JP4780858B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造技術、特に、半導体素子を含む集積回路が作り込まれた半導体ペレット(以下、ペレットという。)をペレットを機械的に支持するとともに集積回路を電気的に取り出すための基板に機械的に接続(ボンディング)するペレットボンディング技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造方法において、ペレットを基板にボンディングするペレットボンディング方法として、基板に塗布した銀ペーストにペレットを押し付けた後に銀ペーストを熱硬化させる方法が、広く使用されている。ところが、このペレットボンディング方法は銀ペーストの塗布量の制御が困難であるという問題点がある。そこで、銀ペーストを塗布する代わりに接着剤の供給量を制御し易い樹脂フィルムを基板に供給し、この樹脂フィルムによってペレットを基板にボンディングするペレットボンディング方法が、提案されている。
【0003】
なお、ペレットボンディング技術を述べてある例としては、株式会社日経BP社1993年5月31日発行の「VLSIパッケージング技術(下)」P17〜P22、がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、樹脂フィルムを使用するペレットボンディング方法においては、基板の指定されたボンディングエリアのランドに対して樹脂フィルムが傾いた状態に供給されると、樹脂フィルムがワイヤボンディングパッド等の接触不可エリアに貼り付いてしまうため、ワイヤボンディング不良等の不具合が発生するという問題点がある。
【0005】
また、樹脂フィルムを使用するペレットボンディング方法において、樹脂フィルムがコレットによって真空吸着保持されて基板の上に供給されると、樹脂フィルムのコレットによって吸着された部位に褶曲部が形成されて、この褶曲部によって樹脂フィルムと基板との接触面間に密封空間が形成され、この密封空間に空気やガスが閉じ込められるため、樹脂フィルムの溶融によって形成されたボンディング層にボイド(気泡)が発生してしまい、その結果、ボイドを起因とするクラックが半導体装置の樹脂封止体に発生するという問題点があることが、本発明者によって明らかにされた。
【0006】
本発明の目的は、ボンディングエリアに樹脂フィルムを適正に供給することができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0007】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【0009】
すなわち、半導体ペレットが基板に樹脂フィルムを使用されて接着される半導体装置の製造方法であって、
前記樹脂フィルムが前記基板に供給される際に、この樹脂フィルムの前記基板に対する平行面内の角度が調整されることを特徴とする。
【0010】
また、半導体ペレットが基板に樹脂フィルムを使用されて接着される半導体装置の製造方法であって、
前記樹脂フィルムが前記基板に供給される際に、樹脂フィルムの中央部が前記基板の表面に接触し、かつ、その周辺部が離れるように供給されることを特徴とする。
【0011】
前記した第一の手段によれば、基板に指定されたボンディングエリアに対する樹脂フィルムの傾きを修正することにより、ボンディングエリアに樹脂フィルムを適正に供給することができるため、樹脂フィルムがワイヤボンディングパッド等の接触不可エリアに貼り付いてしまうのを防止することができる。
【0012】
前記した第二の手段によれば、樹脂フィルムを中央部が基板の表面に接触し、かつ、その周辺部が離れるように供給することにより、樹脂フィルムと基板との間に空間が生じても、この空間内の空気やガスを中央部側から周辺部側へと排気させることができるため、樹脂フィルムが溶けて形成されるボンディング層にボイドが発生する現象を防止することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法のペレットボンディング工程に使用されるペレットボンディング装置を示す斜視図である。図2はその樹脂フィルム供給装置を示す一部省略一部切断正面図である。図3はその熱圧着装置を示す一部省略一部切断正面図である。図4はその作用を説明するための各拡大部分断面図である。図5以降はその作用を説明するための各説明図である。
