JP2017217645A - 検査装置、検査方法及び機能液吐出装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 141
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 129
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 72
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 49
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Abstract
Description
異物C1ではなく、検査用のシート等の被吐出体にキズ等が存在する部分に液滴が形成される場合も同様である。
特許文献2に記載の方法では、図10(A)の画像L2は外形形状が真円であるため該画像L2は正常パターンであると判定され、また、図10(B)に示すように、小円の中心が大円の中心から大きくずれることにより外形形状が真円ではない液滴の撮像画像L2は異常パターンと判定される。しかし、特許文献2に記載の方法では、図10(C)に示すように同心でない二重円であって外形形状が真円である撮像画像L2は、正常パターンと判定されてしまう。
図10(A)の撮像画像L2が得られる場合と、図10(C)の撮像画像L2が得られる場合とでは、親液性の検査シートへの機能液の浸透態様が異なるため、これらの場合において撮像画像面積が同じであっても、検査シートへ浸透した機能液の量すなわち機能液の吐出量は異なる。したがって、図10(C)の撮像画像L2を正常パターンとして、撮像画像に基づく吐出条件を補正すると、適切に補正することができない。
なお、256階調で表されたグレースケール画像に代えて、各色が256階調で表されたカラー画像を用いるようにしてもよい。
基準画像選択部11cは、以下のように基準画像を変更するものであってもよい。すなわち、基準画像選択部11cは、作業者が手動で選択した基準画像、または、該基準画像選択部11cが自動的に選択した基準画像に基づいて、前述のパターンマッチングと同様に、全ての液滴21の撮像画像について、画像全体に対するパターンマッチングを行い、マッチング度の分布を取得する。そして、基準画像選択部11cは、該マッチング度分布においてマッチング度が最高点のところにピークがない場合に、ピークとなるマッチング度を示す撮像画像の中から自動的に1つ画像を抽出し、該画像を新たな基準画像にするものであってもよい。具体的には、マッチング度の最高点が1000であるとした場合に、マッチング度分布においてマッチング度が900であるところにピークがある場合、マッチング度が900の撮像画像の中から画像を1つ抽出し、該画像を新たな基準画像にするものであってもよい。
検査装置1を備える機能液吐出装置では、選択部11bで選択された液滴21の大きさ及び形成位置の計測結果に基づいて吐出条件を調整/補正する。これにより、検査のために吐出された機能液により被吐出体上に形成された液滴に異物が存在する場合や被吐出体にキズが存在する場合等においても、適切に機能液を吐出することができる。
また、検査装置1での検査方法は検査シートが親液性であっても疎液性であっても適用することができる。
撮像部10は、吐出検査ユニット70の検査シート20に検査吐出された液滴を撮像する。撮像部10は、一対のY軸テーブル31、31のうち、X軸正方向側のY軸テーブル31の側面に設けられたベース51に支持されており、検査シート20に検査吐出された全ての液滴を撮像できるよう構成されている。
吐出検査ユニット70は、第2のX軸スライダ80に搭載されている。第2のX軸スライダ80は、X軸ガイドレール32に取り付けられ、当該X軸ガイドレール32に設けられたX軸リニアモータによってX軸方向に移動自在になっている。そして、吐出検査ユニット70も、第2のX軸スライダ80によってX軸ガイドレール32に沿ってX軸方向に移動自在になっている。
ワークステージ60が搬入出エリアA1に移動すると、描画処理が終了したワークWが機能液吐出装置100から搬出される。続いて、次のワークWが機能液吐出装置100に搬入される。
また、以上の実施の形態の機能液吐出装置100のレイアウトは、図3及び図4に示したレイアウトに限定されず、任意に設定できる。
先ず、参考の実施の形態に係る検査装置の構成について、図5を参照して説明する。図5は、検査装置の構成の概略を示す模式図である。なお、各構成要素の寸法は、技術の理解の容易さを優先させるため、必ずしも実際の寸法に対応していない。
検査装置1´を備える機能液吐出装置では、選択部11b´で選択された液滴21の大きさ及び形成位置の計測結果に基づいて吐出条件を調整/補正する。これにより、適切に機能液を吐出することができる。
複数の液滴21の中から図7(A)に近い形状を有する液滴21を抽出する方法としては、上述のように液滴21の形状に基づいて抽出する方法の他に、以下の面積に基づいて抽出する方法が考えられる。
10…撮像部
11a…計測部
11b…計測部
11c…基準画像選択部
11…制御部
20…検査シート
21…液滴
44…機能液吐出ヘッド
100…機能液吐出装置
Claims (6)
- ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査装置であって、
前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像する撮像部と、
該撮像部での撮像結果に基づいて、前記液滴の形成状態を計測する計測部と、
前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち前記計測部での計測対象とする液滴を選択する選択部と、を備えることを特徴とする、検査装置。 - 前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択する基準画像選択部を備えることを特徴とする、請求項1に記載の検査装置。
- 前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、256階調で表されたグレースケール画像であることを特徴とする、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、各色が256階調で表されたカラー画像であることを特徴とする、請求項1または2に記載の検査装置。
- 複数の前記ノズルと、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置と、
前記ノズル毎に、前記計測部での計測対象とする液滴として選択された液滴についての前記計測部での計測結果に基づいて、機能液の吐出条件を補正する制御部と、を備えることを特徴とする、機能液吐出装置。 - ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査方法であって、
前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像部で撮像するステップと、
前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち計測対象の液滴を選択するステップと、
選択された計測対象の液滴について、前記撮像部での撮像結果に基づいて、当該液滴の形成状態を計測するステップと、を含むことを特徴とする検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170068752A KR101953464B1 (ko) | 2016-06-06 | 2017-06-02 | 검사 장치, 검사 방법 및 기능액 토출 장치 |
CN201710417403.XA CN107464877B (zh) | 2016-06-06 | 2017-06-06 | 检查装置、检查方法和功能液排出装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016112447 | 2016-06-06 | ||
JP2016112447 | 2016-06-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017217645A true JP2017217645A (ja) | 2017-12-14 |
JP6876487B2 JP6876487B2 (ja) | 2021-05-26 |
Family
ID=60657053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017069939A Active JP6876487B2 (ja) | 2016-06-06 | 2017-03-31 | 検査装置、検査方法、機能液吐出装置及び補正方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6876487B2 (ja) |
KR (1) | KR101953464B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102468359B1 (ko) * | 2020-11-30 | 2022-11-17 | (주)에스티아이 | 잉크젯 토출 제어 방법과 이를 이용한 잉크젯 프린트 시스템 |
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Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005119139A (ja) | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
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-
2017
- 2017-03-31 JP JP2017069939A patent/JP6876487B2/ja active Active
- 2017-06-02 KR KR1020170068752A patent/KR101953464B1/ko active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170138051A (ko) | 2017-12-14 |
KR101953464B1 (ko) | 2019-02-28 |
JP6876487B2 (ja) | 2021-05-26 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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