JPH04137599A - 部品装着装置 - Google Patents

部品装着装置

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JPH04137599A
JPH04137599A JP2259181A JP25918190A JPH04137599A JP H04137599 A JPH04137599 A JP H04137599A JP 2259181 A JP2259181 A JP 2259181A JP 25918190 A JP25918190 A JP 25918190A JP H04137599 A JPH04137599 A JP H04137599A
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area
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substrate
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Kazunori Takada
高田 一徳
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明はテーブル上の基板に付されたマークの位置を認
識手段で認識して、その結果に基づき前記テーブルと部
品装着ノズルとの相対的位置ずれを補正して該基板に部
品を装着する部品装着装置に関する。
(ロ)従来の技術 この種基板に付されたマークの位置を認識して基板の位
置ずれ等を補正する部品装着装置力釈特開昭63−74
530号公報に開示されている。
この従来技術によれは、基板の伸縮率は基板の部分によ
らず一定であるものとして補正されている。
しかし、前記従来技術では基板の場所により伸縮率が異
なったりパターンの印刷がずれた場合等には、正しく補
正された位置に部品が装着されなくなるという欠点があ
る。
また、部品の回転方向の角度ずれの測定のためには、マ
ーク間の距離が短いとカメラの画像の誤差により正確な
角度ずれが測定できないという欠点がある。
(ハ)発明が解決しようとする課題 そこで本発明は、基板の場所によって位置ずれが異なる
場合でも部品の装着時に正確な補正を行なうことを目的
とする。
また本発明は、XY丈方向位置ずれを正確に補正してか
つ角度ずれの補正を正確に行なうことを目的とする。
(二〉課題を解決するための手段 このため本発□明はテーブル上のプリント基板に付され
たマークの位置を認識手段で認識して、その結果に基づ
いて前記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位置ずれ
を補正して該基板に部品を装着する部品装着装置に於い
て、基板を複数の工l)アに分けると共に装着される部
品が属するエリアごとに位置ずれ補正のためのマークを
設け、基板の位置ずれの算出のために用いるマークの組
合せをエリア毎に記憶する記憶手段と、該記憶手段に記
憶された装着される部品が属するエリアに対応したマー
クの認識データに基づいて部品装着ノズルに吸着されて
いる部品の前記基板に対する相対的位置関係を補正すべ
く該ノズル及び前記テーブルを制御する制御手段とを設
けたものである。
また本発明は、テーブル上のプリント基板に付されたマ
ークの位置を認識手段で認識し℃、その結果に基づいて
前記テーブルと部品装着ノズルとのXY丈方向相対的位
置ずれ及び相対的角度ずれを補正して該基板に部品を装
着する部品装着装置に於いて、基板を複数のエリアに分
けると共に装置される部品が属するエリアごとに位置ず
れ及び角度すれ補正のためのマークを設け、エリア内に
おける基板のXY丈方向位置ずれの算出のために用いる
前記マークの組合せを記憶する第1の記憶手段と、基板
の角度ずれの算出のために用いる前記マークの組合せを
記憶する第2の記憶手段と、該第1の記憶手段に記憶さ
れた装着される部品が属するエリアに対応したマークの
