TW514593B

TW514593B - Methods and apparatuses for making color filter, liquid crystal device, and electro-luminescent device, inkjet head controller, method and apparatus for discharging material, and electronic machine

Info

Publication number: TW514593B
Application number: TW090128326A
Authority: TW
Inventors: Tomomi Kawase; Hisashi Aruga; Satoru Katagami; Masaharu Shimizu; Hiroshi Kiguchi
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2000-11-21
Filing date: 2001-11-15
Publication date: 2002-12-21
Also published as: US20040100610A1; KR20020039614A; DE60127512D1; CN1264678C; EP1208985A2; DE60127512T2; KR100470084B1; US20020067400A1; US20040032480A1; EP1208985A3; US6939407B2; CN1358626A; US6660332B2; EP1208985B1; JP2002221616A

Description

514593 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____ __ B7_五、發明説明（） 1 明係有關製造使用於液晶裝置等之光學裝置的彩色濾光片的製造方法及製造裝置。又，本發明有關具有彩色濾光片之液晶裝置之製造方法及製造裝置。又，本發明係有關於使用EL發光層進行顯示之EL裝置之製造方法及製造裝置。又，有關於對象物吐出材料的材料之吐出方法’及材料之吐出裝置。更且，有關於使用此等製方法製造的液晶裝置，或搭載EL裝置之電子機器。【以往之技術】近年以來，於攜帶型電話機、攜帶型個人電腦等之電子機器之顯示部，擴爲使用液晶裝置、EL裝置等之顯示裝置。又，最近，由於顯示裝置的情形，進行彩色顯示者有漸多的現象。然後，於彩色濾光片經由玻璃、塑膠等形成之基板的表面，例如將R(紅）、G(綠）、B(藍）之點狀之反色濾元件，經由以條紋排列、5排列或馬賽克排列等之所定之排列加以排列，加以形成。又，經由EL裝置，進行全彩顯示裝置時，例如經由玻璃、塑膠等所形成之基板表面，例如將R(紅）、G(綠）、 B(藍）之點狀之各色EL發光層以條紋排列、5排列或馬賽克排列等之所定之排列加以排列，將此等之EL發光層以一對之電極加以挾持，形成晝素圖素，將施加於此等之電極的電壓，經由於每畫素圖素加以控制，將畫素圖素以期望之顏色發光，由此進行全彩顯示。以往，圖案化彩色濾光片之R、G、B等之各色濾色本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •舞· 訂線 -4- 514593 A7 B7 五、發明説明（) 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 元件時，或圖案化EL裝置之R、G、B等之各色件晝素圖素時，可知使用微縮法。但是於使用此微縮法時，將工程爲複雜或各色材料或光阻劑等，消耗多量之故，會有成本提高等之問題。爲解決此問題’提案經由噴墨法’將爐色材料或EL 發光材料等經由吐出成爲點狀，形成點狀排列之細絲或 EL發光層等的方法。現在，於圖22(a)中，於經由玻璃、塑膠等所形成之大面積之基板、所謂設定於主機板301之表面的複數之面板範圍302之內部範圍，如圖22(b)所示，有將排列成爲點狀之複數之濾色元件303，根據噴墨法形成之情形。於此時，例如示於圖22(c)，將具有複數之噴嘴304 排列成爲列狀所成的噴嘴列305的噴墨頭306，於圖22(b) 箭頭A1及箭頭A2所示，關於1個之面板範圍302，進行複數次（圖22爲2次）之主掃瞄地，於此等之主掃瞄間，經由自複數之噴嘴選擇性地吐出墨水即吐出濾色材料，於期望位置形成瀘色元件303。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製濾色元件303係經由將R、G、B之各色以條紋排列、5排列、馬賽克排列等之適切排列加以排列加以形成之故，圖22(b)所示噴墨頭306所成墨水吐出處理係將吐出 R、G、B之單色的噴墨頭306,僅預先設置R、G、B等之 3色分，將此等之噴墨頭306順序使用，於1個母板301 上，形成R、G、B等之3色排列。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 514593 A7 B7 __ 五、發明説明（） 3 【發明欲解決之課題】然而，有關於噴墨頭306，一般而言，在於構成噴嘴列3 05之複數噴嘴304之墨水吐量有其參差不齊之處，例如如圖23(a)所示，具有對應於噴嘴列305之兩端部之位置的吐出量爲多，該中央部則爲次多，此等之中間部之吐出量爲少的墨水吐出特性Q。因此，如圖22(b)所示，經由噴墨頭306形成濾色元件303時，如圖23(b)所示，於對應於噴墨頭306之端部的位置P1或中央部P2、或於P1及P2的兩者形成濃度爲濃的條紋，彩色濾光片之平面性光透過特性會有成爲不均勻的問題。本發明係有鑑於上述之問題點而成者，提供將彩色濾光片之光透過特性、液晶裝置之彩色顯示特性、 EL發光面之發光特性等之光學構件之光學特性，可達平面性均勻之各光學構件的製造方法及製造裝置爲目的。【爲解決課題之手段】 (1)爲達成上述目的，有關於本發明之彩色濾光片之製造方法，屬於製造在於基板上排列複數之濾光片元素所成之彩色濾光片的彩色濾光片之製造方法，其特徵係具備具有將複數之噴嘴排列成列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，及將前述基板中之一方，對於另一方向，向主掃瞄線方向移動的工程，和自前述複數之噴嘴選擇性吐出濾光片材料，於前述基板上形成前述濾光片元素的工程，和各前述群之至少一部分，令前述基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐) 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6 - 514593 A7 B7 五、發明説明（) 4 板之同樣部分可向前述主掃瞄方向掃瞄地，將前述噴墨頭及則述基板中之一'方，對於另一*方進彳了副ί市目田之工ί壬。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據，此構成之彩色濾光片之製造方法時，彩色濾光片內之各濾光片元件係非經由噴墨頭之1次之掃瞄加以形成，經由屬於不同噴嘴群之複數之噴嘴，藉由接受重複之墨水吐出，形成成爲所定之膜厚之故，假使於複數之噴嘴間，於墨水吐出量存在參差之時，於複數之濾光片元件間，可防止參差之產生，因此，可使彩色濾光片之光透過特性成爲平面均勻。當然，本發明之彩色瀘光片之製造方法係使用噴墨頭之方法之故，無需經過使用微縮術法之方法的複雜工程，或無材料之浪費。於上述構成之彩色濾光片之製造方法中，將前述噴墨頭及基板中之一方，以前述噴墨群之副掃瞄方向之長度的整數倍長度，對於另一方進行副掃瞄移動。由此時，複數之噴嘴群，重疊前述基板之同樣部分加以掃瞄，經由各噴嘴群內之噴嘴，於各濾光片元件範圍，重疊墨水加以供給經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〇又，於上述構成之彩色濾光片之製造方法中，前述噴嘴列可對於前述副掃瞄方向傾斜加以配置。噴嘴列係將複數之噴嘴經由排列成爲列狀加以形成。此時，噴嘴列之配置狀態對於噴墨頭之副掃瞄方向爲平行時，經由自噴嘴吐出之濾光片元素材料所形成之濾光片元素之鄰接者之間的間隔，即元素間間隔係等於形成噴嘴之複數之噴嘴之噴嘴本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210x297公釐）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 5 間隔。元素間間隔等於噴嘴間間隔即可之時，雖如上所述即可，但此情形時爲少有的情形，通常現狀下元素間隔和噴嘴間間隔爲不同之情形者爲多。如此地，當元素間隔和噴嘴間間隔爲不同之時，如上述構成，將噴嘴列對於噴墨頭之副掃瞄方向，經由傾斜，將沿噴嘴間間隔之副掃瞄方向之長度，可配合於元素間間隔。然而，於此時，構成噴嘴列之各噴嘴之位置則關於主掃瞄方向，主掃瞄方向，會變成前後偏移，但對此可將自各噴嘴之濾光片元素材料的吐出時間的偏移，以各噴嘴之墨水滴供給予期望之位置。又，於上述構成之彩色濾光片之製造方法中，噴墨頭之副掃瞄移動之長度係如下加以決定。即，令前述噴墨列之長度爲L，令經由前述分割形成之前述噴墨群之數爲η 、令前述噴墨列與前述副掃瞄方向所成之角爲θ之時，前述副掃瞄移動量5係 5与（L/n)C〇s0者。根據此構成之時，噴墨頭係將複數之噴嘴，向副掃瞄方向可按每噴嘴群移動。結果，例如，噴嘴列分割成爲4個之噴嘴群時，基板上之各部係經由 4個之噴嘴群重疊主掃瞄。接著，於上述構成之彩色濾光片之製造方法中，可採用自前述噴墨列之兩端部分之數個噴嘴不會吐出墨水者。於一般之噴墨頭，墨水吐出分布於噴嘴列之兩端部分，比較其他之部分加以變化係關連於圖23 (a)加以說明。有關於具有如此之墨水吐出分布特性的噴墨頭係除去變化大之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇^297公釐厂 ~ -8- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

、1T 線^--- 514593 A7 B7 _ 五、發明説明（） 6 噴嘴列兩端部分之數個之噴嘴，墨水吐出分布使用一樣之複數之噴嘴時，平面性均勻濾色片元素之膜厚。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，如上述未使用噴嘴之兩端部分之數個之噴嘴進行處理之時，噴墨頭之副掃瞄移動之長度係如下加以決定。即，令除去前述噴墨列中不吐出前述墨水之兩端部噴嘴的部分之長度爲L，令經由前述分割形成之前述噴墨群之數爲η、令前述噴墨列與前述副掃瞄方向所成之角爲Θ之時，前述副掃瞄移動量5係 5 #(L/n)cos0 者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製接著，經由上述構成之彩色濾光片之製造方法所製造之彩色濾光片係將R紅）、G(綠）、B(藍）或C(青藍）、Y(黃）、Μ(洋紅）等之複數色濾光片，經由平面性排列適切之圖案加以形成。製造如此之彩色濾光片時，將複數色中之一類之濾光片材料，將自噴嘴列吐出之噴墨頭22，獨立設置各個色數分，「前述噴嘴列內之各噴嘴群重疊前述基板之同樣部分加以掃瞄地，將前述噴墨頭副掃瞄地，複數重覆進行前述主掃瞄」的工程，係對於前述1個之基板，將各色之噴墨頭，經由各別加以使用順序進行而實現。又厂製造具有如上述R、G、Β或C、Υ、Μ等之複數色濾光片元素的彩色濾光片時，將吐出各色之複數種類之噴嘴列，經由形成於1個之噴墨頭的內部，形成前述噴墨頭，「前述噴嘴列內之各噴嘴群重疊前述基板之同樣部分本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -9- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 7 加以掃瞄地，將前述噴墨頭副掃瞄地，複數重覆進行前述主掃瞄」的工程，係經由前述噴墨頭，對於複數色同時力口以進行。 (2) 接著，有關於本發明之彩色濾光片之製造裝置，屬於製造在於基板上排列複數之濾光片元素所成之彩色濾光片的彩色濾光片之製造裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列.