JP2010131562A - 液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴噴射塗布装置から噴射される液滴と液滴が噴射される塗布対象物との関係を的確に把握して、溢れや抜けといった塗布工程における不都合を可能な限り低減し、所定の品質を備える製品を安定供給し、製品の歩留まりを向上させることのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供する。
【解決手段】移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し複数のノズルから液滴を塗布対象物に向けてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッド２と、液滴噴射ヘッド２から噴射された液滴を撮影する撮影手段Ｃと、撮影手段Ｃによって撮影された液滴の面積を検出し、検出された液滴の面積を基に塗布対象物に対する液滴の噴射条件を変更する補正手段を備えるとともに、液滴噴射ヘッド２及び撮影手段Ｃそれぞれを制御する制御手段２０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法に関する。

液滴を噴射する液滴噴射塗布装置は、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な表示装置を製造するために用いられている。

このような液滴噴射塗布装置は、例えば、複数のノズルから微少な液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッド（例えば、インクジェットヘッド）を備えており、その液滴噴射ヘッドにより塗布対象物に液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を形成する。なお、液滴噴射ヘッドは、各ノズルが形成されたノズル面を有している。

例えば、液晶表示装置を製造する製造工程では、液滴噴射塗布装置を用いて、塗布対象物である透明基板上にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のインクをドット状に順次塗布することにより、各色のドットが順次配列された塗布体であるカラーフィルタを製造したり、また、液滴噴射塗布装置を用いてカラーフィルタの額縁、すなわちブラックマトリクスを製造したりする。

このカラーフィルタ、或いは、ブラックマトリクスのいずれの製造についても、各々の領域は基板上において微細な面積であるため、互いの領域にはみ出すことなく塗布するには高い塗布精度が要求される。この塗布精度を向上させる方法として、例えばこれら塗布領域の周囲にバンク（隔壁）を形成する方法がある。この方法では、液滴噴射塗布装置を用いて形成されたバンク内にインクを塗布する。この方法としては、例えば、以下の特許文献１に開示された方法を挙げることができる。

すなわち、基板表面にインクジェットノズルから塗布液の液滴を噴射して塗布する段階と、塗布された塗布液を乾燥させて塗布液中の溶質の固形物を得る段階と、の組み合わせを同一領域内において２回以上繰り返して、基板表面上に溶質固形物を所定の厚みで形成することを特徴とする。
特開２００６−８８０７０号公報

しかしながら、上述した方法を採用しても以下のような不都合が生ずる可能性は否定できない。すなわち、塗布対象物である例えば、基板の表面状態は基板ごとに少しずつ異なることも多い。また、この基板に対して液滴噴射塗布装置から塗布される液滴も、粘性等の物性はその幅は小さくともインクジェットヘッドごとに異なることがありうる。

従って、塗布対象物と液滴との物性の関係によっては、塗布された液滴がバンクよりも溢れる「溢れ」が生じたり、或いは、液滴がバンク内で適切に広がらず塗布されない領域が発生する、いわゆる「抜け」が生ずることがありうる。

このような「溢れ」や「抜け」が発生すると、その塗布対象物は製品としては不適格なものであり、このような塗布対象物が増えてしまうと歩留まりが悪くなる。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、液滴噴射塗布装置から噴射される液滴と液滴が噴射される塗布対象物との関係を的確に把握して、溢れや抜けといった塗布工程における不都合を可能な限り低減し、所定の品質を備える製品を安定供給し、製品の歩留まりを向上させることのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射塗布装置において、移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し複数のノズルから液滴を塗布対象物に向けてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、液滴噴射ヘッドから噴射された液滴を撮影する撮影手段と、撮影手段によって撮影された液滴の面積を検出し、検出された液滴の面積を基に塗布対象物に対する液滴の噴射条件を変更する補正手段を備えるとともに、液滴噴射ヘッド及び撮影手段それぞれを制御する制御手段とを備える。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、塗布体の製造方法において、移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し複数のノズルから液体を液滴としてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドを移動させつつ、複数のノズルから液滴を塗布対象物に設けられたダミーエリアに向けて噴射する工程と、ダミーエリアを撮影手段により撮影する工程と、撮影手段による撮影された液滴の面積を検出し、液滴の面積を予め記憶されている面積と比較する工程と、液滴の面積を比較する工程の後に、比較結果に基づいて塗布対象物への噴射条件の変更を行う工程とを備える。

