CN117984661A - 基板处理装置及方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供了能够实时响应喷出异常的基板处理装置及方法。基板处理装置包括：第一台，支承基板；喷墨头单元，向基板上以液滴的形式排出基板处理液；门架单元，在第一台上使喷墨头单元移动；液滴检查单元，检查液滴；以及控制单元，基于对液滴的检查结果来对基板执行补偿，其中，喷墨头单元向基板的使用区域和非使用区域上排出基板处理液，且液滴检查单元检查排出到非使用区域上的液滴。

Description

基板处理装置及方法

相关申请的交叉引用

本申请要求于2023年11月7日向韩国知识产权局提交的第10-2022-0147179号韩国专利申请的优先权以及由此产生的所有权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文中。

技术领域

本公开涉及基板处理装置及方法，并且更具体地，涉及可以用于制造显示装置的基板处理装置及方法。

背景技术

当制造诸如液晶显示(LCD)面板、发光二极管(LED)面板或有机电致发光(EL)组件的显示装置时，可以利用喷墨设备对透明基板执行印刷工艺。这种喷墨设备采用喷墨头向透明基板上喷出微细墨滴，从而能够对期望的位置进行图案化(例如，RGB图案化)。

喷墨头可以用于对诸如滤色器、有机LED(OLED)RGB和OLED薄膜封装(TFE)的精密涂覆工艺。为此目的，喷墨头需要能够在每个期望的方向上精确地喷出墨滴。因此，需要定期检查喷墨头。

然而，通常，用单独的模块(例如，膜上喷出(JOF：Jetting-On-Film)模块)来检查喷墨头，从而导致不能在基板印刷工艺期间即时解决喷出异常的挑战。

发明内容

本发明的方面提供了能够实时响应喷出异常的基板处理装置及方法。

然而，本公开的方面不限于本文中所阐述的内容。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其他方面将对于本公开所属领域的普通技术人员变得更加明显。

根据本发明的一方面，基板处理装置包括：第一台，支承基板；喷墨头单元，向基板上以液滴的形式排出基板处理液；门架单元，在第一台上使喷墨头单元移动；液滴检查单元，检查液滴；以及控制单元，基于对液滴的检查结果来对基板执行补偿，其中，喷墨头单元向基板的使用区域和非使用区域上排出基板处理液，且液滴检查单元检查排出到非使用区域上的液滴。

根据本发明的一方面，基板处理装置包括：第一台，支承基板；喷墨头单元，向基板上以液滴的形式排出基板处理液；门架单元，在第一台上使喷墨头单元移动；液滴检查单元，检查液滴；以及控制单元，基于对液滴的检查结果来对基板执行补偿，其中，喷墨头单元向基板的使用区域和非使用区域上排出基板处理液，液滴检查单元检查排出到非使用区域上的液滴，液滴检查单元以条带为单位检查液滴，条带与已经对基板的整个表面执行像素印刷的次数相关，液滴检查单元针对喷墨头单元内的多个喷嘴之中的已经用于处理基板的喷嘴检查液滴，以及控制单元通过用替代喷嘴代替有缺陷的喷嘴来对基板执行补偿。

根据本公开的一方面，基板处理方法包括：向基板的使用区域和非使用区域上以液滴的形式排出基板处理液；检查排出到非使用区域上的液滴；以及基于对液滴的检查结果来对基板执行补偿，其中，执行补偿包括根据在用于处理基板的喷嘴之中是否存在任何有缺陷的喷嘴来对基板执行补偿。

应当注意，本公开的效果不限于以上描述的内容，并且本公开的其他效果将从以下描述中变得明显。

附图说明

通过参考附图详细描述本公开的示例性实施方式，本公开的以上和其他方面及特征将变得更加明显，在附图中：

图1是示出使用喷墨技术的基板处理装置的内部配置的平面图；

图2是示出基板处理装置的内部配置的框图；

图3是示出基板处理装置的液滴检查单元和控制单元的液滴检查方法的流程图；

图4是示出可以设置在基板上的使用区域和非使用区域的第一示例性示意图；

图5是示出可以设置在基板上的使用区域和非使用区域的第二示例性示意图；

图6是示出基板处理装置的液滴检查单元的性能的第一示例性示意图；

图7是示出基板处理装置的液滴检查单元的性能的第二示例性示意图；

图8是示出基板处理装置的液滴检查单元的性能的第三示例性示意图；

图9是示出基板处理装置的控制单元的补偿印刷方法的流程图；

图10是示出使用在第一基板的非使用区域旁边的第二基板的第一示例性示意图；

图11是示出使用在第一基板的非使用区域旁边的第二基板的第二示例性示意图；以及

图12是示出使用在第一基板的非使用区域旁边的第二基板的第三示例性示意图。

具体实施方式

将参考附图描述本公开的实施方式。相同的附图标记用于附图中的相同的组件，并且将省略对这些组件的冗余描述。

本发明涉及能够实时响应喷出异常的基板处理装置及方法。基板处理装置及方法允许在处理基板期间检查喷墨头单元，从而最小化基板、墨等的浪费，并且提高工艺效率。将参考附图提供以下对本公开的发明的详细描述。

