CN100357102C - 喷出装置、材料涂布方法、滤色片基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供喷出装置、材料涂布方法、滤色片基板的制造方法、电致发光显示装置的制造方法及等离子体显示装置的制造方法，该材料涂布方法包括：在第1扫描期间内，在使构成第1喷嘴组的喷出喷嘴分别位于可以喷出范围内、并且使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于可以喷出范围外的同时，使台架及喷头中至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动的步骤；在第2扫描期间内，在使构成第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于可以喷出范围的同时，使台架及喷头中至少一方相对于另一方沿与X轴方向正交的Y轴方向相对移动的步骤。该材料涂布方法可以降低涂布工序的喷头的损耗。

Description

喷出装置、材料涂布方法、滤色片基板的制造方法

技术领域

本发明涉及喷出装置及材料涂布方法，特别涉及适于滤色片基板的制造、电致发光显示装置的制造及等离子体显示装置的制造的喷出装置及材料涂布方法。

背景技术

已知有在滤色片的制造或电致发光显示装置等的制造中使用的喷墨装置(例如专利文献1：JP特开2002-221616号公报)。

当向滤色片等被像素化了的区域喷出滤色片材料时，喷出材料的喷嘴和不喷出材料的喷嘴被固定。这样，总是喷出的喷嘴的寿命就是喷头的寿命。

发明内容

本发明是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供能够降低喷出工序的喷头的消耗的喷出装置及材料涂布方法。

本发明的喷出装置是向基体的被喷出部涂布液状的材料的喷出装置，其中：包括放置所述基体的台架、具有多个喷出喷嘴的喷头和扫描部；所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个；所述扫描部，在第1扫描期间内及第2扫描期间内，将所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动。构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别在整个所述第1扫描期间位于所述被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内；构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别在整个所述第1扫描期间地位于所述可以喷出范围外。所述扫描部在所述第1扫描期间和所述第2扫描期间之间，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内。所述喷头，在所述第1扫描期间，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴向所述被喷出部喷出所述液状的材料。所述喷头，在所述第2扫描期间，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴向所述被喷出部喷出所述液状的材料。

利用所述构成获得的效果之一是，可以延长喷头的寿命。这是因为，可以使不与被喷出部对应的喷出喷嘴也分担喷出任务。

本发明的材料涂布方法是使用喷出装置在基体的被喷出部上涂布液状材料的材料涂布方法，所述喷出装置包括放置所述基体的台架和具有多个喷出喷嘴的喷头，所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个。所述材料涂布方法，包括：在第1扫描期间内，在使构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述基体的被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内、并且使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围外的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动的步骤(A)；使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以在第2扫描期间内，使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内的同时、使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动的步骤(B)；在所述第1扫描期间内，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的材料的步骤(C)；在所述第2扫描期间内，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的材料的步骤(D)。

利用所述构成获得的效果之一是，可以延长喷头的寿命。这是因为，可以使不与被喷出部对应的喷出喷嘴也分担喷出任务。

本发明能够以各种形态来实现，例如，能够以滤色片基板的制造方法、电致发光显示装置的制造方法、等离子体显示装置的制造方法等形态来实现。

附图说明

图1是表示实施方式1的喷出装置的示意图。

图2是表示实施方式1的喷头的喷嘴的配置的示意图。

图3(a)及(b)是表示实施方式1的喷头的喷出部的示意图。

图4是实施方式1的喷出装置的控制部的功能方框图。

图5(a)是表示实施方式1的基体的剖面的示意图，(b)是表示实施方式1的基体的俯视面的示意图。

图6是表示实施方式1的涂布工序的示意图，是表示对基体的第1扫描期间的示意图。

图7是表示实施方式1的涂布工序的示意图，是表示对基体的第2扫描期间的示意图。

图8说明实施方式1～5的“X轴方向的可以喷出范围”的图。

图9是实施方式2的滤色片基板的制造装置的示意图。

图10是表示实施方式2的滤色片基板的制造方法的示意图。

图11(a)是表示实施方式3的基体的剖面的示意图，(b)是表示实施方式3的基体的俯视面的示意图。

图12是表示实施方式3的电致发光显示装置的制造装置的示意图。

图13是表示实施方式3的喷出装置的示意图。

图14是说明实施方式3的电致发光显示装置的制造方法的图。

图15(a)是表示实施方式4的基体的剖面的示意图，(b)是表示实施方式4的基体的俯视面的示意图。

图16是表示实施方式4的等离子体显示装置的制造装置的示意图。

图17是表示实施方式4的喷出装置的示意图。

图18是说明实施方式4的等离子体显示装置的制造方法的图。

图19是表示利用实施方式4的制造方法制造的等离子体显示装置的剖面的示意图。

图20(a)是表示实施方式5的基体的剖面的示意图，(b)是表示实施方式5的基体的俯视面的示意图。

图21是表示实施方式5的显示装置的制造装置的示意图。

图22是表示实施方式5的喷出装置的示意图。

图23是表示实施方式5的显示装置的制造方法的示意图。

图24是表示实施方式5的显示装置的制造方法的示意图。

图25是表示利用实施方式5的制造方法制造的显示装置的剖面的示意图。

图26是说明实施方式1～5的扫描范围的示意图。

图中：1-制造装置，10A-基体，100R、100G、100B-喷出装置，111R、111G、111B-滤色片材料，118T-喷出喷嘴，GA-第1喷嘴组，GB-第2喷嘴组。

具体实施方式

(实施方式1)

对本实施方式将以下述顺序来说明。

A.喷出装置100R的整体构成

B.喷头

C.控制部

D.滤色片基板

E.涂布工序

(A.喷出装置100R的整体构成)

图1的喷出装置100R是具备保持液状的滤色片材料111R的液罐101R、管道110R、借助管道110R从液罐101R供给液状的滤色片材料111R的喷出扫描部102的材料涂布装置。此外，喷出扫描部102具备基础台架GS、喷头部103、第1位置控制装置104、台架106、第2位置控制装置108、控制部112。

喷头部103保持有向台架106侧喷出液状的滤色片材料111R的多个喷头114(图2)。这些喷头114分别根据来自控制部112的信号，喷出液状的滤色片材料111R的液滴。此外，液罐101R和喷头部103的多个喷头114由管道110R连接，从液罐101向多个喷头114分别供给液状的滤色片材料111R。

这里，液状的滤色片材料111R与本发明的“液状的材料”对应。

所谓“液状的材料”是指具有可以从喷头114的喷嘴(后述)作为液滴喷出的粘度的材料。此时，不考虑材料是水性还是油性。只要具有可以从喷嘴中喷出的流动性(粘度)即可，即使混入固体物质，只要作为整体为流体即可。

第1位置控制装置104根据来自控制部112的信号，使喷头部103沿X轴方向及与X轴方向正交的Z轴方向移动。另外，第1位置控制装置104还具有使喷头部103绕着与Z轴平行的轴旋转的功能。本实施方式中，Z轴方向是与竖直方向(即重力加速度的方向)平行的方向。

具体来说，第1位置控制装置104具备沿X轴方向延伸的一对线性马达、沿X轴方向延伸的一对X轴导轨、X轴气动滑块、转动部、支撑构造体14。支撑构造体14将这一对线性马达、一对X轴导轨、一对X轴气动滑块、转动部固定在沿Z轴方向离开台架106特定距离的位置上。另一方面，X轴气动滑块被可以移动地支撑在一对X轴导轨上。而且，X轴气动滑块利用一对线性马达的作用，沿着一对X轴导轨在X轴方向移动。喷头部103由于借助转动部与X轴气动滑块连接，因此，喷头部103与X轴气动滑块一起在X轴方向上移动。而且，喷头部103被按照使喷头部103的喷嘴(后述)朝向台架106侧的方式支撑在X轴气动滑块上。而且，转动部具有伺服马达，具有使喷头部103绕着与Z轴平行的轴旋转的功能。

