JP2009252355A - 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のノズルにおける液滴の吐出量のばらつきを考慮して所定量の液状体を安定
して膜形成領域に吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、これを用いたカラーフィ
ルタの製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向に移動させるワーク移動機構２
０と、ワークＷに対してキャリッジ８を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘ
ッド移動機構３０と、キャリッジ８に搭載された複数のノズルと、複数のノズルの駆動手
段に駆動信号を印加するノズル駆動部と、これらを統括的に制御する制御部４０とを備え
、制御部４０は、複数のノズルのうち主走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動手
段に印加される駆動信号が主走査ごとに異なるようにノズル駆動部を制御する。
【選択図】図１

Description

本発明は、液状体を液滴として被吐出物に吐出描画な液滴吐出装置、液状体の吐出方法
、これらを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法に関する。

近年、液滴吐出法を用いて機能性材料を含む液状体を基板等の被吐出物に液滴として吐
出して各種の機能デバイスを製造することが注目されている。代表的な機能デバイスとし
ては、カラーフィルタや有機ＥＬ（Electro Luminessence）素子などが挙げられる。

これらの機能デバイスにおいては、所望の特性を得るために被吐出物上において如何に
均質且つ均一な機能膜を形成するかが重要な課題の１つである。これを実現可能な製造方
法としては、複数のノズルを列状に配列して成るノズル列を有し、該ノズル列が複数のグ
ループに分割されてなるインクジェットヘッドと基板とを主走査方向に相対移動させる工
程と、複数のノズルから選択的にフィルタ材料を吐出して基板上にフィルタエレメントを
形成する工程とを備えたカラーフィルタの製造方法が知られている（特許文献１）。
上記カラーフィルタの製造方法は、該ノズル列のグループの少なくとも一部が基板の同
じ部分を主走査方向に走査できるように、インクジェットヘッドまたは基板のいずれか一
方を他方に対して副走査する工程を備えている。これにより、ノズル間におけるインク吐
出量がばらついていても、異なるグループに属する複数のノズルによってインクとしての
フィルタ材料が吐出されるので、フィルタエレメント間の膜厚のばらつきを防止できると
している。言い換えれば、この方法は、ノズル間における吐出量のばらつきをノズル分散
させる方法である。

また、複数種の液状体を吐出可能な液滴吐出装置としては、液状体を種類ごとに吐出す
る複数の液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、複数の液滴吐出ヘッドとワークとを
対向配置させた状態で相対的に主走査方向および副走査方向に移動させる移動手段と、複
数の液滴吐出ヘッドとワークとの主走査に同期して、複数の液滴吐出ヘッドを選択的に駆
動して複数種の液状体をワークに吐出させる描画制御手段とを備えた液滴吐出装置が知ら
れている（特許文献２）。
上記キャリッジには、複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列が副走査方向に並列すると共
に、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列の端部の位置が互いにずれた状態で並列し
ている。これにより、ノズル列の端部における吐出量のばらつきに起因する主走査方向の
スジ状の吐出ムラを低減できるとしている。

一方で機能デバイスであるカラーフィルタとしては、色再現性を向上させるために多色
（６色）構成のフィルタエレメントを有するものが提案されている（特許文献３）。

特開２００２−２２１６１６号公報 頁５ 特開２００６−３４６５７５号公報 頁５ 特開２００５−６２８３３号公報

上記特許文献１のカラーフィルタの製造方法および上記特許文献２の液滴吐出装置の構
成を上記特許文献３のカラーフィルタの製造に適用することが考えられる。キャリッジに
同種の液状体を吐出可能な液滴吐出ヘッドを複数搭載しようとすると、液状体の種類が増
えるほどキャリッジが大きくなってしまう。すなわち、液滴吐出装置が大型化してしまう
という課題がある。
一方、搭載する液滴吐出ヘッドの数を液状体の種類と同じ数とすると、キャリッジの大
きさは小さくできるものの、液滴吐出ヘッド固有の吐出特性の影響を受けた状態で当該液
状体を吐出することになる。したがって、液状体間で吐出状態に差が生じて吐出ムラとし
て認識されるおそれがある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例の液滴吐出装置は、複数の膜形成領域を有する基板と複数のノズ
ルとを対向させ相対移動させる走査の間に、前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状
体を液滴として吐出する液滴吐出装置であって、前記複数のノズルに対して前記基板を第
１の方向に相対移動させる第１移動機構と、前記ノズルごとに設けられた駆動手段と、前
記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号を発生し、前記複数の駆動信号のうちの１つ
を前記駆動手段に印加して前記ノズルから前記液滴を吐出させるノズル駆動部と、同一の
前記膜形成領域に対して複数回の前記走査を行うように前記第１移動機構を制御し、前記
複数回の前記走査の間に所定量の前記液状体を前記液滴として吐出するように前記ノズル
駆動部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数のノズルのうち前記走査に
おいて前記膜形成領域に掛かる前記ノズルの前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前
記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特徴とする。

この構成によれば、制御部は、複数回の走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動
手段に、走査ごとに異なる駆動信号を印加するようにノズル駆動部を制御する。
したがって、複数回の走査において同一ノズルが膜形成領域に掛かっても当該ノズルの
駆動手段には、異なる駆動信号が印加されるので、吐出される液滴の吐出量が可変される
。
よって、複数のノズル間において、同一の駆動信号を印加したときの液滴の吐出量がば
らついていたとしても、走査ごとに駆動信号が変わるので、液滴の吐出が終了した時点で
は、所定量の液状体を量的なばらつきを抑えて膜形成領域ごとに付与することが可能な液
滴吐出装置を提供することができる。

［適用例２］上記適用例の液滴吐出装置において、前記複数のノズルからなる少なくと
も１つのノズル列を備え、前記制御部は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段に印加
される前記駆動信号が前記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特
徴とする。
この構成によれば、制御部は、ノズル列を単位として液滴の吐出制御を行う。したがっ
て、ノズル単位に吐出制御を行う場合に比べて、簡単な構成でノズル間の吐出量のばらつ
きを抑制して液状体を吐出することができる。