图1是示出使用喷墨技术的基板处理装置的内部配置的示意性平面图。参考图1，基板处理装置100可以包括处理单元110、维护单元120、门架单元130、喷墨头单元140和基板处理液供应单元150。

基板处理装置100可以处理用于制造显示装置的基板G。基板处理装置100可以设置为喷墨印刷设备，喷墨印刷设备通过利用喷墨头单元140向基板G上喷出基板处理液来对基板G执行印刷工艺。基板G可以是例如透明玻璃。

基板处理液指代用于对基板G执行印刷工艺的溶液。基板处理装置100可以将墨用作基板处理液。基板处理液可以是例如包含超细半导体微粒的量子点(QD)墨。基板处理装置100可以使用各种颜色的墨对基板G执行像素印刷，并且可以在基板G上形成滤色器。此外，基板处理装置100可以设置为再循环系统，以防止在喷墨头单元140内由墨引起喷嘴堵塞。

处理单元110在用基板处理液处理基板G期间支承基板G。处理单元110可以使用接触方法或非接触方法来支承基板G。当使用接触方法时，处理单元110可以将基板G吸附到其顶部有平坦的安装表面的卡盘上从而支承基板G。当使用非接触方法时，处理单元110可以使用空气将基板G悬浮在空中从而支承基板G。

在支承基板G的同时，处理单元110也可以使基板G从一个方向朝向另一方向移动。处理单元110可以被配置成包括例如第一台111和气孔112。

用作基座的第一台111可以设置成供基板G安置在其上。气孔112可以形成为穿过第一台111的上部分和下部分。多个气孔112可以形成在第一台111上的印刷区内。

气孔112可以在第一台111的向上方向上(即，在第三方向30上)排出空气。通过气孔112，第一台111上的基板G可以悬浮在空中。

尽管在图1中未示出，但是处理单元110可以包括夹具和导轨。当基板G沿着第一台111的长度方向(即，在第一方向10上)移动时，夹具用来夹持基板G以防止基板G从第一台111脱离。当基板G移动时，夹具可以沿着导轨在与基板G相同的方向上移动。夹具和导轨可以设置在第一台111的外侧。

维护单元120对基板G执行维护。例如，维护单元120可以测量基板处理液是否以液滴的形式排出到基板G上以及基板处理液的液滴的排出点(或位置)、体积、范围(或面积)和速度。维护单元120可以将这些测量结果提供给将稍后描述的控制单元。

为了液滴检查，维护单元120可以包括第二台121、测量模块122和视觉模块123。与第一台111一样用作基座的第二台121可以与第一台111平行布置。第二台121可以在其顶表面上具有维护区，并且可以具有与第一台111相同的尺寸或不同的尺寸。

测量模块122和视觉模块123可以直接检查液滴。如将稍后描述的，液滴检查单元可以被配置成包括视觉模块123。可替代地，液滴检查单元可以被配置成包括测量模块122和视觉模块123。

测量模块122可以包括基板处理液排出到其上的基板F。基板F可以用于液滴检查目的，并且可以是膜的形式。测量模块122可以设置为例如膜上喷出(JOF)模块。测量模块122还可以包括校准板，校准板包括用于液滴排出点测量的对准标记、尺子等。

视觉模块123在基板处理液排出到基板F上时获取与液滴相关的图像。为此，视觉模块123可以包括一个或更多个相机，并且可以设置为例如喷嘴喷出检查(NJI：NozzleJetting Inspection)模块。

具体地，视觉模块123可以在基板处理液排出到基板F上时实时获取与液滴相关的图像。为了检查的目的，视觉模块123可以沿着第一台111的长度方向(或第一方向10)拍摄基板F的图像。在这种情况下，视觉模块123可以包括行扫描相机。可替代地，视觉模块123可以通过以特定尺寸的区域为单位拍摄基板F来拍摄图像，在这种情况下，视觉模块123可以包括区域扫描相机。

视觉模块123可以在维护单元120上获取基板F的图像，但是本公开不限于此。可替代地，当为了产品制造目的而处理基板F时，视觉模块123可以在处理单元110上获取基板F的图像。为此，视觉模块123可以安装在门架单元130的底表面或侧表面上，但是本公开不限于此。视觉模块123也可以安装在喷墨头单元140的前表面或侧表面上，或者也可以可移动地而不是固定地安装在门架单元130或喷墨头单元140上。

