1374294 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於利用液滴喷出法之液狀體配置方法、利用 該方法之彩色濾光片之製造方法、有機el顯示裝置之製造 方法。 【先前技術】 近年來，利用液滴喷出法之成膜技術備受注目，例如， 在專利文獻1中’曾揭示利用液滴喷出法之液晶顯示裝置 之彩色濾光片之製造方法。在此製造方法中，由對基板掃 描之液滴喷出頭（以下稱噴頭）之微細噴嘴噴出含色材之液 滴（液狀體）而在該基板上之劃分區域内配置（描繪）液狀 體’再藉乾燥等使配置之液狀體固化而形成對應於畫素之 著色膜。 [專利文獻1]日本特開2003-159787號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 而’對基板之液滴之配置圖案可以所謂點圖案（點矩陣 圖案）表示，將此點圖案變換成對應於對基板之各喷嘴之 相對位置（以下稱掃描位置）之喷出之開/關資料（喷出資料） 而施行喷出控制。此種點圖案係依照欲形成於基板上之液 . 狀體之圖案（彩色濾光片之製造之情形係依據對應之畫素· 構造）及喷嘴之配置構成等硬體條件預先產生。 但’喷嘴特性每1個體均有些為之誤差，此種誤差係導 致液狀體之配置精度降低之要因。例如，而有因液滴之飛 1247I0-1010315.doc 1374294 行方向不良，使液滴落在劃分區域外，或因喷出量之誤差 而在劃分區域間使液狀體之配置量發生不均之問題。 本發明係為解決上述問題而設計者，其目的在於提供可 高精度地配置液狀體之液狀體配置方法、及利用該液狀 配置方法之衫色濾光片之製造方法、有機EL顯示裝置之製 造方法。 (解決問題之技術手段） 本發明之特徵在於其係一面使複數喷嘴與基板相對地掃 描，一面由前述噴嘴喷出液狀體，藉以對前述基板上之特 定區域配置前述液狀體之液狀體配置方法，而包含：八步 驟，其係對應於前述特定區域產生設定有特定數a之點之 第1點圖案；c步驟，其係由前述特定數a之點消除特定數1) 之點而產生第2點圖案；及D步驟，其係依據前述第2點圖 案噴出前述液狀體；在前述c步驟中，至少依據對應之前 述喷嘴之喷出資訊判定有關前述特定數a之點之指標，依 據前述指標決定欲消除之前述特定數1?之點者。 在本發明之液狀體配置方法中，由具有對應於特定區域 產生設定有特定數a之點之第丨點圖案，消除特定數b之點 而產生第2點圖案，依據該第2點圖案配置液狀體。此時， 依據噴嘴之嗔出資訊判定有關上述特定數a之各點之噴出 才曰標’消除依據該指標決定之點，故可在對特定區域之喷 出中限制降低配置精度之影響性較大之喷出，提高配置精 度。 本發明之特徵在於其係一面使複數喷嘴與基板相對地掃 124710-1010315.doc U74294 2，一面由前述喷嘴喷出液狀體，藉以對前述基板上之特 定區域配置前述液狀體之液狀體配置方法，而包含：A步 驟，其係對應於前述特定區域產生設定有特定數a之點之 第1點圖案；C步驟，其係由前述特定數a之點消除特定數匕 之點而產生第2點圖案；及〇步驟，其係依據前述第2點圖 案喷出前述液狀體；在前述c步驟中’至少依據對應之前 述喷嘴之喷出資訊判定有關前述特定數a之點之指標，並 優先地消除被判定為前述指標相對較高之點者。 在本發明之液狀體配置方法中，由具有對應於特定區域 產生設定有特定數a之點之第1點圖案，消除特定數b之點 而產生第2點圖案，依據該第2點圖案配置液狀體。此時， 依據喷嘴之喷出資訊判定有關上述特定數a之各點之喷出 指標，優先地消除被判定為該指標相對較高之點，故可在 對特定區域之喷出中限制降低配置精度之影響性較大 出’提高配置精度。 貝 又，最好，前述液狀體配置方法之特徵在於包含 驟，其係取得前述喷嘴之喷出資訊；對應於前述基板之每 1單位乃至每複數單位執行前㈣步驟及前述c步驟者。 依據本發明之液狀體配置方法，可迅速對應於喷嘴 出資訊之變化，在適切之條件下，進行液狀體之配置。 又，最好，前述特定區域係被岸堤所劃分者。 依據本發明之液狀體配置方法 狀體超出特定區域外。 “女善地防止液 最好則述點之指標係在假定依據該點被喷出時之 i247JO-i〇|〇3J5.d, 1374294 液狀體之配置位置與前述特定區域之境界之距離愈小時， 愈會被判定為相對地較高者。 依據本發明之液狀體配置方法，可優先地消除預料對應 之液狀體之命中位置可能接近於特定區域之境界之點故 可妥善地防止液狀體超出特定區域外。 