JP2010188263A - 液滴塗布方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液滴塗布方法において、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾した各液滴Lの画像を取得する撮像工程と、撮像工程で取得した各液滴Lの画像を正常パターンと比較し、マッチング率が閾値に達しない画像を異常画像とし、マッチング率が閾値に達した画像を正常画像として選択する画像処理工程と、画像処理工程で正常画像を呈した液滴Lを吐出したノズルNについて、当該ノズルNから吐出された液滴Lの着弾面積を求め、当該着断面積に基づいて当該ノズルNから吐出される液滴Lの吐出量を制御する制御工程とを有するもの。
【選択図】 図2
Description
図2に示す如く、塗布ヘッド5の各ノズルN1〜N5から吐出されて基板Kに着弾した各液滴L(L1〜L5)の画像(基板K面に直交する方向である真上からの画像)を撮像部6により取得する。本実施例では、基板Kに唯一列の液滴L1〜L5を着弾させる。
画像処理部7において、上述(1)の撮像工程で撮像部6により取得された各液滴Lの画像を2値化し、その着弾形状を認識する。画像処理部7は、各液滴Lの2値化した画像(着弾形状)を、正常パターン(外形形状が真円であるパターン)と比較し、各液滴Lの2値化画像の中から正常パターンと一致する外形形状を有する画像を判別し、選択する。即ち、画像処理装置7には、正常パターンとのマッチング率に対する閾値が予め設定されている。そして、正常パターンとの比較の結果、マッチング率が閾値に達しない画像を異常画像と判定し、マッチング率が閾値以上となった画像を正常画像と判定し、正常画像を選択する。尚、ここでは、外形形状の判定のみ行なえば良く、大きさを判定する必要はない。
制御部9は、画像処理部7が上述(2)の画像処理工程で正常画像と判定した液滴Lを吐出したノズルN(例えばN1〜N4)について、当該ノズルNから吐出された液滴Lの当該正常画像に基づく着弾面積(投影面積)を求め、当該着断面積に基づく当該液滴Lの吐出量を求め、当該ノズルNの液滴吐出量を制御する。着弾面積は、画像処理部7による2値化画像中において液滴Lの画像に対応する画素数に画素の単位面積を乗ずることによって算出される。液滴Lの吐出量は、液滴Lの着弾面積と吐出量との関係式から算出される。例えば、液滴Lの着弾面積と吐出量とは比例関係にある。その関係式は制御部9が備える記憶部に、予め実験等によって求められて格納されている。
制御部9は、画像処理部7が前述(2)の画像処理工程で異常画像と判定した液滴Lを吐出したノズルN(例えばN5)については、当該ノズルNから液滴Lを再吐出し、当該ノズルNから再吐出された液滴Lについての前述(1)の撮像工程、(2)の画像処理工程を行ない、当該ノズルNから吐出された液滴Lの画像の判別を再度実行する。この再度の判別においても、前述(2)の画像処理工程で異常画像と判別された場合には、この再検査工程を繰り返し行なう。
(a)各ノズルNの液滴吐出量の検査に際し、基板に着弾した各液滴の画像が正常パターン(基準パターン)と一致する正常画像であるか否かを判別し、正常画像を呈した液滴Lを吐出したノズルNについてのみ、そのノズルNから吐出された液滴の着弾面積を求めるようにした。正常画像を呈する液滴Lは、その着弾形状を正常パターンとするものである。従って、この液滴Lの着弾面積は当該液滴Lを吐出したノズルNの吐出量と正しく比例関係をなすものになる。即ち、撮像画像が真円状の液滴Lは自身の表面張力によって半球状となるので、半球状の液滴を想定して定めた液滴Lの着弾面積と当該液滴Lの体積との関係式に精度良く合致することとなる。よって、当該液滴Lの着弾面積に基づく当該ノズルNの液滴吐出量(実際の吐出量)の算出を正確に行なうことができる。
5 塗布ヘッド
6 撮像部
7 画像処理部
9 制御部
L、L1〜L5 液滴
N、N1〜N5 ノズル
K 基板
Claims (12)
- 塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布する液滴塗布方法において、
