JP5364309B2 - 液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法に関する。

液滴を噴射する液滴噴射塗布装置は、通常、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な表示装置を製造するために用いられている。

このような液滴噴射塗布装置は、複数のノズルから微少な液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッド（例えば、インクジェットヘッド）を備えており、その液滴噴射ヘッドにより塗布対象物に液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を形成する。なお、液滴噴射ヘッドは、各ノズルが形成されたノズル面を有している。このノズル面はノズルプレートの外面である。

例えば、液晶表示装置を製造する製造工程では、液滴噴射塗布装置を用いて、塗布対象物である透明基板上にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のインクをドット状に順次塗布することにより、各色のドットが順次配列された塗布体であるカラーフィルタを製造したり、また、液滴噴射塗布装置を用いてカラーフィルタの額縁、すなわちブラックマトリクスを製造したりする。

このような製造工程中には、塵や埃等の異物やインク等がノズル面のノズル周辺に付着することがあり、そのような付着物により液滴の飛行曲がりやインク不噴射等の噴射不良が発生する場合がある。また、これら塵や埃等の異物やインク等の付着物をノズル面から除去するため、ノズル面にクリーニングローラを押し付けてノズル面をワイプする液滴噴射塗布装置や、ノズル面を洗浄液に浸し、その後、ノズル面にクリーニングブレードを押し付けてノズル面をワイプする液滴噴射塗布装置等が提案されている。

さらには、これらクリーニング（清掃）によってノズル面の損傷することも考えられることから、以下の特許文献１において開示された発明に示されているように、このノズル面の損傷が生ずることを防ぎつつ最大限のクリーニング効果を得るようにした液滴噴射塗布装置も提案されている。
特開２００７−２４４９６０号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示された発明では、確かにノズル面を損傷させることなくきれいに清掃することは可能であるが、以下に述べるような状態が生ずることもある。

すなわち上記特許文献１に記載されている液滴噴射ヘッドのノズル面の清掃方法では、ノズル面に付着したインク、或いは洗浄した際の洗浄液をノズル面を拭掃部に押しつけて吸収し、さらには拭き取ることでノズル面の清掃を行う。この拭掃部は例えば、リントのような繊維体によって構成される。

一方、液滴噴射ヘッドはその構造上、液滴を噴射させるノズルとその周囲とを一体に作ることができない。そのため、液滴噴射ヘッドを固定するためのネジの頭がノズル面と同一平面上から少し窪んだ位置に存在する。一般的にこの位置にネジの頭があれば問題はないが、例えばバリが出ているような状態では、このバリが清掃をする際にノズル面を押しつける拭掃部の繊維体を引っかけてしまう可能性がある。

さらには、液滴を噴射する対象となる基板自体に異物があり、液滴を噴射するために基板上を液滴噴射ヘッドを移動させた際に、ノズル面に異物が付着する可能性が全くないわけではない。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、液滴を噴射した領域上を再度液滴の噴射を行わずに液滴噴射ヘッドを走査させて、その後の液滴の形状の変化を基にノズルに付着した付着物の有無を検出することで、これまで採用していた構成を変更することなく簡易、かつ確実にノズルに付着した付着物を検出することのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射塗布装置において、移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し複数のノズルから液体を液滴としてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、ノズル面を清掃する清掃手段と、液滴噴射ヘッドから噴射されて基板上に塗布された液滴の形状を撮影する撮影手段と、液滴噴射ヘッド、清掃手段及び撮影手段それぞれを制御するとともに、撮影手段によって撮影された液滴の形状を検出する制御手段と、を備え、制御手段は、基板に設けられた所定領域に向けて液滴噴射ヘッドから液滴を噴射し、基板上に塗布された液滴を撮影手段で撮影させ、更に、所定領域で液滴を噴射させることなく液滴噴射ヘッドを走査させる空走を行い、基板上の液滴の形状を撮影手段で撮影させ、空走前後の液滴の形状を比較する。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、塗布体の製造方法において、移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し複数のノズルから液体を液滴としてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドを移動させつつ、複数のノズルから液滴を基板に設けられた確認領域に向けて噴射する工程と、液滴噴射ヘッドを液滴を噴射させることなく液滴が噴射された確認領域上を走査させる工程と、確認領域を撮影手段により撮影する工程と、撮影手段による撮影された液滴の形状を検出し、液滴の形状を予め記憶されている正常な形状を備える液滴の形状と比較する工程との塗布工程を備える。

