JP2005021809A - 液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、電気光学装置、電気光学装置の製造方法 - Google Patents

液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、電気光学装置、電気光学装置の製造方法 Download PDF

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Hirokazu Yanagihara
弘和 柳原
Sadaji Komori
貞治 小森
Toshimasa Mori
俊正 森
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Seiko Epson Corp
セイコーエプソン株式会社
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Abstract

【課題】液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の払拭動作を良好に行うことができ、もって液滴吐出ヘッドの吐出性能を、ヘッドの洗浄直後から長期間に渡り良好に維持することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド31と、洗浄液を含浸したワイピングシートを前記液滴吐出ヘッド31のノズル面44に押圧して該ノズル面44の払拭動作を行うワイピングユニット92とを具備した液滴吐出装置において、前記ワイピングシート130が、ポリエステルとポリアミドの混紡織布である構成とした。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットプリンタ等のインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)は、微小なインク滴(液滴)をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることにより、各種製品の製造分野への応用が期待されている。
例えば、液滴吐出ヘッドを搭載して成るヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板といったワークに対しヘッドユニットを相対移動させつつ、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからワークに向けて液滴を吐出することにより、液晶表示装置や有機EL表示装置等のカラーフィルタを製造することが考えられている。
この液滴吐出ヘッドを搭載したユニットを用いて、ワークに向けて液滴を吐出する為に、機能液を初期充填する際や、ゴミの付着等により吐出不良ノズルが発生した際に、吸引ユニットにより、機能液を吸引し、多く気泡を含んだ機能液を除去し、吸い出された機能液でノズル面が汚れるため、吸引後にノズル面を払拭して汚れを除去することが望まれる。
そのため、従来、インク溶剤を含浸した拭き取り部材を用いてノズル面の拭き取りを行う機能を備えた液滴吐出装置(特許文献1参照)や、ノズル面にワイピングシート(清掃部材)を下方から相対的に押しつける押圧部材を搭載した拭き取りユニットと、押圧部材を経由させてワイピングシートを送るシート供給ユニットとを備え、ワイピングシートをノズル面に押しつけた状態で、ワイピングシートを送りつつ拭き取りユニットをシート供給ユニットと一体にノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、ノズル面をワイピングシートで払拭するようにしたワイピングユニットが知られている(特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平9−24625号公報
【特許文献2】
特開2001−171135号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献1に記載の装置では、洗浄液としてインク溶剤を用いている。また、上記特許文献2に記載のワイピングユニットでは、エタノールやアセトンのような浸透性の高い洗浄液を用いている。しかしながら、特に揮発性や拭き取り性が十分でない洗浄液を用いる場合、ノズル面に洗浄液やインクが残り、液滴吐出ヘッドを洗浄した直後に吐出性能が低下する可能性がある。
【0005】
本発明は、上記課題を解決するために成されたものであって、液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の払拭動作を良好に行うことができ、もって液滴吐出ヘッドの吐出性能を、液滴吐出ヘッドの洗浄直後から長期間に渡り良好に維持することができる液滴吐出装置を提供することを目的としている。
また本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の払拭動作を良好に行うことができる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットを提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、上記課題を解決するために、液滴吐出ヘッドと、洗浄液を含浸した清掃部材を前記液滴吐出ヘッドのノズル面に押圧して該ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットとを具備した液滴吐出装置であって、前記清掃部材が、少なくともポリエステルとポリアミドとからなる織布であることを特徴とする。
上記構成の液滴吐出装置によれば、上記ワイピングユニットの清掃部材として、少なくともポリエステルとポリアミドとからなる織布を用いていることで、ノズル面の拭き取りを確実に行うことができるとともに、清掃部材に含浸されている洗浄液が上記払拭動作によりノズル面やノズル内部に付着して残り、吐出不良の原因となるのを効果的に防止できる。これにより、上記払拭動作を行った直後から、各吐出ノズルにて良好に液滴吐出動作を行うことが可能になり、もって長期間に渡り良好な吐出性能を維持でき、極めて効率よく液滴吐出動作を行える液滴吐出装置を提供することができる。
【0007】
本発明の液滴吐出装置は、前記ワイピングユニットが、前記清掃部材を前記ノズル面に押圧する押圧手段と、該押圧手段を経由して前記清掃部材を搬送する清掃部材供給手段と、前記清掃部材に前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備えており、前記清掃部材が、前記清掃部材供給手段により搬送されつつ、前記洗浄液供給手段により前記洗浄液を含浸され、前記押圧手段により前記ノズル面に押圧される構成とすることもできる。
この構成によれば、清掃部材を連続的に搬送しつつ清掃部材への洗浄液の含浸、並びに清掃部材によるノズル面の払拭動作を行うことが可能になるので、清掃部材によるノズル面の拭き取り動作に際して、拭き取ったインク等がノズル面に再付着するのを効果的に防止できる。
【0008】
さらに本発明の液滴吐出装置は、前記ワイピングユニットが、前記清掃部材に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記ノズル面に前記清掃部材を押圧する押圧手段とを備えるとともに、前記洗浄液を含浸された状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作と、乾燥状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作とを順次実行する制御手段を備えている構成とすることもできる。
係る構成において、前記洗浄液を含浸された状態にて前記ノズル面に押圧される清掃部材と、前記乾燥状態にて前記ノズル面に押圧される清掃部材とが、互いに独立な部材として設けられている構成とすることもできる。
この構成によれば、洗浄液を用いた払拭動作によりノズル面の汚れを拭き取った後に、ノズル面に付着した洗浄液を乾燥状態の清掃部材を用いた払拭動作により拭き取ることができるので、ノズル面の清浄度を向上させることができ、払拭動作を行った直後から良好に吐出動作を行うことができる。
【0009】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液が、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノールから選ばれる1又は複数の有機溶剤を含有する水溶液であることが好ましい。
