CN115780171A - 涂布装置、液滴喷出检查方法 - Google Patents

Abstract

抑制被喷出至检查用介质的液滴的干燥，而适当地进行液滴检查的方法。实施方式的涂布装置利用从喷墨式的涂布头喷出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布装置包括：涂布头，对检查用介质喷出涂布液；液滴拍摄部，对从涂布头喷出的、检查用介质上的涂布液的液滴进行拍摄；以及控制装置，基于由液滴拍摄部获得的拍摄图像来求出液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对喷嘴施加的喷出电压的控制，液滴拍摄部包括：罩，覆盖由从涂布头的各喷嘴喷出至检查用介质上的涂布液所形成的液滴喷出区域；以及摄像机，设在罩的上方，能够经由罩来拍摄检查用介质上的液滴，罩与摄像机设置为，能够作为一体而升降且能够与检查用介质相对地移动。

Description

涂布装置、液滴喷出检查方法

技术领域

本发明的实施方式涉及一种涂布装置、液滴喷出检查方法。

背景技术

以往，作为使用功能液来对基板涂布功能性薄膜的装置，已知有使功能液成为液滴而喷出至基板的喷墨方式的液滴喷出装置。液滴喷出装置例如在制造有机电致发光(Electroluminescence，EL)装置、彩色滤光片、液晶显示装置、等离子体显示器、电子放出装置等的电光学装置等时得到广泛使用。

液滴喷出装置中，有时喷出液滴的喷墨方式的涂布头的每个喷嘴喷出的液滴量会存在偏差，或者存在完全不喷出液滴的喷嘴。因此，在从涂布头对基板喷出功能液的液滴之前，检查液滴喷出的良否。具体而言，从涂布头对检查用的介质喷出液滴，对其进行拍摄，并对拍摄图像进行图像处理，由此来测量液滴的面积，以检查涂布头的喷出喷嘴的喷出良否。基于这样得到的喷出喷嘴的检查数据来控制涂布头的喷嘴的喷出量，抑制了液滴量的偏差后，进行向作为最终制品的基板的功能液的喷出。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-131562号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，在喷嘴的喷出检查中，由于摄像机的数量有限，因此在从涂布头喷出检查用的液滴后，摄像机无法拍摄所有的液滴，而是将应拍摄的区域划分为多个区域，使摄像机对所述多个区域进行扫描而依次拍摄。在像这样依次拍摄液滴的情况下，在对其中一个区域进行拍摄的期间，在另一个区域中，液滴的干燥正在推进。当干燥推进时，液滴的面积将变小。即，越往后拍摄的区域，着落之后的液滴面积与进行拍摄的时间点的液滴面积之差便越大。

本发明的实施方式是有鉴于如上所述的情况而完成，目的在于抑制被喷出至检查用介质的液滴的干燥，而适当地进行液滴检查。

[解决问题的技术手段]

实施方式的涂布装置利用从包括多个喷嘴的喷墨式的涂布头喷出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布装置的特征在于包括：所述涂布头，对检查用介质喷出所述涂布液；液滴拍摄部，对从所述涂布头喷出的、所述检查用介质上的所述涂布液的液滴进行拍摄；以及控制装置，基于由所述液滴拍摄部获得的拍摄图像来求出液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对所述喷嘴施加的喷出电压的控制，所述液滴拍摄部包括：罩，覆盖由从所述涂布头的各喷嘴喷出至所述检查用介质上的所述涂布液所形成的液滴喷出区域；以及摄像机，设在所述罩的上方，能够经由所述罩来拍摄所述检查用介质上的所述液滴，所述罩与所述摄像机设置为，能够作为一体而升降且能够与所述检查用介质相对地移动。

实施方式的液滴喷出检查方法的特征在于，其是对从包括多个喷嘴的喷墨式的涂布头喷出的液滴的喷出良否进行检查的方法，所述液滴喷出检查方法包括下述工序：从所述多个喷嘴对检查用介质喷出涂布液；拍摄所述检查用介质上的所述涂布液的液滴；以及基于所拍摄的所述液滴的图像来求出所述液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对所述喷嘴施加的喷出电压的控制，所述液滴的拍摄是利用罩来覆盖由所述检查用介质上的液滴所形成的液滴喷出区域，且一边使跟所述罩经一体化的摄像机与所述检查用介质相对移动，一边经由所述罩来拍摄所述检查用介质上的所述液滴。

