JP2009090187A - 液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法、有機ｅｌ表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液状体の配置ムラを目立たなくすることができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いたカラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法及び有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら上記ノズルから液状体５を吐出することにより、上記基板上に設定された複数の画素部２に対して液状体５をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、画素部２に複数箇所配置される液状体５の重量の分布を異ならせた複数種の重量配置パターン１００を用いて、液状体５を配置する工程を有するという構成を採用する。
【選択図】図７

Description

本発明は、液滴吐出法を用いた液状体配置方法と、それを用いたカラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法に関する。

近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されており、例えば、特許文献１には、液体吐出法を用いた液体表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。この製造方法では、基板に対して走査する複数のノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素に対応した着色膜を形成するようになっている。
特開２００３−１５９７８７号公報

ところで、液体吐出法を用いた成膜技術において、液状体の吐出特性（吐出量）には、僅かながらもノズル間でバラツキが存在するため、これに起因して走査方向に直交する方向に液状体の配置量のバラツキが生じ、カラーフィルタにおけるスジ状の濃淡ムラを発生させることがある。このようなスジ状の濃淡ムラは視認されやすく、カラーフィルタを介して表示される画像の画質を低下させる原因となる。

本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、液状体の配置ムラを目立たなくすることができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いたカラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法及び有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供することを目的としている。

上記の課題を解決するために、本発明は、複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら上記ノズルから液状体を吐出することにより、上記基板上に設定された複数の所定領域に対して上記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、上記所定領域に複数箇所配置される上記液状体の重量の分布を異ならせた複数種の配置パターンを用いて、上記液状体を配置する工程を有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、所定領域内で液状体の重量分布を異ならせることで、該所定領域内で意図的にムラを付加させることにより、スジ状の（１次元的な）ムラが相対的に視認しにくくなる。

また、本発明においては、予め複数の上記配置パターンを設定しておき、上記所定領域ごとに、上記配置パターンのいずれか一つを選択するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、液状体を配置する都度に配置パターンを設定することがなくなり、配置パターンの選択により、所定領域内で意図的にムラを付加させることができる。

また、本発明においては、隣り合う上記所定領域ごとに、異なる上記配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、隣り合う所定領域同士が異なる配置パターンで液状体が配置されることとなり、よりスジ状のムラが視認しにくくなる。

また、本発明においては、隣り合う少なくとも２つの上記所定領域を１つのグループとし、各上記グループで、上記液状体の重量の分布を異ならせた少なくとも２つの上記配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、隣り合う所定領域のグループ内において異なる配置パターンを有する所定領域が確実に存在するため、同一の配置パターンを有する所定領域が直線的に連続して設けられることを抑制でき、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。

また、本発明においては、上記グループで、上記所定領域ごとに用いられた上記配置パターンと同一の配置様式を有する上記グループを繰り返し用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、配置パターンの選択をパターン化することによって、スジ状のムラを視認しにくくすると供に液状体を配置する作業効率を向上させることができる。

また、本発明においては、上記ノズルと基板とを相対的に走査する走査方向において、上記複数種の配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、ノズル間の吐出量のバラツキに起因して走査方向に特に発生しやすいスジ状のムラを抑制することができる。

また、本発明においては、上記走査方向と交差する副走査方向においても、上記複数種の配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、副走査方向に発生するスジ状のムラを抑制することができる。

また、本発明においては、上記所定領域は、バンクにより区画されているという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、バンクによって、所定領域外への液状体のはみ出しを抑制することができる。

また、本発明においては、上記複数箇所配置される上記液状体の配置数を異ならせた上記複数種の配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、液状体の配置数を増減させて、重量分布を異ならせ、所定領域内で意図的にムラを付加させることができる。

また、本発明においては、上記ノズルから液状体を吐出させる圧電素子の駆動電圧を変化させて、上記液状体の重量の分布を異ならせるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、圧電素子の駆動電圧を変化させることにより、ノズルから吐出される液状体の吐出量を調節して所定領域内の重量分布を異ならせることができる。

また、本発明においては、上記液状体配置方法を用いるカラーフィルタの製造方法を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、スジ状のムラの形成が抑制された高品質のカラーフィルタを製造することができる。