【0014】
本実施の形態において、本発明に係る半導体装置の製造方法は、BGA( Ball Grid Array Pakage )を備えた半導体集積回路装置(以下、BGA・ICという。)の製造方法として構成されており、このBGA・ICの製造方法の特徴工程であるペレットボンディング工程は、図1に示されているペレットボンディング装置によって実施される。そして、このペレットボンディング装置のワークとしては、ペレットと多連配線基板とがある。まず、一方のワークである多連配線基板を図5を参照にして説明する。
【0015】
図5に示されているように、一方のワークである多連配線基板10はガラスエポキシ樹脂基板が使用されて横長の長方形の平板形状に形成されており、多連配線基板10は単位配線基板11が一方向に繰り返し形成されて一列に連結された多連構造に形成されている。図5に想像線によって示されているように、単位配線基板11は多連配線基板10の長軸に対して45度の傾斜角をもって傾けられている。単位配線基板11は同一のパターンが繰り返されているため、以下の説明では原則として単位配線基板11について説明する。
【0016】
単位配線基板11は正方形の平板形状に形成されたベース12を備えており、ベース12の外径はペレットの外径よりも大きく設定されている。ベース12はガラス繊維にエポキシ樹脂が含浸されたガラス・エポキシ樹脂基板を使用して多層構造(図示せず)に形成されている。ベース12の一主面(以下、上面とする。)の中央部にはペレットをボンディングするためのエリアとしてのペレットボンディングランド(以下、ランドという。)13が、ペレットの外径と略等しい長方形に形成されており、ランド13は多連配線基板10の長軸に対して45度の傾斜角をもって傾けられている。ベース12の上面におけるランド13の両方の長辺の外側には複数個の内部端子14がそれぞれ長辺と平行に配列されており、各内部端子14は小径の四角形形状に形成されている。
【0017】
他方、ベース12の下面における外周辺部には複数個の外部端子15が四角形枠形状に配列されており、各外部端子15は小径の円形形状に形成されている。ランド13、内部端子14および外部端子15はベース12の表面に被着された銅箔がリソグラフィ処理およびエッチング処理によってパターンニングされて形成されている。ベース12の上面に配置された内部端子14とベース12の下面に配置された外部端子15とはベース12の内部に配線された電気配線16によって互いに電気的に接続されている。多数本が互いに電気的に絶縁した状態で配置された電気配線16は、多層構造に形成されたベース12の各層にパターンニングされた後に、スルーホールによって上層と下層とが互いに接続されることにより、所謂多層配線構造に形成されている。
【0018】
他方のワークであるペレットは半導体装置の製造方法の所謂前工程において製造され、ペレットボンディング装置に供給される。すなわち、半導体装置の製造方法における所謂前工程において半導体ウエハの状態にて半導体素子を含む集積回路がマトリックス形状に画成された各ペレット部毎に作り込まれる。図1に示されているように、集積回路を作り込まれた半導体ウエハ1の裏面には粘着シート2が貼着される。粘着シート2が貼着された半導体ウエハ1はダイシング工程において個々のペレット3に分断される。この際、粘着シート2が貼着されているため、個々のペレット3はばらばらになることはない。ペレット3に分断された半導体ウエハ1は粘着シート2を引き伸ばされ、ウエハリング1Aが装着される。引き伸ばされた粘着シート2において、隣合うペレット3、3同士は間隔を置いた状態になる。そして、この状態で、ペレット3群はペレットボンディング装置に供給され、後記するピックアップ装置にセットされる。
【0019】
本実施の形態に係るペレットボンディング装置に使用される樹脂フィルムは、テープ形状に形成されてリールに巻装された状態でペレットボンディング装置に供給される。すなわち、熱可塑性の樹脂を主成分とした樹脂フィルムの材料が一定幅一定厚さのテープ形状に樹脂成形され、このテープ4はリール5に巻き取られた状態でペレットボンディング装置に供給される。
【0020】