本発明によれば、液滴噴射塗布装置から噴射される液滴と液滴が噴射される塗布対象物との関係を的確に把握して、溢れや抜けといった塗布工程における不都合を可能な限り低減し、所定の品質を備える製品を安定供給し、製品の歩留まりを向上させることのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１に示すように、本発明の実施の形態に係る液滴噴射塗布装置１は、液体であるインクをノズルから液滴として噴射する液滴噴射ヘッド２を用いて基板３にインクを塗布するためのインク塗布ボックス１Ａと、そのインク塗布ボックス１Ａにインクを供給するためのインク供給ボックス１Ｂとから構成されている。これらのインク塗布ボックス１Ａ及びインク供給ボックス１Ｂは、互いに隣接して配置され、共に架台４の上面に固定されている。

ここで、液滴噴射ヘッド２及び後述するインクジェットヘッドユニット１２については、図１に示す液滴噴射塗布装置１では３基設けられているが、液滴噴射塗布装置１にいくつ設けるかは任意である。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、Ｙ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８が積層されている。これらのＹ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８は平板状に形成されている。

Ｙ軸方向スライド板５は架台４の上面に固定されている。Ｙ軸方向スライド板５の上面には、複数のガイド溝５ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝５ａには、Ｙ軸方向移動テーブル６の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｙ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向に移動可能にＹ軸方向スライド板５の上面に設けられている。このＹ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向移動モータを用いる駆動機構により各ガイド溝５ａに沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸方向移動テーブル６の上面には、複数のガイド溝６ａがＸ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝６ａには、Ｘ軸方向移動テーブル７の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｘ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向に移動可能にＹ軸方向移動テーブル６の上面に設けられている。このＸ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向移動モータを用いる駆動機構により各ガイド溝６ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸方向移動テーブル７の上面には、基板３を保持する基板保持テーブル８が固定されている。この基板保持テーブル８は、基板３を把持する基板把持機構９を備えており、その基板把持機構９により基板保持テーブル８上に基板３を密着固定する。基板把持機構９としては、例えばコの字型の挟み金具等を用いる。なお、基板３の保持手段としては、基板把持機構９にかえて、例えば、基板３を吸着する基板吸着機構を設けるようにしてもよい。基板吸着機構としては、例えばゴム吸盤や吸引ポンプ等を用いる。

なお、基板保持テーブル８のＹ軸方向への移動量は、Ｙ軸方向エンコーダのパルス信号（位置信号）に基づいて検出され、同様に、基板保持テーブル８のＸ軸方向への移動量は、Ｘ軸方向エンコーダのパルス信号（位置信号）に基づいて検出される。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、一組のコラム（支柱）１０が立設されている。これらのコラム１０は、Ｙ軸方向スライド板５のガイド溝５ａと直交する方向、すなわちＸ軸方向においてＹ軸方向スライド板５を挟む位置に設けられている。

一組のコラム１０には、Ｘ軸方向スライド板１１が横架されている。Ｘ軸方向スライド板１１の前面には、ガイド溝１１ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このガイド溝１１ａには、複数のインクジェットヘッドユニット１２を具備するベース板１３の背面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、ベース板１３はＸ軸方向に移動可能にＸ軸方向スライド板１１に設けられている。このベース板１３、すなわちインクジェットヘッドユニット１２は、ヘッドユニット移動モータを用いる駆動機構によりガイド溝１１ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

各インクジェットヘッドユニット１２は、ベース板１３に垂設されており、各インクジェットヘッドユニット１２の先端には液滴噴射ヘッド２がそれぞれ着脱可能に設けられる。この液滴噴射ヘッド２は、液滴が噴射される複数のノズル（貫通孔）が形成されたノズル面を有している。このノズル面はノズルプレートの外面である。なお、ノズル面上には、インクの付着等を防止するための撥水膜が設けられている。

