KR20020039614A - 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치, 액정 장치의 제조방법 및 제조 장치, ｅｌ 장치의 제조 방법 및 제조 장치,잉크젯 헤드의 제어 장치, 재료의 토출 방법 및 토출장치, 및 전자 기기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 컬러 필터의 광투과 특성, 액정 장치의 컬러 표시 특성, EL 발광면의 발광 특성 등과 같은 광학 부재의 광학 특성을 평면적으로 균일하게 하는 것으로, 기판(12) 상에 복수의 도트 형상의 필터 소자(3)를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 제조하는 컬러 필터의 제조 방법이다. 복수의 노즐(27)을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열(28)을 갖는 잉크젯 헤드(22)에 의해 기판(12)을 X 방향으로 주 주사(主走査)하면서, 복수의 노즐(27)로부터 선택적으로 필터 재료를 토출시켜 필터 소자 영역(7)에 필터 소자(3)를 형성한다. 복수의 노즐(27)을 복수의 그룹으로 분할하여, 이들의 노즐 그룹이 기판(12)의 동일 부분을 재차 주사하도록 잉크젯 헤드(22)를 Y 방향으로 거리 δ만큼 부 주사(副走査)시키면서 주 주사를 복수회 반복하여 실행한다.

Description

컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치, 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치, ＥＬ 장치의 제조 방법 및 제조 장치, 잉크젯 헤드의 제어 장치, 재료의 토출 방법 및 토출 장치, 및 전자 기기{METHODS AND APPARATUSES FOR MAKING COLOR FILTER, LIQUID CRYSTAL DEVICE, AND ELECTRO-LUMINESCENT DEVICE, AND INKJET HEAD CONTROLLER, AND A METHOD FOR DISCHARGING MATERIAL, AND AN APPARATUS FOR DISCHARGING MATERIAL}

본 발명은 액정 장치 등과 같은 광학 장치에 이용되는 컬러 필터를 제조하는 제조 방법 및 제조 장치와, 컬러 필터를 갖는 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치와, EL 발광층을 이용하여 표시하는 EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치와, 대상물에 재료를 토출시키는 재료의 토출 방법 및 토출 장치 및 이들 제조 방법을 이용하여 제조된 액정 장치, 또는 EL 장치를 탑재한 전자 기기에 관한 것이다.

최근, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등과 같은 전자 기기의 표시부에 액정 장치, EL 장치 등과 같은 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 또한 최근에는 표시 장치에 의해 풀 컬러 표시(full color display)를 행하는 경우가 많아지고 있다. 액정 장치에 의한 풀 컬러 표시는, 예컨대, 액정층에 의해 변조되는 광을 컬러 필터에 통과시킴으로써 행해진다. 그리고, 컬러 필터는 유리, 플라스틱 등에 의해 형성된 기판의 표면에, 예컨대, R(적색), G(녹색), B(청색)의 도트 형상의 각 색 필터 소자를 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등과 같은 소정의 배열로 나열함으로써 형성된다.

또한, EL 장치에 의해 풀 컬러 표시를 행하는 경우에는, 예컨대, 유리, 플라스틱 등에 의해 형성된 기판의 표면에, 예컨대, R(적색), G(녹색), B(청색)의 도트 형상의 각 색 EL 발광층을 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등과 같은 소정의 배열로 나열하고, 이들 EL 발광층을 한 쌍의 전극 사이에 유지하여 화소 픽셀을 형성하고, 이들 전극에 인가하는 전압을 화소 픽셀마다 제어함으로써 해당 화소 픽셀을 희망의 색으로 발광시키고, 이에 따라, 풀 컬러 표시를 행한다.

종래, 컬러 필터의 R, G, B 등의 각 색 필터 소자를 패터닝하는 경우나, EL 장치의 R, G, B 등의 각 색의 화소 픽셀을 패터닝하는 경우에, 포토리소그래피법을 이용하는 것은 공지이다. 그러나 이 포토리소그래피법을 이용하는 경우에는, 공정이 복잡하거나, 각 색재료나 포토레지스트 등을 다량으로 소비하므로 비용이 높아지는 등의 문제가 있었다.

이 문제를 해소하기 위해서, 잉크젯법에 의해 필터 재료나 EL 발광 재료 등을 도트 형상으로 토출시킴으로써 도트 형상 배열의 필라멘트나 EL 발광층 등을 형성하는 방법이 제안되었다.

지금, 도 22(a)에서, 유리, 플라스틱 등에 의해 형성된 넓은 면적의 기판, 소위 마더 보드(301)의 표면에 설정되는 복수의 패널 영역(302)의 내부 영역에, 도 22(b)에 도시하는 바와 같이, 도트 형상으로 배열된 복수의 필터 소자(303)를 잉크젯법에 근거하여 형성하는 경우를 고려한다.

이 경우에는, 예컨대, 도 22(c)에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐(304)을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열(305)을 갖는 잉크젯 헤드(306)를, 도 22(b)에 화살표 A1 및 화살표 A2로 나타내는 바와 같이, 하나의 패널 영역(302)에 대해서 복수회(도 22에서는 2회) 주 주사시키면서, 그들의 주 주사 동안에 복수의 노즐로부터 선택적으로 잉크, 즉, 필터 재료를 토출시킴으로써 희망 위치에 필터 소자(303)를 형성한다.

필터 소자(303)는 R, G, B 등의 각 색을 스트라이프 배열, 델타 배열, 모자이크 배열 등과 같은 적절한 배열 형태로 배열함으로써 형성되는 것이므로, 도 22(b)에 나타내는 잉크젯 헤드(306)에 의한 잉크 토출 처리는 R, G, B의 단색을 토출시키는 잉크젯 헤드(306)를 R, G, B 등의 3색 분량 만큼 미리 마련해 두고, 그들 잉크젯 헤드(306)를 순서대로 이용하여 하나의 마더 보드(301) 상에 R, G, B 등의 3색 배열을 형성한다.

그런데, 잉크젯 헤드(306)에 대해서는, 일반적으로 노즐열(305)을 구성하는 복수의 노즐(304)의 잉크 토출량에 편차가 있으며, 예컨대, 도 23(a)에 도시하는 바와 같이, 노즐열(305)의 양단부에 대응하는 위치의 토출량이 많고, 그 중앙부가 그 다음으로 많으며, 그들 중간부의 토출량이 적다고 하는 잉크 토출 특성 Q를 갖는다.

따라서, 도 22(b)에 도시하는 바와 같이 하여, 잉크젯 헤드(306)에 의해 필터 소자(303)를 형성했을 때, 도 23(b)에 도시하는 바와 같이, 잉크젯 헤드(306)의 단부에 대응하는 위치 P1 또는 중앙부 P2, 혹은 P1 및 P2의 양쪽에 농도가 짙은 라인이 형성되어, 컬러 필터의 평면적인 광투과 특성이 불균일해진다는 문제가 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 컬러 필터의 광투과 특성, 액정 장치의 컬러 표시 특성, EL 발광면의 발광 특성 등과 같은 광학 부재의 광학 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있는 각 광학 부재의 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

(1) 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법은 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 제조하는 컬러 필터의 제조 방법으로서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대하여 주 주사 방향으로 이동시키는 공정과, 상기 복수의 노즐로부터 선택적으로 필터 재료를 토출시켜 상기 기판 상에 상기 필터 소자를 형성하는 공정과, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대하여 부 주사시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 따르면, 컬러 필터 내 각각의 필터 소자는 잉크젯 헤드의 1회 주사에 의해 형성되는 것은 아니고, 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐에 의해 반복하여 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성되기 때문에, 가령 복수의 노즐 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 필터 소자 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 컬러 필터의 광투과 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있다.

물론, 본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은 잉크젯 헤드를 이용하는 방법이기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.

상기 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 및 기판 중 하나를 상기 노즐 그룹의 부 주사 방향 길이의 정수배 길이로 다른 하나에 대해 부 주사 이동시킬 수 있다. 이렇게 하면, 복수의 노즐 그룹이 상기 기판의 동일 부분을 반복하여 주사하게 되어, 각 노즐 그룹 내의 노즐에 의해 각각의 필터 소자 영역에 잉크가 재차 공급된다.

또한, 상기 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 상기 노즐열은 상기 부 주사 방향에 대해 경사지게 배치할 수 있다. 노즐열은 복수의 노즐을 열형상으로배열함으로써 형성된다. 이 경우, 노즐열의 배치 상태가 잉크젯 헤드의 부 주사 방향에 대해 평행하다고 하면, 노즐로부터 토출된 필터 소자 재료에 의해 형성되는 필터 소자가 서로 이웃하는 소자간의 간격, 즉, 소자간 피치는 노즐열을 형성하는 복수 노즐의 노즐간 피치와 같아진다.

소자간 피치가 노즐간 피치와 같아도 되는 경우에는 상기한 바와 같이 해도 무방하지만, 이와 같은 경우는 거의 드문 경우이며, 보통은 소자간 피치와 노즐간 피치가 다른 경우가 많다. 이와 같이 소자간 피치와 노즐간 피치가 다른 경우에는, 상기 구성과 같이, 노즐열을 잉크젯 헤드의 부 주사 방향에 대해 경사지게 함으로써, 노즐간 피치의 부 주사 방향에 따른 길이를 소자간 피치에 맞출 수 있다. 또, 이 경우에는 노즐열을 구성하는 각 노즐의 위치가 주 주사 방향에 대해서 앞뒤로 어긋나게 되지만, 이에 대해서는 각 노즐로부터의 필터 소자 재료의 토출 타이밍을 엇갈리게 함으로써, 각 노즐로부터의 잉크를 희망 위치에 공급할 수 있다.

또한, 상기 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 잉크젯 헤드의 부 주사 이동 길이는 다음과 같이 해서 결정할 수 있다. 즉, 상기 노즐열 길이를 L, 상기 분할에 의해 형성되는 상기 그룹 수를 n, 상기 노즐열이 상기 부 주사 방향과 이루는 각도를 θ라고 할 때, 상기 부 주사 이동 길이 δ는,

로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 잉크젯 헤드는 복수의 노즐을 부 주사 방향으로 노즐 그룹마다 이동시킬 수 있다. 그 결과, 예컨대, 노즐열이 4개의 노즐 그룹으로 분할되는 경우를 고려하면, 기판 상의 각 부는 4개의 노즐 그룹에 의해 재차주 주사된다.

다음으로, 상기 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 상기 노즐열의 양단 부분 중 몇 개의 노즐로부터는 필터 소자 재료를 토출시키지 않는다는 제어 방법을 채용할 수 있다. 일반적인 잉크젯 헤드에서 잉크 토출 분포가 노즐열의 양단 부분에서 다른 부분에 비해 변화하는 것은 도 23(a)에 관련되어 설명한 바와 같다. 이러한 잉크 토출 분포 특성을 갖는 잉크젯 헤드에 대해서는, 변화가 큰 노즐열 양단 부분 중 몇 개의 노즐을 제외한 잉크 토출 분포가 균일한 복수의 노즐을 사용하기로 하면, 필터 소자의 막두께를 평면적으로 균일하게 할 수 있다.

또한, 상기와 같이 노즐열의 양단 부분 중 몇 개의 노즐을 사용하지 않고 처리하는 경우에는, 잉크젯 헤드의 부 주사 이동 길이는 다음과 같이 하여 결정할 수 있다. 즉, 상기 노즐열 중 상기 잉크를 토출시키지 않는 것으로 한 양단부 노즐을 제외한 부분의 길이를 L, 상기 분할에 의해 형성되는 상기 그룹 수를 n, 상기 노즐열이 상기 부 주사 방향과 이루는 각도를 θ라고 할 때, 상기 부 주사 이동 길이 δ는,

로 할 수 있다.

다음으로, 상기한 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 의해 제조되는 컬러 필터는, R(적색), G(녹색), B(청색), 또는 C(시안색), Y(노란색), M(마젠타색) 등의 복수색 필터 소자를 평면적인 적절한 패턴으로 배열함으로써 형성된다고 생각된다. 이러한 컬러 필터를 제조하는 경우에는, 복수색 중 한 종류의 필터 재료를 노즐열로부터 토출시키는 잉크젯 헤드를 색수만큼 각각 독립적으로 마련하고, 「상기 노즐열 내의 각 노즐 그룹이 상기 기판의 동일 부분을 재차 주사하도록 상기 잉크젯 헤드를 부 주사시키면서 상기 주 주사를 복수회 반복하여 실행한다」고 하는 공정은, 상기 하나의 기판에 대해 각 색마다의 잉크젯 헤드를 따로따로 이용하여 순차적으로 실행함으로써 실현할 수 있다.

또한, 상기와 같은 R, G, B, 또는 C, Y, M 등의 복수색 필터 소자를 갖는 컬러 필터를 제조하는 경우, 각 색을 토출시키는 복수 종류의 노즐열을 하나의 헤드 내부에 형성함으로써 상기 잉크젯 헤드를 형성하고, 「상기 노즐열 내의 각 노즐 그룹이 상기 기판의 동일 부분을 재차 주사하도록 상기 잉크젯 헤드를 부 주사시키면서 상기 주 주사를 복수회 반복하여 실행한다」는 공정은 상기 잉크젯 헤드에 의해 복수색에 대하여 동시에 행할 수도 있다.

