KR102638457B1 - 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102638457B1
KR102638457B1 KR1020210111462A KR20210111462A KR102638457B1 KR 102638457 B1 KR102638457 B1 KR 102638457B1 KR 1020210111462 A KR1020210111462 A KR 1020210111462A KR 20210111462 A KR20210111462 A KR 20210111462A KR 102638457 B1 KR102638457 B1 KR 102638457B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
interest
region
nozzle
droplet
substrate
Prior art date
Application number
KR1020210111462A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20230029221A (ko
Inventor
손상욱
현용탁
김대성
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020210111462A priority Critical patent/KR102638457B1/ko
Priority to CN202210861879.3A priority patent/CN115923340A/zh
Priority to US17/870,835 priority patent/US12090754B2/en
Priority to JP2022127625A priority patent/JP7529728B2/ja
Publication of KR20230029221A publication Critical patent/KR20230029221A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102638457B1 publication Critical patent/KR102638457B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/0451—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits for detecting failure, e.g. clogging, malfunctioning actuator
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2142—Detection of malfunctioning nozzles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04586—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads of a type not covered by groups B41J2/04575 - B41J2/04585, or of an undefined type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
    • B41J2029/3935—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns by means of printed test patterns
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8867—Grading and classifying of flaws using sequentially two or more inspection runs, e.g. coarse and fine, or detecting then analysing
    • G01N2021/887—Grading and classifying of flaws using sequentially two or more inspection runs, e.g. coarse and fine, or detecting then analysing the measurements made in two or more directions, angles, positions

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

짧은 시간 내에 잉크젯 헤드 노즐의 불량을 정확하게 검출할 수 있는 노즐 검사 방법 및 노즐 검사 장치가 제공된다. 상기 노즐 검사 방법은 제1 노즐을 이용하여 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여, 검사 패턴을 형성하고, 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것을 포함한다.

Description

노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Nozzle inspection method, nozzle inspection apparatus, and substrate processing apparatus including the same}
본 발명은 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 에 관한 것이다.
LCD 패널, PDP 패널, LED 패널 등의 디스플레이 장치를 제조하기 위해 기판 상에 인쇄 공정(예를 들어, RGB 패터닝(RGB Patterning))을 수행한다. 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장비를 이용하여 인쇄 공정을 수행한다.
한국특허공개공보 제 10-2010-0135392호 (2010.12.27)
그런데, 잉크젯 헤드의　노즐로부터 약액이 적절하게 토출되지 않을 경우에는 불량이 발생할 수 있다. 따라서, 잉크젯 헤드의　노즐에 대한 이상 여부를 수시로　검사해야 한다. 그런데, 종래의 잉크젯 헤드의 검사는 많은 시간이 소요되고, 불량 검출의 정확도가 높지 않았다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 짧은 시간 내에 잉크젯 헤드 노즐의 불량을 정확하게 검출할 수 있는 노즐 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 짧은 시간 내에 잉크젯 헤드 노즐의 불량을 정확하게 검출할 수 있는 노즐 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 짧은 시간 내에 잉크젯 헤드 노즐의 불량을 정확하게 검출할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 노즐 검사 방법의 일 면(aspect)은, 제1 노즐을 이용하여 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여, 검사 패턴을 형성하고, 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것을 포함한다.
여기서, 상기 검사 패턴을 형성하는 것은, 상기 기판을 제1 위치에 정지시키고, 상기 제1 노즐을 이용하여, 정지된 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하는 것을 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴을 형성하는 것은, 상기 기판을 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 제1 액적을 토출하고, 이어서, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하고, 이어서, 상기 기판을 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 제2 액적을 토출하는 것을 포함할 수 있다.
상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하는 것은, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역과 다른 제2 관심영역 내에 제3 액적을 토출하는 것을 포함할 수 있다.
상기 제1 관심영역 내에 제2 액적을 토출한 후에, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제2 관심영역 내에 제4 액적을 토출하는 것을 더 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴을 형성하는 것은, 상기 기판을 제1 위치에서 제3 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역, 제2 관심영역, 제3 관심영역 각각에 제1 액적, 제2 액적 및 제3 액적을 순차적으로 토출하고, 이어서, 상기 기판을 제3 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제3 관심영역, 제2 관심영역, 제1 관심영역 각각에 제4 액적, 제5 액적 및 제6 액적을 순차적으로 토출하는 것을 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 검사 패턴의 사이즈가 제1 기준값 이상인지 여부를 판단하는 것을 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내에 하나만 존재하는지 판단하는 것을 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 검사 패턴의 넓이가 기준원의 넓이에 비해 제2 기준값 이상을 차지하는지 여부를 판단하는 것을 포함할 수 있다.
상기 기판은 검사용 기판일 수 있다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 노즐 검사 장치의 일 면은, 기판이 이동될 수 있는 스테이지; 상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성하는 제1 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드 모듈; 상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 검사 패턴을 촬영하는 비전 모듈; 및 상기 촬영 결과를 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 제어 모듈을 포함할 수 있다.
상기 스테이지는 상기 기판을 제1 위치에 정지시키고, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은, 정지된 상기 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출할 수 있다.
상기 기판이 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은 상기 제1 관심영역 내에 제1 액적을 토출하고, 이어서, 상기 기판이 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은 상기 제1 관심영역과 다른 제2 관심영역 내에 제2 액적을 토출하고, 이어서, 상기 기판이 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 제3 액적을 토출하는 것을 포함할 수 있다.
