CN102729628A - 喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够对从喷嘴喷出的液滴的重量偏差进行高精度校正的喷嘴喷出量的修正方法、使用了该方法的液滴的喷出方法、有机EL元件的制造方法。在本应用例的喷嘴喷出量的修正方法中，根据未进行从喷嘴喷出的液滴的重量修正时向喷出区域喷出的全部液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差值，阶段性地进行喷嘴列单位的数量的量的修正量计算，以使得修正后的喷嘴列单位的液滴的重量、与向上述喷出区域进行喷出的其他喷嘴列单位的液滴的重量的合计值C成为规定量B。这样的修正可以以喷出单位或者扫描单位为基准进行。

Description

喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法
技术领域
本发明涉及喷嘴喷出量的修正方法、液滴的喷出方法以及有机EL元件的制造方法。
背景技术
以往，公知有一种将包含功能性材料的液状体作为液滴从喷墨头的喷嘴喷出而形成薄膜的液滴喷出法(喷墨法)。作为在液滴喷出法中形成的薄膜的代表例，有滤色器、有机EL面板的发光层。
喷墨头具有存储液状体的多个空腔、与该空腔连通且沿一个方向排列的多个喷嘴、对各空腔内的液状体进行加压的多个致动器(例如压电元件、电阻加热元件等)。喷墨头通过向基于描绘数据而选择出的致动器输入共用的驱动波形信号，从与各致动器对应的喷嘴喷出液状体的液滴。在喷墨法中，通过将液状体作为液滴从喷墨头的喷嘴向基板喷出，并使喷落在基板上的液滴干燥来形成薄膜。
在喷墨法中，期望描绘对象的高精细化，同时还期望灰度表现出色的描绘，例如在专利文献1中公开了一种能够实现灰度表现出色的描绘的液滴喷头的驱动方法。
根据上述液滴喷头的驱动方法，对基于描绘数据而选择的喷嘴而言，致动器被施加与所设定的等级对应的多个不同的驱动波形信号，能够使喷出的液滴的平均重量成为预先规定的指定重量。因此，通过按每个等级生成的驱动波形信号的组合，能够对每个喷嘴较正向对象物上喷出的液状体(液滴)的总重量，可使液状体干燥而得到的薄膜的膜厚均匀性提高。并且，与利用单一的驱动波形信号使液滴喷出的情况相比，通过组合不同的驱动波形信号，相应地能够在上述平均重量的调整时提高其精度，并且能够扩展其自由度。
专利文献1：日本特开2008-136927号公报
但是，在对上述专利文献1所记载的多个液滴的平均重量进行等级划分的液滴喷头的驱动方法中，由于等级划分的灰度受到限制，所以难以充分地修正液滴的重量偏差。
在未充分进行液滴的重量偏差的修正的情况下，重量较大的液滴或重量较小的液滴沿基板的扫描方向连续。因此，由于即便重量较大的液滴和重量较小的液滴的重量差很微小，也会产生滤色器、有机EL面板的发光层等薄膜的膜厚差，在电光学装置的显示中被以高的灵敏度反映，所以存在使画质降低这一课题。
发明内容
本发明为了解决上述课题的至少一部分而提出，能够作为以下的方式或者应用例来实现。
[应用例1]
本应用例涉及的喷嘴喷出量的修正方法是对喷嘴列的每个喷嘴的致动器选择不同的多个驱动波形信号中的1个进行供给，对从上述喷嘴向喷出区域喷出的液滴的重量进行修正的喷嘴喷出量的修正方法，包括：第1步骤，根据未对上述每个喷嘴进行上述液滴的重量修正时向上述喷出区域喷出的全部液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差值，以修正后的第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、和向相同的上述喷出区域喷出的上述第1以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量的合计值C成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行上述第1喷嘴列单位或喷出单位或者扫描单位的修正计算；和第2步骤，根据在上述第1步骤中修正后的向上述喷出区域喷出的计算上的全部液滴的重量的合计值D与上述规定量B的差值，以修正后的上述第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、向相同的上述喷出区域喷出的修正后的第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、与向相同的上述喷出区域喷出的上述第1和上述第2以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量的合计值E成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的修正计算；
阶段性地进行上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的量的修正量计算。
根据本应用例，由于按照在一个喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位中喷出区域的全部液滴的重量的合计值A、C成为规定量B的方式进行修正，所以能够使向喷出区域喷出液滴的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的修正灰度以乘方增加。由此，可充分进行每个喷嘴喷出的液滴的重量偏差的修正，能够使利用多个喷嘴在喷出区域形成的薄膜的膜厚均匀化。
[应用例2]
在上述应用例所述的喷嘴喷出量的修正方法中，上述液滴的重量的修正量计算的顺序、和从上述喷嘴向上述喷出区域喷出上述液滴的上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的顺序不相同。
根据本应用例，由于对实际的液滴的喷出顺序没有限制，所以能够更加灵活地进行喷出，由此，能够对喷出液滴的对象物进行最佳的喷出。
[应用例3]
在上述应用例所述的喷嘴喷出量的修正方法中，优选向相同的上述喷出区域喷出上述液滴的各个上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位中的选择喷嘴不相同。
根据本应用例，由于按各个喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位以不同的喷嘴向喷出区域进行喷出，所以当在每个喷嘴的液滴的喷出重量的测定上产生误差时，能够使该误差分散，因此，能够充分地进行液滴的重量偏差的修正。
[应用例4]
在上述应用例所述的喷嘴喷出量的修正方法中，向相同的上述喷出区域喷出上述液滴的各个上述喷嘴列单位或者喷出单位或扫描单位中的上述液滴的喷出次数不均等。
根据本应用例，由于能够根据喷出区域自由设定液滴喷出次数，所以可向喷出区域喷出最佳的液滴的重量，同时能够充分地进行液滴的重量偏差的修正。
[应用例5]
在上述应用例所述的喷嘴喷出量的修正方法中，可以通过从以时间序列排列的上述不同的多个驱动波形信号中选择一个来进行上述每个喷嘴的上述液滴的重量的修正。
根据本应用例，液滴重量的修正方法不限于因多用(multicommon)而从不同的多个驱动波形信号中选择一个的方法，也能够在从时分驱动波形信号中选择一个的方法中应用，即便是不具备多用的喷墨头，也能够充分地进行液滴的重量偏差的修正。
[应用例6]
在上述应用例所述的液滴的喷出方法中，使用上述应用例的喷嘴喷出量的修正方法，根据上述第1步骤以及上述第2步骤的修正计算的结果，生成向上述每个喷嘴的致动器供给的多个上述驱动波形信号，从选择出的上述喷嘴向上述喷出区域喷出上述液滴。
根据本应用例，由于按照在一个喷嘴列单位或者喷出单位或扫描单位中喷出区域的全部液滴的重量的合计值A成为规定量B的方式进行修正，所以能够使向喷出区域喷出液滴的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的修正灰度以乘方增加。即，能够提供可充分地进行液滴的重量偏差的修正的液滴的喷出方法。
[应用例7]
上述应用例所述的有机EL元件的制造方法是在基板上划分形成的多个膜形成区域上具有包含发光层的功能层的有机EL元件的制造方法，具备：使用上述应用例的液滴的喷出方法，向上述多个膜形成区域喷出含有功能性材料的液状体的喷出工序；和使喷出的上述液状体固化，形成上述功能层的固化工序。
根据本应用例，由于对作为涂敷区域的膜形成区域稳定地赋予需要量的液状体，所以如果在固化工序中使赋予的液状体固化，则在每个膜形成区域形成具有几乎恒定的膜厚的功能层。因此，能够减少功能层的膜厚不均所引起的亮度不均匀、发光不均匀，制造出成品率较高的有机EL元件。
[应用例8]
在上述应用例所述的有机EL元件的制造方法中，上述喷出工序向所希望的上述膜形成区域喷出可得到不同的发光色的多种上述液状体，上述固化工序使喷出的多种上述液状体固化，至少形成红、绿、蓝3色的上述发光层。
根据本应用例，能够制造出成品率较高的可得到全彩色发光的有机EL元件。
[应用例9]
在上述应用例所述的有机EL元件的制造方法中，上述喷出工序将多种上述液状体分别填充到不同的喷头中，按每个上述液状体进行修正量计算和驱动波形信号的生成。
根据本应用例，即便向膜形成区域赋予的每个液状体的需要量不同，也能够恰当地进行喷出量的修正，可以形成具有所希望的膜厚的发光层。
附图说明
图1是表示本实施方式涉及的液滴喷出装置的构成的概要立体图。
图2(a)是表示喷头的构成的概要立体图，(b)是表示喷嘴的配置状态的俯视图。
图3是表示喷头的构造的概要剖视图。
图4是表示液滴喷出装置的电气构成的模块电路框图。
图5(a)是表示进行修正前的向各喷出区域喷出的喷出重量的分布的图，(b)是表示每个喷出区域的喷嘴列的修正量的分布的图，(c)是表示喷嘴列在修正后的每个喷出区域的喷出重量的分布的图，(d)是表示每个喷出区域的喷嘴列的修正量的分布的图，(e)是表示喷嘴列在修正后的每个喷出区域的喷出重量的分布的图。
图6是表示不同的驱动电压的第1～第4驱动波形信号的图。
图7是表示串行图案数据SIA的数据结构的图。
图8是表示状态(state)切换信号CHA的状态的区分的真值表。
图9是表示串行公用选择数据SIB的数据构成的图。
图10是表示前驱动波形信号COMF和后驱动波形信号COML中的第1～第4驱动波形信号的选择方法的真值表。
图11是表示状态切换信号CHB的状态的区分的真值表。
图12是表示头驱动电路的构成的框图。
图13是表示输出控制信号电路的构成的框图。