［適用例３］上記適用例の液滴吐出装置において、前記ノズル列は、前記複数の駆動信
号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、前記制御部は、前記ノズル群を単位と
する前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前記走査ごとに異なるように前記ノズル駆
動部を制御するとしてもよい。
この構成によれば、制御部は、駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を単位
として液滴の吐出制御を行う。したがって、ノズル列を単位として吐出制御する場合に比
べて、限られた数の駆動信号を余すところ無く複数のノズル群に当て嵌めてノズル間の吐
出量のばらつきを抑制し、それぞれの膜形成領域に液状体を吐出することができる。

［適用例４］上記適用例の液滴吐出装置において、前記複数のノズル群は、前記第１の
方向に対して直交する第２の方向に配列しており、前記第２の方向に前記ノズル列を移動
させる第２移動機構を備え、前記制御部は、前記複数回の前記走査によって、異なる前記
ノズル群から前記膜形成領域に前記液滴が吐出されるように、前記第２移動機構を制御し
て前記複数回の前記走査の間に前記ノズル列を前記第２の方向に移動させるとしてもよい
。
この構成によれば、走査ごとに膜形成領域に掛かるノズル群が変更され、且つ走査ごと
に当該ノズル群の駆動手段に印加される駆動信号が変わる。したがって、走査ごとに膜形
成領域に掛かるノズル群を変えるだけでなく、吐出される液滴の吐出量が当該ノズル群を
単位として可変されるので、ノズル間の吐出量のばらつきをより分散させて膜形成領域ご
とに液状体を吐出することができる。

［適用例５］本適用例の液状体の吐出方法は、複数の膜形成領域を有する基板と複数の
ノズルとを対向させ第１の方向に相対移動させる複数回の走査の間に、前記複数のノズル
から前記膜形成領域に所定量の液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐
出方法であって、前記吐出工程は、前記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号のうち
の１つを前記ノズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出し、前記複数のノズ
ルのうち前記走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルの前記駆動手段に印加する
前記駆動信号を前記走査ごとに異ならせることを特徴とする。

この方法によれば、複数回の走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動手段に、走
査ごとに異なる駆動信号が印加される。
したがって、複数回の走査において同一ノズルが膜形成領域に掛かっても当該ノズルの
駆動手段には、異なる駆動信号が印加されるので、吐出される液滴の吐出量が可変される
。
よって、複数のノズル間において、同一の駆動信号を印加したときの液滴の吐出量がば
らついていたとしても、走査ごとに駆動信号が変わるので、液滴の吐出が終了した時点で
は、所定量の液状体を量的なばらつきを抑えて膜形成領域ごとに付与することが可能な液
状体の吐出方法を提供することができる。

［適用例６］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記複数のノズルからなる少な
くとも１つのノズル列を備え、前記吐出工程は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段
に印加する前記駆動信号を前記走査ごとに異ならせることが好ましい。
この方法によれば、走査ごとにノズル列を単位として駆動信号が変わるので、ノズル単
位に駆動信号を変える場合に比べて、簡単な構成でノズル間の吐出量のばらつきを抑制し
て液状体を吐出することができる。

［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ノズル列は、前記複数の駆
動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、前記吐出工程は、前記ノズル群を
単位とする前記駆動手段に印加する前記駆動信号を前記走査ごとに異ならせるとしてもよ
い。
この方法によれば、駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を単位として走査
ごとに駆動信号を変えるので、ノズル列を単位として駆動信号を変える場合に比べて、限
られた数の駆動信号を余すところ無く複数のノズル群に当て嵌めてノズル間の吐出量のば
らつきを抑制し、それぞれの膜形成領域に液状体を吐出することができる。

［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記複数回の
前記走査によって、異なる前記ノズル群から前記膜形成領域に前記液滴を吐出するように
、前記複数回の前記走査の間に前記ノズル列を前記第１の方向に直交する第２の方向に移
動するとしてもよい。
この方法によれば、走査ごとに膜形成領域に掛かるノズル群が変更され、且つ走査ごと
に当該ノズル群の駆動手段に印加される駆動信号が変わる。したがって、走査ごとに膜形
成領域に掛かるノズル群が変わるだけでなく、吐出される液滴の吐出量が当該ノズル群を
単位として可変されるので、ノズル間の吐出量のばらつきをより分散させて膜形成領域ご
とに液状体を吐出することができる。

［適用例９］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複
数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方
法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出
工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を
備えたことを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程では、量的なばらつきが抑制された状態で所定量の液状体
が膜形成領域ごとに吐出され、成膜工程では、膜形成領域ごとにほぼ一定の膜厚を有する
着色層を形成することができる。したがって、所望の光学特性を有するカラーフィルタを
歩留りよく製造することができる。

［適用例１０］本適用例の有機ＥＬ装置の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発
光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、上記
適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域
に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程
と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程では、量的なばらつきが抑制された状態で所定量の液状体
が膜形成領域ごとに吐出され、成膜工程では、膜形成領域ごとにほぼ一定の膜厚を有する
発光層を形成することができる。したがって、所望の輝度特性を有する有機ＥＬ素子を備
えた有機ＥＬ装置を歩留りよく製造することができる。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。

（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図１〜図６を参照して説明する。図１は、液
滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークＷを第１の方向としての主走査方向（
Ｘ軸方向）に移動させる第１移動機構としてのワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９
を主走査方向に直交する第２の方向としての副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる第２移
動機構としてのヘッド移動機構３０とを備えている。

ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って
移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置す
るステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図
示省略）により主走査方向に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としての
エンコーダ１２（図５参照）が設けられている。
エンコーダ１２は、移動台２２の主走査方向への相対移動に伴って、ガイドレール２１
に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としての
エンコーダパルスを生成する。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の
基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。なお、エン
コーダ１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿ってＸ軸方向に相
対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１２を
駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って
移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキ
ャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニッ
ト９が取り付けられている。
また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、
複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図５参
照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８をＹ軸方向に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対し
て対向配置する。

