CN1358626A - 滤色片、液晶装置和el装置的制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明的课题是,使滤色片的透光特性、液晶装置的显示特性、EL发光面的发光特性等光学构件的光学特性在平面上达到均匀一致。这是一种滤色片的制造方法,用来制造在基板12上排列多个点状滤色元而成的滤色片。通过有将多个喷嘴27排成列状而成的喷嘴列28的喷墨头沿X方向对基板12进行主扫描,从多个喷嘴27有选择地喷出滤色材料,在滤色元区形成滤色元3。把多个喷嘴27分割成多个组,在使喷墨头22沿Y方向副扫描一段距离δ的同时,多次反复进行主扫描,以实现这些喷嘴组对基板12的同一部分的重复扫描。

Description

滤色片、液晶装置、和EL装置的 制造方法及制造装置

[发明的详细说明]

[发明所属的技术领域]

本发明涉及制造在液晶装置等光学装置中所使用的滤色片的制造方法和制造装置。本发明还涉及具有滤色片的液晶装置的制造方法和制造装置。本发明还涉及用EL发光层进行显示的EL装置的制造方法和制造装置，涉及把材料喷涂在对象物上的材料的喷涂方法和材料的喷涂装置。此外，还涉及装载有用这些制造方法所制成的液晶装置或者EL装置的电子装置。

[现有技术]

近年来，在移动电话机和便携式计算机等电子装置的显示部分广泛地使用液晶装置、EL装置等显示装置。另外，在最近，借助于显示装置进行全色显示的情形更是多了起来。用液晶装置进行全色显示，例如可以采用把由液晶层调制后的光通过滤色片的办法来加以实现。而且，滤色片是在由玻璃、塑料等形成的基板的表面上，例如把R(红)、G(绿)、B(蓝)各种颜色的点状滤色元排列成条形、三角形或者镶嵌形等设定的排列图形来形成的。

另外，在用EL装置进行全色显示的场合，例如是在由玻璃、塑料等形成的基板的表面上，譬如把R(红)、G(绿)、B(蓝)各种颜色的点状EL发光层排列成条形、三角形或者镶嵌形等设定的排列图形，再用一对电极夹持住这些EL发光层而形成像素元，通过针对每一个这样的像素元控制加在这一对电极上的电压使该像素元发出所期望的色光，从而实现全色显示。

在现有技术中，在把滤色片的R、G、B等各种颜色的滤色元构成图形时，或在把EL装置的R、G、B等各种颜色的像素元构成图形时，以采用光刻法为人们所知。然而，在采用这种光刻法时，工序复杂，而且对各种着色材料和光致抗蚀剂等的消耗量很大，因而成本增高。

为了解决这个问题，本发明提出的方法是，用喷墨法把滤色材料或EL发光材料等以点状喷出，从而形成点状排列的滤色元或EL发光层等。

现在参看图22(a)，在用玻璃、塑料等形成的大面积基板又称母板301的表面上设置有多个面板区302；如图22(b)所示，在此面板区302内部则以点状排列多个滤色元303，现在介绍怎样用喷墨法来形成这些滤色元303。

在这种场合，例如图22(c)所示，有将多个喷嘴304排成列状而形成喷嘴列305，从而构成喷墨头306。此喷墨头306如图22(b)中箭头A1和A2所示，对一个面板区302进行多次(在图22中是两次)主扫描，并在这些主扫描期间通过从多个喷嘴中有选择地喷出油墨即滤色材料，在所希望的位置上形成滤色元303。

滤色元303通过将R.G.B等各种颜色排列成条形、三角形、镶嵌形等适当的排列图形而形成，因此，在图22(b)所示喷墨头306喷出油墨的喷涂处理，预先相应于R、G、B三色各自设置有只喷出R、G、B中单色的喷墨头306，依次使用这些喷墨头306，便能在一块母板301上形成R、G、B等三色的排列图形。

[发明所要解决的课题]

然而，就喷墨头306而言，构成喷嘴列305的多个喷嘴304的喷墨量一般说来有一定的分散度。例如，如图23(a)所示，对应于喷嘴列305两端部分的位置，喷墨量最多；在中央部位次之；在两端和中央部位之间的中间位置，喷墨量则最少，即具有曲线Q所表示的喷墨特性。

因此，在像图22(b)中所示那样用喷墨头306来形成滤色元303时，则如图23(b)所示，常常会在对应于喷墨头306端部的位置P1或者中央部位P2，甚至同时在P1和P2两个位置，形成浓度较深的条纹，从而造成滤色片的平面透光特性不均匀的问题。

本发明就是鉴于存在上述问题而提出来的，其目的是提供能够使滤色片的透光特性、液晶装置的彩色显示特性、EL发光面的发光特性等光学构件的光学特性得以在平面上均匀一致的各种光学构件的制造方法和制造装置。

[解决课题的方法]

(1)为了达到上述目的，本发明提出的滤色片的制造方法属于制造由多个滤色元排列在基板上而成的滤色片的制造方法，其特征在于，包括：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；从上述多个喷嘴有选择地喷出滤色材料，在上述基板上形成上述滤色元的工序；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描的工序。

如按照这种结构的滤色片的制造方法，滤色片内的各个滤色元并不是喷墨头通过一次扫描形成的，而是由属于不同喷嘴组的多个喷嘴重叠喷墨以形成预定的膜厚，因此，假定即使多个喷嘴之间喷墨量存在分散性，也可以防止多个滤色元之间产生膜厚的分散性。所以，滤色片的透光特性得以在平面上保持均匀一致。

当然，由于本发明的滤色片的制造方法是一种使用喷墨头的方法，既没有必要经过采用光刻法的制造方法这样的复杂的工序，也不会浪费材料。

在上述结构的滤色片的制造方法中，使上述喷墨头和基板中的一方对另一方以上述喷嘴组在副扫描方向上长度的整数倍长度进行副扫描移动。如果这样做，多个喷嘴组重叠扫描上述基板的同一部分，通过各喷嘴组内的喷嘴向各个滤色元区重叠喷墨。

另外，在上述结构的滤色片的制造方法中，上述喷嘴列可以对上述副扫描方向倾斜配置。喷嘴列是通过把多个喷嘴排成列状而形成的。在这种场合，如果使喷嘴列的配置状态与喷墨头的副扫描方向保持平行，那么，从喷嘴喷出的滤色元材料所形成的那些滤色元相邻之间的间隔，亦即滤色元间距，便等于形成喷嘴列的多个喷嘴的间距。

滤色元间距恰好等于喷嘴间距，这虽然存在上述的优点，但是，这种情况毕竟非常少，在通常情况下，现状大多是滤色元间距与喷嘴间距并不相同。这样，在滤色元间距与喷嘴间距不相同的场合，如上述结构那样，可以通过把喷嘴列对喷墨头副扫描方向倾斜配置的办法，使喷嘴间距沿副扫描方向的长度与滤色元间距相吻合。在这种情况下，构成喷嘴列的各个喷嘴的位置会在主扫描方向上作前后移位，对此，通过改变从各个喷嘴喷出滤色元材料的时间，便能够把各个喷嘴喷出的墨滴供给所期望的位置。

另外，在上述结构的滤色片的制造方法中，喷墨头在副扫描方向上移动的长度可由如下公式决定。设上述喷嘴列的长度为L，被上述分割而形成的上述喷嘴组的数目为n，上述喷嘴列与上述副扫描方向的夹角为θ，则上述副扫描移动的长度δ便可记为：

                   δ(L/n)cosθ

按照这样的结构，喷墨头可以使多个喷嘴沿副扫描方向按每个喷嘴组移动。其结果是，例如考虑在喷嘴列被分割成四个喷嘴组的场合，基板上的各个部分都会被四个喷嘴组重叠作主扫描。

接着，在上述结构的滤色片的制造方法中，还可以采用控制方法不让上述喷嘴列两端部分的若干喷嘴喷出滤色元材料。正如已经参照图23(a)说明过的那样，通常的喷墨头的喷墨分布，在喷嘴列的两端部分同其他部分相比，是有变化的。对于具有这种喷墨分布特性的喷墨头，如果去除掉喷嘴列两端若干喷墨量变化比较大的喷嘴，只使用喷墨分布均匀的多个喷嘴，那么，就可以使滤色元的膜厚在平面上达到均匀一致。

另外，如果像上述那样进行处理，不使用位于喷嘴列两端部分的若干喷嘴，在这种场合，喷墨头副扫描移动的长度则可由如下公式决定。设上述喷嘴列之中在扣除了两端部分不让喷出上述油墨的若干喷嘴以后剩余部分的长度为L，被上述分割而形成的上述喷嘴组的数目为n，上述喷嘴列与上述副扫描方向的夹角为θ，则上述副扫描移动的长度δ可记为

                   δ(L/n)cosθ

接着，考虑利用上述结构的滤色片的制造方法所制造的滤色片是通过把R(红)、G(绿)、B(蓝)或者C(深蓝)、Y(黄)、M(深红)等多色滤色元按照适当的图形作平面上的排列而形成的。在制造这种滤色片时，是根据所用颜色的数目分别独立地设置喷墨头，每一个喷墨头内的喷嘴列只喷出多种颜色中一种颜色的滤色材料，这样，就可以对上述一片基板分别使用不同颜色的喷墨头依次实现如下工序：「在使上述喷墨头作副扫描的同时，多次反复进行上述主扫描，以使上述喷嘴列内的各喷嘴组对上述基板的同一部分作重叠扫描」。