本発明によれば、液滴を噴射した領域上を再度液滴の噴射を行わずに液滴噴射ヘッドを走査させて、その後の液滴の形状の変化を基にノズルに付着した付着物の有無を検出することで、これまで採用していた構成を変更することなく簡易、かつ確実にノズルに付着した付着物を検出することのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る液滴噴射塗布装置１は、液体であるインクをノズル（図示せず）から液滴として噴射する液滴噴射ヘッド２を用いて基板３にインクを塗布するためのインク塗布ボックス１Ａと、そのインク塗布ボックス１Ａにインクを供給するためのインク供給ボックス１Ｂとから構成されている。これらのインク塗布ボックス１Ａ及びインク供給ボックス１Ｂは、互いに隣接して配置され、共に架台４の上面に固定されている。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、Ｙ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８が積層されている。これらのＹ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８は平板状に形成されている。

Ｙ軸方向スライド板５は架台４の上面に固定されている。Ｙ軸方向スライド板５の上面には、複数のガイド溝５ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝５ａには、Ｙ軸方向移動テーブル６の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｙ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向に移動可能にＹ軸方向スライド板５の上面に設けられている。このＹ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向移動モータを用いる駆動機構により各ガイド溝５ａに沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸方向移動テーブル６の上面には、複数のガイド溝６ａがＸ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝６ａには、Ｘ軸方向移動テーブル７の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｘ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向に移動可能にＹ軸方向移動テーブル６の上面に設けられている。このＸ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向移動モータを用いる駆動機構により各ガイド溝６ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸方向移動テーブル７の上面には、基板３を保持する基板保持テーブル８が固定されている。この基板保持テーブル８は、基板３を把持する基板把持機構９を備えており、その基板把持機構９により基板保持テーブル８上に基板３を密着固定する。基板把持機構９としては、例えばコの字型の挟み金具等を用いる。なお、基板３の保持手段としては、基板把持機構９にかえて、例えば、基板３を吸着する基板吸着機構を設けるようにしてもよい。基板吸着機構としては、例えばゴム吸盤や吸引ポンプ等を用いる。

なお、基板保持テーブル８のＹ軸方向への移動量は、Ｙ軸方向エンコーダのパルス信号（位置信号）に基づいて検出され、同様に、基板保持テーブル８のＸ軸方向への移動量は、Ｘ軸方向エンコーダのパルス信号（位置信号）に基づいて検出される。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、一組のコラム（支柱）１０が立設されている。これらのコラム１０は、Ｙ軸方向スライド板５のガイド溝５ａと直交する方向、すなわちＸ軸方向においてＹ軸方向スライド板５を挟む位置に設けられている。

一組のコラム１０には、Ｘ軸方向スライド板１１が横架されている。Ｘ軸方向スライド板１１の前面には、ガイド溝１１ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このガイド溝１１ａには、複数のインクジェットヘッドユニット１２を具備するベース板１３の背面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、ベース板１３はＸ軸方向に移動可能にＸ軸方向スライド板１１に設けられている。このベース板１３、すなわちインクジェットヘッドユニット１２は、ヘッドユニット移動モータを用いる駆動機構によりガイド溝１１ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

各インクジェットヘッドユニット１２は、ベース板１３に垂設されており、それぞれ液滴噴射ヘッド２を具備している。これらの液滴噴射ヘッド２は、各インクジェットヘッドユニット１２の先端にそれぞれ着脱可能に設けられている。液滴噴射ヘッド２は、液滴が噴射される複数のノズル（貫通孔）が形成されたノズル面を有している。このノズル面はノズルプレートの外面である。なお、ノズル面上には、インクの付着等を防止するための撥水膜（図示せず）が設けられている。

また、各液滴噴射ヘッド２には、撮影手段であるカメラＣが設けられている。カメラＣは、基板３上に着弾した液滴の状態を撮影して、これら撮影画像を基に各液滴噴射ヘッド２からの液滴の吐出状態を確認する。

インクジェットヘッドユニット１２には、基板３面に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴噴射ヘッド２及びカメラＣを移動させるＺ軸方向移動機構１２ａと、液滴噴射ヘッド２をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１２ｂと、液滴噴射ヘッド２をθ方向に回転させるθ方向回転機構１２ｃとが設けられている。これにより、液滴噴射ヘッド２及びカメラＣは、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、θ軸方向に回転可能である。