この構成によれば、洗浄液を含浸した清掃部材によるノズル面の拭き取りを効果的に行うことができ、ノズル面のクリーニング効果をより一層高めることができる。
【0010】
上記構成の液滴吐出装置では、前記洗浄液に含まれる有機溶剤が、エタノール、メタノール、又はエタノールとメタノールの混合物であることが好ましい。係る構成の洗浄液を用いることで、ノズル面の拭き取りをより確実に行うことができ、かつノズル面への洗浄液の付着も効果的に防止することができる。
【0011】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液が、1種類又は複数種類の界面活性剤を含有する構成とすることもできる。係る構成によっても、先の有機溶剤を含む洗浄液を用いた場合と同様、優れたクリーニング効果を得ることができる。
【0012】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液に含まれる界面活性剤が、アセチレングリコール系界面活性剤又はポリオキシエチレン基を有するアニオン性界面活性剤であることが好ましい。係る構成の洗浄液を用いることで、ノズル面の拭き取りをより確実に行うことができ、かつノズル面への洗浄液の付着も効果的に防止することができる。
【0013】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットは、洗浄液を含浸した清掃部材を、前記液滴吐出ヘッドのノズル面に押圧して該ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、前記清掃部材が、少なくともポリエステルとポリアミドとからなる織布であることを特徴とする。
上記構成のワイピングユニットでは、上記構成の清掃部材に洗浄液を含浸してノズル面の拭き取りを行うことにより高いクリーニング効果を得ることができるのに加え、上記洗浄液がノズル面や吐出ノズル内部に付着するのを効果的に防止できる。従って、係る構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを確実に拭き取ることができ、かつ払拭動作に起因する吐出ノズルの動作不良を効果的に防止することができるワイピングユニットを提供することができる。
【0014】
次に、本発明の電気光学装置は、先に記載の本発明の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
次に、本発明の電気光学装置の製造方法は、先に記載の本発明の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
これらの電気光学装置、及びその製造方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面が清浄に管理された液滴吐出装置を用いてその製造が成されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。尚、電気光学装置としては、液晶装置、有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置、FED(フィールドエミッションデバイス)装置、PDP(プラズマディスプレイパネル)装置等を例示できる。さらに、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成、光拡散体形成等に先の液滴吐出装置を用いた電気光学装置、及びその製造方法であってもよい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明に係る液滴吐出装置の主要部を成すワイピングユニット92と、液滴吐出ヘッド31とを模式的に示す構成図である。
図1に示すワイピングユニット92は、液滴吐出ヘッド31の吸引等により機能液が付着して汚れたノズル面44をワイピングシート(清掃部材)130を用いて拭き取るものであり、拭き取りユニット(ヘッド清掃手段)132と、シート供給ユニット(清掃部材供給手段)131とを主体として構成されている。また、ワイピングユニット92には、上記ノズル面44の払拭動作を所定動作にて行うべくシート供給ユニット131並びに拭き取りユニット132を制御する制御手段200が接続されている。
ワイピングユニット92は、液滴吐出ヘッドから機能液を強制吸引する吸引ユニット等とともに、液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドのメンテナンス手段を成すものであり、液滴吐出動作の休止時にメンテナンス位置に移動された液滴吐出ヘッド31と対向配置可能に設けられる。
【0016】
拭き取りユニット132は、液滴吐出ヘッド31のノズル面44に対して進退自在に設けられ、紙面垂直の軸周りに回転自在に支持された押圧ローラ(押圧手段)163と、この押圧ローラ163に送り込まれるワイピングシート130に対して洗浄液を供給する洗浄液吐出ヘッド(洗浄液供給手段)165とを備えている。
シート供給ユニット131は、いずれも紙面垂直の軸に回転自在に支持された繰出しリール142及び巻取りリール143と、ガイドローラ147とを主体として構成されている。
液滴吐出ヘッド31は、下向きのノズル面44を備えて構成されており(例えば図8参照)、このノズル面44に配列形成された複数のノズル(図1では省略)から機能液滴を吐出するものとされる。そして、係る動作によってワーク上にて機能液(インク)による描画や成膜を行う液滴吐出装置(例えば図2〜図4参照)の主要部を成すものである。尚、係る液滴吐出装置の具体的な構成例については、後述の実施例に記載している。
【0017】
上記構成を備えたワイピングユニット92は、制御手段200から供給される動作指示情報に基づき液滴吐出ヘッド31のワイピング動作を行う。すなわち、シート供給ユニット131の繰出しリール142から送出されたワイピングシート130を、拭き取りユニット132の押圧ローラ163を経由して搬送し、巻取りリール143に収容する搬送動作を行うとともに、押圧ローラ163のシート送り込み側に設けられた洗浄液吐出ヘッド165を動作させ、ワイピングシート130に洗浄液を含浸させる。そして、押圧ローラ163をノズル面44に向けて前進させ、押圧ローラ163に周回するワイピングシート130をノズル面44に押圧、摺動することにより、ノズル面44の払拭動作を行うようになっている。
【0018】
上記ワイピングシート130を用いた拭き取り動作としては、洗浄液を用いた拭き取りと、乾燥状態のワイピングシート130による拭き取りとを順次行うようにしても良い。具体的な手順を以下に示す。
まず、洗浄液吐出ヘッド165から洗浄液をワイピングシート130に向けて吐出し、この洗浄液を含浸された部位を押圧ローラ163により液滴吐出ヘッド31のノズル面44上で摺動して、ノズル面44に付着した機能液滴を払拭する(第1の払拭動作)。次いで、洗浄液吐出ヘッド165からの洗浄液の供給を停止し、シート供給ユニット131によりワイピングシート130を送ることで押圧ローラ163に、乾燥状態(洗浄液を含浸されていない状態)のワイピングシート130を配置する。そして、この乾燥状態のワイピングシート130を前記ノズル面44上で摺動させて払拭を行う(第2の払拭動作)。
【0019】
このように、液滴吐出ヘッド31のクリーニングを行うに際して、洗浄液を用いた第1の払拭動作と、ワイピングシート130のみによる第2の払拭動作とを順次行うようにすれば、第1の払拭動作においてノズル面44や吐出ノズル内部に洗浄液が付着した場合にも、第2の払拭動作により、液滴吐出ヘッド31に残った洗浄液を吸着、除去することができ、もって液滴吐出ヘッド31のノズル面44をより確実に清掃することができる。
【0020】
本実施形態の液滴吐出装置では、上記ワイピングシート130として、ポリエステルとポリアミドとの混紡織布が用いられている。この織布を用いることで、上記払拭動作を行った際に、ノズル面44から剥脱した汚れが織布内部に取り込まれ、払拭動作中にノズル面44に再付着するのを防止することができる。また、係る織布は、高い吸湿性を有しているため、洗浄液の保持力が高く、これによりノズル面44と、ワイピングシート130に含浸された洗浄液との接触が適度に制限され、その結果、吐出ノズル内部に洗浄液が浸入しなくなり、クリーニング後の吐出不良を効果的に防止できる。
【0021】