図1に示されているように、ペレットボンディング装置20は一方のワークである多連配線基板10をピッチ送りするピッチ送り装置21を備えており、ピッチ送り装置21は水平に敷設されたガイドテーブル22の上において多連配線基板10を一方向(以下、X方向とする。)にピッチ送りするように構成されている。ピッチ送り装置21のガイドテーブル22の一端部(以下、前端部とする。)には多連配線基板10をガイドテーブル22に供給するためのローディング装置23が設備されており、ガイドテーブル22の後端部にはボンディング済みの多連配線基板10をガイドテーブル22から排出するためのアンローディング装置24が設備されている。
【0021】
ガイドテーブル22のローディング装置23の下流側には、樹脂フィルムを多連配線基板10へ供給するための樹脂フィルム供給装置25が設備されている。樹脂フィルム供給装置25はリール5に巻き取られたテープ4を上下の送りローラによって一定量ずつ繰り出して、カッタで切断することによって樹脂フィルム6を成形するようになっている。すなわち、図1および図2に示されているように、テープ4を巻き取ったリール5はピッチ送り装置21の片脇に水平に、かつ、繰り出し方向がピッチ送り装置21の送り方向(X方向)と直交方向(以下、Y方向とする。)に設置されており、その繰り出し端部はピッチ送り装置21寄りに配置された上下の送りローラ26、26の間に挿通されている。上下の送りローラ26、26のピッチ送り装置21寄りには受け台27が設備されており、上下の送りローラ26、26間から送り出されたテープ4の先端部は受け台27の上に乗るようになっている。カッタ28は受け台27の送りローラ26、26側に配置されて、受け台27に乗ったテープ4の先端部を剪断することにより、ペレット3と略等しい大きさの長方形の樹脂フィルム6を切り出すように構成されている。切り出された樹脂フィルム6のサイズは溶融してボンディング層7を形成した状態において所定の層厚を形成するように設定されている。
【0022】
ガイドテーブル22の反対側にはYテーブル29が敷設されており、Yテーブル29の上にはL字形状の移動台30がY方向に移動されるように設置されている。移動台30の先端部には昇降装置31が設備されており、昇降装置31はロータリーアクチュエータとしてのステッピングモータ32を昇降させるように構成されている。ステッピングモータ32の回転軸には樹脂フィルム6を真空吸着保持するためのコレット33が取り付けられており、コレット33はステッピングモータ32によってきわめて小さい角度(例えば、0.01度)をもって360度以上回動されるようになっている。コレット33の吸着面34は中央部が周辺部よりも下方に突き出した下向きの四角錐台形状に形成されており、吸着面34の斜面である四枚の錐面には吸着口35がそれぞれ開設され、吸着口35には給排気路36がそれぞれ接続されている。
【0023】
図1に示されているように、ガイドテーブル22の上方にはテレビカメラ等によって構成された位置認識装置37が下向きに設置されており、位置認識装置37は多連配線基板10のランド13の位置や姿勢を認識して、そのデータをペレットボンディング装置20のコントローラ(図示せず)に送信するように構成されている。また、図2に示されているように、ガイドテーブル22の内部における樹脂フィルム供給装置25に対向する位置には、ガイドテーブル22によって搬送される多連配線基板10を加熱するヒートブロック38が設置されており、ヒートブロック38はピッチ送り装置21のピッチ送り作動に連動して昇降するように構成されている。
【0024】
ガイドテーブル22の樹脂フィルム供給装置25の下流側には多連配線基板10のランド13の上に供給された樹脂フィルム6をランド13に熱圧着するための熱圧着装置40が設備されている。すなわち、図1および図3に示されているように、樹脂フィルム供給装置25の下流側にはL字形状のスタンド41が立設されており、スタンド41の先端部には昇降装置42が設備され、昇降装置42はロータリーアクチュエータとしてのステッピングモータ43を昇降させるように構成されている。ステッピングモータ43の回転軸には樹脂フィルム6をランド13に押圧するための押圧ツール44が取り付けられており、押圧ツール44はステッピングモータ43によって小さい角度(例えば、0.01度)をもって360度以上回動されるようになっている。押圧ツール44の押圧面45は中央部が周辺部よりも下方に突き出した下向きの四角錐台形状に形成されており、押圧面45は耐熱性を有する弾性材料によって形成されている。図3に示されているように、ガイドテーブル22の内部における押圧ツール44に対向する位置には、ガイドテーブル22によって搬送される多連配線基板10を加熱するヒートブロック46が設置されており、ヒートブロック46はピッチ送り装置21のピッチ送り作動に連動して昇降するように構成されている。
