JP6925225B2 - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
別な観点による本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける検査用媒体と、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を覆う検査用カバーと、前記検査用カバーを通して、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を撮像する撮像部と、前記検査用媒体を水平方向に移動させる媒体移動機構と、を有し、前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出時、前記検査用カバーは前記媒体移動機構に保持されていることを特徴としている。
別な観点による本発明は、液滴吐出ヘッドからワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドから検査用媒体に液滴を検査吐出する検査吐出工程と、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を覆うように検査用カバーを配置するカバー配置工程と、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を、前記検査用カバーを通して撮像部により撮像する撮像工程と、前記撮像部で撮像された画像に基づいて、前記液滴を検査する検査工程と、を有し、前記検査吐出工程において、前記検査用カバーは、前記検査用媒体を水平方向に移動させる媒体移動機構に保持されていることを特徴としている。
先ず、本発明の第1の実施形態に係る液滴吐出装置の構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る液滴吐出装置1の構成の概略を模式的に示す側面図である。図2は、本実施形態に係る液滴吐出装置1の構成の概略を模式的に示す平面図である。なお、以下においては、ワークWの主走査方向をX軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向、Z軸方向回りの回動方向をθ方向とする。
キャリッジユニット20は、Y軸テーブル11において、複数、例えば10個設けられている。各キャリッジユニット20は、キャリッジプレート21と、キャリッジ回動機構22と、キャリッジ23と、液滴吐出ヘッド24とを有している。
撮像ユニット30は、吐出検査ユニット50の後述するメディア51に検査吐出された液滴を撮像する。図3は、撮像ユニット30の構成の概略を模式的に示す側面図である。図4は、撮像ユニット30を用いて液滴を撮像する様子を示す説明図である。
図1及び図2に示すようにワークステージ40は、例えば真空吸着ステージであり、ワークWを吸着して載置する。ワークステージ40は、当該ワークステージ40の下面側に設けられたステージ回動機構41によって、θ方向に回動自在に支持されている。なお、Y軸テーブル11のX軸負方向側であって、ワークステージ40の上方には、ワークステージ40上のワークWのアライメントマークを撮像するワークアライメントカメラ(図示せず)が設けられている。そして、ワークアライメントカメラで撮像された画像に基づいて、ステージ回動機構41により、ワークステージ40に載置されたワークWのθ方向の位置が補正される。
吐出検査ユニット50は、液滴吐出ヘッド24からの検査吐出を受けるユニットである。吐出検査ユニット50は、Y軸方向に延伸する検査用媒体としてのメディア51と、同じくY軸方向に延伸し、メディア51を吸着保持するメディア保持部52とを有している。本実施形態では、メディア51には、表面(上面)に撥液性を有するフィルムコーティングが施された撥液フィルムが用いられる。メディア51は、メディア保持部52が液滴吐出ヘッド24の直下に案内された際に、液滴吐出ヘッド24から吐出された液滴Dが着弾されるようになっている。また、メディア保持部52は、フィルム状のメディア51を平坦に吸着保持する。
メンテナンスユニット70は、液滴吐出ヘッド24のメンテナンスを行い、当該液滴吐出ヘッド24の吐出不良を解消する。メンテナンスユニット70は、ワイピングユニット80と、吸引ユニット90とを有している。ワイピングユニット80と吸引ユニット90は、X軸テーブル10側からこの順でY軸方向に並べて配置されている。また、ワイピングユニット80と吸引ユニット90は、キャリッジ23の下方に位置するように配置されている。
ワイピングユニット80は、液滴吐出ヘッド24において複数の吐出ノズルが形成されたノズル面を払拭するユニットである。ワイピングユニット80は、払拭ローラ81を有している。そして、キャリッジ23がワイピングユニット80の上方に案内された際に、払拭ローラ81がキャリッジ23の液滴吐出ヘッド24のノズル面と接触して、当該ノズル面を払拭する。
吸引ユニット90は、液滴吐出ヘッド24から機能液を吸引するユニットである。吸引ユニット90には、複数、例えば10個の分割吸引ユニット91がY軸方向に並べて設けられている。この分割吸引ユニット91の数は、キャリッジ23の数と同じである。各分割吸引ユニット91は、対応するキャリッジ23の液滴吐出ヘッド24を吸引して、当該液滴吐出ヘッド24の吐出ノズルから機能液を強制的に排出させる。また、各分割吸引ユニット91は、液滴吐出装置1が休止状態であるとき、液滴吐出ヘッド24のノズル面と密着して機能液の乾燥を抑制する。
以上の第1の実施形態では、1つのカバー体34が1つのキャリッジエリアAに対応して設けられていたが、カバー体34の形状や配置はこれに限定されない。
また、以上の第1の実施形態では、ステップS1において液滴吐出ヘッド24からメディア51に液滴Dを検査吐出する際、カバー体34は移動機構36に保持されていたが、カバー体34を保持する方法はこれに限定されない。
また、以上の第1の実施形態では、メディア51には撥液フィルムが用いられていたが、メディア51の種類はこれに限定されない。例えばメディア51には浸透フィルムが用いられていてもよい。かかる場合、メディア51に検査吐出された液滴Dは当該メディア51に浸透する。メディア51に撥液フィルムを用いるか、浸透フィルムを用いるかは、例えば機能液の種類に応じて決定される。また、メディア51はフィルムに限定されず、例えばガラス基板であるバンク基板を用いてもよい。