，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給濾光材料的墨水供給手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段，和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段；各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。 (3) 接著，有關於本發明之液晶裝置之製造方法，屬於具有挾持液晶之一對基板，和於至少一方之基板上排列複數之濾光元素所成之彩色濾光片的液晶裝置之製造方法，其特徵係具備具有將複數之噴嘴排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，及將前述基板中之一方，對於另一方向，向主掃瞄線方向移動的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ~ ~— --------:--0------1T------A· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 8 工程，和自前述複數之噴嘴選擇性吐出濾光片材料，於前述基板上形成前述濾光片元素的工程，和各前述群之至少一部分’令則述基板之冋樣部分可向則述主掃瞄方向掃瞄地，將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方進行副掃瞄之工程。 (4) 接著，有關於本發明之液晶裝置之製造裝置，屬於具有挾持液晶之一對基板，和於至少一方之基板上排列複數之濾光元素所成之彩色濾光片的液晶裝置之製造裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭烘給濾光材料的墨水供給手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃猫方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段，和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段 ;各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。 (5) 接著，有關於本發明之電激發光裝置之製造方法，屬於將各包含電激發光發光層之複數之繪點像素排列於基板上所成之電激發光裝置之製造方法，其特徵係具備具本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）：--------、訂------00---τ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 514593 A7 B7 五、發明説明（） 9 有將複數之噴嘴排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，及將前述基板中之一方，對於另一方向，向主掃瞄線方向移動的工程’和自前述複數之噴嘴選擇性吐出電激發光發光材料’於前述基板上形成前述電激發光發光層的工程，和各前述群之至少一部分，令前述基板之同樣部分可向前述主掃瞄方向掃瞄地’將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方進行副掃瞄之工程。 (6)接著，有關於本發明之電激發光裝置之製造裝置屬於將各包含電激發光發光層之複數之繪點像素排列於基板上所成之電激發光裝置之製造裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給電激發光發光材料的墨水供給手段，和具有將複數之噴嘴排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給電激發光發光材料的墨水供給手段，以及將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段，和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段；各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ._ —嬅丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 10 頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃猫者。 (7)接著，有關於本發明之噴墨頭之控制裝置，屬於製造在於基板上排列複數之顏色圖案所成之光學構件之時所使用之噴墨頭之控制裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給濾光片材料的墨水供給手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段，和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段；各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。上述構成之噴墨頭之控制裝置中，做爲「光學構件」，可爲彩色濾光片、EL裝置等。又，做爲光學構件可爲彩色濾光片時，做爲「色圖案」相當R、G、B之各濾光片元素。又，做爲光學構件可爲EL裝置時，做爲「色圖案」相當R、G、B之各色發光層或正孔注入層等。【發明之實施形態】本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------.--^9----1T------0.0— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -13- 514593 A7 B7 五、發明説明（） 11 (第1之實施形態）以下，對於彩色濾光片之製造方法及該製造裝置之一實施形態加以說明。又，在說明此等之製造方法及製造裝置之前，對於使用此等之製造方法所製造之彩色濾光片加以說明。圖5(a)係將彩色濾光片之一實施形態之平面構造模式性地加以顯示。又，圖6(d)係顯示根據圖5(a)之VI-VI線的截面構造。本實施形態之彩色濾光片1係於經由玻璃、塑膠等所形成之方形狀之基板2的表面，將濾光片元素3形成點圖案狀，於本實施形態中形成成爲點矩陣狀，更且如圖6(d) 所示，於其上經由堆積保護層4加以形成。然而，圖5(a) 係平面顯示除去保護層4之狀態的彩色濾光片1。. 濾光片元素3係經由無透光性1之樹脂材料，藉由形成成爲格子狀之圖案的間隔壁6加以畫分，將成爲矩陣狀排列的複數之方形狀之範圍，經由以色材埋入而形成。又，此等之濾光片元素3各別經由R(紅）、G(綠）、B(藍）中之任一色的色材加以形成，此等之各色濾光片元素3成爲所定排列進行排列。做爲此排列，例如有圖7(a)所示之條紋排列、圖7(b)所示馬賽克排列、圖7(c)所示6排列等。條紋排列係矩陣之縱列所有成爲同色之配色。馬賽克排列係排列於縱橫之直線上的任意之3個之濾光片元素，成爲R、G、B之3色所成配色。然後，ά排列係將濾光片元素之配置成爲不同階段，任意鄰接之3個濾光片元素配色成爲R、G、Β。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 514593 A7 ____ B7_ 五、發明説明（） 12 彩色濾光片1之大小係例如1 · 8英吋。又，1個之濾光片元素3之大小係例如30 μιηχ 100 μΐΉ。又，向各濾光片元素3間之間隔，所謂之元素間間隔係例如爲75 μιη。將本實施例之彩色濾光片1做爲全彩顯示之光學要素使用之時，將R、G、Β3個之濾光片元素3，做爲1個單元，形成1個畫素，於1晝素內之R、G、Β之任一或此等之組合，將光經由選擇性通過，進行全彩顯示。此時，經由無透光性之樹脂材料形成之間隔壁6係做爲黑陣列加以作用。上述之彩色濾光片1係例如自圖5(b)所示之大面積之母基板12切出。具體而言，又，於設定於母基板12內之複數之彩色瀘光片形成範圍11之各表面，形成彩色濾光片1之1個分之圖案，更且於此等之彩色濾光片形成範圍 11之周圍，形成切斷用之溝，更且沿此等之溝，經由切斷母基板1 2，形成各個之彩色濾光片1。以下，對於製造圖5(a)所示之彩色濾光片1的製造方法及該製造裝置加以說明。圖6係將彩色濾光片1之製造方法依工程順序模式性圾加以顯示。首先，於母基板1 2之表面，經由無透光性之樹脂材料，將間隔壁6自箭頭Β方向視之，形成成爲格子狀圖案。格子狀圖案之格子孔之部分7係形成濾光片元素3之範圍，即濾光片元素範圍。自經由此間隔壁6形成之各濾光片元素範圍7之箭頭Β方向視得情形之平面尺寸係例如形成成爲30 μηιχ 100 μηι。本紙張尺度適用中國國家標準（CNs ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線一經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 514593 A7 __________B7 五、發明説明（） ' 13 間隔壁6係兼具有阻止供予濾光片元素範圍7之濾光片元素材料的流動機能及黑矩陣之機能。又，間隔壁6係經由任意之圖案手法，例如經由微縮術法加以形成，更且依需要，經由加熱器加熱燒成。間隔壁6之形成後，如圖6 (b)所示，將濾光片元素材料之液滴8，經由供予各濾光片元素範圍7，將各濾光片元素範圍7以濾光片元素材料π加以埋入。於圖6(b)中，符號13R係顯示具有R(紅）色之濾光片元素材料，符號 13G係顯示具有G(綠）色之濾光片元素材料，然後符號 13B係顯示具有B(藍）色之濾光片元素材料。於各濾光片元素範圍7塡充所定量之濾光片元素材料時，經由加熱器，將母基板12例如加熱至70°C程度，蒸發濾光片元素材料之溶媒。經由此蒸發，減少如圖6(c)所示之濾光片元素材料1 3的體積，而平坦化。於體積之減少激烈時，做爲彩色濾光片直至得充分膜厚，重覆進行濾光片元素材料之液滴的供給和該液滴的加熱。經由以上之處理，最終僅殘留濾光片元素材料的固體部而膜化，由此，形成期望各色之濾光片元素3。經由以上，形成濾光片元素3之後，爲將此等之細線 3完全乾燥，於所定之溫度執行所定時間之加熱處理。之後，例如使用旋轉塗佈法，滾動塗佈法、？？法或噴墨法等之適切手法，形成保護膜4。此保護膜4係爲濾光片元素 3等之保護及彩色濾光片1之表面之平坦化而形成。圖8所顯示爲進行圖6(b)所示之濾光片元素材料之供本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ' 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16 - 514593 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 14 給處理的噴墨裝置之一實施形態。此聚砂氧院液狀墊圈 1 6係將R、G、B中之一色，例如將R色之濾光片元素材料做爲墨水之液滴，爲向母基板1 2 (參照圖5 (b))內之各彩色濾光片形成範圍11內之所定位置吐出附著的裝置。G 色之濾光片元素材料及B色峙濾光片元素材料的噴墨裝置雖亦被各別加以準備，此等之構造係可與圖8者相同之故，對於此等之說明則省略。於圖8中，噴墨裝置16係具有具備噴墨頭22之噴頭單元26，和控制噴墨頭22之位置之噴頭位置控制裝置1 7 ，和控制母基板12之位置之基板位置控制裝置18，和將噴墨頭22對於母基板12主掃瞄移動的主掃瞄驅動裝置 1 9，和將噴墨頭22對於母基板1 2副掃瞄移動的副掃瞄驅動裝置2 1，和將母基板1 2向噴墨裝置1 6內之所定作業供給的基板供給裝置23，和然後司掌噴墨裝置1 6之整體之控制的控制裝置24。將噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、噴墨頭22對於母基板12主掃瞄移動的主掃瞄驅動裝置19 ，然後副掃瞄驅動裝置21之各裝置，設置於基台9上。又，此等之各裝置依需要經由覆蓋1 4加以被覆。噴墨頭22係例如如圖10所示，具有將複數之噴嘴 27排列成爲列狀形成之噴嘴列28。噴嘴27之數係例如有 180個，噴嘴27之孔徑係例如爲28 μηι，噴嘴27間之噴嘴間隔係例如14 1 μ m。