CN1695945B - 液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供在基底上描画R、G、B3色时能削减工序、降低制造成本的液滴喷吐装置、电光学装置以及电子设备。本发明的液滴喷吐装置包括：支撑基底的台；由1个或者多个喷头组成的分别喷吐R、G、B色的液滴的R、G、B用喷头组；和以在第1方向重叠的方式支撑所述R、G、B用喷头组的支架。在相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动期间，用所述R、G、B用喷头组在所述基底的R、G、B被喷吐部分别喷吐R、G、B色的液滴。

Description

液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法

技术领域

本发明涉及液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法。详细说，涉及最适合于在滤色片基板、彩色矩阵型显示装置等中周期性配置的区域上涂敷液体材料的液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法。

背景技术

在薄膜的形成中，一般采用例如作为薄膜涂敷方法之一的旋转涂敷法。此旋转涂敷法是在基板上滴下液体之后，使基板旋转，根据离心力，在基板全体进行涂敷形成薄膜的方法，是通过旋转数、旋转保持时间以及液体的粘度等控制膜厚的方法。

但是，在旋转涂敷法中，由于提供的液体大部分都飞散掉了，所以存在有必须提供较多的液体，并且浪费很多、生产成本变高这样的问题。另外，因为使基板旋转，由于离心力使液体从内侧向外侧流动，存在外周区域的膜厚比内侧要厚的倾向，从而存在膜厚变得不均匀这样的问题。

由于相关背景，最近提出了喷墨法等的液滴喷吐法，作为用于实施此涂敷法的装置，提出了喷墨装置。此喷墨装置因为能将规定量的液体配置在所期望的位置上，所以主要适用于形成薄膜的情况。

有关的喷墨装置能够适用在例如制造滤色片基板的情况。滤色片是通过喷墨装置对基板以规定图案滴落R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)的印墨形成的。

作为由喷墨装置制造滤色片的技术，周知的有例如专利文献1。在相关的专利文献1中，记载了对于基板，通过由第1着色装置(喷墨喷头)喷吐R色的印墨并使其干燥(第1工序)、由第2着色装置(喷墨喷头)喷吐G色的印墨并使其干燥后(第2工序)、由第3着色装置(喷墨喷头)喷吐B色的印墨并使其干燥(第3工序)，来制造滤色片。

但是，在上述以往的技术中，由于为了在基板上描画R、G、B的3种颜色而必须使同一工序重复3次，所以存在工序数变多、制造成本变高这样的问题。

专利文献1：特开平11-248926号公报

发明内容

本发明是鉴于上述问题而进行的发明，目的在于提供一种当在基板上描画R、G、B的3种颜色时，能够削减工序数、降低制造成本的液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法。

为了解决上述问题，达到目的，本发明的特征在于，包括：支撑基底的台；由多个喷头组成的分别喷吐R、G、B色的液滴的R、G、B用的喷头组；和以在第1方向重叠的方式支撑所述R、G、B用喷头组的支架。所述喷头，分别具有1列以上的喷嘴，各个列的喷嘴，在1个喷头组中错位配置。在相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动期间，用所述R、G、B用喷头组在所述基底的R、G、B被喷吐部分别喷吐R、G、B色的液滴。

由此，在相对台使支架在所述第1方向相对移动期间，通过R、G、B用的喷头组，在基底的R、G、B被喷吐部上分别喷吐R、G、B色的液滴，通过1次向第1方向的相对移动，就能够描画喷头组的描画范围内的全部R、G、B被喷吐部，所以使由1道工序同时在基底上描画R、G、B的3色成为可能。此结果，当在基底上描画R、G、B的3色时，能够提供削减工序数、降低制造成本的液体喷吐装置。

另外，根据本发明的优选方式，优选所述R、G、B被喷吐部的俯视图呈长边和短边确定的大致矩形形状，以所述长边的方向平行于与所述第1方向垂直的第2方向并且所述短边的方向平行于所述第1方向的方式，所述台支撑所述基底。由此，能够描画带状的R、G、B被喷吐部。

另外，根据本发明的优选方式，优选相对与所述第1方向垂直相交的第2方向，平行地配置构成所述R、G、B喷头组的喷头的喷嘴列。由此，能在较宽的描画范围高精度地进行描画。

另外，根据本发明的优选方式，优选相对与所述第1方向垂直相交的第2方向，在倾斜方向配置构成所述R、G、B喷头组的喷头的喷嘴列。由此，能在较宽的描画范围高精度地进行描画。

另外，根据本发明的优选方式，优选由围堰划分所述R、G、B被喷吐部，相应R、G、B被喷吐部的表面被实施亲液化处理，所述围堰的表面被实施疏液化处理。由此，在基底上滴落的液滴被围堰弹落，而且在被喷吐部变得容易涂敷，能在被喷吐部均匀地配置液滴。

另外，根据本发明的优选方式，电光学装置优选采用本发明的液滴喷吐法装置制造的。由此，能提供以低成本制造的电光学装置。

另外，根据本发明的优选方式，电子设备优选安装本发明的电光学装置。由此，能提供安装了以低成本制造的电光学装置的电子设备。

为了解决上述问题，达到目的，本发明是使用第1以及第2液滴喷吐装置对所述基底上的R、G、B被喷吐部分别喷吐R、G、B色的液滴的液滴喷吐方法，其中第1以及第2液滴喷吐装置分别包括：用于支撑基底的台；由多个喷头组成的分别喷吐R、G、B色的液滴的R、G、B用喷头组；和以在第1方向重叠的方式支撑所述R、G、B用喷头组的支架，其优选包括：第1喷吐工序，在所述第1液滴喷吐装置中，将所述基底支撑在所述台上，相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动，用所述R、G、B用喷头组对所述基底的R、G、B被喷吐部每隔一个地分别喷吐R、G、B色的液滴；第1干燥工序，使被涂敷在所述基底上的液滴干燥；第2喷吐工序，在所述第2液滴喷吐装置中，将干燥后的基底支撑在所述台上，相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动，利用所述R、G、B用喷头组，在所述基底的液滴未涂敷的R、G、B被喷吐部上分别喷吐R、G、B色的液滴；和第2干燥工序，使被涂敷在所述基底上的液滴干燥。

由此，通过2次喷吐工序，能够在基底上描画R、G、B的3色，能削减工序，降低制造成本。进一步，沿着第1方向，由于对于R、G、B被喷吐部每隔一个地涂敷液滴并使其干燥之后、在未涂敷的被喷吐部进行液滴涂敷，所以能够防止在相邻的被喷吐部之间的混色。

附图说明

图1表示有关实施例的液滴喷吐装置的模式图。

图2表示有关实施例的支架的模式图。

图3表示有关实施例的喷头的模式图。

图4-1表示有关实施例的喷头的喷吐部的模式图。

图4-2表示有关实施例的喷头的喷吐部的模式图。

图5表示有关实施例的喷头组中喷头的相对位置关系的模式图。

图6表示有关实施例的控制部的模式图。

图7-1表示有关实施例的喷头驱动部的模式图。

图7-2表示有关实施例的喷头驱动部中驱动信号、选择信号以及喷吐信号的时间图。

图8是用于说明有关实施例的液滴喷吐装置的涂敷方法的一例的说明图。

图9是用于说明涂敷方法的变形例的流程图。

图10-1是用于说明涂敷方法的变形例的模式图。

图10-2是用于说明涂敷方法的变形例的模式图。

图11表示喷头的排列的变形例的模式图。

图12是说明滤色片制造工序的流程图。

图13-1是按照制造工序顺序表示的滤色片的模式剖面图。

图13-2是按照制造工序顺序表示的滤色片的模式剖面图。

图13-3是按照制造工序顺序表示的滤色片的模式剖面图。

图13-4是按照制造工序顺序表示的滤色片的模式剖面图。

图13-5是按照制造工序顺序表示的滤色片的模式剖面图。

图14表示采用了有关实施例的滤色片的液晶装置的概略构成的主要部分剖面图。

图15表示采用了有关实施例的滤色片的第2例的液晶装置的概略构成的主要部分剖面图。

图16表示采用了有关实施例的滤色片的第3例的液晶装置的概略构成的主要部分剖面图。

图17是作为有机EL装置的显示装置的主要部分剖面图。

图18是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。

图19是说明无机物围堰层的形成的工序图。

图20是说明有机物围堰层的形成的工序图。

图21是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。

图22是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。

图23是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。

图24是说明形成了蓝色发光层的状态的工序图。

图25是说明形成了各色发光层的状态的工序图。

图26是说明阴极的形成的工序图。

图27是作为等离子型显示装置(PDP装置)的显示装置的主要部分分解立体图。

图28是作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的主要部分剖面图。

图29-1是包括了有关实施例的电光学装置的个人计算机的立体图。

图29-2是包括了有关实施例的电光学装置的携带电话机的立体图。

图中：100—液滴喷吐装置，102—喷吐扫描部，103—支架，104—第1位置控制装置，106—台，108—第2位置控制装置，111—液体材料，112—控制部，114—喷头，114G—喷头组，116A、116B—喷嘴列，118—喷嘴，118R—基准喷嘴，124—振子，124A、124B—电极，124C—压电元件，127—喷吐部，203—驱动信号生成部，208—喷头驱动部。