상기 제어 모듈은, 상기 검사 패턴의 사이즈가 제1 기준값 이상인지 여부를 판단하는 것을 포함할 수 있다.
상기 제어 모듈은, 상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내에 하나만 존재하는지 판단하는 것을 포함할 수 있다.
상기 또 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면은, 제1 영역에 배치된 제1 스테이지; 제2 영역에 배치된 제2 스테이지; 상기 제1 스테이지 및 상기 제2 스테이지를 가로지르도록 배치된 갠트리; 상기 갠트리에 설치되어, 상기 제1 스테이지 또는 제2 스테이지에서 액적을 토출할 수 있는 잉크젯 헤드 모듈; 및 상기 제2 스테이지 상에 배치된 비전 모듈을 포함하되, 상기 제2 스테이지는 검사 기판을 이동시킬 수 있고, 상기 잉크젯 헤드 모듈은 상기 검사 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성하고, 상기 비전 모듈은 상기 검사 패턴을 촬영할 수 있다.
상기 제2 스테이지는 상기 검사 기판을 제1 위치에 정지시키고, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은, 정지된 상기 검사 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출할 수 있다.
상기 검사 기판이 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은 상기 제1 관심영역 내에 제1 액적을 토출하고, 이어서, 상기 검사 기판이 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은 상기 제1 관심영역과 다른 제2 관심영역 내에 제2 액적을 토출하고, 이어서, 상기 검사 기판이 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 제3 액적을 토출하는 것을 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴의 사이즈가 제1 기준값 이상인지 여부를 판단하는 것을 포함하는 제어 모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내에 하나만 존재하는지 판단하는 제어 모듈을 더 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 기판의 다수의 관심영역을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제1 예를 설명하기 위한 중간단계 도면들이다.
도 6 내지 도 9는 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제2 예를 설명하기 위한 중간단계 도면들이다.
도 10은 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제3 예를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 11 및 도 12는 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제4 예를 설명하기 위한 중간단계 도면들이다.
도 13은 잉크젯 헤드 모듈에 의해 형성된 검사 패턴을 예시적으로 도시한 것이다.
도 14는 도 3의 불량 판단 단계(S2)를 설명하기 위한 순서도이다.
도 15 내지 도 17은 불량 판단 단계를 설명하기 위한 예시적인 액적 형상이다.
도 18은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 장치가 적용된 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 장치를 설명하기 위한 개념도이다. 도 2는 기판의 다수의 관심영역을 설명하기 위한 도면이다.
우선 도 1을 참고하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 장치(10)는 스테이지(120), 제1 갠트리(210), 잉크젯 헤드 모듈(220), 제2 갠트리(310), 비전 모듈(320), 제어 모듈(500) 등을 포함한다.
스테이지(120)는 기판(G)을 지지하고 이동시키기 위한 영역이다. 스테이지(120)에서 기판(G)을 이동하는 방법은, 특정 방식에 한정되지 않는다. 예를 들어, 홀더가 기판(G)을 잡고 이동시키거나, 롤투롤 방식으로 이동되는 플레이트에 의해 기판(G)이 이동될 수도 있다.
스테이지(120)는 예를 들어, 제2 방향(y)으로 연장되고, 제2 방향(y)을 따라 기판(G)을 이동시킬 수 있다(도면부호 121 참고). 여기서, 기판(G)은 검사용 기판일 수 있고, 검사용 기판은 검사용 필름일 수도 있고, 디스플레이 장치에서 사용되는 투명 기판(예를 들어, 유리 기판)일 수도 있다.
제1 갠트리(210)는 스테이지(120) 상에, 스테이지(120)를 가로지르도록 배치된다. 제1 갠트리(210)는 제1 방향(x)으로 길게 연장될 수 있다.
잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 갠트리(210)에 설치되어, 제1 갠트리(210)를 따라 이동할 수 있다(도면부호 221 참고). 도시된 것과 같이, 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 방향(x)으로 이동할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 잉크젯 헤드 모듈(220)은 잉크를 토출하는 다수의 헤드를 포함할 수 있고, 각 헤드는 다수의 노즐을 포함할 수 있다. 잉크는 예를 들어, QD(Quantum Dot) 잉크일 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 도면에서는, 잉크젯 헤드 모듈(220)의 폭과 기판(G)의 폭이 거의 유사한 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다.
잉크젯 헤드 모듈(220)의 다수의 노즐은, 기판(G)의 다수의 관심영역(ROI)에 다수의 액적을 토출한다.
여기서 도 2를 참고하면, 기판(G)에는 다수의 관심영역(ROI)이 제1 방향(x) 및 제2 방향(y)으로 배치될 수 있다. 여기서 관심영역(ROI)은 잉크가 토출된 영역을 구분하기 위한 가상의 영역을 의미한다. 관심영역(ROI)는 제어 모듈(500)의 연산에 의해 결정될 수 있다. 도시된 것과 같이, 다수의 관심영역(ROI)은 다수의 라인(L1~L4)으로 배치될 수 있다. 위 라인의 관심영역(ROI)과 아래 라인의 관심영역(ROI)은 서로 어긋나서 배치될 수 있다. 예를 들어, 라인(L1)의 관심영역(ROI)의 일단(E1)과, 라인(L2)의 관심영역(ROI)의 일단(E2)은 서로 어긋나게 배치칠 수 있다. 라인(L2)의 관심영역(ROI)의 일단(E2)과, 라인(L3)의 관심영역(ROI)의 일단(E3)은 서로 어긋나게 배치될 수 있다. 라인(L3)의 관심영역(ROI)의 일단(E3)과, 라인(L4)의 관심영역(ROI)의 일단(E4)은 서로 어긋나게 배치될 수 있다.