また、本発明の実施の形態においては、各液滴噴射ヘッド２には、液滴噴射ヘッド２ごとに撮影手段Ｃが装着されている。撮影手段Ｃとしては、例えば、ＣＣＤカメラ等を挙げることができる。撮影手段Ｃは、基板３の表面を撮影することができるようにレンズが基板３の表面に向けて装着されている。

インクジェットヘッドユニット１２には、基板３面に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴噴射ヘッド２或いは撮影手段Ｃを移動させるＺ軸方向移動機構１２ａと、液滴噴射ヘッド２或いは撮影手段ＣをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１２ｂと、液滴噴射ヘッド２をθ方向に回転させるθ方向回転機構１２ｃとが設けられている（以下、適宜、Ｚ軸方向移動機構１２ａ、Ｙ軸方向移動機構１２ｂ、θ方向回転機構１２ｃをまとめて「インクジェットヘッドユニット駆動機構１２ｄ」と表わす）。これにより、液滴噴射ヘッド２或いは撮影手段Ｃは、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、液滴噴射ヘッド２はθ軸方向に回転可能である。

また、インク塗布ボックス１Ａの内部には、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッドを清掃するヘッドメンテユニット１４が設けられている。このヘッドメンテユニット１４は、インクジェットヘッドユニット１２の移動方向の延長線上であってＹ軸方向スライド板５から離して配設されている。なお、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッドがヘッドメンテユニット１４に対向する待機位置まで移動すると、ヘッドメンテユニット１４は各液滴噴射ヘッドを自動的に清掃するようにされている。

一方、インク供給ボックス１Ｂの内部には、図１に示すように、インクを収容する複数のインクタンク１５が設けられている。これらのインクタンク１５は、対応する供給パイプ１６により各液滴噴射ヘッド２にそれぞれ接続されている。また、各供給パイプ１６の途中には、それぞれインクバッファタンク１７が設けられている。

インクバッファタンク１７は、その内部に貯留したインクの液面と液滴噴射ヘッド２のノズル面との水頭差（水頭圧）を利用し、ノズル先端のインクの液面（メニスカス）を調整する。これにより、インクの漏れ出しや噴射不良が防止されている。

液滴噴射ヘッド２は、インクタンク１５からインクバッファタンク１７を介してインクの供給を受ける。インクとしては、水性インク、油性インク及び紫外線硬化インク等の各種のインクを用いる。例えば、油性インクは、顔料、溶剤（インク溶剤）、分散剤、添加剤及び界面活性剤等の各種の成分により構成されている。

架台４の内部には、液滴噴射塗布装置１の各部を制御するための制御手段２０及び各種のプログラムを記憶する記憶手段（図示せず）等が設けられている。制御手段２０は、インクジェットヘッドユニット１２を制御して液滴噴射ヘッド２から基板３に対する液滴の吐出を行い、或いは、装着された撮影手段Ｃで基板保持テーブル８上に載置された基板３を撮影し、その測定結果に基づいて補正を行う。

この基板３は、実際に液滴を噴射してカラーフィルタ等を製造する際に用いられる基板である。図２に示す基板３の例のように、基板３には、液滴が塗布されて実際にカラーフィルタ等になる塗布エリアＲが設けられている。図２に示す基板３では、横３列、縦３行の計９面の塗布エリアＲが設けられているが、この塗布エリアＲの枚数は任意に設定することができる。

塗布エリアＲの周囲を取り囲むように塗布エリアＲの塗布面よりもわずかに高いバンクＢが形成されている。このバンクＢは、塗布エリアＲに塗布された液滴が塗布エリアＲの領域を越えて溢れ出すことを防止するために形成されている。

さらに塗布エリアＲにはそれぞれに各液滴噴射ヘッド２からの液滴の噴射が設定通り行われるかを確認するための試し打ちを行うダミーエリアＤが設けられている。図２に示す本発明の実施の形態における基板３では、各塗布エリアＲごとに２カ所ずつ設けられている。このダミーエリアＤに対して各液滴噴射ヘッド２から液滴が噴射された後、撮影手段Ｃによって噴射された液滴の撮影が行われる。この撮影結果を基に各インクジェットヘッドユニット１２（液滴噴射ヘッド２）から適切な量の液滴が基板３に対して塗布されているか否かを確認した後にカラーフィルタ等の製造が行われる。

