JP2004321891A - 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】機能液吐出ヘッドの全ノズルについて吐出状況を適切に検査できる液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置等を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド51から機能液滴の吐出を行う描画動作と、各ノズル75から吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置1において、ノズル列74の多数のノズル75を複数のノズル75単位で撮像する撮像手段5と、撮像手段5により、ノズル列74の多数のノズル75が複数のノズル75単位で順に撮像されるように、撮像手段5に対し機能液滴吐出ヘッド51を相対的に移動させる移動手段13と、ノズル列74の列方向が移動手段13の移動方向と平行になるように、水平面内において移動手段13の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッド51を回転させる回転手段43と、を備えたものである。
【選択図】 図7
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド51から機能液滴の吐出を行う描画動作と、各ノズル75から吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置1において、ノズル列74の多数のノズル75を複数のノズル75単位で撮像する撮像手段5と、撮像手段5により、ノズル列74の多数のノズル75が複数のノズル75単位で順に撮像されるように、撮像手段5に対し機能液滴吐出ヘッド51を相対的に移動させる移動手段13と、ノズル列74の列方向が移動手段13の移動方向と平行になるように、水平面内において移動手段13の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッド51を回転させる回転手段43と、を備えたものである。
【選択図】 図7
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出を行う描画動作と、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の液滴吐出装置では、吐出されたインク滴(機能液滴)を撮像するCCDカメラとLEDにより構成されるストロボとを備えた撮像手段により機能液滴の吐出を検出して撮像動作を行い、機能液滴の飛行曲がりやサテライト(吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子)の有無、およびノズルの目詰まりがあるか否か等を検査している。(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−206624号公報(図1)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置においては、ワークに対して機能液の十分な塗布密度を確保する目的で機能液滴吐出ヘッドのノズル列方向を副走査方向に所定角度傾けてキャリッジに搭載する場合のように、機能液滴吐出ヘッドのノズル列方向と副走査方向(撮像時の移動方向)とが平行でない場合がある。しかしながら、機能液滴吐出ヘッドの吐出状況の検査を行う場合に、機能液滴吐出ヘッドのノズル列方向が副走査方向に対して傾いていると、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動して各ノズルをCCDカメラの光軸上に順に位置させるとき、CCDカメラから機能液滴吐出ヘッドの各ノズルまでの距離がノズル毎に異なるものとなる。そのため、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルのすべてについてCCDカメラとの距離をCCDカメラの焦点距離と合致させることができず、全ノズルについて機能液滴の飛行観測を適切に行うことが困難であった。
【0005】
本発明は、機能液吐出ヘッドの全ノズルについて吐出状況を適切に検査することができる液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し直交する2つの走査方向に相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行う描画動作と、ノズル列の各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置において、ノズル列の多数のノズルを複数のノズル単位で撮像する撮像手段と、撮像手段により、ノズル列の多数のノズルが複数のノズル単位で順に撮像されるように、撮像手段に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる移動手段と、ノズル列の列方向が移動手段の移動方向と平行になるように、水平面内において移動手段の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッドを回転させる回転手段と、を備えたことを特徴とする。
【0007】
この構成によれば、回転手段により、水平面内において移動手段の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッドを回転して、ノズル列の列方向と移動手段の移動方向とが平行になるようする。このため、移動手段により、ノズル列の多数のノズルが複数のノズル単位で順に撮像されるように撮像手段に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるとき、撮像手段の光軸上であって撮像手段に対して一定の距離に順に、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルを位置させることができる。したがって、ノズル列における各ノズルのすべてについて、撮像手段との距離を撮像手段の焦点距離と合致させることができ、鮮明な画像を得ることができる。
【0008】
この場合、撮像手段は、その光軸と移動手段の移動方向とが直交するように配設されていることが好ましい。
【0009】
この構成によれば、撮像手段により、ノズル列のノズルから吐出された機能液滴がノズル列の正面から撮像される。このため、一回の撮像により検出される複数のノズルにおいて、撮像手段から各ノズルまでの距離を均一にすることができる。
【0010】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドを2つの走査方向である主走査方向および副走査方向に相対的に移動させるX軸テーブルおよびY軸テーブルを、さらに有し、移動手段を、副走査方向に移動させるY軸テーブルが兼ねており、回転手段は、機能液滴吐出ヘッドとY軸テーブルとの間に設けられていることが好ましい。
【0011】
この構成によれば、移動手段をY軸テーブルが兼ねていることで、Y軸テーブルとは別に、撮像動作において機能液滴吐出ヘッドを撮像手段に対して移動させるための手段をさらに備える必要がない。また、Y軸テーブルとの間に設けられた回転手段により機能液滴吐出ヘッドを移動手段の移動方向に対して回転させる。したがって、液滴吐出装置全体の構造を単純化することができる。
【0012】
これらの場合、撮像手段は、機能液滴の飛行状態を撮像する撮像カメラと、飛行状態の機能液滴を照明するストロボとを有し、撮像カメラとストロボとは、機能液滴吐出ヘッドを挟んで対向して配置されていることが好ましい。
【0013】
この構成によれば、撮像手段は照射光を直接撮り込む。このため、機能液滴や背景の色彩に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像をより鮮明に撮り込むことができる。
【0014】
この場合、撮像カメラを機能液滴吐出ヘッドに対し移動手段の移動方向と直交する方向に相対的に移動させる撮像系移動機構を、さらに有していることが好ましい。
【0015】
この構成によれば、撮像系移動機構により、機能液滴吐出ヘッドのノズル列と撮像カメラとの距離を、撮像手段の焦点距離に合致するように調整することができる。また、撮像動作において、複数のノズル列が移動手段の移動方向と直交する方向に配列する場合であっても、各ノズル列の撮像毎に撮像系移動機構を駆動することにより、撮像対象となるノズル列と撮像カメラとの距離を撮像手段の焦点距離に合致させることができる。
【0016】
この場合、撮像系移動機構は、撮像カメラをストロボと一体として移動させることが好ましい。
【0017】
この構成によれば、撮像系移動機構を駆動して撮像カメラを移動しても、撮像カメラとストロボとの相対位置が変わることがないため、一定の機能液滴の画像が得られる。このため、吐出が正常であるか否かの判定を正確に行うことができる。
【0018】
これらの場合、撮像カメラと撮像対象となるノズル列との距離が撮像カメラの焦点距離に合致するように、撮像系移動機構の移動を制御する制御手段を、さらに備えたことが好ましい。
【0019】
この構成によれば、制御手段により撮像カメラと撮像対象となるノズル列との距離を撮像カメラの焦点距離に合致するように適切に調整することができる。
【0020】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【0021】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【0022】
これらの構成によれば、機能液滴の吐出状態が適切に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置(デバイス)としては、液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー(ギャップ材)散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【0023】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【0024】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、機能液滴吐出ヘッドを用い、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作と、ワークである基板に機能液滴を吐出する描画動作とを行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである(詳細は後述する)。
【0026】
本実施形態の液滴吐出装置1は、図1に示すように、機台2と、機台2上の全域に広く載置された描画装置3と、機台2上の端部に設置されたヘッド機能回復装置4と、ヘッド機能回復装置4と隣接するように設置された吐出検査装置5と、機台2上に載置され、ヘッド機能回復装置4および吐出検査装置5を一括載置して移動させるメンテナンス系移動テーブル6と、を有し、描画装置3によりワークW上に機能液による描画を行い、ヘッド機能回復装置4により機能液滴吐出ヘッド51の機能回復処理(メンテナンス)を定期的に行うと共に、吐出検査装置5により描画装置3に備える機能液滴吐出ヘッド51の吐出状況を検査し、その検査結果に基づいて機能液滴吐出ヘッド51の吐出状況が不良と判定された場合にも、ヘッド機能回復装置4により機能液滴吐出ヘッド51の機能回復処理を行うようにしている。さらに、図1では図示を省略したが、この液滴吐出装置1には、各機能液滴吐出ヘッド51に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構7や、上記の描画装置3や吐出検査装置5等の構成装置を統括制御する制御装置(後述する)8等が組み込まれている。
【0027】
描画装置3は、X軸テーブル12およびX軸テーブル12に直交するY軸テーブル13からなるX・Y軸移動機構11と、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けたメインキャリッジ14と、メインキャリッジ14に垂設したヘッドユニット15とを備えている。そして、ヘッドユニット15には、サブキャリッジ52を介して、機能液滴吐出ヘッド51が搭載されている。この場合、基板であるワークWは、X軸テーブル12の端部に臨む一対のワーク認識カメラ16,16により、X軸テーブル12に位置決めされた状態で搭載されている。
【0028】
