JP2006297175A - 液滴吐出装置、液滴吐出方法及び電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ワークWに描画するためのワーク描画データと、描画シート55に検査パターンを描画するための検査描画データとを含んだ描画データを生成する。ここで、ワーク描画データと検査描画データとを含んだ描画データは、図10の二点鎖線で示した描画範囲201を描画するように生成され、生成された描画データに基づいて、ワークWおよび描画シート55に対して描画を行う。
【選択図】 図10
Description
例えば特許文献1に記載される液滴吐出装置においては、吐出不良検査装置が、ワークを搬送するテーブルの移動領域の外側に位置し、且つ、液滴吐出ヘッドの移動領域の下方に位置する場所に固定して設置されている。また、この吐出不良検査装置は、レーザー光を投光する投光部及び受光する受光部と、検査用に吐出された液滴を受ける検査用液受け部とを備えている。液滴吐出ヘッドの吐出不良検査を行う際には、液滴吐出ヘッドを移動させて吐出不良検査装置に臨ませ、液滴吐出ヘッド検査用の液滴を検査用液受け部に吐出させる。そして、吐出不良検査装置は、この吐出された液滴に対しレーザー光の投光・受光を行って、液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりによる吐出不良の有無を光学的に検出している。
(第1の実施形態)
そして、X軸テーブル11及びY軸テーブル12の駆動と同期して液滴吐出ヘッド32を吐出駆動させることにより、R・G・B3色の液滴を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンを描画する。
被検査描画装置51は、ヘッド装置30の液滴吐出ヘッド32の吐出ノズル48(図6に図示)から検査用に吐出された液滴を受け、所定の検査パターンが描画される。撮像装置90は、被検査描画装置51に描画された検査パターンを撮像して検査する。
セットテーブル60には、ワークWがセットされ、X軸エアースライダ63は、セットテーブル60をX軸方向にスライド自在に支持する。左右一対のX軸リニアモータは、X軸方向に延在し、セットテーブル60を介してワークWをX軸方向に移動させる。一対のX軸ガイドレール22は、X軸リニアモータに並設され、X軸エアースライダ63の移動を案内する。
吸着テーブル61には、ワークWが吸着セットされ、θテーブル62は、吸着テーブル61を支持し、吸着テーブル61にセットされたワークWの位置を水平方向に回動して補正(θ軸補正)する。
スライダ本体65は、セットテーブル60を支持し、セットテーブル60とともに、被検査描画装置51と、定期フラッシング装置71とが搭載されている。一対の掛合部64は、スライダ本体65の下部に固定され、一対のX軸ガイドレール22に係合する。一対のX軸リニアモータを同期させて駆動すると、X軸エアースライダ63がX軸方向に移動し、セットテーブル60にセットされたワークWがX軸方向に移動する。
7つのブリッジプレート36は、ヘッド装置30を構成する7つの各キャリッジ装置31をそれぞれ挿通して固定し、7組14個のY軸スライダは、7つのブリッジプレート36を両持ちで支持する。一対のY軸リニアモータは、上記した一対のY軸支持ベース23上に設置され、7組14個のY軸スライダを介してブリッジプレート36をY軸方向に移動させる。一対のY軸ガイドレールは、Y軸リニアモータと並んでY軸支持ベース23上に設置され、7組14個のY軸スライダを支持して、各Y軸スライダの移動を案内する。
被検査描画装置51は、装置ベース52に配設され、装置ベース52は、セットテーブル60と定期フラッシング装置71との間に位置してスライダ本体65に支持されている。巻取り支持部材54は、定期フラッシング装置71側に位置する一方の描画前フラッシング装置72と、定期フラッシング装置71との間で巻取り部53を支持している。テーブル本体66は、厚板状の石盤で構成され、一辺1800mmの平面視略正方形に形成されている。テーブル本体66の表面には、ワークWを吸引するための吸引溝68が複数形成されている。また、描画前フラッシング装置72が支持ベース67に支持されている。
長尺状の描画シート55は、液滴吐出ヘッド32からの検査用の吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンの描画を受ける。巻取り部53は、描画シート55を繰り出しながら巻き取り、巻取り支持部材54は、巻取り部53を支持して、装置ベース52は、巻取り支持部材54を支持する。
繰出された描画シート55は、外部に露出した状態でY軸方向に水平に走行し、巻取りリール57で巻き取られるようになっているが、この描画シート55の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画面となっている。水平走行部のY軸方向の長辺の長さは、ヘッド装置の全液滴吐出ヘッド32からの検査吐出を受けることができるように設定されており、本実施形態では、1描画ラインの長さ+2ヘッド分の長さに対応して設定されている。
2個の検査カメラ91は、Y軸支持ベース23に直線状に並んで支持され、X軸テーブル11に上側から臨み、描画シート55に描画された検査パターンを撮像する。カメラホルダ92は、2個の検査カメラ91を保持している。カメラ移動機構93は、Y軸支持ベース23に固定され、カメラホルダ92を介して、2個の検査カメラ91をY軸方向にスライド自在に支持している。カメラ移動モータは、カメラ移動機構93を介して検査カメラをY軸方向に移動させる。また、撮像装置90は、吸着テーブル61がワーク載せ換え位置に臨んだときに、2個の検査カメラ91が描画シート55に臨むように配設されている。
