JP4314880B2 - 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出を行う描画動作と、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置における機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の液滴吐出装置では、吐出されたインク滴（機能液滴）を撮像するＣＣＤカメラとＬＥＤにより構成されるストロボとを備えた撮像手段により機能液滴の飛行状態を撮像して撮像動作を行い、機能液滴の飛行曲がり、サテライト（吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子）や不吐出（ドット抜け）の有無等を検出して、機能液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２０６６２４号公報（図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の液滴吐出装置では、撮像動作を行う場合に、ノズル列の列方向に対して直交する方向からのみ機能液滴の飛行状態が撮像されるため、撮像方向と平行な方向に機能液滴の飛行曲がりが生じたときには、ＣＣＤカメラにはあたかも飛行曲がりが生じていないかのような画像が得られてしまうため、その検出を適切に行うことが困難であった。
また、撮像動作に要する時間を短縮するために、通常、複数のノズルからの機能液滴が同時に撮像されるが、この場合には、１つ１つのノズルから吐出される機能液滴の画像が小さくなることから、不吐出の有無を検出することは可能であるが、飛行曲がりの有無を適切に検出することが困難であった。
【０００５】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴の飛行曲がりを三次元的に観察することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法は、ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を側方から撮像する撮像手段を用いて、機能液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法において、撮像手段により、ノズル列の列方向に平行な方向および直交する方向から機能液滴の飛行状態を撮像すると共に、ノズル列の列方向に直交する方向から撮像する場合、ストロボからの照明光を透光板により減光して照明を行いながら、複数のノズル単位で撮像を行い、ノズル列の列方向に平行な方向から撮像する場合、ストロボからの照明光で直接照明を行いながら、単一のノズル単位で撮像を行うことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ノズル列に対して相互に異なる複数の撮像方向から機能液滴の飛行状態を撮像することで、機能液滴の飛行状態を三次元的に観察することができる。このため、ノズル列に対する複数の撮像方向のうちの一の撮像方向と平行な方向に機能液滴の飛行曲がりが生じたために、その撮像方向からは飛行曲がりが生じていないかのような画像が得られてしまう場合であっても、他の撮像方向からこれを適切に撮像することができる。
また、ノズル列に対して互いに略９０度の角度を為す２つの撮像方向から機能液滴の飛行状態を撮像することができる。このため、２つの撮像方向のいずれか一方の撮像方向と平行な方向へ機能液滴の飛行曲がりが生じた場合であっても、その飛行曲がりの方向は他方の撮像方向に対して略直交するものであるため、他方の撮像方向からこれを適切に撮像することができる。
なお、ノズル列に対して相互に異なる複数の撮像方向から撮像するためには、例えば、水平面内において撮像手段に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させながら、撮像手段により撮像すればよい。また、複数の撮像手段を、ノズル列に対する各撮像方向が相互に異なるように配設し、複数の撮像手段により撮像してもよい。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行う描画動作と、ノズル列の各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を側方から撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置において、機能液滴の飛行状態を撮像する撮像カメラ、飛行状態の機能液滴を照明するストロボ、およびストロボの前方に配設されストロボからの照明光を減光する透光板を有する撮像手段と、投光板をストロボの前方に臨む上昇位置と、ストロボの前方から退避する下降位置と、の間で昇降させる投光板昇降シリンダと、撮像動作時に、水平面内において撮像手段に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させる回転手段と、撮像手段、投光板昇降シリンダおよび回転手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、回転手段を制御して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させながら、撮像手段によりノズル列の列方向に平行な方向および直交する方向から機能液滴の飛行状態を撮像させると共に、ノズル列の列方向に直交する方向から撮像する場合、投光板を前記上昇位置に上昇させて照明を行いながら、複数のノズル単位で撮像を行い、ノズル列の列方向に平行な方向から撮像する場合、投光板を下降位置に下降させて照明を行いながら、単一のノズル単位で撮像を行うことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、制御手段により回転手段および撮像手段を制御して、ノズル列に対して互いに異なる複数の撮像方向から機能液滴の飛行状態を撮像することで、機能液滴の飛行状態を三次元的に観察することができる。このため、ノズル列に対する複数の撮像方向のうちの一の撮像方向と平行な方向に機能液滴の飛行曲がりが生じたために、その撮像方向からは飛行曲がりが生じていないかのような画像が得られてしまう場合であっても、他の撮像方向からこれを適切に撮像することができる。
また、ノズル列に対し互いに略９０度の角度を為す２つの撮像方向が形成される。このため、撮像手段により、ノズル列に対し互いに略９０度の角度を為す２つの撮像方向から機能液滴の飛行状態を撮像することができる。したがって、２つの撮像方向のいずれか一方の撮像方向と平行な方向へ機能液滴の飛行曲がりが生じた場合であっても、その飛行曲がりの方向は他方の撮像方向に対して略直交するものであるため、他方の撮像方向からこれを適切に撮像することができる。
【００２０】
この場合、撮像カメラとストロボとは、機能液滴吐出ヘッドを挟んで対向して配置されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、撮像手段は照射光を直接撮り込む。このため、機能液滴や背景の色彩に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像をより鮮明に撮り込むことができる。
【００２２】
この場合、撮像カメラは、電動ズームレンズ付きカメラであり、制御手段は、電動ズームレンズ付きカメラの撮像倍率を制御することが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、撮像カメラの焦点距離を変更することなく、撮り込まれる機能液滴の画像の大きさを拡大縮小させることができる。したがって、例えば、１つのノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を詳細に検出する場合には、電動ズームレンズ付きカメラの撮像倍率を上げることにより、撮像カメラと撮像対象となるノズル列との距離を変更することなく、ズームアップされた機能液滴の画像を取り込むことができる。
【００２４】
これらの場合、撮像カメラとストロボとを一体として、機能液滴吐出ヘッドに対し撮像方向に相対的に移動させる撮像系移動機構を、さらに備え、制御手段は、撮像カメラと撮像対象となるノズル列との距離が撮像カメラの焦点距離に合致するように、撮像系移動機構の移動を制御することが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、撮像系移動機構により、機能液滴吐出ヘッドのノズルと撮像カメラとの距離を、撮像カメラの焦点距離に合致するように調整することができ、鮮明な画像を得ることができる。また、撮像系移動機構を駆動して撮像カメラを移動しても、撮像カメラとストロボとの相対位置が変わることがないため、一定の機能液滴の画像が得られる。したがって、飛行曲がりが生じているか否かの判定を正確に行うことができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、機能液滴の吐出状態が適切に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー（ギャップ材）散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の液滴吐出装置を適用して構成した描画システムについて説明する。本実施形態の描画システムは、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００３２】
ここではまず、描画システムの説明に先立ち、有機ＥＬ装置の構造および製造工程について簡単に説明する。図２５は、有機ＥＬ装置の断面図を示した図である。同図に示すように、有機ＥＬ装置７０１は、基板７２１、回路素子部７２２、画素電極７２３、バンク部７２４、発光素子７２５、陰極７２６（対向電極）、および封止用基板７２７から成る有機ＥＬ素子７１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００３３】
同図に示すように、有機ＥＬ素子７１１の基板７２１上には、回路素子部７２２が形成され、回路素子部７２２上には、複数の画素電極７２３が整列している。そして、各画素電極７２３間には、バンク部７２４が格子状に形成されており、バンク部７２４により生じた凹部開口７３１に、発光素子７２５が形成されている。バンク部７２４および発光素子７２５の上部全面には、陰極７２６が形成され、陰極７２６の上には、封止用基板７２７が積層されている。
【００３４】
有機ＥＬ素子７１１の製造プロセスは、バンク部７２４を形成するバンク部形成工程と、発光素子７２５を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７２５を形成する発光素子形成工程と、陰極７２６を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７２７を陰極７２６上に積層して封止する封止工程とを備えている。すなわち、有機ＥＬ素子７１１は、予め回路素子部７２２および画素電極７２３が形成された基板７２１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７２４を形成した後、プラズマ処理、発光素子７２５および陰極７２６（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７２７を陰極７２６上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７１１は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７１１の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００３５】
また、各発光素子７２５は、正孔注入／輸送層７４１およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層（成膜部）７４２から構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７４１を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７４２を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
【００３６】
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７１１を製造した後、有機ＥＬ素子７１１の陰極７２６にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部７２２の配線を接続することにより製造される。
【００３７】
次に、描画システム１について説明する。この描画システム１は、有機ＥＬ素子７１１の発光素子７２５を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するものであり、機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて発光素子７２５を形成できるようになっている。具体的には、上記のバンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部７２４が形成された基板７２１に対して、発光機能材料を導入した相対的に機能液滴吐出ヘッドを走査させることにより、基板７２１の画素電極７２３の位置（画素領域）に対応して、発光素子７２５を形成するものである。
【００３８】
描画システム１は、２台の液滴吐出装置１１と、乾燥装置（図示省略）と、を備えている。２台の液滴吐出装置１１は同様の構成をしており、液滴吐出装置１１のうち、１台は、正孔注入／輸送層７４１を形成するための第１液滴吐出装置であり、もう１台は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の発光層７４２を形成するための第２液滴吐出装置である。上述したように、有機ＥＬ素子７１１は大気中の水分等を嫌うため、これらの各装置は、それぞれチャンバ装置１２内に収容されており、発光素子形成工程における大気の影響を排除できるようになっている。また、ワークＷも大気の影響を避けるため、ドライエアー雰囲気に密閉したワークボックス１３内に収容された状態で各装置に導入（搬入）されるようになっている。