最好刖述點之指標係在假定依據該點被噴出時之 喷出量誤差愈大時，愈會被判定為相對地較高者。 依據本發明之液狀體配置方法，可優先地消除預料對應 之液狀體之賁出量誤差可能較大之點，故可提高在特定區 域單位之配置量之精度。 本發明之彩色濾光片之製造方法之特徵在於包含：利用 前述液狀體配置方法，在設定於前述基板上之複數前述特 定區域分別配置含色材之前述液狀體之步驟；及使所配置 之前述液狀體固化而形成分別以前述複數特定區域作為畫 素之對應區域之著色部之步驟。 依據本發明之彩色濾光片之製造方法’可利用上述液狀 體配置方法形成著色部，故可以簡易之處理製造高品質之 彩色濾光片。 本發明之有機EL顯示裝置之製造方法之特徵在於包含： 利用前述液狀體配置方法，在設定於前述基板上之複數前 述特定區域分別配置含有機EL材料之前述液狀體之步驟； 及使所配置之前述液狀體固化而形成分別以前述複數特定 區域作為畫素之對應區域之發光元件之步驟。 依據本發明之有機EL顯示裝置之製造方法，可利用上述 124710-1010315.doc -9- 1374294 液狀體配置方法形成發光元件，故可以簡易之處理製造高 品質之有機EL顯示裝置。 【實施方式】 以下，依據附圖詳細說明本發明之合適之實施型態。 以下所述之實施型態係本發明之合適之具體例，故附有 技術上理想之種種限定’但只要在以下之說明十無有關限 定本發明之記載，本發明之範圍不受此等型態所限制。 又，在以下之說明所參照之圖中，在圖示之方便上，構件 乃至於部份之縱橫之縮尺有顯示成異於實際狀況之情形。 (第1實施型態） (彩色濾光片之構成） 首先，參照圖1及圖2，說明有關本發明之彩色遽光片之 構成。圖1係表示彩色滤光片之構成之平面圖。圖2係表示 彩色濾光片之構造之剖面圖。 圖1、圖2所示之彩色濾光片丨係使用於彩色用顯示面板 之彩色慮光片’具有對應於顯示面板之r(紅）、G(綠）、 B(藍）之各色之畫素而形成之著色部2、與形成於著色部2 間之區域之遮光部3。又，本實施型態之著色部2雖具有對 應於所謂條紋型之畫紊構造之排列及形狀，但也可採用對 應於此種畫素構造以外之排列及形狀，例如含r，g,b以外 之色要素之畫素構造或三角型構造之構成。 彩色濾光片1包含玻璃之透光性之基板4,在基板4上以 鉻等遮光性材料圖案形成遮光部3，另外，在遮光部3上， 利用感光性樹脂等圖案形成岸堤5。著色部2形成於岸堤5 124710-1010315.doc 所劃分之劃分區域6内，又，在著色部2之形成面側，以樹 脂等形成使表面平滑化之罩面層7。又，複數之劃分區域6 全部以相同之形狀、大小形成。 (液狀體喷出裝置之機械的構成） 其次，參照圖3'圖4，說明有關使用於本發明之液狀體 配置方法之液狀體噴出裝置之機械的構成。 圖3係表示液狀體喷出裝置之要部構成之立體圖。圖4係 表示喷頭單元之喷頭之配置構成之平面圖。 圖3所示之液狀體喷出裝置200係包含直線地設置之1對 導軌201、與藉設於導軌2〇1内部之氣動活塞與線性馬達 (未圖示）向主掃描方向移動之主掃描移動台2〇3。又在導 軌201之上方，包含以與導軌2〇1正交方式設成直線狀之1 對導軌202、與藉設於導執2〇2内部之氣動活塞與線性馬達 (未圖示）沿著副掃描方向移動之副掃描移動台。 在主掃描移動台203上，設有載置作為喷出對象物之基 板P之台205。台205形成可吸附固定基板p之構成，且可藉 旋轉機構207使基板p内之基準轴正確地對正於主掃描方 向、副掃描方向。 釗掃描移動台204係包含經由旋轉機構208被安裝成吊掛 式之支架209。又，支架209係包含設置有複數喷頭u、 叫參照圖4)之嗔頭單元1〇、對噴頭u、⑽應液狀體之液 ^供應機構（未圖示）、及施行喷頭u、12之電性的驅動 控制之控制電路基板211(參照圖5)。 如圖4所不，噴頭單元10包含由喷嘴20噴出對應於R，G，b 124710-1010315 d( 1374294 噴頭Π、12之複數喷嘴20構成噴