同図に示すように、液滴吐出装置1は、液滴吐出部101と、移動部102と、吐出不良検査部103と、メンテナンス部104と、検出部105と、駆動部106と、制御部107とを備えている。
液滴吐出部101は、ヘッド装置30を有する。移動部102は、X軸テーブル11及びY軸テーブル12を有し、ワークW及び被検査描画装置51をX軸方向へ移動させ、ヘッド装置30をY軸方向へ移動させる。吐出不良検査部103は、吐出不良検査装置50となる被検査描画装置51及び撮像装置90を有する。メンテナンス部104は、クリーニング装置73を有する。検出部105は、各種センサを有し各種検出を行う。駆動部106は、各部を駆動制御する各種ドライバを有する。制御装置となる制御部107は、前記各部に接続され液滴吐出装置1全体の制御を行う。
Ln=L+Sa+(n−1)×Sb
そして、描画処理は、図15(a)に示すような、バンク203を作り込んだ基板201がワークWとして導入され、R・G・B3色のいずれか1色の液滴が所定の画素領域207内に吐出されることにより、ワークWに所定の描画パターンが描画される。
ワークWの往動が終了すると、Y軸テーブル12が駆動され、ヘッド装置30がY軸方向へ微少量移動する。そして、再度X軸テーブル11の駆動と液滴吐出ヘッド32の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークWに対して液滴が吐出される。
ワークWの復動が終了すると、更にY軸テーブル12が駆動され、ヘッド装置30がY軸方向へ微少量移動するとともに、上記した一連の動作が再び繰り返され、第1描画動作が終了する。
これにより、図13(b)に示すように、第2描画動作では、第1描画動作において、R色が吐出された画素領域列にB色の液滴が、G色が吐出された画素領域列にR色の液滴が、B色が吐出された画素領域列にG色の液滴が吐出される。
これにより、図14(a)に示すように、各画素領域列の全画素領域207に対してR・G・B全色分の液滴が吐出され、ワークWに対しての描画処理が終了する。また、ワークWに対しての描画処理の終了時には、ヘッド装置30の図示左端の2つの液滴吐出ヘッド32(G・Bに対応する)が、図示最左端の画素領域列から更に左側に外れている。
なお、本実施形態では、各画素領域207に対して、ヘッド装置30を2回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。また、本実施形態では、上記の第1〜第3描画動作においてのワークWの往復動の際、被検査描画装置51はワークWとともに往復動を繰り返している。
そして、X軸テーブル11の駆動が更に続けられ、検査カメラ91が該当する検査パターンを撮像できる位置に臨むまで、被検査描画装置51をワークWとともに移動させる。
なお、本実施形態では、検査パターンを検出する検出装置として、検査カメラを用いたが、検査パターンの検出が可能であれば他の検出装置を用いても良い。
(第2の実施形態)
図18は、被検査描画装置が2つ配設されたときの液滴吐出装置の側面図である。図18に示すように、X軸エアースライダ63が図示左側の方向へ延長され、延長されたX軸エアースライダ63が有しているスライダ本体65に支持されて被検査描画装置51Aが配設されている。被検査描画装置51Aの構成は、被検査描画装置51と同様であり、被検査描画装置51Aには描画シート55A(図示省略)がセットされ、液滴吐出ヘッド32から所定回数の検査パターンが描画される。
この構成では、第1及び第2の実施形態の第1〜第3描画動作において、被検査描画装置51AがワークWとともに往動中に、ワークWへの描画の後に続いて描画シート55Aに検査パターンを吐出させる。次に、被検査描画装置51AがワークWとともに復動する際に、描画シート55Aに描画された上記検査パターンを検査カメラ91で撮像させて、吐出不良の有無の検査を行うことができる。これにより、復動するワークWに対して描画する前に、吐出不良の有無の検査を行うことができるので、吐出不良の有無の検査の回数が倍増することになり、更にきめ細かい吐出不良の有無の検査が実現する。
Claims (15)
- ワークを第1走査方向に移動させるテーブルと、
前記ワークに液滴を吐出して描画する液滴吐出ヘッドを搭載するとともに第2走査方向に移動するキャリッジ装置と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査するための吐出不良検査装置と、
前記テーブル、前記液滴吐出ヘッド、前記キャリッジ装置及び前記吐出不良検査装置を制御する制御装置とを備え、
前記吐出不良検査装置は、前記テーブルと並設され前記液滴吐出ヘッドの液滴の吐出により検査用の所定の検査パターンが描画される被検査描画装置と、
前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを検出する検出装置と、
前記検出装置により検出された前記検査パターンに基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断する吐出不良判断部とを有し、
前記被検査描画装置は、前記第1走査方向に前記テーブルと一体に移動し、前記液滴吐出ヘッドは、前記ワークに対しての描画と、前記被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記検査パターンが前記被検査描画装置に描画される位置を所定の距離だけ第1走査方向にずらす被描画位置変更部を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1又は2に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドが液滴を吐出して描画するための描画データを生成する描画データ生成部を備え、
