CN102771187A - 发光装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供抑制在有机EL层形成不需要的孔的发光装置(21)的制造方法。一种发光装置的制造方法，所述发光装置具有支撑基板(11)、在支撑基板上分别沿规定的行方向延伸且在与行方向不同方向的列方向上隔着规定的间隔配置的多个隔壁(17)、和设置在隔壁之间即凹部(18)的多个有机EL元件(22)，所述有机EL元件(22)具有第1电极(12)、第2电极(16)和有机EL层，所述制造方法包括以下工序：在沿上述行方向向每个凹部供给含有形成有机EL层的材料的墨液时，使墨液的供给位置在列方向上不同，向1个凹部多次供给上述墨液，使上述墨液固化而形成有机EL层。

Description

发光装置的制造方法

技术领域

本发明涉及发光装置的制造方法。

背景技术

显示装置有液晶显示装置、等离子体显示装置等多种装置，作为其中之一的、使用了有机电致发光元件(organic electroluminescent element)(以下，称作有机EL元件。)作为像素的光源的显示装置目前正付诸实用化。该显示装置具有排列在基板上的多个有机EL元件。在基板上以长条状配置有用于区划有机EL元件的隔壁。各有机EL元件设置在由基板和隔壁以长条状区划的区域。

多个有机EL元件分别排列在多个隔壁的之间(有时称作凹部。)，且多个有机EL元件分别在隔壁之间沿着隔壁的延伸方向隔着规定的间隔进行排列。换言之，多个有机EL元件排列成矩阵状。

有机EL元件以第1电极靠向支撑基板的方式依次层叠第1电极、1层以上的有机EL层及第2电极而构成。设置在第1电极和第2电极之间的有机EL层可以通过涂布法来形成。例如，向由隔壁区划的区域(凹部)供给含有形成该有机EL层的材料的墨液，再使其固化，从而可以形成有机EL层。

墨液的供给例如可以通过喷嘴印刷法来进行。如此地在第1电极上形成有机EL层，再利用规定的方法形成第2电极，从而可以在支撑基板上形成多个有机EL元件(参照例如专利文献1。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-218250号公报

发明内容

例如在使显示装置大型化的情况下，各像素的尺寸变得更大，随之，规定像素宽度的隔壁彼此的间隔即凹部的宽度也变大。在利用喷嘴印刷法向这样的宽度的凹部供给墨液时，有时墨液不会遍布在隔壁之间的间隔即凹部内，有时在凹部的一部分上发生漏涂。在发生了漏涂的状态下使墨液固化时，存在以下问题：在有机EL层形成孔部，由此发生元件不良等。

因此，本发明的目的在于，提供能够抑制在有机EL层形成不需要的孔部的发光装置的制造方法。

本发明提高下述的[1]～[5]。

[1]一种发光装置的制造方法，所述发光装置具有：

支撑基板；在所述支撑基板上分别沿规定的行方向延伸且在与所述行方向不同方向的列方向上隔着规定的间隔配置的多个隔壁；以及具有第1电极、第2电极以及第1电极和第2电极所夹持的有机电致发光层、且设置在所述隔壁之间即凹部的多个有机电致发光元件，所述制造方法包括以下工序：准备设置有各有机电致发光元件的第1电极和多个隔壁的所述支撑基板的工序；在沿所述行方向向每个凹部供给含有形成有机电致发光层的材料的墨液时，使墨液的供给位置在列方向上不同，向1个所述凹部多次供给所述墨液，使所述墨液固化而形成有机电致发光层的工序；以及形成第2电极的工序。

[2]根据[1]所述的发光装置的制造方法，在所述形成有机电致发光层的工序中，使含有形成有机电致发光层的材料的墨液，以从行方向的一端到另一端以及从另一端到一端往复的方式进行1个往复或2个以上往复，并使从一端到另一端供给所述墨液的墨液的供给位置与从另一端到一端供给墨液的墨液的供给位置在列方向上不同，向凹部分别供给所述墨液，使所述墨液固化而形成有机电致发光层。

[3]根据[1]或[2]所述的发光装置的制造方法，在所述形成有机电致发光层的工序中，使每个凹部的在列方向上不同的方向上的供给位置之间的间隔为等间隔，

所述多个隔壁以使该隔壁的列方向上的中心之间的间隔成为所述供给位置之间的间隔的2倍以上的整数倍的方式进行配置。

[4]根据[1]～[3]中任一项所述的发光装置的制造方法，在所述形成有机电致发光层的工序中，以向1个所述凹部多次供给的所述墨液的量分别比向所述凹部的所有区域供给墨液时所需要的量更少的方式进行供给，向所述凹部多次供给的墨液之间相接，墨液向所述凹部的所有区域扩展。