【0025】
ガイドテーブル22の熱圧着装置40の下流側にはペレット3をランド13の樹脂フィルム6の上にプットダウンするプットダウン装置50が設備されている。プットダウン装置50はスタンド51を備えており、スタンド51にはアーム52が前後動するように支持されている。アーム52にはペレット3をランド13にボンディングするためのボンディングヘッド53が上下動するように設置されており、ボンディングヘッド53の先端部にはペレット3を真空吸着保持するコレット54が取り付けられている。コレット54は水平面内で回動し角度を調整されるように構成されている。
【0026】
プットダウン装置50のスタンド51のガイドテーブル22を挟んだ反対側には、粘着シート2からペレット3をピックアップするピックアップ装置55が設備されている。ピックアップ装置55はウエハリング1AをXY方向に移動させるXYテーブル56を備えている。XYテーブル56の真下には粘着シート2に粘着されたペレット3を一個ずつ突き上げる突き上げ針57が設備されており、XYテーブル56の真上にはペレット3の良否を検出する視覚観測系58が設備されている。
【0027】
図1に示されているように、ガイドテーブル22の内部におけるプットダウン装置50に対向する位置にはヒートブロック62が敷設されており、ヒートブロック62はピッチ送り装置21のピッチ送り作動に連動して昇降するように構成されている。図示しないが、ガイドテーブル22の外側にはカバーが多連配線基板10の加熱される領域を適当な余裕をもって包囲するように配設されている。カバー内には不活性ガスまたは還元ガスを供給するガス供給管(図示せず)が接続されており、ガス供給管からの不活性ガスまたは還元ガスの供給により、カバーによって包囲された空間には非酸化雰囲気が形成されるようになっている。
【0028】
次に、前記構成に係るペレットボンディング装置による本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法のペレットボンディング工程を説明する。
【0029】
樹脂フィルム供給装置25において、リール5に巻き取られたテープ4は送りローラ26、26によって繰り出され、所定の長さが受け台27の上に乗せられる。続いて、カッタ28が下降されると、受け台27の上に乗せられたテープ4は受け台27と送りローラ26、26との間で剪断される。この剪断によって、受け台27の上にはテープ4が切断されて成る樹脂フィルム6が乗せられた状態になる。この樹脂フィルム6はペレット3の平面視のサイズと略等しい長方形の箔形状に成形されているとともに、その体積が予め設定された値になるように調製されている。受け台27の上の樹脂フィルム6はコレット33によって真空吸着保持され、ガイドテーブル22の真上に搬送される。
【0030】
一方、ローディング装置23からガイドテーブル22に供給された多連配線基板10は、一ピッチずつ歩進送りされて樹脂フィルム供給装置25の位置に達して間欠停止する。多連配線基板10のランド13が樹脂フィルム供給装置25の位置で間欠停止すると、樹脂フィルム6を保持したコレット33が下降されることにより、樹脂フィルム6がランド13の上に図5で参照されるように移載される。この際、ヒートブロック38が上昇されて多連配線基板10に当接することにより、ランド13が加熱されているため、ランド13の上に移載された樹脂フィルム6は加熱されて溶融し仮止めされた状態になる。
【0031】
ここで、ランド13は多連配線基板10の軸線すなわちガイドテーブル22の送り方向に対して45度の傾斜角をもって傾いているため、コレット33が切り出されて真空吸着保持した樹脂フィルムをそのままの姿勢でランド13に載置すると、図5に想像線で示された樹脂フィルム6’のようにランド13からはみ出すばかりでなく、内部端子14に掛かった状態になる。樹脂フィルム6’が内部端子14に接触すると、樹脂フィルム6’が内部端子14のワイヤボンディング面を汚染することになるため、内部端子14に対するワイヤボンディング不良が発生する。
【0032】
