JP2840417B2

JP2840417B2 - 部品装着装置

Info

Publication number: JP2840417B2
Application number: JP2259181A
Authority: JP
Inventors: 一徳高田
Original assignee: Sanyo Denki Co Ltd
Current assignee: Sanyo Denki Co Ltd
Priority date: 1990-09-27
Filing date: 1990-09-27
Publication date: 1998-12-24
Anticipated expiration: 2013-12-24
Also published as: JPH04137599A

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明はテーブル上の基板に付されたマークの位置を
認識手段で認識して、その結果に基づき前記テーブルと
部品装着ノズルとの相対的位置ずれを補正して該基板に
部品を装着する部品装着装置に関する。

（ロ）従来の技術この種基板に付されたマークの位置を認識して基板の
位置ずれ等を補正する部品装着装置が、特開昭63−7453
0号公報に開示されている。この従来技術によれば、基
板の伸縮率は基板の部分によらず一定であるものとして
補正されている。

しかし、前記従来技術では基板の場所により伸縮率が
異なったりパターンの印刷がずれた場合等には、正しい
補正された位置に部品が装着されなくなるという欠点が
ある。

また、部品の回転方向の角度ずれの測定のためには、
マーク間の距離が短いとカメラの画像の誤差により正確
な角度ずれが測定できないという欠点がある。

（ハ）発明が解決しようとする課題そこで本発明は、基板の場所によって位置ずれが異な
る場合でも部品の装着時に正確な補正を行なうことを目
的とする。

また本発明は、XY方向の位置ずれを正確に補正してか
つ角度ずれの補正を正確に行なうことを目的とする。

（ニ）課題を解決するための手段このため本発明は、テーブル上のプリント基板に付さ
れたマークの位置を認識手段で認識して、その結果に基
づいて前記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位置ず
れを補正して該基板に部品を装着する部品装着装置に於
いて、複数のエリアに分けられた前記基板上に付された
複数の前記マークのうちから前記エリア毎に位置ずれの
算出に用いるマークの組合わせを任意に設定する設定手
段と、該設定手段に設定されたマークの組合わせをエリ
ア毎に記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された装
着される部品が属するエリアに対応したマークの認識デ
ータに基づいて部品装着ノズルに吸着されている部品の
前記基板に対する相対的位置関係を補正すべく該ノズル
及び／又は前記テーブルを制御する制御手段とを設けた
ものである。

また本発明は、テーブル上のプリント基板に付された
マークの位置を認識手段で認識して、その結果に基づい
て前記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位置ずれを
補正して該基板に部品を装着する部品装着装置に於い
て、前記基板を複数のエリアに分けたうち少なくとも一
つのエリアの位置ずれの算出のために用いられる前記基
板上に複数付された前記マークの組合わせの一部を他の
エリアの位置ずれの算出のために用いられるマークの組
合わせの一部と共用してエリア毎に記憶する記憶手段
と、該記憶手段に記憶された装着される部品が属するエ
リアに対応したマークの認識データに基づいて部品装着
ノズルに吸着されている部品の前記基板に対する相対的
位置関係を補正すべく該ノズル及び／又は前記テーブル
を制御する制御手段とを設けたものである。

また本発明は、テーブル上のプリント基板に付された
マークの位置を認識手段で認識して、その結果に基づい
て前記テーブルと部品装着ノズルとのXY方向の相対的位
置ずれ及び相対的角度ずれを補正して該基板に部品を装
着する部品装着装置に於いて、複数のエリアに分けられ
た前記基板上に付された複数の前記マークのうちから前
記エリア毎にXY方向の位置ずれの算出に用いるマークの
組合わせを任意に設定する位置ずれマーク用設定手段
と、複数のエリアに分けられた前記基板上に付された複
数の前記マークのうちから前記エリア毎に角度ずれの算
出に用いるマークの組合わせを任意に設定する角度ずれ
マーク用設定手段と、前記位置ずれマーク用設定手段に
設定されたマークの組合わせをエリア毎に記憶する位置
ずれマーク用記憶手段と、前記角度ずれマーク用設定手
段に設定されたマークの組合わせをエリア毎に記憶する
角度ずれマーク用記憶手段と、該位置ずれマーク用記憶
手段に記憶された装着される部品が属するエリアに対応
したマークの認識データに基づく前記XY方向の位置ずれ
及び前記角度ずれマーク用記憶手段に記憶されたマーク
の認識データに基づく前記角度ずれを補正して部品装着
ノズルに吸着されている部品の前記基板に対する相対的
位置合わせを行なうべく、該ノズル及び／又は前記テー
ブルを制御する制御手段とを設けたものである。