[5]根据[1]～[4]中任一项所述的发光装置的制造方法，在形成有机电致发光层的工序中，使用喷出所述墨液的多个喷嘴，同时使所述墨液从多个喷嘴喷出。

根据本发明，在制作发光装置时，能够抑制在有机EL层形成不需要的孔部，进而能够抑制元件不良的发生。

附图说明

图1是示意性表示发光装置的平面图。

图2是示意性表示发光装置的截面图。

图3是示意性表示墨液供给工序的图(1)。

图4是示意性表示墨液供给工序的图(2)。

图5是示意性表示墨液供给工序的图(3)。

具体实施方式

本发明的发光装置的制造方法中，所述发光装置具有支撑基板；在上述支撑基板上沿规定的行方向分别延伸且在与上述行方向不同方向的列方向上隔着规定的间隔配置的多个隔壁；具有第1电极、第2电极以及第1电极与第2电极所夹持的有机电致发光层、且设置在所述隔壁之间即凹部的多个有机电致发光元件，所述制造方法包括以下工序：准备设置有各有机电致发光元件的第1电极和多个隔壁的所述支撑基板的工序；在沿所述行方向向每个凹部供给含有形成有机电致发光层的材料的墨液时，使墨液的供给位置在列方向上不同，向1个所述凹部多次供给所述墨液，使所述墨液固化而形成有机电致发光层的工序；以及形成第2电极的工序。

发光装置作为例如显示装置而被利用。显示装置主要有有源矩阵驱动型的装置和无源矩阵驱动型的装置，本发明能够适用于这两种类型的显示装置。本实施方式中对作为一个例子的适用于有源矩阵驱动型的显示装置的发光装置进行说明。

<发光装置的构成>

首先，参照附图对发光装置的构成进行说明。另外，在以下的说明中，各图只是以能够理解发明的程度概略地表示构成要素的形状、大小及配置，并不是以此对本发明进行特别的限定。此外，各图中，对同样的构成成分标记同一符号来表示，有时省略其重复说明。

图1是示意性表示发光装置的平面图。图2是示意性表示发光装置的截面图。本实施方式的发光装置21主要包含支撑基板11、形成在该支撑基板11上的多个有机EL元件22、和在支撑基板11上用于区划多个有机EL元件的多个隔壁17而构成。

如图1及图2所示，多个隔壁17分别在上述支撑基板11上沿规定的行方向X呈相互大体平行且直线状地延伸。多个隔壁17在与行方向X不同方向的列方向Y上隔着规定的间隔进行配置。即多个隔壁17以长条状进行设置。本实施方式中，行方向X和列方向Y是相互正交的方向，并且行方向X和列方向Y分别是相对于支撑基板11的厚度方向Z正交的方向。以下，由在列方向Y上相邻的一对隔壁17和支撑基板11所限定的、且沿行方向延伸的凹陷为凹部18。在支撑基板11上规定由多个隔壁17区划成的多个凹部18。凹部18分别对应规定的行。

另外，在本实施方式中，在支撑基板11和隔壁17之间设有绝缘膜15。该绝缘膜15例如是为了确保在行方向X或列方向Y上相邻的有机EL元件22之间的电绝缘而设置的。绝缘膜15预先形成为格子状，并一体地形成沿行方向X延伸的多个带状的部分和沿列方向Y延伸的多个带状的部分而构成。绝缘膜15的开口15a形成在从支撑基板11的厚度方向的一方看时(以下，有时称为“俯视”。)与有机EL元件重叠的位置。

绝缘膜15的开口15a形成为在俯视下例如近矩形、椭圆形、近圆形及近椭圆形等。格子状的绝缘膜15主要形成于俯视下以露出后述的第1电极12的一部分的方式覆盖第1电极12的周围的区域、以及第1电极12外的区域。此外，上述多个隔壁17设置在构成绝缘膜的一部分的、沿行方向X延伸的多个带状的部分上。

在本实施方式中，多个有机EL元件22设置于在列方向Y上相邻的隔壁17之间(即凹部18)，且分别在隔壁17之间沿行方向X隔着规定的间隔进行排列。即，在本实施方式中，多个有机EL元件22预先在支撑基板11上排列成矩阵状，分别沿行方向X隔着规定的间隔并且沿列方向Y也隔着规定的间隔进行配置。另外，各有机EL元件22无需进行物理隔离，只要使其电绝缘以能够各自进行驱动即可。因此，构成有机EL元件22的一部分的层(电极、有机EL层等)可以与其他有机EL元件22进行物理性连接。

有机EL元件22以第1电极12靠向支撑基板11的方式依次配置第1电极12、有机EL层(发光层14)及第2电极16而构成。

由第1电极12和第2电极16组成的一对电极由阳极和阴极所构成。即，第1电极12及第2电极16中的一方被设置为阳极，另一方被设置为阴极。此外，第1电极12及第2电极16中的第1电极12靠向支撑基板11进行配置。第2电极16以比第1电极12更远离支撑基板11的方式进行配置。

有机EL元件22具有1层以上的有机EL层。另外，有机EL层是指第1电极12和第2电极16所挟持的1层以上的层。有机EL元件22具有至少1层以上的发光层14作为1层以上的有机EL层。此外，在一对电极间不只设有发光层14，也可以根据需要设置规定的层。例如在阳极和发光层14之间设置空穴注入层、空穴传输层及电子阻挡层等作为有机EL层，在发光层14和阴极之间设置空穴阻挡层、电子传输层及电子注入层等作为有机EL层。

本实施方式的有机EL元件22在第1电极12和发光层14之间具有空穴注入层13作为有机EL层。

以下，作为一个实施方式，对以第1电极12靠向支撑基板11的方式依次层叠作为阳极起作用的第1电极12、空穴注入层13、发光层14和作为阴极起作用的第2电极16而构成的有机EL元件22进行说明。

