TWI432333B - 液狀體配置方法、彩色濾光器之製造方法、有機ｅｌ顯示裝置之製造方法 - Google Patents

液狀體配置方法、彩色濾光器之製造方法、有機ｅｌ顯示裝置之製造方法 Download PDF

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TWI432333B
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Yoshihiko Ushiyama
Tsuyoshi Kitahara
Yoichi Miyasaka
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Description

液狀體配置方法、彩色濾光器之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法
本發明係關於使用液滴噴出法之液狀體配置方法，及使用其之彩色濾光器之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法。
近年來，使用液滴噴出法之成膜技術受到矚目，例如於專利文獻1中，揭示使用液滴噴出法之液晶顯示裝置之彩色濾光器之製造方法。於此製造方法中，從對於基板進行掃描之液滴噴出頭(以下稱作噴頭)之微細噴嘴，噴出含色材之液狀體(液滴)，於該基板上之劃分區域內配置(描畫)液狀體，並進一步藉由乾燥等，使配置之液狀體固化，形成與像素相對應之著色膜。
[專利文獻1]日本特開2003-159787號公報
然而，對於基板之液滴之配置圖案可表示作為所謂點圖案(點矩陣圖案)，將該點圖案轉換為與各噴嘴對於基板之相對位置(以下稱作掃描位置)相對應之噴出之開啟/關閉資料(噴出資料)，以進行噴出控制。此類點圖案係因應於欲形成於基板上之液狀體之圖案(製造彩色濾光器之情況係根據對應之像素構造)、或噴嘴(噴頭)之排列結構等硬體條件而預先產生。
然而，噴嘴(噴頭)之特性係於個體分別具有些微偏差，而且特性亦可能因續發之要因而變化，因此而有硬體條件未必會與理想模式一致之情況。然後，為了進行高精度之液狀體配置，要求配合各種硬體條件來重新產生點圖案。例如可思慮於來自某噴嘴之噴出量顯著異常之情況時，產生不使用該噴嘴之點圖案，或產生已因應於液滴之落下校準來補正落下位置之點圖案之個案。
然而，因應於如上述之各種個案而每次產生點圖案係非常花費人力。因為必須一面考慮應配置於劃分區域內之點數或各掃描中之各噴嘴之掃描位置、各噴嘴之使用頻率等，一面思慮因應各條件之適宜之點配置。
本發明係有鑑於上述問題所實現者，其目的在於提供一種於簡易之處理下，可對應各式各樣之條件來配置液狀體之液狀體配置方法，及使用該液狀體配置方法之彩色濾光器之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法。
本發明為一種液狀體配置方法，其特徵為：藉由將噴嘴與基板相對地掃描，根據點圖案，自前述噴嘴噴出液狀體，以於前述基板上之特定區域配置前述液狀體；且具有：A步驟，其係與前述特定區域相對應而產生設定有特定數a之點之第一點圖案；C步驟，其係自前述特定數a之點，刪除特定數b之點而產生第二點圖案；及D步驟，其係根據前述第二點圖案來配置前述液狀體；於前述C步驟中，優先刪除根據預先得知之前述噴嘴之噴出資訊所判斷之禁用點。
於本發明之液狀體配置方法中，自與特定區域相對應而設定有特定數a之點之第一點圖案，刪除特定數b之點而產生第二點圖案，並根據該第二點圖案來配置液狀體。此時，由於根據噴嘴之噴出資訊，就上述特定數a之點來判斷禁止點之適當與否，並優先刪除判斷為禁止點之點而產生第二點圖案，因此可避免可能產生故障之液狀體噴出而進行液狀體配置。而且，實質上在被賦予之條件(噴出資訊)下「選擇」自複數(特定數a)點中刪除之點，以產生第二點圖案，因此即使為複雜之條件，亦可簡單地進行處理。而且，藉由將刪除之點之總數規定為特定數b，可簡單進行液狀體對於特定區域之配置量之定量管理。
而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為具有B步驟，其係取得至少與前述特定數a之點相對應之前述噴嘴之噴出資訊；與前述基板之1個或每複數單位相對應來進行前述B步驟及前述C步驟。
若根據本發明之液狀體配置方法，可迅速對應噴嘴之噴出資訊之變化，於適宜之條件下進行液狀體之配置。
而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：前述特定區域係由岸堤(bank)所劃分。
若根據本發明之液狀體配置方法，可藉由岸堤，適當地預防液狀體溢出特定區域外。
而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述B步驟中，至少取得前述液狀體之配置位置之精度；於前述C步驟中，將與前述液狀體有溢出前述特定區域外之虞之配置位置相對應之點，作為前述禁用點而優先刪除。
