JP4032942B2

JP4032942B2 - 吐出機能液の重量測定装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器

Info

Publication number: JP4032942B2
Application number: JP2002343557A
Authority: JP
Inventors: 享白崎
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-11-27
Filing date: 2002-11-27
Publication date: 2008-01-16
Anticipated expiration: 2022-11-27
Also published as: JP2004177262A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の重量を測定する吐出機能液の重量測定装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の重量測定装置は、機能液滴吐出ヘッドの全ノズルから吐出した機能液を受ける受け容器と、受け容器を介して吐出した機能液の重量を測定する電子天秤とを備えており、電子天秤に備える演算装置により、電子天秤により測定された機能液のヘッド当たりの重量や一滴の機能液（機能液滴）の平均重量を求めるようにしている。これにより、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良（ドット抜け）や、機能液滴の量、すなわち機能液滴吐出ヘッドの駆動電圧が適切か否かを判断できるようになっている。
また、受け容器には、オイル等の比重の軽い不揮発性溶剤が貯留されており、吐出した機能液の表面を覆って機能液の揮発を防止し、機能液の重量を精度良く測定できるようになっている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−３１７４５２号（第２頁、図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の重量測定装置では、受け容器に不揮発性溶剤が貯留されているため、溜まった機能液の廃棄作業等において、受け容器の取り扱いが煩雑になる（機能液等がこぼれる）問題があった。また、重量測定装置をオイルフリーのクリーンルーム等で使用する場合には、好ましくないものとなる。さらに、不揮発性溶剤と機能液とが混ざり合うため、機能液の再利用が不可能になる問題があった。
【０００５】
本発明は、受け容器の取扱い性や機能液の再利用性を損なうことなく、機能液の重量を精度良く測定することができる吐出機能液の重量測定装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の吐出機能液の重量測定装置は、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受けてその重量を測定する吐出機能液の重量測定装置において、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受ける受け容器と、受け容器を介して吐出した機能液の重量を測定する測定手段と、を備え、受け容器は、上端が開放されると共に、容器内部に吐出した機能液を吸収保持する機能液吸収材が充填されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、受け容器の内部に、吐出した機能液を吸収保持する機能液吸収材が充填されているため、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液は、機能液吸収材の表面に着弾（滴下）した瞬間にこれに吸収保持される。このため、機能液の飛散および気化のよる機能液の減量が抑制され、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量を精度良く測定することができる。また、受け容器が受けた機能液は、機能液吸収材に保持されるため、機能液の廃棄の際にこれがこぼれることがなく、且つ機能液吸収材から絞り出すことで機能液を再利用することができる。なお、測定手段として、電子天秤を用いることが好ましい。
【０００８】
この場合、機能液吸収材は、ポリビニルアルコールの連続多孔質体で構成されていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、機能液吸収材が高い液体保持力を有するため、機能液の飛散および気化による機能液の減量が、より一層抑制されると共に、その耐薬品性により各種の機能液に適用させることができる。
【００１０】
これらの場合、機能液吸収材は、その上面が受け容器の上開放端と略面一となるように充填されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面と、吐出した機能液を直接受ける機能液吸収材の表面と、を極力近づけることができるため、いわゆるサテライト（主吐出粒と共に吐出される霧状の機能液）や飛散（バウンドによる飛散）による機能液の減量を抑制することができる。
【００１２】
これらの場合、機能液吸収材の上面は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面とほぼ同一の平面形状を有していることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、吐出した機能液を受けるための最低限の表面積を確保した状態で、機能液吸収材の表面積（上面の）を極力小さくすることができ、機能液の気化を極力抑制することができる。
【００１４】
これらの場合、受け容器の上開放端を開閉自在に閉蓋する蓋部材と、蓋部材を開閉動作させる開閉機構と、を更に備えることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、貯留した機能液の乾燥を防止することができるため、機能液吸収材の吸収性能を損なうことがなく、また増粘や酸化等の機能液の変質を防止することができ、機能液の再利用性を損なうことがない。さらに、装置自体が管理された雰囲気中に設置される場合に、機能液の気化により雰囲気の汚染等を有効に防止することができる。
【００１６】
この場合、単一のキャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の受け容器が用意され、且つ複数の受け容器に対応して複数の蓋部材が用意されており、開閉機構は、各蓋部材を個別に開閉動作させることが、好ましい。