（ホ）作用特許請求の範囲第１項によれば、制御手段は設定手段
に任意に設定されて記憶手段に記憶された装着される部
品が属するエリアに対応したマークの認識データに基づ
いて部品装着ノズルに吸着されている部品の前記基板に
対する相対的位置関係を補正すべくノズル及び／又は基
板が載置されるテーブルを制御する。

特許請求の範囲第２項によれば、制御手段は記憶手段
に記憶された装着される部品が属するエリアに対応した
マークの認識手段に認識された認識データに基づいて部
品装着ノズルに吸着されている部品の基板に対する相対
的位置関係を補正すべくノズル及び／又は基板が載置さ
れるテーブルを制御するが、この際、認識手段が認識し
た少なくとも１つのマークの認識データのは複数のエリ
アで共通に位置ずれの算出に用いられる。

特許請求の範囲第３項によれば、位置ずれマーク用記
憶手段に記憶された装着される部品が属するエリアに対
応したマークの認識データに基づくXY方向の位置ずれ及
び角度ずれマーク用記憶手段に記憶されたマークの認識
データに基づく角度ずれを補正して部品装着ノズルに吸
着されている部品の基板に対する相対的位置合わせを行
なうべく、ノズル及び／又は基板を載置するテーブルを
制御する。

（ヘ）実施例以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

第２図に於いて、（１）はＸ軸モータ（２）及びＹ軸
モータ（３）の回動によりXY方向に移動するXYテーブル
であり、チップ部品（４）が装着されるプリント基板
（５）が載置される。

（６）は供給台であり、チップ部品（４）を供給する
部品供給装置（７）が多数台配設されている。（８）は
供給台駆動モータであり、ボールネジ（９）を回動させ
ることにより、該ボールネジ（９）に嵌合し供給台
（６）に固定された図示しないナットを介して、供給台
（６）がリニアガイド（10）に案内されて移動する。

（11）は間欠回転するターンテーブルであり、該テー
ブル（11）の外縁部には吸着ノズル（12）を４本有する
装着ヘッド（13）が等間隔に配設されている。各装着ヘ
ッド（13）は、ターンテーブル（11）の間欠回転毎に同
一位置に停止して行く。

吸着ノズル（12）が供給装置（７）より部品（４）を
吸着し取出す装着ヘッド（13）の停止位置が吸着ステー
ションであり、吸着ステーションにてターンテーブル
（11）の一番外側に位置する吸着ノズル（12）が部品
（４）を吸着する。装着ヘッド（13）は、吸着ステーシ
ョンよりも前の停止位置であるノズル交換ステーション
にてヘッド回動ローラ（14）により回動され、次に使用
されるべきノズル（12）がターンテーブル（11）の外側
に位置させられる。

装着ヘッド（13）が吸着ステーションの次の次に停止
する位置が認識ステーションであり、該ステーションに
て部品認識カメラ（16）により吸着ノズル（12）が吸着
する部品（４）の位置ずれが認識される。

認識ステーションの次の装着ヘッド（13）の停止する
位置が、角度補正ステーションであり、カメラ（16）の
認識結果に基づき吸着ノズル（12）がノズル回動ギア
（17）により回動され部品（４）の回転角度の位置ずれ
が補正される。

角度補正ステーションの次の停止位置が、装着ステー
ションであり、前記基板（５）に該ステーションの吸着
ノズル（12）の吸着する部品（４）が装着される。（2
0）はXYテーブル（１）に載置されるプリント基板
（５）を認識する基板認識カメラである。

