CN102113412A - 有机电致发光元件的制造方法、发光装置及显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种使用可防止在供给墨液时发生混色的凸版印刷法的有机EL元件的制造方法、可防止混色的发光装置、以及具备所述发光装置的显示装置。具体而言，本发明提供一种有机电致发光元件的制造方法等，是制造具有一对电极和位于该电极间的有机层的有机电致发光元件的方法，其中，包括下述工序：提供下述基板的工序，所述基板为多个间隔壁大致平行地对置配置，且在所述间隔壁的与基板侧的面相对置的面，沿着该间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部的基板；和通过使用以与所述间隔壁和所述基板所形成的凹部相对应的方式大致平行地相对配置多个凸部而成的凸版印刷版，将含有所述有机层材料的墨液供给至所述凹部，而形成所述有机层的工序。

Description

有机电致发光元件的制造方法、发光装置及显示装置

技术领域

本发明涉及一种有机电致发光元件的制造方法、发光装置及显示装置。

背景技术

有机电致发光元件(以下有时称为有机EL元件)含有一对电极和配置于该电极间的发光层(有机层)而构成，其通过分别从一对电极注入的空穴和电子在发光层中结合而发光。

显示装置中所使用的显示面板中，在基板上以矩阵状配置有多个有机EL元件。各有机EL元件分别具有作为像素的一部分的功能。如此的显示面板通常以格子状配置有间隔壁，各有机EL元件的有机层分别形成于由间隔壁所分隔成的各像素区域。

有机层可通过使用含有有机层的材料与溶剂的墨液的涂布法成膜。具体而言，有机层通过首先将所述墨液选择性地供给至各像素区域，再将墨液的溶剂干燥除去而成膜。已知有下述方法，例如：通过使用具备对应于各像素区域的配置进行图案化而成的凸部的凸版印刷版的凸版印刷法，将所述墨液选择性地供给至各像素区域，再使其干燥，而形成有机层(例如参照专利文献1)。

[专利文献1]日本特开2006-286243号公报

发明内容

由于有机层的材料的溶解性不良，故墨液中的有机层的材料的比例通常为1重量％左右，且墨液的大部分是由溶剂所构成的。由于溶剂为在供给墨液后进行干燥时被除去的成分，故当使用如此的墨液而形成有机层膜时，为了形成预定膜厚的有机层，必须将比有机层的体积更大量的墨液供给至间隔壁内，通常供给比间隔壁内的容量更大量的墨液。若如此进行，则有时供给至预定间隔壁内的墨液会从间隔壁内溢出，并流到邻接的间隔壁内。例如在彩色显示用的显示器中，将分别含有发出RGB各色光的材料的3种墨液选择性地供给至预定的间隔壁内，形成各色的发光层。在如此将不同种类的墨液分别供给至预定的间隔壁内时，若所供给的墨液流到邻接的间隔壁内，则会发生不同种类的墨液互相混杂的混色的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种使用可防止在供给墨液时发生混色的凸版印刷法的有机EL元件的制造方法、及具有容易防止混色的构成的发光装置以及具备所述发光装置的显示装置。

本发明为一种有机电致发光元件的制造方法，是制造具有一对电极和位于该电极间的有机层的有机电致发光元件的方法，其中，包括下述工序：

提供下述基板的工序，所述基板为多个间隔壁大致平行地对置配置，且在所述间隔壁的与基板侧的面相对置的面，沿着该间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部的基板；和

通过使用以与所述间隔壁和所述基板所形成的凹部相对应的方式大致平行地相对配置多个凸部而成的凸版印刷版，将含有所述有机层材料的墨液供给至所述凹部，而形成所述有机层的工序。

此外，本发明为如下所述的有机电致发光元件的制造方法，其中，所述槽部贯通间隔壁而设置。

此外，本发明为如下所述的有机电致发光元件的制造装置，其中，垂直于基板的厚度方向及所述长度方向的方向上的所述槽部的宽度为5μm～30μm。

此外，本发明为如下所述的有机电致发光元件的制造方法，其中，所述间隔壁的高度为0.1μm以上。

此外，本发明为一种发光装置，其包含：

基板；

大致平行地相对置地载置于所述基板上的多个间隔壁；

具有设置于所述基板上的一对电极及位于该电极间的有机层的有机电致发光元件，

其中，所述有机层形成于所述间隔壁之间，

在所述间隔壁的与基板侧的面对置的面，沿着该间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部。

此外，本发明为一种显示装置，其具备所述发光装置。

根据本发明，在间隔壁的与基板侧的面相对置的面，沿着间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部。由于即使有时供给至间隔壁之间的墨液从间隔壁之间溢出，所溢出的墨液也会流进贯通地设置于间隔壁的槽部中，故可防止墨液流到邻接的间隔壁之间，由此可防止混色。