이러한 다수의 관심영역(ROI)의 배치는, 잉크젯 헤드 모듈(220)의 다수의 노즐 배치에 대응되는 형태일 수 있다.
구체적으로, 잉크젯 헤드 모듈(220)의 다수의 노즐 중에서 제1 노즐은, 대응하는 관심영역(ROI)에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성한다(도 3 내지 도 13 참고).
제2 갠트리(310)는 스테이지(120) 상에, 스테이지(120)를 가로지르도록 배치된다. 제2 갠트리(310)는 제1 방향(x)으로 길게 연장될 수 있다.
비전 모듈(320)은 제2 갠트리(310)에 설치되어, 제2 갠트리(310)를 따라 이동할 수 있다(도면부호 321 참고). 도시된 것과 같이, 비전 모듈(320)은 제1 방향(x)으로 이동할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 비전 모듈(320)은 형성된 검사 패턴을 촬영한다.
제어 모듈(500)은 스테이지(120), 제1 갠트리(210), 잉크젯 헤드 모듈(220), 제2 갠트리(310) 및 비전 모듈(320) 등을 제어한다. 또한, 제어 모듈(500)은 촬영된 검사 패턴을 기초로 제1 노즐의 불량 여부를 판단할 수 있다. 판단 방법은 도 14 내지 도 17을 이용하여 후술하도록 한다.
별도로 도시하지 않았으나, 제1 갠트리(210) 및 제2 갠트리(310)는 제2 방향(y)으로 이동할 수도 있다.
이하에서 도 3 내지 도 17을 이용하여, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 4 및 도 5는 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제1 예를 설명하기 위한 중간단계 도면들이다.
우선, 도 3을 참고하면, 제1 노즐(229)을 이용하여 제1 관심영역(ROI) 내에 다수의 액적을 토출하여, 검사 패턴을 형성한다(S1).
도 4에 도시된 것과 같이, 기판(G)을 액적이 토출될 위치(P0)로 이동시킨 후, 기판(G)을 정지시킨다. 이어서, 제1 노즐(229)을 이용하여 정지된 기판(G)의 제1 관심영역 내에 제1 액적(d1)을 토출한다.
이어서, 도 5에 도시된 것과 같이, 제1 노즐(229)을 이용하여 정지된 기판(G)의 제1 관심영역 내에 다시 제2 액적(d2)을 토출한다.
이와 같은 방식으로, 기설정된 횟수의 액적을 토출한다. 예를 들어, 기설정된 횟수가 5회라면, 액적을 5회 연속으로 토출한다.
이어서, 형성된 검사 패턴을 기초로, 제1 노즐(229)의 불량 여부를 판단한다(S2).
다수의 액적이 하나의 관심영역에 토출되어 검사 패턴을 형성하였기 때문에, 검사 패턴의 사이즈가 커져서 검사 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 하나의 노즐로 많은 관심영역에 개별적으로 토출하여 많은 검사 패턴을 만들어 검사하려면, 많은 시간이 소요될 수 있다. 하지만 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 방법의 경우, 하나의 관심영역에 다수의 액적을 토출시키기 때문에 검사시간을 단축할 수 있다.
도 6 내지 도 9는 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제2 예를 설명하기 위한 중간단계 도면들이다.
도 6을 참고하면, 기판(G1)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서(도면부호 121a 참고), 제1 노즐(229)을 이용하여 제1 관심영역 내에 제1 액적(d11)을 토출한다.
이어서, 도 7을 참고하면, 기판(G1)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서(도면부호 121b 참고), 제1 노즐(229)을 이용하여 제2 관심영역 내에 제2 액적(d12)을 토출한다.
이어서, 도 8을 참고하면, 다시 기판(G1)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서(도면부호 121c 참고), 제1 노즐(229)을 이용하여 제1 관심영역 내에 제3 액적(d21)을 토출한다. 제1 관심영역 내에 2번의 액적(즉, d11, d21)이 떨어졌기 때문에, 제1 관심영역 내의 액적 사이즈는 커지게 된다.
이어서, 도 9를 참고하면, 다시 기판(G1)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서(도면부호 121d 참고), 제1 노즐(229)을 이용하여 제2 관심영역 내에 제4 액적(d22)을 토출한다. 제2 관심영역 내에 2번의 액적(즉, d21, d22)이 떨어졌기 때문에, 제2 관심영역 내의 액적 사이즈는 커지게 된다.
도 10은 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제3 예를 설명하기 위한 흐름도이다. 설명의 편의를 위해서 도 6 내지 도 9를 이용하여 설명한 것과 다른 점 위주로 설명한다.
도 10을 참고하면, 기판(G1)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서, 제1 노즐을 이용하여 제1 관심영역 내에 액적(제1 액적)을 토출한다(S21).
이어서, 기판(G1)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동한다(S22). 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서, 액적 토출 동작을 수행하지 않는다.
이어서, 기판(G1)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서, 제1 노즐을 이용하여 제1 관심영역 내에 추가 액적(제2 액적)을 토출한다(S23). 추가 액적 토출로 인해서, 제1 관심영역 내의 액적 사이즈는 커지게 된다.