【００３９】
図１ないし図３に示すように、チャンバ装置１２は、ドライエアーを連続的に導入すると共に排気することにより、チャンバ装置１２内を良好なドライエアー雰囲気に維持するものであり、各装置を収容する３台のチャンバ装置１２は、略同様の構成をしている。各チャンバ装置１２は、各装置を直接収容する主チャンバ２１と、ワークＷを主チャンバ２１内に導入（搬入および搬出）するための搬出入チャンバ２２と、主チャンバ２１のワーク導入エリアおよび搬出入チャンバ２２の内部間に渡した、ワークＷの搬送するための搬送部（図示省略）と、を備えている。搬出入チャンバ２２には、ワークボックス１３を着脱自在に装着可能な装着口（図示省略）が形成されていると共に、搬出入チャンバ２２内には、ワークボックス１３に収容されたワークＷを仮置きする載置テーブル２６が配設されている。
【００４０】
主チャンバ２１、搬出入チャンバ２２は、それぞれ独立して個別にエアー管理されており、主チャンバ２１内の雰囲気に極力変動が生じないようになっている。すなわち、ワークボックス１３を搬出入チャンバ２２の装着開口に装着して、ワークボックス１３内のワークＷを載置テーブルに載置し、搬出入チャンバ２２内の雰囲気を主チャンバ２１内の雰囲気と同じにパージした後、載置テーブル上のワークＷを主チャンバ２１のワーク導入エリアに搬入することにより、主チャンバ２１内の雰囲気を変動させずに（ワークボックス１３内の）ワークＷを主チャンバ２１内の各装置にセットできるようになっている。
【００４１】
ここで、導入されたワークＷに対する描画システム１の一連の作業プロセスについて説明する。まず、正孔注入／輸送層形成工程が行われ、ワークボックス１３に収容されたワークＷは、チャンバ装置１２内の第１液滴吐出装置にセットされる。ワークＷがセットされると、第１液滴吐出装置は、ワークＷに対して、正孔注入層材料を溶剤に溶かした機能液を吐出させ、ワークＷの画素領域に正孔注入層材料（機能液）を吐出（塗布）する。正孔注入層材料が塗布されたワークＷは、再びワークボックス１３に収容され、次に乾燥装置にセットされる。ここでは、ワークＷを所定時間、気流を伴う高温のドライエアーの雰囲気に曝して溶剤を気化（乾燥）させることにより、正孔注入層材料を析出させ、正孔注入／輸送層７４１を形成する。
【００４２】
正孔注入／輸送層７４１が形成されたワークＷは、ワークボックス１３を介して、第２液滴吐出装置にセットされ、発光素子形成工程が行われる。第２液滴吐出装置では、正孔注入層材料に代えて発光材料を溶剤に溶かした機能液が用いられ、第２液滴吐出装置にセットされたワークＷには、正孔注入／輸送層７４１の上に重ねて発光材料（機能液）が吐出（塗布）される。発光材料が塗布されたワークＷは、溶剤を気化させて発光層７４２を形成するため、正孔注入／輸送層形成工程と同様に乾燥装置へ搬送される。
【００４３】
なお、発光素子形成工程では、ワークＷに対して、Ｒ・Ｇ・Ｂに対応する機能液を１色分ずつ吐出させていき、１色分の機能液の塗布が終了する毎に乾燥を行うことによりＲ・Ｇ・Ｂの発光層７４２を１色ずつ形成する構成にしてもよいし、Ｒ・Ｇ・Ｂに対応する機能液を同時に吐出させることにより、３色分の発光層７４２を同時に形成する構成としてもよい。
【００４４】
次に、液滴吐出装置１１について説明する。この液滴吐出装置１１は、正孔注入層材料や発光材料等の機能液をワークＷに塗布するものであり、ワークＷに対して機能液の吐出処理を行うものである。図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１１は、機能液滴吐出ヘッド１０１を搭載したヘッドユニット９１有し、ワークＷに対して機能液を吐出するための吐出手段３１と、吐出手段３１（機能液滴吐出ヘッド１０１）のメンテナンスを行うメンテナンス手段３２と、各手段に液体（例えば、機能液や洗浄液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段３３と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアー（ドライエアー）を供給するエアー供給手段３４と、ワークＷを吸引固定するためのエアー吸引手段３７と、を備えている。
【００４５】
液滴吐出装置１１には、この他にも、ヘッドユニット９１の位置認識を行うヘッド認識カメラ３８や、ワークＷの位置認識を行うためのワーク認識カメラ３９、ワークＷに吐出した機能液滴の描画結果を観察するための描画観察カメラ４６、エアー吸引手段３７を駆動させるための吸引用スイッチ４０等の付帯装置が備えられている。また、液滴吐出装置１１には、ホスト・コンピュータ４５（制御手段）が接続されており、ホスト・コンピュータ４５により、液滴吐出装置１１全体の制御が行われている。
【００４６】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１１は、大小２つの機台４１、４２を備えており、エアー吸引手段３７を除く液滴吐出装置１１の主要部が、これら機台４１、４２上に配設されている。大型の機台４１の近傍には、エアー吸引手段３７が配設され、大型の機台４１の左側には、小型の機台４２が添設されている。大型の機台４１は、吐出手段３１およびメンテナンス手段３２を支持する石定盤５１と、石定盤５１を支持する支持台５２と、上記のチャンバ装置１２および支持台５２を支持する支持ベース５３と、支持ベース５３を支持する機台本体５４と、を備えている。
【００４７】
石定盤５１の下面には、複数（９個）の調節脚５５（アジャストボルト付支持脚）が取り付けられており、石定盤５１の平面度を調節できるようになっている。石定盤５１の左部上面は、平坦に削られて一段低くなっており、石定盤５１の低くなった部分には、メンテナンス手段３２の主要部が設置され、石定盤５１の高くなった部分には、吐出手段３１の主要部が設置されている（図２参照）。支持ベース５３は、石定盤５１および支持台５２の平面形状よりも一回り大きく形成された方形の支持板６１と、支持板６１を機台本体５４に支持させる複数の支持脚６２と、を有している。石定盤５１および支持台５２からはみ出した支持板６１の縁部は、チャンバ装置１２（の主チャンバ２１）を載せこむためのチャンバ支持部６３、すなわち主チャンバ２１の底板を兼ねており、石定盤５１上に配設された吐出手段３１およびメンテナンス手段３２をチャンバ装置１２で完全に囲うことができるようになっている。
【００４８】
機台本体５４は、キャビネット形式に構成されており、内部には収容室７２が形成されている。収容室７２には、大型の機台４１にエアーを供給するエアー供給手段３４の一部（図示省略）が収容されている。また、機台本体５４の下面には複数（９個）の支持脚７３が取り付けられている。
【００４９】
小型の機台４２は、開閉扉８２を有するキャビネット形式の機台本体８１を備えており、機台本体８１上には、収容ボックス２４が配設されている。収容ボックス２４内には、機能液滴吐出ヘッド１０１に機能液を供給するための液体供給回収手段３３の機能液供給系３７１（後述する）が収容されている。収容ボックス２４および機台本体８１には、それぞれ排気筒８３が設けられており、排気筒８３を介して、収容ボックス２４および機台本体８１内のエアーを排気するようになっている（排気処理設備に送る）。また、機台本体８１には、収容室８４が形成されており、収容室８４には、液体供給回収手段３３のタンク類と、小型の機台４２にエアーを供給するエアー供給手段３４の一部が収容されている。
【００５０】
なお、収容ボックス２４は、ドライエアーを導入するエアー導入筒８６と、収容ボックス２４内のエアーを排気するための排気筒８７と、を備えている。エアー導入筒８６は、収容ボックス２４の上方に、排気筒８７は、収容ボックス２４の下方に設けられており、ヘパフィルタを介して上方からドライエアーを導入すると共に下方から排気を行うことにより、収容ボックス２４内を上記した主チャンバ２１内の雰囲気と同様に良好なドライエアー雰囲気とすることができるようになっている。図示省略したが、エアー導入筒８６には、ヘパフィルタが配設されており、ヘパフィルタを介して上方からチャンバ内にドライエアーを導入する構成となっている。
【００５１】
次に、液滴吐出装置１１の各手段について説明する。図１１に示すように、吐出手段３１は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド１０１を搭載したヘッドユニット９１と、ヘッドユニット９１を支持し、ヘッドユニット９１の水平面における角度および高さを調整可能なヘッド調整機構９２と、ヘッド調整機構９２を介して、ヘッドユニット９１を支持するメインキャリッジ９３と、ヘッドユニット９１（機能液滴吐出ヘッド１０１）をワークＷに対して相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構９４（図１参照）と、を備えている。
【００５２】
図５ないし図７に示すように、ヘッドユニット９１は、３個の機能液滴吐出ヘッド１０１と、３個の機能液滴吐出ヘッド１０１を搭載するヘッドプレート１０２と、ヘッドプレート１０２を支持するヘッドホルダ１０３と、を備えている。３個の機能液滴吐出ヘッド１０１ｒ，１０１ｇ，１０１ｂは、上記した有機ＥＬ素子７１１のＲ・Ｇ・Ｂの発光層７４２を形成するための３種類の機能液に対応させたものであり、それぞれの機能液滴吐出ヘッド１０１ｒ，１０１ｇ，１０１ｂに、Ｒ・Ｇ・Ｂの発光層７４２を形成する機能液が１種類ずつ対応するようになっている。
【００５３】
図４示すように、機能液滴吐出ヘッド１０１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針１１２を有する機能液導入部１１１と、機能液導入部１１１に連なる２連のヘッド基板１１３と、機能液導入部１１１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体１１４と、を備えている。各接続針１１２は、配管アダプタ（図示省略）を介して、機能液供給系３７１の給液チューブ３８２（後述する）に接続されており、機能液滴吐出ヘッド１０１は、各接続針１１２から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド基板１１３には、配管アダプタに接続する給液チューブ３８２を支持するチューブ支持部１２１が形成されており、チューブ支持部１２１の上面に給液チューブ３８２を載せこむようになっている。ヘッド本体１１４は、２連のポンプ部１３１（ピエゾ圧電素子）と、ノズル面１３３を有するノズルプレート１３２と、で構成されている。ノズル面１３３の下面には、多数（１８０個）の吐出ノズル１３５からなるノズル列が２列形成されている。機能液滴吐出ヘッド１０１では、ポンプ部１３１の作用により吐出ノズル１３５から機能液を吐出するようになっている。
【００５４】
図７に示すように、ヘッドプレート１０２は、略方形に成形されたステンレス製の厚板であり、機能液滴吐出ヘッド１０１を位置決め固定するための３個の装着開口１４１が横並びに形成されている。そして、機能液滴吐出ヘッド１０１は、ヘッド本体１１４を下方に突出させると共に、チューブ支持部１２１をはみ出すように、ヘッドプレート１０２に着脱自在に固定されるようになっている。したがって、３個の機能液滴吐出ヘッド１０１ｒ，１０１ｇ，１０１ｂは、相互のノズル列１３４が平行になるようにヘッドプレート１０２（キャリッジ）に搭載されている。また、ヘッドプレート１０２には、ヘッドプレート１０２をヘッドホルダ１０３に固定するためのヘッド側ねじ穴１４２が４個形成されている。なお、機能液滴吐出ヘッド１０１の個数および配列は、上記したものに限られるものではなく、状況に応じて任意に設定可能である。
【００５５】
図５ないし図７に示すように、ヘッドホルダ１０３は、ヘッドプレート１０２を支持するホルダ本体１５１と、ホルダ本体１５１をヘッド調整機構９２に支持させるための支持プレート１５２と、ホルダ本体１５１を支持プレート１５２に支持させると共に、ヘッドプレート１０２の支持姿勢（あおり）を調整するためのあおり調整機構１５３と、を備えている。ホルダ本体１５１は、ヘッドプレート１０２を水平に支持する下ホルダプレート１６１と、下ホルダプレート１６１に対向配置され、支持プレート１５２が固定される上ホルダプレート１６２と、上ホルダプレート１６２および下ホルダプレート１６１を連結する４本の支柱部材１６３と、を有している。そして、４本の支柱部材１６３に、上下ホルダプレート１６２、１６１がねじ止めされている。
【００５６】
上下ホルダプレート１６２、１６１は、ヘッドプレート１０２と略同じ大きさに形成されており、ホルダ本体１５１から機能液滴吐出ヘッド１０１のチューブ支持部１２１がはみ出すようになっている。下ホルダプレート１６１には、ヘッドプレート１０２の平面形状に合わせて、凹部１７１が形成されており、凹部１７１にヘッドプレート１０２を遊嵌状態でセットするになっている。凹部１７１には、ヘッドプレート１０２に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３を下ホルダプレート１６１から突出させるための開口部１７６が形成されている。また、凹部１７１には、ヘッドプレート１０２の端に当接して、ヘッドプレート１０２を位置決めするための３個の当接ピン１７７が立設されていると共に、ヘッドプレート１０２に形成されたヘッド側ねじ穴１４２と対応するホルダ側ねじ穴１７８が４個形成されている。ヘッドプレート１０２は、下ホルダプレート１６１の３個の当接ピン１７７により位置決めされた後、ヘッド側ねじ穴１４２およびホルダ側ねじ穴１７８を４本のねじ（図示省略）によって、下側から着脱自在に固定するようになっている。
【００５７】
上ホルダプレート１６２の中心には、後述するあおり調整機構１５３の基準ボルト２０３を貫通させるための貫通口１８１が形成されている。貫通口１８１の下半部は、後述する基準ボルト２０３の座面と相補的形状を為すように、球面状に拡開形成されている。また、上ホルダプレート１６２の上面には、上ホルダプレート１６２の短辺方向に向かって、あおり調整機構１５３の第２調整ねじ２２６（後述する）と当接するＶ溝１８２が１箇所形成されている。ホルダ本体１５１の側面は、ヘッドホルダ１０３内に挿入する給液チューブ３８２の挿入部分を除き、ヘッドカバー１６４で覆われている。
