KR20190042479A - 액적 토출 장치, 액적 토출 방법, 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체 - Google Patents

액적 토출 장치, 액적 토출 방법, 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사용 매체에 검사 토출된 액적의 건조를 억제하여, 액적 검사를 적절히 행하는 것을 목적으로 한다.
워크에 기능액의 액적(D)을 토출하여 묘화하는 액적 토출 장치는, 워크에 액적(D)을 토출하는 액적 토출 헤드와, 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사용 매체로서의 미디어(51)와, 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)을 덮는 검사용 커버로서의 커버(32)를 구비한 커버체(34)와, 커버(32)를 통해 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)을 촬상하는 촬상부로서의 카메라(31)를 갖는다.

Description

액적 토출 장치, 액적 토출 방법, 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체{DROPLET DISCHARGING APPARATUS, DROPLET DISCHARGING METHOD, PROGRAM AND COMPUTER STORAGE MEDIUM}
본 발명은 워크에 기능액의 액적을 토출하여 묘화하는 액적 토출 장치, 상기 액적 토출 장치를 이용한 액적 토출 방법, 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체에 관한 것이다.
종래, 기능액을 사용하여 워크에 묘화를 행하는 장치로서, 상기 기능액을 액적으로 하여 토출하는 잉크젯 방식의 액적 토출 장치가 알려져 있다. 액적 토출 장치는, 예컨대 유기 EL 장치, 컬러 필터, 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이(PDP 장치), 전자 방출 장치(FED 장치, SED 장치) 등의 전기 광학 장치(플랫 패널 디스플레이: FPD)를 제조할 때 등, 널리 이용되고 있다.
액적 토출 장치에서는, 액적 토출 헤드로부터 워크에 기능액의 액적이 토출되는데, 워크에의 묘화를 적절히 행하기 위해서, 액적의 토출의 정확성이 요구된다. 그래서, 묘화를 행하기 전에 액적 토출 헤드의 각 토출 노즐의 토출 양부를 검사하는 것이 행해지고 있다. 구체적으로는, 액적 토출 헤드로부터 검사용의 매체 상에 액적을 검사 토출하고, 상기 검사 토출한 액적을 촬상 장치(카메라)로 촬상한다. 그 촬상 화상을 화상 처리함으로써 액적의 면적, 혹은, 액적 착탄(着彈) 위치를 계측하여, 토출 노즐의 토출 양부를 검사한다.
또한, 액적 토출 장치에서는, 일반적으로, 액적 토출 헤드의 각 토출 노즐로부터의 토출량에는 변동이 있다. 따라서, 얼룩 없이 균일하게 기능액을 도포하기 위해서, 액적 토출 헤드의 각 토출 노즐의 토출량 변동을 미리 계측하고, 그 검사 데이터에 기초하여 토출량을 제어하는 것이 행해지고 있다. 이 토출량 계측 검사에도, 상기 토출 양부 검사와 동일한 액적 검사 장치, 및 검사 방법이 이용된다.
이러한 액적 검사에 있어서, 예컨대 특허문헌 1에는, 검사용 매체가 장척(長尺)형의 검사 시트인 경우, 상기 검사 시트를 평탄하게(기복 없이) 배치하기 위한 검사 스테이지가 제안되어 있다. 즉, 검사 스테이지는, 검사 시트를 흡착 배치하는 다공질 플레이트와, 상부에 다공질 플레이트를 수평으로 유지하는 틀형 프레임과, 다공질 플레이트의 하면에 면하여 틀형 프레임의 내측에 형성되고, 진공 흡인 수단에 연통(連通)되는 에어실을 갖고 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2007-237123호 공보
그런데, 액적 검사에서는, 카메라의 수에는 한계가 있기 때문에, 액적 토출 헤드로부터 검사용의 매체 상에 액적을 검사 토출한 후, 카메라가 촬상해야 할 영역을 한번에 촬상하는 것은 곤란하다. 그래서, 촬상해야 할 영역을 복수로 분할하고, 하나의 카메라가 이동하여, 이들 분할된 영역마다 액적을 촬상하고 있다(이하, 이 촬상을 분할 촬상이라고 함). 이와 같이 분할 촬상하는 경우, 하나의 영역을 촬상하고 있는 동안에, 다른 영역에서는 액적이 건조해 버리는 경우가 있다. 이러한 경우, 촬상 화상으로부터 계측되는 액적의 면적이 변화하기 때문에, 액적량을 정확히 계측할 수 없다.
그러나, 전술한 특허문헌 1을 포함하여 종래의 검사 방법에서는, 이와 같이 액적이 경시적으로 건조하는 것은 고려되어 있지 않아, 액적량을 정확히 계측할 수 없다. 특히 액적의 건조하기 쉬움은 기능액의 종류에 따라 상이하기 때문에, 어떤 기능액을 이용한 경우에는 액적이 건조하지 않아 검사할 수 있으나, 다른 기능액을 이용한 경우에는 액적이 건조하여 적절히 검사할 수 없다고 하는 변동이 발생할 수 있다. 따라서, 종래의 액적 검사에는 개선의 여지가 있다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 검사용 매체에 검사 토출된 액적의 건조를 억제하여, 액적 검사를 적절히 행하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하는 본 발명은 워크에 기능액의 액적을 토출하여 묘화하는 액적 토출 장치로서, 상기 워크에 액적을 토출하는 액적 토출 헤드와, 상기 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사용 매체와, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 덮는 검사용 커버와, 상기 검사용 커버를 통해, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 촬상하는 촬상부를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 액적 토출 헤드로부터 검사용 매체에 액적을 검사 토출한 후, 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 덮도록 검사용 커버를 배치한다. 그러면, 이 검사용 커버에 의해 액적의 증발이 억제되어, 액적의 건조를 억제할 수 있다. 그 후, 검사용 매체에 검사 토출된 액적을, 검사용 커버를 통해 촬상부에 의해 촬상한다. 이 촬상은, 검사용 커버가 액적을 덮은 상태에서 행해지기 때문에, 역시 액적의 건조가 억제되어, 촬상 화상에 있어서의 액적의 면적의 변화를 억제할 수 있다. 따라서, 촬상 화상으로부터 액적의 면적을 정확히 계측할 수 있고, 또한 상기 액적의 면적으로부터 액적량을 정확히 환산할 수 있다. 그 결과, 액적 검사를 적절히 행할 수 있다.
상기 액적 토출 장치에 있어서, 상기 검사용 커버는, 투명한 재질이며, 광의 반사를 저감 또는 방지하는 커버여도 좋다.