[发明的效果]

根据本发明的实施方式，能够抑制被喷出至检查用介质的液滴的干燥，而适当地进行液滴检查。

附图说明

图1是第一实施方式的涂布装置的侧面概要图。

图2是第一实施方式的涂布装置的平面概要图。

图3是第一实施方式的涂布装置的正面概要图。

图4是第一实施方式的涂布装置的液滴喷出良否检查时的放大平面图。

图5的(A)至图5的(D)是第一实施方式的涂布装置的液滴喷出良否检查时的经时说明图。

图6是第二实施方式的涂布装置的侧面概要图。

[符号的说明]

1：涂布装置

2：基座

3：基板载台

4：框架

5：涂布头

6：液滴拍摄部

7：X轴移动装置

8：Z轴移动装置

9：维护单元

61：摄像机

62：罩

91：擦拭部

100：控制装置

E：液滴喷出区域

E1～E4：液滴

K：检查用介质

S：轴

W：基板

具体实施方式

＜第一实施方式＞

参照图1至图5的(D)来说明本发明的第一实施方式。

(整体结构)

如图1至图3所示，涂布装置1是具有基座2，且在所述基座2上设置基板载台3、门型的框架4、喷墨方式的涂布头5以及液滴拍摄部6而构成，所述基板载台3载置基板W，所述门型的框架4是以跨越基板载台3的方式而设，所述喷墨方式的涂布头5被设于框架4且喷出涂布液(聚酰亚胺溶液)。

基板载台3被载置于沿着Y轴方向设置在基座2上的Y轴移动装置(未图示)，通过所述Y轴移动装置而可沿着Y轴方向移动。此处，作为Y轴移动装置，可使用将伺服马达作为驱动源的进给丝杠式的移动机构或者将线性马达作为驱动源的线性马达式的移动机构。

涂布头5经由未图示的X轴移动装置而安装至框架4，可沿X轴方向移动。所述移动装置也与基板载台3的Y轴移动装置驱动源同样，可使用进给丝杠式的移动机构、线性马达式的移动机构。

(涂布头)

涂布头5为已知的喷墨方式的涂布头，在其下表面，多个喷嘴沿着长边方向排列形成为两列。在涂布头5内，与各喷嘴对应地设有连通至喷嘴的液室，各液室分别连接于供给涂布液的供液流路。在各液室内，设有用于使液室内的容积产生变化的压电元件(未图示)，通过对压电元件施加驱动电压，液室内的容积发生变化，由此，从与各液室连通的喷嘴喷出涂布液。

(液滴拍摄部)

液滴拍摄部6经由X轴方向移动装置7、Z轴移动装置8而安装至框架4，且被设在图3中的、比涂布头5更靠纸面跟前侧的不会与涂布头5发生干涉的位置。如图1、图2所示，液滴拍摄部6具有摄像机61与罩62。摄像机61被固定于罩62，罩62经由X轴移动装置7、Z轴移动装置8而设于框架4。即，通过罩62的移动，摄像机61也一体地移动。摄像机61为已知的摄像机，以将被载置于载台3的基板W的一部分包含在视野范围内的方式而设。罩62是在摄像机61的下方以沿水平方向延伸的方式而形成的矩形状的板状构件，例如包含实施有低反射加工(抗反射(Anti-Reflection，AR)涂层等)的透明玻璃。与摄像机61为一体的罩62经由X轴移动装置7、Z轴移动装置8而安装于框架4，由此，摄像机61、罩62可沿X轴方向、Z轴方向移动。另外，摄像机61也可根据需要而包括照明。罩62用于覆盖从涂布头5对后述的检查用介质K喷出液滴的区域(液滴喷出区域E)，在其X轴方向上具有液滴喷出区域E的X轴方向的长度的两倍以上的长度，在Y轴方向上具有液滴喷出区域E的Y轴方向的长度的两倍以上的长度，从而具有在摄像机61进行检查用介质K的拍摄的期间成为液滴喷出区域E始终全部被罩62覆盖的状态的大小。

(控制装置)