X軸テーブル12は、X軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のX軸スライダ21を有し、これに吸着テーブル23およびワークΘ軸テーブル24等から成るセットテーブル22を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Y軸テーブル13は、Y軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のY軸スライダ26を有し、これにメインキャリッジ14を移動自在に搭載して、構成されている。
【0029】
この場合、X軸テーブル12は、機台2上に直接支持される一方、Y軸テーブル13は、機台2上に立設した左右の支柱27,27に支持されている。X軸テーブル12とメンテナンス系移動テーブル6とは、X軸方向に相互に平行に配設されており、Y軸テーブル13は、X軸テーブル12とメンテナンス系移動テーブル6とを跨ぐように延在している。
【0030】
そして、Y軸テーブル13は、これに搭載したヘッドユニット(の機能液吐出ヘッド51)15を、メンテナンス系移動テーブル6の直上部に位置する機能回復検査エリア31と、X軸テーブル12の直上部に位置する描画エリア32との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Y軸テーブル13は、機能液滴吐出ヘッド51の機能回復や吐出検査を行う場合には、ヘッドユニット15を機能回復検査エリア31に臨ませ、またX軸テーブル12に導入したワークWに描画を行う場合には、ヘッドユニット15を描画エリア32に臨ませる。
【0031】
一方、X軸テーブル12の一方の端部は、ワークWをX軸テーブル12にセット(載せ代える)するための移載エリア33となっており、移載エリア33には、上記一対のワーク認識カメラ16,16が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ16,16により、吸着テーブル23上に供給されたワークWの2箇所の基準マークが同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークWのアライメントがなされる。
【0032】
メインキャリッジ14は、図2および図3に示すように、ヘッドユニット15を着脱自在に搭載するキャリッジ本体41と、キャリッジ本体41を吊設するように保持したキャリッジテーブル42と、で構成されている。メインキャリッジ14は、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けられている。
【0033】
キャリッジテーブル42は、キャリッジ本体41の上部に連結されるヘッドΘ軸テーブル43と、ヘッドΘ軸テーブル43の上部に連結されるヘッドZ軸テーブル44と、で構成されている。ヘッドZ軸テーブル44は、ヘッドΘ軸テーブル43およびキャリッジ本体41を介して機能液滴吐出ヘッド51をZ軸方向に微小移動させ、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面(後述する)73とワークWの表面との間のワークギャップを微調整するものである。
【0034】
ヘッドΘ軸テーブル43は、ヘッドZ軸テーブル44の下面に固定された固定部46と、キャリッジ本体41の上部に固定された回転部47と、固定部46に対し回動自在に取り付けた回転部47をΘ軸方向に回動させるΘ軸モータ48と、を有している。Θ軸モータ48は、正逆回転可能なACサーボモータから構成されており、ボールねじ系を主体とする動力伝達機構部49を介して、固定部46に対し回転部47を回動(回転)させる。この回転部47の回動により、キャリッジ本体41がその軸心を中心に回動する。
【0035】
このように、ヘッドΘ軸テーブル43は、ヘッドZ軸テーブル44とキャリッジ本体41とを相互に連結すると共に、キャリッジ本体41を介してヘッドユニット15をX・Y平面内において正逆回転させる。これにより、ヘッドユニット15の初期位置決め段階において、ヘッドユニット15をΘ軸方向に位置補正することができる。また、描画動作において、副走査方向に対して所定角度Θ傾いている機能液滴吐出ヘッド51のノズル列74の列方向を副走査方向と平行にできるようにもなっている(詳細は後述する)。
【0036】
ヘッドユニット15は、図4に示すように、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド51と、複数の機能液滴吐出ヘッド51を搭載するサブキャリッジ52と、サブキャリッジ52に各機能液滴吐出ヘッド51を個々に取り付けるための複数(12個)のヘッド保持部材53(図5参照)と、を備えている。また、ヘッドユニット15は、メインキャリッジ14に対し着脱自在に保持されている(図2および3参照)。
【0037】
12個の機能液滴吐出ヘッド51は、6個ずつ2列に分けて主走査方向(X軸方向)に離間して配置されている。また、各機能液滴吐出ヘッド51は、ワークWに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために副走査方向(Y軸方向)に対して所定角度Θ傾けて配設されている。さらに、一方の列と他方の列の各機能液滴吐出ヘッド51は、副走査方向(Y軸方向)に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各機能液滴吐出ヘッド51のノズル(後述する)75が連続(一部重複)するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド51を専用部品で構成する等して、ワークWに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、機能液滴吐出ヘッド51をあえて傾けてセットする必要はない。
【0038】
サブキャリッジ52の一方の側方には、ヘッドユニット15をメインキャリッジ14に着脱する際の手持ち用の一対のハンドル54,54と、が設けられている。また、サブキャリッジ52は、一部が切り欠かれた本体プレート55と、本体プレート55の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン56と、本体プレート55の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材57と、を備えている。一対の基準ピン56は、画像認識を前提として、サブキャリッジ(ヘッドユニット15)52をX軸、Y軸およびΘ軸方向に位置決め(位置認識)するための基準となるものである。支持部材55は、ヘッドユニット15をメインキャリッジ14に固定する際の固定の部位となる。
【0039】
機能液滴吐出ヘッド51は、図5に示すように、いわゆる2連のものであり、2連の接続針62を有する機能液導入部61と、機能液導入部61に連なる2連のヘッド基板63と、機能液導入部61の下方(同図(a)では上方)に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体64と、を備えている。各接続針62は、配管アダプタ65を介して機能液を貯留する給液タンク(図示省略)に接続されており、機能液導入部61は、各接続針62から機能液の供給を受けるようになっている。
【0040】
ヘッド本体64は、2連のポンプ部(ピエゾ素子)71と、2本のノズル列74を相互に平行に形成したノズル面73を有するノズル形成プレート72と、を有している。各ノズル列74は、副走査方向に対して所定角度Θ傾いた方向に延在しており、多数(例えば180個)のノズル75が等ピッチで並べられて構成されている。機能液滴吐出ヘッド51は、ポンプ部71の作用によりノズル75から機能液滴を吐出するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド51におけるノズル数やノズル列数は任意である。
【0041】
ここで、描画装置3の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、吸着テーブル23にセットされたワークWの位置補正が、X軸テーブル12によるX軸方向の位置補正およびワークΘ軸テーブル24によるΘ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ14にセットされたヘッドユニット15の位置補正が、Y軸テーブル13によるY軸方向の位置補正およびヘッドΘ軸テーブル43によるΘ軸方向の位置補正によりなされる。
【0042】
次に、ワークWをX・Y軸移動機構11(X軸テーブル12)により主走査(X軸)方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド51を駆動させて、ワークWに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークWを復動させた後、ヘッドユニット15をX・Y軸移動機構11(Y軸テーブル13)により副走査方向(Y軸方向)に移動させ、再度ワークWの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド51の駆動が行われる。そしてこれを、数回繰り返すことで、基板Wの端から端まで(全領域)描画が行われる。
【0043】
なお、本実施形態では、本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸方向へのワークWの移動を主走査とし、Y軸方向への機能液滴吐出ヘッド(ヘッドユニット15)51の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット15をX軸方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークWを固定とし、ヘッドユニット15をX軸方向およびY軸方向に移動させる構成であってもよい。
【0044】
ヘッド機能回復装置4は、図1に示すように、メンテナンス系移動テーブル6上に載置した保管ユニット81、吸引ユニット82およびワイピングユニット83を備えている。保管ユニット81は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド51のノズル75の乾燥を防止すべくこれを封止する。吸引ユニット82は、機能液滴吐出ヘッド51から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド51の全ノズル75からの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット83は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73をワイピング(拭き取り)する。
【0045】
保管ユニット81には、例えば機能液滴吐出ヘッド51に対応する封止キャップ86が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド51)15に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73に封止キャップ86を密接させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73における機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【0046】
同様に、吸引ユニット82には、例えば機能液滴吐出ヘッド51に対応する吸引キャップ87が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド51)15に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド51内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ87を機能液滴吐出ヘッド51に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出(描画)を休止するときには、吸引キャップ87を機能液滴吐出ヘッド51から僅かに離間させておいて、フラッシング(捨て吐出)を行う。これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド51の機能回復が図られる。なお、吸引ユニット82による吸引動作は、定期的に行われるが、吐出検査装置5による検査結果に応じても行われる(詳細は後述する)。