另外，在制造有上述R、G、B或者C、Y、M等多色滤色元的滤色片的场合，还可以把喷出各种颜色的多种喷嘴列安装在一个喷墨头内部来制成上述的喷墨头，这样，便可以用上述喷墨头同时进行如下的多色着色工序：在使上述喷墨头作副扫描的同时，多次反复进行上述主扫描，以使上述喷嘴列内的各喷嘴组对上述基板的同一部分作重叠扫描。

(2)接着，本发明的滤色片的制造装置用于制造把多个滤色元排列在基板上而成的滤色片，该滤色片的制造装置的特征在于，具有：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；向该喷墨头供给滤色材料的供墨装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

(3)接着，在本发明的液晶装置的制造方法中，该液晶装置包括夹持着液晶的一对基板和至少在一片基板上排列多个滤色元而成的滤色片，该液晶装置的制造方法的特征在于，包括：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；从上述多个喷嘴有选择地喷出滤色材料，在上述基板上形成上述滤色元的工序；以及使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描的工序。

(4)接着，在本发明的液晶装置的制造装置中，该液晶装置包括夹持着液晶的一对基板和至少在一片基板上排列多个滤色元而成的滤色片，该液晶装置的制造装置的特征在于，包括：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；向该喷墨头供给滤色材料的供墨装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

(5)接着，本发明的EL装置的制造方法用来制造在基板上排列多个各自包含EL发光层的像素元而成的EL装置，该EL装置的制造方法的特征在于，包括：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；从上述多个喷嘴有选择地喷出EL发光材料，在上述基板上形成上述EL发光层的工序；以及使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分能够沿主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描的工序。

(6)接着，本发明的EL装置的制造装置用来制造在基板上排列多个各自包含EL发光层的像素元而成的EL装置，该EL装置的制造装置的特征在于，包括：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；向该喷墨头供给EL发光材料的供墨装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

(7)接着，本发明的喷墨头的控制装置在制造将多个彩色图形排列在基板上而成的光学构件时使用，该喷墨头的控制装置的特征在于，包括：有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；向该喷墨头供给滤色材料的供墨装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述喷嘴组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

在上述结构的喷墨头的控制装置中，所谓「光学构件」是指滤色片、EL装置等。另外，当光学构件为滤色片时，所谓「彩色图形」适用R、G、B的各个滤色元。当光学构件为EL装置时，「彩色图形」则适用R、G、B的各色发光层或者空穴注入层等。

[附图的简要说明]

图1本发明中滤色片制造方法一个实施例的主要工序的平面示意图。

图2本发明中滤色片制造方法又一实施例的主要工序的平面示意图。

图3本发明中滤色片制造方法再一实施例的主要工序的平面示意图。

图4本发明中滤色片制造方法再一实施例的主要工序的平面示意图。

图5本发明中滤色片一个实施例和作为其基础的母基板一个实施例的平面图。

图6采用沿图5(a)中VI-VI线截断的剖面部分来表示滤色片的制造工序的示意图。

图7滤色片内R、G、B三色像素元排列图形的示例图。

图8本发明中滤色片的制造装置、本发明中液晶装置的制造装置和本发明中EL装置的制造装置等各种制造装置的主要部分喷墨装置一个实施例的斜视图。

图9图8中装置主要部分的放大斜示图。

图10图9中装置主要部分喷墨头的放大斜视图。

图11喷墨头的一个变例的斜视图。

图12喷墨头的内部结构图：(a)局部剖开的斜视图，(b)沿(a)中J-J线截断的剖面结构图。

图13喷墨头又一变例的平面图。

图14用于控制图8中喷墨装置的电气控制系统的方框图。

图15图14中控制系统进行控制的流程图。

图16喷墨头再一变例的斜视图。

图17本发明中液晶装置制造方法一个实施例的工序图。

图18用本发明中液晶装置制造方法所制成的一例液晶装置在分解状态下的斜视图。

图19沿图18中IX-IX线截断的液晶装置的剖面结构示意图。

图20本发明中EL装置制造方法的一个实施例的工序图。

图21与图20中工序图对应的EL装置的剖面图。

图22现有的滤色片制造方法一个例子的示意图。

图23用来说明现有的滤色片特性的示意图。

[发明的实施例]

(第一实施例)

下面来说明滤色片的制造方法及其制造装置的一个实施例。首先，在说明这些制造方法和制造装置之前，先对用这些制造方法等所制造的滤色片作一说明。图5(a)是滤色片的一个实施例的平面结构的示意图。另外，图6(d)则示出了沿图5(a)中的VI-VI线截断后的剖面结构。

本实施例的滤色片1的形成过程如下：在由玻璃、塑料等材料形成的方形基板2的表面上先将多个滤色元3排列成点图形状，在本实施例中则排列成点矩阵状，然后，如图6(d)所示，在其上层叠保护膜4。再有，图5(a)示出的就是揭去了保护膜4以后状态的滤色片1的平面形状。

在形成滤色元3时，先用不透光的树脂材料形成为网格状图形的间壁6，再在由间壁6隔出来的排列成点矩阵状的多个方形区域埋以着色材料。另外，这些滤色元3各自都是由R(红)、G(绿)、B(蓝)三色中的某一种颜色的着色材料形成的，而这些各种颜色的滤色元3则按照设定的图形排列。这种排列图形，例如，已知有如图7(a)所示的条形排列，如图7(b)所示的镶嵌排列，还有如图7(c)所示的三角形排列等。

条形排列，是使矩阵的纵列全都配有相同的颜色。镶嵌排列，是使排列在横行和排列在纵列上的任意三个相邻的滤色元配有R、G、B三种颜色。三角形排列中的滤色元为交错配置，任意三个相邻的滤色元都配有R、G、B三种颜色。

滤色片1的大小比如说是1.8英寸。一个滤色元3的大小比如说是3μm×100μm。各个滤色元3之间的间隔，即所谓滤色元间距，比如说是75μm。

在把本实施例中的滤色片1用作进行全色显示的光学要件时，是将R、G、B三个滤色元3作为一个单元来形成一个像素，使光有选择性地通过一个像素内的R、G、B中某一滤色元或者它们的某种组合，便可以进行全色显示。这时，由不透光树脂形成的间壁6起黑矩阵的作用。

上述滤色片1比如说是从如图5(b)所示的一块大面积的母基板12上切割下来的。具体说来，先是在母基板12内的多个设定形成滤色片的区域11的各自表面上形成一个滤色片1的图形，接着在这些滤色片形成区域11的周边形成供切断用的沟槽，最后沿这些沟槽把母基板12切断而形成一个个滤色片1。

下面来说明制造图5(a)所示的滤色片1的制造方法和制造装置。

图6示出了滤色片1的制造方法的工序顺序的原理图。先在母基板12的表面上用不透光的树脂材料制成间壁6，它们沿箭头B的方向看去形成网格状图形。这种网格状图形的格孔部分7就是待形成滤色元3的区域，或称滤色元区。由该间壁6形成的一个个滤色元区7沿箭头B方向看去的平面尺寸例如为30μm×100μm左右。

间壁6有阻止提供给滤色元区7的滤色元材料流动的作用，同时有黑矩阵的作用。另外，间壁6可以采用任意的构图方法形成，比如说用光刻法形成，必要时还可以用加热器加热烧制而成。

形成间壁6以后，如图6(b)所示，向各个滤色元区7供给滤色元材料的液滴8，从而向各个滤色元区7埋以滤色元材料13。在图6(b)中，符号13R表示有R(红)色的滤色元材料，符号13G表示有G(绿)色的滤色元材料，符号13B表示有B(蓝)色的滤色元材料。

如向各个滤色元区7内填充了预定量的滤色元材料，则用加热器把母基板12加热至比如说70℃，蒸发掉滤色元材料中的溶剂。溶剂蒸发掉以后，如图6(c)所示，滤色元材料13的体积减小，同时也变得平坦。如果体积减少过多，那么，还需要反复供给滤色元材料的液滴和并加热该液滴，直至得到充分的滤色片膜厚。经过以上的处理，最后只留下滤色元材料的固体成分的膜层，这样就形成了所希望的各种颜色的滤色元3。

在经过以上工序形成了滤色元3以后，为了使这些滤色元3完全干燥，还要在规定的温度下加热处理规定的时间。此后，再利用适当的方法如转涂法、辊涂法、剥离法或喷墨法等形成保护膜4。该保护膜4用来保护滤色元3等，同时为了使滤色片1的表面平坦化。

图8示出了用来供给并处理滤色元材料的喷墨装置的一个实施例。该喷墨装置16的作用，是把R、G、B中的某一种颜色，比如说R色的滤色元材料，作为油墨液滴喷涂并附着在母基板12[参看图5(b)]内各个滤色片形成区11内的设定位置上。喷涂G色滤色元材料和喷涂B色滤色元材料所用的喷墨装置也要分别准备，但由于它们的结构与图8所示相同，就不另作说明了。