涂布装置1具有控制装置100，与涂布头5、各移动装置、驱动装置、摄像机61电连接，控制涂布头5的涂布液的喷出、各移动装置以及驱动装置的驱动、摄像机61的拍摄。进而，控制装置100具有图像处理部、存储部等，可读取由摄像机61所获得的图像数据来进行图像处理，并基于此来检查涂布头5对涂布液的喷出的良否(详细将后述)。而且，在存储部中，存储有涂布液相对于基板W的涂布信息(涂布图案或基板上的涂布图案的形成位置等的信息)、或者绘制涂布图案时所用的压电元件的喷出条件(对压电元件施加的电压值、电压的施加时间等的信息)。

此种涂布装置1中，当在基板载台3上载置基板W时，基于存储在控制装置100中的涂布信息以及喷出条件来控制涂布头5、各移动装置、驱动装置，以规定的图案在基板W上涂布涂布液。

而且，在涂布装置1中，为了良好地进行液滴(涂布液)从涂布头5的喷出，定期地(例如每当对设定片数的基板W的涂布液的涂布完成时，或者每当经过设定时间时)检查涂布头5的液滴喷出的良否。

(液滴喷出良否检查)

以下，对所述液滴喷出的良否检查进行说明。

在正在执行对载置于基板载台3的基板W的涂布液的涂布的期间，控制装置100对已完成了涂布的基板W的片数进行计数，当其计数值达到预先设定的片数时，在执行对接下来供给至基板载台3上的基板W的涂布液的涂布之前，实施液滴喷出的良否检查。另外，也可取代所述基板片数的计数，而对经过时间进行计数。

首先，作业者确认基板载台3上不存在基板W，并载置检查用介质K。检查用介质K例如是具有疏液性的玻璃基板，相对于着落的液滴而具有规定的接触角(例如60度～85度)。另外，检查用介质K具有从涂布头5的所有喷嘴喷出的液滴可着落的尺寸。控制装置100调整检查用介质K与涂布头5的位置，以使检查用介质K与涂布头5的相对位置成为适合于液滴喷出良否检查的规定位置。具体而言，进行调整，以使检查用介质K位于涂布头5的喷嘴(未图示)的下方，且进行调整，以使从检查用介质K的表面直至涂布头5的供喷嘴形成的面为止的高度成为与将涂布液涂布至基板W时的高度相同的高度(例如5mm左右)。

当检查用介质K与涂布头5的相对位置被定位至规定位置时，以预先设定的次数从涂布头5的喷嘴向检查用介质K喷出液滴(图4)。例如逐次地对各喷嘴的压电元件施加驱动电压而从各喷嘴逐次地喷出液滴。喷嘴在各涂布头5设有数百个，对检查用介质K喷出数百个液滴(图4中，为了方便而表示了喷出十滴的图)。当预先设定的次数的喷出完成时，检查用介质K通过Y轴移动装置朝Y方向移动而进行位置调整，以使喷出所有液滴的区域(液滴喷出区域E)的一部分来到液滴拍摄部6的摄像机61的下方(图5的(A))。此处，所谓“所有液滴”，是指为了检查喷出量而喷出至检查用介质K上的所有液滴，不包含除此以外的假喷出等。液滴拍摄部6通过Z轴移动装置8而下降。即，调整检查用介质K与液滴拍摄部6的位置，以使检查用介质K与液滴拍摄部6的相对位置成为适合于液滴良否检查的规定位置。例如，使罩62下降，以使从检查用介质K的表面直至罩62的下表面位置的距离成为5mm以下。

当检查用介质K与液滴拍摄部6的相对位置被定位至规定位置时，摄像机61通过X轴移动装置7而以预先设定的顺序来依次拍摄液滴喷出区域E的液滴。液滴拍摄部6的罩62在X轴方向上具有液滴喷出区域E的X轴方向的长度的两倍以上的长度，在Y轴方向上具有液滴喷出区域E的Y轴方向的长度的两倍以上的长度。如前所述，罩62与摄像机61受到一体保持，因此罩62追随于摄像机61的移动而移动。如前所述，罩62的尺寸在X轴方向、Y轴方向上均为液滴喷出区域的两倍以上的长度，因此在摄像机61进行检查用介质K的拍摄的期间，成为液滴喷出区域E始终全部被罩62覆盖的状态。