【0047】
ワイピングユニット83には、例えば、ワイピングシート88が繰出しかつ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート88を送りながら、かつメンテナンス系移動テーブル6によりワイピングユニット83をX軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73を拭き取るようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73に付着した機能液が取り除かれ、機能液吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、ワイピングユニット83のワイピング動作は、主として吸引ユニット82の吸引動作により汚れたノズル面73を払拭するためのものであり、機能液滴吐出ヘッド51は、吸引ユニット82に臨んだ後、ワイピングユニット83に臨むことになる。
【0048】
メンテナンス系移動テーブル6は、図1に示すように、機台2本体の長手方向(X軸方向)に延在しており、ヘッド機能回復機能4の各種ユニットおよび吐出検査装置5を分散して載置する共通ベース91と、共通ベース91をスライド自在に支持する一対のガイドレール92,92と、一対のガイドレール92,92間に配設されたボールねじ(図示省略)と、ボールねじを正逆回転させるX軸モータ(図示省略)とを備えている。X軸モータは、カップリング(図示省略)を介してボールねじの端に接続され、共通ベース91は、雌ねじこま(図示省略)を介してボールねじに螺合している。これにより、X軸モータが正逆回転すると、ボールねじを介して共通ベース91が、X軸方向に進退する。このようにして、共通ベース91上に分散して載置されたヘッド機能回復機能4の各種ユニットおよび吐出検査装置5をX軸方向に移動させることができる。
【0049】
機能液滴吐出ヘッド51の機能回復を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル6により吸引ユニット82を機能回復検査エリア31に移動させると共に、Y軸テーブル13によりヘッドユニット15を機能回復検査エリア31に移動させ、機能液滴吐出ヘッド51のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いてメンテナンス系移動テーブル6によりワイピングユニット83を機能回復検査エリア31に移動させ、機能液滴吐出ヘッド51のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止するときには、保管ユニット81により、機能液滴吐出ヘッド51にキャッピングが行われる。
【0050】
一方、本実施形態の液滴吐出装置1は、各ノズル75から吐出された飛行中の機能液滴をターゲットとして、これを撮像する吐出検査装置5により、主として描画動作開始前に、機能液滴吐出ヘッド51の各ノズル75から吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作を行う。
【0051】
吐出検査装置5は、図6に示すように、メンテナンス系移動テーブル6(共通ベース91)上に固定された吐出検査ベース104に載置されており、各ノズル75から吐出された飛翔中の機能液滴を撮像する撮像カメラ101と、撮像する機能液滴に照射光を照射するストロボ102と、この検査用に吐出された機能液滴を下方で受ける液滴受けステージ103と、を備えている。また、吐出検査装置5は、撮像カメラ101による撮像結果を画像認識して、各ノズル75の吐出が正常に行われているか否かを判定する判定手段を備え、上記の制御装置8を判定手段として機能させている(詳細は後述する)。
【0052】
撮像カメラ101は、CCDカメラで構成されており、カメラスタンド111により吐出検査ベース104に支持されている。また、機能液滴吐出ヘッド51を挟んでストロボ102に対面する対物レンズ112や、撮像した機能液滴の画像を結ぶCCD撮像素子(図示省略)等をも具備しており、その光軸がY軸テーブル13の移動方向(Y軸方向)に直交している。これにより、ノズル75から吐出された機能液滴が、ヘッドΘ軸テーブル43によりY軸方向と平行にされたノズル列74の正面から撮像される(詳細は後述する)。このため、一回の撮像により検出される複数のノズル75において、撮像カメラ101から各ノズル75までの距離を均一にすることができる。
【0053】
ストロボ102は、十分な光量でかつ装置内への熱的影響を小さくして照射することができるように、LEDアレイで構成されている。ストロボ102には、その照射光を拡散する光拡散板(図示省略)が設けられている。ストロボ102の発光は、制御装置8により機能液滴吐出ヘッド51の吐出駆動に同期して行われ、撮像する飛翔中の機能液滴を照射する。
【0054】
撮像カメラ101は、機能液滴吐出ヘッド51を挟んでストロボ102に対向している。これにより、撮像カメラ101はストロボ102の光を直接撮り込むため、機能液滴や背景の色に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像を鮮明に撮り込むことができる。
【0055】
さらに、ストロボ102には、ストロボ102の照射角度を調整する角度調整機構(図示省略)が設けられている。この角度調整機構により、機能液滴に対する撮像カメラ101の光軸に対し、機能液滴に対するストロボ102の照射方向を水平面内において0〜±30°の角度範囲内に設定することが好ましく、この角度範囲外に設定して撮像した機能液滴の画像よりも、機能液滴の輪郭まで鮮明に画像として撮り込むことができる。
【0056】
同様に、角度調整機構により、機能液滴に対する撮像カメラ101の光軸に対し、機能液滴に対するストロボ102の照射方向を鉛直面内において0〜5°の角度範囲内に設定することが好ましく、仰角5°が最も好ましい。これによれば、機能液滴の輪郭まで鮮明に画像として撮り込むことができる。
【0057】
また、撮像カメラ101とストロボ102とは、いずれも吐出検査ベース(メンテナンス系移動テーブル6)104上載置されているので、メンテナンス系移動テーブル6により副走査方向(Y軸方向)と直交する方向(X軸方向)に一体となって移動する(詳細は後述する)。このため、撮像カメラ101とストロボ102との相対位置が変わることがないため、一定の機能液滴の画像が得られる。したがって、吐出が正常であるか否かの判定を正確に行うことができる。
【0058】
液滴受けステージ103は、撮像カメラ101とストロボ102との間に設けられ、ステージスタンド116により吐出検査ベース104に固定されている。
【0059】
ここで、図7を参照して、本実施形態の液滴吐出装置1における一連の撮像動作について詳細に説明する。まず、撮像動作において、X・Y軸移動機構11のY軸テーブル13により、ヘッドユニット15を機能回復検査エリア31に臨ませる。相前後してメンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5を機能回復検査エリア31に移動させ、ヘッドユニット15を吐出検査装置5上に臨ませる。このとき、ヘッドユニット15に搭載されている機能液滴吐出ヘッド51のノズル列74は、副走査方向に対して所定角度Θ傾いているが、ヘッドΘ軸テーブル43により、キャリッジ本体41を介してヘッドユニット15をX・Y平面内において、その逆方向に角度Θだけ回転させる。これにより、副走査方向に対して所定角度Θ傾いていたノズル列74の列方向が副走査方向と平行となる。そして、24列のノズル列74は、X軸方向に離間して並ぶ。
【0060】
続いて、Y軸テーブル13により、ヘッドユニット15をY軸方向に微小移動して撮像対象のノズル75がCCD141カメラの視野内に入るようにすると共に、メンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5をX軸方向に微小移動して撮像対象のノズル列74から撮像カメラ101までの距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するようにした後、撮像カメラ101により機能液滴の撮像を行う。
【0061】
この撮像は、機能液滴吐出ヘッド51のノズル列74毎に行われると共に、撮像カメラ101の視野単位で機能液滴吐出ヘッド51を移動させて行われる。すなわち、一方のノズル列74を連続する複数(図8ではA〜Gの7つ)のノズル75からの機能液滴を同時に撮像すると、機能液滴吐出ヘッド51をY軸テーブル13により間欠的に送り、そのノズル列74の次の連続する7つのノズル75について撮像を行う。これを繰り返して、一方のノズル列74の全ノズル75(180個のノズル75)について撮像が完了する。この間欠的な移動において、ノズル列74の列方向が副走査方向と平行になっているので、撮像カメラ101の光軸上であって撮像カメラ101に対して一定の距離に順に、機能液滴吐出ヘッド51の各ノズル75を位置させることができる。したがって、ノズル列74における各ノズル75のすべてについて、撮像カメラ101との距離を撮像カメラ101の焦点距離と合致させることができ、ノズル列74の全ノズル75について吐出状況を適切に検査することができる。
【0062】
一方のノズル列74の全ノズル75の撮像が完了すると、メンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5をX軸方向にノズル列74間の距離だけ移動して他方のノズル列74と撮像カメラ101との距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するようにする。そして、他方のノズル列74についても同様に撮像が行われる。
【0063】
一つの機能液滴吐出ヘッド51について撮像が完了した後、ヘッドユニット15をY軸方向に移動して次の撮像対象である機能液滴吐出ヘッド51のノズル75が撮像カメラ101の視野内に入るようにする共に、メンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5をX軸方向に移動して次の機能液滴吐出ヘッド51の一方のノズル列74と撮像カメラ101との距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するようにする。そして、この機能液滴吐出ヘッド51について撮像を行う。このように、ノズル列74がX軸方向に離間して並んでいる場合であっても、メンテナンス系移動テーブル6によりノズル列74と撮像カメラ101との距離を撮像カメラ101の焦点距離に合致するように調整することができるため、ヘッドユニット15の全機能液滴吐出ヘッド51について適切に撮像を行うことができる。
【0064】
なお、本実施形態の液滴吐出装置1では、ヘッドΘ軸テーブル43によりヘッドユニット15をΘ回転してノズル列74の列方向をY軸テーブル13の走査方向(副走査方向)と平行し、Y軸テーブル13により撮像カメラ101に対してヘッドユニット15を副走査方向に間欠的に送り、メンテナンス系移動テーブル6により吐出検査装置5を副走査方向と直交する方向(X軸方向)に移動してノズル列74と撮像カメラ101との距離を調整しているが、他の構成であってもよい。
例えば、X軸テーブル12およびY軸テーブル13により、ヘッドユニット15をX軸方向およびY軸方向に移動可能な構成とし、メンテナンス系移動テーブル6により吐出検査装置5をX軸方向に移動させる代わりに、X軸テーブル12によりヘッドユニット15をX軸方向に移動させ、ノズル列74と撮像カメラ101との距離を調整するようにしてもよい。また、吐出検査ベース104をY軸方向にスライド自在に支持する吐出検査系移動手段を共通ベース91上に設けた構成とし、Y軸テーブル13により撮像カメラ101に対してヘッドユニット15を副走査方向に間欠的に送る代わりに、吐出検査系移動手段によりヘッドユニット15に対して吐出検査ベース(撮像カメラ101)104をY軸方向(副走査方向)に間欠的に送るようにしてもよい。
【0065】
図8は、撮像カメラ101の撮像画面を模式的に示したものである。同図に示すように、撮像カメラ101は、飛翔中の機能液滴151と共に、機能液滴吐出ヘッド51のノズル形成プレート72の長辺部位を撮像する。また、撮像カメラ101は、多数のノズル75のうちの複数(同図ではA〜Gの7つ)のノズル75からの機能液滴151を同時に視野内に捕捉可能に構成されている。
【0066】
