CN101712233B - 液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 - Google Patents
液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101712233B CN101712233B CN2009102542210A CN200910254221A CN101712233B CN 101712233 B CN101712233 B CN 101712233B CN 2009102542210 A CN2009102542210 A CN 2009102542210A CN 200910254221 A CN200910254221 A CN 200910254221A CN 101712233 B CN101712233 B CN 101712233B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- round dot
- aqueous body
- nozzle
- dot pattern
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title abstract 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 46
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 16
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 53
- 238000013316 zoning Methods 0.000 description 51
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 29
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 241001062009 Indigofera Species 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920006389 polyphenyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
本发明提供一种能够高精度地配置液状体的液状体配置方法、及采用该液状体配置方法的滤色器的制造方法、有机EL显示装置的制造方法。该方法一边使具有喷嘴的喷头和衬底相对地扫描，一边从所述喷嘴喷出液状体，从而在所述衬底的规定区域配置所述液状体，其特征在于，所述扫描包括第一扫描和第二扫描，并且具有：在所述第一扫描中，基于所述第一扫描中的所述液状体向所述规定区域的配置位置，选择是否从所述喷嘴向所述规定区域喷出所述液状体的第一选择工序；在所述第二扫描中，基于所述第二扫描中的所述液状体向所述规定区域的配置位置，选择是否从所述喷嘴向所述规定区域喷出所述液状体的第二选择工序。
Description
本申请是申请日为2007年9月29日、申请号为200710153300.3、名称为“液状体配置方法、滤色器及有机EL显示装置的制造方法”的申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及采用液滴喷出法的液状体配置方法、采用该方法的滤色器的制造方法、有机EL显示装置的制造方法。
背景技术
近年来，采用液滴喷出法的成膜技术引人注目，例如，在专利文献1中，公开了采用液滴喷出法的液晶显示装置的滤色器的制造方法。在此制造方法中，从对衬底扫描的液滴喷头(以下，称为喷头)的微细喷嘴喷出包含调色材料的液滴(液状体)，在该衬底上的划分区域内配置(描绘)液状体，然后通过干燥等使配置的液状体固化，形成与像素对应的着色膜。
专利文献1：特开2003-159787号公报
可是，衬底上的液滴的配置图案，可作为所谓的圆点(dot)图案(点阵图案)表示，通过将该圆点图案变换成与相对衬底的各喷嘴的相对位置(以下，称为扫描位置)对应的喷出的ON/OFF数据(喷出数据)，进行喷出控制。这样的圆点(dot)图案，可根据要形成于衬底上的液状体的图案(制造滤色器时根据对应的像素结构)、或喷嘴的排列构成等硬件条件预先生成。
但是，喷嘴的特性是每个个体尽管微小也具有偏差，这样的偏差成为使液状体的配置精度下降的主要原因。例如，存在因液滴的飞行方向性差，液滴弹落溢出划分区域，或因喷出量的偏差在划分区域间产生液状体配置量不均的问题。
发明内容
本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够高精度地配置液状体的液状体配置方法、及采用该液状体配置方法的滤色器的制造方法、有机EL显示装置的制造方法。
本发明是一种液状体配置方法，一边使多个喷嘴和衬底相对地扫描，一边从所述喷嘴喷出液状体，从而在所述衬底上的规定区域配置所述液状体，其特征是，包括：A步骤，生成与所述规定区域对应地设定规定数目a的圆点的第1圆点图案、C步骤，从所述规定数目a的圆点消去规定数目b的圆点，生成第2圆点图案、D步骤，基于所述第2圆点图案喷出所述液状体，在所述C步骤，将与所述规定数目a的圆点相关的指标至少基于对应的所述喷嘴的喷出信息进行判定，基于所述指标决定要消去的所述规定数目b的圆点。
在此发明的液状体配置方法中，从具有与规定区域对应地设定规定数目a的圆点的第1圆点图案，消去规定数目b的圆点，生成第2圆点图案，基于该第2圆点图案配置液状体。此时，由于基于喷嘴的喷出信息判定有关所述规定数目a的圆点各自的喷出指标，消去基于该指标决定的圆点，因此能够限制在对规定区域的喷出中对导致配置精度下降影响大的圆点，从而提高配置精度。
本发明是一种液状体配置方法，一边使多个喷嘴和衬底相对地扫描，一边从所述喷嘴喷出液状体，从而在所述衬底上的规定区域配置所述液状体，其特征是，包括：A步骤，生成与所述规定区域对应地设定规定数目a的圆点的第1圆点图案、C步骤，从所述规定数目a的圆点消去规定数目b的圆点，生成第2圆点图案、D步骤，基于所述第2圆点图案喷出所述液状体，在所述C步骤，将与所述规定数目a的圆点相关的指标至少基于对应的所述喷嘴的喷出信息进行判定，优先消去被判定为所述指标相对高的圆点。
在此发明的液状体配置方法中，从具有与规定区域对应地设定的规定数目a的圆点的第1圆点图案，消去规定数目b的圆点，生成第2圆点图案，基于该第2圆点图案配置液状体。此时，由于基于喷嘴的喷出信息判定有关所述规定数目a的圆点各自的喷出指标，优先消去被判定为所述指标相对高的圆点，因此能够限制在对规定区域的喷出中对导致配置精度下降影响大的圆点，从而提高配置精度。
