JP2009252355A - 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法 - Google Patents

液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009252355A
JP2009252355A JP2008094724A JP2008094724A JP2009252355A JP 2009252355 A JP2009252355 A JP 2009252355A JP 2008094724 A JP2008094724 A JP 2008094724A JP 2008094724 A JP2008094724 A JP 2008094724A JP 2009252355 A JP2009252355 A JP 2009252355A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
liquid
nozzles
discharge
film formation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008094724A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5115281B2 (ja
Inventor
Toru Shinohara
亨 篠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2008094724A priority Critical patent/JP5115281B2/ja
Priority to US12/401,251 priority patent/US8323724B2/en
Priority to CN200910129910.9A priority patent/CN101549582B/zh
Publication of JP2009252355A publication Critical patent/JP2009252355A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5115281B2 publication Critical patent/JP5115281B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/21Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2139Compensation for malfunctioning nozzles creating dot place or dot size errors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/28Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for printing downwardly on flat surfaces, e.g. of books, drawings, boxes, envelopes, e.g. flat-bed ink-jet printers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

【課題】複数のノズルにおける液滴の吐出量のばらつきを考慮して所定量の液状体を安定
して膜形成領域に吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、これを用いたカラーフィ
ルタの製造方法、有機EL装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置10は、ワークWを主走査方向に移動させるワーク移動機構2
0と、ワークWに対してキャリッジ8を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘ
ッド移動機構30と、キャリッジ8に搭載された複数のノズルと、複数のノズルの駆動手
段に駆動信号を印加するノズル駆動部と、これらを統括的に制御する制御部40とを備え
、制御部40は、複数のノズルのうち主走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動手
段に印加される駆動信号が主走査ごとに異なるようにノズル駆動部を制御する。
【選択図】図1

Description

本発明は、液状体を液滴として被吐出物に吐出描画な液滴吐出装置、液状体の吐出方法
、これらを用いたカラーフィルタの製造方法、有機EL装置の製造方法に関する。
近年、液滴吐出法を用いて機能性材料を含む液状体を基板等の被吐出物に液滴として吐
出して各種の機能デバイスを製造することが注目されている。代表的な機能デバイスとし
ては、カラーフィルタや有機EL(Electro Luminessence)素子などが挙げられる。
これらの機能デバイスにおいては、所望の特性を得るために被吐出物上において如何に
均質且つ均一な機能膜を形成するかが重要な課題の1つである。これを実現可能な製造方
法としては、複数のノズルを列状に配列して成るノズル列を有し、該ノズル列が複数のグ
ループに分割されてなるインクジェットヘッドと基板とを主走査方向に相対移動させる工
程と、複数のノズルから選択的にフィルタ材料を吐出して基板上にフィルタエレメントを
形成する工程とを備えたカラーフィルタの製造方法が知られている(特許文献1)。
上記カラーフィルタの製造方法は、該ノズル列のグループの少なくとも一部が基板の同
じ部分を主走査方向に走査できるように、インクジェットヘッドまたは基板のいずれか一
方を他方に対して副走査する工程を備えている。これにより、ノズル間におけるインク吐
出量がばらついていても、異なるグループに属する複数のノズルによってインクとしての
フィルタ材料が吐出されるので、フィルタエレメント間の膜厚のばらつきを防止できると
している。言い換えれば、この方法は、ノズル間における吐出量のばらつきをノズル分散
させる方法である。
また、複数種の液状体を吐出可能な液滴吐出装置としては、液状体を種類ごとに吐出す
る複数の液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、複数の液滴吐出ヘッドとワークとを
対向配置させた状態で相対的に主走査方向および副走査方向に移動させる移動手段と、複
数の液滴吐出ヘッドとワークとの主走査に同期して、複数の液滴吐出ヘッドを選択的に駆
動して複数種の液状体をワークに吐出させる描画制御手段とを備えた液滴吐出装置が知ら
れている(特許文献2)。
上記キャリッジには、複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列が副走査方向に並列すると共
に、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列の端部の位置が互いにずれた状態で並列し
ている。これにより、ノズル列の端部における吐出量のばらつきに起因する主走査方向の
スジ状の吐出ムラを低減できるとしている。
一方で機能デバイスであるカラーフィルタとしては、色再現性を向上させるために多色
(6色)構成のフィルタエレメントを有するものが提案されている(特許文献3)。
特開2002−221616号公報 頁5 特開2006−346575号公報 頁5 特開2005−62833号公報
上記特許文献1のカラーフィルタの製造方法および上記特許文献2の液滴吐出装置の構
成を上記特許文献3のカラーフィルタの製造に適用することが考えられる。キャリッジに
同種の液状体を吐出可能な液滴吐出ヘッドを複数搭載しようとすると、液状体の種類が増
えるほどキャリッジが大きくなってしまう。すなわち、液滴吐出装置が大型化してしまう
という課題がある。
一方、搭載する液滴吐出ヘッドの数を液状体の種類と同じ数とすると、キャリッジの大
きさは小さくできるものの、液滴吐出ヘッド固有の吐出特性の影響を受けた状態で当該液
状体を吐出することになる。したがって、液状体間で吐出状態に差が生じて吐出ムラとし
て認識されるおそれがある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例の液滴吐出装置は、複数の膜形成領域を有する基板と複数のノズ
ルとを対向させ相対移動させる走査の間に、前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状
体を液滴として吐出する液滴吐出装置であって、前記複数のノズルに対して前記基板を第
1の方向に相対移動させる第1移動機構と、前記ノズルごとに設けられた駆動手段と、前
記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号を発生し、前記複数の駆動信号のうちの1つ
を前記駆動手段に印加して前記ノズルから前記液滴を吐出させるノズル駆動部と、同一の
前記膜形成領域に対して複数回の前記走査を行うように前記第1移動機構を制御し、前記
複数回の前記走査の間に所定量の前記液状体を前記液滴として吐出するように前記ノズル
駆動部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数のノズルのうち前記走査に
おいて前記膜形成領域に掛かる前記ノズルの前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前
記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特徴とする。
この構成によれば、制御部は、複数回の走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動
手段に、走査ごとに異なる駆動信号を印加するようにノズル駆動部を制御する。
したがって、複数回の走査において同一ノズルが膜形成領域に掛かっても当該ノズルの
駆動手段には、異なる駆動信号が印加されるので、吐出される液滴の吐出量が可変される

よって、複数のノズル間において、同一の駆動信号を印加したときの液滴の吐出量がば
らついていたとしても、走査ごとに駆動信号が変わるので、液滴の吐出が終了した時点で
は、所定量の液状体を量的なばらつきを抑えて膜形成領域ごとに付与することが可能な液
滴吐出装置を提供することができる。
[適用例2]上記適用例の液滴吐出装置において、前記複数のノズルからなる少なくと
も1つのノズル列を備え、前記制御部は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段に印加
される前記駆動信号が前記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特
徴とする。
この構成によれば、制御部は、ノズル列を単位として液滴の吐出制御を行う。したがっ
て、ノズル単位に吐出制御を行う場合に比べて、簡単な構成でノズル間の吐出量のばらつ
きを抑制して液状体を吐出することができる。
[適用例3]上記適用例の液滴吐出装置において、前記ノズル列は、前記複数の駆動信
号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、前記制御部は、前記ノズル群を単位と
する前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前記走査ごとに異なるように前記ノズル駆
動部を制御するとしてもよい。
この構成によれば、制御部は、駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を単位
として液滴の吐出制御を行う。したがって、ノズル列を単位として吐出制御する場合に比
べて、限られた数の駆動信号を余すところ無く複数のノズル群に当て嵌めてノズル間の吐
出量のばらつきを抑制し、それぞれの膜形成領域に液状体を吐出することができる。
[適用例4]上記適用例の液滴吐出装置において、前記複数のノズル群は、前記第1の
方向に対して直交する第2の方向に配列しており、前記第2の方向に前記ノズル列を移動
させる第2移動機構を備え、前記制御部は、前記複数回の前記走査によって、異なる前記
ノズル群から前記膜形成領域に前記液滴が吐出されるように、前記第2移動機構を制御し
て前記複数回の前記走査の間に前記ノズル列を前記第2の方向に移動させるとしてもよい

この構成によれば、走査ごとに膜形成領域に掛かるノズル群が変更され、且つ走査ごと
に当該ノズル群の駆動手段に印加される駆動信号が変わる。したがって、走査ごとに膜形
成領域に掛かるノズル群を変えるだけでなく、吐出される液滴の吐出量が当該ノズル群を
単位として可変されるので、ノズル間の吐出量のばらつきをより分散させて膜形成領域ご
とに液状体を吐出することができる。
[適用例5]本適用例の液状体の吐出方法は、複数の膜形成領域を有する基板と複数の
ノズルとを対向させ第1の方向に相対移動させる複数回の走査の間に、前記複数のノズル
から前記膜形成領域に所定量の液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐
出方法であって、前記吐出工程は、前記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号のうち
の1つを前記ノズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出し、前記複数のノズ
ルのうち前記走査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルの前記駆動手段に印加する
前記駆動信号を前記走査ごとに異ならせることを特徴とする。
この方法によれば、複数回の走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動手段に、走
査ごとに異なる駆動信号が印加される。
したがって、複数回の走査において同一ノズルが膜形成領域に掛かっても当該ノズルの
駆動手段には、異なる駆動信号が印加されるので、吐出される液滴の吐出量が可変される