이어서, 기판(G1)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동한다(S24). 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서, 액적 토출 동작을 수행하지 않는다.
도 11 및 도 12는 도 3의 검사 패턴 형성 단계(S1)의 제4 예를 설명하기 위한 중간단계 도면들이다.
도 11을 참고하면, 기판(G2)을 제1 위치(P1)에서 제3 위치(P3)로 이동하면서(도면부호 122a 참고), 제1 노즐(229)을 이용하여 제1 관심영역, 제2 관심영역, 제3 관심영역 각각에 제1 액적(d11), 제2 액적(d12), 제3 액적(d13)을 순차적으로 토출한다.
도 12를 참고하면, 기판(G2)을 제3 위치(P3)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서(도면부호 122b 참고), 제1 노즐(229)을 이용하여 제3 관심영역, 제2 관심영역, 제1 관심영역 각각에 제4 액적(d23), 제5 액적(d22), 제6 액적을 순차적으로 토출한다. 도 12에서는, 제5 액적(d22)을 토출하고, 제6 액적을 토출하기 전의 형상을 도시한 것이다.
도 13은 잉크젯 헤드 모듈에 의해 형성된 검사 패턴을 예시적으로 도시한 것이다.
도 13을 참고하면, 제1 관심영역(ROI1)은 정상 토출된 케이스에 해당한다.
제2 관심영역(ROI2), 제4 관심영역(ROI4) 및 제3 관심영역(ROI5)는, 다수의 액적이 동일하지 않은 위치에 토출된 케이스이다. 즉, 다수의 액적이 정확한 위치에 토출되지 않은 케이스에 해당한다. 이는 "이상 탄착" 또는 "위상 액적 형성"에 해당한다.
제3 관심영역(ROI3)에서는 액적이 전혀 토출되지 않은 케이스에 해당한다. 이는 "미토출"에 해당한다.
제6 관심영역(ROI6)은 다수의 액적이 정확한 위치에 토출되었으나, 기설정된 토출량만큼 토출되지 않은 케이스에 해당한다. 이는 "토출량 불량"에 해당한다.
이하에서는, 도 14 내지 도 17을 참고하여, 도 3의 불량 판단 단계(S2)를 구체적으로 설명한다.
도 14는 도 3의 불량 판단 단계(S2)를 설명하기 위한 순서도이다.
도 14를 참고하면, 우선 제1 관심영역 내에 최소 기준을 만족하는 액적이 존재하는지 체크한다(S7).
S7 단계에서, 최소 기준을 만족하는 액적이 존재하면(Yes), 다음 단계(S8)로 넘어간다. 최소 기준을 만족하는 액적이 존재하지 않으면(No), 상기 액적을 토출한 노즐은 이상 노즐(또는 불량 노즐)로 판단한다.
구체적으로, 도 15에 도시된 것과 같이, 관심영역 내에서 제1 액적(A1)과 제2 액적(A2)은 원형이고, 제3 액적(A3)은 비정형일 수 있다. 비정형의 제3 액적(A3)은, 파티클에 의한 것이나, 바닥 얼룩에 의해 발생한 것으로 판단하여, 판단에서 제외한다. 즉, 제3 액적(A3)은 액적으로 판단되지 않는다. 따라서, 판단의 대상이 되는 액적(즉, 최소 기준을 만족하는 액적)은 A1, A2가 된다.
또는, 도 16에 도시된 것과 같이, 관심영역 내에서 제4 액적(A4)은 원형이고, 판단 대상이 되는 액적이다.
이어서, S7 단계에서 최소 기준을 만족하는 액적이 존재하면, 상기 액적이 1개만 존재하는지를 체크한다(S8). S8 단계에서, 액적이 1개이면(Yes) 다음 단계(S9)로 넘어간다. 액적이 2개 이상으로 판단되면(No), 상기 액적을 토출한 노즐은 이상 노즐로 판단한다.
구체적으로, 도 15에서의 액적(A1, A2)은 2개인 것으로 판단되기 때문에, 상기 액적을 토출한 노즐은 이상 노즐로 판단된다. 도 16에서의 액적(A4)는 1개인 것으로 판단되기 때문에 다음 단계(S9)로 넘어간다.
이어서, 액적이 멀티드랍(multi drop) 기준을 만족하는지 체크한다(S9). S9 단계에서, 액적이 멀티드랍 기준을 만족하면(Yes) 정상 노즐로 판단하고, 액적이 멀티드랍 기준을 만족하지 못하면(No), 상기 액적을 토출한 노즐은 이상 노즐로 판단한다.
멀티드립 기준은, 액적의 사이즈(예를 들어, 직경, 반경, 둘레길이) 등을 기준으로 판단될 수 있다. 즉, 액적의 사이즈가 제1 기준값 이상이고 제2 기준값 이하에 해당하는지 확인할 수 있다. 즉, 액적이 제1 기준값보다 작으면, 적정량이 토출되지 않은 것이기 때문에(즉, 과소 드랍), 멀티드랍 기준을 만족하지 못하는 것으로 판단된다. 반면, 액적이 제2 기준값보다 크면, 적정량이 토출되지 않은 것이기 때문에(즉, 과대 드랍), 멀티드랍 기준을 만족하지 못하는 것으로 판단된다.