若根據本發明之液狀體配置方法，由於優先刪除與液狀體有溢出特定區域外之虞之配置位置相對應之點，因此可適當地防止液狀體溢出特定區域外。
而且，如具有複數與前述特定區域之掃描有關之前述噴嘴之前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述B步驟中，至少取得噴出異常之有無；於前述C步驟中，將與具有噴出異常之前述噴嘴相對應之點，作為禁用點而優先刪除。
若根據本發明之液狀體配置方法，由於優先刪除與具有噴出異常之噴嘴相對應之點，因此可抑制起因於噴出異常之有關液狀體之量或配置位置之精度降低。
本發明為一種液狀體配置方法，其特徵為：藉由將複數噴嘴與基板相對地掃描，根據點圖案，自前述噴嘴噴出液狀體，以於前述基板上之特定區域配置前述液狀體；且具有：A步驟，其係與前述特定區域相對應而產生設定有特定數a之點之第一點圖案；E步驟，其係於前述複數噴嘴中，指定禁止使用之禁用噴嘴；C步驟，其係自前述特定數a之點，刪除特定數b之點而產生第二點圖案；及D步驟，其係根據前述第二點圖案來配置前述液狀體；於前述C步驟中，優先刪除與前述禁用噴嘴相對應之點。
於本發明之液狀體配置方法中，自具有與特定區域之形狀、大小相對應而設定之特定數a之點之第一點圖案，刪除特定數b之點而產生第二點圖案，並根據該第二點圖案來配置液狀體。此時，由於從上述特定數a之點中，優先刪除與預先指定之禁止噴嘴相對應之點而產生第二點圖案，因此可不使用禁止噴嘴來進行液狀體配置。而且，實質上在被賦予之條件(指定禁止噴嘴)下，「選擇」自複數(特定數a)點中刪除之點，以產生第二點圖案，因此即使為複雜之條件，亦可簡單地進行處理。而且，藉由將刪除之點之總數規定為特定數b，可簡單進行液狀體對於特定區域之配置量之定量管理。
而且，如分為複數次掃描來進行前述液狀體對於前述特定區域之配置之前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述C步驟中，於前述特定數a之點不含前述禁用點之情況下，或前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特定數b之情況下，優先刪除前述複數次掃描中之參與最後掃描之點。
於本發明之液狀體配置方法中，優先刪除有關最後掃描之點，相對減少最後掃描中配置於特定區域內之液狀體之量。於最後掃描中，由於會於有關其以前之掃描之液狀體既已於特定區域內充滿一定量之處，噴出液狀體，因此具有容易引起液狀體從特定區域溢出(溢流)之問題，但藉由減少該掃描之液狀體之配置量，可謀求避免此問題。
而且，如使用複數之前述噴嘴來進行前述液狀體對於前述特定區域之配置之前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述C步驟中，於前述特定數a之點不含前述禁用點之情況下，或前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特定數b之情況下，以與前述複數噴嘴之各個相對應之點約略以均等比率留下之方式來刪除點。
若根據本發明之液狀體配置方法，由於約略以均等比率來刪除與複數噴嘴之各個相對應之點，因此會適當地分散噴嘴之利用頻率。藉此，可適當地抑制起因於噴嘴間之噴出量偏差之特定區域間之液狀體量之偏差。
而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述C步驟中，於前述特定數a之點不含前述禁用點之情況下，或前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特定數b之情況下，優先刪除與距離前述特定區域之邊界較近之配置位置相對應之點。
若根據本發明之液狀體配置方法，由於優先刪除與距離特定區域之邊界較近之配置位置相對應之點，因此可適當地抑制液狀體溢出特定區域。
而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述C步驟中，於前述特定數a之點不含前述禁用點之情況下，或前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特定數b之情況下，優先刪除與前述特定區域之邊界較遠離之配置位置相對應之點。
於本發明之液狀體配置方法中，優先刪除與特定區域之邊界較遠離之配置位置相對應之點。由於與刪除之點相對應之配置位置係特定區域內相對容易產生液狀體之潤濕缺陷之處所，而此種處所會集中於特定區域之中央，因此可相對抑制該缺陷發生。
本發明之彩色濾光器之製造方法之特徵為具有以下步驟：使用前述液狀體配置方法，於設定於前述基板上之複數之前述特定區域之各個，配置含色材之前述液狀體之步驟；及將前述配置之液狀體予以固化，形成將前述複數區域分別作為像素之對應區域之著色部之步驟。
若根據本發明之彩色濾光器之製造方法，由於使用上述液狀體之配置方法來形成著色部，因此能以簡易之處理來製造高品質之彩色濾光器。