具体实施方式

以下，对于此发明，参照附图详细进行说明。还有，此发明并非限定于此实施例。另外，在下述实施例中的构成要素中包含本领域技术人员能容易想到的要素或者实质上为同一要素。

(实施例)

按照[液滴喷吐装置]、[电光学装置的制造]、[向电子设备的适用]的顺序详细说明有关本发明的液滴喷吐装置、电光学装置以及电子设备的适当的实施例。

(液滴喷吐装置)

按照(液滴喷吐装置的整体构成)、(支架)、(喷头)、(喷头组)、(控制部)、(喷吐方法)、(喷吐方法的变形例)、(喷头的排列的变形例)的顺序详细说明有关本发明的实施例的液滴喷吐装置。

(液滴喷吐装置的整体构成)

如图1所示，液滴喷吐装置100包括：保存液体材料111的贮箱101、软管110、经由软管110从贮箱101提供液体材料111的喷吐扫描部102。喷吐扫描部102包括：支撑多个喷头114(图2)的支架103、控制支架103的位置的第1位置控制机构104、后述的支撑基底的台106、控制台106的位置的第2位置控制机构108、控制部112。贮箱101与支架103上的多个喷头114由软管110连接，从贮箱101对多个喷头114的每一个提供液体材料111。

第1位置控制机构104根据来自控制部112的信号，使支架103沿着X轴方向(第2方向)以及与X轴方向垂直的Z轴方向移动。进一步，第1位置控制机构104还具有使支架103在与Z轴平行的轴的周围旋转的功能。在本实施例中，Z轴方向是与铅垂方向(也就是重力加速度的方向)平行的方向。第2位置控制机构108根据来自控制部112的信号，沿着与X轴方向及Z轴方向的两个方向都垂直的Y轴方向(第1方向)使台106移动。进一步，第2位置控制机构108还具有使台106在与Z轴平行的轴的周围旋转的功能。还有，在本说明书中，第1位置控制机构104以及第2位置控制机构108也被记为“扫描部”。

台106具有与X轴方向及Y轴方向的两个方向都平行的平面。另外，台106构成为能够将具有应涂敷规定材料的被喷吐部的基底固定或者支撑在其平面上。还有，在本说明书中，也将具有被喷吐部的基底记为“接受基板”。

在本说明书中，X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向与支架103以及台106之中的一个相对另一个相对移动的方向是一致的。另外，规定X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向的XYZ坐标系的假设原点被固定在喷吐装置100的基准部分。在本说明书中，所谓X坐标、Y坐标以及Z坐标是在这样的XYZ坐标系中的坐标。还有，上述的假设原点可以固定在台106上，也可以固定在支架103上。

如上所述，支架103由第1位置控制装置104控制而在X轴方向上移动。另一方面，台106由第2位置控制装置108控制而在Y轴方向上移动。也就是，由第1位置控制装置104以及第2位置控制装置108，使相对于台106的喷头114的相对位置发生变化。更具体地说，通过这些动作，支架103、喷头组114R、G、B(图2)、喷头114或者喷嘴118(图3)相对于在台106上位置确定的被喷吐部，在Z轴方向上保持规定的距离的同时，在X轴方向以及Y轴方向相对移动，即相对地扫描。此处，也可以是相对静止的被喷吐部，支架103在Y轴方向移动。然后，也可以在支架103沿着Y轴方向在规定2点之间移动的期间内，对于静止的被喷吐部从喷嘴118喷吐材料111。所谓“相对移动”或者“相对扫描”包含喷吐液体材料111的一侧和从其喷吐出的喷吐物滴落的一侧(被喷吐部一侧)中至少一侧相对于另外一侧移动。

进一步，所谓支架103、喷头组114R、G、B(图2)、喷头114或者喷嘴118(图3)相对移动是指相对于台、基底或者被喷吐部，它们的相对位置发生变化。因此，在本说明书中，即使在支架103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对于喷吐装置100静止、而只有台106移动的情况下，也记为支架103、喷头组114G、喷头114或者喷嘴118相对于台106、基底或者被喷吐部相对移动。另外，指代相对扫描或者相对移动、与材料的喷吐的组合也记为“涂敷扫描”。

支架103以及台106还具有上述以外的平行移动以及旋转的自由度。不过，在本实施例中，为了使说明简单被省略了关于上述自由度以外的自由度的记载。

控制部12构成为从外部信息处理装置接受表示应喷吐液体材料111的相对位置的喷吐数据。控制部112的详细构成以及功能将在后面叙述。

(支架)

图2是从台106一侧观察支架103的图，与图2的纸面垂直的方向是Z轴方向。另外，图2的纸面的左右方向是X轴方向(副扫描方向)，纸面的上下方向是Y轴方向(扫描方向)。

如图2所示，支架103支撑分别填充了R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)的液体材料111的R、G、B用喷头组114R、G、B。R、G、B用喷头组114R、G、B在支架103上沿Y轴方向重叠排列，而且是平行地配置在X轴方向。R、G、B用的喷头组114R、G、B分别由4个喷头114构成，各个喷头114的排列是同样的结构。喷头114具有设置了后述的多个喷嘴118的底面。喷头114的底面形状是具有2个长边和2个短边的多边形。如图2所示，由支架103支撑的喷头114的底面面向台106一侧，进一步，喷头114的长边方向和短边方向分别与X轴方向和Y轴方向平行。还有，各个喷头114彼此之间的相对位置关系的详细情况后面叙述。此处，虽然R、G、B用喷头组114R、G、B是分别具有4个喷头的构成，但喷头组114R、G、B所包括的喷头的数量没有限定，另外，喷头也可以是1个。在本说明书中，所谓喷头组是指1个或者多个喷头的总和。

(喷头)

图3表示喷头114的底面。喷头114具有在X轴方向排列的多个喷嘴118。这多个喷嘴118配置为在喷头114的X轴方向的喷嘴间隔HXP约为70μm。此处，“喷头114的X轴方向的喷嘴间隔HXP”相当于将喷头114中的全部喷嘴118沿着Y轴方向映射到X轴上所得到的多个喷嘴像间的间隔。

在本实施例中，喷头114中的多个喷嘴118都构成为在X轴方向延伸的喷嘴列116A和喷嘴列116B。喷嘴列116A和喷嘴列116B排列在Y轴方向上。然后，在各个喷嘴列116A以及喷嘴列116B中，180个喷嘴118以一定间隔在X轴方向上排成一列。在本实施例中，此一定间隔约为140μm。也就是，喷嘴列116A的喷嘴间隔LNP以及喷嘴列116B的喷嘴间隔LNP都约为140μm。

喷嘴列116B的位置相对于喷嘴列116A的位置在X轴方向的正方向(图3的右方向)只错开约喷嘴间隔LNP的一半的长度(约70μm)。因此，喷头114的X轴方向的喷嘴间隔HXP为喷嘴列116A(或者喷嘴列116B)的喷嘴间隔LNP的一半的长度(约70μm)。