상기 액적 토출 장치는, 상기 검사용 커버를 지지하는 커버 지지부를 더 갖고, 상기 검사용 커버, 상기 커버 지지부 및 상기 검사용 매체는, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 수용하는 밀폐 공간을 형성해도 좋다.
상기 액적 토출 장치에 있어서, 상기 밀폐 공간은 복수로 구획되어 있어도 좋다.
상기 액적 토출 장치에 있어서, 상기 검사용 매체에는 상기 액적 토출 헤드로부터 검사 토출된 액적이 침투하고, 상기 검사용 커버는, 액적이 침투한 상기 검사용 매체 상에 배치되어도 좋다.
상기 액적 토출 장치는, 상기 촬상부를 지지하는 촬상 지지부를 더 갖고, 상기 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출 시, 상기 검사용 커버는 상기 촬상 지지부에 유지되어 있어도 좋다.
상기 액적 토출 장치는, 상기 검사용 매체를 수평 방향으로 이동시키는 매체 이동 기구를 더 갖고, 상기 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출 시, 상기 검사용 커버는 상기 매체 이동 기구에 유지되어 있어도 좋다.
다른 관점에 의한 본 발명은 액적 토출 헤드로부터 워크에 기능액의 액적을 토출하여 묘화하는 액적 토출 방법으로서, 상기 액적 토출 헤드로부터 검사용 매체에 액적을 검사 토출하는 검사 토출 공정과, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 덮도록 검사용 커버를 배치하는 커버 배치 공정과, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을, 상기 검사용 커버를 통해 촬상부에 의해 촬상하는 촬상 공정과, 상기 촬상부에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 상기 액적을 검사하는 검사 공정을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 액적 토출 방법에 있어서, 상기 검사용 커버는, 투명한 재질이며, 광의 반사를 저감 또는 방지하는 커버여도 좋다.
상기 액적 토출 방법에서는, 상기 커버 배치 공정에 있어서, 상기 검사용 커버, 상기 검사용 커버를 지지하는 커버 지지부 및 상기 검사용 매체에 의해, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 수용하는 밀폐 공간을 형성해도 좋다.
상기 액적 토출 방법에 있어서, 상기 밀폐 공간은 복수로 구획되어 있어도 좋다.
상기 액적 토출 방법에서는, 상기 검사 토출 공정에 있어서, 상기 액적 토출 헤드로부터 검사 토출된 액적은 상기 검사용 매체에 침투하고, 상기 커버 배치 공정에 있어서, 상기 검사용 커버는, 액적이 침투한 상기 검사용 매체 상에 배치되어도 좋다.
상기 액적 토출 방법에서는, 상기 검사 토출 공정에 있어서, 상기 검사용 커버는, 상기 촬상부를 지지하는 촬상 지지부에 유지되어 있어도 좋다.
상기 액적 토출 방법에서는, 상기 검사 토출 공정에 있어서, 상기 검사용 커버는, 상기 검사용 매체를 수평 방향으로 이동시키는 매체 이동 기구에 유지되어 있어도 좋다.
상기 액적 토출 방법은, 상기 검사 공정에 있어서의 검사 결과에 기초하여, 상기 액적 토출 헤드로부터의 액적의 토출량을 조정하는 토출량 조정 공정을 더 가져도 좋다.
다른 관점에 의한 본 발명에 의하면, 상기 액적 토출 방법을 액적 토출 장치에 의해 실행시키도록, 상기 액적 토출 장치의 컴퓨터 상에서 동작하는 프로그램이 제공된다.
또한 다른 관점에 의한 본 발명에 의하면, 상기 프로그램을 저장한 판독 가능한 컴퓨터 기억 매체가 제공된다.
본 발명에 의하면, 검사용 매체에 검사 토출된 액적의 건조를 억제하여, 액적 검사를 적절히 행할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다.
도 2는 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 평면도이다.
도 3은 제1 실시형태에 따른 촬상 유닛의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다.
도 4는 제1 실시형태에 따른 촬상 유닛을 이용하여 액적을 촬상하는 모습을 도시한 설명도이다.
도 5는 제1 실시형태에 따른 워크 처리의 주된 공정을 도시한 흐름도이다.
도 6은 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치에서의 처리 동작의 설명도이다.
도 7은 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 처리 위치에서의 처리 동작의 설명도이다.
도 8은 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치에서의 처리 동작의 설명도이다.
도 9는 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 처리 위치에서의 처리 동작의 설명도이다.
도 10은 제1 실시형태에 있어서 미디어에 커버체를 배치한 모습을 도시한 설명도이다.
도 11은 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치에서의 처리 동작의 설명도이다.
도 12는 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치에서의 처리 동작의 설명도이다.
도 13은 제1 실시형태의 효과를 실증하기 위한 실험 결과를 도시한 그래프이다.
도 14는 제1 실시형태의 변형예 1에 따른 커버체의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다.
도 15는 제1 실시형태의 변형예 2에 따른 촬상 유닛의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다.
도 16은 제2 실시형태에 따른 촬상 유닛의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 한편, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 요소에 있어서는, 동일한 부호를 붙임으로써 중복 설명을 생략한다.
<1. 제1 실시형태>
먼저, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 구성에 대해, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다. 도 2는 본 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 평면도이다. 한편, 이하에 있어서는, 워크(W)의 주(主)주사 방향을 X축 방향, 주주사 방향에 직교하는 부(副)주사 방향을 Y축 방향, X축 방향 및 Y축 방향에 직교하는 연직 방향을 Z축 방향, Z축 방향 주위의 회동 방향을 θ 방향으로 한다.
액적 토출 장치(1)는, 주주사 방향(X축 방향)으로 연장되고, 워크(W)를 주주사 방향으로 이동시키는 X축 테이블(10)과, X축 테이블(10)에 걸쳐 있도록 가설되고, 부주사 방향(Y축 방향)으로 연장되는 한 쌍의 Y축 테이블(11, 11)을 갖고 있다. X축 테이블(10)의 상면에는, 한 쌍의 X축 가이드 레일(12, 12)이 X축 방향으로 연신하여 설치되고, 각 X축 가이드 레일(12)에는, X축 리니어 모터(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 각 Y축 테이블(11)의 상면에는, Y축 가이드 레일(13)이 Y축 방향으로 연신하여 설치되고, 상기 Y축 가이드 레일(13)에는, Y축 리니어 모터(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
한 쌍의 Y축 테이블(11, 11)에는, 캐리지 유닛(20)과 촬상 유닛(30)이 설치되어 있다. X축 테이블(10) 상에는, 워크 스테이지(40)와 토출 검사 유닛(50)이 설치되어 있다. X축 테이블(10)의 외측(Y축 부방향측)이며, 한 쌍의 Y축 테이블(11, 11) 사이에는, 메인터넌스 유닛(70)이 설치되어 있다.