本發明之有機EL顯示裝置之製造方法係具有以下步驟：使用前述液狀體配置方法，於設定於前述基板上之複數之前述特定區域之各個，配置含有機EL材料之前述液狀體之步驟；及將前述配置之液狀體予以固化，形成將前述複數區域分別作為像素之對應區域之發光元件之步驟。
若根據本發明之有機EL顯示裝置之製造方法，由於使用上述液狀體之配置方法來形成發光元件，因此能以簡易之處理來製造高品質之有機EL顯示裝置。
以下，根據附圖來詳細說明本發明之適宜之實施型態。
此外，以下所述之實施型態由於為本發明之適當之具體例，因此附有技術上適宜之各種限定，但本發明之範圍只要於以下說明中，未特別有限定本發明之旨趣之記載，則不限於其等之型態。而且，以下說明所參考之圖中，為了便於圖示，會有不同於實際而表示構件或一部分之長寬之比例尺之情況。
(第一實施型態)
(彩色濾光器之結構)
首先，參考圖1及圖2，說明有關本發明之彩色濾光器之結構。圖1係表示彩色濾光器之結構之平面圖。圖2係表示彩色濾光器之構造之剖面圖。
圖1、圖2所示之彩色濾光器1係用於彩色用顯示面板，其具有：著色部2，其係與顯示面板之R(紅)、G(綠)、B(藍)各色像素相對應而形成；及遮光部3，其係形成於著色部2間之區域。此外，本實施型態之著色部2係具有所謂條紋型之像素構造之排列或形狀，但此種像素構造以外之例如含R、G、B以外之色要素，或與三角型構造相對應之結構亦可。
彩色濾光器1具備玻璃之透光性基板4，於基板4上，以鉻等遮光性材料，將遮光部3進行圖案形成，並進一步於遮光部3上，使用感光性樹脂等，將岸堤(bank)5進行圖案形成。著色部2係形成於由岸堤5所劃分之劃分區域6內，而且於著色部2之形成面側，以樹脂等形成用以使表面平滑化之覆膜層7。
(液狀體噴出裝置之機械結構)
接著，參考圖3、圖4，說明有關用於本發明之液狀體配置方法之液狀體噴出裝置之機械結構。
圖3係表示液狀體噴出裝置之要部結構之立體圖。圖4係表示噴頭單元之噴頭之配置結構之平面圖。
圖3所示之液狀體噴出裝置200係具備：1對導軌201，其係設置為直線狀；及主掃描移動台203，其係藉由設置於導軌201之內部之氣動式滑件及線性馬達(未圖示)而往主掃描方向移動。而且具備：1對導軌202，其係於導軌201之上方，直線地設置為與導軌201正交；及副掃描移動台204，其係藉由設置於導軌202之內部之氣動式滑件及線性馬達(未圖示)而沿著副掃描方向移動。
於主掃描移動台203上，設置用以載置作為噴出對象物之基板P之機台205。機台205成為可將基板P予以吸著固定之結構，而且藉由旋轉機構207，可使基板P內之基準軸正確對準主掃描方向、副掃描方向。
副掃描移動台204係具備經由旋轉機構208而安裝為垂吊式之托架209。而且，托架209係具備：噴頭單元10，其係具備複數噴頭11、12(參考圖4)；液狀體供給機構(未圖示)，其係用以對噴頭11、12供給液狀體；及控制電路基板211(參考圖5)，其係用以進行噴頭11、12之電性驅動控制。
如圖4所示，噴頭單元10係具備自噴嘴20噴出與R、G、B相對應之液狀體之噴頭11、12，構成噴頭11、12之複數噴嘴20係構成噴嘴群21A、21B。噴嘴群21A、21B係成為分別構成特定間距(例如180DPI)之線排列，並共同構成交叉格子狀排列之關係。而且，噴嘴群21A、21B之排列方向係與副掃描方向一致。
與噴頭11、12內之噴嘴20連通之液室(空穴)係構成如藉由壓電元件16(參考圖6)之驅動而可變化電容。然後，從壓電元件16供給電性信號(驅動信號)來控制空穴內之液壓，藉此可使液狀體(液滴)自噴嘴20噴出。
如此，藉由主掃描移動台203之移動，使噴嘴群21A、21B對於基板P往主掃描方向掃描，並且進行各噴嘴20之噴出之開啟/關閉控制(以下稱作噴出控制)，從而可於基板P上沿著噴嘴20之掃描軌跡之位置配置液狀體。此外，噴頭11及噴頭12係構成如在副掃描方向互相偏離配置，個別之噴嘴群21A、21B互相補全可噴出範圍而描繪連續之定間距之掃描軌跡。而且，噴嘴群21A、21B之端部之數個份之噴嘴20係有鑑於其特性之特異性而不予使用。
此外，液狀體描畫裝置之結構不限定於上述態樣。例如亦可構成如使噴嘴群21A、21B之排列方向從副掃描方向傾斜，噴嘴20之掃描軌跡之間距相對於噴嘴群21A、21B內之噴嘴20間之間距變窄。而且，亦可適當變更噴頭單元10之噴頭11、12之數目或其配置結構等。而且，作為噴頭11、12之驅動方式，亦可採用例如於空穴中備有加熱元件之所為熱體方式等。
(噴出控制方法)
接著，參考圖5、圖6來說明有關液狀體噴出裝置之噴出控制方法。
圖5係表示液狀體噴出裝置之電性結構圖。圖6係表示點圖案與噴嘴位置之關係圖。
圖5中，液狀體噴出裝置200係具備：控制電腦210，其係進行裝置全體之統籌控制；及控制電路基板，其係用以進行噴頭11、12之電性驅動控制。控制電路基板211係經由可撓性纜線212而與各噴頭11、12電性連接。而且，噴頭11、12係與設置於各噴嘴20(參考圖2)之壓電元件16相對應而具備偏移暫存器(SL)50、閂鎖電路(LAT)51、位準偏移器(LS)52及開關(SW)53。