圖5 (a)及圖5 (b)中，對於彩色濾光片1及母基板1 2之主掃瞄方向X及正交此之副掃瞄方本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-17- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 15 向Y係於圖10中，設定爲如圖示。噴墨頭22係該噴嘴列28向與主掃瞄方向X交叉之方向延伸地進行位置設定，於向此主掃瞄方向X平行移動之時，將做爲墨水之濾光片元素材料，經由自複數之噴嘴27選擇性吐出，於母基板12(參照圖5(b))內之所定位置，附著濾光片元素材料。又，噴墨頭22係向副掃瞄方向Y僅經由平行移動所定距離，可將噴墨頭22所成主掃瞄位置以所定間或偏移。噴墨頭22係例如具有圖12(a)及圖12(b)所示內部構造。具體而言，噴墨頭22係例如具有不鏽鋼製之噴嘴板 29，和對向此之振動板3 1，和將此等相互接合之複數之區隔構件32。於噴嘴板29和振動板3 1間，經由區隔構件32，形成複數之墨水室33和蓄液處34。墨水室33和蓄液處34係介由通路38相互連通。於振動板3 1之適切處，形成墨水供給孔3 6。於此墨水供給孔36，連接墨水供給裝置37。此墨水供給裝置37 係將R、G、B中之一色，例如將R色之濾光片元素材料 Μ供給至墨水供給孔36。被供給之濾光片元素材料Μ充滿蓄液處34，更且透過通路38，充滿於墨水室33。於噴嘴板29中，將自墨水室33之濾光片元素材料μ ，設置成爲噴射狀噴射的噴嘴27。又，於形成振動板3 1 之墨水室3 3面的背面，對應於該墨水室3 3，安裝墨水加壓體39。此墨水加壓體39係如圖12(b)所示’具有壓電元件4 1以及挾持此之一對之電極4 2 a及4 2 b。壓電元件本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-18- 514593 A7 B7 五、發明説明（） 16 41係經由向電極42a及42b之通電’向以箭頭C所示外側突出地彎曲變形，由此，增大墨水室3 3之容積。結果，相當於增大之容積分的濾光片元素材料Μ[自蓄液處34 透過通路38，流向墨水室33 ° 接著，解除向壓電元件4 1之通電時，逸壓電元件41 和振動板3 1係皆回到原本之形狀。由此，墨水室33亦回到原本之容積之故，墨水室33之內部的濾光片元素材料 Μ之壓力上昇，自噴嘴27向母基板12(參照圖5(b))，瀘光片元素材料Μ則成爲液滴8而噴出。然而，於噴嘴27 之周邊部，爲防止液滴8之飛行彎曲或噴嘴27之孔阻塞，例如設置自Ni-四氟乙烯共析鍍層所所成排墨水層43。於圖9中，噴頭位置控制裝置17係具有將噴墨頭22 面內旋轉之α馬達44，和將噴墨頭22向與副掃瞄方向Y 平行之軸線旋轉，搖動旋轉之/3馬達46、和將噴墨頭22 向與主掃瞄方向平行之軸線旋轉，搖動旋轉之7馬達47 ，和然後將噴墨頭22向上下方向平行移動之Z馬達48。圖8所示之基板位置控制裝置1 8係於圖9中，具有載置有母基板12之平台49，和將該平台49如箭頭0面內旋轉之0馬達5 1。又，示於圖8之主掃瞄驅動裝置19 係如圖9所示，具有向主掃瞄方向X延伸之導軌52，和內藏脈動驅動之線性馬達的滑動件53。滑動件53係作動內藏之線性馬達時，沿導軌5 2向主掃瞄方向平行移動。又，示於圖8之副掃瞄驅動裝置21係如圖9所示，具有向副掃瞄方向Y延伸之導軌54，和內藏脈衝驅動之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19- 514593 A7 ___B7_ 五、發明説明（） 17 線性馬達的滑動件56。滑動件56係作動內藏之線性馬達時，沿導軌54，向副掃瞄方向γ平行移動。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於滑動件53或滑動件56內，脈衝驅動之線性馬達係經由供予該馬達之脈衝信號，可精密進行輸出軸之旋轉陞角度控制，因此可高精度控制支持於滑動件53之噴墨頭 22之主掃瞄方向X上之位置或平台49之副掃瞄方向Y上之位置等。然而，噴墨頭22或平台49之位置控5係不限於使用脈衝馬達之位置控制，亦可經由使用伺服馬達之反饋控制，或其他任意之控制方法加以實現。圖8所示之基板供給裝置23係具有收容母基板1 2之基板收容部57，和搬送母基板12之機器人58。機.器人 5 8係具有置於設置底板、地面等之設置面的基台5 9，和對於基台59昇降移動之昇降軸61，和將昇降軸61做爲中心旋轉之第1手臂62，和對於第1手臂62旋轉之第2 手臂63，和設於第2手臂63之前端下面的吸附墊64。吸附墊64係經由空氣吸引等，吸附母基板1 2。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於圖8中，經由主掃瞄驅動裝置19驅動，主掃瞄移動之噴墨頭22之軌跡下，於副掃瞄驅動裝置2 1之一方之旁側位置，配設覆蓋裝置76及淸潔裝置77。又，於其他之旁側位置，配設電子天平78。淸潔裝置77係爲洗淨噴墨頭22之裝置。電子天平78係將自噴墨頭22內之各噴嘴27(參照圖1〇)吐出之墨水之液滴之重量，按每噴嘴測定之機器。然後，覆蓋裝置76係噴墨頭22爲待機狀態時本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' -20- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 _ _ B7________ 五、發明説明（） 18 ，爲防止噴嘴27(參照圖10)之乾燥的裝置。於噴墨頭22附近，以與該噴墨頭22 —體移動的關係，配設噴墨用攝影機8 1。又，支持於設於基台9上之支持裝置（未圖不）的基板用攝影機82’配置於可攝影母基板 1 2之位置。圖8所示之控制裝置24係具有收容處理器之電腦本體部66，和做爲輸入裝置之，和做爲顯示裝置之CRT(陰極射線管）顯示器68。上述處理器係具有如圖14所示’ 進行演算處理之CPU(中央處理器）69，和記憶各資訊之記憶體，即資訊記憶媒體7 1。驅動圖8所示之噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、主掃瞄驅動裝置19、副掃瞄驅動裝置21、然後噴墨頭22內之壓電元件41 (參照圖12(b))之噴墨驅動電路7 2之各機器，係於圖14，藉由輸出入界面7 3及匯流排74，連接於CPU69。又，基板供給裝置23、輸入裝置 67、顯示器68、電子天平78、淸潔裝置77及覆蓋裝置 76之各機器亦藉由輸出入界面73及匯流排74，連接於 CPU69 。記憶體71係包含RAM(隨機存取記憶體）、ROM(唯讀記憶體）等之半導體記憶體，或硬碟、CD-ROM讀取裝置、碟片型記憶媒體等之外部記憶裝置的槪念，機能上設定記憶記述噴墨裝置1 6之動作之控制手續的程式軟體的記憶範圍，或將爲實現示於圖7之各種R、G、B排列的R 、G、B中之一色的母基板12(參照圖5)內之吐出位置，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐) 一 --------：—MW------1T------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -21 - 514593 A7 _B7__ 五、發明説明（） 19 做爲座標資料加以記憶的記憶範圍，或爲記憶圖9之副掃瞄方向Y的母基板1 2之副掃瞄移動量的記憶範圍，或做爲CPU69之工作區域或暫存檔案等之機能範圍，或其他各種之記憶範圍。 CPU69係根據記憶於記憶體71內的程式軟體，於母基板1 2，在表面之所定位置，進行吐出墨水，即吐出瀘光片元素材料之控制，做爲具體性之機能實現，具有爲實現淸潔處理之演算的淸潔演算部，和爲實現縫隙處理的縫隙演算部，和爲進行實現使用電子天平78(參照圖8)之重量測定的演算之重量測定演算部，和爲進行經由噴墨描繪濾光片元素材料之演算的描繪演算部。將描繪演算部詳細分割時，具有對爲描繪噴墨頭22 之起始位置進行設定之描繪開始位置演算部，和演算將噴墨頭22后主掃瞄方向X以所定之速度掃瞄移動的控制的副掃瞄控制演算部，和然後作動噴墨頭22內之複數之噴嘴27中之任一者，進行爲控制是否吐出墨水即濾光片元素材料的演算的吐出控制演算部等的各種之機能演算部。然而，於本實施形態中，雖將上述各機能使用CPU69 以軟體加實現，上述之各機能經由未使用CPU之單獨電子電路加以實現之時，可使用如此之電子電路。以下，將自上述構成所成之噴墨裝置1 6之動作，根據圖1 5所示之流程加以說明。經由操作員所成電源投入，作動噴墨裝置1 6時，首先。於步驟S 1中，執行啓始設定。具體而言，噴頭單元本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 514593 A7 _B7_ 五、發明説明（） 20 26或基板供給裝置23或控制裝置24等設定成爲預先決定之啓始狀態。接著，到達重量測定時間（步驟S2爲YES )，將圖 9之噴頭單元26經由主掃瞄驅動裝置1 9，移動至圖8之電子天平78處（步驟S3)，將自噴嘴27吐出之墨水之量，使用電子天平78加以測定（步驟S4)。然後，配合噴嘴27 之墨水吐出特性，調節施加於對應於各噴嘴27之壓電元件41的電壓（步驟S5)。接著，到達淸潔時間時（步驟S6爲YES)、將噴頭單元26經由主掃瞄驅動裝置19移動示淸潔裝置77之處（步驟S7)，經由淸潔裝置77淸潔噴墨頭22(步驟S8)。不到達重量測定時間或淸潔時間時（步驟S2及S6爲 NO)，或此等之處理終了之時，於步驟S9，作動圖8之基板供給裝置23，將母基板12供給至平台49。具體而言，將基板收容部57內之母基板1 2經由吸附墊64加以吸附保持，接著，移動昇降軸61、第1手臂62及第2手臂63 ，將母基板12搬送至平台49，更且於平台49之適切處，擠壓預先設置之定位針腳50(圖9)。然而，爲防止平台 49上之母基板12之位置偏移，經由空氣吸引等之手段將母基板12回定於平台49者爲佳。接著’經由圖8之基板用攝影機82，觀察母基板12 地，將圖9之Θ馬達5 1之輸出軸經由以微小角度單位旋轉’將平台49以微小角度單位面內旋轉，定位母基板 12(步驟S10)。接著，經由圖8之噴墨用攝影機81，觀察本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 --------：-I礞丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 514593 A7 ________B7 五、發明説明（） ~ 21 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 母基板1 2地’經由噴墨頭2 2，藉由演算開始描繪之位置加以決定（步驟S 11 )，然後，適切動作主掃瞄驅動裝置i 9 及副掃瞄驅動裝置2 1，將噴墨頭22向描繪開始位置移動 (步驟S12)。此時，噴墨頭22係如示於圖i(a)之位置，噴嘴列28 對於噴墨頭22之副掃瞄方向Y，以角度0加以傾斜配設。此係於通常之噴墨裝置時，鄰接噴嘴27之間之間隔的噴嘴間間隔的噴嘴間間隔，和鄰接之濾光片元素3即濾光片元素材料形成範圍7之間之間隔的元素間隔不同爲多，將噴墨頭22向主掃瞄方向X移動時，噴嘴間間隔之副掃瞄方向Y之尺寸法成分與元素間隔成幾何學上相等而成之措施。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於圖1 5之步驟S 1 2，噴墨頭22置於描繪開始位置時，於圖1中，噴墨頭2 2係置於（a)位置。之後，於圖15 之步驟S 1 3中，開始對主掃瞄方向X之主掃瞄，同時開始墨水之吐出。具體而言，圖9之主掃瞄驅動裝置19則作動，噴墨頭22向圖1之主掃瞄方向X，以一定之速度直線性掃瞄移動，該移動中，到達對應於欲供給墨水之濾光片元素範圍7的噴嘴27時，自該噴嘴27吐出墨水即濾光片元素材料。然而，此時之墨水吐出量係非埋入濾光片元素範圍7 之容積全部之量，該全量之數分之1、本實施形態爲全量之1/4量。此係如後所述，各濾光片元素範圍7係非經由自噴嘴27之1次之墨水吐出加以埋設，經由數次之墨水本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 22 吐出之重疊吐出，於本實施形態中，經由4次之重疊吐出，埋入容積全部。