此外，其特征是，优选所述液状体配置方法，具有取得所述喷嘴的喷出信息的B步骤，与所述衬底的每一个至多个单位相对应地进行所述B步骤及C步骤。
根据此发明的液状体配置方法，能够与喷嘴的喷出信息的变化迅速对应地，在适当的条件下进行液状体的配置。
此外，其特征是，优选所述规定区域被堤岸部划分。
根据此发明的液状体配置方法，能够通过堤岸部适当地防止液状体向规定区域外的溢出。
此外，其特征是，优选所述圆点的指标，基于该圆点进行喷出时的液状体的配置位置和所述规定区域的边界的距离越短，则被判定相对越高。
根据此发明的液状体配置方法，由于优先消去预料对应的液状体的弹落位置接近规定区域边界的圆点，因此能够适当地防止液状体向规定区域外的溢出。
此外，其特征是，优选所述圆点的指标，基于该圆点进行喷出时的喷出量误差越大，则被判定相对越高。
根据此发明的液状体配置方法，由于优先消去预料对应的液状体的喷出量误差大的圆点，因此能够提高规定区域单位的配置量精度。
本发明的一种滤色器(color filter)的制造方法，其特征是，包括：采用所述液状体配置方法，在设定于所述衬底上的多个所述规定区域的各自上，配置含有调色材料的所述液状体的步骤；固化配置的所述液状体，形成将所述多个规定区域分别作为像素的对应区域的着色部的步骤。
根据此发明的滤色器的制造方法，由于采用上述液状体配置方法形成着色部，因此能够通过简单的处理制造高质量的滤色器。
本发明的有机EL显示装置的制造方法，其特征是，包括：采用所述液状体配置方法，在设定于所述衬底上的多个所述规定区域的各自上，配置包括有机EL材料的所述液状体的步骤；固化配置的所述液状体，形成将所述多个规定区域分别作为像素的对应区域的发光元件的步骤。
根据此发明的有机EL显示装置的制造方法，由于采用上述液状体配置方法形成发光元件，因此能够通过简单的处理制造高质量的有机EL显示装置。
附图说明
图1是表示滤色器的构成的俯视图。
图2是表示滤色器的结构的剖视图。
图3是表示液状体喷出装置的主要构成的立体图。
图4是表示喷头单元上的喷头的配置构成的俯视图。
图5是表示液状体喷出装置的电构成的图示。
图6是表示圆点图案和喷嘴位置的关系的图示。
图7是表示有关滤色器上的着色部的形成工序的流程图。
图8是表示进行液状体配置时的衬底的状态的俯视图。
图9是表示第1圆点图案和喷嘴的关系的图示。
图10是表示有关第2圆点图案的生成处理的流程图。
图11(a)～(c)是表示第2圆点图案的生成过程的图示。
图12是表示有关各圆点的评分的图示。
图13是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
图14是表示有关第2圆点图案生成的处理的流程图。
图15是表示有关各圆点的评分的图示。
图16是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
图17是表示有关各圆点的评分的图示。
图18是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
图19是表示有关各圆点的评分的图示。
图20是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
图21是表示有关各圆点的评分的图示。
图22是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
图23是表示有机EL显示装置的主要构成的剖视图。
图中：1-滤色器，2-着色部，4-衬底，5-堤岸部，6-作为规定区域的划分区域，20-喷嘴，100-有机EL显示装置，119-作为规定区域的划分区域，120-堤岸部，122-空穴输送层，123-有机EL显示装置，125-发光元件，200-液状体喷出装置，MT-矩阵。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的最适合的实施方式。
另外，以下所述的实施方式，由于是本发明的最适合的具体例，因此附加了技术上优选的种种限定，但本发明的范围，在以下的说明中只要没有特别限定本发明的宗旨的记载，就不局限于这些方式。此外，在以下的说明中参照的附图中，为了便于图示，有时以与实际不同的方式表示部件乃至部分纵横的缩尺。
(第1实施方式)
(滤色器的构成)
首先，参照图1及图2说明本发明的滤色器的构成。图1是表示滤色器的构成的俯视图。图2是表示滤色器的结构的剖视图。
图1、图2所示的滤色器1是可用于彩色用显示面板的滤色器，具有与显示面板上的R(红)、G(绿)、B(蓝)各色的像素对应形成的着色部2，和形成于着色部2间的区域上的遮光部3。另外，本实施方式的着色部2，具有与所谓条纹型的像素结构对应的排列或形状，但也能够形成与如此的像素结构以外的像素，例如与包括R、G、B以外的色要素的像素、或三角型结构的像素对应的构成。
滤色器1具有玻璃透光性的衬底4，在衬底4上用铬等遮光材料图案形成遮光部3，另外在遮光部3上采用感光性树脂等图案形成堤岸部5。着色部2形成在被堤岸部5划分的划分区域6内，此外，在着色部2的形成面侧，用树脂等形成有用于使表面平滑化的过敷层7。另外，多个划分区域6全部以相同的形状、尺寸形成。
(液状体喷出装置的机械构成)
下面，参照图3、图4，说明本发明的液状体配置方法中采用的液状体喷出装置的机械构成。
图3是表示液状体喷出装置的主要构成的立体图。图4是表示喷头单元上的喷头的配置构成的俯视图。
图3所示的液状体喷出装置200，具备：直线设置的1对导轨201、及通过内设在导轨201内部的空气滑块和线性电机(未图示)向主扫描方向移动的主扫描移动台203。此外，具备：与导轨201直交地直线设在导轨201上方的1对导轨202、及通过内设在导轨202内部的空气滑块和线性电机(未图示)向副扫描方向移动的副扫描移动台204。
在主扫描移动台203上设有载物台205，用于载置成为喷出对象的衬底P。载物台205形成可吸附固定衬底P的构成，此外，通过旋转机构207，可使衬底P的基准轴与主扫描方向、副扫描方向一致。
副扫描移动台204，具有经由旋转机构208以下垂式安装的滑架209。此外，滑架209具备：具有多个喷头11、12(参照图4)的喷头单元10；用于向喷头11、12供给液状体的液状体供给机构(未图示)；用于进行喷头11、12的电驱动控制的控制电路板211(参照图5)。
如图4所示，喷头单元10具备从喷嘴20喷出与R、G、B对应的液状体的喷头11、12，喷头11、12上的多个喷嘴20构成喷嘴群21A、21B。喷嘴群21A、21B具有分别形成规定间距(例如180DPI)的行排列，并且一致地形成交错排列的关系。此外，喷嘴群21A、21B的排列方向与副扫描方向一致。