并且，由于通过设置槽部即可避免混色，故无须如以往高精度地进行凸版印刷版与基板的位置校准，而可有效率地供给墨液。

此外，根据本发明，由于在间隔壁的与基板侧的面相对置的面，沿着间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部，故可实现防止混色且可有效率地以凸版印刷法制作的发光装置。

附图说明

图1表示本发明的一实施方式的显示装置中所使用的基板的平面图。

图2为从图1的剖面线II-II观察的基板的剖面图。

图3表示由溶液形成空穴注入层膜或空穴输送层膜的工序的示意图。

具体实施方式

图1表示本发明的一实施方式的发光装置中所使用的基板及在该基板上设置有多个构件的状态的平面图。图2为从图1的剖面线II-II观察的基板的剖面图。发光装置包含基板2、大致平行地对置配置于该基板2上的多个间隔壁3以及具有设置于基板2上的一对电极和位于该电极间的有机层的有机电致发光元件而构成。有机层形成于所述间隔壁之间4，并于间隔壁3的与基板2侧的面相对置的面3a，沿着间隔壁3的长度方向贯通地设置有槽部8。在图1及图2中显示设置有机层前的状态。

以下，说明无源矩阵型(passive matrix)发光装置。在本实施方式中，将大致并行地对置排列的多个电极5(一对电极中的一个电极；以下，依需要而简称为电极5)设置于基板2。以下，有时将电极5的长度方向称为行方向X，将基板2的厚度方向称为厚度方向Z，将垂直于行方向X及厚度方向Z的方向称为排列方向Y。本实施方式中的电极5分别在行方向X上等间隔地排列。

在本实施方式的发光装置中，进一步从厚度方向Z的一侧设置覆盖基板2及电极5的绝缘膜6。对于该绝缘膜6而言，在各电极5上形成在厚度方向Z上贯穿的多个贯穿孔7。各贯穿孔7在各电极5上朝行方向X以规定的间隔形成。

对于多个间隔壁3而言，其长度方向与电极5的长度方向(在本实施方式中为行方向X)一致，并在排列方向Y上以规定的间隔排列，而设置于所述绝缘膜6的表面上。具体而言，从厚度方向Z的一侧观察，各间隔壁3设置于邻接的电极5的间隙上。再者，从厚度方向Z的一侧观察，间隔壁3可以收纳于邻接的电极5的间隙内的方式形成，也可形成至超出所述间隙的区域。

于间隔壁3的与基板2侧的面相对置的面3a，沿着间隔壁3的长度方向(在本实施方式中为行方向X)贯通地设置有槽部8。此槽部8以贯通间隔壁3而设置为佳。在本实施方式中，沿着间隔壁3的长度方向形成有在厚度方向Z上贯通间隔壁3的槽部8。

有机层形成于间隔壁之间4。再者，如后所述，形成于基板2的有机EL元件，在一对电极间具备1层或多层的有机层，且具有至少一层发光层作为该有机层。此外，有时在一对电极间具备与发光层不同的有机层，有时具备无机层。

发光装置具有使长度方向与排列方向Y一致地形成的多个另一方电极。换言之，从厚度方向Z的一侧观察，另一方电极与电极5垂直相交地设置。从厚度方向Z的一侧观察，此另一电极以与贯穿孔7重迭的方式，朝行方向X以规定间隔配置。

在上述说明的发光装置中，从厚度方向Z的一侧观察，电极5与另一方电极交错的部分分别发挥作为1个有机EL元件的功能。

[有机EL元件的构成]

以下，说明设置于发光装置的各有机EL元件的构成。

有机EL元件由一对电极(阳极及阴极)及位于该电极间的发光层构成。此外，也可在阳极与阴极之间设置与发光层不同的多个有机层或无机层，也可设置多个发光层。

设置于阴极与发光层间的层的例子可举例如：电子注入层、电子输送层、空穴阻挡层等。当于阴极与发光层之间设置电子注入层与电子输送层等两层时，靠近阴极的层称为电子注入层，靠近发光层的层称为电子输送层。

电子注入层为具有改善从阴极注入电子的效率的功能的层。电子输送层是具有改善从阴极、电子注入层或更接近阴极的电子输送层注入电子的功能的层。空穴阻挡层是具有阻碍空穴输送的功能的层。再者，当电子注入层及/或电子输送层具有阻碍空穴输送的功能时，这些层有时兼做空穴阻挡层。

设置于阳极与发光层间的层的例子可举例如：空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层等。当设置空穴注入层与空穴输送层等两层时，靠近阳极的层称为空穴注入层，靠近发光层的层称为空穴输送层。

空穴注入层是具有改善从阳极注入空穴的效率的功能的层。空穴输送层是具有改善从阳极、空穴注入层或更接近阳极的空穴输送层注入空穴的功能的层。电子阻挡层是具有阻碍电子输送的功能的层。再者，当空穴注入层及/或空穴输送层具有阻碍电子输送的功能时，这些层有时兼做电子阻挡层。

