈＡが設定される。また、グループＢのノズルの場合、多くのノズルについて適正駆動電圧ＶｈＢが設定されるが、例えば、ノズル番号８のノズルについて適正駆動電圧ＶｈＣが、ノズル番号１５のノズルについて適正駆動電圧ＶｈＡが設定される。このように、吐出量の分布の範囲（レンジ）が比較的広いグループでは、前後の序列に係るグループとの境界近くのノズルについて、当該前後の序列に係るグループに対応する適正駆動電圧が設定されることがある。

なお、グループの分類の方法、特に、各グループを構成するノズル数は、必ずしも上記実施形態のものに限定されるものではない。しかしながら、駆動電圧Ｖｈはグループ単位に準じて設定されるものであるため、各グループを構成するノズル数をほぼ均等にすることが好ましい。これにより、各適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ、すなわち各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に対応するノズルｎの数の不均衡を生じにくくすることができる。すなわち、ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４におけるノズルｎの対応数は、駆動信号（ＣＯＭ）の歪み（エレキクロストーク）等に影響しているので、なるべくＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４間の不均衡が生じないように、各グループＡ〜Ｄを構成するノズルｎの数を均等にすることが好ましい。

図６に示すステップＳ１０１（ＣＯＭの設定）では、上記吐出ヘッド１１，１２のノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成する全てのノズルｎに対してグループＡ〜Ｄの分類を行うわけではなく、上述した複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択されたノズルｎに対してグループＡ〜Ｄの分類を行う。すなわち、グループＡ〜Ｄの分類の対象となるノズルｎは、駆動信号（ＣＯＭ）の供給が行われるノズルｎであり、ダミーノズルや非吐出のノズルｎについては対象外となる。

次に、ＣＯＭの設定後に、図６に示すステップＳ１０２において、補正量の設定を行う。具体的には、上記ステップＳ１０１で選択された各ノズルｎの補正された駆動条件（適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ）に基づき、複数回の吐出を行うときの各回の吐出量から、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を算出する。そして、この配置量が目標値に近くなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、各ノズルｎの吐出毎に補正された駆動条件を設定する。

ステップＳ１０２では、各回の吐出量の中から、一の吐出量を補正することにより液状体の配置量が目標値に最も近くなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、一の吐出量の補正量を設定する。

ここで、補正量の具体的な設定方法について、例えば図１０に示すように、１つのノズルｎからＮ（Ｎは２以上の整数を表す。）回のショット数で所定量の液滴（液状体）ｉを吐出し、１つの画素（配置領域５０）に対して所定量の液状体を配置する場合を例に挙げて説明する。

先ず、補正前のノズルｎから１〜Ｎショット目に吐出される液滴ｉの吐出量をそれぞれＩｗ_１〜Ｉｗ_Ｎとしたときに、画素（配置領域５０）内に配置される液状体の配置量（画素内液量という。）Ｖ_０は、下記式（１）として表される。
Ｖ_０＝Ｉｗ_１＋Ｉｗ_２＋・・・＋Ｉｗ_Ｎ−１＋Ｉｗ_Ｎ …（１）

また、目標値をＶｔとすると、画素内液量Ｖ_０と目標値Ｖｔとの差分Ｖｄは、下記式（２）で表される。
Ｖｄ＝Ｖ_０−Ｖｔ …（２）

本実施形態の設定方法では、この差分Ｖｄが０（Ｖｔ＝Ｖ_０）となるように、ショット毎に補正量の設定を行う。具体的には、先ず、１ショット目の吐出量Ｉｗ_１を補正して、差分Ｖ_ｄが０に近くなる補正量を設定する。

１ショット目の吐出量Ｉｗ_１の補正量をＩｗ_１’とすると、１ショット目の補正後吐出量は、Ｉｗ_１＋Ｉｗ_１’となる。この１ショット目の補正後吐出量に対応する駆動電圧［Ｖ］をＶａ_１とし、補正前の駆動電圧［Ｖ］をＶａとし、１ショット目の重量分解能［ｎｇ／Ｖ］をｗ_１とすると、Ｖａ_１は、下記式（３）で表される。
Ｖａ_１＝Ｖａ＋Ｉｗ_１／ｗ_１ …（３）