与喷头11、12内的喷嘴20连通的液室(腔室)，以通过压电元件16(参照图5)的驱动可改变容量的方式构成。另外，通过从压电元件16供给电信号(驱动信号)，控制腔室内的液压，能够使液滴(液状体)从喷嘴20喷出。
因此，通过利用主扫描移动台203的移动，使喷嘴群21A、21B相对于衬底P向主扫描方向扫描，同时进行每个喷嘴20的喷出的ON/OFF控制(以下称为喷出控制)，能够在衬底P上的沿着喷嘴20的扫描轨迹的位置上配置液滴(液状体)。另外，喷头11和喷头12相互朝副扫描方向错开位置地配置，各个喷嘴群21A、21B，以相互描绘连续修正了可喷出范围的固定间距的扫描轨迹的方式构成。此外，喷嘴群21A、21B端部的几个喷嘴20，鉴于其特性的特异性，可不使用。
另外，液状体喷出装置的构成并不限定于上述的方式。例如，也能以从副扫描方向倾斜喷嘴群21A、21B的排列方向，喷嘴20的扫描轨迹的间距相对于喷嘴群21A、21B内的喷嘴20间的间距变窄的方式构成。此外，喷头单元10中的喷头11、12的数目或其配置构成等也可适宜变更。此外，作为喷头11、12的驱动方式，例如，也能够采用腔室内具备加热元件的所谓热方式等。
(喷出控制方法)
下面，参照图5及图6说明液状体喷出装置中的喷出控制方法。
图5是表示液状体喷出装置的电构成的图示。图6是表示圆点图案和喷嘴的位置的关系的图示。
在图5中，液状体喷出装置200，具备进行装置整体的统括控制的控制计算机210、和用于喷头11、12的电驱动控制的控制电路板211。控制电路板211，经由各挠性电缆212与喷头11、12电连接。此外，喷头11、12，与设在每个喷嘴20(参照图2)上的压电元件16对应，具备移位寄存器(SL)50、闩锁电路(LAT)51、电平移位器(LS)52、开关(SW)53。
按如下进行液状体喷出装置200中的喷出控制。即，首先，控制计算机210向控制电路板211传送使衬底P(参照图1)上的液滴(液状体)的配置图案数据化的圆点图案数据(详细情况后述)。然后，控制电路板211，译码圆点图案数据，生成每个喷嘴20的NO/OFF(喷出/非喷出)信息即喷嘴数据。喷嘴数据，在被串行信号(SI)化后，与时钟信号(CK)同步传送给各移位寄存器50。
传送给移位寄存器50的喷嘴数据，按将闩锁信号(LAT)输入给闩锁电路51的定时被闩锁，并且在电平移位器52被变换成开关53用的门信号。即，在喷嘴数据是“ON”时开关53打开，向压电元件16供给驱动信号(COM)，在喷嘴数据是“OFF”时开关53关闭，不向压电元件16供给驱动信号(COM)。然后，从与“ON”对应的喷嘴20使液状体液滴化并喷出，喷出的液滴(液状体)被配置在衬底P上。
如上所述，基于圆点图案(数据)进行液状体喷出装置200的喷出控制。此圆点图案，如图6所示，在具有主扫描方向、副扫描方向的成分的矩阵MT中，可表示为在成为液滴(液状体)的喷出(配置)位置的划分中配置了圆点D。圆点D不只是单一地表示喷出的有无，也能够形成具有灰度，例如，也能够根据灰度变化液滴量(喷出量)或喷出定时。
此处，矩阵MT的主扫描方向的间距：p1，可由液滴(液状体)的喷出控制周期(闩锁周期)和扫描速度决定。此外，矩阵MT的副扫描方向的间距：p2，可按1扫描中的喷嘴20的扫描轨迹的间距：p0的自然数大小的1倍设定。在本实施方式中，p2按p0的三分之一设定，在分3次的各扫描间，通过相互错开喷嘴20的副扫描方向的位置，可使矩阵MT的全部的圆点D与喷嘴20对应，喷出液滴(液状体)。
另外，在图中相互邻接的圆点d1、d2、d3，分别与第1扫描、第2扫描、第3扫描有关。也能使它们与相互相同的喷嘴对应，但为了空间上分散喷嘴间的特性(例如喷出量)的偏差，优选在扫描间多使喷头向副扫描方向移动，使其与相互不同的喷嘴20对应。多个扫描间的喷嘴20(喷头)的位置错开方法(扫描方法)有多种方法，能够根据喷嘴间或喷头间的特性偏差的分散或循环时间等采用适当的方法。此外，在本实施方式中虽不采用，但通过采用在多个扫描间相互重叠喷嘴20的副扫描方向的位置这样的扫描方法，也能够使一列(主扫描方向的排列)内的圆点D分开与多个喷嘴对应。
(滤色器的制造方法(液状体配置方法))
下面，参照图7～图9，说明本发明的滤色器的制造方法(液状体的配置方法)。
图7是表示滤色器上的着色部的形成工序的流程图。图8是表示进行液状体配置时的衬底的状态的俯视图。图9是表示第1圆点图案和喷嘴的关系的图示。
滤色器1(参照图1、图2)的着色部2(参照图1、图2)的形成可按以下进行，准备含有分别与R、G、B对应的调色材料的液状体，采用液状体喷出装置200(参照图3)在衬底上配置该液状体。如图8所示，在用于配置液状体的衬底P上，分别设定了与滤色器1的个体对应的区域即4个个体区域8，通过堤岸部5在每个个体区域8中形成了划分区域6的群体。在本实施方式中，将划分区域6的长边方向作为副扫描方向，将短边方向作为主扫描方向，把衬底P放置在载物台205(参照图3)上。
此处，相对于作为由堤岸部5划分的规定区域的划分区域6配置液状体，但为了与划分区域6一致地正确地图案形成液状体，优选预先对划分区域6内的衬底P的露出面实施亲液化处理，对堤岸部5的表示实施疏液化处理。这样的处理，例如可通过氧或氟化碳的等离子处理来进行。另外，堤岸部5的形成，是为高精度地进行液状体的图案形成而优选的实施方式，设定规定区域并非一定需要这样的物理划分。
在液状体的配置之前，首先生成第1圆点图案(图7的步骤S 1)。即，步骤S1构成本发明的A步骤。第1圆点图案成为生成用于喷出控制的圆点图案(第2圆点图案)的基础，为图9所示的构成。在图中，空白圆圈表示1个个圆点，用假想线表示的假想划分区域A1、A2、A3......，表示将矩阵MT重叠在衬底P上时的划分区域6的对应区域。
本实施方式中的第1圆点图案，具有在有关同色的各假想划分区域A1、A2、A3......的中央，按4行×6列的排列设定的24个(规定数目a)圆点。这些各圆点，基于与喷嘴的扫描轨迹的位置关系，分别与喷嘴n11、n12......对应。即，具有基于各圆点的液滴(液状体)的喷出通过与其对应喷嘴进行，喷出的液滴(液状体)被配置在衬底P(参照图8)上的该圆点的对应位置上的关系。
在第1圆点图案中，由于按每一假想划分区域设定的圆点数目多于液滴(液状体)的适当配置量的相当数目即18个，因此如果直接基于第1圆点图案进行液滴(液状体)的喷出，会导致从划分区域6溢出。因此，进行从24个(规定数目a)圆点中消去多余数目(规定数目b)的6个圆点的处理，需要生成用于控制喷出的第2圆点图案。
详细情况后述，但在第2圆点图案的生成中，需要基于喷嘴的喷出信息的指标判定。因此在第2圆点图案的生成前，进行用于取得喷嘴的喷出信息的喷嘴检查(图7的步骤S2)。即，该步骤S2构成本发明的B步骤。另外，所谓喷嘴的喷出信息是表示每个喷嘴的喷出特性的信息，例如能够用喷出量或弹落位置的精度(配置位置精度)等表示。