尽管在图1中未示出，但是维护单元120可以包括引导测量模块122的移动路径的导轨。导轨可以设置成沿着第二台121的长度方向(或第一方向10)或第二台121的宽度方向(或第二方向20)引导测量模块122。例如，导轨可以设置为例如线性移动(LM)引导系统。

门架单元130支承喷墨头单元140。门架单元130可以定位在第一台111和第二台121的顶部上，以使喷墨头单元140能够向基板G和F上排出基板处理液。

门架单元130可以设置成使其长度方向与第一台111和第二台121的宽度方向(或第二方向20)对准。门架单元130可以在第一导轨160a和第二导轨160b的引导下在第一台111和第二台121的长度方向(或第一方向10)上移动。第一导轨160a和第二导轨160b可以沿着第一台111和第二台121的长度方向分别设置在第一台111和第二台121的外侧。第一导轨160a和第二导轨160b可以设置为例如LM引导系统。

尽管在图1中未示出，但是基板处理装置100还可以包括门架移动单元。门架移动单元控制门架单元130沿着第一导轨160a和第二导轨160b可滑动地移动。门架移动单元可以包括电机，并且可以安装在门架单元130内。可替代地，门架移动单元可以安装在门架单元130外部。

喷墨头单元140向基板G上以液滴的形式排出基板处理液。喷墨头单元140可以安装在门架单元130的侧表面或底表面上。

至少一个喷墨头单元140可以安装在门架单元130上。如果多个喷墨头单元140安装在门架单元130上，则它们可以沿着门架单元130的长度方向(或第二方向20)布置成一列。此外，多个喷墨头单元140可以独立操作或同步操作。

为了在基板G上将其自身定位在每个期望位置处，喷墨头单元140可以沿着门架单元130的长度方向(或第二方向20)移动。此外，喷墨头单元140可以沿着门架单元130的高度方向(或第三方向30)移动，并且甚至可以顺时针旋转或逆时针旋转。相反地，喷墨头单元140也可以固定到门架单元130，在这种情况下，门架单元130可以具有在基板G上移动的能力。

尽管在图1中未示出，但是基板处理装置100还可以包括喷墨头移动单元。喷墨头移动单元可以实现喷墨头单元140的直线移动或旋转。

基板处理液供应单元150可以设置为向喷墨头单元140提供基板处理液的贮液器。基板处理液供应单元150可以安装在门架单元130上，并且可以包括储存罐151和压力控制模块152。

储存罐151储存基板处理液，且压力控制模块152控制储存罐151的内部压力。基于由压力控制模块152提供的压力，储存罐151可以向喷墨头单元140供应适量的基板处理液。

基板处理液供应单元150可以与喷墨头单元140集成到单个模块中。例如，喷墨头单元140和基板处理液供应单元150可以定位在门架单元130的前部，并且基板处理液供应单元150可以置于比喷墨头单元140高的高度处。然而，本公开不限于该示例。可替代地，基板处理液供应单元150可以被配置为与喷墨头单元140分离的模块。例如，喷墨头单元140和基板处理液供应单元150可以分别定位在门架单元130的前部和后部。

基板处理装置100可以设置为压电喷墨印刷系统。在这种情况下，基板处理装置100可以利用施加到压电元件的电压来使基板处理液通过喷墨头单元140的喷嘴以液滴的形式掉落到基板G上。

基板处理装置100也可以实现为电流体动力(EHD：Electro-Hydro-Dynamic)喷墨印刷系统。在这种情况下，当基板处理液暴露于强的局部电场时，静电力可以被施加到基板处理液，使得基板处理液可以带电，并且基板处理装置100可以根据由注入到基板处理液中的电荷引起的静电引力来将基板处理液排出到基板G上。也就是说，基板处理装置100可以基于喷墨头单元140与基板G之间的电压(例如，脉冲直流(DC)电压)差以泰勒锥(Taylorcone)形状提供基板处理液，并且基板处理液可以排出到基板G上，从而形成从喷嘴到基板G的印刷线。

如果基板处理装置100实现为压电喷墨印刷系统，则喷墨头单元140可以包括压电元件、喷嘴板和多个喷嘴。喷嘴板构成喷墨头单元140的主体。多个喷嘴可以以距喷嘴板的预定间隔布置成多个行和多个列。压电元件可以埋设在喷嘴板内，并且压电元件的数量可以对应于喷嘴的数量。在这种情况下，喷墨头单元140可以根据压电元件的操作通过喷嘴向基板G上排出基板处理液。