液狀體噴出裝置200之噴出控制係如下進行。亦即，首先，控制電腦210將基板P(參考圖1)之液狀體之配置圖案已資料化之點圖案資料(詳細會於後面敘述)，傳送至控制電路基板211。然後，控制電路基板211將點圖案資料予以解碼，產生各噴嘴20之開啟/關閉(噴出/非噴出)資訊之噴嘴資料。噴嘴資料被予以序列信號(SI)化，並與時鐘信號(CK)同步而傳送至各偏移暫存器50。
傳送至偏移暫存器50之噴嘴資料係於閂鎖信號(LAT)輸入至閂鎖電路51之時序被閂鎖，並進一步於位準偏移器52轉換為開關53用之間極信號。亦即，於噴嘴資料為「開啟」之情況時，開關53打開，對壓電元件16供給驅動信號(COM)，於噴嘴資料為「關閉」之情況時，開關53關閉，不對壓電元件16供給驅動信號(COM)。然後，從對應於「開啟」之噴嘴20，液狀體被液滴化而噴出，噴出之液狀體配置於基板P。
如上述，液狀體之噴出控制係根據點圖案(資料)來進行。如圖6所示，此點圖案可表示作為於具有主掃描方向、副掃描方向之成分之矩陣MT，於作為液狀體之噴出(配置)位置之劃分中配置有點D者。點D不僅單純表示噴出之有無，亦可具有灰階性，例如亦可因應於灰階性來變化液狀體之噴出量或噴出時序。
於此，矩陣MT之主掃描方向之間距：p1係由液狀體之噴出控制週期及掃描速度來決定。而且，矩陣MT之副掃描方向之間距：p2可設定為1掃描中之噴嘴20之掃描軌跡之間距：p0之自然數分之一倍。本實施型態中，p2設定為p0之三分之一，於分為3次之各掃描期間，藉由使噴嘴20之副掃描方向之位置互相偏離，以使噴嘴20與矩陣MT之所有點D相對應而配置液狀體。
此外，於圖中互相鄰接之點d1、d2、d3分別有關第一掃描、第二掃描及第三掃描。亦可使此等對應於互相相同之噴嘴，但為了使噴嘴間之特性(例如噴出量)之偏差在空間上分散，宜於掃描期間，使噴頭大幅往副掃描方向移動，並對應於互異之噴嘴20。複數掃描期間之噴嘴20(噴頭)之位置之偏離方式具有各式各樣之方法，可考量噴嘴間或噴頭間之特性偏差之分散或循環時間等而採用適宜者。而且，本實施型態雖未採用，但藉由於複數掃描期間，將噴嘴20之副掃描方向之位置互相重疊之方法，亦可分為複數噴嘴20來對應一行(主掃描方向之排列)內之點D。
(彩色濾光器之製造方法(液狀體配置方法))
接著，參考圖7~圖9來說明有關本發明之彩色濾光器之製造方法(液狀體)。
圖7係表示有關彩色濾光器之著色部之形成之步驟之流程圖。圖8係表示進行液狀體配置時之基板狀態之平面圖。圖9係表示第一點圖案之圖。
彩色濾光器1(參考圖1、2)之著色部2(參考圖1、2)之形成係藉由準備含有分別與R、G、B相對應之色材之液狀體，使用液狀體噴出裝置200(參考圖3)，於基板上配置該液狀體而進行。如圖8所示，於用以配置液狀體之基板4，預先形成岸堤5，於本實施型態中，劃分區域6之長邊方向設為副掃描方向，短邊方向設為主掃描方向，將基板4載置於台面205(參考圖3)上。
於此，液狀體係對於由岸堤5所劃分之特定區域之劃分區域6而配置，為了配合劃分區域6正確地將液狀體予以圖案化，宜預先於劃分區域6內之基板4之露出面，施行親液化處理，於岸堤5之表面施行撥液化處理。此種處理可藉由例如氧或氟化碳之電漿處理來進行。此外，岸堤5之形成係為了高精度地進行液狀體之圖案化之適宜之實施型態，用以設定劃分區域時，未必需要此種物理性劃分。
於配置液狀體前，首先預先產生第一點圖案(圖7之步驟S1)。此第一點圖案係用以產生噴出控制用之點圖案(第二點圖案)之基礎，其為圖9所示之結構。於圖中，中空之圓圈表示每1個點，假想劃分區域A表示於基板4上重疊矩陣MT之情況下之劃分區域6之對應區域，假想邊界B表示其邊界。而且，圖中之L1~L9及R1~R9係為了便於說明所附上之表示矩陣MT之列及行之記號。
於本實施型態之液狀體配置中，對於矩陣之各行之劃分，分為3次掃描而分配有複數噴嘴。圖示之例中，分別為R1、R4、R7行之點對應於參與第一掃描之噴嘴n11、n12、n13、R2、R5、R8行之點對應於參與第二掃描之噴嘴n21、n22、n23、R3、R6、R9行之點對應於參與第三掃描之噴嘴n31、n32、n33。此外，噴嘴n11~n33分別為互異之噴嘴。
於第一點圖案中，與1個假想劃分區域A相對應，以5列×6行之排列設定30個(特定數a)之點。於此，與各點相對應所噴出之液狀體(液滴)實際上係具有比圖中所示之點大之直徑。因此，即使是與假想劃分區域A內之點相對應而理想地配置液狀體(液滴)之情況，例如就接近假想邊界B之L8列之點而言，仍有被噴出之液狀體溢出劃分區域6而配置之虞。而且，若與30個點全部對應而噴出液狀體，則其總量會超過劃分區域6之容量而發生溢流。如此，由於第一點圖案包含許多現實中配置液狀體時不適當之點，因此無法將其直接用於噴出控制，必須轉換為第二點圖案。