本实施方式的喷嘴检查，通过从喷嘴对纸张喷出液滴(液状体)，摄像、图像分析形成于纸上的弹落痕迹来进行。由此，作为配置位置精度的信息获取与弹落痕迹的理想位置的偏移量。
如果结束了喷嘴检查(步骤S2)，就基于取得的喷嘴的喷出信息对第1圆点图案进行处理，生成第2圆点图案(图7的步骤S3)。该处理，对于设定在各假想划分区域A1、A2、A3......内的24个圆点单位按每个进行，由此从24个(规定数目a)圆点中消去6个(规定数目b)圆点，生成每一假想划分区域具有18个圆点的第2圆点图案(参照图13)。即，该步骤S3构成本发明的C步骤。
接着，基于第2圆点图案对划分区域6喷出液滴(液状体)(图7的步骤S4)。由此在各划分区域6上分别配置相当于18个圆点的量的液滴(液状体)。即，该步骤S4构成本发明的D步骤。
接着，通过干燥配置在划分区域6内的液状体，形成着色部2(参照图1、图2)(图7的步骤S5)。详细情况后述，但由于第2圆点图案基于喷嘴的喷出信息形成被优值化的构成，因此可高精度地形成与各划分区域6对应的着色部2。
另外，喷嘴检查(步骤S2)和基于其结果的第2圆点图案的生成(步骤S3)，最好在替换衬底P的个体的定时等中定期进行。喷嘴的喷出信息，也能够根据后来的情况，例如气泡向流路内的混入或喷嘴管理的执行经历等变化，以迅速与如此的变化对应。
(第2圆点图案的生成)
下面，参照图9～图13，详细说明第2圆点图案的生成。
图10是表示有关第2圆点图案生成的处理的流程图。图11是表示第2圆点图案的生成过程的图示。图12是表示有关各圆点的评分的图示。图13是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。另外，在图11中，附加在圆点内的数字，是为便于识别各圆点而附加的记号。
第2圆点图案的生成处理，以图9所示的第1圆点图案为基础，以设定在各假想划分区域A1、A2、A3......内的24个圆点群为单位，沿着图10所示的流程进行。该处理实际上采用计算机自动地进行，计算机读出在步骤S 1生成的第1圆点图案(数据)和在步骤S2得到的喷嘴的喷出信息，进行图10所示的处理。
在最初的步骤S11中，对各圆点运算对应的假想液滴的弹落位置的坐标。此处，所谓假想液滴，是假想地图像表示假定基于该圆点进行了喷出时的液滴状态，在图11(a)～(c)中，分别表示与第1、第14、第24圆点对应的假想液滴。另外，所谓假想液滴的弹落位置，指的是弹落在衬底上时的假想液滴的中心位置(图中用十字表示)。
假想液滴的弹落位置，应该理想地与各圆点的中心位置一致，但在实际中，因受对应喷嘴的配置位置精度的影响，会产生一些偏差。即，假想液滴的弹落位置，可通过以圆点的中心位置的坐标为基准，进行基于对应喷嘴的配置位置精度的坐标修正来取得。
在接着的步骤S12中，基于在步骤S11取得的坐标信息，运算与各圆点对应的假想液滴和假想划分区域A1、A2、A3......的边界的最接近距离。例如，在注重假想划分区域A2时，假想液滴和边界B1～B4的最接近距离如图12所示，最接近的边界或距离，可根据圆点的设定位置或对应喷嘴的配置位置精度变化。
在接着的步骤S13中，基于在步骤S12取得的最接近距离，进行各圆点的评分判定。此处，所谓评分，是使假定基于该圆点进行了喷出时的配置精度上的不合适(误差)的程度数值化，与本发明的指标对应。所谓最接近距离短，表示喷出的液滴向划分区域外弹落溢出的危险性高，最接近距离越短，判定有关该圆点的评分越小(参照图12)。
在接着的步骤S14中，消去假想划分区域A1、A2、A3......内的24个(规定数目a)圆点中的被判定为评分相对小的6个(规定数目b)圆点，生成第2圆点图案。因此，在基于第2圆点图案进行液滴(液状体)的配置时，由于优先限制预料靠近规定区域边界的液滴的喷出，所以能够适当地防止液滴向划分区域外的溢出。
在注重假想划分区域A2时，如果参照图12按评分小(指标高的)的顺序选定6个圆点，第1、第21～第24圆点与此相当。消去这些圆点生成的第2圆点图案示出图13所示的排列。
这样的处理，由于实质上通过从多个(规定数目a)圆点中选择成为消去对象的圆点来进行，所以即使喷嘴的喷出信息复杂，处理也简单。此外，关于对规定区域的配置量的管理，通过规定成为消去对象的圆点的总数目(规定数目b)，也能够容易进行。
上述的步骤S11～S14的处理，实际上对多个假想划分区域分别进行，由此能够相对于各假想划分区域高精度地配置液状体。此处，关于消去对象的圆点数目(规定数目b)，也能够以在每个假想划分区域独立设定其的方式，使液状体的配置量在划分区域间不同。
如上所述，能够基于有关圆点的评分(指标)选定成为消去对象的圆点，但是关于选定，并非存在绝对的评分基准值，可通过设定在每个假想划分区域A1、A2、A3......上的24个圆点间的相对的比较来选定。因此，对于提高液状体的配置精度，能够在限定的条件下得到尽量适合的效果。
另外，在上述的实施方式中，以第1～第24圆点的全部为对象，进行了步骤S11～S13的处理，但对于部分圆点，也能够省略处理。例如，对于设定在靠近中央的位置上的8个圆点(第6、7、10、11、14、15、18、19圆点)，假设基于这些圆点喷出也不产生溢出，还能省略最接近距离的运算。
此外，在上述的实施方式中，是从24个(规定数目a)圆点中消去6个(规定数目b)圆点的方式，但规定数目a或规定数目b的值，可根据划分区域6的大小、矩阵MT的间距(清晰度)、作为目标的配置量、每个圆点的液滴量等适宜变更。
(第2实施方式)
下面，参照图9、图14、图15、图16，以与第1实施方式的不同之处为中心，说明本发明的第2实施方式。
图14是表示有关第2圆点图案生成的处理的流程图。图15是表示有关各圆点的评分的图示。图16是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
在第2实施方式中，沿着图14的流程图进行第2圆点图案的生成。即，在最初的步骤S21中，对设定在假想划分区域A1、A2、A3......内的各圆点，运算假设基于该圆点进行了喷出时的喷出量的误差(喷出量误差)。该喷出量误差，可作为对应喷嘴的喷出量和基准量(喷出量的设计上的理想值、或多个喷嘴的喷出量的平均值)的差求出。
每个喷嘴的喷出量，可在前面的喷嘴检查(图7的步骤S2)中计测。具体是，例如，可通过利用白色干涉法三维测定配置在衬底上的液滴的体积，或者通过测定喷在纸张上的液滴的弹落痕迹的大小(面积)来计测。
在接着的步骤S22中，基于在步骤S21取得的喷出量误差，进行各圆点的评分判定。由于所谓喷出量误差大，指的是在划分区域内配置与基准量大不相同的量的液滴，因此可判定其评分相对低(指标高地)(参照图15)。