再者，有时将电子注入层及空穴注入层总称为电荷注入层，有时将电子输送层及空穴输送层总称为电荷输送层。

在以下的a)至p)中例示有机EL元件的具体构成。

a)阳极/发光层/阴极

b)阳极/空穴注入层/发光层/阴极

c)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极

e)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/阴极

f)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

d)阳极/空穴输送层/发光层/阴极

e)阳极/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极

f)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极

g)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

h)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/阴极

i)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极

j)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极

k)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

l)阳极/发光层/电子注入层/阴极

m)阳极/发光层/电子输送层/阴极

n)阳极/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

(在此，记号「/」表示夹持符号「/」的各层互相邻接地层叠。以下皆同)。

(基板)

基板优选在形成有机EL元件的工序中不会变形的基板，可使用例如：玻璃、塑料、高分子薄膜、硅基板、及层叠这些基板而成的层叠体等。此外，也可将经实施了低透水化处理的塑料、高分子薄膜使用于基板。

各有机EL元件，以基板为基准，可为于基板侧配置阳极、于与基板远离的侧配置阴极的构成，也可为于基板侧配置阴极、于与基板远离的侧配置阳极的构成。换言之，在本实施方式中，可以构成一方电极为阳极、另一方电极为阴极的有机EL元件，也可构成一方电极为阴极、另一方电极为阳极的有机EL元件。

此外，各有机EL元件可采用从基板侧取出光的底部发光型的元件构成、或从与基板相反侧取出光的顶部发光型的元件构成。底部发光型的有机EL元件，从发光层至一方电极间的各层由透明的层构成；顶部发光型的有机EL元件，从发光层至另一电极间的各层由透明的层构成。

(阳极)

当于阳极使用透明电极时，可使用导电度高的金属氧化物、金属硫化物或金属的薄膜，且宜使用穿透率高者。具体而言，可使用氧化铟、氧化锌、氧化锡、铟锡氧化物(Indium Tin Oxide，简称ITO)、铟锌氧化物(Indium Zinc Oxide，简称IZO)；金、铂、银及铜等的薄膜，可依设置于电极间的层的种类而适当选择使用。它们中，阳极以ITO、IZO、氧化锡为佳。

此外，该阳极也可使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩(polythiophene)或其衍生物等有机透明导电膜。此外，可将由含有选自所述有机透明导电膜中使用的材料、金属氧化物、金属硫化物、金属、及碳奈米管等碳材料中的至少一种以上的混合物所形成的薄膜使用于阳极。

并且，在例如从阴极侧取出光的构造的有机EL元件中，可使用使光反射的材料形成阳极，如此的材料以使用功函数为3.0eV以上的金属、金属氧化物、金属硫化物为佳。

阳极的膜厚可考虑透光性与导电度而适当选择，例如：5nm～10μm，且以10nm～1μm为佳、以20nm～500nm更佳。

(空穴注入层)

构成空穴注入层的材料，可适当使用公知的材料，无特别限制。该材料的例子可举例如：苯基胺系、星爆(starburst)型胺系、酞菁系、腙(hydrazone)衍生物、咔唑衍生物、三唑衍生物、咪唑衍生物、具有氨基的噁二唑(oxadiazole)衍生物、氧化钒、氧化钽、氧化钨、氧化钼、氧化钌、氧化铝等氧化物；非晶形碳、聚苯胺、聚噻吩衍生物等。

空穴注入层的厚度依目的有机EL元件的设计而适当设定，以5～300nm左右为佳。若此厚度未达5nm，则有难以制造的倾向，另一方面，若超过300nm，则有驱动电压及对空穴注入层施加的电压会变大的倾向。

(空穴输送层)

构成空穴输送层的材料无特别限制，其例子可举例如：N，N′-二苯基-N，N′-二(3-甲基苯基)4，4′-二氨基联苯(TPD)、4，4′-双[N-(1-萘基)-N-苯基氨基]联苯(NPB)等芳香族胺衍生物、聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、吡唑啉衍生物、芳胺衍生物、芪衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(对苯乙烯)或其衍生物、或聚(2，5-噻吩乙烯)或其衍生物等。

这些中，形成空穴输送层时所使用的空穴输送材料以聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链具有芳香族胺化合物基的聚硅氧烷衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳胺或其衍生物、聚(对苯乙烯)或其衍生物、或聚(2，5-噻吩乙烯)或其衍生物等高分子空穴输送材料为佳，以聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物更佳。当使用低分子的空穴输送材料时，以使其分散于高分子基料(binder)中使用为佳。

空穴输送层的厚度无特别限制，依目的有机EL元件的设计而适当设定，以1～1000nm左右为佳。若此厚度未达所述下限值，则有难以制造、或无法得到充分的空穴输送效果等的倾向。另一方面，若超过所述上限值，则有驱动电压及对空穴输送层施加的电压会变大的倾向。因此，空穴输送层的厚度如上述为1～1000nm左右，且以2nm～500nm为佳、以5nm～200nm更佳。