之液狀體之喷頭11、12, 嘴群21A，21B。喷嘴群2 壓電το件16(參照圖5)之驅動而可改變其容量。又，由壓電 το件16供應電氣信號（驅動信號）而控制空腔内之液壓時， 可由喷嘴20喷出液滴（液狀體）。 如此，藉主掃描移動台203之移動，可使喷嘴群21八, 21B對基板P掃描於主掃描方向，且藉施行各喷嘴2〇之喷出 之開/關控制（以下稱喷出控制），可將液滴（液狀體）配置於 者基板P上之喷嘴2〇之知描軌跡之位置。又，喷頭11與 喷頭12係互相錯開位置被配置於副掃描方向，各喷嘴群 21Α，21Β係構成可互相補足可喷出範圍而描繪出連續之定 間距之掃描軌跡《又，鑑於其特性之特異性，嗔嘴群2 i Α 21B之端部之數個份之喷嘴2〇不予以使用。 再者’液狀體喷出裝置之構成並不限定於上述之態樣。 例如’也可構成使喷嘴群21A，21B之排列方向由副掃描方 向傾斜而相對於在喷嘴群21A，21B内之喷嘴20間之間距使 喷嘴20之掃描軌跡之間距變窄。又，也可適宜地變更嘴頭 單元10之喷頭11、12之數及其配置構成。又，作為喷頭 11、12之驅動方式，例如也可採用空腔設有加熱元件之所 謂加熱方式等。 (喷出控制方法） 1247J0-1010315.doc 1374294 其次’參照圖5、圓6說明有關液狀體喷出裝置之噴出控 制方法。圖5係表示液狀體喷出裝置之電氣的構成之圖。 圖6係表示點圖案與喷嘴之位置之關係之圖。 在圖5中’液狀體喷出裝置200係包含施行裝置全體之總 括控制之控制電腦210、及施行噴頭丨丨、12之電性的驅動 控制之控制電路基板211。控制電路基板211係經由軟性電 纜212電性連接各喷頭丨〗、12。又，噴頭n、12係對應於 叹在各噴嘴20(參照圖2)之壓電元件16而具備有移位暫存器 (SL)5〇、閂鎖電路（LA)51、位準移動器（LS)52、開關 (SW)53。 液狀體喷出裝置200之喷出控制係利用如下方式進行。 即，首先，控制電腦210係將基板P(參照圖丨）之液滴（液狀 體）之配置圖案被資料化之點圖案資料（詳見後述）傳送至控 制電路基板211。而，控制電路基扳211係將點圖案資料解 碼而產生各噴嘴20之開/關（喷出/非噴出）資訊之喷嘴資 料。喷嘴資料被串聯信號（SI)化而與時鐘信號（CK)同步地 被傳送至各移位暫存器5〇。 被傳送至移位暫存器50之喷嘴資料係在閃鎖信號（lat) 被輸入至閂鎖電路51之時間被閂鎖，再被位準移動器“變 換成開關53用之選通信號。即，在噴嘴資料為「開」之情 形，開關53打開，驅動信號（c〇M)被供應至壓電元件， ，開關53關閉，驅動信號 5而，由對應於「開」之喷 嗔出’所喷出之液滴（液狀 在喷嘴資料為「關」之情形 (COM)不被供應至壓電元件16 嘴20，使液狀體液滴化而加以 Ϊ2471(Μ0Ϊ0315.doc 13 1374294 體）被配置於基板p。 如上所述’液狀體喷出裝置200之喷出控制係依據點圖 案（資料）進行。此點圖案如圓6所示，可在具有主掃描方 向 '副掃描方向之成分之矩陣MT中，表示成在成為液滴 (液狀體）之噴出（配置）位置之劃分配置點D之圖案。點〇並 非僅表示喷出之有無’且也可具有灰階性，例如，可依照 灰階性改變液滴之量（喷出量）及喷出時間。 在此，矩陣MT之主掃描方向之間距：？1可由液滴（液狀 體）之喷出控制週期鎖週期）與掃描速度加以決定。又， 矩陣MT之副掃描方向之間距：p2可設定次掃描之喷嘴 20之掃描軌跡之間距：p0之自然數分之1倍。在本實施型 態中，p2可設定於p0之3分之i，在分成3次之各掃描間， 將喷嘴20之副掃描方向之位置互相錯開時，可使矩陣mt 之所有之點D對應於噴嘴2〇而喷出液滴（液狀體）。 又，在圖中，互相鄰接之點以，d2, d3係分別與第1掃 也第2掃’田帛3掃描有關之點。此等也可互相對應於相 同之喷嘴但因噴嘴間之特性（例如喷出量）之誤差會在空 間上分散，故最好在掃描間使點大幅㈣掃描方向移動而 使其對應於互異之喷嘴2〇。在複數之掃描間之喷嘴20(喷 頭）位置之錯開方法（掃描方法）有多樣之方法，可配合喷嘴 及喷頭間之特性誤差之分散及循環時間等而採用適切之方 在本實施型態中，雖未採用，但採用在複數之掃 描間使嗔嘴20之副播士―女A ^ @ J婦描方向之位置互相重疊之掃描方法 時也可使在行（主掃描方向之排列）内之點D分別對應 124710-1010315.doc 1374294 於複數之喷嘴20。 (彩色濾光片之製造方法（液狀體配置方法）） 其次，參照圖7〜圖9說明有關本發明之彩色濾光片之製 造方法（液狀體配置方法）。 圖7係表示彩色濾光片之著色部之形成製程之流程圖。 圖8係表示施行液狀體配置之際之基板之狀態之平面圖。 圖9係表示第1點圖案與喷嘴之關係之圖。 彩色濾光片1 (參照圖1、圖2)之著色部2(參照圖1、圖2) 之形成係藉由準備含有分別對應於R，G，B之色材之液狀 體，利用液狀體喷出裝置200(參照圖3)在基板上配置該液 狀體所執行。