【００５８】
支持プレート１５２は、上ホルダプレート１６２の上側に配設され、あおり調整機構１５３を介してホルダ本体１５１を支持している。支持プレート１５２の中心には、基準ボルト２０３の胴部２１１を貫通させるばか穴１９１が形成されている。また、支持プレート１５２には、ばか穴１９１を挟んで、２個の位置決めピン１９２が上面から突出している。図５に示すように、支持プレート１５２の上面からは、基準ボルト２０３の胴部２１１および２個の位置決めピン１９２が突出しており、これらによって、ヘッド調整機構９２に対して支持プレート１５２を位置決めできるようになっている。
【００５９】
また、支持プレート１５２の上面には、位置決めした支持プレート１５２をヘッド調整機構９２に取り付けるための４個のねじ穴１９３が形成されている。なお、基準ボルト２０３の胴部２１１は、ヘッドプレート１０２（ホルダ本体１５１）の重心を通るθ軸上に形成されており、４個のねじ穴１９３は、突出する基準ボルト２０３の胴部２１１に対してそれぞれ対称に形成されている。そして、支持プレート１５２を介してヘッドプレート１０２が、ヘッド調整機構９２に均一に支持されるようになっている。
【００６０】
あおり調整機構１５３は、ヘッドプレート１０２のあおりを調整可能に、ホルダ本体１５１を支持プレート１５２に支持させるものである。すなわち、あおり調整機構１５３により、ヘッドプレート１０２に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１（のノズル面）の平行度を適切に調整することができるようになっている。あおり調整機構１５３は、ヘッドプレート１０２（ヘッドユニット９１）の長辺方向における傾き（ピッチング）を調整する第１あおり調整機構２０１と、ヘッドプレート１０２の短辺方向における傾き（ローリング）を調整する第２あおり調整機構２０２と、あおりを調節するための基準となる基準ボルト２０３と、を有している。
【００６１】
基準ボルト２０３は、その胴部２１１が支持プレート１５２の中心に形成されたばか穴１９１に螺合することによって、座面が上ホルダプレート１６２と当接した状態で固定される。基準ボルト２０３の座面は、冠球形状に形成されており、球面状に形成された上ホルダプレート１６２の貫通口１８１の下半部に自在継手様に連結されている（すなわち、基準ボルト２０３の座面および貫通口１８１の側面で球面すり合わせが形成されている）。
【００６２】
第１あおり調整機構２０１は、下端が半球状に形成された第１調整ねじ２２１と、支持プレート１５２にホルダ本体１５１を固定させる第１ホルダ支持部材２２２と、を有している。第１調整ねじ２２１および第１ホルダ支持部材２２２は、ヘッドプレート１０２の長手方向における支持プレート１５２の中心を通る軸上に対向して配設されている。第１調整ねじ２２１は、支持プレート１５２を貫通し、その下端が上ホルダプレート１６２の上面に当接している。第１ホルダ支持部材２２２は、一端が上ホルダプレート１６２に固定され、他端が支持プレート１５２に固定されている。第１ホルダ支持部材２２２は、圧縮ばね等の弾性部材を内蔵しており、第１調整ねじ２２１の下端部が上ホルダプレート１６２に当接するように、ホルダ本体１５１を支持プレート１５２に弾力的に支持させている。
【００６３】
第１調整ねじ２２１をねじ込むと、第１調整ねじ２２１の下端部によって、上ホルダプレート１６２が下に押され、基準ボルト２０３の座面にガイドされながら、上ホルダプレート１６２の第１ホルダ支持部材２２２が固定されていない側の端が押下げられ、ヘッドプレート１０２が押下げられる。また、第１調整ねじ２２１を緩めると、第１ホルダ支持部材２２２の弾性力により、上ホルダプレート１６２が上向きに力を受け、基準ボルト２０３の座面にガイドされながら、ヘッドプレート１０２が押上げられる。すなわち、第１調整ねじ２２１を上下することにより、基準ボルト２０３の座面を基準に、ヘッドプレート１０２をその長辺方向に傾動させ、ヘッドプレート１０２の長辺方向におけるあおりを調整するようになっている。
【００６４】
第２あおり調整機構２０２は、下端が半球状に形成された第２調整ねじ２２６と、基準ボルト２０３を挟んで第２調整ねじ２２６に対向する第２ホルダ支持部材２２７と、を有しており、これらはヘッドプレート１０２の短辺方向に互いに対向して配設されている。第２調整ねじ２２６の下端部は、上ホルダプレート１６２に形成されたＶ溝１８２に当接し、第２調整ねじ２２６の長辺方向における位置決めがなされている。第２あおり調整機構２０２も、第１あおり調整機構２０１と同様の構成かつ機構を有しており、第２調整ねじ２２６を上下させてヘッドプレート１０２を傾動させることにより、ヘッドプレート１０２の短辺方向におけるあおりを調整できるようになっている。
【００６５】
なお、ヘッドホルダ１０３には、ヘッドプレート１０２が着脱自在に固定されており、ヘッドプレート１０２に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１の交換を行う場合には、ヘッドプレート１０２ごとヘッドホルダ１０３から取り外すようになっている。
【００６６】
ヘッド調整機構９２は、ヘッドホルダ１０３を支持し、ヘッドホルダ１０３を介してヘッドプレート１０２を回動（回転）させるヘッド回動機構２３１（回転手段）と、ヘッド回動機構２３１を支持し、ヘッド回動機構２３１（ヘッドホルダ１０３）を介して、ヘッドプレート１０２を昇降させるヘッド昇降機構２３２と、を備えている。図１１に示すように、ヘッド昇降機構２３２には、ヘッドユニット９１およびヘッド回動機構２３１が、吊設されている。
【００６７】
ヘッド回動機構２３１は、ヘッドプレート１０２（ヘッドユニット９１）を、θ軸を中心に回動させることにより、水平面内における機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル列１３４の向きを自在に変更させるものであり、後述するメンテナンス手段３２に対応させて、機能液滴吐出ヘッド１０１の向きを変更する場合や、ワークＷの種類に合わせて、吐出ノズル１３５のノズル間隔や機能液滴の塗布密度を調節する場合などに用いられる。図８ないし図１０に示すように、ヘッド回動機構２３１は、ヘッド支持フレーム２４１と、ヘッド支持フレーム２４１に回動自在に支持され、ヘッドホルダ１０３を吊下げるように支持する吊設部材２４２と、吊設部材２４２を介し、ヘッドホルダ１０３に搭載されたヘッドプレート１０２を回動させるためのヘッド回動モータ２４３と、ヘッド回動モータ２４３の動力を吊設部材２４２に伝達する動力伝達機構（ハーモニックドライブ）（図示省略）と、を備えている。
【００６８】
ヘッド支持フレーム２４１は、背面支持フレーム２５１と、背面支持フレーム２５１の上端から前方に延びる上フレーム２５５と、背面支持フレーム２５１の下端から前方に延びる上フレーム２５５に対向配置される下フレーム２５３と、背面支持フレーム２５１に固定され、上下両フレーム２５５，２５３の間に配設された一対のサイドフレーム２５７と、を有している。
【００６９】
背面支持フレーム２５１は、ヘッド昇降機構２３２に対する（ヘッド回動機構２３１の）固定部材となっている。背面支持フレーム２５１は、平面視略方形状であり、背面支持フレーム２５１の両側の中央には、背面支持フレーム２５１をヘッド昇降機構２３２に対して位置決めするための左右一対の位置決め凸部２５２（位置決めピン）が設けられている。そして、一対の位置決め凸部２５２を上下に挟んで、背面支持フレーム２５１をヘッド昇降機構２３２に固定するためのねじ穴が４個形成されている。上フレーム２５５には、上フレーム２５５を貫通して、動力伝達機構を収容するケーシング２５６が固定されている。また、上フレーム２５５には、後述のヘッドバランス機構３３１の引張りばね３３４を固定するための３個のヘッド側フック３３３が固定されている。下フレーム２５３には、ケーシング２５６に回動自在に支持された吊設部材２４２を下方に突出させるための開口部２５４が形成されている。
【００７０】
また、サイドフレーム２５７には、下方に向かい垂直に延在するアーム部材２６１を介して、ワークＷ（の上面）までの距離を検出する距離検出センサ２６２が固定されている。同図に示すように、アーム部材２６１は、サイドフレーム２５７に固定された断面「Ｌ」字状の固定部材２６３上（図１１参照）に配設された調整ねじ２６４により、上下方向にスライド自在に構成されている。そして、距離検出センサ２６２の検出部２６５をヘッドユニット９１の機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３と同じ高さに調整することにより、ノズル面１３３からワークＷまでの距離（ワークギャップ）を検出できるようになっている。
【００７１】
吊設部材２４２は、円柱状に形成されており、上フレーム２５５に固定されたケーシング２５６内にその中心がθ軸を通るように回動自在に軸支されている。吊設部材２４２は、下フレーム２５３の下側に突出しており、その下端には、ヘッドホルダ１０３の支持プレート１５２を固定する平面視円形のヘッド固定部２８１が固定されている。ヘッド固定部２８１には、支持プレート１５２から突出する基準ボルト２０３の胴部２１１および２個の位置決めピン１９２に対応して、３個の凹部（図示省略）が形成されており、ヘッド固定部２８１の各凹部に上記した支持プレート１５２から突出する基準ボルトの胴部２１１および位置決めピン１９２をそれぞれ係合させることにより、θ軸を中心に、支持プレート１５２（ヘッドユニット９１）を位置決めできるようになっている。また、ヘッド固定部２８１には、位置決めした支持プレート１５２のねじ穴１９３に対応して、４個のねじ穴（図示省略）が形成されており、これらのねじ穴に小ねじ（図示省略）を螺合させることにより、ヘッド固定部２８１に支持プレート１５２を固定できるようになっている。また、吊設部材２４２の上部には、動力伝達機構の駆動歯車（図示省略）と噛合する従動歯車（図示省略）が固定されている。
【００７２】
ヘッド回動モータ２４３（サーボモータ）は、ヘッドホルダ１０３の重心を通るθ軸を中心にヘッドホルダ１０３（ヘッドプレート１０２）を回動させるための駆動源となっている。ヘッド回動モータ２４３は、その出力軸がθ軸と一致するようにケーシング２５６に固定されている。また、図示省略したが、ヘッド回動モータ２４３の出力軸には、回動用ロータリエンコーダ（スリット円板とこれに臨むフォトインタラプタから成る）が固定されており、ヘッド回動モータ２４３の回転量（回転角度）に基づいて、吊設部材２４２の回動量を制御できるようになっている。動力伝達機構は、ヘッド回動モータ２４３の回転動力を減速して吊設部材２４２に伝達するためのものである。動力伝達機構には、ヘッド回動モータ２４３の出力軸に固定された歯車を有するハーモニックドライブ（図示省略）が組み込まれており、ハーモニックドライブの駆動歯車（図示省略）が吊設部材２４２の従動歯車（図示省略）に噛合して回転することにより、ヘッド回動モータ２４３の動力が減速して吊設部材２４２に伝達するようになっている。
【００７３】
本実施形態では、ヘッドユニット９１に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１の姿勢がＸ軸方向およびＹ軸方向に対して４５°となる位置を所定のヘッド基準位置として、ヘッドユニット９１が吊設部材２４２に取り付けられており、ヘッドプレート１０２を、この所定のヘッド基準位置である０°から±６０°の範囲で回動させるようになっている。吊設部材２４２の側面には、この範囲内で吊設部材２４２の回動を止めるための回動規制部材２７１が固定されていると共に、各サイドフレーム２５７には、上記の回動規制部材２７１に当接して、ヘッドユニット９１の基準位置から±６０°の位置で、吊設部材２４２の回動を停止させる回動止め２７２（ストッパ）が固定されている。したがって、ヘッド回動機構２３１は、ヘッドホルダ１０３（機能液滴吐出ヘッド１０１）を、ノズル列１３４の列方向とＹ軸方向とが−１５°から＋１０５°までの角度を為す範囲で回動させることができる。そして、上記の回動用ロータリエンコーダにより、ノズル列１３４の列方向とＹ軸方向とが為す角度を、その範囲内で自由に制御できるようになっている。
【００７４】
また、ヘッドプレート１０２（吊設部材２４２）を所定のヘッド基準位置から±６０°の範囲で回動させるために、ヘッド回動機構には、吊設部材２４２の正逆回動端位置を検出するための（一対の）回動端検出センサ２９１と回動のセンター位置（すなわちヘッド基準位置）を検出するセンター位置検出センサ２９２と、が配設されており、上記した回動用ロータリエンコーダと回動端検出センサ２９１およびセンター位置検出センサ２９２に基づいてヘッド回動モータ２４３を制御するようになっている。回動端検出センサ２９１およびセンター位置検出センサ２９２は、下フレーム２５３の上面に固定された３個のフォトセンサ２９３から構成されている。各フォトセンサ２９３は、透過型のフォトインタラプタで構成されている。
【００７５】
また、吊設部材２４２の側面には、下フレーム２５３に固定されたフォトセンサ２９３の高さに対応して、リング状の支持リング２９４が固定されている。そして、支持リング２９４には、フォトセンサ２９３の検出光を遮断するための遮光部材２９５が固定されている。遮光部材２９５は、支持リング２９４よりも一回り大きく、かつリング状の遮光材を、吊設部材２４２の回動範囲（すなわち１２０°）に対応させて（円弧状に）形成されている。支持リング２９４には、遮光部材２９５を固定するためのねじ穴（図示省略）が２個形成されている。そして、遮光部材２９５には、支持リング２９４のねじ穴に対応して、２個の長孔２９６が形成されており、支持リング２９４に対して遮光部材２９５の取付け位置を調整可能となっている。
【００７６】
回動端検出センサ２９１およびセンター位置検出センサ２９２を構成する３個のフォトセンサ２９３は、吊設部材２４２の回動に伴い移動する遮光部材２９５の軌跡に対応して、遮光部材２９５の移動範囲に均等に配設されている。そして、吊設部材２４２が回動すると、遮光部材２９５が各センサの検出光を遮光または透過するようになっており、回動端検出センサ２９１およびセンター位置検出センサ２９２は、３個のフォトセンサ２９３の検出結果の組合せから、ヘッド基準位置０°（センター）と、±６０°（両端位置）の３つの角度状態を検出できるようになっている。