如图8所示，喷墨装置16包括有：装有喷墨头22的喷墨头组件26、控制喷墨头22的位置的喷墨头位置控制装置17、控制母基板12的位置的基板位置控制装置18、使喷墨头22对母基板12作主扫描移动的主扫描驱动装置19、使喷墨头22对母基板12作副扫描移动的副扫描驱动装置21、把母基板12供给到喷墨装置16内设定的作业位置的基板供给装置23，此外，还包括有对喷墨装置16的整体实行控制的控制装置24。

喷墨头位置控制装置17、基板位置控制装置18、使喷墨头22对母基板12作主扫描移动的主扫描驱动装置19，还有副扫描驱动装置21，它们全都安装在基座9上。此外，根据需要，可用罩子14把这些装置罩起来。

喷墨头22，例如如图10所示，有将多个喷嘴27排成列状而形成的喷嘴列28。喷嘴27的数目例如是180个；喷嘴27的孔径例如是28μm；喷嘴27之间的喷嘴间距例如是141μm。对图5(a)和图5(b)中的滤色片1和母基板12，主扫描方向X和与之正交的副扫描方向Y的设定如图10中所示。

喷墨头22的位置被设定成向它的喷嘴列28与主扫描方向X交叉的方向伸延，在沿该主扫描方向X平移的期间，从它的多个喷嘴27有选择地喷出作为油墨的滤色元材料，使滤色元材料附着在母基板12[参看图5(b)]内的指定位置。而且，通过使喷墨头22沿副扫描方向Y平移一段设定的距离，便能以设定的间隔使喷墨头22的主扫描位置发生偏移。

喷墨头22例如具有图12(a)和图12(b)所示的内部结构。具体说来，喷墨头22有例如用不锈钢制成的喷嘴板29、与之相向的振动板31，以及把它们连接在一起的多个分隔构件32。在喷嘴板29和振动板31之间，由分隔构件32形成多个墨室33和贮液池34。

多个墨室33和贮液池34之间经通路38互相连通。

在振动板31的适当部位开有一个供墨孔36，该供墨孔36与供墨装置37相连接。该供墨装置37向供墨孔36供给R、G、B中的某一种颜色，比如说R色的滤色元材料M。被供给的滤色元材料M先充满贮液池34，然后经由通路38充满墨室33。

在喷嘴板29上设置把来自墨室33的滤色元材料M以射流状喷射的喷嘴27。而且，在振动板31的形成墨室33的那一面的背面，使之对应于该墨室33安装附有油墨加压体39。如图12(b)所示，该油墨加压体39包括有压电元件41和夹持住它的一对电极42a和42b。通过对电极42a和42b通电，压电元件41就会如箭头C所示那样作弯曲变形向外侧突出，从而使墨室33的容积增大。于是，便会有相当于增大了的容积部分的滤色元材料M从贮液池34经通路38流入墨室33。

接着，当停止向压电元件4通电时，该压电元件41和振动板便一起恢复为原来的形状。因此，由于墨室33也恢复到原来的容积，墨室33内部的滤色元材料M的压力上升，便从喷嘴27向母基板12[参看图5(b)]喷出液滴8形式的滤色元材料M。此外，在喷嘴27的周边部分，为了防止液滴8偏离方向飞散或者喷嘴27的孔堵塞等不利现象发生，还设有例如由Ni-四氟乙烯共析镀层构成的斥墨层43。

从图9可以看出，喷墨头位置控制装置17具有：使喷墨头22作平面内转动的α电动机44、使喷墨头22围绕平行于副扫描方向Y的轴线摆动转动的β电动机46、使喷墨头22围绕平行于主扫描方向X的轴线摆动转动的γ电动机47，还有使喷墨头22在上下方向平行移动的Z电动机48。

从图9可以看到，图8中所示基板位置控制装置18包括装载母基板12的平台49和使该平台49如箭头θ所标示的那样作平面内转动的θ电动机51。另外，如图9所示，图8中所示的主扫描驱动装置19包括沿主扫描方向X延伸的导轨52和内置由脉冲驱动的线性电动机的滑块53。当内置的线性电动机工作时，滑块53便沿着导轨52对主扫描方向X作平移。

另外，如图9所示，图8中所示的副扫描驱动装置21，包括沿副扫描方向Y延伸的的导轨54和内置由脉冲驱动的线性电动机的滑块56。当内置的线性电动机工作时，滑块56便沿着导轨54对副扫描方向Y作平移。

滑块53和滑块56内的脉冲驱动的线性电动机，可以通过供给该电动机的脉冲信号使其输出轴的转动角度受到精密的控制，所以，由滑块53支持的喷墨头22在主扫描方向X上的位置和平台49在副扫描方向Y上的位置等也都能受到高精密度的控制。

而且，喷墨头22和平台49的位置并不限于用脉冲电动机进行控制，也可以采用伺服电机的反馈控制或其他任意的控制方法来实现这种位置控制。

图8中所示的基板供给装置23包括收容母基板12的基板收容部57和搬运母基板12的机器人58。机器人58则有置于地板、地面等安置面上的底座59，对底座作升降移动的升降轴61，以升降轴61为中心转动的第一臂62，对第一臂62转动的第二臂63，以及设置在第二臂63顶端下面的吸垫64。吸垫64能靠空气吸引等作用吸住母基板12。

如图8所示，在由主扫描驱动装置19驱动下作主扫描移动的喷墨头22的轨迹的下方，在副扫描驱动装置21一侧位置，设置有压盖装置36和清洗装置77。另外，在另一侧设置有电子天平78。清洗装置77用来洗净喷墨头22。电子天平78用来逐个测定喷墨头22内各个喷嘴27(参看图10)所喷出的墨滴的重量。至于压盖装置76，则用来在喷墨头22处在待命状态下时防止喷嘴27(参看图10)干燥。

在喷墨头22的旁边，还设置有与该喷墨头22作整体移动的喷墨头用摄像机81。另外，设置在基座9上的支撑装置(图中未画出)用以支撑基板用的摄像机82，它被配置在能够拍摄到母基板12的位置上。

图8中所示的控制装置24，包括装有处理器的计算机主机66、作为输入设备的键盘67和作为显示装置的CRT(阴极射线管)显示器68。如图14所示，上述处理器包括有进行运算处理的CPU(中央处理单元)69和存储各种信息的存储器或者说信息存储媒体71。

图8中所示的喷墨头位置控制装置17、基板位置控制装置18、主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21，还有驱动喷墨头22内的压电元件41[参看图12(b)]的喷墨头驱动电路72等各种装置，如图14所示，全都经输入输出接口73和总线74连接到CPU69。另外，基板供给装置23、输入装置67、显示器68、电子天平78、清洗装置77以及压盖装置76等各种装置，也都经输入输出接口73和总线74连接到CPU69。

存储器71是一个总的概念，它包括了RAM(随机存取存储器)、ROM(只读存储器)等半导体存储器，还包括硬盘、CD-ROM读出装置、盘式存储媒体等外部存储装置等，从功能上说，设定有存储为记述喷墨装置16的工作的控制顺序的程序软件的存储区，存储为实现图7所示的各种R、G、B排列图形，以R、G、B中一种颜色的母基板12(参看图5)内的喷出位置作为坐标数据的存储区、存储沿着图9的副扫描方向Y母基板的副扫描移动量的存储区，供CPU69用的工作区和暂存文件等功能的区域，以及其他各种存储区。

CUP69根据存储在存储器71内的程序软件实行控制，以便把油墨亦即滤色元材料喷涂在母基板12表面的预定位置，它具有具体的功能实现部分，如为实现清洗处理进行运算的清洗运算部分，为实现压盖处理的压盖运算部分，为完成用电子天平78(参看图8)实现重量测定而进行运算的重量测定运算部分，以及通过喷墨描绘滤色元材料而进行运算的描绘运算部分。

如果再把描绘运算部分加以细分，则又包括了各种功能运算部分，如为把喷墨头22定位在描绘初始位置的描绘起始位置运算部分，为使喷墨头22沿主扫描方向X按照预定的速度作扫描移动而进行运算控制的主扫描控制运算部分，为使母基板12沿副扫描方向Y偏移一个预定的副扫描量而进行运算控制的副扫描控制运算部分，以及为使喷墨头22内的多个喷嘴27中的某一个喷嘴工作，喷出油墨亦即滤色元材料而进行运算控制的喷嘴喷出控制运算部分，等等。

再有，在本实施例中虽然使用了CPU69借助于软件来实现上述的各种功能，然而，倘若以不用CPU的单独的电子电路来实现上述的各种功能，那么，使用那样的电子电路也是可能的。

下面，根据图15所示的流程图来说明由上述结构组成的喷墨装置16的工作。

一旦操作员接通电源启动喷墨装置16，首先在步骤S1中执行初始设定。具体说来，就是设定为预先决定喷墨头组件26、基板供给装置23和控制装置24等装置的初始状态。

接着，当有重量测定定时脉冲到来时(步骤S2为YES)，图9中的主扫描驱动装置19就使喷墨头组件26移动到图8中的电子天平78所在的部位(步骤S3)，用电子天平78测定从喷嘴27喷出的油墨量(步骤S4)。然后，针对喷嘴27的喷墨特性，调节加在各个喷嘴27相应的压电元件41上的电压(步骤S5)。