液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐
出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを
行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子
天秤などの計測器を有する重量計測機構６０（図５参照）を備えている。そして、これら
の構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。
図１では、メンテナンス機構および重量計測機構６０は、図示省略した。

図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は
ノズルの配置状態を示す平面図である。

図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続
針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッ
ド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備
えている。接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続さ
れ、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケー
ブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図５参照）に接続される２連のコネクタ
５８が設けられている。

ヘッド本体５６は、駆動手段としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部
５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズ
ルプレート５１とを有している。

図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個
）のノズル５２がピッチＰ１で略等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピ
ッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、
およそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個の
ノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノ
ズル５２の径は、およそ２７μｍである。

液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子
に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキ
ャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出するこ
とができる。

液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとして
の振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２
から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。

図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳し
くは、ワークＷに対向する側から見た図である。

図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッ
ドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０が主
走査方向に並列したヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０が主走査方向に
並列したヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、
ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１、ヘッドＧ１、ヘッドＢ１、並びにヘッド群５０Ｂのヘッド
Ｃ１、ヘッドＭ１、ヘッドＹ１は、互いに異なる種類の液状体を吐出する。すなわち、６
種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。

１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ₀とし、これをノズル列５２
ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるも
のを指す。

この場合、ヘッドＲ１とヘッドＣ１は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズ
ル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連
続するように主走査方向に並列して配設されている。ヘッドＧ１とヘッドＭ１、ヘッドＢ
１とヘッドＹ１においても同様に主走査方向に並列して配置されている。

なお、ヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるもの
ではない。例えば、３つの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ１、ヘッドＧ１、ヘッドＢ１）
を副走査方向（Ｙ軸方向）に直線的に配置し、主走査方向（Ｘ軸方向）においてこれに並
列するように、残り３つの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＣ１、ヘッドＭ１、ヘッドＢ１）
を配置してもよい。また、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限
らず、１連でもよい。

図４は、液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフである。詳しくは、一方の軸をノズル
５２の番号とし、他方の軸をノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量（Ｉｗ／ｎｇ）と
して、ノズル列５２ａにおける吐出量の分布を示したグラフである。

ノズル５２ごとに設けられた圧電素子５９に同一の駆動信号を与えて液滴を吐出しても
、圧電素子５９の固有電気特性のばらつきや、それぞれのノズル５２に連通するキャビテ
ィなどヘッド内流路の設計上の違いなどにより、ノズル５２ごとに吐出された液滴の吐出
量がばらつくことが判明している。特にノズル間における電気的、機械的なクロストーク
は、吐出量のばらつきにおける重要な因子である。すなわち、複数のノズル５２から吐出
される液滴の吐出量の分布がノズル列５２ａ，５２ｂごと、あるいは液滴吐出ヘッド５０
ごとに異なる場合がある。

図４は、液滴吐出ヘッド５０（ノズル列５２ａ）の吐出特性を調べたものである。具体
的には、所定の駆動電圧を有する駆動信号を圧電素子５９に与え、数千から数万程度の吐
出数（吐出発数）の液滴をノズル５２から吐出させ、その液状体の重量を前述した重量計
測機構６０（図５参照）を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出
数で除して１滴あたりの重量を算出して液滴の吐出量Ｉｗとした。

図４に示すように、複数のノズル５２から吐出された液滴の吐出量Ｉｗは、Ｉｗアーチ
と呼ばれる曲線形状を示し、ノズル列５２ａの両端側に位置するノズル５２から吐出され
る液滴の吐出量Ｉｗが、他のノズル５２に対して増加する傾向を有している。
本実施形態では、液滴の吐出量Ｉｗを重量として説明しているが、吐出された液滴の体
積を測ることによって、ノズル５２ごとの吐出量のばらつきを把握してもよい。

本実施形態の液滴吐出装置１０は、このようなＩｗアーチを考慮して、液滴の吐出制御
を行うことを特徴の１つとしており、後述する複数の駆動信号の数に応じてノズル列５２
ａ（ノズル列５２ｂ）を複数（４つ）のノズル群に区分している。具体的には、１８０個
のノズル５２からなるノズル列５２ａ（ノズル列５２ｂ）のうち、ねらいの吐出量Ｉｗｔ
から外れやすい両端側の１０個を除いた１６０個のノズル５２を有効ノズルとする。そし
て、有効ノズルを均等に複数（４つ）のノズル群Ｇｒに分割した。すなわち、ノズル群Ｇ
ｒ１、ノズル群Ｇｒ２、ノズル群Ｇｒ３、ノズル群Ｇｒ４である。これらのノズル群Ｇｒ
に係る吐出制御の詳細については、後述する。

次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図５は、液滴吐出装置の制御系を示
すブロック図である。図５に示すように、液滴吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド
５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、重量計測機構６０などを駆動する各種
ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を統括的に制御する
制御部４０とを備えている。

駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれ
ぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するノズル駆動
部としてのヘッドドライバ４８と、重量計測機構６０を駆動制御する重量計測用ドライバ
４９とを備えている。この他にもメンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライ
バなどを備えているが図示省略した。

制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え
、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュ
ータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを
記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データな
どを記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、
ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ，５２ｂ）の位置データ
を記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域と
して使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており
、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論
理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ
１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ
４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのま
まあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介
して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなど
を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力すること
により、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド
５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワ
ークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期し
て、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワーク
Ｗに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この
場合、Ｘ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ
軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置
１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画す
ることができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限
らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。

エンコーダ１２は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコー
ダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エン
コーダパルスが周期的に発生する。