第３図に於いて、（22）はCPUであり、部品装着に係
る種々の動作をRAM（23）に記憶されたNCデータ等に基
づき、ROM（24）に記憶されたプログラムに従って制御
する。

CPU（22）にはインターフェース（25）を介してＸ軸
モータ（２）を駆動するＸ軸モータ駆動回路（27）、Ｙ
軸モータ（３）を駆動するＹ軸モータ駆動回路（28）、
供給台駆動モータ（８）を駆動する供給台駆動回路（2
9）、ターンテーブル（11）を回動させる回転盤モータ
（31）を駆動する回転盤モータ駆動回路（32）、部品認
識カメラ（16）の認識回路（33）及び基板認識カメラ
（20）の認識回路（34）、ノズル回動ギア（17）を回動
させるθ回転モータ（35）を駆動するθ回転モータ駆動
回路（36）、画面を表示するCRT（37）及び操作ボード
（38）が接続されている。

操作ボード（38）には数字を入力するテンキー（39）
等が設けられている。

第１図において、プリント基板（５）には該基板
（５）の位置ずれを部品（４）の装着時に補正するため
の基板位置決めマーク（P1）（P2）（P3）（P4）（P5）
（P6）が付されている。該プリント基板（５）は第１図
の点線で区切られた６個のエリアから成っており、第１
図の上側の左側より右側に向って「エリアＡ」「エリア
Ｂ」「エリアＣ」、下側の左側より右側に向って「エリ
アＤ」「エリアＥ」「エリアＦ」と呼ぶことにする。

前記RAM（23）に記憶されているNCデータは第４図の
ように表示され、部品装着の順序を示すステップ毎に部
品（３）の装着位置をＸ座標データ及びＹ座標データで
示し、部品（３）のθ方向の装着角度位置を角度データ
で示し、装着すべき部品（３）の品種を部品データで示
している。エリアのデータは部品（３）の装着位置が前
述の何れのエリアに属するかがエリア名で示される。

コントロールコマンドに示される「Ｅ」はステップの
終了を示す。

また、RAM（23）内には第５図に示されるような基板
認識カメラ（20）に認識された各基板位置決めマークの
座標位置が格納される領域が設けられている。位置決め
マーク（P1）乃至（P6）の認識座標位置が、第５図の表
中「１」乃至「６」に夫々対応して格納される。

部品（４）の装着の際何れか２個の基板位置決めマー
クの座標位置に基づき、基板自体の位置ずれ、基板の各
部分の熱等による伸縮及びパターンの印刷時の伸縮等に
よる基板のずれの補正がされるが、何れの位置決めマー
クを用いるかはあらかじめ設定が行なわれる。この設定
のために操作ボード（38）のCRTキー（40）を押圧する
と、第６図のような画面がCRT（37）上に表示される
が、エリア毎に基板位置決めマーク（P1）乃至（P6）に
対応する第５図の数字より２個を選び操作ボード（38）
のテンキー（39）により入力して行くことにより設定さ
れRAM（23）内に記憶される。

即ち、CRT（37）の画面が表示されたならば、テンキ
ー（39）により「１」及び「２」を入力すると第６図の
ように表示され、エリアＡの基板位置決めマークが設定
される。次にNEXTキー（41）の押圧によりエリアＢの設
定画面が表示され「１」及び「４」を入力すると第７図
のように表示されエリアＢについてはマーク（P1）及び
マーク（P4）による補正が行なわれる。

以下同様にして任意の基板位置決めマークの組合せが
夫々のエリアに対して設定される。

以上のような構成により、以下動作について説明す
る。

先ず、プリント基板（５）が図示しない移載手段によ
りXYテーブル（１）上に載置されると、RAM（22）にあ
らかじめ記憶された基板位置決めマーク（P1）乃至（P
6）の位置データに基づきXYテーブル（１）が移動し
て、該マーク（P1）乃至（P6）の実際の位置が基板認識
カメラ（20）により認識され測定される。この場合第６
図のように設定され適用される基板位置決めマークのみ
を認識するようになされている。

