JP3960083B2 - ヘッド駆動装置及び方法、液滴吐出装置、ヘッド駆動プログラム、並びにデバイス製造方法及びデバイス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヘッド駆動装置及び方法、液滴吐出装置、ヘット駆動プログラム、並びにデバイス製造方法及びデバイスに係り、特に高い粘性を有する液状樹脂等の粘性体を吐出するヘッドを駆動するヘッド駆動装置及び方法、該ヘッド駆動装置を備える液滴吐出装置、ヘッド駆動プログラム、並びに上記方法を用いて粘性体を吐出する工程を1つの工程として含み、液晶表示装置、有機EL(Electroluminescence)ディスプレイ、カラーフィルタ基板、マイクロレンズアレイ、コーティング層を有する光学素子、その他のデバイスを製造するデバイス製造方法及びそのデバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、例えばコンピュータ及び携帯情報機器等の各種電子機器が著しく発達しているが、これらの電子機器の発達に伴って液晶表示装置、特に表示能力の高いカラー液晶表示装置を備えた電子機器が増大している。また、カラー液晶表示装置は、小型であるにもかかわらず表示能力が高いため、使用される用途(範囲)が広がっている。カラー液晶表示装置は、表示画像をカラー化するためのカラーフィルタ基板を備えている。このカラーフィルタ基板の製造方法は種々案出されているが、その1つとして基板に対してR(赤),G(緑),B(青)の各液滴を所定パターンで着弾させる液滴吐出方式が提案されている。
【0003】
この液滴吐出方式を実現する液滴吐出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを複数備えている。各液滴吐出ヘッドは外部から供給される液滴を一時的に蓄える液室と、液室内の液を加圧して所定量だけ吐出させる駆動源となる圧電素子(例えば、ピエゾ素子)と、液室からの液滴が吐出されるノズルが穿設されたノズル面とを備えている。これら液滴吐出ヘッドは、互いに等ピッチ間隔に配置されてヘッド群を構成しており、ヘッド群をスキャン方向(例えば、X方向)に沿って基板に対してスキャンさせながら液滴を吐出させていくことで、基板上にR,G,Bの各液滴を着弾させている。一方、スキャン方向に対して直交する方向(例えば、Y方向)における基板の位置調整は、基板を載置する載置台を移動させることにより行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したカラー液晶表示装置が備えるカラーフィルタ基板を製造する際には、一般家庭で使用されるカラープリンタで用いられるインクよりも高粘度の粘性体が用いられる場合が多い。一般家庭で使用されるカラープリンタの場合には、粘度の低い粘性体(例えば、常温(25℃)で3.0[mPa・s(ミリ・パスカル・秒)]程度の粘性を有する粘性体)は粘性抵抗が低いために、圧電素子の駆動時間が短時間(例えば、数μs)であっても、液滴を必要となる量だけ吐出させることができる。また、一般家庭で使用されるカラープリンタは高速印刷が求められるため、液滴吐出ヘッドを駆動するヘッド駆動装置も高速印刷を実現するために、圧電素子を高速に振動させるように設計されている。
【0005】
例えば、従来のヘッド駆動装置は、圧電素子に印加する駆動信号の1つの基準クロック当たりの電圧値の変化量を示すデータと駆動信号の電圧値を変化させる時間を規定するクロック信号とが入力され、このデータ及びクロック信号に基づいて基準クロックに同期して駆動信号を生成する駆動信号生成部を備えている。駆動信号生成部に入力される基準クロックは、その周波数が10MHz程度であり、データは符号付きの10ビット程度のディジタル信号である。この駆動信号生成部は、上記のクロック信号が入力されるまで、基準クロックが入力される度に入力されるデータの値を加算することにより、駆動信号の立ち上がり又は立ち下がりの波形を生成する。
【0006】
従来のヘッド駆動装置において、立ち上がり又は立ち下がりの波形が急峻な駆動信号を生成するには、駆動信号生成部に入力するデータの値をより大きく又はより小さくすればよい。例えば、データの最大値又は最小値(負の値)を駆動信号生成部に入力すると、基準クロックの1周期分の時間で急激に立ち上がり又は立ち下がる駆動信号を生成することができる。尚、実際には駆動信号生成部と圧電素子との間に設けられるD/Aコンバータの応答遅延があるため、駆動信号の立ち上がり又は立ち下がり時間は基準クロックの1周期分の時間よりも長くなる。
【0007】
一方、立ち上がり又は立ち下がりの波形が緩やかな駆動信号を生成するには、駆動信号生成部に入力するデータの値をより小さくするとともに、より遅い時間にクロック信号が入力されるようにすればよい。いま、簡単化のためにデータが符号無しの10ビットのディジタル信号であるとする。このとき、駆動信号は210=1024通りの値を取り得るが、緩やかな立ち上がりの波形を生成するために最小値のデータを入力すると、基準クロックの1024クロック分で駆動信号の電圧値が最小値から最大値へ変化する。基準クロックが10MHzのときには、その1周期分の時間は0.1μsであるので、理論的には駆動信号の立ち上がり又は立ち下がりに要する時間を0.1〜102.4μs程度の範囲で可変することができる。
【0008】
しかしながら、カラーフィルタ基板を製造するために用いられる液滴吐出装置では、上述したように粘度の高い粘性体が用いられるため、必要となる液滴を吐出させるためには、圧電素子を長時間かけて振動させる必要がある。例えば、カラーフィルタを製造する場合には、数ミリ秒かけて振動させる必要がある。更に、マイクロレンズを製造する場合には1秒程度の長時間で振動させる必要がある。上述のように、従来のヘッド駆動装置は圧電素子を高速に振動させるように設計されており、立ち上がり又は立ち下がりに要する時間を最長でも102.4μs程度に設定することしかできないため、単純に一般家庭で用いられているヘッド駆動装置を高粘度の粘性体を吐出する液滴吐出装置のヘッド駆動装置として転用することはできないという問題があった。
【0009】
この問題は、液晶表示装置に設けられるカラーフィルタ基板を製造する場合のみに生ずる問題でなはく、有機EL(ELectroluminescence)ディスプレイを製造する場合、高粘度の透明液状樹脂によりマイクロレンズアレイを製造する場合、高粘度の液状樹脂を用いて眼鏡レンズ等の光学素子の表面にコーティング層を形成する場合等、製造工程の1つとして粘性体を吐出させる工程が設けられるデバイス製造法について一般的に生ずる問題である。
【0010】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、圧電素子等の圧力発生素子を備えるヘッドから粘性体を必要量吐出させることができるヘッド駆動装置及び方法、当該ヘッド駆動装置を備える液滴吐出装置、ヘッド駆動プログラム、並びに製造工程の1つとして該方法を用いて粘性体を吐出する工程を有するデバイス製造方法及び上記液滴吐出装置又はデバイス製造方法を用いて製造されたデバイスを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のヘッド駆動装置は、基準クロックに同期して動作し、圧力発生素子を備えるヘッドの当該圧力発生素子に駆動信号を印加することにより当該圧力発生素子を変形させて粘性体を吐出させるヘッド駆動装置であって、生成しようとする前記駆動信号の電圧値変化に係る期間Tを設定し、当該期間Tに応じて前記基準クロックの周波数を可変させる周波数可変手段を備えることを特徴とする。
また好ましくは、前記周波数可変手段は、前記基準クロックを分周することにより、前記基準クロックの周波数を可変させることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、前記ヘッド駆動装置を備えることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明のヘッド駆動方法は、基準クロックに同期して動作し、圧力発生素子を備えるヘッドの当該圧力発生素子に駆動信号を印加することにより当該圧力発生素子を変形させて粘性体を吐出させるヘッド駆動装置のヘッド駆動方法であって、生成しようとする前記駆動信号の電圧値変化に係る期間Tを設定し、当該期間Tに応じて前記基準クロックの周波数を可変させる周波数可変手段ステップを有することを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明のプログラムは、前記ヘッド駆動方法を実行することを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明のデバイス製造方法は、前記ヘッド駆動方法を用いて前記粘性体を吐出する工程をデバイス製造工程の1つとして含むことを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明のデバイスは、前記デバイス製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態によるヘッド駆動装置及び方法、液滴吐出装置、ヘッド駆動プログラム、並びにデバイス製造方法及びデバイスについて詳細に説明する。以下の説明においては、まず、液滴吐出装置を備え、デバイスを製造する際に用いられるデバイス製造装置及びこのデバイス製造装置を用いて製造されるデバイス及びデバイス製造方法の例の説明を行い、次に液滴吐出装置に設けられているヘッド駆動装置、ヘッド駆動方法、及びヘッド駆動プログラムについて順に説明する。