图14是表示图案数据合成电路的构成的框图。
图15是表示公用选择控制信号生成电路的构成的框图。
图16是用于说明向各压电元件供给的驱动波形信号的时序图。
图17是表示本实施方式涉及的有机EL装置的概要主视图。
图18是表示本实施方式涉及的有机EL装置的主要部分概要剖视图。
图19是表示本实施方式涉及的有机EL装置的制造方法的流程图。
图20(a)～(d)是表示本实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的概要剖视图。
图21(a)～(d)是表示本实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的概要剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。应予说明，在以下的各图中，为了使各层、各部件为能够识别程度的大小，使各层、各部件的尺度与实际不同。
<液滴的喷出装置>
首先，参照图1～图15，对可将包含功能性材料的液状体作为液滴向被喷出物喷出的液滴喷出装置进行说明。本实施方式的液滴喷出装置是适于后述的有机EL元件的制造方法的装置。
图1是表示本实施方式涉及的液滴喷出装置的构成的概要立体图。
在图1中，液滴喷出装置10具有形成为长方体形状的基台11。在基台11的上表面形成有沿其长度方向(Y方向)延伸的一对引导槽12，在一对引导槽12上安装有基板工作台(stage)13。基板工作台13与设置在基台11上的工作台马达的输出轴连结。基板工作台13以使喷出面6a为上侧的状态载置作为工件的基板6(W)，对该基板6(W)进行定位固定。基板工作台13在工作台马达正转或者反转时，沿引导槽12以规定的速度被扫描，使基板6(W)沿Y方向扫描。
在基台11的上侧，沿与Y方向垂直的X方向架设有形成为门型的引导部件14。在引导部件14的上侧配设有墨盒15。墨盒15存储包含功能性材料的液状体(有机EL用墨水Ik)，以规定的压力导出有机EL用墨水Ik。
在引导部件14上形成有沿X方向延伸的上下一对导轨16，在上下一对导轨16上安装有滑架17。滑架17与设置在引导部件14的滑架马达的输出轴连结。在滑架17的下侧搭载有沿X方向排列的多个液滴喷头18(以下简称为喷头18)。滑架17在滑架马达正转或者反转时沿导轨16被扫描，使各喷头18沿X方向扫描。
图2(a)是表示喷头的构成的概要立体图，图2(b)是表示喷嘴的配置状态的俯视图，图3是表示喷头的构造的概要剖视图。
如图2(a)所示，喷头18是所谓的2连式喷头，具备：具有2个连接针42的墨水(液状体)的导入部21a、在导入部21a上层叠的头基板20、配置在头基板20上且在内部形成有墨水(液状体)的头内流路(空腔)的头主体21b。
连接针42通过配管与上述的墨盒15连接，向头内流路供给墨水(液状体)。
在头基板20上设置有通过可挠性扁平线缆(省略图示)与头驱动电路41(参照图4)连接的2连的连接器20a。
头主体21b具备：由压电元件构成的具有空腔的加压部21c、和在喷嘴面19a上相互平行地形成有2个喷嘴列22a、22b的喷嘴板19。
如图2(b)所示，2个喷嘴列22a、22b的多个(180个)喷嘴22分别以间距P1近似等间隔排列，且以相互错开了间距P1的一半的间距P2的状态配设于喷嘴面19a。该情况下，间距P1大约是141μm。因此，如果从与喷嘴列22c垂直的方向观察，则成为360个喷嘴22大约以70.5μm的喷嘴间距排列的状态。另外，喷嘴22的直径大约为27μm。以下，也有将多个喷嘴22统称为喷嘴N的情况。
如图3所示，在加压部21c中形成有与各个喷嘴N连通的空腔23。各空腔23存储上述墨盒15导出的墨水(液状体)并向对应的喷嘴N供给。在各空腔23的上侧粘贴有能够沿上下方向振动的振动板24，可使对应的空腔23的容积放大以及缩小。在振动板24的上侧分别配设有作为致动器的压电元件PZ。各压电元件PZ在被施加驱动信号(驱动波形信号COM)时，沿上下方向收缩以及伸长而使对应的振动板24振动。
各空腔23在各自对应的振动板24振动时，分别使对应的喷嘴N的弯液面沿上下方向振动，将与驱动波形信号COM(驱动电压)对应的规定重量的墨水(液状体)作为液滴D从对应的喷嘴N喷出。喷出的液滴D沿基板6(W)的近似法线飞行，喷落在与喷嘴N相对置的喷出面6a上的位置。在喷出面6a上设置有后述的对发光像素76进行划分的隔壁部94，使液滴D喷落在被隔壁部94包围的喷出区域(涂敷区域或膜形成区域)。
图1中，在基台11的左侧配设有液滴重量测量装置26。液滴重量测量装置26对每一个喷嘴N测量液滴D的重量(实重Iw)，能够使用公知的重量测量装置。液滴重量测量装置26例如能够使用以托盘盛装喷出的液滴D而测量液滴D的电子天平。另外，液滴重量测量装置26能够使用利用具有电极的压电振子，向该电极喷出液滴D，基于因液滴D的喷落而变化的压电振子的谐振频率来检测出液滴D的实重Iw的装置。
这里，将从列内的所有喷嘴N喷出的各液滴D的实重Iw的平均值称为平均实重Iwcen。其中，在将喷出的液滴D中最大的实重Iw设为Iwmax，将最小的实重Iw设为Iwmin时，平均实重Iwcen通过Iwcen＝(Iwmax+Iwmin)/2来规定。针对安装于滑架17的多个喷头18的每一个，规定平均实重Iwcen。
接下来，根据图4～图18对上述液滴喷出装置10的电气构成进行说明。
图4是表示液滴喷出装置的电气构成的电路框图。
在图4中，控制装置30使液滴喷出装置10执行各种处理动作。控制装置30具有：外部I/F31；由CPU等构成的控制部32；由DRAM以及SRAM构成，作为存储各种数据的存储单元的RAM33；和存储各种控制程序的ROM34。而且，控制装置30具有：生成时钟信号的振荡电路35；作为生成驱动波形信号COM的驱动波形信号生成单元的驱动波形生成电路36；用于驱动液滴重量测量装置26的重量装置驱动电路37；用于对基板工作台13、滑架17进行扫描的马达驱动电路38；和发送各种信号的内部I/F39。控制装置30通过外部I/F31与输入输出装置40连接。另外，控制装置30通过内部I/F39与基板工作台13、滑架17、液滴重量测量装置26以及和喷头18的每一个对应的多个头驱动电路41连接。
输入输出装置40是具有例如CPU、RAM、ROM、硬盘、液晶显示器等的外部计算机。输入输出装置40根据ROM或者硬盘中存储的控制程序，向外部I/F31输出用于驱动液滴喷出装置10的各种控制信号。外部I/F31从输入输出装置40接收描绘数据Ip、基准驱动电压数据Iv以及头数据Ih等。
这里，描绘数据Ip是指与有机EL元件的位置、膜厚相关的信息、与液滴D的喷出位置相关的信息、与基板工作台13的扫描速度相关的信息等用于向喷出面6a的各像素9(参照图3)喷出液滴D的各种数据。
基准驱动电压数据Iv是指与用于将平均实重Iwcen较正为预先规定的指定重量(基准重量)的驱动电压(基准驱动电压Vh0)相关的数据。由于各喷头18的平均实重Iwcen不同，所以按每一个喷头18规定基准驱动电压数据Iv。即，基准驱动电压数据Iv是指用于将各喷头18的平均实重Iwcen较正为共用的基准重量的数据。
头数据Ih是指将喷嘴N(压电元件PZ)的每一个分类成4个等级的数据，基于各喷嘴N喷出的液滴D的重量来划分等级。该数据是按向相同的喷出区域(子像素；与后述的膜形成区域相当)喷出液滴的喷嘴列22a的喷嘴Na与喷嘴列22b的喷嘴Nb的每一对，组合各液滴D的重量而依次作成的。
在图4中，RAM33被作为接收缓冲器33a、中间缓冲器33b、输出缓冲器33c而利用。
ROM34存储控制部32所执行的各种控制程序和用于执行该控制程序的各种数据。ROM34例如存储用于使灰度与各点(dot)对应的灰度数据、用于使和等级对应的驱动波形信号COM与此时的各喷嘴N建立对应关系的等级数据。
灰度数据是用于由多个液滴D形成一个点，并通过是否喷出液滴D(即喷出、非喷出)这一2灰度模拟表现多灰度的数据。
等级数据是用于使各等级(“1”～“4”)分别与由4种不同的驱动波形信号COM(第1驱动波形信号COMA、第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD)构成的4种中的任意一个对应的数据。即，等级数据是用于使与等级相应的驱动波形信号COM和所有喷嘴N的每一个建立对应关系的数据。
在图4中，振荡电路35生成用于使各种数据、各种驱动信号同步的时钟信号。振荡电路35生成例如在各种数据的串行传送时利用的传送时钟SCLK。振荡电路35生成在被串行传送后的各种数据的并行变换时利用的锁存信号(图案数据用锁存信号LATA、公用选择数据用锁存信号LATB)。另外，振荡电路35分别生成对液滴D的喷出定时进行规定的状态切换信号CHA、对驱动波形信号COM的切换定时进行规定的公用切换信号CHB。
驱动波形生成电路36具有波形存储器36a、锁存电路36b、D/A变换器36c、放大器36d。波形存储器36a将用于生成各驱动波形信号COM的波形数据与规定的地址对应地储存。锁存电路36b以规定的时钟信号锁存控制部32从波形存储器读出的波形数据。D/A变换器36c将锁存电路36b锁存的波形数据变换成模拟信号，放大器36d对D/A变换器36c变换后的模拟信号进行放大，同时生成驱动波形信号COM。
控制部32在输入输出装置40输入基准驱动电压数据Iv时，经由驱动波形生成电路36参照基准驱动电压数据Iv，读出波形存储器36a的波形数据。而且，控制部32经由驱动波形生成电路36，生成与喷出频率同步的4种驱动波形信号COM(第1驱动波形信号COMA、第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD)。
控制部32通过驱动波形生成电路36生成第1～第4驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD，分别作为由与等级“1”～“4”对应的不同的驱动电压构成的信号。
图6是表示不同的驱动电压的第1～第4驱动波形信号的图。
例如，如图6所示，控制部32生成第1驱动波形信号COMA作为由与等级“1”的喷嘴N对应的驱动电压(第1驱动电压Vha)构成的信号。第1驱动电压Vha是比基准驱动电压Vh0高的电压。由此，等级“1”的喷嘴N在对应的压电元件PZ被输入图6那样的第1驱动波形信号COMA时，使对应的压电元件PZ的驱动量(伸缩量)增大与第1驱动电压Vha对应的量来较正液滴D的实重Iw，使该液滴D的实重Iw成为平均实重Iwcen(基准重量)。