(发光层)

发光层通常主要含有发出荧光及/或磷光的有机物(低分子化合物及高分子化合物)，且可还含有掺杂剂材料。构成发光层的发光材料的例子可举例如：以下的色素系材料、金属络合物系材料、高分子系材料、及掺杂剂材料等。

上述色素系材料的例子可举例如：环戊胺(cyclopentamine)衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑并喹啉衍生物、二(苯乙烯基)苯衍生物、二(苯乙烯基)亚芳基衍生物、吡咯衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、紫环酮(perinone)衍生物、苝(perylene)衍生物、寡聚噻吩衍生物、三富马基胺(trifumanyl amine)衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物等。

上述金属络合物系材料的例子可举例如：铱络合物、铂络合物等具有从三重态激发态发光的金属络合物；羟基喹啉铝络合物、苯并喹啉喹啉铍络合物、苯并噁唑锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉(porphyrin)锌络合物、铕络合物等在中心金属具有Al、Zn、Be等或Tb、Eu、Dy等稀土金属且在配位基具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等的金属络合物等。

上述高分子系材料的例子可举例如：聚(对苯乙烯)衍生物、聚噻吩衍生物、聚对苯衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔唑衍生物、及将所述色素系材料或金属络合物系发光材料进行高分子化而成的材料等。

上述发光层形成材料中，发出蓝色光的材料的例子可举例如：二(苯乙烯基)亚芳基衍生物、噁二唑衍生物、及它们的聚合物、聚乙烯咔唑衍生物、聚对苯衍生物、聚芴衍生物等。其中尤以高分子系材料的聚乙烯咔唑衍生物、聚对苯衍生物和聚芴衍生物等为佳。

此外，上述发光层形成材料中，发出绿色光的材料的例子可举例如：喹吖啶酮(quinacridone)衍生物、香豆素衍生物、及它们的聚合物、聚(对苯乙烯)衍生物、聚芴衍生物等。其中尤以高分子系材料的聚(对苯乙烯)衍生物、聚芴衍生物等为佳。

此外，上述发光层形成材料中，发出红色光的材料的例子可举例如：香豆素衍生物、噻吩环化合物、及它们的聚合物、聚(对苯乙烯)衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。其中尤以高分子系材料的聚(对苯乙烯)衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等为佳。

在上述发光层中，为了提高发光效率和改变发光波长等目的，可添加掺杂剂。如此的掺杂剂的例子可举例如：苝衍生物、香豆素衍生物、红萤烯(rubrene)衍生物、喹吖啶酮衍生物、方酸鎓(squarylium)衍生物、卟啉衍生物、苯乙烯系色素、并四苯衍生物、吡唑酮衍生物、十环烯(decacyclene)、吩噁嗪酮(phenoxazone)等。

发光层的厚度通常为2nm～200nm。

(电子输送层)

构成电子输送层的材料可使用公知的任何材料，可举例如：噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰蒽醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯二氰基乙烯或其衍生物、联苯醌衍生物、或8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉(polyquinoxaline)或其衍生物、聚芴或其衍生物等。

它们中尤以噁二唑衍生物、苯醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、或8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物为佳，以2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1，3，4-噁二唑、苯醌、蒽醌、三(8-喹啉酚)铝、聚喹啉更佳。

(电子注入层)

构成电子注入层的材料的例子可举例如：碱金属和碱土金属、或是含有所述金属中的一种以上的合金、或是所述金属的氧化物、卤化物及碳酸化物、或是所述物质的混合物等，依发光层的种类而适当选择。

所述碱金属或其氧化物、卤化物及碳酸化物的例子可举例如：锂、钠、钾、铷、铯、氧化锂、氟化锂、氧化钠、氟化钠、氧化钾、氟化钾、氧化铷、氟化铷、氧化铯、氟化铯、碳酸锂等。

所述碱土金属或其氧化物、卤化物及碳酸化物的例子可举例如：镁、钙、钡、锶、氧化镁、氟化镁、氧化钙、氟化钙、氟化钙、氧化钡、氟化钡、氧化锶、氟化锶、碳酸镁等。

此外，也可将掺杂有金属、金属氧化物、金属盐的有机金属化合物、及有机金属络合物化合物、或它们的混合物作为电子注入层的材料使用。

电子注入层可具有层叠2层以上的层叠构造，具体而言可举例如Li/Ca等层结构。电子注入层的膜厚以1nm～1μm左右为佳。

(阴极)

阴极的材料以功函数小、容易将电子注入至发光层、及导电度高的材料为佳。此外，当为从阳极侧取出光的构造的有机EL元件时，以将可见光反射率高的材料使用于阴极为佳。如此的阴极材料具体而言可举例如：金属、金属氧化物、合金、石墨或石墨层间化合物、氧化锌(ZnO)等无机半导体等。