另一方面，喷墨头单元140可以根据施加到压电元件的电压来独立地控制通过喷嘴中的每个的基板处理液的排出量。

图2是示出基板处理装置100的内部配置的框图。

以上已经参考图1描述了喷墨头单元140，因此将省略对其的详细描述。

参考图2，液滴检查单元210检查排出到基板G上的液滴。如前所述，液滴检查单元210可以包括图1的视觉模块123，但是本公开不限于此。液滴检查单元210可以包括视觉模块123和测量模块122两者，这将稍后更详细地描述。

控制单元220大体上控制基板处理装置100的组件的操作。控制单元220可以控制例如喷墨头单元140和液滴检查单元210的操作。控制单元220还可以控制处理单元110、维护单元120、门架单元130和基板处理液供应单元150的操作。

控制单元220可以包括过程控制器，过程控制器由微处理器(或计算机)、用户接口和存储器单元组成，微处理器(或计算机)执行对基板处理装置100的控制，用户接口包括供操作者输入命令和管理基板处理装置100的键盘以及用于可视化和显示基板处理装置100的操作状态的显示器，存储器单元存储用于在过程控制器的控制下执行处理的控制程序或者用于基于各种数据和处理条件来执行基板处理装置100中的处理的程序(或处理配方)。用户接口和存储器单元可以连接到过程控制器。处理配方可以存储在存储器单元内的诸如硬盘、光盘只读存储器(CD-ROM)、数字多功能光盘(DVD)或闪存的存储介质上。

控制单元220还对喷墨头单元140执行维护。例如，控制单元220可以基于来自液滴检查单元210的液滴测量数据来调整配备在喷墨头单元140中的各个喷嘴的基板处理液排出点，或者可以在喷墨头单元140的多个喷嘴之中检测出任何有缺陷的喷嘴(即，不排出基板处理液的喷嘴)并启动对有缺陷的喷嘴的清洁操作。

常规的基板处理装置可能无法在基板G的处理期间检查由喷墨头单元排出的液滴，并且仅可以在基板G的处理完成之后利用单独的单元来执行液滴检查。因此，在基板G的处理期间不能正确地识别喷墨头单元中的任何喷出异常，导致不能容易地采取适当的动作(诸如印刷补偿)。

相反，为了解决这种问题，基板处理装置100的特征在于即使在处理基板G时也能够检查由喷墨头单元140排出的液滴D。因此，基板处理装置100可以即时地实时响应并针对喷墨头单元140中的任何喷出异常采取缓解措施。

图3是示出基板处理装置100的液滴检查单元210和控制单元220的液滴检查方法的流程图。

参考图1至图3，当液滴D由喷墨头单元140排出到基板G上时，液滴检查单元210检查液滴D(S310和S320)。

如前所述，液滴D的检查可以与基板G的处理同时执行。为此，喷墨头单元140不仅可以将基板处理液以液滴的形式排出到基板G的印刷区域上，而且可以排出到基板G的非印刷区域上。

基板G通过处理单元110从一个方向朝向另一方向移动。在该过程中，可以通过喷墨头单元140对基板G执行印刷。然而，不是基板G上的所有部分都经受像素印刷，且基板G可以被划分成经受印刷的区域和不经受印刷的区域。

图4是示出可以设置在基板G上的使用区域和非使用区域的第一示例性示意图。

参考图4，基板G的顶表面可以被划分成通过像素印刷来被处理的印刷处理区域410和不被处理的非印刷处理区域420。印刷处理区域410将在下文中被称为使用区域410，且非印刷处理区域420将在下文中被称为非使用区域420。

通常，基板G包括使用区域410和非使用区域420两者。使用区域410是在印刷期间使用玻璃的区域，并且在基板G的处理期间，基板处理液通过喷墨头单元140排出到使用区域410上。另一方面，非使用区域420是在印刷期间不使用玻璃的区域，并且在基板G的处理期间，没有基板处理液排出到非使用区域420上。

当基板G包括使用区域410和非使用区域420两者时，非使用区域420可以与使用区域410相比定位在基板G的外侧。例如，使用区域410可以定位在基板G的中央部分，而非使用区域420可以沿着基板G的边缘定位。

在图4的示例中，基板G包括单个使用区域410，但本公开不限于此。可替代地，基板G可以包括多个使用区域410。例如，如图5中所示，基板G可以包括两个使用区域410，即，第一使用区域410a和第二使用区域410b。在这种情况下，非使用区域420a和420b可以与第一使用区域410a和第二使用区域410b相比定位在基板G的外侧，并且甚至可以设置在第一使用区域410a和第二使用区域410b之间。非使用区域420a和420b包括第一非使用区域420a和第二非使用区域420b，第一非使用区域420a是非使用区域420a和420b的与第一使用区域410a和第二使用区域410b相比更靠近基板G的边缘的部分，第二非使用区域420b是非使用区域420a和420b的位于第一使用区域410a和第二使用区域410b之间的部分。图5是示出可以设置在基板G上的使用区域和非使用区域的第二示例性示意图。