同样，如图6所示，控制部32通过驱动波形生成电路36分别以与等级“2”、等级“3”、等级“4”对应的驱动电压(第2驱动电压Vhb、第3驱动电压Vhc、第4驱动电压Vhd)生成第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD。等级“2”、等级“3”、等级“4”的喷嘴N在各自对应的压电元件PZ被输入第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD时，根据与等级对应的驱动电压来较正液滴D的实重Iw，使该液滴D的实重Iw成为基准重量。
由此，所有喷嘴N(压电元件PZ)在分别被输入与等级对应的驱动波形信号COM时，能够使各液滴D的实重Iw的平均值归一化为共用的基准重量。
在图4中，控制部32输出与重量装置驱动电路37对应的驱动控制信号。重量装置驱动电路37响应于来自控制部32的驱动控制信号，通过内部I/F39对液滴重量测量装置26进行驱动。
控制部32输出与马达驱动电路38对应的驱动控制信号。马达驱动电路38响应于来自控制部32的驱动控制信号，通过内部I/F39扫描基板工作台13、滑架17。
控制部32将外部I/F31接收到的描绘数据Ip暂时存储到接收缓冲器33a中。控制部32将描绘数据Ip变换为中间编码，作为中间编码数据存储到中间缓冲器33b中。控制部32从中间缓冲器33b读出中间编码数据，并参照ROM34内的灰度数据展开成点图案数据，将该点图案数据存储到输出缓冲器33c中。
点图案数据是用于使点图案栅格(lattic)的各栅格点分别与点的灰度(驱动脉冲的图案)对应的数据。点图案数据是使2维描绘平面(喷出面6a)的各位置(点图案栅格的各栅格点)分别与2比特的值(“00”、“01”、“10”或“11”)对应的数据。其中，点图案栅格是规定了点的灰度的最小间隔的栅格。
若展开与基板工作台13的1次扫描量相当的点图案数据，则控制部32利用该点图案数据生成与传送时钟SCLK同步的串行数据，经由内部I/F39，使该串行数据串行传送至头驱动电路41。若串行传送了1次扫描量的点图案数据，则控制部32消除中间缓冲器33b的内容，针对下一个中间编码数据执行展开处理。
这里，将利用点图案数据而生成的串行数据称为串行图案数据SIA。串行图案数据SIA以沿扫描方向的点图案栅格的栅格单位生成。
图7是表示串行图案数据SIA的数据构成的图。
如图7所示，串行图案数据SIA具有喷嘴N的数量(180个)的用于选择点的灰度的2比特的值。串行图案数据SIA具有：由用于选择点的灰度的2比特的值中的上位比特构成的180比特的上位选择数据SIH、和由下位比特构成的180比特的下位选择数据SIL。另外，串行图案数据SIA除了具有上位选择数据SIH以及下位选择数据SIL外，还具有图案数据SP。
图案数据SP是由使通过上位选择数据SIH和下位选择数据SIL规定的4个值的每一个、与8比特的数据(各开关数据Pnm(nm＝00～03、10～13、...、70～73)对应的32比特构成的数据。各开关数据Pnm(nm＝00～03、10～13、...、70～73)分别是用于对压电元件PZ的接通、断开进行规定的数据。
图8是表示状态切换信号CHA的状态的区分的真值表。
如图8所示，状态切换信号CHA是以液滴D的喷出频率生成的脉冲信号。这里，将按状态切换信号CHA的每一个脉冲规定的状况称为“状态(state)”。状态切换信号CHA将生成先行的图案数据用锁存信号LATA到生成后续的图案数据用锁存信号LATA的期间的状况区分成多个状态(例如“0”～“7”的各状态)。其中，生成先行的图案数据用锁存信号LATA到生成后续的图案数据用锁存信号LATA之间的期间与各喷嘴N分别和点图案栅格的单位栅格相对置的期间相当。
控制部32通过头驱动电路41，根据图8所示的真值表，使图案数据SP的各数据(各开关数据Pnm)分别与各状态对应。例如，控制部32通过头驱动电路41，使上位选择数据SIH为“0”、下位选择数据SIL为“0”的喷嘴N(压电元件PZ)与开关数据P00、P10、...、P70对应。控制部32使开关数据P00、P10、...P70分别与“0”～“7”的各状态对应。而且，控制部32通过头驱动电路41，以被设定为“1”的开关数据P00～P70的状态向该压电元件PZ供给驱动波形信号COM。例如，在P00～P60为“0”、P70为“1”时，控制部32在状态为“0”～“6”期间断开压电元件PZ，在状态为“7”的定时接通该压电元件PZ。
同样，控制部32根据图8所示的真值表，使上位选择数据SIH以及下位选择数据SIL为“01”、“10”、“11”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与开关数据P01～P71、P02～P72、P03～P73对应。控制部32使开关数据P01～P71、P02～P72、P03～P73分别与“0”～“7”的各状态对应。而且，控制部32通过头驱动电路41，以开关数据P01～P71、P02～P72、P03～P73成为“1”的状态，向对应的压电元件PZ供给驱动波形信号COM。
由此，全部的喷嘴N在每当生成串行图案数据SIA时，分别针对对应的栅格实现以对应的上位选择数据SIH以及下位选择数据SIL选择的点灰度(即驱动脉冲的图案)。
在图4中，控制部32使外部I/F31接收到的头数据Ih暂时存在接收缓冲器33a中。控制部32将头数据Ih变换为中间编码，作为中间编码数据存储在中间缓冲器33b中。控制部32从中间缓冲器33b读出中间编码数据，参照ROM34内的等级数据将其展开为公用选择数据，并将该公用选择数据存储在输出缓冲器33c中。
公用选择数据是使上述点图案栅格的各栅格点分别与2比特的值(“00”、“01”、“10”、“11”)对应的数据，是用于使4个值的各个与第1～第4驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD的任意一个对应的数据。
若得到与基板工作台13的1次扫描量相当的公用选择数据，则控制部32利用公用选择数据生成与传送时钟SCLK同步的串行数据，通过内部I/F39将该串行数据串行传送至头驱动电路41。若串行传送了1次扫描量的公用选择数据，则控制部32消除中间缓冲器的内容，针对下一中间编码数据执行展开处理。
这里，将利用公用选择数据而生成的串行数据称为串行公用选择数据SIB。串行公用选择数据SIB与串行图案数据SIA相同，以沿扫描方向的点图案栅格的栅格单位生成。
图9是表示串行公用选择数据SIB的数据结构的图。图10是表示前驱动波形信号COMF和后驱动波形信号COML中的第1～第4驱动波形信号的选择方法的真值表。
如图9所示，串行公用选择数据SIB由用于规定前驱动波形信号COMF的种类的前串行公用选择数据SFB、和用于规定后驱动波形信号COML的种类的后串行公用选择数据SLB构成。
前串行公用选择数据SFB具有由规定前驱动波形信号COMF的种类的2比特的值中的上位比特构成的180比特的前上位选择数据SFH、和由下位比特构成的180比特的前下位选择数据SFL。另外，除了前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL外，还具有32比特的控制数据CR。
前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL是用于根据图10所示的真值表，使各喷嘴N(压电元件PZ)分别与驱动波形信号COM的种类对应的数据。
控制部32通过头驱动电路41，使用前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL，根据图10所示的真值表，使180个各喷嘴N(压电元件PZ)分别与驱动波形信号COM的种类对应。例如，控制部32通过头驱动电路41，使前上位选择数据SFH为“0”、前下位选择数据SFL为“0”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与第1驱动波形信号COMA对应。控制部32使前上位选择数据SFH和前下位选择数据SFL为“01”、“10”、“11”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD对应。
控制数据CR具有用于对设置于头驱动电路41的温度检测电路进行驱动的数据。另外，控制数据CR具有1比特的锁存选择数据AD。锁存选择数据AD是用于使各锁存器根据各比特的值(“1”或“0”)，对是否锁存前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL进行选择的数据。控制部32通过头驱动电路41，在锁存选择数据AD为“0”时，使前驱动波形信号COMF用的锁存器对前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL进行锁存。
后串行公用选择数据SLB具有由规定后驱动波形信号COML的种类的2比特的值中的上位比特构成的180比特的后上位选择数据SLH、和由下位比特构成的180比特的后下位选择数据SLL。后串行公用选择数据SLB除了后上位选择数据SLH以及后下位选择数据SLL 外，还具有32比特的虚拟(dummy)数据DM。
后上位选择数据SLH以及后下位选择数据SLL是用于根据图10所示的真值表，使各喷嘴N(压电元件PZ)与驱动波形信号COM的种类对应的数据。控制部32通过头驱动电路41，根据后上位选择数据SLH以及后下位选择数据SLL和图10所示的真值表，使180个各喷嘴N(压电元件PZ)分别与驱动波形信号COM的种类对应。例如，控制部32通过头驱动电路41，使后上位选择数据SLH为“0”、后下位选择数据SLL为“0”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与第1驱动波形信号COMA对应。控制部32使后上位选择数据SLH和后下位选择数据SLL为“01”、“10”、“11”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD对应。
其中，将基于前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL选择向各压电元件PZ供给的驱动波形信号COM的状况称为前选择。另外，将基于后上位选择数据SLH以及后下位选择数据SLL选择向各压电元件PZ供给的驱动波形信号COM的状况称为后选择。