【0013】
〔液滴吐出装置を備えるデバイス製造装置の全体構成〕
図1は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置を備えるデバイス製造装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、本実施形態の液滴吐出装置を備えるデバイス製造装置は、加工される基板(ガラス基板:以下、ウェハWという)を収容するウェハ供給部1と、ウェハ供給部1から移載されたウェハWの描画方向を決めるウェハ回転部2と、ウェハ回転部2から移載されたウェハWに対してR(赤)の液滴を着弾させる液滴吐出装置3と、液滴吐出装置3から移載されたウェハWを乾燥させるベーク炉4と、これらの装置間でのウェハWの移載作業を行うロボット5a,5bと、ベーク炉4から移載されたウェハWを次工程に送るまでに冷却及び描画方向の決定をなす中間搬送部6と、中間搬送部6から移載されたウェハWに対してG(緑)の液滴を着弾させる液滴吐出装置7と、液滴吐出装置7から移載されたウェハWを乾燥させるベーク炉8と、これらの装置間でのウェハWの移載作業を行うロボット9a,9bと、ベーク炉8から移載されたウェハWを次工程に送るまでに冷却及び描画方向の決定をなす中間搬送部10と、中間搬送部10から移載されたウェハWに対してB(青)の液滴を着弾させる液滴吐出装置11と、液滴吐出装置11から移載されたウェハWを乾燥させるベーク炉12と、これらの装置間でのウェハWの移載作業を行うロボット13a,13bと、ベーク炉12から移載されたウェハWの収納方向を決めるウェハ回転部14と、ウェハ回転部14から移載されたウェハWを収容するウェハ収容部15とを備えて概略構成されている。
【0014】
ウェハ供給部1は、1台あたり例えば20枚のウェハWを上下方向に収容するエレベータ機構を備えた2台のマガジンローダ1a,1bを備えており、順次、ウェハWが供給可能となっている。ウェハ回転部2は、ウェハWに対して液滴吐出装置3によりどの方向に描画するかの描画方向決定と、これから液滴吐出装置3に移載する前の仮位置決めとを行うものであり、2台のウェハ回転台2a,2bにより、鉛直方向の軸線回りに90度ピッチ間隔で正確にウェハWを回転可能に保持している。液滴吐出装置3,7,11の詳細は後述するため、ここでは説明を省略する。
【0015】
ベーク炉4は、ウェハWを例えば120度以下の加熱環境下に5分間置くことにより、液滴吐出装置3から移載されてきたウェハWの赤色の液滴を乾燥させるものであり、これにより、ウェハWの移動中に赤色の粘性体が飛散する等の不都合を防止可能としている。ロボット5a,5bは、基台を中心に伸展動作及び回転動作等が可能なアーム(図示省略)を備えており、このアームの先端に装備されている真空吸着パッドでウェハWを吸着保持することにより、各装置間でのウェハWの移載作業をスムーズかつ効率的に行うことができるように構成されている。
【0016】
中間搬送部6は、ロボット5bによりベーク炉4から移載されてきた加熱状態のウェハWを次工程に送る前に冷却する冷却器6aと、冷却後のウェハWに対して液滴吐出装置7によって、どの方向に描画するかの描画方向の決定、及び、これから液滴吐出装置7に移載する前の仮位置決めを行うウェハ回転台6bと、これら冷却器6a及びウェハ回転台6b間に配置され、液滴吐出装置3,7間での処理速度差を吸収するバッファ6cとを備えて構成されている。ウェハ回転台6bは、鉛直方向の軸線回りに90度ピッチ又は180度ピッチでウェハWを回転させることができるようになっている。
【0017】
ベーク炉10は上述したベーク炉6と同様の構造を有する加熱炉であり、例えばウェハWを120度以下の加熱環境下に5分間置くことにより、液滴吐出装置7から移載されてきたウェハWの緑色の液滴を乾燥させるものであり、これにより、ウェハWの移動中に緑色の粘性体が飛散する等の不都合を防止可能としている。ロボット9a,9bは、前述したロボット5a,5bと同様の構造を有しており、基台を中心として伸展動作及び回転動作等が可能なアーム(図示省略)を備え、アームの先端に装備されている真空吸着パッドでウェハWを吸着保持することにより、各装置間でのウェハWの移載作業をスムーズかつ効率的に行うことができるように構成されている。
【0018】
中間搬送部10は、上述の中間搬送部6と同様の構造であり、ロボット9bによりベーク炉8から移載されてきた加熱状態のウェハWを次工程に送る前に冷却する冷却器10aと、冷却後のウェハWに対して液滴吐出装置11によってどの方向に描画するかの描画方向の決定及びこれから液滴吐出装置11に移載する前の仮位置決めを行うウェハ回転台10bと、これら冷却器10a及びウェハ回転台10b間に配置され、液滴吐出装置7,11間での処理速度差を吸収するバッファ10cとを備えて構成されている。ウェハ回転台10bは、鉛直方向の軸線回りに90度ピッチ又は180度ピッチでウェハWを回転させることができるようになっている。
【0019】
ウェハ回転部14は、各液滴吐出装置3,7,11によりR,G,Bパターンが形成された後の各ウェハWに対して、各々が一定方向を向くように回転位置決め可能となっている。つまり、ウェハ回転部14は、2台のウェハ回転台14a,14bを備えており、鉛直方向の軸線回りに90度ピッチ間隔で正確にウェハWを回転可能に保持できるようになっている。ウェハ収容部15は、ウェハ回転部14より移載されてきた完成品のウェハW(カラーフィルタ基板)を、1台当たり、例えば20枚づつ上下方向に収容するエレベータ機構を備えた2台のマガジンアンローダ15a,15bを有しており、順次、ウェハWを収容可能としている。
【0020】
〔デバイス製造方法〕
次に、本発明の一実施形態によるデバイス製造方法及びこのデバイス製造方法を経て製造されるデバイスの一例について説明する。尚、以下の説明では、上述したデバイス製造装置を用いてカラーフィルタ基板を製造する製造方法を例に挙げて説明する。図2は、デバイス製造装置を用いてRGBパターンを形成する工程を含めたカラーフィルタ基板の一連の製造工程を示す図である。
【0021】
カラーフィルタ基板の製造に用いられるウェハWは、例えば長方形型薄板形状の透明基板であり、適度の機械的強度と共に光透過性の高い性質を兼ね備えている。このウェハWとしては、例えば、透明ガラス基板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれらの表面処理品等が好ましく用いられる。尚、このウェハWには、RGBパターン形成工程の前工程において、生産性を上げる観点から、複数のカラーフィルタ領域が予めマトリックス状に形成されており、これらカラーフィルタ領域をRGBパターン形成工程の後工程で切断することにより、液晶表示装置に適合するカラーフィルタ基板として用いられるようになっている。
【0022】
ここで、図3は、デバイス製造装置が備える各液滴吐出装置により形成されるRGBパターン例を示す図であり、(a)はストライプ型のパターンを示す斜視図であり、(b)はモザイク型のパターンを示す部分拡大図であり、(c)はデルタ型のパターンを示す部分拡大図である。図3に示すように、各カラーフィルタ領域には、R(赤色)の粘性体、G(緑色)の粘性体、及びB(青色)の粘性体が、後述の液滴吐出ヘッド18より所定のパターンで形成されるようになっている。この形成パターンとしては、図3(a)に示すストライプ型のパターンの他に、図3(b)に示すモザイク型のパターン、又は、図3(c)に示すデルタ型のパターンなどがあるが、本発明ではその形成パターンに関し、特に限定はされない。
【0023】
図2に戻り、前工程であるブラックマトリックス形成工程では、図2(a)に示すように、透明のウェハWの一方の面(カラーフィルタ基板の基礎となる面)に対して、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色)を、スピンコート等の方法により、所定の厚さ(例えば、2μm程度)に塗布し、その後、フォトリソグラフィー法等の方法によりマトリックス状にブラックマトリックスBM,…を形成していく。これらブラックマトリックスBM,…の格子で囲まれる最小の表示要素は、所謂フィルターエレメントFE,…といわれ、ウェハW面内の一方向(例えばX軸方向)の巾寸法が30μmであり、この方向に直交する方向(例えば、Y軸方向)の長さ寸法が100μm程度の大きさの窓である。ウェハW上にブラックマトリックスBM,…を形成した後は、図示しないヒータにより熱を加えることで、ウェハW上の樹脂を焼成することがなされる。
【0024】
このようにしてブラックマトリックスBMが形成されたウェハWは、図1に示したウェハ供給部1の各マガジンローダ1a,1bに収容され、引き続きRGBパターン形成工程が行われる。RGBパターン形成工程では、まず、マガジンローダ1a,1bの何れか一方に収容されたウェハWを、ロボット5aがそのアームにて吸着保持した後、ウェハ回転台2a,2bの何れか一方に載置する。そして、ウェハ回転台2a,2bは、これから赤色の液滴を着弾させる前準備として、その描画方向と位置決めとを行う。
【0025】
次に、ロボット5aは、各ウェハ回転台2a,2b上のウェハWを再び吸着保持し、今度は液滴吐出装置3へと移載する。この液滴吐出装置3では、図2(b)に示すように、所定のパターンを形成するための所定位置のフィルターエレメントFE,…内に、赤色の液滴RDを着弾させる。この時の各液滴RDの量は、加熱工程における液滴RDの体積減少量を考慮した充分な量となっている。