図３は、制御手段２０の内部構成を示すブロック図である。制御手段２０は、図２に示すように、制御管理手段２１と、噴射制御手段２２と、駆動制御手段２３と、補正手段２４とから構成される。制御管理手段２１は、図示しない記憶手段に記憶される各種のプログラムに基づいて、液滴噴射ヘッド２に液滴の噴射を行わせるための噴射許可信号や基板３の位置等を示すステージ位置信号等をそれぞれ噴射制御手段２２、駆動制御手段２３に送信する等、液滴噴射塗布装置１全体の制御を管理する。また、位置決めの補正を行う場合には、撮影手段である撮影手段Ｃに対して基板３上のダミーエリアＤの撮影を指示するとともに、補正手段２４からの補正指示に基づいて噴射制御手段２２に指示を出す。

噴射制御手段２２は、制御管理手段２１からの指示に基づいて指令波形を有する信号を生成し、液滴噴射ヘッド２に送信する。この信号を受けた液滴噴射ヘッド２は信号に基づいて基板３に対して液滴を噴射する。駆動制御手段２３は、制御管理手段２１からの指示に基づいてＹ軸方向移動テーブル６の移動制御、Ｘ軸方向移動テーブル７の移動制御、ベース板１３の移動制御、インクジェットヘッドユニット駆動機構１２ｄの駆動制御等を行う。これにより、基板保持テーブル８に保持された基板３と、ベース板１３に垂設された各インクジェットヘッドユニット１２（液滴噴射ヘッド２或いは、撮影手段Ｃ）との相対位置を色々と変化させることができる。

図４は、補正手段２４の内部構成を示すブロック図である。補正手段２４は、受信手段２４ａと、算出手段２４ｂと、比較・判断手段２４ｃと、記憶手段２４ｄと、送信手段２４ｅとから構成される。なお、記憶手段２４ｄについては、本発明の実施の形態においては補正手段２４内に上述した各種のプログラムを記憶する記憶手段とは別に設けているが、これらがまとまり１つの記憶手段であっても良い。

以下、これら補正手段２４を構成する各手段の働きについて、塗布エリアＲに規定の量の液滴が噴射されることで溢れや抜けといった塗布工程における不都合を可能な限り低減させる塗布体の製造方法の流れを説明しつつ、併せて説明する（図５のフローチャート参照）。

まず基板３を液滴噴射塗布装置１のインク塗布ボックス１Ａ内に搬入する（ＳＴ１）。搬入された基板３は基板保持テーブル８に載置される。この基板保持テーブル８がＸ軸方向、或いはＹ軸方向に移動することによって予め定められた位置にインクジェットヘッドユニット１２（液滴噴射ヘッド２）から液滴が塗布される。

基板３がインク塗布ボックス１Ａ内に搬入された後、ダミーエリアＤを利用してその基板３に対して液滴が適切に塗布されるか否かの塗布条件を確認する（ＳＴ２）。そこで、まず１度目の確認であることから制御管理手段２１において「Ｎ＝１」と確認回数を決定する（ＳＴ３）。

基板３には、上述したように各塗布エリアＲごとに２カ所ずつダミーエリアＤが設けられているが、塗布条件の確認は基板ごとに行われ各塗布エリアＲごとに行われるわけではない。従って、例えば１度目の確認では、図２に示す矢印の向きに基板３を移動させ、横１列のダミーエリアＤ１に液滴を塗布することで各液滴噴射ヘッド２の塗布条件を確認する。また、例えば、１度目では塗布条件が適切ではないと判断され、２度目の確認を行う際には、塗布エリアＲを挟んで対向する位置に設けられている横１列のダミーエリアＤ２を利用する。このように基板３に設けられているダミーエリアＤを順に利用することにより、本発明の実施の形態においては最大６回に亘って塗布条件の確認を行うことが可能である。但し、塗布条件の確認を何度行うかは任意に設定することができる。