如圖8所示，在配置液狀體之基板p上，設定 有分別對應於彩色濾光片1之個體之區域之4個個體區域 8，藉岸堤5在每1個體區域8形成劃分區域6之群。在本實 施型態中’以劃分區域6之長邊方向為副掃描方向，短邊 方向為主掃描方向而將基板p载置於台2〇5(參照圖3)上。 在此，液狀體係被配置於作為岸堤5所劃分之特定區域 之劃分區域6，但為了配合劃分區域6正確地將液狀體圖案 化’最好預先在劃分區域6内之基板P之露出面，施行親液 化處理’在岸堤5之表面施行撥液化處理。此種處理例如 可利用氧或氟化碳之電漿處理施行。又，岸堤5之形成係 為了高精度施行液狀體之圖案化之理想之實施型態，為設 定特定區域，未必需要此種物理的劃分。 在液狀體之配置之前’首先，產生第1點圖案（圖7之步 驟S1)。即’步驟S1係構成本發明之A步驟。第1點圖案係 124710-1010315.doc 1374294 產生喷出控制之點圖案（第2點圖案）之基礎，呈現如圖9所 示之構成。在圖中，白底之圓表示每！個點，假想線所示 之假想劃分區域Al，A2，A3...表示將矩陣MT重疊於基板p 上之情形之劃分區域6之對應區域。 本實施型態之第1點圖案係在同色之各假想劃分區域A j， A2，A3…之大致中央’具有以4列χ6行之排列所設定之24 個（特疋數a)點。此等各點係依據與喷嘴之掃描軌跡之關係 位置分別對應於喷嘴nil，ni2〜。即，依據各點之液滴（液 狀體）之喷出係由其對應喷嘴所噴出，喷出之液滴（液狀體） 係處於被配置於在基板P(參照圖8)之該點之對應位置之關 係。 在第1點圖案中，設定於每丨假想劃分區域之點數比液滴 (液狀體）之適當配置量之相當數之18個還多，故就此狀態 依據第1點圖案施行液滴（液狀體）之喷出時，會導致由劃分 區域6之溢流。因此，有必要施行由24個（特定數a)點中消 除多餘數之6個（特定數b)點之處理，而產生喷出控制之第2 點圖案。 詳見後述，在第2點圖案之產生中，需要依據喷嘴之喷 出資訊之指標之判定。因此，在第2點圖案之產生之前， 需施行取得喷嘴之喷出資訊之噴嘴檢查（圖7之步驟§2卜 即，此步驟S2係構成本發明之B步驟。又，所謂喷嘴之喷 出資訊係指表示各噴嘴之喷出特性之資訊，例如可以噴出 量及命中位置之精度（配置位置精度）等加以表示。 本實施型態之喷嘴檢查係由喷嘴對用紙嘴出液滴（液狀 I247l0-10103l5.doc -16- 丄374294 體），藉對形成於用紙上之命中痕跡施行攝像、圖像分析 所執行。藉此，可取得由命令痕跡之理想位置之偏移量作 為配置位置精度之資訊。 喷嘴檢查（步驟S2)完畢後，依據取得之喷嘴之喷出資 訊，對第1點圖案施行處理，產生第2點圖案（圖7之步驟 S3)。此處理係依照設定於各假想劃分區域A1，A2,幻…内 之24個點單位進行，藉此，由24個（特定數a)點中消除6個 (特定數b)點，而產生每一假想劃分區域具有18個點之第2 點圖案（參照圖12)。即，此步驟S3係構成本發明之c步 驟。 其次，依據第2點圖案對劃分區域6喷出液滴（液狀體）（圖 7之步驟S4)。藉此，可將相當於18個點之量之液滴（液狀 體）分別配置至各劃分區域6。即，此步驟S4係構成本發明 之D步驟。 其次，使配置至劃分區域6内之液狀體乾燥，以形成著 色部2(參照圖1、2)(圖7之步驟S5)。詳見後述，第2點圖案 係呈現依據喷嘴之喷出資訊被適性化之構成，故可高精度 地形成對應於各劃分區域6之著色部2。 又’喷嘴檢查（步驟S2)與依據其結果之第2點圖案之產 生（步驟S3)最好在更換基板p之個體之時間等定期地施 行。喷嘴之嗔出資訊也可因後天的情況’例如對流路内之 氣泡之混入及噴嘴維護之執行歷程等而變化，可供迅速應 付此種變化。 (關於第2點圖案之產生） 124710-10l0315.doc 1374294 其次，參照圖9〜圖12,施行關於第2點圖案之產生之詳 細說明。 圖10係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。圖11係表 示第2點圖案之產生過程之圖。表1係表示各點之評分之 圖。圖12係表示第2點圖案之點之排列之圖。又，在圖11 中，附註於點内之數字係為識別各點而權宜地附註之記 號。 [表1] 點號 對應噴嘴 最接麵離 勝 1 n32 17 B1 3 2 n32 30 B3 12 3 n32 30 B3 12 4 n32 24 B2 8 5 n13 20 B1 5 6 n13 30 B1 12 7 n13 31 B2 13 8 n13 21 B2 6 9 n23 26 B1 10 10 n23 35 B2 15 11 n23 25 B2 9 12 n23 15 B2 1 13 n33 19 B1 4 14 n33 29 B1 11 15 n33 32 B2 14 16 n33 22 B2 7 17 n14 22 B1 7 18 n14 32 B1 14 19 n14 29 B2 11 20 n14 19 B2 4 21 n24 16 B4 2 22 n24 16 B4 2 23 n24 16 B4 2 24 n24 16 B4 2 生之處理係以圖9所示之第1點圖案為基礎而以設定於各假 想劃分區域Al，A2，A3...内之24個點群單位依照圖10所示 之流程圖所執行。此處理實際上係利用電腦自動地執行， 124710-1010315.doc •18· 1374294 電腦係讀出由步驟si所產生之第1點圖案（資料）與由步驟 S2所得之喷嘴之喷出資訊而執行圖1〇所示之處理。 在最初之步驟S11中’就各點運算對應之假想液滴之命 中位置之座標。在此，所謂假想液滴，係假想地反映假定 依據該點施行喷出時之液滴之狀態之液滴。圖丨1(a)〜(勻係 表不分別對應於第1、第14、第24點之假想液滴。又，所 謂假想液滴之命中位置，係指命中於基板上之際之假想液 滴之中心位置（在圖中以十字圖示）。 假想液滴之命中位置在理想上應該與各點之中心位置一 致，但實際上會受到對應喷嘴之配置位置精度之影響而發 生些微之偏移。即’假想液滴之命中位置係以點之中心位 置之座標為基準而施行依據對應喷嘴之配置位置精度之座 標修正所取得。 在其次之步驟S12中’依據步驟S11所取得之座標資訊， 運算對應於各點之假想液滴與假想劃分區域A丨，A2，A3 . 之境界之最接近距離。例如，著眼於假想劃分區域入2之情 形，假想液滴與境界B1〜B4之最接近距離如表i所示成 為最接近之境界及距離因點之設定位置及對應喷嘴之配置 位置精度而變化。 在其次之步驟S13中，依據步驟S12所取得之最接近距 離，施灯有關各點之評分之判定。在此，所謂評分，係將 假定依據該點施行噴出時之配置精度上之缺失（錯誤）之程 度予以數值化所得之分數，對應於本發明之指標。最接近 距離小表示所喷出 <液滴超出而落在劃分區域外之危險性 124710-1010315.doc 1374294 較向’最接近距離愈小時’判定有關該點之評分愈小（指 標愈高）（參照表丨）。 在其次之步驟S 14中，在假想劃分區域Al, A2, A3…内之 24個（特疋數a)點中’消除被判定評分相對較小之6個（特定 數b)點，產生第2點圖案。如此，依據第2點圖案施行液滴 (液狀體）之配置之情形，可優先地限制預料命中位置可能 接近於特定區域之境界之液滴之喷出，故可妥善地防止液 滴超出劃分區域外。 著眼於饭想劃分區域A2之情形，參照表丨而依照評分較 小（指標較高）之順序選定6個點時，第i、第12、第2卜第 點相S於此。消除此等之點而產生之第2點圖案顯示如 圖12所示之排列。
-…精度地將液狀體配置於 上述步驟S11〜
之態樣》 假想劃分區域所j 各劃分區域。在 使液狀體之配置 劃分區域獨立設定之態樣。
但在選定中， 並無絕對的之評分之基準值 如上所述， (指標）被選定，但右雄金士 . ^ 124710-1010315.doc -20- 1374294 存在’而係藉由在依照各假想劃分區域Al，A2，A3...所設 定之24個點間之相對的比較而施行選定。因此，在液狀體 之配置精度之提高方面’可在限定之條件下儘可能地獲得 理想之效果》 又’在上述實施型態中，雖以第1〜第24點之全部為對象 而施行步驟S11〜S13之處理但對於一部分之點，也可加以 省略。例如，對於設定於靠近中央之位置之8個點（第6，7, 1()’ 11，14，15，18，19點），假設依據此而被噴出也不會發 生超界時’也可省略最接近距離之運算。 又’在上述實施型態中，雖採用由24個（特定數a)之點中 消除ό個（特定數b)之點之態樣，但特定數a及特定數b之值 可依照劃分區域6之大小、矩陣MT之間距（解像度）、目標 之配置量、每1點之液滴量等適宜地予以變更。 (第2實施型態） 其次’參照圖9、圖13、表2、圖14，以與第1實施型態 之相異點為中心，說明本發明之第2實施型態。 圖13係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。表2係表示 各點之評分之圖》圖14係表示第2點圖案之點之排列之 圖0 12471〇.l〇i〇3i5.d, -21 - x^/4294 [表2] 點號 封應噴嘴 噴出 mt 1 Π32 -0.14 3 2 Π32 -0.14 3 3 Π32 -0.14 3 4 n32^ -0.14 3 5 n13 +0.15 2 6 n13 +0.15 2 7 n13 +0.15 2 8 nl3 +0.15 2 9 n23 +0.08 5 10 n23 +0.08 5 11 n23 +0.08 5 12 n23 +0.08 5 13 n33 -0.11 4 14 ~~n33~ -0.11 4 15 n33 -0.11 4 16 n33 -0.11 4 17 n14 +0.22 1 18 n14 +0.22 1 19 nU +0.22 1 20 Π14 +0.22 1 21 Π24 +0.03 6 22 ~n24 +0.03 6 23 n24 +0.03 6 24 11¾ +0.03 6 在此第2實施型態中，沿著圖13之流程圖施行第2點圖案 之產生。即’在最初之步驟S2丨中，就設定於假想劃分區 域Al’ A2, A3…内之各點，運算假定依據該點被喷出時之 噴出量之誤差（喷出量誤差）。此喷出量誤差係被求出作為 對應喷嘴之喷出量與基準量（將喷出量之設計上之理想 值、或複數喷嘴之嘴出量平均化之值）之差。 各喷嘴之喷出量係在先前之喷嘴檢查(圖7之步驟以)中 被計測。具體上，例如， 藉由利用白色干涉法3維測定配 置於基板上之液滴之I*接 _ . ^ 積’或藉由測定被喷出至用紙之液 滴之命中痕跡之大小（面镥 I曲積）而加以計測。 I247l0-I0l03l5.doc -22. 1374294 在'次之步物t，依據步驟S21所取得之嘴出量誤 有關各點之評分之判定。喷出量誤差較大表示與 “AH:量之液滴被配置於劃分區域内，故其評分被 判疋為相對較小（指標較高參照表2)。 在其次之步驟S23中，在假想劃分區域μ，八2,八3内之 24個(特定數a)點中’消除被判定評分相對較小之6靖定 數b)點’產生第2點圖案。藉此，依據第2點圖案施行液滴 (液狀體）之配置之情形，可優先地限制喷出量誤差相對較 大之點’故可提高配置量精度。 在本實施型態中，著眼於假想劃分區域八2之情形，評分 較小（指標較高）之順序消除6個點，即第ι7〜第2〇點、第 第8點中之2個點。有關第5〜第8點之評分雖為互相相同之 值，但在此種情形，例如可由等效之點中隨機地選定消除 之對象°如此產生之第2點圖案之排列例如成為如圖丨4所 示之狀態。 (變形例） 其次’參照表3、圖1 5，以與先前之實施型態之相異點 為中心，說明有關第2實施型態之變形例》 表3係表示各點之評分之圖。圖1 5係表示第2點圖荦之點 之排列之圖。 124710-10l0315.doc •23· 1374294 [表3] 點號 對sm 噴出 將 1 n32 -0.14 2 2 n32 -0.14 2 3 n32 -0.14 2 4 n32 -0.14 2 — 5 n13 +0.15 3 — 6 n13 +0.15 3 7 n13 +0.15 3 8 n13 +0.15 3 9 n23 +0.08 5 10 n23 +0.08 5 11 n23 +0.08 5 12 n23 +0.08 5 13 n33 -0.11 4 14 n33 -0.11 4 15 n33 -0.11 4 16 n33 -0.11 4 17 n14 +0.22 1 18 n14 +0.22 1 19 n14 +0.22 1 20 n14 +0.22 1 21 n24 +0.03 6 22 n24 +0.03 6 23 n24 +0.03 6 24 n24 +0.03 6 在此變形例中，在評分（指標）之判定中考慮喷出量誤差 之極性（正負）。即’在喷出量誤差之極性（正負）互相相同 之點間’雖在喷出量誤差之絕對值愈大時，判定指標相對 地愈高（評分愈小），但在不同極性之點間，則未必如此。 例如，著眼於假想劃分區域A2之情形（參照表3)，噴出 量誤差：+0.22之第17〜第20點之評分被判定為！