CN101549582B - 液滴喷出装置、液态体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机el装置的制造方法 - Google Patents

液滴喷出装置、液态体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机el装置的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供考虑多个喷嘴中的液滴的喷出量的不均，能够将规定量的液态体向膜形成区域稳定地喷出的液滴喷出装置、液态体的喷出方法、使用其的滤色片的制造方法、有机EL装置的制造方法。液滴喷出装置(10)具备：使工件(W)沿主扫描方向移动的工件移动机构(20)；使滑架(8)相对于工件(W)而沿与主扫描方向正交的副扫描方向移动的头移动机构(30)；在滑架(8)搭载的多个喷嘴；向多个喷嘴的驱动机构施加驱动信号的喷嘴驱动部；统括控制这些的控制部(40)，控制部(40)以使施加于多个喷嘴中在主扫描时对膜形成区域发生作用的喷嘴的驱动机构的驱动信号按每一次主扫描而不同的方式来控制喷嘴驱动部。

Description

液滴喷出装置、液态体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机EL装置的制造方法
技术领域
本发明涉及将液态体作为液滴向被喷出物喷出描绘的液滴喷出装置、液态体的喷出方法、使用了这些的滤色片的制造方法、有机EL装置的制造方法。
背景技术
近年来，使用液滴喷出法，将含有功能性材料的液态体向基板等被喷出物作为液滴喷出以制造各种功能设备的技术受到瞩目。作为代表性的功能设备，可以举出滤色片或有机EL(Electro Luminessence)元件等。
在这样功能设备中，为了得到期望的特性，重要课题之一是，在被喷出物上如何形成均匀且均一的功能膜。作为能够实现这个的制造方法，知道的有具备如下所述工序的滤色片的制造方法，即：使具有将多个喷嘴排列成列状而成的喷嘴列，且该喷嘴列分割为多组而成的喷墨头和基板在主扫描方向上相对移动的工序；从多个喷嘴有选择地喷出过滤材料，在基板上形成过滤元件的工序(专利文献1)。
上述滤色片的制造方法具备：使喷墨头或基板的任一方相对于另一方进行副扫描，以能够使该喷嘴列的组的至少一部分在主扫描方向上扫描基板的相同部分的工序。由此，即使在喷嘴间的墨液喷出量存在不均的情况下，也能够利用属于不同的组的多个喷嘴，喷出作为墨液的过滤材料，因此，能够防止过滤元件之间的膜厚。换而言之，该方法是喷嘴分散使喷嘴间的喷出量的不均的方法。
另外，作为能够喷出多种液态体的液滴喷出装置，知道的有一种液滴喷出装置，其具备：搭载有按种类喷出液态体的多个液滴喷出头的滑架；在使多个液滴喷出头和工件对置配置的状态下，使其在主扫描方向及副扫描方向上相对地移动的移动机构；同步于多个液滴喷出头和工件的主扫描，有选择地驱动多个液滴喷出头，并将多种液态体向工件喷出的描绘控制机构(专利文献2)。
在上述滑架中，多个液滴喷出头的各喷嘴列在副扫描方向上并排，并且以喷出不同种类的液态体的各喷嘴列的端部的位置相互错开的状态并排。由此，能够降低喷嘴列的端部中的喷出量的不均引起的主扫描方向的条纹状的喷出不均匀。
另一方面，作为功能设备即滤色片，提出了为了提高色再现性，具有多色(6色)构成的过滤元件的功能设备(专利文献3)。
【专利文献1】日本特开2002-221616号公报第五页
【专利文献2】日本特开2006-346575号公报第五页
【专利文献3】日本特开2005-62833号公报
考虑将上述专利文献1的滤色片的制造方法及上述专利文献2的液滴喷出装置的结构适用于上述专利文献3的滤色片的制造。若在滑架搭载多个能够喷出同种液态体的液滴喷出头，则液态体的种类越增加，滑架变得越大。即，产生导致液滴喷出装置大型化的问题。
另一方面，若将搭载的液态体的数量设为与液态体的种类相同的数量，则滑架的大小能够变小，但在受到液滴喷出头固有的喷出特性的影响的状态下，喷出该液态体。从而，在液态体之间产生喷出状态之差，可能被识别为喷出不均。
发明内容
本发明是为了解决所述问题的至少一部分而做成的，其能够作为以下的方式或应用例来实现。
[应用例1]本应用例的液滴喷出装置是一种液滴喷出装置，其在使具有多个膜形成区域的基板和多个喷嘴对置并相对移动的扫描的期间，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域将液态体作为液滴喷出，其特征在于，具备：第一移动机构，其使所述基板相对于所述多个喷嘴而沿第一方向相对移动；驱动机构，其对应每一个所述喷嘴设置；喷嘴驱动部，其产生能够变更所述液滴的喷出量的多个驱动信号，将所述多个驱动信号中的一个施加于所述驱动机构，从所述喷嘴喷出所述液滴；控制部，其以对同一所述膜形成区域进行多次所述扫描的方式控制所述第一移动机构，并以在所述多次所述扫描期间将规定量的所述液态体作为所述液滴喷出的方式控制所述喷嘴驱动部，所述控制部以如下所述的方式来控制所述喷嘴驱动部：使施加于在所述多个喷嘴中在所述扫描时对所述膜形成区域发生作用的所述喷嘴的所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次所述扫描而不同。
根据该结构可知，控制部以向在多次扫描中对膜形成区域发生作用的喷嘴的驱动机构施加基于每一次扫描而不同的驱动信号的方式，来控制喷嘴驱动部。
从而，在多次扫描中，即使同一喷嘴对膜形成区域发生作用的情况下，向该喷嘴的驱动机构也施加不同的驱动信号，因此，喷出的液滴的喷出量可变。
因而，在多个喷嘴之间，即使在施加同一驱动信号时的液滴的喷出量不均的情况下，驱动信号也基于每一次扫描而改变，因此，可以提供在液滴的喷出结束的时刻，能够抑制规定量的液态体的量的不均，向膜形成区域每一个赋予的液滴喷出装置。
[应用例2]在上述应用例的液滴喷出装置中，其特征在于，具备由所述多个喷嘴构成的至少一个喷嘴列，所述控制部以使以所述喷嘴列为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次所述扫描而不同的方式，来控制所述喷嘴驱动部。
根据该结构可知，控制部以喷嘴列为单位进行液滴的喷出控制。从而，与对喷嘴单位进行喷出控制的情况相比，能够以简单的结构，抑制喷嘴间的喷出量的不均，喷出液态体。
[应用例3]也可以在上述应用例的液滴喷出装置中，所述喷嘴列具有对应于所述多个驱动信号的数量而划分的多个喷嘴组，所述控制部以使以所述喷嘴组为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次所述扫描而不同的方式，来控制所述喷嘴驱动部。
根据该结构可知，控制部以对应于驱动信号的数量而划分的多个喷嘴组为单位进行液滴的喷出控制。从而，与以喷嘴列为单位进行喷出控制的情况相比，能够在不剩下有限的数量的驱动信号的情况下，适用于多个喷嘴组，抑制喷嘴间的喷出量的不均，向各自的膜形成区域喷出液态体。
[应用例4]也可以在上述应用例的液滴喷出装置中，所述多个喷嘴组沿与所述第一方向正交的第二方向排列，所述液滴喷出装置具备使所述喷嘴列沿所述第二方向移动的第二移动机构，所述控制部，以通过所述多次所述扫描而从不同的所述喷嘴组向所述膜形成区域喷出所述液滴的方式来控制所述第二移动机构，并使喷嘴列在所述多次所述扫描的期间沿所述第二方向移动。
根据该结构可知，按每扫描一次变更向膜形成区域发生作用的喷嘴组，且按每扫描一次改变施加于该喷嘴组的驱动机构的驱动信号。从而，不仅按每扫描一次改变向膜形成区域发生作用的喷嘴组，而且以该喷嘴组为单位改变喷出的液滴的喷出量，因此，能够使喷嘴间的喷出量的不均更分散，按每一个膜形成区域喷出液态体。