その上で、撮影手段Ｃで基板３に形成されている補正マークを検出し、各液滴噴射ヘッド２をダミーエリアＤ１上に位置するよう基板３の位置を補正する（ＳＴ４）。そしてダミーエリアＤに液滴を噴射（塗布）する（ＳＴ５）。例えば、液滴噴射ヘッド２に６４カ所の吐出孔が形成されていた場合、一度の吐出によって６４個の液滴が各ダミーエリアＤに塗布される。

なお、この塗布条件の確認は、各液滴噴射ヘッド２それぞれがダミーエリアＤ１へ液滴を塗布することにより行われる。例えば、本発明の実施の形態における液滴噴射塗布装置１では、液滴噴射ヘッド２が３基設けられていることから、この３基全てがダミーエリアＤ１に液滴を塗布して塗布条件の確認を行う。

次に、ダミーエリアＤに液滴噴射ヘッド２から液滴が塗布されると、制御管理手段２１がダミーエリアＤを撮影手段Ｃで撮影するよう指示を出す。撮影手段Ｃは、制御管理手段２１からの指示に基づいてダミーエリアＤに塗布された液滴の状態を撮影し（ＳＴ６）、その画像情報を補正手段２４へと送信する。

補正手段２４では、撮影手段Ｃからの画像情報を受信手段２４ａで受信し、算出手段２４ｂへと送る。算出手段２４ｂでは、画像情報を基にダミーエリアＤに塗布された各塗布点ごとの液滴の面積を算出する（ＳＴ７）。さらに算出手段２４ｂは算出された各塗布点ごとの液滴の面積から全塗布点の平均面積を算出する（ＳＴ８）。算出された値は、算出手段２４ｂから比較・判断手段２４ｃへと送られる。

比較・判断手段２４ｃでは、算出手段２４ｂから送られた全塗布点の平均面積と、予め記憶手段２４ｄ内に記憶されている塗布量ごとの液滴の面積（以下、便宜上「設定面積」と表わす）とを比較する（ＳＴ９）。

上述したように、液滴を基板３に塗布する場合において上述した溢れや抜けが発生しないような量に塗布量を調整して塗布する必要がある。例えば、塗布エリアＲ内における塗布された液滴の広がりは、基板３と液滴との接触角によって左右される。そのため、予め液滴を塗布エリアＲに塗布した際に、その塗布エリアＲを囲むように形成されているバンクＢを乗り越えて液滴が塗布エリアＲから外側に溢れることがなく、かつ、塗布エリアＲ内において液滴が塗布されない領域が発生しないような塗布量が設定される。この設定された塗布量の液滴を基板３に塗布した場合の面積を把握し、記憶手段２４ｄに記憶させておく。この面積が上述した設定面積であり、この設定面積と算出手段２４ｂにおいて算出された平均面積とを比較する。

比較・判断手段２４ｃが両者を比較した結果、面積が同等であると判断した場合は（ＳＴ１０のＹｅｓ）、基板３に対する液滴の塗布量が適切であると思われる。このことは予め設定されていた塗布条件を変更する必要がないことを示している。そこで、比較・判断手段２４ｃは送信手段２４ｅを介して制御管理手段２１へ塗布条件の変更がない旨送信し、制御管理手段２１からの指示に基づいて噴射制御手段２２が設定された塗布量の液滴を所定の位置（塗布エリアＲ）へ塗布する（ＳＴ１１）。

全ての塗布エリアＲへの液滴の塗布が終了すると、基板３は塗布ボックス１Ａ内から搬出される（ＳＴ１２）。

比較・判断手段２４ｃが設定面積と平均面積とを比較した結果（ＳＴ１３）、設定面積よりも平均面積が大きい場合には（ＳＴ１３のＹｅｓ）、基板３上において液滴が広がりやすくなっていると判断できる。この場合は溢れにつながるので、比較・判断手段２４ｃは、制御管理手段２１に補正を行う旨を示すとともに、制御管理手段２１を介して噴射制御手段２２に対して液滴噴射ヘッド２から塗布される液滴量を設定されている量から減らす補正を行うよう指示を出す（ＳＴ１４）。

なお、ここでは塗布される液滴量を設定されている量から減らすという補正方法を説明したが、例えば、液滴量は変更せず塗布エリアＲ内への液滴塗布に際して、バンクＢから離れた位置に液滴を塗布するように液滴噴射ヘッド２の塗布位置を補正する方法も考えられる。