また、撮像カメラ101により、各ノズル75から複数個(図示では4つ)の機能液滴が画像として得られる。すなわち、吐出検査装置5による一連の検査作業では、機能液滴吐出ヘッド51の1つのノズル75から機能液滴を1個吐出させると共に、撮像カメラ101の視野から外れるまでにストロボ102を複数回(図示では4回)発光させることにより、複数個の機能液滴機能液滴が画像として得られる。そして、撮像結果が判定手段により画像認識されて、各ノズル75の吐出が正常か否かの判定がなされる。
【0067】
ノズル75の吐出が正常か否かの判定は、機能液滴の吐出の有無に関するノズル75の目詰まり性(ドット抜け)と、機能液滴の飛翔速度、飛翔方向および粒径(量)に関するノズル75の吐出特性と、機能液滴(主滴)に続いて吐出され得るサテライト(副滴、すなわち、吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子)の発生の有無に関するサテライト性と、について行われる。機能液滴の粒径等は、画像認識の結果から計測される。
【0068】
具体的には、図8に示すA〜G番までのノズル75に関する撮像画面に基づいて説明すると、正常のA番ノズルおよびC番ノズルに対し、B番ノズルは、機能液滴が不吐出のドット抜けが生じているため、不正常な状態として判定される。これは、ヘッド本体64のヘッド内流路に発生した気泡等が原因と考えられるが、機能液滴吐出ヘッド51を吸引ユニット82により吸引処理することで、正常に回復することがある。
【0069】
D番ノズルは、軸線に対し機能液滴が外れて斜め方向に吐出されており、飛翔曲がりが発生している。この場合、画像認識により求めた飛翔方向と軸線との角度が、許容値外であればD番ノズルは不正常な状態として判定される。これは、ノズル形成プレート72のノズル面73の汚れ等が原因と考えられるが、機能液滴吐出ヘッド51をワイピングユニット83により拭取り処理することで、正常に回復することがある。
【0070】
また、E番ノズルはA番ノズルに対し粒径の大きい機能液滴が吐出されており、G番ノズルはA番ノズルに対し機能液滴の飛翔速度(特に初速)が異なっており、いずれも許容値外であれば不正常な状態として判定される。さらに、F番ノズルは、サテライト152が発生し不正常な状態として判定される。
【0071】
一連の検査作業において、いずれか1つのノズル75に不正常と判定された場合には、メンテナンス系移動テーブル6により機能液滴吐出ヘッド51(ヘッドユニット15)を機能回復検査エリア31に移動させて、吸引ユニット82およびワイピングユニット83を駆動させる。次いで、不正常と判断された1以上のノズル75について、再び検査作業を行う。ここで、再度不正常と判定されたときには、該ノズル75を使用不能であるとして制御装置8に記憶させ、描画作業において使用しない仕様とする。もっとも、不正常なノズル75が過多の場合には、ヘッドユニット15を交換するようにする。
【0072】
制御装置8は、図9に示すように、CPUを有して各手段の動作を制御するためのものであり、液滴吐出装置1の制動動作を実行するための制御プログラムや制御データを記憶する記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、制御装置8は、上記した各手段・装置の要素と接続されて液滴吐出装置1全体を制御している。
【0073】
例えば、ワークWに対して描画動作を行う場合には、制御装置8は、複数の機能液滴吐出ヘッド51の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、X・Y軸移動機構11によりワークWおよびメインキャリッジ14の相対的な移動動作を制御する。また、必要に応じてワークΘ軸テーブル24およびヘッドΘ軸テーブル43を駆動し、ヘッドユニット15およびワークWのアライメントを行う。
【0074】
さらに、制御装置8は、撮像動作においてメンテナンス系移動テーブル6の移動を制御して、撮像カメラ101と撮像対象となるノズル列74との距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するように調整する。
【0075】
ところで、上記した液滴吐出装置1は、各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることが可能である。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置1は、液晶表示装置、有機EL装置、FED装置(電子放出装置)、PDP装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。また、液晶表示装置や有機EL装置等のカラーフィルタの製造に適用することができる。
【0076】
ここで、上記の液滴吐出装置1を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図10は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置250は、上下の偏光板262、267間に、カラーフィルタ200と対向基板266とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物265を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ200および対向基板266間には、配向膜261、264が構成され、対向基板266の内側の面には、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示せず)と画素電極263とがマトリクス状に形成されている。
【0077】
カラーフィルタ200は、マトリクス状に並んだ画素(フィルタエレメント)を備え、画素と画素の境目は、バンク213により区切られている。画素の1つ1つには、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのフィルタ材料(機能液)が導入されている。すなわち、カラーフィルタ200は、透光性の基板211(ワークW)と、遮光性のバンク213とを備えている。バンク213が形成されていない(除去された)部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層221を構成する。バンク213および着色層221の上面には、オーバーコート層222および電極層223が形成されている。
【0078】
そして、本実施形態の液滴吐出装置1では、バンク213で区切られて形成された画素内に、機能液滴吐出ヘッド51により、R・G・B各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層221を得るようにしている。また、液滴吐出装置1では、機能液滴吐出ヘッド51により、オーバーコート層222等各種の成膜部を形成している。もちろん、吐出検査装置5により、機能液滴の吐出状態が適切に管理されている。
【0079】
同様に、図11を参照して、有機EL装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機EL装置300は、ガラス基板301(ワークW)上に回路素子部302が積層され、回路素子部302上に主体を為す有機EL素子304が積層されている。また有機EL素子304の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板305が形成されている。
【0080】
有機EL素子304には、無機物バンク層312aおよびこれに重ねた有機物バンク層312bによりバンク312が形成され、このバンク312により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極311、R・G・Bいずれかの発光層310bおよび正孔注入/輸送層310aが積層され、かつ全体がCaやAl等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極303で覆われている。
【0081】
そして、本実施形態の液滴吐出装置1では、R・G・Bの各発光層310bおよび正孔注入/輸送層310aの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置1では、正孔注入/輸送層310aを形成した後に、機能液滴吐出ヘッド51に導入する機能液としてCaやAl等の液体金属材料を用いて、対向電極303を形成する等している。もちろん、吐出検査装置5により、機能液滴の吐出状態が適切に管理されている。
【0082】
また、他の電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー(ギャップ材)散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置1は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
【0083】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の液滴吐出装置における機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置によれば、回転手段によりノズル列の列方向が移動手段の移動方向と平行になるように、水平面内において移動手段の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させることで、機能液吐出ヘッドの全ノズルについて吐出状況を適切に検査することができる。
【0084】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、上記の液滴吐出装置により製造されるため、信頼性の高い電気光学装置や電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。
【図2】実施形態に係るメインキャリッジを示す斜視図である。
【図3】実施形態に係るメインキャリッジを示す分解斜視図である。
【図4】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図5】(a)実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図、(b)機能液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図6】実施形態に係る吐出検査装置の平面図である。
【図7】実施形態の撮像動作におけるヘッドユニットのΘ軸回転動作を模式的に示した図である。
【図8】実施形態に係る吐出検査装置の撮像カメラの撮像画面を模試的に示した図である。
【図9】実施形態に係る液滴吐出装置の主要部のブロック図である。
【図10】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図11】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機EL装置の断面図である。
【符号の説明】
1 液滴吐出装置 3 描画装置
5 吐出検査装置 6 メンテナンス系移動テーブル
8 制御装置 11 X・Y軸移動機構
12 X軸テーブル 13 Y軸テーブル
14 メインキャリッジ 15 ヘッドユニット
43 ヘッドΘ軸テーブル 51 機能液滴吐出ヘッド
74 ノズル列 75 ノズル
101 撮像カメラ 102 ストロボ
250 液晶表示装置 300 有機EL装置
W ワーク
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出を行う描画動作と、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の液滴吐出装置では、吐出されたインク滴(機能液滴)を撮像するCCDカメラとLEDにより構成されるストロボとを備えた撮像手段により機能液滴の吐出を検出して撮像動作を行い、機能液滴の飛行曲がりやサテライト(吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子)の有無、およびノズルの目詰まりがあるか否か等を検査している。(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−206624号公報(図1)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置においては、ワークに対して機能液の十分な塗布密度を確保する目的で機能液滴吐出ヘッドのノズル列方向を副走査方向に所定角度傾けてキャリッジに搭載する場合のように、機能液滴吐出ヘッドのノズル列方向と副走査方向(撮像時の移動方向)とが平行でない場合がある。しかしながら、機能液滴吐出ヘッドの吐出状況の検査を行う場合に、機能液滴吐出ヘッドのノズル列方向が副走査方向に対して傾いていると、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動して各ノズルをCCDカメラの光軸上に順に位置させるとき、CCDカメラから機能液滴吐出ヘッドの各ノズルまでの距離がノズル毎に異なるものとなる。そのため、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルのすべてについてCCDカメラとの距離をCCDカメラの焦点距離と合致させることができず、全ノズルについて機能液滴の飛行観測を適切に行うことが困難であった。