【００７７】
ヘッド昇降機構２３２は、ヘッドホルダ１０３を支持するヘッド回動機構２３１を介して、ヘッドホルダ１０３（ヘッドプレート１０２）を昇降させるものであり、ワークＷと機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面とのギャップ調整を行う場合や、後述するメンテナンス手段３２の各ユニットに対応させて、機能液滴吐出ヘッド１０１（のノズル面１３３）を適切な所定の高さ位置に調節するためのものである。
【００７８】
図１１および図１２に示すように、ヘッド昇降機構２３２は、上記のメインキャリッジ９３に取り付けられており、メインキャリッジ９３の正面に突設されるヘッド回動機構２３１を支持する左右一対の支持ブロック３０１と、ヘッド昇降ボールねじ３０２と、ヘッド昇降ボールねじ３０２を正逆回転させるヘッド昇降モータ３０３（サーボモータ）と、ヘッド昇降ボールねじ３０２に螺合し、左右一対の支持ブロック３０１を上下方向にスライド自在に支持する昇降ブロック３０４と、支持ブロック３０１の移動を案内する左右一対のヘッド昇降ガイド３０５と、を有している。
【００７９】
そして、ヘッド昇降モータ３０３が正逆回転すると、昇降ブロック３０４を介して支持ブロック３０１が昇降し、ヘッドホルダ１０３（ヘッドプレート１０２に搭載した機能液滴吐出ヘッド１０１）が上下方向に移動するようになっている。各支持ブロック３０１には、ヘッド回動機構２３１の背面支持フレーム２５１の片側に形成された位置決め凸部２５２に係合する凹部３１１と、背面支持フレーム２５１に形成されたねじ穴（図示省略）に対応する２個のねじ穴３１２と、が形成されている。ヘッド昇降機構２３２は、断面略「コ」字状のメインキャリッジ９３に組み込まれており、ヘッド昇降ボールねじ３０２および一対のヘッド昇降ガイド３０５は、メインキャリッジ９３の正面に突設されている。
【００８０】
なお、ヘッドプレート１０２には、基準となる所定のヘッド高さ位置が決められており、ヘッド高さ位置を基準として、ヘッドプレート１０２の上限位置および下限位置が予め設定されている。そして、メインキャリッジ９３には、支持ブロック３０１の位置に基づいて、ヘッドプレート１０２の昇降限界を検出するための昇降位置検出センサ３２１が配設されている。昇降位置検出センサ３２１は、ヘッドプレート１０２のヘッド高さ位置を検出する基準位置検出センサ３２２と、ヘッドプレート１０２の上限位置を検出する上限検出センサ３２３と、ヘッドプレート１０２の下限位置を検出する下限検出センサ３２４と、を有している。また、ヘッド昇降モータ３０３の出力軸には、ヘッド昇降モータ３０３の回転量からヘッドプレート１０２の昇降量を検出する昇降用ロータリエンコーダ（図示省略）が固定されており、ヘッド昇降モータ３０３は、昇降位置検出センサ３２１および昇降用ロータリエンコーダに基づいて制御されるようになっている。
【００８１】
メインキャリッジ９３には、ヘッド回動機構２３１の他、ヘッドバランス機構３３１が取り付けられている。ヘッドバランス機構３３１は、ヘッド回動機構２３１を介してヘッドユニット９１に引上げ力を作用させることにより、停電時等装置の非常停止時に、ヘッドユニット９１が自身の重みで下がることを防止するためのものである。図１１および図１２に示すように、ヘッドバランス機構３３１は、メインキャリッジ９３に固定したキャリッジ側フック３３２に一端を固定され、他端をヘッド回動機構２３１に固定したヘッド側フック３３３に固定された３本の引張りばね３３４を有している。また、ヘッドバランス機構３３１により、ヘッド回動機構２３１およびヘッドユニット９１を上昇させるときのヘッド昇降モータ３０３にかかる負荷を軽減させることができるため、ヘッド昇降モータ３０３を比較的小型のもので構成することが可能となる。
【００８２】
Ｘ・Ｙ移動機構９４は、いわゆるＸ・Ｙロボットであり、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル３４１と、メインキャリッジ９３を介して、ヘッドユニット９１をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル３４２と、を有している。Ｘ・Ｙ移動機構９４は、上記した石定盤５１の高い部分に載置されており、ワークＷの平坦度を維持すると共に、ヘッドユニット９１を正確に移動させることができるようになっている。
【００８３】
図１および図２に示すように、Ｘ軸テーブル３４１は、石定盤５１のＸ軸方向に延在し、石定盤５１上に直接設置されている。そして、Ｘ軸テーブル３４１はＸ軸ボックス３４３内に収容されている。Ｘ軸テーブル３４１は、ワークＷをセットするためのセットテーブル３５１と、セットテーブル３５１を支持するθテーブル３５３と、θテーブル３５３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ３５４と、θテーブル３５３およびセットテーブル３５１を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダ３５４に併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸リニアモータ、Ｘ軸エアースライダ３５４、Ｘ軸リニアスケールは、Ｘ軸に対して平行に配設されている。なお、θテーブル３５３には、上記したヘッド認識カメラ３８が固定されており、セットテーブル３５１に対して、ヘッドユニット９１の位置を補正可能となっている。
【００８４】
セットテーブル３５１の中心部には、ワークＷをエアー吸引により吸着セットするための吸引溝３５２が形成されている。セットテーブル３５１には、上記したエアー吸引手段３７のエアー吸引チューブ（図示省略）が接続されている。そして、上記した吸引用スイッチ４０をＯＮにすると、エアー吸引手段３７が駆動してエアー吸引がなされ、セットされたワークＷの平坦度を維持できるようになっている。Ｘ軸テーブル３４１では、Ｘ軸リニアモータの駆動により、θテーブル３５３とワークＷを吸着セットしたセットテーブル３５１とが、Ｘ軸エアースライダ３５４を案内にしてＸ軸方向に移動する。
【００８５】
図１ないし図３に示すように、Ｙ軸テーブル３４２は、石定盤５１に立設されたスタンド付のＹ軸フレーム３４４に載置されており、Ｘ軸テーブル３４１を跨ぎ、Ｘ軸テーブル３４１に直交して延在している。Ｙ軸テーブル３４２は、ヘッドユニット９１を搭載したメインキャリッジ９３を正面に取り付ける取付けブロック３６１と、Ｙ軸フレーム３４４にスライド自在に支持され、取付けブロック３６１を支持するＹ軸エアースライダ３６２と、Ｙ軸エアースライダ３６２を介して、メインキャリッジ９３をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダ３６２に併設したＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。なお、取付けブロック３６１とＹ軸エアースライダ３６２とを一体に形成することも可能である。
【００８６】
なお、メインキャリッジ９３には、取付けブロック３６１への取付け姿勢を調整するための上下一対の調整ねじ３２７を有する姿勢調整機構３２６が設けられており、ヘッド昇降機構２３２のボールねじ３０２が垂直に支持されると共に、ヘッドユニット９１に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３が水平になるように、メインキャリッジ９３を取付けブロック３６１に固定できるようになっている（図１１および図１２参照）。
【００８７】
また、Ｙ軸フレーム３４４には、Ｙ軸エアースライダ３６２の他に、エアースライダ３６６がスライド自在に支持されており、エアースライダ３６６には、上記したワーク認識カメラ３９および描画観察カメラ４６が固定されている。そして、エアースライダ３６６とＹ軸エアースライダ３６２は、独立して移動可能に構成されており、Ｙ軸リニアモータの駆動により、ワーク認識カメラ３９および描画観察カメラ４６は、キャリッジとは独立にＹ軸方向へ移動するようになっている。なお、ワーク認識カメラ３９は、ワークＷの位置補正に用いられ、描画観察カメラ４６は、吐出処理されたワークＷに、機能液が適切に塗布されているか否かの観察にも用いられる。
【００８８】
ここで、吐出手段３１の一連の動作について簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、ワークＷにワーク認識カメラ３９を臨ませ、セットテーブル３５１にセットされたワークＷの位置補正を行うと共に、ヘッド認識カメラ３８およびヘッドユニット９１を移動させて、ヘッド認識カメラ３８にヘッドユニット９１を臨ませ、ヘッド認識カメラ３８により、ヘッドユニット９１の位置補正を行う。また、距離検出センサ２６２により機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３からワークＷまでの距離を測定し、ワークギャップが所定の描画高さとなるように、ヘッド昇降機構２３２によりヘッドユニット９１の高さ調整を行う。
【００８９】
次に、ヘッド回動機構２３１により、ヘッドユニット９１を回動させて、ノズル列１３４の列方向がＹ軸方向に対して平行になるように機能液滴吐出ヘッド１０１の向きを調整する。ただし、この機能液滴吐出ヘッド１０１の向きは、ワークＷに対して機能液の充分な塗布密度を確保する場合には、水平面内においてノズル列１３４の列方向がＹ軸方向に対して所定角度傾くように調整してもよい。
【００９０】
続いて、Ｘ・Ｙ移動機構９４（Ｘ軸テーブル３４１）が、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させる。ワークＷの往動と同期して、機能液滴吐出ヘッド１０１が選択的に駆動され、ワークＷに対する機能液の選択的な吐出動作が行われる。ワークＷが一往動すると、Ｘ・Ｙ移動機構９４（Ｙ軸テーブル３４２）は、ヘッドユニット９１を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、Ｘ・Ｙ移動機構９４により、ワークＷを復動させると共に、これと同期して機能液滴吐出ヘッド１０１の選択的な駆動を行う。ワークＷの一復動が終了すると、Ｘ・Ｙ移動機構９４により、ヘッドユニット９１を副走査させる。そして、ワークＷの主走査方向へ往復動と機能液滴吐出ヘッド１０１の駆動と、を繰り返すことにより吐出手段３１は、ワークＷに対する機能液の吐出処理を行っている。なお、当然のことながら、ヘッドユニット９１の描画高さは、ワークＷの厚みや種類などを考慮して、常にセットテーブル３５１の上面よりも高い位置に設定される。
【００９１】
次に、液体供給回収手段３３について説明する。液体供給回収手段３３は、ヘッドユニット９１（各機能液滴吐出ヘッド１０１）に機能液を供給する機能液供給系３７１と、メンテナンス手段３２の吸引ユニット４６２で吸引した機能液および吸引ユニット４６２に吐出された機能液を回収する機能液回収系３７３と、ワイピングユニット４６３に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系３７４と、で構成されている。
【００９２】
図２および図３に示すように、機能液供給系３７１は、機能液を貯留する機能液パック（図示省略）と、これを支持する機能液スタンド３８１と、機能液パックと各機能液滴吐出ヘッド１０１とを接続する給液チューブ３８２を有し、機能液パック内の機能液を各機能液滴吐出ヘッド１０１に供給している。機能液パックおよび機能液スタンド３８１は、上記した小型の機台４２に配設された収容ボックス２４内に収容されており、機能液パックの交換時に、大型の機台４１に搭載された各手段を収容するチャンバ装置１２内の雰囲気を破壊しないようになっている。
【００９３】
図示省略したが、機能液パックは、機能液を貯留し、アルミ蒸着フィルム等で構成した袋状のパック本体と、パック本体の一端に取り付けられ、パック本体内の機能液の供給口となる機能液供給口部材と、を備えている。なお、機能液パックは密閉されており、パック内の機能液が外部エアーの影響を受けることはない。また、機能液パックの他に、カートリッジ形式のものやタンク形式のものを用いることも可能である。
【００９４】
図１３に示すように、機能液スタンド３８１は、機能液パックを載置する載置部材３９１と、載置部材３９１を支持する昇降プレート３９２と、昇降プレート３９２を介して機能液パックを上下させる昇降機構３９３と、を備えている。機能液スタンド３８１は、３個の載置部材３９１を有しており、昇降プレート３９２には、３個の載置部材３９１が横並びに配設されている。そして、液滴吐出装置１１を発光素子の形成に用いる場合には、Ｒ・Ｇ・Ｂに対応する機能液を貯留する３種類の機能液パックを各載置部材３９１にそれぞれ載置するようになっている。また、昇降プレート３９２には、所定の基準位置が定められており、昇降機構３９３は、基準位置から所定の範囲内で昇降プレート３９２を昇降させるようになっている。
【００９５】
各載置部材３９１は、機能液パックを載置する載置プレート４０１と、載置プレート４０１を支持するプレート支持部材４０２と、を有している。プレート支持部材４０２は、載置プレート４０１の高さを調整可能なプレート昇降機構４０３を有しており、昇降プレート３９２が基準位置に位置するときに、ヘッドユニット９１に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１と機能液パックとの水頭差が予め規定された値となるように、各載置プレート４０１の高さを調整するようになっている。プレート昇降機構４０３は、載置プレート４０１を上下に移動させるラック・ピニオン４０６と、ピニオン（図示省略）に固定されたプレート高調整ねじ４０７と、を有しており、プレート高調整ねじ４０７を回転させると、ピニオンがラック４０８上を相対的に移動して、載置プレート４０１が上下に移動するようになっている。
【００９６】