噴墨頭22係對於母基板1 2之1線分之主掃瞄終了時 (於步驟S14爲YES)、反轉移動向啓始位置（a)回歸（步驟 S1 5)。然後更且，噴墨頭22係經由副掃瞄驅動裝置21驅動，向副掃瞄方向Y僅移動預先決定之副掃瞄量5 (步驟 16)。本實施形態中，CPU69係於圖1中將形成噴墨頭22 之基板供給裝置23的複數之噴嘴27槪念地分割複數之群 η。於本實施形態中，n = 4，即將180個之噴嘴27所成長度L之噴嘴列28，分割成4個群。由此，1個之噴嘴群係，決定於噴嘴27由1 80/4 = 45個的長度L/n即L/4。上述之副掃瞄量5係上述之噴嘴群長度L/4之副掃瞄方向之長度，即設定成爲（L/4)cos 0。因此，1線分之主掃瞄則終了，向啓始位置（a)回復的噴墨頭22係於圖1中，向副掃瞄方向Y僅平行移動距離 5，向位置（b)移動。於圖1中，位置（a)和位置（b)關於主掃瞄方向X有些微偏移，此爲易於說明而進行之措施，實際上，位置（a)和位置（b)係關於主掃瞄方向X爲同樣之位置。向位置（b)副掃瞄移動之噴墨頭22係於步驟S 13，重覆主掃瞄移動及墨水吐出加以執行。於此主掃瞄移動時，母基板1 2上之彩色濾光片形成範圍11內之第2列之線經由開頭之噴嘴群，首先接受墨水吐出的同時，第1列之線張尺度適用中國國家標準（CNS )規格（2川><297公釐） . 訂線 ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -25- 514593 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（） 23 係自開頭經由第2之噴嘴群，接受2次之墨水吐出。之後，噴墨頭22係如位置（c)〜位置（k)，重覆副掃瞄移動地，重覆主掃瞄移動及墨水匣吐出的同時，第1列之線係自開頭經由第2之噴嘴群，接受第2次之墨水吐出。之後，噴墨頭22係如位置（c)〜位置（k)，重覆主掃瞄移動及墨水吐出（步驟S13〜步驟S 16)，由此，母基板12 之彩色濾光片形成範圍11之1列分之墨水附著處理終了。於本實施形態中，將噴嘴列2 8分割成4個群，決定副掃瞄量5之故，上述彩色濾光片形成範圍11之1列分之主掃瞄及副掃瞄終止時，各濾光片元素範圍7係經由4個之噴嘴群，各一次地，接受合計4次之墨水吐出處理，於該容積內容內全量供給所定量之墨水即，濾光片元素材料〇如此，彩色濾光片形成範圍11之1列分之墨水吐出終了時，噴墨頭22係經由副掃瞄驅動手段2 1加以驅動，對於下一列之彩色濾光片形成範圍11，重覆主掃瞄、副掃瞄及墨水吐出，於濾光片元素形成範圍7內，形成濾光片元素（步驟S13〜S16)。之後，有關於母基板12內之所有之彩色濾光片形成範圍11，形成R、G、B之一色，例如R —色之濾光片元素3時（步飭S18爲YES)，於步驟S20，將母基板12經由基板供給裝置23，又經由其他之搬送機器，處理後之母基板1 2則向外部排出。之後，無經由操作員下達處理終了之指示（步驟S21 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂線 0— -26- 514593 A7 _B7 五、發明説明（） 24 爲NO)，回到步驟S2進行重覆有關對於其他之母基板12 的R 1色的墨水吐附作業。由操作員有作業終止的指示時，（於步驟S21爲YES) 、CPU69於圖8中，將噴墨頭22搬送至覆蓋裝置76處，經由該覆蓋裝置76對於噴墨頭22施以加蓋處理（步驟S22) 〇經由上述，構成彩色濾光片之R、G、B3色中之第1 色，例如對於R色之圖案化則終了，之後，將母基板12 向R、G、B3色中之第色，例如將G色爲濾光片元素材料的噴墨裝置1 6搬送進行B色之圖案化。由此，具有條紋排列等之期望R、G、B之點排列的彩色濾光片1(圖5(a)) 則製造複數個形成之母基板1 2。此經由將母基板1 2按彩色濾光片形成範圍11加以切斷，1個之彩色濾光片1則被切出複數個。然而，令本彩色濾光片1爲液晶裝置之彩色顯示而使用之時，於本彩色濾光片1之表面，更堆積電極或配向膜等。此時，於堆積電極或配各膜等之前，切斷母基板12 ，而切出各彩色濾光片1時，非於母基板1 2上，完成彩色濾光片1之後，馬上切斷母基板1 2，於電極形成或配各膜形成等之必要附加工程終止之後，再切斷母基板1 2 者爲佳。如以上所述，根據有關本實施形態之彩色濾光片之製造方法及製造裝置時，示於圖5(a)之彩色濾光片1內之各個濾光片元素3係非經由噴墨頭22(參照圖1)之1次之主本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -27- 514593 A7 _B7_ 五、發明説明（） 25 掃瞄X加以形成，各1個之濾光片元素3係經由屬於不同之噴嘴群之複數噴嘴27，進行η次，本實施形態中進行4次，經由重複接受墨水吐出，形成所定之膜厚。爲此，假使於複數之噴嘴27間，於墨水存出量存在參差之時，於複數之濾光片元素3間，於膜厚可防止參差之產生，因此，可使彩色濾光片之光透過特性平面均勻化。當然，於本實施形態之製造方法中’經由使用噴墨頭 22之墨水吐出，形成濾光片元素3之故，無需經過使用微縮術法之方法的複雜工程，而且亦無材料上的浪費。然而，形成噴墨頭22之噴嘴列28的複數噴嘴27之墨水吐出量之分布會變得不均勻，乃關連於圖23(a)所說明。又，尤其存在於噴嘴列2 8之兩端部之數個，例如每單端側1 0個之噴嘴27，則如記述所示特別在墨水吐出量上會變大。如此地，使用墨水吐出量較其他之噴嘴墨水吐出量爲大的噴嘴，係在於關於墨水吐出膜，即爲令濾光片元素之膜厚上爲均勻時爲不佳。因此，期望者係如圖1 3所示，存在於形成噴嘴列28 之複數之噴嘴2 7中之噴嘴列2 8之兩端部E的個數’例如 1 0個程度係設定成爲不預先吐出墨水，將存在於殘留部分F之噴嘴27，分割爲複數，例如分割爲4個群，以1 該噴嘴群單位，進行副掃瞄移動者爲佳。於第1實施形態中，做爲間隔壁6使用無透光性之樹脂材料，但做爲透光間隔壁6 ’使用透光性之樹脂材料亦可。按情形視之，對於濾光片元素間之位置，例如於間隔本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線·· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -28- )14593 A7 B7 五、發明説明（） 26 嬖6上，間隔壁6之下，設置另外遮光性之金屬膜或樹脂材料，做爲黑色矩陣亦可。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，於第1實施形態中，做爲濾光片元素，使用了 R ' G、B，但是不限定於R、G、B，採用例如C(青藍）、m( 洋紅）' Y(黃）亦無妨。於該時，改變R、G、B濾光片元素材料，使用具有C、Μ、Y色之濾光片元素材料即可。又，於第1實施形態中，令間隔壁6以微縮術加以形成，但與彩色濾光片同樣地，經由噴墨法形成間隔壁6亦可。 (第2實施形態）圖2係經由有關本發明之彩色濾光片之製造方法及製造裝置之其他之實施形態，使用噴墨頭22，向母基板1 2 內之彩色濾光片形成範圍11內之各濾光片元素形成範圍 7，經由吐出墨水，即吐出濾光片元素材料加以供給之時，模式性地加以顯示。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖6所示之工程相同，爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦與圖8所示之裝置在機構上爲相同者。又，圖14之CPU69將形成噴嘴列 28之複數之噴嘴27，槪念性地分爲η個，例如分爲4個群，對應於各噴嘴群之長度L/n或L/4，決定副掃瞄量5 ，此亦與圖1之情形相同。本實施形態與先前圖1所示之實施形態不同之處，係於圖14中，於收容於記憶體71內之程式軟體加以改變，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ -29- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 27 具體而言，於經由CPU69進行之主掃瞄控制演算和副掃瞄控制演算，加以改變。更具體而說明時，於圖2中，噴墨頭22係於向主掃瞄方向X之掃瞄移動之終了後，不向啓始位置回歸移動，於一方向之主掃瞄移動之終了後，馬上僅向相當於副掃瞄方向噴嘴群1個分之移動量5移動之位置（b)移動之後，進行主掃瞄方向X之上述一方向之相反方向，進行掃瞄移動，自啓始位置（a)各向副掃瞄方向，向僅偏移距離 5之位置（b’）回復地加以控制。然而，自位置（a)至位置（b) 之主掃瞄之間及自位置（b)至位置（b’）之主掃瞄移動之間的兩者期間，自複數之噴嘴27選擇性地吐出墨水。即，於本實施形態中，噴墨頭22之主掃瞄及副掃瞄則不挾於回歸動作地，可連續地交互進行，由此，爲回歸動作所費之時間可被省略，可縮短作業時間。 (第3實施形態）圖3係經由有關本發明之彩色濾光片之另外之製造方法及製造裝置之其他之實施形態，使用噴墨頭22，向母基板1 2內之彩色濾光片形成範圍11內之各濾光片元素形成範圍7 ’經由吐出墨水，即吐出濾光片元素材料加以供給之時，模式性地加以顯示。經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖6所示之工程相同’爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦與圖8所示之裝置在機構上爲相同者。又，圖14之CPU69將形成噴嘴列本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) — I-------·-------、訂------^0— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 514593 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7___ 五、發明説明（） 28 28之複數之噴嘴27，槪念性地分爲η個’例如分爲4個群，亦與圖1之情形相同。本實施形態與先前圖1所示之實施形態不同之處’係於圖15之步驟S12中，將噴墨頭22設定於母基板12之描繪開始位置時，該噴墨頭22係示於圖3之U)位置’噴嘴列2 8之延伸方向與副掃瞄方向平行之部分。如此之噴嘴之排列構造係關於噴墨頭22之噴嘴間之間隔和關於母基板12之元素間之間隔爲相等時，爲有利之構造。於此實施形態中，噴墨頭22係自啓始位置（a)至終端位置（k)，重覆主掃瞄方向X之掃瞄移動、啓始位置之回歸移動及副掃瞄方向Y之移動量5的副掃瞄移動地’於副掃瞄移動之期間中，自噴嘴27選擇性地吐出墨水即濾光片元素材料，由此，向母基板1 2內之彩色濾光片形成範圍11內之濾光片元素範圍7內，附著濾光片元素材料〇然而，於本實施形態大，噴嘴列2 8對於副掃瞄方向 Y平行地位置設定之故，副掃瞄移動量5係與分割之噴嘴群之長度L/n即L/4相等地加以設定。 (第4實施形態） (第3實施形態）圖4係經由有關本發明之彩色瀘光片之另外之製造方法及製造裝置之其他之實施形態，使用噴墨頭22，向母基板12內之彩色濾光片形成範圍11內之各濾光片元素形 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------；—S------、玎---------, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -31 - 514593 A7 B7_ 五、發明説明（） 29 成範圍7，經由吐出墨水，即吐出濾光片元素材料加以供給之時，模式性地加以顯示。經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖6所示之工程相同，爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦與圖8所示之裝置在機構上爲相同者。又，圖14之CPU69將形成噴嘴列 28之複數之噴嘴27，槪念性地分爲η個，例如分爲4個群，亦與圖1之情形相同。本實施形態與先前圖1所示之實施形態不同之處，係於圖15之步驟S12中，將噴墨頭22設定於母基板12之描繪開始位置時，該噴墨頭22係示於圖4(a)位置，噴嘴列28之延伸方向與副掃瞄方向平行之部分，和與圖2之實施形態同樣地，於噴墨頭22之主掃瞄及副掃瞄無需挾入回歸動作地，連續交互進行之部分。