(캐리지 유닛)
캐리지 유닛(20)은, Y축 테이블(11)에 있어서, 복수, 예컨대 10개 설치되어 있다. 각 캐리지 유닛(20)은, 캐리지 플레이트(21)와, 캐리지 회동 기구(22)와, 캐리지(23)와, 액적 토출 헤드(24)를 갖고 있다.
캐리지 플레이트(21)는, Y축 가이드 레일(13)에 부착되고, 상기 Y축 가이드 레일(13)에 설치된 Y축 리니어 모터에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 한편, 복수의 캐리지 플레이트(21)를 일체로 하여 Y축 방향으로 이동시키는 것도 가능하다.
캐리지 플레이트(21)의 하면의 중앙에는, 캐리지 회동 기구(22)가 설치되고, 상기 캐리지 회동 기구(22)의 하단부에 캐리지(23)가 착탈 가능하게 부착되어 있다. 캐리지(23)는, 캐리지 회동 기구(22)에 의해 θ 방향으로 회동 가능하게 되어 있다. 한편, 워크 스테이지(40)에는, 캐리지(23)를 촬상하는 캐리지 얼라인먼트 카메라(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 그리고, 캐리지 얼라인먼트 카메라로 촬상된 화상에 기초하여, 캐리지 회동 기구(22)에 의해, 캐리지(23)의 θ 방향의 위치가 보정된다.
캐리지(23)의 하면에는, 복수의 액적 토출 헤드(24)가 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 예컨대 X축 방향으로 3개, Y축 방향으로 2개, 즉 합계 6개의 액적 토출 헤드(24)가 설치되어 있다. 액적 토출 헤드(24)의 하면, 즉 노즐면에는 복수의 토출 노즐(도시하지 않음)이 형성되고, 상기 토출 노즐로부터 기능액의 액적이 토출되도록 되어 있다.
(촬상 유닛)
촬상 유닛(30)은, 토출 검사 유닛(50)의 후술하는 미디어(51)에 검사 토출된 액적을 촬상한다. 도 3은 촬상 유닛(30)의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다. 도 4는 촬상 유닛(30)을 이용하여 액적을 촬상하는 모습을 도시한 설명도이다.
촬상 유닛(30)은, 촬상부로서의 카메라(31)와, 검사용 커버로서의 커버(32) 및 커버(32)를 지지하는 커버 지지부(33)를 갖고 있다. 커버(32)와 커버 지지부(33)는 일체로 구성되고, 이하의 설명에 있어서는, 이들 커버(32)와 커버 지지부(33)를 커버체(34)라고 하는 경우가 있다.
도 1에 도시된 바와 같이 카메라(31)와 커버체(34)는, 한 쌍의 Y축 테이블(11, 11) 중, X축 정방향측의 Y축 테이블(11)의 측면에 설치된, 촬상 지지부로서의 카메라 지지부(35)에 지지되어 있다. 카메라 지지부(35)에는 카메라(31)를 이동시키는 이동 기구(도시하지 않음)가 설치되고, 카메라(31)는 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이 카메라 지지부(35)에는, 커버체(34)를 이동시키는 이동 기구(36)가 설치되어 있다. 이동 기구(36)는, 커버 지지부(33)의 외주부를 배치하여 유지하는 유지부(36a)를 구비하고, X축 방향으로 이동함으로써, 커버체(34)의 유지 및 개방이 가능하게 되어 있다. 또한, 커버체(34)는, 이동 기구(36)에 의해 연직 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
카메라(31)는, 예컨대 캐리지 유닛(20)[캐리지(23)]에 대응하여 설치되고, 예컨대 10개 설치되어 있다. 또한, 커버체(34)도, 예컨대 캐리지 유닛(20) 및 카메라(31)에 대응하여 설치되고, 예컨대 10개 설치되어 있다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이 촬상 유닛(30)으로, 후술하는 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)을 촬상할 때에는, 상기 액적(D)을 덮도록 커버체(34)를 미디어(51) 상에 배치한다. 구체적으로 커버체(34)는, 하나의 캐리지(23)가 액적(D)을 토출하는 영역(A)[이하, 캐리지 영역(A)이라고 함]을 덮는다. 그리고, 카메라(31)에 의해, 커버(32)의 상방으로부터 상기 커버(32)를 통해 캐리지 영역(A)의 액적(D)을 촬상한다. 한편, 카메라(31)에 의한 촬상 시에는, 조명기(도시하지 않음)로부터의 조명광이 액적(D)에 비춰진다. 본 실시형태에서는, 예컨대 조명기의 광원으로서, 예컨대 동축형의 LED가 이용된다.
이러한 경우, 커버(32)는 카메라(31)에 의한 촬상을 가능하게 시킬 필요가 있어, 투명한 재질이 이용된다. 또한, 반사광의 간섭에 의한 뉴턴 링을 억제하기 위해서, 커버(32)에는, 조명광의 반사를 저감 또는 방지하는 커버를 이용해도 좋다. 본 실시형태에서는, 커버(32)로서 예컨대 저반사 유리가 이용된다. 저반사 유리는, 유리 표면에 다층 코팅이 실시되어, 조명광의 반사를 저감할 수 있다. 단, 커버(32)는 전술한 기능을 갖는 것이면 임의의 커버를 이용할 수 있고, 예컨대 반사 방지 유리(무반사 유리)를 이용해도 좋다. 반사 방지 유리는, 유리 표면에 극소의 요철이 형성되어, 반사광을 확산시켜, 조명광의 반사를 방지할 수 있다. 또한, 커버(32)로서, 예컨대 투명한 유리나 석영 등의 기판에, 반사 방지 필름을 붙여도 좋다.
커버 지지부(33)는, 캐리지 영역(A)의 액적(D)을 둘러싸도록 평면에서 보아 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 그리고, 커버체(34)를 미디어(51) 상에 배치했을 때, 커버(32), 커버 지지부(33) 및 미디어(51)로, 밀폐 공간(E)을 형성한다. 한편, 밀폐 공간(E)의 기밀성을 향상시키기 위해서, 커버 지지부(33)를 미디어(51)에 밀착시키는 것이 바람직하고, 커버 지지부(33)에는 예컨대 탄성을 갖는 재질을 이용하는 것이 바람직하다.