昇降機構３９３は、ベース４１１に立設され、昇降プレート３９２を上下方向にスライド自在に支持している。昇降機構３９３は、昇降プレート３９２を上下方向に移動可能なスライド部材４１２と、スライド部材４１２の移動を案内する昇降ガイド４１３と、スライド部材４１２を上下に移動させるための昇降モータ４１４と、昇降モータ４１４の駆動により正逆回転する昇降ボールねじ（図示省略）と、昇降ボールねじを正逆回転させると、昇降ボールねじに螺合すると共に、スライド部材４１２を支持する昇降部材４１５と、を備えている。
【００９７】
スライド部材４１２は、「Ｌ」字状に折り曲げられており、昇降プレート３９２に固定する固定部４２１と、上下方向にスライド移動可能なスライド部４２２と、を有している。スライド部４２２には、遮光板を「Ｌ」字に折り曲げた小片４２３が固定されている。昇降ガイド４１３は、スライド部４２２と当接し、スライド部４２２の移動をガイドする。昇降部材４１５は、スライド部材４１２の固定部４２１に固定されている。昇降モータ４１４が駆動すると、スライド部材４１２が昇降ガイド４１３にガイドされながら昇降し、昇降プレート３９２を安定的に上下に移動させるようになっている。
【００９８】
上述したように、昇降機構３９３は、基準位置にある昇降プレート３９２を所定の範囲内で上下させるようになっており、昇降機構３９３に併設されたプレート位置検出センサ４３１に基づいて、昇降モータ４１４のパルス制御を行うことにより、所定の範囲内で昇降プレート３９２を上下させることができるようになっている。プレート位置検出センサ４３１は、昇降プレート３９２の上限位置および下限位置を検出するものであり、発光素子および受光素子を有するフォトセンサ（透過型のフォトインタラプタ）で構成されている。そして、スライド部材４１２に固定された小片４２３で発光素子の光を遮断させることにより、昇降プレート３９２の位置を検出できるようになっている。
【００９９】
プレート位置検出センサ４３１は、昇降プレート３９２の基準位置を検出するプレート基準検出センサ４３２、昇降プレート３９２の上限位置を検出するプレート上限センサ４３３、および昇降プレート３９２の下限位置を検出するプレート下限センサ４３４と、を有している。プレート基準検出センサ４３２は、昇降プレート３９２の基準位置おける小片４２３の位置に対応して配設されており、昇降プレート３９２が基準位置に達すると、小片４２３がプレート基準検出センサ４３２の受光素子と発光素子との間に位置するようになっている。これと同様に、プレート上限センサ４３３、およびプレート下限センサ４３４は、昇降プレート３９２の上限位置おける小片４２３の位置、および昇降プレート３９２の下限位置おける小片４２３の位置に対応させて、それぞれ配設されている。
【０１００】
機能液回収系３７３は、後述する吸引ユニット４６２のキャップ５０１を介して吸引した機能液および定期フラッシングでキャップ５０１に吐出された機能液を回収するためのものであり、機能液を貯留する再利用タンク４４３と、吸引ポンプ（図示省略）に接続され、吸引した機能液を再利用タンク４４３へ導く回収用チューブ（図示省略）と、を備えている。そして、キャップ５０１に排出された機能液は、吸引ポンプにより、再利用タンク４４３に導かれるようになっている。なお、本実施形態では、３個の再利用タンク４４３が設けられており、Ｒ、Ｇ、およびＢ色の機能液を個別に回収できるようになっている（図１参照）。
【０１０１】
洗浄液供給系３７４は、後述するワイピングユニット４６３のワイピングシート６４７に滴下する洗浄液を滴下ノズル６６５に供給するためのもので、洗浄液を貯留する洗浄液タンク４４４と、洗浄液タンク４４４と滴下ノズル６６５を接続する洗浄液供給チューブ４４６と、を有している。図１７に示すように、洗浄液タンク４４４は、エアー供給手段３４に接続されており、エアー供給手段３４から洗浄液タンク４４４に圧縮エアーを導入することにより、洗浄液タンク４４４から洗浄液が加圧送液されるようになっている。なお、８個の滴下ノズル６６５に接続された各洗浄液供給チューブ４４６は、洗浄液タンク４４４に接続する１本の洗浄液供給チューブ４４６を（７個の）２分岐継手４４７によって分岐していったものである。洗浄液供給チューブ４４６は、均等に分岐されており、分岐された各洗浄液供給チューブ４４６内における洗浄液の圧力損失は略均一となっているため、各滴下ノズル６６５に供給される洗浄液の液量をほぼ一定にすることが可能である。また、洗浄液には、比較的揮発性の高い機能液の溶剤が用いられており、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３に付着する機能液を効率的に除去できるようになっている。
【０１０２】
なお、図１に示したように、小型の機台４２の機台本体８１には、引き出し形式の防液パン３７５が収容されており、機能液回収系３７３の再利用タンク４４３、および洗浄液供給系３７４の洗浄液タンク４４４は、防液パン３７５上に設置されている。
【０１０３】
次に、エアー供給手段３４について説明する。エアー供給手段３４は、ドライエアーを圧縮した圧縮エアーを各部に供給するためものである。エアー供給手段３４は、大型の機台４１に載置された各手段に圧縮エアーを供給する第１エアー供給ユニット（図示省略）と、小型の機台４２に載置された収容ボックス２４のエアー導入口（図示省略）に接続され、収容ボックス２４に圧縮エアーを供給する第２エアー供給ユニット３６（図２参照）と、を備えている。図示省略したが、第１エアー供給ユニットおよび第２エアー供給ユニット３６には、ドライエアーを圧縮するエアーポンプ（コンプレッサー）と、エアーポンプからの圧縮エアーを供給先に応じて一定圧力に保つレギュレータと、エアーポンプと各部とを配管接続して、圧縮エアーを各部に供給するエアー供給チューブと、がそれぞれ備えられている。
【０１０４】
図１ないし図３に示すように、エアー吸引手段３７は、エアー吸引を行う真空ポンプ４５１と、真空ポンプ４５１と、セットテーブル３５１の吸引溝３５２と真空ポンプ４５１とを接続するためのエアー吸引チューブ（図示省略）と、を備えている。
【０１０５】
次に、メンテナンス手段３２について説明する。メンテナンス手段３２は、機能液滴吐出ヘッド１０１の保守を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド１０１から適切に機能液が吐出されているか否かの検査を行い、機能液滴吐出ヘッド１０１による機能液の吐出を安定させるためのものである。
【０１０６】
図１および図２に示すようにメンテナンス手段３２は、機能液滴吐出ヘッド１０１から予備吐出された機能液を受けるためのフラッシングユニット４６１と、機能液滴吐出ヘッド１０１の吸引を行う吸引ユニット４６２と、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット４６３と、機能液滴吐出ヘッド１０１から吐出される機能液の吐出状態を検査するための吐出検査ユニット４６４（撮像手段）と、機能液滴吐出ヘッド１０１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット４６５と、を備えており、これら各ユニットは、セットテーブル３５１の周囲に集約的に配設されている。
【０１０７】
吸引ユニット４６２、ワイピングユニット４６３、および重量測定ユニット４６５は、Ｙ軸方向に移動するヘッドユニット９１の移動軌跡（移動軸）上に配設されており、Ｙ軸テーブル３４２によるヘッドユニット９１の移動を利用して、ヘッドユニット９１に臨み、保守に供するようになっている。また、上記した石定盤５１の低い位置には、共通支持フレーム４６６および移動テーブル４６７が横並びに設置されており、共通支持フレーム４６６上には、吸引ユニット４６２および吐出検査ユニット４６４が、移動テーブル４６７上にはワイピングユニット４６３がそれぞれ支持されている。
【０１０８】
図２０および図２１に示すように、共通支持フレーム４６６は、平面視略長方形のベース部４７１と、ベース部４７１の端に立設したスタンド部４７２と、を有しており、吸引ユニット４６２はスタンド部４７２に配設され、吐出検査ユニット４６４はベース部４７１に配設されている。なお、共通支持フレーム４６６は、ベース部４７１の長手方向がＸ軸と平行になるように配設されている。
【０１０９】
図１６および図１７に示すように、移動テーブル４６７は、Ｘ軸と平行に配設されており、ワイピングユニット４６３を支持するＸ軸方向にスライド自在の移動スライダ４８１と、移動スライダ４８１を水平移動させる移動エアーシリンダ４８２と、移動スライダ４８１をスライド自在に支持すると共に移動スライダ４８１の移動をガイドする移動ガイド４８３と、を有している。移動エアーシリンダ４８２のピストンロッド４８６の先端には、断面「Ｌ」字状の固定片４８７が取り付けられており、移動エアーシリンダ４８２は、固定片４８７を介して移動スライダ４８１に固定されている。移動テーブル４６７は、上記したヘッドプレート１０２をヘッドホルダ１０３から取り外すときに用いられ、ヘッドユニット９１の移動軌跡上に位置するワイピングユニット４６３を、ヘッドユニット９１の移動軌跡上から逃がすようになっている。
【０１１０】
フラッシングユニット４６１は、フラッシングの機能液を受けるためのものである。フラッシングとは、機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出ノズル１３５から機能液を予備吐出（捨て打ち）することにより、吐出ノズル１３５のノズル詰まりを防止すると共に、吐出ノズル１３５に新鮮な機能液を導入するためのものである。フラッシングには、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングと、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止されるときに定期的に行われる定期フラッシングとがあり、フラッシングユニット４６１は、吐出前フラッシングの機能液を受けるものである。なお、詳細は後述するが、定期フラッシングの機能液は、吸引ユニット４６２で受けるようになっている。
【０１１１】
図１に示すように、フラッシングユニット４６１は、機能液を受ける一対のフラッシングボックス４９１と、一対のフラッシングボックス４９１をその両端部に固定したスライダ（図示省略）と、を備えている。各フラッシングボックス４９１には、機能液を吸収させる吸収材（図示省略）が敷設されている。また、各フラッシングボックス４９１の底面中央部には、機能液を排出するための排出口（図示省略）が形成されている。スライダ４９３は、Ｘ軸テーブル３４１のθテーブル３５３に固定されており、一対のフラッシングボックス４９１は、θテーブル３５３およびセットテーブル３５１を挟んでいる。
【０１１２】
すなわち、主走査におけるθテーブル３５３（ワークＷ）の移動に同期して、一対のフラッシングボックス４９１も、ヘッドユニット９１へ向かってＸ軸方向に移動していくので、ワークＷと共に、ヘッドユニット９１に臨む構成となっている。したがって、機能液滴吐出ヘッド１０１は、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に、順次フラッシングボックス４９１に臨んで、吐出ノズル１３５から機能液を順次予備吐出させることができるようになっている。
【０１１３】
吸引ユニット４６２は、機能液滴吐出ヘッド１０１を吸引することにより、機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出ノズル１３５から機能液を強制的に排出させるものであり、例えば、新たにヘッドユニット９１に機能液滴吐出ヘッド１０１を投入した場合のように機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド１０１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に吸引ユニット４６２は用いられる。また、吸引ユニット４６２は、定期フラッシング時や、吐出検査ユニット４６４による飛行観測時において、機能液を受ける機能液受けとしても用いられる。
【０１１４】
図１４および図１５に示すように、吸引ユニット４６２は、ヘッドユニット９１に搭載された機能液滴吐出ヘッド１０１に密着させる３個のキャップ５０１と、３個のキャップ５０１を支持するトレー状のキャップベース５０２と、キャップ５０１を介して機能液滴吐出ヘッド１０１の吸引を行う吸引ポンプ（図示省略）と、キャップベース５０２を支持するキャップスタンド５０３と、を備えている。また、図１に示すように、吸引ユニット４６２は、Ｙ軸方向を移動するヘッドユニット９１に臨むように、Ｙ軸方向に移動するヘッドユニット９１の移動軌跡上に配設されている。そして、ヘッドユニット９１が吸引ユニット４６２に臨んだときに、上記したヘッド昇降機構２３２を駆動してヘッドユニット９１を下降させることにより、機能液滴吐出ヘッド１０１をキャップ５０１に密着させることができるようになっている。
【０１１５】
各キャップ５０１は、キャップ本体５１１とキャップ本体５１１を支持するキャップホルダ５１２とで構成されている。キャップ本体５１１の上面には、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３を包含する凹部５２１が形成され、凹部５２１の周縁部には、ノズル面１３３に形成された吐出ノズル１３５を包含するようにシールパッキン５２２が取り付けられている。凹部５２１の底部には、小孔５２３が形成されている。この小孔５２３は、吸引用の接続チューブ（図示省略）を介して吸引ポンプに接続されるＬ字継手５２４と連通している。また、凹部５２１には、吸収材５２５が敷設されており、吸収材５２５は押え枠５２６によって押し付けられている。
【０１１６】
キャップホルダ５１２は、平面視略長方形であり、キャップホルダ５１２の長手方向に対し、その上面が僅かに傾斜した形状となっている。そして、キャップ本体５１１は、上方（キャップホルダ５１２）に付勢され、かつ僅かに上下動可能な状態でキャップホルダ５１２に保持されている。したがって、ヘッド昇降機構２３２を駆動して、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３をキャップ５０１に押し付けることにより、ノズル面１３３にならってシールパッキン５２２を密着させることができ、ノズル面１３３を確実に封止できるようになっている。
【０１１７】