ここで、１ショット目の補正前吐出量Ｉｗ_１に対応する駆動電圧は、上述したグループＡ〜Ｄ毎に設定された適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤである。これらの適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、ヘッド電圧（駆動電圧Ｖｈ）と、グループＡ〜Ｄ毎に設定されたＣＯＭ電圧比［％］との積で表される。

したがって、１ショット目の補正後吐出量に対応するＣＯＭ電圧比［％］をＲｃ_１とし、補正前のＣＯＭ電圧比［％］をＲｃとすると、上記式（３）中のＶａ及びＶａ_１は、それぞれ下記式（４），（５）で表される。
Ｖａ＝Ｖｈ×Ｒｃ …（４）
Ｖａ_１＝Ｖｈ×Ｒｃ_１ …（５）

したがって、上記式（４），（５）を上記式（３）に代入すると、Ｒｃ_１は、下記式（６）で表される。
Ｒｃ_１＝Ｒｃ＋（Ｉｗ_１／ｗ_１）／Ｖｈ …（６）

一方、１ショット目の補正量Ｉｗ_１’を加えた画素内液量Ｖ_１は、下記式（７）として表される。
Ｖ_１＝（Ｉｗ_１＋Ｉｗ_１’）＋Ｉｗ_２＋・・・＋Ｉｗ_Ｎ−１＋Ｉｗ_Ｎ
＝Ｖ_０＋Ｉｗ_１’ …（７）

ここで、１ショット目の補正量Ｉｗ_１’は、上述したグループＡ〜Ｄ毎毎に割り当てられる駆動電圧（適正駆動電圧）の設定可能な範囲で割り出された数値である。このため、１ショット目の補正量Ｉｗ_１’だけで、上述した差分Ｖｄが０（Ｖｔ＝Ｖｄ）になることはほとんどない。

そこで、本実施形態の設定方法では、補正量が設定された回を除く残りの吐出量の中から、一の吐出量を補正することにより液状体の補正量を加えた配置量が目標値に最も近くなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、一の吐出量の補正量を設定する。

具体的には、１ショット目の補正量Ｉｗ_１’を加えた画素内液量Ｖ_１と目標値Ｖｔとの差分Ｖｄ_１が０（Ｖｔ＝Ｖ_１）となるように、２ショット目の吐出量Ｉｗ_２を補正して、差分Ｖ_ｄ１が０に近くなる補正量Ｉｗ_２’を設定する。

この場合、１ショット目の補正量Ｉｗ_１’を加えた画素内液量Ｖ_１と目標値Ｖｔとの差分Ｖｄ_１は、下記式（８）で表される。
Ｖｄ_１＝Ｖ_１−Ｖｔ＝（Ｖ_０＋Ｉｗ_１’）−Ｖｔ
＝Ｖｄ＋Ｉｗ_１’ …（８）

２ショット目以降（Ｎ≧２）の補正量Ｉｗ_Ｎ’の設定については、１〜Ｎショット目の補正量Ｉｗ_１’＋・・・＋Ｉｗ_Ｎ’を加えた画素内液量Ｖ_Ｎと目標値Ｖｔとの差分Ｖｄ_Ｎが０（Ｖｔ＝Ｖ_Ｎ）となるように、２ショット目以降の吐出量Ｉｗ_Ｎを補正して、差分Ｖ_ｄＮが０に近くなる補正量Ｉｗ_Ｎ’を設定する。

そして、本実施形態の設定方法では、液状体の補正量を加えた配置量が目標値と一致するまで、上述した補正量の設定を繰り返す。そして、液状体の補正量を加えた配置量が目標値と一致した場合は、上述した補正量の設定を終了する。若しくは、全ての回の吐出量を補正した時点で、上述した補正量の設定を終了する。

なお、本実施形態の設定方法では、Ｎ回のショット数のうち、１ショット目から順にＮショット目に向けて補正量の設定を行う場合を例示したが、Ｎショット目（最終回）から順に１ショット目に向けて補正量の設定を行ってもよい。さらに、補正量の設定を行う順序については、Ｎ回のショット数の中から任意の順（例えばランダム）で行うことが可能である。