(2) 다음으로, 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치는 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 제조하는 컬러 필터의 제조 장치로서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와, 해당 잉크젯 헤드로 필터 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과, 상기 복수의 노즐로부터의 잉크 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과, 상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과, 상기 부주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단을 갖고, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 한다.

(3) 다음으로, 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법은 액정을 사이에 유지하는 한 쌍의 기판과, 적어도 하나의 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 갖는 액정 장치의 제조 방법으로서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 공정과, 상기 복수의 노즐로부터 선택적으로 필터 재료를 토출시켜 상기 기판 상에 상기 필터 소자를 형성하는 공정과, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

(4) 다음으로, 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 장치는, 액정을 사이에 유지하는 한 쌍의 기판과, 적어도 하나의 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 갖는 액정 장치의 제조 장치에 있어서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와, 해당 잉크젯 헤드로 필터 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과, 상기 복수의 노즐로부터의 잉크의 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과, 상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과, 상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단을 갖고, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 한다. 이것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 장치.

(5) 다음으로, 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법은 각각이 EL 발광층을 포함하는 복수의 화소 픽셀을 기판 상에 배열하여 이루어지는 EL 장치의 제조 방법에 있어서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 공정과, 상기 복수의 노즐로부터 선택적으로 EL 발광 재료를 토출시켜 상기 기판 상에 상기 EL 발광층을 형성하는 공정과, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

(6) 다음으로, 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 장치는 각각이 EL 발광층을 포함하는 복수의 화소 픽셀을 기판 상에 배열하여 이루어지는 EL 장치의 제조 장치에 있어서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와, 해당 잉크젯 헤드로 EL 발광 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와, 해당 잉크젯 헤드로 상기 EL 발광 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과, 상기 복수의 노즐로부터의 잉크 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과, 상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과, 상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단을 갖고, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 한다.

(7) 다음으로, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제어 장치는 기판 상에 복수의 색 패턴을 배열하여 이루어지는 광학 부재를 제조할 때에 이용되는 잉크젯 헤드의 제어 장치에 있어서, 복수의 노즐을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와, 해당 잉크젯 헤드로 필터 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과, 상기 복수의 노즐로부터의 잉크 토출을 제어하는노즐 토출 제어 수단과, 상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과, 상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단을 갖고, 각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 한다.

상기 구성의 잉크젯 헤드의 제어 장치에 있어서, 「광학 부재」로서는 컬러 필터, EL 장치 등이 고려된다. 또한, 광학 부재로서 컬러 필터를 고려하는 경우에는, 「색 패턴」으로서는 R, G, B의 각 필터 소자가 해당한다. 또한, 광학 부재로서 EL 장치를 고려하는 경우에는, 「색 패턴」으로서는 R, G, B의 각 색 발광층이나 정공 주입층 등이 해당된다.

도 1은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법의 일 실시예의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,

도 2는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법의 다른 실시예의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,

도 3은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법의 또 다른 실시예의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,

도 4는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법의 또 다른 실시예의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,

도 5는 본 발명에 따른 컬러 필터의 일 실시예 및 그 기초가 되는 마더 기판의 일 실시예를 나타내는 평면도,

도 6은 도 5(a)의 VI-VI선 단면 부분을 이용하여 컬러 필터의 제조 공정을 모식적으로 나타내는 도면,

도 7은 컬러 필터에서의 R, G, B 3색의 화소 픽셀의 배열예를 나타내는 도면,

도 8은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치, 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 장치 및 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 장치와 같은 각 제조 장치의 주요 부분인 잉크젯 장치의 일 실시예를 나타내는 사시도,

도 9는 도 8의 장치의 주요부를 확대하여 나타내는 사시도,

도 10은 도 9의 장치의 주요부인 잉크젯 헤드를 확대하여 나타내는 사시도,

도 11은 잉크젯 헤드의 변형예를 나타내는 사시도,

도 12는 잉크젯 헤드의 내부 구조를 나타내는 도면으로서, (a)는 일부 파단 사시도를 나타내고, (b)는 (a)의 J-J선 단면 구조를 나타내는 도면,

도 13은 잉크젯 헤드의 다른 변형예를 나타내는 평면도,

도 14는 도 8의 잉크젯 헤드 장치에 이용되는 전기 제어계를 나타내는 블록도,

도 15는 도 14의 제어계에 의해 실행되는 제어의 흐름을 나타내는 흐름도,

도 16은 잉크젯 헤드의 또 다른 변형예를 나타내는 사시도,

도 17은 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내는 공정도,

도 18은 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법에 의해 제조되는 액정 장치의 일례를 분해 상태로 나타내는 사시도,

도 19는 도 18에서의 IX-IX선에 따른 액정 장치의 단면 구조를 나타내는 단면도,

도 20은 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내는 공정도,

도 21은 도 20에 나타내는 공정 도면에 대응하는 EL 장치의 단면도,

도 22는 종래의 컬러 필터의 제조 방법의 일례를 나타내는 도면,

도 23은 종래의 컬러 필터의 특성을 설명하기 위한 도면.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 컬러 필터2 : 기판

3 : 필터 소자4 : 보호막

6 : 격벽7 : 필터 소자 형성 영역

11 : 컬러 필터 형성 영역12 : 마더 기판

13 : 필터 소자 재료16 : 잉크젯 장치

17 : 헤드 위치 제어 장치18 : 기판 위치 제어 장치

19 : 주 주사(主走査) 구동 장치21 : 부 주사(副走査) 구동 장치

22 : 잉크젯 헤드26 : 헤드 유닛

27 : 노즐28 : 노즐열

39 : 잉크 가압체41 : 압전 소자

49 : 테이블76 : 캡핑 장치(capping unit)

77 : 클리닝 장치78 : 전자 천칭

81 : 헤드용 카메라 82 : 기판용 카메라

101 : 액정 장치102 : 액정 패널

107a, 107b : 기판111a, 111b : 기재

114a, 114b : 전극118 : 컬러 필터

201 : EL 장치202 : 화소 전극

203R, 203G, 203B : 발광층204 : 기판

205 : 뱅크213 : 대향 전극

220 : 정공 주입층 L : 액정

M : 필터 소자 재료X : 주 주사 방향

Y : 부 주사 방향

(실시예 1)

이하, 컬러 필터의 제조 방법 및 그 제조 장치의 일 실시예에 대해 설명한다. 우선, 그들의 제조 방법 및 제조 장치를 설명하기에 앞서, 그들의 제조 방법 등을 이용하여 제조되는 컬러 필터에 대해 설명한다. 도 5(a)는 컬러 필터의 일 실시예의 평면 구조를 모식적으로 나타내고 있다. 또한, 도 6(d)는 도 5(a)의 VI-VI선 단면 구조를 나타내고 있다.

본 실시예의 컬러 필터(1)는 유리, 플라스틱 등에 의해 형성된 사각형 형상의 기판(2) 표면에 복수의 필터 소자(3)를 도트 패턴 형상, 본 실시예에서는 도트매트릭스 형상으로 형성하고, 또한 도 6(d)에 도시하는 바와 같이, 그 위에 보호막(4)을 적층함으로써 형성되어 있다. 또, 도 5(a)는 보호막(4)을 제거한 상태의 컬러 필터(1)를 평면적으로 나타내고 있다.

필터 소자(3)는 투광성이 없는 수지 재료에 의해 격자 형상의 패턴으로 형성된 격벽(6)에 의해 구획되고 도트 매트릭스 형상으로 나열된 복수의 사각형 형상의 영역을 색재(色材)로 채움으로써 형성된다. 또한, 이들 필터 소자(3)는 각각 R(적색), G(녹색), B(청색) 중 어느 한 색의 색재에 의해 형성되고, 그들 각 색 필터 소자(3)가 소정의 배열로 나열되어 있다. 이 배열로서는, 예컨대, 도 7(a)에 나타내는 스트라이프 배열, 도 7(b)에 나타내는 모자이크 배열, 도 7(c)에 나타내는 델타 배열 등이 알려져 있다.

스트라이프 배열은 매트릭스의 세로열이 모두 같은 색이 되는 배색이다. 모자이크 배열은 종횡의 직선상에 나열된 임의의 3개의 필터 소자가 R, G, B의 3색으로 되는 배색이다. 그리고, 델타 배열은 필터 소자의 배치를 매우 멀게 하여, 임의의 인접하는 3개의 필터 소자가 R, G, B의 3색으로 되는 배색이다.

컬러 필터(1)의 크기는, 예컨대, 1.8인치이다. 또한, 하나의 필터 소자(3)의 크기는, 예컨대, 30㎛×100㎛ 이다. 또한, 각 필터 소자(3) 사이의 간격, 소위 소자간 피치는, 예컨대, 75㎛ 이다.

본 실시예의 컬러 필터(1)를 풀 컬러 표시를 위한 광학 요소로서 이용하는 경우에는, R, G, B 3개의 필터 소자(3)를 하나의 유닛으로 하여 하나의 화소를 형성하고, 1 화소 내의 R, G, B 중 어느 하나 또는 그들을 조합한 광을 선택적으로통과시킴으로써, 풀 컬러 표시를 행한다. 이 때, 투과성이 없는 수지 재료에 의해 형성된 격벽(6)은 검정 매트릭스로서 작용한다.

상기 컬러 필터(1)는, 예컨대, 도 5(b)에 도시하는 바와 같은 넓은 면적의 마더 기판(12)으로부터 잘라내어진다. 구체적으로는, 우선, 마더 기판(12) 내에 설정된 복수의 컬러 필터 형성 영역(11) 각각의 표면에 컬러 필터(1) 한 개 분량의 패턴을 형성하고, 또한 그들 컬러 필터 형성 영역(11)의 주위에 절단용 홈을 형성하고, 또한 그들 홈에 따라 마더 기판(12)을 절단함으로써, 각각의 컬러 필터(1)가 형성된다.

이하, 도 5(a)에 나타내는 컬러 필터(1)를 제조하는 제조 방법 및 그 제조 장치에 대해 설명한다.

도 6은 컬러 필터(1)의 제조 방법을 공정 순서대로 모식적으로 나타내고 있다. 우선, 마더 기판(12)의 표면에 투과성이 없는 수지 재료에 의해 격벽(6)을 화살표 B 방향으로부터 보아 격자 형상 패턴으로 형성한다. 격자 형상 패턴의 격자 구멍의 부분(7)은 필터 소자(3)가 형성되는 영역, 즉, 필터 소자 영역이다. 이 격벽(6)에 의해 형성되는 각각의 필터 소자 영역(7)의 화살표 B 방향으로부터 본 경우의 평면 치수는, 예컨대, 30㎛×100㎛ 정도로 형성된다.

격벽(6)은 필터 소자 영역(7)에 공급되는 필터 소자 재료의 유동을 저지하는 기능 및 검정 매트릭스의 기능을 더불어 갖는다. 또한, 격벽(6)은 임의의 패터닝방법, 예컨대, 포토리소그래피법에 의해 형성되고, 또한 필요에 따라 히터로 가열되어 소성된다.

격벽(6)의 형성 후, 도 6(b)에 도시하는 바와 같이, 필터 소자 재료의 액체 방울(8)을 각 필터 소자 영역(7)에 공급함으로써, 각 필터 소자 영역(7)을 필터 소자 재료(13)로 채운다. 도 6(b)에서, 참조 부호 13R은 R(적색)의 색을 갖는 필터 소자 재료를 나타내고, 참조 부호 13G는 G(녹색)의 색을 갖는 필터 소자 재료를 나타내며, 참조 부호 13B는 B(청색)의 색을 갖는 필터 소자 재료를 나타내고 있다.

각 필터 소자 영역(7)에 소정량의 필터 소자 재료가 충전되면, 히터로 마더 기판(12)을, 예컨대, 70℃ 정도로 가열해서 필터 소자 재료의 용매를 증발시킨다. 이 증발에 의해, 도 6(c)에 도시하는 바와 같이, 필터 소자 재료(13)의 부피가 감소되어 평탄화된다. 부피의 감소가 심한 경우에는, 컬러 필터로서 충분한 막두께가 얻어질 때까지 필터 소자 재료의 액체 방울 공급과 그 액체 방울의 가열을 반복 실행한다. 이상의 처리에 의해, 최종적으로 필터 소자 재료의 고형분만이 잔류하여 막이 형성됨으로써, 희망하는 각 색 필터 소자(3)가 형성된다.

이상으로부터 필터 소자(3)가 형성된 후, 그들 필라멘트(3)를 완전히 건조시키기 위해서, 소정 온도에서 소정 시간 가열 처리를 실행한다. 그 후, 예컨대, 스핀코팅법(spin coating process), 롤코팅법, 리핑법, 또는 잉크젯법 등과 같은 적절한 방법을 이용하여 보호막(4)을 형성한다. 이 보호막(4)은 필터 소자(3) 등의 보호 및 컬러 필터(1) 표면의 평탄화를 위해 형성된다.

