KR100559750B1 - 페이스트 도포기 - Google Patents
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- B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
- B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
- B05C1/14—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a travelling band
Abstract
Description
Claims (14)
- 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되는 도포헤드와;상기 도포헤드와 상대이동 가능하며, 기판이 탑재되는 스테이지와;상기 도포헤드와 스테이지가 이동되는 좌표축에 대하여 페이스트 패턴이 도포되어야 할 기판상의 좌표축이 일정 각도로 틀어진 상태에서 상기 도포헤드와 스테이지를 동시에 이동시키면서 상기 페이스트 패턴을 도포하도록 제어하는 제어부를 포함하는 페이스트 도포기.
- 제1항에 있어서,상기 스테이지 상에서 기판의 위치정보를 파악하는 위치측정센서를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제2항에 있어서,상기 제어부는 상기 위치측정센서에서 파악된 기판의 위치정보를 기반으로 상기 기판이 최초에 위치되어야 할 기준위치에서 어긋난 정도에 대응하는 기판의 위치변화량을 산출하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제3항에 있어서,상기 위치변화량은 상기 도포헤드가 이동되는 X축 방향과 상기 페이스트 패턴이 도포 되어야할 X'축 방향이 틀어진 각도, 최초에 입력된 페이스트 패턴상의 기준점과 탑재된 기판상에서 페이스트 패턴이 도포되어야 할 기준점의 위치변화량을 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제4항에 있어서,상기 기판의 위치변화량에 따라 초기에 입력된 페이스트 패턴의 위치데이터를 수정하는 데이터 처리부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 노즐에서 페이스트가 토출될 때 상기 기판과 노즐은 각각의 이동방향이 서로 수직을 이루면서 이동되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 기판이 탑재되는 스테이지와;상기 기판 상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 도포헤드와;상기 도포헤드와 스테이지가 이동되는 좌표축에 대하여 페이스트 패턴이 도포되어야 할 기판상의 좌표축이 틀어진 각도를 포함하는 기판의 위치정보를 파악하는 위치측정센서와;상기 스테이지는 회전하지 않고 상기 도포헤드와 스테이지 중 하나 이상을 이동시킴으로써 상기 노즐의 위치를 설정하고, 상기 위치측정센서에서 측정된 정보를 기반으로 상기 도포헤드와 스테이지를 동시에 이동시키면서 페이스트 패턴을 도포하도록 제어하는 제어부를 포함하는 페이스트 도포기.
- 제7항에 있어서,상기 기판의 위치정보에 따라 노즐의 위치를 설정하기 위하여 상기 노즐을 이동시키는 도포헤드 Y축 이동장치를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제8항에 있어서,상기 도포헤드 Y축 이동장치는 서보모터와 상기 서보모터에 의하여 구동되는 모터축을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제 8항에 있어서,상기 페이스트 패턴이 도포 되어야 할 X'축 방향과 각각의 도포헤드에 장착된 노즐들의 토출구 중심점들이 이루는 가상 연장선은 일직선 상에 위치되도록 하는 것을 특징으로 페이스트 도포기.
- 제10항에 있어서,상기 기판의 위치정보에 따라 기판상에 도포되는 페이스트 패턴의 위치데이터를 자동으로 수정하는 데이터 처리부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는 상기 노즐에서 페이스트가 토출될 때 상기 기판과 노즐은 각각의 이동방향이 서로 수직을 이루면서 이동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
- 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 도포헤드와;상기 도포헤드가 장착되고, 상기 페이스트가 토출되는 동안에는 정지하고 있는 지지대와;상기 지지대에 대하여 회전되지 않고, 상기 도포헤드가 이동되는 방향과 수직인 방향으로 이동되는 스테이지를 포함하여 구성되는 페이스트 도포기.
- 제12항에 있어서,상기 노즐에서 페이스트가 토출될 때 상기 기판과 노즐은 각각의 이동방향이 서로 수직을 이루면서 이동되고, 상기 기판과 노즐은 동시에 이동되도록 하는 제어부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
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