キャップベース５０２には、ヘッドユニット９１の（３個の）機能液滴吐出ヘッド１０１の配置に対応させて、キャップ５０１を取り付けるための取付け開口（図示省略）が形成されている。そして、キャップ５０１の下部を取付け開口に挿入して、キャップベース５０２にキャップホルダ５１２をねじ止めすることにより、ヘッドユニット９１の機能液滴吐出ヘッド１０１の配置に対応させてキャップ５０１を固定できるようになっている。キャップスタンド５０３は、共通支持フレーム４６６のスタンド部４７２に立設されている。なお、キャップスタンド５０３には、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３の高さ位置を検出するノズル面検出センサ５０４が固定されている。
【０１１８】
上述したが、吸引ユニット４６２は、機能液滴吐出ヘッド１０１の吸引の他に、定期フラッシング時の機能液受けとして用いられている。この場合、ヘッドユニット９１は、ヘッド昇降機構２３２により、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３とキャップ５０１との間に間隙が生じる所定のフラッシング位置まで下降するようになっており、機能液滴吐出ヘッド１０１はこのフラッシング位置からキャップ５０１に対してフラッシングを行う。そこで、キャップホルダ５１２の上面部には、機能液を受けるための機能液受け５０５が形成されている。また、キャップベース５０２はトレー状に形成されており、キャップホルダ５１２の機能液受け５０５からはみ出した機能液が飛び散らないようになっている。さらに、キャップスタンド５０３には、キャップベース５０２からはみ出した機能液を受ける廃液パン５０６が、キャップベース５０２に臨んで配設されている（図２０および図２１参照）。
【０１１９】
ワイピングユニット４６３は、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３を、洗浄液を染み込ませたワイピングシート６４７で拭き取るものである。図１６および図１７に示すように、ワイピングユニット４６３は、上述した移動テーブル４６７上に配設され、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。ワイピングユニット４６３は、支持フレーム６４１と、ワイピングシート６４７を繰り出しながら巻き取っていく巻取りユニット６４２と、繰り出されたワイピングシート６４７でノズル面１３３を拭き取るための拭き取りユニット６４３と、を有している。
【０１２０】
支持フレーム６４１は、「Ｌ」字状に折り曲げられ、移動スライダ４８１に固定された一対の鉛直プレート６４４と、一対の鉛直プレート６４４の上部に掛け渡した水平プレート６４５と、を有している。一対の鉛直プレート６４４には、巻取りユニット６４２が両持ち支持されており、水平プレート６４５上には、拭き取りユニット６４３が配設されている。
【０１２１】
巻取りユニット６４２は、ロール状のワイピングシート６４７を装填し、ワイピングシート６４７を繰り出す上側の繰出しリール６５１と、繰り出されたワイピングシート６４７を巻き取る下側の巻取りリール６５２と、巻取りリール６５２を回転させると共に、巻取りリール６５２の回転を介して繰出しリール６５１を回転させる巻取りモータ６５３と、を備えている。繰出しリール６５１および巻取りリール６５２は、鉛直プレート６４４により、回転自在に支持されている。繰出しリール６５１には、トルクリミッタ６５５等の制動機構が組み込まれており、繰り出されたワイピングシート６４７に一定の張力を付与できるようになっている。巻取りリール６５２および巻取りモータ６５３との間には、タイミングベルト６５６が掛け渡されており、巻取りモータ６５３が回転することにより、タイミングベルト６５６を介して巻取りリール６５２が回転し、ワイピングシート６４７を繰り出すと共に、これを順次巻き取るようになっている。
【０１２２】
拭き取りユニット６４３は、水平プレート６４５上に固定された一対のサブスタンド６６１と、サブスタンド６６１に支持され、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３にワイピングシート６４７を当接させる拭き取りローラ６６２と、サブスタンド６６１に支持され、繰出しリール６５１から繰り出されたワイピングシート６４７を拭き取りローラ６６２に送るガイドローラ６６３および中間ローラ６６４と、繰り出されたワイピングシート６４７に洗浄液を滴下する複数（８個）の滴下ノズル６６５と、を備えている。なお、移動テーブル４６７の移動スライダ４８１には、一対の鉛直プレート６４４に挟まれて洗浄液パン６４６が固定されており、ワイピングユニット４６３からはみ出した洗浄液で装置内が汚れないようになっている。
【０１２３】
拭き取りローラ６６２は、一対のサブスタンド６６１に回転自在かつ両持ちで、水平に支持されている。そして、拭き取りローラ６６２は、ワイピングシート６４７を当接させる機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３がサブスタンド６６１に衝突しないように、サブスタンド６６１からその上端がはみ出すように支持されている。また、拭き取りローラ６６２は、ローラ高調整ねじ６６７を有するローラ高調整機構を介して、サブスタンド６６１に支持されており、ローラ高調整ねじ６６７により、拭き取りローラ６６２のローラ高さおよび平行度を微調整できるようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３の損傷を防止するため、拭き取りローラ６６２は、柔軟性と弾力性を有するゴム等で構成することが好ましい。
【０１２４】
中間ローラ６６４は、ワイピングシート６４７を挟んで対峙する上下２つのローラからなるグリップローラで構成されており、サブスタンド６６１に回転自在かつ両持ちで、水平に支持されている。中間ローラ６６４の下側のローラには、ローラの回転速度を検出する速度検出器６６８が固定されている。速度検出器６６８による検出結果に基づいてワイピングシート６４７の送り速度を検出できるようになっており、ワイピングシート６４７が所定の速度で送られるよう、巻取りモータ６５３は、速度検出器６６８の検出結果に基づいて制御されている。
【０１２５】
滴下ノズル６６５は、後述する液体供給回収手段３３の洗浄液タンク４４４に接続されており、ワイピングシート６４７に洗浄液を滴下するものである。滴下ノズルは、サブスタンド６６１に水平支持されたノズル支持部材６６９に支持されている。ノズル支持部材６６９は、ワイピングシート６４７の送り方向における、中間ローラ６６４と拭き取りローラ６６２との間に固定されている。そして、複数の滴下ノズル６６５は、ワイピングシート６４７の幅方向に対して均一に洗浄液を滴下できるように、ワイピングシート６４７の幅に合わせて横並びに等間隔で支持されている。
【０１２６】
図１７に示すように、ワイピングユニット４６３に装填されたワイピングシート６４７は、繰出しリール６５１から繰り出され、ガイドローラ６６３、中間ローラ６６４、拭き取りローラ６６２を周回して、巻取りリール６５２に巻き取られるようになっている。
【０１２７】
ここで、本実施形態の液滴吐出装置１１における一連のワイピング動作について説明する。まず、Ｘ・Ｙ移動機構９４のＹ軸テーブル３４２を駆動して、ヘッドユニット９１をワイピングユニット４６３に臨ませる。次に、滴下ノズル６６５からワイピングシート６４７に洗浄液を滴下させ、ワイピングシート６４７に洗浄液を含浸させる。洗浄液の滴下を続けながら、巻取りモータ６５３を駆動して、ワイピングシート６４７の洗浄液を含浸した部分を拭き取りローラ６６２に送っていく。さらに、洗浄液の滴下とワイピングシート６４７の送りを続けながら、上記したヘッド昇降機構２３２を駆動してヘッドユニット９１を下降させ、洗浄液を含浸したワイピングシート６４７を介して、拭き取りローラ６６２が機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３に適切に押し当てられた状態とする。そして、この状態のまま、再びヘッドユニット９１をＸ・Ｙ平面（ノズル面１３３に平行な面）内でＹ軸方向へ移動させていき、ワイピングシート６４７で機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３を拭き取っていく。そして、ワイピング動作が完了すると、洗浄液の滴下およびワイピングシート６４７の送りが停止される。
【０１２８】
重量測定ユニット４６５は、機能液滴吐出ヘッド１０１から吐出された機能液滴の重量を測定することにより、機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出不良を検出するためのものである。図１８および図１９に示すように、重量測定ユニット４６５は、機能液滴の重量を測定する電子天秤５９１と、電子天秤５９１を収容する略直方体の天秤収容ボックス５９２と、天秤収容ボックス５９２を支持する天秤スタンド５９３と、を備えている。
【０１２９】
電子天秤５９１は、機能液滴吐出ヘッド１０１から吐出された機能液滴を受ける受け皿６０１と、受け皿６０１を支持する支持部（図示省略）と、支持部を支持すると共に、受け皿６０１に吐出された機能液滴の重量を測定する測定部（図示省略）と、を有している。受け皿６０１は、平面視方形状であり、ヘッドユニット９１に搭載された３個の機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３が十分に収まるよう、大きめに形成されている。受け皿６０１の上面は、機能液を吸着するスポンジ状の吸着シートが敷設されており、吐出された機能液を確実に受け皿６０１上に捕捉できるようになっている。
【０１３０】
天秤収容ボックス５９２は、内部に電子天秤５９１を収容し、電子天秤５９１の測定結果に対する気流の影響を防止するためのものである。天秤収容ボックス５９２の上面６１１には、受け皿６０１の大きさに対応して、方形の開口部６１２が突出して形成されており、開口部６１２に受け皿６０１が位置するようになっている。図１９に示すように、天秤収容ボックス５９２は平面視長方形であり、天秤収容ボックス５９２には、開口部６１２を覆うと共に、天秤収容ボックス５９２の長手方向に対してスライド自在のカバー６１３が配設されている。そして、天秤収容ボックス５９２には、カバー６１３を移動させるカバー移動機構６１４が設けられており、機能液滴吐出ヘッド１０１から吐出された機能液滴を受け皿６０１に受けるときのみ、カバー６１３が移動して、受け皿６０１の上面が露出するようになっている。
【０１３１】
カバー移動機構６１４は、カバー６１３をスライド自在に支持するスライダ６２１と、スライダを移動させるためのエアーシリンダ６２２（復動シリンダ）と、天秤収容ボックス５９２の側面に固定され、スライダの移動を案内するスライダガイド（図示省略）と、を有している。スライダには、取付け片６２３が固定されており、取付け片６２３にエアーシリンダ６２２のピストンロッド６２４が固定されている。そして、エアーシリンダ６２２にエアーを供給すると、ピストンロッド６２４が往動することによりカバー６１３が開き、ピストンロッド６２４が復動することによりカバー６１３が閉じるようになっている。なお、エアーシリンダ６２２は、エアー供給手段３４からエアー供給を受けるようになっている。
【０１３２】
天秤スタンド５９３は、ベースプレート６３１と、ベースプレート６３１に立設した４本の支柱部材６３２と、を有しており、４本の支柱部材６３２上に電子天秤５９１を収容した天秤収容ボックス５９２が固定されている。ベースプレート６３１は、電子天秤５９１の受け皿６０１がヘッドユニット９１の移動軌跡上に位置するよう、上記した石定盤５１の高い位置に設置される。支柱部材６３２は、電子天秤５９１の高さおよび平行度を調節可能な調節脚となっている。
【０１３３】
重量測定ユニット４６５の一連の動作について説明する。受け皿６０１に機能液滴吐出ヘッド１０１が臨むよう、ヘッドユニット９１を重量測定ユニット４６５まで移動させた後、ヘッドユニット９１を所定の重量測定高さまで下降させる。このとき、電子天秤５９１のゼロ点調整を行う。そして、カバー移動機構６１４を駆動してカバー６１３を開き、機能液滴吐出ヘッド１０１から機能液を受け皿６０１に（数百ショット）吐出させる。機能液の吐出が終了すると、ヘッドユニット９１を上昇させると共に、カバー６１３を閉じ、受け皿６０１に吐出された機能液の重量を測定する。なお、機能液滴の重量測定方法は、任意に設定可能であり、機能液滴吐出ヘッド１０１単位で行うことも可能であるし、ノズル列毎に行うことも可能である。また、３個分の機能液滴吐出ヘッド１０１から吐出された機能液滴を同時に測定し、異常が検出されたときのみ各機能液滴吐出ヘッド１０１について測定を行うようにしてもよい。
【０１３４】
吐出検査ユニット４６４は、機能液滴吐出ヘッド１０１から実際に吐出された飛行中の機能液滴を撮像することにより、機能液滴吐出ヘッド１０１から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するものである。図２０および図２１に示すように、吐出検査ユニット４６４は、飛行中の機能液滴を側方から撮像する撮像ユニット５３１と、撮像する機能液滴に光を照射する照明ユニット５３２と、撮像ユニット５３１および照明ユニット５３２を一体として移動させるカメラ移動機構５３３（撮像系移動機構）と、を備えている。なお、上述したように、吐出検査のために吐出された機能液の機能液受けは吸引ユニット４６２が兼ねている。
【０１３５】
撮像ユニット５３１は、機能液滴を撮像するＣＣＤカメラ５４１（撮像カメラ）と、ＣＣＤカメラ５４１を支持するカメラスタンド５４２と、を備えている。ＣＣＤカメラ５４１は、その光軸Ｌ（撮像方向）がＸ軸方向と平行になるようにカメラスタンド５４２に支持されており、撮像用の対物レンズ５５１や、対物レンズにより結像した機能液滴の画像を電気信号に変換するＣＣＤ撮像素子５５２などを有している。なお、ＣＣＤカメラ５４１は、吐出検査のための機能液滴吐出ヘッド１０１の駆動と同期しており、飛行中の機能液滴を的確に撮像できるようになっている。カメラスタンド５４２には、ＣＣＤカメラ５４１（対物レンズ）の前後（Ｘ軸）方向の角度を微調整するためのカメラ角度調整機構５６１や、ＣＣＤカメラ５４１の高さを微調整するためのカメラ高さ調整機構５６２が組み込まれている。