このように、本実施形態のワイピングユニット92は、液滴吐出ヘッド31のクリーニングを行うに際して、上記構成のワイピングシート130を用いるようになっているので、液滴吐出ヘッド31のノズル面44を確実に清掃することができる。従って、本実施形態に係るワイピングユニット92を備えた液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッド31のノズル面44を、長期間に渡り清浄に維持することができ、良好な吐出性能を維持することが可能である。
【0022】
ワイピングシート130に含浸して使用する洗浄液としては、エタノール、メタノール、n−プロパノール、イソプロパノールから選ばれる1種または2種以上の有機溶剤を含有する水溶液、あるいは、界面活性剤を含有する水溶液を用いることが好ましい。また、上記有機溶剤として、エタノール、メタノール、あるいはエタノールとメタノールの混合物を用いることがより好ましく、上記界面活性剤として、アセチレングリコール系界面活性剤を用いることがより好ましい。
【0023】
【実施例】
(吐出試験)
本例では、上記実施の形態のワイピングユニットを用いるとともに、ワイピングシートの種類を変えて液滴吐出ヘッドのワイピングを行い、ワイピング直後における液滴吐出ヘッドの吐出性能を検証した。
液滴吐出装置としては、液滴吐出ヘッド、及びそのクリーニング機構(インク吸引機構)を備えた描画装置に、図1に示した構成を基本構成とするワイピングユニットを設けたものを用いた。本実施例において、洗浄液に20%エタノール水溶液を用い、ワイピングシート130としては、ポリエステルとポリアミドの混紡織布としてソリブ(商品名、クラレ社製)を用い、また比較のために、従来から用いられているポリエステル織布のMKクリーンクロス(商品名、東レ社製)を用いた。
【0024】
まず、上記ソリブをワイピングシート130としてワイピングユニット92に装着し、次いで液滴吐出装置に備えられた吸引ユニットを用いて、液滴吐出ヘッドの吸引を行った。
次に、ワイピングユニットを動作させ、種々の洗浄液を含浸したワイピングシートによるノズル面の払拭動作を行った。
次に、液滴吐出ヘッド31を用いて、全ノズルから6回ずつの吐出を行い、各ノズルの吐出状態を観察、評価した。具体的には、描画した全ドットの顕微鏡観察を行い、その大きさや形状の異常や、ドット抜けの有無について評価を行った。
次に、比較のために、ワイピングシート130をポリエステル織布に変更した以外は、上記試験工程と同様として試験を行った。そして、描画したドットについて、上記と同様の観察、評価を行った。
【0025】
以上の試験の結果、ワイピングシート130として、ポリエステルとポリアミドの混紡織布であるソリブを用いてノズル面の拭き取りを行った場合には、クリーニング直後の1回目の液滴吐出動作から良好な吐出性能が得られ、描画したドットの大きさや形状に異常は観察されず、またドット抜けも皆無であった。これに対して、従来のポリエステル織布を用いてノズル面の拭き取り動作を行った場合には、クリーニング直後1回目の液滴吐出動作において、描画したドットの一部に大きさや形状の異常が観察された。
このように、ポリエステルとポリアミドの混紡織布をワイピングシートとして用いた液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面のクリーニングを効果的に行うことが可能であり、クリーニング直後から良好な吐出性能を得ることができる。
【0026】
(液滴吐出装置の具体例)
以下、本発明に係る液滴吐出装置の実施例として描画装置を挙げ、図面を参照して説明する。但し、以下の構成例は、本発明の技術範囲を限定するものではない。
図2は、本発明を適用した描画装置の外観斜視図、図3は、同、描画装置の正面図、図4は、同、描画装置の右側面図、図5は、同、描画装置の一部を省略した平面図である。詳細は後述するが、この描画装置1は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を液滴吐出ヘッド31に導入して、基板等のワークWに液滴による成膜部を形成するものである。
【0027】
図2ないし図5に示すように、描画装置(液滴吐出装置)1は、液滴吐出ヘッド31をワークWに対し相対移動させつつ機能液を吐出するための描画手段2と、液滴吐出ヘッド31のメンテナンスを行うメンテナンス手段3と、液滴吐出ヘッド31に機能液を供給すると共に機能液を回収する機能液供給回収手段4と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段5と、を備えている。そして、これらの各手段は、図外の装置制御手段により、相互に関連付けられて制御されている。図示は省略したが、この他にも、ワークWの位置を認識するワーク認識カメラや、描画手段2のヘッドユニット21(後述する)の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置が設けられており、これらも装置制御手段によりコントロールされている。
【0028】
描画手段2は、アングル材を方形に組んで構成した架台11の上部に固定した石定盤12の上に配設されており、機能液供給回収手段4およびエアー供給手段5の大部分は、架台11に添設された機台13に組み込まれている。機台13には、大小2つの収容室14、15が形成されており、大きいほうの収容室14には機能液供給回収手段4のタンク類が収容され、小さいほうの収容室15にはエアー供給手段5の主要部が収容されている。また、機台13上には、図6に示す如く、モータ16によりボールねじ17を介して機台13の長手方向(すなわちX軸方向)に移動される移動テーブル18が設けられており、移動テーブル18上には、メンテナンス手段3の構成ユニットである後述の吸引ユニット91、ワイピングユニット92、ドット抜け検出ユニット93および機能液の吐出量測定のための液滴受けユニット94を載置する共通ベース19が固定されている。
【0029】
この描画装置1は、描画手段2の液滴吐出ヘッド31をメンテナンス手段3で保守させながら、機能液供給回収手段4から液滴吐出ヘッド31に機能液を供給すると共に、液滴吐出ヘッド31からワークWに機能液を吐出させるものである。なお、機能液は、収納室14に収納した加圧タンク201から機台13上に配置した給液タンク202を介して液滴吐出ヘッド31に供給される。以下、各手段について説明する。
【0030】
描画手段2は、図2に示すように、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド31を複数搭載した後述(図7参照)のヘッドユニット21と、ヘッドユニット21を支持するメインキャリッジ22と、ヘッドユニット21をワークWに対し主走査方向(X軸方向)とこれに直交する副走査方向(Y軸方向)との2つの走査方向に相対移動させるX・Y移動機構23と、を有している。
【0031】
図7のヘッドユニット21の平面図に示すように、ヘッドユニット21は、複数(12個)の液滴吐出ヘッド31と、これら液滴吐出ヘッド31を搭載するサブキャリッジ51と、各液滴吐出ヘッド31のノズル面44を下面に突出させてサブキャリッジ51に取り付けるためのヘッド保持部材52と、から構成されている。12個の液滴吐出ヘッド31は、サブキャリッジ51に、6個宛の二つのヘッド列30L,30Rに分けて主走査方向(X軸方向)に離間配置されている。また、各液滴吐出ヘッド31は、ワークWに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方のヘッド列30Lと他方のヘッド列30Rの各液滴吐出ヘッド31は、副走査方向(Y軸方向)に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド31の吐出ノズル42が連続(一部重複)するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド31を専用部品で構成するなどして、ワークWに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド31をあえて傾けてセットする必要はない。
【0032】