本实施方式的发光装置21是有源矩阵驱动型的装置。因此，第1电极12分别与每个有机EL元件22对应地设置。即与有机EL元件22的数量相同的第1电极12设置在支撑基板11上。例如第1电极12为板状且形成为在俯视下大致矩形状。第1电极12对应于设置有各有机EL元件22的位置并以矩阵状设置在支撑基板11上。多个第1电极12在行方向X上隔着规定的间隔且在列方向Y上隔着规定的间隔进行配置。即第1电极12设置于在俯视下在列方向Y上相邻的隔壁17之间，在隔壁17之间分别在行方向X上隔着规定的间隔进行配置。

如上所述，格子状的绝缘膜15，主要形成于在俯视下除第1电极12之外的区域，其一部分覆盖第1电极12的周围。即，绝缘膜15上形成有使第1电极12的一部分露出的开15a。第1电极12的表面的一部分通过该开15a而从绝缘膜15露出。

空穴注入层13在相邻的隔壁17之间所夹持的区域以沿行方向X延伸的方式进行设置。即空穴注入层13预先在被列方向Y上相邻的隔壁17彼此划成的凹部18中形成为带状，并以跨越在行方向X上相邻的有机EL元件22之间的方式连续地形成。

发光层14在相邻的隔壁17之间所夹持的区域以沿行方向X延伸的方式进行设置。即发光层14预先在被列方向Y上相邻的隔壁17彼此区划成的凹部18中形成为带状，并以跨越在行方向X上相邻的多个有机EL元件22的方式连续地形成。带状的发光层14层叠在带状的空穴注入层13上。

在彩色显示装置的情况下，放出红色、绿色及蓝色的任1种光的3种有机EL元件22设置在支撑基板11上。彩色显示装置例如可以通过将以下的(I)、(II)、(III)的行以该顺序在列方向Y上重复排列而实现。

(I)隔着规定的间隔排列放出红色的光的多个有机EL元件22R的行

(II)隔着规定的间隔排列放出绿色的光的多个有机EL元件22G的行

(III)隔着规定的间隔排列放出蓝色的光的多个有机EL元件22B的行

在如此地形成发光色不同的多种有机EL元件的情况下，对应发光色不同的有机EL元件的种类设置发光色不同的发光层。本实施方式中，将分别设有3种发光层14R、14G、14B的以下的(i)、(ii)、(iii)的行以该顺序在列方向Y上重复排列。

(i)设有放出红色的光的发光层14R的行

(ii)设有放出绿色的光的发光层14G的行

(iii)设有放出蓝色的光的发光层14B的行的这3种行

即沿行方向X延伸的带状的发光层14R、发光层14G、发光层14B分别在列方向Y上隔着2行的间隔依次层叠在空穴注入层13上。

第2电极16设置在发光层14上。另外，本实施方式中，第2电极16跨越多个有机EL元件22而一体地形成，作为通用的电极设置在多个有机EL元件22上。第2电极16不仅形成在发光层14上，而且也形成在隔壁17上，以使发光层14上的电极和隔壁17上的电极连接的方式整面地形成。

<发光装置的制造方法>

下面，对发光装置的制造方法进行说明。

(准备设有第1电极和多个隔壁的支撑基板的工序)

首先，准备支撑基板11。在有源矩阵驱动型的显示装置的情况下，可以使用预先形成有用于分别驱动多个有机EL元件的电路的基板作为支撑基板11。例如可以使用预先形成有TFT(薄膜晶体管：Thin FilmTransistor)的基板作为支撑基板。

接着，在所准备的支撑基板11上以矩阵状形成多个第1电极12。第1电极12通过如下方式形成，例如在支撑基板11上的一整面形成导电性薄膜，将其利用光刻法(在以下的说明中，“光刻法”中包括继掩模图案的形成工序后进行的蚀刻工序等图案化工序。)图案化为矩阵状。此外，例如将在规定的部位形成有开口的掩模配置在支撑基板11上，隔着该掩模在支撑基板11上的规定的部位选择性地堆积导电性材料，由此可以图案化形成第1电极12。下面对第1电极12的材料进行描述。另外，可以在本工序中准备预先形成有第1电极12的基板作为支撑基板11。

接着，在支撑基板11上形成长条状的隔壁17。隔壁17由有机物或无机物构成。作为构成隔壁17的有机物的例子，可列举出丙烯酸树脂、酚醛树脂及聚酰亚胺树脂等树脂。此外，作为构成隔壁17的无机物的例子，可列举出SiO_X、SiN_x等。

在形成由有机物构成的隔壁17时，首先例如整面地涂布正型或负型的感光性树脂，对规定的部位进行曝光、显影。再使其固化，从而形成长条状的隔壁17。另外，作为感光性树脂，可以使用光致抗蚀剂。此外，在形成由无机物构成的隔壁17时，利用等离子体CVD法、溅射法等整面地形成由无机物构成的薄膜，接着，除去薄膜中的规定的部位，从而形成长条状的隔壁17。规定的部位的除去例如通过光刻法来进行。

另外，在制作具有格子状的绝缘膜15的发光装置21时，在形成隔壁17的工序之前，形成绝缘膜15。绝缘膜15，例如可以使用作为隔壁17的材料而例示的材料，与形成隔壁17的方法同样地形成为格子状。