上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置
１０に送出する。また、基板上の膜形成領域ごとに所定量の液状体を液滴として配置する
吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情
報は、膜形成領域における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相
対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複
数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ（言い換えれば、複数のノズル５２の選択パターン）、吐
出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピ
ュータ１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配
置情報を修正することも可能である。

＜液滴吐出ヘッドの吐出制御方法＞
次に、本実施形態の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法について、図６および図７を参照し
て説明する。図６は液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図、図７は駆動信号お
よび制御信号のタイミングチャートである。

図６に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴の吐出量を制御する異なる複数の駆動
信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣとする）７１
Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（
以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリを内部に有する波形データ選
択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御デ
ータを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯ
Ｍラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号がそれぞれ出力される。

各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた圧電素子５９への駆動信号Ｃ
ＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つ
を選択して、各圧電素子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出す
る駆動信号選択回路７５と、を備えている。

ノズル列５２ａにおいて、圧電素子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄ
のグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、圧電素子５９の他方の電極５９ａ
（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７
５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、
駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出
タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。図示省略し
たがノズル列５２ｂにおいても同様な電気的接続となっている。

データメモリ７３には、各液滴吐出ヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される
吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子５９への駆動
信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各圧電素子５９に対応
したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、
ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形
番号データＷＮである。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビ
ット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，
３）で、波形番号データＷＮは、１Ｄ／Ａコンバータあたり７ビット（０〜１２７）で構
成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。

上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図７に
示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択デー
タＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４
、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ
２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子５９のセグメ
ント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯ
Ｍ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、圧電素子５９のセグメント電極５９
ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動
信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」の
ときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。ま
た、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの
選択に連動して設定される。

タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従
い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成さ
れる。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子５９に、生
成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通する加圧部５７のキャビティの容
積（圧力）制御が行われる。

ここで、タイミングｔ３における電位上昇成分は加圧部５７のキャビティを膨張させ、
液状体をキャビティ内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ４における電
位降下成分は、キャビティを収縮させ、液状体をノズル５２外に押し出して吐出させる役
割を果たしている。

駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、
その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式
の液滴吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、
タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈとして規定し、
これを吐出量制御の条件として利用することができる。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは
、本実施形態で示すような単純な矩形波に限られるものではなく、例えば、台形波など公
知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えば
サーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号のパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件
として利用することも可能である。

本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ
７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより
、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力する
ことが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビ
ット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応さ
せている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動波形を０
．１Ｖ刻みで設定することができる。

かくして、本実施形態の液滴吐出装置１０は、複数のノズル５２における液滴の吐出量
Ｉｗのばらつきを考慮して、各圧電素子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関
係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号の種類（駆動電圧Ｖ
ｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴の
吐出量Ｉｗを調整して液状体を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択
データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定
を適切に行うことが、吐出量Ｉｗを管理するための重要事項であると言える。以降、各Ｃ
ＯＭラインと駆動信号との関係において、波形データＷＤ１〜ＷＤ４に対応する駆動信号
ＣＯＭを便宜上、駆動信号ＣＯＭ１〜駆動信号ＣＯＭ４として表現する。

本実施形態における液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０とワークＷとの主走査ご
とに液滴を吐出するノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭを異ならせる
。言い換えれば、選択されたノズル５２の圧電素子５９に対して主走査ごとに駆動信号Ｃ
ＯＭ１〜駆動信号ＣＯＭ４のうちから１つを選択して印加する。
また、このような吐出制御は、有効な１６０個のノズル５２からなるノズル列５２ａ（
ノズル列５２ｂ）を単位として、またはノズル列５２ａとノズル列５２ｂとを含めた３２
０個のノズル５２からなるノズル列５２ｃを単位として行うことも可能である。
さらには、波形データの数、すなわち駆動信号ＣＯＭの数に対応して区分されたノズル
群Ｇｒを単位として行うことも可能である。
したがって、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量Ｉｗを、主走査ごとに少なくと
も４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各圧電素子５９
に印加する場合に比べて、ノズル５２の吐出特性に起因する液滴の吐出量Ｉｗのばらつき
を、ノズル５２ごと、ノズル列５２ａ（ノズル列５２ｂ）ごと、ノズル群Ｇｒごと、ある
いは異なる液状体を吐出するノズル列５２ｃごと（言い換えれば液滴吐出ヘッド５０ごと
）に調整することが可能である。ゆえに、複数のノズル５２の吐出特性に起因する吐出ム
ラを低減して液状体を吐出することが可能である。

＜液状体の吐出方法およびカラーフィルタの製造方法＞
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、これを適用したカラーフィルタの製造
方法を例にして説明する。

まず、本実施形態のカラーフィルタについて説明する。図８（ａ）はカラーフィルタを
示す概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図である。

図８（ａ）に示すように、本実施形態のカラーフィルタ２は、基板１上において隔壁部
４により区画された膜形成領域Ｅに、複数色（６色）の着色層３を有している。具体的に
は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三原色に、シアン色（Ｃ）、マゼンタ色（Ｍ
）、黄色（Ｙ）を加えた６色の構成となっている。膜形成領域Ｅはほぼ矩形状であり、隔
壁部４によってマトリクス状に区画されている。カラーフィルタ２は、同色の着色層３が
同一の列内に配置された所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。なお、膜形成領域
Ｅの形状は、矩形に限定されるものではない。

このようなカラーフィルタ２を表示装置に用いる場合、各色の着色層３を画素に対応し
て配置し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ、６つの画素で１つの絵素を構成することにより、三
原色の構成に比べて色再現性を向上させることができる。

図８（ｂ）に示すように、基板１は、例えば透明なガラス等の基材からなる。
隔壁部４は、第１隔壁部４ａと、第１隔壁部４ａ上に形成された第２隔壁部４ｂとから
なる所謂二層バンク構造となっている。

第１隔壁部４ａは、遮光性を有する金属または金属化合物の薄膜であり、例えば、Ａｌ
やＣｒの薄膜、これらの酸化膜などが挙げられる。膜厚は、遮光性が得られるおよそ０．
１μｍとなっている。第１隔壁部４ａは、一般的にはブラックマトリクス（ＢＭ）と呼ば
れる。