即，喷头114的X轴方向的喷嘴线密度为喷嘴列116A(或者喷嘴列116B)的喷嘴线密度的2倍。还有，在本说明书中，所谓“X轴方向的喷嘴线密度”相当于将多个喷嘴沿着Y轴方向映射到X轴上所得到的多个喷嘴像的平均单位长度的数量。

当然，喷头114所包括的喷嘴列的数量不止限定为2个。喷头114也可以包括M个喷嘴列。此处，M为1以上的自然数。此种情况下，在M个喷嘴列的每一个中，多个喷嘴118以喷嘴间隔HXP的M倍的长度的间隔排列。进一步，当M为2以上的自然数时，相对于M个喷嘴列之中的一个，其它的(M-1)个喷嘴列只以喷嘴间隔HXP的i倍长度无重复地错开于X轴方向上。此处，i为从1开始至(M-1)为止的自然数。

因为喷嘴列116A以及喷嘴列116B的各个是由180个喷嘴组成的，所以1个喷头114有360个喷嘴。但是，喷嘴列116A的两端的各10个喷嘴是作为“休止喷嘴”被设定的。同样地，喷嘴列116B的两端的各10个喷嘴也是作为“休止喷嘴”被设定的。然后，从这40个“休止喷嘴”中不喷吐液体材料111。因此，喷头114中的360个喷嘴118中，320个喷嘴118作为喷吐液体材料111的喷嘴发挥功能。在本说明书中，也将这320个喷嘴118记为“喷吐喷嘴”。

在本说明书中，以说明喷头114彼此之间的相对位置关系为目的，将喷嘴列116A所包括的180个喷嘴118之中从左开始的第11个喷嘴118记为喷头114的“基准喷嘴118R”。也就是，喷嘴列116A中160个喷吐喷嘴之中，最左侧的喷吐喷嘴是喷头114的“基准喷嘴118R”。还有，对于全部的喷头114，因为只要“基准喷嘴118R”的指定方式相同即可，所以“基准喷嘴118R”的位置也可以不是上述位置。

如图4-1以及图4-2所示，各个喷头114都是喷墨喷头。更具体地说，各个喷头114包括振动板126和喷嘴板128。通常被由从贮箱101经由孔131提供的液体材料111填满的液体贮留处129位于振动板126、喷嘴板128之间。

另外，在振动板126和喷嘴板128之间放置多个隔壁122。然后，由振动板126、喷嘴板128、1对隔壁122包围的部分是腔室120。因为腔室120是对应于喷嘴118设置的，所以腔室120的数量与喷嘴118的数量是相同的。对腔室120经由位于1对隔壁122之间的供给口130提供来自液体贮留处129的液体材料111。

与各个腔室120对应、在振动板126上设置了振子124。振子124包括压电元件124C和夹住压电元件124C的1对电极124A、124B。通过在这1对电极124A、124B之间施加驱动电压，从对应的喷嘴118中喷吐液体材料111。还有，调整喷嘴118的形状使从喷嘴118向Z轴方向喷吐液体材料。

此处，在本说明书中，所谓“液体材料”是指能从喷嘴喷吐的有粘度的材料。此种情况下，材料是水性还是油性的都没有关系。只要能从喷嘴喷吐的具有流动性(粘度)就足够了，即使混入固体物质、只要作为整体来讲是流体即可。

控制部112(图1)也可以构成为对多个振子124的各个相互独立地提供信号。也就是，从喷嘴118喷吐的材料111的体积也可以根据来自控制部112的信号按每个喷嘴118进行控制。那样的情况下，从喷嘴118的每yi,gif个中喷吐的材料111的体积是在0pl～42pl(微微升)之间可变的。另外，控制部112如后述那样，也能够设定在涂敷扫描期间进行喷吐动作的喷嘴118和不进行喷吐动作的喷嘴118。

在本说明书中，也将包括1个喷嘴118、与喷嘴118对应的腔室120、与腔室120对应的振子124的部分记为“喷吐部127”。根据此记述，1个喷头114具有与喷嘴118的数量相同数量的喷吐部127。喷吐部127也可以取代采用压电元件而使用电热变换元件。也就是，喷吐部12也可以具有利用由电热变换元件带来的材料的热膨胀来喷吐材料的构成。

(喷头组)

接着，说明在喷头组114R、G、B中4个喷头114的相对位置关系。在图5中表示了图2的支架103中的在Y轴方向上相邻的2个喷头组114G。

如图5所示，各个喷头组114R、G、B由4个喷头114构成。然后在喷头组114中配置4个喷头114，以使喷头组114R、G、B的X轴方向的喷嘴间隔GXP是喷头组114的X轴方向的喷嘴间隔HXP的1/4倍的长度。更具体地说，相对1个喷头114的基准喷嘴118R的X坐标，其它的喷头114的基准喷嘴118R的X坐标只以喷嘴间隔HXP的j/4倍的长度无重复地错位排列在X轴方向上。此处，j是从1至3的自然数。因此，喷头组114G的X轴方向的喷嘴间隔GXP是喷嘴间隔HXP的1/4倍。

在本实施例中，由于喷头114的X轴方向的喷嘴间隔HXP约为70μm，所以喷头组114R、G、B的X轴方向的喷嘴间隔GXP为其1/4倍、约17.5μm。此处，“喷头组114R、G、B的X轴方向的喷嘴间隔GXP”相当于将喷头组114R、G、B中的全部喷嘴118沿着Y轴方向映射到X轴上所得到的多个喷嘴像间的间隔。

当然，喷头组114R、G、B所包括的喷头114的数量不止限定为4个。喷头组114G也可以是由N个喷头114构成的。此处，N为2以上的自然数。此种情况下，喷头组114G中N个喷头114配置为使喷嘴间隔GXP为喷嘴间隔HXP的1/N倍的长度。或者，也可以相对于N个喷头114的一个中的基准喷嘴118R的X坐标，使其它(N-1)个喷头114中的基准喷嘴118的X坐标只以喷嘴间隔HXP的j/N倍的长度无重复地错开。还有，此种情况下，j为从1开始至(N-1)为止的自然数。另外，喷头组114R、114G、114B也可以是由1个喷头114构成。

以下，更具体地说明本实施例的喷头114的相对位置关系。

首先，以使说明简单为目的，将图5的喷头组114R、G、B中所包括的4个喷头114从上面开始分别记为喷头1141、喷头1142、喷头1143、喷头1144。

然后，将喷头1141中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列1A、1B，将喷头1142中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列2A、2B，将喷头1143中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列3A、3B，将喷头1144中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列4A、4B。同样地，将喷头1145中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列5A、5B，将喷头1146中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列6A、6B，将喷头1147中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列7A、7B，将喷头1148中的喷嘴列116A、116B记为喷嘴列8A、8B。

这些喷嘴列1A～8B中的每一个实际上是由180个喷嘴1178组成的。然后，如上述这样，在喷嘴列1A～8B的每一个中，这180个喷嘴排列在X轴方向上。不过，在图5中，为了说明的方便，将喷嘴列1A～8B的每一个描画成由4个喷吐喷嘴(喷嘴118)组成。进一步，在图5中，喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118是喷头1141的基准喷嘴118R，喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118是喷头1142的基准喷嘴118R，喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118是喷头1143的基准喷嘴118R，喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118是喷头1144的基准喷嘴118R，喷嘴列5A的最左侧的喷嘴118是喷头1145的基准喷嘴118R。

喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标与喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标的差的绝对值是喷嘴间隔LNP的1/4倍的长度，即喷嘴间隔HXP的1/2倍的长度。在图5的例子中，喷头1141的基准喷嘴118R的位置相对于喷头1142的基准喷嘴118R的位置在X轴方向的负方向(图5的左方向)只错开了喷嘴间隔LNP的1/4倍的长度。但是，喷头1141相对于喷头1142错位的方向也可以是X轴方向的正方向(图5的右方向)。

喷头1143的基准喷嘴118R的X坐标与喷头1144的基准喷嘴118R的X坐标的差的绝对值是喷嘴间隔LNP的1/4倍的长度，即喷嘴间隔HXP的1/2倍的长度。在图5的例子中，喷头1143的基准喷嘴118R的位置相对于喷头1144的基准喷嘴118R的位置在X轴方向的负方向(图5的左方向)只错开了喷嘴间隔LNP的1/4倍的长度。但是，喷头1143相对于喷头1144错位的方向也可以是X轴方向的正方向(图5的右方向)。

喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标与喷头113的基准喷嘴118R的X坐标的差的绝对值是喷嘴间隔LNP的1/8或者3/8倍的长度，即喷嘴间隔HXP的1/4或者3/4倍的长度。在图5的例子中，喷头1142的基准喷嘴118R的位置相对于喷头1143的基准喷嘴118R的位置在X轴方向的正方向(图5的左侧方向)只错开了喷嘴间隔LNP的1/8即17.5μm。但是，喷头1142相对于喷头1143错位的方向也可以是X轴方向的负方向(图5的左方向)。

在本实施例中，向Y轴方向的负方向(图的下方)，按顺序排列有喷头1141、1142、1143、1144。但是，在Y轴方向排列的这4个喷头114的顺序也可以不按照本实施例的顺序。具体说，也可以使喷头1141和喷头1142在Y轴方向互相相邻，并且使喷头1143和喷头1144在Y轴方向互相相邻。

根据上述配置，在喷嘴列1A的最左面的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左面的喷嘴118的X坐标之间，收纳了喷嘴列2A的最左面的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A的最左面的喷嘴118的X坐标以及喷嘴列4A的最左面的喷嘴118的X坐标。同样地，在喷嘴列1B的最左面的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的左面开始第2个喷嘴118的X坐标之间，收纳了喷嘴列2B的最左面的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3B的最左面的喷嘴118的X坐标以及喷嘴列4B的最左面的喷嘴118的X坐标。在喷嘴列1A的其它的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的其它的喷嘴118的X坐标之间，也同样收纳了喷嘴列2A(或者2B)的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A(或者3B)的喷嘴118的X坐标以及喷嘴列4A(或者4B)的喷嘴118的X坐标。

更具体地说，根据上述喷头的配置，喷嘴列1B的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1A的最左面的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1A的从左面开始第2个喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。然后，喷嘴列2A的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1A的最左面的喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B的最左面的喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。喷嘴列2B的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1A的从左面开始的第2个喷嘴118的X坐标和喷嘴列1B最左面的喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。喷嘴列3A的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1A的最左面的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的最左面的喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。喷嘴列3B的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1B的最左面的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2B的最左面的喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。喷嘴列4A的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1B的最左面的喷嘴118的X坐标和喷嘴列2A的最左面的喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。喷嘴列4B的最左面的喷嘴118的X坐标，与喷嘴列1A的从左面开始的第2个喷嘴118的X坐标和喷嘴列2B最左面的喷嘴118的X坐标的中间几乎一致。

(控制部)

接着说明控制部112的构成。如图6所示，控制部112包括：输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206、喷头驱动部208。输入缓冲存储器200和处理部204连接为能相互通信。处理部204和存储机构202连接为能相互通信。处理部204和扫描驱动部206连接为能相互通信。处理部204和喷头驱动部208连接为能相互通信。另外，扫描驱动部206连接为与第1位置控制机构104以及第2位置控制机构108能相互通信。同样地，喷头驱动部208连接为与多个喷头114的每一个能相互通信。

输入缓冲存储器200由外部信息处理机构接受用于进行液体材料111的液滴喷吐的喷吐数据。喷吐数据包括：表示基底上的全部被喷吐部的相对位置的数据、表示在全部被喷吐部上直到达到所期望的厚度为止涂敷液体材料111所必需的相对扫描次数的数据、指定作为开启(ON)喷嘴118A发挥功能的喷嘴118的数据、和指定作为关闭(OFF)喷嘴118B发挥功能的喷嘴118的数据。开启喷嘴118A以及关闭喷嘴118B的说明在后面叙述。输入缓冲存储器200对处理部204提供喷吐数据，处理部204将喷吐数据存储到存储机构202中。在图6中，存储机构202是RAM。

处理部204根据存储机构202中的喷吐数据，将表示相对被喷吐部的喷嘴118的相对位置的数据送给扫描驱动部206。扫描驱动部206将对应于此数据和后述的喷吐周期EP(图7)的驱动信号送给第1位置控制机构104以及第2位置控制机构108。其结果，喷头114对被喷吐部进行相对扫描。另一方面，处理部204根据在存储机构202中存储的喷吐数据和喷吐周期EP，向喷头驱动部208送给指定每个喷吐时序的喷嘴118的开启/关闭的选择信号SC。喷头驱动部208根据选择信号SC，向喷头114送给液体材料111的喷吐所必要的喷吐信号ES。其结果，从喷头114中对应的喷嘴118，作为液滴喷吐液体材料111。

控制部112也可以是包括CPU、ROM、RAM等的计算机。此种情况下，控制部112的上述功能由用计算机执行的软件程序实现。当然，控制部112也可以采用专用电路(硬件)实现。

接着说明控制部112中的喷头驱动部208的构成和功能。

如图7-1所示，喷头驱动部208具有1个驱动信号生成部203和多个模拟开关AS。如图7-2所示，驱动信号生成部203生成驱动信号DS。驱动信号DS的电位相对于基准电位L呈时间性变化。具体地说，驱动信号DS包含以喷吐周期EP重复的多个喷吐波形P。此处，喷吐波形P为了从喷嘴118喷吐1滴液滴，而对应于应在对应的振子124的一对电极间施加的驱动电压波形。

驱动信号DS被提供给模拟开关AS的各个输入端子。模拟开关AS的每一个与喷吐部127的各个相对应设置。也就是，模拟开关AS的数量与喷吐部127的数量(也就是喷嘴118的数量)是相同的。

处理部204将表示喷嘴118的开启/关闭的选择信号SC送给各模拟开关AS。此处，选择信号SC是按每个模拟开关AS而独立地取得高电平和低电平中的任一状态。另一方面，模拟开关AS根据驱动信号DS和选择信号SC，为振子124的电极124A提供喷吐信号ES。具体说，当选择信号SC为高电平的情况下，模拟开关AS对电极124A传送作为喷吐信号ES的驱动信号DS。另一方面，，当选择信号SC为低电平的情况下，模拟开关AS输出的喷吐信号ES的电位成为基准电位L。如果对振子124的电极124A赋予驱动信号DS，则从与其振子124对应的喷嘴118中喷吐液体材料111。还有，对各个振子124的电极124B赋予基准电位L。

在图7-2所示的例子中，在2个选择信号SC的每一个中设定高电平期间和低电平期间，以使在2个喷吐信号ES的每一个中喷吐波形以喷吐周期EP的2倍的周期2EP出现，。由此，从对应的2个喷嘴118的每个中，以周期2EP喷吐液体材料111。另外，对与这2个喷嘴118对应的振子124的每个施加来自公共驱动信号生成部203的公共的驱动信号DS。因此，从2个喷嘴118几乎以相同的时序喷吐液体材料111。

根据以上的构成，喷吐装置100根据由控制部112赋予的喷吐数据，进行液体材料111的涂敷扫描。

(喷吐方法)

参照图8说明液滴喷吐装置100的涂敷方法的一例。图8是用于说明液滴喷吐装置100的涂敷方法的一例的说明图。在图8中，在台106上支撑基底300。基底300形成为以围堰301划分成矩阵状的R、G、B被喷吐部302R、G、B。R、G、B被喷吐部302R、G、B呈条状排列，在Y轴方向上R、G、B被喷吐部302R、G、B交互排列。R、G、B被喷吐部302R、G、B的俯视图呈以长边和短边确定的大致矩形形状。R、G、B被喷吐部302R、G、B分别形成滤色片等、成为R、G、B象素区域的区域。另外，为了引起液体材料111的自组织性图案化现象，对围堰301的表面实行疏液化处理，对R、G、B被喷吐部302R、G、B的表面实行亲液化处理。在喷头组114R、G、B中分别填充R、G、B色的液体材料111。