よって、複数のノズル間において、同一の駆動信号を印加したときの液滴の吐出量がば
らついていたとしても、走査ごとに駆動信号が変わるので、液滴の吐出が終了した時点で
は、所定量の液状体を量的なばらつきを抑えて膜形成領域ごとに付与することが可能な液
状体の吐出方法を提供することができる。
[適用例6]上記適用例の液状体の吐出方法において、前記複数のノズルからなる少な
くとも1つのノズル列を備え、前記吐出工程は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段
に印加する前記駆動信号を前記走査ごとに異ならせることが好ましい。
この方法によれば、走査ごとにノズル列を単位として駆動信号が変わるので、ノズル単
位に駆動信号を変える場合に比べて、簡単な構成でノズル間の吐出量のばらつきを抑制し
て液状体を吐出することができる。
[適用例7]上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ノズル列は、前記複数の駆
動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、前記吐出工程は、前記ノズル群を
単位とする前記駆動手段に印加する前記駆動信号を前記走査ごとに異ならせるとしてもよ
い。
この方法によれば、駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を単位として走査
ごとに駆動信号を変えるので、ノズル列を単位として駆動信号を変える場合に比べて、限
られた数の駆動信号を余すところ無く複数のノズル群に当て嵌めてノズル間の吐出量のば
らつきを抑制し、それぞれの膜形成領域に液状体を吐出することができる。
[適用例8]上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記複数回の
前記走査によって、異なる前記ノズル群から前記膜形成領域に前記液滴を吐出するように
、前記複数回の前記走査の間に前記ノズル列を前記第1の方向に直交する第2の方向に移
動するとしてもよい。
この方法によれば、走査ごとに膜形成領域に掛かるノズル群が変更され、且つ走査ごと
に当該ノズル群の駆動手段に印加される駆動信号が変わる。したがって、走査ごとに膜形
成領域に掛かるノズル群が変わるだけでなく、吐出される液滴の吐出量が当該ノズル群を
単位として可変されるので、ノズル間の吐出量のばらつきをより分散させて膜形成領域ご
とに液状体を吐出することができる。
[適用例9]本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複
数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方
法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出
工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を
備えたことを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程では、量的なばらつきが抑制された状態で所定量の液状体
が膜形成領域ごとに吐出され、成膜工程では、膜形成領域ごとにほぼ一定の膜厚を有する
着色層を形成することができる。したがって、所望の光学特性を有するカラーフィルタを
歩留りよく製造することができる。
[適用例10]本適用例の有機EL装置の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発
光層を含む機能層を有する有機EL素子を備えた有機EL装置の製造方法であって、上記
適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域
に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程
と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程では、量的なばらつきが抑制された状態で所定量の液状体
が膜形成領域ごとに吐出され、成膜工程では、膜形成領域ごとにほぼ一定の膜厚を有する
発光層を形成することができる。したがって、所望の輝度特性を有する有機EL素子を備
えた有機EL装置を歩留りよく製造することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
(実施形態1)
<液滴吐出装置>
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図1〜図6を参照して説明する。図1は、液
滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図1に示すように、液滴吐出装置10は、ワークWを第1の方向としての主走査方向(
X軸方向)に移動させる第1移動機構としてのワーク移動機構20と、ヘッドユニット9
を主走査方向に直交する第2の方向としての副走査方向(Y軸方向)に移動させる第2移
動機構としてのヘッド移動機構30とを備えている。
ワーク移動機構20は、一対のガイドレール21と、一対のガイドレール21に沿って
移動する移動台22と、移動台22上に回転機構6を介して配設されたワークWを載置す
るステージ5とを備えている。
移動台22は、ガイドレール21の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ(図
示省略)により主走査方向に移動する。移動台22には、タイミング信号生成部としての
エンコーダ12(図5参照)が設けられている。
エンコーダ12は、移動台22の主走査方向への相対移動に伴って、ガイドレール21
に並設されたリニアスケール(図示省略)の目盛を読み取って、タイミング信号としての
エンコーダパルスを生成する。
ステージ5はワークWを吸着固定可能であると共に、回転機構6によってワークW内の
基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。なお、エン
コーダ12の配設は、これに限らず、例えば、移動台22を回転軸に沿ってX軸方向に相
対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ12を
駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
ヘッド移動機構30は、一対のガイドレール31と、一対のガイドレール31に沿って
移動する移動台32とを備えている。移動台32には、回転機構7を介して吊設されたキ
ャリッジ8が設けられている。
キャリッジ8には、複数の液滴吐出ヘッド50(図2参照)が搭載されたヘッドユニッ
ト9が取り付けられている。
また、液滴吐出ヘッド50に液状体を供給するための液状体供給機構(図示省略)と、
複数の液滴吐出ヘッド50の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ48(図5参
照)とが設けられている。
移動台32がキャリッジ8をY軸方向に移動させてヘッドユニット9をワークWに対し
て対向配置する。
液滴吐出装置10は、上記構成の他にも、ヘッドユニット9に搭載された複数の液滴吐
出ヘッド50のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを
行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド50を臨む位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド50ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子
天秤などの計測器を有する重量計測機構60(図5参照)を備えている。そして、これら
の構成を統括的に制御する制御部40を備えている。
図1では、メンテナンス機構および重量計測機構60は、図示省略した。
図2は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図(a)は斜視図、同図(b)は
ノズルの配置状態を示す平面図である。
図2(a)に示すように、液滴吐出ヘッド50は、所謂2連のものであり、2連の接続
針54を有する液状体の導入部53と、導入部53に積層されたヘッド基板55と、ヘッ
ド基板55上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体56とを備
えている。接続針54は、前述した液状体供給機構(図示省略)に配管を経由して接続さ
れ、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板55には、フレキシブルフラットケー
ブル(図示省略)を介してヘッドドライバ48(図5参照)に接続される2連のコネクタ
58が設けられている。
ヘッド本体56は、駆動手段としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部
57と、ノズル面51aに2つのノズル列52a,52bが相互に平行に形成されたノズ
ルプレート51とを有している。
図2(b)に示すように、2つのノズル列52a,52bは、それぞれ複数(180個
)のノズル52がピッチP1で略等間隔に並べられており、互いにピッチP1の半分のピ
ッチP2ずれた状態でノズルプレート51に配設されている。この場合、ピッチP1は、
およそ141μmである。よって、ノズル列52cに直交する方向から見ると360個の
ノズル52がおよそ70.5μmのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノ
ズル52の径は、およそ27μmである。
液滴吐出ヘッド50は、ヘッドドライバ48から電気信号としての駆動信号が圧電素子
に印加されると加圧部57のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキ
ャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル52から液状体を液滴として吐出するこ
とができる。
液滴吐出ヘッド50における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとして
の振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル52
から液滴として吐出させる電気熱変換素子(サーマル方式)でもよい。
図3は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳し
くは、ワークWに対向する側から見た図である。
図3に示すように、ヘッドユニット9は、複数の液滴吐出ヘッド50が配設されるヘッ
ドプレート9aを備えている。ヘッドプレート9aには、3つの液滴吐出ヘッド50が主
走査方向に並列したヘッド群50Aと、同じく3つの液滴吐出ヘッド50が主走査方向に
並列したヘッド群50Bの合計6個の液滴吐出ヘッド50が搭載されている。この場合、
ヘッド群50AのヘッドR1、ヘッドG1、ヘッドB1、並びにヘッド群50Bのヘッド
C1、ヘッドM1、ヘッドY1は、互いに異なる種類の液状体を吐出する。すなわち、6
種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
1つの液滴吐出ヘッド50によって描画可能な描画幅をL0とし、これをノズル列52
cの有効長とする。以降、ノズル列52cとは、360個のノズル52から構成されるも
のを指す。
この場合、ヘッドR1とヘッドC1は、主走査方向(X軸方向)から見て隣り合うノズ
ル列52cが主走査方向と直交する副走査方向(Y軸方向)に1ノズルピッチを置いて連
続するように主走査方向に並列して配設されている。ヘッドG1とヘッドM1、ヘッドB
1とヘッドY1においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
なお、ヘッドユニット9における液滴吐出ヘッド50の配置は、これに限定されるもの
ではない。例えば、3つの液滴吐出ヘッド50(ヘッドR1、ヘッドG1、ヘッドB1)
を副走査方向(Y軸方向)に直線的に配置し、主走査方向(X軸方向)においてこれに並
列するように、残り3つの液滴吐出ヘッド50(ヘッドC1、ヘッドM1、ヘッドB1)
を配置してもよい。また、液滴吐出ヘッド50に設けられるノズル列52cは、2連に限
らず、1連でもよい。
図4は、液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフである。詳しくは、一方の軸をノズル
52の番号とし、他方の軸をノズル52ごとに吐出される液滴の吐出量(Iw/ng)と
して、ノズル列52aにおける吐出量の分布を示したグラフである。
ノズル52ごとに設けられた圧電素子59に同一の駆動信号を与えて液滴を吐出しても
、圧電素子59の固有電気特性のばらつきや、それぞれのノズル52に連通するキャビテ
ィなどヘッド内流路の設計上の違いなどにより、ノズル52ごとに吐出された液滴の吐出