【００１７】
複数の蓋部材を連結し一体に閉蓋すると、部分的に蓋部材が浮き上がる可能性があるが、この構成によれば、複数の蓋部材が個別に閉蓋されるため、複数の受け容器を個々に気密に閉蓋することができる。
【００１８】
これらの場合、単一のキャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の受け容器が用意されており、複数の機能液滴吐出ヘッドの並びに対応して、複数の受け容器を載置する容器載置台と、容器載置台と測定手段との相互間で、受け容器を１ずつ移載する移載機構を、更に備えることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の受け容器を設けた場合に、移載機構により受け容器を１ずつ測定手段に移載してその重量を測定することができる。なお、機能液の重量測定は、機能液を吐出する前と吐出した後との２回（減算して重量を求めるため）行われるため、移載機構による移載動作は、１つの受け容器に対し２往復の動作となる。
【００２０】
本発明の液滴吐出装置は、請求項１ないし６のいずれかに記載の吐出機能液の重量測定装置と、機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルと、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、重量測定装置により、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良や駆動電圧を常に適正に管理することができるため、安定な機能液吐出と高い描画精度を維持することができる。
【００２２】
この場合、機能液滴吐出ヘッドの全ノズルからの機能液吸引を行う吸引ユニットと、機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニットと、重量測定装置、吸引ユニットおよびワイピングユニットを、機能液滴吐出ヘッドの移動方向に直交する方向に一体として移動させる移動機構とを、更に備えることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、移動機構により、重量測定装置、吸引ユニットおよびワイピングユニットを一体として移動させることができるため、メンテナンス位置に移動してきた機能液滴吐出ヘッドに対し、これらメンテナンス系の装置を効率良く臨ませることができる。例えば、重量測定によって、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良が検出された場合には、機能液滴吐出ヘッドを移動させることなく、機能液滴吐出ヘッドの機能液吸引およびワイピングを連続して行うことができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２５】
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００２６】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良や駆動電圧が常に適正に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。
【００２７】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置または上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００２８】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置の外観斜視図、図２は、本発明を適用した液滴吐出装置の正面図、図３は、本発明を適用した液滴吐出装置の右側面図である。詳細は後述するが、この液滴吐出装置は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、基板等のワーク上に機能液滴による成膜部を形成するものである。
【００３０】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、機能液を吐出するための吐出手段２と、吐出手段２のメンテナンスを行うメンテナンス手段３と、吐出手段２に機能液を供給すると共に不要となった機能液を回収する機能液供給回収手段４と、上記の各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５（加圧手段）と、を備えている。そして、これらの各手段は、図外の制御手段により、相互に関連付けられて制御される。
【００３１】
図１ないし図４に示すように、吐出手段２およびメンテナンス手段３のフラッシングユニット２５（後述する）は、アングル材を方形に組んで構成した架台１１の上部に固定した石定盤１２の上に配設されており、機能液供給回収手段４およびエアー供給手段５の大部分は、架台１１に添設されたキャビネット形式の機台１３に組み込まれている。機台１３には、大小２つの収容室１４、１５が形成されており、大きいほうの収容室１４には機能液供給回収手段４のタンク類が収容され、小さいほうの収容室１５にはエアー供給手段５の主要部が収容されている。
【００３２】
また、機台１３上には、機台１３の長手方向（すなわちＸ軸方向）にスライド自在な移動テーブル１８が設けられている。そして、移動テーブル１８上には広い面積を持つ可動ベース１９が固定されており、この可動ベース１９には、メンテナンス手段３の主体を為す吸引ユニット２１、ワイピングユニット２２、ドット抜け検出ユニット２３および吐出機能液の重量測定装置である重量測定ユニット２４（いずれも後述する）が載置されている。
【００３３】
メンテナンス手段３は、機能液滴吐出ヘッド３０を保守して、機能液滴吐出ヘッド３０が適切に機能液を吐出できるようにするものであり、後述するθテーブル４３上に配設した一対のフラッシングボックス２６，２６を有するフラッシングユニット２５を備えると共に、機台１３上（可動ベース１９上）に、吸引ユニット２１、ワイピングユニット２２およびドット抜け検出ユニット２３を備えている。さらに、機台１３上（可動ベース１９上）には、吸引ユニット２１およびワイピングユニット２２と並ぶように配設した重量測定ユニット２４を備えている。なお、図４中の符号２７は、予備のフラッシングボックスである。
【００３４】