第2位置控制装置108根据来自控制部112的信号，使台架106沿与X轴方向及Z轴方向两者正交的Y轴方向移动。另外，第2位置控制装置108还具有使台架106绕着与Z轴平行的轴旋转的功能。具体来说，第2位置控制装置108具备沿Y轴方向延伸的一对线性马达、沿Y轴方向延伸的一对Y轴导轨、Y轴气动滑块、支撑基座、θ台。一对线性马达及一对Y轴导轨位于基础台架GS上。另一方面，Y轴气动滑块被可以移动地支撑在一对Y轴导轨上。此外，Y轴气动滑块利用一对线性马达的作用，沿着一对Y轴导轨在Y轴方向移动。Y轴气动滑块由于借助支撑基座及θ台与台架106的背面连接，因此台架106就与Y轴滑块一起沿Y轴方向移动。而且，θ台具有马达，具有使台架106绕着与Z轴平行的轴旋转的功能。

而且，本说明书中，也将第1位置控制装置104及第2位置控制装置108表述为“扫描部”。

本实施方式的X轴方向、Y轴方向及Z轴方向与喷头部103及台架106的某一方相对于另一方相对移动的方向一致。另外，规定X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的XYZ坐标系的假想的原点被固定在喷出装置100R的基准部分。本说明书中，所谓X坐标、Y坐标及Z坐标是此种XYZ坐标系的坐标。而且，所述的假想的原点也可以不固定在基准部分，既可以固定在台架106上，也可以固定在喷头部103上。

如上所述，喷头部103被第1位置控制装置104沿X轴方向移动。另一方面，台架106被第2位置控制装置108沿Y轴方向移动。即，利用第1位置控制装置104及第2位置控制装置108，改变喷头114相对于台架106的相对位置。更具体来说，利用它们的动作，在喷头部103、喷头114或喷嘴118(图2)相对于被定位在台架106上的被喷出部沿Z轴方向保持特定的距离的同时，沿X轴方向及Y轴方向相对移动，即相对地进行扫描。这里，也可以是相对于静止的被喷出部，喷头部103沿Y轴方向移动。此外，也可以在喷头部103沿Y轴方向在特定的2点间移动的期间内，从喷嘴118(图2)向静止的被喷出部喷出材料111。所谓“相对移动”或“相对扫描”包括将喷出液状的滤色片材料111R的一侧和来自那里的喷出物所命中的一侧(被喷出部侧)的至少一方相对于另一方移动的意思。

另外，所谓喷头部103、喷头114或喷嘴118(图2)相对移动是指它们相对于台架、基体或被喷出部的相对位置改变的意思。由此，本说明书中，在即使喷头部103、喷头114或喷嘴118相对于喷出装置100R静止，仅台架106移动时，也表述为喷头部103、喷头114或喷嘴118相对于台架106、基体或被喷出部相对移动。另外，也有将相对扫描或相对移动和材料的喷出的组合表述为“涂布扫描”的情况。

喷头部103及台架106还具有所述以外的平行移动及旋转的自由度。但是，本实施方式中，为了使说明更简单，关于所述自由度以外的自由度的记载被省略。

控制部112被按照从外部信息处理装置接收表示应当喷出液状的滤色片材料111R的相对位置的喷出数据的方式构成。控制部112的详细的构成及功能将在后面叙述。

(B.喷头)

图2所示的喷头114是喷头部103所具有的多个喷头114中的一个。图2是从台架106侧远观喷头114的图，表示出喷头114的底面。喷头114具有沿X轴方向延伸的喷嘴列116。喷嘴列116由沿X轴方向大致均等地排列的多个喷嘴118构成。这些喷嘴118被按照使喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP达到大约70μm的方式配置。这里“喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP”相当于将喷头114的全部喷嘴118从与X轴方向正交的方向向X轴上投影而得到的多个喷嘴像间的间距。

喷嘴列116的喷嘴118的数目为180个。其中，喷嘴列116的两端的各10个喷嘴被作为“暂停喷嘴”设定。此外，从这20个“暂停喷嘴”中不喷出液状的滤色片材料111R。由此，喷头114的180个喷嘴118当中的160个喷嘴118作为喷出液状的滤色片材料111R的喷嘴118发挥作用。本说明书中，也将这160个喷嘴118表述为“喷出喷嘴118T”。

而且，1个喷头114的喷嘴118的数目并不限定于180个。也可以在1个喷头114上设置360个喷嘴。

如图3(a)及(b)所示，各个喷头114为喷墨喷头。更具体来说，各个喷头114具备振动板126、喷嘴板128。总是填充有从2个液罐101R(图1)经过孔131供给的液状的滤色片材料111R的贮液室129位于振动板126和喷嘴板128之间。

另外，多个隔壁122位于振动板126和喷嘴板128之间。此外，由振动板126、喷嘴板128、1对隔壁122包围的部分为空腔120。由于空腔120被与喷嘴118对应地设置，因此空腔120的数目与喷嘴118的数目相同。经过位于1对隔壁122之间的供给口130，从贮液室129向空腔120供给液状的滤色片材料111R。

振子124与各个空腔120对应地位于振动板126上。振子124包括压电元件124C、夹着压电元件124C的1对电极124A、124B。通过向该1对电极124A、124B之间提供驱动电压，就会从对应的喷嘴118中喷出液状的滤色片材料111R。而且，按照从喷嘴118向Z轴方向喷出液状的滤色片材料111R的方式，调整喷嘴118的形状。

这里，本说明书中所谓“液状的材料”是指具有可以从喷嘴中喷出的粘度的材料。此时，不考虑材料为水性还是油性。只要具有可以从喷嘴中喷出的流动性(粘度)即可，即使混入固体物质，只要作为整体为流体即可。

控制部112(图1)也可以被按照向多个振子124分别相互独立地提供信号的方式构成。即，也可以根据来自控制部112的信号对每个喷嘴118控制从喷嘴118中喷出的液状的材料的体积。此种情况下，从各个喷嘴118中喷出的液状的材料的体积也可以在0pl～42pl(皮升)之间变动。另外，控制部112也可以像后述那样，设定在涂布扫描期间进行喷出动作的喷嘴118、和不进行喷出动作的喷嘴118。

本说明书中，有时也将包括1个喷嘴118、与喷嘴118对应的空腔120、与空腔120对应的振子124的部分表述为“喷出部127”。根据该表述，1个喷头114具有与喷嘴118的数目相同的数目的喷出部127。喷出部127也可以取代压电元件，而具有电热转换元件。即，喷出部127也可以具有利用电热转换元件产生的材料的热膨胀而喷出材料的构成。

(C.控制部)

下面，对控制部112的构成进行说明。如图4所示，控制部112具有输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206、喷头驱动部208。缓冲存储器200和处理部204被可以相互通信地连接。处理部204和存储机构202被可以相互通信地连接。处理部204和扫描驱动部206被可以相互通信地连接。处理部204和喷头驱动部208被可以相互通信地连接。另外，扫描驱动部206与第1位置控制装置104及第2位置控制装置108被可以相互通信地连接。同样，喷头驱动部208与多个喷头114分别被可以相互通信地连接。

输入缓冲存储器200从位于喷出装置100R的外部的主机(未图示)接收用于喷出滤色片材料111R的喷出数据。输入缓冲存储器200将喷出数据提供给处理部204，处理部204将喷出数据存储在存储机构202中。图4中，存储机构202为RAM。而且，喷出装置100R也可以在控制部112内具有发挥外部的主机的功能的计算机。

处理部204基于存储机构202内的喷出数据，将表示喷嘴118相对于被喷出部的相对位置的数据提供给扫描驱动部206。扫描驱动部206将与该数据和喷出周期对应的驱动信号提供给第2位置控制装置108。其结果，喷头114相对于被喷出部进行相对扫描。另一方面，处理部204基于存储在存储机构202中的喷出数据，将液状的滤色片材料111R的喷出所必需的喷出信号分别提供给多个喷头114。其结果是，从多个喷头114的各自的喷嘴118中，喷出液状的滤色片材料111R的液滴D(图3)。