量がばらつくことが判明している。特にノズル間における電気的、機械的なクロストーク
は、吐出量のばらつきにおける重要な因子である。すなわち、複数のノズル52から吐出
される液滴の吐出量の分布がノズル列52a,52bごと、あるいは液滴吐出ヘッド50
ごとに異なる場合がある。
図4は、液滴吐出ヘッド50(ノズル列52a)の吐出特性を調べたものである。具体
的には、所定の駆動電圧を有する駆動信号を圧電素子59に与え、数千から数万程度の吐
出数(吐出発数)の液滴をノズル52から吐出させ、その液状体の重量を前述した重量計
測機構60(図5参照)を用いて計測する。そして、計測された液状体の重量を上記吐出
数で除して1滴あたりの重量を算出して液滴の吐出量Iwとした。
図4に示すように、複数のノズル52から吐出された液滴の吐出量Iwは、Iwアーチ
と呼ばれる曲線形状を示し、ノズル列52aの両端側に位置するノズル52から吐出され
る液滴の吐出量Iwが、他のノズル52に対して増加する傾向を有している。
本実施形態では、液滴の吐出量Iwを重量として説明しているが、吐出された液滴の体
積を測ることによって、ノズル52ごとの吐出量のばらつきを把握してもよい。
本実施形態の液滴吐出装置10は、このようなIwアーチを考慮して、液滴の吐出制御
を行うことを特徴の1つとしており、後述する複数の駆動信号の数に応じてノズル列52
a(ノズル列52b)を複数(4つ)のノズル群に区分している。具体的には、180個
のノズル52からなるノズル列52a(ノズル列52b)のうち、ねらいの吐出量Iwt
から外れやすい両端側の10個を除いた160個のノズル52を有効ノズルとする。そし
て、有効ノズルを均等に複数(4つ)のノズル群Grに分割した。すなわち、ノズル群G
r1、ノズル群Gr2、ノズル群Gr3、ノズル群Gr4である。これらのノズル群Gr
に係る吐出制御の詳細については、後述する。
次に液滴吐出装置10の制御系について説明する。図5は、液滴吐出装置の制御系を示
すブロック図である。図5に示すように、液滴吐出装置10の制御系は、液滴吐出ヘッド
50、ワーク移動機構20、ヘッド移動機構30、重量計測機構60などを駆動する各種
ドライバを有する駆動部46と、駆動部46を含め液滴吐出装置10を統括的に制御する
制御部40とを備えている。
駆動部46は、ワーク移動機構20およびヘッド移動機構30の各リニアモータをそれ
ぞれ駆動制御する移動用ドライバ47と、液滴吐出ヘッド50を吐出制御するノズル駆動
部としてのヘッドドライバ48と、重量計測機構60を駆動制御する重量計測用ドライバ
49とを備えている。この他にもメンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライ
バなどを備えているが図示省略した。
制御部40は、CPU41と、ROM42と、RAM43と、P−CON44とを備え
、これらは互いにバス45を介して接続されている。P−CON44には、上位コンピュ
ータ11が接続されている。ROM42は、CPU41で処理する制御プログラムなどを
記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データな
どを記憶する制御データ領域とを有している。
RAM43は、ワークWに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、
ワークWおよび液滴吐出ヘッド50(実際には、ノズル列52a,52b)の位置データ
を記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域と
して使用される。P−CON44には、駆動部46の各種ドライバなどが接続されており
、CPU41の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論
理回路が構成されて組み込まれている。このため、P−CON44は、上位コンピュータ
11からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス45に取り込むと共に、CPU
41と連動して、CPU41などからバス45に出力されたデータや制御信号を、そのま
まあるいは加工して駆動部46に出力する。
そして、CPU41は、ROM42内の制御プログラムに従って、P−CON44を介
して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、RAM43内の各種データなど
を処理した後、P−CON44を介して駆動部46などに各種の制御信号を出力すること
により、液滴吐出装置10全体を制御している。例えば、CPU41は、液滴吐出ヘッド
50、ワーク移動機構20およびヘッド移動機構30を制御して、ヘッドユニット9とワ
ークWとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット9とワークWとの相対移動に同期し
て、ヘッドユニット9に搭載された各液滴吐出ヘッド50の複数のノズル52からワーク
Wに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ48に制御信号を送出する。この
場合、X軸方向へのワークWの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Y
軸方向にヘッドユニット9を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置
10は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画す
ることができる。主走査は、液滴吐出ヘッド50に対して一方向へのワークWの移動に限
らず、ワークWを往復させて行うこともできる。
エンコーダ12は、ヘッドドライバ48に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコー
ダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台22を移動させるので、エン
コーダパルスが周期的に発生する。
上位コンピュータ11は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置
10に送出する。また、基板上の膜形成領域ごとに所定量の液状体を液滴として配置する
吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情
報は、膜形成領域における液滴の吐出位置(言い換えれば、ワークWとノズル52との相
対位置)、液滴の配置数(言い換えれば、ノズル52ごとの吐出数)、主走査における複
数のノズル52のON/OFF(言い換えれば、複数のノズル52の選択パターン)、吐
出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピ
ュータ11は、上記配置情報を生成するだけでなく、RAM43に一旦格納された上記配
置情報を修正することも可能である。
<液滴吐出ヘッドの吐出制御方法>
次に、本実施形態の液滴吐出ヘッドの吐出制御方法について、図6および図7を参照し
て説明する。図6は液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図、図7は駆動信号お
よび制御信号のタイミングチャートである。
図6に示すように、ヘッドドライバ48は、液滴の吐出量を制御する異なる複数の駆動
信号COMを、それぞれ独立して生成するD/Aコンバータ(以降、DACとする)71
A〜71Dと、DAC71A〜71Dが生成する駆動信号COMのスルーレートデータ(
以下、波形データ(WD1〜WD4)とする)の格納メモリを内部に有する波形データ選
択回路72と、P−CON44を介して上位コンピュータ11から送信される吐出制御デ
ータを格納するためのデータメモリ73と、を備えている。COM1〜COM4の各CO
Mラインに、DAC71A〜DAC71Dで生成された駆動信号がそれぞれ出力される。
各液滴吐出ヘッド50には、ノズル52ごとに設けられた圧電素子59への駆動信号C
OMの印加をON/OFFするスイッチング回路74と、各COMラインのいずれか1つ
を選択して、各圧電素子59に接続したスイッチング回路74に駆動信号COMを送出す
る駆動信号選択回路75と、を備えている。
ノズル列52aにおいて、圧電素子59の一方の電極59bは、DAC71A〜71D
のグランドライン(GND)に接続されている。また、圧電素子59の他方の電極59a
(以下、セグメント電極59aとする)は、スイッチング回路74、駆動信号選択回路7
5を介して、各COMラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路74、
駆動信号選択回路75、波形データ選択回路72には、クロック信号(CLK)や各吐出
タイミングに対応したラッチ信号(LAT)が入力されるようになっている。図示省略し
たがノズル列52bにおいても同様な電気的接続となっている。
データメモリ73には、各液滴吐出ヘッド50の走査位置に応じて周期的に設定される
吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子59への駆動
信号COMの印加(ON/OFF)を規定する吐出データDAと、各圧電素子59に対応
したCOMライン(COM1〜COM4)の選択を規定する駆動信号選択データDBと、
DAC71A〜71Dに入力される波形データ(WD1〜WD4)の種別を規定する波形
番号データWNである。本実施形態においては、吐出データDAは、1ノズルあたり1ビ
ット(0,1)で、駆動信号選択データDBは、1ノズルあたり2ビット(0,1,2,
3)で、波形番号データWNは、1D/Aコンバータあたり7ビット(0〜127)で構
成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。
上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図7に
示すように、タイミングt1〜t2の期間において、吐出データDA、駆動信号選択デー
タDB、波形番号データWNが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路74
、駆動信号選択回路75、波形データ選択回路72に送信される。そして、タイミングt
2において各データがラッチされることで、吐出(ON)に係る各圧電素子59のセグメ
ント電極59aが、駆動信号選択データDBで指定されたCOMライン(COM1〜CO
M4のいずれか)に接続された状態となる。例えば、圧電素子59のセグメント電極59
aは、駆動信号選択データDBが「0」のときには、COM1に接続される。同様に駆動
信号選択データDBが「1」のときにはCOM2に、駆動信号選択データDBが「2」の
ときはCOM3に、駆動信号選択データDBが「3」のときはCOM4に接続される。ま
た、DAC71A〜71Dの生成に係る駆動信号の波形データ(WD1〜WD4)がこの
選択に連動して設定される。
タイミングt3〜t4の期間においては、タイミングt2で設定された波形データに従
い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号COMが生成さ
れる。そして、COM1〜COM4とそれぞれ接続された状態にある圧電素子59に、生
成された駆動信号COMが供給され、ノズル52に連通する加圧部57のキャビティの容
積(圧力)制御が行われる。
ここで、タイミングt3における電位上昇成分は加圧部57のキャビティを膨張させ、
液状体をキャビティ内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングt4における電
位降下成分は、キャビティを収縮させ、液状体をノズル52外に押し出して吐出させる役
割を果たしている。
駆動信号COMにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、
その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式
の液滴吐出ヘッド50では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、
タイミングt3〜t4における電圧成分の変化(電位差)を駆動電圧Vhとして規定し、
これを吐出量制御の条件として利用することができる。なお、生成する駆動信号COMは
、本実施形態で示すような単純な矩形波に限られるものではなく、例えば、台形波など公
知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式(例えば
サーマル方式)の実施形態の場合、駆動信号のパルス幅(時間成分)を吐出量制御の条件
として利用することも可能である。
本実施形態では、駆動電圧Vhを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、DAC
71A〜71Dにそれぞれ独立した波形データ(WD1〜WD4)を入力することにより