然而，示於圖4之本實施形態及示於圖3之先前的實施形態中，主掃瞄方向X對於噴嘴列28，成爲直角方向之故，將噴嘴列28如圖1 1所示，經由沿主掃瞄方向X 設置2列，經由載於同樣主掃瞄線的2個噴嘴27，於一個之濾光片元素範圍7，供給濾光片元素材料。 (第5實施形態）圖1 6係顯示使用有關本發明之彩色濾光片之製造方法及製造裝置之其他之實施形態的噴墨頭22Α。此噴墨頭 22Α與圖10所示之噴墨頭22不同之處係將吐出R色墨水之噴嘴列28R、和吐出G色墨水之噴嘴列28G，和吐出Β 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、\呑經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -32- 514593 A7 B7 五、發明説明（） 30 色墨水之噴嘴列28B的3類之噴嘴列，形成於1個之噴墨頭22A，於此等3種類，設置圖12(a)及圖12(b)所示之墨水吐出系統，於對應於R色噴嘴列28R之墨水吐出系統中，連接R墨水供給裝置37R，於對應於G色噴嘴列28G 之墨水吐出系統中，連接G墨水供給裝置37G、於對應於 B色噴嘴列28B之墨水吐出系統中，連接B墨水供給裝置 37B。經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖6所示之工程相同，爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦基本上與圖8所示之裝置在裝置相同。又，圖14之CPU69將形成噴嘴列 2 8R、2 8G、28B之複數之噴嘴27，槪念性地分爲η個，例如分爲4個群，於每此等之噴嘴群，將噴墨頭2.2Α以副掃瞄移動量5進行副掃瞄移動，亦與圖1之情形相同。圖1所示之實施形態中，於噴墨頭22，僅設置1種之噴嘴列28之故，經由R、G、Β3色，形成彩色濾光片時，圖8所示之噴墨頭22，需對於R、G、Β之各3色加以準備。對此，使用圖1 6所示之構造之噴墨頭22Α時，經由向噴墨頭22A之主掃瞄方向X之1次之主掃瞄，可將R、G、B之3色同時附著於母基板12之故，噴墨頭22 係僅需準備1個即足夠。又，經由將各色之噴嘴列間隔配合於母基板之濾光片元素範圍之間隔，可進行RGB3色之同時打入。 (第6實施形態）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） --------·__ S — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、tT 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33- 514593 A7 B7 五、發明説明（） 31 圖1 7係顯示有關本發明之液晶裝置之製造方法之一實施形態。又，圖1 8係顯示經由此製造方法製造之液晶裝置之一實施形態。又，圖19係顯示根據圖18之IX-IX 線的液晶裝置之截面構造。在液晶裝置之製造方法及製造裝置之說明之前，首先，將經由該製造方法所製造之液晶裝置，列舉該一例加以說明。然而，本實施形態之液晶裝置係以單純矩陣方式進行全彩顯示之半透過反射方式之液晶裝置。於圖1 8中，液晶裝置101係於液晶面板102，安裝做爲半導體晶片之液晶驅動用IC 103a及103b，將做爲配線連接要素之FPC(可撓性印刷電路）104，連接於於液晶面板102，更且於於液晶面板102之背面側，將照明裝置 106做爲背光設置形成。液晶面板102係將第1基板107a和第2基板107b經由密封.材108加以貼合形成。此密封材108之內部中，如圖1 9所示，經由導電性材料，形成成爲球狀或圓筒狀之導通材1 09，以分散狀態加以包含。於圖19中，第1基板107a係具有經由透明之玻璃，或透明之塑膠等形成之板狀基材11 la。於此板狀基材 111a之內側表面（圖19之上側表面），形成反射膜112，於其上堆積絕緣膜113，於其上第1電極114a自箭頭D方向視之，形成成爲條紋狀（參照圖1 8)，更且，於其上形成配向膜11 6a。又，基材111 a之外側表面（圖19之下側表面），偏光板Π 7a則經由貼著等加以裝設。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝』訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34- 514593 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（） 32 圖1 8中，爲使第1電極114a之排列易於了解顯示，將此等之條紋間隔較實際大寬放寬加以描繪，因此，第1 電極114a之條數雖然描繪得少，但實際上，第1電極 114a係有更多條形成於基材ma上。於圖19中，第2基板107b係具有經由透明之玻璃，或透明之塑膠等形成之板狀基材111b。於此基材111b之內側表面（圖1 9之下側表面），形成彩色濾光片11 8，於其上第1電極114b，向與上述第1電極114a正交之方向，自箭頭D方向視之，形成成爲條紋狀（參照圖1 8)，更且，於其上形成配向膜1 1 6 a。又，於基材111 b之外側表面（圖1 9之上側表面），偏光板1 17b經由貼著等加以裝設。圖18中，爲使第2電極114b之排列易於了解顯示，與第1電極11 4a之時同樣地，將此等之條紋間隔較實際大寬放寬加以描繪，因此，第2電極114b之條數雖然描繪得少，但實際上，第2電極114b係有更多條形成於基材111b上。於圖19中，於經由第1基板107a、第2基板107b及密封材108包圍之間隙，所謂格間隔內，封入液晶，例如封入STN(超級扭轉向歹！J)液晶L。於第1基板l〇7a或第2 基板1 07b之內側表面，微小球形之間隔物11 9則多數分散，此等之間隔物119則經由存在於格間隔內，均勻維持該格間隔之厚度。第1電極11 4 a和第2電極11 4 b係相互成正交關係加 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •舞· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 514593 A7 B7___ 五、發明説明（） 33 以配置，此等之交叉點係自圖19之箭頭D方向視之，排列成爲點矩陣狀。然後，該點矩陣狀之各交叉點則構成1 個之畫素。彩色濾光片118係將R(紅）、G(綠）、B(藍）之各色要素，自箭頭D方向視之，所定之圖案，例如經由條紋排列、δ排列、馬賽克排列等之圖案之排列加以形成。上述之1個之圖素畫素係對應此等之R、G、Β之各一個，然後，R、G、Β之3色圖素晝素則成爲1個之單元，構成 1畫素。將排列成爲點矩陣狀之複數之圖素畫素，即將畫素選擇性地經由發光，於於液晶面板1 02之第2基板1 07b之外側，顯示文字、數字等之像。由此，像顯示之範圍爲有效畫素範圍，於圖1 8及圖1 9中，經由箭頭V所示之平面之矩形範圍成爲有效顯示範圍。於圖19中，反射膜112係經由APC合金、A1(鋁）等之光反射材料加以形成，於對應於第1電極114a和第2 電極114b之交叉點的各圖素晝素的位置，形成開口 121 。結果，開口 121係自圖19之箭頭D方向視之，與圖素畫素同樣排列成爲點矩陣。第1電極114a及第2電極114b係例如經由透明導電材之ITO加以形成。又，配向膜116a及116b係將聚醯亞胺系樹脂經由附著成爲一樣厚度之膜狀地加以形成。此等之配向膜116a及姐1 16b則經由接受平磨處理，決定第1 基板107a及第2基板107b之表面上的液晶分子之啓始排列。本紙張尺度適财關家標準（0刚八4規格（21()/297公釐) ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 514593 A7 ____B7 五、發明説明（） 34 於圖18中，第1基板107a你形成於較第2基板107b 爲廣之面積，將此待之基板經由密封材108加以貼合時，第1基板107a係具有向第2基板107b之1外側展開之基板展開部107c。然後，於此基板展開部107c，自第1電極114a延伸出之拉出配線114c、藉由存在於密封材108 之內部的導通材109(參照圖19)與第2基板107b上之第2 電極114b導通的拉出配線114d、液晶驅動用IC 103a之輸入用突起電極、即連接於輸入用端子的金屬配線114e、然後連接於液晶驅動用IC 103b之輸入用突起電極的金屬配線114f等之各種之配線則以適切之圖案加以形成。於本實施形態，自第1電極114a延伸之拉出配線 114d及導通於第2電極114b之配線114d係與此等之電極同樣之材料的ITO，即經由導電性氧化物加以形成。又，液晶驅動用IC103a及103b之輸入側之配線的金屬配線 11 4e及114f係經由電氣阻抗値低之金屬材料，例如經由 APC合金加以形成。APC合金係主要包含Ag，附代包含 Pd及Cu合金，例如Ag98%、Pdl%、Cul%所成合金。液晶驅動用IC103a及液晶驅動用IC103b係經由 ACF(向異性導電膜）122，黏著於基板展開部107c之表面加以安裝。即，於本實施形態中，於基板上，直接安裝半導體晶片之構造，即做爲C〇G(Chip On Glass)方式之液晶面板加以形成。於此COG方式之安裝構造中，經由包含於ACF 122之內部的導電粒子，液晶驅動用IC 103a及 103b之輸入側突起電極和金屬配線114e及114f則導電連本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） --------·-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 35 接，導電連接液晶驅動用IC103a及103b之輸出側突起電極和拉出配線114 c。於圖18中，FPC 104係具有可撓性之樹脂薄膜123、和包含晶片零件1 24構成之電路1 26 ’和金屬配線端子 1 27。電路1 26係於樹脂薄膜1 23之表面加以銲接，經由其他之導電連接手法加以直接搭載。又，金屬配線端子 127係經由APC合金、Cr、Cu其他之導電材料加以形成。形成FPC 104中之金屬配線端子127的部分係於第1基板107a中之金屬配線114e及金屬配線114f形成之部分，經由ACF122加以連接。然後，經由包含於ACF122之內部的導電粒子之工作，導通基板側之金屬配線114e及 FPC側之金屬配線端子1 27。於FPC 104之相反側之邊端部，形成外部連接端子 1 3 1，此外部連接端子1 3 1連接於未圖示之外部電路。然後，根據自此外部電路傳送之信號，驅動液晶驅動用 IC 103a及103b，於第1電極114a及第2電極114b之一方，供給掃瞄信號，於另一方供給資料信號。由此，排列於有效顯示範圍V內之點矩陣狀之圖素畫素，於每晝素電壓控制，結果，液晶L之排列按各圖素畫素加以控制。於圖18中，所謂做爲背光工作之照明裝置106係如圖19所示，經由丙烯酸樹脂等構成之導光體132，和設於該導光體132之光射出面132b的擴散薄片133，和設於導光體132之光射出面132b之相反面的反射薄片134 ，和做爲發光源之LED 136。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) — --------：--S------1T------^0— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -38- 514593 A7 B7_ 五、發明説明（） 36 LED 136係支持於LED基板137，該LED基板137係裝著於例如與導光體132 —體形成之支持部（未圖示）。 LED基板137則經由裝著於支持部之所定位置，LED 136 則置於對向於導光體132之側邊端面之光處理面132a的位置。然而，符號138係爲緩衝施加於於液晶面板102之衝擊的緩衝材。 LED136發光時，該光係自光處理面132a處理，向導光體132之內部引導，於反射薄片134或導光體132之壁面加以反射傳播之期間，自光射出面1 32b透過擴散薄片 1 33，向外部做爲平面光加以射出。本實施形態之液晶裝置101係如以上加以構成之故，太陽光、室內光等之外部光爲充分明亮之時，於圖.19中，自第2基板107b側之外部光則向液晶面板102之內部處理，該光通過液晶L後，以反射膜1 1 2加以反射，再供給至液晶L。