此处，参照图5的(A)至图5的(D)来说明液滴拍摄部6依次进行液滴喷出区域E的拍摄的工序。

首先，液滴拍摄部6从液滴喷出区域E的液滴E1侧开始摄像机61所进行的拍摄。此处，设为摄像机61的拍摄视野与图5的(A)至图5的(D)所示的摄像机61的形状相同的情况来进行说明。如图5的(A)所示，通过X轴移动装置7来使罩62以及摄像机61移动，以使位于液滴喷出区域E的上右端部的液滴E1包含在摄像机61的视野内。摄像机61的视野为纳入三滴液滴的大小，因此通过摄像机61，在本例中，拍摄包含液滴E1的、从上方计起的三个液滴，将此图像输出至控制装置100。

接下来，如图5的(B)所示，液滴拍摄部6通过X轴移动机构7来沿X轴方向移动，以将接下来的三个液滴收敛到摄像机61的视野内。由此，将一部分与移动前所拍摄的液滴不同的液滴收敛到摄像机61的视野内。摄像机61在移动到将位于液滴喷出区域E的下右端部的液滴E2包含在此视野范围内的位置后，拍摄液滴，并将所拍摄的图像输出至控制装置100。另外，一部分液滴将被重复拍摄，但也可将摄像机61的位置设定成不重复。另外，被重复拍摄的部分将从控制装置100中计算面积的对象中排除(关于面积的计算将后述)。

接下来，使基板载台3沿搬送方向A1移动，以使检查用介质K移动。由此，如图5的(C)所示，成为位于液滴喷出区域E的下左端部的液滴E3包含在摄像机61的视野内的位置关系。此时，液滴拍摄部6与图5的(B)为同一位置。摄像机61在检查用介质K移动后拍摄液滴，并将所拍摄的图像输出至控制装置100。

接下来，如图5的(D)所示，液滴拍摄部6通过X轴移动机构7而沿X轴方向移动。由此成为位于液滴喷出区域E的上左端部的液滴E4包含在摄像机61的视野内的位置关系。此时，基板载台3未移动，而与图5的(C)为同一位置。摄像机61在移动到将液滴E4包含在此视野范围内的位置后，拍摄液滴，并将所拍摄的图像输出至控制装置100。

这样，一边变更液滴拍摄部6与检查用介质K的相对位置，液滴拍摄部6一边从液滴E1依次拍摄液滴喷出区域E的所有液滴直至液滴E4为止，并将它们的拍摄图像输出至控制装置100。此时，例如在图5的(A)所示的位置进行液滴喷出区域E的拍摄时，位于距液滴E1最远的位置处的液滴E3或者将在最后被拍摄的液滴E4尽管脱离摄像机61的视野但被罩62覆盖。因此，从被喷出至检查用介质K上的液滴蒸发的溶剂蒸气不会扩散而滞留在液滴周边，因此能够防止因液滴E3干燥导致液滴的面积发生变化。因此，能够防止位于液滴喷出区域E的所有液滴的干燥并进行拍摄。

被导入至控制装置100的拍摄图像由图像处理部进行处理。在控制装置100中，基于所拍摄的图像来检查涂布头5的各喷嘴的喷出量。具体而言，通过图像处理部来对拍摄图像进行图像处理，由此，掌握液滴的轮廓而测量所述液滴的面积，进而，根据所测量出的液滴的面积来换算液滴量，以求出喷嘴的喷出量。另外，例如在图5的(A)与图5的(B)、图5的(C)与图5的(D)中，存在被重复拍摄的液滴，因此在控制装置100所进行的面积计算时，后来拍摄的图像中所含的重复部分将从计算对象中予以排除。

随后，基于检查结果来调整涂布头5中的喷嘴的喷出量。例如，对预先存储在存储部中的所求出的喷出量与实际的各喷嘴的喷出量进行比较，并基于此来对施加至各喷嘴的驱动电压进行反馈控制。

这样，在进行液滴喷出的良否检查的期间，进行将接下来成为涂布膜的对象的基板W载置于基板载台3的准备。当进行液滴喷出的良否检查，且施加至各喷嘴的驱动电压的反馈控制结束时，作业者(也可为机器人等)从基板载台3移除检查用介质K，取而代之载置基板W。当载置有基板W的基板载台3与涂布头5的相对位置通过X轴移动装置、Y轴移动装置、Z轴移动装置而调整至规定位置时，再次开始涂布头5对基板W的功能膜涂布。