한편, 밀폐 공간(E)은, 후술하는 바와 같이 액적(D)의 건조를 억제한다고 하는 관점에서는, 가능한 한 작은 것이 바람직하다. 그래서, 커버 지지부(33)[커버(32)]의 높이는, 액적(D)이 커버(32)에 간섭하지 않는, 또한 카메라(31)의 동작 거리 내에 액적(D)이 들어가는 등, 여러 가지 장치적 한정을 고려한 후에, 가능한 한 작게 설정된다.
(워크 스테이지)
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 워크 스테이지(40)는, 예컨대 진공 흡착 스테이지이고, 워크(W)를 흡착하여 배치한다. 워크 스테이지(40)는, 상기 워크 스테이지(40)의 하면측에 설치된 스테이지 회동 기구(41)에 의해, θ 방향으로 회동 가능하게 지지되어 있다. 한편, Y축 테이블(11)의 X축 부방향측이며, 워크 스테이지(40)의 상방에는, 워크 스테이지(40) 상의 워크(W)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 워크 얼라인먼트 카메라(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 그리고, 워크 얼라인먼트 카메라로 촬상된 화상에 기초하여, 스테이지 회동 기구(41)에 의해, 워크 스테이지(40)에 배치된 워크(W)의 θ 방향의 위치가 보정된다.
워크 스테이지(40)와 스테이지 회동 기구(41)는, 스테이지 회동 기구(41)의 하면측에 설치된 제1 X축 슬라이더(42)에 지지되어 있다. 제1 X축 슬라이더(42)는, X축 가이드 레일(12)에 부착되고, 상기 X축 가이드 레일(12)에 설치된 X축 리니어 모터에 의해 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 워크 스테이지(40)[워크(W)]도, 제1 X축 슬라이더(42)에 의해 X축 가이드 레일(12)을 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
(토출 검사 유닛)
토출 검사 유닛(50)은, 액적 토출 헤드(24)로부터의 검사 토출을 받는 유닛이다. 토출 검사 유닛(50)은, Y축 방향으로 연신하는 검사용 매체로서의 미디어(51)와, 마찬가지로 Y축 방향으로 연신하고, 미디어(51)를 흡착 유지하는 미디어 유지부(52)를 갖고 있다. 본 실시형태에서는, 미디어(51)에는, 표면(상면)에 발액성을 갖는 필름 코팅이 실시된 발액 필름이 이용된다. 미디어(51)는, 미디어 유지부(52)가 액적 토출 헤드(24) 바로 아래로 안내되었을 때에, 액적 토출 헤드(24)로부터 토출된 액적(D)이 착탄되도록 되어 있다. 또한, 미디어 유지부(52)는, 필름형의 미디어(51)를 평탄하게 흡착 유지한다.
토출 검사 유닛(50)은, 매체 이동 기구로서의 제2 X축 슬라이더(60)에 탑재되어 있다. 제2 X축 슬라이더(60)는, X축 가이드 레일(12)에 부착되고, 상기 X축 가이드 레일(12)에 설치된 X축 리니어 모터에 의해 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 토출 검사 유닛(50)도, 제2 X축 슬라이더(60)에 의해 X축 가이드 레일(12)을 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
(메인터넌스 유닛)
메인터넌스 유닛(70)은, 액적 토출 헤드(24)의 메인터넌스를 행하여, 상기 액적 토출 헤드(24)의 토출 불량을 해소한다. 메인터넌스 유닛(70)은, 와이핑 유닛(80)과, 흡인 유닛(90)을 갖고 있다. 와이핑 유닛(80)과 흡인 유닛(90)은, X축 테이블(10)측으로부터 이 순서로 Y축 방향으로 나란히 배치되어 있다. 또한, 와이핑 유닛(80)과 흡인 유닛(90)은, 캐리지(23)의 하방에 위치하도록 배치되어 있다.
(와이핑 유닛)
와이핑 유닛(80)은, 액적 토출 헤드(24)에 있어서 복수의 토출 노즐이 형성된 노즐면을 불식(拂拭)하는 유닛이다. 와이핑 유닛(80)은, 불식 롤러(81)를 갖고 있다. 그리고, 캐리지(23)가 와이핑 유닛(80)의 상방으로 안내되었을 때에, 불식 롤러(81)가 캐리지(23)의 액적 토출 헤드(24)의 노즐면과 접촉하여, 상기 노즐면을 불식한다.
(흡인 유닛)
흡인 유닛(90)은, 액적 토출 헤드(24)로부터 기능액을 흡인하는 유닛이다. 흡인 유닛(90)에는, 복수, 예컨대 10개의 분할 흡인 유닛(91)이 Y축 방향으로 나란히 설치되어 있다. 이 분할 흡인 유닛(91)의 수는, 캐리지(23)의 수와 동일하다. 각 분할 흡인 유닛(91)은, 대응하는 캐리지(23)의 액적 토출 헤드(24)를 흡인하고, 상기 액적 토출 헤드(24)의 토출 노즐로부터 기능액을 강제적으로 배출시킨다. 또한, 각 분할 흡인 유닛(91)은, 액적 토출 장치(1)가 휴지(休止) 상태일 때, 액적 토출 헤드(24)의 노즐면과 밀착하여 기능액의 건조를 억제한다.
이상의 액적 토출 장치(1)에는, 제어부(100)가 설치되어 있다. 제어부(100)는, 예컨대 컴퓨터이고, 데이터 저장부(도시하지 않음)를 갖고 있다. 데이터 저장부에는, 예컨대 워크(W)에 토출되는 액적(D)을 제어하여, 상기 워크(W)에 소정의 패턴을 묘화하기 위한 묘화 데이터(비트맵 데이터) 등이 저장되어 있다. 또한, 제어부(100)는, 프로그램 저장부(도시하지 않음)를 갖고 있다. 프로그램 저장부에는, 액적 토출 장치(1)에 있어서의 각종 처리를 제어하는 프로그램이나, 구동계의 동작을 제어하는 프로그램 등이 저장되어 있다.
한편, 상기 데이터나 상기 프로그램은, 예컨대 컴퓨터 판독 가능한 하드 디스크(HD), 플렉시블 디스크(FD), 컴팩트 디스크(CD), 마그넷 옵티컬 디스크(MO), 메모리 카드 등의 컴퓨터에 판독 가능한 기억 매체에 기록되어 있던 것이며, 그 기억 매체로부터 제어부(100)에 인스톨된 것이어도 좋다.