即ち、先ず基板位置決めマーク（P1）のあらかじめ記
憶された位置データに基づき、CPU（22）はＸ軸モータ
駆動回路（27）及びＹ軸モータ駆動回路（28）の駆動に
よるＸ軸モータ（２）及びＹ軸モータ（３）の回動によ
りXYテーブル（１）を移動して基板位置決めマーク（P
1）を基板認識カメラ（20）の下方に位置させる。そし
て、基板認識カメラ（20）の撮像が行なわれ撮像画面が
認識回路（34）により認識処理され基板位置決めマーク
（P1）の位置が測定される。この測定された位置座標
（X_P1,Y_P1）がRAM（23）の第５図の「１」の領域に記憶
される。

以下同様にして第５図のように基板位置決めマーク
（P1）乃至（P6）の測定された位置座標データがRAM（2
3）内に記憶される。本実施例の場合は第５図のように
全ての基板位置決めマークが使用されるため、６点共に
データが格納されている。次にCPU（22）は第４図のNC
データに基づき、ステップM1の部品装着に係る動作を行
なう。

即ち、品種「R1」の部品（４）を供給する供給装置
（７）がモータ（８）の回動によりボールネジ（９）の
回動を介して供給台（６）がリニアガイド（10）に案内
され移動することにより移動し、吸着ステーションの吸
着ノズル（12）が品種「R1」の部品（４）を吸着する。

該部品（４）を吸着したノズル（12）を有する装着ヘ
ッド（13）は、ターンテーブル（11）の回転盤モータ
（31）の回動による間欠回転により認識ステーションに
停止して、認識カメラ（16）及び認識回路（33）により
部品（４）の位置ずれの認識が行なわれる。

この後、部品（４）を吸着した吸着ノズル（12）は角
度補正ステーションにて認識ステーションでの認識結果
及び基板位置決めマークによる基板（５）の角度ずれに
基づき、ノズル回動ギア（17）により部品（４）を吸着
しているノズル（12）が回動され回転角度の位置ずれが
補正される。ここで補正量算出の基準とする位置決めマ
ークは、NCデータのステップM1のエリアのデータが
「Ａ」であることから、エリアＡについて設定されたマ
ーク（P1）及びマーク（P2）であり、これらの測定座標
（X_P1,Y_P1）及び（X_P2,Y_P2）とあらかじめ記憶されてい
る位置座標データとから基板（５）の回転方向における
角度ずれが算出され、部品（４）の角度ずれと合せて補
正される。

次にターンテーブル（11）の間欠回転により装着ヘッ
ド（13）が装着ステーションに停止すると、認識ステー
ションでの認識結果による部品（４）の位置ずれ及びエ
リアＡについて設定されたマーク（P1）及びマーク（P
2）の測定結果から算出された基板（５）の位置ずれが
補正されて、XYテーブル（１）が移動し、Ｘ座標データ
「X1」及びＹ座標データ「Y1」の位置に部品（４）が装
着される。以下同様にしてステップ毎に部品装着に係る
動作が行なわれるが、例えばステップM3では角度補正ス
テーションでの回転角度ずれの補正及び装着ステーショ
ンでの位置ずれの補正の際に、基板（５）の回転角度ず
れ及び位置ずれの算出は、エリアのデータが「Ｂ」であ
るので、位置決めマーク（P1）及び（P4）のあらかじめ
記憶されている位置座標及び測定された位置座標（X_P1,
Y_P1）及び（X_P4,Y_P4）により行なわれる。

こうして、コントロールコマンド「Ｅ」が表示される
ステップMnまでの部品（４）の装着が行なわれる。然る
後、プリント基板（５）は図示しない移載手段によりXY
テーブル（１）より排出される。