之點雖與 先前之實施型態相同，但喷出量誤差· _〇 M之第丨〜第4點 之#分被判定為2，噴出量誤差：+〇 15之第5〜第8點之評 分被判定為3。如此，可消除第5〜第8點及第1〜第4點中之2 個點，使第2點圖案之點之排列例如成為如圖i5所示之狀 124710-1010315.doc -24- 1374294 在先前之實施型態中’由於僅著眼於噴出量誤差之絕對 值而施行評分（指標）之判定，故在僅消除噴出量多於基準 量之點，並依據第2點圖案施行液狀體配置之情形會因 劃分區域内之配置量較少而有發生偏置之問題。在本變形 例中，藉由採用評分（錯誤指標）之序列在喷出量誤差之極 性中交互存在之判定基準，以謀求避免如上述之問題。 (第3實施型態） 其次，參照表4、圖16，以與第2實施型態之相異點為中 心，說明本發明之第3實施型態。 表4係表示各點之評分之圖。圖16係表示第2點圖案之點 之排列之圖。 [表4] ~2~ ~3~~ ~~4~ ~5~ Τ~ _10 ΤΓ 12 13~ 1516； 1Τ ~20 ~22 *24" 對應顿 n32 n32 n32 n32 n13 n13 n13 n13 n23 n23 n23 r>23 n33 n33 n33 n33 — n14 n14 ~ n14 n14 r>24 ~ n24 n24 ~n24 — mtasm. Γ-0.14 一-0.14 一-0.14 一 -0.14 一十 0.15 一+0.15 一 +0.15 一+0.15 一+0.08 _ +0.08 _ +0.08 一+0.08 _-0.11 —-0.11 —-0.11 一-0.11 _ +0.22 _ +0.22 —+0.22 _ +0.22 一 +0.03 _ +0.03 _ +0.03 +0.03 ?Ρ^·β 2 2 勝c ===2== ~2~ ~2~ ~~2~ ~Τδ~ ~Τδ~ ~Τ5~ Τ5~ mm-==Τ= 4 ΤΓ ΤΓ ΤΓ 4 4 1 ~Τ~ ~τ~ ΤΓ ΤΓ3α ΤΓ ~ ~2~ 3 *2Τ Ύδ 1Τ ΤΓ I24710-10103l5.doc -25- 1374294 在本第3實施型態中，係依據在第2實施型態所說明之噴 出量誤差與對副掃描方向之點之相對位置而施行評分（錯 誤指標）之判定。即，依據喷出量誤差而依照表5施行評分 B之判定，依據對副掃描方向之點之相對位置而依照表6施 行評分C之判定，並判定作為評分B與評分C之總和之總評 分（參照表4)。 [表5] 喷出量誤差(絕對值） 評分B 0.20以上 1 0.10以上而不足0.20 2 不足0.10 3 [表6] 對副掃描方向之點之相對位置 評分C 中央列(第9〜第16) 1 準外廓列(第5〜8、第17〜20) 1.5 外廓列(第1〜4、第21〜24) 2 為施行良好之圖案，最好能使液狀體毫無缺陷地溼潤擴 散至劃分區域之各個角落，但在此種觀點下，依據中央列 之點之液滴（液狀體）之喷出可以說比依據外廓列之點之液 滴（液狀體）之喷出相對地容易發生缺失。雖因劃分區域内 之溼潤性及液狀體之表面張力所致，但一般而言，靠近劃 分區域之端部之處比靠近中央之處更容易發生液狀體之缺 陷，換言之，此係由於優先地將液滴配置於靠近中央之處 容易導致此種缺陷之故。依據對副掃描方向之點之相對位 124710-1010315.doc -26- 1374294 置而施行評分（錯誤指標）之判定係鑑於此種情況所採取之 應變措施，對副掃描方向之相對位置愈靠近中央，判定該 點之評分愈小（錯誤指標愈高）。 如此，著眼於假想劃分區域A2之情形（參照表4)，第17〜 第20點及第13〜第16點中之2個點會被消除，第2點圖案之 排列例如會成為如圖1 6所示之狀態。 (第4實施型態） 其次，參照表7、圖17，以與第i、3實施型態之相異點 為中心，說明本發明之第4實施型態。 、‘· 表7係表示各點之評分之圖。圖Π係表示第2點圖案之點 之排列之圖。 ‘‘ [表7]