【0005】
本発明は、機能液吐出ヘッドの全ノズルについて吐出状況を適切に検査することができる液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し直交する2つの走査方向に相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行う描画動作と、ノズル列の各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置において、ノズル列の多数のノズルを複数のノズル単位で撮像する撮像手段と、撮像手段により、ノズル列の多数のノズルが複数のノズル単位で順に撮像されるように、撮像手段に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる移動手段と、ノズル列の列方向が移動手段の移動方向と平行になるように、水平面内において移動手段の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッドを回転させる回転手段と、を備えたことを特徴とする。
【0007】
この構成によれば、回転手段により、水平面内において移動手段の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッドを回転して、ノズル列の列方向と移動手段の移動方向とが平行になるようする。このため、移動手段により、ノズル列の多数のノズルが複数のノズル単位で順に撮像されるように撮像手段に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるとき、撮像手段の光軸上であって撮像手段に対して一定の距離に順に、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルを位置させることができる。したがって、ノズル列における各ノズルのすべてについて、撮像手段との距離を撮像手段の焦点距離と合致させることができ、鮮明な画像を得ることができる。
【0008】
この場合、撮像手段は、その光軸と移動手段の移動方向とが直交するように配設されていることが好ましい。
【0009】
この構成によれば、撮像手段により、ノズル列のノズルから吐出された機能液滴がノズル列の正面から撮像される。このため、一回の撮像により検出される複数のノズルにおいて、撮像手段から各ノズルまでの距離を均一にすることができる。
【0010】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドを2つの走査方向である主走査方向および副走査方向に相対的に移動させるX軸テーブルおよびY軸テーブルを、さらに有し、移動手段を、副走査方向に移動させるY軸テーブルが兼ねており、回転手段は、機能液滴吐出ヘッドとY軸テーブルとの間に設けられていることが好ましい。
【0011】
この構成によれば、移動手段をY軸テーブルが兼ねていることで、Y軸テーブルとは別に、撮像動作において機能液滴吐出ヘッドを撮像手段に対して移動させるための手段をさらに備える必要がない。また、Y軸テーブルとの間に設けられた回転手段により機能液滴吐出ヘッドを移動手段の移動方向に対して回転させる。したがって、液滴吐出装置全体の構造を単純化することができる。
【0012】
これらの場合、撮像手段は、機能液滴の飛行状態を撮像する撮像カメラと、飛行状態の機能液滴を照明するストロボとを有し、撮像カメラとストロボとは、機能液滴吐出ヘッドを挟んで対向して配置されていることが好ましい。
【0013】
この構成によれば、撮像手段は照射光を直接撮り込む。このため、機能液滴や背景の色彩に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像をより鮮明に撮り込むことができる。
【0014】
この場合、撮像カメラを機能液滴吐出ヘッドに対し移動手段の移動方向と直交する方向に相対的に移動させる撮像系移動機構を、さらに有していることが好ましい。
【0015】
この構成によれば、撮像系移動機構により、機能液滴吐出ヘッドのノズル列と撮像カメラとの距離を、撮像手段の焦点距離に合致するように調整することができる。また、撮像動作において、複数のノズル列が移動手段の移動方向と直交する方向に配列する場合であっても、各ノズル列の撮像毎に撮像系移動機構を駆動することにより、撮像対象となるノズル列と撮像カメラとの距離を撮像手段の焦点距離に合致させることができる。
【0016】
この場合、撮像系移動機構は、撮像カメラをストロボと一体として移動させることが好ましい。
【0017】
この構成によれば、撮像系移動機構を駆動して撮像カメラを移動しても、撮像カメラとストロボとの相対位置が変わることがないため、一定の機能液滴の画像が得られる。このため、吐出が正常であるか否かの判定を正確に行うことができる。
【0018】
これらの場合、撮像カメラと撮像対象となるノズル列との距離が撮像カメラの焦点距離に合致するように、撮像系移動機構の移動を制御する制御手段を、さらに備えたことが好ましい。
【0019】
この構成によれば、制御手段により撮像カメラと撮像対象となるノズル列との距離を撮像カメラの焦点距離に合致するように適切に調整することができる。
【0020】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【0021】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【0022】
これらの構成によれば、機能液滴の吐出状態が適切に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置(デバイス)としては、液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー(ギャップ材)散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【0023】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【0024】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、機能液滴吐出ヘッドを用い、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作と、ワークである基板に機能液滴を吐出する描画動作とを行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである(詳細は後述する)。
【0026】
本実施形態の液滴吐出装置1は、図1に示すように、機台2と、機台2上の全域に広く載置された描画装置3と、機台2上の端部に設置されたヘッド機能回復装置4と、ヘッド機能回復装置4と隣接するように設置された吐出検査装置5と、機台2上に載置され、ヘッド機能回復装置4および吐出検査装置5を一括載置して移動させるメンテナンス系移動テーブル6と、を有し、描画装置3によりワークW上に機能液による描画を行い、ヘッド機能回復装置4により機能液滴吐出ヘッド51の機能回復処理(メンテナンス)を定期的に行うと共に、吐出検査装置5により描画装置3に備える機能液滴吐出ヘッド51の吐出状況を検査し、その検査結果に基づいて機能液滴吐出ヘッド51の吐出状況が不良と判定された場合にも、ヘッド機能回復装置4により機能液滴吐出ヘッド51の機能回復処理を行うようにしている。さらに、図1では図示を省略したが、この液滴吐出装置1には、各機能液滴吐出ヘッド51に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構7や、上記の描画装置3や吐出検査装置5等の構成装置を統括制御する制御装置(後述する)8等が組み込まれている。
【0027】
描画装置3は、X軸テーブル12およびX軸テーブル12に直交するY軸テーブル13からなるX・Y軸移動機構11と、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けたメインキャリッジ14と、メインキャリッジ14に垂設したヘッドユニット15とを備えている。そして、ヘッドユニット15には、サブキャリッジ52を介して、機能液滴吐出ヘッド51が搭載されている。この場合、基板であるワークWは、X軸テーブル12の端部に臨む一対のワーク認識カメラ16,16により、X軸テーブル12に位置決めされた状態で搭載されている。
【0028】
X軸テーブル12は、X軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のX軸スライダ21を有し、これに吸着テーブル23およびワークΘ軸テーブル24等から成るセットテーブル22を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Y軸テーブル13は、Y軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のY軸スライダ26を有し、これにメインキャリッジ14を移動自在に搭載して、構成されている。
【0029】
この場合、X軸テーブル12は、機台2上に直接支持される一方、Y軸テーブル13は、機台2上に立設した左右の支柱27,27に支持されている。X軸テーブル12とメンテナンス系移動テーブル6とは、X軸方向に相互に平行に配設されており、Y軸テーブル13は、X軸テーブル12とメンテナンス系移動テーブル6とを跨ぐように延在している。
【0030】
そして、Y軸テーブル13は、これに搭載したヘッドユニット(の機能液吐出ヘッド51)15を、メンテナンス系移動テーブル6の直上部に位置する機能回復検査エリア31と、X軸テーブル12の直上部に位置する描画エリア32との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Y軸テーブル13は、機能液滴吐出ヘッド51の機能回復や吐出検査を行う場合には、ヘッドユニット15を機能回復検査エリア31に臨ませ、またX軸テーブル12に導入したワークWに描画を行う場合には、ヘッドユニット15を描画エリア32に臨ませる。
【0031】
一方、X軸テーブル12の一方の端部は、ワークWをX軸テーブル12にセット(載せ代える)するための移載エリア33となっており、移載エリア33には、上記一対のワーク認識カメラ16,16が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ16,16により、吸着テーブル23上に供給されたワークWの2箇所の基準マークが同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークWのアライメントがなされる。
【0032】
メインキャリッジ14は、図2および図3に示すように、ヘッドユニット15を着脱自在に搭載するキャリッジ本体41と、キャリッジ本体41を吊設するように保持したキャリッジテーブル42と、で構成されている。メインキャリッジ14は、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けられている。
【0033】
キャリッジテーブル42は、キャリッジ本体41の上部に連結されるヘッドΘ軸テーブル43と、ヘッドΘ軸テーブル43の上部に連結されるヘッドZ軸テーブル44と、で構成されている。ヘッドZ軸テーブル44は、ヘッドΘ軸テーブル43およびキャリッジ本体41を介して機能液滴吐出ヘッド51をZ軸方向に微小移動させ、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面(後述する)73とワークWの表面との間のワークギャップを微調整するものである。
【0034】