隔壁17的形状以及其配置可以根据像素数及分辨率等显示装置的规格、制造的容易程度等而适当地设置。例如隔壁17的列方向Y的宽度L1为5μm～50μm左右。隔壁17的高度L2为0.5μm～5μm左右。在列方向Y上相邻的隔壁17之间的间隔L3即凹部18的列方向Y的宽度L3为10μm～200μm左右。此外，第1电极12的行方向X及列方向Y的宽度分别为10μm～400μm左右。

(形成有机EL层的工序)

在本工序中，在沿行方向向每个凹部供给含有形成有机EL层(本实施方式中为空穴注入层)的材料的墨液时，使墨液的供给位置在列方向上不同，向隔壁17之间即1个凹部18进行多次供给，使墨液固化而形成有机EL层。

本工序中，例如，使含有形成有机EL层的材料的墨液，以从行方向的一端到另一端以及从另一端到一端往复的方式进行1个往复或2个以上往复，并使从一端到另一端供给墨液的墨液的供给位置与从另一端到一端供给墨液的墨液的供给位置在列方向上不同，向凹部18分别供给墨液，使墨液固化而形成有机EL层。

作为向隔壁17之间即凹部18供给墨液的方法，只要是能够在隔壁17之间选择性地供给墨液的涂布法，则任意的方法均可。作为这样的方法，可列举出喷嘴印刷法及喷墨法等，其中，优选喷嘴印刷法。在连续地滴加墨液的喷墨法中，墨液隔着间隔附着在基板上。由于附着的墨液遍布在基板上，因此通常可以得到连续的涂布膜，在墨液不充分地遍布在基板上时，可能会在涂布膜形成孔部。另一方面，在以液柱状连续地供给墨液的喷嘴印刷法中，由于墨液被连续地涂布在基板上，因此在涂布膜形成孔部的风险小，可以得到连续的涂布膜。

参照图3、图4及图5，对利用喷嘴印刷法供给墨液的墨液供给工序进行说明。图3是示意性表示墨液供给的图(1)。图4是示意性表示墨液供给的图(2)。图5是示意性表示墨液供给的图(3)。

在喷嘴印刷法中不间断地向各行(凹部18)供给墨液。即在从配置在支撑基板11的上方的喷嘴19喷出液柱状的墨液的状态下，使喷嘴19沿行方向X往复移动，并且在喷嘴19的往复移动的折回时使支撑基板11沿列方向Y仅移动规定的距离，由此向各行供给墨液。

图3中用双点划线示出支撑基板11上的喷嘴19的轨迹。本实施方式中，在隔壁17之间即每个凹部18中，改变墨液的列方向上的供给位置而进行2次墨液供给工序，所述墨液供给工序沿行方向X从凹部18的一端到另一端供给上述墨液。即，在该墨液供给工序中，对1个凹部18从一端到另一端供给墨液(去路)，折回再从另一端到一端供给墨液(回路)，作为1个往复，以这样的方式供给墨液。

墨液供给工序中的列方向Y上的墨液的供给位置的间隔W可以为等间隔。间隔W优选为等间隔。间隔W包括(1)在1个凹部18中折回墨液的供给位置时产生的间隔和(2)在相邻的凹部18折回墨液的供给位置时产生的间隔这两种。

通过如此地使列方向Y的供给位置的间隔W为等间隔，从而能够容易地设定使用喷嘴印刷法供给墨液的装置。另外，在使间隔W为等间隔时，以使隔壁的列方向的中心之间的间隔为供给位置之间的间隔的2倍以上的整数倍的方式进行配置。具体而言，多个隔壁17按照使相邻的隔壁17各自的列方向的中心之间的间隔为n×W(记号“n”表示2以上的自然数。)的方式进行配置。记号n与向每个凹部18进行墨液供给的次数一致，墨液供给中沿行方向X从行方向的一端到另一端或者从另一端到一端供给上述墨液。即，在本实施方式中，向每个凹部18进行2次即1个往复的墨液供给，因此n为2。

如图3所示，在本实施方式中，在从喷嘴19喷出液柱状的墨液的状态下，依次重复以下的(1)～(4)工序，由此向各凹部18供给墨液。

(1)从行方向X的一端向另一端移动喷嘴19的工序(去路)

(2)使支撑基板11沿列方向Y的一方仅移动间隔W的工序

(3)从行方向X的另一端向一端移动喷嘴19的工序(回路)

(4)使支撑基板沿列方向Y的一方仅移动间隔W的工序

如此地，向各凹部18分多次供给墨液，从而防止漏涂，并能以可靠地覆盖隔壁17之间的方式供给墨液。

另外，在1次的墨液供给工序(去路或回路)中，优选以向1个凹部18多次供给的墨液的量分别为比遍布到隔壁17之间的所有区域的量更少的量的方式，分多次供给墨液。

具体而言，例如，优选按照以下方式分多次进行供给：分别在从一端到另一端供给墨液的去路以及从另一端到一端供给墨液的回路中，供给比用以向凹部18的所有区域供给而所需的量更少的量的墨液，向凹部18供给的墨液彼此相连，使墨液向凹部18的所有区域扩展。

在分多次向凹部18内供给墨液时，只要每次供给的墨液相连而使得墨液向隔壁17之间的所有区域扩展即可，因此，通过每次供给比在1次的墨液供给工序中扩展到隔壁17之间的所有区域的量更少的量的墨液，从而能够抑制墨液的使用量。