そこで、本実施の形態においては、コレット33が樹脂フィルム6をランド13に移載する前に、樹脂フィルム6のランド13に対する傾斜角を修正し、樹脂フィルム6をランド13に整合させて適正に移載するものとしている。すなわち、多連配線基板10が間欠停止すると、位置認識装置37はランド13の位置や姿勢に関するデータをコントローラに送信し、コントローラはその送信データに基づいてステッピングモータ32を制御することによりコレット33を回転させて、コレット33が保持した樹脂フィルム6をランド13の傾斜角度に整合させた後に、樹脂フィルム6をランド13に移載する。
【0033】
多連配線基板10に対する歩進送り動作の間欠停止期間が経過すると、ヒートブロック38が下降し、多連配線基板10がピッチ送り装置21によって歩進送りされる。他方、樹脂フィルム6をランド13に移載させたコレット33は樹脂フィルム供給装置25の受け台27の位置に戻り、受け台27の上に成形された次の樹脂フィルム6を受け取り、次の供給動作に待機する。
【0034】
樹脂フィルム6が仮止めされたランド13が熱圧着装置40の位置で間欠停止すると、押圧ツール44が昇降装置42によって下降されることにより、図4(c)に示されているように、押圧面45によって樹脂フィルム6をランド13に押圧する。この際、ヒートブロック46が上昇されて多連配線基板10に当接することにより、ランド13が加熱されているため、押圧面45によってランド13に押圧された樹脂フィルム6は加熱されて溶融し全体にわたって均一に熱圧着された状態になる。また、この熱圧着装置40においても、コントローラの制御によるステッピングモータ43によって押圧ツール44が回動されることにより、押圧ツール44の押圧面45がランド13の傾斜角度に整合される。
【0035】
ところで、図4(a)に示されているように、吸着口35’が吸着面34’の中央に開設された従来のコレット33’によって樹脂フィルム6が真空吸着保持された場合には、樹脂フィルム6の吸着された部位に褶曲部8が形成されて、この褶曲部8によって樹脂フィルム6とランド13との接触面間に密封空間9が形成され、この密封空間9に空気やガスが閉じ込められるため、樹脂フィルム6の溶融によって形成されたボンディング層にボイド(気泡)が発生してしまい、その結果、ボイドを起因とするクラックが半導体装置の樹脂封止体に発生するという問題点がある。
【0036】
本実施の形態においては、吸着口35が吸着面34の錐面に開設されていることにより、図4(b)に示されているように、褶曲部8が樹脂フィルム6の周辺部に形成されるため、褶曲部8によって樹脂フィルム6とランド13との接触面間に密封空間が形成されることはない。
【0037】
しかも、本実施の形態においては、図4(c)に示されているように、樹脂フィルム6がランド13に押圧ツール44によって熱圧着される際に、樹脂フィルム6およびランド13の周辺部に形成された空間内の空気やガスを中央部側から周辺部側へと排気させることができるため、空気やガスが閉じ込められることはない。したがって、樹脂フィルム6が溶けて形成されるボンディング層7にボイドが発生する現象を未然に防止することができる。
【0038】
一方、ピックアップ装置55において、視覚観測系58の観測に基づいて、XYテーブル56は粘着シート2の上における良品のペレット3を突き上げ針57の真上に位置させる。突き上げ針57は粘着シート2を下から突いて良品のペレット3を突き上げる。突き上げられたペレット3はコレット54に真空吸着保持され、視覚観測系58の観測データに基づいてアライメントされる。
【0039】
プットダウン装置50のコレット54はアライメントされたペレット3をアーム52によってガイドテーブル22の上に設定されたプットダウンステージに搬送する。コレット54はペレット3をプットダウンした後に、ピックアップ装置55の粘着シート2の真上に戻り、次のペレット3を受け取って次の動作に待機する。
【0040】
多連配線基板10に対する歩進送りに伴って、樹脂フィルム6が熱圧着されたランド13がプットダウン装置50の位置で間欠停止すると、ヒートブロック62が上昇してランド13を加熱する。この加熱により、ランド13の上の樹脂フィルム6は溶融する。
【0041】
プットダウン装置50のコレット54が下降されてペレット3がランド13に押し付けられる。この際、コレット54は水平面内で45度回動され、ペレット3がランド13の傾斜角度に整合される。押し付けられたペレット3はランド13に溶融した樹脂フィルム6によって形成されたボンディング層7によって接着される。この際、樹脂フィルム6とランド13との間の空気やガスが径方向外向きに排気されているため、ボンディング層7にはボイドが生成されることはない。