다음으로, 이상과 같이 구성된 액적 토출 장치(1)를 이용하여 행해지는 워크 처리에 대해 설명한다. 도 5는 이러한 워크 처리의 주된 공정의 예를 도시한 흐름도이다. 이하의 설명에서는, X축 테이블(10) 상에 있어서, Y축 테이블(11)보다 X축 부방향측의 위치를 반입 반출 위치(P1)라고 하고, 한 쌍의 Y축 테이블(11, 11) 사이의 위치를 처리 위치(P2)라고 하며, Y축 테이블(11)보다 X축 정방향측의 위치를 대기 위치(P3)라고 한다. 또한, X축 테이블(10)의 Y축 부방향측이며, 한 쌍의 Y축 테이블(11, 11) 사이의 위치를 메인터넌스 위치(P4)라고 한다.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이 제2 X축 슬라이더(60)에 의해, 토출 검사 유닛(50)을 대기 위치(P3)로부터 처리 위치(P2)로 이동시킨다. 도 7에 도시된 바와 같이 처리 위치(P2)에서는, 토출 검사 유닛(50)의 미디어(51)를 액적 토출 헤드(24)의 하방에 배치하고, 상기 미디어(51)에 대해 액적 토출 헤드(24)로부터 액적(D)을 검사 토출한다(도 5의 단계 S1). 이때, 미디어(51)에는 발액 필름이 이용되고 있기 때문에, 액적(D)은 그 형상을 유지한 채로 존재한다. 한편, 단계 S1에서는, 커버체(34)는 이동 기구(36)[카메라 지지부(35)]에 유지되어 있다.
그 후, 도 8에 도시된 바와 같이 토출 검사 유닛(50)을 X축 정방향측으로 이동시켜, 토출 검사 유닛(50)의 미디어(51)를 카메라(31)의 하방에 배치한다. 계속해서, 도 9에 도시된 바와 같이 이동 기구(36)에 의해, 커버체(34)를 하강시켜, 미디어(51) 상에 배치한다(도 5의 단계 S2). 이 단계 S2에 있어서 커버체(34)는, 캐리지 영역(A)의 액적(D)을 덮도록 배치된다. 그리고, 커버체(34)와 미디어(51)로, 상기 캐리지 영역(A)의 액적(D)을 수용하는 밀폐 공간(E)을 형성한다. 이 밀폐 공간(E)에서는 액적(D)의 포화 상태로 할 수 있고, 액적(D)은 증발하지 않아 건조를 억제할 수 있다.
그리고, 카메라(31)를 밀폐 공간(E)에 대해 적절히, Y축 방향으로 이동시켜, 도 9에 도시된 바와 같이 카메라(31)에 의해 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)을 촬상한다(도 5의 단계 S3). 이 단계 S3에 있어서, 카메라(31)는, 커버(32)를 통해 캐리지 영역(A)의 액적(D)을 촬상한다. 이 촬상 시, 커버(32)가 투명하기 때문에, 카메라(31)는 액적(D)을 적절히 촬상할 수 있다. 또한, 카메라(31)가 액적(D)을 촬상할 때에는, 조명기로부터의 조명광이 액적(D)에 비춰진다. 이 점, 커버(32)에는 저반사 유리가 이용되고 있기 때문에, 조명광의 반사광의 간섭에 의한 뉴턴 링을 억제할 수 있다.
여기서, 도 10에 도시된 바와 같이 단계 S1에서는, 하나의 캐리지(23)로부터 캐리지 영역(A)에 액적(D)이 검사 토출된다. 전술한 바와 같이 본 실시형태에서는, 캐리지(23), 카메라(31), 커버체(34)의 수는 각각 대응하여 동수이기 때문에, 단계 S2에서는, 하나의 캐리지 영역(A)을 덮도록 하나의 커버체(34)가 배치된다. 또한, 단계 S3에서는, 카메라(31)를 이동시킴으로써, 캐리지 영역(A)을 복수로 분할한 분할 영역마다 액적(D)이 촬상(분할 촬상)된다.
또한, 카메라(31)가 이동하여 액적(D)을 촬상하는 분할 촬상에 있어서는, 전술한 바와 같이 종래, 하나의 분할 영역을 촬상하고 있는 동안에, 다른 분할 영역에서는 액적이 건조하고 있었다. 이 점, 본 실시형태에서는, 커버체(34)와 미디어(51)로 밀폐 공간(E)이 형성된다. 그러면, 전술한 바와 같이 밀폐 공간(E)을 액적(D)의 포화 상태로 할 수 있고, 액적(D)은 증발하지 않는다. 따라서, 액적(D)의 건조를 억제하여, 캐리지 영역(A)에 있어서 복수의 분할 영역의 액적(D)을 적절히 촬상할 수 있다.
한편, 분할 영역에 있어서, 실제로 묘화에 이용되는 액적(D)의 외주부에, 더미의 액적을 토출해도 좋다. 이러한 경우, 외주부에 토출된 더미의 액적 쪽이, 그 내측에 토출된 액적(D)보다 건조하기 쉽기 때문에, 상기 내측의 액적(D)의 건조를 더욱 억제할 수 있다.
단계 S3에 있어서 촬상된 화상은 제어부(100)에 출력된다. 제어부(100)에서는, 촬상된 화상에 기초하여, 액적 토출 헤드(24)에 있어서의 토출 노즐의 토출량이 검사된다(도 5의 단계 S4). 구체적으로 제어부(100)에서는, 촬상 화상을 화상 처리함으로써 액적(D)의 윤곽을 파악하여 상기 액적(D)의 면적을 계측하고, 또한 계측된 액적(D)의 면적으로부터 액적량을 환산하여, 토출 노즐의 토출량의 상대비를 구한다.
그 후, 단계 S4의 검사 결과에 기초하여, 액적 토출 헤드(24)에 있어서의 토출 노즐의 토출량을 조정한다(도 5의 단계 S5). 여기서, 워크(W)는 예컨대 유기 EL 장치, 컬러 필터, 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이, 플랫 패널 디스플레이 등이고, 상기 워크(W)에는 발광 소자인 화소가 형성된다. 그리고, 단계 S5에서는, 예컨대 단계 S4에서 구해진 각 토출 노즐로부터의 상대 토출량과, 워크(W)의 각 화소에 묘화하는 노즐 번호 및 묘화 액적수로부터, 각 화소에 묘화되는 토출량을 산출하고, 그 결과에 기초하여 액적 토출 헤드(24)의 토출 노즐로부터의 토출량이 피드백 제어된다.
한편, 단계 S5에 있어서, 토출 검사 유닛(50)을 처리 위치(P2)로부터 대기 위치(P3)로 이동시킨다.