【0026】
このようにして所定の全てのフィルターエレメントFE,…に赤色の液滴RDが充填された後のウェハWは、所定の温度(例えば70度程度)で乾燥処理される。この時、液滴RDの溶媒が蒸発すると、図2(c)に示すように液滴RDの体積が減少するので、体積減少が激しい場合には、カラーフィルタ基板として充分な粘性体膜厚が得られるまで、液滴RDの着弾作業と乾燥作業とが繰り返される。この処理により、液滴RDの溶媒が蒸発して、最終的に液滴RDの固形分のみが残留して膜化する。
【0027】
尚、赤色パターンの形成工程における乾燥作業は、図1で示したベーク炉4によって行われる。そして、乾燥作業後のウェハWは、加熱状態にあるため、同図に示すロボット5bにより冷却器6aへと搬送されて冷却される。冷却後のウェハWは、バッファ6cに一時的に保管されて時間調整がなされた後、ウェハ回転台6bへと移載され、これから緑色の液滴を着弾させる前準備として、その描画方向と位置決めとがなされる。そして、ロボット9aが、ウェハ回転台6b上のウェハWを吸着保持した後、今度は液滴吐出装置7へと移載する。
【0028】
液滴吐出装置7では、図2(b)に示すように、所定のパターンを形成するための所定位置のフィルターエレメントFE,…内に、緑色の液滴GDを着弾させる。この時の各液滴GDの量は、加熱工程における液滴GDの体積減少量を考慮した充分な量となっている。このようにして所定の全てのフィルターエレメントFE,…に緑色の液滴GDが充填された後のウェハWは、所定の温度(例えば、70度程度)で乾燥処理される。この時、液滴GDの溶媒が蒸発すると、図2(c)に示すように液滴GDの体積が減少するので、体積減少が激しい場合には、カラーフィルタ基板として充分な粘性体膜厚が得られるまで、液滴GDの着弾作業と乾燥作業とが繰り返される。この処理により、液滴GDの溶媒が蒸発して、最終的に液滴GDの固形分のみが残留して膜化する。
【0029】
尚、この緑色パターンの形成工程における乾燥作業は、図1で示したベーク炉8によって行われる。乾燥作業後のウェハWは、加熱状態にあるため、同図に示すロボット9bにより冷却器10aへと搬送され、冷却される。冷却後のウェハWは、バッファ10cに一時的に保管されて時間調整がなされた後、ウェハ回転台10bへと移載され、これから青色の液滴を着弾させる前準備として、その描画方向と位置決めとがなされる。その後、ロボット13aが、ウェハ回転台10b上のウェハWを吸着保持した後、今度は液滴吐出装置11へと移載する。
【0030】
液滴吐出装置11では、図2(b)に示すように、所定のパターンを形成するための所定位置のフィルターエレメントFE,…内に、青色の液滴BDを着弾させる。この時の各液滴BDの量は、加熱工程における液滴BDの体積減少量を考慮した充分な量となっている。このようにして所定の全てのフィルターエレメントFE,…に青色の液滴BDが充填された後のウェハWは、図2(c)に示すように所定の温度(例えば、70度程度)で乾燥処理される。この時、液滴BDの溶媒が蒸発すると、液滴BDの体積が減少するので、体積減少が激しい場合には、カラーフィルタとして充分な粘性体膜厚が得られるまで、液滴BDの着弾作業と乾燥作業とが繰り返される。この処理により、液滴BDの溶媒が蒸発して、最終的に液滴BDの固形分のみが残留して膜化する。
【0031】
尚、この青色パターンの形成工程における乾燥作業は、図1で示したベーク炉12によって行われる。乾燥作業後のウェハWは、ロボット13bによりウェハ回転台14a,14bの何れか一方に移載され、その後、一定方向を向くように回転位置決めがなされる。回転位置決め後のウェハWは、ロボット13bによりマガジンアンローダ15a,15bの何れか一方に収容される。以上により、RGBパターン形成工程が完了する。その後は引き続き、図2(d)以降に示す後工程が行われる。
【0032】
後工程の1つである図2(d)に示す保護膜形成工程では、液滴RD,GD,BDを完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間加熱を行う。乾燥が終了すると、粘性体膜が形成されたウェハWの表面保護及び表面平坦化を目的として保護膜CRが形成される。この保護膜CRは、例えばスピンコート法、ロールコート法、又はリッピング法等の方法を用いて形成される。保護膜形成工程に続く図2(e)に示した透明電極形成工程では、スパッタ法又は真空吸着法等の方法を用いて、保護膜CRの全面を覆うように透明電極TLが形成される。透明電極形成工程に続く図2(f)に示すパターニング工程では、透明電極TLが、画素電極PLとしてパターニングされる。尚、液晶表示パネルの駆動にTFT(Thin Film Transistor)等のスイッチング素子を用いる場合にはこのパターニング工程は不要となる。以上説明した各工程を経て、図2(f)に示すカラーフィルタ基板CFが製造される。
【0033】
そして、このカラーフィルタ基板CFと対向基板(図示省略)とを対向配置させ、その間に液晶を挟持させる工程を経て液晶表示装置が製造される。このようにして製造された液晶表示装置、CPU(中央処理装置)等を備えたマザーボード、キーボード、ハードディスク等の電子部品を筐体内に組み込むことで、例えば図4に示すノート型のパーソナルコンピュータ20(デバイス)が製造される。図4は、本発明の一実施形態によるデバイス製造方法を用いて製造されるデバイスの一例を示す図である。尚、図4において21は筐体であり、22は液晶表示装置であり、23はキーボードである。
【0034】
尚、以上説明した製造工程を経て形成されるカラーフィルタ基板CFが装備されるデバイスは上記のノート型パソコン20に限られず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、POS端末、ICカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリングワークステーション(EWS)、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器等、様々な電子機器が挙げられる。更に、本実施形態の液滴吐出装置を用いて前述した製造方法により製造されるデバイスは、カラーフィルタ基板CFに限られず、有機EL(Electroluminescence)ディスプレイ、マイクロレンズアレイ、表面にコーティング層が形成された眼鏡レンズ等の光学素子、その他のデバイスであっても良い。
【0035】
〔液滴吐出装置及びヘッド駆動装置〕
次に、本発明の一実施形態による液滴吐出装置及びヘッド駆動装置の電気的構成について説明する。図5は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置及びヘッド駆動装置の電気的構成を示すブロック図である。尚、図1に示した液滴吐出装置3,7,11は同一の構成であるため、液滴吐出装置3を例に挙げて説明する。
【0036】
図5において、液滴吐出装置3は、プリントコントローラ30とプリントエンジン40とを含んで構成されている。プリントエンジン40は、記録ヘッド41、移動装置42、及びキャリッジ機構43を備えている。ここで、移動装置42は、カラーフィルタ基板の製造に用いられるウェハW等の基板を載置する載置台を移動させることにより副走査を行うものであり、キャリッジ機構43は、記録ヘッド41を主走査させるものである。
【0037】
プリントコントローラ30は、コンピュータ(図示せず)からの多値階調情報を含む画像データ(記録情報)等を受信するインターフェース31と、多値階調情報を含む記録情報等の各種データを記憶するDRAMからなる入力バッファ32a及びイメージバッファ32b、並びにSRAMからなる出力バッファ32cと、各種データ処理を行うためのプログラム等を記憶したROM33と、CPU及びメモリ等を含んで構成される制御部34と、発振回路35と、記録ヘッド41への駆動信号COMを発生させる駆動信号生成部36と、ドットパターンデータに展開された印字データ及び駆動信号をプリントエンジン40に出力するためのインタフェース37とを備えている。尚、制御部34は本発明にいう周波数可変手段に相当するものであり、駆動信号生成部36は本発明にいう駆動信号生成部に相当するものである。また、プリントコントローラ30は、本発明にいうヘッド駆動装置に相当するものである。
【0038】
次に、記録ヘッド41の構成について説明する。記録ヘッド41は、プリントコントローラ30から出力される印字データ及び駆動信号COMに基づいて、所定のタイミングで液滴吐出ヘッドの各ノズル開口48cから液滴を吐出させるものであり、複数のノズル開口48c、これらのノズル開口48cの各々に連通する複数の圧力発生室48b、及びこれらの圧力発生室48b内の粘性体をそれぞれ加圧して各ノズル開口48cから液滴を吐出させる複数の圧力発生素子48aが形成されている。また、記録ヘッド41には、シフトレジスタ44、ラッチ回路45、レベルシフタ46、及びスイッチ回路47を備えるヘッド駆動回路49が設けられている。
【0039】
次に、以上説明した構成の液滴吐出装置が液滴を吐出させるときの全体動作について説明する。まず、プリントコントローラ30においてドットパターンデータに展開された記録データSIは、発振回路35からのクロック信号CLKに同期してインタフェース37を介して記録ヘッド41のヘッド駆動回路49にシリアル出力され、記録ヘッド41のシフトレジスタ44にシリアル転送され、順次セットされる。このとき、まず、ノズルの記録データSIにおける最上位ビットのデータがシリアル転送され、この最上位ビットのデータのシリアル転送が終了したならば、上位から2番目のビットのデータがシリアル転送される。以下同様に、下位ビットのデータが順次シリアル転送される。