認識データに基づく前記XY丈方向位置ずれ及び第2の
記憶手段に記憶されたマークの認識データに基づく前記
角度ずれを補正して部品装着ノズルに吸着されている部
品の前記基板に対する相対的位置合せを行なうべく、該
ノズル及び前記テーブルを制御する制御手段とを設けた
ものである。
また本発明は、部品の装着順序ごとに装着位置を格納し
たNCデータに従ってかつテーブル上のプリント基板に
付されたマークの位置を認識手段で認識して、その結果
に基づいて前記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位
置ずれを補正して該基板に部品を装着する部品装着装置
に於いて、基板を複数のエリアに分けると共に装着され
る部品が属するエリアごとに位置ずれ補正のためのマー
クを設け、基板の位置ずれの算出のために用いるマーク
の組合せをエリア毎に記憶する第1の記憶手段と、エリ
ア毎にそのエリアの範囲を記憶する第2の記憶手段と、
装着順序の部品が属するエリアを装着位置及び第2の記
憶手段の記憶内容より判別する判別手段と、該判別手段
の判別結果に基づく該当するエリアに対応したマークの
認識データに基づいて部品装着ノズルに吸着されている
部品の前記基板に対する相対的位置関係を補正すべく該
ノズル及び前記テーブルを制御する制御手段とを設けた
ものである。
(ホ)作用 特許請求の範囲第1項によれは、制御手段は記憶手段に
記憶された装着される部品が属するエリアに対応したマ
ークの認識データに基づいて、部品装着ノズルに吸着さ
れている部品のプリント基板に対する相対的位置関係を
補正すへく該ノズル及び該基板が載置されるテーブルを
特徴する特許請求の範囲第2項によれは、制御手段は第
1の記憶手段に記憶された装着される部品が属するエリ
アに対応したマークの認識データに基づくXY力方向位
置ずれを補正して、かつ第2の記憶手段に記憶されたマ
ークの認識テークに基づく前記角度ずれを補正して部品
装着ノズルに吸着されている部品のプリント基板に対す
る相対的位置合せを行なうべく、該ノズル及び該基板が
載置されるテーブルを特徴する 特許請求の範囲第3項によれば、判別手段が装着順序の
部品が属する工l)アを装着位置及び第2の記憶手段の
記憶するエリアの範囲より判別すると、その判別結果に
基づく該当するエリアに対応したマークの認識データに
基づいて、制御手段は部品装着ノズルに吸着されている
部品のプリント基板に対する相対的位置関係を補正すべ
く該ノズル及び該基板が載置されるテーブルを制御する
(へ)実施例 以下本発明の一実施例を図に基つき説明する。
第2図に於いて、(1)はX軸モータ(2)及びY軸モ
ータ(3)の回動によりXY力方向移動するXY子テー
ブルあり、チップ部品(4)が装着されるプリント基板
(5)が載置される。
(6)は供給台であり、チップ部品(4)を供給する部
品供給装置(7)が多数台配設されている。(8)は供
給台駆動モータであり、ボールネジ(9)を回動させる
ことにより、該ボールネジ(9)に嵌合し供給台(6)
に固定された図示しないナツトを介して、供給台(6)
がリニアガイド(10)に案内きれて移動する。
(11〉は間欠回転するターンテーブルであり、該テー
ブル(11)の外縁部には吸着ノズル(12)を4本省
する装着ヘッド(13)が等間隔に配設されている。各
装着へ7ド(13)は、ターンテーブル(11)(7)
間欠回転毎に同一位置に停止して行く。
吸着ノズル(12)が供給装置(7)より部品(4〉を
吸着し取出す装着ヘッド(13)の停止位置が吸着ステ
ーションであり、吸着ステーションにてターンテーブル
(11)の一番外側に位置する吸着ノズル(12)か部
品(4〉を吸着する。装着ヘッド(13)は、吸着ステ
ーションよりも前の停止位置であるノズル交換ステーシ
ョンにてヘッド回動ローラ(14〉により回動され、次
に使用されるべきノズル(12)がターンテーブル(1
1)の外側に位置させられる。