【0042】
多連配線基板10に対する歩進送り動作の間欠停止期間が経過すると、ヒートブロック62が下降する。ペレット3をランド13に接着して空になったコレット54はピックアップ装置55に戻って次のペレット3をピックアップした後に、プットダウン装置50のプットダウンステージに移送されて次の接着操作に待機する。
【0043】
以上の作動が同時に進行されることにより、多連配線基板10の歩進送りに伴って各単位配線基板11毎に樹脂フィルム供給工程、熱圧着工程、ピックアップ工程およびプットダウン工程がそれぞれ実施され、ペレット3が多連配線基板10のランド13に樹脂フィルム6が溶融して形成されたボンディング層7を介してボンディングされて行く。
【0044】
以上のようにしてペレット3がランド13にボンディング層7によってペレットボンディングされた多連配線基板10はワイヤボンディング工程において、図7に示されているように、ワイヤ17がペレット3の電極パッドと内部端子14との間に橋絡される。
【0045】
その後、図8のBGA・IC70で参照されるように、多連配線基板10には樹脂封止体18がペレット3、内部端子14、ボンディング層7およびワイヤ17を樹脂封止するように成形され、外部端子15に半田ボール19が半田付けされる。そして、多連配線基板10は各単位配線基板11毎に分断され、BGA・IC70が製造されたことになる。
【0046】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【0047】
1) コレット33が樹脂フィルム6をランド13に移載する前に、樹脂フィルム6のランド13に対する傾斜角を修正し、樹脂フィルム6をランド13に整合させることにより、樹脂フィルム6をランド13に適正に供給することができるため、樹脂フィルム6が内部端子14等の接触不可エリアに貼り付いてしまうのを防止することができる。
【0048】
2) 樹脂フィルム6が内部端子14等に貼り付いてしまうのを防止することにより、ワイヤ17を内部端子14に適正にボンディングすることができるため、BGA・ICの接触不良等の発生を防止することができる。
【0049】
3) 吸着口35を吸着面34の錐面に開設することにより、吸着口35の吸引による褶曲部8を樹脂フィルム6の周辺部に形成させることができるため、褶曲部8によって樹脂フィルム6とランド13との接触面間に密封空間が形成されるのを防止することができる。
【0050】
4) 樹脂フィルム6がランド13に押圧ツール44によって熱圧着される際に、樹脂フィルム6およびランド13の周辺部に形成された空間内の空気やガスを中央部側から周辺部側へと排気させることにより、空気やガスが閉じ込められるのを防止することができるため、樹脂フィルム6が溶けて形成されるボンディング層7にボイドが発生する現象を未然に防止することができる。
【0051】
5) ボンディング層7にボイドが発生するのを防止することにより、ボンディング層の接着強度の低下を防止することができるとともに、ボイドの熱膨張による樹脂封止体のクラックの発生を防止することができるため、BGA・ICの品質および信頼性を高めることができる。
【0052】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0053】
例えば、前記実施の形態に係るペレットボンディング装置20は図9に示されているようなスタックタイプのBGA・ICの製造方法にも使用することができ、この使用によってスタックタイプのBGA・ICを適正に製造することができる。
【0054】
すなわち、図9に示されているスタックタイプのBGA・IC70Aは大きい第一ペレット3aと小さい第二ペレット3bとを備えており、第一ペレット3aがベース12のランド13に樹脂フィルム6から形成された第一ボンディング層7aによってボンディングされ、第二ペレット3bが第一ペレット3aの上に樹脂フィルム6から形成された第二ボンディング層7bによってボンディングされている。
【0055】