虚拟数据DM是用于通过与串行图案数据SIA相同的传送时钟SCLK传送对应的后串行公用选择数据SLB的数据。虚拟数据DM除了具有成为无效的数据外，还具有上述锁存选择数据AD。
控制部32通过头驱动电路41，在锁存选择数据AD的比特值为“1”时，使后驱动波形信号COML用的锁存器对后上位选择数据SLH以及后下位选择数据SLL进行锁存。
图11是表示状态切换信号CHB的状态的区分的真值表。
如图11所示，公用切换信号CHB是对向各压电元件PZ供给的驱动波形信号COM的选择状态(公用选择状态：“F”或“L”)进行切换的信号。即，公用切换信号CHB是用于切换前选择(公用选择状态为“F”的状态)和后选择(公用选择状态为“L”的状态)的信号。
公用选择状态与公用切换信号CHB的上升同步地切换成“F”(前选择)或“L”(后选择)。公用选择状态在图案数据用锁存信号LATA为“H”电平(高电位的电平)，且公用切换信号CHB为“L”电平时，被初始化为“F”状态(前选择)。公用选择状态在图案数据用锁存信号LATA为“H”电平，且公用切换信号CHB为“H”电平时，被设置为“L”状态(后选择)。
接下来，参照图12对头驱动电路41进行说明。图12是表示头驱动回路的构成的框图。
如图12所示，头驱动电路41具有作为输出控制信号生成单元的输出控制信号生成电路50、和作为公用选择控制信号生成单元的公用选择控制信号生成电路60。而且，头驱动电路41具有：输出合成电路70(第1～第4公用输出合成电路70A、70B、70C、70D)和对逻辑系统的信号进行升压并升压为模拟开关的驱动电压电平的电平移位器(levelshifter)71(第1～第4公用用电平移位器71A、71B、71C、71D)。而且，头驱动电路41具有：具备用于向压电元件PZ供给各驱动波形信号COM的模拟开关的4个系统的开关电路72(第1～第4公用用开关电路72A、72B、72C、72D)。由上述输出合成电路70、电平移位器71以及开关电路72构成输出单元。
首先，对用于生成输出控制信号PI的输出控制信号生成电路50进行以下说明。图13是表示输出控制信号电路的构成的框图。
如图13所示，输出控制信号生成电路50具有移位寄存器51、锁存器52、状态计数器53、选择器54和图案数据合成电路55。
移位寄存器51具有图案数据寄存器51A、下位选择数据寄存器51B和上位选择数据寄存器51C，被从控制装置30输入串行图案数据SIA和传送时钟SCLK。
图案数据寄存器51A被串行传送串行图案数据SIA中的图案数据SP，根据传送时钟SCLK依次位移而存储32比特的图案数据SP。下位选择数据寄存器51B被串行传送串行图案数据SIA中的下位选择数据SIL，根据传送时钟SCLK依次位移而存储180比特的下位选择数据SIL。上位选择数据寄存器51C被串行传送串行图案数据SIA中的上位选择数据SIH，根据传送时钟SCLK依次位移而存储180比特的上位选择数据SIH。
锁存器52具有图案数据锁存器52A、下位选择数据锁存器52B和上位选择数据锁存器52C，被从控制装置30输入图案数据用锁存信号LATA。
在被输入图案数据用锁存信号LATA时，图案数据锁存器52A锁存图案数据寄存器51A的数据、即图案数据SP。在被输入图案数据用锁存信号LATA时，下位选择数据锁存器52B锁存下位选择数据寄存器51B的数据、即下位选择数据SIL。在被输入图案数据用锁存信号LATA时，上位选择数据锁存器52C锁存上位选择数据寄存器51C的数据、即上位选择数据SIH。
状态计数器53是3比特的计数器电路，根据状态切换信号CHA的上升沿进行计数，使状态变化。状态计数器53对状态进行从“0”至“7”的计数后，通过被输入状态切换信号CHA而使状态返回为“0”。另外，状态计数器53在LATA信号变为“H”电平(高电位的电平)时被复位，使状态返回为“0”。状态计数器53在被从控制装置30输入状态切换信号CHA和图案数据用锁存信号LATA时，对状态的值进行计数并输入至选择器54。
选择器54基于状态计数器53输出的状态的值、和图案数据锁存器52A锁存的图案数据SP，选择与状态的值对应的开关数据Pn0～Pn3，并将选择出的开关数据Pn0～Pn3输出给图案数据合成电路55。即，选择器54在图案数据用锁存信号LATA被输入给图案数据锁存器52A时，读入被图案数据锁存器52A锁存的图案数据SP，根据图8所示的真值表，选择与状态的值“n”对应的开关数据Pn0～Pn3。例如，选择器54在状态计数器53的状态为“0”时，将与状态“0”对应的图案数据SP、即图8所示的开关数据P00～P03输出给图案数据合成电路55。
图案数据合成电路55被从选择器54输入各开关数据Pn0～Pn3，读入下位选择数据锁存器52B锁存的下位选择数据SIL、和上位选择数据锁存器52C锁存的上位选择数据SIH。图案数据合成电路55使用各开关数据Pn0～Pn3、下位选择数据SIL和上位选择数据SIH，根据图8所示的真值表，按每个状态生成针对180个喷嘴N规定了液滴的喷出、非喷出(各比特的值：“0”或“1”)的180比特的数据(输出控制信号PI)。
图14是表示图案数据合成电路的构成的框图。
如图14所示，图案数据合成电路55例如由与一个喷嘴N对应的4个AND门55a、55b、55c、55d和被输入这些AND门55a、55b、55c、55d的输出的OR门55e构成。AND门55a、55b、55c、55d分别被输入上位选择数据SIH、下位选择数据SIL和对应的开关数据Pn0～Pn3。在上位选择数据SIH和下位选择数据SIL为“00”时，仅AND门55a有效，开关数据Pn0(“0”或“1”)作为对应的喷嘴N的输出控制信号PI被输出。另外，在上位选择数据SIH和下位选择数据SIL为“01”、“10”“00”时，分别仅AND门55b、55c、55d有效，开关数据Pn1、Pn2、Pn3(“0”或“1”)作为对应的喷嘴N的输出控制信号PI被输出。由此，与图8所示的真值表对应的开关数据Pnm作为输出控制信号PI被输出。
接下来，对用于生成各公用选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD的公用选择控制信号生成电路60进行以下说明。
图15是表示公用选择控制信号生成电路的构成的框图。
如图15所示，公用选择控制信号生成电路60具有移位寄存器61、锁存器62、公用选择状态生成电路63和公用选择数据解码电路64。
移位寄存器61具有控制数据寄存器61A、下位选择数据寄存器61B和上位选择数据寄存器61C，被从控制装置30输入串行公用选择数据SIB和传送时钟SCLK。
控制数据寄存器61A被串行传送串行公用选择数据SIB中的控制数据CR，根据传送时钟SCLK依次位移而存储32比特的控制数据CR。或者，控制数据寄存器61A被串行传送串行公用选择数据SIB中的虚拟数据DM，通过传送时钟SCLK依次位移而存储32比特的虚拟数据DM。
下位选择数据寄存器61B被串行传送串行公用选择数据SIB中的下位选择数据SXL(前下位选择数据SFL或后下位选择数据SLL)，根据传送时钟SCLK依次位移而存储180比特的下位选择数据SXL。上位选择数据寄存器61C被串行传送串行公用选择数据SIB中的上位选择数据SXH(前上位选择数据SFH或后上位选择数据SLH)，根据传送时钟SCLK依次位移而存储180比特的上位选择数据SXH。
锁存器62具有控制数据锁存器62A、前下位选择数据锁存器62B、前上位选择数据锁存器62C、后下位选择数据锁存器62D和后上位选择数据锁存器62E，被从控制装置30输入公用选择数据用锁存信号LATB和锁存选择数据AD。
控制数据锁存器62A在被输入公用选择数据用锁存信号LATB时，锁存控制数据寄存器61A的数据、即控制数据CR或虚拟数据DM，向规定的控制电路(例如温度检测电路等)输出锁存的数据。
前下位选择数据锁存器62B在被输入公用选择数据用锁存信号LATB时，读入控制数据寄存器61A所储存的锁存选择数据AD，在该锁存选择数据AD为“0”时，锁存下位选择数据寄存器61B的数据、即前下位选择数据SFL。另外，前上位选择数据锁存器62C在被输入公用选择数据用锁存信号LATB时，读入控制数据寄存器61A所存储的锁存选择数据AD，在该锁存选择数据AD为“1”时，锁存上位选择数据寄存器61C的数据、即前下位选择数据SFL。
后下位选择数据锁存器62D在被输入公用选择数据用锁存信号LATB时，读入控制数据寄存器61A所存储的锁存选择数据AD，在该锁存选择数据AD为“1”时，锁存下位选择数据寄存器61B的数据、即后下位选择数据SLL。另外，后上位选择数据锁存器62E在被输入公用选择数据用锁存信号LATB时，读入控制数据寄存器61A所存储的锁存选择数据AD，在该锁存选择数据AD为“0”时，锁存上位选择数据寄存器61C的数据、即后下位选择数据SLL。
公用选择状态生成电路63是1比特的计数器电路，根据公用切换信号CHB的上升沿进行计数。公用选择状态生成电路63如图11所示，根据公用切换信号CHB的状态和图案数据用锁存信号LATA的状态，将公用选择状态切换成“F”(前选择)或“L”(后选择)，将与该公用选择状态相关的信号输出给公用选择数据解码电路64。
公用选择数据解码电路64在公用选择状态为“F”时，读入前下位选择数据锁存器62B锁存的前下位选择数据SFL、和前上位选择数据锁存器62C锁存的前上位选择数据SFH。公用选择数据解码电路64使用前下位选择数据SFL以及前上位选择数据SFH，根据图10所示的真值表，对4个不同的驱动波形信号COM的各个是否使用(选择/非选择)进行规定。公用选择数据解码电路64生成针对180个喷嘴N的每一个规定了各驱动波形信号COM的选择/非选择的数据。
另外，公用选择数据解码电路64在公用选择状态为“L”时，读入后下位选择数据锁存器62D锁存的后下位选择数据SLL、和后上位选择数据锁存器62E锁存的后上位选择数据SLH。公用选择数据解码电路64使用后下位选择数据SLL以及后上位选择数据SLH，根据图10所示的真值表，对4个不同的驱动波形信号COM的各个是否使用(选择/非选择)进行规定。公用选择数据解码电路64生成针对180个喷嘴N的每一个规定了各驱动波形信号COM的选择/非选择的数据。
即，公用选择数据解码电路64在公用选择状态为“F”的期间，生成针对180个喷嘴N的每一个规定了前驱动波形信号COMF的任意一个的数据。公用选择数据解码电路64在公用选择状态为“L”的期间，生成针对180个喷嘴N的每一个规定了后驱动波形信号COML的任意一个的数据。