在图8中，首先，使支架103相对于台106在Y轴方向(主扫描方向)相对移动，同时，用喷头组114R、G、B分别向R、G、B被喷吐部302R、G、B喷吐R、G、B的液体材料111。由此，通过1次在Y轴方向上的相对移动(1次扫描)，就能够在喷头组的描画范围内的R、G、B被喷吐部302R、G、B上配置R、G、B色的液体材料111。接着，使支架103相对于台106在X轴方向(副扫描方向)上只相对移动喷头组114R、G、B的描画范围(有效扫描范围)之后，同样使其在Y轴方向上相对移动，同时，对基底300的R、G、B被喷吐部302R、G、B，用喷头组114R、G、B喷吐R、G、B色的液体材料111。直到基底300的全部涂敷面涂敷结束为止执行同样的动作。

(喷吐方法的变形例)

参照图9以及图10，说明液滴喷吐装置100的涂敷方法的其它例子。图9是用于说明液滴喷吐装置100的涂敷方法的变形例的工序的流程图，图10是用于说明液滴喷吐装置100的涂敷方法的变形例的模式图。

上述实施例的涂敷方法是通过1次扫描在扫描范围的R、G、B被喷吐部302R、G、B的整体涂敷R、G、B色的液体材料111的方法，但存在在Y轴方向相邻的R、G、B被喷吐部302R、G、B之间发生混色的可能性。因此，有关变形例的涂敷方法是使用2台液滴喷吐装置100，以防止在Y轴方向相邻的R、G、B被喷吐部302R、G、B之间的混色。有关变形例的涂敷方法如图9所示，包括：通过第1液滴喷吐装置100沿着Y轴方向对R、G、B被喷吐部302R、G、B每隔1个喷吐液体材料111的第1喷吐工序(S1)；使喷吐的液体材料111在干燥装置(没有图示)干燥的第1干燥工序(S2)；通过第2液滴喷吐装置100沿着Y轴方向对没有喷吐液体材料111的R、G、B被喷吐部302R、G、B喷吐液体材料111的第2喷吐工序(S3)；使喷吐的液体材料111在干燥装置(没有图示)干燥的第2干燥工序(S4)。

首先，在第1涂敷工序(S1)中，如图10-1所示，在第1液滴喷吐装置100的台106上支撑基底300。使第1液滴喷吐装置100的支架103相对于台106在Y轴方向上相对移动，通过喷头组114R、G、B，沿着Y轴方向对R、G、B被喷吐部302R、G、B每隔1个，即R、B、G、R、B、G····被喷吐部302R、B、G、R、B、G····喷吐R、G、B色的液体材料111。接着，使支架103相对台106在X轴方向上(副扫描方向)只相对移动喷头组114R、G、B的描画范围(有效扫描范围)之后，同样使其在Y轴方向上相对移动，同时，通过喷头组114R、G、B，对R、G、B被喷吐部302R、G、B每隔1个喷吐液体材料111。直到基底300的全部涂敷面涂敷结束为止执行同样的动作。在第1干燥工序(S2)中，在干燥装置(没有图示)中使在基底300上喷吐的液体材料111干燥。

在第2涂敷工序(S3)中，如图10-2所示，在第2液滴喷吐装置100的台106上支撑基底300。使第2液滴喷吐装置100的支架103相对于台106在Y轴方向上相对移动，通过喷头组114R、G、B，对没有涂敷液体材料111的R、G、B被喷吐部302喷吐液体材料111。接着，使支架103相对台106在X轴方向上(副扫描方向)只相对移动喷头组114R、G、B的描画范围(有效扫描范围)之后，同样使其在Y轴方向相对移动，同时，通过喷头组114R、G、B，对没有喷吐液体材料111的R、G、B被喷吐部302R、G、B喷吐液体材料111。直到基底300的全部涂敷面涂敷结束为止执行同样的动作。在第2干燥工序(S4)中，在干燥装置(没有图示)中使在基底300上喷吐的液体材料111干燥。

这样，在变形例中，由于沿着Y轴方向对基底300的被喷吐部每隔1个涂敷液体材料111并使其干燥之后，对未涂敷的被喷吐部涂敷液体材料111，所以能够防止在相邻的被喷吐部之间的混色。

(喷头的排列的变形例)

图11是用于说明喷头114的排列的变形例的图。在上述实施例中构成为将喷头114安装在支架103上以使其喷嘴列与X轴方向平行。与此相对，在变形例中，如图11所示，将喷头114安装在支架103上以使喷头114的喷嘴列相对于X轴方向位于倾斜方向上。各个喷头组114R、G、B有2个喷头114。如果使喷嘴列相对于X轴方向排列在倾斜方向上，就能够容易地进行高密度的描画。

如以上说明的这样，本实施例的液滴喷吐装置100包括：支撑基底300的台106、由1个或者多个喷头组成的、分别喷吐R、G、B色的液滴的R、G、B用喷头组114R、G、B、和以R、G、B用喷头组114R、G、B在Y轴方向重叠方式支撑其的支架103。由于在使支架103相对台106在Y轴方向上相对移动期间，通过R、G、B用的喷头组114R、G、B在基底300的R、G、B被喷吐部分别喷吐R、G、B色的液滴，因此通过1次在Y轴方向上的相对移动，就能在喷头组的描画范围内的全部R、G、B被喷吐部进行描画，通过1个工序，在基底上可同时描画R、G、B的3色。此结果，当在基底上描画R、G、B的3色的情况下，能削减工序数，降低制造成本。

(电光学装置的制造)

接着，作为利用本实施例的液滴喷吐装置100制造的电光学装置(平板显示)，以滤色片、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子发射装置(FED装置、SED装置)等为例，对于这些构造以及其制造方法进行说明。

首先，对于组装在液晶显示装置或有机EL装置中的滤色片的制造方法进行说明。图12是表示滤色片的制造工序的流程图，图13是按照制造工序顺序表示的本实施例的滤色片500(滤色片基底500A)的模式剖面图。

首先，在黑矩阵形成工序(S11)中，如图13-1所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502由金属铬、金属铬与氧化铬的迭层体或者树脂黑等形成。形成由金属膜薄构成的黑矩阵502时，能采用溅射法或蒸镀法等。另外，形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502时，能采用凹版印刷法、光刻胶法、热转写法等。

接着，在围堰形成工序(S12)中，以在黑矩阵502上重叠的状态下形成围堰503。即，首先如图13-2所示，以覆盖基板501以及黑矩阵502的方式，形成负型的由透明的感光性树脂构成的抗蚀层504。然后，在以形成为矩阵图案形状的掩模505覆盖其上面的状态下对其进行曝光处理。进一步，如图13-3所示，通过对抗蚀层504的未曝光部分进行蚀刻处理，使抗蚀层504形成图案，形成围堰503。还有，当由树脂黑形成黑矩阵时，可同时兼用黑矩阵和围堰。此围堰503和其下的黑矩阵502成为划分各个象素区的划分壁部507b，在此后的着色层形成工序中，在通过喷头114形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时规定功能滴液的滴落区域。

通过经过以上的黑矩阵形成工序以及围堰形成工序，能得到上述滤色片基底500A。还有，在本实施例中，作为围堰503的材料，采用了涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。因此，由于基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性，所以在后述的着色层形成工序中，提高向由围堰503(划分壁部507b)包围的各象素区域507a内的液滴的滴落位置精度。

接着，在着色层形成工序(S13)中，如图13-4所示，通过喷头114喷吐功能液滴，使其滴落在由划分壁部507b包围的各象素区507a内。此种情况下，利用喷头114，导入R、G、B的3色功能液体(滤色片材料)，进行功能液滴的喷吐。还有，作为R、G、B的3色的排列模式，有条状排列、镶嵌排列以及三角排列等。

其后，通过干燥处理(加热等的处理)使功能液固定，形成3色的着色层508R、508G、508B。如果形成了着色层508R、508G、508B，则转至保护膜形成工序(S14)，如图13-5所示，以覆盖基板501、划分壁部507b以及着色层508R、508G、508B的表面的方式形成保护膜509。即，在形成有基板501的着色层508R、508G、508B的表面整体喷吐了保护膜用涂敷液之后，经过干燥处理形成保护膜509。