相当于有机EL层的空穴注入层13通过使供给到隔壁17之间的墨液固化而形成。墨液的固化例如可以通过除去溶剂而进行。溶剂的除去可以通过自然干燥、加热干燥及真空干燥等来进行。

此外，在所使用的墨液含有会因光、热等能量而发生聚合的材料时，可以在向凹部18供给墨液后通过施加光、热等能量而固化形成空穴注入层13。

(形成发光层的工序)

接着，形成发光层14。如上所述，在制作彩色显示装置时，为了制作3种有机EL元件22，需要在每行分涂发光层14的材料。例如，在每行形成3种发光层14时，需要分别在列方向Y上隔着2列的间隔涂布含有放出红色的光的材料的红墨液、含有放出绿色的光的材料的绿墨液、含有放出蓝色的光的材料的蓝墨液。而且，通过在规定的行上依次涂布红墨液、绿墨液、蓝墨液，从而可以分别涂布成膜为3种发光层14。作为在规定的行上依次涂布红墨液、绿墨液、蓝墨液的方法，可列举出印刷法、喷墨法、喷嘴印刷法等规定的涂布法。例如，在喷嘴印刷法中可以与形成上述空穴注入层的方法同样地涂布墨液。

如图5所示，在分别沿列方向Y隔着2列的间隔涂布红墨液、绿墨液、蓝墨液时，未能使列方向的供给位置的间隔W为等间隔。例如在供给红墨液的工序中，只要在要供给红墨液的隔壁17之间进行多次墨液供给即可。如此地，通过在隔壁17之间进行多次墨液供给，从而防止漏涂，并且还能以可靠地覆盖隔壁17之间的方式供给红墨液。绿墨液和蓝墨液可以与红墨液同样地在规定的隔壁17之间进行供给。另外，在向使用彩色滤色器来实现彩色显示的显示装置、单色显示装置那样设置1种发光层14时，无需在每行分涂含有形成发光层14的材料的墨液，因此可以与作为供给含有形成空穴注入层13的材料的墨液的方法的上述方法同样地在隔壁17之间分别供给含有形成发光层14的材料的墨液。

发光层14通过使供给到隔壁17之间的墨液固化而形成。墨液的固化例如可以通过除去溶剂而进行。溶剂的除去可以通过自然干燥、加热干燥及真空干燥等来进行。此外，在所使用的墨液含有会因施加光、热等能量而发生聚合的材料时，可以在供给墨液后通过施加光、热等能量而使发光层固化。

形成发光层14后，根据需要通过规定的方法形成规定的有机层、无机层等。它们可以使用印刷法、喷墨法、喷嘴印刷法等规定的涂布法、以及规定的干式法而形成。

(形成第2电极的工序)

接着，形成第2电极16。如上所述，本实施方式中在支撑基板11上的整面(露出面的整面)形成第2电极16。通过形成第2电极16，从而在支撑基板11上形成多个有机EL元件22。

在以上说明的发光装置的制造方法中，为了分别在隔壁17之间分多次供给墨液，即使是各像素的尺寸大、隔壁17之间的间隔宽的发光装置，也能够防止墨液的漏涂，并且还能防止在有机EL层形成孔部。由此，能够防止元件不良的发生，能够实现成品率的提高。

在以上的说明中，对使用1个喷嘴19来供给墨液的方法进行了说明，也可以使用多个喷嘴19。通过使用喷出墨液的多个喷嘴19，同时使墨液从多个喷嘴19吐出，从而可以将数次进行的墨液供给工序同时地进行。由此，能够缩短墨液供给工序所需的时间。多个喷嘴19无需在列方向Y上配置成一列，可以沿列方向Y隔着与列方向的供给位置的间隔W相当的间隔进行配置并且根据设置间隙等的需要沿行方向X隔着规定的间隔进行配置。

<有机EL元件的构成>

如上所述，有机EL元件22可以采用各种层构成，以下，对有机EL元件22的层结构、各层的构成以及各层的形成方法进行更详细地说明。

如上所述，有机EL元件22包含一对电极(第1电极12、第2电极16)和设置在该电极间的1个或多个有机EL层而构成，作为1个或多个有机EL层，具有至少1层的发光层14。另外，有机EL元件22可以含有包含无机物和有机物的层以及无机层等。作为构成有机层的有机物，可以是低分子化合物，也可以是高分子化合物，此外，还可以是低分子化合物和高分子化合物的混合物。有机层优选含有高分子化合物，优选含有聚苯乙烯换算的数均分子量为10³～10⁸的高分子化合物。

作为设置在阴极和发光层之间的有机EL层的例子，可列举出电子注入层、电子传输层、空穴阻挡层等。在阴极和发光层之间设置电子注入层和电子传输层这两个层时，将接近阴极的层称作电子注入层，将接近发光层的层称作电子传输层。作为设置在阳极和发光层之间的有机EL层，可列举出空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层等。在设有空穴注入层和空穴传输层这两个层时，将接近阳极的层称作空穴注入层，将接近发光层的层称作空穴传输层。