124710-丨 0103 丨 5.doc •27· u/4294 在本第4實施型態中’除了第3實施型態所說明之評分 B砰分C以外，依據第1實施型態所說明之假想液滴之命 中位置座標與假想劃分區域之境界之最接近距離而依照表 8被施行評分a之判定，並判定作為評分A, B，^之總和之 總評分（參照表7)。 [表8] 最接近距離 評分A --—----------— 1 不足18 18以上 〜--------------— 3 如此’著眼於假想劃分區域A2之情形（參照表7)，第i、 第12、第17〜第20點會被消除，第2點圖案點之排列例如會 成為如圖17所示之狀態。 又’如第3、第4實施型態所汴’施行依據複數參數之評 分（總評分）之判定之情形，玎適宜地變更在參數間之加 權。例如，採用依照表9施行評分8之判定之態樣時，由於 依據噴出量誤差之總評分判定之比重相對變小，故與喷出 量誤差較大之點相比，最接近雜離較小之點會被優先地消 除。 [表9] 喷出量誤差(絕對值） __評分B 0.20以上 1 0_10以上而不足0.20 1.5 不足0.10 2 -------------- 12471〇-l〇l〇3i5.do« •28· 1374294 (第5實施型態） 其次’參照圖18，以與第1實施型態之相異點為中心， 說明本發明之第5實施型態。 圖1 8係表示有機el顯示裝置之要部構成之剖面圖。 如圖18所示，有機EL顯示裝置1〇〇係包含元件基板1U、 形成於元件基板111上之驅動電路部112、形成於驅動電路 部112上之發光元件部113、及封閉驅動電路部U2及發光 元件部113之封閉基板丨丨4。在封閉基板丨丨4所封閉之封閉 空間115填充有惰性氣體。 發光元件部113具有被岸堤120所劃分之複數劃分區域 119’在此劃分區域119内形成有發光元件125。發光元件 125係在作為驅動電路部n2之輸出端子之分段電極（陽 極）121與共通電極（陰極）124之間層疊有電洞輸送層丨22、 有機EL材料層123所構成。又，在岸堤i2〇與驅動電路部 112之間，以鉻或其氧化物等形成防止灰階要素間之干涉 之遮光膜126。 電洞輸送層122係將電洞注入有機El材料層123之功能 層，由聚噻吩衍生物之摻雜質（PEd〇t)等高分子導電體所 形成。有機EL材料層123係由可發出螢光或燐光之習知之 有機EL材料’例如聚芴衍生物、（聚）對笨乙烯撐衍生物、 聚苯衍生物等所形成《電洞輸送層122、有機EL材料層123 係利用第1實施型態所說明之液狀體配置方法，配置含對 應於作為特定區域之劃分區域119之功能性材料（peDOT/有 機EL材料）之液狀體而製成。 124710-1010315.doc -29· 1^/4294 本發明並不限定於上述之實施型態。 例如’作為使用上述之液狀體配置方法之別例，例如可 列舉電漿顯示裝置之螢光膜之形成、或電路之導電布線及 電阻元件之形成等。 又’實施型態之各構成可將此等構成適宜地組合，戒省 略’或與未圖示之其他構成相組合。 【圖式簡單說明】 圖1係表示彩色濾光片之構成之平面圖。 圖2係表示彩色濾光片之構造之剖面圖。 圖3係表示液狀體喷出裝置之要部構成之立體圖。 圖4係表示喷頭單元之喷頭之配置構成之平面圖。 圖5係表示液狀體喷出裝置之電氣的構成之圖。 圖6係表示點圖案與喷嘴之位置之關係之圖。 圖7係表示彩色遽光片之著色部之形成製程之流程圖。 圖8係表示施行液狀體配置之際之基板之狀態之jp·面 圖。 圖9係表示第1點圖案與喷嘴之關係之圖。 圖10係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。 圖11(a)〜(c)係表示第2點圖案之產生過程之圖。 圖12係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖13係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。 圖14係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖15係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖16係表示第2點圖案之點之排列之圖。 124710-1010315.doc •30· 1374294 圖17係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖18係表示有機EL顯示裝置之要部構成之剖面圖。 【主要元件符號說明】 2 4 5 6 20 100 119 彩色濾光片 著色部 基板 岸堤 作為特定區域之劃分區域 喷嘴 有機EL顯示裝置 作為特定區域之劃分區域 岸堤 電洞輸送層 120 122 123 有機EL材料層 125 發光元件 200 液狀體喷出裝置 MT 矩陣 124710-1010315.doc -31 ·