이와 같이 단계 S1∼S5의 토출 검사 및 토출량 조정이 행해지고 있는 동안에, 반입 반출 위치(P1)에 워크 스테이지(40)가 배치되고, 반송 기구(도시하지 않음)에 의해 액적 토출 장치(1)에 반입된 워크(W)가 상기 워크 스테이지(40)에 배치된다. 계속해서, 워크 얼라인먼트 카메라에 의해 워크 스테이지(40) 상의 워크(W)의 얼라인먼트 마크가 촬상된다. 그리고, 상기 촬상된 화상에 기초하여, 스테이지 회동 기구(41)에 의해, 워크 스테이지(40)에 배치된 워크(W)의 θ 방향의 위치가 보정되어, 워크(W)의 얼라인먼트가 행해진다(도 5의 단계 S6).
그 후, 도 11에 도시된 바와 같이 제1 X축 슬라이더(42)에 의해, 워크 스테이지(40)를 반입 반출 위치(P1)로부터 처리 위치(P2)로 이동시킨다. 처리 위치(P2)에서는, 액적 토출 헤드(24)의 하방으로 이동한 워크(W)에 대해, 상기 액적 토출 헤드(24)로부터 액적을 토출한다. 또한, 워크(W)의 전면(全面)이 액적 토출 헤드(24)의 하방을 통과하도록, 워크 스테이지(40)를 더욱 대기 위치(P3)측으로 이동시킨다. 그리고, 워크(W)를 X축 방향으로 왕복 이동시키고, 캐리지 유닛(20)을 적절히, Y축 방향으로 이동시켜, 워크(W)에 소정의 패턴이 묘화된다(도 5의 단계 S7).
그 후, 도 12에 도시된 바와 같이 워크 스테이지(40)를 대기 위치(P3)로부터 반입 반출 위치(P1)로 이동시킨다. 워크 스테이지(40)가 반입 반출 위치(P1)로 이동하면, 묘화 처리가 종료된 워크(W)가 액적 토출 장치(1)로부터 반출된다. 계속해서, 다음 워크(W)가 액적 토출 장치(1)에 반입되고, 전술한 단계 S5의 워크(W)의 얼라인먼트가 행해진다(도 5의 단계 S8).
이상과 같이 각 워크(W)에 대해 단계 S1∼S8이 행해지고, 일련의 워크 처리가 종료된다. 한편, 단계 S1∼S5의 토출 검사 및 토출 상태 조정을 행하는 타이밍은 임의이다. 예컨대 단계 S1∼S5는, 1로트의 1장째의 워크(W)에 대해 행해져도 좋고, 혹은 워크(W)마다 행해져도 좋다.
이상의 제1 실시형태에 의하면, 단계 S1에 있어서 액적 토출 헤드(24)로부터 미디어(51)에 액적(D)을 검사 토출한 후, 단계 S2에 있어서 미디어(51)에 검사 토출된 캐리지 영역(A)의 액적(D)을 덮도록 커버체(34)를 배치한다. 그러면, 이 커버체(34)와 미디어(51)로 형성된 밀폐 공간(E)에 의해 액적(D)의 건조를 억제할 수 있다. 그 후, 단계 S3에 있어서 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)을, 커버(32)를 통해 카메라(31)에 의해 촬상한다. 이 촬상은, 커버체(34)가 액적(D)을 덮은 상태에서 행해지기 때문에, 역시 액적(D)의 건조가 억제되어, 촬상 화상에 있어서의 액적(D)의 면적의 변화를 억제할 수 있다. 따라서, 단계 S4에 있어서 촬상 화상으로부터 액적(D)의 면적을 정확히 계측할 수 있고, 또한 상기 액적(D)의 면적으로부터 액적량을 정확히 환산할 수 있다. 그 결과, 토출 노즐마다의 상대 토출량의 계측을 적절히 행할 수 있다. 또한, 단계 S5에 있어서 액적 토출 헤드(24)에 있어서의 토출 노즐의 토출량이 적절히 조정되기 때문에, 워크(W)에 대한 묘화 처리를 얼룩 없이 적절히 행할 수 있다.
한편, 커버체(34)에 의해 액적(D)의 건조를 억제할 수 있는 효과는, 본 발명자가 실험에 의해 확인하고 있다. 실험은, 커버체(34)를 배치한 경우와 배치하지 않는 경우에 대해 행하고, 각각의 경우에 있어서 액적(D)의 면적의 경시 변화를 측정하였다. 그 실험 결과를 도 13에 도시한다. 도 13의 횡축은 경과 시간을 나타내고, 종축은 면적 변화율을 나타내고 있다. 도 13을 참조하면, 커버체(34)를 배치하지 않는 경우, 액적(D)의 면적은 경시적으로 작아졌다. 한편, 커버체(34)를 배치한 경우, 시간이 경과해도 액적(D)의 면적은 거의 변화하지 않았다.
또한, 이와 같이 커버체(34)에 의해 액적(D)의 건조를 억제할 수 있기 때문에, 기능액의 선택의 폭이 넓어진다. 본 실시형태와 같이 밀폐 공간(E)을 형성함으로써, 상기 밀폐 공간(E)을 액적(D)의 포화 상태로 할 수 있기 때문에, 기능액의 종류에 관계없이 액적(D)의 건조를 억제할 수 있다. 따라서, 건조하기 쉬운 기능액이어도 선택할 수 있다.
또한, 커버체(34)에 의해 액적(D)의 건조를 억제할 수 있기 때문에, 카메라(31)에 의해 액적(D)을 촬상할 때에 이용되는 조명기의 선택의 폭이 넓어진다. 본 실시형태에서는, 조명기의 광원으로서 LED를 이용하였으나, 예컨대 할로겐 램프나 수은 램프를 이용한 경우, 발열하기 때문에, 액적(D)이 건조하기 쉬워진다. 이 점, 본 실시형태에서는 밀폐 공간(E)을 액적(D)의 포화 상태로 할 수 있기 때문에, 액적(D)의 건조를 억제할 수 있고, 조명기에 발열하는 광원을 이용하는 것도 가능해진다.
(제1 실시형태의 변형예 1)
이상의 제1 실시형태에서는, 하나의 커버체(34)가 하나의 캐리지 영역(A)에 대응하여 설치되어 있었으나, 커버체(34)의 형상이나 배치는 이것에 한정되지 않는다.
예컨대 커버체(34)는, 복수의 캐리지 영역(A)에 걸쳐 설치되어 있어도 좋다. 도 14는 커버체(34)가 2개의 캐리지 영역(A1, A2)에 걸쳐 설치된 예를 도시하고 있다. 이러한 경우, 커버 지지부(33)는 2개의 캐리지 영역(A1, A2)을 둘러싸도록 설치된다. 또한, 커버 지지부(33)의 Y축 방향의 중앙에는, X축 방향으로 연신하는 서포트(33a)가 설치되어 있다. 이 서포트(33a)에 의해, 캐리지 영역(A1, A2)이 구획되고, 즉 밀폐 공간(E1, E2)으로 구획된다. 한편, 커버체(34)는 3개 이상의 캐리지 영역(A)에 걸쳐 설치되어 있어도 좋다.