控制部112也可以是包括CPU、ROM、RAM、总线的计算机。该情况下，控制部112的所述功能也可以利用由计算机执行的软件程序来实现。当然，控制部112也可以利用专用的电路(硬件)来实现。

(D.滤色片基板)

图5(a)及(b)所示的基体10A是经过在后述的实施方式2中说明的制造装置1的处理而成为滤色片基板10的基板。基体10A具有配置成矩阵状的多个被喷出部18R、18G、18B。

具体来说，基体10A包括具有透光性的支撑基板12、形成于支撑基板12上的黑矩阵14、形成于黑矩阵14上的围堰16。黑矩阵14由具有遮光性的材料形成。此外，黑矩阵14和黑矩阵14上的围堰16被规定矩阵状的多个透光部分、即矩阵状的多个像素区域地位于支撑基板12上。

在各个像素区域中，由支撑基板12、黑矩阵14及围堰16规定的凹部与被喷出部18R、被喷出部18G、被喷出部18B对应。被喷出部18R是应当形成仅透过红的波长区域的光线的过滤层111FR的区域，被喷出部18G是应当形成仅透过绿的波长区域的光线的过滤层111FG的区域，被喷出部18B是应当形成仅透过蓝的波长区域的光线的过滤层111FB的区域。

图5(b)所示的基体10A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部18R、18G、18B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体10A中，被喷出部18R、被喷出部18G及被喷出部18B沿Y轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部18R彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，另外，被喷出部18G彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，此外，被喷出部18B彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。

被喷出部18R彼此间的沿着Y轴方向的间隔LRY即间距大约为560μm。该间隔与被喷出部18G彼此间的沿着Y轴方向的间隔LGY相同，也与被喷出部18B彼此间的沿着Y轴方向的间隔LBY相同。另外，被喷出部18R的俯视图像为由长边和短边确定的多角形。具体来说，被喷出都18R的Y轴方向的长度大约为100μm，X轴方向的长度大约为300μm。被喷出部18G及被喷出部18B也具有与被喷出部18R相同的形状·大小。被喷出部彼此间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与对应于相同颜色的像素区域彼此间的间隔或大小对应。

(E.涂布工序)

对使用喷出装置100R在基体10A的被喷出部18R上涂布液状的滤色片材料111R的工序进行说明。

(第1扫描期间)

如图6所示，将具有被喷出部18R的第1基体10A配置在台架106上。具体来说，按照使多个被喷出部18R所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行的方式，将基体10A配置在台架106上。另外，本实施方式中，按照此时使各个被喷出部18R的长边方向与X轴方向平行，并且短边方向与Y轴方向平行的方式，将基体10A在台架106上取向。

这里，在图6中描绘了18个喷出喷嘴118T。为了说明上的方便，将这18个喷出喷嘴118T从X坐标小的喷嘴开始依次(从图6的上方开始依次)表述为喷嘴N1、N2、N3、～N18。而且，接在符号“N”后面的数字为偶数的喷出喷嘴118T属于第1喷嘴列116A(图2)，接在符号“N”后面的数字为奇数的喷出喷嘴属于第2喷嘴列116B(图2)。

另外，如图6所示，喷嘴N1～N5构成第1喷嘴组GA。喷嘴N7～N11构成另一个第1喷嘴组GA。喷嘴N13～N17又形成另一个第1喷嘴组GA。另一方面，喷嘴N6、N12、N18分别构成各个第2喷嘴组GB。本说明书中，即使构成第1喷嘴组GA或第2喷嘴组GB的喷嘴数为1，也表述为“喷嘴组”。如图6所示，第1喷嘴组GA和第2喷嘴组GB沿X轴方向相邻。

如图6所示，喷头114相对于台架106的相对x坐标被维持为x1。这里，所谓“喷头114相对于台架106的相对x坐标”是固定在台架106上的内部坐标系中的x坐标。该内部坐标系的x轴、y轴及z轴的方向分别与先前分别定义的X轴方向、Y轴方向及Z轴方向别一致。另外，所谓“喷头114的相对x坐标”是喷头114的特定的基准点的相对x坐标。例如“喷头114的相对x坐标”也可以用喷头114的第1基准喷嘴118R1的相对x坐标来表不。

在喷头114的相对x坐标为x1的情况下，属于第1喷嘴组GA的全部喷出喷嘴118T都位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内。另一方面，属于第2喷嘴组GB的全部喷出喷嘴118T都位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围外。

这里，使用图8，对“被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围”进行说明。如图8所示，如果喷出喷嘴118在被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围XE内，则可以使液滴D正常地命中被喷出部18R内。另一方面，在喷出喷嘴118T位于X轴方向的可以喷出范围XE外的情况下，则来自喷出喷嘴118T的液滴D无法正常地命中被喷出部18R。例如，如图8所示，来自喷出喷嘴118T的液滴D会在命中被喷出部18R之前与围堰16碰撞。X轴方向的可以喷出范围XE的长度能够依赖所喷出的液滴D的大小而变化。

被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围XE的长度在被喷出部18R的X坐标范围EXT的长度以下。这里，所谓“被喷出部18R的X坐标范围EXT”是沿着X轴方向的从被喷出部18R的端部到端部的范围。本实施方式中，“被喷出部18R的X坐标范围EXT”的长度与被喷出部18R的长边的长度相等。

本说明书中，有时也将位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围XE内的喷出喷嘴118T简单地表述为“与被喷出部18R对应的喷出喷嘴118T”。

控制部112开始第1扫描期间。具体来说，在第1扫描期间中，根据来自控制部112的信号，扫描部使喷头114相对于台架106的相对位置沿Y轴方向的正方向(从图6的右向左)变化。涵盖第1扫描期间地将喷头114的相对x坐标维持为x1。利用该操作，属于第1喷嘴组GA的喷出喷嘴118T就分别会到达与被喷出部18R对应的区域。

此外，在属于第1喷嘴组GA的喷出喷嘴118T到达与被喷出部18R对应的区域的情况下，从喷出喷嘴118T中喷出液状的滤色片材料111R。本实施方式中，在第1扫描期间中，5个喷出喷嘴118T与1个被喷出部18R对应。此外，在第1扫描期间中，从这5个喷出喷嘴118T中向对应的被喷出部18R喷出液状的滤色片材料111R。

另一方面，在第1扫描期间中，属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T(喷嘴N6、N12、N18)不与任何的被喷出部18R重合。由此，在第1扫描期间中，就不会从属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T中喷出一点儿液状的滤色片材料111R。

这里，所谓“扫描期间”是指，喷头114或喷头部103相对于台架106的相对位置沿着Y轴方向从扫描范围134的一端到达另一端或从另一端到达一端的期间。有时也将1次的扫描期间表述为“1行程的期间”。

这里，所谓“扫描范围”是指，如图26所示，按照可以在基体10A上的全部被喷出部18R上涂布材料的方式，喷头部103的一边相对于台架106进行相对移动的范围。由此，全部的被喷出部18R就被扫描范围134所覆盖。本实施方式中，喷头部103在1次的扫描期间内走过扫描范围134。

而且，根据情况不同，用语“扫描范围”有时指1个喷嘴118(图2)相对于台架106相对移动的范围、有时指1个喷嘴列116A(116B)(图2)相对于台架106相对移动的范围，有时指喷头114(图2)相对于台架106相对移动的范围。

另外，所谓相对于台架106，喷头部103、喷头114(图2)或喷嘴118(图2)进行相对移动是指，它们相对于台架106、基体10A或被喷出部18R的相对位置改变。由此，本说明书中，即使喷头部103、喷头114或喷嘴118相对于喷出装置100R静止，而仅台架106移动时，也表述为喷头部103、喷头114或喷嘴118相对于台架106、基体10A或被喷出部18R相对移动。另外，有时也将相对扫描或相对移动与材料的喷出的组合表述为“涂布扫描”。