上述したように、各配置領域５０において選択されるノズル数が少なくなるほど、各ノズルｎのショット数毎の吐出量の差（バラツキ）による影響が大きくなる。その結果、各配置領域５０に配置される液状体の配置量のバラツキが大きくなる。

これに対して、本実施形態の駆動設定方法では、複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択された各ノズルｎを複数のグループＡ〜Ｄに分類し、グループＡ〜Ｄ毎に補正された駆動条件（適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ）を設定した後に、各ノズルｎの吐出毎に補正された駆動条件（補正量Ｉｗ_１’〜Ｉｗ_Ｎ’）を設定する。これにより、各ノズルｎの吐出毎の吐出量Ｉｗ_１〜Ｉｗ_Ｎの差による影響を小さくすることができる。

したがって、この駆動設定方法によれば、複数の配置領域５０において液状体の吐出が選択されるノズル数が少なくなる場合でも、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能である。

（駆動設定プログラム）
次に、上記液状体吐出装置２００の具体的な駆動設定プログラムについて説明する。
本実施形態の駆動設定プログラムは、上記本実施形態の駆動設定方法を実行するための制御プログラムであり、各吐出ヘッド１１，１２の駆動を制御する制御回路基板（制御部）３０において、各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の適正条件（駆動電圧Ｖｈ）を設定する。

制御回路基板３０は、コンピュータ（ＣＰＵ等）を含み、内部のメモリ（記憶手段）に記憶された制御プログラム（本発明の駆動設定プログラム）に従って、上述した本実施形態の駆動設定方法を実行する。また、この駆動設定プログラムは、制御回路基板３０のメモリに記憶（格納）されたものに限らず、外部の記憶装置や記録媒体等に記録することも可能である。

本実施形態の駆動設定プログラムによれば、複数の配置領域５０において液状体の吐出が選択されるノズル数が少なくなる場合でも、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能な複数のノズルｎの駆動条件を設定し、液状体吐出装置２００の制御回路基板３０に対して実行させることが可能である。

なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

すなわち、本発明は、上記実施形態のようにＣＯＭ設定の後に補正量の設定を行う場合に限らず、ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置において、吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、ノズルから複数回の吐出を行うことにより、吐出対象物に設けられた配置領域に対して所定量の液状体を配置する際に、ノズルの駆動条件を設定する場合に適用可能である。

ここで、本発明による液状体吐出装置の駆動条件設定方法について、図１１及び図１２に示すフローチャートに従って説明する。
本発明による液状体吐出装置の駆動条件設定方法は、図１１に示すように、複数回の吐出の各回における吐出量の総和である総吐出量の目標値として目標総吐出量を設定し、目標総吐出量に基づいて、ノズルに対して複数回の吐出の各回における駆動条件を設定する駆動条件設定工程Ｓ２０１と、複数回の吐出のうち少なくとも一つの回において吐出量の補正を行う吐出量補正工程Ｓ２０２と、を含む。

また、吐出量補正工程Ｓ２０２では、先ず、図１２に示すステップＳ３０１（Ａステップ）において、複数回の吐出の各回に設定された駆動条件に基づいて、複数回の吐出の各回の吐出量を取得し、総吐出量を算出する。

次に、図１２に示すステップＳ３０２（ステップＢ）において、複数回の吐出のうち、一つの回の吐出を選択する。

次に、図１２に示すステップＳ３０３（ステップＣ）において、上記Ｂステップで選択した一つの回の吐出において、一つの回の吐出の吐出量と、目標総吐出量と、総吐出量とに基づいて、吐出量を補正するための駆動条件の変更を行う。

次に、図１２に示すステップＳ３０４（Ｄステップ）において、上記Ｃステップで変更した駆動条件に基づいて、上記Ｂステップで選択した一つの回の吐出の補正された吐出量を取得し、総吐出量を再算出する。

次に、図１２に示すステップＳ３０５において、上記Ｄステップで算出した総吐出量が目標総吐出量と一致しない場合は、上記Ｂステップと、上記Ｃステップと、上記Ｄステップとを、この順で繰り返す。

上記Ｂステップと、上記Ｃステップと、上記Ｄステップとを、この順で繰り返す場合、上記Ｂステップにおいては、複数回の吐出のうち、未だ駆動条件の変更が行われていない回の吐出から、一つの回の吐出を選択する。