、各COMラインにそれぞれ異なる駆動電圧Vh1〜Vh4の駆動信号COMを出力する
ことが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データWNの情報量(7ビ
ット)に相当する128種類であり、例えばこれを0.1V刻みの駆動電圧Vhに対応さ
せている。言い換えれば、12.8Vの電位差の範囲でVh1〜Vh4の各駆動波形を0
.1V刻みで設定することができる。
かくして、本実施形態の液滴吐出装置10は、複数のノズル52における液滴の吐出量
Iwのばらつきを考慮して、各圧電素子59(ノズル52)と各COMラインとの対応関
係を規定する駆動信号選択データDBと、各COMラインと駆動信号の種類(駆動電圧V
h)との対応関係を規定する波形番号データWNとを適切に設定することにより、液滴の
吐出量Iwを調整して液状体を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択
データDBと波形番号データWNとの関係で定まる各ノズル52の駆動信号COMの設定
を適切に行うことが、吐出量Iwを管理するための重要事項であると言える。以降、各C
OMラインと駆動信号との関係において、波形データWD1〜WD4に対応する駆動信号
COMを便宜上、駆動信号COM1〜駆動信号COM4として表現する。
本実施形態における液滴吐出装置10は、液滴吐出ヘッド50とワークWとの主走査ご
とに液滴を吐出するノズル52の圧電素子59に印加される駆動信号COMを異ならせる
。言い換えれば、選択されたノズル52の圧電素子59に対して主走査ごとに駆動信号C
OM1〜駆動信号COM4のうちから1つを選択して印加する。
また、このような吐出制御は、有効な160個のノズル52からなるノズル列52a(
ノズル列52b)を単位として、またはノズル列52aとノズル列52bとを含めた32
0個のノズル52からなるノズル列52cを単位として行うことも可能である。
さらには、波形データの数、すなわち駆動信号COMの数に対応して区分されたノズル
群Grを単位として行うことも可能である。
したがって、ノズル52ごとに吐出される液滴の吐出量Iwを、主走査ごとに少なくと
も4段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号COMを各圧電素子59
に印加する場合に比べて、ノズル52の吐出特性に起因する液滴の吐出量Iwのばらつき
を、ノズル52ごと、ノズル列52a(ノズル列52b)ごと、ノズル群Grごと、ある
いは異なる液状体を吐出するノズル列52cごと(言い換えれば液滴吐出ヘッド50ごと
)に調整することが可能である。ゆえに、複数のノズル52の吐出特性に起因する吐出ム
ラを低減して液状体を吐出することが可能である。
<液状体の吐出方法およびカラーフィルタの製造方法>
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、これを適用したカラーフィルタの製造
方法を例にして説明する。
まず、本実施形態のカラーフィルタについて説明する。図8(a)はカラーフィルタを
示す概略平面図、同図(b)は同図(a)のA−A'線で切った断面図である。
図8(a)に示すように、本実施形態のカラーフィルタ2は、基板1上において隔壁部
4により区画された膜形成領域Eに、複数色(6色)の着色層3を有している。具体的に
は、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の三原色に、シアン色(C)、マゼンタ色(M
)、黄色(Y)を加えた6色の構成となっている。膜形成領域Eはほぼ矩形状であり、隔
壁部4によってマトリクス状に区画されている。カラーフィルタ2は、同色の着色層3が
同一の列内に配置された所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。なお、膜形成領域
Eの形状は、矩形に限定されるものではない。
このようなカラーフィルタ2を表示装置に用いる場合、各色の着色層3を画素に対応し
て配置し、R、G、B、C、M、Y、6つの画素で1つの絵素を構成することにより、三
原色の構成に比べて色再現性を向上させることができる。
図8(b)に示すように、基板1は、例えば透明なガラス等の基材からなる。
隔壁部4は、第1隔壁部4aと、第1隔壁部4a上に形成された第2隔壁部4bとから
なる所謂二層バンク構造となっている。
第1隔壁部4aは、遮光性を有する金属または金属化合物の薄膜であり、例えば、Al
やCrの薄膜、これらの酸化膜などが挙げられる。膜厚は、遮光性が得られるおよそ0.
1μmとなっている。第1隔壁部4aは、一般的にはブラックマトリクス(BM)と呼ば
れる。
第2隔壁部4bは、例えば、アクリル系やポリイミド系の感光性樹脂を硬化させたもの
である。高さ(膜厚)は、膜形成領域Eに形成される着色層3の成膜条件にも寄るが、お
よそ1.5〜2.0μmである。隔壁部4において、第2隔壁部4bが遮光性を有する材
料で構成された場合には、第1隔壁部4aを不要とすることができる。
着色層3は、例えば、各色の色材を含む透光性の樹脂材料からなる。色材としては、公
知の顔料、染料が挙げられる。本実施形態では、このような着色層形成材料を含む6種(
6色)の液状体を液滴吐出装置10を用いて膜形成領域Eに吐出することによって、各着
色層3を形成している。
なお、着色層3の膜厚は、色ごとに一定であればよく、好ましくは着色層3間において
も均一なほうがよい。これによれば、着色層3が形成された後の基板1の表面における凹
凸を低減することができる。言い換えれば、所望の光学特性を有し、平面形状がより平坦
なカラーフィルタ2を提供できる。
本実施形態のカラーフィルタ2の製造方法は、基板1上に隔壁部4を形成する隔壁部形
成工程と、隔壁部4並びに膜形成領域Eを表面処理する表面処理工程と、隔壁部4により
区画された複数の膜形成領域Eに着色層形成材料を含む6種(6色)の液状体を液滴とし
て吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥させて溶媒を除去し、6色の着色層3を
成膜する成膜工程とを備えている。
隔壁部形成工程では、まず、基板1の表面に金属または金属化合物の薄膜を形成し、フ
ォトリソグラフィ法によりパターニングを行って格子状の第1隔壁部4aを形成する。そ
の後に、感光性樹脂を塗布して形成された感光性樹脂層を同じくフォトリソグラフィ法に
より格子状にパターニングして、第1隔壁部4a上に第2隔壁部4bを形成する。前述し
たように、第2隔壁部4bが遮光性を有していれば第1隔壁部4aは省略できる。
隔壁部4の形成方法は、これに限らず、オフセットなどの印刷法や、予め別の基材に形
成した隔壁部4を転写する転写法などを採用することもできる。
次に表面処理工程では、隔壁部4が形成された基板1の表面を表面処理する工程である
。具体的には、有機材料からなる第2隔壁部4bの表面をフッ素系の処理ガス(例えば、
CF4など)を用いてプラズマ処理して、撥液性を付与する。さらに酸素を処理ガスとす
るプラズマ処理を行って、膜形成領域Eを親液化処理する。これにより、後の液状体の吐
出工程において、吐出された液滴が隔壁部4に掛かって着弾しても膜形成領域E内に収容
される。また、膜形成領域Eに着弾した液滴は、ムラ無く濡れ広がる。
吐出工程では、6色の液状体を液滴吐出装置10を用いて基板1の膜形成領域Eに吐出
する。すなわち、図3に示したヘッドユニット9の構成を採用する。ヘッドユニット9に
は、液状体を吐出可能な液滴吐出ヘッド50が各色に対応して1つずつ搭載されている。
本実施形態では、ステージ5に基板1を載置して、基板1の基準軸がX軸、Y軸と合致
するように位置決めする。その後に液滴吐出ヘッド50を搭載するヘッドユニット9に対
してステージ5を主走査方向(X軸方向)に相対移動させる主走査を複数回行う。この複
数回の主走査の間に、液滴吐出ヘッド50から所望の膜形成領域Eに液状体を液滴として
吐出する。
図9(a)および(b)は、液状体の吐出方法を示す概略平面図である。吐出工程では
、例えば、図9(a)に示すように、矩形状の膜形成領域Eの長手方向と、副走査方向(
Y軸方向)とが合致した状態で、主走査において膜形成領域Eに掛かるノズル52から液
滴を吐出する。複数のノズル52が副走査方向に配列しているため、主走査時により多く
のノズル52が膜形成領域Eに掛かる。例えば、赤色(R)の着色層形成材料を含む液状
体が充填されたヘッドR1による最初の主走査では、膜形成領域Eに対して4つのノズル
52が掛かり、それぞれから3滴ずつ液滴を吐出する。
次に、図9(b)に示すように、先に膜形成領域Eに着弾した液滴の間を埋めるように
再び液滴を吐出する主走査を行う。言い換えれば、先の主走査が終了した後に、ヘッドR
1を副走査方向に移動させ、膜形成領域Eに掛かるノズル52の位置をずらしてから液滴
を吐出する。これにより、膜形成領域Eには、5つのノズル52が掛かかるものの、中央
部に近い3つのノズル52を選択して、それぞれ3滴ずつ液滴を吐出する。2回の主走査
により合計24滴の液滴が膜形成領域Eに吐出された。
液滴吐出装置10における上記のような液滴の吐出は、前述した吐出制御データとして
の液滴の配置情報に基づいて行われる。図9(a)および図9(b)は、それぞれの主走
査の膜形成領域Eにおける液滴の配置を示す配置情報としてのビットマップデータとして
捉えることができる。本実施形態の液状体の吐出方法では、図9(a)に示した主走査と
図9(b)に示した主走査とでは、膜形成領域Eに掛かるノズル52の圧電素子59に印
加する駆動信号COMを異ならせている。具体的には、膜形成領域Eに掛かるノズル群G
rを単位として主走査ごとに駆動信号COMを異ならせている。
図10(a)および(b)はノズル群における駆動信号の選択を示す表である。前述し
たように液滴吐出ヘッド50の各ノズル列52a,52bは、有効ノズル数を160個と
し、4つに均等分割されたノズル群Gr1〜ノズル群Gr4をそれぞれ有している。
図10(a)に示すように、4つのノズル群Gr1〜ノズル群Gr4に対して4つの駆
動信号COM1〜駆動信号COM4を当て嵌める場合、合計28通りの選択パターンがあ
る。具体的には、ノズル群Gr1〜ノズル群Gr4に同じ駆動信号COMを当て嵌める選
択1〜選択4と、ノズル群Gr1〜ノズル群Gr4に4つの駆動信号COM1〜駆動信号
COM4を割り振る選択5〜選択28の選択パターンである。
28通りの上記選択パターンのうちからどれを選択しても構わないが、図4に示した吐
出量Iwのばらつきを示すIwアーチを考慮すると、ノズル列52a(ノズル列52b)
の両端側に近いノズル52ほど、吐出量Iwが増える傾向があるため、この傾向がそのま
ま反映される選択1〜選択4の選択パターンよりも、この傾向を抑制するようなノズル群
Grと駆動信号COMとの組み合わせが好ましい。
すなわち、図10(b)に示すように、ノズル列52aの両側に位置するノズル群Gr
1とノズル群Gr4とには、駆動電圧Vhが大きい駆動信号COM3、駆動信号COM4
が割り振られる組み合わせを除いた、選択7、選択9、選択14、選択15の4つの選択
パターンが好ましい。これによれば、ノズル52間の吐出量Iwのばらつきをより抑制し
て、所定量の液状体を安定的に膜形成領域Eに吐出することができる。
上記図9(a)および(b)に示した主走査の方法は、膜形成領域Eの形状や大きさ、
基板1上における配置、膜形成領域Eにどの程度の量(体積または重量)の液状体を吐出
するのか、によって1回の主走査において吐出する液滴の数や吐出位置が変わることが考
えられる。言い換えれば、2回以上の主走査が必要な場合が当然考えられる。
その際、ヘッドユニット9に搭載されている同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド5
0が本実施形態のように1つでも、主走査ごとに駆動信号COMの選択パターンを変える
ので、液滴吐出ヘッド50の吐出特性に起因する吐出ムラを低減することができる。
図11(a)〜(c)は複数回の主走査の方法を示す概略図である。詳しくは、実線と
想像線で示した長方形は液滴吐出ヘッド50を示すと共に、複数回の主走査における相対
的な液滴吐出ヘッド50の位置関係を示すものである。複数回の主走査の方法としては、
図11(a)に示すように、描画幅L0の範囲に液滴吐出ヘッド50を位置させて複数回
の主走査を行うケースがある。主走査1と主走査2における駆動信号COMは、前述した
図10(b)の選択パターンが適用され、ノズル群Gr1とノズル群Gr4とにおいて、
駆動信号COM1または駆動信号COM2が選択されている。この場合は、複数回の主走
査の間に液滴吐出ヘッド50の副走査方向(Y軸方向)への移動を行わない。言い換えれ
ば、液滴吐出装置10において、ヘッド移動機構30を駆動して液滴吐出ヘッド50を移
動させる余計な動作を行わなくてもよい。
上記以外にも、例えば、図11(b)のように描画幅L0の1/4を副走査方向にずら
すように液滴吐出ヘッド50を移動させるケースや、図11(c)のように描画幅L0
1/2を副走査方向にずらすように液滴吐出ヘッド50を移動させるケースがある。描画