【0040】
上記ビットの記録データが全ノズル分、シフトレジスタ44の各素子にセットされると、制御部34は所定のタイミングでラッチ回路45へラッチ信号LATを出力する。このラッチ信号LATにより、ラッチ回路45はシフトレジスタ44にセットされた記録データをラッチする。このラッチ回路45がラッチした記録データは、電圧変換器であるレベルシフタ46に印加される。このレベルシフタ46は、記録データSIが例えば「1」の場合に、スイッチ回路47が駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトの電圧値を出力する。レベルシフタ46から出力される信号がスイッチ回路47に設けられる各スイッチング素子に印加されることにより各スイッチング素子は接続状態になる。ここで、スイッチ回路47に設けられた各スイッチング素子には、駆動信号生成部36から出力される駆動信号COMが供給されており、スイッチ回路47の各スイッチング素子が接続状態になると、そのスイッチング素子に接続された圧力発生素子48aに駆動信号COMが印加される。
【0041】
従って、記録ヘッド41では、記録データSIによって圧力発生素子48aに駆動信号COMを印加するか否かを制御することができる。例えば、記録データSIが「1」の期間においては、スイッチ回路47に設けられたスイッチング素子が接続状態となるので、駆動信号COMを圧力発生素子48aに供給することができ、この供給された駆動信号COMにより圧力発生素子48aが変位(変形)する。これに対して、記録データSIが「0」の期間においてはスイッチ回路47に設けられたスイッチング素子が非接続状態になるため、圧力発生素子48aへの駆動信号COMの供給は遮断される。尚、記録データSIが「0」の期間において、各圧力発生素子48aは直前の電荷を保持するので、直前の変位状態が維持される。ここで、スイッチ回路47に設けられたスイッチング素子がオン状態になって駆動信号COMが圧力発生素子48aに印加されると、ノズル開口48cに連通する圧力発生室48bが収縮して圧力発生室48b内の粘性体が加圧されるので、圧力発生室48b内の粘性体は液滴としてノズル開口48cから吐出され、基板上にドットが形成される。以上の動作により、液滴吐出装置から液滴が吐出される。
【0042】
次に、本発明の特徴部分をなす制御部34及び駆動信号生成部36について説明する。図6は、駆動信号生成部36の構成を示すブロック図である。図6に示した駆動信号生成部36は、制御部34内に設けられているデータ記憶部に記憶された各種データに基づいて駆動信号COMを生成する。図6に示すように、駆動信号生成部36は、制御部34からの各種信号を受け取って一時記憶するメモリ50、メモリ50の内容を読み出して一時的に保持するラッチ51、ラッチ51の出力ともう一つのラッチ53の出力とを加算する加算器52、ラッチ53の出力をアナログ信号に変換するD/A変換器54、D/A変換器54によって変換されたアナログ信号を駆動信号COMの電圧まで増幅する電圧増幅部55、及び電圧増幅部55で電圧増幅された駆動信号COMを電流増幅する電流増幅部56を含んで構成される。
【0043】
制御部34から駆動信号生成部36には、クロック信号CLK、データ信号DATA、アドレス信号AD1〜AD4、クロック信号CLK1,CLK2、リセット信号RST、及びフロアー信号FLRが供給されている。クロック信号CLKは発振回路35から出力されるクロック信号CLKと同一周波数(例えば、10MHz程度)の信号である。データ信号DATAは駆動信号COMの電圧変化量を示す信号である。アドレス信号AD1〜AD4はデータ信号DATAを格納するアドレスを指定する信号である。詳細は後述するが、駆動信号COMを生成するときには制御部34から複数の電圧変化量を示すデータ信号DATAが駆動信号生成部36に出力されるため、各々のデータ信号DATAを個別に記憶するためにアドレス信号AD1〜AD4が必要になる。
【0044】
クロック信号CLK1は、駆動信号COMの電圧値を変化させるときの開始時点及び終了時点を規定する信号である。クロック信号CLK2は駆動信号生成部36の動作タイミングを規定する基準クロックに相当する信号である。このクロック信号CLK2は、圧力発生素子48aの単位時間当たりの変形率に応じて周波数が可変する信号である。ここで、クロック信号CLK2の周波数を可変とするのは、液滴吐出装置から吐出される液滴の粘性が高く、しかも一度に吐出する液滴の量が数μgと従来よりも数百倍程度多いため、必要となる量の液滴を吐出させるには、圧力発生素子48aを時間的に緩やかに変形させる必要があるためである。
【0045】
クロック信号CLK2は、例えば制御部34が発振回路35から出力される基準クロック信号CLKを分周することにより生成される。基準クロック信号CLKの分周率は、圧力発生素子48aの単位時間当たりの変形率に応じて適宜設定される。この点の詳細については後述する。リセット信号RSTは、ラッチ51及びラッチ53を初期化することにより、加算器52の出力を「0」にするための信号であり、フローア信号FLRは駆動信号COMの電圧値を変化させるときに、ラッチ53の下位8ビット(ラッチ53は18ビット)をクリアするための信号である。
【0046】
次に、上記構成による駆動信号生成部36が生成する駆動信号COMの波形の一例を説明する。図7は、駆動信号生成部36が生成する駆動信号の波形の一例を示す図である。図7に示すように、駆動信号COMの生成に先立って、制御部34から駆動信号生成部36に電圧変化量を示すいくつかのデータ信号DATAと、そのデータ信号DATAのアドレスを示すアドレス信号AD1〜AD4とがクロック信号CLKに同期して出力される。データ信号DATAは、図8に示すように、クロック信号CLKに同期してシリアル転送される。図8は、制御部34から駆動信号生成部36へデータ信号DATA及びアドレス信号AD1〜AD4を転送するタイミングを示すタイミングチャートである。
【0047】
図8に示すように、制御部34から所定の電圧変化量を示すデータDATAを転送する場合には、まず、クロック信号CLKに同期して複数ビットのデータ信号DATAを出力する。次に、このデータ信号DATAを格納するアドレスをイネーブル信号ENに同期してアドレス信号AD1〜AD4として出力する。図6に示したメモリ50は、イネーブル信号ENが出力されたタイミングでアドレス信号AD1〜AD4を読み取り、受け取ったデータ信号DATAをアドレス信号AD1〜AD4で示されるアドレスに書き込む。アドレス信号AD1〜AD4は4ビットの信号であるため、最大16種類の電圧変化量を示すデータ信号DATAをメモリ50に記憶することができる。
【0048】
尚、データ信号DATAの最上位のビットは符号として用いられている。以上説明した処理が行われて、データ信号ADATAがアドレス信号AD1〜AD4で指定されたメモリ50のアドレスに記憶される。また、ここではアドレスA,B,Cにデータ信号が記憶されたとする。更に、リセット信号RST及びフロアー信号FLRが入力されて、ラッチ51,53は初期化されているものとする。
【0049】
各アドレスA,B,…への電圧変化量の設定が終了した後、図7に示すように、アドレス信号AD1〜AD4によってアドレスBが指定されたとすると、最初のクロック信号CLK1により、このアドレスBに対応した電圧変化量がラッチ51により保持される。この状態で、次にクロック信号CLK2が入力されると、ラッチ53の出力とラッチ51の出力とを加算した値がラッチ53に保持される。一旦、ラッチ51によって電圧変化量が保持されると、その後、クロック信号CLK2が入力される度に、ラッチ53の出力は電圧変化量に従って増減する。メモリ50のアドレスBに格納された電圧変化量ΔV1とクロック信号CLK2の周期ΔTにより駆動波形のスルーレートが決まる。尚、増加か減少かは、各アドレスに格納されたデータの符号により決定される。
【0050】
図7に示した例では、アドレスAには、電圧変化量として値0、即ち電圧を維持する場合の値が格納されている。従って、クロック信号CLK1によりアドレスAが有効となると、駆動信号COMの波形は増減のないフラットな状態に保たれる。また、アドレスCには、駆動波形のスルーレートを決定するために、クロック信号CLK2の1周期当たりの電圧変化量ΔV2が格納されている。従って、クロック信号CLK1によりアドレスCが有効になった後は、この電圧ΔV2ずつ電圧が低下していくことになる。このように制御部34から駆動信号生成部36へ、アドレス信号AD1〜AD4とクロック信号CLK1,CLK2とを出力するだけで、駆動信号COMの波形を自由に制御できる。
【0051】
〔ヘッド駆動装置〕
以上説明した動作が駆動信号COMの波形を制御する基本的な動作であるが、本実施形態では、制御部34が圧力発生素子48aの単位時間当たりの変形率に応じて分周率が設定されたクロック信号CLK2を駆動信号生成部36に供給することにより、駆動信号COMのスルーレートを可変にしている。このために、制御部34内には発振回路35から出力されるクロック信号CLKを分周する分周回路が複数設けられている。各分周回路の分周率は、例えば2分周〜14分周程度に設定されている。クロック信号CLKの周波数を10MHzとすると、分周率が1に設定された分周回路からは10/21=5MHz(周期:0.2μs)のクロック信号CLK2が得られ、分周率が13に設定された分周回路からは10/213≒1.22kHz(周期:約0.82ms)のクロック信号CLK2が得られ、分周率が14に設定された分周回路からは10/214≒610Hz(周期:約1.64ms)のクロック信号CLK2が得られる。