また、インク塗布ボックス１Ａの内部には、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッド２を清掃する清掃手段１５が設けられている。この清掃手段１５は、インクジェットヘッドユニット１２の移動方向の延長線上であってＹ軸方向スライド板５から離して配設されている。なお、各インクジェットヘッドユニット１２の液滴噴射ヘッド２が清掃手段１５に対向する待機位置まで移動すると、清掃手段１５は各液滴噴射ヘッド２を自動的に清掃する。

清掃手段１５は、Ｙ軸方向スライド板１６と、そのＹ軸方向スライド板１６上に移動可能に設けられたＹ軸方向移動テーブル１７と、そのＹ軸方向移動テーブル１７上にそれぞれ設けられた複数の受取部１８と、同様にＹ軸方向移動テーブル１７上にそれぞれ設けられた複数の洗浄部１９と、Ｙ軸方向移動テーブル１７上にそれぞれ設けられた複数の拭掃部２０とを備えている。

Ｙ軸方向スライド板１６は架台４の上面に固定されている。Ｙ軸方向スライド板１６の上面には、複数のガイド溝１６ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝１６ａには、Ｙ軸方向移動テーブル１７の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｙ軸方向移動テーブル１７は、Ｙ軸方向に移動可能にＹ軸方向スライド板１６の上面に設けられている。このＹ軸方向移動テーブル１７は、Ｙ軸方向移動モータを用いる駆動機構により各ガイド溝１６ａに沿ってＹ軸方向に移動する。

受取部１８、洗浄部１９及び拭掃部２０は、各ガイド溝１６ａの方向、すなわちＹ軸方向に並べて設けられており、インクジェットヘッドユニット１２、すなわち液滴噴射ヘッド２の数と同じ数だけそれぞれ設けられている。また、各受取部１８は、インクジェットヘッドユニット１２の移動方向、すなわちＸ軸方向に並べてそれぞれ設けられている。同様に、各洗浄部１９もＸ軸方向に並べてそれぞれ設けられており、各拭掃部２０もＸ軸方向に並べてそれぞれ設けられている。

受取部１８は、液滴噴射ヘッド２のノズルから排出されて流れ出たインクを受け取る。この受取部１８としては、例えば受け皿等を用いる。また、洗浄部１９は、洗浄液により液滴噴射ヘッド２のノズル面を洗浄する。この洗浄部１９としては、例えば、液滴噴射ヘッド２のノズル面に対して洗浄液を噴射して供給する供給装置や、液滴噴射ヘッド２のノズル面を浸すための洗浄液を保持する洗浄皿等を用いる。拭掃部２０は、図示しない繊維体から構成されており、液滴噴射ヘッド２が拭掃部２０に押しつけられることによってノズル面に付着したインクや洗浄液を吸い取るとともに、吸い取れなかったインクや洗浄液を拭き取る。

一方、インク供給ボックス１Ｂの内部には、図１に示すように、インクを収容する複数のインクタンク２１が設けられている。これらのインクタンク２１は、対応する供給パイプ２２により各液滴噴射ヘッド２にそれぞれ接続されている。また、各供給パイプ２２の途中には、それぞれインクバッファタンク２３が設けられている。

インクバッファタンク２３は、その内部に貯留したインクの液面と液滴噴射ヘッド２のノズル面との水頭差（水頭圧）を利用し、ノズル先端のインクの液面（メニスカス）を調整する。これにより、インクの漏れ出しや噴射不良が防止されている。

液滴噴射ヘッド２は、インクタンク２１からインクバッファタンク２３を介してインクの供給を受ける。インクとしては、水性インク、油性インク及び紫外線硬化インク等の各種のインクを用いる。例えば、油性インクは、顔料、溶剤（インク溶剤）、分散剤、添加剤及び界面活性剤等の各種の成分により構成されている。なお、顔料の粒子径は、例えば７０ｎｍから１６０ｎｍの範囲内であり、特に、顔料がカーボンブラックである場合には、その粒子径は、例えば１００ｎｍである。

架台４の内部には、液滴噴射塗布装置１の各部を制御するための制御手段２４及び各種のプログラムを記憶する記憶手段（図示せず）等が設けられている。制御手段２４は、インクジェットヘッドユニット１２を制御して液滴噴射ヘッド２から基板３に対する液滴の吐出を行うとともに、この吐出によって基板３に塗布された液滴をカメラＣを用いて撮影する制御を行う。