尚、NCデータには本実施例では第４図のように「Ａ」
「Ｂ」……で示されるエリアのデータが指定されたが、
第８図のようにエリアのデータが無い場合でも第９図の
ようにエリア位置データが設定されRAM（23）内に記憶
されていれば、CPU（22）はNCデータのX,Y座標データよ
り何れのエリアに属するかを判断し、該当するエリアに
ついて設定された基板位置決めマークの位置座標より基
板（５）の位置ずれ、回転角度ずれを算出するようにで
きる。

第９図のエリア位置データは本実施例の場合、各エリ
アの対角線上の角部の位置座標により設定され、これら
の２点を通るＸ軸、Ｙ軸に平行な直線で囲まれたエリア
が各エリアとなる。

例えばエリアＡは第１図における左上の角部の位置座
標（0,0）と右下の角部の位置座標（LX1,LY1）により設
定される。

他の形状にエリアを分割することもでき、またエリア
の数も任意に変更できる。

次に第１図乃至第５図及び第10図乃至第14図に基づ
き、第２の実施例について説明する。

第１の実施例では、各エリア毎に基板（５）の位置ず
れ及び角度ずれの算出のために用いる基板位置決めマー
クの組合せを設定しているが、本実施例ではXY座標の位
置ずれとθ方向の角度ずれの夫々を別の基板位置決めマ
ークの組合せを用いて算出できるよう、以下のようにマ
ークの組合せの設定を行なう。

本実施例においても、第２図及び第３図の構成はその
まま適用される。RAM（23）内には第１図の基板（５）
用の第４図のNCデータが格納されており、第５図のよう
な各基板位置決めマークの実測された位置座標格納領域
が設けられている。

CRTキー（40）を押圧すると、第10図のような画面がC
RT（37）に表示され、XY方向の位置ずれの補正のための
基板（５）の位置ずれ及び伸縮率を算出するのに基とな
る基板位置決めマークがエリア毎に１組ずつ設定でき
る。最初にテンキー（39）にて「１」及び「２」を押圧
すると、エリアＡに「１−２」が表示されマーク（P1）
及びマーク（P2）がエリアＡに設定される。次に「２」
及び「３」のテンキー（39）を押圧すると「２−３」が
エリアＢに表示され、エリアＢにはマーク（P2）及びマ
ーク（P3）が設定される。このようにしてエリアＦまで
の設定が行なわれ、画面表示は第11図に示されるように
なり、この結果がRAM（23）に記憶される。

このように位置ずれの補正のためには、基板（５）の
場所によって伸縮率が異なり位置ずれ量が場所によって
異なる可能性があるため、基板（５）をいくつかのエリ
アに分けエリア毎にそのエリアに一番近い基板位置決め
マークを基に位置ずれ量を算出するのがよい。第10図の
ように設定が終了した後、NEXTキー（41）を押圧すると
第12図に示される画面が表示され、θ方向の基板（５）
の角度ずれを算出するのに基となる基板位置決めマーク
が１組設定可能となる。テンキー（39）を用い「１」及
び「４」を入力すると画面は第13図のようになり、マー
ク（P1）及びマーク（P4）が角度ずれのために設定され
る。これはエリアを問わず、基板（５）全体に適用され
る。

基板（５）のθ方向の角度ずれを算出する場合には測
定する基板位置決めマークの間の距離が短いと、認識カ
メラ（20）の撮像画面の画素の大きさの影響によるマー
クの位置の誤差がマーク間の直線の角度ずれに、より大
きく影響を及ぼすためマーク間の距離は長いほどよく、
一番長い距離のマーク（P1）及びマーク（P4）を設定し
たものである。従ってマーク（P4）及び（P5）を設定し
てもよい。

以上のような構成により以下動作について説明する。

先ず、第１の実施例と同様にして各基板位置決めマー
クの位置が測定され記憶される。

第４図のNCデータに基づき品種「R1」の部品（４）が
第１の実施例と同様にして供給装置（７）より吸着さ
れ、ターンテーブル（11）の回動により角度補正ステー
ションに到着する。認識ステーションでの認識結果及び
基板位置決めマークの測定結果に基づき、ノズル回動ギ
ア（17）によりノズル（12）が回動され、部品（４）の
角度ずれの補正が行なわれる。このとき、角度補正であ
るので、補正量はマーク（P1）及びマーク（P4）の測定
データである第５図の（X_P1,Y_P1）及び（X_P4,Y_P4）とあ
らかじめ記憶されている位置データとから算出される。