【0052】
いま、図7に示した基準信号COMの波形において、電圧値が上昇する期間を立ち上がり期間T1、電圧値が変化しない期間を保持期間T2、及び電圧値が下降する期間を立ち下がり期間T3とする。粘性の高い粘性体を吐出させるために、制御部34には駆動信号COMを駆動信号生成部36に生成させるためのパラメータとして、立ち上がり期間T1が1s、保持期間T2が500ms、立ち下がり期間T3が20μsにそれぞれ設定されているとする。尚、立ち上がり期間T1、保持期間T2、及び立ち下がり期間T3の時間は、粘性体の粘度に応じて各々設定されている。ここで、粘性体の粘度は、例えば常温(25℃)で10〜40,000[mPa・s]の範囲である。
【0053】
立ち上がり期間T1を1秒程度の長時間に設定するのは、圧力発生素子48aを急速に変形させたときに、粘性体の高い粘性のためメニスカスが崩れ、ノズル開口48cから気泡が入ることを防止するためである。また、保持期間T11は立ち上がり期間T1の半分程度(500ms程度)に設定されているが、これは液滴吐出ヘッド18の構造によって決定される液滴吐出ヘッド18の固有振動数の影響を避けるためである。つまり、立ち上がり期間T1が経過すると粘性体の表面張力により液滴吐出ヘッド18の固有振動数で振動を引き起す。この振動は時間の経過に伴って減衰し、やがて静止した状態となる。粘性体の表面が振動している状態で粘性体を吐出するのは好ましくないため、保持期間T2は振動が静止するために必要な充分の長さに設定される。立ち下がり期間T3は、粘性体の吐出速度を得るために、20μs程度の短い時間に設定される。
【0054】
また、簡単化のために、駆動信号COMの電圧変化量を示すデータ信号DATAが符号無しの10ビットの信号であるとする。このとき、電圧変化量は210=1024通りの値を取り得るが、緩やかな立ち上がりの波形を生成するために最小値の電圧変化量を入力すると、クロック信号CLK2が1024クロック分の時間で駆動信号COMの電圧値が最小値から最大値へ変化する。
【0055】
従って、周波数が10MHzのクロック信号CLK2が入力されているときには、0.1μs×1024=102.4μsの時間で駆動信号COMの電圧値が最小値から最大値へ変化し、周波数が1.22kHzのクロック信号CLK2が入力されているときには、0.82ms×1024≒0.84sの時間で駆動信号COMの電圧値が最小値から最大値へ変化し、周波数が610Hzのクロック信号CLK2が入力されているときには、1.64ms×1024≒1.68sの時間で駆動信号COMの電圧値が最小値から最大値へ変化する。
【0056】
このとき、制御部34は立ち上がり期間T1においては分周率が14に設定された分周回路を用いてクロック信号CLKを14分周したクロック信号CLK2を生成し、保持期間T2においては、分周率が13に設定された分周回路を用いてクロック信号CLKを分周してクロック信号CLK2を生成し、立ち下がり期間T3においては、分周しないクロック信号CLK2を生成する。前述したように、駆動信号COMの電圧値はクロック信号CLK2が入力される度に、加算器52で加算されることにより増加又は減少していたが、本実施形態ではこの点については同じである。しかしながら、制御部34が分周率に応じて周波数が変化するクロック信号CLK2を駆動信号生成部36に供給しているため、単位時間当たりの駆動信号COMの電圧値の増加率及び減少率(スルーレート)を制御することができる。尚、上記の例では、1sに設定された立ち上がり期間T1と500msに設定された保持期間T2とにおいて分周率を変えているが、これは立ち上がり期間T1の時間的な誤差及び保持期間T2の時間的な誤差を極力小さくするためである。
【0057】
図9は、クロック信号CLK2の周波数を可変させるときの制御部34の動作を示すフローチャートである。尚、制御部34が互いに異なる分周率に設定された複数の分周回路を備えている点については前述した通りであるが、図9に示したフローチャートは制御部34に設けられたCPUがどの分周回路で分周するかを判断・決定する処理を示すものである。駆動信号COMを生成するときには、制御部34に設けられたCPUは制御部34内のデータ記憶部に予め記憶されている各種データから駆動信号COMの電圧値を変化させる期間又は保持する期間の長さを示すデータを読み出す(ステップS10)。ここで、読み出す期間を示すデータとは、例えば図7に示した期間T1の時間的な長さを示すデータである。このデータを読み出すと、制御部34は読み出した期間の長さ(時間)が102.4μs以下であるか否かを判断する(ステップS11)。この時間102.4μsは、クロック信号CLKの1024周期分に相当する長さの時間である。
【0058】
読み出した期間の長さ(時間)が102.4μs以下であると判断した場合(ステップS11の判断結果が「YES」の場合)には、制御部34はクロック信号CLKを(分周せずに)クロック信号CLK2として駆動信号生成部36に出力する(ステップS12)。一方、ステップS11において、読み出した期間の長さ(時間)が102.4μsよりも長いと判断した場合(ステップS11の判断結果が「NO」の場合)には、204.8μs以下であるか否かを判断する(ステップS13)。この時間102.4μsは、クロック信号CLKを2分周したものの1024周期分に相当する長さの時間である。この判断結果が「YES」の場合には、制御部34はクロック信号CLKを2分周してクロック信号CLK2として駆動信号生成部36に出力する(ステップS14)。
【0059】
同様に、ステップS13において、読み出した期間の長さ(時間)が204.8μsよりも長いと判断した場合(ステップS13の判断結果が「NO」の場合)には、409.6μs以下であるか否かを判断する(ステップS15)。この時間409.6μsは、クロック信号CLKを3分周したものの1024周期分に相当する長さの時間である。この判断結果が「YES」の場合には、制御部34はクロック信号CLKを3分周してクロック信号CLK2として駆動信号生成部36に出力する(ステップS16)。以下、同様にしてステップS10で読み出した期間の長さに応じてクロック信号CLKの分周率が選択される。尚、図9に示すステップS11〜ステップS16は本発明にいう周波数可変ステップ又は選択ステップに相当する。
【0060】
ステップS12,S14,S16,…が終了すると、その期間が経過したか否かが判断される(ステップS20)。つまり、例えば図7に示す立ち上がり期間T1(駆動信号COMの電圧値を上昇させる期間)が終了して保持期間T2(駆動信号COMの電圧値を保持する期間)に移行したか否かが判断される。この判断結果が「NO」の場合には、制御部34はステップS20の処理を繰り返すことにより、図2に示すステップS11〜ステップS16の処理を行って選択した分周率のクロック信号CLK2を出力し続け、駆動信号COMの電圧値を上昇、保持、又は下降させる。
【0061】
ステップS20の判断結果が「YES」の場合には、駆動信号COMの波形を生成するための残りの期間があるか否かを判断する(ステップS21)。例えば、現時点において、立ち上がり期間T1が経過したとすると、駆動信号COMの波形を生成するための保持期間T2及び立ち下がり期間T3が残っているため、ステップS21の判断結果は「YES」となり、処理がステップS10に戻って前述した処理を繰り返す。一方、ステップS21において、残りの期間がないと判断された場合には、一連の駆動信号COMの波形を生成する処理は終了する。
【0062】
以上、本発明の一実施形態によるヘッド駆動方法について説明したが、上述したヘッド駆動方法は、図7に示す立ち上がり期間T1、保持期間T2、及び立ち下がり期間T3からなる駆動信号COMを生成する場合の説明であった。本実施形態のヘッド駆動装置及び方法は、上記の3つの期間からなる駆動信号COMを生成する場合に限られず、例えば図10に示す波形の駆動信号COMを生成する場合にも適用することができる。
【0063】
図10は、液滴を吐出した後の液滴のサテライト及び粘性体のメニスカスを考慮した駆動信号COMの波形を示す図である。粘度の高い液滴を吐出する場合には、例えば圧力発生素子48aを緩やかに変形させて粘性体を液滴吐出ヘッド18内に引き込んだ後で、圧力発生素子48aを急速に変形(復元)させてある程度の液滴の吐出速度を得る必要がある。このため、図10に示すように、圧力発生素子48aを変形させる期間T10が長時間(1s程度)程度に設定され、復元する期間T12が短時間(20μs程度)に設定される。
【0064】
ここで、図10に示した期間T10〜T13の波形を有する駆動信号COMを印加したときの液滴吐出ヘッド18の液滴吐出動作について説明する。図11は、図10に示した期間T10〜T13の波形を有する駆動信号COMを印加したときの液滴吐出ヘッド18の液滴吐出動作を説明するための図である。まず、期間T10において、駆動信号COMの電圧値を緩やかに上昇させると、図11(a)に示すように液滴吐出ヘッド18に設けられた圧力発生素子48aが緩やかに変形し、粘性体が液室48dから圧力発生室48bに供給されるとともに、図示のようにノズル開口48c近傍に位置する粘性体も僅かに圧力発生室48b内部方向へ引き込まれる。
【0065】