図8の液滴吐出ヘッド31の斜視図((a)図)、要部断面図((b)図)に示すように、液滴吐出ヘッド31は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針33を有する機能液導入部32と、機能液導入部32に連なる2連のヘッド基板34と、機能液導入部32の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体35と、を備えている。各接続針33は、配管アダプタ36を介して機能液供給回収手段4の給液タンク202に接続されており、機能液導入部32は、各接続針33から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体35は、2連のポンプ部41と、多数の吐出ノズル42を形成したノズル面44を有するヘッドプレート43と、を有しており、液滴吐出ヘッド31では、ピエゾ素子を備えた部分41の作用により吐出ノズル42から液滴を吐出するようになっている。なお、ノズル面44には、多数の吐出ノズル42から成る2列の吐出ノズル列が形成されている。
【0033】
図7に示すように、サブキャリッジ51は、一部が切り欠かれた本体プレート53と、本体プレート53の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン54と、本体プレート53の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材55と、を備えている。一対の基準ピン54は、画像認識を前提として、サブキャリッジ51(ヘッドユニット21)をX軸、Y軸、およびθ軸方向に位置決め(位置認識)するための基準となるものである。支持部材55は、ヘッドユニット21をメインキャリッジ22に固定する際の固定部位となる。また、サブキャリッジ51には、各液滴吐出ヘッド31と給液タンク202を配管接続するための配管ジョイント56が設けられている。配管ジョイント56は、一端に各液滴吐出ヘッド31(の接続針33)と接続した配管アダプタ36からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク202からの装置側配管部材を接続するための12個のソケット57を有している。
【0034】
図4に示すように、メインキャリッジ22は、後述するブリッジプレート82に下側から固定される外観「I」形の吊設部材61と、吊設部材61の下面に取り付けたθテーブル62と、θテーブル62の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体63と、で構成されている。キャリッジ本体63には、ヘッドユニット21を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット21を位置決め固定するようになっている。
【0035】
X・Y移動機構23は、図2及び図3に示すように、上記した石定盤12に固定され、ワークWを主走査(X軸方向)させると共にメインキャリッジ22を介してヘッドユニット21を副走査(Y軸方向)させるものである。X・Y移動機構23は、石定盤12の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて固定されたX軸テーブル71と、X軸テーブル71を跨いで、石定盤12の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたY軸テーブル81と、を有している。
【0036】
X軸テーブル71は、ワークWをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル72と、吸着テーブル72を支持するθテーブル73と、θテーブル73をX軸方向にスライド自在に支持するX軸エアースライダ74と、θテーブル73を介して吸着テーブル72上のワークWをX軸方向に移動させるX軸リニアモータ(図示省略)と、X軸エアースライダ74に併設したX軸リニアスケール75とで構成されている。液滴吐出ヘッド31の主走査は、X軸リニアモータの駆動により、ワークWを吸着した吸着テーブル72およびθテーブル73が、X軸エアースライダ74を案内にしてX軸方向に往復移動することにより行われる。
【0037】
Y軸テーブル81は、図2ないし図4に示すように、メインキャリッジ22を吊設するブリッジプレート82と、ブリッジプレート82を両持ちで且つY軸方向にスライド自在に支持する一対のY軸スライダ83と、Y軸スライダ83に併設したY軸リニアスケール84と、一対のY軸スライダ83を案内にしてブリッジプレート82をY軸方向に移動させるY軸ボールねじ85と、Y軸ボールねじ85を正逆回転させるY軸モータ(図示省略)とを備えている。Y軸モータはサーボモータで構成されており、Y軸モータが正逆回転すると、Y軸ボールねじ85を介してこれに螺合しているブリッジプレート82が一対のY軸スライダ83を案内にしてY軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート82の移動に伴い、メインキャリッジ22(ヘッドユニット21)がY軸方向の往復移動を行い、液滴吐出ヘッド31の副走査が行われる。なお、図5では、Y軸テーブル81とθテーブル73とを省略している。
【0038】
ここで、描画手段2の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークWに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッド認識カメラによるヘッドユニット21の位置補正が行われた後、ワーク認識カメラによって、吸着テーブル72にセットされたワークWの位置補正がなされる。次に、ワークWをX軸テーブル71により主走査(X軸)方向に往復動させると共に、複数の液滴吐出ヘッド31を駆動させてワークWに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークWを復動させた後、ヘッドユニット21をY軸テーブル81により副走査(Y軸)方向に移動させ、再度ワークWの主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘッド31の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット21に対して、ワークWを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット21を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークWを固定とし、ヘッドユニット21を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【0039】
次に、メンテナンス手段3の各構成ユニットについて説明する。メンテナンス手段3は、上述した共通ベース19上の吸引ユニット91、ワイピングユニット92、ドット抜け検出ユニット93および液滴受けユニット94で概略構成されている。ヘッドユニット21は、描画作業の休止時に機台13の上方のメンテナンス位置に移動され、この状態で移動テーブル18を介して共通ベース19を移動することにより、吸引ユニット91とワイピングユニット92と液滴受けユニット94とを選択的にヘッドユニット21の直下部に臨ませる。
【0040】
吸引ユニット91は、液滴吐出ヘッド31から機能液を強制的に吸引すると共に、液滴吐出ヘッド31からの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。吸引ユニット91は、共通ベース19(移動テーブル18)がホーム位置(図5,図6に示す位置)に存するときに、メンテナンス位置に存するヘッドユニット21の直下部に臨む昇降自在なキャップユニット101を備えている。
【0041】
キャップユニット101は、図5及び図6に示すように、ヘッドユニット21に搭載された12個の液滴吐出ヘッド31の配置に対応させて、12個のキャップ102をキャップベース103に配設したものであり、対応する各液滴吐出ヘッド31に各キャップ102を密着可能に構成されている。
【0042】
ヘッドユニット21の液滴吐出ヘッド31に機能液の充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド31内で増粘した機能液を除去する場合には、各キャップ102を各液滴吐出ヘッド31のノズル面44に密着させて、ポンプ吸引を行い、吸引した機能液を収納室14に配置した再利用タンク203に回収する。また、装置の非稼働時には、各キャップ102を各液滴吐出ヘッド31のノズル面44に密着させて、液滴吐出ヘッド31の保全(機能液の乾燥防止等)を行う。さらに、ワーク交換などで描画作業を休止するときには、各キャップ102を各液滴吐出ヘッド31のノズル面44から僅かに離間させておいて、フラッシング(予備吐出)を行うようにしている。