第２隔壁部４ｂは、例えば、アクリル系やポリイミド系の感光性樹脂を硬化させたもの
である。高さ（膜厚）は、膜形成領域Ｅに形成される着色層３の成膜条件にも寄るが、お
よそ１．５〜２．０μｍである。隔壁部４において、第２隔壁部４ｂが遮光性を有する材
料で構成された場合には、第１隔壁部４ａを不要とすることができる。

着色層３は、例えば、各色の色材を含む透光性の樹脂材料からなる。色材としては、公
知の顔料、染料が挙げられる。本実施形態では、このような着色層形成材料を含む６種（
６色）の液状体を液滴吐出装置１０を用いて膜形成領域Ｅに吐出することによって、各着
色層３を形成している。

なお、着色層３の膜厚は、色ごとに一定であればよく、好ましくは着色層３間において
も均一なほうがよい。これによれば、着色層３が形成された後の基板１の表面における凹
凸を低減することができる。言い換えれば、所望の光学特性を有し、平面形状がより平坦
なカラーフィルタ２を提供できる。

本実施形態のカラーフィルタ２の製造方法は、基板１上に隔壁部４を形成する隔壁部形
成工程と、隔壁部４並びに膜形成領域Ｅを表面処理する表面処理工程と、隔壁部４により
区画された複数の膜形成領域Ｅに着色層形成材料を含む６種（６色）の液状体を液滴とし
て吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥させて溶媒を除去し、６色の着色層３を
成膜する成膜工程とを備えている。

隔壁部形成工程では、まず、基板１の表面に金属または金属化合物の薄膜を形成し、フ
ォトリソグラフィ法によりパターニングを行って格子状の第１隔壁部４ａを形成する。そ
の後に、感光性樹脂を塗布して形成された感光性樹脂層を同じくフォトリソグラフィ法に
より格子状にパターニングして、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。前述し
たように、第２隔壁部４ｂが遮光性を有していれば第１隔壁部４ａは省略できる。
隔壁部４の形成方法は、これに限らず、オフセットなどの印刷法や、予め別の基材に形
成した隔壁部４を転写する転写法などを採用することもできる。

次に表面処理工程では、隔壁部４が形成された基板１の表面を表面処理する工程である
。具体的には、有機材料からなる第２隔壁部４ｂの表面をフッ素系の処理ガス（例えば、
ＣＦ₄など）を用いてプラズマ処理して、撥液性を付与する。さらに酸素を処理ガスとす
るプラズマ処理を行って、膜形成領域Ｅを親液化処理する。これにより、後の液状体の吐
出工程において、吐出された液滴が隔壁部４に掛かって着弾しても膜形成領域Ｅ内に収容
される。また、膜形成領域Ｅに着弾した液滴は、ムラ無く濡れ広がる。

吐出工程では、６色の液状体を液滴吐出装置１０を用いて基板１の膜形成領域Ｅに吐出
する。すなわち、図３に示したヘッドユニット９の構成を採用する。ヘッドユニット９に
は、液状体を吐出可能な液滴吐出ヘッド５０が各色に対応して１つずつ搭載されている。
本実施形態では、ステージ５に基板１を載置して、基板１の基準軸がＸ軸、Ｙ軸と合致
するように位置決めする。その後に液滴吐出ヘッド５０を搭載するヘッドユニット９に対
してステージ５を主走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる主走査を複数回行う。この複
数回の主走査の間に、液滴吐出ヘッド５０から所望の膜形成領域Ｅに液状体を液滴として
吐出する。

図９（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出方法を示す概略平面図である。吐出工程では
、例えば、図９（ａ）に示すように、矩形状の膜形成領域Ｅの長手方向と、副走査方向（
Ｙ軸方向）とが合致した状態で、主走査において膜形成領域Ｅに掛かるノズル５２から液
滴を吐出する。複数のノズル５２が副走査方向に配列しているため、主走査時により多く
のノズル５２が膜形成領域Ｅに掛かる。例えば、赤色（Ｒ）の着色層形成材料を含む液状
体が充填されたヘッドＲ１による最初の主走査では、膜形成領域Ｅに対して４つのノズル
５２が掛かり、それぞれから３滴ずつ液滴を吐出する。

次に、図９（ｂ）に示すように、先に膜形成領域Ｅに着弾した液滴の間を埋めるように
再び液滴を吐出する主走査を行う。言い換えれば、先の主走査が終了した後に、ヘッドＲ
１を副走査方向に移動させ、膜形成領域Ｅに掛かるノズル５２の位置をずらしてから液滴
を吐出する。これにより、膜形成領域Ｅには、５つのノズル５２が掛かかるものの、中央
部に近い３つのノズル５２を選択して、それぞれ３滴ずつ液滴を吐出する。２回の主走査
により合計２４滴の液滴が膜形成領域Ｅに吐出された。

液滴吐出装置１０における上記のような液滴の吐出は、前述した吐出制御データとして
の液滴の配置情報に基づいて行われる。図９（ａ）および図９（ｂ）は、それぞれの主走
査の膜形成領域Ｅにおける液滴の配置を示す配置情報としてのビットマップデータとして
捉えることができる。本実施形態の液状体の吐出方法では、図９（ａ）に示した主走査と
図９（ｂ）に示した主走査とでは、膜形成領域Ｅに掛かるノズル５２の圧電素子５９に印
加する駆動信号ＣＯＭを異ならせている。具体的には、膜形成領域Ｅに掛かるノズル群Ｇ
ｒを単位として主走査ごとに駆動信号ＣＯＭを異ならせている。

図１０（ａ）および（ｂ）はノズル群における駆動信号の選択を示す表である。前述し
たように液滴吐出ヘッド５０の各ノズル列５２ａ，５２ｂは、有効ノズル数を１６０個と
し、４つに均等分割されたノズル群Ｇｒ１〜ノズル群Ｇｒ４をそれぞれ有している。