以下，示出本实施方式的有机EL元件的可采取的层构成的一个例子。

a)阳极/发光层/阴极

b)阳极/空穴注入层/发光层/阴极

c)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极

d)阳极/空穴注入层/发光层/电子传输层/阴极

e)阳极/空穴注入层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极

f)阳极/空穴传输层/发光层/阴极

g)阳极/空穴传输层/发光层/电子注入层/阴极

h)阳极/空穴传输层/发光层/电子传输层/阴极

i)阳极/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极

j)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/阴极

k)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子注入层/阴极

l)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/阴极

m)阳极/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极

n)阳极/发光层/电子注入层/阴极

o)阳极/发光层/电子传输层/阴极

p)阳极/发光层/电子传输层/电子注入层/阴极

在此，记号“/”表示夹持记号“/”的各层相邻层叠。以下相同。

本实施方式的有机EL元件22可以具有2层以上的发光层。上述a)～p)的层构成中的任一层中，在使阳极和阴极所挟持的层叠体为“结构单元A”时，作为具有2层发光层的有机EL元件22的构成，可列举出下述q)所示的层构成。另外，有2个(结构单元A)的层构成可以彼此相同，也可以不同。

q)阳极/(结构单元A)/电荷产生层/(结构单元A)/阴极

此外，将“(结构单元A)/电荷产生层”设为“结构单元B”时，作为具有三层以上的发光层的有机EL元件的结构，可列举出下述r)所示的层构成。

r)阳极/(结构单元B)x/(结构单元A)/阴极

另外，记号“x”表示2以上的整数，(结构单元B)x表示层叠有x层结构单元B的层叠体。此外，具有多个(结构单元B)的层构成可以相同，也可以不同。

在此，电荷产生层是指通过施加电场来产生空穴和电子的层。作为电荷产生层，例如可以列举出：由氧化钒、铟锡氧化物(Indium Tin Oxide：简称ITO)、氧化钼等形成的薄膜。

有机EL元件22可以将由阳极和阴极构成的一对电极中的阳极配置在比阴极更靠近支撑基板11的位置后再设置在支撑基板11上，此外，也可以将阴极配置在比阳极更靠近支撑基板的位置后再设置在支撑基板上。例如，在上述a)～r)的构成中，可以是将各层从右侧起依次层叠在支撑基板上的构成的有机EL元件，也可以是将各层从左侧起依次层叠在支撑基板上的构成的有机EL元件。

对于所层叠的层的顺序、层数及各层的厚度，可以考虑发光效率、元件寿命而适当地设定。

接着，对构成有机EL元件22的各层的材料及形成方法进行更具体地说明。

<阳极>

在从发光层14发出的光通过阳极12出射至元件外的构成的有机EL元件22的情况下，阳极12可以使用显示透光性的电极。作为显示透光性的电极，可以使用金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜，可以优选使用导电度及透光率高的材料。作为显示透光性的电极，具体而言，可以使用由氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO、铟锌氧化物(Indium Zinc Oxide：简称IZO)、金、铂、银及铜等形成的薄膜，其中，可以优选使用由ITO、IZO或氧化锡形成的薄膜。

作为阳极的制作方法的例子，可以列举出真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、电镀法等。此外，作为该阳极，也可以使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等有机的透明导电膜。

阳极的膜厚考虑所要求的特性、成膜工序的简易度等而适当设定。阳极的膜厚例如为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，进一步优选为50nm～500nm。

<空穴注入层>

作为构成空穴注入层13的空穴注入材料的例子，可列举出氧化钒、氧化钼、氧化钌及氧化铝等氧化物、苯胺化合物、星状爆炸型胺化合物、酞菁化合物、无定形碳、聚苯胺及聚噻吩衍生物等。

作为空穴注入层13的成膜方法，可列举出由包含空穴注入材料的溶液进行的成膜。例如通过规定的涂布法涂布成膜包含空穴注入材料的溶液，进一步通过将其进行固化，可以形成空穴注入层13。

作为包含空穴注入材料的溶液的溶剂，只要是使空穴注入材料溶解的溶剂，则无特别的限制，作为溶剂的例子，可列举出氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯系溶剂；四氢呋喃等醚溶剂；甲苯、二甲苯等芳香烃溶剂；丙酮、甲乙酮等酮溶剂；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙基溶纤剂醋酸酯等酯溶剂；以及水。

作为涂布法的例子，可列举出旋涂法、浇铸法、微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、辊涂法、钢丝棒涂布法、浸涂法、喷涂法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶版印刷法、喷墨印刷法等。作为涂布法，优选作为一个实施方式的上述本发明的喷嘴印刷法。

空穴注入层13的膜厚考虑所要求的特性及成膜工序的简易度等而适当设定。空穴注入层13的膜厚例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。

<空穴传输层>

作为构成空穴传输层的空穴传输材料的例子，可列举出聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、吡唑啉衍生物、芳基胺衍生物、茋衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(对亚苯基亚乙烯)或其衍生物、或者聚(2，5-亚噻吩基亚乙烯)或其衍生物等。

其中，作为空穴传输材料，优选聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺化合物基的聚硅氧烷衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚(对亚苯基亚乙烯)或其衍生物、或者聚(2，5-亚噻吩基亚乙烯)或其衍生物等高分子空穴传输材料，进一步优选聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物。在低分子的空穴传输材料的情况下，优选分散在高分子粘合剂中使用。