液晶L經由挾持此之第1電極11 4a及11 4b ，於每R、G、B之圖素畫素加以排列控制，因此，向液晶L供給之光係按每圖素晝素加以調變，經由此調變，藉由通過偏光板11 7b之光，和不能通過之光，於於液晶面板102之外部，顯示文字、數字等之像。由此，進行反射型之顯示。另一方面，無法得充分外部光之光量時，LED 136則發光，自導光體132之光射出面132b射出平面光，該光則通過形成於反射膜112之開口 121，向液晶1供給。此時，與反射型之顯示同樣地，供給之光經由排列控制之液本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------；--^0 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -39- 514593 A7 __ _B7____ 五、發明説明（） 37 晶L，按圖素畫素加以調變，由此，向外部顯示像。由此，進行透過型之顯示。上述構成之液晶裝置101係例如經由圖17所示之製造方法加以製造。於此製造方法中，工程P1〜工程P6之一連串之工程，爲形成第1基板l〇7a之工程’工程P11〜工程P14之一連串之工程，爲形成第2基板107b之工程。第1基板形成工程和第2基板形成工程係通常各自獨立進行。首先，對於第1基板形成工程加以說明時，於經由透光性玻璃、透光性塑膠等形成之大面積之母原料基材之表面，將於液晶面板102之複數個份之反射膜112使用微縮術法等加以形成，更且，於其上，將絕緣膜11 3使用公知之成膜法加以形成（工程P1 )，接著，使用微縮術法等，形成第 1 電極 114a 及配線 114c、114d、114e、114f(工程 P2) ο 接著，於第1電極114a上，經由塗佈、印刷等，形成配向膜116a(工程P3)，更且對於該配向膜116a，經由施以平磨處理，決定液晶之啓始排列（工程P4)。接著，例如經由網版印刷等，將密封材108形成爲成環狀（工程P5) ，更且於其上分散覆球狀之間隔物119(工程6)。經由以上，形成具有複數個於液晶面板102之第1基板i〇7a上之面板圖案的大面積之母第1基板。除了以上之第1基板形成工程之外，實施第2基板形成工程（圖Π之工程P11〜工程P14)。首先，準備經由透本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 一 --------,--辦· — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- -線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -40 - 514593 A7 B7_ 五、發明説明（） 38 光性玻璃、透光性塑膠形成之大面積之母原料基材’於該表面形成於液晶面板102之複數個之彩色濾光片11 8(工程 P11)。此彩色濾光片之形成工程係使用圖6所示之製造方法加以進行，該製造方法中之R、G、B之各乙色濾光片元素之形成係使用圖8之噴墨裝置16，根據示於圖1、圖 2、圖3、圖4等之噴墨頭之控制方法加以執行。此等之彩色濾光片之製造方法及噴墨頭之控制方法係與已說明之內容相同，因此省略該說明。如圖6(d)所示，於母基板12，即母原料基材上，形成彩色濾光片1，即彩色濾光片Π 8時’接下來經由微縮法，形成第2電極114b(工程P12) ’更且經由塗佈、印刷等，形成第2電極114b(工程P1 3)，更且對於該配.向膜 116b，施以平磨處理，決定液晶之啓始排列（工程P14)。經由以上，形成具有複數於液晶面板102之第2基板 107b上之面板圖案的大面積之母第2基板。經由以上，形成大面積之母第1基板及母第2基板後，將此等之主機板，挾於密封材108之間對準，即於定位之狀態下，加以相互貼合（工程P21)。由此，形成包含液晶面板複數個分之面板部分，未封入液晶狀態的空面板構造。接著，於完成之空面板構造體之所定位置，形成條紋狀溝，即形成切斷用溝，更且令該條紋狀溝爲基準，破裂面板構造9，即切斷（工程P22)。由此，各液晶面板部分之密封材108之液晶注入用開口液晶注入用開口 11〇(參照本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------▲--— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 514593 A7 _ _B7_ 五、發明説明（） 39 圖1 8)，形成向外部露出狀態之所謂短冊狀之空面板構造體。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 之後，透過露出之液晶注入用開口 110，於各液晶面板部分之內部，注入液晶L，更且將各液晶注入口 110經由樹脂等加以封閉（工程P23)。通常之液晶注入處理係例如於貯留容器中，貯留液晶，將貯留該液晶之貯留容器和短冊狀之空面板置入處理室內，將該處理室等成爲真空狀態之後，於該處理室之內部，於液晶中浸漬短冊狀之空面板，之後，將處理室開放至大氣壓下而進行者。此時，空面板之內部係真空狀態之故，經由大氣壓加壓之液晶則透過液晶注入用開口，向面板之內部導入。於液晶注入後之液晶面板構造體之周圍，附著液晶之故，液晶注入處理後之短冊狀面板係於工程24，接受洗淨處理。線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製之後，對於液晶注入及洗淨終了後之短冊狀之母面板，再於所定位置形成條紋溝，更且令該條紋溝爲基準，經由切斷短冊狀面板，複數個之液晶面板被各切出（工程 P25)。對於如此製作之各於液晶面板102，如圖18所示，安裝液晶驅動用IC103a、103b，將照明裝置106做爲背光裝著，更且經由連接FPC104，完成目標的液晶裝置101 ( 工程P26)。以上所說明之液晶裝置之製造方法及製造裝置係尤其於製造彩色濾光片之階段，具有以下之特徵。即，圖5(a) 所示之彩色濾光片1，即圖1 9之彩色濾光片11 8內之各濾光片元素3係非經由噴墨頭22(參照圖1)之1次之主掃本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42- 514593 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（） 40 瞄X加以形成，各1個之濾光片元素3係經由屬於不同噴嘴群之複數噴嘴27，進行η次，例如進行4次，重複接受墨水吐出，形成成爲所定之膜厚。爲此，假使於複數之噴嘴27間，於墨水吐出量存在之參差之時，於複數之濾光片兀素3間，可防止膜厚有產生參差的情形，因此，可將彩色濾光片之光透過特性平面性的均化。此係意味於圖19之液晶裝置101，可得無色斑之鮮明彩色顯示。又，於本實施形態之液晶裝置之製造方法及製造裝置中，經由使用圖8所示之噴墨裝置16，藉由使用噴墨頭 22之墨水吐出，形成濾光片元素3之故，無需經由使用微縮術法之方法的複雜工程，且在於材料上亦無浪費。 (第7實施形態）圖20係顯示有關本發明之EL裝置之製造方法之一實施形態。又，圖21係顯示該製造方法之主要工程及最終所得EL裝置之主要截面構造。如圖27(d)所示，EL裝置201係於透明基板204上，形成畫素電極202，於各畫素電極202間，將區庫205自箭頭G方向視之形成成爲格子狀，於此等之格子狀凹部中，形成正孔植入層220。自箭頭G方向視之，成爲條紋狀排列等之所定排列地，將R 色發光層203R、G色發光層203G及Β色發光層203Β，形成於各格子狀凹部之中，更且，於此等之上，經由形成對向電極213加以形成。將上述畫素電極202，經由所謂TFD(薄膜二極體）元本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項真填寫本頁) 着· 訂 -線- -43- 514593 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（） 41 件等之2端子型之主動元件加以驅動之時，上述對向電極 2 1 3係自箭頭G方向視之，形成成爲條紋狀。又，將畫素電極202經由所謂TFt(薄膜電極體）元件等之3端子型之主動元件加以驅動之時，上述對向電極213係做爲單一之面電極加以形成。經由各畫素電極202和各對向電極213挾持之範圍，成爲.1個之圖素畫素，R、G、B3色之圖素晝素則成爲1 個之單元，形成1個畫素。經由控制流動於各圖素畫素之電流，選擇性令複數之圖素畫素中之期望者發光，由此，於箭頭Η方向顯示期望之全彩像。接著，如工程Ρ52及圖21 (a)所示，將間隔壁即區庫 205，使用周知之圖案化手法，例如微縮術法加以形成，經由此區庫205，埋入各透明電極202之間。由此，可達對比提升、發光材料之混色之防止，防止自畫素和畫素間之漏光等。做爲區庫205之材料，只要對於EL材料之溶媒，具有耐久性者，則不特別加限定，但經由氟碳氣體電漿處理，可處理氟者，例如丙烯酸樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等之有機材料爲佳。接著，於塗佈正孔植入層用墨水之前，於基板204進行氧氣和氟碳氣體電漿之連續電漿處理（工程P53)，由此，聚醯亞胺表面成爲排水化，ITO表面則被親水化，可進行將噴墨液滴微細圖案化之基板側之溼潤性之控制。做爲產生電漿之裝置，於真空中產生電漿之裝置中，於大氣中產生電漿之裝置亦可同樣使用。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " I-------.—S,-----、訂------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -44- 514593 A7 _____B7_ 五、發明説明（） 42 ----------士 — (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著，如工程P54及圖21 (a)所示，將正孔植入層墨水，自圖8之噴墨裝置16之噴墨頭22吐出，於各畫素電極202上，進行圖案塗佈。具體而言，噴墨頭之控制方法係使用圖1、圖2、圖3或圖4所示之方法。該塗佈後，於真空中（ltorr)中、室溫、20分的條件，除去溶媒（工程 P55)，之後，經由大氣中、20 °C (熱平板上）、10分之熱處理，形成發光層用墨水和不相溶之正孔植入層220(工程 P56)。1 厚係 40nm。線棱著，如工程P57及圖21(b)所示，於各濾光片元素範圍內之正孔植入層220上，使用噴墨手法，塗佈R發光層用墨水及G發光層用墨水。在此，各發光層用墨水係自圖8之噴墨裝置16之噴墨頭22吐出，更且噴墨頭之控制方法係根據圖1、圖2、圖3或圖4所示之方法。根據噴墨方式，可將微細圖案簡便且短時間地進行。又，經由改變墨水組成物之固體份濃度及吐出量，可改變膜厚。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製發光層用墨水之塗佈後，於真空中（1 ton·)中、室溫、 20分等的條件，除去溶媒（工程P5 8)，接著氮氣氛中，經由4時間之熱處理加以共軛化，形成R色發光層203R及 G色發光層203G(工程P59)。膜厚爲50nm。經由熱處理共軛化之發光層係不溶於溶媒。然而，.於形成發光層前，於正孔植入層220，進行氧氣和氟碳氣體電漿之連續電漿處理亦可。由此，於正孔植入層220上，形成氟化物層，經由離子化電位變高，增加正孔植入效率，提供發光效率高之有機EL裝置。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210父297公釐1 — -45- 514593 A7 ___ B7_ 五、發明説明（） 43 接著，如工程P60及圖21(c)所示，將B色發光層 203B重疊於各圖素畫素之R色發光層203R、G色發光層 203G及正孔植入層220上加以形成。由此，不僅形成r 、G、B之3原色，埋下R色發光層20 3R及G色發光層 203G和區庫205之階差，加以平坦化。由此，可將上下電極間之短路確實地防止。，經由調整B色發光層203B之膜厚，B色發光層203B係於R色發光層203R及G色發光層203G之堆積構造，做爲電子植入輸送層作用於b色不進行發光。