【０１３６】
また、ＣＣＤカメラ５４１は、撮像倍率（視野）を変えるためのカメラズーム５５３を有しており、カメラズーム５５３用のズームモータ５５４を具備している。したがって、ＣＣＤカメラ５４１の焦点距離を変更することなく、撮り込まれる機能液滴の画像の大きさを拡大縮小させることができる。したがって、例えば、１つの吐出ノズル１３５から吐出された機能液滴の飛行状態を詳細に検出する場合には、ＣＣＤカメラ５４１の撮像倍率を上げることにより、ＣＣＤカメラ５４１と撮像対象となるノズル列１３４との距離を変更することなく、ズームアップされた機能液滴の画像を取り込むことができる（図２３参照）。
【０１３７】
照明ユニット５３２は、撮像の光源となるストロボ５８１と、ストロボ５８１から照射される照射光の光量を調節するための透光板５８２と、Ｘ軸方向に延在し、ストロボ５８１を支持するアーム部材５８３と、アーム部材５８３を固定する照明スタンド５８５と、を有している。ストロボ５８１の発光は、ホスト・コンピュータ４５により機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出駆動に同期して行われ、撮像する飛行中の機能液滴を照射する。なお、ストロボ５８１は、十分な光量を確保できると共に装置内への熱的影響が少ないＬＥＤアレイで構成することが好ましい。
【０１３８】
アーム部材５８３には、ストロボ５８１の前後（Ｘ軸）方向の角度および高さを調整するためのストロボ位置調整機構５８４が組み込まれており、ストロボ５８１の光軸（照射方向）がＣＣＤカメラ５４１の光軸Ｌとほぼ一致するように、ストロボ５８１の位置調整がなされる。実際の撮像では、ＣＣＤカメラ５４１の光軸Ｌに対し、ストロボ５８１の光軸を幾分ずらすように設定すると鮮明な画像が得られることから、適宜、モニタリングしながらストロボ位置調整機構５８４によりストロボ５８１の位置調整をするようにしている。
【０１３９】
照明スタンド５８５は、吸引ユニット４６２の廃液パン５０６とスタンド部４７２との間に水平に配設されたプレート部５８６と、カメラスタンド５４２の照明ユニット側の端に立設され、プレート部５８６を載置する照明スタンド脚５８７と、を有し、アーム部材５８３を、吸引ユニット４６２を挟んでＣＣＤカメラ５４１に対向してプレート部５８６上に固定している。すなわち、撮像時において、ＣＣＤカメラ５４１は、機能液滴吐出ヘッド１０１を挟んでストロボ５８１に対向する。したがって、ＣＣＤカメラ５４１はストロボ５８１の光を直接撮り込むため、機能液滴や背景の色に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像を鮮明に撮り込むことができる。
【０１４０】
また、カメラスタンド５４２および照明スタンド５８５により、ＣＣＤカメラ５４１とストロボ５８１とが連結されている。したがって、カメラ移動機構５３３により、ＣＣＤカメラ５４１およびストロボ５８１が一体となって移動する。（詳細は後述する）。
【０１４１】
透光板５８２は、アクリル板等の透光性を有する透明の板で構成されている。透光板５８２は、ストロボ５８１の照射光を減光するためのもので、ストロボ５８１のＣＣＤカメラ５４１側前方に配設されている。透光板５８２は、共通支持フレーム４６６のスタンド部４７２に固定された透光板昇降シリンダ５８９（エアーシリンダ）に支持されており、ＣＣＤカメラ５４１の撮像倍率に対応して、上下するようになっている。すなわち、撮像倍率が高いときには、ストロボ５８１から十分な光量を得られるよう透光板５８２を下げ、撮像倍率が低いときには、ストロボ５８１からの照射光を減光するために透光板５８２を上昇させるようになっている。
【０１４２】
カメラ移動機構５３３は、ＣＣＤカメラ５４１の焦点距離を調整するために、撮像ユニット５３１および照明ユニットを一体として移動させるものである。カメラ移動機構５３３は、上記した共通支持フレーム４６６のベース部４７１に固定されている。カメラ移動機構５３３は、ベース部４７１の長手方向（Ｘ軸）に平行に配設されており、カメラスタンド５４２をＸ軸方向にスライド自在に支持するカメラスライダ５７１と、カメラ用スライダ５７１を移動させるためのカメラ用ボールねじ（図示省略）と、カメラ用ボールねじに併設されたカメラ用リニアスケール（図示省略）と、カメラ用ボールねじを正逆回転させるカメラ移動モータ５７２と、を備えている。上述したように、カメラスタンド５４２および照明スタンド５８５により、ＣＣＤカメラ５４１とストロボ５８１とが連結されているため、カメラ移動モータ５７２が駆動すると、ボールねじが正逆回転して、カメラ用スライダ５７１を介してＣＣＤカメラ５４１およびストロボ５８１が一体となってＸ軸方向に移動する。したがって、カメラ移動機構５３３を駆動してＣＣＤカメラ５４１を移動しても、ＣＣＤカメラ５４１とストロボ５８１との相対位置が変わることがなく、一定の機能液滴の画像を得ることができる。
【０１４３】
ここで、図２２を参照して、本実施形態の液滴吐出装置１１における吐出検査ユニット４６４による吐出検査について詳細に説明する。まず、Ｘ・Ｙ移動機構９４のＹ軸テーブル３４２により、ヘッドユニット９１を吐出検査ユニット４６４（吸引ユニット４６２）に臨ませた後、ヘッド昇降機構２３２を駆動して、ヘッドユニット９１を所定の撮像高さまで下降させる。このとき、ホスト・コンピュータ４５により、ヘッド回動機構２３１を制御して、水平面内において吐出検査ユニット４６４に対し機能液滴吐出ヘッド１０１を回動させ、ノズル列１３４の列方向がＹ軸方向と平行になるようにする。これにより、ＣＣＤカメラ５４１の光軸Ｌ（Ｘ軸方向）、すなわち撮像方向がノズル列１３４の列方向（Ｙ軸方向）と直交する（同図（ａ）参照）。
【０１４４】
続いて、Ｙ軸テーブル３４２により、ヘッドユニット１０１をＹ軸方向に微小移動して撮像対象の吐出ノズル１３５がＣＣＤ５４１の視野内に入るようにすると共に、カメラ移動機構５３３により、ＣＣＤ５４１カメラ（およびストロボ５８１）をＸ軸方向に微小移動して撮像対象のノズル列１３４からＣＣＤ５４１までの距離がＣＣＤ５４１の焦点距離に合致するようにした後、ＣＣＤ５４１により機能液滴の撮像を行う。
【０１４５】
この撮像は、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル列１３４毎に行われると共に、ＣＣＤ５４１の視野単位で機能液滴吐出ヘッド１０１を移動させて行われる。すなわち、一方のノズル列１３４を連続する複数（図２３ではＡ〜Ｆの６つ）の吐出ノズル１３５からの機能液滴を同時に撮像すると、機能液滴吐出ヘッド１０１をＹ軸テーブル３４２により間欠的に送り、そのノズル列１３４の次の連続する６つの吐出ノズル１３５について撮像を行う。これを繰り返して、一方のノズル列１３４の全吐出ノズル１３５（１８０個の吐出ノズル１３５）について撮像が完了する。
【０１４６】
一方のノズル列１３４の全吐出ノズル１３５の撮像が完了すると、機能液滴吐出ヘッド１０１をＹ軸方向に移動して他方ノズル列１３４の撮像対象の吐出ノズル１３５がＣＣＤカメラ５４１の視野内に入るようにする共に、カメラ移動機構５３３により、ＣＣＤカメラ５４１をＸ軸方向にノズル列１３４間の距離だけ移動して他方のノズル列１３４とＣＣＤカメラ５４１との距離がＣＣＤカメラ５４１の焦点距離に合致するようにする。そして、他方のノズル列１３４についても同様に撮像が行われる。
【０１４７】
１個の機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出検査が終了すると、機能液滴吐出ヘッド１０１およびＣＣＤカメラ５４１を適宜移動させて、次の機能液滴吐出ヘッド１０１について吐出検査を行う。そして、これを機能液滴吐出ヘッド１０１の数、繰り返すことにより、ヘッドユニット９１の全機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出検査を行うことができるようになっている。このようにして、３個の機能液滴吐出ヘッドの全ノズル列１３４に対して、ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向からの撮像が完了する。
【０１４８】
ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向からの撮像が完了すると、ホスト・コンピュータ４５により、ヘッド回動機構２３１を制御して、水平面内において吐出検査ユニット４６４に対し機能液滴吐出ヘッド１０１を９０°回動させ、ノズル列１３４の列方向がＸ軸方向と平行になるようにする。これにより、ＣＣＤカメラ５４１の光軸Ｌ（Ｘ軸方向）、すなわち撮像方向がノズル列１３４の列方向（Ｘ軸方向）と平行になる（図２２（ｂ）参照）。そして、先程と同様に、Ｙ軸テーブル３４２およびカメラ移動機構５３３による微調整を行った後、ＣＣＤ５４１によりノズル列１３４毎に機能液滴の撮像を行う。
【０１４９】
この撮像は、複数の吐出ノズル１３５単位で行うと、機能液滴同士が重なり合って撮像されてしまうため、１個の吐出ノズル単位でＣＣＤカメラ５４１を移動させて行われる。すなわち、一方のノズル列１３４の１個の吐出ノズル１３５からの機能液滴を撮像した後、カメラ移動機構５３３によりＣＣＤカメラ５４１（およびストロボ５８１）をＸ軸方向に吐出ノズル１３５間の距離だけ移動し、次の吐出ノズル１３５とＣＣＤカメラ５４１との距離がＣＣＤカメラ５４１の焦点距離に合致するようにして、そのノズル列１３４の次の吐出ノズル１３５について撮像を行う。これを繰り返して、一方のノズル列１３４の全吐出ノズル１３５（１８０個の吐出ノズル１３５）について撮像が完了する。
【０１５０】
一方のノズル列１３４の全吐出ノズル１３５の撮像が完了すると、機能液滴吐出ヘッド１０１をＹ軸方向に移動して他方ノズル列１３４がＣＣＤカメラ５４１の視野内に入るようにする共に、カメラ移動機構５３３によりＣＣＤカメラ５４１をＸ軸方向に移動して、次の撮像対象の吐出ノズル１３５とＣＣＤカメラ５４１との距離がＣＣＤカメラ５４１の焦点距離に合致するようにする。そして、このノズル列１３４についても同様に撮像が行われる。
【０１５１】
１個の機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出検査が終了すると、機能液滴吐出ヘッド１０１およびＣＣＤカメラ５４１を適宜移動させて、次の機能液滴吐出ヘッド１０１について吐出検査を行う。そして、これを機能液滴吐出ヘッド１０１の数、繰り返すことにより、ヘッドユニット９１の全機能液滴吐出ヘッド１０１の吐出検査を行うことができるようになっている。このようにして、３個の機能液滴吐出ヘッドの全ノズル列１３４に対して、ノズル列１３４の列方向に平行な撮像方向からの撮像が完了する。なお、この場合、ズームモータ５５４を駆動し、ＣＣＤカメラ５４１の撮像倍率を上げることにより、１つの吐出ノズル１３５から吐出された機能液滴の飛行状態を詳細に検出することができる。
【０１５２】
以上のようにして、ノズル列１３４の列方向に対して平行な方向および直交する撮像方向から、すなわち、ノズル列に対して互いに９０度の角度を為す２つの撮像方向から機能液滴の飛行状態が撮像される。
なお、上記の実施形態では、２つの撮像方向を、ノズル列１３４の列方向に対して平行な方向および直交する方向としているが、ノズル列１３４の列方向に対して略４５度を為す方向および略１３５度を為す方向としてもよい。この場合、ノズル列１３４の列方向に対して平行な撮像方向から撮像する場合のように、同一のノズル列１３４を形成する複数の吐出ノズル１３５から吐出される機能液滴同士が重なり合って撮像されることがない。したがって、２つの撮像方向のいずれからも、ＣＣＤカメラ５４１の視野単位で、すなわち複数の吐出ノズル１３５単位で機能液滴の飛行状態を撮像することができ、撮像動作に要する時間を短縮することができる。なお、この場合は、撮像ユニット５３１までの距離が各吐出ノズル１３５毎に異なるものとなるため、被写体深度が深い撮像カメラを用いることが好ましい。
【０１５３】
また、上記の実施形態では、水平面内において吐出検査装置４６４に対し機能液滴吐出ヘッド１０１を回動させながら、ＣＣＤカメラ５４１により撮像することで、ノズル列１３４に対して相互に異なる２つの撮像方向から撮像しているが、水平面内において機能液滴吐出ヘッド１０１に対し吐出検査装置４６４を回動させながら、ＣＣＤカメラ５４１により撮像してもよい。さらに、２つのＣＣＤカメラ５４１を、ノズル列１３４に対する各撮像方向が相互に異なるように配設し、この２つのＣＣＤカメラにより撮像することにより、ノズル列１３４に対して相互に異なる２つの撮像方向から撮像するようにしてもよい。
【０１５４】
図２３は、ノズル列１３４の列方向に対して直交する方向および平行な方向からＣＣＤカメラ５４１により機能液滴の飛行状態を撮像した撮像画面を模式的に示したものである。同図に示すように、ＣＣＤカメラ５４１は、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズルプレート１３２と共に、飛行中の機能液滴６８１を側方から撮像する。また、ＣＣＤカメラ５４１は、ノズル列１３４の列方向に対して直交する撮像方向から撮像する場合は、多数の吐出ノズル１３５のうちの複数（図２３（ａ）ではＡ〜Ｆの６つ）の吐出ノズル１３５からの機能液滴１５１を同時に視野内に捕捉可能に構成されている。
【０１５５】
また、ＣＣＤカメラ５４１により、各吐出ノズル１３５から複数個（図示では４つ）の機能液滴が画像として得られる。具体的には、吐出検査ユニット４６４による一連の検査作業では、機能液滴吐出ヘッド１０１の１つの吐出ノズル１３５から機能液滴を１個（ワンショット）吐出させると共に、ＣＣＤカメラ５４１の視野から外れるまでにストロボ５８１を複数回（図示では４回）発光させることにより、複数個の機能液滴機能液滴が画像として得られる。すなわち、各吐出ノズル１３５からの機能液滴の飛行軌跡が図示では４点の画像で得られる。そして、撮像結果が判定手段（ホスト・コンピュータ４５）により画像認識されて、各吐出ノズル１３５の吐出が正常か否かの判定がなされる。
【０１５６】