(向X轴方向的相对移动(换行))

当第1扫描期间结束时，根据来自控制部112的信号，扫描部按照喷头114的相对x坐标从x1变化为x2的方式，使喷头114在X轴方向进行相对移动。

当喷头114的相对x坐标变为x2时，属于第2喷嘴组GB的全部喷出喷嘴118T就位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内。这里，在喷头114的相对x坐标为x2的情况下，属于第1喷嘴组GA的喷出喷嘴118T既可以位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内、也可以不位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内。

如图7所示，构成第2喷嘴组GB的喷嘴N6位于右上的被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内。同时，构成第1喷嘴组GA的喷嘴当中的喷嘴N3、N4、N5位于右上的被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内。另一方面，构成第1喷嘴组GA的喷嘴当中的喷嘴N1和喷嘴N2不位于与被喷出部18R对应的位置上。即，在第1扫描期间结束后开始的第2扫描期间中，4个喷出喷嘴118T与1个被喷出部1 8R对应。此外，在第2扫描期间中，从这4个喷出喷嘴118T向对应的被喷出部18R喷出液状的滤色片材料111R。而且，在第2扫描期间中所使用的这4个喷出喷嘴118T中，包含在第1扫描期间中未被使用的喷出喷嘴118T。

另外，通过按照使喷头114的相对x坐标变为x1和x2的方式，改变相对于台架106的相对位置，就可以使分布在喷嘴分布范围EXT内的全部的喷出喷嘴118T位于第1扫描期间或第2扫描期间的某一个中，位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内。即，分布于喷嘴分布范围EXT内的全部的喷出喷嘴118T可以喷出滤色片材料111R。

(第2扫描期间)

然后，如图7所示，控制部112开始第2扫描期间。具体来说，在第2扫描期间中，根据来自控制部112的信号，扫描部使喷头114相对于台架106的相对位置沿Y轴方向的负方向(从图7的左向右)相对移动。涵盖第2扫描期间地将喷头114的相对x坐标维持为x2。利用该操作，属于第2喷嘴组GA的喷出喷嘴118T分别就会到达与被喷出部18R对应的区域。而且，在属于第2喷嘴组GA的喷出喷嘴118T到达与被喷出部18R对应的区域的情况下，从属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T的分别会喷出滤色片材料111R。另外，从属于第1喷嘴组GA的喷出喷嘴118T当中的位于被喷出部18R的X轴方向的可以喷出范围内的喷出喷嘴118T中，也与属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T相同地在第2扫描期间内喷出滤色片材料111R。

根据本实施方式，就可以延长喷头114的寿命。这是因为，可以使不与被喷出部18R对应的喷出喷嘴118T(属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T)也分担滤色片材料111R的喷出任务。

另外，根据本实施方式，就可以在维持喷出装置100R的喷出稳定性的状态下进行涂布工序。这是因为，由于喷头114的全部的喷出喷嘴118T在第1扫描期间及第2扫描期间的至少一方当中，喷出滤色片材料111R的液滴D，因此就不存在长时间不进行喷出的喷出喷嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中材料固着在喷嘴内的情况。

(实施方式2)

实施方式1中，对向被喷出部18R上涂布滤色片材料111R的工序进行了说明。下面，将对直到利用制造装置1获得滤色片基板10的一连串的工序进行说明。

图9所示的制造装置1是向图5的基体10A的被喷出部18R、18G、18B分别喷出对应的滤色片材料的装置。具体来说，制造装置1具有向全部被喷出部18R涂布滤色片材料111R的喷出装置100R、使被喷出部18R上的滤色片材料111R干燥的干燥装置150R、向全部被喷出部18G涂布滤色片材料111G的喷出装置100G、使被喷出部18G上的滤色片材料111G干燥的干燥装置150G、向全部被喷出部18B涂布滤色片材料111B的喷出装置100B、使被喷出部18B上的滤色片材料111B干燥的干燥装置150B、对滤色片材料111R、111G、111B进行再次加热(后烘烤)的烤炉160、在被后烘烤了的滤色片材料111R、111G、111B的层上设置保护膜20的喷出装置100C、使保护膜20干燥的干燥装置150C、对被干燥了的保护膜20进行再次加热而硬化的硬化装置165。另外，制造装置1还具有按照喷出装置100R、干燥装置150R、喷出装置100G、干燥装置150G、喷出装置100B、干燥装置150B、喷出装置100C、干燥装置150C、硬化装置165的顺序搬送基体10A的搬送装置170。搬送装置170具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。

喷出装置100R的构成由于已经在实施方式1中说明，因此将该说明省略。喷出装置100G的构成、喷出装置100B的构成、喷出装置100C的构成都基本上与喷出装置100R的构造相同。但是，取代喷出装置100R的液罐101R和管道110R，喷出装置100G具备滤色片材料111G用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置100G的构成与喷出装置100R的构成不同。同样，取代液罐101R和管道110R，喷出装置100B具备滤色片材料111B用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置100B的构成与喷出装置100R的构成不同。另外，取代液罐101R和管道110R，喷出装置100C具备保护膜材料用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置100C的构成与喷出装置100R的构成不同。而且，本实施方式的液状的滤色片材料111R、111G、111B为本发明的“液状的材料”的一个例子。

首先，依照以下的顺序制成图5的基体10A。首先，利用溅射法或蒸镀法，在支撑基板12上形成金属薄膜。其后，利用光刻工序从该金属薄膜中形成格子状的黑矩阵14。黑矩阵14的材料的例子为金属铬或氧化铬。而且，支撑基板12为相对于可见光具有透光性的基板、例如玻璃基板。然后，按照覆盖支撑基板12及黑矩阵14的方式，涂布由负型的感光性树脂组合物制成的光刻胶层。此后，在该光刻胶层上密接被制成了矩阵图案形状的掩模薄膜的同时，将该光刻胶层曝光。其后，通过用蚀刻处理将光刻胶层的未曝光部分除去，获得围堰16。利用以上的工序，得到基体10A。

而且，也可以取代围堰16，使用由树脂黑制成的围堰。此时，就不需要金属薄膜(黑矩阵14)，围堰层变为仅1层。

然后，利用大气压下的氧等离子体处理，将基体10A亲液化。利用该处理，由支撑基板12、黑矩阵14、围堰16所规定的各个凹部(像素区域的一部分)的支撑基板12的表面、黑矩阵14的表面、围堰16的表面就会呈现亲液性。另外，其后，对基体10A进行以四氟化甲烷(四氟化碳)为处理气体的等离子体处理。利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，将各个凹部的围堰16的表面进行氟化处理(处理成疏液性)，通过该操作使围堰16的表面呈现疏液性。而且，利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，虽然先前被赋予了亲液性的支撑基板12的表面及黑矩阵14的表面丧失了一定的亲液性，但是即使这样这些表面也维持亲液性。像这样，通过对由支撑基板12、黑矩阵14、围堰16规定的凹部的表面实施特定的表面处理，凹部的表面即成为被喷出部18R、18G、18B。

而且，有时利用支撑基板12的材质、黑矩阵14的材质及围堰16的材质，即使不进行如上所述的表面处理，也可以获得呈现所需的亲液性及疏液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，由支撑基板12、黑矩阵14、围堰16规定的凹部的表面也为被喷出部18R、18G、18B。

形成了被喷出部18R、18G、18B的基体10A被搬送装置170向喷出装置100R的台架106搬运。此外，如图10(a)所示，喷出装置100R按照在全部被喷出部18R上形成滤色片材料111R的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出滤色片材料111R。更具体来说，喷出装置100R通过进行实施方式1中说明的涂布工序，向多个被喷出部18R上分别涂布滤色片材料111R。