做爲如以上之B色發光層203 B之形成方法，例如做爲濕式法，可採用一般之旋轉塗佈法，或可採用與R色發光層203R及G色發光層203G之形成法同樣之噴墨法〇之後，如工程P61及圖21(d)所示，經由形成對向電極213，製造目標之EL裝置201。對向電極213係該爲面電極之時，例如可將M g、A g、A1、L i等做爲材料，使用蒸著法、濺射法等之成膜法加以形成。又，對向電極21 3 爲條紋狀電極之時，可將成膜之電極層使用微縮術法等之圖案化手法加以形成。根據以上所說明之EL裝置之製造方法及製造裝置，做爲噴墨頭之控制方法，採用圖1、圖2、圖3或圖4等所不之控制方法之故，圖2 1之各圖素晝素內之正孔植入層220及R、G、B色發光層203R、203G、203B係非經由噴墨頭22(參照圖1)之1次之主掃瞄X加以形成，1個之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）" 一 --------：-IS— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -46- 514593 A7 _B7_______ 五、發明説明（） 44 圖素畫素內之正孔注入層及/或各色發光層係經由屬於不同噴嘴群之複數之噴嘴27，進行η次，例如4次，重疊接受墨水吐岀，形成於所定之膜厚。爲此，假使於複數之噴嘴27間，於墨水吐出量，存在參差之時，於複數之圖素晝素間，於膜厚可防止產生參差，因此，平均性均勻 EL裝置之發光面之發光分布特性。此係，於圖21(d)之 EL裝置201中，可得無色斑之解明之彩色顯示。又，於本實施形態之EL裝置之製造方法及製造裝置中，經由圖8所示之噴墨裝置16，藉由使用噴墨頭22之墨水吐出，形成R、G、Β之各色圖素晝素之故，無需經過使用微縮術法之方法的複雜工程，又，無材料之浪費。 (其他之實施形態）以上，列舉較佳之實施形態說明本發明，但本發明非限定於該實施形態，於記載於申請專利範圍之發明範圍內，可做種種之改變。例如，圖8及圖9所示之彩色濾光片之製造裝置中，將噴墨頭22向主掃瞄方向X移動，主掃瞄基板1 2，將基板12經由副掃瞄驅動裝置21加以移動，經由噴墨頭22 副掃瞄基板1 2，與此相反地，經由母基板1 2之移動執行主掃瞄，經由噴墨頭22之移動，執行副掃瞄。又，於上述實施形態中，雖使用利用壓電元件之彎曲變形吐出墨水之構造的噴墨頭，但亦可使用其他任意構造之噴墨頭。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） '~~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、^1 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -47- 514593 A7 ______B7__ 五、發明説明（） 45 又，於上述實施形態中，雖僅例示主掃瞄方向和副掃目田方向正父之最爲一般之構成，但主掃瞄方向和副掃猫方向之關係不限於正交關係，可以任意之角度交叉。做爲吐出之材料，對應於形成於基板等之對象物上的要素，可做種種之選擇，例如除上述之墨水、EL發光材料外，可將矽玻璃前驅體、金屬化合物等之導電材料、介電質材料、或半導體材料做爲其一v例加以列舉。又’於上述實施形態中，將彩色濾光片之製造方法及製造裝置、液晶裝置之製造方法及製造裝置、EL裝置之製造方法及製造裝置爲例加以說明，但本發明不限定於此等’可使用於對象物上施以微細圖案之整體工業技術。例如，各穿種半導體元件（薄膜電晶體，薄膜二極體等）、各種配線圖案、及絕緣膜之形成等則做爲該利用範圍之一例加以列舉。做爲自噴墨頭吐出之材料，對應於形成於基板上之對象物上的要素，可做種種之選擇，例如上述之墨水、EL 發光材料之外，可將矽玻璃前驅體、金屬化合物等之導電材料、介電質材料、或半導體材料做爲其一例加以列舉。又’於上述實施形態中，爲了方便稱爲「噴墨頭」，但自此噴墨頭吐出之吐出物非限定於墨水，例如，有前述之EL發光材料、矽玻璃前驅體、金屬化合物等之導電材料、介電質材料、或半導體材料之等等。經由上述實施形態之製造方法製造之液晶裝置、EL裝置係例如可搭載於攜帶型電腦等之電子機器之顯示部。 ϋ氏張尺度適用中國國( CNS ) A4規格（2—公餐）- 一 ^--枯馨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -48- 514593 A7 B7 五、發明説明（） 46 【發明之效果】根據，此構成之彩色濾光片之製造方法及製造裝置時，彩色濾光片內之各濾光片元件係非經由噴墨頭之1次之掃瞄加以形成，各1個之濾光片元素係經由屬於不同噴嘴群之複數之噴嘴，藉由接受重複之墨水吐出，形成成爲所定之膜厚之故，假使於複數之噴嘴間，於墨水吐出量存在參差之時，於複數之濾光片元件間，可防止參差之產生，因此，可使彩色濾光片之光透過特性成爲平面均勻。本發明係使用噴墨頭之方法之故，無需經過使用微縮術法之方法的複雜工程，或無材料之浪費。又，有關本發明之液晶裝置之製造方法及製造裝置係於製造彩色濾光片之階段，於彩色濾光片內之濾光片元素係非經由噴墨頭之1次之掃瞄加以形成，各1個之濾光片元素係經由屬於不同噴嘴群之複數噴嘴，重複接受墨水吐出，形成成爲所定之膜厚之故，假使於複數之噴嘴間，於墨水吐出量存在參差之時，於複數之濾光片元素間，可防止膜厚有產生參差的情形，因此，可將彩色濾光片之光透過特性平面性的均化。結果，可得無色斑之鮮明彩色顯示〇又，根據有關本發明之EL裝置之製造方法及製造裝置時，各圖素畫素內之R、G、B之各色發光層203R、 203G、203B係非經由噴墨頭之1次之主掃瞄加以形成，此等各色發光層係經由屬於不同噴嘴群之複數之噴嘴，重本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'乂297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -49- 514593 A7 __B7 五、發明説明（） 47 疊接受墨水吐出，形成於所定之膜厚。爲此，假使於複數之噴嘴間，於墨水吐出量，存在參差時，於複數之圖素畫素間，於膜厚可防止產生參差，因此，平均性均勻EL裝置之發光面之發光分布特性。結果，可得無色斑之解明之彩色顯示。又，於本發明之EL裝置之製造方法及製造裝置中，藉由使用噴墨頭之墨水吐出’形成R、G、B之各色圖素畫素之故，無需經過使用微縮術法之方法的複雜工程，又，無材料之浪費。又，根據有關本發明之噴墨頭之控制裝置時，各色圖案係非經由噴墨頭之1次之掃瞄加以形成，各1個之色圖案係經由屬於不同噴嘴群之複數之噴嘴，重疊接受墨水吐出，形成於所定之膜厚之故，假使於複數之噴嘴間，於墨水吐出量，存在參差時，於複數之圖素畫素間，於膜厚可防止產生參差，因此，可將色圖案之光學材料於光學構件之平面內均勻化。由此，將做爲光學構件之彩色濾光片之色圖案的R、 G、B各色濾光片元素，以平面性均勻之膜厚加以形成。又，將做爲光學構件之EL元件之色圖案的R、G、B發光層或正孔注入層，以平面性均勻的膜厚加以形成。【圖面之簡單說明】【圖1】將有關本發明之彩色濾光片之製造方法之一實施形態本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -50- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 48 之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖2】將有關本發明之彩色濾光片之其他之製造方法之胃施形態之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖3】· 將有關本發明之彩色濾光片之另一之製造方法之實施形態之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖4】將有關本發明之彩色濾光片之另一之製造方法之實施形態之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖5】顯示有關本發明之彩色瀘光片之一實施形態及其基礎的一實施形態圖。【圖6】模示性顯示使用根據圖5(a)之VI-VI線之截面部分的彩色濾光片之製造工程圖。【圖7】顯示彩色濾光片之R、G、B3色之圖素畫素之排列例圖。【圖8】顯示有關本發明之彩色濾光片之製造裝置、有關本發明之液晶裝置之製造裝置及有關本發明之EL裝置之製造裝置之各製造裝置之主要部分的噴墨裝置之一實施形態的斜視圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） — ^ 訂 ^ i^w— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -51 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 五、發明説明（） 49 【圖9】顯示擴大圖8之裝置之主要部的斜視圖。【圖10】顯示擴大圖9之裝置之主要部之噴墨頭的斜視圖。【圖11】顯示噴墨頭之改變例斜視圖。【圖12.】顯示噴墨頭之內部構造圖，（a)係顯示一部分破斷斜視圖’（b)係顯示根據（a)之線之截面構造。【圖13】顯示噴墨頭之其他之改變例平視圖。【圖14】顯示使用於圖8之噴墨頭裝置之電氣控制系統的方塊圖。【圖15】顯示經由圖14之控制系執行之控制流程的流程圖。【圖16】顯示噴墨頭之其他之改變例斜視面圖。【圖17】顯示有關本發明之液晶裝置之製造方法之一實施形態的工程圖。【圖1 8】將經由有關本發明之液晶裝置之製造方法所製造之液晶裝置之一例，以分解狀態加以顯示之斜視圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）" · 訂線 IAW- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -52- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A7 B7 __ 五、發明説明（） 50 【圖19】顯示根據圖18之IX-IX線之液晶裝置之截面構造之截面圖。【圖20】顯示有關本發明之EL裝置之製造方法的一實施形態的工程圖。【圖2 1】對應於顯示圖20之工程圖EL的裝置之截面圖。【圖22】顯示以往之彩色濾光片之製造方法之一例圖。【圖23】爲說明以往之彩色濾光片之特性圖。【符號之說明】 1 彩色濾光片 2 基板 3 濾光片元素 4 保護層 6 間隔壁 7 濾光片元素範圍 11 彩色濾光片形成範圍 12 母基板 13 濾光片元素材料 16 噴墨裝置 :本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) --------.--------、訂------00— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -53- 514593 A7 B7 五、發明説明（） 51 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 17 噴頭位置控制裝置 18 基板位置控制裝置 19 主掃瞄驅動裝置 21 副掃瞄驅動裝置 22 噴墨頭 26 噴頭單元 27 噴嘴 28 噴嘴歹[J 39 墨水加壓體 41 壓電元件 49 平台 76 覆蓋裝置 77 淸潔裝置 78 電子天平 81 噴墨甩攝影機 82 基板用攝影機 101 液晶裝置 102 液晶面板 107a 、107b 基板 111a 、111 b 基材 114a Λ 114b 電極 118 彩色濾光片 201 EL裝置 202 畫素電極 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54- 514593 A7 五、發明説明（） 52 203R、203G、203B 發光層 204基板 205區庫 2 1 3對向電極 220正孔植入層 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 L 液晶 Μ 濾光片元素材料 X 主掃猫方向 Υ 畐!I掃猫方向本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -55-

Claims