ヘッドΘ軸テーブル43は、ヘッドZ軸テーブル44の下面に固定された固定部46と、キャリッジ本体41の上部に固定された回転部47と、固定部46に対し回動自在に取り付けた回転部47をΘ軸方向に回動させるΘ軸モータ48と、を有している。Θ軸モータ48は、正逆回転可能なACサーボモータから構成されており、ボールねじ系を主体とする動力伝達機構部49を介して、固定部46に対し回転部47を回動(回転)させる。この回転部47の回動により、キャリッジ本体41がその軸心を中心に回動する。
【0035】
このように、ヘッドΘ軸テーブル43は、ヘッドZ軸テーブル44とキャリッジ本体41とを相互に連結すると共に、キャリッジ本体41を介してヘッドユニット15をX・Y平面内において正逆回転させる。これにより、ヘッドユニット15の初期位置決め段階において、ヘッドユニット15をΘ軸方向に位置補正することができる。また、描画動作において、副走査方向に対して所定角度Θ傾いている機能液滴吐出ヘッド51のノズル列74の列方向を副走査方向と平行にできるようにもなっている(詳細は後述する)。
【0036】
ヘッドユニット15は、図4に示すように、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド51と、複数の機能液滴吐出ヘッド51を搭載するサブキャリッジ52と、サブキャリッジ52に各機能液滴吐出ヘッド51を個々に取り付けるための複数(12個)のヘッド保持部材53(図5参照)と、を備えている。また、ヘッドユニット15は、メインキャリッジ14に対し着脱自在に保持されている(図2および3参照)。
【0037】
12個の機能液滴吐出ヘッド51は、6個ずつ2列に分けて主走査方向(X軸方向)に離間して配置されている。また、各機能液滴吐出ヘッド51は、ワークWに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために副走査方向(Y軸方向)に対して所定角度Θ傾けて配設されている。さらに、一方の列と他方の列の各機能液滴吐出ヘッド51は、副走査方向(Y軸方向)に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各機能液滴吐出ヘッド51のノズル(後述する)75が連続(一部重複)するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド51を専用部品で構成する等して、ワークWに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、機能液滴吐出ヘッド51をあえて傾けてセットする必要はない。
【0038】
サブキャリッジ52の一方の側方には、ヘッドユニット15をメインキャリッジ14に着脱する際の手持ち用の一対のハンドル54,54と、が設けられている。また、サブキャリッジ52は、一部が切り欠かれた本体プレート55と、本体プレート55の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン56と、本体プレート55の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材57と、を備えている。一対の基準ピン56は、画像認識を前提として、サブキャリッジ(ヘッドユニット15)52をX軸、Y軸およびΘ軸方向に位置決め(位置認識)するための基準となるものである。支持部材55は、ヘッドユニット15をメインキャリッジ14に固定する際の固定の部位となる。
【0039】
機能液滴吐出ヘッド51は、図5に示すように、いわゆる2連のものであり、2連の接続針62を有する機能液導入部61と、機能液導入部61に連なる2連のヘッド基板63と、機能液導入部61の下方(同図(a)では上方)に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体64と、を備えている。各接続針62は、配管アダプタ65を介して機能液を貯留する給液タンク(図示省略)に接続されており、機能液導入部61は、各接続針62から機能液の供給を受けるようになっている。
【0040】
ヘッド本体64は、2連のポンプ部(ピエゾ素子)71と、2本のノズル列74を相互に平行に形成したノズル面73を有するノズル形成プレート72と、を有している。各ノズル列74は、副走査方向に対して所定角度Θ傾いた方向に延在しており、多数(例えば180個)のノズル75が等ピッチで並べられて構成されている。機能液滴吐出ヘッド51は、ポンプ部71の作用によりノズル75から機能液滴を吐出するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド51におけるノズル数やノズル列数は任意である。
【0041】
ここで、描画装置3の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、吸着テーブル23にセットされたワークWの位置補正が、X軸テーブル12によるX軸方向の位置補正およびワークΘ軸テーブル24によるΘ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ14にセットされたヘッドユニット15の位置補正が、Y軸テーブル13によるY軸方向の位置補正およびヘッドΘ軸テーブル43によるΘ軸方向の位置補正によりなされる。
【0042】
次に、ワークWをX・Y軸移動機構11(X軸テーブル12)により主走査(X軸)方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド51を駆動させて、ワークWに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークWを復動させた後、ヘッドユニット15をX・Y軸移動機構11(Y軸テーブル13)により副走査方向(Y軸方向)に移動させ、再度ワークWの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド51の駆動が行われる。そしてこれを、数回繰り返すことで、基板Wの端から端まで(全領域)描画が行われる。
【0043】
なお、本実施形態では、本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸方向へのワークWの移動を主走査とし、Y軸方向への機能液滴吐出ヘッド(ヘッドユニット15)51の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット15をX軸方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークWを固定とし、ヘッドユニット15をX軸方向およびY軸方向に移動させる構成であってもよい。
【0044】
ヘッド機能回復装置4は、図1に示すように、メンテナンス系移動テーブル6上に載置した保管ユニット81、吸引ユニット82およびワイピングユニット83を備えている。保管ユニット81は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド51のノズル75の乾燥を防止すべくこれを封止する。吸引ユニット82は、機能液滴吐出ヘッド51から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド51の全ノズル75からの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット83は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73をワイピング(拭き取り)する。
【0045】
保管ユニット81には、例えば機能液滴吐出ヘッド51に対応する封止キャップ86が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド51)15に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73に封止キャップ86を密接させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73における機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【0046】
同様に、吸引ユニット82には、例えば機能液滴吐出ヘッド51に対応する吸引キャップ87が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド51)15に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド51内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ87を機能液滴吐出ヘッド51に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出(描画)を休止するときには、吸引キャップ87を機能液滴吐出ヘッド51から僅かに離間させておいて、フラッシング(捨て吐出)を行う。これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド51の機能回復が図られる。なお、吸引ユニット82による吸引動作は、定期的に行われるが、吐出検査装置5による検査結果に応じても行われる(詳細は後述する)。
【0047】
ワイピングユニット83には、例えば、ワイピングシート88が繰出しかつ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート88を送りながら、かつメンテナンス系移動テーブル6によりワイピングユニット83をX軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73を拭き取るようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド51のノズル面73に付着した機能液が取り除かれ、機能液吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、ワイピングユニット83のワイピング動作は、主として吸引ユニット82の吸引動作により汚れたノズル面73を払拭するためのものであり、機能液滴吐出ヘッド51は、吸引ユニット82に臨んだ後、ワイピングユニット83に臨むことになる。
【0048】
メンテナンス系移動テーブル6は、図1に示すように、機台2本体の長手方向(X軸方向)に延在しており、ヘッド機能回復機能4の各種ユニットおよび吐出検査装置5を分散して載置する共通ベース91と、共通ベース91をスライド自在に支持する一対のガイドレール92,92と、一対のガイドレール92,92間に配設されたボールねじ(図示省略)と、ボールねじを正逆回転させるX軸モータ(図示省略)とを備えている。X軸モータは、カップリング(図示省略)を介してボールねじの端に接続され、共通ベース91は、雌ねじこま(図示省略)を介してボールねじに螺合している。これにより、X軸モータが正逆回転すると、ボールねじを介して共通ベース91が、X軸方向に進退する。このようにして、共通ベース91上に分散して載置されたヘッド機能回復機能4の各種ユニットおよび吐出検査装置5をX軸方向に移動させることができる。
【0049】
機能液滴吐出ヘッド51の機能回復を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル6により吸引ユニット82を機能回復検査エリア31に移動させると共に、Y軸テーブル13によりヘッドユニット15を機能回復検査エリア31に移動させ、機能液滴吐出ヘッド51のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いてメンテナンス系移動テーブル6によりワイピングユニット83を機能回復検査エリア31に移動させ、機能液滴吐出ヘッド51のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止するときには、保管ユニット81により、機能液滴吐出ヘッド51にキャッピングが行われる。
【0050】
一方、本実施形態の液滴吐出装置1は、各ノズル75から吐出された飛行中の機能液滴をターゲットとして、これを撮像する吐出検査装置5により、主として描画動作開始前に、機能液滴吐出ヘッド51の各ノズル75から吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作を行う。
【0051】