上述金属可使用碱金属或碱土金属、过渡金属或IIIb族金属等。这些金属的具体例可举例如：锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等。

此外，合金可举例如含有上述金属的至少一种的合金，具体而言可举例如：镁—银合金、镁—铟合金、镁—铝合金、铟—银合金、锂—铝合金、锂—镁合金、锂—铟合金、钙—铝合金等。

当为从阴极侧取出光的构造的有机EL元件时，将透明电极使用于阴极，透明的阴极的材料的例子可举例如：氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO、IZO等导电性氧化物；聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等导电性有机物等。

再者，可将阴极形成为2层以上的层叠构造。此外，也有时将电子注入层作为阴极使用。

阴极的膜厚可考虑导电度和耐久性而适当选择，例如：10nm～10μm，且以20nm～1μm为佳、以50nm～500nm更佳。

(上部密封膜)

由于发光层等发光材料容易氧化，且容易因与水接触而劣化，故发光装置以还具备保护有机EL元件的上部密封膜为佳。此上部密封膜以从基板2的厚度方向的一侧覆盖各有机EL元件的方式形成。上部密封膜由对气体及液体的阻障性高的材料构成，通常以将无机层与有机层交互地层叠的方式构成。

再者，由于即使有机EL元件被基板及上部密封膜密封，塑料基板的气体及液体的穿透性仍比玻璃基板高，故当使用塑料基板作为基板时，为了提高有机EL元件的密封性，可将对气体及液体的阻障性高的下部密封膜层叠于塑料基板上，然后在此下部密封膜上层叠有机EL元件。此下部密封膜通常由与上部密封膜同样的构成、同样的材料形成。

[有机EL元件的制造方法]

以下，一面参照适宜的图，一面详细说明有机EL元件的制造方法的一实施方式。

(阳极形成工序)

准备由所述的任一基板材料构成的基板。当使用气体及液体的穿透性高的塑料基板时，依需要而预先于基板上形成下部密封膜。

接着，在所准备的基板上，使用所述的任一阳极材料形成阳极图案。当形成透明的阳极时，如上所述使用ITO、IZO、氧化锡、氧化锌、氧化铟、锌铝复合氧化物等透明电极材料。通过例如溅镀法将均匀膜厚的ITO薄膜堆积于基板上，再通过光刻法(photolithography)将ITO薄膜图案化成条纹状，由此形成相当于电极5的阳极。

(绝缘膜形成工序)

绝缘膜6依需要而设置。绝缘膜6由例如感光性树脂等有机物构成。首先，在形成有阳极的基板上通过涂布光致抗蚀剂而成膜光致抗蚀剂层，并且隔着掩模将预定区域曝光，接着进行显影，由此形成多个贯穿孔7。由此形成绝缘膜6。

光致抗蚀剂具体而言可适当使用聚酰亚胺系、丙烯酸树脂系、酚醛树脂系的各种感光性树脂。它们之中优选使用耐久性高的聚酰亚胺系的树脂。光致抗蚀剂的涂布可通过使用旋转涂布器、棒涂布器、辊涂布器、模具涂布器、凹版涂布器、狭缝涂布器等的涂布法进行。

再者，绝缘膜6也可由SiO₂、SiN等无机物构成。例如：首先通过等离子体CVD法或溅镀法等公知方法，在基板上形成0.1～0.2μm厚的由无机绝缘材料构成的薄膜，并且通过光刻法于预定位置形成贯穿孔7。由此形成由无机物构成的绝缘膜6。

(间隔壁形成工序)

间隔壁3由有机物或无机物构成，且可通过光刻法容易地形成，因此以由感光性树脂构成为佳。首先，于形成有绝缘膜6的基板上通过涂布光致抗蚀剂而成膜光致抗蚀剂层。并且隔着掩模将预定区域曝光，并进行显影，由此形成多个间隔壁3。此时，也可通过同时去除形成槽部8的区域，而以同一工序形成槽部8。再者，当不设置绝缘膜6时，在间隔壁之间4中阳极4会露出。

光致抗蚀剂具体而言可适当使用聚酰亚胺系、丙烯酸树脂系、酚醛树脂系的各感光性树脂。它们之中优选使用耐久性高的聚酰亚胺系的树脂。光致抗蚀剂的涂布可通过使用旋转涂布器、棒涂布器、辊涂布器、模具涂布器、凹版涂布器、狭缝涂布器等的涂布法进行。再者，为了提高有机EL元件的显示质量，可使显示遮光性的材料含于光致抗蚀剂中。