装着ヘッド(13)が吸着ステーションの次の次に停止
する位置が認識ステーションであり、該ステーションに
て部品認識カメラ(16)により吸着ノズル(12)が
吸着する部品(4)の位置ずれが認識される。
認識ステーションの次の装着ヘッド〈13〉の停止する
位置が、角度補正ステーションであり、カメラ〈16)
の認識結果に基づき吸着ノズル(12)がノズル回動ギ
ア(17)により回動され部品(4)の回転角度の位置
ずれが補正される。
角度補正ステーションの次の停止位置が、装着ステーシ
ョンであり、前記基板(5)に該ステーションの吸着ノ
ズル(12)の吸着する部品(4)が装着される。(2
0)はXY子テーブル1)に載置されるプリント基板(
5)を認識する基板認識カメラである。
第3図に於いて、(22)はCPUであり、部品装着に
係る種々の動作をRAM(23)に記憶されたNCデー
タ等に基つき、ROM(24)に記憶されたプログラム
に従って制御する。
CPU(22)にはインターフェース(25)を介して
X軸モータ(2〉を駆動するX軸モータ駆動回路(27
)、Y軸モータ(3)を駆動するY軸モータ駆動回路<
28)、供給台駆動モータ(8)を駆動する供給台駆動
回路(29)、ターンテーブル(11〉を回動させる回
転盤モータ(31)を駆動する回転盤モータ駆動回路(
32)、部品認識カメラ(16)の認識回路(33)及
び基板認識カメラ(20)の認識回路り34)、ノズル
回動キア(17)を回動させるθ回転モータ(35)を
駆動するθ回転モータ駆動回路〈36)、画面を表示す
るCRT(37)及び操作ボード(38)が接続されて
いる。
操作ボード(38)には数字を入力するテンキー(39
)等が設けられている。
第1図において、プリント基板(5)には該基板(5)
の位置ずれを部品(4)の装着時に補正するための基板
位置決めマーク(PL)(P2)(P3)(P4)(P
5)(P6)が付されている。該プリント基板(5)は
第1図の点線で区切られた6個のエリアから成っており
、第1図の上側の左側より右側に向って1エリアA J
VエリアB」rエリアC1、下側の左側より右側に向っ
て「エリアD、「エリアEJ「エリアF」と呼ぶことに
する。
前記RA M (23)に記憶されているNCデータは
第4図のように表示され、部品装着の順序を示すステッ
プ毎に部品(3)の装着位置をX座標データ及びY座標
データで示し、部品(3)のθ方向の装着角度位置を角
度データで示し、装着すべき部品(3)の品種を部品デ
ータで示している。エリアのデータは部品(3)の装着
位置が前述の何れのエリアに属するかがエリア名で示さ
れる。
コントロールコマンドに示される1E」はステップの終
了を示す。
また、RA M (23)内には第5図に示されるよう
な基板認識カメラ〈20)に認識された各基板位置決め
マークの座標位置が格納される領域が設けられている。
位置決めマーク(Pl)乃至(P6)の認識座標佐賀が
、第5図の表中「IJ乃至16ヨに夫々対応して格納さ
れる。
部品(4)の装着の際何れか2個の基板位置決めマーク
の座標位置に基つき、基板自体の位置す絆 れ、基板の各部分の熱芋による伸縮及びパターンの印刷
時の伸縮等による基板のずれの補正がされるが、何れの
位置決めマークを用いるかばあらかしめ設定が行なわれ
る。この設定のために操作ボード(38)のCRTキー
(40)を押圧すると、第6図のような画面がCRT(
37)上に表示されるが、エリア毎に基板位置決めマー
ク(Pl)乃至(P6〉に対応する第5図の数字より2
個を選び操作ボード(38)のテンキー(39)により
入力して行くことにより設定されRA M (23)内
に記憶される。
即ち、CRT (37)の画面が表示されたならば、テ
ンキー<39)により「1.及び「2」を入力すると第
6図のように表示され、エリアAの基板位置決めマーク
か設定される。次にNEXTキー(41〉の押圧により
エリアBの設定画面が表示されrl」及びr4」を入力
すると第7図のように表示されエリアBについてはマー