再次参考图3，喷墨头单元140可以向基板G的使用区域410和非使用区域420上以液滴D的形式排出基板处理液(S310)。此后，液滴检查单元210可以检查排出到非使用区域420上的液滴D(S320)。排出到使用区域410上的液滴D可以用于处理基板G，而排出到非使用区域420上的液滴D可以用于检查喷墨头单元140内的喷嘴。

如前所述，液滴检查单元210可以包括视觉模块123，视觉模块123包括至少一个相机。在这种情况下，液滴检查单元210拍摄基板G的液滴D的已经排出到其上的非使用区域420的图像，并将拍摄的图像提供给控制单元220。

然而，本公开不限于此。液滴检查单元210可以包括多个距离测量传感器，并且将从距离测量传感器获得的测量结果提供给控制单元220。例如，参考图6，五个距离测量传感器、即第一距离测量传感器510a、第二距离测量传感器510b、第三距离测量传感器510c、第四距离测量传感器510d和第五距离测量传感器510e可以在第一方向10上布置，以获得关于液滴D的高度的信息。在该示例中，第一距离测量传感器510a、第二距离测量传感器510b、第三距离测量传感器510c、第四距离测量传感器510d和第五距离测量传感器510e在第一方向10和第二方向20两个方向上布置成多个行和多个列。利用第一距离测量传感器510a、第二距离测量传感器510b、第三距离测量传感器510c、第四距离测量传感器510d和第五距离测量传感器510e，不仅可以获得关于液滴D的高度的信息，而且可以获得关于液滴D的面积、体积和排出状态的信息。图6是示出基板处理装置100的液滴检查单元210的性能的第一示例性示意图。

另一方面，假设第一距离测量传感器510a、第二距离测量传感器510b、第三距离测量传感器510c、第四距离测量传感器510d和第五距离测量传感器510e竖直地输出光信号，则可以基于第一距离测量传感器510a、第二距离测量传感器510b、第三距离测量传感器510c、第四距离测量传感器510d和第五距离测量传感器510e的位置信息来获得关于液滴D的排出点的信息。可替代地，视觉模块123的相机中的一个可以定位成在第一方向10或第二方向20上进行拍摄，以获得关于液滴D的速度的信息。液滴检查单元210的距离测量传感器可以包括超声波传感器、红外线传感器或激光传感器，或者可以包括来自超声波传感器、红外线传感器和激光传感器中的两个或更多个类型的传感器的组合。

液滴检查单元210可以以条带为单位检查排出到非使用区域420上的液滴D。这里，条带指代在基板G固定在特定位置的情况下通过由喷墨头单元140从基板G的一端向基板G的另一端向前移动或向后移动来执行的一轮像素印刷。液滴检查单元210可以在每个条带完成时检查排出到非使用区域420上的液滴D。每当喷墨头单元140通过从基板G的一端移动到另一端来完成对整个基板G的一轮像素印刷时，液滴检查单元210可以检查排出到非使用区域420上的液滴D。图7是示出基板处理装置100的液滴检查单元210的性能的第二示例性示意图。

参考图8，条带还可以指代在基板G沿着第一台111的长度方向(或第一方向10)向前移动或向后移动的同时由喷墨头单元140从基板G的一端到另一端执行的一轮像素印刷。液滴检查单元210可以在每个条带完成时检查排出到非使用区域420上的液滴D。每当喷墨头单元140通过从基板G的一端到另一端顺序地排出液滴D来完成对整个基板G的一轮像素印刷时，液滴检查单元210可以检查排出到非使用区域420上的液滴D。图8是示出基板处理装置100的液滴检查单元210的性能的第三示例性示意图。

液滴检查单元210可以在每个条带完成时(即，在每个条带之后)检查排出到非使用区域420上的液滴D，但是本公开不限于此。可替代地，液滴检查单元210可以在多个条带完成时检查排出到非使用区域420上的液滴D。例如，液滴检查单元210可以在每两个条带之后检查排出到非使用区域420上的液滴D。喷墨头单元140可以在从基板G的一端向另一端向前移动的同时执行像素印刷。随后，喷墨头单元140也可以在从基板G的另一端向一端向后移动的同时执行像素印刷。换句话说，喷墨头单元140可以通过在基板G的一端和另一端之间往复移动来执行像素印刷。一旦喷墨头单元140的往复移动的完整周期完成，液滴检查单元210就可以检查排出到非使用区域420上的液滴D。

此外，每当液滴D排出到非使用区域420上时，液滴检查单元210可以检查液滴D，从而确保像素印刷期间的实时检查。

液滴检查单元210可以针对喷墨头单元140内的所有喷嘴执行液滴检查，但是本公开不限于此。可替代地，液滴检查单元210可以选择性地针对在基板G的像素印刷中使用的喷嘴执行液滴检查。