再接下来，如果有清洗定时脉冲到来(步骤S6为YES)，主扫描驱动装置19就使喷墨头组件26移动到清洗装置77所在的部位(步骤S7)，由该清洗装置77洗净喷墨头22(步骤S8)。

如果没有重量测定定时脉冲，也没有清洗定时脉冲到来(步骤S2和步骤S6为NO)，或者这两个处理过程都已经结束，那么就进入步骤S9，使图8中的基板供给装置23工作，把母基板12供给到平台49。具体说来，吸垫64先从基板收容部57内吸引母基板12并使之保持，然后，使升降轴61、第一臂62和第二臂63移动，把母基板12搬运至平台49，然后按下预先将平台49设定在适当部位的定位销50(图9)。再有，为防止平台49上的母基板12错位，最好用空气吸引等方法。把母基板12固定在平台49上。

然后，一边借助于图8中基板用的摄像机82观察母基板12，一边使图9中θ电动机5的输出轴按微小角度单位转动，借以使平台49以微小角度单位作平面内转动，从而使母基板定位(步骤S10)。然后，一边借助于图8中喷墨头用的摄像机81观察母基板12，一边通过运算来确定喷墨头22开始描绘的位置(步骤S11)，接着，使主扫描驱动装置19和副扫描驱动装置21适当地工作，把喷墨头22移动到描绘起始位置(步骤S12)。

这时，如图1中位置(a)所示，喷墨头22被配置成喷嘴列28对喷墨头22的副扫描方向Y有一倾角θ。这是因为在通常的喷墨装置中，相邻喷嘴27之间的间隔即喷嘴间距与相邻滤色元3之间的间隔或者说相邻滤色元形成区7之间的间隔即滤色元间距，在多数情况下并不相同，在使喷墨头22沿主扫描方向X移动时，作这样的处置可以使喷嘴间距在副扫描方向Y上的尺寸分量在几何学上等于滤色元间距。

如采取图15的步骤S12，把喷墨头22置于描绘起始位置，则喷墨头22就被置于图1中的位置(a)。此后，在图15的步骤S13中，开始沿主扫描方向X进行主扫描，同时开始喷墨。具体说来，图9中的主扫描驱动装置19开始工作，使喷墨头22沿图1中的主扫描方向X以恒定的速度进行直线式扫描移动，在这样的移动过程中，当喷嘴27到达应该由它供墨的对应滤色元区7，就有油墨即滤色元材料从该喷嘴27喷出。

再有，这时的喷墨量并不是全部填埋滤色元区7的容积的数量，只有此总量的几分之一，在本实施例中则是总量1/4的量。这是因为，如后面还要介绍的，各个滤色元区7并不是靠喷嘴27一次喷墨就填埋得了的，而是经过了n次的重叠喷墨，在本实施例中就是经过四次重叠喷墨才填埋了全部容积。

喷墨头22对母基板12主扫描完一行以后(步骤S14为YES)，会反向移动回到起始位置(a)(步骤S15)。而且，喷墨头22还受到副扫描驱动装置21的驱动，沿副扫描方向Y移动一个预先确定的副扫描量δ(步骤S16)。

在本实施例中，CPU69在原理上把形成图1中喷墨头22的喷嘴列28的多个喷嘴27分割成多个组n。在本实施例中，n＝4，也就是说，把由180个喷嘴27形成的长度为L的喷嘴列28分割为四组。这样，一个喷嘴组就由包含180/4＝45个喷嘴27的长度L/n即L/4所确定。上述副扫描量δ被设定为上述喷嘴组长度L/4在副扫描方向上的投影，即(L/4)cosθ。

因此，在主扫描完一行回到起始位置(a)的喷墨头22，如图1中所示，要沿着副扫描方向Y平移一段距离δ，移动到位置(b)。再有，在图1中，描绘出的位置(a)和位置(b)对主扫描方向X有少许移位，这是为了便于说明而采取的画法，实际上，位置(a)和位置(b)对主扫描方向处在同样的位置。

通过副扫描已经移动到位置(b)的喷墨头22反复进行步骤S13的主扫描移动和喷墨。在进行该主扫描移动时，在母基板12上滤色片形成区11内位于第二列的扫描行接受头一组喷嘴组的第一次喷墨，与此同时，位于第一列的扫描行却接受从头数起第二喷嘴组的第二次喷墨。

此后，喷墨头22在位置(c)～位置(k)反复作副扫描移动，同时反复作主扫描移动和喷墨(步骤S13～步骤S16)，借以完成对母基板12上滤色片形成区11中的一列的涂墨处理。在本实施例中，由于按照喷嘴列28被分割成四组来决定副扫描量δ，所以，在对上述滤色片形成区11中的一列进行主扫描和副扫描终了时，各个滤色元区7都接受到四个喷嘴组的逐次喷墨处理，总计接受到四次喷墨处理，才最终接受到按其总容积所确定的全量油墨即滤色元材料。

这样，对滤色片区11中的一列终结喷墨以后，喷墨头22在副扫描驱动装置21的驱动下被搬运到下一列的滤色片区11的起始位置(步骤S19)，然后，同样对该列的滤色片形成区11反复进行主扫描、副扫描和喷墨，最后在滤色元形成区7内形成滤色元(步骤S13～S16)。

其后，如对母基板12内所有滤色片形成区11形成了R、G、B中某一种颜色例如R色的滤色元3(步骤S18为YES)，则进入步骤S20，由基板供给装置23或者其他搬运装置把处理过的母基板12送到外部。

此后，只要没有操作员发出处理结束的指令(步骤S21为NO)，则回到步骤S2，再对另一母基板12进行R色的喷墨作业。

如果操作员发出作业结束的指令(步骤S21为YES)，CPU69则把图8中的喷墨头22搬运到压盖装置76所在的部位，由该压盖装置76对喷墨头22进行压盖处理(步骤S22)。

按照以上步骤在完成了以构成滤色片的R、G、B三色中第一种颜色例如R色进行构图以后，再把母基板12搬运到形成R、G、B中的第二种颜色例如G色的滤色元材料的喷墨装置16，进行G色构图，最后，还要把母基板12搬运到形成R、G、B中的第三种颜色例如B色的滤色元材料的喷墨装置16，进行B色构图。通过这些工序，结果就制成了母基板12成品，它上面形成有多个滤色片1[图5(a)]，而滤色片1上又有按照条形图形等排列而成的所希望的R、G、B三色的点。把该母基板12切割成每个滤色片形成区11，便可得到许多单个的滤色片1。

再有，如果把这种滤色片1用于液晶装置作彩色显示，还需要在它的表面层叠电极和取向膜等。在这种情况下，如果在层叠电极和取向膜之前就把母基板12切割成一个个滤色片1，就会使后来形成电极等的工序变得非常麻烦。因此，在这种情况下，最好是在母基板12上完成滤色片1以后，不立即把母基板12切开，而是在完成了形成电极和形成取向膜等必要的附加工序之后才把母基板12切割开来。

如上所述，若采用本实施例中的滤色片的制造方法和制造装置，图5(a)中所示的滤色片1内的各个滤色元3并不是通过喷墨头22(参看图1)的一次主扫描就形成的，每个单独的滤色元3都接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴27的n次—在本实施例中是四次—的重叠喷墨才形成了预定的膜厚。因此，即使假定多个喷嘴27之间存在着喷墨量的分散性，也能防止各个滤色元3之间产生膜厚分散性。这样一来，滤色片的透光特性就能够在整个平面保持均匀一致。

不言而喻，由于在本实施例的制造方法中是利用喷墨头22的喷墨来形成滤色元3，就不必经历采用光刻法等制造方法那样的复杂工序，也避免了材料的浪费。

但是，形成喷墨头22的喷嘴列28的多个喷嘴27的喷墨量，其分布是不均匀的，这已经结合图23(a)做过说明。而且特别是在喷嘴列28靠近两端位置的若干个喷嘴27，例如每一端的10个喷嘴27，喷墨量尤其偏大，上面已经述及。这样一来，如果使用了喷墨量比其他喷嘴大很多的喷嘴，那么，就不能指望得到均匀一致的喷墨膜亦即滤色元的膜厚。

因此，理想的办法如图13所示，是预先设定不使在形成喷嘴列28的多个喷嘴27中位于喷嘴列28两端部分E的若干个—例如10个左右—喷墨，而只把剩下部分F的喷嘴27分成若干组，比如说四组，然后以该喷嘴组单位进行副扫描移动。

在本第1实施例中，制作间壁6使用的是不透光的树脂材料，其实也可以使用透光的树脂材料制作透光间壁6。在后一种场合，只需要在每两个滤色元之间的对应位置，例如在间壁6的上面或者下面，另行设置有遮光性的金属膜或者树脂材料，以形成黑矩阵。不过，用透光性树脂材料来形成间壁6，就不必设置黑矩阵。

另外，在本第1实施例中，作为滤色元，采用的是R、G、B，其实，并不限于R、G、B，例如，也不妨采用例如M(深蓝)、Y(黄)、M(深红)。在后一种场合，也就不使用R、G、B的滤色元材料，而要改用具有C、Y、M色的滤色元材料。

再有，在本第1实施例中，间壁6是用光刻法形成的，但也可以同滤色片一样，用喷墨法来形成间壁6。

(第2实施例)

图2示意地表示出在本发明的滤色片的制造方法和制造装置的另一实施例中，如何用喷墨头22向母基板12上滤色片形成区11内的各个滤色元形成区7喷涂油墨亦即滤色元材料。

本实施例中所进行的概略工序，与图6中示出的工序相同；喷墨用的喷墨装置，也与图8中所示的装置在机构上相同。而且，图14中的CPU69在原理上把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组，例如四组，然后再对应于各个喷嘴组的长度L/n或者说L/4来决定副扫描量δ，这一点也与图1的情形相同。

本实施例与图1所示的前一个实施例的不同点在于，对存储于图14的存储器71内的程序软件加以改变，具体地说，对由CPU69所进行的主扫描控制运算和副扫描控制运算加以改变。

更具体说来，在图2中，喷墨头22在沿着主扫描方向X进行扫描移动结束以后，并不移动回到起始位置，而是在朝着一个方向进行主扫描移动结束后受到控制，立即沿着副扫描方向Y移动一个相当于一个喷嘴组的移动量δ，移至位置(b)，此后，再沿着主扫描方向X朝着与上述方向相反的方向进行扫描移动，回到在副扫描方向Y上偏离起始位置(a)一段距离δ的新位置(b’)。再有，当然在从位置(a)到位置(b)进行主扫描期间和在从位置(b)到位置(b’)进行主扫描期间的这两个期间，都会有油墨从多个喷嘴27有选择性地喷出。

换句话说，在本实施例中，喷墨头22在进行主扫描和割扫描时，其间并没有插进复位动作，二者是交替着连续进行的，这样一来，由于省去了复位动作所花的时间，整个工作时间得以缩短。

(第3实施例)

图3示意地表示出在本发明的滤色片的制造方法和制造装置的又一实施例中，如何用喷墨头22向母基板12上滤色片形成区11内各个滤色元形成区7喷涂油墨亦即滤色元材料。

本实施例中所进行的概略工序，与图6中示出的工序相同；喷墨用的喷墨装置，也与图8中所示的装置在机构上相同。而且，图14中的CPU69在原理上把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组，例如四组，这一点也与图1的情形相同。

本实施例与图1所示的头一个实施例的不同点在于，在图15的步骤S12中，当把喷墨头22设定在母基板12上的描绘起始位置时，喷墨头22的方位是使其喷嘴列28的延伸方向与副扫描方向Y平行，如图3中位置(a)所示。当喷嘴头22内的喷嘴间距与母基板12上的滤色元间距相等时，这样的喷嘴排列结构是有利的结构。

在本实施例中，喷墨头22从起始位置(a)至终端位置(k)也是沿着主扫描方向X作主扫描移动，接着回到起始位置，最后再沿着副扫描方向Y以一个移动量δ作副扫描移动，如此反复作业，同时在进行主扫描移动期间从多个喷嘴27有选择性地喷出油墨即滤色元材料，由此向母基板12上滤色片形成区11内的滤色元形成区7涂敷滤色元材料。

再有，在本实施例中，由于嘴嘴列28的位置设定与副扫描方向Y平行，副扫描移动量δ就设定为等于分割后的喷嘴组的长度L/n，即L/4。

(第4实施例)

图4示意表示出在本发明的滤色片的制造方法和制造装置的又一实施例中，如何用喷墨头22向母基板12上滤色片形成区11内各个滤色元形成区7喷涂油墨亦即滤色元材料。

本实施例中所进行的概略工序，与图6中示出的工序相同；喷墨用的喷墨装置，也与图8中所示的装置在机构上相同。而且，图14中的CPU69在原理上把形成喷嘴列28的多个喷嘴27分成n组，例如四组，这一点也与图1的情形相同。

本实施例与图1所示的头一个实例的不同点在于，在图15的步骤S12中，当把喷墨头22设定在母基板12上的描绘起始位置时，喷墨头22的方位是使其喷嘴列28的延伸方向与副扫描方向Y平行，如图4(a)所示；还在于同图2的实施例一样，喷墨头22在进行主扫描和副扫描时，其间没有插进复位动作，二者是交替着连续进行的。

再有，在图4所示的本实施例和在图3所示的上一个实施例中，由于主扫描方向X对喷嘴列28成直角的方向，如图11所示，沿主扫描方向X设置有两列喷嘴列28，所以，载于同一主扫描行的两个喷嘴27可对一个滤色元区7供给滤色元材料。

(第5实施例)

图16示出了在本发明的滤色片的制造方法和制造装置的再一实施例中所用的喷墨头22A。该喷墨头22A与图10中所示的喷墨头22的不同点在于，将喷出R色油墨的喷嘴列28R、喷出G色油墨的喷嘴列28G和喷出B色油墨的喷嘴列28B一共三种喷嘴列形成为一个喷墨头22A，而且这三种喷嘴列各自都设有如图12(a)和图12(b)所示的喷墨系统：将R色的供墨装置37R连接到对应于R色喷嘴列28R的喷墨系统，将G色的供墨装置37G连接到对应于G色喷嘴列28G的喷墨系统，将B色的供墨装置37B连接到对应于B色喷嘴列28B的喷墨系统。

在实施例中所进行的概略工序，与图6中示出的工序相同；喷墨用的喷墨装置，也与图8中所示的装置基本相同。另外，图14中的CPU69把形成喷嘴列28R、28G和28B的多个喷嘴27在原理上分成n组，例如四组，对每一个这样的喷嘴组，使喷墨头22A以副扫描移动量δ进行副扫描，这一点也与图1的情形相同。

在图1所示的实施例中，对喷墨头22只设置了一种喷嘴列28，若要形成由R、G、B三种颜色组成的滤色片，必须按R、G、B三种颜色分别准备如图8中所示的喷墨头22。与此不同的是，在使用具有图16中所示结构的喷墨头22A时，喷墨头22A沿主扫描方向X进行一次主扫描即可向母基板12同时喷涂R、G、B三种颜色，所以，只准备一个喷墨头22A就足够了。而且，通过使三色喷嘴列之间的间隔与母基板上滤色元区的间距一致，可以同时喷涂R、G、B三种颜色。

(第6实施例)

图17示出了本发明中液晶装置的制造方法的一个实施例。图18示出了按照该制造方法制成的液晶装置的一个实施例。图19示出了沿图18中IX-IX线截断该液晶装置的剖面结构。在说明这种液晶装置的制造方法和制造装置之前，首先举一个例子来说明用该制造方法所制成的液晶装置。而且，本实施例的液晶装置属于用简单矩阵方式进行彩色显示的半透射反射方式的液晶装置。

在图18中，可通过下述工序形成液晶装置101：将用来驱动液晶的半导体芯片IC103a和IC103b安装在液晶面板102上，将作为布线连接要件的FPC(柔性印刷电路)104连接到液晶面板102上，并且在液晶面板102的背侧还设置照明装置106作为背光。

液晶面板102是把第一基板107a和第二基板107b用密封材料108贴合在一起形成的。密封材料108例如可以用丝网印刷等方法使环氧树脂以环状粘附在第一基板107a或者第二基板107b的内侧表面而形成。而且，在密封材料108的内部，如图19所示，包含用导电材料形成的处于分散状态的球形或者圆柱形的导电体109。

如图19所示，第一基板107a有用透明玻璃或者透明塑料等制成的板状基体材料111a。在此基体材料111a的内侧表面(图19中的上侧表面)上，形成有反射膜112，其上层叠有绝缘膜113，再上面是第一电极114a，沿箭头D的方向看去呈条形(参看图18)，再上面形成取向膜116a。另外，在基体材料111a的外侧表面(图19中的下侧表面)，用粘贴等方法贴附偏振片117a。

在图18中，为了把第一电极114a的排列情况表示得更清楚，那些电极条的间距比实际情况要宽得多，因此画出的第一电极114a的条数很少，但实际上，在基体材料111a上形成有比第一电极114a多的多条电极条。

如图19所示，第二基板107b也有用透明玻璃或透明塑料等制成的板状基体材料111b。在此基体材料111b的内侧表面(图19中的下侧表面)上形成有滤色片118，其上再形成第二电极114b，沿箭头D方向看去呈条形，且与上述第一电极114a正交(参看图18)，在其上还形成有取向膜116b。

此外，在基体材料111b的外侧表面(图19中的上侧表面)，用粘贴等方法还贴附有偏振片117b

在图18中，为了更清楚地表示出第二电极114b的排列情况，同第一电极114a的情形一样，那些电极条的间距比实际情况要宽得多，从而画出的第二电极114b的条数很少，但实际上，在基体材料111b上形成有比第二电极114b多的多条电极条。

如图19所示，在由第一基板107a、第二基板107b和密封材料108所围成间隙内，亦即在所谓盒隙内，封入例如STN(超扭曲向列)液晶L。在第一基板107a或者第二基板107b的内侧表面上还分布有大量微小的球形衬垫119，这些衬垫119存在于盒隙内能起到保持该盒厚均匀一致的作用。

第一电极114a和第二电极114b二者作正交排列，因此，沿图19中箭头D的方向看去，它们的交叉点排列成点阵状。而且，该点阵状的各交叉点构成一个像素元。沿箭头D看去，滤色片118是通过将R(红)、G(绿)、B(蓝)各色要素排列成一定的图形，例如条形图形、三角形图形或者镶嵌形图形等形成的。上述一个像素元对应于R、G、B三色的中每一色，而且，R、G、B三色像素元作为一个单元，构成一个像素。

通过使排列成点阵状的多个像素元从而使像素有选择性地发光，在液晶面板102的第二基板107b的外侧就会有文字、数字等图像显示出来。这样做可使有图像显示的区域为有效像素区，在图18和图19中由箭头V标示出来的矩形平面区域则为有效显示区。

在图19中，反射膜112由APC合金、AL(铝)等反光材料形成，在对应于第一电极114a和第二电极114b交叉点的各个像素元的位置形成开口121。结果，沿图19中箭头D的方向看去，开口121也与像素元一样排列成点阵状。

第一电极114a和第二电极114b例如可以由透明导电材料ITO形成。另外，取向膜116a和116b都是通过涂敷聚酰亚胺树脂而形成为厚度均匀的膜层。这些取向膜116a和116b都经过摩擦处理，由此决定了第一基板107a和第二基板107b表面上液晶分子的初始取向。

在图18中，第一基板107a比起第二基板107b来，面积要大些，在把二者用密封材料108贴合在一起时，第一基板107a有伸出第二基板107b外侧的伸出部分107c。而且，在该基板的伸出部分107c上，按照合适的图形形成从第一电极114a延伸出来的引线114c，经存在于密封材料108内部的导电体109(参看图19)与第二基板107b上的第二电极114b导通的引线114d，与用来驱动液晶的IC103a的输入凸点即输入端子连接的金属布线114e，以及与用来驱动液晶的IC103b的输入凸点连接的金属布线114f等各种布线。

在本实施例中，从第一电极114a延伸出来的引线114c和接通第二电极114b的引线114d，都是使用与这些电极相同的材料ITO即导电氧化物形成的。另外，用来驱动液晶的IC103a和IC103b的输入一侧的布线即金属布线114e和114f则使用低电阻值的金属材料，例如APC合金形成。APC合金主要含有Ag，也附带有Pd和Cu的合金，例如，由Ag98％、Pd1％和Cu％构成的合金。

在本实施例中，驱动液晶用的IC103a和IC103b借助于ACF(各向异性导电膜)122粘结安装到基板伸出部分107c的表面。也就是说，在本实施例中，液晶面板是用半导体芯片直接安装在基板上的结构，即所谓COG(芯片键合在玻璃上)方式形成的。在该COG型的安装结构中，借助于ACF122内部含有的导电粒子，将驱动液晶用的IC103a和IC103b的输入凸点同金属布线114e和114f导电连接起来，驱动液晶用的IC103a和IC103b的输出凸点同引线114c和114d导电连接起来。

如图18所示，FPC104包括可弯曲的树脂膜片123、由包含芯片部件124而构成的电路126和金属布线端子127。电路126用焊接或另外的导电连接方法直接安装在树脂膜片123上。而且，金属布线端子127用APC合金、Cr、Cu或者其他导电材料形成。FPC104中形成金属布线端子127的部分，通过ACF122与第一基板107a中形成金属布线114e和114f的部分连接起来。而且，借助于ACF122内部含有的导电粒子的作用来实现基板一侧的金属布线114e和114f与FPC一侧的金属布线端子127的导电连通。

在FPC104的相反一侧的边缘部位，形成有与外部连接的端子131，该外部连接端子131与图中没有画出的外部电路连接。然后，根据该外部电路传送的信号驱动用来驱动液晶的IC103a和IC103b，并且向第一电极114a和第二电极114b中的一方提供扫描信号和向另一方提供数据信号。这样一来，在有效显示区V内排列而成的点阵状的像素元使各自的像素元受到电压控制，从而液晶L的取向受各自的像素元控制。

如图19所示，在图18中起着所谓背光作用的照明装置106包括有由丙烯酸树脂等构成的导光体132、设置在该导光体132的光出射面132b上的漫射片133、设置在导光体132的光出射面132b相反面上的反射片134，以及作为发光源的LED(发光二极管)136。

LED136受到LED基板137支撑，而该LED基板137例如安装在与导光体132一起整体形成的支撑部分(图中未画出)上。通过把LED基板137安装在支撑部分的设定位置，可以将LED136置于朝向导光体132的侧端受光面132a的位置。符号138标出的是用来缓冲加于液晶面板102的冲击的缓冲材料。

LED136发光时，它的光从受光面132a进入并被导入导光体132内部，在一边传播一边受到反射片134和导光体132壁面反射的期间，从光出射面132经过漫射片133以平面光的形式出射到外部。

由于本实施例中的液晶装置101具有以上结构，在太阳光、室内光等外部光足够明亮的场合，如图19所示，这些外部光从第二基板107b一侧进入液晶面板102内部，在那里通过液晶L以后经反射膜112反射再提供给液晶L。液晶L在夹持它的电极114a和114b的作用下，在每个R、G、B像素元上受到取向控制，从而提供给液晶L的光也在每个像素元上受到调制。借助于这种调制产生能够通过偏振片117b的光和不能通过它的光，于是，就向液晶面板102的外部显示出文字、数字等图像。这时进行的是反射型显示。

另一方面，在无法获得充足的外部光的场合，LED136发光，从导光体132的光出射面132b出射平面光。这些光通过在反射膜112上形成的开口121提供给液晶L。这时，同反射型显示的情形一样，所提供的光在每个像素元上受到取向被控制的液晶L的调制，从而向外部显示出图像。这时进行的是透射型显示。

具有上述结构的液晶装置101例如就可以采用图17所示的制造方法来制造。在此制造方法中，从工序P1到工序P6的一系列工序都属于形成第一基板107a的工序，从工序P11到工序P14的一系列工序则属于形成第二基板107b的工序。第一基板形成工序和第二基板形成工序通常是分别独立进行的。

先来说明第一基板形成工序。首先在用透光玻璃、透光塑料等形成的大面积的原料母基板上用光刻法等形成液晶面板102的多个部分的反射膜112，接着在其上用熟知的成膜法形成绝缘膜113(工序P1)，然后，采用光刻法等形成第一电极114a以及布线114c、114d、114e和114f(工序P2)。

接下来，用涂敷或者印刷等方法在第一电极114a上形成取向膜116a(工序P3)，此取向膜116a再经过摩擦处理，决定液晶的初始取向(工序P4)。接下来，例如采用丝网印刷一类方法形成若干环形密射材料108(工序P5)，在其上再撒入球形衬垫119(工序P6)。通过以上工序，就形成了大面积的第一母基板，它上面有液晶面板102的第一基板107a上的多个面板图形。

在上述第一基板形成工序之外，还进行第二基板形成工序(图17中的工序P11～工序P14)。首先准备用透光玻璃、透光塑料之类材料制成的大面积原料母基板，在其表面上形成液晶面板102的多个部分的滤色片118(工序P11)。形成这些滤色片的工序是采用图6中所示的制造方法进行的。在该制造方法中，形成R、G、B各色滤色元采用了图8中的喷墨装置16，按照图1、图2、图3或图4等所示的控制喷墨头的方法来进行加工。关于这些滤色片的制造方法和控制喷墨头的方法，与此前已说明的内容相同，这里不再赘述。

如图6(d)所示，在母基板12即原料母基板上形成滤色片1即滤色片118之后，接着便用光刻法形成第二电极114b(工序P12)，再接着采用涂敷或印刷等方法形成取向膜116b(工序P13)，最后对该取向膜116b进行摩擦处理，以决定液晶的初始取向(工序P14)。通过以上工序，便形成了大面积的第二母基板，它上面有液晶面板102的第二基板107b上的多个面板图形。

在通过以上工序制成大面积的第一母基板和第二母基板之后，把这些母基板通过夹持其间的密封材料108在对位后相互贴合在一起(工序P21)。这样就制成了包括液晶面板的多个面板部分，这些面板部分形成在没有封入液晶状态下的空心面板结构。

然后，在已制成的空心面板结构的预定位置形成划片沟槽，即供切断用的沟槽，再以该沟槽作为基准把面板结构掰开(工序P22)。这样就形成了各液晶面板部分的密封材料108的液晶注入用开口110(参看图18)处于外露状态的所谓长条形空心面板结构。

此后，通过这些露出的液晶注入用的开口110把液晶L注入到各个液晶面板部分的内部，再用树脂等把各液晶注入口110封死(工序P23)。通常的液晶注入处理例如是在贮存容器内贮存液晶，把贮存该液晶的贮存容器与长条状空心面板结构放入真空室，在真空室被抽成真空状态以后在真空室内把长条状空心面板结构浸入液晶中，然后，向真空室放气至大气压。这时，空心面板结构内部处于真空状态，液晶就在大气压的作用下通过液晶注入用开口被导入空心面板结构内部。液晶注入后，液晶面板结构上会附着一些液晶，因此，经过液晶注入处理后的长条状面板还要在工序P24中接受洗净处理。

此后，对注入了液晶且清洗完毕的长条状母板结构上按预定位置形成划片沟槽，再以该划片沟槽为基准切割成长条状面板，由此再逐一切割出多个液晶面板(工序P25)。在这样制成的各个液晶面板102上，如图18所示，分别安装上驱动液晶用的IC103a和IC103b，安装上作为背光的照明装置106，再连接上FPC104，最后就完成了所需的液晶装置101(工序P26)。

上面说明的液晶装置的制造方法和制造装置，尤其在制造滤色片的阶段，具有如下特征。即：图5(a)所示的滤色片1亦即图19中的滤色片118内的每一个滤色元3，并不是喷墨头22(参看图1)只作一次主扫描X就形成的，而是接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴27的n次—例如四次—的重叠喷墨才形成了预定的膜厚。因此，假定即使多个喷嘴27彼此之间喷墨量存在分散性，也可避免多个滤色元3之间产生膜厚的分散性，从而能使滤色片的透光特性均匀一致。所以，在图19的液晶装置中，可以得到没有色彩不匀现象的鲜艳的彩色显示。

而且，在本实施例的液晶装置的制造方法和制造装置中，由于使用了图8所示的喷墨装置16，通过采用喷墨头22的喷墨来形成滤色元3，因而不必经过采用光刻法那样的复杂工序，也没有材料的浪费。

(第7实施例)

图20给出了本发明中EL装置的制造方法的一个实施例。图21则表示了该制造方法的主要工序和最终获得的EL装置的主要剖面结构。如图21(d)所示，在透明基板204上形成像素电极202，在各个像素电极202之间形成一些围堤205，它们从箭头G的方向看去呈网格状，在这些网格状凹部内形成空穴注入层220，在各网格状凹部内形成R色发光层203R、G色发光层203G和B色发光层203B，从箭头G的方向看去，它们呈条形排列等预定的排列，在它们的上面，再形成对置电极213，从而形成了EL装置201。

如用TFD(Thin Film Diode：薄膜二极管)元件等两端型有源元件来驱动上述像素电极202的场合，上述对置电极213从箭头G的方向看去形成为条形。在用TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)等三端型有源元件来驱动像素电极202的场合，则上述对置电极213就形成为单一的面电极。

被各像素电极202和各对置电极213二者所夹持的区域形成一个像素元，R、G、B三色的像素元组成一个单元，形成一个像素。通过控制流过各像素元的电流，可以有选择地使多个像素元中所希望的像素元发光，于是就在箭头H方向显示出所希望的全色图像。

上述EL装置201例如可以采用图20中所示的制造方法来制造。

亦即，在工序P51，如图21(a)所示，先在透明基板204的表面上形成TFD元件或者TFT元件一类有源元件，接着再形成像素电极202。至于形成方法，可以采用例如光刻法、真空淀积法、溅射法或者熔溶胶法等。用作像素电极的材料，则有ITO(氧化铟锡)、氧化锡、氧化铟与氧化锌的复合氧化物等。

接着，在工序P52，如图21(a)所示，用熟知的构图方法，比如光刻法，形成间壁即围堤205。用该围堤205填埋在各个透明电极202之间。从而可以提高对比度，防止发光材料混色并防止从像素与像素之间漏光。用作围堤205的材料，只要对EL材料的溶剂具有耐腐蚀性，并无特殊限制，不过，最好要能够进行碳氟气体等离子体处理的氟化处理，例如，最好是丙烯酸树脂、环氧树脂、感光聚酰亚胺等有机材料。

接下来，在喷涂空穴注入层用的油墨之前，对基板204进行氧气和碳氟气体等离子体的连续等离子体处理(工序P53)。通过这样的处理，使聚酰亚胺表面具有斥水性，使ITO表面具有亲水性，从而能够控制基板这一侧的沾湿性，使得喷墨液滴能够构成微细的图形。产生等离子体的装置，可以用在真空中产生等离子体的装置，同样可以用在大气中产生等离子体的装置。

然后，在工序P54中，如图21(a)所示，从图8中的喷墨装置16的喷墨头22喷出空穴注入层用的油墨，在各个像素电极202上进行构图喷涂。具体的喷墨头控制方法采用图1、图2、图3或图4所示的方法。喷涂之后，再在真空(1 torr)、室温和20分钟的条件下除去溶剂(工序P55)。此后，还要在大气中，在20℃的温度(在热板上)热处理10分钟，最后便形成了与发光层用的油墨不相溶的空穴注入层220(工序P56)。膜厚为40nm。

接下来，在工序P57中，如图21(b)所示，在各个滤色元区内的空穴注入层220上采用喷墨法喷涂上R发光层用的油墨和G发光层用的油墨。在这里，各发光层用的油墨也从图8中的喷墨装置16的喷墨头22喷出，此外，喷墨头的控制方法则按照图1、图2、图3或图4中所示的方法。采用喷墨法可以简便地并在短时间里构建出微细的图形。而且，还可以通过改变油墨组成物中固体成分的浓度和喷墨量来改变膜厚。

在喷涂过发光层用的油墨之后，在真空(1 toll)、室温和20分钟的条件下除去溶剂(工序P58)，接着再在氮气气氛中进行四小时的150℃热处理，使之共轭化，形成R色发光层203R和G色发光层203G(工序P59)。膜厚为50nm。通过热处理共轭化后的发光层不溶于溶剂。

而且，在形成发光层之前，可对空穴注入层220进行氧气和碳氟气体等离子体的连续等离子体处理。经过这样的处理，在空穴注入层220上会形成氟化物层，通过提高电离势而提高空穴注入效率，最后提供发光效率高的有机EL装置。

接着，在工序P60中，如图21(c)所示，将B色发光层203B重叠形成在各个像素元内的R色发光层203R、G色发光层203G和空穴注入层220上。这样一来，不仅形成了R、G、B三原色，而且还填平了R色发光层203R和G色发光层203G与围堤205之间的台阶，得到平坦的表面。由此，能够有效地防止上下电极之间发生短路。通过调整B色发光层203B的膜厚，B色发光层203B与R色发光层203R和G色发光层203G的层叠结构起着电子注入输运层的作用，不会发出B色光。

形成上述B色发光层203B的方法，例如，可以是属于湿法的通常的转涂法，或者可以用形成R色发光层203R和G色发光层203G的方法一样，采用喷墨法。

再以后，在工序P61中，如图21(d)所示，通过形成对置电极213，便制成了所需要的EL装置201。在对置电极213为面电极的场合，例如可以采用Mg、Ag、Al或Li等作为材料，采用蒸发法、溅射法等成膜法形成。另外，在对置电极213为条形电极的场合，那么，就要用到光刻法一类构图方法来形成已成膜的电极层。

在采用上面说明的EL装置的制造方法和制造装置时，作为控制喷墨头的方法，采用了图1、图2、图3或图4等所示的控制方法，因此，图21中各个像素元内的空穴注入层220和R、G、B各色发光层203R、203G和203B，都不是喷墨头22(参看图1)只进行一次主扫描X就形成的，一个像素元内的空穴注入层和/或各色发光层都是接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴27的n次—例如四次—的重叠喷墨才达到预定的膜厚。所以，假定即使多个喷嘴27彼此之间存在着喷墨量的分散性，多个像素元之间也能够防止产生膜厚的分散性，因而EL装置发光面的发光分布特性得以在平面上保持均匀一致。所以，在图21(d)的EL装置201中，可以得到没有色彩不匀现象的鲜艳的彩色显示。

而且，在本实施例的EL装置的制造方法和制造装置中，由于采用了图8中所示的喷墨装置16，通过采用喷墨头22喷墨来形成R、G、B各种颜色的像素元，因而不必经过采用光刻法那样的复杂工序，也没有材料的浪费。

(其他实施例)

上面举出一些优选的实施例说明了本发明，然而本发明并不限于这些实施例，也可以在权利要求所述的发明范围内有种种变化。

例如，在图8和图9所示的滤色片的制造装置中，是使喷墨头22沿主扫描方向X移动，是靠副扫描驱动装置21使基板12移动而实现喷墨头22对基板12的副扫描，其实也可以反过来，通过基板12的移动进行主扫描，通过喷墨头22的移动进行副扫描。

而且，在上述实施例中，使用了具有利用压电元件的弯曲变形喷出油墨的结构的喷墨头，其实也可以使用其他任意结构的喷墨头。

而且，在上述实施例中，作为示例给出的都是主扫描方向与副扫描方向正交的最常见的结构，其实，主扫描方向与副扫描方向之间的关系并不限于正交关系，也可以呈任意角度交叉。

而且，在上述实施例中，虽然以滤色片的制造方法和制造装置、滤晶装置的制造方法和制造装置、EL装置的制造方法和制造装置为例进行了说明，其实本发明并不限于这些，有可能用于在对象物上构建微细图形的一切工业技术部门。

例如，可以举出各种半导体元件(薄膜晶体管、薄膜二极管等)、各种布线图形、绝缘膜的形成方法等等，作为其应用范围的一个例子。

作为从喷墨头喷出的材料，可依据在基板等对象物上形成的要件作种种选择，例如，除了上述油墨和EL发光材料之外，还可以举出石英玻璃前体、金属化合物等导电材料、电介质材料或半导体材料等作为其一个例子。

而且，在上述实施例中，虽然为简便起见称为“喷墨头”，但不用说，从该喷墨头喷出的喷出物并不限于油墨，例如还可以是上述的EL发光材料、石英玻璃前体、金属化合物等导电材料、电介质材料或半导体材料等各种各样的材料。采用上述实施例中的制造方法制成的液晶装置和EL装置均可以装载于例如移动电话机、便携式计算机等电子装置的显示部分。

[发明的效果]

如采用本发明的滤色片的制造方法和制造装置，则滤色片内的各个滤色元并不是喷墨头扫描一次形成的，每一个滤色元都是接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴的重叠喷墨才达到预定的膜厚，因此，假定即使多个喷嘴彼此之间存在着喷墨量的分散性，多个滤色元之间也能够防止产生膜厚的分散性，因而，滤色片的透光特性得以在平面内保持均匀一致。

而且，本发明由于是使用喷墨头的方法，不必经过采用光刻法那样的复杂工序，也没有材料的浪费。

而且，如采用本发明液晶装置的制造方法和制造装置，则在制造滤色片的阶段，滤色片内的各个滤色元并不是喷墨头扫描一次形成的，每一个滤色元都接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴的重叠喷墨才达到预定的膜厚，因此，假定即使多个喷嘴彼此之间存在着喷墨量的分散性，多个滤色元之间也能够防止产生膜厚的分散性，因而，滤色片的透光特性得以在平面内保持均匀一致。其结果，可以得到没有色彩不匀现象的鲜艳的彩色图像。

而且，如采用本发明的EL装置的制造方法和制造装置，则各个像素元内的R、G、B各色发光层并不是喷墨头只主扫描一次形成的，这些各种颜色的发光层是接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴的重叠喷墨才达到预定的膜厚。因此，假定即使各个喷嘴彼此之间存在着喷墨量的分散性，多个像素元之间也能够防止产生膜厚的分散性，因而，EL装置发光面的发光分布特性得以在平面内保持均匀一致，其结果是，可以得到没有色彩不匀现象的鲜艳的彩色图像。

而且，在本发明的EL装置的制造方法和制造装置中，由于是使用喷墨头喷墨来形成R、G、B各色像素元，没有必要经过采用光刻法那样的复杂工序，也没有材料的浪费。

而且，如采用本发明的喷墨头控制装置，则各个彩色图形并不是喷墨头扫描一次形成的，每一个彩色图形都是接受到属于不同喷嘴组的多个喷嘴多次喷墨才达到预定的膜厚，因此，即使多个喷嘴组彼此之间存在着喷墨量的分散性，多个彩色图形之间也能够防止产生膜厚的分散性，从而彩色图形的光学特性得以在光学构件的平面内保持均匀一致。

因此，在作为光学构件的滤色片中，可以形成作为彩色图形的R、G、B各色滤色元，它在平面内有均匀一致的膜厚。而且，在作为光学构件的EL元件中，可以形成作为彩色图形的R、G、B发光层和空穴注入层，它们在平面内有均匀一致的膜厚。

Claims (23)

1.一种滤色片的制造方法，用来制造在基板上排列多个滤色元而成的滤色片，其特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；

从上述多个喷嘴有选择地喷出滤色材料，在上述基板上形成上述滤色元的工序；以及

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描的工序。

2.如权利要求1中所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方以上述喷嘴组在副扫描方向上长度的整数倍长度进行副扫描移动。

3.如权利要求1或2中所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

使上述喷嘴列对上述副扫描方向倾斜配置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

设上述喷嘴列长度为L，被上述分割而形成的上述喷嘴组的数目为n，上述喷嘴列与上述副扫描方向的夹角为θ，则上述副扫描移动量δ为

                  δ(L/n)cosθ

5.如权利要求1至3中任一项所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

不使油墨从上述喷嘴列两端部分的若干个喷嘴喷出。

6.如权利要求5所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

设上述喷嘴列之中在扣除不使喷出上述油墨的两端部分后剩下部分的长度为L，被上述分割而形成的上述喷嘴组的数目为n，上述喷嘴列与上述副扫描方向的夹角为θ，则上述副扫描移动量δ为

                   δ(L/n)cosθ

7.如权利要求1中所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

设置多个上述喷墨头，同时从各自的喷墨头的喷嘴列喷出颜色互不相同的滤色材料。

8.如权利要求1中所述的滤色片的制造方法，其特征在于：

上述喷墨头内设置多个上述喷嘴列，同时从各上述喷嘴列喷出颜色互不相同的上述滤色材料。

9.一种滤色片的制造装置，用来制造在基板上排列多个滤色元而成的滤色片，其特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；

向该喷墨头供给滤色材料的供墨装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；

控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；

控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及

控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板同一部分进行扫描。

10.一种液晶装置的制造方法，该液晶装置包括夹持着液晶的一对基板和至少在一片基板上排列多个滤色元而成的滤色片，该液晶装置的制造方法的特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；

从上述多个喷嘴有选择地喷出滤色材料，在上述基板上形成上述滤色元的工序；以及

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描的工序。

11.一种液晶装置的制造装置，该液晶装置包括夹持着液晶的一对基板和至少在一片基板上排列多个滤色元而成的滤色片，该液晶装置的制造装置的特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；

向该喷墨头供给滤色材料的供墨装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；

控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；

控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及

控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

12.一种EL装置的制造方法，用来制造在基板上排列有多个各自包含EL发光层的像素元而成的EL装置，该EL装置的制造方法的特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；

从上述多个喷嘴有选择地喷出EL发光材料，在上述基板上形成上述EL发光层的工序；以及

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描的工序。

13.一种EL装置的制造装置，用来制造在基板上排列多个各自包含EL发光层的像素元而成的EL装置，该EL装置的制造装置的特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；

向该喷墨头供给EL发光材料的供墨装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；

控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；

控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及

控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

14.一种喷墨头的控制装置，在制造将多个彩色图形排列在基板上而成的光学构件时使用，该喷墨头的控制装置的特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；

向该喷墨头供给滤色材料的供墨装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；

控制从上述多个喷嘴喷出油墨的喷嘴喷出控制装置；

控制上述主扫描驱动装置工作的主扫描控制装置；以及

控制上述副扫描驱动装置工作的副扫描控制装置，

使上述喷墨头和上述基板中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述基板的同一部分进行扫描。

15.一种材料喷涂方法，用来将材料喷涂到对象物上，其特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，上述喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头，使该喷墨头和上述对象物中的一方对另一方沿主扫描方向移动的工序；

使从上述多个喷嘴向上述对象物有选择地喷涂材料的工序；以及

使上述喷墨头和上述对象物中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组中至少一部分能够沿上述主扫描方向对上述对象物的同一部分进行扫描的工序。

16.如权利要求15中所述的材料喷涂方法，其特征在于；

使上述喷墨头和上述对象物中的一方对另一方以上述喷嘴组在副扫描方向上长度的整数倍长度进行副扫描移动，同时多次反复进行上述主扫描。

17.如权利要求15或16中所述的材料喷涂方法，其特征在于：

使上述多个喷嘴对上述副扫描方向倾斜排列。

18.如权利要求15至17中任一项所述的材料喷涂方法，其特征在于：

设上述喷嘴列的长度为L，被上述分割而形成的上述喷嘴组的数目为n，上述喷嘴列与上述副扫描方向的夹角为θ，则上述副扫描移动量δ为

                  δ(L/n)cosθ

19.如权利要求15至17中任一项所述的材料喷涂方法，其特征在于：

不使材料从上述喷嘴列两端部分的若干喷嘴喷出。

20.如权利要求19中所述的材料喷涂方法，其特征在于：

设上述喷嘴列之中在扣除不使喷出上述材料的两端部分后剩下部分的长度为L，被上述分割而形成的上述喷嘴组的数目为n，上述喷嘴列与上述副扫描方向的夹角为θ，则上述副扫描移动量δ为

                   δ(L/n)cosθ

21.一种材料喷涂装置，用来将材料喷涂到对象物上，其特征在于，包括：

有将多个喷嘴排成列状而成的喷嘴列，该喷嘴列又被分割成多个组而成的喷墨头；

向该喷墨头供给材料的材料供给装置；

使上述喷墨头和上述对象物中的一方对另一方沿主扫描方向移动的主扫描驱动装置；

使上述喷墨头和上述对象中的一方对另一方沿副扫描方向移动的副扫描驱动装置；以及

控制从上述多个喷嘴喷出上述材料的喷嘴喷出控制装置，

使上述喷墨头和上述对象物中的一方对另一方进行副扫描，以使各上述组能够沿上述主扫描方向对上述对象物的同一部分进行扫描。

22.一种电子装置，它使用权利要求10中所述的液晶装置的制造方法装配所制造的液晶装置。

23.一种电子装置，它使用权利要求12中所述的EL装置的制造方法装配所制造的EL装置。

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