然后，在形成了保护膜509之后，通过按各个有效象素区域将基板501切断，能得到滤色片500。

图14是表示作为采用了上述的滤色片500的液晶显示装置的一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略构成的主要部分剖面图。通过在此液晶装置520中安装液晶驱动用IC、背光灯、支撑体等的附带要素，能得到作为最终产品的透过型液晶显示装置。还有，由于滤色片500与图13所示的装置相同，所以对应的部位采用相同的符号，省略其说明。

此液晶装置502由滤色片500、玻璃基板等构成的对置基板521以及夹在它们之间的由STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层522大致构成。滤色片500配置在图中上方(观察者一侧)。还有，虽然图中未表示，但在对置基板521以及滤色片500的外面(与液晶层522一侧相反的一面)分别配置了偏振板，另外在位于对置基板521的偏振板的外侧配置了背光灯。

在滤色片500的保护膜509上(液晶层侧)，在图14的左右方向以规定间隔形成多个特长的长方状的第1电极523，以覆盖此第1电极523的与滤色片500侧相反一侧的表面的方式形成第1取向膜524。另一方面，对向基板521中与滤色片500相面对方向的面上，在与滤色片500的第1电极523垂直的方向上，以规定间隔形成多个特长的长方状的第2电极526，以覆盖此第2电极526的液晶层522一侧的表面的方式形成第2取向膜527。这些第1电极523以及第2电极526是由ITO(Indium Tin Oxide)等的透明导电材料形成的。

在液晶层522内设置的隔片528是用于使液晶层522的厚度(单元间隙)保持为一定的构件。另外，密封部件529是用于防止液晶层522内的液晶组成物向外部泄漏的构件。还有，第1电极523的一端作为引导布线523a延伸到密封部件529的外侧。然后，第1电极523和第2电极526交叉的部分是象素，滤色片500的着色层508R、508G、508B构成为位于此成为象素的部分内。

在通常的制造工序中，在滤色片500上，进行第1电极523的图案化以及第1取向膜524的涂敷以做成滤色片500侧的部分，并且，与此不同在对置基板521上进行第2电极526的图案化以及第2取向膜527的涂敷以做成对置基板521一侧的部分。其后，在对置基板521一侧的部分加进隔片528以及密封部件529，在此状态下粘贴滤色片500一侧的部分。接着，从密封件529的注入口注入构成液晶层522的液晶，并封闭注入口。其后，层叠两个偏振板以及背光灯。

本实施例的液滴喷吐装置100在涂敷例如构成上述的单元间隙的隔片材料(功能液)并且在对置基板521一侧的部分上粘贴滤色片500一侧的部分之前，可以在由密封件529包围的区域内均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，上述密封部件529的印刷可由喷头114进行。进一步，第1、第2两个取向膜524、527的涂敷也可以由喷头114进行。

图15是表示利用了在本实施例中制造的滤色片500的液晶装置的第2例的概略构成的主要部分剖面图。此液晶装置530和上述液晶装置520的最大不同点在于滤色片500是配置在图中的下方(和观察者相反的一侧)。此液晶装置530是在由滤色片500和由玻璃基板等构成的对置基板531之间夹着由STN液晶构成的液晶层532大致构成的。还有，虽然图中未表示，但在对置基板531以及滤色片500的外面分别设置了偏振板等。

在滤色片500的保护膜509上(液晶层532一侧)，在图中的纵深方向以规定间隔形成多个特长的长方状的第1电极533，以覆盖此第1电极533的液晶层532一侧的表面的方式形成第1取向膜534。在对置基板531的与滤色片500相对的面上，以规定间隔形成多个在与滤色片500一侧的第1电极533垂直的方向上延伸的长方状的第2电极536，以覆盖此第2电极536的液晶层532一侧的表面的方式形成第2取向膜537。

在液晶层532中设置了用于使此液晶层532的厚度保持为一定的隔片538和用于防止液晶层532内的液晶组成物向外部泄漏的密封部件539。然后，和上述的液晶装置520同样地，在第1电极533与第2电极536的交叉部分是象素，滤色片500的着色层508R、508G、508B构成为位于成为此象素的部位内。

图16是表示采用适用了本发明的滤色片500而构成的液晶装置的第3例的图，是表示透过型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解立体图。此液晶装置550是将滤色片500配置在图中上方(观察者一侧)的装置。

此液晶装置550是由：滤色片500、配置为与其相面对的对置基板551、夹在它们中间的图中未表示的液晶层、在滤色片500的上侧(观察者一侧)配置的偏振板555、在对置基板551的下方配置的偏振板(图中未表示)大致构成的。在滤色片500的保护膜509的表面(对置基板551一侧的面)形成液晶驱动用的电极556。此电极556由ITO等的透明导电材料构成，成为覆盖后述的象素电极560形成区域整体的整面电极。另外，在覆盖此电极556的与象素电极560相反一侧的面的状态下设置取向膜557。

在对向基板551的与滤色片500相面对的面上形成绝缘层558，在此绝缘层558上以相互正交的状态形成扫描线561以及信号线562。然后，在由这些扫描线561和信号线562包围的区域内形成象素电极560。还有，在实际的液晶装置中，在象素电极560上设置了取向膜，但省略了图示。

另外，在由象素电极560的切陷部和扫描线561以及信号线562所包围的部分装入具有源极、漏极、半导体以及栅极的薄膜晶体管563。因此，构成为能够通过对扫描线561和信号线562施加信号使膜薄晶体管563导通/截止以进行对象素电极560的通电控制。

还有，上述各例的液晶装置520、530、550采用了透过型的构成，但也能设置反射层或者半透过反射层，制成反射型的液晶装置或者半透过反射型的液晶装置。

接着，图17是表示有机EL装置的显示区域(以下，简称为显示装置600)的主要部分剖面图。

此显示装置600是以在基板(W)601上层叠电路元件部602、发光元件部603以及阴极604的状态大致构成的。在此显示装置600中，从发光元件部603向基板601侧发射的光透过电路元件部602以及基板601，向观察者一侧射出，并且从发光元件部603向与基板601的相反一侧发射的光由阴极604反射之后，透过电路元件部602以及基板601，向观察者一侧射出。

在电路元件部602和基板601之间形成由硅氧化膜构成的衬底保护膜606，在此衬底保护膜606上(发光元件部603一侧)形成由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。在此半导体膜607的左右区域，通过注入高浓度阳离子，分别形成源级区域607a以及漏级区域607b。然后，在未注入阳离子的中央部成为沟道区域607c。

另外，在电路元件部602形成覆盖衬底保护膜606以及半导体膜607的透明的栅级绝缘膜608，在此栅绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置上，形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅极609。在此栅极609以及栅级绝缘膜608上形成透明的第1层间绝缘膜611a和第2层间绝缘膜611b。另外，形成贯通第1、第2层间绝缘膜611a、611b，分别连通半导体膜607的源级区域607a、漏级区域607b的接触孔612a、612b。

然后，在第2层间绝缘膜611b上以规定形状进行图案化、形成由ITO等构成的透明的象素电极613，此象素电极613通过接触孔612a与源级区域607a相连。另外，在第1层间绝缘膜611a上设置电源线614，此电源线614通过接触孔612b与漏级区域607b相连。

这样，在电路元件部602分别形成与各象素电极613相连的驱动用的薄膜晶体管615。

上述发光元件部603由在多个象素电极613上的每一个上层叠的功能层617和在各象素电极613以及功能层617之间所具有的、划分各功能层617的围堰部618大致构成。由在这些象素电极613、功能层617以及在功能层617上设置的阴极604构成发光元件。还有，象素电极613是图案化为俯视呈大致矩形状而形成的，在各象素电极613之间形成围堰部618。

围堰部618是通过由例如SiO、SiO2、TiO2等的无机材料形成的无机物围堰层618a(第1围堰层)、和在此无机物围堰层618a上层叠的由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等的耐热性、耐溶剂性优良的抗蚀剂形成的剖面台形状的有机物围堰层618b(第2围堰层)构成的。此围堰部618的一部分是以搁置在象素电极613的周围部分上的状态形成的。然后，在各个围堰部618之间，形成相对象素电极613在面向其上方渐渐张开的开口部619。