再次参考图3，液滴检查单元210在检查液滴D之后，可以将检查结果提供给控制单元220。控制单元220基于来自液滴检查单元210的检查结果来确定喷墨头单元140内的已经排出液滴D的喷嘴是否为有缺陷的喷嘴(S330)。

例如，在基于液滴D的排出状态检测有缺陷的喷嘴的情况下，控制单元220可以将液滴D已经从其排出到基板G上的喷嘴确定为正常喷嘴，并且将液滴D没有从其排出的喷嘴确定为有缺陷的喷嘴。

在另一示例中，在基于液滴D的高度/面积/体积(或排出量)检测有缺陷的喷嘴的情况下，控制单元220可以将液滴D的高度/面积/体积与预定范围进行比较。如果液滴D的高度/面积/体积落入预定范围内，则控制单元220可以确定喷嘴是正常的。相反，如果液滴D的高度/面积/体积超出预定范围，则控制单元220可以确定喷嘴是有缺陷的。

在另一示例中，在基于液滴D的排出点(或目标点)检测有缺陷的喷嘴的情况下，控制单元220可以将液滴D的排出点与参考位置进行比较。如果液滴D的排出点与参考位置匹配，则控制单元220可以确定喷嘴是正常的。相反，如果液滴D的排出点与参考位置不匹配，则控制单元220可以确定喷嘴是有缺陷的。

如果基于在S330中执行的确定的结果确定喷墨头单元140内的喷嘴是有缺陷的，则控制单元220控制喷墨头单元140对基板G执行补偿印刷(S340)。

这里，补偿印刷指代对基板G的液滴D未喷出到其上的部分执行重新印刷。被分类为有缺陷的喷嘴是未排出液滴D的喷嘴或者是不完美地排出液滴D的喷嘴。通过实时检查基板G上的、液滴D并且在出现问题时执行补偿印刷，可以防止基板G和基板处理液的浪费，并且可以减少工艺时间(或节拍时间)，从而提高工艺效率。

当执行补偿印刷时，可以使用替代喷嘴来代替有缺陷的喷嘴。在这种情况下，控制单元220可以对基板G执行补偿印刷如下。

图9是示出基板处理装置100的控制单元220的补偿印刷方法的流程图。

参考图9，控制单元220分析有缺陷的喷嘴的类型(S610)。通过这种分析，控制单元220可以确定例如有缺陷的喷嘴正在排出什么颜色的墨。

此后，控制单元220确定代替有缺陷的喷嘴的替代喷嘴(S620)。控制单元220可以基于对有缺陷的喷嘴的分析结果从喷墨头单元140内的多个喷嘴之中选择替代喷嘴。例如，如果控制单元220识别出由有缺陷的喷嘴排出的墨的颜色，则控制单元220可以将排出与检测到的喷嘴相同颜色的墨的喷嘴选择为替代喷嘴。

此后，控制单元220分析并识别基板G上的、液滴D由于喷嘴缺陷而未排出到其上的位置(S630)。当对基板G执行像素印刷时，可以预先确定基板G上的、喷墨头单元140内的喷嘴需要向其排出墨的点。因此，一旦识别出有缺陷的喷嘴的类型，就可以识别出液滴D未排出到其上的位置。

此后，控制单元220控制喷墨头单元140内的替代喷嘴向基板G上的、液滴D未排出到其上的点上排出液滴D(S640)。通过控制单元220和喷墨头单元140之间的这种相互作用，可以执行使用替代喷嘴的补偿印刷。

控制单元220可以在步骤S630中分析基板G上的、液滴D已经有缺陷地排出到其上的点，并在步骤S640中使用替代喷嘴向基板G上的排出有缺陷的点上排出液滴D。

如果识别出有缺陷的喷嘴，则控制单元220可以针对整个基板G执行补偿印刷。在这种情况下，控制单元220可以排除有缺陷的喷嘴并使用与有缺陷的喷嘴相邻的喷嘴来执行补偿印刷。

液滴检查单元210和控制单元220可以在对基板G的部分处理之后通过液滴检查来执行补偿印刷。一般地，在基板G被完全处理之前可以执行多个条带。因此，在完成一个或两个条带之后执行液滴检查和补偿印刷可以理解为在对基板G的部分处理之后执行液滴检查和补偿印刷。

可替代地，液滴检查单元210和控制单元220可以在对基板G上的区域中的一些的像素印刷之后执行液滴检查和补偿印刷。例如，在图5的第一使用区域410a被执行像素印刷之后，液滴检查单元210和控制单元220可以在第二使用区域410b被执行像素印刷之前执行液滴检查和补偿印刷。