次に、期間T11において駆動信号COMの電圧値が所定時間(例えば、500ms)保持された後、期間T12において20μs程度の時間で急速に圧力発生素子48aを変形(復元)させると、図11(b)に示すように、ノズル開口48cから液滴D1が吐出される。期間T12の経過後、駆動信号COMの電圧値を変化させないと粘性体は高い粘性を有するため、図11(b)に示した液滴D1の尾部D2の一部が分離して、図11(c)に示すように本来の液滴D3以外にサテライトSTが生じてしまう。このサテライトSTは、液滴D3とは異なる方向へ飛散することがあるため、液滴D3を着弾させるときに、着弾面を汚染する可能性がある。また、図10中の期間T10〜T12の波形の駆動信号を間欠的に圧力発生素子48aに印加して、所定の時間間隔をおいて液滴を連続的に吐出させる場合には、粘性体の高い粘性のためにノズル開口48cにおけるメニスカスが崩れ、液滴を吐出させる上で好ましくない状況が生ずる。
【0066】
これらの不具合を防止するため、図10中の期間T10〜期間T12の波形の後に、圧力発生素子48aを所定量変形させる期間T14,T15(アフターケア期間)を設けている。この期間T14,T15の駆動信号は本発明にいう補助駆動信号に相当する。アフターケア期間は期間T12の後、例えば10μs程度に設定された期間T13の後に設けられる。ここで、アフターケア期間の期間T14は20μs程度に設定され、期間T15は1s程度に設定される。期間T14を20μs程度の短時間に設定するのは、圧力発生素子48aを急速に変形させることで、一度ノズル開口48cから吐出された液滴の一部を引き戻して、サテライトSTを防止するためである。また期間T15を1s程度の長時間に設定するのはメニスカスを崩さないためである
【0067】
この様子を図12を用いて説明する。図12は、アフターケア期間が設けられた駆動信号COMを印加したときの液滴吐出ヘッド18の液滴吐出動作を説明するための図である。まず、図10中の期間T10において、駆動信号COMの電圧値を緩やかに上昇させると、図12(a)に示すように液滴吐出ヘッド18に設けられた圧力発生素子48aが緩やかに変形し、粘性体が液室48dから圧力発生室48bに供給されるとともに、図示のようにノズル開口48c近傍に位置する粘性体も僅かに圧力発生室48b内部方向へ引き込まれる。
【0068】
次に、期間T11において駆動信号COMの電圧値が所定時間(例えば、500ms)保持された後、期間T12において20μs程度の時間で急速に圧力発生素子48aを変形(復元)させると、図12(b)に示すように、ノズル開口48cから液滴D1が吐出される。期間T12の経過後、期間T13を経て期間T14で図示の波形の駆動信号COMが圧力発生素子48aに印加されると、圧力発生素子48aは図12(c)に示すように変形し、ノズル開口48cから吐出された液滴D1の一部(図12(b)に示した尾部D2)がノズル開口内48cに引き込まれる。このように、サテライトSTが生ずる原因となる尾部D2がノズル開口48c内に引き込まれるためサテライトの発生を防止することができる。
【0069】
以上のように、期間T14の波形によりサテライトの発生を防止することができるが、期間T14では圧力発生素子48aを変形させているため、図12(c)に示すように粘性体の表面がノズル開口48c内に引き込まれた状態となり、メニスカスが僅かに崩れる。この崩れを補正するために、期間T15において圧力発生素子48aを緩やかに変形(復元)してメニスカスを一定の状態に維持している(図12(d)参照)。
【0070】
アフターケア期間が設けられた駆動信号COMによって液滴吐出ヘッド10を駆動する場合には、期間T10及び期間T15において圧力発生素子48aを緩やかに変形及び復元させる必要があり、更には期間T12及び期間T14において圧力発生素子48aを急速に復元及び変形させる必要がある。このような低スルーレート及び高スルーレートを波形の一部として有する駆動信号COMを生成する場合であっても、本実施形態ではスルーレートに応じてクロック信号CLK2の分周率を変えるだけで対応することができる。また、粘性体の表面状態やサテライト等を考慮して、駆動信号COMの波形形状を任意に設定することが可能である。
【0071】
〔液滴吐出ヘッドの具体的構成〕
上述した説明では簡略化した構成の液滴吐出ヘッド18を示して説明したが、以下では液滴吐出ヘッド18の具体的構成について説明する。図13は、液滴吐出ヘッド18の機械的断面構造の一例を示す図である。図13において、第1の蓋部材70は、厚さが6μm程度のジルコニア(ZrO)の薄板から構成されており、その表面には一方の極となる共通電極71が形成されている。また、共通電極71の表面には後述するようにPZT等からなる圧力発生素子48aが固定され、更に、圧力発生素子48aの表面にAu等の比較的柔軟な金属の層からなる駆動電極72が形成されている。
【0072】
圧力発生素子48aは第1の蓋部材70とともに、撓み振動型のアクチュエータを構成しており、圧力発生素子48aが充電されると収縮して圧力発生室48bの体積を縮める変形を行い、圧力発生素子48aが放電されると伸長して圧力発生室48bの体積を元に拡げる方向に変形するようになっている。スペーサ73は、厚みが例えば100μm程度のジルコニア等のセラミック板に通孔を形成したものである。スペーサ73が第1の蓋部材70と後述する第2の蓋部材74とにより両面が封止されることによって圧力発生室48bが形成される。
【0073】
第2の蓋部材74は、第1の蓋部材70と同様にジルコニア等のセラミック板により形成されている。この、第2の蓋部材74は、圧力発生室48bと後述する粘性体供給口75とを接続する連通孔76と、圧力発生室48bの他端とノズル開口48cとを接続するノズル連通孔77とが形成され、スペーサ73の他面に固定されている。以上説明した第1の蓋部材70、スペーサ73、及び第2の蓋部材74は粘度状のセラミックス材料を所定の形状に成形し、それを積層して焼成することにより、接着剤を使用することなくアクチュエータユニット86に纏められている。
【0074】
粘性体供給口形成基板78は、上述した粘性体供給口75と連通孔79とが形成されており、アクチュエータユニット86の固定基板を兼ねるものである。液室形成基板80は、液室となる通孔と粘性体供給口形成基板78に形成された連通孔79と接続される連通孔81とが形成されている。ノズルプレート82には、粘性体を吐出するためのノズル開口48cが形成されている。これらの粘性体供給口形成基板78、液室形成基板80、及びノズルプレート82は、各々の間に熱溶着フィルムや接着剤等の接着層83,84により固定されて流路ユニット87に纏められている。この流路ユニット87と前述したアクチュエータユニット86とは、熱溶着フィルムや接着剤等の接着層85により固定されて液滴吐出ヘッド18が構成されている。
【0075】
以上の構成の液滴吐出ヘッド18において、圧力発生素子48aを放電すると、圧力発生室48bが膨張し、圧力発生室48b内の圧力が低下して液室48dから圧力発生室48b内に粘性体が流入する。これに対して、圧力発生素子48aを充電すると、圧力発生室48bが縮小し、圧力発生室48b内の圧力が上昇して圧力発生室48b内の粘性体が液滴としてノズル開口48cを介して外部に吐出される。
【0076】
図14は、図13に示す構成の液滴吐出ヘッドに供給される駆動信号COMの波形を示す図である。図14において、圧力発生素子48aを作動させるための駆動信号COMは、中間電位VCを時刻t11まで所定時間だけ維持した後(ホールドパルスP1)、時刻t11から時刻t12までの期間T21の間に最低電位VBまで一定の勾配で電圧値を下降する(放電パルスP2)。この期間T21では、図9に示した処理が行われ、単位時間当たりの駆動電圧COMの電圧値の変化率に応じた分周率で分周されたクロック信号CLK2が制御部34から駆動信号生成部36に供給されて駆動信号が生成される。
【0077】
この最低電位VBを時刻t12から時刻t13までの期間T22の間維持した後(ホールドパルスP3)、時刻t13から時刻t14までの期間T23の間に最高電位VHまで一定の勾配で上昇させ(充電パルスP4)、この最高電位VHを時刻t15まで所定時間だけ保持し(ホールドパルスP5)、しかる後に、時刻t16までの期間T25の間に中間電位VCまで再び下降させる(放電パルスP6)。
【0078】
このような駆動信号COMを図13に示した液滴吐出ヘッドに印加すると、先に印加された充電パルスで液滴を吐出した後の粘性体のメニスカスは、ホールドパルスP1が印加されている間、粘性体表面張力により所定の周期の振動でノズル開口48cを中心とする振動を引き起し、この時間の経過に伴って、メニスカスは振動を減衰させながら、やがて静止した状態となる。次に、放電パルスP2を印加すると、圧力発生素子48aは圧力発生室48bの容積を膨張させる方向に撓み、圧力発生室48bに負圧が生じる。その結果、メニスカスはノズル開口48cの内部に向かう動きを引き起し、メニスカスはノズル開口48cの内部に引き込まれる。
【0079】