詳細會於後面敘述，第二點圖案之產生需要根據噴嘴之噴出資訊之禁止點之判斷處理。因此，於產生第二點圖案前，進行用以取得噴嘴之噴出資訊之噴嘴檢查(圖7之B步驟S2)。於此，噴嘴之噴出資訊中，具有密切與噴出異常之有無及液狀體之配置位置(落下位置)精度相關者。作為噴出異常，可舉例如伴隨有無法噴出、噴出量明顯之多寡、細霧之飛散等液滴形成之異常等之現象。
本實施型態之噴嘴檢查係藉由自噴嘴對於用紙噴出液滴，拍攝形成於用紙上之落下痕跡，並進行圖像解析而進行。亦即，作為有無噴出異常之判斷資訊係取得該落下痕跡之形狀、大小(面積)，作為配置位置精度係取得該落下痕跡從理想位置之偏離量。此外，關於配置位置精度，分別取得主掃描方向成分：Δ1及副掃描方向成分：Δ2。
若噴嘴檢查(步驟S2)結束，根據取得之噴嘴之噴出資訊，對於第一點圖案進行處理，產生噴出控制用之第二點圖案(圖7之C步驟S3)。此處理係以與各假想劃分區域A相對應而設定之每30個點為單位進行，藉此從30個(特定數a)之點刪除18個(特定數b)之點，產生具有12個點之第二點圖案(參考例如圖14)。
若已產生第二點圖案，則根據第二點圖案，於劃分區域6配置液狀體(圖7之D步驟S4)，並進一步使配置之液狀體乾燥而形成著色部2(參考圖1、2)(圖7之步驟S5)。詳細會於後面敘述，第二點圖案係根據噴嘴之噴出資訊而適性化之結構，精度良好地形成有與各劃分區域6相對應之著色部2。
於步驟S4中，於各劃分區域6配置相當於12個點(液滴)之量之液狀體。由於液狀體之配置量係左右著色部2之色度之重要因子，因此必須嚴密地進行定量管理，本實施型態中，藉由規定步驟S3中所刪除之點之總數(特定數b)，以間接地將液狀體之配置量予以定量管理。
此外，噴嘴檢查(步驟S2)及根據其結果之第二點圖案之產生(步驟S3)，宜於置換基板4之個體之時序定期地進行。因為噴嘴之噴出資訊亦可能依後天性之原委，例如氣泡混入流路內或噴嘴維護之執行記錄等而變化，須迅速對應此種變化。
(關於第二點圖案之產生)
接著，參考圖9~圖14來進行有關第二點圖案之產生之詳細說明。
圖10係表示有關第二點圖案產生之處理之流程圖。圖11係表示禁止點之判斷條件之圖。圖12係表示刪除點之選擇條件之圖。圖13係表示第二點圖案之產生過程之例之圖。圖14係表示產生之第二點圖案之例之圖。
第二點圖案之產生處理係將圖9所示之第一點圖案作為基礎，以與各假想劃分區域A相對應而設定之每30個點為單位，按照圖10之流程圖來進行。此處理實際上係使用電腦自動地進行，電腦讀出預先輸入之第一點圖案及噴嘴之噴出資訊，並執行圖10所示之處理。此外，以下為了避免說明繁雜，著眼於1個假想劃分區域A來說明處理內容。
於最初之步驟S11，將30個點全部作為對象，進行是否為禁止點之判斷，屬於禁止點之情況則優先刪除該點。於此，禁止點係指針對該點進行液狀體之噴出驅動之情況時，有發生故障之虞之不適宜之點，根據圖11所示之判斷表來進行其判斷。
首先，與噴出異常之噴嘴相對應之點全部判斷為禁止點。因為若根據此種點進行噴出驅動，則液狀體對於劃分區域6之配置量之精度會降低。例如於圖13(a)所示之例中，由於噴嘴n12具有噴出異常，因此與噴嘴n12相對應之R4行之點被作為禁止點而刪除(以網點塗滿之圓圈表示刪除之點)。
而且，與主掃描方向之配置位置精度：Δ1小於特定量之噴嘴相對應之點中，主掃描方向側之假想邊界B(包含其之劃分)之第一鄰接點判斷為禁止點，與Δ1為特定量以上之噴嘴相對應之點中，偏離方向側之假想邊界B之第一、第二鄰接點判斷為禁止點。因為若根據此種點來進行噴出驅動，被噴出之液狀體會溢出劃分區域6外，有導致與鄰接之其他色之區域混色、或圖案化之故障之虞。例如於圖13(a)所示之例中，分別關於具有正常之配置位置精度之噴嘴n31、n22、n32、n23，對應之L4列及L8列之點被作為禁止點刪除，而關於就配置位置精度而言，具有大幅靠上之特性之噴嘴n13，對應之L4列及L5列之點被作為禁止點刪除。
如此，於本實施型態之例中，無論主掃描方向之配置位置精度之良莠與否，必定刪除與各噴嘴相對應之5個點中之至少2個。此係基於預先於考慮到配置位置精度之偏差之大範圍內設定點，因應於噴嘴之配置位置精度來刪除不適當之點，以控制液狀體之配置位置之思想。
而且，與副掃描方向之配置位置精度：Δ2為特定量以上之噴嘴相對應之點中，偏離方向側之假想邊界B之第一鄰接點判斷為禁止點。因為若根據此種點來進行噴出驅動，被噴出之液狀體會溢出劃分區域6外，有導致圖案化之故障之虞。例如就配置位置精度而言，噴嘴n23具有大幅靠右之特性之情況時，R8行之點全部判斷為禁止點。但與噴出異常之情況不同，由於考慮對應之點與假想邊界B之位置關係、及偏離方向來判斷是否為禁止點，因此於偏離方向相反之情況時，不判斷為禁止點。而且，於其他掃描中，即使如該噴嘴n23被分配到其他假想劃分區域之靠中央之劃分之情況時，仍不判斷對應之點為禁止點。