在接着的步骤S23中，消去假想划分区域A1、A2、A3......内的24个(规定数目a)圆点中的被判定为评分相对小的6个(规定数目b)圆点，生成第2圆点图案。因此，在基于第2圆点图案进行液滴(液状体)的配置时，由于优先地限制喷出量误差相对大的圆点，所以能够提高配置量精度。
在本实施方式中，如果注重假想划分区域A2，可按评分低(指标高)的顺序消去6个圆点，即第17～第20圆点、和第5～第8圆点中的2个圆点。第5～第8圆点的评分是相互相同的值，但在此种情况下，例如可任意地从等价的圆点中选定消去的对象。因此，生成的第2圆点图案的排列，例如如图16所示。
(变形例)，
下面，参照图17、图18，以与上述实施方式的不同点为中心，说明第2实施方式的变形例。
图17是表示有关各圆点的评分的图示。图18是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
在该变形例中，在评分(指标)的判定中考虑到喷出量误差的极性(正负)。即，在喷出量误差的极性(正负)相互相同的圆点间，喷出量误差的绝对值越大，越判定指标相对高(评分低)，但在极性不同的圆点间，不一定这样。
例如，在注重假想划分区域A2时(参照图17)，喷出量误差为+0.22的第17～第20圆点的评分被判定为1的点与上面的实施方式相同，但喷出量误差为-0.14的第1～第4圆点的评分被判定为2，喷出量误差为+0.15的第5～第8圆点的评分被判定为3。因此，消去第5～第8圆点、及第1～第4圆点中的2个圆点，第2圆点图案中的圆点排列，例如如图18所示。
在前面的实施方式中，由于只注重喷出量误差的绝对值进行评分(指标)的判定，因此在只消去了与基准量相比喷出量大的圆点，基于第2圆点图案进行了液状体配置的情况下，存在划分区域内的配置量偏少的问题。在此变形例中，判定基准为评分(误差指标)的序列与喷出量误差的极性相关地交替，以谋求回避上述问题。
(第3实施方式)
下面，参照图19、图20，以与第2实施方式的不同点为中心，说明第3实施方式的变形例。
图19是表示有关各圆点的评分的图示。图20是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
在该第3实施方式中，基于在第2实施方式中说明的喷出量误差、和相对于副扫瞄方向的圆点的相对位置，进行评分(误差指标)的判定。即，基于喷出量误差按表1进行评分B的判定，基于相对于副扫瞄方向的圆点的相对位置按表2进行评分C的判定，判定作为评分B和评分C的总和的总评分(参照图19)。
表1
| 喷出量误差(绝对值) | 评分B |
| 0.20以上 | 1 |
| 0.10以上且小于0.20 | 2 |
| 小于0.10 | 3 |
表2
| 副扫描方向的圆点的相对位置 | 评分C |
| 中央列(第9～16) | 1 |
| 准外围列(第5～8、第17～20) | 1.5 |
| 外围列(第1～4、第21～24) | 2 |
为了得到良好的图案形成，优选液状体不产生缺陷地润湿扩展到划分区域的各角，但在这种观点下，基于中央列的圆点的液滴(液状体)的喷出，与基于外围列的圆点的液滴(液状体)的喷出相比，可以说相对容易产生不合适。因划分区域内的润湿性或液状体的表面张力，一般靠近划分区域的端部的地方与靠近中央的地方相比，容易产生液状体的缺陷，换句话讲，因为容易招致这样的缺陷，而优先在靠近中央的地方配置液滴。基于相对于副扫描方向的相对位置进行评分(误差指标)的判定，就是鉴于这种情况，相对于副扫描方向的相对位置越靠近中央，越判定该圆点的评分低(误差指标高)。
因此，在注重假想划分区域A2时(参照图19)，可消去第17～第20圆点及第13～第16圆点中的2个圆点，第2圆点图案中的圆点的排列，例如如图20所示。
(第4实施方式)
下面，参照图21、图22，以与第1、3实施方式的不同点为中心，说明本发明的第4实施方式的变形例。
图21是表示有关各圆点的评分的图示。图22是表示第2圆点图案中的圆点排列的图示。
在该第4实施方式中，除在第3实施方式中说明的评分B、评分C以外，基于在第1实施方式中说明的假想液滴的弹落位置坐标和与假想划分区域边界的最接近距离，按表3进行评分A的判定，判定作为评分A、B、C的总和的总评分(参照图21)。
表3
| 最接近距离 | 评分A |
| 小于18 | 1 |
| 18以上 | 3 |
因此，在注重假想划分区域A2时(参照图21)，可消去第1、第12、第17～第20圆点，第2圆点图案中的圆点的排列，例如如图22所示。
另外，在如第3、第4实施方式所示进行基于多个参数的评分(总评分)的判定时，可适宜变更参数间的加权。例如，假如是按表4进行评分B判定的方式，由于基于喷出量误差的总评分判定的比重相对减小，所以与喷出量误差大的圆点相比优先消去最接近距离短的圆点。
表4
| 喷出量误差(绝对值) | 评分B |
| 0.20以上 | 1 |
| 0.10以上且小于0.20 | 1.5 |
| 小于0.10 | 2 |
(第5实施方式)
下面，参照图23，以与第1实施方式的不同点为中心，说明本发明的第5实施方式。
图23是表示有机EL显示装置的主要部位构成的剖视图。
如图23所示，有机EL显示装置100，具备元件衬底111、形成于元件衬底111上的驱动电路部112、形成于驱动电路部112上的发光元件部113、和用于密封驱动电路部112及发光元件部113的密封衬底114。在被密封衬底114密封的密封空间115内，充填有惰性气体。
发光元件部113具有被堤岸部120划分的多个划分区域119，在该划分区域119内形成发光元件125。发光元件125，通过在驱动电路部112的输出端子即分段电极(阳极)121、和共用电极(阴极)124之间叠层空穴输送层122、有机EL材料层123而构成。此外，在堤岸部120和驱动电路部112之间，用铬或其氧化物等形成了用于防止灰度要素间的干涉的遮光膜126。
空穴输送层122，是用于向有机EL材料层123注入空穴的功能层，用聚噻吩烷衍生物的掺杂体(PEDOT)等高分子导电体形成。有机EL材料层123，用可发荧光或磷光的公知的有机EL材料，例如聚芴衍生物、(聚)对苯乙烯撑衍生物、聚苯衍生物等形成。空穴输送层122、向有机EL材料层123，是通过采用在第1实施方式中说明的液状体配置方法，配置与作为规定区域的划分区域119对应的含有功能性材料(PEDOT/有机EL材料)的液状体而制造的。
本发明并不限定于上述的实施方式。
例如，作为采用上述液状体配置方法的另一例子，例如，可举例等离子显示器装置中的荧光膜的形成、或者电路上的导电布线或电阻元件的形成等。
此外，实施方式的各构成，能够适宜组合或省略，或与未图示的其它构成组合。
Claims (5)
1.一种液状体配置方法，一边使具有喷嘴的喷头和衬底相对地扫描，一边从所述喷嘴喷出液状体，从而在所述衬底的规定区域配置所述液状体，其特征在于，