【0043】
ところで、液滴吐出ヘッド31のフラッシング動作(予備吐出)は、描画作業中にも行われる。そのために、X軸テーブル71のθテーブル73に、吸着テーブル71を挟むようにして固定した1対のフラッシングボックス95aを有するフラッシングユニット95を設けている(図5参照)。フラッシングボックス95aは、θテーブル73と共に主走査時に移動するので、ヘッドユニット21等をフラッシング動作のために移動させることがない。すなわち、フラッシングボックス95aはワークWと共にヘッドユニット21へ向かって移動していくので、フラッシングボックス95aに臨んだ液滴吐出ヘッド31の吐出ノズル42から順次フラッシング動作を行うことができる。なお、フラッシングボックス95aで受けた機能液は、収納室14に配置した廃液タンク204に貯留される。また、石定盤12の機台13とは反対側の側部には、ヘッドユニット21の2つのヘッド列30L,30Rに対応する一対のフラッシングボックス96aを有する予備のフラッシングユニット96が配置されている。
【0044】
ドット抜け検出ユニット93は、液滴吐出ヘッド31の全吐出ノズル42から液滴が確実に吐出されているか否か、すなわち各液滴吐出ヘッド31にノズル詰まり等が生じているか否かを検出するものである。ドット抜け検出ユニット93は、ヘッドユニット21の2つのヘッド列30L,30Rに対応して設けた一対の光学式検出器111L,111Rで構成されている。各検出器111L,111Rは、例えば、レーザーダイオード等の発光素子112と受光素子113とを対向配置し、両素子112,113間の光路を吐出した液滴が遮断するか否かで、ドット抜け(吐出不良)を検出するものを適用できる。そして、ヘッドユニット21を各ヘッド列30L,30Rの液滴吐出ヘッド31が各検出器111L,111Rの直上部を通るようにY軸方向に移動させつつ、各吐出ノズル42から順に液滴を吐出させて、ドット抜けの検査を行う。
【0045】
液滴受けユニット94は、液滴の吐出量(重量)を液滴吐出ヘッド21単位で測定するために使用するものであり、共通ベース19をホーム位置から図5,図6で左方に移動させたときに、メンテナンス位置に存するヘッドユニット21の直下部に臨むように配置した載置台121と、載置台121上にヘッドユニット21の12個の液滴吐出ヘッド31に合わせて載置した12個の受け容器122とを備えている。液滴の吐出量測定に際しては、各液滴吐出ヘッド31から各受け容器122に向けて所定回数液滴を吐出させ、各受け容器122を図外の電子天秤に移載して、各受け容器122内の液滴の重量を測定する。
【0046】
ワイピングユニット92は、図1に模式的に示した構成を主体としてなり、液滴吐出ヘッド31の吸引(クリーニング)等により機能液が付着して汚れた各液滴吐出ヘッド31のノズル面44を、ワイピングシート130(清掃部材、図1及び図15参照)を用いて拭き取るものであり、別個独立に構成されたシート供給ユニット(清掃部材供給手段)131と拭き取りユニット132とを備える。上記ワイピングシート130には、上記実施形態と同様、ポリエステルとポリアミドの混紡織布が用いられる。
これらシート供給ユニット131と拭き取りユニット132とは、共通ベース19上に、拭き取りユニット132を吸引ユニット91側に位置させた状態でX軸方向に並べて配置されており、メンテナンス位置に存するヘッドユニット21に向けて移動テーブル18の動きにより拭き取りユニット132がシート供給ユニット131と一体に払拭方向たるX軸方向一方(図5,図6の右方)に移動し、ヘッドユニット21の12個全ての液滴吐出ヘッド31のノズル面44を払拭する。
【0047】
図9は、シート供給ユニット131の斜視図、図10は、同、平面図、図11は、同、X方向から見た正面図である。図9ないし図11に示すように、シート供給ユニット131は、Y軸方向片側に立設したフレーム141に片持ち状態で着脱自在に軸支した上側の繰出しリール142および下側の巻取りリール143と、巻取りリール143を巻取り回転させる巻取りモータ144とを備えている。また、フレーム141の上側部にはサブフレーム145が固定されており、このサブフレーム145には、繰出しリール142の先方に位置するように速度検出ローラ146およびガイドローラ147が、両持ちで支持されている。さらに、これら構成部品の下側には、洗浄液を受ける洗浄液パン148が配設されている。
【0048】
繰出しリール142には、ロール状のワイピングシート130が挿填され、繰出しリール142から繰り出されたワイピングシート130は、速度検出ローラ146およびガイドローラ147を介して拭き取りユニット132に送り込まれる。巻取りリール143と巻取りモータ144との間にはタイミングベルト149が掛け渡され、巻取りリール143は巻取りモータ144により回転してワイピングシート130を巻き取る。
【0049】
詳細は後述するが、拭き取りユニット132にもワイピングシート130を送るモータ(送り込みモータ164)が設けられており、繰出しリール142は、これに設けたトルクリミッタ150により、送り込みモータ164に抗するように制動回転する。速度検出ローラ146は、自由回転する上下2つのローラ146a,146bから成るグリップローラであり、これに設けた速度検出器151により、巻取りモータ144を制御する。すなわち、繰出しリール142は、ワイピングシート130を張った状態で送り出し、巻取りリール143は、ワイピングシート130を弛みが生じないように巻き取る。
【0050】
また、繰出しリール142と速度検出ローラ146との間のシート走行路部分の下方に光学式のシート検出器152を配置し、繰出しリール142から繰り出されるワイピングシート130の端末が通過したことをシート検出器152で検出したとき、繰出しリール142および巻取りリール143の交換指令を出すようにしている。
【0051】
図12は、拭き取りユニット132の斜視図、図13は、同、平面図、図14は、図13に示すVIII−VIII線に沿う断面図である。図12ないし図14に示すように、拭き取りユニット132は、Y軸方向両側に立設した一対のスタンド161,161間に昇降自在に支持される昇降枠162と、昇降枠162上に両持ちで回転自在に支持される押圧ローラ(押圧手段)163と、押圧ローラ163を回転させる送り込みモータ164と、押圧ローラ163に送り込まれるワイピングシート130に機能液の溶剤から成る洗浄液を供給する洗浄液吐出ヘッド(洗浄液吐出手段)165とを備えている。
【0052】
昇降枠162のY軸方向両側には一対の脚片166が垂設されており、各脚片166を各スタンド161の内側面に取り付けたガイド167に上下動自在に係合させている。そして、各スタンド161のベース部にエアーシリンダ168を立設し、そのピストンロッド168aを各脚片166に連結して、エアーシリンダ168の作動により、昇降枠162およびこれに支持された押圧ローラ163や洗浄液吐出ヘッド165等が昇降されるようになっている。
【0053】
押圧ローラ163は、送り込みモータ164によりタイミングベルト169を介して回転駆動されるようになっている。また、昇降枠162には、押圧ローラ163の下側に沿わせてピンチローラ170が軸支されており、図15(a)に示す如く、押圧ローラ163から巻取りリール143に向けて送り出されるワイピングシート130の部分をピンチローラ170との間に挟み込んで、ワイピングシート130が押圧ローラ163に対しスリップしないようにし、押圧ローラ163の回転でワイピングシート130が押圧ローラ163に確実に送り込まれるようにしている。
【0054】
押圧ローラ163は、軸部163aの外周にゴム等の弾性体163bを装着した弾性ローラで構成されている。そして、拭き取りユニット132(昇降枠162)を上昇端位置に上昇させた状態では、押圧ローラ163に周回するワイピングシート130の最上部の位置がヘッドユニット21に搭載した液滴吐出ヘッド31のノズル面44の位置より若干高くなるようにし、拭き取りユニット163のX軸方向一方への往動で押圧ローラ163がノズル形成面44の直下部を横切るとき、ワイピングシート130および押圧ローラ163が下方に圧縮されて、その弾性復元力によりワイピングシート130がノズル面44に押しつけられるようになっている(図15(b)参照)。
【0055】