次に、装着ステーションでは部品認識カメラ（16）に
より認識された部品（４）の位置ずれと基板（５）の位
置ずれの補正が行なわれるが、基板（５）の位置ずれ量
はエリアデータが「Ａ」であることによりエリアＡに設
定されている基板位置決めマーク（P1）及び（P2）の測
定位置座標である（X_P1,Y_P1）及び（X_P2,Y_P2）とマーク
（P1）（P2）の夫々のあらかじめ記憶されている位置デ
ータとから算出される。

以下、ステップMnまで同様にして部品装着の動作が行
なわれる。

尚、第２の実施例において、角度ずれの補正のための
位置決めマーク設定は第14図のような画面にて、エリア
の指定をしてからそれらのエリアに適用する位置決めマ
ークを設定し、エリアによっても異なる位置決めマーク
を設定できるようにすることも考えられる。

また、第１及び第２の実施例とも、基板（５）の種類
が異なりエリアの数及び基板位置決めマークの数に変更
がある場合はRAM（23）の記憶領域はその数に合せて変
更される。

さらに、基板位置決めマークは本実施例の基板（５）
の場合、各エリアに対して略対角線上に一対ずつ配設さ
れているが、となり合うエリアで共用できるものは共用
するようエリアの境界に配設されマークの数を夫々のエ
リア内に２個ずつ設ける場合より減らしている。そし
て、エリアの大きさがすべて略同じであるので基板位置
決めマークは略同一間隔を存して設けられているが、エ
リアを小さく設定してそのエリアについて正確な位置ず
れ量を求めたい場合は、エリアに合せて近接して一対の
マークを設けることもある。

さらにまた、各エリアについて基板の位置ずれを算出
するのに２点の基板位置決めマークのみでなく３点以上
を設定して、XY2方向に対する基板の伸縮を求めるよう
にすることも考えられる。

さらに、本発明はプリント基板に部品を仮固定させる
ための接着剤を塗布する装置にも適用して、基板の位置
ずれ及び角度ずれ等を補正して接着剤を塗布することも
できる。さらに、基板（５）に対する吸着ノズル（12）
に吸着された部品（４）の角度ずれは、吸着ノズル（1
2）の回動だけでなく、XYテーブルがθ方向に回動可能
であればXYテーブルのθ方向の回動によっても相対的に
補正でき、また吸着ノズル（12）に吸着された部品
（４）の基板（５）に対するXY方向の位置ずれは、XYテ
ーブルのみによらず吸着ノズルがXY方向に移動可能であ
れば吸着ノズルの移動によっても相対的に補正が可能で
ある。

（ト）発明の効果以上のように本発明は、基板を複数のエリアに分けエ
リア毎に位置ずれ補正のためのマークを設けたので、基
板内の場所によって位置ずれが異なる場合でも部品の装
着時に正確な補正を行なうことができる。また、補正量
算出のためのマークを設定手段により基板内に付された
マークから任意に設定できるので、精度が要求される場
合には多くのマークを選択し、精度が要求されない場合
には少ないマークを選択して認識に掛る時間を少なくす
るなどでき、また後述するようなマークを複数のエリア
で共用するようにもすることができ、使い勝手をよくす
ることができる。

また、基板を複数のエリアに分けたうち少なくとも一
つのエリアの位置ずれの算出のために用いられる基板上
に複数付されたマークの組合わせの一部を他のエリアの
位置ずれの算出のために用いられるマークの組合わせの
一部と共用してエリア毎に記憶しているので、認識マー
クを認識する時間を減らすことができ、電子部品を装着
するという本来の生産運転の時間の割合を増やすことが
できる。特に、例えばエリアの境界に付されたマークを
境界に接する２つのエリアで共用して、各エリアに夫々
マークを設けるのと略同じ位置ずれの算出精度を保っ
て、認識するマークの数を減らすことができる。