这里，将对第1驱动波形信号COMA的选择/非选择进行了规定的数据称为第1公用选择控制信号PXA。另外，将对第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD的选择/非选择进行了规定的数据分别称为第2公用选择控制信号PXB、第3公用选择控制信号PXC、第4公用选择控制信号PXD。
在图12中，输出合成电路70具有第1公用输出合成电路70A、第2公用输出合成电路70B、第3公用输出合成电路70C和第4公用输出合成电路70D。各输出合成电路70A、70B、70C、70D分别被从输出制御信号生成电路50共通输入180比特的输出控制信号PI。另外，各输出合成电路70A、70B、70C、70D分别被从公用选择控制信号生成回路60输入第1公用选择控制信号PXA、第2公用选择控制信号PXB、第3公用选择控制信号PXC和第4公用选择控制信号PXD。
第1～第4公用输出合成电路70A、70B、70C、70D分别由与一个喷嘴N对应的AND门构成。第1公用输出合成电路70A的各AND门分别被输入对应的输出控制信号PI和对应的第1公用选择控制信号PXA。第1公用输出合成电路70A的各AND门分别输出对是否向对应的压电元件PZ供给第1驱动波形信号COMA(供给/非供给)进行了规定的信号(第1选择公用输出控制信号CPA)。第2公用输出合成电路70B的各AND门分别被输入对应的输出控制信号PI和对应的第2公用选择控制信号PXB。第2公用输出合成电路70B的各AND门分别输出针对对应的压电元件PZ规定了第2驱动波形信号COMB的供给/非供给的信号(第2选择公用输出控制信号CPB)。第3公用输出合成电路70C的各AND门分别被输入对应的输出控制信号PI和对应的第3公用选择控制信号PXC。第3公用输出合成电路70C的各AND门分别输出针对对应的压电元件PZ规定了第3驱动波形信号COMC的供给/非供给的信号(第3选择公用输出控制信号CPC)。另外，第4公用输出合成电路70D的各AND门分别被输入对应的输出控制信号PI和对应的第4公用选择控制信号PXD。第4公用输出合成电路70D的各AND门输出针对对应的压电元件PZ规定了第4驱动波形信号COMD的供给/非供给的信号(第4选择公用输出控制信号CPD)。
第1公用输出合成电路70A例如在输出控制信号PI为“1”，且第1公用选择控制信号PXA为“1”时，输出用于向对应的压电元件PZ供给第1驱动波形信号COMA的第1选择公用输出控制信号CPA(比特值为“1”的信号)。相反，第1公用输出合成电路70A在输出控制信号PI为“0”或第1公用选择控制信号PXA为“0”时，输出用于不向该压电元件PZ供给第1驱动波形信号COMA的第1选择公用输出控制信号CPA(比特值为“0”的信号)。
由此，180个各喷嘴N(压电元件PZ)分别通过输出控制信号PI被决定液滴D的喷出/非喷出，由第1～第4公用选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD决定各驱动波形信号COM的供给/非供给。
电平移位器71具有第1～第4驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD用的4系统的电平移位器(第1公用用电平移位器71A、第2公用用电平移位器71B、第3公用用电平移位器71C、第4公用用电平移位器71D)。第1～第4公用用电平移位器71A、71B、71C、71D分别被从对应的输出合成电路70输入第1～第4选择公用输出控制信号CPA、CPB、CPC、CPD。第1～第4公用用电平移位器71A、71B、71C、71D分别将第1～第4选择公用输出控制信号CPA、CPB、CPC、CPD升压为模拟开关的驱动电压电平，输出与180个压电元件PZ对应的开闭信号。
开关电路72具有第1～第4驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD用的4系统的开关电路(第1公用用开关电路72A、第2公用用开关电路72B、第3公用用开关电路72C、第4公用用开关电路72D)。第1～第4公用用开关电路72A、72B、72C、72D分别具有与压电元件PZ对应的180个模拟开关。第1～第4公用用开关电路72A、72B、72C、72D分别被从对应的电平移位器71输入开闭信号。4系统的各模拟开关的输入端分别被输入对应的驱动波形信号COM，4系统的各模拟开关的输出端分别与对应的压电元件PZ共同连接。各模拟开关分别被从对应的电平移位器71输入开闭信号，在该开闭信号为“H”电平时，输出与对应的压电元件PZ对应的驱动波形信号COM。
由此，180个各喷嘴N(压电元件PZ)在分别根据输出控制信号PI而选择了液滴D的喷出动作时，根据第1～第4选择公用输出控制信号CPA、CPB、CPC、CPD来供给第1～第4驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD的任意一个。即，180个各喷嘴N(压电元件PZ)在选择液滴D的喷出动作时，被供给与等级对应的驱动波形信号COM。
接下来，对安装于液滴喷出装置10的液滴喷头18的驱动方法进行以下说明。图16是用于说明向各压电元件PZ供给的驱动波形信号COM的时序图。
首先，如图1所示，基板6(W)以其喷出面6a为上侧的状态被配置于基板工作台13。此时，基板工作台13将基板6(W)配置在滑架17的反Y箭头方向。根据该状态，输入输出装置40向控制装置30输入描绘数据Ip、基准驱动电压数据Iv和头数据Ih。
基准驱动电压数据Iv以及头数据Ih是分别基于由液滴重量测量装置26测量出的各液滴D的实重Iw而生成的。
该头数据Ih将位于最靠X箭头方向的喷嘴N(第1压电元件PZ1)分类为“1”等级，将从X箭头方向数第10个喷嘴N(第10压电元件PZ10)分类为“2”等级，将从X箭头方向数第20个喷嘴N(第20压电元件PZ20)分类为“3”等级。
控制装置30通过马达驱动电路38来扫描滑架17，按照当在Y箭头方向扫描基板6(W)时各喷头18在基板6(W)上通过的方式配置滑架17。如果配置了滑架17，则控制装置30通过马达驱动电路38开始基板工作台13的扫描。
控制装置30将被从输入输出装置40输入的头数据Ih展开成公用选择数据。如果展开与基板工作台13的1次扫描量相当的公用选择数据，则控制装置30如图16所示，使用公用选择数据生成串行公用选择数据SIB，并将该串行公用选择数据SIB与传送时钟SCLK同步地向头驱动电路41串行传送。
此时，控制装置30先行传送前串行公用选择数据SFB(前上位选择数据SFH、前下位选择数据SFL以及控制数据CR)，接着，传送后串行公用选择数据SLB(后上位选择数据SLH、后下位选择数据SLL以及虚拟数据DM)。其中，控制数据CR所包含的锁存选择数据AD被设定为“0”，虚拟数据DM所包含的锁存选择数据AD被设定为“1”。
控制装置30向头驱动电路41输出公用选择数据用锁存信号LATB，使头驱动电路41依次锁存前串行公用选择数据SFB和后串行公用选择数据SLB。即，头驱动电路41读出前串行公用选择数据SFB的控制数据CR所包含的锁存选择数据AD(“0”)，分别使前上位选择数据锁存器62C 以及前下位选择数据锁存器62B锁存前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL。另外，头驱动电路41读出后串行公用选择数据SLB的虚拟数据DM所包含的锁存选择数据AD(“1”)，分别使后上位选择数据锁存器62E 以及后下位选择数据锁存器62D锁存后上位选择数据SLH以及后下位选择数据SLL。
接下来，控制装置30将被从输入输出装置40输入的描绘数据Ip展开成点图案数据。如果展开与基板工作台13的1次扫描量相当的点图案数据，则控制装置30如图16所示，使用点图案数据生成串行图案数据SIA，并将该串行图案数据SIA与传送时钟SCLK同步地向头驱动电路41串行传送。
在基板工作台13到达规定的描绘开始位置时，控制装置30如图16所示，向头驱动电路41输出图案数据用锁存信号LATA，使头驱动电路41锁存串行图案数据SIA(上位选择数据SIH、下位选择数据SIL以及图案数据SP)。
如果输出图案数据用锁存信号LATA而锁存了串行图案数据SIA，则控制装置30向头驱动电路41依次输出状态切换信号CHA，使状态从“0”按照“1”、“2”、“3”、“4”、...的顺序切换。另外，控制装置30参照基准驱动电压数据Iv使驱动波形生成电路36生成4种驱动波形信号COM(第1驱动波形信号COMA、第2驱动波形信号COMB、第3驱动波形信号COMC、第4驱动波形信号COMD)。控制装置30使第1～第4驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD分别与图案数据用锁存信号LATA和状态切换信号CHA同步地按每个状态向头驱动电路41输出。
另外，如果锁存了串行图案数据SIA，则头驱动电路41根据上位选择数据SIH以及下位选择数据SIL、和图8所示的真值表，使图案数据SP的各数据分别与各状态对应，针对180个各喷嘴N(压电元件PZ)规定各状态下的喷出/非喷出。例如，如图16所示，使第1压电元件PZ1、第10压电元件PZ10以及第20压电元件PZ20以“1”、“3”、“5”、“7”的各状态选择液滴D的喷出动作。
此时，控制装置30对状态切换信号CHA的脉冲数进行计数，在状态从“0”向“3”转移的期间，将公用切换信号CHB设为“L”状态。由于公用切换信号CHB处于“L”状态，所以头驱动电路41在被输入图案数据用锁存信号LATA的定时使公用选择状态初始化为“F”(前选择)。然后，头驱动电路41基于前选择，使用前上位选择数据锁存器62C锁存的前上位选择数据SFH、和前下位选择数据锁存器62B锁存的前下位选择数据SFL，根据图10所示的真值表，生成第1～第4公用选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。
本实施方式中，在第1压电元件PZ1的情况下仅使用前上位选择数据SFH，SFH被设定成“00”。头驱动电路41使用该前上位选择数据SFH(“00”)，根据图10所示的真值表，选择第1驱动波形信号COMA，不选择其他驱动波形信号COM，被供给COMF。