また、制御手段２４は、各種のプログラムに基づいて、Ｙ軸方向移動テーブル６の移動制御、Ｘ軸方向移動テーブル７の移動制御、ベース板１３の移動制御、Ｚ軸方向移動機構１２ａの駆動制御、Ｙ軸方向移動機構１２ｂの駆動制御及びθ方向回転機構１２ｃの駆動制御等を行う。これにより、基板保持テーブル８に保持された基板３と、ベース板１３に垂設された各インクジェットヘッドユニット１２との相対位置を色々と変化させることができる。さらに、制御手段２４は、各種のプログラムに基づいて、清掃手段１５のＹ軸方向移動テーブル１７の移動制御、洗浄部１９及び拭掃部２０の駆動制御等を行う。

次に、基板３に対してインクジェットヘッドユニット１２を使用してインクを塗布するまでの流れを説明する。基板３に対するインクの塗布については、大まかに塗布の準備工程を経て塗布工程に至るが、ここではこの塗布の準備工程について説明する。

図２は、塗布の準備工程の流れを示すフローチャートである。まず基板保持テーブル８に基板把持機構９を用いて基板３を把持することで基板保持テーブル８上に基板３を密着固定する。この基板３には、液滴噴射ヘッド２からインクを吐出させて例えば、カラーフィルタとして機能させる領域（以下、便宜上「機能領域」と表わす。）と、この機能領域にインクを塗布する前に液滴噴射ヘッド２からインクが適切に吐出されるか否かを確認するための確認領域（以下、「確認領域Ａ」と表わす。）とが設けられている。基板３上にこれら機能領域と確認領域Ａとを何カ所、どのようなレイアウトで設けるかは自由に設定することができる。

基板保持テーブル８に基板３が固定されると、基板３の機能領域及び確認領域Ａとが設けられた面と対向する位置にインクジェットヘッドユニット１２が位置することになる。そこで、制御手段２４からの指示に基づいて、塗布の準備を行うべく基板３上の確認領域Ａの上にインクジェットヘッドユニット１２（液滴噴射ヘッド２）が移動する（ＳＴ１）。この確認領域Ａの大きさは、基板３上における機能領域との関係で様々な大きさに設定されるが、例えば、５ｍｍ四方の正方形に形成されている。

確認領域Ａ上に移動されたインクジェットヘッドユニット１２は、この確認領域Ａに向けて液滴噴射ヘッド２から液滴を吐出させる。この吐出は１度ではなく、液滴噴射ヘッド２を確認領域Ａ上移動させつつ複数回行う。これによって、基板３上に液滴噴射ヘッド２から液滴を吐出させた場合に、その吐出によって液滴がどのような状態で基板３上に塗布されるかを確認するためのパターンが形成される（ＳＴ２）。

図３は、液滴噴射ヘッド２からの液滴の吐出によって確認領域Ａ上に形成された吐出状態確認パターンを示す模式図である。制御手段２４の制御により、例えば、図３のに示すように、確認領域Ａを矢印に示す方向へと移動させることによって液滴噴射ヘッド２は確認領域Ａ上を移動し、所定のピッチで液滴を吐出する。但し、隣接する液滴噴射ヘッド２から液滴を同時に吐出すると着弾した液滴が確認領域Ａ上にてつながってしまうおそれがある。そこで、実際に液滴を吐出する際には、確認領域Ａに対して複数の隣接しない液滴噴射ヘッド２からのみ液滴を噴射する。図３では横一列８個の液滴が液滴噴射ヘッド２から吐出され、結果として液滴が４列形成された状態が示されている。図３において、液滴噴射ヘッド２は、破線の長方形として表わされている。

吐出状態確認パターンを形成した後、液滴噴射ヘッド２を確認領域Ａに対して液滴の吐出を開始した位置に戻す。そして再度確認領域Ａの上、すなわち、液滴噴射ヘッド２から吐出されて基板３（確認領域Ａ）上に塗布された液滴の上を、液滴噴射ヘッド２を改めて走査させる（ＳＴ３）。この時、液滴噴射ヘッド２からは液滴は吐出させない。なお、以下、このように液滴噴射ヘッド２から液滴を噴射せずに基板３上を走査させることを便宜上「空走」と表わす。