上述功能层617由在开口部619内以层叠在象素电极613上的状态形成的空穴注入/输送层617a、和在此空穴注入/输送层617a上形成的发光层617b构成。还有，与此发光层617b相邻，可以进一步形成具有其它功能的其它功能层。例如，可以形成电子传输层。

空穴注入/输送层617a具有从象素电极613一侧传输空穴、注入发光层617b的功能。此空穴注入/输送层617a通过喷吐包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物(功能液)而形成。作为空穴注入/输送层形成材料，例如，采用聚乙烯二羟基噻吩等的聚噻酚衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。

发光层617b发出红色(R)、绿色(G)或者蓝色(B)的任何一种光，是通过喷吐包含发光层形成材料(发光材料)的第2组成物(功能液)而形成的。另外，作为第2组成物的溶剂(非极性溶剂)，优选对空穴注入/输送层120a不溶解的溶剂，例如，能使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲苯、四甲苯等。通过将这样的非极性溶剂用于发光层617b的第2组成物，无需使空穴注入/输送层617a再溶解，就能够形成发光层617b。

然后，在发光层617b中构成为从空穴注入/输送层617a注入的空穴与从阴极604注入的电子在发光层再结合、发光。

阴极604以覆盖发光元件部603的整面的状态形成，与象素电极613配对，发挥向功能层617流通电流的作用。还有，在此阴极604的上部，配置了图中未表示的封闭构件。

接着，参照图18～图26说明上述的显示装置600的制造工序。

此显示装置600如图18所示，是经过围堰部形成工序(S21)、表面处理工序(S22)、空穴注入/输送层形成工序(S23)、发光层形成工序(S24)以及对置电极形成工序(S25)而制造的。还有，制造工序不限定于示例的工序，根据需要，还有省却或者追加工序的情况。

首先，在围堰部形成工序(S21)中，如图19所示，在第2层间绝缘膜611b上形成无机物围堰层618a。此无机物围堰层618a是通过在形成位置上形成无机物膜之后，将此无机物膜通过光刻技术等图案化而形成的。此时，形成为无机物围堰层618a的一部分与象素电极613的周围边缘部分重叠。如果形成了无机物围堰618a，如图20所示，在无机物围堰层618a上形成有机物围堰层618b。此有机物围堰层618b也和无机物围堰层618a同样通过光刻技术等图案化而形成。这样形成围堰部618。另外，与此同时，在各围堰部618之间，形成相对象素电极613在上方开口的开口部619。此开口部613规定象素区域。

在表面处理工序(S22)中，进行亲液化处理以及疏液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物围堰层618a的第1层叠部618aa以及象素电极613的电极面613a。这些区域通过例如以氧作为处理气体的等离子处理被表面处理为亲液性。此等离子处理也兼作为对象素电极613的ITO的清洗等。另外，疏液化处理是对有机物围堰层618b的壁面618s以及有机物围堰618b的上面618t进行的，通过例如以四氟甲烷为处理气体的等离子处理，其表面被氟化处理(处理为疏液性)。通过进行此表面处理工序，在利用喷头114形成功能层617时，能使功能液滴更准确地滴落在象素区域，另外，能防止在象素区域滴落的功能液滴从开口部619溢出。

然后，通过经过以上的工序，得到显示装置基底600A。此显示装置基底600A被安装于图1所示的液滴喷吐装置100的X轴台25上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S23)以及发光层形成工序(S24)。

如图21所示，在空穴注入/输送层形成工序(S23)中，从喷头114将包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物喷吐到作为象素区域的各开口部619内。其后，如图22所示，进行干燥处理以及热处理，使包含第1组成物的极性溶剂挥发，在象素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。

接着对于发光层形成工序(S24)进行说明。在此发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为在形成发光层时所使用的第2组成物，采用了对空穴注入/输送层617a不溶解的非极性溶剂。

但是，其另一方面，由于空穴注入/输送层617a对非极性溶剂亲和性低，所以即使在空穴注入/输送层617a上喷吐包含非极性溶剂的第2组成物，也不能使空穴注入/输送层617a和发光层617b紧密粘接，或者可能不能均匀地涂敷发光层617b。因此，为了提高空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面亲和性，优选在发光层形成之前进行表面处理(表面改质处理)。此表面处理是通过将作为与发光层形成时所采用的第2组成物的非极性溶剂同样的溶剂或者与此类似的溶剂的表面改质材料涂敷在空穴注入/输送层617a上并使其干燥来进行的。通过进行这样的处理，空穴注入/输送层617a的表面变得容易适应非极性溶剂，在此后的工序中，能在空穴注入/输送层617a上均匀地涂敷包含发光层形成材料的第2组成物。

然后，如图23所示，将与各色中的任何一种(图23的例子中是蓝色(B))对应的包含发光层形成材料的第2组成物作为功能液滴，以规定量注入在象素区域(开口部619)内。被注入在象素区域内的第2组成物在空穴注入/输送层617a上扩展以至填满开口部619内。还有，即使如果万一第2组成物偏离象素区域而滴落在围堰部618的上面618t上，由于此上面618t如上所述被进行了疏液处理，所以第2组成物很容易滚入开口部619内。

其后，通过进行干燥工序等，对喷吐后的第2组成物进行干燥处理，使第2组成物中包含的非极性溶剂蒸发，如图24所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。此图的情况下，是形成了对应于蓝色(B)的发光层617b。

同样地，利用喷头114，如图25所示，依次进行与对应于上述的蓝色(B)的发光层617b的情况同样的工序，形成对应于其它颜色(红色(R)以及绿色(G))的发光层617b。还有，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，按照何种顺序形成都可以。例如，也可以根据发光层形成材料来决定形成的顺序。另外，作为R、G、B的3色的排列模式有条状排列、镶嵌排列以及三角排列等。

通过以上这样，在象素电极613上，形成功能层617，即、空穴注入/输送层617a以及发光层617b。然后，进入对置电极形成工序(S25)。

在对置电极形成工序(S25)中，如图26所示，在发光层617b以及有机物围堰层618b的整体，通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。此阴极604在本实施例中，例如由钙层和铝层层叠构成。在此阴极604的上部适当设置了作为电极的Al膜、Ag膜和用于防止其氧化的SiO₂、SiN等的保护层。

这样形成了阴极604之后，通过施行用密封构件将此阴极604的上部密封的密封处理或布线处理等的其他处理等，得到显示装置600。

接着，图27是等离子型显示装置(PDP装置：以下简称为显示装置700)的主要部分分解立体图。还有，同图中表示将显示装置700切下其一部分的状态。此显示装置700由包含相互相对配置的第1基板701、第2基板702以及在它们之间形成的放电显示部703而大致构成的。放电显示部703由多个放电室705构成。在这多个放电室705之中，配置为红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B这3个放电室705组成一组、构成1个象素。

在第1基板701的上面以规定间隔形成条纹状的地址电极706，以覆盖此地址电极706和第1基板701的表面的方式形成电介质层707。在电介质层707上以位于各地址电极706间且沿着各地址电极706的方式设立了隔壁708。此隔壁708包括如图所示的在地址电极706的宽度方向两侧延伸的隔壁和在与地址电极706垂直的方向延伸设置的、图中未表示的隔壁。然后，由此隔壁708分割的区域成为放电室705。

在放电室705内配置了荧光体709。荧光体709是发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中任一种颜色的荧光的物质，分别在红色放电室705R的底部配置了红色荧光体709R、在绿色放电室705G的底部配置了绿色荧光体709G、在蓝色放电室705B的底部配置了蓝色荧光体709B。

在第2基板702的图中下方的面上，在与上述地址电极706垂直的方向上，以规定间隔形成条纹状的多个显示电极711。然后，以覆盖它们的方式形成电介质层712以及由MgO等构成的保护膜713。在地址电极706与显示电极711相互垂直的状态下相面对地粘贴第1基板701和第2基板702。还有，上述地址电极706和显示电极711与图中未表示的交流电源相连。然后，通过对各电极706、711通电，在放电显示部703中荧光体709被激励发光，彩色显示成为可能。