各ノズルから吐出されて基板に着弾した各液滴の画像を取得する撮像工程と、
撮像工程で取得した各液滴の画像を正常パターンと比較し、マッチング率が閾値に達しない画像を異常画像とし、マッチング率が閾値に達した画像を正常画像として選択する画像処理工程と、
画像処理工程で正常画像を呈した液滴を吐出したノズルについて、当該ノズルから吐出された液滴の着弾面積を求め、当該着断面積に基づいて当該ノズルから吐出される液滴の吐出量を制御する制御工程とを有することを特徴とする液滴塗布方法。 - 前記制御工程では、各ノズルから吐出される液滴の着弾面積を互いに同一にするように制御する請求項1に記載の液滴塗布方法。
- 前記制御工程では、各ノズルの圧電素子に印加する電圧と、当該電圧で各ノズルから基板に吐出された液滴の実際の着弾面積とに基づいて、各ノズルが単位の着弾面積を実現するに必要な電圧を表す各ノズルの電圧係数を求め、
各ノズルの狙いの着弾面積と実際の着弾面積の差の値に、各ノズルの電圧係数を乗じて各ノズルの圧電素子に印加すべき電圧を調整する請求項1又は2に記載の液滴塗布方法。 - 前記画像処理工程で、異常画像を呈した液滴を吐出したノズルについては、当該ノズルから液滴を再吐出し、当該ノズルから再吐出された液滴についての前記撮像工程、前記画像処理工程を行ない、当該ノズルから再吐出された液滴の画像が正常画像であるか異常画像であるかを再度判別する再検査工程を有する請求項1〜3のいずれかに記載の液滴塗布方法。
- 前記再検査工程を予め設定された回数だけ行なっても、当該ノズルから再吐出された液滴について正常画像が得られないとき、当該ノズルを不良ノズルと判定する請求項4に記載の液滴塗布方法。
- 前記画像処理工程では、各ノズルから吐出される各液滴の画像の正常パターンを、真円パターンとする請求項1〜5のいずれかに記載の液滴塗布方法。
- 塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布する液滴塗布装置において、
各ノズルから吐出されて基板に着弾した各液滴の画像を取得する撮像部と、
この撮像部で取得した各液滴の画像を正常パターンと比較し、マッチング率が閾値に達しない画像を異常画像とし、マッチング率が閾値に達した画像を正常画像として選択する画像処理部と、
各ノズルから吐出される液滴の吐出量の制御、及び前記撮像部並びに前記画像処理装置の制御を行なう制御部と、を有し、
前記制御部は、画像処理部で正常画像を呈した液滴を吐出したノズルについて、当該ノズルから吐出された液滴の着弾面積を求め、当該着断面積に基づいて当該ノズルから吐出される液滴の吐出量を制御することを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記制御部は、各ノズルから吐出される液滴の着弾面積を互いに同一にするように制御する請求項7に記載の液滴塗布装置。
- 前記制御部は、各ノズルの圧電素子に印加する電圧と、当該電圧で各ノズルから基板に吐出された液滴の実際の着弾面積とに基づいて、各ノズルが単位の着弾面積を実現するに必要な電圧を表す各ノズルの電圧係数を求め、
各ノズルの狙いの着弾面積と実際の着弾面積の差の値に、各ノズルの電圧係数を乗じて各ノズルの圧電素子に印加すべき電圧を調整する請求項7又は8に記載の液滴塗布装置。 - 前記制御部は、前記画像処理部で異常画像を呈した液滴を吐出したノズルについては、当該ノズルから液滴を再吐出させ、当該ノズルから再吐出された液滴についての前記撮像部による撮像、前記画像処理部による正常パターンとの比較判別を行ない、当該ノズルから再吐出された液滴の画像が正常画像であるか異常画像であるかを再度判別する請求項7〜9のいずれかに記載の液滴塗布装置。
- 前記制御部は、前記再吐出によって得られた液滴の画像の判別を予め設定された回数だけ行なっても、正常画像が得られないとき、当該ノズルを不良ノズルと判定する請求項10に記載の液滴塗布装置。
- 前記画像処理部では、各ノズルから吐出される各液滴の画像の正常パターンを、真円パターンとする請求項7〜11のいずれかに記載の液滴塗布装置。
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