一方、液滴吐出装置１の主体を為す吐出手段２は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド３０を複数有するヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を支持するメインキャリッジ３２と、基板であるワークＷを載置すると共にワークＷを機能液滴吐出ヘッド３０に対して相対的に走査させるＸ・Ｙ移動機構３３と、を備えている。
【００３５】
Ｘ・Ｙ移動機構３３は、図１ないし図４に示すように、上記した石定盤１２に固定され、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させると共にメインキャリッジ３２を介してヘッドユニット３１を副走査（Ｙ軸方向に移動）させるものであり、且つヘッドユニット３１を副走査の延長上に移動させて機台１３上のメンテナンス手段３に臨ませるものである。Ｘ・Ｙ移動機構３３は、石定盤１２の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて固定したＸ軸テーブル４１と、Ｘ軸テーブル４１を跨いで、石定盤１２の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたＹ軸テーブル５１と、を有している。
【００３６】
Ｘ軸テーブル４１は、ワークＷをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル４２と、吸着テーブル４２を支持するθテーブル４３と、θテーブル４３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ４４と、θテーブル４３を介して吸着テーブル４２上のワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ(図示省略)と、Ｘ軸エアースライダ４４に併設したＸ軸リニアスケール４５とで構成されている。機能液滴吐出ヘッド３０の主走査は、Ｘ軸リニアモータの駆動により、ワークＷを吸着した吸着テーブル４２およびθテーブル４３が、Ｘ軸エアースライダ４４を案内にしてＸ軸方向に往復移動することにより行われる。
【００３７】
Ｙ軸テーブル５１は、メインキャリッジ３２を吊設するブリッジプレート５２と、ブリッジプレート５２を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ５３，５３と、Ｙ軸スライダ５３に併設したＹ軸リニアスケール５４と、一対のＹ軸スライダ５３，５３を案内してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ５５と、Ｙ軸ボールねじ５５を正逆回転させるＹ軸モータ(図示省略)とを備えている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ５５を介してこれに螺合しているブリッジプレート５２が一対のＹ軸スライダ５３，５３を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート５２の移動に伴い、メインキャリッジ３２（ヘッドユニット３１）がＹ軸方向の往復移動を行い、機能液滴吐出ヘッド３０の副走査が行われる。
【００３８】
ここで、吐出手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、吸着テーブル４２にセットされたワークＷの位置補正およびヘッドユニット３１の位置補正が行われる。次に、ワークＷをＸ・Ｙ移動機構３３（Ｘ軸テーブル４１）により主走査（Ｘ軸）方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を駆動させてワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる（描画動作）。
【００３９】
そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット３１をＸ・Ｙ移動機構３３（Ｙ軸テーブル５１）により副走査（Ｙ軸）方向に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド３０の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット３１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット３１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット３１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４０】
メインキャリッジ３２は、上記のブリッジプレート５２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材６１と、吊設部材６１の下面に取り付けたθテーブル６２と、θテーブル６２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体６３と、で構成されている。キャリッジ本体６３には、ヘッドユニット３１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット３１を位置決め固定するようになっている。
【００４１】
図５および図６（ｂ）に示すように、ヘッドユニット３１は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３０と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を搭載するサブキャリッジ７１と、各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面（ノズル形成面）８８を下面に突出させてサブキャリッジ７１に取り付けるための、複数（１２個）のヘッド保持部材７２と、から構成されている。
【００４２】
１２個の機能液滴吐出ヘッド３０は、６個ずつに二分され、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けてサブキャリッジ７１に配設されている。二分された６個の各機能液滴吐出ヘッド３０は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル９５ａが連続（一部重複）するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド３０を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、機能液滴吐出ヘッド３０をあえて傾けてセットする必要はない。