同样，在第10压电元件PZ10的情况下，前上位选择数据SFH被设定成“01”。头驱动电路41使用该前上位选择数据SFH(“01”)，生成选择第2驱动波形信号COMB、不选择其他驱动波形信号COM的第1～第4公用选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。由此，第10压电元件PZ10在其喷出动作被选择的“1”、“3”的状态被供给第2驱动波形信号COMB。即，等级“2”的第10压电元件PZ10被供给与等级“2”对应的前驱动波形信号COMF。
另外，在第20压电元件PZ20的情况下，前上位选择数据SFH被设定成“10”。头驱动电路41使用该前上位选择数据SFH以及前下位选择数据SFL(“10”)，生成选择第3驱动波形信号COMC、不选择其他驱动波形信号COM的第1～第4公用选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。由此，第20压电元件PZ20在其喷出动作被选择的“1”、“3”的状态被供给第3驱动波形信号COMC。即，等级“3”的第20压电元件PZ20被供给与等级“3”对应的前驱动波形信号COMF。
接下来，控制装置30在状态转移为“4”的定时输出公用切换信号CHB。头驱动电路41接收到公用切换信号CHB的上升，将公用选择状态从“F”(前选择)切换成“L”(后选择)。然后，头驱动电路41基于后选择，使用后上位选择数据锁存器62E锁存的后上位选择数据SLH、和后下位选择数据锁存器62D锁存的后下位选择数据SLL，根据图10所示的真值表，生成第1～第4公用选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。
由此，第1压电元件PZ1在其喷出动作被选择的“5”、“7”的状态被供给第1驱动波形信号COMA。即，等级“1”的第1压电元件PZ1被供给与等级“1”对应的后驱动波形信号COML。同样，第10压电元件PZ10在其喷出动作被选择的“5”、“7”的状态被供给第2驱动波形信号COMB。即，等级“2”的第10压电元件PZ10被供给与等级“2”对应的后驱动波形信号COML。另外，第20压电元件PZ20在其喷出动作被选择的“5”、“7”的状态被供给第3驱动波形信号COMC。即，等级“3”的第20压电元件PZ20被供给与等级“3”对应的后驱动波形信号COML。
以后，控制装置30同样地对状态切换信号CHA的脉冲数进行计数，在状态再次转移到“4”的定时，输出公用切换信号CHB。头驱动电路41接收到公用切换信号CHB的上升，切换公用选择状态。由此，每当状态转移为“4”时，“5”、“7”、“1”、“3”的各状态下的前选择的喷出动作和该“5”、“7”、“1”、“3”的各状态下的后选择的喷出动作被重复。在本实施方式中，在一个压电元件中供给1种驱动波形信号。
<喷嘴喷出量的修正方法>
接下来，参照图5(a)～(e)，对本实施方式的喷嘴喷出量的修正方法进行说明。图5(a)是表示进行修正前的向各喷出区域喷出的喷出重量的分布的图，图5(b)是表示每个喷出区域的喷嘴列的修正量的分布的图，图5(c)是表示喷嘴列在修正后的每个喷出区域的喷出重量的分布的图，图5(d)是表示每个喷出区域的喷嘴列的修正量的分布的图，图5(e)是表示喷嘴列在修正后的每个喷出区域的喷出重量的分布的图。
首先，作为第1步骤，计算用于仅以从喷嘴Na喷出的墨水重量的修正对还包含从喷嘴Nb喷出的墨水重量的子像素(喷出区域)内全部的墨水重量进行修正的修正量Vc1。
修正量Vc1例如在将从喷嘴Na向子像素(喷出区域)喷出的液滴D的墨水重量设为Va1，将喷出次数设为Ca1，将从喷嘴Nb喷出的液滴D的墨水重量设为Vb1，将喷出次数设为Cb1，将作为各子像素(喷出区域)内的目标的墨水重量(规定量)设为Vd时，能够通过以下的式(1)求得。
Vc1＝(Va1×Ca1+Vd-(Va1×Ca1+Vb1×Cb1))/(Va1×Ca1)...(1)
通过对喷嘴列22a的进行喷出的所有喷嘴Na进行该计算，针对图5(a)所示的每个子像素的喷出重量，求出图5(b)所示那样的修正量。
在将求出的喷嘴列22a的各喷嘴Na的修正量Vc1中的最大值设为Vc1max，将最小值设为Vc1min时，针对修正量Vc1处于Vc1min+(Vc1max-Vc1min)/4×3＜Vc1≤Vc1max的范围的喷嘴Na设定等级“1”，针对修正量Vc1处于Vc1min+(Vc1max-Vc1min)/2＜Vc1≤Vc1min+(Vc1max-Vc1min)/4×3的范围的喷嘴Na设定等级“2”，针对修正量Vc1处于Vc1min+(Vc1max-Vc1min)/4＜Vc1≤Vc1min+(Vc1max-Vc1min)/2的范围的喷嘴Na设定等级“3”，针对修正量Vc1处于Vc1min≤Vc1≤Vc1min+(Vc1max-Vc1min)/4的范围的喷嘴Na设定等级“4”。
接下来，按每个等级求出用于对分类后的4个等级的喷出重量进行修正的驱动电压修正量Vhpara。驱动电压修正量Vhpara通过对每个等级的喷嘴组的各个喷嘴Na的喷出重量的平均值或由(最大值+最小值)/2求出的值Vc1cen，反映了使液滴重量测量装置26测量出的基准驱动电压Vh0变化时的喷出重量的变化量的系数来求出。
接下来，计算用于仅以从喷嘴Nb喷出的墨水重量的修正，还包含从喷嘴Na喷出的被修正后的墨水重量Va1’在内，进一步对子像素内全部的墨水重量进行修正的修正量Vc2。
从喷嘴Na喷出的被修正后的墨水重量Va1’根据将喷嘴Na的墨水重量分类成Va1的等级和修正量Vhpara计算，在喷嘴Na的修正结束时刻，墨水量被修正到图5(c)所示的偏差。
修正量Vc2例如能够通过以下的式(2)求得。
Vc2＝(Va1×Ca1+Vd-(Va1’×Ca1+Vb1×Cb1))/(Va1×Ca1)...(2)
通过针对喷嘴列22b的进行喷出的全部喷嘴Nb进行该计算，求出图5(d)所示那样的修正量。
在将求出的喷嘴列22b的各喷嘴Nb的修正量Vc2中的最大值设为Vc2max，将最小值设为Vc2min时，针对修正量Vc2处于Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/4×3＜Vc2≤Vc2max的范围的喷嘴Na设定等级“1”，针对修正量Vc2处于Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/2＜Vc2≤Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/4×3的范围的喷嘴Na设定等级“2”，针对修正量Vc2处于Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/4＜Vc2≤Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/2的范围的喷嘴Na设定等级“3”，针对修正量Vc2处于Vc2min≤Vc2≤Vc2min+(Vc2max-Vc2min)/4的范围的喷嘴Na设定等级“4”。
接下来，按每个等级求出用于对分类后的4个等级的喷出重量进行修正的驱动电压修正量Vhparb。驱动电压修正量Vhparb通过对每个等级的喷嘴组的各个喷嘴Na的喷出重量的平均值或由(最大值+最小值)/2而求得的值Vc2cen，反映使液滴重量测量装置26测量出的基准驱动电压Vh0变化时的喷出重量的变化量的系数来求出。
如上所述，能够修正到图5(e)所示那样的墨水重量偏差。
以上，对使用了2个喷嘴列的修正方法进行了记述，但方法不限于此，也能够按照每次喷出进行。在从相同的喷嘴N向相同的喷出区域喷出的液滴存在多个的情况下，能够通过每喷出1次切换上述的前驱动波形信号COMF和后驱动波形信号COML而进行喷出，来进行修正。该情况下，使COMF分担修正量Vc1，使COML分担修正量Vc2。
另外，本实施方式也能够按照每次扫描进行。在通过多次的副扫描向相同的喷出区域进行液滴的喷出时，使第一次副扫描分担修正量Vc1，使第二次副扫描分担修正量Vc2。
在向相同的喷出区域喷出液滴的副扫描次数为3次以上时，通过如Vc3、Vc4...这样与副扫描的次数相应地进行修正量的计算，能够进行更高精度的修正。
此外，在各扫描中，向相同的喷出区域喷出液滴的喷嘴N不必一定是相同的喷嘴N，也可以通过变更副扫描的位置而在每次扫描以不同的喷嘴N喷出液滴。
由于通过在每次扫描以不同的喷嘴N喷出液滴，能够使每个喷嘴N的液滴重量测定的误差、修正量的误差分散，所以能够进行高精度的修正。
此外，上述实施方式也可以按照以下方式变更。
在上述实施方式中，求出用于以喷嘴列22a、喷嘴列22b的顺序进行喷出重量的修正的修正量Vc1以及Vc2，并原样作为喷出数据展开，但计算顺序没有限制，也能够以喷嘴列22b、喷嘴列22a的顺序求出修正量Vc1以及Vc2。
由此，由于在组合的喷嘴列内的计算顺序以及喷出顺序上没有限制，所以通过以喷嘴列单位求出每个喷嘴N的喷出重量偏差，并使喷出重量偏差小的喷嘴列分担较大的喷出量修正幅度(Vc1)，能够进行更高精度的喷出重量的修正。
不限于此，从组合的例如喷嘴列的喷嘴列22a以及喷嘴列22b的各个喷嘴列向某个子像素喷出的次数不是必须相同。
由此，由于可自由设定液滴的喷出次数，所以能够以较高的自由度调整收纳在子像素中的墨水量。并且，由于通过使进行修正幅度最大的修正量Vc1的计算的喷嘴列的喷出次数比另一方的喷嘴列的喷出次数大，使得从对子像素进行Vc1的计算的喷嘴列喷出的液滴重量的权重与从另一方的喷嘴列喷出的液滴重量相比变大，所以能够使通过Vc1求出的修正幅度减小，可进行更高精度的喷出重量的修正。
另外，在对相同的子像素以不同的副扫描的组合进行喷出重量的修正时，优选每次副扫描使用不同的喷嘴向子像素进行喷出。
由此，由于每次副扫描使用不同的喷嘴N对子像素进行液滴的喷出，所以使用更多的喷嘴N向子像素喷出液滴，由此能够使由液滴重量测量装置26测量出的液滴重量的测定误差分散，可进行更高精度的喷出重量的修正。
<有机EL元件的制造方法>
接下来，参照图17以及图18对具有应用本实施方式的有机EL元件的制造方法而制造的有机EL元件的有机EL装置进行说明。图17是表示本实施方式涉及的有机EL装置的概要主视图，图18是本实施方式涉及的有机EL装置的主要部分概要剖视图。
如图17所示，本实施方式的有机EL装置4具备：具有R(红)、G(绿)、B(蓝)3色发光像素76的元件基板78、和与元件基板78以规定的间隔对置配置的密封基板80。密封基板80以对设置有多个发光像素76的发光区域82进行密封的方式，使用具有高气密性的密封剂与元件基板78接合。