[应用例5]本应用例的液态体的喷出方法是一种液态体的喷出方法，具有喷出工序，在使具有多个膜形成区域的基板和多个喷嘴对置并在第一方向上相对移动的多次扫描期间，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域将规定量的液态体作为液滴喷出，其特征在于，所述喷出工序中，通过将能够变更所述液滴的喷出量的多个驱动信号中的一个施加于所述喷嘴的驱动机构，而喷出所述液滴，并使施加于在所述多个喷嘴中在所述扫描时对所述膜形成区域发生作用的所述喷嘴的所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次所述扫描而不同。
根据该方法可知，向在多次扫描中对膜形成区域发生作用的喷嘴的驱动机构施加基于每一次扫描而不同的驱动信号。
从而，在多次扫描中，即使同一喷嘴对膜形成区域发生作用的情况下，向该喷嘴的驱动机构也施加不同的驱动信号，因此，喷出的液滴的喷出量可变。
从而，在多个喷嘴之间，施加同一驱动信号时的液滴的喷出量不均的情况下，驱动信号也根据每一次扫描而改变，因此，可以提供在液滴的喷出结束的时刻，能够抑制规定量的液态体的量的不均，向膜形成区域每一个赋予的喷出方法。
[应用例6]在上述应用例的喷出方法中，优选的是，具备由所述多个喷嘴构成的至少一个喷嘴列，所述喷出工序中，使以所述喷嘴列为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次所述扫描而不同。
根据该方法可知，按每扫描一次以喷嘴列为单位改变驱动信号，因此，与以喷嘴单位改变驱动信号的情况相比，能够以简单的结构抑制喷嘴间的喷出量的不均，喷出液态体。
[应用例7]也可以在上述应用例的喷出方法中，所述喷嘴列具有对应于所述多个驱动信号的数量而划分的多个喷嘴组，所述喷出工序中，使以所述喷嘴组为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次所述扫描而不同。
根据该方法可知，以对应于驱动信号的数量而划分的多个喷嘴组为单位，按每扫描一次改变驱动信号，因此，与以喷嘴列为单位改变驱动信号的情况相比，能够在不剩下有限的数量的驱动信号的情况下，适用于多个喷嘴组，抑制喷嘴间的喷出量的不均，向各自的膜形成区域喷出液态体。
[应用例8]也可以在上述应用例的喷出方法中，所述喷出工序中，以通过所述多次所述扫描而从不同的所述喷嘴组向所述膜形成区域喷出所述液滴的方式，在所述多次所述扫描期间，使所述喷嘴列沿与所述第一方向正交的第二方向移动。
根据该方法可知，按每扫描一次变更对膜形成区域发生作用的喷嘴组，且按每扫描一次改变施加于该喷嘴组的驱动机构的驱动信号。从而，不仅按每扫描一次改变对膜形成区域发生作用的喷嘴组，而且以该喷嘴组为单位改变喷出的液滴的喷出量，因此，能够使喷嘴间的喷出量的不均更分散，按每一个膜形成区域喷出液态体。
[应用例9]本应用例的喷出方法是一种滤色片的制造方法，其是在基板上的多个膜形成区域具有多色的着色层的滤色片的制造方法，其特征在于，包括：喷出工序，使用上述应用例的液态体的喷出方法，将含有着色层形成材料的多色液态体向所述多个膜形成区域喷出；成膜工序，将被喷出的所述液态体固化而形成所述多色的着色层。
根据该方法可知，在喷出工序中，以抑制了量的不均的状态，能够按每一个膜形成区域喷出规定量的液态体，在成膜工序中，能够按每一个膜形成区域形成具有大致恒定的膜厚的着色层。从而，能够成品率良好地制造具有期望的光学特性的滤色片。
[应用例10]在本应用例的有机EL装置的制造方法是一种有机EL装置的制造方法，其是具备在基板上的多个膜形成区域具有包含发光层的功能层的有机EL元件的有机EL装置的制造方法，其特征在于，包括：喷出工序，使用上述应用例的液态体的喷出方法，将含有发光层形成材料的液态体向所述多个膜形成区域喷出；成膜工序，将被喷出的所述液态体固化而形成所述发光层。
根据该方法可知，在喷出工序中，以抑制了量的不均的状态，能够按每一个膜形成区域喷出规定量的液态体，在成膜工序中，能够按每一个膜形成区域形成具有大致恒定的膜厚的着色层。从而，能够成品率良好地制造具有具备期望的亮度特性的有机EL元件的有机EL装置。
附图说明
图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
图2(a)是表示液滴喷出头的立体图，(b)是表示喷嘴的配置状态的俯视图。
图3是表示头单元中的液滴喷出头的配置的概略俯视图。
图4是表示液滴喷出头的喷出特性的图表。
图5是表示液滴喷出装置的控制系统的方框图。
图6是表示液滴喷出头的电气控制的方框图。
图7是驱动信号及控制信号的时序图表。
图8(a)是表示滤色片的结构的概略俯视图，(b)是用(a)的A-A’线截断了的剖面图。
图9(a)及(b)是表示液态体的喷出方法的概略俯视图。
图10(a)及(b)是表示喷嘴组中的驱动信号的选择的表。
图11(a)～(c)是表示多次主扫描的方法的概略图。
图12是表示有机EL装置的主要部分结构的概略剖面图。
图13(a)～(f)是表示有机EL装置的制造方法的概略剖面图。
图14是表示变形例的着色层的配置的概略俯视图。
图中：1-基板；2-滤色片；3-着色层；10-液滴喷出装置；20-作为第一移动机构的工件移动机构；30-作为第二移动机构的头移动机构；40-控制部；52-喷嘴；52a、52b、52c-喷嘴列；601-作为基板的元件基板；603-作为有机EL元件的发光元件部；617-功能层；617R、617G、617B、617C、617M、617Y-发光层；A-作为膜形成区域的发光层形成区域；E-膜形成区域；Gr-喷嘴组。
具体实施方式
以下，按照附图，说明具体化了本发明的实施方式。
(实施方式1)
<液滴喷出装置>
首先，参照图1～图6，说明本实施方式的液滴喷出装置。图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
如图1所示，液滴喷出装置10具备：使工件W在作为第一方向的主扫描方向(X轴方向)上移动的作为第一移动机构的工件移动机构20；使头单元9在与主扫描方向正交的作为第二方向的副扫描方向(Y轴方向)上移动的作为第二移动机构的头移动机构30。
工件移动机构20具备：一对导轨21；沿一对导轨21移动的移动台22；载置在移动台22上经由旋转机构6配设的工件W的载物台5。
移动台22利用在导轨21的内部设置的空气活塞和线性马达(省略图示)，在主扫描方向上移动。在移动台22设置有作为时序信号生成部的编码器12(参照图5)。
编码器12伴随移动台22向主扫描方向的相对移动，读取与导轨21并排设置的线性标尺(省略图示)的刻度，生成作为时序信号的编码脉冲。
载物台5能够吸附工件W并将其固定，并且能够利用旋转机构6使工件W内的基准轴与主扫描方向、副扫描方向准确地一致。还有，编码器12的配设不限于此，例如，使移动台22沿旋转轴在X轴方向上相对移动，在设有使旋转轴旋转的驱动部的情况下，在驱动部设置编码器12也可。作为驱动部，可以举出伺服马达等。
头移动机构30具备：一对导轨31；沿着一对导轨31移动的移动台32。在移动台32设置有经由旋转机构7吊设的滑架8。
在滑架8安装有搭载多个液滴喷出头50(参照图2)的头单元9。
并且，设有：用于向液滴喷出头50供给液态体的液态体供给机构(省略图示)、和用于进行多个液滴喷出头50的电方面驱动控制的头驱动器48(参照图5)。
移动台32使滑架8沿Y轴方向移动，将头单元9与工件W对置配置。
液滴喷出装置10除了上述结构之外，在面向多个液滴喷出头50的位置配设有进行在头单元9搭载的多个液滴喷出头50的喷嘴堵塞消除、喷嘴面的异物或污物的除去等维护的维护机构。