间隔壁3的主要作用在于谋求由间隔壁3所分隔的邻接的像素间绝缘，并且防止由间隔壁3分隔的邻接的像素间的混色。另一方面，绝缘膜6的主要作用在于谋求沿着间隔壁3的长度方向(行方向X)配置的像素间的绝缘，绝缘膜6不具有防止由间隔壁3分隔的邻接像素间混色的功能。因此，绝缘膜6的厚度方向Z的高度无须增加到如间隔壁3的厚度方向Z上的高度的程度，而只设定于可确保电性绝缘的程度。此外，间隔壁3的厚度方向Z上的高度设定为在后述的涂布墨液时所涂布的墨液不会超出间隔壁而溢出的程度。从如此的基准来看，隔壁3的厚度方向Z上的高度以设定成0.1μm以上为佳、以设定成2～3μm更佳。此外，绝缘膜6的厚度方向Z上的高度以设定成0.1～0.2μm为佳。

此外，间隔壁3的排列方向Y的宽度L1通常为5μm～50μm，且以10μm～30μm为佳。此外，槽部8的排列方向Y上的宽度L2设定成在后述的供给墨液的过程中可收纳流进槽部8中的墨液的值，通常为1μm～30μm，且以5μm～30μm为佳、以5μm～20μm更佳。

间隔壁3的表面以对所供给的墨液显示疏液性者为佳、以比一方的电极(阳极)显示更强的疏液性者为佳。再者，在下述说明中，以阳极5为基准，当对墨液显示与阳极5相同程度的亲液性时，记载为显示亲液性，当比阳极显示更强的疏液性时，记载为显示疏液性。例如当间隔壁3的表面显示亲液性时，供给至间隔壁之间4的墨液会可在间隔壁3的与基板侧的面相对置的面3a(以下有时称为上面)扩展，而容易流进邻接的间隔壁之间4中，但当间隔壁3的表面显示疏液性时，由于在间隔壁3的上面墨液受到排斥，故可防止供给至间隔壁之间4的墨液流进邻接的间隔壁之间4中。

对间隔壁3的表面赋予疏液性的方法之一，可举例如等离子体处理等表面处理，可举例如：通过以氟取代间隔壁表面的有机材料的官能基而将表面进行改性的方法。具体而言，通过使用真空等离子体装置使CF₄气体等离子体化，并将间隔壁表面进行等离子体处理，即可对间隔壁表面赋予疏液性。再者，由于使用CF₄气体的等离子体处理对含有有机物的构件赋予疏液性，故即使对由无机物构成的阳极5进行等离子体处理，阳极5也不会显示疏液性。因此，容易将墨液涂布于电极上。通过如此对间隔壁3进行赋予疏液性的处理，即可防止供给至间隔壁3内的墨液溢出并流进邻接的间隔壁之间中。

由于若进行使用CF₄气体的等离子体处理，则可对由有机物构成的构件赋予疏液性，且不会对由无机物构成的构件赋予疏液性，故当绝缘膜6由无机物构成时，绝缘膜6显示亲液性，当绝缘膜6由有机物构成时，显示疏液性。由于可仅对由有机物构成的构件选择性地赋予疏液性，故以如此使用CF₄气体的等离子体处理为佳。

当如上所述，通过聚酰亚胺等形成绝缘膜6时，间隔壁3与绝缘膜6两者皆显示疏液性。当为例如有源矩阵型发光装置时，于绝缘膜6上形成线路等构造物。此构造物的厚度方向Z上的高度通常为0.1μm～2μm。当于绝缘膜6上设置构造物且该绝缘膜6显示亲液性时，若将墨液供给至间隔壁之间4，则会在墨液受到构造物拉扯的状态下进行干燥，故有会形成贯穿孔7的边缘部的膜厚较中央部厚的有机层的倾向，但由于形成了显示疏液性的绝缘膜6，因而即使在绝缘膜6上设置有构造物，墨液也会受到绝缘膜6排斥，故不会受构造物影响，可形成均匀膜厚的有机层。

再者，为了对间隔壁3的表面赋予疏液性，可在形成间隔壁时所使用的感光性材料中加入疏液性物质，也可在形成间隔壁3后在其表面涂布含有疏液性成分的涂布液，且也可使疏液性成分气化并堆积于间隔壁表面。间隔壁3的表面以对在形成有机EL元件的各层时所使用的所有墨液皆显示疏液性为佳。

所述添加于感光性材料中的疏液性物质可使用例如：硅酮系化合物或含有氟的化合物。这些疏液性物质由于对含有后述的发光层及空穴输送层等材料的墨液显示疏液性，故可适当使用。

(空穴注入层及空穴输送层的形成工序)

在形成间隔壁后，依需要形成所述的空穴注入层及空穴输送层等。空穴注入层及空穴输送层的成膜方法无特别限制，使用低分子材料的成膜方法的例子可举例如：由与高分子基料混合而成的混合溶液成膜的方法。使用高分子材料的成膜方法的例子可举例如：基于溶液成膜的方法。换言之，通过用涂布法涂布含有空穴注入层或空穴输送层的材料的墨液并使其干燥，而形成空穴注入层或空穴输送层。