또한, 예컨대 하나의 캐리지 영역(A)에 대해 설치된 커버체(34)에, 서포트(33a)를 설치해도 좋다. 이러한 경우, 하나의 캐리지 영역(A)이 복수로 구획된다. 예컨대 하나의 캐리지 영역(A)이 넓어, 하나의 커버체(34)의 커버(32)가 휘어지는 경우, 이 휘어짐을 억제하기 위해서, 커버체(34)에 서포트(33a)가 설치된다.
커버체(34)의 형상이나 배치가 어느 경우라도, 액적(D)을 덮는 밀폐 공간(E)을 형성할 수 있기 때문에, 액적(D)의 건조를 억제할 수 있어, 제1 실시형태의 전술한 효과를 향수할 수 있다.
(제1 실시형태의 변형예 2)
또한, 이상의 제1 실시형태에서는, 단계 S1에 있어서 액적 토출 헤드(24)로부터 미디어(51)에 액적(D)을 검사 토출할 때, 커버체(34)는 이동 기구(36)에 유지되어 있었으나, 커버체(34)를 유지하는 방법은 이것에 한정되지 않는다.
도 15는 단계 S1에 있어서 커버체(34)가 제2 X축 슬라이더(60)에 유지되는 예를 도시하고 있다. 이러한 경우, 단계 S2에 있어서, 이동 기구(36)에 의해 커버체(34)를 제2 X축 슬라이더(60)로부터 미디어(51)로 이동시켜 배치한다. 이와 같이 커버체(34)의 유지 방법에 관계없이, 밀폐 공간(E)을 형성할 수 있기 때문에, 액적(D)의 건조를 억제할 수 있어, 제1 실시형태의 전술한 효과를 향수할 수 있다.
(제1 실시형태의 변형예 3)
또한, 이상의 제1 실시형태에서는, 미디어(51)에는 발액 필름이 이용되고 있었으나, 미디어(51)의 종류는 이것에 한정되지 않는다. 예컨대 미디어(51)에는 침투 필름이 이용되고 있어도 좋다. 이러한 경우, 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)은 상기 미디어(51)에 침투한다. 미디어(51)에 발액 필름을 이용할지, 침투 필름을 이용할지는, 예컨대 기능액의 종류에 따라 결정된다. 또한, 미디어(51)는 필름에 한정되지 않고, 예컨대 유리 기판인 뱅크 기판을 이용해도 좋다.
미디어(51)가 어떠한 종류여도, 커버체(34)와 미디어(51) 사이에 밀폐 공간(E)을 형성함으로써, 액적(D)의 건조를 억제할 수 있어, 제1 실시형태의 전술한 효과를 향수할 수 있다.
단, 미디어(51)에 침투 필름을 이용한 경우, 조명기의 광원으로서, 예컨대 링형의 LED가 이용된다. 이러한 경우, 액적(D)이 미디어(51)에 침투하면, 링형의 LED를 이용하여 비스듬히 LED광을 조사한다. 그러면, 카메라(31)로 촬상되는 화상에 있어서, 액적(D)이 침투한 부분과, 액적(D)이 침투하고 있지 않은 부분의 콘트라스트의 차이가 명확해지고, 이에 의해 액적(D)의 면적이 계측 가능해진다.
<2. 제2 실시형태>
다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 구성에 대해, 도 16을 참조하여 설명한다. 도 16은 본 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)에 있어서의 촬상 유닛(30)과 토출 검사 유닛(50)의 구성의 개략을 모식적으로 도시한 측면도이다.
제2 실시형태의 액적 토출 장치(1)는, 미디어(51)에 침투 필름을 이용한 경우이며, 즉 액적 토출 헤드(24)로부터 검사 토출된 액적(D)이 미디어(51)에 침투하는 경우에 적용된다.
도 16에 도시된 바와 같이 제2 실시형태에서는, 제1 실시형태에 있어서의 커버체(34)를 대신하여, 검사용 커버로서의 커버(200)가 이용된다. 커버(200)에는, 커버체(34)의 커버(32)와 동일한 재질이 이용된다. 구체적으로 커버(200)에는, 예컨대 저반사 유리나 반사 방지 유리, 반사 방지 필름이 부착된 유리나 석영 등이 이용된다.
한편, 커버(200)는, 제1 실시형태와 같이 캐리지 영역(A)마다 설치되어 있어도 좋다. 혹은 커버(200)는, 제1 실시형태의 변형예 1과 같이 복수의 캐리지 영역(A)에 걸쳐 설치되어 있어도 좋다.
또한, 제2 실시형태에 있어서의 액적 토출 장치(1)의 그 외의 구성은, 제1 실시형태에 있어서의 액적 토출 장치(1)의 구성과 동일하다.
다음으로, 이상과 같이 구성된 액적 토출 장치(1)를 이용하여 행해지는 워크 처리에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서의 단계 S1∼S8은, 제1 실시형태에 있어서의 단계 S1∼S8에 대응하고 있다.
먼저, 단계 S1에 있어서, 액적 토출 헤드(24)로부터 미디어(51)에 액적(D)을 검사 토출하고, 상기 액적(D)이 미디어(51)에 침투한다. 이때, 커버(200)는, 제1 실시형태와 같이 이동 기구(36)에 유지되어 있어도 좋고, 혹은 제1 실시형태의 변형예 2와 같이 제2 X축 슬라이더(60)에 유지되어 있어도 좋다.
그 후, 단계 S2에 있어서, 도 16에 도시된 바와 같이 커버(200)가, 이동 기구(36)에 의해, 액적(D)이 침투한 미디어(51) 상에 배치된다. 그 후, 단계 S3에 있어서, 카메라(31)에 의해 미디어(51)에 검사 토출된 액적(D)을 촬상한다.
이들 단계 S2, S3에 있어서, 액적(D)은 커버(200)에 덮여져 있기 때문에, 액적(D)은 증발하지 않아 건조를 억제할 수 있다. 제1 실시형태에서는 액적(D)의 건조를 억제한다고 하는 관점에서, 밀폐 공간(E)을 가능한 한 작게 하고 있었으나, 본 제2 실시형태에서는 커버(200)와 미디어(51) 사이에 공간이 없다. 이 때문에, 액적(D)의 건조를 더욱 억제할 수 있다.