这样，根据第一实施方式，在通过涂布头来对检查用介质K喷出液滴后，配置覆盖液滴喷出区域E的罩62。这样，通过罩62，能够防止喷出后的液滴接触到空气而干燥。尽管罩62是与摄像机61一体地移动，但由于罩62的大小具有即便移动也能够始终覆盖液滴喷出区域E的大小，因此能够始终防止液滴干燥。摄像机61经由罩62来拍摄检查用介质K上的液滴，因此能够抑制拍摄图像中的液滴的面积变化。因此，在最初拍摄的液滴E1与最后拍摄的液滴E4中，不再有因干燥造成的面积差，从而能够准确地换算液滴量，因此能够较佳地进行液滴喷出良否的检查。而且，由于摄像机61与罩62成为一体，因此不需要仅在检查液滴喷出的良否时安装罩62并反复定位的作业，从而能够有效率地进行检查。而且，由于罩62为低反射玻璃，因此反射光难以到达摄像机61，从而能够较佳地进行液滴的拍摄，因此能够较佳地进行液滴喷出良否的检查。而且，由于摄像机61始终与罩62一体地移动，因此将始终拍摄罩62的相同位置。由于罩62不会整体上同样地脏污，因此跟摄像机61与罩62独立地进行扫描而在每次拍摄时拍摄罩62的不同的部分时相比，能够定点地进行脏污检测，从而能够进行适当的异常检测。

＜第二实施方式＞

接下来，参照图6来说明本发明的第二实施方式。第二实施方式的涂布装置1还包括涂布头5的维护单元9。

(维护单元)

维护单元9进行涂布头5的维护，消除涂布头5的喷出不良。维护单元9被配置在基板载台3的Y轴方向端部，可与基板载台3一体地沿Y轴方向移动。

维护单元9是伴随涂布头5的维护来擦拭涂布头5的喷嘴的单元。维护单元9具有擦拭部(wiper)91。擦拭部91包含具有吸收性的布状的原材料，以比涂布头5的喷嘴形成区域的长边方向的长度长，从而可擦拭全部喷嘴的方式而设。擦拭部91经由轴S可旋转地设置，且能够通过未图示的挡块来限制旋转动作。在进行擦拭部91的擦拭动作时，通过挡块来固定以使其不旋转，当想要变更用于擦拭的面时，能够解除挡块而使其旋转。

擦拭部91与基板载台3一同沿Y轴方向移动，当移动到涂布头5被定位至其上方的位置时，擦拭部91与涂布头5的喷嘴接触。此时，擦拭部91一边接触至涂布头5的喷嘴一边沿Y轴方向移动，由此来擦拭喷嘴面。罩62的Z轴方向位置通过Z轴移动机构8来进行调整，以成为与供喷嘴形成的面相同的高度。由此，维护单元9的擦拭部91在擦拭了涂布头5的喷嘴形成面后，能够擦拭罩62的下表面。涂布头5的喷嘴附着有涂布液，在擦拭后的擦拭部91上会附着有大量的涂布液。因此优选的是，擦拭部91在擦拭了喷嘴形成面后，解除挡块并且通过未图示的驱动部来使自身旋转，以使不同的面接触至罩62的下表面。擦拭部91一边接触至罩62的下表面一边沿Y轴方向移动，由此来擦拭罩62下表面。

此处，罩62在覆盖液滴喷出区域E的期间，阻挡从液滴喷出区域E蒸发的涂布液。随着反复进行液滴喷出的良否检查，罩62的下表面侧会附着蒸发的涂布液而逐渐变脏或变模糊。因此，在进行涂布头5的维护的时机，一起实施借助擦拭部91的维护。涂布头5的维护时机是预先通过实验等求出不会引起因喷嘴的干燥造成的喷出不良等的范围而设定。

或者，借助擦拭部91的维护也可并非与涂布头5的维护为同时，而是作为仅罩62的维护来进行。此时，通过摄像机61来拍摄罩62，以探测罩62的脏污情况，由此来进行罩62的维护。例如，摄像机61定期地拍摄罩62并输出至控制装置100。控制装置100也可对所述图像进行图像处理而二值化，以检测脏污。当检测到脏污时，使罩62下降，并使擦拭部91沿Y轴方向移动，由此来进行罩62的维护。此时，也可通过未图示的避让部件来使涂布头5避让。另外，对于罩62的拍摄，也可使用在进行液滴喷出的良否检查时所拍摄的图像。另外，此时，被喷出至检查用介质K的液滴也包含在图像中，但也可仅使用不存在液滴的部位来检测罩62的脏污情况。