上述所混合的高分子基料以不会极度阻碍电荷输送者为佳，且宜使用对于可见光的吸收不强者。所述高分子基料的例子可举例如：聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚硅氧烷等。

基于溶液成膜时所使用的溶剂，只要为可将所述的空穴注入层或空穴输送层的材料溶解或分散者，则无特别限制。如此的溶剂的例子可举例如：氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯系溶剂；四氢呋喃等醚系溶剂；甲苯、二甲苯等芳香族烃系溶剂；丙酮、甲基乙基酮等酮系溶剂；乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙基溶纤剂乙酸酯系溶剂；水等。

基于溶液成膜的方法以使用凸版印刷法为佳，其中优选胶版印刷(flexographic printing)法。图3表示基于溶液成膜空穴注入层或空穴输送层的工序的示意图。凸版印刷版20具有以对应于由间隔壁3与基板2所形成的凹部9的配置的方式配置的多个凸部21。因此，多个凸部21大致平行地相互对置配置。凸版印刷版20形成为包含印刷辊筒和卷绕并固定于该印刷辊筒的表面的印刷版的构成，且以与水平方向一致的方式配置轴芯。凸版印刷版20例如为胶版，且由感光性材料(例如紫外线硬化树脂)等柔软的材料所构成。此外，凸版印刷版20以使多个凸部21分别朝周围方向延伸的方式设置。

首先，以使间隔壁3的长度方向与涂布方向一致的方式设置基板2，并且使含有空穴注入层或空穴输送层的材料的墨液附着于凸版印刷版20的凸部21。其次，一面使凸版印刷版20旋转，一面将凸版印刷版20按压于基板2，并同时将基板2朝与印刷方向的反方向运送，由此将附着于凸部21的墨液供给至凹部9。通过使供给至凹部9的墨液干燥以除去溶剂，即可形成空穴注入层或空穴输送层。再者，当空穴注入层或空穴输送层为有机层时，将使用凸版印刷版20的上述工序对应于有机层形成工序。

墨液中的空穴注入层或空穴输送层材料的比例通常为0.1重量％～10重量％，且以1重量％～5重量％为佳。

再者，多个凸部21分别朝凸版印刷版的轴线方向延伸形成，使用朝周围方向互相隔开预定间隔设置的凸版印刷版，也可形成空穴注入层及空穴输送层。

(发光层形成工序)

接着，形成发光层。当不设置空穴注入层及空穴输送层时，发光层与阳极邻接地形成层。发光层通过使用与上述同样的凸版印刷版并将含有发光层材料的墨液供给至凹部9而形成。基于溶液成膜时所使用的溶剂的例子可举例如：甲苯、二甲苯、丙酮、苯甲醚、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮等单独或它们的混合溶剂等。它们之中，由于可良好地溶解发光材料，故以甲苯、二甲苯、苯甲醚等芳香族有机溶剂为佳。墨液的供给可通过与图3所示的方法同样的方法进行。墨液中的发光层材料的比例通常为0.1重量％～10重量％，且以1重量％～5重量％为佳。发光层为含有有机物的有机层，且形成此发光层的工序相当于有机层形成工序。

在彩色显示用的发光装置中，必须分别朝行方向X依序设置分别发出红色光、绿色光、蓝色光的发光层(R发光层、G发光层、B发光层)。具体而言，以朝行方向X依R发光层、G发光层、B发光层的顺序排列成的3列发光层做为重复单元，将该重复单元朝行方向X依序重复排列。当将例如含有分别发出红色光、绿色光、蓝色光的发光层的3种墨液(以下有时称为R墨液、G墨液、B墨液)分开涂布时，例如首先将R墨液隔开2列的间隔进行涂布，其次将G墨液隔开2列的间隔进行涂布，再将B墨液隔开2列的间隔进行涂布。换言之，可对邻接的凹部9供给不同种类的墨液。

再者，在有机发光墨液中，也可依需要而添加表面活性剂、抗氧化剂、粘度调整剂、紫外线吸收剂等。

(电子注入层及电子输送层形成工序)

在形成上述发光层后，依需要而形成电子输送层及电子注入层等。电子输送层的形成法无特别限制，使用低分子电子输送材料的形成法的例子可举例如：基于粉末的真空蒸镀法、或基于溶液或熔融状态的成膜方法，使用高分子电子输送材料的形成法的例子可举例如：基于溶液或熔融状态的成膜方法。在基于溶液或熔融状态成膜时，可并用高分子基料。基于溶液成膜电子输送层的方法可使用与所述的基于溶液成膜空穴输送层的方法同样的成膜法。当基于溶液成膜时，与所述的形成发光层的方法同样，以使用凸版印刷法为佳。

此外，电子注入层使用蒸镀法、溅镀法、印刷法等形成。

(阴极形成工序)