并且，具备：具有接受按液滴喷出头50每一个喷出的液态体，测量其重量的电子天平等测量器的重量测量机构60(参照图5)。还有，具备统括控制这些结构的控制部40。
在图1中，维护机构及重量测量机构60省略了图示。
图2是表示液滴喷出头的结构的概略图。图2(a)是立体图，图2(b)是表示喷嘴的配置状态的俯视图。
如图2(a)所示，液滴喷出头50是所谓的“双联结构”，具备：具有双联的连接针54的液态体的导入部53；在导入部53层叠的头基板55；在头基板55上配置且在内部形成有液态体的头内流路的头主体56。连接针54经由配管连接于所述液态体供给机构(省略图示)，将液态体供给于头内流路。在头基板55设置有经由挠性扁平电缆(省略图示)与头驱动器48(参照图5)连接的双联的连接器58。
头主体56具有：由作为驱动机构的压电元件构成的具有腔室的加压部57；在喷嘴面51a上两个喷嘴列52a、52b相互平行地形成的喷嘴板51。
如图2(b)所示，两个喷嘴列52a、52b中分别有多个(180个)喷嘴52，该喷嘴52以间距P1呈大致等间隔排列，并以相互错开间距P1的一半的间距P2的状态配设于喷嘴板51上。在这种情况下，间距P1为约141μm。从而，若从与喷嘴列52c正交的方向观察，则360个喷嘴52形成为以约70.5μm的喷嘴间距排列的状态。另外，喷嘴52的直径为约27μm。
液滴喷出头50在从头驱动器48向压电元件施加作为电信号的驱动信号的情况下，能够引起加压部57的腔室的体积变动，通过由此产生的泵作用对填充于腔室的液态体加压，从喷嘴52将液态体作为液滴喷出。
液滴喷出头50中的驱动机构不限于压电元件。可以为利用静电吸附使作为促动器的振动板变位的机电转换元件、或加热液态体而从喷嘴52作为液滴喷出的电热转换元件(热方式)。
图3是表示头单元中的液滴喷出头的配置的概略俯视图。具体来说，是从与工件W对置的一侧观察到的图。
如图3所示，头单元9具备：配设多个液滴喷出头50的头板9a。在头板9a搭载有三个液滴喷出头50在主扫描方向并排的头组50A、和同样地三个液滴喷出头50在主扫描方向上并排的头组50B的总计六个液滴喷出头50。在这种情况下，头组50A的头R1、头G1、头B1、及头组50B的头C1、头M1、头Y1喷出相互不同种类的液态体。即，形成为能够喷出六种不同的液态体的结构。
将能够由一个液滴喷出头50描绘的描绘宽度设为L0，将其作为喷嘴列52c的有效长度。以下，喷嘴列52c是指由360个喷嘴52构成的喷嘴列。
在这种情况下，从主扫描方向(X轴方向)观察的情况下，头R1和头C1以使相邻的喷嘴列52c在与主扫描方向正交的副扫描方向(Y轴方向)上隔着一个喷嘴间距连接的方式而并排配设于主扫描方向上。头G1和头M1、头B1和头Y1也同样并排配置于主扫描方向上。
还有，头单元9中的液滴喷出头50的配置不限定于此。例如，将三个液滴喷出头50(头R1、头G1、头B1)直线地配置于副扫描方向(Y轴方向)上，在主扫描方向(X轴方向)上与其并排地配置剩余三个液滴喷出头50(头C1、头M1、头B1)也可。另外，在液滴喷出头50设置的喷嘴列52c不限于双联，可以为一联。
图4是表示液滴喷出头的喷出特性的曲线图。具体来说，是将一方的轴设为喷嘴52的编号，将另一方的轴设为按喷嘴52每一个喷出的液滴的喷出量(Iw/ng)，而示出了喷嘴列52a中的喷出量的分布的图表。
可判明：向按喷嘴52每一个设置的压电元件59赋予相同的驱动信号，即使在喷出液滴的情况下，也由于压电元件59的固有电特性的不均、或与各自的喷嘴52连通的腔室等的头内流路的设计上的差异等，按喷嘴52每一个喷出的液滴的喷出量不均。尤其是，喷嘴间的电、机械串扰是喷出量不均的重要因素。即，从多个喷嘴52喷出的液滴的喷出量的分布有时根据喷嘴列52a、52b每一个、或液滴喷出头50每一个而不同。
图4是调查了液滴喷出头50(喷嘴列52a)的喷出特性的图。具体来说，向压电元件59赋予具有规定的驱动电压的驱动信号，从喷嘴52喷出几千到几万左右的喷出数量(喷出发生数)的液滴，使用所述的重量测量机构60(参照图5)，测量所述液态体的重量。然后，测量出的液态体的重量除以上述喷出数量，算出每一滴的重量，作为液滴的喷出量Iw。
如图4所示，从多个喷嘴52喷出的液滴的喷出量Iw显示被称作Iw拱的曲线形状，从位于喷嘴列52a的两端侧的喷嘴52喷出的液滴的喷出量Iw具有相对于其他喷嘴52增加的倾向。
在本实施方式中，将液滴的喷出量Iw作为重量来说明，但通过测定喷出的液滴的体积，来把握喷嘴52每一个的喷出量的不均也可。
本实施方式的液滴喷出装置10，其特征之一在于，考虑这样的Iw拱，进行液滴的喷出控制，对应于后述的多个驱动信号的数量，将喷嘴列52a(喷嘴列52b)划分为多个(四个)喷嘴组。具体来说，将180个喷嘴52构成的喷嘴列52a(喷嘴列52b)中，除去了容易从目标的喷出量Iwt脱离的两端侧的10个的160个喷嘴52作为有效喷嘴。还有，将有效喷嘴均等地分割为多个(四个)喷嘴组Gr。即，喷嘴组Gr1、喷嘴组Gr2、喷嘴组Gr3、喷嘴组Gr4。与这些喷嘴组Gr有关的喷出控制的详细情况在后叙述。
其次，说明液滴喷出装置10的控制系统。图5是表示液滴喷出装置的控制系统的方框图。如图5所示，液滴喷出装置10的控制系统具备：具有驱动液滴喷出头50、工件移动机构20、头移动机构30、重量测量机构60等各种驱动器的驱动部46；包含驱动部46在内总括控制液滴喷出装置10的控制部40。
驱动部46具备：分别驱动控制工件移动机构20及头移动机构30的各线性马达的移动用驱动器47；喷出控制液滴喷出头50的作为喷嘴驱动部的头驱动器48；驱动控制重量测量机构60的重量测量用驱动器49。此外，还具备驱动控制维护机构的维护用驱动器等，但省略了图示。
控制部40具备：CPU41、ROM42、RAM43、和P-CON44，这些相互经由母线45来连接。P-CON44与上位计算机11连接。ROM42具有：存储由CPU41处理的控制程序等的控制程序区域、和存储用于进行描绘动作或功能恢复处理等的控制数据等的控制数据区域。
RAM43具有：存储用于对工件W进行描绘的描绘数据的描绘数据存储部；存储工件W及液滴喷出头50(实际上为喷嘴列52a、52b)的位置数据的位置数据存储部等各种存储部，用作用于控制处理的各种作业区域。P-CON44与驱动部46的各种驱动器等连接，补偿CPU41的功能，并且构成组入有用于处理与周边电路的接口信号的逻辑电路。因此，P-CON44将来自上位计算机11的各种指令等直接或加工而取入母线45，并且与CPU41联动，将从CPU41等向母线45输出的数据或控制信号直接或加工而向驱动部46输出。
还有，CPU41按照ROM42内的控制程序，经由P-CON44，输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，在处理RAM43内的各种数据等之后，经由P-CON44，向驱动部46等输出各种控制信号，由此，控制液滴喷出装置10整体。例如，CPU41控制液滴喷出头50、工件移动机构20及头移动机构30，将头单元9和工件W对置配置。然后，向头驱动器48送出控制信号，以同步于头单元9和工件W的相对移动，从在头单元9搭载的各液滴喷出头50的多个喷嘴52向工件W将液态体作为液滴喷出。在这种情况下，与工件W向X轴方向的移动同步而喷出液态体的情况称为主扫描，将使头单元9在Y轴方向上移动的情况称为副扫描。本实施方式的液滴喷出装置10通过组合主扫描和副扫描，反复进行多次，能够将液态体喷出描绘。主扫描不限于工件W相对于液滴喷出头50向单方向的的移动，还可以使工件W进行往返。
编码器12与头驱动器48电连接，伴随主扫描生成编码脉冲。在主扫描中，使移动台22以规定的移动速度移动，因此，周期性地产生编码脉冲。