或者，也可在检查用介质K的除了液滴喷出区域E以外的位置设置脏污探测用的标记，通过拍摄标记来判定罩62的脏污。例如设置越朝向外侧则以越淡的颜色绘制的圆形图案。通过定期地利用摄像机61来拍摄所述标记，从而检测脏污情况。由摄像机61所拍摄的拍摄图像中的标记的面积将因罩62模糊而变小。当低于预先规定的面积时，判断为需要维护，进行罩62的擦拭等的维护。

这样，根据第二实施方式，具有与第一实施方式同样的效果，而且能够将罩62保持为洁净，因此摄像机61的拍摄图像变得清晰，从而能够更准确地检查液滴喷出的良否。

＜第二实施方式的变形例＞

第二实施方式中，例示了下述情况，即，对摄像机61的拍摄图像进行图像处理而探测脏污，由此来进行罩62的维护，但并不限于此，也可根据在检查液滴喷出的良否时由液滴拍摄部6所拍摄的多个图像的对比度的变化来探测罩62的模糊。具体而言，使用输出至控制装置100的、由液滴拍摄部6的摄像机61获得的拍摄图像，对所述拍摄图像中所含的液滴外缘部与液滴范围外的边界部分的对比度值进行测定。若所述对比度值低于预先设定的阈值，则判定为罩62产生了模糊，而实施罩62的维护。罩62的维护是进行前文所述的借助维护单元9的擦拭部91的擦拭。

这样，根据本变形例，具有与第一实施方式以及第二实施方式同样的效果，而且能够使用液滴喷出的良否检查中所用的拍摄图像来判断罩62的模糊，因此能够将通过摄像机61所进行的拍摄或者拍摄图像的图像处理的次数抑制为最低限度，从而能够有效率地检查液滴喷出的良否。

＜其他实施方式＞

另外，所述实施方式中，例示了罩62为板状的情况，但并不限于此，例如也可为覆盖摄像机61的箱状。此时，可将箱的下表面设为实施了低反射加工的透明玻璃，而将除此以外的面(壁面部分)设为黑色的板状物。通过将壁面部分设为黑色，能够防止反射光入射至摄像机61，从而能够更准确地进行液滴喷出的良否检查。

而且，所述实施方式中，例示了液滴拍摄部6可沿X轴方向以及Z轴方向移动地设置的情况，但并不限于此，例如也可沿Y轴方向、旋转方向移动。

而且，所述实施方式中，例示了将检查用介质K载置于基板载台3来进行液滴喷出良否检查的情况，但并不限于此，也可在维护单元9的一部分设置载置检查用介质的部分，在涂布头5以及罩62的维护实施后使检查用介质K沿Y方向移动而实施液滴喷出的良否检查。

而且，所述实施方式中，例示了检查用介质K为疏液玻璃的情况，但并不限于此，也可为薄膜状的介质或者并非矩形状的其他形状(例如圆形状或多边形状)。或者，也可将用于形成涂布膜的基板W的端部等成为最终制品时不需要的部位用作检查用介质。

而且，所述实施方式中，例示了当对比度值低于阈值时实施罩62的维护的情况，但并不限于此，也可基于所获得的对比度值，并使用预先通过实验求出的修正值来换算液滴的面积。

而且，所述实施方式中，例示了在探测到罩62的脏污或模糊时自动地利用擦拭部91来擦拭罩62的情况，但并不限于此，也可在装置内的显示部上显示警告语，或者使灯点亮，或者鸣响警告声，以将探测到罩62的脏污或模糊的情况告知给作业者。也可基于此而将罩62更换为另外的新的罩，或者手动进行罩62的清扫。

而且，所述实施方式中，例示了在维护单元9中设有布状的滚筒擦拭部即擦拭部91的情况，但并不限于此，也可并用或替换真空擦拭部或者刮片、供给清洗液的喷嘴等已知的喷墨式涂布头的维护构件。

而且，所述实施方式中，例示了涂布头5为一个的情况，但并不限于此，也可具有多个。在设有多个涂布头5的情况下，液滴检查既可针对每一个头来进行，也可一次进行多个。无论如何，只要包括具有能够覆盖成为一次的检查对象的液滴喷出区域E的长度的罩62即可。