吐出検査装置5は、図6に示すように、メンテナンス系移動テーブル6(共通ベース91)上に固定された吐出検査ベース104に載置されており、各ノズル75から吐出された飛翔中の機能液滴を撮像する撮像カメラ101と、撮像する機能液滴に照射光を照射するストロボ102と、この検査用に吐出された機能液滴を下方で受ける液滴受けステージ103と、を備えている。また、吐出検査装置5は、撮像カメラ101による撮像結果を画像認識して、各ノズル75の吐出が正常に行われているか否かを判定する判定手段を備え、上記の制御装置8を判定手段として機能させている(詳細は後述する)。
【0052】
撮像カメラ101は、CCDカメラで構成されており、カメラスタンド111により吐出検査ベース104に支持されている。また、機能液滴吐出ヘッド51を挟んでストロボ102に対面する対物レンズ112や、撮像した機能液滴の画像を結ぶCCD撮像素子(図示省略)等をも具備しており、その光軸がY軸テーブル13の移動方向(Y軸方向)に直交している。これにより、ノズル75から吐出された機能液滴が、ヘッドΘ軸テーブル43によりY軸方向と平行にされたノズル列74の正面から撮像される(詳細は後述する)。このため、一回の撮像により検出される複数のノズル75において、撮像カメラ101から各ノズル75までの距離を均一にすることができる。
【0053】
ストロボ102は、十分な光量でかつ装置内への熱的影響を小さくして照射することができるように、LEDアレイで構成されている。ストロボ102には、その照射光を拡散する光拡散板(図示省略)が設けられている。ストロボ102の発光は、制御装置8により機能液滴吐出ヘッド51の吐出駆動に同期して行われ、撮像する飛翔中の機能液滴を照射する。
【0054】
撮像カメラ101は、機能液滴吐出ヘッド51を挟んでストロボ102に対向している。これにより、撮像カメラ101はストロボ102の光を直接撮り込むため、機能液滴や背景の色に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像を鮮明に撮り込むことができる。
【0055】
さらに、ストロボ102には、ストロボ102の照射角度を調整する角度調整機構(図示省略)が設けられている。この角度調整機構により、機能液滴に対する撮像カメラ101の光軸に対し、機能液滴に対するストロボ102の照射方向を水平面内において0〜±30°の角度範囲内に設定することが好ましく、この角度範囲外に設定して撮像した機能液滴の画像よりも、機能液滴の輪郭まで鮮明に画像として撮り込むことができる。
【0056】
同様に、角度調整機構により、機能液滴に対する撮像カメラ101の光軸に対し、機能液滴に対するストロボ102の照射方向を鉛直面内において0〜5°の角度範囲内に設定することが好ましく、仰角5°が最も好ましい。これによれば、機能液滴の輪郭まで鮮明に画像として撮り込むことができる。
【0057】
また、撮像カメラ101とストロボ102とは、いずれも吐出検査ベース(メンテナンス系移動テーブル6)104上載置されているので、メンテナンス系移動テーブル6により副走査方向(Y軸方向)と直交する方向(X軸方向)に一体となって移動する(詳細は後述する)。このため、撮像カメラ101とストロボ102との相対位置が変わることがないため、一定の機能液滴の画像が得られる。したがって、吐出が正常であるか否かの判定を正確に行うことができる。
【0058】
液滴受けステージ103は、撮像カメラ101とストロボ102との間に設けられ、ステージスタンド116により吐出検査ベース104に固定されている。
【0059】
ここで、図7を参照して、本実施形態の液滴吐出装置1における一連の撮像動作について詳細に説明する。まず、撮像動作において、X・Y軸移動機構11のY軸テーブル13により、ヘッドユニット15を機能回復検査エリア31に臨ませる。相前後してメンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5を機能回復検査エリア31に移動させ、ヘッドユニット15を吐出検査装置5上に臨ませる。このとき、ヘッドユニット15に搭載されている機能液滴吐出ヘッド51のノズル列74は、副走査方向に対して所定角度Θ傾いているが、ヘッドΘ軸テーブル43により、キャリッジ本体41を介してヘッドユニット15をX・Y平面内において、その逆方向に角度Θだけ回転させる。これにより、副走査方向に対して所定角度Θ傾いていたノズル列74の列方向が副走査方向と平行となる。そして、24列のノズル列74は、X軸方向に離間して並ぶ。
【0060】
続いて、Y軸テーブル13により、ヘッドユニット15をY軸方向に微小移動して撮像対象のノズル75がCCD141カメラの視野内に入るようにすると共に、メンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5をX軸方向に微小移動して撮像対象のノズル列74から撮像カメラ101までの距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するようにした後、撮像カメラ101により機能液滴の撮像を行う。
【0061】
この撮像は、機能液滴吐出ヘッド51のノズル列74毎に行われると共に、撮像カメラ101の視野単位で機能液滴吐出ヘッド51を移動させて行われる。すなわち、一方のノズル列74を連続する複数(図8ではA〜Gの7つ)のノズル75からの機能液滴を同時に撮像すると、機能液滴吐出ヘッド51をY軸テーブル13により間欠的に送り、そのノズル列74の次の連続する7つのノズル75について撮像を行う。これを繰り返して、一方のノズル列74の全ノズル75(180個のノズル75)について撮像が完了する。この間欠的な移動において、ノズル列74の列方向が副走査方向と平行になっているので、撮像カメラ101の光軸上であって撮像カメラ101に対して一定の距離に順に、機能液滴吐出ヘッド51の各ノズル75を位置させることができる。したがって、ノズル列74における各ノズル75のすべてについて、撮像カメラ101との距離を撮像カメラ101の焦点距離と合致させることができ、ノズル列74の全ノズル75について吐出状況を適切に検査することができる。
【0062】
一方のノズル列74の全ノズル75の撮像が完了すると、メンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5をX軸方向にノズル列74間の距離だけ移動して他方のノズル列74と撮像カメラ101との距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するようにする。そして、他方のノズル列74についても同様に撮像が行われる。
【0063】
一つの機能液滴吐出ヘッド51について撮像が完了した後、ヘッドユニット15をY軸方向に移動して次の撮像対象である機能液滴吐出ヘッド51のノズル75が撮像カメラ101の視野内に入るようにする共に、メンテナンス系移動テーブル6により、吐出検査装置5をX軸方向に移動して次の機能液滴吐出ヘッド51の一方のノズル列74と撮像カメラ101との距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するようにする。そして、この機能液滴吐出ヘッド51について撮像を行う。このように、ノズル列74がX軸方向に離間して並んでいる場合であっても、メンテナンス系移動テーブル6によりノズル列74と撮像カメラ101との距離を撮像カメラ101の焦点距離に合致するように調整することができるため、ヘッドユニット15の全機能液滴吐出ヘッド51について適切に撮像を行うことができる。
【0064】
なお、本実施形態の液滴吐出装置1では、ヘッドΘ軸テーブル43によりヘッドユニット15をΘ回転してノズル列74の列方向をY軸テーブル13の走査方向(副走査方向)と平行し、Y軸テーブル13により撮像カメラ101に対してヘッドユニット15を副走査方向に間欠的に送り、メンテナンス系移動テーブル6により吐出検査装置5を副走査方向と直交する方向(X軸方向)に移動してノズル列74と撮像カメラ101との距離を調整しているが、他の構成であってもよい。
例えば、X軸テーブル12およびY軸テーブル13により、ヘッドユニット15をX軸方向およびY軸方向に移動可能な構成とし、メンテナンス系移動テーブル6により吐出検査装置5をX軸方向に移動させる代わりに、X軸テーブル12によりヘッドユニット15をX軸方向に移動させ、ノズル列74と撮像カメラ101との距離を調整するようにしてもよい。また、吐出検査ベース104をY軸方向にスライド自在に支持する吐出検査系移動手段を共通ベース91上に設けた構成とし、Y軸テーブル13により撮像カメラ101に対してヘッドユニット15を副走査方向に間欠的に送る代わりに、吐出検査系移動手段によりヘッドユニット15に対して吐出検査ベース(撮像カメラ101)104をY軸方向(副走査方向)に間欠的に送るようにしてもよい。
【0065】
図8は、撮像カメラ101の撮像画面を模式的に示したものである。同図に示すように、撮像カメラ101は、飛翔中の機能液滴151と共に、機能液滴吐出ヘッド51のノズル形成プレート72の長辺部位を撮像する。また、撮像カメラ101は、多数のノズル75のうちの複数(同図ではA〜Gの7つ)のノズル75からの機能液滴151を同時に視野内に捕捉可能に構成されている。
【0066】
また、撮像カメラ101により、各ノズル75から複数個(図示では4つ)の機能液滴が画像として得られる。すなわち、吐出検査装置5による一連の検査作業では、機能液滴吐出ヘッド51の1つのノズル75から機能液滴を1個吐出させると共に、撮像カメラ101の視野から外れるまでにストロボ102を複数回(図示では4回)発光させることにより、複数個の機能液滴機能液滴が画像として得られる。そして、撮像結果が判定手段により画像認識されて、各ノズル75の吐出が正常か否かの判定がなされる。
【0067】
ノズル75の吐出が正常か否かの判定は、機能液滴の吐出の有無に関するノズル75の目詰まり性(ドット抜け)と、機能液滴の飛翔速度、飛翔方向および粒径(量)に関するノズル75の吐出特性と、機能液滴(主滴)に続いて吐出され得るサテライト(副滴、すなわち、吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子)の発生の有無に関するサテライト性と、について行われる。機能液滴の粒径等は、画像認識の結果から計測される。
【0068】
具体的には、図8に示すA〜G番までのノズル75に関する撮像画面に基づいて説明すると、正常のA番ノズルおよびC番ノズルに対し、B番ノズルは、機能液滴が不吐出のドット抜けが生じているため、不正常な状態として判定される。これは、ヘッド本体64のヘッド内流路に発生した気泡等が原因と考えられるが、機能液滴吐出ヘッド51を吸引ユニット82により吸引処理することで、正常に回復することがある。
【0069】
D番ノズルは、軸線に対し機能液滴が外れて斜め方向に吐出されており、飛翔曲がりが発生している。この場合、画像認識により求めた飛翔方向と軸線との角度が、許容値外であればD番ノズルは不正常な状態として判定される。これは、ノズル形成プレート72のノズル面73の汚れ等が原因と考えられるが、機能液滴吐出ヘッド51をワイピングユニット83により拭取り処理することで、正常に回復することがある。
【0070】
また、E番ノズルはA番ノズルに対し粒径の大きい機能液滴が吐出されており、G番ノズルはA番ノズルに対し機能液滴の飛翔速度(特に初速)が異なっており、いずれも許容値外であれば不正常な状態として判定される。さらに、F番ノズルは、サテライト152が発生し不正常な状態として判定される。
【0071】
一連の検査作業において、いずれか1つのノズル75に不正常と判定された場合には、メンテナンス系移動テーブル6により機能液滴吐出ヘッド51(ヘッドユニット15)を機能回復検査エリア31に移動させて、吸引ユニット82およびワイピングユニット83を駆動させる。次いで、不正常と判断された1以上のノズル75について、再び検査作業を行う。ここで、再度不正常と判定されたときには、該ノズル75を使用不能であるとして制御装置8に記憶させ、描画作業において使用しない仕様とする。もっとも、不正常なノズル75が過多の場合には、ヘッドユニット15を交換するようにする。
【0072】
制御装置8は、図9に示すように、CPUを有して各手段の動作を制御するためのものであり、液滴吐出装置1の制動動作を実行するための制御プログラムや制御データを記憶する記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、制御装置8は、上記した各手段・装置の要素と接続されて液滴吐出装置1全体を制御している。
【0073】