阴极使用上述的阴极的任一材料，通过真空蒸镀法、溅镀法、CVD法、离子镀法、激光消融(laser ablation)法及将金属薄膜压接的层叠法等而形成。

基板2具有下述构成：大致平行地相互对置配置多个间隔壁3，且于该间隔壁3的与基板侧的面相对置的面3a，沿着该间隔壁3的长度方向贯通设置有槽部8，提供具有如此构成的基板2的工序可为下述工序的任一者：(a)直接提供具有如此构成的基板2本身的工序；或(b)首先提供不具有如此构成的基板2，接着以使该基板2具有如此构成的方式进行加工，最后提供具有如此构成的基板2的工序。

由于在有机层形成工序中，墨液中的有机层材料的比例低，因此将较有机层的体积更大量的墨液供给至凹部9，故有墨液会从凹部9溢出的可能性。然而，由于即使例如墨液从凹部9溢出，所溢出的墨液也会流进贯通地设置于间隔壁3的槽部8中，故可防止墨液流进邻接的凹部9中。由于可如此防止墨液流进邻接的凹部9中，故可形成所需膜厚的有机层。再者，所谓有机层的材料，是指在涂布墨液后会形成有机层者，墨液形成为包含有机层材料与溶解此有机层材料的溶剂的构成。

此外，即使将不同种类的墨液供给至邻接的凹部9时，也可防止墨液流进邻接的凹部9中，故可防止混色发生。由于通过设置槽部8即可避免混色，故无须如以往高精度地进行凸版印刷版20与基板3的位置校准，可有效率地供给墨液。

此外，由于即使将比间隔壁之间4的容量更大量的墨液供给至凹部9，间隔壁3也显示疏液性，故该墨液会以使墨液保存于间隔壁之间4的方式在间隔壁3的上面受到排斥。由此，可防止墨液流进邻接的凹部9中。

此外，当间隔壁3显示亲液性时，由于供给至凹部9的墨液在受到间隔壁3的吸引的状态下干燥，故间隔壁3附近的有机层的膜厚会较中央部更厚，但在本实施方式中，供给至凹部9的墨液会在受到显示疏液性的间隔壁3排斥的状态下被干燥，故可形成膜厚均匀的有机层。

此外，由于在间隔壁3贯通地设置有槽部8，故本实施方式的发光装置具有适于使用所述的凸版印刷板20形成有机层的构造。

显示装置具备上述说明的发光装置，还具备驱动此发光装置的驱动装置。通过例如使驱动装置分别对一电极与另一电极选择性地施加电压，即可使预定的有机EL元件选择性地发光，由此可使预定的影像信息显示。

再者，以上说明无源矩阵型发光装置，但也可例如使用TFT基板构成有源矩阵型发光装置，也可使用如此的有源矩阵型发光装置构成显示装置。

(产业上的可利用性)

本发明的有机电致发光元件的制造方法，在例如制作经防止混色的发光装置及显示装置、以及通过凸版印刷法有效率地制作发光装置及显示装置等时为有用。本发明的发光装置及显示装置在例如防止混色所伴随的色调优良的观点、通过凸版印刷法有效率地制作的观点等上为有用。

【符号说明】

2 基板

3 间隔壁

3a 间隔壁的与基板侧的面相对置的面

4 间隔壁之间

5 一对电极中的一方电极

6 绝缘膜

7 贯穿孔

8 槽部

9 凹部

20 凸版印刷版

21 凸部

Claims (6)

1.一种有机电致发光元件的制造方法，是制造具有一对电极和位于该电极间的有机层的有机电致发光元件的方法，其中，包括下述工序：

提供下述基板的工序，所述基板为多个间隔壁大致平行地对置配置，且在所述间隔壁的与基板侧的面相对置的面，沿着该间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部的基板；和

通过使用以与所述间隔壁和所述基板所形成的凹部相对应的方式大致平行地相对配置多个凸部而成的凸版印刷版，将含有所述有机层材料的墨液供给至所述凹部，而形成所述有机层的工序。

2.如权利要求1所述的有机电致发光元件的制造方法，其中，所述槽部贯通间隔壁而设置。

3.如权利要求1所述的有机电致发光元件的制造装置，其中，垂直于基板的厚度方向及所述长度方向的方向上的所述槽部的宽度为5μm～30μm。

4.如权利要求1所述的有机电致发光元件的制造方法，其中，所述间隔壁的高度为0.1μm以上。

5.一种发光装置，其包括：

基板；

大致平行地相对置地载置于所述基板上的多个间隔壁；

具有设置于所述基板上的一对电极及位于该电极间的有机层的有机电致发光元件，

其中，所述有机层形成于所述间隔壁之间，

在所述间隔壁的与基板侧的面对置的面，沿着该间隔壁的长度方向贯通地设置有槽部。

6.一种显示装置，其具有权利要求5所述的发光装置。

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