洗浄液吐出ヘッド165は、押圧ローラ163に対するワイピングシート130の送り込み側に位置して押圧ローラ163に近接対向するように配置されている。そして、図14(a)に示す如く、上記ガイドローラ147を経由して送られてくるワイピングシート130を下方から押圧ローラ163と洗浄液吐出ヘッド165との間の隙間を通して押圧ローラ163に送り込んでいる。ここで、洗浄液吐出ヘッド165の押圧ローラ163側を向く前面部分には、ノズル穴(図示せず)がワイピングシート130の幅に合わせて横並びに多数設けられており、一方、洗浄液吐出ヘッド165の後面には、配管用の複数のコネクタ171が設けられている。
【0056】
また、収納室14に洗浄液タンク205を収納すると共に、共通ベース19上に、シート供給ユニット131の前部側方に位置する配管用の分配盤172(図5参照)を配置している。そして、洗浄液タンク205から分配盤172とコネクタ171とを介して洗浄液吐出ヘッド165に洗浄液を供給し、押圧ローラ163と洗浄液吐出ヘッド165との間の隙間を通過するワイピングシート130に向けて洗浄液吐出ヘッド165のノズル穴から洗浄液を吐出させている。
【0057】
図15に示すように、本実施形態では、押圧ローラ163と洗浄液吐出ヘッド165との間の隙間に下方からワイピングシート130を通過させるようなっており、洗浄液吐出ヘッド165にワイピングシート130の表面が対向配置され、洗浄液吐出ヘッド165から吐出された洗浄液がワイピングシート130の表面に直接塗布される。そのため、洗浄液吐出ヘッド165を押圧ローラ163の可及的近傍に配置しても、ワイピングシート130の表面に洗浄液を行き渡らせて、ノズル面44の汚れを効果的に払拭できるようになっている。その結果、ワイピングシート130の空送り長さ(洗浄液吐出ヘッド165で洗浄液を塗布したワイピングシート130の部分が押圧ローラ163の最上部に到達するまでの送り長さ)を可及的に短縮でき、ワイピングシート130の消費量の削減を図れる。
【0058】
なお、洗浄液吐出ヘッド165は、ノズル面44に干渉しないように、ノズル面44にワイピングシート130を押しつけた状態でノズル面44に合致する水平面H(図14(b)参照)より下方に配置されている。また、押圧ローラ163の下方に位置して、昇降枠162にも洗浄液パン173が設けられており、シート供給ユニット131の洗浄液パン148と共に、ワイピングシート130から滴る洗浄液を受け得るようになっている。
【0059】
以下、本描画装置に備えられたワイピングユニット92によるノズル面44の払拭作業手順を示す。ヘッドユニット21の液滴吐出ヘッド31の吸引ユニット91による吸引が完了すると、移動テーブル18用のモータ16の作動で拭き取りユニット132をシート供給ユニット131と一体に、ホーム位置からメンテナンス位置に存するヘッドユニット21に向けてX軸方向一方に往動させる。押圧ローラ163がヘッドユニット21の一方のヘッド列30Lの液滴吐出ヘッド31の直前まで移動したら、拭き取りユニット132の往動を一旦停止し、エアーシリンダ168の作動で拭き取りユニット132を上昇端位置に上昇させる。
【0060】
上昇後、拭き取りユニット132の往動を再開し、同時に、巻取りモータ144および送り込みモータ164を駆動して、ワイピングシート130の送りを開始すると共に、洗浄液吐出ヘッド165からの洗浄液の吐出を開始する。係るタイミングで動作させることで、押圧ローラ163がヘッド列30Lの液滴吐出ヘッド31のノズル面44に到達する時点までにワイピングシートの空送りが完了し、表面に洗浄液が行き渡った状態でワイピングシート130がノズル面44に押しつけられ、ノズル面44の払拭が開始される。以後、押圧ローラ163がノズル面44に沿ってこれを横切るように進行すると共に、ワイピングシート130の送りによりノズル面44に対する接触部に常に新たなシート部分が供給され、ノズル面44の汚れが効率良く払拭される。
【0061】
押圧ローラ163がヘッド列30Lに属する全ての液滴吐出ヘッド31のノズル面44を横切り終わったならば、拭き取りユニット132の往動を継続したまま、ワイピングシート130の送りと洗浄液の吐出とを一旦停止し、その後、押圧ローラ163がヘッドユニット21の他方のヘッド列30Rの液滴吐出ヘッド31の直前まで移動したとき、ワイピングシート130の送りと洗浄液の吐出とを再開して、押圧ローラ163がヘッド列30Rの液滴吐出ヘッド31のノズル面44に到達する時点までにワイピングシートの空送りを完了し、上記と同様にヘッド列30Rの液滴吐出ヘッド31のノズル面44を払拭する。このようにすれば、一方のヘッド列30Lと他方のヘッド列30Rとの間に位置する拭き取りユニット132の移動区間では、ワイピングシート130の送りと洗浄液の吐出とが休止され、ワイピングシート130および洗浄液が無駄に消費されることが防止される。
【0062】
押圧ローラ163がヘッド列30Rに属する全ての液滴吐出ヘッド31のノズル面44を横切り、ヘッドユニット21の全ての液滴吐出ヘッド31のノズル面44の払拭が完了したならば、ワイピングシート130の送りと洗浄液の吐出とを停止すると共に、拭き取りユニット132の往動を停止して、拭き取りユニット132を下降させる。そして、下降後、拭き取りユニット132をX軸方向他方に復動させ、ホーム位置に復帰させる。このように、拭き取りユニット132を下降させた状態で復動させるため、復動時にワイピングシート130はノズル面44に接触せず、拭き取った汚れがノズル面44に再付着するのを防止できる。
【0063】
このように、本描画装置1は、そのワイピングユニット92において、ポリエステルとポリアミドとの混紡織布が、ワイピングシート130として用いられているので、上述の払拭動作により、ノズル面44の汚れを確実に拭き取ることができるとともに、ワイピングシート130に含浸された洗浄液がノズル面44や吐出ノズル42内に付着するのを防止して、クリーニング動作後に吐出不良が生じるのを効果的に防止できるようになっている。特に、洗浄液として先の実施形態に挙げたものを用いるならば、より顕著なクリーニング効果を得ることができる。
【0064】
(電子機器製造への適用例)
次に、上記の描画装置1を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図16は、液晶表示装置301の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置301は、ガラス基板321を主体として対向面に透明導電膜(ITO膜)322および配向膜323を形成した上基板311および下基板312と、この上下両基板311,312間に介設した多数のスペーサ331と、上下両基板311,312間を封止するシール材332と、上下両基板311,312間に充填した液晶333とで構成されると共に、上基板311の背面に位相基板341および偏光板342aを積層し、且つ下基板312の背面に偏光板342bおよびバックライト343を積層して、構成されている。
【0065】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜322のパターニングおよび配向膜323の塗布を行って上基板311および下基板312を別々に作製した後、下基板312にスペーサ331およびシール材332を作り込み、この状態で上基板311を貼り合わせる。次いで、シール材332の注入口から液晶333を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板341、両偏光板342a,342bおよびバックライト343を積層する。
【0066】
実施形態の描画装置1は、例えば、スペーサ331の形成や、液晶333の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料(例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂)や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出(塗布)させていく。先ずシール材332を環状に印刷した下基板312を吸着テーブルにセットし、この下基板312上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板312のシール材332の内側に、液晶333を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板311と、液晶を所定量塗布した下基板312を真空中に導入して貼り合わせる。
【0067】