また、本発明においては、上記液状体配置方法を用いる配向膜の製造方法を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、スジ状のムラの形成が抑制された高品質の配向膜を製造することができる。

また、本発明においては、上記液状体配置方法を用いる有機ＥＬ表示装置の製造方法を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、スジ状のムラの形成が抑制された高品質の有機ＥＬ表示装置を製造することができる。

次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に説明においては、本発明の液状体配置方法をカラーフィルタの製造方法に適応した場合の例について説明する。また、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。

先ず、図１及び図２を参照して、カラーフィルタの構成について説明する。
図１は、本実施形態におけるカラーフィルタ１の平面構造を示す模式図である。
図２は、図１におけるカラーフィルタのＡ−Ａ断面図である。
なお、以下の説明及び図１及び図２中、Ｒ、Ｇ、Ｂの文字は、赤（Ｒｅｄ）、緑（Ｇｒｅｅｎ）、青（Ｂｌｕｅ）を示すものとする。

カラーフィルタ１は、カラー用表示パネルに用いられるものであり、図１に示すように、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に対応して着色された画素部（所定領域）２と、画素部２の間に形成された隔壁３とを有している。
また、カラーフィルタ１は、複数の矩形の画素部２が並んだ方形のマトリクス状に形成されており、当該マトリクスの配列は、縦列が同色の画素部２によって形成され、横列が順にＲ、Ｇ、Ｂの画素部２が並ぶ、いわゆるストライプ型の画素配列となっている。
なお、本実施形態におけるカラーフィルタ１は、周知のモザイク型や、デルタ型等の画素配列であっても、また、例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ以外の色要素を含むものであっても良い。

隔壁３は、図２に示すように、ガラスの透光性の基板４上に立設されて、矩形の画素部２を形成するものであり、光を遮光する遮光部６と、遮光部６上に設けられるバンク７とを有している。
遮光部６は、例えば、クロム等の遮光材料で基板４上に所定の領域を複数形成する様にパターン形成され、バンク７は、その遮光部６上にパターン形成される。
画素部２は、バンク７によって区画された同形状の区画領域であり、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の液状体５（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）が配置され所望の加熱処理を経ることによって着色される。

ここで、液状体５は、バンク７で区画された所定領域としての画素部２に対して配置されるが、液状体５が画素部２に合わせて正確に配置されるように、画素部２の底部を形成する基板４の露出面に親液化処理を、バンク７の表面に撥液化処理を予め施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理により行うことができる。
なお、バンク７の形成は、液状体５の配置（パターニング）を高精度に行うための好ましい実施形態であり、画素部２を形成するためにこのような物理的な区画が必ずしも必要という訳ではない。

さらに、カラーフィルタ１は、液状体５が配置された側に不図示の保護層を設ける構成となっており、Ｒ、Ｇ、Ｂに着色された画素部２の一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行うこととなる。

次に、図３、図４及び図５を参照して、本発明の液状体配置方法を用いてカラーフィルタ１を製造する液状体吐出装置１０の構成について説明する。
図３は、液状体吐出装置１０の要部構成を示す斜視図である。
図４は、液状体吐出装置１０が備えるヘッドユニット２０の構成を示す平面図である。
図５は、ヘッドユニット２０が備えるヘッド２１の構成を示す模式図である。

液状体吐出装置１０は、液状体５を画素部２へ液滴するヘッドユニット２０（後述）と、ヘッドユニット２０を副走査方向に直線的に移動させる副走査ガイド機構３０と、基板４を副走査方向と直交する主走査方向に移動させる主走査ガイド機構４０とを有する構成となっている。
なお、以下の説明において、上記副走査方向をＹ方向、上記主走査方向をＸ方向、Ｘ方向とＹ方向とからなるＸ−Ｙ平面に対して垂直方向であって液状体吐出装置１０の高さ方向をＺ方向と表現して説明することがある。

副走査ガイド機構３０は、基台１１上に設けられたＺ方向に延びる２本の柱部材によって所定の高さに略水平に架設され、Ｙ方向に直線的に設けられた一対のガイドレール３１と、ガイドレール３１に沿ってＹ方向に移動可能に設けられてヘッドユニット２０を有する副走査移動台３２とを有する。
副走査ガイド機構３０は、ガイドレール３１が内部にエアスライダとリニアモータを備えており、ガイドレール３１に接続された副走査移動台３２をＹ方向に移動自在にさせる構成となっている。