도 16에서의 액적(A4)의 직경은 D1이고 제1 기준값보다 작은 것으로 판단될 수 있다. 따라서, 도 16의 액적(A4)를 토출한 노즐은, 이상 노즐로 판단될 수 있다.
한편, 도 14 내지 도 16을 이용하여 설명한 방식 이외에, 추가적인 방법이 사용될 수 있다.
예를 들어, 관심영역 내에, 도 17과 같은 눈사람 형태의 액적(A5)이 형성될 수 있다. 눈사람 형태의 액적(A5)은 비정형 액적(도 15의 A3 참고)과 유사하게 판단되어 배제될 수도 있다. 하지만, 배제되지 않을 경우 도 17에서의 눈사람 형태의 액적(A5)은 1개이기 때문에, 도 17의 액적(A5)를 토출한 노즐은 정상 노즐로 판단될 가능성도 있다(즉, 오류 가능성이 존재함). 이러한 점을 보완하기 위해서, 액적(A5)의 직경(D2)에 대응되는 기준원(SC)을 가정하고, 액적(A5)의 넓이가 기준원(SC)의 넓이와 비교할 때 얼만큼 차이나는지 계산할 수 있다(즉, 액적의 넓이가 기준원의 넓이에 비해 기준비율 이상이 되는지 판단). 예를 들어, 눈사람 형태의 액적(A5)의 넓이는 기준원(SC)의 넓이에 비해 기준비율(예를 들어, 90%) 미만이 되므로, 액적(A5)을 토출한 노즐은 정상 노즐로 판단될 수 있다.
또는, 액적(A5)의 둘레 길이와 기준원(SC)의 둘레 길이를 비교하여, 그 차이가 작으면 정상 노즐로 판단하고 차이가 크면 이상 노즐로 판단할 수 있다. 예를 들어, 눈사람 형태의 액적(A5)의 둘레 길이는, 액적(A5)의 둘레 길이와 기준값 이상 차이나기 때문에 이상 노즐로 판단될 수 있다.
또는, 실험 등을 통해서, n회 토출이 진행된 경우의 정상 액적의 기준 둘레길이를 미리 알 수 있다. 따라서, 평가대상의 액적의 둘레길이를 측정하고, 상기 기준 둘레길이와 비교하여 노즐의 이상여부를 판단할 수도 있다.
도 18은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 노즐 검사 장치가 적용된 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개념도이다. 도 1 및 도 2를 이용하여 설명한 것과 실질적으로 동일한 내용은 생략한다.
도 18을 참고하면, 기판 처리 장치는 제1 스테이지(110), 제2 스테이지(120), 제1 갠트리(210), 제2 갠트리(310), 잉크젯 헤드 모듈(220), 비전 모듈(320), 홀더(holder)(107) 등을 포함한다.
제1 스테이지(110)는 제1 영역에 배치되고, 제2 스테이지(120)는 제1 영역과 인접한 제2 영역에 배치된다.
제1 스테이지(110)의 길이방향을 따라서, 레일(108)이 배치된다. 홀더(107)는 레일(108)을 따라서 이동할 수 있다. 제1 스테이지(110)에는 다수의 홀(112)이 형성되어 있고, 홀(112)을 통해서 기체가 나와서 제조용 기판을 부양시킬 수 있다. 제조용 기판이 부양된 상태에서, 홀더(107)는 제조용 기판을 잡고 이동시킬 수 있다.
제1 갠트리(210)는 제1 스테이지(110)와 제2 스테이지(120)를 가로지르도록 배치된다. 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 갠트리(210)에 설치되고, 제1 스테이지(110) 또는 제2 스테이지(120)에서 액적을 토출하도록 제1 갠트리(210)를 따라 이동할 수 있다.
제2 스테이지(120)에 검사 기판(G)을 위치시키고, 잉크젯 헤드 모듈(220)은 검사 기판(G)의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성한다.
예를 들어, 기판(G)을 액적이 토출될 위치(P0)로 이동시킨 후, 기판(G)을 정지시킨다. 기판(G)이 정지된 상태에서, 잉크젯 헤드 모듈(220)은 기판의 관심영역(ROI) 내에 액적을 다수회 토출한다.
또는, 기판(G)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 관심영역 내에 액적을 토출하고, 다시 기판(G)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제2 관심영역 내에 액적을 토출한다. 이어서, 기판(G)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 관심영역 내에 액적을 추가로 토출한다. 다시 기판(G)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제2 관심영역 내에 액적을 추가로 토출한다.
또는, 기판(G)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 관심영역 내에 액적을 토출하고, 다시 기판(G)을 제2 위치(P2)에서 제1 위치(P1)로 이동시킨다. 이어서, 기판(G)을 제1 위치(P1)에서 제2 위치(P2)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 관심영역 내에 액적을 추가로 토출한다.
또는, 기판(G)을 제1 위치(P1)에서 제3 위치(P3)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제1 관심영역, 제2 관심영역, 제3 관심영역 각각에 액적을 순차적으로 토출한다. 이어서, 기판(G)을 제3 위치(P3)에서 제1 위치(P1)로 이동하면서 잉크젯 헤드 모듈(220)은 제3 관심영역, 제2 관심영역, 제1 관심영역 순서로 액적을 추가로 토출한다.
비전 모듈(320)은 형성된 검사 패턴을 촬영한다.