上位计算机11将控制程序或控制数据等控制信息向液滴喷出装置10送出。另外，具有配置信息生成部的功能，该配置信息生成部生成作为在基板上的每一个膜形成区域将规定量的液态体作为液滴配置的喷出控制数据的配置信息。配置信息将膜形成区域中的液滴的喷出位置(换而言之，工件W和喷嘴52的相对位置)、液滴的配置数(换而言之，喷嘴52每一个的喷出数量)、主扫描中的多个喷嘴52的打开/关闭(换而言之，多个喷嘴52的选择图案)、喷出时序等信息，表示例如为位图。上位计算机11不仅可以生成上述配置信息，而且还可以修正在RAM43临时存储的上述配置信息。
<液滴喷出头的喷出控制方法>
其次，参照图6及图7，说明本实施方式的液滴喷出头的喷出控制方法。图6是表示液滴喷出头的电控制的方框图，图7是驱动信号及控制信号的时序曲线图。
如图6所示，头驱动器48具备：将控制液滴的喷出量的不同的多个驱动信号COM分别独立生成的D/A转换器(以下，称为DAC)71A～71D；在内部具有DAC71A～DAC71D生成的驱动信号COM的转换速率数据(以下，称为波形数据(WD1～WD4))的储存存储器的波形数据选择电路72；用于储存经由P-CON44从上位计算机11送出的喷出控制数据的数据存储器73。向COM1～COM4的各COM线路分别输出由DAC71A～DAC71D生成的驱动信号。
在各液滴喷出头50具备：将向在对应每一个喷嘴52设置的压电元件59的驱动信号COM的施加打开/关闭的开关电路74；选择各COM线路的任一个而向与各压电元件59连接的开关电路74送出驱动信号COM的驱动信号选择电路75。
在喷嘴列52a中，压电元件59的一方的电极59b与DAC71A～71D的地线(GND)连接。另外，压电元件59的另一方的电极59a(以下，称为分段电极59a)经由开关电路74、驱动信号选择电路75，与各COM线路电连接。另外，开关电路74、驱动信号选择电路75、波形数据选择电路72输入时钟信号(CLK)或对应于各喷出时序的闩锁信号(LAT)。虽然省略了图示，但在喷嘴列52b中也进行同样的电连接。
在数据存储器73中，按与各液滴喷出头50的扫描位置对应而周期性地设定的喷出时序每一个，来存储接下来的数据，即：规定向各压电元件59的驱动信号COM的施加(打开/关闭)的喷出数据DA、规定对应于各压电元件59的COM线路(COM1～COM4)的选择的驱动信号选择数据DB、规定向DAC71A～DAC71D输入的波形数据(WD1～WD4)的种类的波形编号数据WN。在本实施方式中，喷出数据DA对每一喷嘴由2比特(0，1)构成，驱动信号选择数据DB对每一喷嘴由2比特(0，1，2，3)构成，波形编号数据WN对每一D/A转换器由7比特(0～127)构成。还有，数据结构可以适当地变更。
在上述结构中，如下所述地进行与各喷出时序有关的驱动控制。如图7所示，在时序t1～t2的期间中，喷出数据DA、驱动信号选择数据DB、波形编号数据WN分别被串行信号化，并向开关电路74、驱动信号选择电路75、波形数据选择电路72发送。然后，在时序t2，将各数据闩锁，由此，与喷出(打开)有关的各压电元件59的分段电极59a形成为与由驱动信号选择数据DB指定的COM线路(COM1～COM4中任一个)连接的状态。例如，压电元件59的分段电极59a在驱动信号选择数据DB为“0”时，与COM1连接。同样地，在驱动信号选择数据DB为“1”时，与COM2连接，在驱动信号选择数据DB为“2”时，与COM3连接，在驱动信号选择数据DB为“3”时，与COM4连接。另外，联动于该选择，设定与DAC71A～71D的生成有关的驱动信号的波形数据(WD1～WD4)。
在时序t3～t4的期间，按照在时序t2设定的波形数据，分别以电势上升、电势保持、电势降低的一系列的步骤，生成驱动信号COM。然后，向处于与COM1～COM4分别连接的状态的压电元件59供给生成的驱动信号COM，进行与喷嘴52连通的加压部57的腔室的容积(压力)控制。
在此，时序t3中的电势上升成分发挥使加压部57的腔室膨胀并将液态体引入腔室内的作用。另外，时序t4中的电势降低成分发挥使腔室收缩并将液态体向喷嘴52外压出而喷出的作用。
驱动信号COM中与电势上升、电势保持、电势降低有关的时间成分、电压成分密切地依赖于由其供给而喷出的液态体的喷出量。尤其是，在压电方式的液滴喷出头50中，相对于电压成分的变化，喷出量显示良好的线形性，因此，可以将时序t3～t4中的电压成分的变化(电势差)规定为驱动电压Vh，将其作为喷出量控制的条件来利用。还有，生成的驱动信号COM不限于在本实施方式中所示的单纯的矩形波，例如，还可以采用梯形波等公知的各种形状的波形。另外，在不同的驱动方式(例如，热方式)的实施方式的情况下，还可以将驱动信号的脉冲宽度(时间成分)作为喷出量控制的条件来利用。
在本实施方式中，准备使驱动电压Vh阶段性地不同的多种波形数据，向DAC71A～71D输入分别独立的波形数据(WD1～WD4)，由此，能够向各COM线路分别输出不同的驱动电压Vh1～Vh4的驱动信号COM。可准备的波形数据的种类为与波形编号数据WN的信息量(7比特)相当的128种，例如，使其对应于0.1V刻度的驱动电压Vh。换而言之，能够在12.8V的电势差的范围内，将Vh1～Vh4的各驱动波形以0.1V刻度来设定。
这样，本实施方式的液滴喷出装置10通过考虑多个喷嘴52中的液滴的喷出量IW的不均，适当地设定规定各压电元件59(喷嘴52)和各COM线路的对应关系的驱动信号选择数据DB、和规定各COM线路和驱动信号的种类(驱动电压Vh)的对应关系的波形编号数据WN，从而能够调节液滴的喷出量Iw，喷出液态体。换而言之，可以说用于管理喷出量Iw的重要事项在于，适当地进行由驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN的关系规定的各喷嘴52的驱动信号COM的设定。以下，在各COM线路和驱动信号的关系中，为了便利，将与波形数据WD1～WD4对应的驱动信号COM表示为驱动信号COM1～驱动信号COM4。
在本实施方式的液滴喷出装置10，使施加于按液滴喷出头50和工件W的每一次主扫描而喷出液滴的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM不同。换而言之，对于被选择的喷嘴52的压电元件59，按每一次主扫描从驱动信号COM1～驱动信号COM4中选择一个来施加。
另外，这样的喷出控制也可以以有效的160个喷嘴52构成的喷嘴列52a(喷嘴列52b)为单位，或以包含喷嘴列52a和喷嘴列52b的320个喷嘴52构成的喷嘴列52c为单位来进行。
进而，也可以以对应于波形数据的数量即驱动信号COM的数量而划分的喷嘴组Gr为单位来进行。
因而，能够将按喷嘴52每一个喷出的液滴的喷出量Iw按每一次主扫描至少经过四个阶段来改变，因此，与将恒定的驱动信号COM施加于各压电元件59的情况相比，能够将喷嘴52的喷出特性引起的液滴的喷出量Iw的不均按每一喷嘴52、每一个喷嘴列52a(喷嘴列52b)、每一个喷嘴组Gr、或喷出不同的液态体的每一个喷嘴列52c(换而言之，每一个液滴喷出头50)来调节。因此，能够降低多个喷嘴52的喷出特性引起的喷出不均而喷出液态体。
<液态体的喷出方法及滤色片的制造方法>
其次，关于本实施方式的液态体的喷出方法，将适用其的滤色片的制造方法作为例子进行说明。
首先，说明本实施方式的滤色片。图8(a)是表示滤色片的概略俯视图，图8(b)是用图8(a)的A-A’线截断了的剖面图。
如图8(a)所示，本实施方式的滤色片2在基板1上的由隔壁部4划分的膜形成区域E具有多色(6色)的着色层3。具体来说，形成为红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的三原色加上青色(C)、品红色(M)、黄色(Y)的6色的构成。膜形成区域E大致为矩形状，由隔壁部4划分为矩阵状。滤色片2是相同颜色的着色层3配置于同一列内的所谓的条纹方式的滤色片。还有，膜形成区域E的形状不限定于矩形。