液滴检查单元210和控制单元220可以实时执行液滴检查和补偿印刷。

基板处理装置100可以生成将用于处理基板G的图像，并基于所生成的图像执行像素印刷。为了完成对基板G的处理，需要多个图像。然而，如果像素印刷仅在生成所有多个图像之后进行，则可能相当长地延迟对基板G的处理。

为了解决这个问题，可以首先生成一些图像，并且可以基于所生成的图像执行像素印刷。然后，可以生成其他图像，并且可以基于其他图像执行像素印刷。然而，在这种情况下，在生成图像期间需要暂停像素印刷，这可能导致基板处理装置100内的各种问题，诸如基板处理液的凝结。

在本实施方式中，可以首先生成一些图像，并且可以生成其他图像。然后，在生成其他图像期间，可以基于先前生成的图像执行像素印刷、液滴检查和补偿印刷。结果，可以实时生成图像，并且基板处理装置100可以变得适于流功能。这里，流功能指代实时生成图像的能力。此外，像素印刷、液滴检查和补偿印刷可以连续地进行。

另一方面，液滴检查单元210和控制单元220可以以例如一条带的间隔执行液滴检查和补偿印刷，并且可以将液滴检查和补偿印刷的结果反映到流图像的生成中。这里，流图像指代先前提到的用于处理基板G的图像，并且与条带相关。

液滴检查单元210和控制单元220还可以使用测量模块122内的膜型基板F而不是基板G的非使用区域420来进行液滴检查。在随后的描述中，布置在处理单元110上的基板G被定义为第一基板，并且布置在维护单元120的测量模块122内的基板F被定义为第二基板。

参考图10，当使用第一基板G的非使用区域420来进行液滴检查和补偿印刷时，喷墨头单元140向第一基板G的使用区域410和非使用区域420两者上排出液滴D，并且液滴检查单元210和控制单元220基于排出到第一基板G的非使用区域420上的液滴D来进行液滴检查和补偿印刷。图10是示出使用在第一基板G的非使用区域420旁边的第二基板F的第一示例性示意图。

然而，本公开不限于此。可替代地，如前所述，可以使用测量模块122内的第二基板F而不是第一基板G的非使用区域420。参考图11，第一基板G可以定位在第一台111上的印刷区430中，并且测量模块122和第二基板F可以定位在第二台121上的维护区域440中。

换句话说，参考图11，当喷墨头单元140向第一基板G的特定区域上排出液滴D时，可以将测量模块122中的第二基板F放置在与第一基板G相同的线上，从而允许喷墨头单元140将液滴D排出到第二基板F上而不是第一基板G的非使用区域420上。在这种情况下，液滴检查单元210和控制单元220可以基于排出到第二基板F上的液滴D执行液滴检查和补偿印刷。图11是示出使用在第一基板G的非使用区域420旁边的第二基板F的第二示例性示意图。

另一方面，为了将液滴D如图10中所示地排出为一行，测量模块122可以使用如图12的示例中所示的辊520，以每当液滴D被喷墨头单元140排出时旋转第二基板F。图12是示出使用在第一基板G的非使用区域420旁边的第二基板F的第三示例性示意图。

到目前为止，已经参考图1至图12图描述了液滴检查方法和补偿印刷方法，特别是在印刷期间可以实时执行的液滴检查方法和补偿印刷方法。

根据本公开的实施方式，可以在印刷之间(例如，以一条带的间隔或预定数量的条带的间隔)执行测量，结果，每当出现问题时都可以应用补偿算法。换句话说，在印刷期间，可以以一条带的间隔或预定数量的条带的间隔对目标对象的特定区域执行喷出和测量，并且可以基于以一条带的间隔或预定数量的条带的间隔测量的数据来执行补偿印刷。此外，在后续生成图案图像时，可以考虑诸如排出失败的任何异常。这里，补偿印刷指代仅针对有缺陷的喷嘴或使用替代喷嘴而不是有缺陷的喷嘴来执行重新印刷。

根据本公开的实施方式，通过在印刷期间向玻璃上的不使用的区域上进行喷出，可以附加地实现“预喷出”效果。此外，通过消除用单独的单元进行检查的需要，可以实现省时的效果。可以将所有喷嘴或仅用于印刷的喷嘴用作排出/测量喷嘴。

针对每个条带执行测量和补偿可能花费一些时间。然而，由于可以省略用单独的单元进行排出/测量，所以可以节省时间。此外，当使用流功能(或实时图像生成功能)时，可以通过以规则的时间间隔执行测量并将测量结果反映到流图像的生成中来防止任何时间延迟。流功能指代实时生成图像的功能，具体地，创建至少五个图像并且然后在印刷期间实时创建后续图像的功能。