例えば、ワークWに対して描画動作を行う場合には、制御装置8は、複数の機能液滴吐出ヘッド51の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、X・Y軸移動機構11によりワークWおよびメインキャリッジ14の相対的な移動動作を制御する。また、必要に応じてワークΘ軸テーブル24およびヘッドΘ軸テーブル43を駆動し、ヘッドユニット15およびワークWのアライメントを行う。
【0074】
さらに、制御装置8は、撮像動作においてメンテナンス系移動テーブル6の移動を制御して、撮像カメラ101と撮像対象となるノズル列74との距離が撮像カメラ101の焦点距離に合致するように調整する。
【0075】
ところで、上記した液滴吐出装置1は、各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることが可能である。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置1は、液晶表示装置、有機EL装置、FED装置(電子放出装置)、PDP装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。また、液晶表示装置や有機EL装置等のカラーフィルタの製造に適用することができる。
【0076】
ここで、上記の液滴吐出装置1を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図10は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置250は、上下の偏光板262、267間に、カラーフィルタ200と対向基板266とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物265を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ200および対向基板266間には、配向膜261、264が構成され、対向基板266の内側の面には、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示せず)と画素電極263とがマトリクス状に形成されている。
【0077】
カラーフィルタ200は、マトリクス状に並んだ画素(フィルタエレメント)を備え、画素と画素の境目は、バンク213により区切られている。画素の1つ1つには、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのフィルタ材料(機能液)が導入されている。すなわち、カラーフィルタ200は、透光性の基板211(ワークW)と、遮光性のバンク213とを備えている。バンク213が形成されていない(除去された)部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層221を構成する。バンク213および着色層221の上面には、オーバーコート層222および電極層223が形成されている。
【0078】
そして、本実施形態の液滴吐出装置1では、バンク213で区切られて形成された画素内に、機能液滴吐出ヘッド51により、R・G・B各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層221を得るようにしている。また、液滴吐出装置1では、機能液滴吐出ヘッド51により、オーバーコート層222等各種の成膜部を形成している。もちろん、吐出検査装置5により、機能液滴の吐出状態が適切に管理されている。
【0079】
同様に、図11を参照して、有機EL装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機EL装置300は、ガラス基板301(ワークW)上に回路素子部302が積層され、回路素子部302上に主体を為す有機EL素子304が積層されている。また有機EL素子304の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板305が形成されている。
【0080】
有機EL素子304には、無機物バンク層312aおよびこれに重ねた有機物バンク層312bによりバンク312が形成され、このバンク312により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極311、R・G・Bいずれかの発光層310bおよび正孔注入/輸送層310aが積層され、かつ全体がCaやAl等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極303で覆われている。
【0081】
そして、本実施形態の液滴吐出装置1では、R・G・Bの各発光層310bおよび正孔注入/輸送層310aの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置1では、正孔注入/輸送層310aを形成した後に、機能液滴吐出ヘッド51に導入する機能液としてCaやAl等の液体金属材料を用いて、対向電極303を形成する等している。もちろん、吐出検査装置5により、機能液滴の吐出状態が適切に管理されている。
【0082】
また、他の電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー(ギャップ材)散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置1は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
【0083】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の液滴吐出装置における機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置によれば、回転手段によりノズル列の列方向が移動手段の移動方向と平行になるように、水平面内において移動手段の移動方向に対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に回転させることで、機能液吐出ヘッドの全ノズルについて吐出状況を適切に検査することができる。
【0084】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、上記の液滴吐出装置により製造されるため、信頼性の高い電気光学装置や電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。
【図2】実施形態に係るメインキャリッジを示す斜視図である。
【図3】実施形態に係るメインキャリッジを示す分解斜視図である。
【図4】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図5】(a)実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図、(b)機能液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図6】実施形態に係る吐出検査装置の平面図である。
【図7】実施形態の撮像動作におけるヘッドユニットのΘ軸回転動作を模式的に示した図である。
【図8】実施形態に係る吐出検査装置の撮像カメラの撮像画面を模試的に示した図である。
【図9】実施形態に係る液滴吐出装置の主要部のブロック図である。
【図10】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図11】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機EL装置の断面図である。
【符号の説明】
1 液滴吐出装置 3 描画装置
5 吐出検査装置 6 メンテナンス系移動テーブル
8 制御装置 11 X・Y軸移動機構
12 X軸テーブル 13 Y軸テーブル
14 メインキャリッジ 15 ヘッドユニット
43 ヘッドΘ軸テーブル 51 機能液滴吐出ヘッド
74 ノズル列 75 ノズル
101 撮像カメラ 102 ストロボ
250 液晶表示装置 300 有機EL装置
W ワーク
Claims (10)
- ノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し直交する2つの走査方向に相対移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行う描画動作と、前記ノズル列の各ノズルから吐出された機能液滴の飛行状態を撮像する撮像動作とを行う液滴吐出装置において、
前記ノズル列の多数のノズルを複数のノズル単位で撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により、前記ノズル列の多数のノズルが複数のノズル単位で順に撮像されるように、前記撮像手段に対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる移動手段と、
前記ノズル列の列方向が前記移動手段の移動方向と平行になるように、水平面内において前記移動手段の移動方向に対し前記機能液滴吐出ヘッドを回転させる回転手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記撮像手段は、その光軸と前記移動手段の移動方向とが直交するように配設されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記機能液滴吐出ヘッドを前記2つの走査方向である主走査方向および副走査方向に相対的に移動させるX軸テーブルおよびY軸テーブルを、さらに有し、
前記移動手段は、前記機能液滴吐出ヘッドを搭載し、かつ、これを副走査方向に移動させる前記Y軸テーブルを兼ねており、
前記回転手段は、前記機能液滴吐出ヘッドと前記Y軸テーブルとの間に介設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。 - 前記撮像手段は、機能液滴の飛行状態を撮像する撮像カメラと、前記飛行状態の機能液滴を照明するストロボとを有し、
前記撮像カメラと前記ストロボとは、前記機能液滴吐出ヘッドを挟んで対向して配置されていることを特徴とする請求項1、2または3に記載の液滴吐出装置。 - 前記撮像カメラを前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記移動手段の移動方向と直交する方向に相対的に移動させる撮像系移動機構を、さらに有していることを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出装置。
- 前記撮像系移動機構は、前記撮像カメラを前記ストロボと一体として移動させることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。
- 前記撮像カメラと撮像対象となる前記ノズル列との距離が前記撮像カメラの焦点距離に合致するように、前記撮像系移動機構の移動を制御する制御手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項5または6に記載の液滴吐出装置。
- 請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項8に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項9に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
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JP2009095690A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-05-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | インクジェットヘッド装置 |
JP2015006668A (ja) * | 2008-06-19 | 2015-01-15 | エックスジェット・リミテッドXjet Ltd. | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
-
2003
- 2003-04-23 JP JP2003117918A patent/JP2004321891A/ja active Pending
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