在将这样的滤色片2使用于显示装置的情况下，将各色的着色层3对应于像素而配置，用R、G、B、C、M、Y这六个像素构成一个描绘像素，由此，与三原色的构成相比，能够提高色再现性。
如图8(b)所示，基板1例如由透明的玻璃等基材构成。
隔壁部4形成为由第一隔壁部4a、和在第一隔壁部4a上形成的第二隔壁部4b构成的所谓的二层围堰结构。
第一隔壁部4a是具有遮光性的金属或金属化合物的薄膜，例如可以举出Al或Cr的薄膜、这些的氧化膜等。膜厚形成为得到遮光性的约0.1μm。第一隔壁部4a通常被称为黑矩阵(BM)。
第二隔壁部4b是例如使丙烯系或聚酰亚胺系的感光性树脂固化而成的。高度(膜厚)虽然取决于在膜形成区域E形成的着色层3的成膜条件，但约为1.5～2.0μm。在隔壁部4中，在第二隔壁部4b由具有遮光性的材料构成的情况下，可以不需要第一隔壁部4a。
并且，着色层3例如由包含各色的色材的透光性的树脂材料构成。作为色材，可以举出公知的颜料、染料。在本实施方式中，使用液滴喷出装置10，将含有这样的着色层形成材料的六种(6色)的液态体向膜形成区域E喷出，由此，形成各着色层3。
还有，着色层3的膜厚按每一颜色恒定也可，优选在着色层3之间均一。由此可知，能够减少形成着色层3后的基板1的表面中的凹凸。换而言之，能够提供具有期望的光学特性，且平面形状更平坦的滤色片2。
本实施方式的滤色片2的制造方法具备：在基板1上形成隔壁部4的隔壁部形成工序；将隔壁部4及膜形成区域E表面处理的表面处理工序；向由隔壁部4划分的多个膜形成区域E将含有着色层形成材料的六种(6色)的液态体作为液滴喷出的喷出工序；使被喷出的液态体干燥并除去溶媒而将6色的着色层3成膜的成膜工序。
在隔壁部形成工序中，首先，在基板1的表面形成金属或金属化合物的薄膜，利用光刻法进行构图，形成格子状的第一隔壁部4a。然后，同样地，利用光刻法将涂敷感光性树脂而形成的感光性树脂层构图成格子状，从而在第一隔壁部4a上形成第二隔壁部4b。如上所述，若第二隔壁部4b具有遮光性，则可以省略第一隔壁部4a。
隔壁部4的形成方法不限于此，还可以采用胶版等印刷法或转印预先在其他基材上形成的隔壁部4的转印法等。
其次，表面处理工序是对形成有隔壁部4的基板1的表面进行表面处理的工序。具体来说，使用氟系处理气体(例如，CF4等)，对由有机材料构成的第二隔壁部4b的表面进行等离子体处理，赋予疏液性。进而，进行将氧作为处理气体的等离子体处理，对膜形成区域E进行亲液化处理。由此，在之后的液态体的喷出工序中，被喷出的液滴向隔壁部4发生作用而着落，也收容于膜形成区域E内。另外，着落于膜形成区域E的液滴没有不均地润湿扩散。
在喷出工序中，使用液滴喷出装置10，向基板1的膜形成区域E喷出6色的液态体。即，采用图3所示的头单元9的结构。在头单元9上，对应于各色搭载有各一个能够喷出液态体的液滴喷出头50。
在本实施方式中，在载物台5载置基板1，使基板1的基准轴与X轴、Y轴一致地进行定位。然后，进行多次使载物台5相对于搭载液滴喷出头50的头单元9，在主扫描方向(X轴方向)上相对移动的主扫描。在该多次主扫描期间，从液滴喷出头50向期望的膜形成区域E将液态体作为液滴喷出。
图9(a)及(b)是表示液态体的喷出方法的概略俯视图。在喷出工序中，例如如图9(a)所示，在矩形状的膜形成区域E的长边方向和副扫描方向(Y轴方向)一致的状态下，从在主扫描时对膜形成区域E发生作用的喷嘴52喷出液滴。多个喷嘴52沿副扫描方向排列，因此，在主扫描时，更多的喷嘴52向膜形成区域E发生作用。例如，在基于填充有含有红色(R)的着色层形成材料的液态体的头R1的最初的主扫描中，四个喷嘴52向膜形成区域E发生作用，从各自喷出各三滴液滴。
其次，如图9(b)所示，填埋先前在膜形成区域E着落的液滴之间地进行再次喷出液滴的主扫描。换而言之，在先前的主扫描结束后，使头R1在副扫描方向上移动，错开向膜形成区域E发生作用的喷嘴52的位置后，喷出液滴。由此，五个喷嘴52向膜形成区域E发生作用，但选择靠近中央部的三个喷嘴52，分别喷出各三滴液滴。利用两次的主扫描，向膜形成区域E喷出共计24滴的液滴。
液滴喷出装置10中的如上所述的液滴的喷出是基于作为所述的喷出控制数据的液滴的配置信息来进行的。图9(a)及图9(b)可以捕获为作为各自的主扫描的膜形成区域E中显示液滴的配置的配置信息的位图数据。在本实施方式的液态体的喷出方法中，在图9(a)所示的主扫描和图9(b)所示的主扫描中，使施加于向膜形成区域E发生作用的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM不同。具体来说，以向膜形成区域E发生作用的喷嘴组Gr为单位，按每一次主扫描使驱动信号COM不同。
图10(a)及(b)是表示喷嘴组中的驱动信号的选择的表。如上所述，液滴喷出头50的各喷嘴列52a、52b中有效喷嘴数为160个，分别具有均等地分割为四个的喷嘴组Gr1～喷嘴组Gr4。
如图10(a)所示，将四个驱动信号COM1～驱动信号COM4适用于四个喷嘴组Gr1～喷嘴组Gr4的情况下，有总计28组选择图案。具体来说，是将相同的驱动信号COM适用于喷嘴组Gr1～喷嘴组Gr4的选择1～选择4、和将四个驱动信号COM1～驱动信号COM4分配于喷嘴组Gr1～喷嘴组Gr4的选择5～选择28的选择图案。
从28组上述选择图案中选择哪一个也无妨，但考虑图4所示的表示喷出量Iw的不均的Iw拱的情况下，存在越是靠近喷嘴列52a(喷嘴列52b)的两端侧的喷嘴52，喷出量Iw越增加的倾向，因此，与将该倾向原样反应的选择1～选择4的选择图案相比，优选抑制该倾向的喷嘴组Gr和驱动信号COM的组合。
即，如图10(b)所示，对于位于喷嘴列52a的两侧的喷嘴组Gr1和喷嘴组Gr4，优选除了驱动电压Vh大的驱动信号COM3、分配有驱动信号COM4的组合以外的选择7、选择9、选择14、选择15这四个选择图案。由此可知，能够进一步抑制喷嘴52间的喷出量Iw的不均，能够将规定量的液态体向膜形成区域E稳定地喷出。
在上述图9(a)及9(b)所示的主扫描的方法中，考虑到根据膜形成区域E的形状或大小、基板1上的配置、向膜形成区域E喷出何种程度量(体积或重量)的液态体的情况，在一次主扫描中喷出的液滴的数量或喷出位置变化的情况。换而言之，当然考虑到需要两次以上的主扫描的情况。
此时，搭载于头单元9的喷出同种液态体的液滴喷出头50如本实施方式一样地为一个的情况下，也按每一次主扫描来改变驱动信号COM的选择图案，因此，能够减少液滴喷出头50的喷出特性引起的喷出不均。
图11(a)～(c)是表示多次主扫描的方法的概略图。具体来说，用实线和虚拟线表示的长方形表示液滴喷出头50，并且表示多次主扫描中的相对的液滴喷出头50的位置关系。作为多次主扫描的方法，如图11(a)所示，存在使液滴喷出头50位于描绘宽度L0的范围内而进行多次主扫描的场合(case)。主扫描1和主扫描2中的驱动信号COM适用所述的图10(b)的选择图案，在喷嘴组Gr1和喷嘴组Gr4中，选择驱动信号COM1或驱动信号COM2。在这种情况下，在多次主扫描期间，不进行液滴喷出头50向副扫描方向(Y轴方向)的移动。换而言之，在液滴喷出装置10中，不进行驱动头移动机构30而移动液滴喷出头50的多余动作。
除了上述之外，例如如图11(b)所示，存在在副扫描方向上错开描绘宽度L0的1/4地使液滴喷出头50移动的场合，或如图11(c)所示，存在在副扫描方向上错开描绘宽度L0的1/2地使液滴喷出头50移动的场合。描绘宽度L0的1/4相当于一个喷嘴组Gr，因此，组合实质上以喷嘴组Gr为单位使液滴喷出头50沿副扫描方向移动的副扫描和主扫描，从而对基板1上的同一区域进行描绘。