また、本発明は、XY方向の位置ずれの算出のマークの
組合わせと角度ずれの算出のためのマークの組合わせを
別個にしかも任意に設定できるので、特に角度ずれの補
正を正確に行なうことができ、しかも使い勝手をよくす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はプリント基板の平面図、第２図は本発明を適用
せる部品装着装置の平面図、第３図は本発明の制御ブロ
ックを示す図、第４図及び第８図はNCデータを示す図、
第５図は基板位置決めマークの実測値を示す図、第６
図、第７図及び第10図乃至第14図はエリアに対応する基
板位置決めマークを設定するCRT画面図、第９図はエリ
ア位置データを示す図である。（１）……XYテーブル、（４）……チップ部品、（５）
……プリント基板、（12）……吸着ノズル、（20）……
基板認識カメラ、（22）……CPU、（23）……RAM。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】テーブル上のプリント基板に付されたマー
クの位置を認識手段で認識して、その結果に基づいて前
記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位置ずれを補正
して該基板に部品を装着する部品装着装置に於いて、複
数のエリアに分けられた前記基板上に付された複数の前
記マークのうちから前記エリア毎に位置ずれの算出に用
いるマークの組合わせを任意に設定する設定手段と、該
設定手段に設定されたマークの組合わせをエリア毎に記
憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された装着される
部品が属するエリアに対応したマークの認識データに基
づいて部品装着ノズルに吸着されている部品の前記基板
に対する相対的位置関係を補正すべく該ノズル及び／又
は前記テーブルを制御する制御手段とを設けたことを特
徴とする部品装着装置。
【請求項２】テーブル上のプリント基板に付されたマー
クの位置を認識手段で認識して、その結果に基づいて前
記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位置ずれを補正
して該基板に部品を装着する部品装着装置に於いて、前
記基板を複数のエリアに分けたうち少なくとも一つのエ
リアの位置ずれの算出のために用いられる前記基板上に
複数付された前記マークの組合わせの一部を他のエリア
の位置ずれの算出のために用いられるマークの組合わせ
の一部と共用してエリア毎に記憶する記憶手段と、該記
憶手段に記憶された装着される部品が属するエリアに対
応したマークの認識データに基づいて部品装着ノズルに
吸着されている部品の前記基板に対する相対的位置関係
を補正すべく該ノズル及び／又は前記テーブルを制御す
る制御手段とを設けたことを特徴とする部品装着装置。
【請求項３】テーブル上のプリント基板に付されたマー
クの位置を認識手段で認識して、その結果に基づいて前
記テーブルと部品装着ノズルとのXY方向の相対的位置ず
れ及び相対的角度ずれを補正して該基板に部品を装着す
る部品装着装置に於いて、複数のエリアに分けられた前
記基板上に付された複数の前記マークのうちから前記エ
リア毎にXY方向の位置ずれの算出に用いるマークの組合
わせを任意に設定する位置ずれマーク用設定手段と、複
数のエリアに分けられた前記基板上に付された複数の前
記マークのうちから前記エリア毎に角度ずれの算出に用
いるマークの組合わせを任意に設定する角度ずれマーク
用設定手段と、前記位置ずれマーク用設定手段に設定さ
れたマークの組合わせをエリア毎に記憶する位置ずれマ
ーク用記憶手段と、前記角度ずれマーク用設定手段に設
定されたマークの組合わせをエリア毎に記憶する角度ず
れマーク用記憶手段と、該位置ずれマーク用記憶手段に
記憶された装着される部品が属するエリアに対応したマ
ークの認識データに基づく前記XY方向の位置ずれ及び前
記角度ずれマーク用記憶手段に記憶されたマークの認識
データに基づく前記角度ずれを補正して部品装着ノズル
に吸着されている部品の前記基板に対する相対的位置合
わせを行なうべく、該ノズル及び／又は前記テーブルを
制御する制御手段とを設けたことを特徴とする部品装着
装置。