幅L0の1/4は、1つのノズル群Grに該当するので、実質的にノズル群Grを単位と
して液滴吐出ヘッド50を副走査方向に移動させる副走査と主走査とを組み合わせて、基
板1上の同一領域を描画することになる。
図11(b)のように液滴吐出ヘッド50を1/4L0ずらした場合には、これを補完
する主走査3をノズル群Gr4を用いて行う。
図11(c)のように液滴吐出ヘッド50を1/2L0ずらした場合には、これを補完
する主走査3をノズル群Gr3とノズル群Gr4とを用いて行う。
このように副走査を組み合わせることにより液滴吐出装置10の動作は複雑になるもの
の、同一領域に掛かるノズル群Grの組み合わせと駆動信号COMの選択の幅が広がるの
で、ノズル52間の吐出量Iwのばらつきの影響をより受け難くなる。ゆえに、量的なば
らつきを抑制して所定量の液状体を各膜形成領域Eに吐出することができる。
なお、1回の主走査は、液滴吐出ヘッド50とワークWとの主走査方向への相対移動の
うち、往動と復動とに分けてもよいし、往動と復動とを含むものでもよい。また、液滴の
配置情報(ビットマップデータ)の構成が同じものを主走査の1つの単位として扱っても
よい。
すなわち、本実施形態の液状体の吐出方法によれば、同種の液状体を吐出する液滴吐出
ヘッド50が例え1つでも、主走査ごとに駆動信号COMの選択パターンを変えることに
より、あたかも複数の液滴吐出ヘッド50を用いて同種の液状体を吐出したような、ノズ
ル分散、ノズル群Gr分散、ノズル列分散、ヘッド分散の効果を奏する。
次に、成膜工程では、吐出された液状体を乾燥して6色の着色層3を形成する。乾燥方
法としては、ランプヒータ等を用いて基板1を直接加熱する方法や減圧乾燥などの方法が
挙げられる。基板1上において液状体の溶媒の乾燥速度を一定にし易い点で、後者の乾燥
方法が好ましい。
以上に述べた液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタ2の製造方法によれば、膜形
成領域Eごとに所定量の液状体が量的なばらつきを抑制された状態で吐出される。したが
って、成膜工程では、色ごとに所定の膜厚で着色層3を形成することができる。ゆえに、
所望の光学特性を有するカラーフィルタ2を歩留りよく製造することができる。
(実施形態2)
<有機EL装置とその製造方法>
上記実施形態1の液状体の吐出方法を適用した有機EL装置の製造方法について図12
および図13を参照して説明する。図12は有機EL装置の要部構造を示す概略断面図、
図13(a)〜(f)は有機EL装置の製造方法を示す概略断面図である。
<有機EL装置>
図12に示すように、本実施形態の有機EL装置600は、有機EL素子としての発光
素子部603を有する素子基板601と、素子基板601と空間622を隔てて封着され
た封止基板620とを備えている。また素子基板601は、素子基板601上に回路素子
部602を備えており、発光素子部603は、回路素子部602上に重畳して形成され、
回路素子部602により駆動されるものである。発光素子部603には、有機発光材料か
らなる6色の発光層617R,617G,617B,617C,617M,617Yがそ
れぞれ膜形成領域としての発光層形成領域Aに形成され、ストライプ状となっている。素
子基板601は、6色の発光層617R,617G,617B,617C,617M,6
17Yに対応する6つの発光層形成領域Aを1組の絵素とし、この絵素が素子基板601
の回路素子部602上にマトリクス状に配置されたものである。すなわち、図8(a)に
示した上記実施形態1のカラーフィルタ2における6色の着色層3と同様な配置となって
いる。有機EL装置600は、発光素子部603からの発光が素子基板601側に射出す
るものである。
封止基板620は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板60
1に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤621が貼り付けられてい
る。ゲッター剤621は、素子基板601と封止基板620との間の空間622に侵入し
た水または酸素を吸収して、発光素子部603が侵入した水または酸素によって劣化する
ことを防ぐものである。なお、このゲッター剤621は省略しても良い。
素子基板601は、回路素子部602上に複数の発光層形成領域Aを有するものであっ
て、複数の発光層形成領域Aを区画するバンク618と、複数の発光層形成領域Aに形成
された電極613と、電極613に積層された正孔注入/輸送層617aとを備えている
。また複数の発光層形成領域A内に発光層形成材料を含む6種の液状体を付与して形成さ
れた発光層617R,617G,617B,617C,617M,617Yを有する発光
素子部603を備えている。バンク618は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入/輸
送層617a上に積層された発光層617R,617G,617B,617C,617M
,617Yと電極613とが電気的に短絡しないように、電極613の周囲を覆っている
素子基板601は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板601上にシリ
コン酸化膜からなる下地保護膜606が形成され、この下地保護膜606上に多結晶シリ
コンからなる島状の半導体膜607が形成されている。なお、半導体膜607には、ソー
ス領域607aおよびドレイン領域607bが高濃度Pイオン打ち込みにより形成されて
いる。なお、Pイオンが導入されなかった部分がチャネル領域607cとなっている。さ
らに下地保護膜606および半導体膜607を覆う透明なゲート絶縁膜608が形成され
、ゲート絶縁膜608上にはAl、Mo、Ta、Ti、Wなどからなるゲート電極609
が形成され、ゲート電極609およびゲート絶縁膜608上には透明な第1層間絶縁膜6
11aと第2層間絶縁膜611bが形成されている。ゲート電極609は半導体膜607
のチャネル領域607cに対応する位置に設けられている。また、第1層間絶縁膜611
aおよび第2層間絶縁膜611bを貫通して、半導体膜607のソース領域607a、ド
レイン領域607bにそれぞれ接続されるコンタクトホール612a,612bが形成さ
れている。そして、第2層間絶縁膜611b上に、ITO(Indium Tin Oxide)などか
らなる透明な電極613が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクト
ホール612aがこの電極613に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール
612bが電源線614に接続されている。このようにして、回路素子部602には、各
電極613に接続された駆動用の薄膜トランジスタ615が形成されている。なお、回路
素子部602には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、
図12ではこれらの図示を省略している。
発光素子部603は、陽極としての電極613と、電極613上に順次積層された正孔
注入/輸送層617a、各発光層617R,617G,617B,617C,617M,
617Y(総称して発光層Lu)と、バンク618と発光層Luとを覆うように積層され
た陰極604とを備えている。正孔注入/輸送層617aと発光層Luとにより発光が励
起される機能層617を構成している。なお、陰極604と封止基板620およびゲッタ
ー剤621を透明な材料で構成すれば、封止基板620側から発光する光を射出させるこ
とができる。
有機EL装置600は、ゲート電極609に接続された走査線(図示省略)とソース領
域607aに接続された信号線(図示省略)とを有し、走査線に伝わった走査信号により
スイッチング用の薄膜トランジスタ(図示省略)がオンになると、そのときの信号線の電
位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ615
のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ615のチャネル領域6
07cを介して、電源線614から電極613に電流が流れ、さらに正孔注入/輸送層6
17aと発光層Luとを介して陰極604に電流が流れる。発光層Luは、これを流れる
電流量に応じて発光する。有機EL装置600は、このような発光素子部603の発光メ
カニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機EL装置6
00は、発光層Luが上記実施形態1の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、
ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Aに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不
具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
<有機EL装置の製造方法>
次に本実施形態の有機EL装置600の製造方法について図13を参照して説明する。
なお、図13(a)〜(f)においては、素子基板601上に形成された回路素子部60
2は、図示を省略している。
本実施形態の有機EL装置600の製造方法は、素子基板601の複数の発光層形成領
域Aに対応する位置に電極613を形成する工程と、電極613に一部が掛かるようにバ
ンク618を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク618で区画された発
光層形成領域Aの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Aに正孔注入/
輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入/輸送層617aを吐出描画する工程と
、吐出された液状体を乾燥して正孔注入/輸送層617aを成膜する工程とを備えている
。また、発光層形成領域Aに発光層形成材料を含む6種の液状体を吐出する吐出工程と、
吐出された6種の液状体を乾燥して発光層Luを成膜する成膜工程とを備えている。さら
に、バンク618と発光層Luを覆うように陰極604を形成する工程と、発光素子部6
03が形成された素子基板601と封止基板620とを接合する封止工程とを備えている
。各液状体の発光層形成領域Aへの付与は、上記実施形態1の液状体の吐出方法を用いて
行う。よって、図3に示したヘッドユニット9における液滴吐出ヘッド50の配置を適用
する。
電極(陽極)形成工程では、図13(a)に示すように、素子基板601の発光層形成
領域Aに対応する位置に電極613を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板6
01の表面にITOなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透
明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチ
ングして電極613を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
バンク形成工程では、図13(b)に示すように、まず、素子基板601の複数の電極
613の一部を覆うように下層バンク618aを形成する。下層バンク618aの材料と
しては、無機材料である絶縁性のSiO2(酸化珪素)を用いている。下層バンク618
aの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層Luに対応して、各電極613の
表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板601を真
空装置に投入し、SiO2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着す
ることにより下層バンク618aを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキング
は、後に剥離する。なお、下層バンク618aは、SiO2により形成されているため、
その膜厚が200nm以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入/輸送層6
17aおよび発光層Luが積層されても発光を阻害することはない。
続いて、各発光層形成領域Aを実質的に区画するように下層バンク618aの上に上層
バンク618bを形成する。上層バンク618bの材料としては、後述する発光層形成材
料を含む6種の液状体100R,100G,100B,100C,100M,100Yの
溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガ
スとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、