ク(PL)及びマーク(P4〉による補正が行なわれる
以下同様にして任意の基板位置決めマークの組合せが夫
々のエリアに対して設定される。
以上のような構成により、以下動作について説明する。
先ず、プリント基板(5)が図示しない移載手段により
XY子テーブル1〉上に載置されると、RAM (22
)にあらかしめ記憶された基板位置決めマーク(Pl)
乃至(P6)の位置データに基づきXY子テーブル1)
が移動して、該マーク(Pl)乃至(P6〉の実際の位
置が基板認識カメラ(20〉により認識され測定される
。この場合第6図のように設定され適用される基板位置
決めマークのみを認識するようになされている。
即ち、先ず基板位置決めマーク(Pl)のあらかじめ記
憶された位置データに基つき、CPU(22)はX軸モ
ータ駆動回路<27)及びY軸モータ駆動回路(28)
の駆動によるX軸モータ(2)及びY軸モータ(3)の
回動によりXY子テーブル1)を移動して基板位置決め
マークく円)を基板認識カメラ<20〉の下方に位置さ
せる。そして、基板認識カメラ(20)の撮像が行なわ
れ撮像画面が認識回路(34)により認識処理され基板
位置決めマーク(Pl)の位置が測定される。この測定
された位置座標(Xア、、Y、、)がRAM(23)の
第5図のrl」の領域に記憶される。
以下同様にして第5図のように基板位置決めマーク(P
l)乃至(P6)の測定された位置座標データがRAM
(23)内に記憶される。本実施例の場合は第5図のよ
うに全ての基板位置決めマークが使用されるため、6点
共にデータが格納されている。
次にCPU(22)は第4図のNCデータに基つき、ス
テップM1の部品装着に係る動作を行なう。
即ち、品種rR1」の部品(4)を供給する供給装置(
7)がモータ〈8)の回動によりボールネジ(9)の回
動を介して供給台(6)がリニアガイド(1o)に案内
され移動することにより移動し、吸着ステーションの吸
着ノズル(12)か品種rR1,の部品(4)を吸着す
る。
該部品(4)を吸着したノズル(12)を有する装着ヘ
ッド(13)は、ターンテーブル(11)の回転盤モー
タ(31)の回動による間欠回転により認識ステーショ
ンに停止して、認識カメラ(16)及び認識回路<33
〉により部品(4〉の位置ずれの認識が行なわれる。
この後、部品(4)を吸着した吸着ノズル(12)は角
度補正ステーションにて認識ステーションでの認識結果
及び基板位置決めマークによる基板(5)の角度ずれに
基づき、ノズル回動ギア(17)により部品(4)を吸
着しているノズル(12)が回動され回転角度の位置ず
れが補正される。ここで補正量算出の基準とする位置決
めマークは、NCデータのステップM1のエリアのデー
タがr A Jであることから、エリアAについて設定
されたマーク(Pl)及びマーク(P2)であり、これ
らの測定座標CXp+−Y7.)及び(Xpt 、 Y
Pりとあらかじめ記憶されている位置座標データとから
基板(5)の回転方向における角度ずれが算出され、部
品(4〉の角度すれと合せて補正される。
次にターンテーブル(11)の間欠回転により装着ヘッ
ド(13〉が装着ステーションに停止すると、認識ステ
ーションでの認識結果による部品(4〉の位置ずれ及び
エリアAについて設定されたマーク(Pl)及びマーク
(P2)の測定結果から算出された基板(5)の位置ず
れが補正されて、XY子テーブル1)が移動し、X座標
データ「Xl、及びY座標データrY1」の位置に部品
(4)が装着される。以下同様にしてステップ毎に部品
装着に係る動作が行なわれるが、例えばステップM3で
は角度補正ステーションでの回転角度ずれの補正及び装
着ステーションでの位置ずれの補正の際に、基板(5)
の回転角度すれ及び位置ずれの算出は、エリアのデータ
がrB」であるので、位置決めマーク(Pl)及び(P
4)のあらかしめ記憶されている位置座標及び測定され
た位置座標(Xア、、y、、)及び(XP−。
YP4)により行なわれる。