作为空穴传输层的成膜方法，没有特别的限制。在使用低分子的空穴传输材料的情况下，可列举出由包含高分子粘合剂和空穴传输材料的混合液进行的成膜。在使用高分子的空穴传输材料的情况下，可列举出由包含空穴传输材料的溶液进行的成膜。

作为使用在由溶液进行的成膜中的溶剂，只要是使空穴传输材料溶解的溶剂，则没有特别的限制。作为溶剂的例子，可列举出氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯溶剂；四氢呋喃等醚溶剂；甲苯、二甲苯等芳香烃溶剂；丙酮、甲乙酮等酮溶剂；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙基溶纤剂醋酸酯等酯溶剂等。

作为由溶液进行成膜的方法，可列举出与上述空穴注入层的成膜法同样的涂布法。

作为混合的高分子粘合剂，优选不极度阻碍电荷传输的粘合剂，此外，可以优选使用对可见光的吸收弱的粘合剂。作为高分子粘合剂，可列举出例如聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚硅氧烷等。

空穴传输层的膜厚考虑所要求的特性及成膜工序的简易度等而适当设定。空穴传输层的膜厚例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。

<发光层>

发光层14通常由主要发出荧光及/或磷光的有机物或由该有机物和辅助该有机物的掺杂剂形成。例如为了提高发光效率和改变发光波长而加入掺杂剂。另外，构成发光层14的有机物可以为低分子化合物，也可以为高分子化合物，在利用涂布法形成发光层14时，发光层14优选含有高分子化合物。构成发光层14的高分子化合物的聚苯乙烯换算的数均分子量例如为10³～10⁸左右。作为构成发光层14的发光材料，可列举出例如以下的色素材料、金属络合物材料、高分子材料、掺杂剂材料。

(色素材料)

作为色素材料，例如可以列举出环戊丙甲胺(cyclopendamine)衍生物、四苯基丁二烯衍生化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑并喹啉衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、联苯乙烯衍生物、吡咯衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、紫环酮衍生物、苝衍生物、低聚噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物、喹吖啶酮衍生物、香豆素衍生物等。

(金属络合物材料)

作为金属络合物材料，可列举出例如在中心金属中具有例如Tb、Eu、Dy等稀土金属或Al、Zn、Be、Ir、Pt等，在配体中具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等的金属络合物。作为金属络合物材料，可列举出例如具有来自铱络合物、铂络合物等三重激态的发光的金属络合物、羟基喹啉铝络合物、苯并羟基喹啉铍络合物、苯并噁唑啉锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉锌络合物、菲罗啉铕络合物等。

(高分子材料)

作为高分子材料的例子，可以列举出聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚对亚苯基衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔唑衍生物、将上述色素材料或金属络合物材料高分子化的物质等。

在上述发光材料中，作为发光成蓝色的材料的例子，可列举出联苯乙烯衍生物、噁二唑衍生物以及它们的聚合物，聚乙烯咔唑衍生物、聚对亚苯基衍生物、聚芴衍生物等。其中，优选作为高分子材料的聚乙烯咔唑衍生物、聚对亚苯基衍生物或聚芴衍生物等。

此外，作为发光成绿色的材料，可列举出喹吖啶酮衍生物、香豆素衍生物以及它们的聚合物、聚对亚苯基亚乙烯衍生物、以及聚芴衍生物等。其中，优选作为高分子材料的聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚芴衍生物等。

此外，作为发光成红色的材料的例子，可列举出香豆素衍生物、噻吩环化合物以及它们的聚合物、聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、以及聚芴衍生物等。其中，优选作为高分子材料的聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。

(掺杂剂材料)

作为掺杂剂材料，可以列举出例如苝衍生物、香豆素衍生物、红荧烯衍生物、喹吖啶酮衍生物、方酸内鎓盐(squarylium)衍生物、卟啉衍生物、苯乙烯色素、并四苯衍生物、吡唑啉酮衍生物、十环烯、吩噁嗪酮等。

另外，这样的发光层14的厚度通常为约2nm～200nm。

作为发光层14的成膜方法的例子，可列举出由溶液进行成膜的方法、真空蒸镀法、转印法等。作为使用在由溶液进行的成膜中的溶剂，可列举出与从溶液成膜空穴注入层13时所使用的上述的溶剂同样的溶剂。

作为在由溶液进行的成膜中涂布溶液的方法的例子，可列举出旋涂法、浇铸法、微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、辊涂法、钢丝棒涂布法、浸涂法、狭缝涂布法、毛细管涂布法、喷涂法及喷嘴涂布法等涂布法；以及凹版印刷法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶版印刷法、反转印刷法及喷墨印刷法等涂布法。作为涂布法，优选作为一个实施方式的上述本发明的喷嘴印刷法。

<电子传输层>

作为构成电子传输层的电子传输材料，可以使用公知的物质。作为电子传输材料的例子，可列举出噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯基二氰基乙烯或其衍生物、联苯醌衍生物、或者8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物等。

其中，作为电子传输材料，优选噁二唑衍生物、苯醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、或者8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物，进一步优选2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1，3，4-噁二唑、苯醌、蒽醌、三(8-羟基喹啉)铝、聚喹啉。

电子传输层的成膜法没有特别的限制。在使用低分子的电子传输材料时，可列举出由粉末进行的真空蒸镀法、或者由溶液或熔融状态进行的成膜。在使用高分子的电子传输材料时，可列举出由溶液或熔融状态进行的成膜。另外，在由溶液或熔融状态进行成膜时，可以并用高分子粘合剂。作为由溶液成膜电子传输层的方法，可列举出与由溶液成膜空穴注入层的上述的方法同样的成膜法。