感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク618bの形成方法とし
ては、例えば、下層バンク618aが形成された素子基板601の表面に感光性の上記有
機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ2μmの感
光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Aに対応した大きさで開口部が設けられ
たマスクを素子基板601と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バ
ンク618bを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク618aと上層バンク
618bとを有するバンク618が形成される。そして、表面処理工程へ進む。
発光層形成領域Aを表面処理する工程では、バンク618が形成された素子基板601
の表面を、まずO2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極613の表
面、バンク618の表面(壁面を含む)を活性化させて親液処理する。次にCF4などの
フッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂
からなる上層バンク618bの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そし
て、正孔注入/輸送層形成工程へ進む。
正孔注入/輸送層形成工程では、図13(c)に示すように、正孔注入/輸送層形成材
料を含む液状体90を発光層形成領域Aに付与する。液状体90を付与する方法としては
、上記実施形態1の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド50から吐出された液状
体90は、液滴として素子基板601の電極613に着弾して濡れ拡がる。液状体90は
発光層形成領域Aの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴として吐出される。そして乾燥・成
膜工程へ進む。
乾燥・成膜工程では、素子基板601を例えばランプアニールなどの方法で加熱するこ
とにより、液状体90の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極613のバンク618により
区画された領域に正孔注入/輸送層617aが形成される。本実施形態では、正孔注入/
輸送層形成材料として3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォ
ン酸(PEDOT/PSS)を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Aに同
一材料からなる正孔注入/輸送層617aを形成したが、後に形成される発光層Luに対
応して正孔注入/輸送層617aの材料を発光層形成領域Aごとに変えてもよい。そして
次の液状体の吐出工程へ進む。
液状体の吐出工程では、図13(d)に示すように、液滴吐出装置10を用いて複数の
液滴吐出ヘッド50から複数の発光層形成領域Aに発光層形成材料を含む6種の液状体1
00R,100G,100B,100C,100M,100Yを付与する。液状体100
Rは発光層617R(赤色)を形成する材料を含み、液状体100Gは発光層617G(
緑色)を形成する材料を含み、液状体100Bは発光層617B(青色)を形成する材料
を含んでいる。同様に液状体100Cは発光層617C(シアン)を形成する材料を含み
、液状体100Gは発光層617M(マゼンタ)を形成する材料を含み、液状体100Y
は発光層617Y(黄色)を形成する材料を含んでいる。
各発光層形成材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料
が用いられる。
具体的には、(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘
導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)
、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラ
ン(PMPS)などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料
に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレ
ン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイル
レッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。
着弾した各液状体100R,100G,100B,100C,100M,100Yは、
発光層形成領域Aに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体100
R,100G,100B,100C,100M,100Yを付与する方法としては、上記
実施形態1の液状体の吐出方法を用いた。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
乾燥・成膜工程では、図13(e)に示すように、吐出された各液状体100R,10
0G,100B,100C,100M,100Yの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光
層形成領域Aの正孔注入/輸送層617aに各発光層617R,617G,617B,6
17C,617M,617Yが積層されるように成膜する。各液状体100R,100G
,100B,100C,100M,100Yが吐出された素子基板601の乾燥方法とし
ては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極
形成工程へ進む。
陰極形成工程では、図13(f)に示すように、素子基板601の各発光層617R,
617G,617B,617C,617M,617Yとバンク618の表面とを覆うよう
に陰極604を形成する。陰極604の材料としては、Ca、Ba、Alなどの金属やL
iFなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層617R,617G
,617B,617C,617M,617Yに近い側に仕事関数が小さいCa、Ba、L
iFの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいAlなどの膜を形成するのが好ましい。ま
た、陰極604の上にSiO2、SiNなどの保護層を積層してもよい。このようにすれ
ば、陰極604の酸化を防止することができる。陰極604の形成方法としては、蒸着法
、スパッタ法、CVD法などが挙げられる。特に発光層617R,617G,617B,
617C,617M,617Yの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ま
しい。
このようにして出来上がった素子基板601は、一定量の各液状体100R,100G
,100B,100C,100M,100Yが液滴として発光層形成領域Aに量的なばら
つきが抑制されて付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Aにお
いて、ほぼ一定となった各発光層617R,617G,617B,617C,617M,
617Y(総称して発光層Lu)を有する。そして、封止工程へ進む。
封止工程では、発光素子部603が形成された素子基板601と封止基板620とを対
向させ空間622を置いて接着剤を用いて接合する(図12参照)。接着剤としては、耐
久性があり熱硬化性の例えばエポキシ系樹脂接着剤を用いることが好ましい。これにより
発光素子部603を封止する。
上記実施形態2の有機EL装置600の製造方法によれば、液状体100R,100G
,100B,100C,100M,100Yの吐出工程では、上記実施形態1の液状体の
吐出方法を用いて液滴を吐出する。したがって、それぞれの発光層形成領域Aにほぼ一定
量の各液状体100R,100G,100B,100C,100M,100Yが安定的に
塗布される。したがって、乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Aにおいて
、ほぼ一定となった各発光層Luが得られる。
各発光層Luの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層Luごとの抵抗がほぼ一定となる
。よって、回路素子部602により発光素子部603に駆動電圧を印加して発光させると
、各発光層Luごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、
発光ムラや輝度ムラなどが少なく、高い色再現性を有する有機EL装置600を歩留りよ
く製造することができる。
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
(変形例1)上記実施形態1のカラーフィルタ2において、R、G、B、C、M、Y、
6色の着色層3の配置は、これに限定されない。図14は、変形例の着色層の配置を示す
概略平面図である。例えば、R=Y+M、G=C+Y、B=M+Cという色の加法則があ
る。YとMを足す割合を調整することによりRに近い微妙な色調を表現することができる
。同様にCとYを足す割合を調整することによりGに近い微妙な色調を、MとCを足す割
合を調整することによりBに近い微妙な色調を表現することができる。したがって、図1
4に示すように、R、Y、Mの3色の着色層3を赤色系着色層群、G、C、Yの3色の着
色層3を緑色系着色層群、B、M、Cの3色の着色層3を青色系着色層群、として縦方向
または横方向にこれら3種の着色群を配置してもよい。すなわち、1つの絵素を構成する
複数の着色層3は6色であるが、その数は合計9つとなる。このようなカラーフィルタ2
においても、上記実施形態1のカラーフィルタ2の製造方法を適用することができる。
(変形例2)上記実施形態1のカラーフィルタ2の製造方法を適用するカラーフィルタ
2の構成は、6色の着色層3を有するものに限定されない。例えば、R、G、B、3色の
場合でも適用することができる。すなわち、同種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド50
の数が例えば1つであっても、あたかも複数の液滴吐出ヘッド50を用いて同種の液状体
を吐出したかのようなノズル分散効果を得ることができる。
(変形例3)上記実施形態2の有機EL装置600において、有機EL素子としての発
光素子部603の構成は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Aに白色の発光
が得られる機能層617を形成する。そして、封止基板620側にカラーフィルタ2を配
置することによって、フルカラー表示が可能で高い色再現性を有するトップエミッション
型の有機EL装置600を提供することができる。
液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 (a)は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、(b)はノズルの配置状態を示す平面図。 ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 液滴吐出ヘッドの吐出特性を示すグラフ。 液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。 液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。 駆動信号および制御信号のタイミングチャート。 (a)はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、(b)は(a)のA−A'線で切った断面図。 (a)および(b)は、液状体の吐出方法を示す概略平面図。 (a)および(b)はノズル群における駆動信号の選択を示す表。 (a)〜(c)は複数回の主走査の方法を示す概略図。 有機EL装置の要部構造を示す概略断面図。 (a)〜(f)は有機EL装置の製造方法を示す概略断面図。 変形例の着色層の配置を示す概略平面図。
符号の説明
1…基板、2…カラーフィルタ、3…着色層、10…液滴吐出装置、20…第1移動機
構としてのワーク移動機構、30…第2移動機構としてのヘッド移動機構、40…制御部
、52…ノズル、52a,52b,52c…ノズル列、601…基板としての素子基板、
603…有機EL素子としての発光素子部、617…機能層、617R,617G,61
7B,617C,617M,617Y…発光層、A…膜形成領域としての発光層形成領域
、E…膜形成領域、Gr…ノズル群。