ここで、前記実施の形態に係るペレットボンディング装置20が使用されて、第一ペレット3aがベース12のランド13に樹脂フィルム6によってボンディングされた際に、図10に示されているように、アライメント装置61やプットダウン装置50の誤差等の原因によって、第一ペレット3aがランド13に多連配線基板10Aの軸線に対して傾斜してボンディングされた場合には、図10(a)に想像線で示されているように、樹脂フィルム6’が第一ペレット3aの上に多連配線基板10Aの軸線に平行にて載置されると、樹脂フィルム6’の一部が第一ペレット3aのワイヤボンディングパッド等の接触不可エリアに掛かってしまう状態になる。
【0056】
そこで、本実施の形態においては、多連配線基板10Aの軸線に対して傾いてボンディングされた第一ペレット3aの上に樹脂フィルム6が供給されるに際して、図10に実線で示されているように、樹脂フィルム6を第一ペレット3aと平行になるように多連配線基板10Aの軸線に対して傾けて移載する。すなわち、多連配線基板10Aが間欠停止すると、位置認識装置37が第一ペレット3aの位置や姿勢に関するデータをコントローラに送信し、コントローラはその送信データに基づいてステッピングモータ32を制御することによりコレット33を回転させて、コレット33が保持した樹脂フィルム6を第一ペレット3aの傾斜角度に整合させた後に、樹脂フィルム6を第一ペレット3aの上に移載する。
【0057】
このように第一ペレット3aの傾きと平行に載置された樹脂フィルム6が熱圧着装置40において第一ペレット3aの上面に熱圧着された後に、プットダウン装置50により、図11に示されているように、第二ペレット3bが第一ペレット3aの上に押圧されて樹脂フィルム6によって形成されたボンディング層7によりボンディングされる。この際、第二ペレット3bは第一ペレット3aの傾きに平行になるように配置される。
【0058】
その後、図9に示されているように、第一ペレット3aおよび第二ペレット3bと第一内部端子14aおよび第二内部端子14bとの間にワイヤ17がそれぞれボンディングされる。この際、第一ペレット3aおよび第二ペレット3bが多連配線基板10Aの軸線に対して傾いていても、ワイヤボンディング装置(図示せず)は第一ペレット3aのワイヤボンディングパッドと第一内部端子14aとの位置関係および第二ペレット3bのワイヤボンディングパッドと第二内部端子14bとの位置関係を補正することができるため、ワイヤボンディングは適正に実施することができる。
【0059】
本実施の形態によれば、第一ペレット3aのベース12に対するペレットボンディング誤差を第一ペレット3aの上への第二ペレット3bのペレットボンディング時に補正することができるため、スタックタイプのBGA・IC70Aを適正に製造することができる。
【0060】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野であるBGA・ICの製造方法に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、リードフレームを使用した半導体集積回路装置(IC)やトランジスタ、さらには、他の電子部品の半導体装置の製造方法全般に適用することができる。
【0061】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
【0062】
基板に指定されたボンディングエリアに対する樹脂フィルムの傾きを修正することにより、ボンディングエリアに樹脂フィルムを適正に供給することができるため、樹脂フィルムがワイヤボンディングパッド等の接触不可エリアに貼り付いてしまうのを防止することができる。
【0063】
樹脂フィルムを基板へその中央部が基板の表面に接触し、かつ、その周辺部が離れるように供給することにより、樹脂フィルムと基板との間に空間が生じても、この空間内の空気やガスを中央部側から周辺部側へと排気させることができるため、樹脂フィルムが溶けて形成されるボンディング層にボイドが発生する現象を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法のペレットボンディング工程に使用されるペレットボンディング装置を示す斜視図である。
【図2】その樹脂フィルム供給装置を示す一部省略一部切断正面図である。
【図3】熱圧着装置を示す一部省略一部切断正面図である。
【図4】(a)、(b)、(c)は作用を説明するための各拡大部分断面図である。
【図5】多連配線基板の樹脂フィルム熱圧着後を示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。