そして、ホールドパルスP3が印加されている間、この状態が保持された後、充電パルスP4が印加されると、圧力発生室48bに正圧が発生し、メニスカスはノズル開口48cから押し出され、液滴が吐出される。しかる後に、放電パルスP6を印加すると、圧力発生素子48aは圧力発生室48bの容積を膨張させる方向に撓み、圧力発生室48bに負圧が生じる。その結果として、メニスカスはノズル開口48cの内部に向かう動きを引き起こす。そして、粘性体の表面張力により所定の周期の振動でノズル開口48cを中心とする振動を引き起した後、時間の経過に伴って、メニスカスは振動を減衰させながら、再び、静止した状態に戻る。以上、図13に示した液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号の波形について説明したが、メニスカスを一定の状態に維持するため及びサテライトを防止するために、図10に示したアフターケア期間を設け、粘性体の粘度及び液滴吐出ヘッドの応答特性に応じた波形を生成することが好ましい。
【0080】
〔液滴吐出ヘッドの他の具体的構成〕
図15は、液滴吐出ヘッド18の機械的断面構造の他の例を示す図である。尚、図15においては、伸縮振動する圧電振動子を圧力発生素子として用いた記録ヘッド41の機械的断面構造の一例を示してある。図15に示した液滴吐出ヘッド18において、90はノズルプレートであり、91は流路形成板である。ノズルプレート90にはノズル開口48cが形成されており、流路形成板91には、圧力発生室48bを区画する通孔、圧力発生室48bに両側で連通する2つの粘性体供給口92を区画する通孔又は溝、及びこれらの粘性体供給口92にそれぞれ連通する2つの共通の液室48dを区画する通孔が形成されている。
【0081】
振動板93は、弾性変形可能な薄板から構成され、ピエゾ素子等の圧力発生素子48aの先端に当接し、流路形成板91を挟んでノズルプレート90と液密に一体に固定され、流路ユニット94を構成している。基台95には、圧力発生素子48aを振動可能に収容する収容室96と、流路ユニット94を支持する開口97とが構成され、圧力発生素子48aの先端を開口97から露出させた状態で圧力発生素子48aを固定基板98で固定している。また、基台95は、振動板93のアイランド部93aを圧力発生素子48aに当接させた状態で、流路ユニット94を開口97に固定して液滴吐出ヘッドを纏めている。
【0082】
図16は、図15に示す構成の液滴吐出ヘッドに供給される駆動信号COMの波形を示す図である。図16において、圧力発生素子48aを作動させるための駆動信号COMは、その電圧値が中間電位VCからスタートした後(ホールドパルスP11)、時刻t21から時刻t22までの間の期間T31で最高電位VHまで一定の勾配で上昇する(充電パルスP12)。この期間T31では、図9に示した処理が行われ、単位時間当たりの駆動電圧COMの電圧値の変化率に応じた分周率で分周されたクロック信号CLK2が制御部34から駆動信号生成部36に供給されて駆動信号が生成される。
【0083】
この最高電気VHを時刻t22から時刻t23までの期間T32の間維持した後(ホールドパルスP13)、時刻t23から時刻t24までの期間T33の間に最低電位VBまで一定の勾配で下降した後(放電パルスP14)、時刻t24から時刻t25までの期間T34の間、最低電位VBを所定時間だけ維持する(ホールドパルスP15)。そして、時刻t25から時刻t26までに電圧値は中間電位VCまで一定の勾配で上昇する(充電パルスP16)。
【0084】
このように構成した記録ヘッド41において、駆動信号COMに含まれる充電パルスP12が圧力発生素子48aに印加されると、圧力発生素子48aは圧力発生室48bの容積を膨張させる方に撓み、圧力発生室48b内に負圧を発生させる。その結果、メニスカスはノズル開口48c内に引き込まれる。次に、放電パルスP14を印加すると、圧力発生素子48aは圧力発生室48bの容積を収縮させる方向に撓み、圧力発生室48bに正圧が生じる。その結果、ノズル開口48cから液滴が吐出される。そして、ホールドパルスP15が印加された後、充電パルスP16を印加して、メニスカスの振動を抑える。以上、図15に示した液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号の波形について説明したが、この構成の液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号に関して、メニスカスを一定の状態に維持するため及びサテライトを防止するために、図10に示したアフターケア期間を設け、粘性体の粘度及び液滴吐出ヘッドの応答特性に応じた波形を生成しすることが好ましい。
【0085】
以上説明したように、本実施形態のヘッド駆動装置及び方法によれば、制御部34がクロック信号CLKを分周して生成したクロック信号CLK2を駆動信号生成部36へ供給し、駆動信号生成部36はこのクロック信号CLK2に同期して液滴吐出ヘッド18に印加する駆動信号COMを生成している。このため、駆動信号COMの電圧値の単位時間当たりの変化率をクロック信号CLK2の分周率に応じて適宜設定することができる。従って、液滴吐出ヘッド18に設けられる圧力発生素子48aを数秒かけて緩やかに変形又は復元させることも、数百ナノ秒の短時間に変形又は復元させることもできる。
【0086】
高い粘性を有する粘性体を吐出する場合には粘性体を緩やかに液滴吐出ヘッド18(圧力発生室48b)内に引き込んでから、ある程度の速度で液滴を吐出させなければならない。本実施形態においては、以上のように、圧力発生素子48aを数秒かけて緩やかに変形又は復元させることも、数百ナノ秒の短時間に変形又は復元させることもできるため、高い粘度を有する粘性体を吐出する場合には極めて好適である。
【0087】
また、本実施形態は、駆動信号COMの電圧値の単位時間当たりの変化率をクロック信号CLK2の分周率に応じて設定しているため、適用することができる波形の形状には特に限定されない。従って、液滴を吐出させる動作を行っている間において、常時メニスカスを良好に維持することができるとともに、汚染の原因となるサテライトの発生を防止する波形形状も容易に生成することができる。その結果として、高精度に所定量の粘性体を常時吐出することができる。
【0088】
更に、本実施形態において、駆動信号COMの電圧値の単位時間当たりの変化率を可変にするためにクロック信号CLK2の分周率を可変しているが、クロック信号CLK2の分周率を可変とするためには、大幅な装置構成の変更を必要とせずほぼソフトウェアの変更のみで実現可能である。従って、新規な製造設備を殆ど必要とせず既存の設備で実現することができる。また、従来装置を用いることで資源の有効利用を図ることができる。また更に、本実施形態のデバイス製造方法では、液滴吐出装置3,7,11を含む製造工程により、デバイスを製造する構成を採用した。この構成によれば、製品の仕様変更等に柔軟に対応することができるようになっているので、多種多様な幅広い仕様範囲のデバイスを製造することが可能となる。
【0089】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内で自由に構成の変更が可能である。例えば、上記実施形態では、図1に示したように、赤(R)の液滴を着弾させる液滴吐出装置3、緑(G)の液滴を着弾させる液滴吐出装置7、及び青(B)の液滴を着弾させる液滴吐出装置11が個別に設けられており、各液滴吐出装置3,7,11に設けられる液滴吐出ヘッド18からは単色の液滴が吐出されるデバイス製造装置を例に挙げて説明した。
【0090】
しかしながら、本発明は赤の液滴を吐出するインジェットヘッド、緑の液滴を吐出するインジェットヘッド、及び青の液滴を吐出するインジェットヘッドが全て一体化されている液滴吐出ヘッドにも適用することができる。また、例えば、本装置の粘性体ジェットパターニング技術に金属材料や絶縁材料を供すれば、金属配線や絶縁膜等のダイレクトな微細パターニングが可能となり、新規な高機能デバイスの作製にも応用できることとなる。
【0091】
更に、本実施形態の液滴吐出装置を備えるデバイス製造装置は、最初にR(赤色)のパターン形成を行い、続いてG(緑色)のパターン形成、そして最後にB(青色)のパターン形成を行うものとしたが、これに限らず、必要に応じてその他の順番でパターン形成するものとしても良い。また、上記実施形態では、粘性体として高粘度の粘性体を例に挙げて説明したが、本発明は粘性体の吐出のみに限定される訳ではなく、粘性を有する液体、樹脂一般を吐出する場合に適用することができる。また、上記形態では、液滴吐出ヘッドに設けられる圧力発生素子として圧電振動子を用いた場合を例に挙げて説明したが、本発明は、熱により圧力発生室内に圧力を発生させる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置等にも適用することができる。尚、以上説明したヘッド駆動方法を実現するプログラムの全体又はその一部をコンピュータが読み取ることのできるフレキシブルディスク、CD−ROM、CD−R、CDーRW、DVD(登録商標)、DVD−R、DVD−RW、DVD−RAM、光磁気ディスク、ストリーマ、ハードディスク、メモリ、その他の記録媒体に格納してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による液滴吐出装置を備えるデバイス製造装置の全体構成を示す平面図である。
【図2】 デバイス製造装置を用いてRGBパターンを形成する工程を含めたカラーフィルタ基板の一連の製造工程を示す図である。
【図3】 デバイス製造装置が備える各液滴吐出装置により形成されるRGBパターン例を示す図であり、(a)はストライプ型のパターンを示す斜視図であり、(b)はモザイク型のパターンを示す部分拡大図であり、(c)はデルタ型のパターンを示す部分拡大図である。
【図4】 本発明の一実施形態によるデバイス製造方法を用いて製造されるデバイスの一例を示す図である。