次に、本発明の第2の実施形態に係る液滴吐出装置の構成について、図16を参照して説明する。図16は、本実施形態に係る液滴吐出装置1における撮像ユニット30と吐出検査ユニット50の構成の概略を模式的に示す側面図である。
以上の第1の実施形態及び第2の実施形態の液滴吐出装置1において、撮像ユニット30は、ワークWに吐出された液滴Dによる描画状態を撮像する描画検査カメラ(図示せず)を有していてもよい。撮像画像カメラは、キャリッジ23(液滴吐出ヘッド24)を挟んでカメラ31にX軸方向に対向して設けられている。
20 キャリッジユニット
23 キャリッジ
24 液滴吐出ヘッド
30 撮像ユニット
31 カメラ
32、200 カバー
33 カバー支持部
33a サポート
34 カバー体
35 カメラ支持部
36 移動機構
40 ワークステージ
50 吐出検査ユニット
51 メディア
52 メディア保持部
60 第2のX軸スライダ
70 メンテナンスユニット
80 ワイピングユニット
90 吸引ユニット
100 制御部
A キャリッジエリア
D 液滴
S 密閉空間
W ワーク
Claims (15)
- ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける検査用媒体と、
前記検査用媒体に検査吐出された液滴を覆う検査用カバーと、
前記検査用カバーを通して、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を撮像する撮像部と、
前記撮像部を支持する撮像支持部と、を有し、
前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出時、前記検査用カバーは前記撮像支持部に保持されていることを特徴とする、液滴吐出装置。 - ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける検査用媒体と、
前記検査用媒体に検査吐出された液滴を覆う検査用カバーと、
前記検査用カバーを通して、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を撮像する撮像部と、
前記検査用媒体を水平方向に移動させる媒体移動機構と、を有し、
前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出時、前記検査用カバーは前記媒体移動機構に保持されていることを特徴とする、液滴吐出装置。 - 前記検査用カバーは、透明な材質であって、光の反射を低減又は防止するカバーであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。
- 前記検査用カバーを支持するカバー支持部をさらに有し、
前記検査用カバー、前記カバー支持部及び前記検査用媒体は、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を収容する密閉空間を形成することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 - 前記密閉空間は複数に区画されていることを特徴とする、請求項4に記載の液滴吐出装置。
- 前記検査用媒体には前記液滴吐出ヘッドから検査吐出された液滴が浸透し、
前記検査用カバーは、液滴が浸透した前記検査用媒体上に配置されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 - 液滴吐出ヘッドからワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから検査用媒体に液滴を検査吐出する検査吐出工程と、
前記検査用媒体に検査吐出された液滴を覆うように検査用カバーを配置するカバー配置工程と、
前記検査用媒体に検査吐出された液滴を、前記検査用カバーを通して撮像部により撮像する撮像工程と、
前記撮像部で撮像された画像に基づいて、前記液滴を検査する検査工程と、を有し、
前記検査吐出工程において、前記検査用カバーは、前記撮像部を支持する撮像支持部に保持されていることを特徴とする、液滴吐出方法。 - 前記検査工程における検査結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出量を調整する吐出量調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項7に記載の液滴吐出方法。
- 液滴吐出ヘッドからワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから検査用媒体に液滴を検査吐出する検査吐出工程と、
前記検査用媒体に検査吐出された液滴を覆うように検査用カバーを配置するカバー配置工程と、
前記検査用媒体に検査吐出された液滴を、前記検査用カバーを通して撮像部により撮像する撮像工程と、
前記撮像部で撮像された画像に基づいて、前記液滴を検査する検査工程と、を有し、
前記検査吐出工程において、前記検査用カバーは、前記検査用媒体を水平方向に移動させる媒体移動機構に保持されていることを特徴とする、液滴吐出方法。 - 前記検査用カバーは、透明な材質であって、光の反射を低減又は防止するカバーであることを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
- 前記カバー配置工程において、前記検査用カバー、前記検査用カバーを支持するカバー支持部及び前記検査用媒体によって、前記検査用媒体に検査吐出された液滴を収容する密閉空間を形成することを特徴とする、請求項7〜10のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
- 前記密閉空間は複数に区画されていることを特徴とする、請求項11に記載の液滴吐出方法。
- 前記検査吐出工程において、前記液滴吐出ヘッドから検査吐出された液滴は前記検査用媒体に浸透し、
前記カバー配置工程において、前記検査用カバーは、液滴が浸透した前記検査用媒体上に配置されることを特徴とする、請求項7〜10のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。 - 請求項7〜13のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項14に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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