根据喷嘴的喷出信息，从与喷嘴扫描的位置关系对应地设定的第一圆点图案消去规定数量的圆点而生成第二圆点图案，
所述扫描进行多次，
在各所述扫描中，具有基于所述第二圆点图案，选择是否从所述喷嘴向所述规定区域喷出所述液状体的选择工序，
将与所述第一圆点图案相关的指标至少基于对应的所述喷嘴的喷出信息进行判定，基于所述指标决定要消去的所述规定数量的圆点。
2.一种液状体配置方法，一边使具有多个喷嘴的喷头和衬底相对地扫描，一边从所述多个喷嘴喷出液状体，从而在所述衬底的规定区域配置所述液状体，其特征在于，
根据喷嘴的喷出信息，从与喷嘴扫描的位置关系对应地设定的第一圆点图案消去规定数量的圆点而生成第二圆点图案，
所述扫描进行多次：
在各所述扫描中，具有基于所述第二圆点图案，选择向所述规定区域喷出所述液状体的所述多个喷嘴的选择工序，
将与所述第一圆点图案相关的指标至少基于对应的所述喷嘴的喷出信息进行判定，基于所述指标决定要消去的所述规定数量的圆点。
3.如权利要求1或2所述的液状体配置方法，其特征在于，
所述衬底具有多个所述规定区域，
在每个所述多个规定区域，进行所述选择工序。
4.一种滤色器的制造方法，其特征在于，包括：
采用权利要求1～3中的任意一项所述的液状体配置方法，在所述衬底的所述规定区域配置含有调色材料的所述液状体的工序；
将配置的所述液状体固化，形成着色部的工序。
5.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，包括：
采用权利要求1～3中的任意一项所述的液状体配置方法，在所述衬底的所述规定区域配置含有有机EL材料的所述液状体的工序；
将配置的所述液状体固化，形成发光元件的工序。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006-273858 | 2006-10-05 | ||
| JP2006273858A JP4605134B2 (ja) | 2006-10-05 | 2006-10-05 | 液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ表示装置の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200710153300A Division CN100584613C (zh) | 2006-10-05 | 2007-09-29 | 液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101712233A CN101712233A (zh) | 2010-05-26 |
| CN101712233B true CN101712233B (zh) | 2013-02-27 |
Family
ID=39274614
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009102542210A Active CN101712233B (zh) | 2006-10-05 | 2007-09-29 | 液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 |
| CN200710153300A Active CN100584613C (zh) | 2006-10-05 | 2007-09-29 | 液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200710153300A Active CN100584613C (zh) | 2006-10-05 | 2007-09-29 | 液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8389046B2 (zh) |
| JP (1) | JP4605134B2 (zh) |
| KR (1) | KR100928672B1 (zh) |
| CN (2) | CN101712233B (zh) |
| TW (3) | TWI564596B (zh) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5151790B2 (ja) * | 2008-08-07 | 2013-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 膜形成部材の製造方法 |
| JP2010210853A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 |
| JP2010217643A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 |
| JP2010217826A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、薄膜形成方法 |
| JP2010217827A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、薄膜形成方法 |
| JP2010224217A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、薄膜形成方法 |
| JP5778961B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-09-16 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 表示装置および電子機器 |
| JP5728702B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-06-03 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | フィルタ製造装置およびフィルタ製造方法 |
| WO2014152656A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Cheng Kasing | Test strip housing system |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5384587A (en) * | 1991-06-07 | 1995-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-drop ink-jet recording method with compensation for image density non-uniformities |