电子传输层的膜厚考虑所要求特性、成膜工序的简易度等而适当设定。电子传输层的膜厚例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。

<电子注入层>

作为构成电子注入层的材料，可以根据发光层14的种类而适当选择最佳材料。作为构成电子注入层的材料的例子，可列举出碱金属、碱土金属、包含碱金属及碱土金属中的一种以上的合金、碱金属或碱土金属的氧化物、碱金属或碱土金属的卤化物、碱金属或碱土金属的碳酸盐、或者这些物质的混合物等。作为碱金属、碱金属的氧化物、碱金属的卤化物以及碱金属的碳酸盐的例子，可列举出锂、钠、钾、铷、铯、氧化锂、氟化锂、氧化钠、氟化钠、氧化钾、氟化钾、氧化铷、氟化铷、氧化铯、氟化铯、碳酸锂等。此外，作为碱土金属、碱土金属的氧化物、碱土金属的卤化物、碱土金属的碳酸盐的例子，可列举出镁、钙、钡、锶、氧化镁、氟化镁、氧化钙、氟化钙、氧化钡、氟化钡、氧化锶、氟化锶、碳酸镁等。

电子注入层也可以由层叠有两层以上的层叠体构成。作为层叠体，可列举出例如LiF层及Ca层的层叠体等。电子注入层可通过例如蒸镀法、溅射法、印刷法等来形成。作为电子注入层的膜厚，优选为1nm～1μm左右。

<阴极>

作为阴极16的材料，优选功函数小、对发光层14的电子注入容易且导电度高的材料。此外，在从阳极12侧取出光的结构的有机EL元件22中，将由发光层14发出的光用阴极16反射至阳极12侧，因此，作为阴极16的材料，优选可见光反射率的高的材料。在阴极16中可以使用例如碱金属、碱土金属、过渡金属及元素周期表的第13族金属等。

作为阴极16的材料，可以使用例如锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等金属；上述金属中的两种以上的合金；上述金属中的一种以上与金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡中的一种以上的合金；或者石墨或石墨层间化合物等。作为合金的例子，可列举出镁和银的合金、镁和铟的合金、镁和铝的合金、铟和银的合金、锂和铝的合金、锂和镁的合金、锂和铟的合金、钙和铝的合金等。此外，作为阴极16，可以使用由导电性金属氧化物及导电性有机物等构成的透明导电性电极等。具体而言，作为导电性金属氧化物的例子，可列举出氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO及IZO。作为导电性有机物的例子，可列举出聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。另外，阴极也可以由层叠有两层以上的层叠体构成。另外，有时电子注入层也可以用作阴极。

阴极16的膜厚考虑所要求的特性、成膜工序的简易度等而适当地设定。阴极16的膜厚例如为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，进一步优选为50nm～500nm。

作为阴极16的制作方法的例子，可列举出真空蒸镀法、溅射法、对金属薄膜进行热压接的层压法等。

符号说明

11支撑基板

12第1电极(阳极)

13空穴注入层

14发光层

15绝缘膜

15a开口

16第2电极(阴极)

17隔壁

18凹部

19喷嘴

21发光装置

22有机EL元件

Claims (5)

1.一种发光装置的制造方法，

所述发光装置具有：

支撑基板；

在所述支撑基板上分别沿规定的行方向延伸且在与所述行方向不同方向的列方向上隔着规定的间隔配置的多个隔壁；以及

具有第1电极、第2电极以及第1电极与第2电极所夹持的有机电致发光层、且设置在所述隔壁之间即凹部的多个有机电致发光元件，

所述制造方法包括以下工序：

准备设置有各有机电致发光元件的第1电极和多个隔壁的所述支撑基板的工序；

在沿所述行方向向每个凹部供给含有形成有机电致发光层的材料的墨液时，使墨液的供给位置在列方向上不同，向1个所述凹部多次供给所述墨液，使所述墨液固化而形成有机电致发光层的工序；以及

形成第2电极的工序。

2.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，

在所述形成有机电致发光层的工序中，使含有形成有机电致发光层的材料的墨液，以从行方向的一端到另一端以及从另一端到一端往复的方式进行1个往复或2个以上往复，并使从一端到另一端供给所述墨液的墨液的供给位置与从另一端到一端供给墨液的墨液的供给位置在列方向上不同，由此向凹部分别供给所述墨液，使所述墨液固化而形成有机电致发光层。

3.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，

在所述形成有机电致发光层的工序中，使每个凹部的在列方向上不同的供给位置之间的间隔为等间隔，

将所述多个隔壁，以使该隔壁的列方向上的中心之间的间隔成为所述供给位置之间的间隔的2倍以上的整数倍的方式进行配置。

4.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，

在所述形成有机电致发光层的工序中，以向1个所述凹部多次供给的所述墨液的量分别比向所述凹部的所有区域供给墨液时所需要的量更少的方式进行供给，向所述凹部多次供给的墨液之间相接，墨液向所述凹部的所有区域扩展。

5.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，

在形成有机电致发光层的工序中，使用喷出所述墨液的多个喷嘴，同时使所述墨液从多个喷嘴喷出。

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