在基体10A的全部被喷出部18R上形成了滤色片材料111R的层的情况下，搬送装置170使基体10A位于干燥装置150R内。此后，通过使被喷出部18R上的滤色片材料111R完全干燥，即在被喷出部18R上获得滤色片层111FR。

然后，搬送装置170使基体10A位于喷出装置100G的台架106上。此后，如图10(b)所示，喷出装置100G按照在全部被喷出部18G上形成滤色片材料111G的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出滤色片材料111G。更具体来说，喷出装置100G通过进行实施方式1中说明的涂布工序，向多个被喷出部18G上分别涂布滤色片材料111G。

在基体10A的全部被喷出部18G上形成了滤色片材料111G的层的情况下，搬送装置170使基体10A位于干燥装置150G内。此后，通过使被喷出部18G上的滤色片材料111G完全干燥，即在被喷出部18G上获得滤色片层111FG。

然后，搬送装置170使基体10A位于喷出装置100B的台架106上。此后，如图10(c)所示，喷出装置100B按照在全部被喷出部18B上形成滤色片材料111B的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出滤色片材料111B。更具体来说，喷出装置100B通过进行实施方式1中说明的涂布工序，向多个被喷出部18B上分别涂布滤色片材料111B。

在基体10A的全部被喷出部18B上形成了滤色片材料111B的层的情况下，搬送装置170使基体10A位于干燥装置150B内。此后，通过使被喷出部18B上的滤色片材料111B完全干燥，即在被喷出部18B上获得滤色片层111FB。

然后，搬送装置170使基体10A位于烤炉160内。其后，烤炉160对滤色片层111FR、111FG、111FB进行再次加热(后烘烤)。

然后，搬送装置170使基体10A位于喷出装置100C的台架106上。此后，喷出装置100C按照覆盖滤色片层111FR、111FG、111FB及围堰16而形成保护膜20的方式，喷出液状的保护膜材料。在形成了覆盖滤色片层111FR、111FG、111FB及围堰16的保护膜20后，搬送装置170使基体10A位于烤炉150C内。此后，在烤炉150C使保护膜20完全干燥后，通过硬化装置165加热保护膜20而完全硬化，基体10A即成为滤色片基板10。

根据本实施方式，可以延长喷出装置100R、100G、100B的喷头114的寿命。这是因为，可以使不与被喷出部18R、18G、18B对应的喷出喷嘴118T(属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T)也分担滤色片材料111R、111G、111B的喷出任务。

另外，根据本实施方式，可以在维持制造装置1的稳定性的状态下进行涂布工序。这是因为，由于喷出装置100R、100G、100B的喷头114的全部的喷出喷嘴118T在第1扫描期间及第2扫描期间的至少一方当中，喷出滤色片材料的液滴D，因此其结果是，不存在长时间不进行喷出的喷出喷嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中滤色片材料固着在喷出喷嘴118T内的情况。

(实施方式3)

下面，对将本发明应用于电致发光显示装置的制造装置中的例子进行说明。

图11(a)及(b)所示的基体30A是利用后述的制造装置2(图12)的处理而成为电致发光显示装置30的基板。基体30A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部38R、38G、38B。

具体来说，基体30A具有支撑基板32、形成于支撑基板32上的电路元件层34、形成于电路元件层34上的多个像素电极36、形成于多个像素电极36之间的围堰40。支撑基板是对可见光有透光性的基板、例如为玻璃基板。多个像素电极36分别是对可见光具有透光性的电极，例如为ITO(Indium-Tin Oxide)电极。另外，多个像素电极36在电路元件层34上被配置为矩阵状，分别规定像素区域。此外，围堰40具有格子状的形状，将多个像素电极35分别包围。另外，围堰40由形成于电路元件层34上的无机物围堰40A和位于无机物围堰40A上的有机物围堰40B构成。

电路元件层34是具有在支撑基板32上沿特定的方向延伸的多个扫描电极、按照覆盖多个扫描电极的方式形成的绝缘膜42、位于绝缘膜42上并且沿与多个扫描电极延伸的方向正交的方向延伸的多个信号电极、位于扫描电极及信号电极的交点附近的多个开关元件44、按照覆盖多个开关元件44的方式形成的聚亚酰胺等的层间绝缘膜45的层。各个开关元件44的门电极44G及源电极44S分别与对应的扫描电极及对应的信号电极电连接。多个像素电极36位于层间绝缘膜45上。在层间绝缘膜45上，在与各开关元件44的漏电极44D对应的部位上设有通孔44V，借助该通孔44V，形成开关元件44和对应的像素电极36之间的电连接。另外，各个开关元件44位于与围堰40对应的位置上。即，当从与图11(b)的纸面垂直的方向观察时，多个开关元件44各自的位置被围堰40覆盖。

由基体30A的被像素电极36和围堰40规定的凹部(像素区域的一部分)与被喷出部38R、被喷出部38G、被喷出部38B对应。被喷出部38R是应当形成发出红的波长区域的光线的发光层211FR的区域，被喷出部38G是应当形成发出绿的波长区域的光线的发光层211FG的区域，被喷出部38B是应当形成发出蓝的波长区域的光线的发光层211FB的区域。

图11(b)所示的基体30A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部38R、38G、38B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体30A中，被喷出部38R、被喷出部38G、被喷出部38B沿Y轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部38R彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，另外，被喷出部38G彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，同样，被喷出部38B彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。

被喷出部38R彼此间的沿着Y轴方向的间隔LRY、即间距大约为560μm。该间隔与被喷出部38G彼此间的沿着Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部38B彼此间的沿着Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部38R的俯视图像(平面图像)为由长边和短边决定的矩形。具体来说，被喷出部38R的Y轴方向的长度约为100μm，X轴方向的长度约为300μm。被喷出部38G及被喷出部38B也具有与被喷出部38R相同的形状·大小。被喷出部彼此间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与对应于相同颜色的像素区域彼此间的间隔或大小对应。

图12所示的制造装置2是向图11的基体30A的被喷出部38R、38G、38B分别喷出对应的发光材料的装置。制造装置2具备：向全部被喷出部38R涂布发光材料211R的喷出装置200R、使被喷出部38R上的发光材料211R干燥的干燥装置250R、向全部被喷出部38G涂布发光材料211G的喷出装置200G、使被喷出部38G上的发光材料211G干燥的干燥装置250G、向全部被喷出部38B涂布发光材料211B的喷出装置200B、使被喷出部38B上的发光材料211B干燥的干燥装置250B。另外，制造装置2还具备以喷出装置200R、干燥装置250R、喷出装置200G、干燥装置250G、喷出装置200B、干燥装置250B的顺序搬送基体30A的搬送装置270。搬送装置270具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、和自行部。

图13所示的喷出装置200R具备保持液状的发光材料211R的液罐201R、管道210R、经过管道210R从液罐201R中供给发光材料211R的喷出扫描部102。由于喷出扫描部102的构成与实施方式1的喷出扫描部102(图1)的构成相同，因此对于相同的构成要素使用相同的参照符号，并且将重复的说明省略。另外，喷出装置200G的构成和喷出装置200B的构成都基本上与喷出装置200R的构造相同。但是，取代液罐201R和管道210R，喷出装置200G具备发光材料211G用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置200G的构成与喷出装置200R的构成不同。同样，取代液罐201R和管道210R，喷出装置200B具备发光材料211B用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置200B的构成与喷出装置200R的构成不同。而且，本实施方式的液状的发光材料211R、211B、211G为本发明的液状的材料的一个例子。