一方、設定面積よりも平均面積が小さい場合には、基板３上において液滴が広がり難くなっていると判断することができる。この場合は塗布エリアＲ内における抜けにつながるので、比較・判断手段２４ｃは、制御管理手段２１に補正を行う旨を示すとともに、制御管理手段２１を介して噴射制御手段２２に対して液滴噴射ヘッド２から塗布される液滴量を設定されている量から増やす補正を行うよう指示を出す（ＳＴ１５）。

なお、ここでは塗布される液滴量を設定されている量を増やすという補正方法を説明したが、例えば、液滴量は変更せず塗布エリアＲ内への液滴塗布に際して、これまでよりもバンクＢに近づけた位置に液滴を塗布するように液滴噴射ヘッド２の塗布位置を補正する方法も考えられる。

補正手段２４から補正を行う旨の情報を得た制御管理手段２１は、確認回数Ｎに回数を１つ加え「Ｎ＋１」とし（ＳＴ１６）、再度各液滴噴射ヘッド２からダミーエリアＤに対して液滴を噴射させて塗布条件の確認を行うようにする（ＳＴ５へ戻る）。

このような塗布条件の確認を行うことによって、液滴噴射塗布装置から噴射される液滴と液滴が噴射される塗布対象物との関係を的確に把握して、溢れや抜けといった塗布工程における不都合を可能な限り低減し、所定の品質を備える製品を安定供給し、製品の歩留まりを向上させることのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供する。

なお、この発明は、上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成できる。例えば、実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。

本発明の実施の形態における液滴噴射塗布装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態において使用される基板を示す平面図である。 本発明の実施の形態における制御手段の内部構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態における補正手段の内部構成を示すブロック図である。 塗布条件の確認を行い、塗布工程における不都合を可能な限り低減させる塗布体の製造方法の流れを示すフローチャートである。

符号の説明

１…液滴噴射塗布装置、１Ａ…インク塗布ボックス、１Ｂ…インク供給ボックス、２…液滴噴射ヘッド、３…基板、３ａ…基準基板、４…架台、５…Ｙ軸方向スライド板、６…Ｙ軸方向移動テーブル、７…Ｘ軸方向移動テーブル、８…基板保持テーブル、９…基板把持機構、１０…コラム（支柱）、１１…Ｘ軸方向スライド板、１２…インクジェットヘッドユニット、１３…ベース板、１５…インクタンク、１６…供給パイプ、１７…インクバッファタンク、２０…制御手段、２１…制御管理手段、２２…噴射制御手段、２３…駆動制御手段、２４…補正手段、２４ａ…受信手段、２４ｂ…算出手段、２４ｃ…比較・判断手段、２４ｄ…記憶手段、２４ｅ…送信手段、Ｂ…バンク、Ｃ…撮影手段（カメラ）、Ｄ…ダミーエリア、Ｒ…塗布エリア。

Claims (2)

1. 移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し前記複数のノズルから液滴を塗布対象物に向けてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、
   前記液滴噴射ヘッドから噴射された前記液滴を撮影する撮影手段と、
   前記撮影手段によって撮影された前記液滴の面積を検出し、検出された前記液滴の面積を基に前記塗布対象物に対する前記液滴の噴射条件を変更する補正手段を備えるとともに、前記液滴噴射ヘッド及び前記撮影手段それぞれを制御する制御手段と、
   を備えることを特徴とする液滴噴射塗布装置。
2. 移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し前記複数のノズルから液体を液滴としてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドを移動させつつ、前記複数のノズルから前記液滴を塗布対象物に設けられたダミーエリアに向けて噴射する工程と、
   前記ダミーエリアを撮影手段により撮影する工程と、
   前記撮影手段による撮影された前記液滴の面積を検出し、前記液滴の面積を予め記憶されている面積と比較する工程と、
   前記液滴の面積を比較する工程の後に、比較結果に基づいて前記塗布対象物への噴射条件の変更を行う工程と
   を備える塗布工程を有することを特徴とする塗布体の製造方法。

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