도 8은 도 6(b)에 나타낸 필터 소자 재료의 공급 처리를 행하기 위한 잉크젯 장치의 일 실시예를 나타내고 있다. 이 잉크젯 장치(16)는 R, G, B 중 한 색, 예컨대, 적색의 필터 소자 재료를 잉크의 액체 방울으로서, 마더 기판(12)(도 5(b)참조) 내의 각 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 소정 위치에 토출시켜 부착시키기 위한 장치이다. 녹색의 필터 소자 재료 및 청색의 필터 소자 재료를 위한 잉크젯 장치도 각각 준비되지만, 그들의 구조는 도 8의 구조와 동일하게 할 수 있으므로, 그들에 대한 설명은 생략한다.

도 8에서, 잉크젯 장치(16)는 잉크젯 헤드(22)를 갖춘 헤드 유닛(26)과, 잉크젯 헤드(22)의 위치를 제어하는 헤드 위치 제어 장치(17)와, 마더 기판(12)의 위치를 제어하는 기판 위치 제어 장치(18)와, 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)에 대해 주 주사 이동시키는 주 주사 구동 장치(19)와, 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)에 대해 부 주사 이동시키는 부 주사 구동 장치(21)와, 마더 기판(12)을 잉크젯 장치(16) 내의 소정의 작업 위치로 공급하는 기판 공급 장치(23)와, 그리고 잉크젯 장치(16)의 전반적인 제어를 담당하는 제어 장치(24)를 갖는다.

헤드 위치 제어 장치(17), 기판 위치 제어 장치(18), 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)에 대해 주 주사 이동시키는 주 주사 구동 장치(19), 그리고 부 주사 구동 장치(21)의 각 장치는 베이스(9) 상에 설치된다. 또한, 그들 각 장치는 필요에 따라 커버(14)로 덮인다.

잉크젯 헤드(22)는, 예컨대, 도 10에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐(27)을 열형상으로 나열시킴으로써 형성된 노즐열(28)을 갖는다. 예컨대, 노즐(27)의 수는 180개이며, 노즐(27)의 구멍 직경은 28㎛이며, 노즐(27) 사이의 노즐 피치는 141㎛이다. 도 5(a) 및 도 5(b)에서 컬러 필터(1) 및 마더 기판(12)에 대한 주 주사 방향 X 및 직교하는 부 주사 방향 Y는, 도 10에서 도시하는 바와 같이 설정된다.

잉크젯 헤드(22)는 그 노즐열(28)이 주 주사 방향 X와 교차하는 방향으로 연장되도록 위치 설정되어, 이 주 주사 방향 X로 평행 이동하는 동안에, 잉크로서의 필터 소자 재료를 복수의 노즐(27)로부터 선택적으로 토출시킴으로써, 마더 기판(12)(도 5(b) 참조) 내의 소정 위치에 필터 소자 재료를 부착시킨다. 또한, 잉크젯 헤드(22)는 부 주사 방향 Y로 소정 거리만큼 평행 이동함으로써, 잉크젯 헤드(22)에 의한 주 주사 위치를 소정의 간격으로 비키어 둘 수 있다.

잉크젯 헤드(22)는, 예컨대, 도 12(a) 및 도 12(b)에 나타내는 내부 구조를 갖는다. 구체적으로는, 잉크젯 헤드(22)는, 예컨대, 스테인레스제의 노즐 플레이트(29)와, 그에 대향하는 진동판(31)과, 그들을 서로 접합하는 복수의 경계 부재(32)를 갖는다. 노즐 플레이트(29)와 진동판(31) 사이에는 경계 부재(32)에 의해 복수의 잉크실(33)과 용액실(34)이 형성된다.

복수의 잉크실(33)과 용액실(34)은 통로(38)를 거쳐서 서로 연결되어 있다.

진동판(31)의 적합한 위치에는 잉크 공급 구멍(36)이 형성되고, 이 잉크 공급 구멍(36)에 잉크 공급 장치(37)가 접속된다. 이 잉크 공급 장치(37)는 R, G, B 중 한 색, 예컨대, 적색의 필터 소자 재료 M을 잉크 공급 구멍(36)으로 공급한다. 공급된 필터 소자 재료 M은 용액실(34)에 가득차고, 또한 통로(38)를 통해 잉크실(33)에 가득찬다.

노즐 플레이트(29)에는 잉크실(33)로부터 필터 소자 재료 M을 제트식 분사(jet-discharging)하기 위한 노즐(27)이 마련되어 있다. 또한, 진동판(31)의잉크실(33)을 형성하는 면의 이면에는 해당 잉크실(33)에 대응되는 잉크 가압체(39)가 설치되어 있다. 이 잉크 가압체(39)는, 도 12(b)에 도시하는 바와 같이, 압전 소자(41) 및 그것을 사이에 유지하는 한 쌍의 전극(42a, 42b)을 갖는다. 압전 소자(41)는 전극(42a, 42b)으로의 통전에 의해 화살표 C로 나타내는 외측으로 돌출하도록 휘어지고, 이에 따라 잉크실(33)의 용적이 증대한다. 그러면, 증대한 용적분에 상당하는 필터 소자 재료 M이 용액실(34)로부터 통로(38)를 통해 잉크실(33)로 유입된다.

다음으로, 압전 소자(41)로의 통전을 해제하면, 해당 압전 소자(41)와 진동판(31)은 함께 본래의 형상으로 되돌아간다. 이에 따라, 잉크실(33)도 본래의 용적으로 되돌아가기 때문에 잉크실(33) 내부에 있는 필터 소자 재료 M의 압력이 상승하여, 노즐(27)로부터 마더 기판(12)(도 5(b) 참조)을 향해서 필터 소자 재료 M이 액체 방울(8)로 되어 분출된다. 또, 노즐(27)의 주변부에는 액체 방울(8)의 이탈이나 노즐(27) 구멍의 막힘 등을 방지하기 위해서, 예컨대, Ni-테트라플루오르에틸렌 도금층으로 이루어지는 반발 잉크층(43)이 마련된다.

도 9에서, 헤드 위치 제어 장치(17)는 잉크젯 헤드(22)를 면내 회전시키는 α모터(44)와, 잉크젯 헤드(22)를 부 주사 방향 Y와 평행한 축선 주위로 요동 회전시키는 β 모터(46)와, 잉크젯 헤드(22)를 주 주사 방향과 평행한 축선 주위로 요동 회전시키는 γ 모터(47)와, 그리고 잉크젯 헤드(22)를 상하 방향으로 평행 이동시키는 Z 모터(48)를 갖는다.

도 8에 나타낸 기판 위치 제어 장치(18)는, 도 9에서, 마더 기판(12)을 탑재하는 테이블(49)과, 그 테이블(49)을 화살표 θ와 같이 면내 회전시키는 θ 모터(51)를 갖는다. 또한, 도 8에 나타낸 주 주사 구동 장치(19)는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 주 주사 방향 X로 연장되는 가이드 레일(52)과, 펄스 구동되는 리니어 모터를 내장한 슬라이더(53)를 갖는다. 슬라이더(53)는 내장된 리니어 모터가 작동할 때에 가이드 레일(52)을 따라 주 주사 방향으로 평행 이동한다.

또한, 도 8에 나타낸 부 주사 구동 장치(21)는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 부 주사 방향 Y로 연장되는 가이드 레일(54)과, 펄스 구동되는 리니어 모터를 내장한 슬라이더(56)를 갖는다. 슬라이더(56)는 내장된 리니어 모터가 작동할 때에 가이드 레일(54)을 따라 부 주사 방향 Y로 평행 이동한다.

슬라이더(53)나 슬라이더(56) 내에서 펄스 구동되는 리니어 모터는 해당 모터에 공급하는 펄스 신호에 의해 출력축의 회전 각도 제어를 정밀하게 실행할 수 있으므로, 슬라이더(53)에 지지된 잉크젯 헤드(22)의 주 주사 방향 X 상의 위치나 테이블(49)의 부 주사 방향 Y 상의 위치 등을 매우 정밀하게 제어할 수 있다.

또, 잉크젯 헤드(22)나 테이블(49)의 위치 제어는 펄스 모터를 이용한 위치 제어에 한정되지 않고, 서보 모터를 이용한 피드백 제어나, 기타 임의의 제어 방법에 의해 실현할 수도 있다.

도 8에 나타낸 기판 공급 장치(23)는 마더 기판(12)을 수용하는 기판 수용부(57)와, 마더 기판(12)을 반송하는 로봇(58)을 갖는다. 로봇(58)은 마루, 지면 등과 같은 설치면에 놓여지는 기대(基臺)(59)와, 기대(59)에 대해 승강 이동하는 승강축(61)과, 승강축(61)을 중심으로 하여 회전하는 제 1 아암(62)과, 제 1아암(62)에 대해 회전하는 제 2 아암(63)과, 제 2 아암(63)의 선단 하면에 마련된 흡착 패드(64)를 갖는다. 흡착 패드(64)는 공기 흡인 등에 의해 마더 기판(12)을 흡착할 수 있다.

도 8에서, 주 주사 구동 장치(19)에 의해 구동되어 주 주사 이동하는 잉크젯 헤드(22)의 궤적하에서 부 주사 구동 장치(21)의 한 쪽에, 캡핑 장치(76) 및 클리닝 장치(77)가 배치된다. 또한, 다른 쪽에 전자 천칭(78)이 배치된다. 클리닝 장치(77)는 잉크젯 헤드(22)를 세정하기 위한 장치이다. 전자 천칭(78)은 잉크젯 헤드(22) 내의 각각의 노즐(27)(도 10 참조)로부터 토출되는 잉크의 액체 방울 중량을 노즐마다 측정하는 기기이다. 그리고, 캡핑 장치(76)는 잉크젯 헤드(22)가 대기 상태에 있을 때에 노즐(27)(도 10 참조)의 건조를 방지하기 위한 장치이다.

잉크젯 헤드(22)의 근방에는 그 잉크젯 헤드(22)와 일체적으로 이동하는 관계로 헤드용 카메라(81)가 배치된다. 또한, 베이스(9) 상에 마련한 지지 장치(도시하지 않음)에 지지된 기판용 카메라(82)가 마더 기판(12)을 촬영할 수 있는 위치에 배치된다.

도 8에 나타낸 제어 장치(24)는 프로세서를 수용한 컴퓨터 본체부(66)와, 입력 장치로서의 키보드(67)와, 표시 장치로서의 CRT(Cathode Ray Tube) 디스플레이(68)를 갖는다. 상기 프로세서는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 연산 처리를 행하는 CPU(Central Processing Unit)(69)와, 각종 정보를 기억하는 메모리, 즉, 정보 기억 매체(71)를 갖는다.

도 8에 나타낸 헤드 위치 제어 장치(17), 기판 위치 제어 장치(18), 주 주사구동 장치(19), 부 주사 구동 장치(21), 그리고 잉크젯 헤드(22) 내의 압전 소자(41)(도 12(b) 참조)를 구동하는 헤드 구동 회로(72)의 각 기기는, 도 14에서, 입출력 인터페이스(73) 및 버스(74)를 거쳐서 CPU(69)에 접속된다. 또한, 기판 공급 장치(23), 입력 장치(67), 디스플레이(68), 전자 천칭(78), 클리닝 장치(77) 및 캡핑 장치(76)의 각 기기도 입출력 인터페이스(73) 및 버스(74)를 거쳐서 CPU(69)에 접속된다.

메모리(71)는 RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory) 등과 같은 반도체 메모리나, 하드 디스크, CD-ROM 판독 장치, 디스크형 기억 매체 등과 같은 외부 기억 장치 등을 포함하는 개념이며, 기능적으로는, 잉크젯 장치(16)의 동작 제어 순서가 기술된 프로그램 소프트웨어를 기억하는 기억 영역이나, 도 7에 나타내는 각종 R, G, B 배열을 실현하기 위한 R, G, B 중 한 색의 마더 기판(12)(도 5 참조) 내에서의 토출 위치를 좌표 데이터로 기억하기 위한 기억 영역이나, 도 9에서의 부 주사 방향 Y로의 마더 기판(12)의 부 주사 이동량을 기억하기 위한 기억 영역이나, CPU(69)를 위한 작업 영역이나 임시 파일 등으로 기능하는 영역이나, 기타 각종 기억 영역이 설정된다.

CPU(69)는 메모리(71) 내에 기억된 프로그램 소프트웨어에 따라서, 마더 기판(12)에 표면의 소정 위치에 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출시키기 위한 제어를 행하는 것으로서, 구체적인 기능 실현부로서 클리닝 처리를 실현하기 위한 연산을 행하는 클리닝 연산부와, 캡핑 처리를 실현하기 위한 캡핑 연산부와, 전자 천칭(78)(도 8 참조)을 이용한 중량 측정을 실현하기 위한 연산을 행하는 중량 측정 연산부와, 잉크젯에 의해 필터 소자 재료를 플로팅하기 위한 연산을 행하는 플로팅 연산부(plotting arithmetic unit)를 갖는다.