このように、上基板311と下基板312とを貼り合わせる前に、液晶333をセルの中に均一に塗布(充填)するようにしているため、液晶333がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【0068】
なお、機能液(シール材用材料)として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材332の印刷をこの描画装置1で行うことも可能である。同様に、機能液(配向膜材料)としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜323を描画装置1で作成することも可能である。また、実施形態の描画装置1を用いて、透明導電膜322を形成することも可能である。
【0069】
このように、液晶表示装置301の製造に上記した描画装置1を使用した場合、液滴吐出ヘッド31のノズル面44の汚れを確実に拭き取ることができるとともに、係る払拭動作によりノズル面44やノズル42内部に洗浄液が付着するのを効果的に防止することができるため、ノズル形成面44の汚れがワークに落下するのを防止でき、かつ液滴吐出ヘッド31のクリーニング直後から良好な吐出状態にて機能液の吐出を行うことができる。これにより、液晶表示装置の製造歩留まり、及び製造効率の向上を実現できる。
【0070】
ところで、上記した描画装置1は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置301の他、各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることが可能である。すなわち、有機EL装置、FED装置、PDP装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【0071】
有機EL装置の製造に、上記した描画装置1を応用した例を簡単に説明する。図17に示すように、有機EL装置401は、基板421、回路素子部422、画素電極423、バンク部424、発光素子425、陰極426(対向電極)、および封止用基板427から構成された有機EL素子411に、フレキシブル基板(図示省略)の配線および駆動IC(図示省略)を接続したものである。回路素子部422は基板421上に形成され、複数の画素電極423が回路素子部422上に整列している。そして、各画素電極423間にはバンク部424が格子状に形成されており、バンク部424により生じた凹部開口431に、発光素子425が形成されている。陰極426は、バンク部424および発光素子425の上部全面に形成され、陰極426の上には、封止用基板427が積層されている。
【0072】
有機EL装置401の製造工程では、予め回路素子部422上および画素電極423が形成されている基板421(ワークW)上の所定の位置にバンク部424が形成された後、発光素子425を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子425および陰極426(対向電極)を形成される。そして、封止用基板427を陰極426上に積層して封止して、有機EL素子411を得た後、この有機EL素子411の陰極426をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ICに回路素子部422の配線を接続することにより、有機EL装置401が製造される。
【0073】
描画装置1は、発光素子425の形成に用いられる。具体的には、液滴吐出ヘッド31に発光素子材料(機能液)を導入し、バンク部424が形成された基板421の画素電極423の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子425を形成する。なお、上記した画素電極423や陰極426の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、描画装置1を利用して作成することも可能である。
【0074】
また例えば、電子放出装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド31にR、G、B各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。
PDP装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド31にR、G、B各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド31に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【0075】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
例えば、金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド31に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機EL装置におけるTFT等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【0076】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド31にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記FED装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド31に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド31にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド31に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド31を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【0077】
このように、描画装置1には、多種の機能液が導入される可能性があるが、上記した描画装置1を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、電気光学装置を精度良く且つ安定に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、実施形態の液滴吐出装置に備えられたワイピングユニットの模式構成図。
【図2】図2は、実施例の描画装置の外観斜視図。
【図3】図3は、同、正面図。
【図4】図4は、同、右側面図。
【図5】図5は、同、部分平面図。
【図6】図6は、実施例に係るワイピングユニットを含むメンテナンス手段の斜視図。
【図7】図7は、実施例に係るヘッドユニットの平面図。
【図8】図8(a)は、実施例に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、図8(b)は、同、要部の断面図。
【図9】図9は、実施例に係るシート供給ユニットの斜視図。
【図10】図10は、同、平面図。
【図11】図11は、同、正面図。
【図12】図12は、実施例に係る拭き取りユニットの斜視図。
【図13】図13は、同、正面図。
【図14】図14は、図13のVIII−VIII線に沿う断面図。
【図15】図15(a)は、実施例に係る拭き取りユニットの模式構成図、図8(b)は、同、ノズル面に対する押圧ローラ及び洗浄液吐出ヘッドの位置関係を示す図。
【図16】図16は、実施例の描画装置により製造できる液晶表示装置の断面図。
【図17】図17は、同、有機EL装置の断面図。
【符号の説明】
1…描画装置(液滴吐出装置)、21…ヘッドユニット、31…液滴吐出ヘッド、42…吐出ノズル、130…ワイピングシート(清掃部材)、131…シート供給ユニット、132…拭き取りユニット、163…押圧ローラ(押圧手段)、165…洗浄液吐出ヘッド(洗浄液吐出手段)、200…制御手段

Claims (9)

  1. 液滴吐出ヘッドと、洗浄液を含浸した清掃部材を前記液滴吐出ヘッドのノズル面に押圧して該ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットとを具備した液滴吐出装置であって、
    前記清掃部材が、少なくともポリエステルとポリアミドとからなる織布であることを特徴とする液滴吐出装置。