对使用了制造装置2的电致发光显示装置30的制造方法进行说明。首先，使用公知的制膜技术和图案形成技术，制造图11所示的基体30A。

然后，利用大气压下的氧等离子体处理，将基体30A亲液化。利用该处理，由像素电极36和围堰40所规定的各个凹部(像素区域的一部分)的像素电极36的表面、无机物围堰40A的表面、及有机物围堰40B的表面就会呈现亲液性。并且，其后，对基体30A进行以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理。利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，对各个凹部的有机物围堰40B的表面进行氟化处理(处理为疏液性)，通过该操作使有机物围堰40B的表面呈现疏液性。而且，利用使用了四氟化甲烷的等离子体处理，虽然先前被赋予了亲液性的像素电极36的表面及无机物围堰40A的表面丧失了一些亲液性，但是即使这样也维持亲液性。像这样，通过对由像素电极36和围堰40规定的凹部的表面实施特定的表面处理，凹部的表面即成为被喷出部38R、38G、38B。

而且，根据像素电极36的材质、无机物围堰40A的材质及有机物围堰40B的材质，有时即使不进行如上所述的表面处理，也可以获得呈现所需的亲液性及疏液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，由像素电极36和围堰40规定的凹部的表面也为被喷出部38R、38G、38B。

这里，在实施了表面处理的多个像素电极36上，分别也可以形成对应的空穴输送层37R、37G、37B。空穴输送层37R、37G、37B如果位于像素电极36和后述的发光层211RF、211GF、211BF之间，则电致发光显示装置的发光效率就会提高。在多个像素电极36上分别设置空穴输送层37R、37G、37B的情况下，由空穴输送层和围堰40规定的凹部就与被喷出部38R、38G、38B对应。

而且，也可以利用喷墨法形成空穴输送层37R、37G、37B。此时，将含有用于形成空穴输送层37R、37G、37B的材料的溶液在各像素区域上涂布特定量，其后通过使之干燥，就可以形成空穴输送层。

形成有被喷出部38R、38G、38B的基体30A被搬送装置270向喷出装置200R的台架106搬运。此外，如图14(a)所示，喷出装置200R按照在全部被喷出部38R上形成滤色片材料211R的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出发光材料211R。更具体来说，喷出装置200R通过进行实施方式1中说明的涂布工序，向多个被喷出部38R上分别涂布发光材料211R。

在基体30A的全部被喷出部38R上形成了发光材料211R的层的情况下，搬送装置270使基体30A位于干燥装置250R内。而且，通过使被喷出部38R上的发光材料211R完全干燥，可在被喷出部38R上获得发光层211FR。

然后，搬送装置270使基体30A位于喷出装置200G的台架106上。此后，如图14(b)所示，喷出装置200G按照在全部被喷出部38G上形成发光材料211G的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出发光材料111G。更具体来说，喷出装置200G通过进行实施方式1中说明的涂布工序，向多个被喷出部38G分别涂布发光材料211G。

在基体30A的全部被喷出部38G上形成了发光材料211G的层的情况下，搬送装置270使基体30A位于干燥装置250G内。此后，通过使被喷出部38G上的发光材料G完全干燥，而在被喷出部38G上获得发光层211FG。

然后，搬送装置270使基体30A位于喷出装置200B的台架106上。此后，如图14(c)所示，喷出装置200B按照在全部被喷出部38B上形成发光材料211B的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出发光材料211B。更具体来说，喷出装置200B通过进行实施方式1中说明的涂布工序，向多个被喷出部38B上分别涂布发光材料211B。

在基体30A的全部被喷出部38B上形成了发光材料211B的层的情况下，搬送装置270使基体30A位于干燥装置250B内。此后，通过使被喷出部38B上的发光材料211B完全干燥，即在被喷出部38B上获得发光层211FB。

如图14(d)所示，然后，按照覆盖发光层211FR、211FG、211FB及围堰40的方式设置对置电极46。对置电极46作为阴极发挥作用。

其后，通过将密封基板48和基体30A在相互的周边部粘接，就获得如图14(d)所示的电致发光显示装置30。而且，在密封基板48和基体30A之间封入惰性气体49。

在电致发光显示装置30中，从发光层211FR、211FG、211FB中发出的光经过像素电极36、电路元件层34、支撑基板32而射出。像这样经过电路元件层34射出光的电致发光显示装置被称为底发射型的显示装置。

根据本实施方式，可以延长喷出装置200R、200G、200B的喷头114的寿命。这是因为，可以使不与被喷出部38R、38G、38B对应的喷出喷嘴118T(属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T)也分担发光材料211R、211G、211B的喷出任务。

另外，根据本实施方式，可以在维持制造装置2的稳定性的状态下进行涂布工序。这是因为：由于喷出装置200R、200G、200B的喷头114的全部的喷出喷嘴118T在第1扫描期间及第2扫描期间的至少一方当中，喷出发光材料的液滴D，因此其结果是，不存在长时间不进行喷出的喷出喷嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中发光材料固着在喷出喷嘴118T内的情况。

(实施方式4)

对将本发明应用于等离子体显示装置的背面基板的制造装置的例子进行说明。

图15(a)及(b)所示的基体50A是利用后述的制造装置3(图16)的处理而成为等离子体显示装置的背面基板50B的基板。基体50A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部58R、58G、58B。

具体来说，基体50A包括支撑基板52、以矩阵状形成于支撑基板52上的多个地址电极54、按照覆盖地址电极54的方式形成的电介质玻璃层56、具有格子状的形状并且规定多个像素区域的隔壁60。多个像素区域的位置呈矩阵状，多个像素区域所形成的矩阵的列分别与多个地址电极54的各自对应。此种基体50A是利用公知的丝网印刷技术形成的。

在基体50A的各个像素区域中，由电介质玻璃层56及隔壁60规定的凹部与被喷出部58R、被喷出部58G、被喷出部58B对应。被喷出部58R是应当形成发出红的波长区域的光线的荧光层311FR的区域，被喷出部58G是应当形成发出绿的波长区域的光线的荧光层311FG的区域，被喷出部58B是应当形成发出蓝的波长区域的光线的荧光层311FB的区域。

图15(b)所示的基体50A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。此外，多个被喷出部58R、58G、58B所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。在基体50A中，被喷出部58R、被喷出部58G、被喷出部58B沿Y轴方向以该顺序周期性地排列。另一方面，被喷出部58R彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，另外，被喷出部58G彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列，同样，被喷出部58B彼此间沿X轴方向拉开特定的一定间隔而排成1列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。

被喷出部58R彼此间的沿着Y轴方向的间隔LRY即间距大约为560μm。该间隔与被喷出部58G彼此间的沿着Y轴方向的间隔LGY相同，与被喷出部58B彼此间的沿着Y轴方向的间隔LBY也相同。另外，被喷出部58R的俯视图像为由长边和短边决定的矩形。具体来说，被喷出部58R的Y轴方向的长度约为100μm，X轴方向的长度约为300μm。被喷出部58G及被喷出部58B也具有与被喷出部58R相同的形状·大小。被喷出部彼此间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与对应于相同颜色的像素区域彼此间的间隔或大小对应。

图16所示的制造装置3是向图15的基体50A的被喷出部58R、58G、58B分别喷出对应的荧光材料的装置。制造装置3具备向全部被喷出部58R涂布荧光材料311R的喷出装置300R、使被喷出部58R上的荧光材料311R干燥的干燥装置350R、向全部被喷出部58G涂布荧光材料311G的喷出装置300G、使被喷出部58G上的荧光材料311G干燥的干燥装置350G、向全部被喷出部58B涂布荧光材料311B的喷出装置300B、使被喷出部58B上的荧光材料311B干燥的干燥装置350B。另外，制造装置3还具备以喷出装置300R、干燥装置350R、喷出装置300G、干燥装置350G、喷出装置300B、干燥装置350B的顺序搬送基体50A的搬送装置370。搬送装置370具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。

图17所示的喷出装置300R具备保持液状的荧光材料311R的液罐301R、管道310R、经过管道310R从液罐301R中供给荧光材料的喷出扫描部102。由于喷出扫描部102的构成在实施方式1中已经说明，因此将重复的说明省略。