基板３に液滴を塗布した後（新たな基板３に液滴を塗布する前）には、液滴噴射ヘッド２のノズル面を清掃手段１５において清掃する。清掃工程では、上述したように繊維体による吸い取り、或いはノズル面を拭き取ることが行われる。この繊維体によるノズル面の清掃が行われると、ノズル面に繊維体を構成するリント等の繊維くずが付着する可能性がある。これは、ノズル面に突出したネジの頭やバリがノズル面の清掃時に繊維体を引っかけるからである。また、液滴を噴射する基板自体に塵や埃といった異物があり、液滴を噴射するために液滴噴射ヘッドを基板上移動させた際に、ノズル面にこれらの異物が付着する可能性もある（以下、ノズル面に付着した繊維くずや異物を含めて「付着物」と総称する。）。

このような付着物をノズル面に付着させたまま塗布した液滴の上を液滴噴射ヘッド２が移動すると、塗布した液滴をその付着物で引きずることになりかねない。このような状態を図４に示す。上述したように、一旦確認領域Ａ上に液滴を噴射した後に（図３参照）、その液滴の上を液滴噴射ヘッド２を例えば、図４に示す矢印の方向に空走させる。

ノズル面に付着物が付着していない状態であれば、確認領域Ａ上を液滴噴射ヘッド２が空走しても基板３上に塗布された液滴を引きずることもなく、液滴は塗布された形状のまま基板３上に残る。

一方、ノズル面に付着物が付着していると、塗布された液滴の上部にその異物が接触することになるため、例えば、図４のαに示すように液滴噴射ヘッド２の空走方向にその液滴が引きずられる。或いは、図４のβに示すように、αの状態よりもその引きずりが甚だしく、例えば、隣接、或いは周囲の他の液滴とつながってしまうような状態も生じ得る。

換言すれば、適切に基板３に吐出された液滴は、液滴噴射ヘッド２（カメラＣ）の位置から見ると略円形形状を成している。そこで、液滴噴射ヘッド２の空走後、カメラＣを用いて撮影し、液滴の形状が略円形形状であるか否かを確認することでノズル面に付着物が付着しているか否かを判断することができる。

すなわち、基板３上に塗布された液滴の上を液滴噴射ヘッド２を空走させ、その後の液滴の状態を撮影手段であるカメラＣで撮影する。そして予め設定されている液滴の形状（略円形形状）と、空走後の液滴の形状とを比較する。例えば、予め設定されている液滴の形状が持つ真円度を基準に空走後の液滴の形状の真円度を測る。なお、図２に示すフローチャートではこのような処理全般を画像処理と一括して表わしている（ＳＴ４）。

このような比較を行うことで、液滴噴射ヘッド２から基板３上への吐出状態が正常であるか否か、すなわち、ノズル面に設けられた貫通孔から適切に液滴が噴射されているか（液滴の大きさ、形状）、及び、ノズル面に異物が付着していないか（液滴の形状）を確認することができる（ＳＴ５）。液滴噴射ヘッド２からの吐出が正常であると判断できる場合には（ＳＴ５のＹＥＳ）、基板３に設けられた機能領域に吐出を行う、塗布工程へと移行する（ＳＴ６）。

一方、制御手段２４による画像処理の結果、液滴噴射ヘッド２を空走させた後の液滴の形状が予め定めた形状とは異なる場合には、基板３への吐出状態は正常ではないと判断することができる（ＳＴ５のＮＯ）。これは、何らかの原因によりノズルから適切に液滴が噴射されない、或いは、ノズル面に付着物が存在する、という状態に液滴噴射ヘッド２があることを示すものである。

そしてこの後、液滴噴射ヘッド２から確認領域Ａへの吐出が規定された回数行われたか否かが判断される（ＳＴ７）。これは、液滴噴射ヘッド２を清掃する（ＳＴ８）か交換するかを判断するための基準とするためである。清掃手段１５によるノズル面の清掃によってノズル面から付着物が除去されれば、液滴噴射ヘッド２確認領域Ａに適切に液滴を吐出できるとともに、吐出後液滴噴射ヘッド２を空走させても液滴を引きずることがなくなる。そこで、予め設定された回数、液滴の吐出、空走、清掃とからなる確認作業を繰り返すこととしたものである。なお、この回数は任意に定めることができる。