図１０（ａ）に示すように、４つのノズル群Ｇｒ１〜ノズル群Ｇｒ４に対して４つの駆
動信号ＣＯＭ１〜駆動信号ＣＯＭ４を当て嵌める場合、合計２８通りの選択パターンがあ
る。具体的には、ノズル群Ｇｒ１〜ノズル群Ｇｒ４に同じ駆動信号ＣＯＭを当て嵌める選
択１〜選択４と、ノズル群Ｇｒ１〜ノズル群Ｇｒ４に４つの駆動信号ＣＯＭ１〜駆動信号
ＣＯＭ４を割り振る選択５〜選択２８の選択パターンである。

２８通りの上記選択パターンのうちからどれを選択しても構わないが、図４に示した吐
出量Ｉｗのばらつきを示すＩｗアーチを考慮すると、ノズル列５２ａ（ノズル列５２ｂ）
の両端側に近いノズル５２ほど、吐出量Ｉｗが増える傾向があるため、この傾向がそのま
ま反映される選択１〜選択４の選択パターンよりも、この傾向を抑制するようなノズル群
Ｇｒと駆動信号ＣＯＭとの組み合わせが好ましい。

すなわち、図１０（ｂ）に示すように、ノズル列５２ａの両側に位置するノズル群Ｇｒ
１とノズル群Ｇｒ４とには、駆動電圧Ｖｈが大きい駆動信号ＣＯＭ３、駆動信号ＣＯＭ４
が割り振られる組み合わせを除いた、選択７、選択９、選択１４、選択１５の４つの選択
パターンが好ましい。これによれば、ノズル５２間の吐出量Ｉｗのばらつきをより抑制し
て、所定量の液状体を安定的に膜形成領域Ｅに吐出することができる。

上記図９（ａ）および（ｂ）に示した主走査の方法は、膜形成領域Ｅの形状や大きさ、
基板１上における配置、膜形成領域Ｅにどの程度の量（体積または重量）の液状体を吐出
するのか、によって１回の主走査において吐出する液滴の数や吐出位置が変わることが考
えられる。言い換えれば、２回以上の主走査が必要な場合が当然考えられる。
その際、ヘッドユニット９に搭載されている同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５
０が本実施形態のように１つでも、主走査ごとに駆動信号ＣＯＭの選択パターンを変える
ので、液滴吐出ヘッド５０の吐出特性に起因する吐出ムラを低減することができる。

図１１（ａ）〜（ｃ）は複数回の主走査の方法を示す概略図である。詳しくは、実線と
想像線で示した長方形は液滴吐出ヘッド５０を示すと共に、複数回の主走査における相対
的な液滴吐出ヘッド５０の位置関係を示すものである。複数回の主走査の方法としては、
図１１（ａ）に示すように、描画幅Ｌ₀の範囲に液滴吐出ヘッド５０を位置させて複数回
の主走査を行うケースがある。主走査１と主走査２における駆動信号ＣＯＭは、前述した
図１０（ｂ）の選択パターンが適用され、ノズル群Ｇｒ１とノズル群Ｇｒ４とにおいて、
駆動信号ＣＯＭ１または駆動信号ＣＯＭ２が選択されている。この場合は、複数回の主走
査の間に液滴吐出ヘッド５０の副走査方向（Ｙ軸方向）への移動を行わない。言い換えれ
ば、液滴吐出装置１０において、ヘッド移動機構３０を駆動して液滴吐出ヘッド５０を移
動させる余計な動作を行わなくてもよい。

上記以外にも、例えば、図１１（ｂ）のように描画幅Ｌ₀の１／４を副走査方向にずら
すように液滴吐出ヘッド５０を移動させるケースや、図１１（ｃ）のように描画幅Ｌ₀の
１／２を副走査方向にずらすように液滴吐出ヘッド５０を移動させるケースがある。描画
幅Ｌ₀の１／４は、１つのノズル群Ｇｒに該当するので、実質的にノズル群Ｇｒを単位と
して液滴吐出ヘッド５０を副走査方向に移動させる副走査と主走査とを組み合わせて、基
板１上の同一領域を描画することになる。
図１１（ｂ）のように液滴吐出ヘッド５０を１／４Ｌ₀ずらした場合には、これを補完
する主走査３をノズル群Ｇｒ４を用いて行う。
図１１（ｃ）のように液滴吐出ヘッド５０を１／２Ｌ₀ずらした場合には、これを補完
する主走査３をノズル群Ｇｒ３とノズル群Ｇｒ４とを用いて行う。
このように副走査を組み合わせることにより液滴吐出装置１０の動作は複雑になるもの
の、同一領域に掛かるノズル群Ｇｒの組み合わせと駆動信号ＣＯＭの選択の幅が広がるの
で、ノズル５２間の吐出量Ｉｗのばらつきの影響をより受け難くなる。ゆえに、量的なば
らつきを抑制して所定量の液状体を各膜形成領域Ｅに吐出することができる。
なお、１回の主走査は、液滴吐出ヘッド５０とワークＷとの主走査方向への相対移動の
うち、往動と復動とに分けてもよいし、往動と復動とを含むものでもよい。また、液滴の
配置情報（ビットマップデータ）の構成が同じものを主走査の１つの単位として扱っても
よい。

すなわち、本実施形態の液状体の吐出方法によれば、同種の液状体を吐出する液滴吐出
ヘッド５０が例え１つでも、主走査ごとに駆動信号ＣＯＭの選択パターンを変えることに
より、あたかも複数の液滴吐出ヘッド５０を用いて同種の液状体を吐出したような、ノズ
ル分散、ノズル群Ｇｒ分散、ノズル列分散、ヘッド分散の効果を奏する。