この場合、１回目の吐出から順に最終回の吐出に向けて、吐出量補正工程を完了するまで、上記Ｂステップと、上記Ｃステップと、上記Ｄステップとを繰り返し実施してもよい。一方、最終回の吐出から順に１回目の吐出に向けて、吐出量補正工程を完了するまで、上記Ｂステップと、上記Ｃステップと、上記Ｄステップとを繰り返し実施してもよい。

図１２に示すステップＳ３０５において、上記Ｄステップで算出した総吐出量が目標総吐出量と一致した場合は、吐出量補正工程Ｓ２０２を完了する。また、複数回の吐出の全ての回の駆動条件を変更した場合も、吐出量補正工程を完了する。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、最小補正量を予め設定し、上記Ｄステップで算出した総吐出量と目標総吐出量とを一致させるために必要な補正量が、最小補正量よりも小さい場合、吐出量補正工程を完了してもよい。

本発明による液状体吐出装置の駆動条件設定方法では、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。したがって、配置領域において液状体の吐出が選択されるノズル数が少なくなる場合でも、配置領域に配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることが可能である。

なお、上記実施形態における「ステップＳ１０１（ＣＯＭの設定）」が本発明における「駆動条件設定工程Ｓ２０１」に相当し、上記実施形態における「ステップＳ１０２（補正量の設定）」が本発明における「吐出量補正工程Ｓ２０２」に相当する。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出の各回における吐出補正量が略均一となるように、上記最小補正量を設定してもよい。この場合、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、上記Ｃステップの駆動条件の変更において、総吐出量と目標総吐出量との差が小さくなるように、駆動条件の変更を行うことが好ましい。この場合、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、上記Ｃステップの駆動条件の変更において、目標とする補正量を目標補正量として設定し、この目標補正量に基づいて駆動条件の変更を行ってもよい。

具体的には、上記Ｃステップにおいて、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量を目標補正量とすることができる。この場合、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量と一致させることができる。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、上記Ｃステップの駆動条件の変更において、最大補正量を予め設定し、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量が最大補正量よりも大きい場合、最大補正量を目標補正量としてもよい。この場合、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。

一方、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量が最大補正量よりも小さい場合には、目標総吐出量と総吐出量とを一致させるために必要な補正量を目標補正量としてもよい。この場合、配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量と一致させることができる。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、複数回の吐出の各回における補正量が略均一となるように、最大補正量を設定してもよい。この場合、複数回の吐出の各回における吐出量の差による影響を小さくすることができる。

また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法において、駆動条件は、駆動素子に印加する駆動電圧波形であり、駆動条件の変更は、駆動電圧波形の変更であり、複数回の吐出の各々における駆動電圧波形の変更可能範囲に基づき、最大補正量を設定してもよい。この場合、駆動条件の変更を精度良く行うことができる。

なお、上記液状体吐出装置による液状体の配置例としては、上述した有機ＥＬパネル（ディスプレイ）の発光層（素子膜）を形成する場合を挙げて説明したが、有機ＥＬディスプレイにおける素子膜の形成の他にも、例えば、液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタの形成や、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜の形成、電気回路における導電配線や抵抗素子の形成などが挙げられる。特に、上述した配置領域（例えば画素）５０の長手方向に沿って吐出ヘッド１１，１２を走査する場合（縦描画という。）、その配置領域において液状体の吐出が選択されるノズルｎの数が少なくなり、その分だけ１つのノズルから吐出される液状体の吐出回数（ショット数）が多くなる。このような場合に本発明を好適に用いることが可能である。

以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。

本実施例では、上述した図１０に示す１つのノズルｎから８回（Ｎ＝８）のショット数で所定量（１０ｎｇ前後）の液滴（液状体）ｉを吐出し、１つの画素（配置領域５０）に対して所定量（目標値Ｖｔとして８０ｎｇ）の液状体を配置する場合において、上記本実施形態の駆動設定方法を用いて、実際に液状体の補正量を加えた配置量が目標値と一致するまで、補正量の設定を行った。