主走査ガイド機構４０は、副走査ガイド機構３０の下方であって、平面視で直交する形で設けられ、Ｘ方向に直線的に設けられた一対のガイドレール４１と、ガイドレール４１に沿ってＸ方向に移動可能に設けられた主走査移動台４２とを有する。
主走査ガイド機構４０は、ガイドレール４１が内部にエアスライダとリニアモータを備えており、ガイドレール４１に接続された主走査移動台４２をＸ方向に移動自在にさせる構成となっている。

また、主走査移動台４２は、吐出対象物である基板４を載置するための回転ステージ５０を有しており、回転ステージ５０は、基板４を載置するステージ５１と、ステージ５１をＺ方向に延びる軸線回りに回転させる回転機構５２とを有する。
ステージ５１上には、基板４を位置決めする位置決めピン５１ａが複数設けられており、例えば、位置決めピン５１ａによる空気吸引等の手段によって、基板４をステージ５１上に固定させる構成となっている。
回転機構５２は、ステージ５１の略中央部を下方から支持する形で主走査移動台４２上に設けられ、不図示のモータ等を回転駆動させることによって、Ｚ方向に延びる軸線回りにθ度傾けて基板４の基準軸を主走査方向及び副走査方向に正確に合わせることができる構成となっている。

ヘッドユニット２０は、副走査移動台３２に接続されており、液状体５を吐出するヘッド２１と、ヘッド２１をＺ方向に延びる軸線回りに回転させることで向きを変えるモータ２２とを有する。

ヘッド２１は、ヘッドユニット２０の下部に設けられ、図４に示すように、液状体５を吐出するノズル２３がＹ方向に複数、所定の間隔で直線的に並列されるノズル列２４を有する。
ヘッド２１は、ノズル列２４の各ノズル２３がヘッド２１の内部に設けられた各液室（キャビティ）に連通しており、各液室毎に設けられた圧電素子２５（図６参照）が電気信号により駆動することで液室の容量を変化させて液室に満たされた液状体５の液圧を制御することによって、選択的にノズル２３から液状体５を吐出させることができる構成となっている。
なお、不図示であるが、ヘッドユニット２０には、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色に対応した複数のヘッド２１が設けられている。

モータ２２は、図３に示すように、ヘッド２１に接続されて、ヘッド２１の基準軸をＺ方向に延びる軸線回りにα度傾けてノズル列２４を副走査方向に正確に合わせることができる構成となっている。
また、モータ２２は、積極的にヘッド２１の角度を制御することによって、図５（ａ）に示す、ノズル列２４がＹ方向に一致している状体でのヘッド２１の液状体５の吐出ピッチＰ１を図５（ｂ）示すように、Ｙ方向において吐出ピッチＰ１よりも狭い吐出ピッチＰ２に変化させることも可能な構成となっている。

次に、図６を参照して、液状体吐出装置１０における液状体５の吐出制御方法について説明する。
図６は、液状体吐出装置１０の電気的構成を示す図である。

液状体吐出装置１０は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ６０と、制御コンピュータに接続されてヘッド２１の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板７０とを備えている。

制御コンピュータ６０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ハードディスク、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の内部メモリ、並びにヘッドユニット２０、副走査ガイド機構３０、主走査ガイド機構４０との間でデータ授受を行う各種入出力インターフェース回路等から構成されている。

制御回路基板７０は、フレキシブルケーブル７１を介してヘッド２１に設けられた圧電素子２５と電気的に接続されており、圧電素子２５に対応した、シフトレジスタ（ＳＬ）７２、ラッチ回路（ＬＡＴ）７３、レベルシフタ（ＬＳ）７４、スイッチ（ＳＷ）７５を備えている。

液状体吐出装置１０における吐出制御は次のように行われる。先ず、制御コンピュータ６０は、基板４上に設けられた画素部２における液状体５の配置パターン（後述、図７参照）をデータ化したドットパターンデータを予め記憶しており、当該ドットパターンデータを制御回路基板７０に伝送する。そして、制御回路基板７０は、ドットパターンデータをデコードしてノズル２３毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されてクロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ７２に伝送される。

シフトレジスタ７２に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路７３に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ７４でスイッチ７５用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータがＯＮの場合には、スイッチ７５が開いて圧電素子２５に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータがＯＦＦの場合には、スイッチ７５が閉じられて圧電素子２５に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、ＯＮに対応するノズル２３からは、液状体５が液滴化されて吐出され、吐出された液状体が、基板４上に設けられた画素部２内に配置される。

続いて、上記構成の液状体吐出装置１０を用いてカラーフィルタ１を製造する動作について説明する。

カラーフィルタ１は、画素部２（図１及び図２参照）にＲ、Ｇ、Ｂ各色に対応する色材を含む液状体５（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）を用意し、液状体吐出装置１０（図３参照）を用いて液状体５Ｒ、５Ｇ、５Ｂを基板４上に設けられた画素部２に配置することで形成される。図８に示すように、液状体５を配置するための基板４には、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域が設定されており、該個体領域毎に隔壁３のバンク７によって画素部２の群が形成されている。本実施形態では、画素部２の長辺方向を副走査方向、短辺方向を主走査方向として基板４をステージ５１上に配置する（図３参照）。

液状体吐出装置１０は、主走査ガイド機構４０上に載置された基板４をＸ方向に移動させ、副走査ガイド機構３０に設けられたヘッドユニット２０と相対的に移動させることによって、ヘッド２１に設けられた複数のノズル２３から液状体５を吐出させて、基板４上に設けられた画素部２に液状体５を配置させることとなる（図２参照）。
このとき、通常であれば、ヘッド２１から吐出される液状体５の量は、吐出特性の違いより複数のノズル２３間で吐出量が異なるため、一部の厚さが小さくなる又は大きくなる形状を有する液状体５が画素部２内に配置されて、当該画素部２が主走査方向に連続的に並ぶことで、一次元的なスジ状のムラが生じてしまうこととなる。
したがって、スジ状のムラを抑制するために、以下の異なる配置パターンを用いた液状体配置方法を採用する。

上述したように、液状体５の配置は、配置パターンに基づいて行われる。この配置パターンは、図７に示すように、画素部２の区画に液状体５を４行３列の計１２ドット（箇所）で等間隔に配置し、一つの画素部２内に配置される総重量（ここでは、総重量１２０ｎｇ）を変化させずに、その重量の分布を異ならせた重量配置パターン１００として表すことができる。以下、各重量配置パターン１００Ａ〜１００Ｅについて図７を参照して説明する。
図７（ａ）〜（ｅ）は、画素部２内における液状体５の重量配置パターン１００を示す模式図である。

重量配置パターン１００Ａは、図７（ａ）に示すように、全１２ドットを同一の重量（１０ｎｇ）で液状体５を配置したパターンである。重量配置パターン１００Ａによって配置された液状体５は、画素部２内に略均一の厚さとなって配置されることとなる。

重量配置パターン１００Ｂは、図７（ｂ）に示すように、＋Ｙ方向に向かうにつれて、順次重量が、１１ｎｇ、１０ｎｇ、９ｎｇと減少する重量分布のパターンである。重量配置パターン１００Ｂによって配置された液状体５は、画素部２内において、＋Ｙ方向に向かうにつれて厚さが漸次小さくなる形状となって配置されることとなる。

重量配置パターン１００Ｂとは逆に、重量配置パターン１００Ｃは、図７（ｃ）に示すように、＋Ｙ方向に向かうにつれて、順次重量が、９ｎｇ、１０ｎｇ、１１ｎｇと増加する重量分布のパターンである。重量配置パターン１００Ｃによって配置された液状体５は、画素部２内において、＋Ｙ方向に向かうにつれて厚さが漸次大きくなる形状となって配置されることとなる。

重量配置パターン１００Ｄは、図７（ｄ）に示すように、＋Ｘ方向に向かうにつれて、順次重量が、１１ｎｇ、１０ｎｇ、９ｎｇと減少する重量分布のパターンである。重量配置パターン１００Ｄによって配置された液状体５は、画素部２内において、＋Ｘ方向に向かうにつれて厚さが漸次小さくなる形状となって配置されることとなる。

重量配置パターン１００Ｅは、図７（ｅ）に示すように、＋Ｘ方向端部、且つ、−Ｙ方向端部に配置される位置から、−Ｘ方向端部、且つ、＋Ｙ方向端部に配置される位置に向かうにつれて、順次重量が、１２ｎｇから８ｎｇまで減少する重量分布のパターンである。重量配置パターン１００Ｄによって配置された液状体５は、画素部２内において、＋Ｘ方向端部、且つ、−Ｙ方向端部に配置される位置から、−Ｘ方向端部、且つ、＋Ｙ方向端部に配置される位置に向かうにつれて厚さが漸次小さくなる形状となって配置されることとなる。

なお、重量配置パターン１００Ａ〜１００Ｅに基づく液状体５の重量分布は、上述した構成により、各ノズル２３に連通する液室に設けられた圧電素子２５（図６参照）の駆動電圧を通常よりも、大きく又は小さく変化させ、液室の容量を制御することで、ノズル２３から吐出される液状体５の吐出量を変化させることによって、画素部２内において偏らせることができる。また、液状体５の画素部２内における配置形状は、液状体５に用いられる色材等が有する粘度に起因して形成され、加熱処理を経ても保持される。

（液状体配置方法（第１パターニング））
スジ状のムラを抑制する第１類型として、図９に示すような、液状体配置方法（第１パターニング）が採用できる。
図９は、図８におけるカラーフィルタ１が形成される個体領域の一部を示すものであり、画素部２ごとに重量配置パターン１００が、５つの重量配置パターン１００Ａ〜１００Ｅ（図７参照）からランダムに選択されて液状体５を配置するものである。
なお、以下の説明においては、説明の便宜上、赤色の色材を有する液状体５（５Ｒ）のみについて液状体配置方法の説明を行うが、実際には、緑色の色材を有する液状体５Ｇ及び青色の色材を有する液状体５Ｂについても同様に液状配置方法が用いられる。図９〜図１１中、液状体５Ｇ及び液状体５Ｂが配置される画素部２については、液状体５（５Ｒ）の視認性を向上させるために二点鎖線で示しており、同図中Ａ〜Ｅは、重量配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを示すものとする。

第１パターニングは、図９に示すように、重量配置パターン１００がランダムに選択され、主走査方向及び副走査方向に別の重量配置パターン１００が形成される。つまり、第１パターニングでは、重量分布の異なる別の形状の液状体５が形成されることで、連続的に同一の形状の液状体５が並ぶことを抑制することができ、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。

したがって、上述した本実施形態では、複数のノズル２３と基板４とを相対的に走査させながらノズル２３から液状体５を吐出することにより、基板４上に設定された複数の画素部２に対して液状体５をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、画素部２に複数箇所配置される液状体５の重量の分布を異ならせた複数種の重量配置パターン１００を用いて、液状体５を配置する工程を有するという構成を採用することによって、画素部２内で液状体５の重量分布を異ならせることで、該画素部２内で意図的にムラを付加させることにより、スジ状の（１次元的な）ムラが相対的に視認しにくくなる。

また、本実施形態においては、予め複数の重量配置パターン１００を設定しておき、画素部２ごとに、重量配置パターン１００のいずれか一つを選択するという構成を採用することによって、その都度重量配置パターン１００を設定する必要がなくなり、記憶された重量配置パターン１００を選択することによって画素部２内で意図的にムラを付加させることができる。

また、本実施形態においては、ノズル２３と基板４とを相対的に走査する主走査方向において、複数種の重量配置パターン１００を用いるという構成を採用することによって、ノズル２３間の吐出量のバラツキに起因して走査方向に特に発生しやすいスジ状のムラを抑制することができる。

また、本実施形態においては、主走査方向と直交する副走査方向においても、複数種の重量配置パターン１００を用いるという構成を採用することによって、副走査方向に発生するスジ状のムラを抑制することができる。

また、本実施形態においては、ノズル２３から液状体５を吐出させる圧電素子２５の駆動電圧を変化させて、液状体５の重量の分布を異ならせるという構成を採用することによって、圧電素子２５の駆動電圧を変化させることにより、ノズル２３から吐出される液状体５の吐出量を調節して画素部２内の重量分布を容易に異ならせることができる。

（液状体配置方法（第２パターニング））
スジ状のムラをより確実に抑制する第２類型として、図１０に示すような、液状体配置方法（第２パターニング）が採用できる。
第２パターニングは、重量配置パターン１００を５つの重量配置パターン１００Ａ〜１００Ｅ（図７参照）から、隣り合う画素部２が互いに異なるように選択して、液状体５を配置するものである。

第２パターニングでは、図１０に示すように、ある画素部２に対して主走査方向及び副走査方向に、異なる重量配置パターン１００で配置された液状体５を有する画素部２が形成されるため、重量分布の異なる別の形状の液状体５が、主走査方向及び副走査方向に確実に存在することとなる。

したがって、本実施形態においては、隣り合う画素部２ごとに、異なる重量配置パターン１００を用いるという構成を採用することによって、隣り合う画素部２同士が異なる重量配置パターン１００で液状体５が配置されることとなり、よりスジ状のムラが視認しにくくなる。

（液状体配置方法（第３パターニング））
スジ状のムラを抑制する第３類型として、図１１に示すような、液状体配置方法（第３パターニング）が採用できる。
第３パターニングは、隣り合う少なくとも２つの画素部２を一つのグループＫとして、グループＫ内で選択されたパターンを連続的に用いることによって、スジ状のムラを視認しにくくするものである。

第３パターニングでは、図１１に示すように、主走査方向の隣り合う３つの画素部２を一つのグループＫとし、グループＫの第一番目を重量配置パターン１００Ａ、第二番目を同じく重量配置パターン１００Ａ、第三番目を重量配置パターン１００Ｂとする。こうすることによって、主走査方向に重量配置パターン１００Ａと重量配置パターン１００Ｂとで配置された液状体５を有する画素部２が形成されるため、別の形状の液状体５が一定のパターン周期で主走査方向に確実に存在することとなる。

したがって、本実施形態においては、隣り合う少なくとも２つの画素部２を１つのグループＫとし、各グループＫで、液状体５の重量の分布を異ならせた少なくとも２つの重量配置パターン１００を用いるという構成を採用することによって、隣り合う画素部２のグループＫ内において異なる重量配置パターン１００を有する画素部２が確実に存在するため、同一の重量配置パターン１００を有する画素部２が直線的に連続して設けられることを抑制でき、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。

また、本実施形態においては、グループＫで、画素部２ごとに用いられた重量配置パターン１００と同一の配置様式を有するグループＫを繰り返し用いるという構成を採用することによって、重量配置パターン１００の選択をパターン化することによって、スジ状のムラを視認しにくくすると供に液状体５を配置する作業効率を向上させることができる。

なお、本実施形態では、副走査方向に同じ重量配置パターン１００が直線的に並ぶことになるが、通常、副走査方向では、用いられるノズル２３が変わるため、吐出特性の違いより、意図的にムラを付与しなくても副走査方向にスジ状のムラが視認されることは少なく、問題はないが、副走査方向にもグループＫを設定しても良い。

以上の液状体配置方法で配置された液状体５を乾燥等により固化させて画素部２に対応した着色膜を形成させ、その上に保護膜を形成することで、スジ状のムラが視認しにくい高品質なカラーフィルタ１が製造されることとなる。

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、本実施形態では、液状体配置方法をカラーフィルタの製造方法に採用した。しかしながら、本発明の液状体配置方法は、当該実施例に限定されるものではなく、配向膜や、有機ＥＬ表示装置の製造方法についても適用可能である。
このような構成を採用することによって、スジ状のムラの形成が抑制された高品質の配向膜及び有機ＥＬ表示装置を製造することができる。

例えば、図１２に示す液晶表示装置５８０は、互いに対向するように配置された素子基板５７４と対向基板５７５と、これらの間に挟持された液晶層７０２と、対向基板５７５に付設された位相差板７１５ａ、偏光板７１６ａと、素子基板５７４に付設された位相差板７１５ｂ、偏光板７１６ｂとが備えられた液晶パネルを主体として構成されている。この液晶パネルに、液晶駆動用ドライバチップと、電気信号を伝達するための配線類、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての液晶表示装置が構成される。

対向基板５７５は、光透過性の基板４と、この基板４に形成されたカラーフィルタ１とを主体として構成されている。カラーフィルタ１は、隔壁３と、画素部２に配置された後加熱されて着色層となった液状体５Ｒ，５Ｇ，５Ｂと、隔壁３及び液状体５Ｒ，５Ｇ，５Ｂを覆う保護膜７０４と、を具備して構成されている。

また、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料からなる液晶駆動用の電極層７０５が保護膜７０４の略全面にわたって形成されている。さらにこの液晶駆動用の電極層７０５を覆って配向膜７１９ａが設けられており、また、素子基板５７４側の画素電極５７９上にも配向膜７１９ｂが設けられている。

素子基板５７４は、光透過性の基板７１４上に図示略の絶縁層が形成され、さらにこの絶縁層の上に、ＴＦＴ素子５７８と画素電極５７９が形成されてなるものである。また、基板７１４上に形成された絶縁層上には、画素電極５７９が設けられ、各画素電極５７９と電気的に接続される位置にＴＦＴ素子５７８が組み込まれている。また、対向基板５７５側に形成された電極層７０５はこの実施形態では画素領域全体をカバーする全面電極とされている。なお、ＴＦＴの配線回路や画素電極形状には様々なものを適用できる。

素子基板５７４と対向基板５７５とは、対向基板５７５の外周縁に沿って形成されたシール材５７３によって所定の間隙を介して貼り合わされている。なお、符号７５６は両基板間の間隔（セルギャップ）を基板面内で一定に保持するためのスペーサである。素子基板５７４と対向基板５７５との間には、平面視略額縁状のシール材５７３によって矩形の液晶封入領域が区画形成され、この液晶封入領域内に、液晶が封入されている。

このような構成を有する液晶表示装置５８０においても、配向膜７１９ａ，７１９ｂを本実施形態の液状配置方法によって形成することによって、液晶表示装置５８０の表示特性を向上させることが可能となる。

また、例えば、図１３に示す有機ＥＬ表示装置１１０では、素子基板１１１と、素子基板１１１上に形成された駆動回路部１１２と、駆動回路部１１２上に形成された発光素子部１１３と、駆動回路部１１２及び発光素子１１３を封止するための封止基板１１４とを備えるものであって、封止基板１１４によって封止された封止空間１１５には、不活性ガスが充填されている。

発光素子部１１３は、バンク１２０で区画された複数の区画領域１１９を有しており、この区画領域１１９内には発光素子１２５が形成されている。発光素子１２５は、駆動回路部１１２の出力端子であるセグメント電極（陽極）１２１と、共通電極（陰極）１２４との間に、正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３が積層されて構成されている。また、バンク１２０と駆動回路部１１２との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜１２６が、金属クロムやクロム酸化物等で形成されている。

正孔輸送層１２２は、有機ＥＬ材料層１２３に正孔を注入するための機能層であり、ポリチオフェン誘導体のドーピング体（ＰＥＤＯＴ）などの高分子導電体で形成されている。有機ＥＬ材料層１２３は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な周知の有機ＥＬ材料、例えば、ポリフルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体等で形成されている。正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３は、上記実施形態で説明した液状体配置方法を用い、所定領域としての区画領域１１９に対応する機能性材料（ＰＥＤＯＴ／有機ＥＬ材料）を含む液状体を配置して製造する構成であっても良い。

また、本実施形態では、重量配置パターン１００は、図７（ａ）〜（ｅ）に示すような、５つの重量配置パターン１００Ａ〜１００Ｅと説明した。しかしながら、本発明では、上記実施形態に限定されるものではなく、それ以上の種類の重量配置パターンを用いても良い。なお、意図的にムラを形成させるために、少なくとも２つの異なる配置パターンは用いることが好ましい。
異なる配置パターンとして、例えば、画素部２の四隅に重量を大きく分布して液状体５を配置するパターン等が採用できる。

また、本実施形態では、重量配置パターン１００は、１２ドットで配置すると説明した。しかしながら、本発明では、上記実施形態に限定されるものではなく、複数箇所配置される液状体５の配置数を異ならせた複数種の配置パターンを用いる構成であってもよい。
この場合、例えば、図１４に示す、異なる重量配置パターン１００Ｆ〜１００Ｊが採用できる。当該重量配置パターンは、上記実施形態が１２ドットであったが、これらは４ドットで液状体５を配置するものである。画素部２内において、重量配置パターン１００Ｆは４ドット全てが同一重量のもの、重量配置パターン１００Ｇは紙面右側に重量が偏っているもの、重量配置パターン１００Ｈは紙面左側に重量が偏っているもの、重量配置パターン１００Ｉは紙面上側に重量が偏っているもの、重量配置パターン１００Ｉは紙面下側に重量が偏っているものである。
なお、異なる重量配置パターン１００は、１２ドットからドットをそれ以上に増やして配置するものであっても良い。
このような構成を採用することで、液状体５の配置数を増減させることによって、重量分布を異ならせ、所定領域内で意図的にムラを付加させることができる。

また、本実施形態では、第３パターニングでは、図１２に示すように、主走査方向の隣り合う３つの画素部２を一つのグループＫとして説明した。しかしながら、本発明では、このような構成に限定されるものではなく、例えば、主走査方向に２つ、又は、３つ以上、さらに、副走査方向の画素部２をもクループ化する構成であっても良い。
この場合、例えば、主走査方向に３つ並んだ画素部２と、当該画素部２の副走査方向にそれぞれ隣接する画素部２との計６つの画素部２でグループＫを構成しても良い。

本発明の実施の形態におけるカラーフィルタの平面構造を示す模式図である。 本発明の実施の形態における図１におけるカラーフィルタのＡ−Ａ断面図である。 本発明の実施の形態における液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態における液状体吐出装置が備えるヘッドユニットの構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態におけるヘッドユニットが備えるヘッドの構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態における液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。 本発明の実施の形態における画素部内における液状体の重量配置パターンを示す模式図である。 本発明の実施の形態における液状体を配置するための基板を示す平面図である。 本発明の実施の形態における液状体配置方法（第１パターニング）を示す図である。 本発明の実施の形態における液状体配置方法（第２パターニング）を示す図である。 本発明の実施の形態における液状体配置方法（第３パターニング）を示す図である。 本発明の実施の形態における液晶表示装置の要部構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態における有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図である。 本発明の別実施形態における重量配置パターンを示す模式図である。

符号の説明

１…カラーフィルタ、２…画素部（所定領域）、４…基板、５…液状体、７…バンク、２３…ノズル、１００…重量配置パターン、１１０…有機ＥＬ表示装置、７１９ａ，７１９ｂ…配向膜、Ｋ…グループ

Claims (13)

1. 複数のノズルと基板とを相対的に走査させながら前記ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、
   前記所定領域に複数箇所配置される前記液状体の重量の分布を異ならせた複数種の配置パターンを用いて、前記液状体を配置する工程を有することを特徴とする液状体配置方法。
2. 予め複数の前記配置パターンを設定しておき、前記所定領域ごとに、前記配置パターンのいずれか一つを選択することを特徴とする請求項１に記載の液状体配置方法。
3. 隣り合う前記所定領域ごとに、異なる前記配置パターンを用いることを特徴とする請求項１または２に記載の液状体配置方法。
4. 隣り合う少なくとも２つの前記所定領域を１つのグループとし、各前記グループで、前記液状体の重量の分布を異ならせた少なくとも２つの前記配置パターンを用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
5. 前記グループで、前記所定領域ごとに用いられた前記配置パターンと同一の配置様式を有する前記グループを繰り返し用いることを特徴とする請求項４に記載の液状体配置方法。
6. 前記ノズルと基板とを相対的に走査する走査方向において、前記複数種の配置パターンを用いることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
7. 前記走査方向と交差する副走査方向においても、前記複数種の配置パターンを用いることを特徴とする請求項６に記載の液状体配置方法。
8. 前記所定領域は、バンクにより区画されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
9. 前記複数箇所配置される前記液状体の配置数を異ならせた前記複数種の配置パターンを用いることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
10. 前記ノズルから液状体を吐出させる圧電素子の駆動電圧を変化させて、前記液状体の重量の分布を異ならせることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
12. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いることを特徴とする配向膜の製造方法。
13. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いることを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法。

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