제어 모듈(도 1의 500 참고)은 촬영된 검사 패턴을 기초로, 액적을 토출한 잉크젯 헤드 모듈(220)의 노즐의 불량 여부를 판단한다. 전술한 것과 같이, 제어 모듈(500)은 관심 영역 내의 액적이 멀티드랍 기준을 만족하는지 체크할 수 있다. 멀티드립 기준은, 액적의 사이즈(예를 들어, 직경, 반경, 둘레길이) 등을 기준으로 판단될 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
120: 스테이지 210: 제1 갠트리
220: 잉크젯 헤드 모듈 310: 제2 갠트리
320: 비전 모듈 500: 제어 모듈

Claims (20)

  1. 제1 노즐을 이용하여 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여, 검사 패턴을 형성하고,
    상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것을 포함하며,
    상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 기판을 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 제1 액적을 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역과 다른 제2 관심영역 내에 제3 액적을 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 상기 제1 액적에 오버랩되도록 제2 액적을 토출하는 것을 포함하고,
    이어서, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제2 관심영역 내에 상기 제3 액적에 오버랩되도록 제4 액적을 토출하는 것을 포함하고,
    상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 제1 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제2 관심 영역 내에 토출된 액적 각각이 사이즈 기준을 만족하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 방법.
  2. 제1 노즐을 이용하여 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여, 검사 패턴을 형성하고,
    상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것을 포함하며,
    상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 기판을 제1 위치에서 제3 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역, 제2 관심영역, 제3 관심영역 각각에 제1 액적, 제2 액적 및 제3 액적을 순차적으로 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 제3 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제3 관심영역, 제2 관심영역, 제1 관심영역 각각에 제4 액적, 제5 액적 및 제6 액적을 순차적으로 토출하는 것을 포함하고, 상기 제4 액적과 상기 제3 액적은 서로 오버랩되고, 상기 제5 액적과 상기 제2 액적은 서로 오버랩되고, 상기 제6 액적과 상기 제1 액적은 서로 오버랩되고,
    상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 제1 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제2 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제3 관심 영역 내에 토출된 액적 각각이 사이즈 기준을 만족하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 기판을 제1 위치에 정지시키고,
    상기 제1 노즐을 이용하여, 정지된 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하는 것을 포함하는, 노즐 검사 방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은,
    상기 검사 패턴의 사이즈가 제1 기준값 이상이고 제2 기준치 이하에 해당하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 방법.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은,
    상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내와 상기 제2 관심영역 내에 각각 하나만 존재하는지 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 방법.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은,
    상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내와, 상기 제2 관심영역 내와, 상기 제3 관심영역 내에 각각 하나만 존재하는지 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 방법.
  7. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 기판은 검사용 기판인, 노즐 검사 방법.
  8. 기판이 이동될 수 있는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성하는 제1 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드 모듈;
    상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 검사 패턴을 촬영하는 비전 모듈; 및
    상기 촬영 결과를 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 제어 모듈을 포함하되,
    상기 잉크젯 헤드 모듈이 상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 기판을 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 제1 액적을 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역과 다른 제2 관심영역 내에 제3 액적을 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 상기 제1 액적에 오버랩되도록 제2 액적을 토출하는 것을 포함하고,
    이어서, 상기 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제2 관심영역 내에 상기 제3 액적에 오버랩되도록 제4 액적을 토출하는 것을 포함하고,
    상기 제어 모듈이 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 제1 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제2 관심 영역 내에 토출된 액적 각각이 사이즈 기준을 만족하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  9. 기판이 이동될 수 있는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성하는 제1 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드 모듈;
    상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 검사 패턴을 촬영하는 비전 모듈; 및
    상기 촬영 결과를 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 제어 모듈을 포함하되,
    상기 잉크젯 헤드 모듈이 상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 기판을 제1 위치에서 제3 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역, 제2 관심영역, 제3 관심영역 각각에 제1 액적, 제2 액적 및 제3 액적을 순차적으로 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 제3 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제3 관심영역, 제2 관심영역, 제1 관심영역 각각에 제4 액적, 제5 액적 및 제6 액적을 순차적으로 토출하는 것을 포함하고, 상기 제4 액적과 상기 제3 액적은 서로 오버랩되고, 상기 제5 액적과 상기 제2 액적은 서로 오버랩되고, 상기 제6 액적과 상기 제1 액적은 서로 오버랩되고,
    상기 제어 모듈이 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은, 상기 제1 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제2 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제3 관심 영역 내에 토출된 액적 각각이 사이즈 기준을 만족하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 기판을 제1 위치에 정지시키고,
    상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은, 정지된 상기 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하는, 노즐 검사 장치.