次に、成膜工程では、吐出された液状体を乾燥して６色の着色層３を形成する。乾燥方
法としては、ランプヒータ等を用いて基板１を直接加熱する方法や減圧乾燥などの方法が
挙げられる。基板１上において液状体の溶媒の乾燥速度を一定にし易い点で、後者の乾燥
方法が好ましい。

以上に述べた液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタ２の製造方法によれば、膜形
成領域Ｅごとに所定量の液状体が量的なばらつきを抑制された状態で吐出される。したが
って、成膜工程では、色ごとに所定の膜厚で着色層３を形成することができる。ゆえに、
所望の光学特性を有するカラーフィルタ２を歩留りよく製造することができる。

（実施形態２）
＜有機ＥＬ装置とその製造方法＞
上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ装置の製造方法について図１２
および図１３を参照して説明する。図１２は有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図、
図１３（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図である。

＜有機ＥＬ装置＞
図１２に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光
素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着され
た封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子
部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、
回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料か
らなる６色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙがそ
れぞれ膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素
子基板６０１は、６色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，６
１７Ｙに対応する６つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１
の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。すなわち、図８（ａ）に
示した上記実施形態１のカラーフィルタ２における６色の着色層３と同様な配置となって
いる。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出す
るものである。

封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０
１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられてい
る。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入し
た水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化する
ことを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。

素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであっ
て、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成
された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている
。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む６種の液状体を付与して形成さ
れた発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙを有する発光
素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸
送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ
，６１７Ｙと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている
。

素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリ
コン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリ
コンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソー
ス領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されて
いる。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さ
らに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され
、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９
が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６
１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７
のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１
ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ド
レイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成さ
れている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などか
らなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクト
ホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール
６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各
電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路
素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、
図１２ではこれらの図示を省略している。

発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔
注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，
６１７Ｙ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層され
た陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励
起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッタ
ー剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させるこ
とができる。

有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領
域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号により
スイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電
位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５
のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６
０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６
１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる
電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メ
カニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６
００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、
ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不
具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。

＜有機ＥＬ装置の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ装置６００の製造方法について図１３を参照して説明する。
なお、図１３（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０
２は、図示を省略している。

本実施形態の有機ＥＬ装置６００の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領
域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバ
ンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発
光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／
輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と
、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている
。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む６種の液状体を吐出する吐出工程と、
吐出された６種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さら
に、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程と、発光素子部６
０３が形成された素子基板６０１と封止基板６２０とを接合する封止工程とを備えている
。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて
行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用
する。

電極（陽極）形成工程では、図１３（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成
領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６
０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透
明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチ
ングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。

バンク形成工程では、図１３（ｂ）に示すように、まず、素子基板６０１の複数の電極
６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料と
しては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ₂（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８
ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層Ｌｕに対応して、各電極６１３の
表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真
空装置に投入し、ＳｉＯ₂をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着す
ることにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキング
は、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ₂により形成されているため、
その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６
１７ａおよび発光層Ｌｕが積層されても発光を阻害することはない。

続いて、各発光層形成領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層
バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材
料を含む６種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙの
溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガ
スとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、
感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法とし
ては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有
機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感
光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられ
たマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バ
ンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク
６１８ｂとを有するバンク６１８が形成される。そして、表面処理工程へ進む。

発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１
の表面を、まずＯ₂ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表
面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ₄などの
フッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂
からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そし
て、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。

正孔注入／輸送層形成工程では、図１３（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材
料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては
、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状
体９０は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は
発光層形成領域Ａの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴として吐出される。そして乾燥・成
膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱するこ
とにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により
区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／
輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォ
ン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同
一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対
応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして
次の液状体の吐出工程へ進む。

液状体の吐出工程では、図１３（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の
液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む６種の液状体１
００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙを付与する。液状体１００
Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（
緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料
を含んでいる。同様に液状体１００Ｃは発光層６１７Ｃ（シアン）を形成する材料を含み
、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｍ（マゼンタ）を形成する材料を含み、液状体１００Ｙ
は発光層６１７Ｙ（黄色）を形成する材料を含んでいる。

各発光層形成材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料
が用いられる。
具体的には、（ポリ）フルオレン誘導体（ＰＦ）、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）
、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラ
ン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料
に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレ
ン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイル
レッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。

着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙは、
発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００
Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙを付与する方法としては、上記
実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。そして、乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、図１３（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１０
０Ｇ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光
層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６
１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ
，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙが吐出された素子基板６０１の乾燥方法とし
ては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極
形成工程へ進む。

陰極形成工程では、図１３（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，
６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙとバンク６１８の表面とを覆うよう
に陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬ
ｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ
，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、Ｌ
ｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。ま
た、陰極６０４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれ
ば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法
、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，
６１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ま
しい。

このようにして出来上がった素子基板６０１は、一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ
，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙが液滴として発光層形成領域Ａに量的なばら
つきが抑制されて付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにお
いて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，
６１７Ｙ（総称して発光層Ｌｕ）を有する。そして、封止工程へ進む。

封止工程では、発光素子部６０３が形成された素子基板６０１と封止基板６２０とを対
向させ空間６２２を置いて接着剤を用いて接合する（図１２参照）。接着剤としては、耐
久性があり熱硬化性の例えばエポキシ系樹脂接着剤を用いることが好ましい。これにより
発光素子部６０３を封止する。

上記実施形態２の有機ＥＬ装置６００の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ
，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の
吐出方法を用いて液滴を吐出する。したがって、それぞれの発光層形成領域Ａにほぼ一定
量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｍ，１００Ｙが安定的に
塗布される。したがって、乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて
、ほぼ一定となった各発光層Ｌｕが得られる。
各発光層Ｌｕの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層Ｌｕごとの抵抗がほぼ一定となる
。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると
、各発光層Ｌｕごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、
発光ムラや輝度ムラなどが少なく、高い色再現性を有する有機ＥＬ装置６００を歩留りよ
く製造することができる。