從上述說明可知，關於配置位置精度之異常，並非單純地禁止使用該類有異常之噴嘴而進行噴出，而是於禁止使用與劃分區域6(假想劃分區域A)之關係不適宜之點之思想下，進行第二點圖案之產生。因此，相較於單純禁止使用之噴嘴之態樣之方法，噴嘴之利用效率較優異。
若步驟S11結束，於下一步驟S12，進行被刪除之點之總數：N是否比18大之判斷。為了定量管理液狀體對於劃分區域6之配置量，必須將N規定於18，因為不容許刪除數目超過18之點數。例如圖13(b)係表示由於噴嘴n31、n12、n23為異常噴嘴，因此於步驟S11中刪除24個禁止點之例，如此，於N比18大之情況(是)時，於步驟S13進行警告之顯示。亦即，該警告係與刪除禁止點會無法產生第二點圖案之錯誤訊息相對應。
於步驟S12，判斷N為18以下之情況(否)時，於下一步驟S14，進行N是否達到18之判斷。於此，N未達到18之情況(否)時，於下一步驟S15進一步進行點之刪除。為了定量管理液狀體對於劃分區域6之配置量，必須將N規定於18，因為不容許於N小於18之狀態下完成第二點圖案。
若於步驟S15已刪除點，則再度於步驟S14，進行N是否達到18之判斷。藉此，至N達到18為止，連續進行點之除去(步驟S15)，N達到18時(是)，一連串之處理結束，第二點圖案完成。
於步驟S15刪除之點(刪除點)係根據圖12之表所示之條件選擇。亦即，剩餘之點中，首先優先選擇關於第三掃描之點(第一條件)。以第一條件選擇之點有複數之情況時，從該複數點中，選擇更遠離副掃描方向側之假想邊界B之點(第二條件)，進一步以第二條件選擇之點為複數之情況時，從該複數點中，選擇更遠離主掃描方向側之假想邊界B之點(第三條件)。此外，以第三條件選擇之點為複數之情況時，從該複數點中隨機選擇1個點。
第三掃描係有關該劃分區域6之最後掃描，由於在此最後之掃描中，於其以前之掃描中噴出之液狀體既已於特定區域內充滿特定量之處，噴出液狀體，因此具有容易引起液狀體從劃分區域6溢出(溢流)之問題。於第一條件中，優先選擇關於第三掃描之點來作為刪除點，係藉由減少該掃描之液狀體之配置量，以謀求迴避此問題。
而且，與刪除之點相對應之配置位置係劃分區域6內，相對容易產生液狀體之潤濕缺陷之處所。於第二、第三條件中，選擇較遠離假想邊界B之點來作為刪除點，係藉由將此類處所設定於劃分區域6之靠中央，以相對地抑制缺陷發生。亦即，劃分區域6之靠中央之處所由於可期待配置於該處所周圍之液狀體之潤濕擴散，因此即使未配置液狀體，據判發生缺陷之可能性仍十分低。
例如於步驟S11中刪除15個禁止點之圖13(a)之例之情況下，於步驟S14判斷N小於18，於步驟S15進行點之刪除。此時，作為以第一條件所選擇之對象係與噴嘴n31、噴嘴n32相對應之6個點。其中，以第二條件進一步選擇與噴嘴n32相對應之3個點，並進而藉由第三條件選擇L6列之點，將該點刪除(N=16)。
由於N小於18(步驟S14)，因此進一步進行點之刪除(步驟S15)。此時，藉由第一、第二條件，選擇與噴嘴n32相對應之點中先前未選擇之L5列、L7列之點，此等均相當於假想邊界B之第二鄰接點，因此以第三條件無法選擇其一。因此，刪除隨機選擇之一方之點(N=17)。此外，藉由將L5列、L7列之點與假想邊界B之距離，不作為矩陣MT之劃分單位，而是作為實際距離位準來比較，亦可更嚴密地進行刪除點之選擇。
由於N小於18(步驟S14)，因此進一步進行點之刪除(步驟S15)。於此步驟S15中，藉由第一、第二條件，選擇與噴嘴n32相對應之點中先前未選擇之1個點，並刪除該點(N=18)。如此，刪除第一點圖案中之30個點中之18個點，產生圖14所示之第二點圖案。
如以上所說明，於第二點圖案之產生處理中，由於優先刪除根據噴嘴之噴出資訊所判斷之禁止點(步驟S11)，因此可適當地抑制與液狀體對於劃分區域6之配置量或圖案化之精度等相關之故障發生。而且，實質上，由於藉由在被賦予之條件(圖11、圖12)下，從複數(特定數a)點中「選擇」刪除之點，以產生第二點圖案，因此即使條件複雜，仍可較簡單地進行處理。而且，藉由規定刪除之點之總數(特定數b)(步驟S12、S14)，可簡單地定量管理液狀體對於劃分區域6之配置量。
(變形例1)
接著，參考圖10、圖13(a)、圖15、圖16，針對變形例1，以與先前之實施型態之相異點為中心來說明。
圖15係表示有關變形例1之刪除點之選擇條件之圖。圖16係表示有關變形例1之第二點圖案之例之圖。
於此變形例1中，步驟S15之刪除點之選擇係根據圖15之表所示之條件來進行。亦即，於第一條件中，選擇與對應於步驟S15中既已成為刪除對象之點之噴嘴以外之噴嘴相對應之點。藉由設定此條件，會以約略均等比率來刪除與各噴嘴分別相對應之點，因此各噴嘴對於一劃分區域6之利用頻率會適當地分散。如此，可適當地抑制起因於噴嘴間之噴出量偏差之劃分區域6間之液狀體量之偏差。
例如於步驟S11刪除15個禁止點之圖13(a)之例中，於步驟S15中刪除之3個點分別對應於互異之噴嘴。而且，由於第二條件、第三條件與先前之實施型態相同，因此從遠離假想邊界B之點優先刪除，結果產生圖16所示之第二點圖案。
(變形例2)