发光像素76具备作为后述的发光元件的有机EL元件84(参照图18)，成为获得同色发光的发光像素76在附图上的纵向排列的所谓条纹方式。此外，实际上发光像素76很微小，在图示时为了方便起见对其进行放大显示。
元件基板78比密封基板80大一圈，在以边框状伸出的部分设置有驱动发光像素76的2个扫描线驱动电路部86和一个数据线驱动电路部88。扫描线驱动电路部86、数据线驱动电路部88例如可以作为集成了电路的IC被安装于元件基板78，也可以使该驱动电路部86、88直接形成在元件基板78的表面。
在元件基板78的端子部78a安装有用于将这些驱动电路部86、88和外部驱动电路连接的中继基板90。中继基板90例如能够使用可挠性电路基板等。
如图18所示，在有机EL装置4中，有机EL元件84具有作为像素电极的阳极92、划分阳极92的隔壁部94、包含形成在阳极92上的由有机膜构成的发光层的功能层96。另外，具有以隔着功能层96与阳极92对置的方式形成的作为共用电极的阴极98。
隔壁部94由苯酚或者聚酰亚胺等具有绝缘性的感光性树脂构成，以一部分对构成发光像素76的阳极92的周围进行覆盖，并分别划分多个阳极92的方式设置。
阳极92与形成在元件基板78上的TFT(Thin Film Transistor)元件100的3个端子中的一个连接，例如是使作为透明电极材料的ITO(Indium Tin Oxide)成膜为厚度100nm左右的电极。此外，虽然省略了图示，但在阳极92的下层(平坦化层102侧)隔着绝缘层设置有由Al构成的反射层。该反射层使功能层96中的发光向密封基板80侧反射。另外，该反射层不限于Al，只要具有反射发光的功能(反射面)即可。例如，能够列举使用绝缘性的有机材料或无机材料形成具有凹凸的反射面的方法；以具有反射功能的导电材料构成阳极92本身，在表面层形成ITO膜的方法等。
阴极98同样由ITO等透明电极材料形成。
本实施方式的有机EL装置4成为所谓的顶部发射型的构造，在阳极92和阴极98之间流过驱动电流，使由功能层96发出的光被上述反射层反射而从密封基板80侧取出。因此，密封基板80使用由透明的玻璃等构成的基板。另外，元件基板78能够使用透明基板以及不透明基板的任意一个。作为不透明基板，例如除了对氧化铝等陶瓷、不锈钢等金属板实施了表面氧化等绝缘处理的基板外，还能够列举热固化性树脂、热可塑性树脂等。
在元件基板78上设置有驱动有机EL元件84的电路部104。即，在元件基板78的表面形成有以SiO2为主体的基底保护层106作为基底，在其上形成有硅层108。在该硅层108的表面形成有以SiO2以及/或者SiN为主体的栅极绝缘层110。
另外，将硅层108中隔着栅极绝缘层110与栅电极112重合的区域设为沟道区域108a。其中，该栅电极112是未图示的扫描线的一部分。另一方面，在覆盖硅层108，且形成了栅电极112的栅极绝缘层110的表面形成有以SiO2为主体的第1层间绝缘层114。
另外，在硅层108中的沟道区域108a的源极侧设置有低浓度源极区域以及高浓度源极区域108c，且在沟道区域108a的漏极侧设置有低浓度漏极区域以及高浓度漏极区域108b，成为所谓的LDD(LightDoped Drain)构造。其中的高浓度源极区域108c通过遍及栅极绝缘层110和第1层间绝缘层114开孔的接触孔116a，与源电极116连接。该源电极116构成为电源线(未图示)的一部分。另一方面，高浓度漏极区域108b通过遍及栅极绝缘层110和第1层间绝缘层114开孔的接触孔118a，与漏电极118连接，该漏电极118与源电极116由同一层构成。
在形成有源电极116以及漏电极118的第1层间绝缘层114的上层，例如形成有以丙烯酸系的树脂成分为主体的平坦化层102。该平坦化层102由丙烯酸系、聚酰亚胺系等的耐热性绝缘性树脂等形成，是为了消除由TFT元件100、源极电极116、漏电极118等引起的表面的凹凸而形成的公知的层。
而且，阳极92形成在该平坦化层102的表面上，并且通过设置在该平坦化层102的接触孔102a与漏电极118连接。即，阳极92通过漏电极118与硅层108的高浓度漏极区域108b连接。阴极98与GND连接。因此，通过作为开关元件的TFT元件100对从上述电源线向阳极92供给且在与阴极98之间流动的驱动电流进行控制。由此，电路部104能够使所希望的有机EL元件84发光而进行彩色显示。
此外，驱动有机EL元件84的电路部104的构成不限于此。
功能层96由包含用有机膜形成的空穴注入层、中间层、发光层的多个薄膜层构成，从阳极92侧按该顺序层叠。在本实施方式中，这些薄膜层使用液滴喷出法(喷墨法)成膜。
作为空穴注入层的材料，例如可以使用对聚(3，4-乙撑二氧噻吩)(PEDOT)等聚噻吩衍生物添加了作为掺杂剂的聚苯乙烯硫磺酸(PSS)后的混合物(PEDOT/PSS)、聚苯乙烯、聚吡咯、聚苯胺、聚乙炔或其衍生物。
中间层设置在空穴注入层和发光层之间，为了提高空穴针对发光层的输送性(注入性)，并且抑制电子从发光层向空穴注入层浸入而设置。即，用于改善基于发光层中的空穴和电子的结合实现的发光的效率。作为中间层的材料，例如能够列举含有空穴输送性良好的三苯胺系聚合物的材料。
作为发光层的材料，例如能够使用可获得红色、绿色、蓝色的发光的聚芴衍生物(PF)、聚对苯乙炔衍生物(PPV)、聚苯撑衍生物(PP)、聚对亚苯基衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、PEDOT等聚亚苯基硫醚衍生物、聚甲基亚苯基硅烷硅烷(PMPS)等。另外，也可以向这些高分子材料中掺杂苝系色素、香豆素色素、若丹明系色素等高分子材料、或红荧烯、苝、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6，喹吖啶酮等低分子材料。
具有这样的有机EL元件84的元件基板78通过将透明的热固化型环氧树脂等作为密封部件使用的密封层120，与透明的密封基板80无缝隙地全面密封。
由于本实施方式的有机EL装置4使用后述的有机EL元件84的制造方法制造，发光层具有大致恒定的膜厚，所以在能获得不同的发光色的功能层96R、96G、96B中，分别得到所希望的发光特性。
此外，本实施方式的有机EL装置4不限于顶部发射型，也可以是使用具有反射功能的不透明的Al等导电材料，对作为共用电极的阴极98进行成膜，利用阴极98反射有机EL元件84的发光，从元件基板78侧取出的底部发射型的构造。
<有机EL元件的制造方法>
接下来，参照图19～图21对本实施方式的有机EL元件的制造方法进行说明。图19是表示本实施方式涉及的有机EL装置的制造方法的流程图，图20以及图21是表示本实施方式涉及的有机EL元件的制造方法的概要剖视图。
如图19所示，本实施方式的有机EL元件的制造方法至少具备：隔壁部形成工序(步骤S10)、对形成了隔壁部的基板实施表面处理的表面处理工序(步骤S17)、空穴注入层形成工序(步骤S30)、中间层形成工序(步骤S40)、发光层形成工序(步骤S50)、阴极形成工序(步骤S60)、使形成有有机EL元件的元件基板78和密封基板80接合的密封基板接合工序(步骤S70)。其中，在元件基板78上形成电路部104(参照图18)的工序、形成与电路部104电连接的阳极92的工序只要使用公知的制造方法即可，在本实施方式中省略详细的说明。因此，在图20(a)～(d)以及图21(a)～(d)中省略了电路部104的图示。
图19的步骤S10是隔壁部形成工序。在步骤S10中，如图20(a)所示，以覆盖阳极92的周围的一部分并划分每个阳极92的方式形成隔壁部94。作为形成方法，例如在形成了阳极92的元件基板78的表面以大约1～3μm左右的厚度涂敷感光性的酚醛树脂或者聚酰亚胺树脂。作为涂敷方法，能够列举转印法、狭缝涂布法等。然后，可通过使用与发光像素76的形状对应的掩模进行曝光、显影，形成多个隔壁部94。以下，将被隔壁部94划分的发光像素76的区域称为膜形成区域A。然后，进入到步骤S20。
图19的步骤S20是表面处理工序。在步骤S20中，对形成有隔壁部94的元件基板78的表面实施亲液处理和疏液处理。首先，进行将氧气作为处理气体的等离子体处理，主要对由无机材料构成的阳极92的表面实施亲液处理。接下来，进行将CF4等氟类气体作为处理气体的等离子体处理，对由有机材料构成的隔壁部94的表面导入氟气实施疏液处理。然后，进入到步骤S30。
图19的步骤S30是空穴注入层形成工序。在步骤S30中，首先如图20(B)所示，对膜形成区域A涂敷含有空穴注入输送层形成材料的液状体122。液状体122例如使用了含有二甘醇和水(纯水)作为溶剂，含有重量比为0.5％左右的PEDOT/PSS作为空穴注入层形成材料的液体。以粘度大约成20mPa·s以下的方式调整溶剂的比例。
作为涂敷液状体122的方法，使用能够从喷头18的喷嘴N喷出液状体(墨水)的喷出装置10。使喷头18和作为工件W的元件基板78对置，从喷头18喷出液状体122。喷出的液状体122作为液滴喷落在进行了亲液处理后的阳极92并浸润扩散。另外，以干燥后的空穴注入层的膜厚大约成为50nm～70nm的方式，将与膜形成区域A的面积对应的需要量作为液滴喷出。然后，进入到干燥工序。
在干燥工序中，通过例如以灯退火等方法对元件基板78进行加热，使液状体122的溶剂成分干燥而将其除去，如图20(c)所示，在膜形成区域A的阳极92上形成空穴注入层96a。此外，在本实施方式中虽然在各膜形成区域A形成了由同一材料构成的空穴注入层96a，但也可与后面形成的发光层对应地按照发光色改变空穴注入层96a的材料。然后，进入到步骤S40。
图19的步骤S40是中间层形成工序。在步骤S40中，如图20(d)所示，向膜形成区域A赋予含有中间层形成材料的液状体124。
液状体124例如使用了含有环己基苯作为溶剂，含有重量比为0.1％左右的上述三苯胺系聚合物作为中间层形成材料的液体。粘度大约是6mPa·s。
作为涂敷液状体124的方法，与涂敷液状体122的情况同样地使用上述喷出装置10。以干燥后的中间层的膜厚大约成为10nm～20nm的方式，将与膜形成区域A的面积对应的需要量作为液滴喷出。然后进入到干燥工序。
在干燥工序中，通过例如以灯退火等方法对元件基板78进行加热，使液状体124的溶剂成分干燥而将其除去，如图21(a)所示，在膜形成区域A的空穴注入层96a上形成中间层96c。然后，进入到步骤S50。