【００４３】
図５に示すように、サブキャリッジ７１は、一部が切り欠かれた本体プレート７４と、本体プレート７４の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン７５，７５と、本体プレート７４の両長辺部分に取り付けたグリップ付きの左右一対の支持部材７６，７６と、を備えている。一対の基準ピン７５，７５は、画像認識を前提として、サブキャリッジ７１（ヘッドユニット３１）をＸ軸、Ｙ軸、およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものである。
【００４４】
各支持部材７６は、ヘッドユニット３１をメインキャリッジ３２に固定する際の固定部位となる。また、サブキャリッジ７１には、各機能液滴吐出ヘッド３０と中間タンク（図示省略）とを配管接続するための配管ジョイント７７が設けられている。配管ジョイント７７は、一端に各機能液滴吐出ヘッド３０（の接続針３３）と接続した配管アダプタ７８からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には上記の中間タンクからの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット７９を有している。すなわち、機能液は、上記の機能液供給回収手段４に備えるメインタンク（図示省略）から中間タンクに供給され、この中間タンクから分岐して各機能液滴吐出ヘッド３０に供給される。
【００４５】
図６に示すように、各機能液滴吐出ヘッド３０は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針８１，８１を有する機能液導入部８２と、機能液導入部８２に連なる２連のヘッド基板８３と、機能液導入部８２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体８４と、を備えている。
【００４６】
各接続針８１は、上記の配管アダプタ７８を介して機能液供給回収手段４の中間タンクに接続されており、機能液導入部８２は、各接続針８１から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド基板８３には、一対のコネクタ８６，８６が突設されており、このコネクタ８６に、中間基板を介して制御手段のヘッドドライバが接続されている（いずれも図示省略）。
【００４７】
ヘッド本体８４には、複数の圧電素子を収容したアクチュエータユニット９１と、これに連なる複数の圧力室９３を構成する流路ユニット９２とが組み込まれ、且つ流路ユニット９２の下面（図６では上面）には、多数（１８０個）のノズル（ノズル開口）９５ａから成るノズル列９５を形成したステンレス製のヘッドプレート９４が固着されている。すなわち、ヘッドプレート９４により、２列の吐出ノズル列９５，９５を形成した機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面８８が構成されている。
【００４８】
次に、メンテナンス手段の各構成ユニットについて説明する。上述したように、メンテナンス手段３は、θテーブル４３上のフラッシングユニット２５と、移動テーブル（可動ベース１９上）１８上の吸引ユニット２１、ワイピングユニット２２、ドット抜け検出ユニット２３および重量測定ユニット２４とを備えている。図１および図４に示すように、フラッシングユニット２５に対し、ヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド３０）３１は、その主走査時にこれに臨む。一方、吸引ユニット２１、ワイピングユニット２２、ドット抜け検出ユニット２３および重量測定ユニット２４に対し、ヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド３０）３１は、副走査範囲を越えて機台１３上に移動した状態で、移動テーブル１８によりこれらユニットを適宜、Ｘ軸方向に移動させることにより、これに臨む。
【００４９】
吸引ユニット２１は、機能液滴吐出ヘッド３０から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド３０の全ノズルからの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。吸引ユニット２１には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３０に対応する１２個のキャップ１０２を組み込んだキャップユニット１０１が、昇降自在に設けられている。
【００５０】
ヘッドユニット３１（の機能液滴吐出ヘッド３０）に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド３０内で増粘した機能液を除去する場合には、各キャップ１０２を各機能液滴吐出ヘッド３０に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、装置の非か同時には、各キャップ１０２を各機能液滴吐出ヘッド３０に密着させて、機能液滴吐出ヘッド３０の保全（機能液の乾燥防止等）を行う。さらに、ワーク交換などの機能液の吐出を休止するときには、各キャップ１０２を各機能液滴吐出ヘッド３０から僅かに離間させておいて、フラッシング（予備吐出）を行うようにしている。
【００５１】
ワイピングユニット２２は、機能液滴吐出ヘッド３０の吸引（クリーニング）等により、機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面８８を拭き取るものであり、巻取りユニット１０４と拭取りユニット１０５とで構成されている。巻取りユニット１０４から繰り出されたワイピングシート（図示省略）は、拭取りユニット１０５に導かれて各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面８８を拭き取り、これを周回するようにして巻取りユニット１０４に巻き取られる。すなわち、ワイピングユニット２２は、ワイピングシートを送りながら、機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面８８を拭き取るようになっている。
【００５２】