  11. 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 제어 모듈이 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은,
    상기 검사 패턴의 사이즈가 제1 기준값 이상이고 제2 기준치 이하에 해당하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 제어 모듈이 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은,
    상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내와 상기 제2 관심영역 내에 각각 하나만 존재하는지 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  13. 제 9항에 있어서, 상기 제어 모듈이 상기 검사 패턴을 기초로, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것은,
    상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내와, 상기 제2 관심영역 내와, 상기 제3 관심영역 내에 각각 하나만 존재하는지 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  14. 제1 영역에 배치된 제1 스테이지;
    제2 영역에 배치된 제2 스테이지;
    상기 제1 스테이지 및 상기 제2 스테이지를 가로지르도록 배치된 갠트리;
    상기 갠트리에 설치되어, 상기 제1 스테이지 또는 제2 스테이지에서 액적을 토출할 수 있는 잉크젯 헤드 모듈; 및
    상기 제2 스테이지 상에 배치된 비전 모듈을 포함하되,
    상기 제2 스테이지는 검사 기판을 이동시킬 수 있고,
    상기 잉크젯 헤드 모듈은 상기 검사 기판에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성하고,
    상기 비전 모듈은 상기 검사 패턴을 촬영하고,
    상기 잉크젯 헤드 모듈이 상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 검사 기판을 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 제1 노즐을 이용하여 제1 관심영역 내에 제1 액적을 토출하고,
    이어서, 상기 검사 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역과 다른 제2 관심영역 내에 제3 액적을 토출하고,
    이어서, 상기 검사 기판을 상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제1 관심영역 내에 상기 제1 액적에 오버랩되도록 제2 액적을 토출하는 것을 포함하고,
    이어서, 상기 검사 기판을 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제2 관심영역 내에 상기 제3 액적에 오버랩되도록 제4 액적을 토출하는 것을 포함하고,
    상기 비전 모듈은 상기 검사 패턴을 촬영한 후에, 상기 제1 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제2 관심 영역 내에 토출된 액적 각각이 사이즈 기준을 만족하는지 여부를 판단함으로써, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  15. 제1 영역에 배치된 제1 스테이지;
    제2 영역에 배치된 제2 스테이지;
    상기 제1 스테이지 및 상기 제2 스테이지를 가로지르도록 배치된 갠트리;
    상기 갠트리에 설치되어, 상기 제1 스테이지 또는 제2 스테이지에서 액적을 토출할 수 있는 잉크젯 헤드 모듈; 및
    상기 제2 스테이지 상에 배치된 비전 모듈을 포함하되,
    상기 제2 스테이지는 검사 기판을 이동시킬 수 있고,
    상기 잉크젯 헤드 모듈은 상기 검사 기판에 다수의 액적을 토출하여 검사 패턴을 형성하고,
    상기 비전 모듈은 상기 검사 패턴을 촬영하고,
    상기 잉크젯 헤드 모듈이 상기 검사 패턴을 형성하는 것은,
    상기 기판을 제1 위치에서 제3 위치로 이동하면서, 제1 노즐을 이용하여 제1 관심영역, 제2 관심영역, 제3 관심영역 각각에 제1 액적, 제2 액적 및 제3 액적을 순차적으로 토출하고,
    이어서, 상기 기판을 제3 위치에서 상기 제1 위치로 이동하면서, 상기 제1 노즐을 이용하여 상기 제3 관심영역, 제2 관심영역, 제1 관심영역 각각에 제4 액적, 제5 액적 및 제6 액적을 순차적으로 토출하는 것을 포함하고, 상기 제4 액적과 상기 제3 액적은 서로 오버랩되고, 상기 제5 액적과 상기 제2 액적은 서로 오버랩되고, 상기 제6 액적과 상기 제1 액적은 서로 오버랩되고,
    상기 비전 모듈은 상기 검사 패턴을 촬영한 후에, 상기 제1 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제2 관심 영역 내에 토출된 액적, 상기 제3 관심 영역 내에 토출된 액적 각각이 사이즈 기준을 만족하는지 여부를 판단함으로써, 상기 제1 노즐의 불량 여부를 판단하는 것을 포함하는, 노즐 검사 장치.
  16. 제 14항 또는 제 15항에 있어서,
    상기 제2 스테이지는 상기 검사 기판을 제1 위치에 정지시키고,
    상기 잉크젯 헤드 모듈의 상기 제1 노즐은, 정지된 상기 검사 기판의 제1 관심영역 내에 다수의 액적을 토출하는, 기판 처리 장치.
  17. 제 14항 또는 제 15항에 있어서,
    상기 검사 패턴의 사이즈가 제1 기준값 이상이고 제2 기준치 이하에 해당하는지 여부를 판단하는 것을 포함하는 제어 모듈을 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  18. 제 14항에 있어서,
    상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내와 상기 제2 관심영역 내에 각각 하나만 존재하는지 판단하는 제어 모듈을 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  19. 제 15항에 있어서,
    상기 검사 패턴이 상기 제1 관심영역 내와, 상기 제2 관심영역 내와, 상기 제3 관심영역 내에 각각 하나만 존재하는지 판단하는 제어 모듈을 더 포함하는, 기판 처리 장치.