如图11(b)所示，在使液滴喷出头50错开1/4L0的情况下，使用喷嘴组Gr4，进行将其补全的主扫描3。
如图11(c)所示，在使液滴喷出头50错开1/2L0的情况下，使用喷嘴组Gr3和喷嘴组Gr4，进行将其补全的主扫描3。
这样，通过组合副扫描，液滴喷出装置10的动作变得复杂，但在向同一区域发生作用的喷嘴组Gr的组合和驱动信号COM的选择的宽度变宽，因此，进一步难以受到喷嘴52之间的喷出量Iw的不均的影响。由此，能够抑制量的不均，将规定量的液态体向各膜形成区域E喷出。
还有，一次主扫描可以在液滴喷出头50和工件W的主扫描方向上的相对移动中分成为往动和返动，包括往动和返动也可。另外，将液滴的配置信息(位图数据)的构成相同的作为主扫描的一个单位来操作也可。
即，根据本实施方式的液态体的喷出方法可知，即使在喷出同种液态体的液滴喷出头50例如为一个的情况下，也通过按每一次主扫描而改变驱动信号COM的选择图案，恰好起到使用多个液滴喷出头50喷出同种液态体的喷嘴分散、喷嘴组Gr分散、喷嘴列分散、头分散的效果。
其次，在成膜工序中，干燥被喷出的液态体，形成6色的着色层3。作为干燥方法，可以举出使用灯加热器等直接加热基板1的方法或减压干燥等方法。从在基板1上使液态体的溶媒的干燥速度容易恒定的方面来说，优选后者的干燥方法。
根据适用了以上所述的液态体的喷出方法的滤色片2的制造方法可知，按每一个膜形成区域E以抑制了量的不均的状态喷出规定量的液态体。从而，在成膜工序中，能够按每一种颜色以规定的膜厚形成着色层3。因此，能够成品率良好地制造具有期望的光学特性的滤色片2。
(实施方式2)
<有机EL装置和其制造方法>
参照图12及图13，说明适用了上述实施方式1的液态体的喷出方法的有机EL装置的制造方法。图12是表示有机EL装置的主要部分结构的概略剖面图，图13(a)～(f)是表示有机EL装置的制造方法的概略剖面图。
<有机EL装置>
如图12所示，本实施方式的有机EL装置600具备：具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件基板601；隔着元件基板601和空间622而封接的密封基板620。另外，元件基板601在元件基板601上具备电路元件部602，发光元件部603重叠于电路元件部602上而形成，利用电路元件部602来驱动。在发光元件部603上，由有机发光材料构成的6色的发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y分别形成于作为膜形成区域的发光层形成区域A，并构成为条纹状。元件基板601以与6色的发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y对应的六个发光层形成区域A作为一组像素，该像素以矩阵状配置于元件基板601的电路元件部602上。即，形成为与图8(a)所示的上述实施方式1的滤色片2中的6色的着色层3相同的配置。有机EL装置600中，来自发光元件部603的发光向元件基板601一侧射出。
密封基板620由玻璃或金属构成，因此，经由密封树脂与元件基板601接合，在被密封的内侧的表面贴附有吸气剂621。吸气剂621吸收进入元件基板601和密封基板620之间的空间622的水或氧，防止发光元件部603被进入的水或氧劣化。还有，省略该吸气剂621也可。
元件基板601在电路元件部602上具有多个发光层形成区域A，具备：划分多个发光层形成区域A的围堰618；在多个发光层形成区域A形成的电极613；层叠在电极613的空穴注入/输送层617a。另外，具备：具有向多个发光层形成区域A内赋予含有发光层形成材料的六种液态体而形成的发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y的发光元件部603。围堰618是使用绝缘材料形成的，并覆盖电极613的周围，以使在空穴注入/输送层617a上层叠的发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y、和电极613不发生电短路。
元件基板601例如由玻璃等透明的基板构成，在元件基板601上形成有由硅氧化膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成有由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。还有，通过向半导体膜607打入高浓度P离子而形成源区域607a及漏区域607b。还有，未导入P离子的部分形成为沟道区域607c。进而，形成覆盖基底保护膜606及半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609，在栅电极609及栅绝缘膜608上形成有透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。栅电极609设置于与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置。另外，形成有贯通第一层间绝缘膜611a及第二层间绝缘膜611b而与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b分别连接的接触孔612a、612b。还有，在第二层间绝缘膜611b上，由ITO(IndiumTin Oxide)等构成的透明的电极613以规定的形状构图配置，一方的接触孔612a与该电极613连接。另外，另一方的接触孔612b与电源线614连接。这样，在电路元件部602形成有与各电极613连接的驱动用薄膜晶体管615。还有，在电路元件部602还形成有保持电容和开关用薄膜晶体管，但在图12中省略这些的图示。
发光元件部603具备：作为阳极的电极613；在电极613上依次层叠的空穴注入/输送层617a；各发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y(总称为发光层Lu)；以覆盖围堰618和发光层Lu的方式层叠的阴极604。利用空穴注入/输送层617a和发光层Lu构成激励发光的功能层617。还有，若由透明材料构成阴极604及密封基板620及吸气剂621，则能够从密封基板620一侧射出发出的光。
有机EL装置600具有：与栅电极609连接的扫描线(省略图示)、和与源区域607a连接的信号线(省略图示)，利用向扫描线传递的扫描信号，当将开关用薄膜晶体管(省略图示)打开时，此时的信号线的电势保持为保持电容，根据该保持电容的状态，确定驱动用薄膜晶体管615的打开/关闭状态。然后，经由驱动用薄膜晶体管615的沟道区域607c，电流从电源线614向电极613流动，进而电流经由空穴注入/输送层617a和发光层Lu，向阴极604流动。发光层Lu对应于流过其的电流量而发光。有机EL装置600能够利用这样的发光元件部603的发光机制，显示期望的文字或图像等。另外，有机EL装置600中发光层Lu是使用上述实施方式1的液态体的喷出方法而形成的，因此，各发光层形成区域A被赋予大致恒定量的液态体，具有发光不均、亮度不均等显示不妥善的情况少的高的显示品质，并且，能够进行高清晰的显示。
<有机EL装置的制造方法>
其次，参照图13，说明本实施方式的有机EL装置600的制造方法。还有，在图13(a)～(f)中，关于在元件基板601上形成的电路元件部602，省略其图示。