フラッシングユニット２５は、（ワークＷに対する）液滴吐出時に、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３０のフラッシング動作（予備吐出）により順に吐出される機能液を受けるためのものである。フラッシングユニット２５は、Ｘ軸テーブル４１の吸着テーブル４２を挟んで、θテーブル４３に固定された１対のフラッシングボックス２６，２６（図４参照）を備えており、描画動作において、相対的に移動してゆくフラッシングボックス２６に対し、その直上部に臨んだ機能液吐出ヘッド３０から順次フラッシング動作を行う。
【００５３】
ドット抜け検出ユニット２３は、機能液滴吐出ヘッド３０の全ノズルから機能液敵が確実に吐出されているか否か、すなわち各機能液滴吐出ヘッド３０にノズル詰まり等が生じているか否かを検出するものである。ドット抜け検出ユニット２３は、６個ずつの二分した機能液滴吐出ヘッド（群）３０に対応して、一対の検出ユニット１０７，１０７を有している。一対の検出ユニット１０７，１０７は、相互にＹ軸方向に位置ずれして配設されており、各検出ユニット１０７は発光素子（レーザ）１０８ａと受光素子１０８ｂとを対向させ、その光路を吐出した機能液的が遮断するか否かで、ドット抜け（吐出不良）を検出するようになっている。
【００５４】
重量測定ユニット２４は、機能液滴の吐出量（重量）を機能液滴吐出ヘッド３０単位で測定し、機能液滴吐出ヘッド３０における駆動電圧の適正化に資するものであり、且つ付随的に、機能液滴吐出ヘッド３０の吐出不良（ドット抜け）を検出するものである。図７ないし図９（図１ないし図４に対し前後を反転して表している）に示すように、重量測定ユニット２４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド３０の機能液を受ける１２個の受け容器１１１と、これら受け容器１１１を載置した容器載置台１１２と、各受け容器１１１を介して機能液の重量を測定する電子天秤１１３と、各受け容器１１１を容器載置台１１２および電子天秤１１３との相互間で移載する移載機構１１４と、容器載置台１１２上の各受け容器１１１に対しその蓋部材１１５を搬送して閉蓋する蓋開閉機構１１６と、を備えている。
【００５５】
容器載置台１１２は上面が平坦なプレートで構成され、その上面には、ヘッドユニット３１における機能液滴吐出ヘッド３０の並びに倣って、１２個の受け容器１１１が載置されている。また、容器載置台１１２には、光路が受け容器１１１の直上部を横断するように、４組の透過型センサ１１８が設けられており、各受け容器１１１上の蓋部材１１５の有無を検出できるようになっている。
【００５６】
電子天秤１１３は、測定台１２１を上面中央に没入するように設けた箱状の天秤本体１２２と、天秤本体１２２の脇に配設したディスプレイ１２３と、測定台１２１を上側から覆う覆装機構１２４とを有している。覆装機構１２４は、測定台１２１の没入部を閉蓋するように設けた透明な覆装プレート１２６と、覆装プレート１２６を開閉移動させる覆装シリンダ１２７とから成り、測定台１２１上に受け容器１１１が移載されるとこれを覆って、重量測定の際の気流の影響を廃除できるようになっている。
【００５７】
移載機構１１４は、受け容器１１１を把持するチャック部１３１と、チャック部１３１を昇降（Ｚ軸移動）させる昇降テーブル１３２と、昇降テーブル１３２を介してチャック部１３１をＸ軸方向に移動させるＸ動テーブル１３３と、このＸ動テーブル１３３に直交すると共に容器載置台１１２をＹ軸方向に移動させるＹ動テーブル１３４とを有している。この場合、各テーブル１３２，１３３，１３４はモータで駆動され、チャック部１３１はシリンダ（空圧シリンダ）で駆動される。
【００５８】
そして移載動作では、Ｙ動テーブル１３４を駆動して、所望の受け容器１１１をチャッキング位置に移動させた後、Ｘ動テーブル１３３を駆動してチャック部１３１を受け容器１１１の直上部に移動させ、さらに昇降テーブル１３２によりチャック部１３１を下降させて受け容器１１１を把持する。チャック部１３１が受け容器１１１を把持すると、これをいったん上昇させた後、測定台１２１の直上部まで移動させる。ここで再度、チャック部１３１が下降し、受け容器１１１を測定台１２１上に載せ、その把持状態を解いて上昇する。また、電子天秤１１３から容器載置台１１２への受け容器１１１の移載は、逆の手順となる。
【００５９】
一方、蓋開閉機構１１６は、ホーム位置のある容器載置台１１２と横並びになるように配設されており、容器載置台１１２より幾分低い蓋載置台１４１と、蓋載置台１４１上の１２個の蓋部材１１５をこの蓋載置台１４１と容器載置台１１２との相互間で移載する蓋搬送部１４２とで構成されている。蓋載置台１４１上には、容器載置台１１２上の受け容器１１１の並びに倣って、１２個の蓋部材１１５が載置されている。
【００６０】
蓋搬送部１４２は、１２個の蓋部材１１５を個々に吸着保持する吸着ユニット１４４と、吸着ユニット１４４をＸ軸方向に進退させる進退動テーブル１４５と、進退動テーブル１４５を介して吸着ユニット１４４を上下動させる上下動テーブル１４６とで構成されている。この場合、各テーブル１４５，１４６は、シリンダ（空圧シリンダ）で駆動される。
【００６１】
閉蓋動作では、上下動テーブル１４６を駆動し、ホーム位置にある吸着ユニット１４４を下動させて、蓋載置台１４１上に載置されている１２個の蓋部材１１５を吸着する。この状態で、吸着ユニット１４４を上昇させた後、進退動テーブル１４５を駆動し、吸着ユニット１４４を容器載置台１１２の直上部まで移動させる。ここで再度、上下動テーブル１４６を駆動して、１２個の蓋部材１１５を１２個の受け容器１１１に載せるようにしてこれを閉蓋し、吸着を解いて蓋部材１１５を置き去るようにして吸着ユニット１４４を上昇させる。また、受け容器１１１を開放すべく１２個の蓋部材１１５を取り去る場合には、上記と逆の手順で蓋搬送部１４２を駆動させ、最終的に１２個の蓋部材１１５を蓋載置台１４１上に載置する。
【００６２】
一方、図１０に示すように、受け容器１１１は、ステンレス等で箱状に形成された蓋無しの耐食性容器である容器本体１５１と、容器本体１５１の内部に充填した機能液吸収材１５２とで構成されていている。機能液吸収材１５２は、耐食性（耐薬品性）および含浸性（吸収保持性）を考慮して、ポリビニルアルコールの連続多孔質体で構成されている。機能液吸収材１５２の表面は、機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面（ヘッドプレート９４）８８より一回り大きいものとなっており、かつ容器本体１５１の上端と面一になるように充填されている。そして、機能液吸収材１５２の表面には、２ｍｍの間隙を存して機能液滴吐出ヘッド３０が対峙するように、容器載置台１１２上にセットされている。なお、機能液の気化を極力抑制することを考慮した場合、機能液吸収材１５２の表面は、機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面８８と略同一の大きさとする（受け容器１１１も小型化する）ことが、好ましい。