ここで、ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向から、Ａ〜Ｆ番の吐出ノズル１３５の機能液滴を撮像した撮像画面（図２３（ａ）参照）、およびノズル列１３４の列方向に平行な撮像方向から、Ａ〜Ｆ番の吐出ノズル１３５の機能液滴を吐出ノズル１３５毎にズームアップして撮像した各撮像画面（図２３（ｂ）参照）に基づいて説明する。
【０１５７】
ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向から撮像した画像では、Ｄ番ノズルについては、軸線に対し機能液滴が外れて斜め方向に吐出されており、飛行曲がりが発生しているが、他のノズルについては飛行曲がりの発生が認められない。
【０１５８】
一方、ノズル列１３４の列方向に平行な撮像方向から撮像した画像では、ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向から撮像した場合には飛行曲がりが認められなかったＢ番ノズルに飛行曲がりの発生が認められる。すなわち、Ｂ番ノズルには、ノズル列１３４の列方向に直交する方向に機能液滴の飛行曲がりが生じたために、ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向からは飛行曲がりが生じていないかのような画像が得られたが、その飛行曲がりの方向は他方の撮像方向（ノズル列１３４の列方向に平行な方向）に対して直交するものであるため、他方の撮像方向からこれを適切に撮像することができる。
なお、Ｄ番ノズルについては、ノズル列１３４の列方向に直交する撮像方向から撮像した場合と同様に、ノズル列１３４の列方向に平行な撮像方向から撮像した画像でも飛行曲がりの発生が認められる。したがって、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して略４５°を為す角度に飛行曲がりが生じたことがわかる。
【０１５９】
このようにして、ノズル列１３４に対する２つの撮像方向のうちの一の撮像方向と平行な方向に機能液滴の飛行曲がりが生じたために、その撮像方向からは飛行曲がりが生じていないかのような画像が得られてしまう場合であっても、他の撮像方向からこれを適切に撮像することができる。なお、吐出検査ユニット４６４では、機能液滴の飛行状態を三次元的に観察することで、機能液滴の飛行曲がりの有無の他、サテライト（吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子）や不吐出（ドット抜け）の有無等を適切に検出している。
【０１６０】
ホスト・コンピュータ４５は、図２４に示すように、ＣＰＵを有して各手段の動作を制御するためのものであり、液滴吐出装置１１の制動動作を実行するための制御プログラムや制御データを記憶する記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、ホスト・コンピュータ４５は、上記した各手段・装置の要素と接続されて液滴吐出装置１１全体を制御している。
【０１６１】
例えば、ワークＷに対して描画動作を行う場合には、ホスト・コンピュータ４５は、複数の液滴吐出ヘッド１０１の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、Ｘ・Ｙ移動機構９４によりワークＷおよびヘッドユニット９１の相対的な移動動作を制御する。
【０１６２】
さらに、ホスト・コンピュータ４５は、撮像動作において、ヘッド回動機構２３１を制御して、撮像ユニット５３１に対し機能液滴吐出ヘッド１０１を相対的に回転させながら、撮像ユニット５３１によりノズル列１３４に対して互いに異なる複数の撮像方向から機能液滴の飛行状態を撮像するように制御している。また、カメラ移動機構５３３の移動や、ＣＣＤカメラ５４１の撮像倍率も制御している。
【０１６３】
ところで、上記した液滴吐出装置１１は、有機ＥＬ装置７０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置１１は、液晶表示装置、ＦＥＤ装置（電子放出装置）、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。また、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルタの製造に適用することができる。もちろん、ワイピングユニット４６３により、機能液滴吐出ヘッド１０１のノズル面１３３が汚れのない状態に管理されている。
【０１６４】
ここで、上記の液滴吐出装置１１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図２６は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。そして、画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【０１６５】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えており、着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【０１６６】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、まず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（indium tin oxide）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。また、対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【０１６７】
液滴吐出装置１１は、上記したカラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
【０１６８】
また、他の電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー（ギャップ材）散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【０１６９】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および液滴吐出装置によれば、ノズル列に対して相互に異なる複数の撮像方向から機能液滴の飛行状態を撮像することで、機能液滴の飛行状態を三次元的に観察することができる。したがって、機能液滴吐出ヘッドから吐出されら機能液滴の飛行曲がりの有無を適切に検出することができる。
【０１７０】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、機能液滴の吐出状態が適切に管理された液滴吐出装置により製造されるため、信頼性の高い電気光学装置や電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る描画システムの平面図である。
【図２】実施形態に係る描画システムの正面図である。
【図３】実施形態に係る描画システムの側面図である。
【図４】実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図である。
【図５】実施形態に係るヘッドユニットの斜視図である。
【図６】（ａ）実施形態に係るヘッドユニットの正面図、（ｂ）実施形態に係るヘッドユニットの側面図である。
【図７】実施形態に係るヘッドユニットの断面図である。
【図８】実施形態に係るヘッド回動機構の斜視図である。
【図９】実施形態に係るヘッド回動機構の正面図である。
【図１０】実施形態に係るヘッド回動機構の断面図である。
【図１１】実施形態に係るヘッド昇降機構、メインキャリッジおよびヘッドバランス機構の斜視図である。
【図１２】実施形態に係るヘッド昇降機構、メインキャリッジおよびヘッドバランス機構の正面図である。
【図１３】実施形態に係る機能液スタンドの斜視図である。
【図１４】実施形態に係る吸引ユニットの斜視図である。
【図１５】（ａ）実施形態に係る吸引ユニットの平面図、（ｂ）実施形態に係る吸引ユニットの正面図である。
【図１６】実施形態に係るワイピングユニットおよび移動テーブルの斜視図である。
【図１７】実施形態に係るワイピングユニットの側面図である。
【図１８】実施形態に係る重量測定ユニットの斜視図である。
【図１９】実施形態に係る重量測定ユニットの平面図である。
【図２０】実施形態に係る吐出検査ユニットおよび共通支持フレームの斜視図である。
【図２１】実施形態に係る吐出検査ユニットおよび共通支持フレームの正面図である。
【図２２】（ａ）実施形態に係るノズル列の列方向に直交する撮像方向からの機能液滴の撮像を示す模式図、（ｂ）実施形態に係るノズル列の列方向に平行な撮像方向からの機能液滴の撮像を示す模式図である。
【図２３】（ａ）実施形態に係るＣＣＤカメラによるノズル列の列方向に直交する撮像方向からの撮像画面を模式的に示した図、（ｂ）実施形態に係るＣＣＤカメラによるノズル列の列方向に平行な撮像方向からの撮像画面を模式的に示した図である。
【図２４】実施形態に係る液滴吐出装置の主要部のブロック図である。
【図２５】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【図２６】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【符号の説明】
１１ 液滴吐出装置 ３１ 吐出手段
３２ メンテナンス手段 ４５ ホーム・コンピュータ
９１ ヘッドユニット ９２ ヘッド調整機構
９４ Ｘ・Ｙ移動機構 １０１ 機能液滴吐出ヘッド
１０３ ヘッドホルダ １３４ ノズル列
１３５ 吐出ノズル ２３１ ヘッド回動機構
２３２ ヘッド昇降機構 ３４１ Ｘ軸テーブル
３４２ Ｙ軸テーブル ４６４ 吐出検査ユニット
５３１ 撮像ユニット ５３２ 照明ユニット
５３３ カメラ移動機構 ５４１ ＣＣＤカメラ
５５３ カメラズーム ５５４ ズームモータ
５８１ ストロボ ７０１ 有機ＥＬ装置
８０１ 液晶表示装置 Ｗ ワーク

Claims (7)

1. ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を側方から撮像する撮像手段を用いて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出状態を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法において、
   前記撮像手段により、前記ノズル列の列方向に平行な方向および直交する方向から前記機能液滴の飛行状態を撮像すると共に、
   前記ノズル列の列方向に直交する方向から撮像する場合、ストロボからの照明光を透光板により減光して照明を行いながら、複数の前記ノズル単位で撮像を行い、
   前記ノズル列の列方向に平行な方向から撮像する場合、前記ストロボからの照明光で直接照明を行いながら、単一の前記ノズル単位で撮像を行うことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
2. ワークに対し、ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行う描画動作と、前記ノズル列の各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を側方から撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置において、
   前記機能液滴の飛行状態を撮像する撮像カメラ、飛行状態の前記機能液滴を照明するストロボ、および前記ストロボの前方に配設され前記ストロボからの照明光を減光する透光板を有する撮像手段と、
   前記投光板を前記ストロボの前方に臨む上昇位置と、前記ストロボの前方から退避する下降位置と、の間で昇降させる投光板昇降シリンダと、
   撮像動作時に、水平面内において前記撮像手段に対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させる回転手段と、
   前記撮像手段、前記投光板昇降シリンダおよび前記回転手段を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記回転手段を制御して、前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させながら、前記撮像手段により前記ノズル列の列方向に平行な方向および直交する方向から機能液滴の飛行状態を撮像させると共に、
   前記ノズル列の列方向に直交する方向から撮像する場合、前記投光板を前記上昇位置に上昇させて照明を行いながら、複数の前記ノズル単位で撮像を行い、
   前記ノズル列の列方向に平行な方向から撮像する場合、前記投光板を前記下降位置に下降させて照明を行いながら、単一の前記ノズル単位で撮像を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
3. 前記撮像カメラと前記ストロボとは、前記機能液滴吐出ヘッドを挟んで対向して配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記撮像カメラは、電動ズームレンズ付きカメラであり、
   前記制御手段は、前記電動ズームレンズ付きカメラの撮像倍率を制御することを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記撮像カメラと前記ストロボとを一体として、前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記撮像方向に相対的に移動させる撮像系移動機構を、さらに備え、
   前記制御手段は、前記撮像カメラと撮像対象となる前記ノズル列との距離が前記撮像カメラの焦点距離に合致するように、前記撮像系移動機構の移動を制御することを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
6. 請求項２ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
7. 請求項２ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。

Images