Claims (10)

  1. 複数の膜形成領域を有する基板と複数のノズルとを対向させ相対移動させる走査の間に
    、前記複数のノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置であ
    って、
    前記複数のノズルに対して前記基板を第1の方向に相対移動させる第1移動機構と、
    前記ノズルごとに設けられた駆動手段と、
    前記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号を発生し、前記複数の駆動信号のうちの
    1つを前記駆動手段に印加して前記ノズルから前記液滴を吐出させるノズル駆動部と、
    同一の前記膜形成領域に対して複数回の前記走査を行うように前記第1移動機構を制御
    し、前記複数回の前記走査の間に所定量の前記液状体を前記液滴として吐出するように前
    記ノズル駆動部を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記複数のノズルのうち前記走査において前記膜形成領域に掛かる前記
    ノズルの前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前記走査ごとに異なるように前記ノズ
    ル駆動部を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
  2. 前記複数のノズルからなる少なくとも1つのノズル列を備え、
    前記制御部は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前
    記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特徴とする請求項1に記載
    の液滴吐出装置。
  3. 前記ノズル列は、前記複数の駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、
    前記制御部は、前記ノズル群を単位とする前記駆動手段に印加される前記駆動信号が前
    記走査ごとに異なるように前記ノズル駆動部を制御することを特徴とする請求項2に記載
    の液滴吐出装置。
  4. 前記複数のノズル群は、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に配列しており、
    前記第2の方向に前記ノズル列を移動させる第2移動機構を備え、
    前記制御部は、前記複数回の前記走査によって、異なる前記ノズル群から前記膜形成領
    域に前記液滴が吐出されるように、前記第2移動機構を制御して前記複数回の前記走査の
    間に前記ノズル列を前記第2の方向に移動させることを特徴とする請求項3に記載の液滴
    吐出装置。
  5. 複数の膜形成領域を有する基板と複数のノズルとを対向させ第1の方向に相対移動させ
    る複数回の走査の間に、前記複数のノズルから前記膜形成領域に所定量の液状体を液滴と
    して吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
    前記吐出工程は、前記液滴の吐出量を変更可能な複数の駆動信号のうちの1つを前記ノ
    ズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出し、前記複数のノズルのうち前記走
    査において前記膜形成領域に掛かる前記ノズルの前記駆動手段に印加する前記駆動信号を
    前記走査ごとに異ならせることを特徴とする液状体の吐出方法。
  6. 前記複数のノズルからなる少なくとも1つのノズル列を備え、
    前記吐出工程は、前記ノズル列を単位とする前記駆動手段に印加する前記駆動信号を前
    記走査ごとに異ならせることを特徴とする請求項5に記載の液状体の吐出方法。
  7. 前記ノズル列は、前記複数の駆動信号の数に応じて区分された複数のノズル群を有し、
    前記吐出工程は、前記ノズル群を単位とする前記駆動手段に印加する前記駆動信号を前
    記走査ごとに異ならせることを特徴とする請求項6に記載の液状体の吐出方法。
  8. 前記吐出工程は、前記複数回の前記走査によって、異なる前記ノズル群から前記膜形成
    領域に前記液滴を吐出するように、前記複数回の前記走査の間に前記ノズル列を前記第1
    の方向に直交する第2の方向に移動することを特徴とする請求項7に記載の液状体の吐出
    方法。
  9. 基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であっ
    て、
    請求項5乃至8のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含
    む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
    吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えた
    ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  10. 基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機EL素子を備えた有機E
    L装置の製造方法であって、
    請求項5乃至8のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含
    む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
    吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特
    徴とする有機EL装置の製造方法。
JP2008094724A 2008-04-01 2008-04-01 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法 Active JP5115281B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008094724A JP5115281B2 (ja) 2008-04-01 2008-04-01 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法
US12/401,251 US8323724B2 (en) 2008-04-01 2009-03-10 Liquid droplet discharging apparatus, liquid discharging method, color filter producing method, and organic EL device producing method
CN200910129910.9A CN101549582B (zh) 2008-04-01 2009-04-01 液滴喷出装置、液态体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机el装置的制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008094724A JP5115281B2 (ja) 2008-04-01 2008-04-01 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009252355A true JP2009252355A (ja) 2009-10-29
JP5115281B2 JP5115281B2 (ja) 2013-01-09