【００６３】
図１１に示すように、蓋部材１１５は、ステンレス等で方形面取り形状に形成され容器本体１５１の上端に載る（閉蓋する）蓋本体１５５と、蓋本体１５５の四辺にそれぞれ下向き突出させた４つの耳部１５６とで、一体に形成されている。蓋本体（の裏面）１５５には特にシール材は設けられていないが、蓋本体１５５は厚手に構成され、その自重により容器本体１５１を気密に閉蓋する。また、特に図示しないが、各耳部１５６の内側は傾斜面となっており、閉蓋時に容器本体１５１に対し、自動的に位置決めが為されるようになっている。
【００６４】
ここで、重量測定ユニット２４による機能液の重量測定方法について、順を追って説明する。この重量測定では、先ず目的とする重量測定の前に、受け容器（空あるいは前回までの機能液が貯留されている）１１１の重量測定が為される。予め、容器載置台１１２上の１２個の受け容器１１１には、それぞれ蓋部材１１５が載っており、先ず蓋開閉機構１１６を駆動して蓋部材１１５を取り去る。その際、蓋部材１１５をハンドリングミスは、透過型センサ１１８により検出される。
【００６５】
次に、移載機構１１４を駆動し、容器載置台１１２上の受け容器１１１を１個ずつ電子天秤１１３に移載し、各受け容器１１１の重量を測定する。もちろん、各受け容器１１１には、対応する機能液滴吐出ヘッド３０と共に番号が付されており、この番号にしたがって重量測定が行われる。また、各受け容器１１１の重量測定時には、覆装機構１２４により測定台１２１の部分が閉蓋される。全ての受け容器１１１の重量測定が完了したら、ヘッドユニット３１を容器載置台１１２の直上部に移動させて、全機能液滴吐出ヘッド３０を駆動して機能液滴を受け容器１１１に向かって吐出する。
【００６６】
この場合、機能液吐出は、全機能液滴吐出ヘッド３０の全ノズルから為され、例えば各レズル９５ａにつき５万発の機能液滴の吐出を行う。各機能液滴吐出ヘッド３０から機能液が吐出されると、吐出機能液は、各受け容器１１１の機能液吸収材１５２の表面に着弾した瞬間に、これに吸収保持される。
【００６７】
機能液の吐出動作が完了しヘッドユニット３１が退避すると、上記と全く同じ動作で、こんどは機能液の吐出を受けた１２個の受け容器１１１の重量測定がそれぞれ行われる。このように全ての受け容器１１１の重量測定が完了したら、再度、蓋開閉機構１１６を駆動して蓋部材１１５を受け容器１１１に載せるようにしてこれを閉蓋する。一方、電子天秤１１３に備える演算処理部では、各２回の重量測定の値が減算され且つこの値をノズル数および上記の５万発で除算して、各機能液滴吐出ヘッド３０における平均値としての機能液滴の重量或いは量が算出される。
【００６８】
そして、ユーザは、この値に基づいて、各ノズルからの機能液滴の液滴量が適正な値となるように、駆動電圧を調整する。また、測定結果の値が予想値と極端に異なる場合（少ない）には、機能液を吐出しないノズルがあることが検出されたことになる。そこで、いったんヘッドユニット３１を上記の吸引ユニット２１に臨ませて、吸引処理を行ってから再度、重量測定を行う。なお、上記の重量測定は、装置の稼動開始時（通常は１日１回）に行うことが好ましい。
【００６９】
ここで、図１２を参照しながら、各種形態の異なる受け容器１１１における機能液の飛散や気化の評価を、電子天秤１１３による重量測定の結果に基づいて説明する。この重量測定では、試料として、▲１▼機能液吸収材１５２を充填していないもの、▲２▼オイルを貯留したもの（従来の形態）、▲３▼機能液吸収材１５２を充填した蓋付きのもの（本実施形態）、▲４▼機能液吸収材１５２を充填していない蓋付きのもの、を用意した。また、この測定では、ステンレス製の受け容器１１１を用い、機能液は３万ショットとした。
【００７０】
同図に示すように、機能液の吐出量（吐出重量）と測定重量との間の重量変化率を比較すると、「▲１▼」の受け容器１１１の重量変化率が極端に大きいことが分かる。一方、「▲３▼」および「▲４▼」の受け容器１１１の重量変化率は極めて小さく、蓋部材１１５が機能液の気化防止に大きく寄与していることが確認できる。また、「▲４▼」に対し「▲３▼」の重量変化率が小さくことから、機能液吸収材１５２が機能液の飛散防止や気化防止に効果を有することも推察できる。なお、「▲２▼」受け容器１１１の重量変化率も極めて小さく、貯留したオイルが蓋部材１１５と同様の機能を奏することが確認できる。
【００７１】
以上のように、実施形態の重量測定ユニット２４では、機能液滴吐出ヘッド３０から吐出した機能液を、受け容器１１１に充填した機能液吸収材１５２で受けるようにしているので、吐出した機能液を着弾した瞬間に機能液吸収材１５２に吸着保持させることができる。このため、着弾時の機能液の飛散や着弾後の機能液の気化（蒸発）が抑制され、重量測定までの間に受けた機能液が目減りすることがなく、機能液滴吐出ヘッド３０から吐出した機能液の重量を、精度良く測定することができる。
【００７２】
また、蓋部材１１５により、受け容器１１１を常に閉蓋しておくようにしているため、貯留した機能液の乾燥を防止することができ、機能液の増粘や酸化等の変質を防止することができる。また、機能液吸収体１５２がポリビニルアルコールの連続多孔質体で構成されているため、これを絞ることで、不純物の無い機能液を抽出することができる。したがって、重量測定に供した機能液を再利用することが可能になる。なお、後述する有機ＥＬ装置を製造する装置では、液滴吐出装置１がチャンバ（クリーンルーム）内に収容される構成となるため、特にオイルレスの受け容器１１１を用いること、受け容器１１１内の機能液の廃棄が容易なことが、有用になる。
【００７３】
ここで、上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図１３は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、ガラス基板３２１を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）３２２および配向膜３２３を形成した上基板３１１および下基板３１２と、この上下両基板３１１，３１２間に介設した多数のスペーサ３３１と、上下両基板３１１，３１２間を封止するシール材３３２と、上下両基板３１１，３１２間に充填した液晶３３３とで構成されると共に、上基板３１１の背面に位相基板３４１および偏光板３４２ａを積層し、且つ下基板３１２の背面に偏光板３４２ｂおよびバックライト３４３を積層して、構成されている。