喷出装置300G的构成和喷出装置300B的构成都基本上与喷出装置300R的构造相同。但是，取代液罐301R和管道310R，喷出装置300G具备荧光材料311G用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置300G的构成与喷出装置300R的构成不同。同样，取代液罐301R和管道310R，喷出装置300B具备荧光材料311B用的液罐和管道，在这一点上，喷出装置300B的构成与喷出装置300R的构成不同。而且，本实施方式的液状的荧光材料311R、311B、311G为发光材料的一种，并且与本发明的“液状的材料”对应。

对使用了制造装置3的等离子体显示装置的制造方法进行说明。首先，使用公知的丝网印刷技术，在支撑基板52上，形成多个地址电极54、电介质玻璃层56、隔壁60，得到图15所示的基体50A。

然后，利用大气压下的氧等离子体处理，使基体50A亲液化。利用该处理，由隔壁60及电介质玻璃层56所规定的各个凹部(像素区域的一部分)的隔壁60的表面、电介质玻璃层56的表面就会呈现亲液性，它们的表面即成为被喷出部58R、58G、58B。而且，根据材质，即使不进行如上所述的表面处理，有时也可以获得呈现所需的亲液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，由隔壁60、电介质玻璃层56规定的凹部的表面也为被喷出部58R、58G、58B。

形成了被喷出部58R、58G、58B的基体50A被搬送装置370向喷出装置300R的台架106搬运。此外，如图18(a)所示，喷出装置300R按照在全部被喷出部58R上形成荧光材料311R的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出荧光材料311R。更具体来说，喷出装置300R通过进行实施方式1中说明的涂布工序，在多个被喷出部58R上分别涂布荧光材料311R。

在基体50A的全部被喷出部58R上形成了荧光材料311R的层的情况下，搬送装置370使基体50A位于干燥装置350R内。此后，通过使被喷出部58R上的荧光材料311R完全干燥，而在被喷出部58R上获得荧光层311FR。

然后，搬送装置370使基体50A位于喷出装置300G的台架106上。而且，如图18(b)所示，喷出装置300G按照在全部被喷出部58G上形成荧光材料311G的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出荧光材料311G。更具体来说，喷出装置300G通过进行实施方式1中说明的涂布工序，在多个被喷出部58G上分别涂布荧光材料311G。

在基体50A的全部被喷出部58G上形成了荧光材料311G的层的情况下，搬送装置370使基体50A位于干燥装置350G内。而且，通过使被喷出部58G上的荧光材料311G完全干燥，而在被喷出部58G上获得荧光层311FG。

然后，搬送装置370使基体50A位于喷出装置300B的台架106上。而且，如图18(c)所示，喷出装置300B按照在全部被喷出部58B上形成荧光材料311B的层的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出荧光材料311B。更具体来说，喷出装置300B通过进行实施方式1中说明的涂布工序，在多个被喷出部58B上分别涂布荧光材料311B。

在基体50A的全部被喷出部58B上形成了荧光材料311B的层的情况下，搬送装置370使基体50A位于干燥装置350B内。而且，通过使被喷出部58B上的荧光材料311B完全干燥，而在被喷出部58B上获得荧光层311FB(图19)。

利用以上的工序，基体50A即成为等离子体显示装置的背面基板50B(图19)。

然后，如图19所示，将背面基板50B和前面基板50C利用公知的方法贴合，即获得等离子体显示装置50。前面基板50C具有玻璃基板68、在玻璃基板68上被相互平行地形成了图案的显示电极66A及显示扫描电极66B、按照覆盖显示电极66A及显示扫描电极66B的方式形成的电介质玻璃层64、形成于电介质玻璃层64上的MgO保护层62。背面基板50B和前面基板50C被按照使背面基板50B的地址电极54和前面基板50C的显示电极66A显示扫描电极66B相互正交的方式对正。在被各隔壁60包围的单元(像素区域)中，以特定的压力封入放电气体69。

根据本实施方式，可以延长喷出装置300R、300G、300B的喷头114的寿命。这是因为：可以使不与被喷出部58R、58G、58B对应的喷出喷嘴118T(属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T)也分担荧光材料311R、311G、311B的喷出任务。

另外，根据本实施方式，可以在维持制造装置3的稳定性的状态下进行涂布工序。这是因为：由于喷出装置300R、300G、300B的喷头114的全部的喷出喷嘴118T在第1扫描期间及第2扫描期间的至少一方当中，喷出荧光材料的液滴D，因此其结果，不存在长时间不进行喷出的喷出喷嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中发光材料固着在喷出喷嘴118T内的情况。

(实施方式5)

下面，对将本发明应用于由电子发射元件的图像显示装置的制造装置的例子进行说明。

图20(a)及(b)所示的基体70A是利用后述的制造装置4(图21)的处理，而成为图像显示装置的电子源基板70B的基板。基体70A具有被配置为矩阵状的多个被喷出部78。

具体来说，基体70A具备基体72、位于基体72上的钠扩散防止层74、位于钠扩散防止层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多条金属配线79A、位于多个元件电极76B上的多条金属配线79B。多条金属配线79A分别具有沿Y轴方向延伸的形状。另一方面，多条金属配线79B分别具有沿X轴方向延伸的形状。由于在金属配线79A和金属配线79B之间形成有绝缘膜75，因此金属配线79A和金属配线79B被电绝缘。

包括1对元件电极76A及元件电极76B的部分与1个像素区域对应。1对元件电极76A及元件电极76B相互离开特定的间隔而在钠扩散防止层74上相面对。与某个像素区域对应的元件电极76A被与对应的金属配线79A电连接。另外，与该像素区域对应的元件电极76B被与对应的金属配线79B电连接。而且，本说明书中，有时也将使基体72和钠扩散防止层74合并的部分表述为“支撑基板”。

在基体70A的各个像素区域中，元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74与被喷出部78对应。更具体来说，被喷出部78是应当形成导电性薄膜411F(图24)的区域，导电性薄膜411F被按照覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、元件电极76A、76B之间的间隙的方式形成。如图20(b)中虚线所示，本实施方式的被喷出部78的俯视形状为圆形。

像这样，本发明的被喷出部的俯视形状也可以是由X坐标范围和Y坐标范围决定的圆形。

图20(b)所示的基体70A位于与X轴方向和Y轴方向两者平行的假想平面上。而且，多个被喷出部78所形成的矩阵的行方向及列方向分别与X轴方向及Y轴方向平行。即，在基体70A中，多个被喷出部78沿X轴方向及Y轴方向排列。而且，X轴方向及Y轴方向相互正交。

被喷出部78彼此间的沿着Y轴方向的间隔LRY、即间距大约为190μm。另外，被喷出部78R的X轴方向的长度(X坐标范围的长度)约为100μm，Y轴方向的长度(Y坐标范围的长度)也约为100μm。被喷出部78彼此间的所述间隔及被喷出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度电视中，与像素区域彼此间的间隔或大小对应。

图21所示的制造装置4是向图27的基体70A的被喷出部78分别喷出导电性薄膜材料411的装置。具体来说，制造装置4具备向全部被喷出部78涂布导电性薄膜材料411的喷出装置400、使被喷出部78上的导电性薄膜材料411干燥的干燥装置450。另外，制造装置4还具备以喷出装置400、干燥装置450的顺序搬送基体70A的搬送装置470。搬送装置470具有抓叉部、使抓叉部上下移动的驱动部、自行部。

图22所示的喷出装置400具备保持液状的导电性薄膜材料411的液罐401、管道410、经过管道410从液罐401中供给导电性薄膜材料411的喷出扫描部102。由于喷出扫描部102的说明已经在实施方式1中说明，因此省略。本实施方式中，液状的导电性薄膜材料411为有机钯溶液。而且，本实施方式的液状的导电性薄膜材料411为本发明的“液状的材料”的一个例子。