【図6】多連配線基板のペレットボンディング後を示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。
【図7】多連配線基板のワイヤボンディング後を示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。
【図8】製造されたBGA・ICを示しており、(a)は正面断面図、(b)は側面断面図、(c)は一部切断平面図である。
【図9】スタックタイプのBGA・ICを示しており、(a)は正面断面図、(b)は上側半分が樹脂封止体を省略した平面図、下側半分が底面図である。
【図10】そのペレットボンディング工程の作用を説明するための樹脂フィルム熱圧着後を示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。
【図11】同じく第二ペレットのボンディング後を示しており、(a)は一部省略平面図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。
【符号の説明】
1…半導体ウエハ、1A…ウエハリング、2…粘着シート、3…ペレット(半導体ペレット)、3a…第一ペレット(半導体ペレット)、3b…第二ペレット(半導体ペレット)、4…テープ、5…リール、6…樹脂フィルム、7…ボンディング層、8…褶曲部、9…密封空間、10、10A…多連配線基板、11…単位配線基板、12…ベース、13…ランド(ペレットボンディングランド)、14…内部端子、14a…第一内部端子、14b…第二内部端子、15…外部端子、16…電気配線、17…ワイヤ、18…樹脂封止体、19…半田ボール、20…ペレットボンディング装置、21…ピッチ送り装置、22…ガイドテーブル、23…ローディング装置、24…アンローディング装置、25…樹脂フィルム供給装置、26…送りローラ、27…受け台、28…カッタ、29…Yテーブル、30…移動台、31…昇降装置、32…ステッピングモータ、33…コレット、34…吸着面、35…吸着口、36…給排気路、37…位置認識装置、38…ヒートブロック、40…熱圧着装置、41…スタンド、42…昇降装置、43…ステッピングモータ、44…押圧ツール、45…押圧面、46…ヒートブロック、50…プットダウン装置、51…スタンド、52…アーム、53…ボンディングヘッド、54…コレット、55…ピックアップ装置、56…XYテーブル、57…突き上げ針、58…視覚観測系、62…ヒートブロック、70…BGA・IC(半導体装置)、70A…スタックタイプのBGA・IC(半導体装置)。
Claims (5)
- 半導体ペレットが基板に樹脂フィルムを使用されて接着される半導体装置の製造方法であって、
コレットにより前記樹脂フィルムが保持され、
前記コレットの吸着面は中央部が周辺部よりも下方に突き出した下向きの四角錐台形状に形成されており、前記吸着面の斜面である四枚の錐面には吸着口がそれぞれ開設され、 前記樹脂フィルムが前記基板に供給される際に、前記コレットの吸着面の中央部が前記樹脂フィルムに接した状態で、前記樹脂フィルムの中央部が前記基板の表面に接触し、かつ、前記吸着面の斜面により褶曲部を前記樹脂フィルムの周辺部に形成し、前記コレットの吸着面の周辺部が離れるように供給されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記樹脂フィルムが前記基板に供給された後に、前記樹脂フィルムは中央部側から周辺部側に接触して行くように熱圧着されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 押圧ツールにより前記樹脂フィルムが前記基板に熱圧着され、
前記押圧ツールの押圧面は中央部が周辺部よりも下方に突き出した下向きの四角錐台形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記樹脂フィルムが前記基板に供給された後に、押圧ツールにより前記樹脂フィルムが前記基板に熱圧着されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板は前記半導体ペレットと別の半導体ペレットであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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