【００７４】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜３２２のパターニングおよび配向膜３２３の塗布を行って上基板３１１および下基板３１２を別々に作製した後、下基板３１２にスペーサ３３１およびシール材３３２を作り込み、この状態で上基板３１１を貼り合わせる。次いで、シール材３３２の注入口から液晶３３３を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板３４１、両偏光板３４２ａ，３４２ｂおよびバックライト３４３を積層する。
【００７５】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば、スペーサ３３１の形成や、液晶３３３の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材３３２を環状に印刷した下基板３１２を吸着テーブル４２にセットし、この下基板３１２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板３１２のシール材３３２の内側に、液晶３３３を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板３１１と、液晶を所定量塗布した下基板３１２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００７６】
このように、上基板３１１と下基板３１２とを貼り合わせる前に、液晶３３３をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶３３３がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００７７】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材３３２の印刷をこの液滴吐出装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜３２３を液滴吐出装置１で作成することも可能である。
【００７８】
このように、液晶表示装置３０１の製造においては多種の機能液を導入することが想定されるが、上記した液滴吐出装置１では、特殊形態の機能液滴吐出ヘッド３０により機能液を精度良く吐出する（着弾させる）ことができるため、液晶表示装置３０１を精度良く且つ安定に製造することができる。
【００７９】
ところで、上記した液滴吐出装置１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置１は、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置（電子放出装置）、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【００８０】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した液滴吐出装置１を応用した例を簡単に説明する。有機ＥＬ装置は、図１４に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００８１】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００８２】
液滴吐出装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３０に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、液滴吐出装置１を利用して作成することも可能である。
【００８３】
また例えば、電子放出装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。
【００８４】
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【００８５】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に各色の泳動体材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００８６】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置１は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
【００８７】
例えば、金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に液状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００８８】
レンズの形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【００８９】
レンズの製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に透光性のコーティング材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【００９０】
レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０にレジスト材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００９１】
光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に光拡散材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００９２】
このように、液滴吐出装置１には、多種の機能液が導入される可能性があるが、上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、電気光学装置を精度良く且つ安定に製造することができる。
【００９３】