本实施方式的有机EL装置600的制造方法包括：在元件基板601的与多个发光层形成区域A对应的位置形成电极613的工序；以一部分向电极613发生作用的方式形成围堰618的围堰形成工序。另外，包括：进行由围堰618划分的发光层形成区域A的表面处理的工序；向表面处理的发光层形成区域A赋予含有空穴注入/输送层形成材料的液态体而喷出描绘空穴注入/输送层617a的工序；使被喷出的液态体干燥并将空穴注入/输送层617a成膜的工序。另外，包括：向发光层形成区域A喷出含有发光层形成材料的六种液态体的喷出工序；干燥喷出的六种液态体并将发光层Lu成膜的成膜工序。进而，包括：以覆盖围堰618和发光层Lu的方式形成阴极604的工序；接合形成有发光元件部603的元件基板601和密封基板620的密封工序。各液态体的向发光层形成区域A的赋予是使用上述实施方式1的液态体的喷出方法而进行的。因而，适用图3所示的头单元9中的液滴喷出头50的配置。
在电极(阳极)形成工序中，如图13(a)所示，在元件基板601的与发光层形成区域A对应的位置形成电极613。作为形成方法，例如可以举出使用ITO等透明电极材料，在真空中利用溅射法或蒸镀法，在元件基板601的表面上形成透明电极膜。之后，利用光刻法，仅保留必要的部分而蚀刻，形成电极613的方法。然后，进入围堰形成工序。
在围堰形成工序中，如图13(b)所示，首先，以覆盖元件基板601的多个电极613的一部分的方式形成下层围堰618a。作为下层围堰618a的材料，使用无机材料即绝缘性的SiO2(氧化硅)。作为下层围堰618a的形成方法，例如，可以举出对应于之后形成的发光层Lu，使用抗蚀剂等，掩蔽各电极613的表面。然后，将掩蔽的元件基板601投入真空装置中，将SiO2作为靶体或原料，进行溅射或真空蒸镀，从而形成下层围堰618a的方法。抗蚀剂等的掩蔽是在之后剥离。还有，下层围堰618a由SiO2形成，因此，其膜厚为200μm以下时，具有充分的透明性，之后，即使层叠空穴注入/输送层617a及发光层Lu，也不会阻碍发光。
接着，以实质上划分各发光层形成区域A的方式，在下层围堰618a上形成上层围堰618b。作为上层围堰618b的材料，优选对包含后述的发光层形成材料的六种液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y的溶媒具有耐久性的材料，进而，优选可以利用将氟系气体作为处理气体的等离子体处理来实现疏液化，例如，优选丙烯树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等所谓的有机材料。作为上层围堰618b的形成方法，例如，在形成有下层围堰618a的元件基板601的表面利用辊涂法或旋涂法来涂敷感光性的上述有机材料，将其干燥，形成厚度为约2μm的感光性树脂层。还有，可以举出通过使以与发光层形成区域A对应的大小设置有开口部的掩模在规定的位置与元件基板601对置，进行曝光/显影，形成上层围堰618b的方法。由此，形成具有下层围堰618a和上层围堰618b的围堰618。然后，进入表面处理工序。
在将发光层形成区域A表面处理的工序中，首先，将O2气体作为处理气体，等离子体处理形成有围堰(バンク)618的元件基板601的表面。由此，活性化电极613的表面、围堰618的表面(包含壁面)，并进行亲液化处理。其次，将CF4等氟系气体作为处理气体，进行等离子体处理。由此，氟系气体仅在作为有机材料的感光性树脂构成的上层围堰618b的表面发生反应，并进行疏液化处理。然后，进入空穴注入/输送层形成工序。
在空穴注入/输送层形成工序中，如图13(c)所示，将含有空穴注入/输送层形成材料的液态体90向发光层形成区域A赋予。作为赋予液态体90的方法，使用上述实施方式1的液态体的喷出方法。从液滴喷出头50喷出的液态体90作为液滴着落于元件基板601的电极613而润湿扩散。液态体90根据发光层形成区域A的面积，以大致恒定量作为液滴喷出。然后，进入干燥/成膜工序。
在干燥/成膜工序中，例如，利用灯退火等方法加热元件基板601，由此，干燥液态体90的溶媒成分而除去，在电极613的由围堰618划分的区域形成有空穴注入/输送层617a。在本实施方式中，作为空穴注入/输送层形成材料，使用3，4-聚乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)。还有，在本实施方式中，在各发光层形成区域A形成了由同一材料构成的空穴注入/输送层617a，但根据之后形成的发光层Lu，按发光层形成区域A每一个而改变空穴注入/输送层617a的材料也可。然后，进入其次的液态体的喷出工序。
在液态体的喷出工序中，如图13(d)所示，使用液滴喷出装置10，从多个液滴喷出头50，向多个发光层形成区域A赋予含有发光层形成材料的六种液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y。液态体100R含有形成发光层617R(红色)的材料，液态体100G含有形成发光层617G(绿色)的材料，液态体100B含有形成发光层617B(蓝色)的材料。同样，液态体100C含有形成发光层617C(青色)的材料，液态体100G含有形成发光层617M(品红色)的材料，液态体100Y含有形成发光层617Y(黄色)的材料。
作为各发光层形成材料，使用能够发出荧光或磷光的公知的发光材料。
具体来说，适合使用(聚)芴衍生物(PF)、(聚)对亚苯基亚乙烯基衍生物(PPV)、聚亚苯基衍生物(PP)、聚对亚苯基衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基苯基硅烷(PMPS)等聚硅烷系等。另外，这些高分子材料中还可以掺杂使用二嵌萘苯系色素、香豆素系色素、若丹明系色素等高分子系材料或红荧烯、二嵌萘苯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖啶酮等低分子材料。
着落了的各液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y在发光层形成区域A润湿扩散，剖面形状以圆弧状隆起。作为赋予这些液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y的方法，使用上述实施方式1的液态体的喷出方法。然后，进入干燥/成膜工序。
在干燥/成膜工序中，如图13(e)所示，干燥被喷出的各液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y的溶媒成分并除去，在各发光层形成区域A的空穴注入/输送层617a层叠各发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y地成膜。作为喷出各液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y的元件基板601的干燥方法，优选能够使溶媒的蒸发速度为大致恒定的减压干燥。然后，进入阴极形成工序。
在阴极形成工序中，如图13(f)所示，以覆盖元件基板601的各发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y和围堰618的表面的方式形成阴极604。作为阴极604的材料，优选组合使用Ca、Ba、Al等金属或LiF等氟化物。尤其，在靠近发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y的一侧形成功函数小的Ca、Ba、LiF的膜，在远的一侧形成功函数大的Al等膜。另外，在阴极604上层叠SiO2、SiN等保护层也可。若这样，则能够防止阴极604的氧化。作为阴极604的形成方法，可以举出蒸镀法、溅射法、CVD法等。尤其，从能够防止发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y的热量引起的损伤的观点来说，优选蒸镀法。