  20. 삭제
KR1020210111462A 2021-08-24 2021-08-24 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 KR102638457B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210111462A KR102638457B1 (ko) 2021-08-24 2021-08-24 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
CN202210861879.3A CN115923340A (zh) 2021-08-24 2022-07-21 喷嘴检查方法、喷嘴检查装置及包括其的基板处理装置
US17/870,835 US12090754B2 (en) 2021-08-24 2022-07-22 Nozzle inspection method, nozzle inspection apparatus, and substrate processing apparatus including the same
JP2022127625A JP7529728B2 (ja) 2021-08-24 2022-08-10 ノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210111462A KR102638457B1 (ko) 2021-08-24 2021-08-24 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20230029221A KR20230029221A (ko) 2023-03-03
KR102638457B1 true KR102638457B1 (ko) 2024-02-19

Family

ID=85285586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210111462A KR102638457B1 (ko) 2021-08-24 2021-08-24 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US12090754B2 (ko)
JP (1) JP7529728B2 (ko)
KR (1) KR102638457B1 (ko)
CN (1) CN115923340A (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009520598A (ja) * 2005-12-22 2009-05-28 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 基板上に物質を位置付けるインクジェット装置、基板の上に物質を位置付ける方法、及び、インクジェット装置の使用
KR101328214B1 (ko) 2013-03-21 2013-11-14 삼성전기주식회사 유체 토출 장치
JP2020052043A (ja) 2018-09-21 2020-04-02 国立大学法人九州大学 粒子分析用の基板、粒子分析システム、及び粒子の分析方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4049780B2 (ja) * 2005-03-31 2008-02-20 株式会社石井表記 着弾後インク滴測定方法及び着弾後インク滴測定装置
JP2006264041A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Brother Ind Ltd インクジェットヘッドの検査方法
US20080079763A1 (en) * 2006-09-29 2008-04-03 Weyerhaeuser Co. Systems And Methods For Verifying The Operational Conditions Of Print Heads in a Digital Printing Environment
JP5713683B2 (ja) 2009-02-04 2015-05-07 セーレン株式会社 インクジェットヘッドの吐出状態検査方法およびインクジェットヘッドの吐出状態検査装置
KR20100135392A (ko) 2009-06-17 2010-12-27 삼성전자주식회사 잉크젯 헤드 검사 장치 및 그 방법
JP2011131483A (ja) * 2009-12-24 2011-07-07 Seiko Epson Corp インクジェットヘッドの吐出検査方法、インクジェットヘッドの吐出検査装置、およびこれを備えた液滴吐出装置
JP2011148131A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Seiko Epson Corp 流体吐出装置における流体吐出不良検査方法、および流体吐出不良検査装置
KR101394392B1 (ko) * 2010-12-30 2014-05-14 세메스 주식회사 액정 검사 장치
TW201509692A (zh) * 2013-09-13 2015-03-16 Microjet Technology Co Ltd 適用於列印模組之列印補償方法
JP2017154302A (ja) 2016-02-29 2017-09-07 セーレン株式会社 インクジェット記録装置及び記録方法
JP6876487B2 (ja) * 2016-06-06 2021-05-26 東京エレクトロン株式会社 検査装置、検査方法、機能液吐出装置及び補正方法
KR102510963B1 (ko) * 2018-02-20 2023-03-16 세메스 주식회사 약액 검사 방법
JP2019155307A (ja) 2018-03-15 2019-09-19 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 インクジェットの吐出検査方法とインクジェット塗布方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009520598A (ja) * 2005-12-22 2009-05-28 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 基板上に物質を位置付けるインクジェット装置、基板の上に物質を位置付ける方法、及び、インクジェット装置の使用
KR101328214B1 (ko) 2013-03-21 2013-11-14 삼성전기주식회사 유체 토출 장치
JP2020052043A (ja) 2018-09-21 2020-04-02 国立大学法人九州大学 粒子分析用の基板、粒子分析システム、及び粒子の分析方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20230066695A1 (en) 2023-03-02
KR20230029221A (ko) 2023-03-03
US12090754B2 (en) 2024-09-17
CN115923340A (zh) 2023-04-07
JP2023031271A (ja) 2023-03-08
JP7529728B2 (ja) 2024-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI410333B (zh) 具有可移動式列印頭之噴墨列印系統及其方法
KR101256424B1 (ko) 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법, 잉크 액적 확산 검사방법, 및 배향 막 형성 방법
JP4159525B2 (ja) 配向膜形成方法およびインクジェット式プリントヘッド噴出検査装置
KR101701904B1 (ko) 액적 검사 장치 및 방법, 그리고 이를 포함하는 액적 토출 장치 및 방법
CN108116049B (zh) 利用喷墨头单元的印刷方法
US20070222809A1 (en) Droplet jet inspecting device, droplet jetting applicator and method for manufacturing coated body
KR20090126854A (ko) 어레이 헤드형 잉크젯 화상형성장치 및 그 정렬 에러 보상방법
KR101639459B1 (ko) 액적 도포 방법 및 장치
JP2005185978A (ja) インクジェット式薄膜形成装置及び薄膜形成方法
KR102638457B1 (ko) 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP2019155307A (ja) インクジェットの吐出検査方法とインクジェット塗布方法
KR20210143663A (ko) 잉크도포장치, 그 제어장치, 및 잉크젯헤드검사방법
JP5839670B2 (ja) 塗布装置および着弾状態検査方法
KR20240124037A (ko) 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US20240149582A1 (en) Substrate processing apparatus and method
KR20240033864A (ko) 잉크젯 헤드 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20230098987A (ko) 노즐 검사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP2017221913A (ja) 塗布装置
JP6569670B2 (ja) インクジェット記録装置及びノズル状態検出方法
KR20240153917A (ko) 잉크젯 헤드 검사 장치, 잉크젯 인쇄 장치, 잉크젯 헤드 검사 방법, 잉크젯 인쇄 방법, 및 컴퓨터 판독가능 저장 매체
KR20230142192A (ko) 액적 검사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP2016203424A (ja) テストパターンおよび位置ズレ量測定方法
JP4217047B2 (ja) 素子形成システムおよび素子形成方法
JP2006320792A (ja) スペーサ塗布装置、スペーサ塗布方法
JP2021160307A (ja) 液体吐出ヘッドの循環の状態を検査する検査システム、液体循環装置および液体吐出装置

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant