JP2009192567A - 薄膜形成方法及びカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の所定の領域にスジムラの目立ちにくい薄膜を形成することが可能な薄膜形成方法及びカラーフィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】液状体を吐出する複数のノズルを有するヘッドと前記ノズルの吐出部分に対向して配置され薄膜形成領域を有する基板とを相対的に複数回所定の方向に走査させながら前記基板に前記液状体を吐出し、前記基板の前記薄膜形成領域に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、各走査において、複数の前記ノズルのうち他の走査で吐出を行うノズルと同一のノズルによって、前記他の走査と同一の吐出条件で、前記基板のうち薄膜形成領域を含む領域に前記液状体を吐出し、前記複数回の走査の後、前記基板のうち前記薄膜形成領域以外の領域に吐出された前記液状体を除去する。
【選択図】図８

Description

本発明は、薄膜形成方法及びカラーフィルタの製造方法に関する。

近年、液状体吐出法を用いた薄膜形成技術が注目されている。例えば、特許文献１には液晶表示装置のカラーフィルタ層を液状体吐出法によって形成する方法が開示されている。この方法によれば、基板と複数のノズルとを相対的に走査させながら、色材を含む液状体を複数のノズルから基板へ向けて吐出させ基板上の所定の領域に液状体を配置するようにしている。液状体を配置した後、当該液状体を例えば乾燥させて固化させることにより、基板上の所定の領域に上記色材の薄膜（カラーフィルタ層）が形成される。
特開２００３−１５９７８７号公報

しかしながら、上記の液状体吐出法には以下の改善すべき課題がある。
液状体吐出法に用いられる液状体吐出装置には、ノズル間で液状体の吐出量にバラつきが存在する。このため走査方向に直交する方向について液状体の配置量（吐出量）にバラつきが生じ、得られる薄膜にスジ状の濃淡ムラが発生してしまうことがある。

例えば液状体吐出法によってカラーフィルタ層を形成する場合、当該カラーフィルタ層にスジムラが発生し、カラーフィルタを介して表示される画像の画質低下を招いてしまう。この他に、液状体吐出法によって例えば有機ＥＬ装置の有機ＥＬ層（発光層や正孔注入層など）を形成する場合には、当該有機ＥＬ層にスジムラが発生し、発光ムラを引き起こしてしまう。カラーフィルタ層や有機ＥＬ層に限らず、複数のノズルを用いた液状体吐出法で形成される他の薄膜についても、同様にスジムラ発生の問題がある。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、基板の所定の領域にスジムラの目立ちにくい薄膜を形成することが可能な薄膜形成方法及びカラーフィルタの製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係る薄膜形成方法は、液状体を吐出する複数のノズルを有するヘッドと前記ノズルの吐出部分に対向して配置され薄膜形成領域を有する基板とを相対的に複数回所定の方向に走査させながら前記基板に前記液状体を吐出し、前記基板の前記薄膜形成領域に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、各走査において、複数の前記ノズルのうち他の走査で吐出を行うノズルと同一のノズルによって、前記他の走査と同一の吐出条件で、前記基板のうち薄膜形成領域を含む領域に前記液状体を吐出し、前記複数回の走査の後、前記基板のうち前記薄膜形成領域以外の領域に吐出された前記液状体を除去することを特徴とする。

本発明によれば、複数のノズルを有するヘッドと基板とを相対的に複数回所定の方向に走査させながら液状体を吐出する場合の各走査において、複数のノズルのうち他の走査で吐出を行うノズルと同一のノズルによって、当該他の走査と同一の吐出条件で、基板のうち薄膜形成領域を含む領域に液状体を吐出することとしたので、吐出された全ての液状体についてほぼ同一の吐出量とすることができる。走査毎に液状体の吐出量にムラが発生するのを回避することができるので、走査方向の垂直方向におけるスジムラの発生を防ぐことができる。しかも、複数回の走査の後、基板のうち薄膜形成領域以外の領域に吐出された液状体を除去することとしたので、画素の形状や基板の大きさに拘らず、また煩雑な設定変更を行うことなく、基板の薄膜形成領域に薄膜を正確に形成することができる。これにより、基板の所定の領域にスジムラの目立ちにくい薄膜を形成することが可能となる。

上記の薄膜形成方法は、各走査において、全ての前記ノズルによって吐出を行うことを特徴とする。
本発明によれば、各走査において全てのノズルによって吐出を行うこととしたので、吐出を行うノズル及び吐出を行わないノズルの選択の制御を容易に行うことができる。

上記の薄膜形成方法は、各走査において、前記基板のほぼ全面に吐出を行うことを特徴とする。
本発明によれば、各走査において、基板のほぼ全面に吐出を行うこととしたので、基板の端部にまで液状体を確実に行き渡らせることができる。これにより、基板の端部においても液状体の吐出量のバラつきの発生を確実に防ぐことができる。

上記の薄膜形成方法は、前記基板に吐出された前記液状体の状態に基づいて前記ノズルの吐出条件を調節することを特徴とする。
本発明によれば、基板に吐出された液状体の状態に基づいてノズルの吐出条件を調節することとしたので、液状体の吐出量のバラつきを一層抑制することができると共に、各走査において基板に吐出される液状体のパターンを確実に同一に近づけることができる。

上記の薄膜形成方法は、複数の前記ノズルは、前記液状体の吐出量に基づいてそれぞれ異なるノズルグループに分類されており、前記ノズルグループごとに前記ノズルの吐出条件を調節することを特徴とする。
本発明によれば、複数の前記ノズルは、液状体の吐出量に基づいてそれぞれ異なるノズルグループに分類されており、当該ノズルグループごとにノズルの吐出条件を調節することとしたので、基板の寸法や薄膜形成領域の寸法に応じて吐出量の異なるノズルを効率的に使い分けることができる。

本発明に係るカラーフィルタの製造方法は、上記の薄膜形成方法を用いることを特徴とする。
本発明によれば、スジムラの目立ちにくい薄膜を形成することが可能な薄膜形成方法を用いてカラーフィルタを製造することとしたので、濃淡ムラがほとんど目立たないカラーフィルタを得ることができる。

以下、本発明の実施の形態を説明する。
以下の説明においては、本発明をカラーフィルタの製造方法に適用した場合の例について説明する。以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。

図１は本実施形態におけるカラーフィルタ１の平面構造を示す模式図であり、図２は図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。以下の説明及び図１、図２中におけるＲ、Ｇ、Ｂの各文字は、赤（Ｒｅｄ）、緑（Ｇｒｅｅｎ）、青（Ｂｌｕｅ）を示すものとする。

図１及び図２に示すように、カラーフィルタ１は、カラー用表示パネルに用いられるものであり、後述する基板上に形成されたものである。このカラーフィルタ１は、図１に示すように、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に対応して着色された画素部（所定の領域）２と、カラーフィルタ層２の間に形成された隔壁（バンク）３とを有する構成になっている。

カラーフィルタ１は、矩形のカラーフィルタ層２がマトリクス状に整列されて形成されたものである。このマトリクスの配列は、図１中の縦列が同色のカラーフィルタ層２によって形成され、横列が、Ｒ、Ｇ、Ｂの順にカラーフィルタ層２が並ぶ、いわゆるストライプ型の画素配列となっている。本発明においては、カラーフィルタ１は周知のモザイク型やデルタ型等の画素配列であっても、例えばＲ、Ｇ、Ｂ以外の色要素を含むものであってもよい。

隔壁３は、図２に示すように例えばガラス製で透光性の基板４上に設けられており、平面視矩形のカラーフィルタ層２を区画形成するものである。当該隔壁３は、光を遮光する遮光部（ブラックマトリクス）６と、遮光部６上に設けられたバンク７とを有している。遮光部６は、例えばクロム等の遮光材料によって基板４上にパターニングされたものである。バンク７は、この遮光部６上に形成された樹脂製のものである。

カラーフィルタ層２は、バンク７によって区画された領域、すなわち本実施形態における所定領域（薄膜形成領域）８上に形成されたものである。所定領域８上にＲ、Ｇ、Ｂの各色のカラーフィルタ材料、すなわち液状体５（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）が配置され、加熱処理されることにより、図１に示したＲ、Ｇ、Ｂからなるカラーフィルタ１を構成するものである。

液状体５は、バンク７で区画された所定領域８に対応するカラーフィルタ層２に対して配置されるが、液状体５が所定領域８上のカラーフィルタ層２内に正確に配置されるように、予め所定領域８を形成する基板４の露出面に親液化処理を施し、バンク７の表面に撥液化処理を施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理によって行うことができる。

バンク７の形成は、液状体５の配置（パターニング）を高精度に行うために好ましいものの、本発明においては、カラーフィルタ層２を形成するためにこのような物理的な区画を必須としてはない。例えば、液状体に対して親液性になる領域（カラーフィルタ層２の形状）と、撥液性になる領域（隔壁３の形状）とをプラズマ処理等によってパターン形成し、親液性領域を前記所定領域８として、ここに液状体５を塗布し、着色層を形成するようにしてもよい。

このカラーフィルタ１には、その表面側に保護層（図示せず）が設けられている。そしてこのような構成のもとにカラーフィルタ１は、Ｒ、Ｇ、Ｂに着色されたカラーフィルタ層２の一つ又は複数に光が選択的に通過させられることにより、フルカラー表示をなすようになっている。

次に、本発明の液状体配置方法を実施するのに用いられる液滴吐出装置について説明する。
図３は液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。この液滴吐出装置１０は、液状体５を基板４上の所定領域８上（カラーフィルタ層２内）に吐出するヘッドユニット２０と、ヘッドユニット２０を図３中のＹ方向に直線的に移動させるガイド機構３０と、基板４をＸ方向及びＹ方向にそれぞれ移動させるガイド機構４０とを有する構成になっている。

図３においては、ガイド機構４０についてその構成の一部を省略して、基板４をＸ方向に移動させる構成のみ記載しているが、実際には、このＸ方向に移動させる機構と同様の機構でＹ方向に移動させる構成を有し、これらを組み合わせることにより、Ｘ方向及びＹ方向に基板４を移動できるようにしている。

以下の説明においては、前記Ｘ方向を基板４の主走査方向（スキャン方向）と規定し、前記Ｙ方向を基板４の副走査方向（フィード方向）と規定する。そして、Ｘ方向とＹ方向とは水平面内において互いに直交するものとする。さらに、Ｘ方向とＹ方向とからなるＸ−Ｙ平面に対して垂直方向、すなわち液滴吐出装置１０の高さ方向を、Ｚ方向と規定している。

ガイド機構３０は、基台１１上に設けられたＺ方向に延びる２本の柱部材によって所定の高さに略水平に架設され、Ｙ方向に直線的に設けられた一対のガイドレール３１と、ガイドレール３１に沿ってＹ方向に移動可能に設けられてヘッドユニット２０を有する移動台３２と、を備えて構成されたものである。

このガイド機構３０は、ガイドレール３１が内部にエアスライダ（図示せず）とリニアモータ（図示せず）とを備えており、ガイドレール３１に接続された移動台３２を、Ｙ方向に自在に移動させることができるようになっている。

ガイド機構４０は、ガイド機構３０の下方であって、Ｘ方向に直線的に設けられた一対のガイドレール４１と、ガイドレール４１に沿ってＸ方向に移動可能に設けられた基板移動台４２とを備えており、図示しないものの、例えばこれらガイドレール４１及び基板移動台４２をそのままＹ方向に移動させる機構を備えて構成されたものである。

また、このガイド機構４０も、内部にエアスライダ（図示せず）とリニアモータ（図示せず）とを備えており、これによって基板移動台４２を、Ｘ方向、Ｙ方向に自在に移動させることができるようになっている。

また、移動台４２は、吐出対象となる基板４を載置するための回転ステージ５０を有しており、回転ステージ５０は、基板４を載置するステージ５１と、ステージ５１をＺ方向に延びる軸線回りに回転させる回転機構５２とを有している。

ステージ５１上には、基板４を位置決めする位置決めピン５１ａが複数設けられており、例えば、位置決めピン５１ａによる空気吸引等の手段によって、基板４をステージ５１上に固定させる構成となっている。

回転機構５２は、ステージ５１の略中央部を下方から支持する形で移動台４２上に設けられたもので、モータ等（図示せず）の回転駆動源を有したものである。そして、この回転駆動源を作動させることにより、基板４をＺ方向に延びる軸線回りにθ度傾け、該基板４の基準軸を副走査方向及び主走査方向に正確に合わせられるようになっている。

ヘッドユニット２０は、移動台３２に搭載されたもので、液状体５を吐出するヘッド２１と、ヘッド２１をＺ方向に延びる軸線回りに回転させることで向きを変えるモータ２２とを備えたものである。

ヘッド２１は、ヘッドユニット２０の下部に設けられたもので、図４に示すようにその下面に、液状体５を吐出するノズル２３をＹ方向（副走査方向）に沿って整列配置させ、例えば１８０個のノズル２３からなるノズル列２４を形成したものである。なお、本実施形態では、ノズル２３が１列に配列されているものとしているが、例えば千鳥状に２列配列されたものであってもよく、３列以上配列されたものであってもよい。また、ノズル列２４を構成するノズル２３の数についても、何個であってもよい。

各ノズル２３は、ヘッド２１の内部に形成された各液室（キャビティ）に連通している。これら各液室には、それぞれに圧電素子２５（図６参照）が設けられており、これら圧電素子２５は、それぞれ電気信号（駆動信号）によって駆動させられるようになっている。このような構成によってヘッド２１は、圧電素子２５を駆動させて液室の容量を変化させ、液室に満たされた液状体５の液圧を制御することにより、ノズル２３から液状体５を選択的に吐出させるようになっている。

なお、図示しないものの、ヘッドユニット２０には、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色に対応した複数のヘッド２１が設けられている。また、ヘッド２１の駆動方式としては、圧電素子によるものでなく、液室（キャビティ）に加熱素子を備えた、いわゆるサーマル方式などを採用することもできる。

ここで、各ノズル２３から吐出される液状体の１ドットあたりの重量、すなわち単位吐出量は、ノズル２３を吐出動作させる圧電素子２５等の駆動素子（加熱素子等も含む）によって決定される。つまり、駆動素子に印加される駆動信号の波形（駆動波形）によって主に決定される。

図３に示すように前記モータ２２は、ヘッド２１に接続されたもので、ヘッド２１の基準軸をＺ方向に延びる軸線回りにα度傾け、ノズル列２４Ａ、２４Ｂを主走査方向に正確に合わせることができるようにしたものである。

なお、モータ２２は、図５（ａ）に示すようにノズル２３からなるノズル列２４がＹ方向に一致している状態から、ヘッド２１の角度を変えて図５（ｂ）に示すようにノズル列２４をＹ方向から傾けることにより、図７（ａ）に示したようにＹ方向における広い吐出ピッチＰ１を、図５（ｂ）に示したようにＹ方向における狭い吐出ピッチＰ２に変化させることもできる。

次に、液滴吐出装置１０における液状体５の吐出制御方法を、液滴吐出装置１０の電気的構成を示す図６を参照して説明する。
図６に示すように液滴吐出装置１０は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ（制御部）６０と、制御コンピュータ６０に接続されてヘッド２１の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板７０とを備えている。

制御コンピュータ６０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ハードディスク、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の内部メモリ、並びにヘッドユニット２０、ガイド機構３０、ガイド機構４０との間でデータ授受を行う各種入出力インターフェース回路等から構成されている。

制御回路基板７０は、フレキシブルケーブル７１を介してヘッド２１に設けられた圧電素子２５と電気的に接続されている。なお、ヘッド２１には、ノズル２３毎に設けられた圧電素子２５に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）７２、ラッチ回路（ＬＡＴ）７３、レベルシフタ（ＬＳ）７４、スイッチ（ＳＷ）７５がそれぞれ備えられている。

液滴吐出装置１０の吐出制御は、次のようにして行われる。
まず、制御コンピュータ６０には、基板４上の各カラーフィルタ層２（所定領域８）に対する液状体５の配置パターンをデータ化したドットパターンデータが、予め記憶される。そして、このドットパターンデータは制御回路基板７０に伝送される。制御回路基板７０は、ドットパターンデータをデコードしてノズル２３毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されてクロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ７２に伝送される。

シフトレジスタ７２に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路７３に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ７４でスイッチ７５用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータがＯＮの場合には、スイッチ７５が開いて圧電素子２５に液状体５の吐出量に応じた駆動波形を含む駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータがＯＦＦの場合には、スイッチ７５が閉じられて圧電素子２５に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、ＯＮに対応するノズル２３からは、供給された駆動波形で圧電素子２５が駆動されることにより、液状体５が液滴化されて吐出され、吐出された液状体が、基板４上に設けられた所定領域８上（カラーフィルタ層２内）に配置される。

次に、前記構成の液滴吐出装置１０を用いたカラーフィルタ１の製造方法について説明する。
このカラーフィルタ１の製造方法では、カラーフィルタ層２（図１及び図２参照）のＲ、Ｇ、Ｂ各色に対応する色材を含む液状体５（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）を用意し、前記液滴吐出装置１０（図３参照）を用いて液状体５Ｒ、５Ｇ、５Ｂを基板４上の所定領域８上（カラーフィルタ層２内）に配置し、カラーフィルタ１を形成する。

図７に示すように、本実施形態では、液状体５を配置するための基板４に、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域を設定しておき、該個体領域毎に隔壁３のバンク７（図２参照）によってカラーフィルタ層２の群を形成する。本実施形態では、カラーフィルタ層２の短辺方向を主走査方向（Ｘ方向）、長辺方向を副走査方向（Ｙ方向）として、基板４をステージ５１上に配置する（図３参照）。

液滴吐出装置１０では、主走査ガイド機構４０で基板４をヘッドユニット２０に対してＸ方向、Ｙ方向に相対的に移動（走査）させながら、ヘッド２１に形成された複数のノズル２３から液状体５を吐出させ、基板４上に設けられたカラーフィルタ層２に液状体５を配置する（図２参照）。

制御回路基板７０では、制御コンピュータ６０から伝送されたドットパターンデータに基づいて、１走査ごとの液滴Ｌの吐出パターンを設定する。本実施形態では、各走査において、すべてのノズル２３についてＯＮ状態にし、全てのノズル２３から液滴が吐出されるようにノズルデータを生成する。

このとき、従来であれば、ヘッド２１から吐出される液状体５の量は、吐出特性の違いによってノズル２３間で吐出量が異なり、したがってノズル組毎にバラツキが生じている。このため、カラーフィルタ層２内（所定領域８上）に配置された液状体５はその量にバラツキが生じてしまい、得られる膜はその厚さの薄い部分と厚い部分とが主走査方向にそれぞれ線状に並んでしまう。すると、図８（ａ）に示すように主走査方向（Ｘ方向）に沿って視認される一次元的なスジが、副走査方向（Ｙ方向）にムラとなって生じてしまい、結果として副走査方向に濃淡ムラが生じることになる。

そこで、本実施形態では、各走査において、複数のノズル２３のうち他の走査で吐出を行うノズル２３と同一のノズル２３によって、基板４上のうち所定領域８を含む領域に液状体を吐出するようにする。また、各走査において他の走査と同一の吐出条件で吐出を行うようにする。例えば、図８（ｂ）に示すように、ヘッド２１に設けられた全ノズル２３によって基板４のほぼ全面に吐出するようにする。

各走査においてヘッド２１に設けられた全ノズル２３によって吐出を行うようにすることで、設定の変更等の煩雑な処理が不要になる。また、通常の液滴吐出法においては基板４の端部は基板４の中央部よりも液状体５の吐出量が少なくなりやすいことが知られている。これに対して、各走査において、基板４のほぼ全面に液状体５を吐出することで、基板４に吐出される液状態５の吐出量のバラつきを一層確実に抑えられることになる。

吐出条件として、例えば複数の駆動信号を各ノズル２３に対して印加するタイミングを各走査において同一にするようにすることや、各ノズル２３から同一の吐出量となるように制御すること、さらには制御回路基板７０において生成されるノズルデータを各走査について同一とすることなどが挙げられる。

各走査について同一のノズルデータ用いることにより、吐出される液状体５のパターンが各走査について同一のパターンとなる。ノズルデータを走査毎に変化させる必要が無く、新たなノズルデータを作成する必要も無いため、ノズルデータを更新する際のノズルデータの補正を行う必要は無い。したがって、ノズルデータの補正については、上記各走査において用いる１種類のノズルデータを１回補正すれば済むこととなる。

また、基板４に吐出された液状体５の状態に基づいてノズル２３の吐出条件を調節するようにしても良い。このように吐出条件を調節することにより、液状体５の吐出量のバラつきが一層抑制されることになる。

また、複数のノズル２３が液状体５の吐出量に基づいてそれぞれ異なるノズルグループに分類されるようにヘッドユニット２０を構成し、当該ノズルグループごとにノズル２３の吐出条件を調節するようにしても構わない。このようにノズルグループ毎にノズル２３の吐出条件を調節することによって、基板４の寸法や所定領域８の寸法に応じて吐出量の異なるノズル２３を効率的に使い分けることが可能となる。

次に、複数回の走査の後、図８（ｃ）に示すように、基板４のうち所定領域８以外の領域に吐出された液状体５を除去する。液状体５の除去に際しては、例えば基板４のうち所定領域８以外の領域にレーザ光を照射することで、当該領域に吐出された液状体５を剥離するようにする。また、液状体５の吐出前に所定領域８以外の領域に撥水処理を施したレジスト層を形成しておき、液状体５の塗布後にエッチングなどによって当該レジスト層を除去するようにしても構わない。このようにして、基板４の所定領域８に薄膜が形成されることとなる。

このように、本発明によれば、複数のノズル２３を有するヘッド２１と基板４とを相対的に複数回所定の方向に走査させながら液状体５を吐出する場合の各走査において、複数のノズル２３のうち他の走査で吐出を行うノズル２３と同一のノズルによって、当該他の走査と同一の吐出条件で、基板４のうち所定領域８を含む領域に液状体５を吐出することとしたので、吐出された全ての液状体５についてほぼ同一の吐出量とすることができる。走査毎に液状体５の吐出量にムラが発生するのを回避することができるので、走査方向の垂直方向におけるスジムラの発生を防ぐことができる。

しかも、複数回の走査の後、基板４のうち所定領域８以外の領域に吐出された液状体５を除去することとしたので、所定領域８の形状や大きさに拘らず、また煩雑な設定変更を行うことなく、基板４の所定領域８に薄膜を正確に形成することができる。このように、本実施形態によれば基板４の所定領域８にスジムラの目立ちにくいカラーフィルタ層２を形成することが可能となる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態においては、各走査においてヘッド２１に設けられた全ノズル２３によって基板４のほぼ全面に液状体５を吐出するようにしたが、これに限られることは無く、走査間で同一のノズル２３を用いるのであれば例えばヘッド２１に設けられたノズルのうち一部のノズル２３によって吐出を行うようにしても構わない。また、基板４のほぼ全面に液状体５を吐出するのではなく、所定領域８を含む基板４の一部の領域に液状体５を吐出するようにしても構わない。

本実施形態におけるカラーフィルタの平面構造を示す模式図。 図１におけるカラーフィルタのＡ−Ａ断面図。 液滴吐出装置の要部構成を示す斜視図。 ヘッドユニットの構成を示す斜視図。 （ａ）、（ｂ）はヘッドの構成を示す模式図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す図。 画素部内における液状体の配置パターンを示す模式図。 （ａ）〜（ｃ）は所定領域に配置された液状体の状態を示す模式図。

符号の説明

１…カラーフィルタ、２…画素部、４…基板、５、５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ…液状体、７…バンク、８…所定領域、１０…液滴吐出装置、２１…ヘッド、２３…ノズル、２４…ノズル列、Ｘ（方向）…主走査方向、Ｙ（方向）…副走査方向

Claims (6)

1. 液状体を吐出する複数のノズルを有するヘッドと前記ノズルの吐出部分に対向して配置され薄膜形成領域を有する基板とを相対的に複数回所定の方向に走査させながら前記基板に前記液状体を吐出し、前記基板の前記薄膜形成領域に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
   各走査において、複数の前記ノズルのうち他の走査で吐出を行うノズルと同一のノズルによって、前記他の走査と同一の吐出条件で、前記基板のうち薄膜形成領域を含む領域に前記液状体を吐出し、
   前記複数回の走査の後、前記基板のうち前記薄膜形成領域以外の領域に吐出された前記液状体を除去する
   ことを特徴とする薄膜形成方法。
2. 各走査において、全ての前記ノズルによって吐出を行う
   ことを特徴とする請求項１に記載の薄膜形成方法。
3. 各走査において、前記基板のほぼ全面に吐出を行う
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の薄膜形成方法。
4. 前記基板に吐出された前記液状体の状態に基づいて前記ノズルの吐出条件を調節する
   ことを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の薄膜形成方法。
5. 複数の前記ノズルは、前記液状体の吐出量に基づいてそれぞれ異なるノズルグループに分類されており、
   前記ノズルグループごとに前記ノズルの吐出条件を調節する
   ことを特徴とする請求項４に記載の薄膜形成方法。
6. 請求項１から請求項５のうちいずれか一項の薄膜形成方法を用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

Images