Family

ID=41116449

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008094724A Active JP5115281B2 (ja) 2008-04-01 2008-04-01 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8323724B2 (ja)
JP (1) JP5115281B2 (ja)
CN (1) CN101549582B (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100225236A1 (en) * 2009-03-06 2010-09-09 Micronic Laser Systems Ab Statistical Illuminator
JP5621277B2 (ja) * 2010-03-03 2014-11-12 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置
JP5724563B2 (ja) * 2011-04-13 2015-05-27 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置、検査方法およびプログラム
US9832428B2 (en) 2012-12-27 2017-11-28 Kateeva, Inc. Fast measurement of droplet parameters in industrial printing system
US9700908B2 (en) 2012-12-27 2017-07-11 Kateeva, Inc. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
US11141752B2 (en) 2012-12-27 2021-10-12 Kateeva, Inc. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
KR20230169406A (ko) 2012-12-27 2023-12-15 카티바, 인크. 정밀 공차 내로 유체를 증착하기 위한 인쇄 잉크 부피 제어를 위한 기법
US11673155B2 (en) 2012-12-27 2023-06-13 Kateeva, Inc. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
US9352561B2 (en) 2012-12-27 2016-05-31 Kateeva, Inc. Techniques for print ink droplet measurement and control to deposit fluids within precise tolerances
KR102495563B1 (ko) 2013-12-12 2023-02-06 카티바, 인크. 두께를 제어하기 위해 하프토닝을 이용하는 잉크-기반 층 제조
CN104369541B (zh) 2014-12-01 2017-01-25 京东方科技集团股份有限公司 一种喷墨打印设备
JP6575239B2 (ja) * 2015-09-02 2019-09-18 セイコーエプソン株式会社 機能素子の製造方法
KR102471270B1 (ko) * 2016-08-17 2022-11-25 메르크 파텐트 게엠베하 뱅크 구조들을 가진 전자 디바이스
JP6932000B2 (ja) * 2017-02-08 2021-09-08 株式会社Screenホールディングス 基板処理装置、基板処理装置の制御方法およびプログラム
US10419623B2 (en) * 2017-02-21 2019-09-17 Seiko Epson Corporation Measuring apparatus and printing apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003320291A (ja) * 2001-07-23 2003-11-11 Seiko Epson Corp 吐出装置及びその制御方法、吐出方法、マイクロレンズアレイの製造方法、並びに電気光学装置の製造方法
JP2004090621A (ja) * 2002-07-08 2004-03-25 Canon Inc 液体吐出装置および方法、表示装置用パネルの製造装置及び製造方法
JP2005021862A (ja) * 2003-07-02 2005-01-27 Seiko Epson Corp 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および製造方法。
JP2005047208A (ja) * 2003-07-31 2005-02-24 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェット式コーティングヘッド
JP2005093099A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Toshiba Corp インクジェット塗布装置及び有機el表示装置の製造方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69232977T2 (de) * 1991-07-30 2003-11-06 Canon Kk Vorrichtung und Verfahren zum Tintenstrahlaufzeichnen
DE69820201T2 (de) * 1997-04-16 2004-11-04 Seiko Epson Corp. Verfahren zum antreiben eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes
JP2000103089A (ja) * 1998-07-31 2000-04-11 Seiko Epson Corp 印刷装置および印刷方法
JP2002221616A (ja) * 2000-11-21 2002-08-09 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、el装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器
DE60229093D1 (de) * 2001-08-29 2008-11-13 Seiko Epson Corp Flüssigkeitsstrahlvorrichtung und Verfahren zu deren Steuerung
JP3960083B2 (ja) * 2002-03-06 2007-08-15 セイコーエプソン株式会社 ヘッド駆動装置及び方法、液滴吐出装置、ヘッド駆動プログラム、並びにデバイス製造方法及びデバイス
US7111755B2 (en) * 2002-07-08 2006-09-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge method and apparatus and display device panel manufacturing method and apparatus
JP4311050B2 (ja) * 2003-03-18 2009-08-12 セイコーエプソン株式会社 機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法および機能液滴吐出装置
JP2005062833A (ja) 2003-07-29 2005-03-10 Seiko Epson Corp カラーフィルタ、カラー画像表示装置および電子機器
JP4639922B2 (ja) * 2004-04-20 2011-02-23 富士ゼロックス株式会社 容量性負荷の駆動回路及び方法、液滴吐出装置、液滴吐出ユニット、インクジェットヘッドの駆動回路
TW200604669A (en) * 2004-07-01 2006-02-01 Seiko Epson Corp Color filter, color image display device, and electronic apparatus
JP4088798B2 (ja) * 2005-02-21 2008-05-21 富士フイルム株式会社 画像形成装置
US8057001B2 (en) * 2005-03-04 2011-11-15 Ricoh Company, Ltd. Imaging apparatus
JP2006346575A (ja) 2005-06-16 2006-12-28 Seiko Epson Corp キャリッジ、液滴吐出装置、液滴吐出方法並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP4208869B2 (ja) * 2005-09-09 2009-01-14 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法
JP4764690B2 (ja) * 2005-09-27 2011-09-07 富士フイルム株式会社 画像形成装置
JP2007276359A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Canon Inc インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法
JP2008136926A (ja) * 2006-12-01 2008-06-19 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッドの駆動方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置
JP2009025765A (ja) * 2007-07-24 2009-02-05 Seiko Epson Corp 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP2009031390A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Seiko Epson Corp 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003320291A (ja) * 2001-07-23 2003-11-11 Seiko Epson Corp 吐出装置及びその制御方法、吐出方法、マイクロレンズアレイの製造方法、並びに電気光学装置の製造方法
JP2004090621A (ja) * 2002-07-08 2004-03-25 Canon Inc 液体吐出装置および方法、表示装置用パネルの製造装置及び製造方法
JP2005021862A (ja) * 2003-07-02 2005-01-27 Seiko Epson Corp 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および製造方法。
JP2005047208A (ja) * 2003-07-31 2005-02-24 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェット式コーティングヘッド
JP2005093099A (ja) * 2003-09-12 2005-04-07 Toshiba Corp インクジェット塗布装置及び有機el表示装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101549582B (zh) 2011-07-27
US20090244134A1 (en) 2009-10-01
JP5115281B2 (ja) 2013-01-09
CN101549582A (zh) 2009-10-07
US8323724B2 (en) 2012-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5115281B2 (ja) 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法
JP4200810B2 (ja) ディスプレー製造装置、及び、ディスプレー製造方法
JP4888346B2 (ja) 液状体の塗布方法、有機el素子の製造方法
US7850267B2 (en) Method of controlling drive of function liquid droplet ejection head; function liquid droplet ejection apparatus; electro-optic device; method of manufacturing LCD device, organic EL device, electron emission device, PDP device, electrophoretic display device, color filter, organic EL; method of forming spacer, metallic wiring, lens, resist, and light diffusion body
JP4289391B2 (ja) 液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP5266671B2 (ja) 液状体の吐出方法、有機el素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法
JP5803212B2 (ja) ノズル吐出量の補正方法、液滴の吐出方法及び有機el素子の製造方法
KR101012939B1 (ko) 액상체의 토출 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 유기 el소자의 제조 방법
JP2017056402A (ja) 液滴吐出方法、液滴吐出プログラム、液滴吐出装置
US9365032B2 (en) Nozzle ejection amount correcting method, functional liquid ejecting method, and organic EL device manufacturing method
JP2008094044A (ja) ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法、配線基板の製造方法
JP2009247918A (ja) 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法
JP2013187000A (ja) 機能液の吐出方法、有機el素子の製造方法、有機el装置及び電子機器
JP2008268558A (ja) 液滴吐出ヘッドの吐出制御方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法、配向膜の製造方法、
JP5444682B2 (ja) 液状体の吐出方法、有機el素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法
JP2008119625A (ja) 液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP2017094235A (ja) 液滴吐出方法および液滴吐出プログラム
JP2009198938A (ja) 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP4556692B2 (ja) 電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置
JP2009198858A (ja) 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法
JP2012238479A (ja) インクジェット装置
JP2011008936A (ja) 液滴の吐出方法及び有機el素子の製造方法
JP2014013685A (ja) 機能液の吐出方法、有機el素子の製造方法、カラーフィルターの製造方法、有機el装置、電子機器
JP2009148694A (ja) 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP2011005352A (ja) 液滴の吐出方法及び有機el素子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100406

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100603

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120918

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121001

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5115281

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250