而且，所述实施方式中，例示了擦拭部91的长度比涂布头5的喷嘴形成区域的长边方向的长度长的情况，但并不限于此，只要具有与供喷嘴喷出的范围的长度、检查用介质K上的液滴喷出区域E的长度中的最长的长度相同或者比其长的长度即可。

另外，所述实施方式中，例示了基于由摄像机61所拍摄的图像来测量液滴的面积并根据所述面积来求出各喷嘴的喷出量的情况，但并不限于此，也可将所求出的面积与施加至喷嘴的电压的修正值的对应表存储在存储部中，以施加对应的电压。

以上，对本发明的若干实施方式进行了说明，但这些实施方式是作为示例而提示，并不意图限定发明的范围。这些新颖的实施方式能够以其他的各种方式来实施，可在不脱离发明的主旨的范围内进行各种省略、置换、变更。这些实施方式或其变形包含在发明的范围或主旨中，并且包含在权利要求所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (11)

1.一种涂布装置，利用从包括多个喷嘴的喷墨式的涂布头喷出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布装置的特征在于包括：

所述涂布头，对检查用介质喷出所述涂布液；

液滴拍摄部，对从所述涂布头喷出的、所述检查用介质上的所述涂布液的液滴进行拍摄；以及

控制装置，基于由所述液滴拍摄部获得的拍摄图像来求出液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对所述喷嘴施加的喷出电压的控制，

所述液滴拍摄部具有：

罩，覆盖由从所述涂布头的各喷嘴喷出至所述检查用介质上的所述涂布液所形成的液滴喷出区域；以及

摄像机，设在所述罩的上方，能够经由所述罩来拍摄所述检查用介质上的所述液滴，

所述罩与所述摄像机设置为，能够作为一体而升降且能够与所述检查用介质相对地移动。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述罩为矩形状，其两边分别具有所述液滴喷出区域的两边的两倍以上的长度。

3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制装置基于所述摄像机的拍摄图像来判断所述罩的脏污或模糊的有无。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，

所述液滴拍摄部对以规定间隔设在所述检查用介质的、除了所述液滴喷出区域以外的位置的脏污探测用的标记进行拍摄，

所述脏污探测用的标记是越从中心朝向外侧则颜色变得越淡的圆形图案，

所述控制装置在由所述液滴拍摄部所拍摄的所述脏污探测用标记的面积低于预先规定的面积时，判断为所述罩产生了脏污或模糊。

5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制装置在所述摄像机的拍摄图像中所含的所述液滴的外缘部与所述液滴范围外的边界部分的对比度值低于预先规定的阈值时，判断为所述罩存在脏污或模糊。

6.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂布装置还包括对所述涂布头进行清扫的维护单元，

通过所述维护单元来实施所述罩的清扫。

7.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂布装置还包括对所述涂布头进行清扫的维护单元，

当由所述控制装置判断为所述罩存在脏污或模糊时，实施所述维护单元对所述罩的清扫。

8.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂布装置还包括对所述涂布头进行清扫的维护单元，

当由所述控制装置判断为所述罩存在脏污或模糊时，实施所述维护单元对所述罩的清扫。

9.根据权利要求7所述的涂布装置，其中，

在通过所述控制装置而预先设定的时机，通过所述维护单元来实施所述涂布头的清扫与所述罩的清扫。

10.根据权利要求8所述的涂布装置，其中，

在通过所述控制装置而预先设定的时机，通过所述维护单元来实施所述涂布头的清扫与所述罩的清扫。

11.一种液滴喷出检查方法，其特征在于，其是对从包括多个喷嘴的喷墨式的涂布头喷出的液滴的喷出良否进行检查的方法，所述液滴喷出检查方法具有下述工序：

从所述多个喷嘴对检查用介质喷出涂布液；

拍摄所述检查用介质上的所述涂布液的液滴；以及

基于所拍摄的所述液滴的图像来求出所述液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对所述喷嘴施加的喷出电压的控制，

所述液滴的拍摄是利用罩来覆盖由所述检查用介质上的液滴所形成的液滴喷出区域，且一边使跟所述罩经一体化的摄像机与所述检查用介质相对移动，一边经由所述罩来拍摄所述检查用介质上的所述液滴。

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