上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記実施形態１のカラーフィルタ２において、Ｒ、Ｇ、Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ、
６色の着色層３の配置は、これに限定されない。図１４は、変形例の着色層の配置を示す
概略平面図である。例えば、Ｒ＝Ｙ＋Ｍ、Ｇ＝Ｃ＋Ｙ、Ｂ＝Ｍ＋Ｃという色の加法則があ
る。ＹとＭを足す割合を調整することによりＲに近い微妙な色調を表現することができる
。同様にＣとＹを足す割合を調整することによりＧに近い微妙な色調を、ＭとＣを足す割
合を調整することによりＢに近い微妙な色調を表現することができる。したがって、図１
４に示すように、Ｒ、Ｙ、Ｍの３色の着色層３を赤色系着色層群、Ｇ、Ｃ、Ｙの３色の着
色層３を緑色系着色層群、Ｂ、Ｍ、Ｃの３色の着色層３を青色系着色層群、として縦方向
または横方向にこれら３種の着色群を配置してもよい。すなわち、１つの絵素を構成する
複数の着色層３は６色であるが、その数は合計９つとなる。このようなカラーフィルタ２
においても、上記実施形態１のカラーフィルタ２の製造方法を適用することができる。

（変形例２）上記実施形態１のカラーフィルタ２の製造方法を適用するカラーフィルタ
２の構成は、６色の着色層３を有するものに限定されない。例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の
場合でも適用することができる。すなわち、同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０
の数が例えば１つであっても、あたかも複数の液滴吐出ヘッド５０を用いて同種の液状体
を吐出したかのようなノズル分散効果を得ることができる。

（変形例３）上記実施形態２の有機ＥＬ装置６００において、有機ＥＬ素子としての発
光素子部６０３の構成は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Ａに白色の発光
が得られる機能層６１７を形成する。そして、封止基板６２０側にカラーフィルタ２を配
置することによって、フルカラー表示が可能で高い色再現性を有するトップエミッション
型の有機ＥＬ装置６００を提供することができる。

液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。 ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフ。 液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。 液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。 駆動信号および制御信号のタイミングチャート。 （ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図。 （ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出方法を示す概略平面図。 （ａ）および（ｂ）はノズル群における駆動信号の選択を示す表。 （ａ）〜（ｃ）は複数回の主走査の方法を示す概略図。 有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。 （ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。 変形例の着色層の配置を示す概略平面図。

符号の説明

１…基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、１０…液滴吐出装置、２０…第１移動機
構としてのワーク移動機構、３０…第２移動機構としてのヘッド移動機構、４０…制御部
、５２…ノズル、５２ａ，５２ｂ，５２ｃ…ノズル列、６０１…基板としての素子基板、
６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１
７Ｂ，６１７Ｃ，６１７Ｍ，６１７Ｙ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域
、Ｅ…膜形成領域、Ｇｒ…ノズル群。

Claims (10)

1. 複数の膜形成領域を有する基板と複数のノズルとを対向させ相対移動させる走査の間に
   、前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置であ
   って、
   前記複数のノズルに対して前記基板を第１の方向に相対移動させる第１移動機構と、
   前記ノズルごとに設けられた駆動手段と、
   前記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号を発生し、前記複数の駆動信号のうちの
   １つを前記駆動手段に印加して前記ノズルから前記液滴を吐出させるノズル駆動部と、
   同一の前記膜形成領域に対して複数回の前記走査を行うように前記第１移動機構を制御
   し、前記複数回の前記走査の間に所定量の前記液状体を前記液滴として吐出するように前
   記ノズル駆動部を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記複数のノズルのうち前記走査において前記膜形成領域に掛かる前記
   ノズルの前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前記走査ごとに異なるように前記ノズ
   ル駆動部を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記複数のノズルからなる少なくとも１つのノズル列を備え、
   前記制御部は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前
   記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載
   の液滴吐出装置。
3. 前記ノズル列は、前記複数の駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、
   前記制御部は、前記ノズル群を単位とする前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前
   記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特徴とする請求項２に記載
   の液滴吐出装置。
4. 前記複数のノズル群は、前記第１の方向に対して直交する第２の方向に配列しており、
   前記第２の方向に前記ノズル列を移動させる第２移動機構を備え、
   前記制御部は、前記複数回の前記走査によって、異なる前記ノズル群から前記膜形成領
   域に前記液滴が吐出されるように、前記第２移動機構を制御して前記複数回の前記走査の
   間に前記ノズル列を前記第２の方向に移動させることを特徴とする請求項３に記載の液滴
   吐出装置。
5. 複数の膜形成領域を有する基板と複数のノズルとを対向させ第１の方向に相対移動させ
   る複数回の走査の間に、前記複数のノズルから前記膜形成領域に所定量の液状体を液滴と
   して吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
   前記吐出工程は、前記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号のうちの１つを前記ノ
   ズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出し、前記複数のノズルのうち前記走
   査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルの前記駆動手段に印加する前記駆動信号を
   前記走査ごとに異ならせることを特徴とする液状体の吐出方法。
6. 前記複数のノズルからなる少なくとも１つのノズル列を備え、
   前記吐出工程は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段に印加する前記駆動信号を前
   記走査ごとに異ならせることを特徴とする請求項５に記載の液状体の吐出方法。
7. 前記ノズル列は、前記複数の駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、
   前記吐出工程は、前記ノズル群を単位とする前記駆動手段に印加する前記駆動信号を前
   記走査ごとに異ならせることを特徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
8. 前記吐出工程は、前記複数回の前記走査によって、異なる前記ノズル群から前記膜形成
   領域に前記液滴を吐出するように、前記複数回の前記走査の間に前記ノズル列を前記第１
   の方向に直交する第２の方向に移動することを特徴とする請求項７に記載の液状体の吐出
   方法。
9. 基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であっ
   て、
   請求項５乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含
   む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
   吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えた
   ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
10. 基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を備えた有機Ｅ
    Ｌ装置の製造方法であって、
    請求項５乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含
    む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
    吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特
    徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。

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