对使用了制造装置4的图像显示装置的制造方法进行说明。首先，在由钠玻璃等形成的基体72上，形成以SiO₂为主成分的钠扩散防止层74。具体来说，通过使用溅射法在基体72上形成厚度1μm的SiO₂膜，来获得钠扩散防止层74。然后，在钠扩散防止层74上，利用溅射法或真空蒸镀法形成厚度5nm的钛层。此外，使用光刻技术及蚀刻技术，从该钛层中，形成多对相互以特定的距离分离的1对元件电极76A及元件电极76B。

其后，通过使用丝网印刷技术，在钠扩散防止层74及元件电极76A上，涂布Ag糊状物而煅烧，形成沿Y轴方向延伸的多条金属配线79A。然后，通过使用丝网印刷技术，在各金属配线79A的一部分上涂布玻璃糊状物而煅烧，形成绝缘膜75。此后，通过使用丝网印刷技术，在钠扩散防止层74及多个元件电极76B上涂布Ag糊状物而煅烧，形成沿X轴方向延伸的多条金属配线79B。而且，在制作金属配线79B的情况下，按照使金属配线79B夹隔绝缘膜75而与金属配线79A交叉的方式涂布Ag糊状物。利用如上的工序，即获得图20所示的基体70A。

然后，利用大气压下的氧等离子体处理，将基体70A亲液化。利用该处理，元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的支撑基板的表面就被亲液化。而且，它们的表面成为被喷出部78。而且，根据材质，即使不进行如上所述的表面处理，有时也可以获得呈现所需的亲液性的表面。在此种情况下，即使不实施所述表面处理，元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的表面也成为被喷出部78。

形成有被喷出部78的基体70A被搬送装置470向喷出装置400的台架106搬运。此外，如图23所示，喷出装置400按照在全部被喷出部78上形成导电性薄膜411F的方式，根据来自控制部112的信号，从喷头114中喷出导电性薄膜材料411。更具体来说，喷出装置400通过进行实施方式1中说明的涂布工序，在多个被喷出部78上分别涂布导电性薄膜材料411。

另外，本实施方式中，按照命中被喷出部78上的导电性薄膜材料411的液滴的直径处于60μm～80μm的范围的方式，控制部112向喷头114发出信号。在基体70A的全部被喷出部78上形成了导电性薄膜材料411的层的情况下，搬送装置470使基体70A位于干燥装置450内。而且，通过使被喷出部78上的导电性薄膜材料411完全干燥，在被喷出部78上获得以氧化钯为主成分的导电性薄膜411F。这样，在各个像素区域中，就形成覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74的导电性薄膜411F。

根据本实施方式，可以延长喷出装置400的喷头114的寿命。这是因为：可以使不与被喷出部78对应的喷出喷嘴118T(属于第2喷嘴组GB的喷出喷嘴118T)也分担导电性薄膜材料411的喷出任务。

另外，根据本实施方式，可以在维持制造装置4的稳定性的状态下进行涂布工序。这是因为：由于喷出装置400的喷头114的全部的喷出喷嘴118T在第1扫描期间及第2扫描期间的至少一方当中，喷出导电性薄膜材料的液滴D，因此其结果，不存在长时间不进行喷出的喷出喷嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中发光材料固着在喷出喷嘴118T内的情况。

然后，通过在元件电极76A及元件电极76B之间加上脉冲状的特定的电压，就在导电性薄膜411F的一部分上形成电子发射部411D。而且，最好将元件电极76A及元件电极76B间的电压的施加在有机物气氛下及真空条件下分别进行。这是因为：这样的话，来自电子发射部411D的电子发射效率就会进一步提高。元件电极76A、对应的元件电极76B、设置了电子发射部411D的导电性薄膜411F为电子发射元件。另外，各个电子发射元件与各个像素区域对应。

利用以上的工序，如图24所示，基体70A成为电子源基板70B。

然后，如图25所示，将电子源基板70B和前面基板70C利用公知的方法贴合，获得图像显示装置70。前面基板70C具有玻璃基板82、位于玻璃基板82上的矩阵状的多个荧光部84、覆盖多个荧光部84的金属板86。金属板86作为用于加速来自电子发射部411D的电子束的电极发挥作用。电子源基板70B和前面基板70C被按照使多个电子发射元件分别与多个荧光部84相面对的方式对正。另外，电子源基板70B和前面基板70C之间被保持成真空状态。

而且，具备所述的电子发射元件的图像显示装置70也被称为SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)或FED(Field EmissionDisplay)。另外，本说明书中，有时也将液晶显示装置、电致发光显示装置、等离子体显示装置、利用了电子发射元件的图像显示装置等表述为“电光学装置”。这里，本说明书中所说的所谓“电光学装置”并不限定于利用双折射性的变化、旋光性的变化、光散射性的变化等光学的特性的变化(所谓的电光学效应)的装置，而指根据信号电压的施加而将光射出、透过或反射的所有装置。

Claims (5)

1.一种喷出装置，是向基体的被喷出部涂布液状的材料的喷出装置，其中：

包括放置所述基体的台架、具有多个喷出喷嘴的喷头和扫描部，

所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个，

所述扫描部，在第1扫描期间内及第2扫描期间内，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动，

构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别在整个所述第1扫描期间位于所述被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内，

构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别在整个所述第1扫描期间位于所述可以喷出范围外，

所述扫描部在所述第1扫描期间和所述第2扫描期间之间，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内，

所述喷头，在所述第1扫描期间，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴向所述被喷出部喷出所述液状的材料，

所述喷头，在所述第2扫描期间，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴向所述被喷出部喷出所述液状的材料。

2.一种材料涂布方法，是使用喷出装置向基体的被喷出部涂布液状材料的材料涂布方法，所述喷出装置包括放置所述基体的台架和具有多个喷出喷嘴的喷头，且所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个，其中：所述材料涂布方法包括：

步骤(A)，在第1扫描期间内，在使构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内、并且使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围外的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(B)，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以在第2扫描期间内，使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(C)，在所述第1扫描期间内，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的材料；

步骤(D)，在所述第2扫描期间内，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的材料。

3.一种滤色片基板的制造方法，是使用了喷出装置的滤色片基板的制造方法，所述喷出装置包括放置基体的台架和具有多个喷出喷嘴的喷头，且所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个，其中：所述滤色片基板的制造方法包括：

步骤(A)，在第1扫描期间内，在使构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述基体的被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内、并且使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围外的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(B)，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以在第2扫描期间内，使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(C)，在所述第1扫描期间内，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出液状的滤色片材料；

步骤(D)，在所述第2扫描期间内，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的滤色片材料。

4.一种电致发光显示装置的制造方法，是使用了喷出装置的电致发光显示装置的制造方法，所述喷出装置包括放置基体的台架和具有多个喷出喷嘴的喷头，且所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个，其中：所述电致发光显示装置的制造方法包括：

步骤(A)，在第1扫描期间内，在使构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述基体的被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内、并且使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围外的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(B)，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以在第2扫描期间内，使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(C)，在所述第1扫描期间内，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出液状的发光材料；

步骤(D)，在所述第2扫描期间内，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的发光材料。

5.一种等离子体显示装置的制造方法，是使用了喷出装置的等离子体显示装置的制造方法，所述喷出装置包括放置基体的台架和具有多个喷出喷嘴的喷头，且所述喷头的多个喷出喷嘴分别属于沿X轴方向相邻的第1喷嘴组及第2喷嘴组中的某一个，其中：所述等离子体显示装置的制造方法包括：

步骤(A)，在第1扫描期间内，在使构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述基体的被喷出部的沿所述X轴方向的可以喷出范围内、并且使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围外的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(B)，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿所述X轴方向相对移动，以在第2扫描期间内，使构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别位于所述可以喷出范围内的同时，使所述台架及所述喷头中的至少一方相对于另一方沿与所述X轴方向正交的Y轴方向相对移动；

步骤(C)，在所述第1扫描期间内，从构成所述第1喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出液状的荧光材料；

步骤(D)，在所述第2扫描期间内，从构成所述第2喷嘴组的喷出喷嘴分别向所述被喷出部喷出所述液状的荧光材料。

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