【図5】 本発明の一実施形態による液滴吐出装置及びヘッド駆動装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図6】 駆動信号生成部36の構成を示すブロック図である。
【図7】 駆動信号生成部36が生成する駆動信号の波形の一例を示す図である。
【図8】 制御部34から駆動信号生成部36へデータ信号DATA及びアドレス信号AD1〜AD4を転送するタイミングを示すタイミングチャートである。
【図9】 クロック信号CLK2の周波数を可変させるときの制御部34の動作を示すフローチャートである。
【図10】 液滴を吐出した後の液滴のサテライト及び粘性体のメニスカスを考慮した駆動信号COMの波形を示す図である。
【図11】 図10に示した期間T10〜T13の波形を有する駆動信号COMを印加したときの液滴吐出ヘッド18の液滴吐出動作を説明するための図である。
【図12】 アフターケア期間が設けられた駆動信号COMを印加したときの液滴吐出ヘッド18の液滴吐出動作を説明するための図である。
【図13】 液滴吐出ヘッド18の機械的断面構造の一例を示す図である。
【図14】 図13に示す構成の液滴吐出ヘッドに供給される駆動信号COMの波形を示す図である。
【図15】 液滴吐出ヘッド18の機械的断面構造の他の例を示す図である。
【図16】 図15に示す構成の液滴吐出ヘッドに供給される駆動信号COMの波形を示す図である。
【符号の説明】
18……液滴吐出ヘッド(ヘッド)
30……プリントコントローラ(ヘッド駆動装置)
34……制御部(周波数可変手段)
36……駆動信号生成部
48a……圧力発生素子
CLK……クロック信号(基準クロック)
COM……駆動信号
Claims (3)
- 基準クロックに同期して動作し、圧力発生素子を備えるヘッドの当該圧力発生素子に駆動信号を印加することにより当該圧力発生素子を変形させて粘性体を吐出させるヘッド駆動装置であって、
生成しようとする前記駆動信号の電圧値変化に係る期間Tを設定し、当該期間Tに応じて前記基準クロックの周波数を可変させる周波数可変手段を備えることを特徴とするヘッド駆動装置。 - 前記周波数可変手段は、前記基準クロックを分周することにより、前記基準クロックの周波数を可変させることを特徴とする請求項1に記載のヘッド駆動装置。
- 請求項1又は請求項2の何れか一項に記載のヘッド駆動装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
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JP5512133B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2014-06-04 | カタリナ マーケティング コーポレーション | 印刷およびハイライト化を含むposネットワーク |
JP5115281B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el装置の製造方法 |
JP2011051275A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置、及び、その製造方法 |
JP6102778B2 (ja) * | 2014-02-07 | 2017-03-29 | 株式会社村田製作所 | 印刷方法及び印刷装置 |
CN104061213A (zh) * | 2014-05-18 | 2014-09-24 | 胡千桥 | 一种球状气体、蒸汽、液体粒子流生成技术 |
CN105478697A (zh) * | 2015-11-29 | 2016-04-13 | 江山显进机电科技服务有限公司 | 吹风机导线不易损伤的挡块冷却箱 |
JP6987580B2 (ja) * | 2017-09-22 | 2022-01-05 | 東芝テック株式会社 | 波形生成装置及びインクジェット記録装置 |
CN110930933B (zh) * | 2018-09-04 | 2021-07-09 | 合肥捷达微电子有限公司 | 异形边缘显示装置及其显示亮度调整方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US56931A (en) * | 1866-08-07 | Improved show-case | ||
US4513299A (en) * | 1983-12-16 | 1985-04-23 | International Business Machines Corporation | Spot size modulation using multiple pulse resonance drop ejection |
JPH03133378A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-06-06 | Modrovich Ivan E | 被験体を安定化させて液体中でのその生物学的活性を保存する方法 |
JPH04220350A (ja) * | 1990-12-20 | 1992-08-11 | S R Technos Kk | 連続噴射型インクジェット記録装置 |
JP3503656B2 (ja) * | 1993-10-05 | 2004-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッドの駆動装置 |
JPH0811347A (ja) | 1994-07-04 | 1996-01-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 画素クロック発生装置 |
JPH08142322A (ja) * | 1994-11-21 | 1996-06-04 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置 |
JP3387243B2 (ja) * | 1994-12-01 | 2003-03-17 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの駆動装置 |
US5518911A (en) * | 1995-01-06 | 1996-05-21 | Onyx Pharmaceuticals, Inc. | Human PAK65 |
JPH09141892A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-03 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | インクジェット記録方法および装置 |
US6069229A (en) * | 1997-03-07 | 2000-05-30 | Schering Corporation | Mammalian proteinases; oxidoreductases; related reagents |
JP3557915B2 (ja) * | 1997-09-02 | 2004-08-25 | セイコーエプソン株式会社 | 双方向印刷を行う印刷装置およびそのための印刷位置調整方法 |
EP0938977B1 (en) * | 1997-09-02 | 2006-06-07 | Seiko Epson Corporation | Printer for effecting bidirectional printing and method of adjusting the printing position therefor |
JP3638768B2 (ja) * | 1997-11-27 | 2005-04-13 | 沖電気工業株式会社 | 通帳伝票プリンタ |
JPH11248927A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Seiko Epson Corp | フィルター製造装置とフィルター製造装置におけるインク重量測定方法 |
JPH11248925A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Seiko Epson Corp | フィルター製造装置とフィルター製造方法 |
JP2000280456A (ja) | 1999-03-29 | 2000-10-10 | Seiko Epson Corp | プリンタ |
JP2000280458A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法、製造装置および印刷制御方法 |
FR2792874B1 (fr) * | 1999-04-28 | 2001-06-22 | Imaje Sa | Imprimante a jet d'encre et procede de gestion de la qualite de l'encre d'une telle imprimante |
JP2001105588A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-17 | Silver Seiko Ltd | 連続噴射型インクジェット記録装置の最適励振周波数設定方法 |
US6893115B2 (en) * | 2002-09-20 | 2005-05-17 | Picoliter Inc. | Frequency correction for drop size control |
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