图19的步骤S50是发光层形成工序。在步骤S50中，如图21(b)所示，将含有发光层形成材料的液状体126R、126G、126B分别涂敷到对应的膜形成区域A上。
液状体126R、126G、126B使用了例如含有环己基苯作为溶剂，含有重量比为0.7％的PF作为发光层形成材料的液体。粘度大约为14mPa·s。
涂敷液状体126R、126G、126B的方法依然使用上述喷出装置10，分别向不同的喷头18填充而喷出。
在发光层成膜时，使用了能够将液状体126R、126G、126B均匀地向膜形成区域A喷出且稳定地喷出需要量的上述液滴的喷出方法。即，根据喷头18的2个喷嘴列22a、22b各自的喷出重量偏差，以在COMA、COMB、COMC、COMD中对相互的喷嘴列的重量偏差进行修正的方式分成4个等级，根据属于每个等级的喷嘴N的喷出重量的中央值或者平均值决定各等级中的电压，喷出喷出重量被修正后的液滴。
以干燥后的发光层的膜厚大约成为50nm～100nm的方式喷出了与膜形成区域A的面积对应的需要量的液滴。然后，进入到作为固化工序的干燥工序。
本实施方式中喷出的液状体126R、126G、126B的干燥工序与一般的加热干燥相比，使用了能够比较均匀地使溶剂成分干燥的减压干燥法。通过采用上述液滴的喷出方法，对膜形成区域A均匀地涂敷了需要量的液状体126R、126G、126B。因此，如图21(c)所示，干燥后形成的发光层96r、96g、96b在每个膜形成区域A具有大致恒定的膜厚。然后，进入到步骤S60。
图19的步骤S60是阴极形成工序。在步骤S60中，如图21(d)所示，以覆盖隔壁部94和各功能层96R、96G、96B的方式形成阴极98。由此，构成有机EL元件84。
作为阴极98的材料，优选组合使用ITO和Ca、Ba、Al等金属、LiF等氟化物。特别优选在靠近功能层96R、96G、96B的一侧形成功函数较小的Ca、Ba、LiF膜，在较远的一侧形成功函数较大的ITO。另外，可以在阴极98上层叠SiO2、SiN等保护层。这样，能够防止阴极98的氧化。作为阴极98的形成方法，能够列举蒸镀法、溅射法、CVD法等。特别是在能够防止功能层96R、96G、96B因热受到的损伤这一点上，优选采用蒸镀法。然后，进入到步骤S70。
图19的步骤S70是密封基板接合工序。在步骤S70中，对形成有有机EL元件84的元件基板78涂敷透明的密封层120，与透明的密封基板80无缝隙地全面密封(参照图18)。进而，优选在密封基板80的外周区域设置防止水分、氧气等进入的粘合层来进行接合。
根据以上那样的有机EL元件84的制造方法，能够减少通过液滴喷出法成膜的功能层96R、96G、96B的成膜不均匀，分别具有大致恒定膜厚的发光层96r、96g、96b。因此，能够制造因成膜不均匀而引起的亮度不均减少的有机EL元件84。
根据本实施方式，由于稳定地向作为涂敷区域的膜形成区域A赋予需要量的液状体，所以若使在固化工序中赋予的液状体固化，则在每个膜形成区域形成具有几乎恒定膜厚的发光层。因此，可减少因发光层的膜厚不均匀所引起的亮度不均、发光不均，能够制造出成品率较高的有机EL元件。而且，能够制造出成品率较高的可获得全彩色发光的有机EL元件。并且，即便赋予给膜形成区域的每个液状体的必要量不同，也能够适当地进行喷出量的修正，可以形成具有所希望的膜厚的发光层。
除了上述实施方式以外，还可以考虑各种变形例。以下，举出变形例进行说明。
(变形例1)上述实施方式中的喷出装置10的构成不限于此。例如，安装于滑架17的喷头18的配置也可以按照喷出的液状体的种类来改变其配置。
(变形例2)在上述实施方式的液滴的喷出方法中，膜形成区域A的形状以及配置不限于此。例如，不仅能够适用于条纹方式的配置，还能够适用于马赛克方式、三角方式的配置。
(变形例3)在上述实施方式的有机EL元件84的制造方法中，应用上述液滴的喷出方法的工序不限于含有着色层形成材料的液状体126R、126G、126B的喷出工序。例如，在含有空穴注入层形成材料的液状体122、含有中间层形成材料的液状体124的喷出工序中也能够应用。
(变形例4)在上述实施方式的有机EL装置4中，发光像素76的构成不限于此。例如，使发光像素76所具备的有机EL元件84成为可进行白色发光的构成。而且，成为在密封基板80侧具有3色滤色器的构成。由此，同样能够实现亮度不均减少的美观的彩色显示。
附图标记说明：COM...驱动波形信号；D...液滴；N...喷嘴；Ip...描绘数据；PI...输出控制信号；PXA、PXB、PXC、PXD...公用选择控制信号；PZ...作为致动器的压电元件；10...液滴喷出装置；18...液滴喷头；22...喷嘴；22a、22b...喷嘴列；26...液滴重量测量装置；33...作为存储单元的RAM；36...作为驱动波形生成单元的驱动波形生成电路；50...作为输出控制信号生成单元的输出控制信号生成电路；60...作为公用选择控制信号生成单元的公用选择控制信号生成回路；70...构成输出单元的输出合成电路；76...发光像素；78...作为基板的元件基板；78a...端子部；80...密封基板；82...发光区域；84...有机EL元件；86...扫描线驱动电路部；88...数据线驱动电路部；90...中继基板；92...阳极；94...隔壁部；96...功能层；96a...空穴注入层；96c...中间层；96r、96g、96b...发光层；96R、96G、96B...功能层；98...阴极；100...TFT元件；102...平坦化层；102a...接触孔；104...电路部；106...基底保护层；108...硅层；108a...沟道区域；108b...高浓度漏极区域；108c...高浓度源极区域；110...栅极绝缘层；112...栅电极；114...第1层间绝缘层；116...源电极；116a...接触孔；118...漏电极；118a...接触孔；120...密封层；122、124...液状体；126R、126G、126B...含有发光层形成材料的液状体。

Claims (9)

1.一种喷嘴喷出量的修正方法，其特征在于，
是对喷嘴列的每个喷嘴的致动器选择不同的多个驱动波形信号中的1个来进行供给，对从上述喷嘴向喷出区域喷出的液滴的重量进行修正的喷嘴喷出量的修正方法，包括：
第1步骤，根据未对上述每个喷嘴进行上述液滴的重量的修正时向上述喷出区域喷出的全部液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差值，以修正后的第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、与向相同的上述喷出区域喷出的上述第1以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量的合计值C成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行上述第1喷嘴列单位或喷出单位或扫描单位的修正计算；和
第2步骤，根据在上述第1步骤中修正后的向上述喷出区域喷出的计算上的全部液滴的重量的合计值D与上述规定量B的差值，以修正后的上述第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、向相同的上述喷出区域喷出的修正后的第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、与向相同的上述喷出区域喷出的上述第1和上述第2以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量的合计值E成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的修正计算；
阶段性地进行上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的量的修正量计算。
2.根据权利要求1所述的喷嘴喷出量的修正方法，其特征在于，
上述液滴的重量的修正量计算的顺序、与从上述喷嘴向上述喷出区域喷出上述液滴的上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的顺序不相同。
3.根据权利要求1或2所述的喷嘴喷出量的修正方法，其特征在于，
向相同的上述喷出区域喷出上述液滴的各个上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位中的选择喷嘴不相同。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的喷嘴喷出量的修正方法，其特征在于，
向相同的上述喷出区域喷出上述液滴的各个上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位中的上述液滴的喷出次数不均等。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的喷嘴喷出量的修正方法，其特征在于，
通过从以时间序列排列的上述不同的多个驱动波形信号中选择一个，来进行上述每个喷嘴的上述液滴的重量的修正。
6.一种液滴的喷出方法，其特征在于，
使用权利要求1至5中任意一项所述的喷嘴喷出量的修正方法，根据上述第1步骤以及上述第2步骤的修正计算的结果，生成向上述每个喷嘴的致动器供给的多个上述驱动波形信号，从选择出的上述喷嘴向上述喷出区域喷出上述液滴。
7.一种有机EL元件的制造方法，其特征在于，
是在基板上划分形成的多个膜形成区域具有包含发光层的功能层的有机EL元件的制造方法，具备：
使用权利要求6所述的液滴的喷出方法，向上述多个膜形成区域喷出含有功能性材料的液状体的喷出工序；和
使喷出的上述液状体固化，形成上述功能层的固化工序。
8.根据权利要求7所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，
在上述喷出工序中，向所希望的上述膜形成区域喷出可得到不同的发光色的多种上述液状体，
在上述固化工序中，使喷出的多种上述液状体固化，至少形成红、绿、蓝3色的上述发光层。
9.根据权利要求7或8所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，
在上述喷出工序中，将多种上述液状体分别填充到不同的喷头中，按每个上述液状体进行修正量计算和驱动波形信号的生成。
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