本実施例では、先ず、上記吐出量測定システム３００を用いて、複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択された各ノズルｎを複数のグループＡ〜Ｄに分類し、グループＡ〜Ｄ毎に補正された駆動条件（適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ）を設定した。

本実施例において、１〜８ショット目の補正前吐出量Ｉｗ_１〜Ｉｗ_８に対応する駆動電圧Ｖａは、ヘッド電圧（Ｖｈ）を２５Ｖとし、ＣＯＭ電圧比Ｒｃを９０．００％とすることで、２２．５Ｖに設定した。これらをまとめたものを表１に示す。また、１〜８ショット目の重量分解能ｗ_１〜ｗ_８は、表１に示すとおり、例えば０．５〜０．８ｎｇ／Ｖといった値になる。

したがって、１〜８ショット目の補正前吐出量Ｉｗ_１〜Ｉｗ_８と、それらの合計値である補正前の画素内液量Ｖ_０とは、表２中の左側に示すとおりである。

ここで、補正前の画素内液量Ｖ_０は、８２．９６ｎｇであり、目標値Ｖｔは８０．００ｎｇであるため、その差分Ｖｄは、＋２．９６ｎｇである。そこで、１ショット目の吐出量Ｉｗ_１を補正して、差分Ｖ_ｄが０に近くなる補正量Ｉｗ_１’を設定した。

その結果、ノズルｎに割り当てられた適正駆動電圧の設定可能範囲で割り出された補正量Ｉｗ_１’は、−１．８１ｎｇであった。一方、１ショット目の補正量Ｉｗ_１’を加えた画素内液量Ｖ_１は、８１．１５ｎｇとなった。その結果を表３に示す。

次に、表２及び表３に示すように、補正量Ｉｗ_１’を加えた補正後の画素内液量Ｖ_１〜Ｖ_７が目標値Ｖｔと一致するまで、１ショット目と同様に、２ショット目以降の吐出量Ｉｗ_２〜Ｉｗ_８を補正した。その結果、６ショット目の補正量Ｉｗ_６’を設定した時点で、補正後の画素内液量Ｖ_５が目標値Ｖｔと一致したため、それ以降の補正量の設定を行わず（Ｉｗ_７’，Ｉｗ_８’＝０）、補正量の設定を終了した。その結果を表３にまとめて示す。また、１〜８ショット目の補正後吐出量と、それらの合計値である補正後の画素内液量とは、表２中の右側に示すとおりである。

以上のように、本実施例によれば、上述した補正量の設定を繰り返し行うことで、ノズルｎの吐出毎の吐出量の差による影響を小さくし、画素（配置領域５０）内に配置される液状体の配置量（画素内液量）を目標値に近づける若しくは一致させることが可能である。

２００…液状体吐出装置 １０…ヘッドユニット １１，１２…吐出ヘッド ２１Ａ，２１Ｂ…ノズルアレイ ３０…制御回路基板（制御部） ５０…配置領域 ｎ…ノズル Ｐ…基板（吐出対象物）

Claims (18)

1. ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置において、前記吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、前記ノズルから複数回の吐出を行うことにより、吐出対象物に設けられた配置領域に対して所定量の液状体を配置する際に、前記ノズルの駆動条件を設定する液状体吐出装置の駆動設定方法であって、
   前記複数回の吐出の各回における吐出量の総和である総吐出量の目標値として目標総吐出量を設定し、前記目標総吐出量に基づいて、前記ノズルに対して前記複数回の吐出の各回における駆動条件を設定する駆動条件設定工程と、
   前記複数回の吐出のうち少なくとも一つの回において吐出量の補正を行う吐出量補正工程と、を有し、
   前記吐出量補正工程は、
   前記複数回の吐出の各回に設定された前記駆動条件に基づいて、前記複数回の吐出の各回の吐出量を取得し、前記総吐出量を算出するＡステップと、
   前記複数回の吐出のうち、一つの回の吐出を選択するＢステップと、
   前記Ｂステップで選択した前記一つの回の吐出において、前記一つの回の吐出の吐出量と、前記目標総吐出量と、前記総吐出量とに基づいて、吐出量を補正するための前記駆動条件の変更を行うＣステップと、
   前記Ｃステップで変更された前記駆動条件に基づいて、前記Ｂステップで選択した前記一つの回の吐出の補正された吐出量を取得し、前記総吐出量を再算出するＤステップと、を含むことを特徴とする液状体吐出装置の駆動設定方法。
2. 前記Ｂステップと、前記Ｃステップと、前記Ｄステップとを、この順で繰り返し行うことを特徴とする請求項１に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
3. 前記Ｂステップにおいて、
   前記複数回の吐出のうち、未だ前記駆動条件の変更が行われていない回の吐出から、一つの回の吐出を選択することを特徴とする請求項２に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
4. 前記Ｄステップで算出した前記総吐出量が前記目標総吐出量と一致している場合、前記Ｄステップを実施した後に、前記吐出量補正工程を完了することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
5. 前記複数回の吐出の全ての回の駆動条件を変更した場合、前記Ｄステップを実施した後に、前記吐出量補正工程を完了することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
6. 最小補正量を予め設定し、前記目標総吐出量と前記総吐出量とを一致させるために必要な補正量が前記最小補正量よりも小さい場合、前記吐出量補正工程を完了することを特徴とすることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
7. 前記複数回の吐出の各回における前記吐出補正量が略均一となるように、前記最小補正量を設定することを特徴とする請求項６に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
8. 前記Ｃステップの前記駆動条件の変更において、
   前記総吐出量と前記目標総吐出量との差が小さくなるように、前記駆動条件の変更を行うことを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
9. 前記Ｃステップの前記駆動条件の変更において、
   目標とする補正量を目標補正量として設定し、前記目標補正量に基づいて前記駆動条件の変更を行うことを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
10. 前記Ｃステップにおいて、
    前記目標総吐出量と前記総吐出量とを一致させるために必要な補正量を前記目標補正量とすることを特徴とする請求項９に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
11. 最大補正量を予め設定し、
    前記Ｃステップの駆動条件の変更において、前記目標総吐出量と前記総吐出量とを一致させるために必要な補正量が前記最大補正量よりも大きい場合、前記最大補正量を前記目標補正量とすることを特徴とする請求項９に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
12. 最大補正量を予め設定し、
    前記Ｃステップの駆動条件の変更において、前記目標総吐出量と前記総吐出量とを一致させるために必要な補正量が前記最大補正量よりも小さい場合、前記目標総吐出量と前記総吐出量とを一致させるために必要な補正量を前記目標補正量とすることを特徴とする請求項９に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
13. 前記複数回の吐出の各回における補正量が略均一となるように、前記最大補正量を設定することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
14. 前記吐出ヘッドは、前記ノズルに対応して設けられた駆動素子を有し、
    前記複数回の吐出の各々を、前記駆動素子を駆動することにより行い、
    前記駆動条件は、前記駆動素子に印加する駆動電圧波形であり、前記駆動条件の変更は、前記駆動電圧波形の変更であり、前記複数回の吐出の各々における前記駆動電圧波形の変更可能範囲に基づき、前記最大補正量を設定することを特徴とする請求項１１〜１３の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
15. 前記吐出ヘッドは、前記ノズルに対応して設けられた駆動素子を有し、
    前記複数回の吐出の各々を、前記駆動素子を駆動することにより行い、
    前記駆動条件は、前記駆動素子に印加する駆動電圧波形であり、前記駆動条件の変更は、前記駆動電圧波形の変更であることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
16. 前記複数回の吐出のうち、１回目の吐出から順に最終回の吐出に向けて、前記吐出量補正工程を完了するまで、前記Ｂステップと、前記Ｃステップと、前記Ｄステップとを繰り返し実施することを特徴とする請求項１〜１５の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
17. 前記複数回の吐出のうち、最終回の吐出から順に１回目の吐出に向けて、前記吐出量補正工程を完了するまで、前記Ｂステップと、前記Ｃステップと、前記Ｄステップとを繰り返し実施することを特徴とする請求項１〜１５の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
18. ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置において、前記吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、前記ノズルから複数回の吐出を行うことによって、前記吐出対象物へ液状体を供給する際に、前記ノズルの駆動条件を設定する液状体吐出装置の駆動設定プログラムであって、
    請求項１〜１７の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法を実行することを特徴とする液状体吐出装置の駆動設定プログラム。

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