  2. 前記ワイピングユニットが、前記清掃部材を前記ノズル面に押圧する押圧手段と、該押圧手段を経由して前記清掃部材を搬送する清掃部材供給手段と、前記清掃部材に前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備えており、
    前記清掃部材が、前記清掃部材供給手段により搬送されつつ、前記洗浄液供給手段により前記洗浄液を含浸され、前記押圧手段により前記ノズル面に押圧されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
  3. 前記洗浄液が、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノールから選ばれる1又は複数の有機溶剤を含有する水溶液であることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。
  4. 前記洗浄液に含まれる前記有機溶剤が、エタノール、メタノール、又はエタノールとメタノールの混合物であることを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置。
  5. 前記洗浄液が、1種類又は複数種類の界面活性剤を含有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。
  6. 前記洗浄液に含まれる界面活性剤が、アセチレングリコール系界面活性剤又はポリオキシエチレン基を有するアニオン性界面活性剤であることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。
  7. 洗浄液を含浸した清掃部材を、前記液滴吐出ヘッドのノズル面に押圧して該ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
    前記清掃部材が、少なくともポリエステルとポリアミドとからなる織布であることを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
  8. 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
  9. 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008087477A (ja) * 2006-09-07 2008-04-17 Toppan Printing Co Ltd インクジェット印刷装置の洗浄方法
JP2010207728A (ja) * 2009-03-10 2010-09-24 Seiko Epson Corp シートエンド検出装置、ワイピング装置および液滴吐出装置
WO2012060310A1 (ja) * 2010-11-04 2012-05-10 コニカミノルタIj株式会社 ヘッドメンテナンス装置及びインクジェット記録装置
JP2013226807A (ja) * 2012-03-30 2013-11-07 Canon Inc インクジェット記録装置およびインクジェット記録装置の制御方法
WO2014027562A1 (ja) * 2012-08-13 2014-02-20 富士フイルム株式会社 ノズル面払拭装置及び画像記録装置
JP2014148128A (ja) * 2013-02-01 2014-08-21 Canon Inc 記録装置及びそのクリーニング方法
US8870343B2 (en) 2012-03-30 2014-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus and method of wiping recording head discharge port row groups
JP2015171821A (ja) * 2015-07-07 2015-10-01 セイコーエプソン株式会社 記録装置
US9919531B2 (en) 2014-09-26 2018-03-20 Fujifilm Corporation Nozzle wiping sheet, nozzle wiping unit, and image forming apparatus
DE112015004401B4 (de) * 2014-09-26 2018-07-12 Fujifilm Corporation Wischelement, Düsenwischeinheit und Bilderzeugungsvorrichtung
US11135849B2 (en) 2018-07-06 2021-10-05 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting apparatus and maintenance method of liquid ejecting apparatus

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008087477A (ja) * 2006-09-07 2008-04-17 Toppan Printing Co Ltd インクジェット印刷装置の洗浄方法
JP2010207728A (ja) * 2009-03-10 2010-09-24 Seiko Epson Corp シートエンド検出装置、ワイピング装置および液滴吐出装置
JPWO2012060310A1 (ja) * 2010-11-04 2014-05-12 コニカミノルタ株式会社 ヘッドメンテナンス装置及びインクジェット記録装置
WO2012060310A1 (ja) * 2010-11-04 2012-05-10 コニカミノルタIj株式会社 ヘッドメンテナンス装置及びインクジェット記録装置
JP5857969B2 (ja) * 2010-11-04 2016-02-10 コニカミノルタ株式会社 ヘッドメンテナンス装置及びインクジェット記録装置
US8820890B2 (en) 2010-11-04 2014-09-02 Konica Minolta, Inc. Head maintenance device and inkjet recorder
US8870343B2 (en) 2012-03-30 2014-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus and method of wiping recording head discharge port row groups
JP2013226807A (ja) * 2012-03-30 2013-11-07 Canon Inc インクジェット記録装置およびインクジェット記録装置の制御方法
WO2014027562A1 (ja) * 2012-08-13 2014-02-20 富士フイルム株式会社 ノズル面払拭装置及び画像記録装置
JP2014148128A (ja) * 2013-02-01 2014-08-21 Canon Inc 記録装置及びそのクリーニング方法
US9162462B2 (en) 2013-02-01 2015-10-20 Canon Kabushiki Kaisha Printing apparatus and cleaning method thereof
US9919531B2 (en) 2014-09-26 2018-03-20 Fujifilm Corporation Nozzle wiping sheet, nozzle wiping unit, and image forming apparatus
DE112015004401B4 (de) * 2014-09-26 2018-07-12 Fujifilm Corporation Wischelement, Düsenwischeinheit und Bilderzeugungsvorrichtung
JP2015171821A (ja) * 2015-07-07 2015-10-01 セイコーエプソン株式会社 記録装置
US11135849B2 (en) 2018-07-06 2021-10-05 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting apparatus and maintenance method of liquid ejecting apparatus

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