또한, 단계 S3에 있어서 액적(D)을 촬상할 때, 커버(200)와 미디어(51)가 접촉하고 있기 때문에 반사광의 간섭에 의한 뉴턴 링의 영향이 커진다. 따라서, 커버(200)에는, 저반사 유리나 반사 방지 유리, 반사 방지 필름이 부착된 유리나 석영 등을 이용하는 것이 바람직하다.
한편, 그 후의 단계 S4∼S8은, 제1 실시형태의 단계 S4∼S8과 동일하다.
이와 같이 제2 실시형태에 있어서도, 전술한 제1 실시형태와 동일한 효과를 향수할 수 있다.
<3. 그 외의 실시형태>
이상의 제1 실시형태 및 제2 실시형태의 액적 토출 장치(1)에 있어서, 촬상 유닛(30)은, 워크(W)에 토출된 액적(D)에 의한 묘화 상태를 촬상하는 묘화 검사 카메라(도시하지 않음)를 갖고 있어도 좋다. 촬상 화상 카메라는, 캐리지(23)[액적 토출 헤드(24)]를 사이에 두고 카메라(31)에 X축 방향으로 대향하여 설치되어 있다.
이러한 경우, 단계 S7에 있어서 워크(W)에 소정의 패턴이 묘화된 후, 묘화 검사 카메라의 하방으로 워크 스테이지(40)가 안내되었을 때, 묘화 검사 카메라는, 워크 스테이지(40) 상의 워크(W)에 토출된 액적에 의한 패턴 등의 묘화 상태를 촬상한다. 촬상된 화상은 제어부(100)에 출력되고, 제어부(100)에서는, 촬상된 화상에 기초하여, 묘화 상태의 불량, 예컨대 막 얼룩 등이 검사된다. 이 검사 결과에 있어서, 묘화 상태가 불량이라고 판정된 경우, 예컨대 액적 토출 헤드(24)로부터의 액적의 토출 등이 피드백 제어된다.
한편, 이상의 실시형태의 액적 토출 장치(1)는, 예컨대 유기 EL 장치, 컬러 필터, 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이(PDP 장치), 전자 방출 장치(FED 장치, SED 장치) 등의 전기 광학 장치(플랫 패널 디스플레이: FPD)를 제조할 때 등, 널리 적용된다. 또한, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스트 형성, 및 광확산체 형성 등을 제조할 때에도 액적 토출 장치(1)를 적용해도 좋다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 특허 청구의 범위에 기재된 기술적 사상의 범주 내에서, 각종의 변경예 또는 수정예에 상도할 수 있는 것은 명백하고, 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 양해된다.
본 발명은 워크에 기능액의 액적을 토출하여 묘화할 때에 유용하다.
1: 액적 토출 장치 20: 캐리지 유닛
23: 캐리지 24: 액적 토출 헤드
30: 촬상 유닛 31: 카메라
32, 200: 커버 33: 커버 지지부
33a: 서포트 34: 커버체
35: 카메라 지지부 36: 이동 기구
40: 워크 스테이지 50: 토출 검사 유닛
51: 미디어 52: 미디어 유지부
60: 제2 X축 슬라이더 70: 메인터넌스 유닛
80: 와이핑 유닛 90: 흡인 유닛
100: 제어부 A: 캐리지 영역
D: 액적 E: 밀폐 공간
W: 워크

Claims (17)

  1. 워크에 기능액의 액적을 토출하여 묘화하는 액적 토출 장치로서,
    상기 워크에 액적을 토출하는 액적 토출 헤드와,
    상기 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출을 받는 검사용 매체와,
    상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 덮는 검사용 커버와,
    상기 검사용 커버를 통해, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 촬상하는 촬상부를 갖는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 검사용 커버는, 투명한 재질이며, 광의 반사를 저감 또는 방지하는 커버인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검사용 커버를 지지하는 커버 지지부를 더 갖고,
    상기 검사용 커버, 상기 커버 지지부 및 상기 검사용 매체는, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 수용하는 밀폐 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 밀폐 공간은 복수로 구획되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검사용 매체에는 상기 액적 토출 헤드로부터 검사 토출된 액적이 침투하고,
    상기 검사용 커버는, 액적이 침투한 상기 검사용 매체 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촬상부를 지지하는 촬상 지지부를 더 갖고,
    상기 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출 시, 상기 검사용 커버는 상기 촬상 지지부에 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검사용 매체를 수평 방향으로 이동시키는 매체 이동 기구를 더 갖고,
    상기 액적 토출 헤드로부터의 검사 토출 시, 상기 검사용 커버는 상기 매체 이동 기구에 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  8. 액적 토출 헤드로부터 워크에 기능액의 액적을 토출하여 묘화하는 액적 토출 방법으로서,
    상기 액적 토출 헤드로부터 검사용 매체에 액적을 검사 토출하는 검사 토출 공정과,
    상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 덮도록 검사용 커버를 배치하는 커버 배치 공정과,
    상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을, 상기 검사용 커버를 통해 촬상부에 의해 촬상하는 촬상 공정과,
    상기 촬상부에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 상기 액적을 검사하는 검사 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 검사용 커버는, 투명한 재질이며, 광의 반사를 저감 또는 방지하는 커버인 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 커버 배치 공정에 있어서, 상기 검사용 커버, 상기 검사용 커버를 지지하는 커버 지지부 및 상기 검사용 매체에 의해, 상기 검사용 매체에 검사 토출된 액적을 수용하는 밀폐 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 밀폐 공간은 복수로 구획되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  12. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 검사 토출 공정에 있어서, 상기 액적 토출 헤드로부터 검사 토출된 액적은 상기 검사용 매체에 침투하고,
    상기 커버 배치 공정에 있어서, 상기 검사용 커버는, 액적이 침투한 상기 검사용 매체 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  13. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 검사 토출 공정에 있어서, 상기 검사용 커버는, 상기 촬상부를 지지하는 촬상 지지부에 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  14. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 검사 토출 공정에 있어서, 상기 검사용 커버는, 상기 검사용 매체를 수평 방향으로 이동시키는 매체 이동 기구에 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  15. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 검사 공정에 있어서의 검사 결과에 기초하여, 상기 액적 토출 헤드로부터의 액적의 토출량을 조정하는 토출량 조정 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  16. 제8항 또는 제9항에 기재된 액적 토출 방법을 액적 토출 장치에 의해 실행시키도록, 상기 액적 토출 장치의 컴퓨터 상에서 동작하는, 판독 가능한 컴퓨터 기억 매체에 저장된 프로그램.
  17. 제16항에 기재된 프로그램을 저장한 판독 가능한 컴퓨터 기억 매체.
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