こうして、コントロールコマンドrE、が表示されるス
テップMnまでの部品(4)の装着が行なわれる。然る
後、プリント基板(5)は図示しない移載手段によりX
Y子テーブル1)より排出される。
尚、NCデータには本実施例では第4図のように’ A
 J ’ B J・・・・・・で示されるエリアのデー
タが指定されたが、第8図のようにエリアのデータが無
い場合でも第9図のようにエリア位置データか設定され
RA M (23)内に記憶きれていれば、CPU(2
2)はNCデータのX、Y座標データより何れのエリア
に属するかを判断し、該当するエリアについて設定され
た基板位置決めマークの位置座標より基板<5)の位置
ずれ、回転角度ずれを算出するようにできる。
第9F5!Jのエリア位置データは本実施例の場合、各
エリアの対角線上の角部の位置座標により設定され、こ
れらの2点を通るX軸、Y軸に平行な直線で囲まれたエ
リアが各エリアとなる。
例えばエリアAは第1図における左上の角部の位置座標
(0,0)と右下の角部の位置座標(LXI、LYI)
により設定される。
他の形状にエリアを分割することもでき、またエリアの
数も任意に変更できる。
次に第1図乃至第5図及び第10図乃至第14図に基つ
き、第2の実施例について説明する。
第1の実施例では、各エリア毎に基板(5)の位置ずれ
及び角度ずれの算出のために用いる基板位置決めマーク
の組合せを設定しているが、本実施例ではXY座標の位
置すれとθ方向の角度ずれの夫々を別の基板位置決めマ
ークの組合せを用いて算出できるよう、以下のようにマ
ークの組合せの設定を行なう。
本実施例においても、第2図及び第3図の構成はそのま
ま適用される。RAM(23)内には第1図の基板(5
)用の第4図のNCデータが格納されており、第5図の
ような各基板位置決めマークの実部がCRT (37)
に表示きれ、XY方向の位置ずれの補正のための基板(
5)の位置ずれ及び伸縮率1算出するのに基となる基板
位置決めマークがエリア毎に1組ずつ設定できる。最初
にテンキーク39)に”’C’l、及び12」を押圧す
ると、エリアAにテンキー(39)を押圧すると’ 2
−3 」がエリアBに表示され、エリアBにはマーク(
R2)及びマーク(R3)が設定される。このようにし
てエリアFまでの設定が行なわれ、画面表示は第11図
に示されるようになり、この結果がRAM(23)に記
憶される。
このように位置ずれの補正のためには、基板(5)の場
所によって伸縮率が異なり位置ずれ量が場所によって異
なる可能性があるため、基板(5)をいくつかのエリア
に分はエリア毎にそのエリアに一番近い基板位置決めマ
ークを基に位置ずれ量を算出するのがよい。第10図の
ように設定が終了した後、NEXTキー(41〉を押圧
すると第12図に示される画面が表示され、θ方向の基
板(5)の角度ずれを算出するのに基となる基板位置決
めマークが1組設定可能となる。テンキー(39)を用
い11」及びR4,を入力すると画面は第13図のよう
になり、マーク(Pl)及びマーク(R4)が角度ずれ
のために設定される。これはエリアを問わず、基板(5
)全体に適用される。
基板(5)のθ方向の角度ずれを算出する場合には測定
する基板位置決めマークの間の距離が短いと、認識カメ
ラフ20)の撮像画面の画素の大きさの影響によるマー
クの位置の誤差がマーク間の直線の角度ずれに、より大
きく影響を及ぼすためマーク間の距離は長いほどよく、
一番長い距離のマーク(Pl)及びマーク(R4)を設
定したものである。
従ってマーク(R4)及び(R5)を設定してもよい。
以上のような構成により以下動作について説明する。
先ず、第1の実施例と同様にして各基板位置決めマーク
の位置が測定され記憶される。
第4図のNCデータに基づき品種「R1,の部品〈4)
が第1の実施例と同様にして供給装置(7)より吸着き
れ、ターンテーブル(11)の回動により角度補正ステ
ーションに到着する。認識ステーションでの認識結果及