以上已经参考附图描述了本公开的实施方式，但是本公开不限于此，并且可以以各种不同的形式实现。将理解，在不改变本公开的技术精神或要点的情况下，本公开可以以其他具体形式实现。因此，应当理解，在本文中阐述的实施方式在所有方面都是说明性的而不是限制性的。

Claims (20)

1.一种基板处理装置，包括：

第一台，支承基板；

喷墨头单元，向所述基板上以液滴的形式排出基板处理液；

门架单元，在所述第一台上使所述喷墨头单元移动；

液滴检查单元，检查所述液滴；以及

控制单元，基于对所述液滴的检查结果来对所述基板执行补偿，

其中，所述喷墨头单元向所述基板的使用区域和非使用区域上排出所述基板处理液，以及

所述液滴检查单元检查排出到所述非使用区域上的所述液滴。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述液滴检查单元以条带为单位检查所述液滴，以及

所述条带与已经对所述基板的整个表面执行像素印刷的次数相关。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述条带中的每个与所述喷墨头单元和/或所述基板的向前移动或向后移动对应。

4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述液滴检查单元在至少一个所述条带完成时检查所述液滴。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述非使用区域与所述使用区域相比定位在所述基板的外侧。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，在所述基板上设置有多个所述使用区域。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，所述非使用区域定位在两个不同的所述使用区域之间。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述液滴检查单元针对所述喷墨头单元内的多个喷嘴之中的已经用于处理所述基板的喷嘴检查所述液滴。

9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，每当所述基板被部分处理时，所述液滴检查单元检查所述液滴。

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述控制单元根据在用于处理所述基板的喷嘴之中是否存在任何有缺陷的喷嘴来对所述基板执行补偿。

11.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述控制单元通过用替代喷嘴代替有缺陷的喷嘴来对所述基板执行补偿。

12.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，所述控制单元分析所述有缺陷的喷嘴的类型，基于分析的结果来确定代替所述有缺陷的喷嘴的正常喷嘴，识别所述基板上的、所述正常喷嘴应排出所述基板处理液的点，以及利用所述正常喷嘴对所述基板执行补偿。

13.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述控制单元将对所述基板执行补偿的结果应用于与所述液滴已经排出到其上的所述基板相关的流图像的生成。

14.一种基板处理装置，包括：

第一台，支承基板；

喷墨头单元，向所述基板上以液滴的形式排出基板处理液；

门架单元，在所述第一台上使所述喷墨头单元移动；

液滴检查单元，检查所述液滴；以及

控制单元，基于对所述液滴的检查结果来对所述基板执行补偿，

其中，所述喷墨头单元向所述基板的使用区域和非使用区域上排出所述基板处理液，

所述液滴检查单元检查排出到所述非使用区域上的所述液滴，

所述液滴检查单元以条带为单位检查所述液滴，

所述条带与已经对所述基板的整个表面执行像素印刷的次数相关，

所述液滴检查单元针对所述喷墨头单元内的多个喷嘴之中的已经用于处理所述基板的喷嘴检查所述液滴，以及

所述控制单元通过用替代喷嘴代替有缺陷的喷嘴来对所述基板执行补偿。

15.一种基板处理方法，包括：

向基板的使用区域和非使用区域上以液滴的形式排出基板处理液；

检查排出到所述非使用区域上的所述液滴；以及

基于对所述液滴的检查结果来对所述基板执行补偿，

其中，执行补偿包括根据在用于处理所述基板的喷嘴之中是否存在任何有缺陷的喷嘴来对所述基板执行补偿。

16.根据权利要求15所述的基板处理方法，其中，执行补偿包括：分析所述有缺陷的喷嘴，基于对所述有缺陷的喷嘴的分析结果来确定代替所述有缺陷的喷嘴的正常喷嘴，识别所述基板上的、所述正常喷嘴应排出所述基板处理液的点，以及利用所述正常喷嘴对所述基板执行补偿。

17.根据权利要求15所述的基板处理方法，其中，

检查所述液滴包括以条带为单位检查所述液滴，以及

所述条带与已经根据喷墨头单元和/或所述基板的向前移动或向后移动对所述基板的整个表面执行像素印刷的次数相关。

18.根据权利要求15所述的基板处理方法，其中，

所述非使用区域与所述使用区域相比定位在所述基板的外侧，或者

如果设置有多个所述使用区域，则所述非使用区域定位在两个不同的所述使用区域之间。

19.根据权利要求15所述的基板处理方法，其中，执行补偿包括通过用正常喷嘴代替所述有缺陷的喷嘴来执行补偿。

20.根据权利要求15所述的基板处理方法，还包括：

将对所述基板执行补偿的结果应用于与所述液滴已经排出到其上的所述基板相关的流图像的生成。