| EP0832752A2 (en) * | 1996-09-30 | 1998-04-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet print method and apparatus, color filter, display device, and apparatus having display device |
| CN1212114A (zh) * | 1996-11-25 | 1999-03-24 | 精工爱普生株式会社 | 有机电致发光元件及其制造方法和有机电致发光显示装置 |
| EP0984303A1 (en) * | 1998-09-02 | 2000-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, liquid crystal display device using the color filter produced by the production process, and ink-jet head |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3332854B2 (ja) * | 1997-06-17 | 2002-10-07 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| KR100577903B1 (ko) * | 1998-03-17 | 2006-05-10 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 박막패터닝용 기판 및 그 표면처리 |
| JP4530438B2 (ja) * | 1998-08-11 | 2010-08-25 | オリンパス株式会社 | 画像形成装置 |
| JP2000284113A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 |
| JP2001194519A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Canon Inc | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、この表示装置を備えた装置の製造方法及び不良ノズル特定方法 |
| JP3880289B2 (ja) * | 2000-05-23 | 2007-02-14 | キヤノン株式会社 | ヘッドユニット、当該ヘッドユニットを用いるカラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた液晶パネルの製造方法および液晶パネルを備えた情報処理装置の製造方法 |
| US6561610B2 (en) * | 2000-10-05 | 2003-05-13 | Seiko Epson Corporation | Printing with reduced outline bleeding |
| JP2002148422A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Seiko Epson Corp | フィルタ及びフィルタの製造方法並びにこのフィルタを用いた電気光学装置 |
| JP2003177232A (ja) * | 2001-10-02 | 2003-06-27 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ及びその製造方法及び表示装置並びに電子機器 |
| JP2003159787A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-06-03 | Seiko Epson Corp | 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置 |
| JP4323879B2 (ja) | 2002-07-08 | 2009-09-02 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出方法 |
| US7111755B2 (en) * | 2002-07-08 | 2006-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method and apparatus and display device panel manufacturing method and apparatus |
| US7073883B2 (en) * | 2003-10-16 | 2006-07-11 | Eastman Kodak Company | Method of aligning inkjet nozzle banks for an inkjet printer |
-
2006
- 2006-10-05 JP JP2006273858A patent/JP4605134B2/ja active Active
-
2007
- 2007-09-29 CN CN2009102542210A patent/CN101712233B/zh active Active
- 2007-09-29 CN CN200710153300A patent/CN100584613C/zh active Active
- 2007-10-02 TW TW104103940A patent/TWI564596B/zh active
- 2007-10-02 TW TW096136929A patent/TW200903043A/zh unknown
- 2007-10-02 US US11/865,959 patent/US8389046B2/en active Active
- 2007-10-02 KR KR1020070099317A patent/KR100928672B1/ko active IP Right Grant
- 2007-10-02 TW TW101109390A patent/TWI484228B/zh active
-
2012