び基板位置決めマークの測定結果に基づき、ノズル回動
ギア(17)によりノズル(12)か回動きれ、部品<
4)の角度ずれの補正が行なわれる。このとき、角度補
正であるので、補正量はマーク(Pl)EL、びマーク
(R4)の測定データである第5図(7)(XPl、Y
p+)及び(Xp−、YP−)とあらかじめ記憶されて
いる位置データとから算出される。
次に、装着ステーションでは部品認識カメラ(16〉に
より認識された部品(4)の位置すれと基板(5)の位
置ずれの補正が行なわれるが、基板(5)の位置ずれ量
はエリアデータが「A」であることによりエリアAに設
定されている基板位置決めマーク(P1)及び(P2)
の測定位置座標である(x、、、y、、)及び(Xpz
 、 Ypz) ドア  ’) (PI)(P2)(7
)夫々(7)hらかしめ記憶されている位置データとか
ら算出される。
以下、ステップMnまで同様にして部品装着の動作が行
なわれる。
尚、第2の実施例において、角度ずれの補正のための位
置決めマーク設定は第14図のような画面にて、エリア
の指定をしてからそれらのエリアに適用する位置決めマ
ークを設定し、エリアによっても異なる位置決めマーク
を設定できるようにすることも考えられる。
また、第1及び第2の実施例とも、基板(5)の種類が
異なりエリアの数及び基板位置決めマークの数に変更が
ある場合はRAM(23)の記憶領域はその数に合せて
変更される。
芒らに、基板位置決めマークは本実施例の基板(5)の
場合、各エリアに対して略対角線上に一対ずつ配設され
ているが、となり合うエリアで共用できるものは共用す
るようエリアの境界に配設されマークの数を夫々のエリ
ア内に2個ずつ設ける場合より減らしている。そして、
エリアの大きさかすべて略同じであるので基板位置決め
マークは路間−間隔を存して設けられているが、エリア
を/4%さく設定してそのエリアについて正確な位置ず
れ量を求めたい場合は、エリアに合せて近接して一対の
マークを設けることもある。
さらにまた、各エリアについて基板の位置ずれを算出す
るのに2点の基板位置決めマークのみでなく3点以上を
設定して、XY2方向に対する基板の伸縮を求めるよう
にすることも考えられる。
きらに、本発明はプリント基板に部品を仮固定させるた
めの接着剤を塗布する装置にも適用して、基板の位置ず
れ及び角度ずれ等を補正して接着剤を塗布することもで
きる。さらに、基板(5)に対する吸着ノズル(12)
に吸着された部品(4)の角度ずれは、吸着ノズル(1
2)の回動だけでなく、XY子テーブルθ方向に回動可
能であればXY子テーブルθ方向の回動によっても相対
的に補正でき、また吸着ノズル(12)に吸着された部
品(4)の基板(5)に対するXY丈方向位置ずれは、
XY子テーブルみによらず吸着ノズルがXY丈方向移動
可能であれば吸着ノズルの移動によっても相対的に補正
が可能である。
(ト)発明の効果 以上のように本発明は、基板を複数のエリアに分はエリ
ア毎に位置ずれ補正のためのマークを設けたので場所に
よって位置ずれが異なる場合でも部品の装着時に正確な
補正を行なうことができると共に、補正量算出のために
用いるマークを任意に選んで設定できるので場所による
位置ずれが少ない場合には測定する前記マークの数を減
らし測定に要する時間を短縮することができる。
また本発明は、XY丈方向位置ずれの算出のためのマー
クの組合せと角度ずれの算出のためのマークの組合せを
別々にできるので、組合せの異なるマークの各認識デー
タに基づいて補正することができて、特に角度ずれの補
正を正確に行なうことができる。
また本発明は、装着する部品のエリアが何れかが自動的
に判別されるので、部品の装着順序ごとに装着位置を格
納したNCデータにおいて、補正のため何れのマークを
用いるかを決定されているエリアを装着順序ごとに格納
しなくともすむ。
【図面の簡単な説明】
第1図はプリント基板の平面図、第2図は本発明を適用
せる部品装着装置の平面図、第3図は本発明の制御ブロ