規定された回数確認作業が行われたか否かが判断され、その回数が規定未満であった場合には（ＳＴ７のＮＯ）、液滴噴射ヘッド２を清掃手段１５において清掃し（ＳＴ８）、改めて別の確認領域Ａに移動させて液滴の吐出、空走を繰り返す（ＳＴ１ないし４）。その結果、吐出状態が正常であると判断することができれば塗布工程へと移行する（ＳＴ６）。一方、確認作業が所定回数行われた場合、すなわち所定回数確認作業が行われても適切な液滴が吐出されない状態である場合には（ＳＴ７のＮＯ）、液滴噴射ヘッド２を交換する（ＳＴ９）。そして、液滴噴射ヘッド２を交換後改めて適切に液滴が吐出されるか否かの確認作業が行われる。

このように、基板への液滴の塗布工程に入る前の塗布状態の確認作業において、液滴を噴射した領域上を再度液滴の噴射を行わずに液滴噴射ヘッドを走査させて、その後の液滴の形状の変化を基にノズルに付着した付着物の有無を検出することで、これまで採用していた構成を変更することなく簡易、かつ確実にノズルに付着した付着物を検出することのできる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することができる。

なお、この発明は、上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成できる。例えば、実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。

本発明の実施の形態における液滴噴射塗布装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態における塗布状態の確認作業の流れを示すフローチャートである。 確認領域に液滴を吐出する状態を示す模式図である。 確認領域吐出された液滴の上を液滴噴射ヘッドを空走させる状態を示す模式図である。

符号の説明

１…液滴噴射塗布装置、１Ａ…インク塗布ボックス、１Ｂ…インク供給ボックス、２…液滴噴射ヘッド、３…基板、４…架台、５…Ｙ軸方向スライド板、６…Ｙ軸方向移動テーブル、７…Ｘ軸方向移動テーブル、８…基板保持テーブル、９…基板把持機構、１０…コラム（支柱）、１１…Ｘ軸方向スライド板、１２…インクジェットヘッドユニット、１３…ベース板、１５…清掃手段、１６…Ｙ軸方向スライド板、１７…Ｙ軸方向移動テーブル、１８…受取部、１９…洗浄部、２０…拭掃部、２１…インクタンク、２２…供給パイプ、２３…インクバッファタンク、２４…制御手段、Ａ…確認領域、Ｃ…撮影手段（カメラ）。

Claims (4)

1. 移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し前記複数のノズルから液体を液滴としてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、
   前記液滴噴射ヘッドの前記ノズル面を清掃する清掃手段と、
   前記液滴噴射ヘッドから噴射されて基板上に塗布された前記液滴の形状を撮影する撮影手段と、
   前記液滴噴射ヘッド、前記清掃手段及び前記撮影手段それぞれを制御するとともに、前記撮影手段によって撮影された前記液滴の形状を検出する制御手段と、
   を備え、
   前記制御手段は、
   前記基板に設けられた所定領域に向けて前記液滴噴射ヘッドから前記液滴を噴射し、前記基板上に塗布された前記液滴を前記撮影手段で撮影させ、
   更に、前記所定領域で前記液滴を噴射させることなく前記液滴噴射ヘッドを走査させる空走を行い、前記基板上の前記液滴の形状を前記撮影手段で撮影させ、
   前記空走前後の前記液滴の形状を比較することを特徴とする液滴噴射塗布装置。
2. 移動可能に設けられ、複数のノズルが形成されたノズル面を有し前記複数のノズルから液体を液滴としてそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドを移動させつつ、前記複数のノズルから前記液滴を基板に設けられた所定領域に向けて噴射する工程と、
   前記液滴噴射ヘッドを前記液滴を噴射させることなく前記液滴が噴射された前記所定領域上を走査させる工程と、
   前記所定領域を撮影手段により撮影する工程と、
   前記撮影手段により撮影された前記液滴の形状を検出し、前記液滴の形状を予め記憶されている正常な形状を備える液滴の形状と比較する工程と、
   を備える塗布工程を有することを特徴とする塗布体の製造方法。
3. 前記液滴の形状を比較する工程の後に、さらに、比較の結果、前記液滴の形状から前記液滴噴射ヘッドに異物が付着していると判断された場合には、前記液滴噴射ヘッドを清掃する工程を備えることを特徴とする請求項２に記載の塗布体の製造方法。
4. 前記液滴の形状を比較する工程では、前記液滴の真円度を比較することを特徴とする請求項３に記載の塗布体の製造方法。

Images