【発明の効果】
本発明の吐出機能液の重量測定装置およびこれを備えた液滴吐出装置によれば、機能液吸収材により、機能液の飛散および気化のよる機能液の減量が抑制されるので、機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液の重量を精度良く測定することができる。また、機能液の再利用が可能になる。このため、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良や駆動電圧を常に適正に管理することができるため、安定な機能液吐出と高い描画精度を維持することが可能になる。
【００９４】
本発明の電気光学装置、その製造方法および電子機器によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良や駆動電圧が常に適正に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い高品質の電気光学装置や電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の正面図である。
【図３】実施形態に係る液滴吐出装置の右側面図である。
【図４】実施形態に係る液滴吐出装置の一部を省略した平面図である。
【図５】液滴吐出装置のヘッドユニットの平面図である。
【図６】（ａ）機能液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）機能液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図７】実施形態に係る重量測定ユニットの外観斜視図である。
【図８】実施形態に係る重量測定ユニットの平面図である。
【図９】実施形態に係る重量測定ユニットの正面図である。
【図１０】重量測定ユニットの受け容器廻りの断面図である。
【図１１】重量測定ユニットの受け容器および蓋部材の斜視図である。
【図１２】形態の異なる受け容器における重量測定評価実験の実験結果を示す図である。
【図１３】本発明の液滴吐出装置により製造した液晶表示装置の断面図である。
【図１４】本発明の液滴吐出装置により製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１液滴吐出装置２吐出手段
３メンテナンス手段１８移動テーブル
２１吸引ユニット２２ワイピングユニット
２３ドット抜け検出ユニット２４重量測定ユニット
３０機能液滴吐出ヘッド３１ヘッドユニット
３３Ｘ・Ｙ移動機構４１Ｘ軸テーブル
５１Ｙ軸テーブル８８ノズル面
９５ａノズル１１１受け容器
１１２容器載置台１１３電子天秤
１１４移載機構１１５蓋部材
１１６蓋開閉機構１５１容器本体
１５２機能液吸収材３０１液晶表示装置
４０１有機ＥＬ装置Ｗワーク

Claims

機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受けてその重量を測定する吐出機能液の重量測定装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液を受ける受け容器と、
前記受け容器を介して吐出した前記機能液の重量を測定する測定手段と、を備え、
前記受け容器は、上端が開放されると共に、容器内部に吐出した前記機能液を吸収保持する機能液吸収材が充填されていることを特徴とする吐出機能液の重量測定装置。
前記機能液吸収材は、ポリビニルアルコールの連続多孔質体で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の吐出機能液の重量測定装置。
前記機能液吸収材は、その上面が前記受け容器の上開放端と略面一となるように充填されていることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出機能液の重量測定装置。
前記機能液吸収材の上面は、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面とほぼ同一の平面形状を有していることを特徴とする請求項１、２または３に記載の吐出機能液の重量測定装置。
前記受け容器の前記上開放端を開閉自在に閉蓋する蓋部材と、
前記蓋部材を開閉動作させる開閉機構と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の吐出機能液の重量測定装置。
単一のキャリッジに搭載した複数の前記機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の前記受け容器が用意され、且つ複数の前記受け容器に対応して複数の前記蓋部材が用意されており、
前記開閉機構は、前記各蓋部材を個別に開閉動作させることを特徴とする請求項５に記載の吐出機能液の重量測定装置。
単一のキャリッジに搭載した複数の前記機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の前記受け容器が用意されており、
複数の前記機能液滴吐出ヘッドの並びに対応して、複数の前記受け容器を載置する容器載置台と、
前記容器載置台と前記測定手段との相互間で、前記受け容器を１ずつ移載する移載機構を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の吐出機能液の重量測定装置。
請求項１ないし７のいずれかに記載の吐出機能液の重量測定装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
前記機能液滴吐出ヘッドの全ノズルからの機能液吸引を行う吸引ユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニットと、
前記重量測定装置、前記吸引ユニットおよび前記ワイピングユニットを、前記機能液滴吐出ヘッドの移動方向に直交する方向に一体として移動させる移動機構とを、更に備えたことを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
請求項８または９に記載の液滴吐出装置を用い、前記機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項８または９に記載の液滴吐出装置を用い、前記機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項１０に記載の電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。