前記描画データ生成部は、前記ワークに対して描画するためのワーク描画データと、
前記被検査描画装置に対して描画するための検査描画データとを含めた前記描画データを生成することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項3に記載の液滴吐出装置において、
前記テーブル上に載置された前記ワークの水平方向の位置データを取得するワーク位置取得部を備え、
前記描画データ生成部は、前記ワーク位置取得部により取得された前記ワークの前記位置データに基づいて、前記被検査描画装置に対して描画する位置を補正した前記描画データを生成することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項3又は4に記載の液滴吐出装置において、
前記描画データ生成部は、前記被検査描画装置に描画される前記検査パターンの位置を所定の距離だけ第1走査方向にずらした前記描画データを生成することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記吐出不良検査装置は、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンの面に対抗して臨む前記検出装置を、前記第2走査方向に移動させる移動手段を有することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項6に記載の液滴吐出装置において、
前記移動手段は、前記第2走査方向に直線上に並んで複数個配設された前記検出装置を移動させることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記テーブルを前記第1走査方向に移動させて、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを前記検出装置が検出可能な位置に臨ませることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項8に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記ワークに対して描画の途中に、
前記テーブルを前記第1走査方向に移動させることにより前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを前記検出装置が検出可能な位置に臨ませ、前記検出装置により前記検査パターンを検出させ、前記検出装置により検出された前記検査パターンに基づき、前記吐出不良判断部により前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を判断させることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項8に記載の液滴吐出装置において、
前記制御装置は、前記テーブルを前記第1走査方向に移動させて前記ワークを搬出可能な位置に臨ませるとともに、前記被検査描画装置に描画された前記検査パターンを前記検出装置が検出可能な位置に臨ませることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記検出装置は、前記被検査描画装置に描画された検査パターンを撮像することにより検出することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドのクリーニングに使用するクリーニング装置と、
前記液滴吐出ヘッドを移動させて前記クリーニング装置に臨ませるヘッド移動部と、を備え、
前記吐出不良判断部により吐出不良として判断されたときに、
前記制御装置は、前記ヘッド移動部により前記液滴吐出ヘッドを前記クリーニング装置に臨ませ、該クリーニング装置により該液滴吐出ヘッドのクリーニングを行わせることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜12のいずれか一項に記載の液滴吐出装置における液滴吐出方法であって、
前記ワークに対して描画するための前記ワーク描画データと、
前記被検査描画装置に対して描画するための前記検査描画データとを含めた前記描画データを生成する第1工程と、
前記第1工程において生成された前記描画データに基づいて、前記ワーク及び前記被検査描画装置に対して液滴を吐出して描画する第2工程とを備えたことを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1〜12のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに対しての描画と前記被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画とを含めて液滴を吐出して描画する描画工程と、
前記被検査描画装置に対しての検査パターンとなる描画に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査する検査工程とを備え、
前記ワークに対しての描画により前記ワーク上に前記液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項13に記載の前記第1工程と前記第2工程とを含めた液滴吐出方法を用い、前記吐出不良検査装置により前記液滴吐出ヘッドの吐出不良の有無を検査することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
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