接著，參考圖10、圖13(a)、圖17、圖18，針對變形例2，以與先前之實施型態之相異點為中心來說明。
圖17係表示有關變形例2之刪除點之選擇條件之圖。圖18係表示有關變形例2之第二點圖案之例之圖。
於此變形例2中，步驟S15之刪除點之選擇係根據圖17之表所示之條件來進行。亦即，於第一條件中，選擇與對應於步驟S15中既已成為刪除對象之點之噴嘴以外之噴嘴相對應之點，並進一步於第二條件選擇有關第三掃描之點。藉由設定此條件，會以約略均等比率來刪除與各噴嘴分別相對應之點，謀求分散噴嘴之利用頻率，並且減少有關最後掃描之液狀體之配置量，可謀求防止溢流。
而且，於第三、第四條件中，與先前之實施型態之情況不同，優先選擇較接近假想邊界B之點。藉由設定此條件，由於不會優先進行對於接近劃分區域6之邊界之位置之液狀體之配置，因此可適當地抑制液狀體從劃分區域6溢出。
例如於步驟S11中刪除15個禁止點之圖13(a)之例中，於步驟S15中刪除之3個點分別對應於互異之噴嘴。而且，優先刪除與關於第三掃描之噴嘴之噴嘴n31、n32相對應之點，並進一步優先刪除接近假想邊界B之位置之點，結果產生圖18所示之第二點圖案。
(第二實施型態)
接著，參考圖19、圖20、圖21、圖22，針對本發明之第二實施型態，以與先前之實施型態之相異點為中心來說明。
圖19係表示第一點圖案之圖。圖20係表示有關第二點圖案之產生之處理之流程圖。圖21係表示第二點圖案之例之圖。
於此第二實施型態之第一點圖案中，如圖19所示，對應於各假想劃分區域A而設定有15個(特定數a)點。而且，於圖20之步驟S11中，不考慮液狀體之配置位置精度，僅有與噴出異常之噴嘴相對應之點被作為禁止點刪除。而且，於步驟S12、S14中，針對已刪除之點之總數，以3個(特定數b)為基準而進行判斷，使得於第二點圖案所剩餘之點數成為適當數之12個。
例如於步驟S11中，與噴出異常之噴嘴n12相對應之R4行之點被作為禁止點刪除之情況(N=3)時，經過步驟S12之判斷「否」、步驟S14之判斷「是」而產生圖21(a)所示之第二點圖案。
而且，於步驟S11中，與噴出異常之噴嘴n13相對應之R7行之點被作為禁止點刪除之情況(N=2)時，經過步驟S12之判斷「否」、步驟S14之判斷「否」，於步驟S15刪除1個點。此時，例如若根據圖17之表所示之條件來選擇刪除點，則會刪除與有關第三掃描之噴嘴n32相對應之點中之L7列之點，結果產生圖21(b)所示之第二點圖案。
如同此第二實施型態，於第一點圖案中，對於各假想劃分區域A所設定之點數(特定數a)或排列可為各種態樣。例如於第一點圖案，於包含假想邊界B之劃分或其外側之劃分中配置點而構成亦可。
此外，設定第一點圖案之點數、排列時，無論是任何噴嘴變成噴出異常之情況，均須顧慮到至少留下適當數(此實施型態為12個)之點。例如若集中在特定行設定點，由於在與該行相對應之噴嘴變成噴出異常之情況時，剩餘之點數會低於適當數，故此種設定不適宜。
圖22係表示關於變形例之第二點圖案之產生之相關處理之流程圖。於此變形例中，於產生第二點圖案前，預先指定(列表化)欲禁止使用之禁止噴嘴(本發明之E步驟)。然後，於步驟S11'，優先刪除與指定之禁止噴嘴相對應之點。若根據此變形例，可不受限於噴嘴之噴出資訊而改變噴嘴之使用條件，以進行液狀體之配置。
(第三實施型態)
接著，參考圖23，針對本發明之第三實施型態，以與先前之實施型態之相異點為中心來說明。
圖23係表示有機EL顯示裝置之要部結構之剖面圖。
如圖23所示，有機EL顯示裝置100係具備：元件基板111；驅動電路部112，其係形成於元件基板111上；發光元件部113，其係形成於驅動電路部112上；及密封基板114，其係用以密封驅動電路部112及發光元件部113。於由密封基板114所密封之密封空間115，填充有惰性氣體。
發光元件部113具有由岸堤120所劃分之複數劃分區域119，於此劃分區域119內形成有發光元件125。發光元件125係於驅動電路部112之輸出端子之區段電極(陽極)121與共同電極(陰極)124間，疊層有電洞輸送層122、有機EL材料層123而構成。而且，於岸堤120與驅動電路部112間，以鉻或其氧化物等，形成用以防止灰階要素間之干擾之遮光膜126。
電洞輸送層122係用以於有機EL材料層123注入電洞之功能層，以聚塞吩衍生物之摻雜體(PEDOT)等高分子導電體所形成。有機EL材料層123係以可發出螢光或燐光之習知之有機EL材料之例如聚芴衍生物、(聚)對苯基乙烯基衍生物、聚苯基衍生物等形成。電洞輸送層122、有機EL材料層123係使用第一實施型態所說明之液狀體配置方法，配置含與作為特定區域之劃分區域119相對應之功能性材料(PEDOT/有機EL材料)之液狀體而製造。
本發明不限定於上述實施型態。
例如於步驟S15中，不設置如實施型態所說明之優先條件(圖12、圖15等)，刪除隨機選擇之點亦可。
而且，作為使用上述液狀體配置方法之其他例，可舉例如電漿顯示裝置之螢光膜之形成、或電路之導電布線或電阻元件之形成等。