ックを示す図、第4図及び第8図はNCデータを示す図
、第5図は基板位置決めマークの実測値を示す図、第6
図、第7図及び第10図乃至第14図はエリアに対応す
る基板位置決めマークを設定するCRT画面図、第9図
はエリア位置データを示す図である。 (1)・・・XY子テーブル (4)・・・チップ部品
、(5)・・・プリント基板、 (12)・・・吸着ノ
ズル、 (20)・・・基板認識カメラ、 (22)・
・・CPU、  (23)・・・RAM。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)テーブル上のプリント基板に付されたマークの位
    置を認識手段で認識して、その結果に基づいて前記テー
    ブルと部品装着ノズルとの相対的位置ずれを補正して該
    基板に部品を装着する部品装着装置に於いて、基板を複
    数のエリアに分けると共に装着される部品が属するエリ
    アごとに位置ずれ補正のためのマークを設け、基板の位
    置ずれの算出のために用いるマークの組合せをエリア毎
    に記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された装着さ
    れる部品が属するエリアに対応したマークの認識データ
    に基づいて部品装着ノズルに吸着されている部品の前記
    基板に対する相対的位置関係を補正すべく該ノズル及び
    前記テーブルを制御する制御手段とを設けたことを特徴
    とする部品装着装置。
  2. (2)テーブル上のプリント基板に付されたマークの位
    置を認識手段で認識して、その結果に基づいて前記テー
    ブルと部品装着ノズルとのXY方向の相対的位置ずれ及
    び相対的角度ずれを補正して該基板に部品を装着する部
    品装着装置に於いて、基板を複数のエリアに分けると共
    に装着される部品が属するエリアごとに位置ずれ及び角
    度ずれ補正のためのマークを設け、エリア内における基
    板のXY方向の位置ずれの算出のために用いる前記マー
    クの組合せを記憶する第1の記憶手段と、基板の角度ず
    れの算出のために用いる前記マークの組合せを記憶する
    第2の記憶手段と、該第1の記憶手段に記憶された装着
    される部品が属するエリアに対応したマークの認識デー
    タに基づく前記XY方向の位置ずれ及び第2の記憶手段
    に記憶されたマークの認識データに基づく前記角度ずれ
    を補正して部品装着ノズルに吸着されている部品の前記
    基板に対する相対的位置合せを行なうべく、該ノズル及
    び前記テーブルを制御する制御手段とを設けたことを特
    徴とする部品装着装置。
  3. (3)部品の装着順序ごとに装着位置を格納したNCデ
    ータに従ってかつテーブル上のプリント基板に付された
    マークの位置を認識手段で認識して、その結果に基づい
    て前記テーブルと部品装着ノズルとの相対的位置ずれを
    補正して該基板に部品を装着する部品装着装置に於いて
    、基板を複数のエリアに分けると共に装着される部品が
    属するエリアごとに位置ずれ補正のためのマークを設け
    、基板の位置ずれの算出のために用いるマークの組合せ
    をエリア毎に記憶する第1の記憶手段と、エリア毎にそ
    のエリアの範囲を記憶する第2の記憶手段と、装着順序
    の部品が属するエリアを装着位置及び第2の記憶手段の
    記憶内容より判別する判別手段と、該判別手段の判別結
    果に基づく該当するエリアに対応したマークの認識デー
    タに基づいて部品装着ノズルに吸着されている部品の前
    記基板に対する相対的位置関係を補正すべく該ノズル及
    び前記テーブルを制御する制御手段とを設けたことを特
    徴とする部品装着装置。
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