这样做成的元件基板601具有：一定量的各液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y作为液滴，被抑制量的不均地向发光层形成区域A赋予，且干燥/成膜化后的膜厚在各自的发光层形成区域A中大致恒定的各发光层617R、617G、617B、617C、617M、617Y(总称为发光层Lu)。然后，进入密封工序。
在密封工序中，使形成有发光元件部603的元件基板601和密封基板620对置，隔着空间622，使用粘接剂来接合(参照图12)。作为粘接剂，优选使用具有耐久性且热固化性的例如环氧系树脂粘接剂。由此，密封发光元件部603。
根据上述实施方式2的有机EL装置600的制造方法可知，在液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y的喷出工序中，使用上述实施方式1的液态体的喷出方法，喷出液滴。因而，在各自的发光层形成区域A稳定地涂敷大致恒定量的各液态体100R、100G、100B、100C、100M、100Y。从而，得到干燥/成膜后的膜厚在各自的发光层形成区域A中大致恒定的各发光层Lu。
各发光层Lu的膜厚大致恒定，因此，各发光层Lu每一个的电阻大致恒定。从而，若利用电路元件部602，向发光元件部603施加驱动电压，则减少各发光层Lu每一个的电阻不均引起的发光不均或亮度不均等。即，能够在发光不均或亮度不均等少的情况下，成品率良好地制造具有高的色再现性的有机EL装置600。
除了上述实施方式以外，还考虑各种实施例。以下，举出变形例进行说明。
(变形例1)在上述实施方式1的滤色片2中，R、G、B、C、M、Y这6色的着色层3的配置不限定于此。图14是表示变形例的着色层的配置的概略俯视图。例如，有R＝Y+M、G＝C+Y、B＝M+C的所谓的颜色的加法规则。通过调节增加Y和M的比率，能够显现更接近R的微妙的色调。同样地，通过调节增加C和Y的比率，能够显现更接近G的微妙的色调，通过调节增加M和C的比率，能够显现更接近B的微妙的色调。因而，如图14所示，将R、Y、M这三色的着色层3作为红色系着色层组，将G、C、Y这三色的着色层3作为绿色系着色层组，将B、M、C这三色的着色层3作为蓝色系着色层组，在纵向或横向上配置这些三种着色组。即，构成一个像素的多个着色层3为6色，但其数量总计为9个。在这样的滤色片2中，也能够适用上述实施方式1的滤色片2的制造方法。
(变形例2)适用上述实施方式1的滤色片2的制造方法的滤色片2的结构不限定于具有6色的着色层3的结构。例如，在R、G、B这三色的情况下也能够适用。即，喷出同种液态体的液滴喷出头50的数量例如为一个的情况下，也能够恰好得到使用多个液滴喷出头50，喷出同种液态体一样的喷嘴分散效果。
(变形例3)在上述实施方式2的有机EL装置600中，作为有机EL元件的发光元件部603的结构不限定于此。例如，在发光层形成区域A形成得到白色的发光的发光层617。还有，能够提供通过在密封基板620侧配置滤色片2，从而能够进行全彩显示，且具有高的色再现性的顶部发光型的有机EL装置600。

Claims (10)

1.一种液滴喷出装置，其在使具有多个膜形成区域的基板和多个喷嘴对置并相对移动的扫描期间，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域将液态体作为液滴喷出，其特征在于，具备：
第一移动机构，其使所述基板相对于所述多个喷嘴而沿第一方向相对移动；
驱动机构，其对应每一个所述喷嘴设置；
喷嘴驱动部，其产生能够变更所述液滴的喷出量的多个驱动信号，将所述多个驱动信号中的一个施加于所述驱动机构，从所述喷嘴喷出所述液滴；
控制部，其以对同一所述膜形成区域进行多次扫描的方式控制所述第一移动机构，并以在多次扫描期间将规定量的所述液态体作为所述液滴喷出的方式控制所述喷嘴驱动部，
其中，
所述控制部以如下所述的方式来控制所述喷嘴驱动部：使对与所述多个喷嘴中在扫描时对所述膜形成区域发生作用的所述喷嘴相应的所述驱动机构施加的所述驱动信号基于每一次扫描而不同。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
具备由所述多个喷嘴构成的至少一个喷嘴列，
所述控制部以如下所述的方式来控制所述喷嘴驱动部：使以所述喷嘴列为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次扫描而不同。
3.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述喷嘴列具有对应于所述多个驱动信号的数量而划分的多个喷嘴组，
所述控制部以如下所述的方式来控制所述喷嘴驱动部：使以所述喷嘴组为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次扫描而不同。
4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述多个喷嘴组沿与所述第一方向正交的第二方向排列，
所述液滴喷出装置具备使所述喷嘴列沿所述第二方向移动的第二移动机构，
所述控制部，以通过多次扫描而从不同的所述喷嘴组向所述膜形成区域喷出所述液滴的方式来控制所述第二移动机构，并在多次扫描期间，使所述喷嘴列沿所述第二方向移动。
5.一种液态体的喷出方法，具有喷出工序，在使具有多个膜形成区域的基板和多个喷嘴对置并沿第一方向相对移动的多次扫描期间，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域将规定量的液态体作为液滴喷出，其特征在于，
所述喷出工序中，通过将能够变更所述液滴的喷出量的多个驱动信号中的一个施加于所述喷嘴的驱动机构，而喷出所述液滴，并使施加于在所述多个喷嘴中在扫描时对所述膜形成区域发生作用的所述喷嘴的所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次扫描而不同。
6.根据权利要求5所述的液态体的喷出方法，其特征在于，
具备由所述多个喷嘴构成的至少一个喷嘴列，
所述喷出工序中，使以所述喷嘴列为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次扫描而不同。
7.根据权利要求6所述的液态体的喷出方法，其特征在于，
所述喷嘴列具有对应于所述多个驱动信号的数量而划分的多个喷嘴组，
所述喷出工序中，使以所述喷嘴组为单位的施加于所述驱动机构的所述驱动信号基于每一次扫描而不同。
8.根据权利要求7所述的液态体的喷出方法，其特征在于，
所述喷出工序中，以通过多次扫描而从不同的所述喷嘴组向所述膜形成区域喷出所述液滴的方式，在多次扫描期间，使所述喷嘴列沿与所述第一方向正交的第二方向移动。
9.一种滤色片的制造方法，其是在基板上的多个膜形成区域具有多色的着色层的滤色片的制造方法，其特征在于，包括：
喷出工序，使用权利要求5～8中任一项所述的液态体的喷出方法，将含有着色层形成材料的多色液态体向所述多个膜形成区域喷出；
成膜工序，将被喷出的所述液态体固化而形成所述多色的着色层。
10.一种有机EL装置的制造方法，所述有机EL装置具备基板，所述基板具有有机EL元件，在所述有机EL元件形成有多个膜形成区域，在所述多个膜形成区域具有包含发光层的功能层，
所述有机EL装置的制造方法的特征在于，包括：
喷出工序，使用权利要求5～8中任一项所述的液态体的喷出方法，将含有发光层形成材料的液态体向所述多个膜形成区域喷出；
成膜工序，将被喷出的所述液态体固化而形成所述发光层。
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