- 2012-03-13 US US13/418,496 patent/US8668951B2/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5384587A (en) * | 1991-06-07 | 1995-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-drop ink-jet recording method with compensation for image density non-uniformities |
| EP0832752A2 (en) * | 1996-09-30 | 1998-04-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet print method and apparatus, color filter, display device, and apparatus having display device |
| CN1212114A (zh) * | 1996-11-25 | 1999-03-24 | 精工爱普生株式会社 | 有机电致发光元件及其制造方法和有机电致发光显示装置 |
| EP0984303A1 (en) * | 1998-09-02 | 2000-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, liquid crystal display device using the color filter produced by the production process, and ink-jet head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN100584613C (zh) | 2010-01-27 |
| CN101712233A (zh) | 2010-05-26 |
| TW200903043A (en) | 2009-01-16 |
| KR100928672B1 (ko) | 2009-11-27 |
| JP2008091296A (ja) | 2008-04-17 |
| US8668951B2 (en) | 2014-03-11 |
| KR20080031783A (ko) | 2008-04-11 |
| TW201527804A (zh) | 2015-07-16 |
| TWI484228B (zh) | 2015-05-11 |
| JP4605134B2 (ja) | 2011-01-05 |
| CN101157297A (zh) | 2008-04-09 |
| US8389046B2 (en) | 2013-03-05 |
| US20080084405A1 (en) | 2008-04-10 |
| US20120171357A1 (en) | 2012-07-05 |
| TWI564596B (zh) | 2017-01-01 |
| TW201229575A (en) | 2012-07-16 |
| TWI374294B (zh) | 2012-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101712233B (zh) | 液状体配置方法、滤色器及有机el显示装置的制造方法 | |
| KR100967566B1 (ko) | 액적 토출 헤드의 구동 방법, 액적 토출 장치 및 전기 광학장치 | |
| US20120033005A1 (en) | Method for setting up drive signal | |
| KR20080053187A (ko) | 묘화 시스템, 액상체의 묘화 방법, 컬러 필터의 제조 방법,유기 ｅｌ 소자의 제조 방법 | |
| KR20120112055A (ko) | 노즐 토출량의 보정 방법, 액적의 토출 방법 및 유기 ｅｌ 소자의 제조 방법 | |
| JP2009186921A (ja) | 駆動信号設定方法 | |
| US7753482B2 (en) | Pattern forming method, liquid droplet discharging apparatus, and electrooptical device | |
| TWI432333B (zh) | 液狀體配置方法、彩色濾光器之製造方法、有機ｅｌ顯示裝置之製造方法 | |
| JP2008080207A (ja) | 液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ表示装置の製造方法 | |
| CN115135505A (zh) | 显示器的薄膜图案制造方法 | |
| CN106364161A (zh) | 头单元、控制单元、液体喷出装置及其控制方法 | |
| JP5282759B2 (ja) | 液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ表示装置の製造方法 | |
| CN110091604A (zh) | 喷墨打印控制方法、喷墨打印控制装置及喷墨打印系统 | |
| JP2008066217A (ja) | 液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ表示装置の製造方法 | |
| KR101231418B1 (ko) | 잉크의 토출량 제어 시스템 및 칼라 필터의 제조 방법 | |
| JP2009183837A (ja) | 液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法及び有機ｅｌ装置の製造方法 | |
| JP5387590B2 (ja) | 駆動信号設定方法 | |
| JP2009178616A (ja) | 液滴吐出装置とその駆動方法、液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法 | |
| JP2009291748A (ja) | 駆動信号設定方法 | |
| JP2009148694A (ja) | 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ素子の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20160630 Address after: Tokyo, Japan Patentee after: Tokyo Electron Limited Address before: Tokyo, Japan Patentee before: Seiko Epson Corp. |