而且，實施型態之各結構可適當組合、省略其等，或與未圖示之其他結構組合。
1．．．彩色濾光器
2．．．著色部
4．．．基板
5．．．岸堤
6．．．作為特定區域之劃分區域
20．．．噴嘴
100．．．有機EL顯示裝置
119．．．作為特定區域之劃分區域
120．．．岸堤
122．．．電洞輸送層
123．．．有機EL材料層
125．．．發光元件
200．．．液狀體噴出裝置
MT．．．矩陣
圖1係表示彩色濾光器之結構之平面圖。
圖2係表示彩色濾光器之構造之剖面圖。
圖3係表示液狀體噴出裝置之要部結構之立體圖。
圖4係表示噴頭單元之噴頭之配置結構之平面圖。
圖5係表示液狀體噴出裝置之電性結構圖。
圖6係表示點圖案與噴嘴位置之關係圖。
圖7係表示有關彩色濾光器之著色部之形成之步驟之流程圖。
圖8係表示進行液狀體配置時之基板狀態之平面圖。
圖9係表示第一點圖案之圖。
圖10係表示有關第二點圖案產生之處理之流程圖。
圖11係表示禁止點之判斷條件之圖。
圖12係表示刪除點之選擇條件之圖。
圖13(a)、(b)係表示第二點圖案之產生過程之例之圖。
圖14係表示產生之第二點圖案之例之圖。
圖15係表示有關變形例1之刪除點之選擇條件之圖。
圖16係表示有關變形例1之第二點圖案之例之圖。
圖17係表示有關變形例2之刪除點之選擇條件之圖。
圖18係表示有關變形例2之第二點圖案之例之圖。
圖19係表示第一點圖案之圖。
圖20係表示有關第二點圖案之產生之處理之流程圖。
圖21(a)、(b)係表示第二點圖案之例之圖。
圖22係表示關於變形例之第二點圖案之產生之相關處理之流程圖。
圖23係表示有機EL顯示裝置之要部結構之剖面圖。
A．．．假想劃分區域
B．．．假想邊界
L1~L9．．．列
MT．．．矩陣
n11,n12,n13,n21,n22,n23,n31,n32,n33．．．噴嘴
R1~R9．．．行

Claims (6)

  1. 一種液狀體配置方法，其係將噴嘴與基板相對地掃描而自前述噴嘴噴出液狀體，藉此於前述基板上之特定區域配置前述液狀體者；且該液狀體配置方法包含以下步驟：取得自前述噴嘴所噴出之前述液狀體著落至前述基板之際之相對於目標之偏差；產生點圖案，該點圖案係對應於前述特定區域而形成有複數劃分區域者，且該點圖案基於前述偏差而於從前述複數劃分區域所選出之一部分之劃分區域上配置有點；及基於前述點圖案，在與前述點對應之位置噴出前述液狀體，而配置前述液狀體於前述特定區域；其中在前述複數劃分區域中與前述特定區域之邊界對應之劃分區域上，當相對於前述目標之偏差之方向係前述特定區域之外側方向之情形時，在該劃分區域不配置前述點而配置禁用點，在與前述禁用點對應之位置處不噴出前述液狀體。
  2. 如請求項1之液狀體配置方法，其中於前述點圖案中，優先於與前述特定區域之邊界對應之劃分區域上配置前述點。
  3. 如請求項1之液狀體配置方法，其中於前述點圖案中，優先於與前述特定區域之靠近中央處對應之劃分區域上配置前述點。
  4. 一種液狀體配置方法，其係將複數噴嘴與基板相對地掃描而自前述噴嘴噴出液狀體，藉此於前述基板上之特定區域配置前述液狀體者；且該液狀體配置方法包含以下步驟：取得噴嘴之噴出資訊；產生點圖案，該點圖案係對應於前述特定區域而形成有複數劃分區域者，且該點圖案於從前述複數劃分區域基於前述噴出資訊所選出之一部分之劃分區域上配置有點；及基於前述點圖案，在與前述點對應之位置噴出前述液狀體，而配置前述液狀體於前述特定區域；前述取得噴嘴之噴出資訊的步驟係取得自噴嘴噴出之液狀體之落下痕跡之形狀或面積者。
  5. 一種彩色濾光器之製造方法，其係將噴嘴與基板相對地掃描而自前述噴嘴噴出含色材之液狀體，藉此於前述基板上之特定區域配置前述液狀體者；且該彩色濾光器之製造方法包含以下步驟：取得噴嘴之噴出資訊；產生點圖案，該點圖案係對應於前述特定區域而形成有複數劃分區域者，且該點圖案於從前述複數劃分區域基於前述噴出資訊所選出之一部分之劃分區域上配置有點；基於前述點圖案，在與前述點對應之位置噴出前述液狀體，而配置前述液狀體於前述特定區域；及 將前述液狀體予以固化，而形成著色部；前述取得噴嘴之噴出資訊的步驟係取得自噴嘴噴出之液狀體之落下痕跡之形狀或面積者。
  6. 一種有機EL顯示裝置之製造方法，其係將噴嘴與基板相對地掃描而自前述噴嘴噴出含有機EL材料之液狀體，藉此於前述基板上之特定區域配置前述液狀體者，該有機EL顯示裝置之製造方法包含以下步驟：取得噴嘴之噴出資訊；產生點圖案，該點圖案係對應於前述特定區域而形成有複數劃分區域者，且該點圖案於從前述複數劃分區域基於前述噴出資訊所選出之一部分之劃分區域上配置有點；基於前述點圖案，在與前述點對應之位置噴出前述液狀體，而配置前述液狀體於前述特定區域；及將前述液狀體予以固化，而形成發光元件；前述取得噴嘴之噴出資訊的步驟係取得自噴嘴噴出之液狀體之落下痕跡之形狀或面積者。
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