在本实施例中，能够利用图1所示的液滴喷吐装置100形成上述地址电极706、显示电极711以及荧光体709。以下，示例在第1基板7001中地址电极706的形成工序。此种情况，是在第1基板701安装在液滴喷吐装置100的X轴台25的状态下进行以下的工序。首先，通过喷头114将含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，滴落在地址电极形成区域。此液体材料作为导电膜布线形成用材料，是将金属等的导电性微粒子分散在分散溶剂中的材料。作为此导电性微粒子能采用含有金、银、铜、钯或者镍等的金属微粒子或导电性聚合物等。

对于成为补充对象的全部地址电极形成区域，如果结束了液体材料的补充，则通过对喷吐后的液体材料进行干燥处理、使液体材料中包含的分散溶剂蒸发，形成地址电极706。

但是，上述示例了地址电极706的形成，对于上述显示电极711以及荧光体709也能通过上述各工序形成。

形成显示电极711的情况下，与地址电极706的情况同样地，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，滴落在显示电极形成区域。

另外，形成荧光体709的情况下，将包含了对应于各色(R、G、B)的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴，从喷头114喷吐，使其滴落在对应颜色的放电室705内。

接着，图28是电子发射装置(FED装置：以下简称为显示装置800)的主要部分断面立体图。还有，在同图中将显示装置800以其一部分作为断面进行显示。此显示装置800是包括互相相面对配置的第1基板801、第2基板802以及在它们之间形成的场致发射显示部803大致构成的。场致发射显示部803由矩阵状配置的多个电子发射部805构成。

在第1基板801的表面，形成为使构成阴极电极806的第1元件电极806a与第2元件电极806b相互垂直。另外，在由第1元件电极806a以及第2元件电极806b隔开的部分上，形成已形成有间隙808的元件膜807。即，由第1元件电极806a、第2元件电极806b以及元件膜807构成多个电子发射部805。元件膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，另外间隙808在元件膜807成膜之后，由成形法(forming)等形成。

在第2基板802的下部形成与阴极电极806相对峙的阳极电极809。在阳极电极809的下面形成格子状的围堰部811，在由此围堰部811包围的、向下的各开口部812上，以与电子发射部805对应的方式配置荧光体813。荧光体813发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中任一种颜色的荧光，在各开口部812上，以规定的模式配置红色荧光体813R、绿色荧光体813G以及蓝色荧光体813B。

然后，使这样构成的第1基板801和第2基板802之间以存在微小的间隙来进行粘贴。在此显示装置800中，经由元件膜(间隙808)807，从作为阴极的第1元件电极806a或者第2元件电极806b飞出的电子碰撞到形成在作为阳极的阳极电极809上的荧光体813、被激励发光，使彩色显示成为可能。

此种情况也和其它实施例同样，能够利用液滴喷吐装置100形成第1元件电极806a、第2元件电极806b以及阳极电极809，并能利用液滴喷吐装置100形成各色的荧光体813R、813G、813B。

另外，作为其它的电光学装置，还可以考虑除了金属布线形成、透镜形成、保护层形成以及光扩散体形成等之外还包含制备(preparation)形成的装置。通过在各种电光学装置(设备)的制造中采用上述的液滴喷吐装置100，可以高效地制造各种电光学装置。

(向电子设备的适用)

接着，对于能适用有关本发明的电光学装置的电子设备的具体例，参照图29进行说明。图29-1是表示将有关本发明的电光学装置适用于可移动型的个人电脑(所谓笔记本型个人电脑)900的显示部的例子的立体图。如同图所示，个人电脑900包括具有键盘901的主体部902和适用了有关本发明的电光学装置的显示部903。图29-2是表示将有关本发明的电光学装置适用于携带电话机950的显示部的例子的立体图。如同图所示，携带电话机950除了多个操作按钮951之外，还包括听筒952、话筒953，并包括适用了有关本发明的电光学装置的显示部954。

有关本发明的电光学装置除了适用于上述的携带电话机或笔记本电脑之外，还能广泛适用于被称为PDA(Personal Digital Assistants)的携带型信息设备、个人计算机、工作站、数字静止照像机、车用监视器、数字摄像机、液晶电视、取景器型、监视器直视型的磁带录像机、车用导航装置、寻呼机、电子记事本、计算器、文字处理器、工作站、电视电话以及POS终端设备等的电子设备中。

(在工业上利用的可能性)

有关本发明的液滴喷吐装置能广泛应用在工业上的各领域的成膜中。另外，有关本发明的电光学装置可以广泛应用在有机EL电致发光、液晶显示装置、有机TFT显示装置、等离子显示装置、电泳显示装置、电子发射显示装置(Field Emission Display以及Surface-Conduction Electoron-Emitter Display等)、LED(发光二极管)显示装置、电致调光玻璃装置以及电子纸装置的电光学装置中。另外，有关本发明的电子设备能够广泛应用于携带电话机、被称为PDA(Personal Digital Assistants)的携带型信息设备、携带型个人计算机、个人计算机、工作站、数字静止照相机、车用监视器、数字摄像机、液晶电视、取景器型、监视器直视型的磁带录像机、车用导航装置、寻呼机、电子记事本、计算器、文字处理器、工作站、电视电话以及POS终端设备等的电子设备中。

Claims (8)

1.一种液滴喷吐装置，其特征在于，

包括：

支撑基底的台；

由多个喷头组成的分别喷吐红、绿、蓝色的液滴的红、绿、蓝用喷头组；和

以在第1方向重叠的方式支撑所述红、绿、蓝用喷头组的支架，

所述喷头，分别具有1列以上的喷嘴，

各个列的喷嘴，在1个喷头组中错位配置，

在相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动期间，用所述红、绿、蓝用喷头组在所述基底的红、绿、蓝被喷吐部分别喷吐红、绿、蓝色的液滴。

2.根据权利要求1所述的液滴喷吐装置，其特征在于，

所述红、绿、蓝被喷吐部的俯视图呈由长边和短边确定的大致矩形形状；

以所述长边的方向平行于与所述第1方向垂直的第2方向并且所述短边的方向平行于所述第1方向的方式，所述台支撑所述基底。

3.根据权利要求1或者2所述的液滴喷吐装置，其特征在于，

相对与所述第1方向垂直相交的第2方向，平行地配置构成所述红、绿、蓝喷头组的喷头的喷嘴列。

4.根据权利要求1或者2所述的液滴喷吐装置，其特征在于，

相对与所述第1方向垂直相交的第2方向，在倾斜方向配置构成所述红、绿、蓝喷头组的喷头的喷嘴列。

5.根据权利要求1或2所述的液滴喷吐装置，其特征在于，

由围堰划分所述红、绿、蓝被喷吐部，相应红、绿、蓝被喷吐部的表面被实施亲液化处理，所述围堰的表面被实施疏液化处理。

6.一种电光学装置，其特征在于，

是使用权利要求1～5中任一项所记载的液滴喷吐装置制造的。

7.一种电子设备，其特征在于，

安装了权利要求6所记载的电光学装置。

8.一种液滴喷吐方法，是使用第1以及第2液滴喷吐装置对所述基底上的红、绿、蓝被喷吐部分别喷吐红、绿、蓝色的液滴的液滴喷吐方法，其中第1以及第2液滴喷吐装置分别包括：用于支撑基底的台；由多个喷头组成的分别喷吐红、绿、蓝色的液滴的红、绿、蓝用喷头组；和以在第1方向重叠的方式支撑所述红、绿、蓝用喷头组的支架，其特征在于，包括：

第1喷吐工序，在所述第1液滴喷吐装置中，将所述基底支撑在所述台上，相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动，用所述红、绿、蓝用喷头组对所述基底的红、绿、蓝被喷吐部每隔一个地分别喷吐红、绿、蓝色的液滴；

第1干燥工序，使被涂敷在所述基底上的液滴干燥；

第2喷吐工序，在所述第2液滴喷吐装置中，将干燥后的基底支撑在所述台上，相对所述台使所述支架在所述第1方向相对移动，利用所述红、绿、蓝用喷头组，在所述基底的液滴未涂敷的红、绿、蓝被喷吐部上分别喷吐红、绿、蓝色的液滴；和

第2干燥工序，使被涂敷在所述基底上的液滴干燥。

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