플로팅 연산부를 자세히 분할하면, 잉크젯 헤드(22)를 플로팅를 위한 초기 위치로 설정하는 플로팅 개시 위치 연산부와, 잉크젯 헤드(22)를 주 주사 방향 X로 소정의 속도로 주사 이동시키기 위한 제어를 연산하는 주 주사 제어 연산부와, 마더 기판(12)을 부 주사 방향 Y로 소정의 부 주사량만큼 비키어 두기 위한 제어를 연산하는 부 주사 제어 연산부와, 그리고 잉크젯 헤드(22) 내의 복수 노즐(27) 중 어느 것을 작동시켜 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출시킬지 제어하는 연산을 행하는 노즐 토출 제어 연산부 등과 같은 각종 기능 연산부를 갖는다.

또, 본 실시예에서는, 상기 각 기능을 CPU(69)를 이용하여 소프트웨어에 의해 실현하기로 했지만, 상기 각 기능이 CPU를 이용하지 않는 단독 전자 회로에 의해 실현할 수 있는 경우에는, 그와 같은 전자 회로를 이용할 수도 있다.

이하, 상기 구성으로 이루어지는 잉크젯 장치(16)의 동작을 도 15에 나타내는 흐름도에 근거하여 설명한다.

오퍼레이터에 의한 전원 투입에 의해 잉크젯 장치(16)가 작동하면, 우선, 단계 S1에서 초기 설정이 실행된다. 구체적으로는, 헤드 유닛(26)이나 기판 공급 장치(23)나 제어 장치(24) 등이 미리 결정된 초기 상태로 설정된다.

다음으로, 중량 측정 타이밍이 도래하면(단계 S2에서 '예'), 도 9의 헤드 유닛(26)을 주 주사 구동 장치(19)에 의해 도 8의 전자 천칭(78)의 위치까지 이동시키고 (단계 S3), 노즐(27)로부터 토출되는 잉크의 양을 전자 천칭(78)을 이용하여측정한다(단계 S4). 그리고, 노즐(27)의 잉크 토출 특성에 맞춰, 각 노즐(27)에 대응하는 압전 소자(41)에 인가하는 전압을 조절한다(단계 S5).

다음으로, 클리닝 타이밍이 도래하면(단계 S6에서 '예'), 헤드 유닛(26)을 주 주사 구동 장치(19)에 의해 클리닝 장치(77)의 위치까지 이동시키고(단계 S7), 그 클리닝 장치(77)에 의해 잉크젯 헤드(22)를 클리닝한다(단계 S8).

중량 측정 타이밍이나 클리닝 타이밍이 도래하지 않은 경우(단계 S2 및 S6에서 '아니오'), 또는 그들의 처리가 종료한 경우에는, 단계 S9에서, 도 8의 기판 공급 장치(23)를 작동시켜 마더 기판(12)을 테이블(49)로 공급한다. 구체적으로는, 기판 수용부(57) 내의 마더 기판(12)을 흡착 패드(64)에 의해 흡인 유지하고, 다음으로, 승강축(61), 제 1 아암(62) 및 제 2 아암(63)을 이동시켜 마더 기판(12)을 테이블(49)까지 반송하며, 또한 테이블(49)의 적합한 장소에 미리 마련되어 있는 위치 결정핀(50)(도 9)에 압착한다. 또, 테이블(49) 상에서의 마더 기판(12)의 위치 어긋남을 방지하기 위해, 공기 흡인 등의 수단에 의해 마더 기판(12)을 테이블(49)에 고정하는 것이 바람직하다.

다음으로, 도 8의 기판용 카메라(82)로 마더 기판(12)을 관찰하면서, 도 9의 θ 모터(51)의 출력축을 미소 각도 단위로 회전시킴으로써 테이블(49)을 미소 각도 단위로 면내 회전시켜 마더 기판(12)을 위치 결정한다(단계 S10). 다음으로, 도 8의 헤드용 카메라(81)에 의해 마더 기판(12)을 관찰하면서, 잉크젯 헤드(22)에 의해 플로팅 개시 위치를 연산에 의해 결정하고(단계 S11), 주 주사 구동 장치(19) 및 부 주사 구동 장치(21)를 적절하게 작동시켜 잉크젯 헤드(22)를 플로팅 개시 위치로 이동시킨다(단계 S12).

이 때, 잉크젯 헤드(22)는, 도 1(a) 위치에 도시하는 바와 같이, 노즐열(28)이 잉크젯 헤드(22)의 부 주사 방향 Y에 대해 각도 θ로 경사지도록 배치된다. 이것은 보통 잉크젯 장치의 경우에는, 이웃하는 노즐(27) 사이의 간격인 노즐간 피치와, 이웃하는 필터 소자(3), 즉, 필터 소자 형성 영역(7) 사이의 간격인 소자 피치가 다른 경우가 많아, 잉크젯 헤드(22)를 주 주사 방향 X로 이동시킬 때에, 노즐간 피치의 부 주사 방향 Y의 치수 성분이 소자 피치와 기하학적으로 같아지도록 하기 위한 조치이다.

도 15의 단계 S12에서 잉크젯 헤드(22)가 플로팅 개시 위치에 놓여지면, 도 1에서 잉크젯 헤드(22)는 (a)위치에 놓여진다. 그 후, 도 15의 단계 S13에서 주 주사 방향 X로의 주 주사가 시작되고, 동시에, 잉크의 토출이 시작된다. 구체적으로는, 도 9의 주 주사 구동 장치(19)가 작동하여 잉크젯 헤드(22)가 도 1의 주 주사 방향 X로 일정한 속도로 직선적으로 주사 이동하고, 그 이동 중에, 잉크를 공급해야 할 필터 소자 영역(7)에 대응하는 노즐(27)이 도달했을 때에 그 노즐(27)로부터 잉크, 즉, 필터 소자 재료가 토출된다.

또, 이 때의 잉크 토출량은 필터 소자 영역(7)의 용적 전부를 채우는 량이 아니라, 그 전량(全量)의 몇 분의 1, 본 실시예에서는 전량의 1/4의 양이다. 이것은, 후술하는 바와 같이, 각 필터 소자 영역(7)은 노즐(27)로부터의 1회의 잉크 토출에 의해 채워지는 것은 아니고, 수 회의 재차된 잉크 토출에 의해, 본 실시예에서는 4회에 걸친 토출에 의해 용적 전부를 채우고 있기 때문이다.

잉크젯 헤드(22)는 마더 기판(12)에 대한 1라인 분량의 주 주사가 종료되면(단계 S14에서 '예'), 반전 이동하여 초기 위치(a)로 복귀한다(단계 S15). 또한, 잉크젯 헤드(22)는 부 주사 구동 장치(21)에 의해 구동되어 부 주사 방향 Y로 미리 결정된 부 주사량 δ만큼 이동한다(단계 S16).

본 실시예에서는, CPU(69)는 도 1에서 잉크젯 헤드(22)의 노즐열(28)을 형성하는 복수의 노즐(27)을 복수의 그룹 n으로 개념적으로 분할한다. 본 실시예에서는 n=4, 즉, 180개의 노즐(27)로 이루어지는 길이 L의 노즐열(28)을 4개의 그룹으로 분할하여 생각한다. 이에 따라, 하나의 노즐 그룹은 노즐(27)을 180/4 = 45개 포함하는 길이 L/n, 즉, L/4로 결정할 수 있다. 상기 부 주사량 δ는 상기 노즐 그룹 길이 L/4의 부 주사 방향의 길이, 즉, (L/4)cosθ로 설정된다.

따라서, 1라인 분량의 주 주사가 종료되어 초기 위치(a)로 복귀한 잉크젯 헤드(22)는 도 1에서 부 주사 방향 Y로 거리 δ만큼 평행 이동하여 위치(b)로 이동한다. 또, 도 1에서는 위치(a)와 위치(b)가 주 주사 방향 X에 대해서 조금 어긋나게 그려져 있지만, 이것은 설명을 알기 쉽게 하기 위한 조치이며, 실제로는 위치(a)와 위치(b)는 주 주사 방향 X에 대해서는 같은 위치이다.

위치(b)로 부 주사 이동한 잉크젯 헤드(22)는 단계 S13에서 주 주사 이동 및 잉크 토출을 반복 실행한다. 이 주 주사 이동 시에는 마더 기판(12) 상에서의 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 2열째 라인이 선두의 노즐 그룹에 의해 처음으로 잉크 토출을 받고, 또한, 1열째 라인은 선두로부터 2번째의 노즐 그룹에 의해 두번째의 잉크 토출을 받는다.

그 후, 잉크젯 헤드(22)는 위치(c)∼위치(k)와 같이 부 주사 이동을 반복하면서 주 주사 이동 및 잉크 토출을 반복하고(단계 S13∼단계 S16), 이에 따라, 마더 기판(12)의 컬러 필터 형성 영역(11) 1열분의 잉크 부착 처리가 완료된다. 본 실시예에서는, 노즐열(28)을 4개의 그룹으로 분할하여 부 주사량 δ를 결정했기 때문에, 상기 컬러 필터 형성 영역(11) 1열분의 주 주사 및 부 주사가 종료하면, 각 필터 소자 영역(7)은 4개의 노즐 그룹에 의해 각각 1회씩, 합계 4회의 잉크 토출 처리를 받아, 그 전체 용적 내에 소정량의 잉크, 즉, 필터 소자 재료가 전량 공급된다.

이렇게 해서 컬러 필터 형성 영역(11)의 1열 분량의 잉크 토출이 완료되면, 잉크젯 헤드(22)는 부 주사 구동 수단(21)에 의해 구동되어 다음열의 컬러 필터 형성 영역(11)의 초기 위치로 반송되고(단계 S19), 그리고 해당 열의 컬러 필터 형성 영역(11)에 대해 주 주사, 부 주사 및 잉크 토출을 반복하여 필터 소자 형성 영역(7) 내에 필터 소자를 형성한다(단계 S13∼S16).

그 후, 마더 기판(12) 내의 모든 컬러 필터 형성 영역(11)에 대해서 R, G, B중 한 색, 예컨대, R 한 색의 필터 소자(3)가 형성되면(단계 S18에서 '예'), 단계 S20에서 마더 기판(12)을 기판 공급 장치(23)에 의해, 또는 별도의 반송 기기에 의해, 처리 후의 마더 기판(12)이 외부로 배출된다.

그 후, 오퍼레이터에 의해 처리 종료의 지시가 이루어지지 않는 한(단계 S21에서 '아니오'), 단계 S2로 되돌아가 별도의 마더 기판(12)에 대한 R1색에 대한 잉크 토착 작업을 반복 실행한다.

오퍼레이터로부터 작업 종료의 지시가 있으면(단계 S21에서 '예'), CPU(69)는 도 8에서 잉크젯 헤드(22)를 캡핑 장치(76)의 위치까지 반송하여, 그 캡핑 장치(76)에 의해 잉크젯 헤드(22)에 대해 캡핑 처리를 실시한다(단계 S22).

이상으로부터, 컬러 필터를 구성하는 R, G, B 3색 중의 첫 번째 색, 예컨대, 적색에 대한 패터닝이 종료되고, 그 후, 마더 기판(12)을 R, G, B 중 두 번째 색, 예컨대, 녹색을 필터 소자 재료로 하는 잉크젯 장치(16)로 반송하여 녹색의 패터닝을 행하고, 또한 최종적으로 R, G, B 중 세 번째 색, 예컨대, 청색을 필터 소자 재료로 하는 잉크젯 장치(16)로 반송하여 청색의 패터닝을 행한다. 이에 따라, 스트라이프 배열 등과 같은 희망의 R, G, B의 도트 배열을 갖는 컬러 필터(1)(도 5(a))가 복수개 형성된 마더 기판(12)이 제조된다. 이 마더 기판(12)을 컬러 필터 영역(11)마다 절단함으로써, 하나의 컬러 필터(1)가 복수개 잘라내어진다.

또, 본 컬러 필터(1)를 액정 장치의 컬러 표시를 위해 이용하는 것으로 하면, 본 컬러 필터(1)의 표면에는 전극이나 배향막 등이 더 적층되게 된다. 그와 같은 경우, 전극이나 배향막 등을 적층하기 전에 마더 기판(12)을 절단하여 각각의 컬러 필터(1)를 잘라내어 버리면, 그 후의 전극 등의 형성 공정이 대단히 번거롭게 된다. 따라서, 그와 같은 경우에는, 마더 기판(12) 상에서 컬러 필터(1)가 완성된 후에, 즉시 마더 기판(12)을 절단해 버리는 것은 아니고, 전극 형성이나 배향막 형성 등과 같이 필요한 부가 공정이 종료된 후에 마더 기판(12)을 절단하는 것이 바람직하다.

이상과 같이, 본 실시예에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 도 5(a)에 나타내는 컬러 필터(1) 내의 각각의 필터 소자(3)는 잉크젯 헤드(22)(도 1참조)의 1회 주 주사 X에 의해 형성되는 것은 아니고, 각 하나의 필터 소자(3)는 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐(27)에 의해 n회, 본 실시예에서는 4회, 반복하여 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성된다. 이 때문에, 가령 복수의 노즐(27) 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 필터 소자(3) 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 컬러 필터의 광투과 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있다.

물론, 본 실시예의 제조 방법에서는, 잉크젯 헤드(22)를 이용한 잉크 토출에 의해 필터 소자(3)를 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.

그런데, 잉크젯 헤드(22)의 노즐열(28)을 형성하는 복수 노즐(27)의 잉크 토출량 분포가 불균일해지는 것은 도 23(a)에 관련하여 설명한 것이다. 또한, 특히 노즐열(28)의 양단부에 존재하는 여러 개, 예컨대, 한 쪽 끝에서 10개씩의 노즐(27)이, 특히 잉크 토출량이 커지는 것도 상술한 바와 같다. 이와 같이 잉크 토출량이 다른 노즐에 비해 특히 많은 노즐을 사용하는 것은 잉크 토출, 즉, 필터 소자의 막두께를 균일하게 하는 것에 대해 바람직하지 않다.

따라서, 바람직하게는, 도 13에 도시하는 바와 같이, 노즐열(28)을 형성하는 복수의 노즐(27) 중 노즐열(28)의 양단부 E에 존재하는 여러 개, 예컨대, 10개 정도는 미리 잉크를 토출하지 않는 것으로 설정해 두고, 남은 부분 F에 존재하는 노즐(27)을 복수, 예컨대, 4개의 그룹으로 분할하여, 그 노즐 그룹 단위로 부 주사이동을 행하는 것이 좋다.

본 실시예 1에서는, 격벽(6)으로서 투광성(透光性)이 없는 수지 재료를 이용했지만, 투격벽(6)으로서 투광성의 수지 재료를 이용하는 것도 물론 가능하다. 그 경우에는, 필터 소자 사이에 대응하는 위치, 예컨대, 격벽(6)의 상, 하 등에 별도의 차광성 금속막 또는 수지 재료를 마련하여 검정 마스크로 해도 무방하다. 또한, 투광성의 수지 재료로 격벽(6)을 형성하여, 검정 마스크를 마련하지 않는 구성으로 해도 관계없다.

또한 본 실시예 1에서는, 필터 소자로서 R, G, B를 이용했지만 물론, R, G. B에 한정되지는 않고, 예컨대, C(시안색), M(마젠타색), Y(노란색)를 채용해도 관계없다. 그 경우에는, R, G, B의 필터 소자 재료 대신 C, M, Y의 색을 갖는 필터 소자 재료를 이용해도 상관없다.

또한, 본 실시예 1에서는 격벽(6)을 포토리소그래피에 의해 형성했지만, 컬러 필터와 마찬가지로 잉크젯법에 의해 격벽(6)을 형성할 수도 있다.

(실시예 2)

도 2는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치의 다른 실시예에 따라 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 마더 기판(12) 내의 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 각 필터 소자 형성 영역(7)으로 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출에 의해 공급하는 경우를 모식적으로 나타내고 있다.

본 실시예에 따라 실시되는 개략적인 공정은 도 6에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 도 8에 나타낸 장치와 기구적으로는 동일하다. 또한, 도 14의 CPU(69)가 노즐열(28)을 형성하는 복수의 노즐(27)을 개념적으로 n개, 예컨대, 4개로 그룹 분할하여, 각 노즐 그룹의 길이 L/n 또는 L/4에 대응시켜 부 주사량 δ를 결정하는 것도 도 1의 경우와 동일하다.

본 실시예가 도 1에 나타낸 앞의 실시예와 다른 점은, 도 14에서 메모리(71) 내에 저장한 프로그램 소프트웨어에 변형을 부가한 것이며, 구체적으로는 CPU(69)에 의해 실행하는 주 주사 제어 연산과 부 주사 제어 연산에 변형을 부가한 것이다.

보다 구체적으로 설명하면, 도 2에서, 잉크젯 헤드(22)는 주 주사 방향 X로의 주사 이동의 종료 후에 초기 위치로 복귀 이동하지 않고, 한 방향으로의 주 주사 이동의 종료 후에 즉시 부 주사 방향으로 노즐 그룹 하나의 분량에 상당하는 이동량 δ만큼 이동하여 위치(b)로 이동한 후, 주 주사 방향 X의 상기 방향의 반대 방향으로 주사 이동하여 초기 위치(a)로부터 부 주사 방향으로 거리 δ만큼 어긋난 위치(b')로 되돌아가도록 제어된다. 또, 위치(a)로부터 위치(b)까지의 주 주사 동안 및 위치(b)로부터 위치(b')로의 주 주사 이동하는 동안 양쪽 기간에서 복수의 노즐(27)로부터 선택적으로 잉크가 토출되는 것은 물론이다.

즉, 본 실시예에서는 잉크젯 헤드(22)의 주 주사 및 부 주사가 복귀 동작을 행하지 않고 연속하여 교대로 행해지는 것이며, 이에 따라, 복귀 동작을 위해 소비된 시간을 생략하여 작업 시간을 단축할 수 있다.

(실시예 3)

도 3은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치의 다른 실시예에 따라 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 마더 기판(12) 내의 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 각 필터 소자 형성 영역(7)으로 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출에 의해 공급하는 경우를 모식적으로 나타내고 있다.

본 실시예에 따라 실시되는 개략적인 공정은 도 6에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 도 8에 나타낸 장치와 기구적으로는 동일하다. 또한, 도 14의 CPU(69)가 노즐열(28)을 형성하는 복수의 노즐(27)을 개념적으로 n개, 예컨대, 4개로 그룹 분할하는 것도 도 1의 경우와 동일하다.

본 실시예가 도 1에 나타낸 앞의 실시예와 다른 점은, 도 15의 단계 S12에 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)의 플로팅 개시 위치에 설정했을 때, 그 잉크젯 헤드(22)는 도 3(a) 위치에 도시하는 바와 같이, 노즐열(28)이 연장되는 방향이 부 주사 방향 Y와 평행한 점이다. 이와 같은 노즐의 배열 구조는 잉크젯 헤드(22)에 대한 노즐간 피치와 마더 기판(12)에 대한 소자간 피치가 같은 경우에 유리한 구조이다.

이 실시예에서도, 잉크젯 헤드(22)는 초기 위치 (a)로부터 종단 위치 (k)에 이를 때까지, 주 주사 방향 X로의 주사 이동, 초기 위치로의 복귀 이동 및 부 주사 방향 Y로의 이동량 δ에서의 부 주사 이동을 반복하면서, 주 주사 이동 기간 동안에 복수의 노즐(27)로부터 선택적으로 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출시키고, 이에 따라, 마더 기판(12) 내의 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 필터 소자 형성영역(7) 내에 필터 소자 재료를 부착시킨다.

또, 본 실시예에서는, 노즐열(28)이 부 주사 방향 Y에 대해 평행하게 위치 설정되기 때문에, 부 주사 이동량 δ는 분할된 노즐 그룹의 길이 L/n, 즉, L/4과 같게 설정된다.

(실시예 4)

도 4는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치의 다른 실시예에 따라 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 마더 기판(12) 내의 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 각 필터 소자 형성 영역(7)으로 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출에 의해 공급하는 경우를 모식적으로 나타내고 있다.

본 실시예에 따라 실시되는 개략적인 공정은 도 6에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 도 8에 나타낸 장치와 기구적으로는 동일하다. 또한, 도 14의 CPU(69)가 노즐열(28)을 형성하는 복수의 노즐(27)을 개념적으로 n개, 예컨대, 4개로 그룹 분할하는 것도 도 1의 경우와 동일하다.

본 실시예가 도 1에 나타낸 앞의 실시예와 다른 점은, 도 15의 단계 S12에서 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)의 플로팅 개시 위치에 설정했을 때, 그 잉크젯 헤드(22)는, 도 4(a)에 도시하는 바와 같이, 노즐열(28)이 연장되는 방향이 부 주사 방향 Y와 평행한 점과, 도 2의 실시예의 경우와 마찬가지로 잉크젯 헤드(22)의 주 주사 및 부 주사가 복귀 동작을 행하지 않고 연속하여 교대로 행해지는 점이다.

또, 도 4에 나타내는 본 실시예 및 도 3에 나타내는 앞의 실시예에서는, 주주사 방향 X가 노즐열(28)에 대해 직각 방향으로 되기 때문에, 노즐열(28)을 도 11에 도시하는 바와 같이, 주 주사 방향 X에 따라 2열 마련함으로써, 동일 주 주사 라인에 실린 2개의 노즐(27)에 의해 하나의 필터 소자 영역(7)에 필터 소자 재료를 공급할 수 있다.

(실시예 5)

도 16은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치의 또 다른 실시예에 이용되는 잉크젯 헤드(22A)를 나타내고 있다. 이 잉크젯 헤드(22A)가 도 10에 나타내는 잉크젯 헤드(22)와 다른 점은, 적색 잉크를 토출시키는 노즐열(28R)과, 녹색 잉크를 토출시키는 노즐열(28G)과, 청색 잉크를 토출시키는 노즐열(28B)과 같은 3종류의 노즐열을 하나의 잉크젯 헤드(22A)에 형성하여, 그들 3종류 각각에 도 12(a) 및 도 12(b)에 나타낸 잉크 토출계를 마련하고, 적색 노즐열(28R)에 대응하는 잉크 토출계에는 적색 잉크 공급 장치(37R)를 접속하고, 녹색 노즐열(28G)에 대응하는 잉크 토출계에는 녹색 잉크 공급 장치(37G)를 접속하며, 그리고 청색 노즐열(28B)에 대응하는 잉크 토출계에는 청색 잉크 공급 장치(37B)를 접속한 것이다.

본 실시예에 따라 실시되는 개략적인 공정은 도 6에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 기본적으로는 도 8에 나타낸 장치와 동일하다. 또한, 도 14의 CPU(69)가 노즐열(28R, 28G, 28B)를 형성하는 복수의 노즐(27)을 개념적으로 n개, 예컨대, 4개로 그룹 분할하여, 그들 노즐 그룹마다 잉크젯 헤드(22A)를 부 주사 이동량 δ로 부 주사 이동시키는 것도 도 1의 경우와 동일하다.

도 1에 나타낸 실시예에서는, 잉크젯 헤드(22)에 한 종류의 노즐열(28)만 마련되기 때문에, R, G, B 3색에 의해 컬러 필터를 형성할 때는 도 8에 나타낸 잉크젯 헤드(22)가 R, G, B의 3색에 대해 준비되어 있어야 했다. 이에 대해, 도 16에 나타내는 구조의 잉크젯 헤드(22A)를 사용하는 경우에는, 잉크젯 헤드(22A)의 주 주사 방향 X로의 1회 주 주사에 의해 R, G, B의 3색을 동시에 마더 기판(12)에 부착시킬 수 있으므로, 잉크젯 헤드(22)는 하나만 준비해 두면 충분하다. 또한, 각 색의 노즐열 간격을 마더 기판의 필터 소자 영역의 피치에 맞춤으로써, RGB 3색의 동시 주입이 가능해진다.

(실시예 6)

도 17은 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 18은 그 제조 방법에 의해 제조되는 액정 장치의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 19는 도 18에서의 IX-IX선에 따른 액정 장치의 단면 구조를 나타내고 있다. 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치의 설명에 앞서, 우선, 그 제조 방법으로 제조되는 액정 장치를 그 일례를 들어 설명한다. 또, 본 실시예의 액정 장치는 단순 매트릭스 방식으로 풀 컬러 표시를 행하는 반투과 반사 방식의 액정 장치이다.

도 18에서, 액정 장치(101)는 액정 패널(102)에 반도체 칩으로서의 액정 구동용 IC(103a, 103b)를 실장하여, 배선 접속 요소로서의 FPC(Flexible Printed Circuit)(104)를 액정 패널(102)에 접속하고, 또한 액정 패널(102)의 이면 측에 조명 장치(106)를 백 라이트로 마련함으로써 형성된다.

액정 패널(102)은 제 1 기판(107a)과 제 2 기판(107b)을 밀봉재(108)로 접합함으로써 형성된다. 밀봉재(108)는, 예컨대, 스크린 인쇄 등에 의해 에폭시계 수지를 제 1 기판(107a) 또는 제 2 기판(107b)의 내측 표면에 고리 형상으로 부착시킴으로써 형성된다. 또한, 밀봉재(108)의 내부에는, 도 19에 도시하는 바와 같이, 도전성 재료에 의해 구 형상 또는 원통 형상으로 형성된 도통재(109)가 분산 상태로 포함된다.

도 19에서, 제 1 기판(107a)은 투명한 유리나, 투명한 플라스틱 등에 의해 형성된 판 형상의 기재(111a)를 갖는다. 이 기재(111a)의 내측 표면(도 19의 상측 표면)에는 반사막(112)이 형성되고, 그 위에 절연막(113)이 적층되며, 그 위에 제 1 전극(114a)이 화살표 D 방향으로부터 보아 스트라이프 형상(도 18참조)으로 형성되고, 또한, 그 위에 배향막(116a)이 형성된다. 또한, 기재(111a)의 외측 표면(도 19의 하측 표면)에는 편광판(117a)이 접착 등에 의해 장착된다.

도 18에서는 제 1 전극(114a)의 배열을 이해하기 쉽게 나타내기 위해서, 그들의 스트라이프 간격을 실제보다도 대폭 크게 그리고 있기 때문에, 제 1 전극(114a)의 개수가 적게 그려져 있지만, 실제로는, 제 1 전극(114a)은 더 많은 개수가 기재(111a) 상에 형성된다.

도 19에서, 제 2 기판(107b)은 투명한 유리나, 투명한 플라스틱 등에 의해형성된 판 형상의 기재(111b)를 갖는다. 이 기재(111b)의 내측 표면(도 19의 하측 표면)에는 컬러 필터(118)가 형성되고, 그 위에 제 2 전극(114b)이 상기 제 1 전극(114a)과 직교하는 방향에 화살표 D 방향으로부터 보아 스트라이프 형상(도 18참조)으로 형성되고, 또한 그 위에 배향막(116b)이 형성된다.

또한, 기재(111b)의 외측 표면(도 19의 상측 표면)에는 편광판(117b)이 접착 등에 의해 장착된다.

도 18에서는, 제 2 전극(114b)의 배열을 알기 쉽게 나타내기 위해서, 제 1 전극(114a)의 경우와 마찬가지로, 그들의 스트라이프 간격을 실제보다도 대폭 크게 그리고 있기 때문에, 제 2 전극(114b)의 개수가 적게 그려지고 있지만, 실제로는, 제 2 전극(114b)은 더 많은 개수가 기재(111b) 상에 형성된다.

도 19에서, 제 1 기판(107a), 제 2 기판(107b) 및 밀봉재(108)로 둘러싸이는 간격, 소위 셀갭 내에는 액정, 예컨대, STN(Super Twisted Nematic) 액정(L)이 봉입되어 있다. 제 1 기판(107a) 또는 제 2 기판(107b)의 내측 표면에는 미소(微小)하고 구형인 스페이서(119)가 다수 분산되고, 이들의 스페이서(119)가 셀갭 내에 존재함으로써 그 셀갭의 두께가 균일하게 유지된다.

제 1 전극(114a)과 제 2 전극(114b)은 서로 직교 관계로 배치되고, 그들의 교차점은 도 19의 화살표 D 방향으로부터 보아 도트·매트릭스 형상으로 배열된다. 그리고, 그 도트·매트릭스 형상의 각 교차점이 하나의 화소 픽셀을 구성한다. 컬러 필터(118)는 R(적색), G(녹색), B(청색)의 각 색요소를 화살표 D 방향으로부터 보아 소정의 패턴, 예컨대, 스트라이프 배열, 델타 배열, 모자이크 배열 등의 패턴으로 배열시킴으로써 형성되어 있다. 상기 하나의 화소 픽셀은 그들 R, G, B 각 하나씩에 대응하고 있으며, R, G, B의 3색 화소 픽셀이 하나의 유닛으로 되어 1 화소가 구성된다.

도트·매트릭스 형상으로 배열되는 복수의 화소 픽셀에 따라 화소를 선택적으로 발광시킴으로써, 액정 패널(102)의 제 2 기판(107b) 외측에 문자, 숫자 등과 같은 이미지가 표시된다. 이와 같이 하여 이미지가 표시되는 영역이 유효 화소 영역이며, 도 18 및 도 19에서 화살표 V에 의해 도시되는 평면적인 직사각형 영역이 유효 표시 영역으로 되어 있다.

도 19에서, 반사막(112)은 APC합금, Al(알루미늄) 등과 같은 광 반사성 재료로 형성되고, 제 1 전극(114a)과 제 2 전극(114b)의 교차점인 각 화소 픽셀에 대응하는 위치에 개구(121)가 형성되어 있다. 결과적으로, 개구(121)는 도 19의 화살표 D 방향으로부터 보아, 화소 픽셀과 동일한 도트·매트릭스 형상으로 배열되어 있다.

제 1 전극(114a) 및 제 2 전극(114b)은, 예컨대, 투명 도전재인 ITO에 의해 형성된다. 또한, 배향막(116a, 116b)은 폴리이미드계 수지를 균일한 두께의 막형상으로 부착시킴으로써 형성된다. 이들 배향막(116a, 116b)이 러빙 처리를 받음으로써, 제 1 기판(107a) 및 제 2 기판(107b)의 표면 상에서의 액정 분자의 초기 배향이 결정된다.

도 18에서, 제 1 기판(107a)은 제 2 기판(107b)보다도 넓은 면적에 형성되어 있고, 이들의 기판을 밀봉재(108)로 접합했을 때, 제 1 기판(107a)은 제 2기판(107b)의 외측으로 연장되는 기판 연장부(107c)를 갖는다. 그리고, 이 기판 연장부(107c)에는, 제 1 전극(114a)으로부터 연장되는 연장 배선(114c), 밀봉재(108)의 내부에 존재하는 도통재(109)(도 19 참조)를 거쳐서 제 2 기판(107b) 상의 제 2 전극(114b)과 도통하는 연장 배선(114d), 액정 구동용 IC(103a)의 입력용 범프, 즉, 입력용 단자에 접속되는 금속 배선(114e), 그리고 액정 구동용 IC(103b)의 입력용 범프에 접속되는 금속 배선(114f) 등과 같은 각종 배선이 적절한 패턴으로 형성된다.

본 실시예에서는, 제 1 전극(114a)에서 연장되는 연장 배선(114c) 및 제 2 전극(114b)에 도통하는 연장 배선(114d)은 그들의 전극과 동일한 재료인 ITO, 즉, 도전성 산화물에 의해 형성된다. 또한, 액정 구동용 IC(103a, 103b)의 입력 측 배선인 금속 배선(114e, 114f)은 전기 저항값이 낮은 금속 재료, 예컨대, APC 합금에 의해 형성된다. APC 합금은 주로 Ag를 포함하고, 부수적으로 Pd 및 Cu를 포함하는 합금, 예컨대, Ag 98%, Pd 1%, Cu 1%로 이루어지는 합금이다.

액정 구동용 IC(103a, 103b)는 ACF(Anisotropic Conductive Film : 이방성 도전막)(122)에 의해 기판 연장부(107c)의 표면에 접착되어 실장된다. 즉, 본 실시예에서는 기판 상에 반도체 칩이 직접 실장되는 구조의, 소위 COG(Chip On Glass) 방식의 액정 패널로서 형성되어 있다. 이 COG 방식의 실장 구조에서는 ACF(122)의 내부에 포함되는 도전 입자에 의해, 액정 구동용 IC(103a, 103b)의 입력측 범프와 금속 배선(114e, 114f)이 도전 접속되고, 액정 구동용 IC(103a, 103b)의 출력측 범프와 연장 배선(114c, 114d)이 도전 접속된다.

도 18에서, FPC(104)는 가요성 수지 필름(123)과, 칩부품(124)을 포함하여 구성된 회로(126)와, 금속 배선 단자(127)를 갖는다. 회로(126)는 수지 필름(123)의 표면에 납땜, 그 밖의 도전 접속 방법에 의해 직접 탑재된다. 또한, 금속 배선 단자(127)는 APC합금, Cr, Cu, 그 밖의 도전 재료로 형성된다. FPC(104) 중 금속 배선 단자(127)가 형성된 부분은 제 1 기판(107a) 중 금속 배선(114e, 114f)이 형성된 부분에 ACF(122)에 의해 접속된다. 그리고, ACF(122)의 내부에 포함되는 도전 입자의 기능에 의해, 기판 측의 금속 배선(114e, 114f)과 FPC 측의 금속 배선 단자(127)가 도통된다.

FPC(104)의 반대측의 근처 단부에는 외부 접속 단자(131)가 형성되고, 이 외부 접속 단자(131)가 도시하지 않는 외부 회로에 접속된다. 그리고, 이 외부 회로로부터 전송되는 신호에 근거하여 액정 구동용 IC(103a, 103b)가 구동되어, 제 1 전극(114a) 및 제 2 전극(114b)의 한 쪽에 주사 신호가 공급되고, 다른 쪽에 데이터 신호가 공급된다. 이에 따라, 유효 표시 영역 V 내에 배열된 도트·매트릭스 형상의 화소 픽셀이 각각의 픽셀마다 전압 제어되고, 그 결과, 액정 L의 배향이 각각의 화소 픽셀마다 제어된다.

도 18에서, 소위 백 라이트로서 기능하는 조명 장치(106)는, 도 19에 도시하는 바와 같이, 아크릴 수지 등으로 구성된 도광체(132)와, 그 도광체(132)의 광출사면(132b)에 마련된 확산 시트(133)와, 도광체(132)의 광출사면(132b)의 반대면에 마련된 반사 시트(134)와, 발광원으로서의 LED(Light Emitting Diode)(136)를 갖는다.

LED(136)는 LED 기판(137)에 지지되고, 그 LED 기판(137)은, 예컨대, 도광체(132)와 일체적으로 형성된 지지부(도시하지 않음)에 장착된다. LED 기판(137)이 지지부의 소정 위치에 장착됨으로써, LED(136)가 도광체(132)의 측변 단면인 광취입면(132a)에 대향하는 위치에 놓여진다. 또, 참조 부호 138은 액정 패널(102)에 가해지는 충격을 완충하기 위한 완충재를 나타내고 있다.

LED(136)가 발광하면, 그 광은 광취입면(132a)으로부터 취입되어 도광체(132)의 내부로 유도되고, 반사 시트(134)나 도광체(132)의 벽면에서 반사하면서 전파되는 동안에 광출사면(132b)으로부터 확산 시트(133)를 통해 외부로 평면광으로서 출사된다.

본 실시예의 액정 장치(101)는 이상과 같이 구성되어 있기 때문에, 태양광, 실내광 등과 같은 외부광이 충분히 밝은 경우에는, 도 19에서, 제 2 기판(107b) 측으로부터 외부광이 액정 패널(102)의 내부로 취입되고, 그 광이 액정 L을 통과한 후에 반사막(112)에 의해 반사되어 다시 액정 L로 공급된다. 액정 L은 이것을 사이에 유지하는 전극(114a, 114b)에 의해 R, G, B의 화소 픽셀마다 배향 제어되어 있기 때문에, 액정 L로 공급된 광은 화소 픽셀마다 변조되고, 그 변조에 의해 편광판(117b)을 통과하는 광과, 통과할 수 없는 광에 의해 액정 패널(102)의 외부에 문자, 숫자 등과 같은 이미지가 표시된다. 이에 따라, 반사형의 표시가 행해진다.

한편, 외부광의 광량이 충분히 얻어지지 않는 경우에는, LED(136)가 발광하여 도광체(132)의 광출사면(132b)으로부터 평면광이 출사되고, 그 광이 반사막(112)에 형성된 개구(121)를 통해서 액정 L로 공급된다. 이 때, 반사형의표시와 마찬가지로 하여, 공급된 광이 배향 제어되는 액정 L에 의해 화소 픽셀마다 변조됨으로써, 외부에 이미지가 표시된다. 이에 따라, 투과형의 표시가 행해진다.

상기 구성의 액정 장치(101)는, 예컨대, 도 17에 나타내는 제조 방법에 의해 제조된다. 이 제조 방법에 있어서, 공정 P1 내지 공정 P6의 일련의 공정이 제 1 기판(107a)을 형성하는 공정이며, 공정 P11 내지 공정 P14의 일련의 공정이 제 2 기판(107b)을 형성하는 공정이다. 제 1 기판 형성 공정과 제 2 기판 형성 공정은 보통, 각각 독자적으로 행해진다.

우선, 제 1 기판 형성 공정에 대해 설명하면, 투과성 유리, 투과성 플라스틱 등으로 형성된 넓은 면적의 마더 원료 기재의 표면에 액정 패널(102)의 복수개 분량의 반사막(112)을 포토리소그래피법 등을 이용하여 형성하고, 또한 그 위에 절연막(113)을 주지의 성막법을 이용하여 형성하며(공정 P1), 다음으로, 포토리소그래피법 등을 이용하여 제 1 전극(114a) 및 배선(114c, 114d, 114e, 114f)을 형성한다(공정 P2).

다음으로, 제 1 전극(114a) 상에 도포, 인쇄 등에 의해 배향막(116a)을 형성하고(공정 P3), 또한 그 배향막(116a)에 대해 러빙 처리를 실시함으로써 액정의 초기 배향을 결정한다(공정 P4). 다음으로, 예컨대, 스크린 인쇄 등에 의해 밀봉재(108)를 고리 형상으로 형성하고(공정 P5), 또한 그 위에 구 형상의 스페이서(119)를 분산시킨다(공정 P6). 이상으로부터, 액정 패널(102)의 제 1 기판(107a) 상의 패널 패턴을 복수개만큼 갖는 넓은 면적의 마더 제 1 기판이 형성된다.

이상의 제 1 기판 형성 공정과는 별도로, 제 2 기판 형성 공정(도 17의 공정 P11 내지 공정 P14)을 실시한다. 우선, 투과성 유리, 투과성 플라스틱 등에 의해 형성된 넓은 면적의 마더 원료 기재를 준비하고, 그 표면에 액정 패널(102)의 복수개 분량의 컬러 필터(118)를 형성한다(공정 P11). 이 컬러 필터의 형성 공정은 도 6에 나타낸 제조 방법을 이용하여 행해지고, 그 제조 방법 중 R, G, B 각 색 필터 소자의 형성은 도 8의 잉크젯 장치(16)를 이용하여 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 등에 나타낸 잉크젯 헤드의 제어 방법에 의해서 실행된다. 이들 컬러 필터의 제조 방법 및 잉크젯 헤드의 제어 방법은 이미 설명한 내용과 동일하므로, 그들의 설명은 생략한다.

도 6(d)에 도시하는 바와 같이, 마더 기판(12), 즉, 마더 원료 기재 상에 컬러 필터(1), 즉, 컬러 필터(118)가 형성되면, 다음으로, 포토리소그래피법에 의해 제 2 전극(114b)이 형성되고(공정 P12), 또한, 도포, 인쇄 등에 의해 배향막(116b)이 형성되며(공정 P13), 또한 그 배향막(116b)에 대해 러빙 처리가 실시되어 액정의 초기 배향이 결정된다(공정 P14). 이상으로부터, 액정 패널(102)의 제 2 기판(107b) 상의 패널 패턴을 복수개 분량 갖는 넓은 면적의 마더 제 2 기판이 형성된다.

이상으로부터 넓은 면적의 마더 제 1 기판 및 마더 제 2 기판이 형성된 후, 그들의 마더 기판을 밀봉재(108)를 사이에 마련하여 정렬, 즉, 위치 정렬한 후에 서로 접합한다(공정 P21). 이에 따라, 액정 패널 복수개 분량의 패널 부분을 포함하고 있고 아직 액정이 봉입되어 있지 않은 상태의 빈 패널 구조체가 형성된다.

다음으로, 완성된 빈 패널 구조체의 소정 위치에 스크라이브 홈(scribe groove), 즉, 절단용 홈을 형성하고, 또한 그 스크라이브 홈을 기준으로 하여 패널 구조체를 브레이크, 즉, 절단한다(공정 P22). 이에 따라, 각 액정 패널 부분의 밀봉재(108)의 액정 주입용 개구(110)(도 18 참조)가 외부로 노출되는 상태의, 소위 직사각형의 빈 패널 구조체가 형성된다.

그 후, 노출한 액정 주입용 개구(110)를 통해서 각 액정 패널 부분의 내부에 액정 L을 주입하고, 또한 각 액정 주입구(110)를 수지 등에 의해 봉지한다(공정 P23). 보통의 액정 주입 처리는, 예컨대, 저장 용기 내에 액정을 저장하고, 그 액정이 저장된 저장 용기와 직사각형의 빈 패널을 챔버 등에 넣고, 그 챔버 등을 진공 상태로 하고 나서 그 챔버의 내부에서 액정 내에 직사각형의 빈 패널을 담그고, 그 후, 챔버를 대기압에 개방함으로써 행해진다. 이 때, 빈 패널의 내부는 진공 상태이기 때문에, 대기압에 의해 가압되는 액정이 액정 주입용 개구를 통해서 패널의 내부로 도입된다. 액정 주입 후의 액정 패널 구조체의 주위에는 액정이 부착되기 때문에, 액정 주입 처리 후의 직사각형 패널은 공정 P24에서 세정 처리된다.

그 후, 액정 주입 및 세정이 끝난 후의 직사각형의 마더 패널에 대해 다시 소정 위치에 스크라이브 홈을 형성하고, 또한 그 스크라이브 홈을 기준으로 하여 직사각형 패널을 절단함으로써, 복수개의 액정 패널이 개별적으로 잘라내어진다(공정 P25). 이렇게 해서 제작된 각각의 액정 패널(102)에 대해, 도 18에 도시하는 바와 같이, 액정 구동용 IC(103a, 103b)를 실장하고, 조명 장치(106)를 백 라이트로서 장착하고, 또한 FPC(104)를 접속시킴으로써, 목표로 하는 액정 장치(101)가완성된다(공정 P26).

이상에 설명한 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치는, 특히 컬러 필터를 제조하는 단계에서 다음과 같은 특징을 갖는다. 즉, 도 5(a)에 나타내는 컬러 필터(1), 즉, 도 19의 컬러 필터(118) 내의 각각의 필터 소자(3)는 잉크젯 헤드(22)(도 1 참조)의 1회 주 주사 X에 의해 형성되는 것은 아니고, 각 하나의 필터 소자(3)는 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐(27)에 의해 n회, 예컨대, 4회에 걸쳐 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성된다. 이 때문에, 가령 복수의 노즐(27) 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 필터 소자(3) 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 컬러 필터의 광투과 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있다. 이것은 도 19의 액정 장치(101)에 있어서, 색이 균일하고 선명한 컬러 표시가 얻어진다는 것이다.

또한, 본 실시예의 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치에서는, 도 8에 나타내는 잉크젯 장치(16)를 이용함으로써 잉크젯 헤드(22)를 이용한 잉크 토출에 의해 필터 소자(3)를 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.

(실시예 7)

도 20은 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 21은 그 제조 방법의 주요 공정 및 최종적으로 얻어지는 EL 장치의 주요단면 구조를 나타내고 있다. 도 21(d)에 도시하는 바와 같이, EL 장치(201)는 투명 기판(204) 상에 화소 전극(202)을 형성하고, 각 화소 전극(202) 사이에 뱅크(bank)(205)를 화살표 G 방향으로부터 보아 격자 형상으로 형성하며, 그들의 격자 형상 오목부 내에 정공 주입층(220)을 형성하고, 화살표 G 방향으로부터 보아 스트라이프 배열 등과 같은 소정 배열로 되도록 적색 발광층(203R), 녹색 발광층(203G) 및 청색 발광층(203B)을 각 격자 형상 오목부 내에 형성하고, 그들의 위에 대향 전극(213)을 더 형성함으로써 형성된다.

상기 화소 전극(202)을 TFD(Thin Film Diode : 박막 다이오드) 소자 등과 같은 2 단자형의 액티브 소자에 의해 구동하는 경우에는, 상기 대향 전극(213)은 화살표 G 방향으로부터 보아 스트라이프 형상으로 형성된다. 또한, 화소 전극(202)을 TFT(Thin Film Transistor : 박막 트랜지스터) 등과 같은 3 단자형의 액티브 소자에 의해 구동하는 경우에는, 상기 대향 전극(213)은 단일 면 전극으로서 형성된다.

각 화소 전극(202)과 각 대향 전극(213) 사이에 마련되는 영역이 하나의 화소 픽셀로 되고, R, G, B 3색의 화소 픽셀이 하나의 유닛으로 되어 하나의 화소를 형성한다. 각 화소 픽셀을 흐르는 전류를 제어함으로써, 복수의 화소 픽셀 중 희망하는 것을 선택적으로 발광시키고, 이에 따라, 화살표 H 방향으로 희망하는 풀 컬러 이미지를 표시할 수 있다.

상기 EL 장치(201)는, 예컨대, 도 20에 나타내는 제조 방법에 의해 제조된다.

즉, 공정 P51 및 도 21(a)와 같이, 투명 기판(204)의 표면에 TFD 소자나 TFT소자 등과 같은 능동 소자를 형성하고, 화소 전극(202)을 더 형성한다. 형성 방법으로서는, 예컨대, 포토리소그래피법, 진공 부착법, 스퍼터링법, 파이로졸법(pyrosol method) 등을 이용할 수 있다. 화소 전극의 재료로서는 ITO(Indium Tin Oxide), 산화 주석, 산화 인듐과 산화 아연의 복합 산화물 등을 이용할 수 있다.

다음으로, 공정 P52 및 도 21(a)에 도시하는 바와 같이, 격벽, 즉, 뱅크(205)를 주지의 패터닝 방법, 예컨대, 포토리소그래피법을 이용하여 형성하고, 이 뱅크(205)에 의해 각 투명 전극(202) 사이를 채웠다. 이에 따라, 계조의 향상, 발광 재료의 혼색 방지, 화소와 화소 사이에서의 광누설 등을 방지할 수 있다. 뱅크(205)의 재료로서는, EL 재료의 용매에 대해 내구성을 갖는 것이면, 특별히 한정되지 않지만, 플루오르화 탄소 플라즈마 처리에 의해 불소 처리할 수 있는 것, 예컨대, 아크릴 수지, 에폭시, 감광성 폴리이미드 등과 같은 유기 재료가 바람직하다.

다음으로, 정공 주입층용 잉크를 도포하기 직전에, 기판(204)에 산소와 플루오르화 탄소 플라즈마의 연속 플라즈마 처리를 했다(공정 P53). 이에 따라, 폴리이미드 표면은 발수화되고 ITO 표면은 친수화되어, 잉크젯 액체 방울을 미세하게 패터닝하기 위한 기판 측의 습윤성을 제어할 수 있다. 플라즈마를 발생시키는 장치로서는, 진공 중에서 플라즈마를 발생시키는 장치도, 대기중에서 플라즈마를 발생시키는 장치도 마찬가지로 이용할 수 있다.

다음으로, 공정 P54 및 도 21(a)에 도시하는 바와 같이, 정공 주입층용 잉크를 도 8의 잉크젯 장치(16)의 잉크젯 헤드(22)로부터 토출시켜, 각 화소 전극(202) 상에 패터닝 도포를 행했다. 구체적인 잉크젯 헤드의 제어 방법은 도 1, 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 방법을 이용했다. 그 도포 후, 진공(1 torr) 중, 실온, 20분이라는 조건에서 용매를 제거하고(공정 P55), 그 후, 대기 중, 20℃(데운 판 위), 10분의 열 처리에 의해, 발광층용 잉크와 서로 용해되지 않는 정공 주입층(220)을 형성했다(공정 P56). 막두께는 40㎚였다.

다음으로, 공정 P57 및 도 21(b)에 도시하는 바와 같이, 각 필터 소자 영역 내의 정공 주입층(220) 상에 잉크젯 방법을 이용하여 R 발광층용 잉크 및 G 발광층용 잉크를 도포했다. 여기서도, 각 발광층용 잉크는 도 8의 잉크젯 장치(16)의 잉크젯 헤드(22)로부터 토출시키고, 또한 잉크젯 헤드의 제어 방법은 도 1, 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 방법에 따랐다. 잉크젯 방식에 따르면, 미세한 패터닝을 간편하고, 또한 단 시간에 실행할 수 있다. 또한, 잉크 조성물의 고형분 농도 및 토출량을 바꿈으로써 막두께를 바꿀 수 있다.

발광층용 잉크의 도포 후, 진공(1 torr) 중, 실온, 20분 등이라는 조건에서 용매를 제거하고(공정 P58), 계속해서 질소 분위기 중, 150℃, 4 시간의 열 처리에 의해 공역화시켜 적색 발광층(203R) 및 녹색 발광층(203G)을 형성했다(공정 P59). 막두께는 50㎚였다. 열 처리에 의해 공역화한 발광층은 용매에 녹지 않는다.

또, 발광층을 형성하기 전에 정공 주입층(220)에 산소와 플루오르화 탄소 플라즈마의 연속 플라즈마 처리를 행해도 무방하다. 이에 따라, 정공 주입층(220) 상에 불소화물층이 형성되고, 이온화 위치가 높아짐에 따라 정공 주입 효율이 증가하여, 발광 효율이 높은 유기 EL 장치를 제공할 수 있다.

다음으로, 공정 P60 및 도 21(c)에 도시하는 바와 같이, 청색 발광층(203B)을 각 화소 픽셀 내의 적색 발광층(203R), 녹색 발광층(203G) 및 정공 주입층(220) 상에 재차 형성했다. 이에 따라, R, G, B의 3원색을 형성할 뿐만 아니라, 적색 발광층(203R) 및 녹색 발광층(203G)과 뱅크(205)의 단차(段差)를 채워 평탄화할 수 있다. 이에 따라, 상하 전극 사이의 단락을 확실히 막을 수 있다. 청색 발광층(203B)의 막두께를 조정함으로써, 청색 발광층(203B)은 적색 발광층(203R) 및 녹색 발광층(203G)의 적층 구조에서, 전자 주입 수송층으로서 작용하여 청색에는 발광하지 않는다.

이상과 같은 청색 발광층(203B)의 형성 방법으로는, 예컨대, 습식법으로서 일반적인 스핀코팅법을 채용할 수도 있고, 또는, 적색 발광층(203R) 및 녹색 발광층(203G)의 형성법과 마찬가지의 잉크젯법을 채용할 수도 있다.

그 후, 공정 P61 및 도 21(d)에 도시하는 바와 같이, 대향 전극(213)을 형성함으로써, 목표로 하는 EL 장치(201)를 제조했다. 대향 전극(213)은 그것이 면 전극인 경우에는, 예컨대, Mg, Ag, Al, Li 등을 재료로서, 증착법, 스퍼터링법 등과 같은 성막법을 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 대향 전극(213)이 스트라이프 형상 전극인 경우에는, 성막된 전극층을 포토리소그래피법 등과 같은 패터닝 방법을 이용하여 형성할 수 있다.

이상 설명한 EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 잉크젯 헤드의 제어 방법으로서 도 1, 도 2, 도 3 또는 도 4 등에 나타낸 제어 방법을 채용했기 때문에, 도 21에서의 각 화소 픽셀 내의 정공 주입층(220) 및 R, G, B 각 색 발광층(203R, 203G, 203B)은 잉크젯 헤드(22)(도 1참조)의 1회 주 주사 X에 의해 형성되는 것은 아니고, 하나의 화소 픽셀 내의 정공 주입층 및/또는 각 색 발광층은 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐(27)에 의해 n회, 예컨대, 4회에 걸쳐 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성된다. 이 때문에, 가령 복수의 노즐(27) 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 화소 픽셀 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, EL 장치의 발광면의 발광 분포 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있다. 이것은 도 21(d)의 EL 장치(201)에서, 색이 균일하고 선명한 컬러 표시가 얻어진다는 것이다.

또한, 본 실시예의 EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치에서는, 도 8에 나타내는 잉크젯 장치(16)를 이용함으로써, 잉크젯 헤드(22)를 이용한 잉크 토출에 의해 R, G, B의 각 색 화소 픽셀을 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.

(그 밖의 실시예)

이상, 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 그 실시예에 한정되는 것이 아니고, 청구의 범위에 기재한 발명의 범위 내에서 다양하게 변형할 수 있다.

예컨대, 도 8 및 도 9에 나타낸 컬러 필터의 제조 장치에서는, 잉크젯 헤드(22)를 주 주사 방향 X로 이동시켜 기판(12)을 주 주사하고, 기판(12)을 부 주사 구동 장치(21)에 의해 이동시킴으로써 잉크젯 헤드(22)에 의해 기판(12)을 부 주사하기로 했지만, 이와는 반대로, 기판(12)의 이동에 의해 주 주사를 실행하여, 잉크젯 헤드(22)의 이동에 의해 부 주사를 실행할 수도 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 압전 소자의 휨 변형을 이용하여 잉크를 토출시키는 구조의 잉크젯 헤드를 이용했지만, 다른 임의의 구조의 잉크젯 헤드를 이용할 수도 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 주 주사 방향과 부 주사 방향이 직교하는 가장 일반적인 구성에 대해서만 예시했지만, 주 주사 방향과 부 주사 방향의 관계는 직교 관계로 한정되지 않고, 임의의 각도로 교차하고 있으면 관계없다.

토출시키는 재료로는, 기판 등의 대상물 상에 형성하는 요소에 따라 여러 가지 선택 가능하며, 예컨대, 상술한 잉크, EL 발광 재료 이외에도, 실리카겔 유리 전구체(前驅體), 금속 화합물 등의 도전 재료, 유전체 재료, 또는 반도체 재료를 그 일례로서 들 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치, 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치, EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치를 예로서 설명했지만, 본 발명은 이들에 한정되지 않고, 대상물 상에 미세 패터닝을 실시하는 공업 기술 전반에 이용할 수 있다.

예컨대, 각종 반도체 소자(박막 트랜지스터, 박막 다이오드 등), 각종 배선 패턴 및 절연막의 형성 등을 그 이용 범위의 일례로서 들 수 있다.

헤드로부터 토출시키는 재료로서는 기판 등의 대상물 상에 형성하는 요소에따라 여러 가지 선택할 수 있고, 예컨대, 상술한 잉크, EL 발광 재료 이외에도, 실리카겔 유리 전구체, 금속 화합물 등의 도전 재료, 유전체 재료, 또는 반도체 재료를 그 일례로서 들 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 편의상 「잉크젯 헤드」라고 호칭했지만, 이 잉크젯 헤드로부터 토출되는 토출물은 잉크에 한정되지 않고, 예컨대, 상술한 EL 발광 재료, 실리카겔 유리 전구체, 금속 화합물 등의 도전성 재료, 유전체 재료, 또는 반도체 재료 등 여러 가지인 것은 말할 필요도 없다. 상기 실시예의 제조 방법에 의해 제조된 액정 장치, EL 장치는, 예컨대, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등과 같은 전자 기기의 표시부에 탑재할 수 있다.

본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 컬러 필터 내 각각의 필터 소자는 잉크젯 헤드의 1회 주사에 의해 형성되는 것은 아니고, 각 하나의 필터 소자는 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐에 의해 반복해서 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성되기 때문에, 가령 복수의 노즐 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 필터 소자 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 컬러 필터의 광투과 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있다.

또한, 본 발명은 잉크젯 헤드를 이용하는 방법이므로, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.

또한, 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 컬러 필터를 제조하는 단계에서, 컬러 필터 내 각각의 필터 소자는 잉크젯 헤드의 1회 주사에 의해 형성되는 것은 아니고, 각 하나의 필터 소자는 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐에 의해 반복해서 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성되기 때문에, 가령 복수의 노즐 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 필터 소자 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 컬러 필터의 광투과 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있다. 그 결과, 색이 균일하고 선명한 컬러 이미지를 표시할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 각 화소 픽셀 내의 R, G, B 각 색 발광층은 잉크젯 헤드의 1회 주 주사에 의해 형성되는 것은 아니고, 그들의 각 색 발광층은 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐에 의해 재차 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성된다. 이 때문에, 가령 복수의 노즐 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 화소 픽셀 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, EL 장치의 발광면의 발광 분포 특성을 평면적으로 균일하게 할 수 있고, 그 결과, 색이 균일하고 선명한 컬러 표시를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치에서는, 잉크젯 헤드를 이용한 잉크 토출에 의해 R, G, B의 각 색 화소 픽셀을 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를낭비하는 경우도 없다.

또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제어 장치에 따르면, 각각의 색 패턴은 잉크젯 헤드의 1회 주사에 의해 형성되는 것은 아니고, 각 하나의 색 패턴은 다른 노즐 그룹에 속하는 복수의 노즐에 의해 재차 잉크가 토출됨으로써 소정의 막두께로 형성되기 때문에, 가령 복수의 노즐 사이에서 잉크 토출량에 편차가 존재하는 경우에도, 복수의 색 패턴 사이에서 막두께에 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 색 패턴의 광학 특성을 광학 부재의 평면 내에서 균일하게 할 수 있다.

이에 따라, 광학 부재로서의 컬러 필터에서 색 패턴으로서의 R, G, B 각 색 필터 소자를 평면적으로 균일한 막두께로 형성할 수 있다. 또한, 광학 부재로서의 EL 소자에서 색 패턴으로서의 R, G, B 발광층이나 정공 주입층을 평면적으로 균일한 막두께로 형성할 수 있다.

Claims (23)

1. 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 제조하는 컬러 필터의 제조 방법으로서,

   복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사(主走査) 방향으로 이동시키는 공정과,

   상기 복수의 노즐로부터 선택적으로 필터 재료를 토출(吐出)시켜서 상기 기판 상에 상기 필터 소자를 형성하는 공정과,

   각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사(副走査)시키는 공정

   을 구비하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 잉크젯 헤드와 기판 중 하나를 상기 노즐 그룹의 부 주사 방향 길이의 정수배 길이로 다른 하나에 대해 부 주사 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 노즐열은 상기 부 주사 방향에 대해 경사지는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 노즐열의 길이를 L, 상기 분할에 의해 형성되는 상기 노즐 그룹수를 n, 상기 노즐열이 상기 부 주사 방향과 이루는 각도를 θ라고 할 때, 상기 부 주사 이동량 δ는,

   인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 노즐열의 양단 부분의 몇 개의 노즐로부터는 잉크를 토출시키지 않는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 노즐열 중 상기 잉크를 토출시키지 않는 것으로 한 양단부 노즐을 제외한 부분의 길이를 L, 상기 분할에 의해 형성되는 상기 노즐 그룹수를 n, 상기 노즐열이 상기 부 주사 방향과 이루는 각도를 θ라고 할 때, 상기 부 주사 이동량 δ는,

   인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 잉크젯 헤드는 복수개 마련되고, 또한, 각각의 잉크젯 헤드의 노즐열로부터는 서로 다른 색의 필터 재료가 토출되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 잉크젯 헤드는 복수의 상기 노즐열이 마련되고, 또한, 각 상기 노즐열로부터는 서로 다른 색의 상기 필터 재료가 토출되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
9. 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 제조하는 컬러 필터의 제조 장치로서,

   복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와,

   해당 잉크젯 헤드로 필터 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과,

   상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과,

   상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과,

   상기 복수의 노즐로부터 잉크의 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과,

   상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과,

   상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단

   을 구비하되,

   각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 장치.
10. 액정을 사이에 유지하는 한 쌍의 기판과, 적어도 하나의 기판 상에 복수의필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 갖는 액정 장치의 제조 방법으로서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 공정과,

    상기 복수의 노즐로부터 선택적으로 필터 재료를 토출시켜 상기 기판 상에 상기 필터 소자를 형성하는 공정과,

    각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 공정

    을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 방법.
11. 액정을 사이에 유지하는 한 쌍의 기판과, 적어도 하나의 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 갖는 액정 장치의 제조 장치에 있어서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와,

    해당 잉크젯 헤드로 필터 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과,

    상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과,

    상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과,

    상기 복수의 노즐로부터 잉크의 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과,

    상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과,

    상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단

    을 구비하되,

    각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 장치.
12. 각각이 EL 발광층을 포함하는 복수의 화소 픽셀을 기판 상에 배열하여 이루어지는 EL 장치의 제조 방법에 있어서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 공정과,

    상기 복수의 노즐로부터 선택적으로 EL 발광 재료를 토출시켜 상기 기판 상에 상기 EL 발광층을 형성하는 공정과,

    각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 공정

    을 구비하는 것을 특징으로 하는 EL 장치의 제조 방법.
13. 각각이 EL 발광층을 포함하는 복수의 화소 픽셀을 기판 상에 배열하여 이루어지는 EL 장치의 제조 장치에 있어서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와,

    해당 잉크젯 헤드로 EL 발광 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와,

    상기 잉크젯 헤드로 상기 EL 발광 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과,

    상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과,

    상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과,

    상기 복수의 노즐로부터 잉크의 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과,

    상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과,

    상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단

    을 구비하되,

    각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 하는 EL 장치의 제조 장치.
14. 기판 상에 복수의 색 패턴을 배열하여 이루어지는 광학 부재를 제조할 때에 이용되는 잉크젯 헤드의 제어 장치에 있어서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 잉크젯 헤드와,

    해당 잉크젯 헤드로 필터 재료를 공급하는 잉크 공급 수단과,

    상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 수단과,

    상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 수단과,

    상기 복수의 노즐로부터 잉크의 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 수단과,

    상기 주 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 주 주사 제어 수단과,

    상기 부 주사 구동 수단의 동작을 제어하는 부 주사 제어 수단

    을 구비하되,

    각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판 중 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 제어 장치.
15. 대상물에 재료를 토출시키기 위한 방법으로서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 상기 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 헤드와 상기 대상물 중의 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 공정과,

    상기 복수의 노즐로부터 상기 대상물을 향하여 선택적으로 재료를 토출시키는 공정과,

    각 상기 그룹의 적어도 일부가 상기 기판의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 헤드와 상기 대상물 중의 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 공정

    을 구비하는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.
16. 제 15 항에 있어서,

    상기 헤드와 대상물 중 하나를 상기 그룹의 부 주사 방향 길이의 정수배 길이로 부 주사 이동시키면서 상기 주 주사를 복수회 반복하여 실행하는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.
17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,

    상기 복수의 노즐은 상기 부 주사 방향에 대해 경사지도록 배열되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.
18. 제 17 항에 있어서,

    상기 노즐열의 길이를 L, 상기 분할에 의해 형성되는 상기 그룹수를 n, 상기 노즐열이 상기 부 주사 방향과 이루는 각도를 θ라고 할 때, 상기 부 주사 이동량 δ는,

    인 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.
19. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,

    상기 노즐열의 양단 부분 중 몇 개의 노즐로부터는 재료를 토출시키지 않는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.
20. 제 19 항에 있어서,

    상기 노즐열 중 상기 재료를 토출시키지 않는 것으로 한 양단부 노즐을 제외한 부분의 길이를 L, 상기 분할에 의해 형성되는 상기 노즐 그룹수를 n, 상기 노즐열이 상기 부 주사 방향과 이루는 각도를 θ라고 할 때, 상기 부 주사 이동량 δ는,

    인 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.
21. 대상물에 재료를 토출시키기 위한 재료의 토출 장치로서,

    복수의 노즐을 열 형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열을 갖고, 해당 노즐열이 복수의 그룹으로 분할되어 이루어지는 헤드와,

    해당 헤드로 재료를 공급하는 재료 공급 요소와,

    상기 헤드와 상기 대상물 중의 하나를 다른 하나에 대해 주 주사 방향으로 이동시키는 주 주사 구동 요소와,

    상기 헤드와 상기 대상물 중의 하나를 다른 하나에 대해 부 주사 방향으로 이동시키는 부 주사 구동 요소와,

    상기 복수의 노즐로부터 상기 재료의 토출을 제어하는 노즐 토출 제어 요소

    를 구비하되,

    각 상기 그룹이 상기 대상물의 동일 부분을 상기 주 주사 방향으로 주사할 수 있도록, 상기 잉크젯 헤드와 상기 대상물 중의 하나를 다른 하나에 대해 부 주사시키는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 장치.
22. 청구항 10에 기재된 액정 장치의 제조 방법을 이용하여 제조한 액정 장치를 탑재한 전자 기기.
23. 청구항 12에 기재된 EL 장치의 제조 방법을 이용하여 제조한 EL 장치를 탑재한 전자 기기.