514593 第90128326號專利申請案 bS +文申請專利範圍修正本民國91年5月儀正 JV 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製六、申請專利範圍] /一 i( j > .....· ' Α· 1 · 一種彩色濾光片之製造方法，屬於製造在於基板上排列複數之濾光片元素所成之彩色濾光片的彩色濾光片之製造方法，其特徵係具備具有將複數之噴嘴排列成列狀所成之噴嘴列’該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，及將前述基板中之一方，對於另一方向，向主掃瞄線方向移動的工程，和自前述複數之噴嘴選擇性吐出濾光片材料’於前述基板上形成前述濾光片元素的工程，和各前述群之至少一部分，令前述基板之同樣部分可向前述主掃瞄方向掃瞄地，將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方進行副掃瞄之工程。 2. 如申請專利範圍第1項之彩色濾光片之製造方法，其中，前述噴墨頭及基板中之一方，以前述噴墨群之副掃瞄方向之長度的整數倍長度’對於另一方’進彳了副掃瞄移動者。 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之彩色濾光片之製造方法，其中，前述噴墨列係對於前述副掃瞄方向而言成爲傾斜者。 4. 如申請專利範圍第1項或第2項之彩色濾光片之製造方法’其中’令則述噴墨列之長度爲L ’令經由前述分割形成之前述噴墨群之數爲η、令前述噴墨列與前述副掃瞄方向所成之角爲Θ之時，前述副掃瞄移動量5係占与（L/n)cos0 者。 5. 如申請專利範圍第1項或第2項之彩色濾光片之製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -秦· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 514593 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍2 造方法，其中，自前述噴墨列之兩端部分之數個噴嘴不會吐出墨水者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6. 如申請專利範圍第5項之彩色濾光片之製造方法，其中，令除去前述噴墨列中不吐出前述墨水之兩端部噴嘴的部分之長度爲L，令經由前述分割形成之前述噴墨群之數爲η、令前述噴墨列與前述副掃瞄方向所成之角爲Θ之時’則述副掃猫移動量δ係 δ 与（L/n)cose 者。 7. 如申請專利範圍第1項之彩色濾光片之製造方法，其中，前述噴墨頭係設置複數個的同時，自各噴墨頭之噴嘴列吐出互爲不同之顏色的濾光材料。 8. 如申請專利範圍第1項之彩色濾光片之製造方法，其中，前述噴墨頭係設置複數之前述噴嘴的同時，自各前述列吐出互爲不同之顏色的前述濾光材料。 9. 一種彩色瀘光片之製造裝置，屬於製造在於基板上排列複數之濾光片元素所成之彩色濾光片的彩色濾光片之製造裝置，其特徵係具備經濟部智慧財產局員工消費合作社印製具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給濾光材料的墨水供給手.段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，本紙張尺度適用^國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " ：一 -2 - 514593 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段， (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段 9 各前述群之至少一部分，令前述基板之同樣部分可向前述主掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。 10. —種液晶裝置之製造方法，屬於具有挾持液晶之一對基板，和於至少一方之基板上排列複數之濾光元素所成之彩色濾光片的液晶裝置之製造方法，其特徵係具備具有將複數之噴嘴排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，及將前述基板中之一方，對於另一方向，向主掃瞄線方向移動的工程，和自前述複數之噴嘴選擇性吐出濾光片材料，於前述基板上形成前述濾光片元素的工程，經濟部智慧財產局員工消費合作社印製和各前述群之至少一部分，令前述基板之同樣部分可向前述主掃瞄方向掃瞄地，將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方進行副掃瞄之工程。 . 11. 一種液晶裝置之製造裝置，屬於具有挾持液晶之一對基板，和於至少一方之基板上排列複數之濾光元素所成之彩色濾光片的液晶裝置之製.造裝置，其特徵'係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） · " -3 - 514593 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給濾光材料的墨水供給手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段，和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。 12. —種電激發光裝置之製造方法，屬於將各包含電激發光發光層之複數之繪點像素排列於基板上所成之電激發光裝置之製造方法，其特徵係具備具有將複數之噴嘴排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，及將前.述基板中之一方，對於另一方向，向主掃瞄線方向移動的工程，和自前述複數之噴嘴選擇性吐出電激發光發光材料’ 於前述基板上形成前述電激發光發光層的工程/ 和各前述群之至少一部分，令前述基板之同樣部分可本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) — " -4 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂學· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 514593 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍 5 向前述主掃瞄方向掃瞄地，將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方進行副掃瞄之工程。 13·—種電激發光裝置之製造方法，屬於將各包含電激發光發光層之複數之繪點像素排列於基板上所成之電激發光裝置之製造裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給電激發光發光材料的墨水供給手段和具有將複數之噴嘴排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給電激發光發光材料的墨水供給手段，以及將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段 j 各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -F - 514593 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6 一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 14·一種噴墨頭之·控制裝置，屬於製造在於基板上排列複數之顏色圖案所成之光學構件之時所使用之噴墨頭之控制裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和對該噴墨頭供給濾光片材料的墨水供給手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動手段，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動手段，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制手段，和控制前述主掃瞄驅動手段之動作之主掃瞄控制手段和控制前述副掃瞄驅動手段之動作之副掃瞄控制手段經濟部智慧財產局員工消費合作社印製各前述群之至少一部，令前述基板之同樣部分可向前述掃猫線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述基板之中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄者。 . 15.—種材料之吐出方法，屬於爲在於對象物吐出材料之方法，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，以及令前述對象物本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X297公釐）—' ： -έ> - 514593 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 7 中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之工程，和自前述複數之噴嘴向前述對象物，選擇性吐出材料之工程，和各前述群之至少一部分使前述基板之同樣部分可向前述主掃瞄方向加以掃瞄地，令前述噴墨頭及前述對象物中之一方，對於另一方而言，進行副掃瞄之工程。 16. 如申請專利範圍第15項之材料之吐出方法，其中，將前述噴墨頭及前述對象物中之一方，以前述群之副掃瞄方向之長度之整數倍長度，邊進行副掃瞄術動，複數次重覆前述主掃瞄加以進行者。 17. 如申請專利範圍第15項或第16項之材料之吐出方法，其中，前述複數之噴嘴係對於前述副掃瞄方向而言成爲傾斜加以排列。 18. 如申請專利範圍第15項或第16項之材料之吐出方法，其中，令前述噴墨列之長度爲L，令經由前述分割形成之前述噴墨群之數爲η、令前述噴墨列與前述副掃瞄方向所成之角爲Θ之時，前述副掃瞄移動量5係 5 与（L/n)cose 者。 19. 如申請專利範圍第15項或第16項之材料之吐出方法，其中，自前述噴墨列之兩端部分之數個.噴嘴不會吐出墨水者。 20. 如申請專利範圍第19項之材料之吐出方法，其中，令除去前述噴墨列中不吐出前述墨水之兩端部'噴嘴的部分之長度爲L，令經由前述分割形成之前述噴墨群之數爲本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 Φ. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一 7 - 514593 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) η、令前述噴墨列與前述副掃瞄方向所成之角爲θ之時，前述副掃瞄移動量5係 5 #(L/n)cos0 者。 21 · —種材料之吐出裝置，屬於爲於對象物吐出材料之吐出裝置，其特徵係具備具有將複數之噴墨排列成爲列狀所成之噴嘴列，該噴嘴列分割成爲複數之群所成之噴墨頭，和供給該噴墨頭材料之材料供給要素，和將前述噴墨頭及前述對象物中之一方，對於另一方而言，向主掃瞄方向移動之主掃瞄驅動要素，和將前述噴墨頭及前述基板中之一方，對於另一方而言，向副掃瞄方向移動之副掃瞄驅動要素，和控制自前述複數之噴嘴之墨水的吐出的噴嘴吐出控制要素，各前述群，令前述對象物之同樣部分可向前述主掃瞄線方向掃瞄地，使前述噴墨頭及前述對象物之中之一方’ 對於另一方而言，進行副掃瞄者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 22. —種電子機器，其特徵係搭載使用記載於申請專利範圍第1 0項之液晶裝置之製造方法加以製造的液晶裝置。 . - 23. —種電子機器，其特徵係搭載使用記載於申請專利範圍第1 2項之電激發光裝置之製造方法加以製造的電激發光裝置。 * 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）