JP2023031271A - ノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置 - Google Patents
ノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023031271A JP2023031271A JP2022127625A JP2022127625A JP2023031271A JP 2023031271 A JP2023031271 A JP 2023031271A JP 2022127625 A JP2022127625 A JP 2022127625A JP 2022127625 A JP2022127625 A JP 2022127625A JP 2023031271 A JP2023031271 A JP 2023031271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- interest
- region
- substrate
- droplet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 94
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 23
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/0451—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits for detecting failure, e.g. clogging, malfunctioning actuator
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
- B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
- B41J2/2142—Detection of malfunctioning nozzles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/04586—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads of a type not covered by groups B41J2/04575 - B41J2/04585, or of an undefined type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
- B41J2029/3935—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns by means of printed test patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
- G01N2021/8867—Grading and classifying of flaws using sequentially two or more inspection runs, e.g. coarse and fine, or detecting then analysing
- G01N2021/887—Grading and classifying of flaws using sequentially two or more inspection runs, e.g. coarse and fine, or detecting then analysing the measurements made in two or more directions, angles, positions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Abstract
Description
Claims (20)
- 第1ノズルを用いて基板の第1関心領域内に多数の液滴を吐出し、検査パターンを形成し、
前記検査パターンに基づいて、前記第1ノズルが不良か否かを判断することを含む、ノズル検査方法。 - 前記検査パターンを形成することは、
前記基板を第1位置に停止させ、
前記第1ノズルを用いて、停止した基板の第1関心領域内に多数の液滴を吐出することを含む、請求項1に記載のノズル検査方法。 - 前記検査パターンを形成することは、
前記基板を第1位置から第2位置に移動しながら、前記第1ノズルを用いて前記第1関心領域内に第1液滴を吐出し、
次に、前記基板を前記第2位置から前記第1位置に移動し、
次に、前記基板を前記第1位置から第2位置に移動しながら、前記第1ノズルを用いて前記第1関心領域内に第2液滴を吐出することを含む、請求項1に記載のノズル検査方法。 - 前記基板を前記第2位置から前記第1位置に移動することは、前記基板を前記第2位置から前記第1位置に移動しながら、前記第1ノズルを用いて前記第1関心領域と異なる第2関心領域内に第3液滴を吐出することを含む、請求項3に記載のノズル検査方法。
- 前記第1関心領域内に第2液滴を吐出した後に、前記基板を前記第2位置から前記第1位置に移動しながら、前記第1ノズルを用いて前記第2関心領域内に第4液滴を吐出することをさらに含む、請求項4に記載のノズル検査方法。
- 前記検査パターンを形成することは、
前記基板を第1位置から第3位置に移動しながら、前記第1ノズルを用いて前記第1関心領域、第2関心領域、第3関心領域それぞれに第1液滴、第2液滴および第3液滴を順次吐出し、
次に、前記基板を第3位置から前記第1位置に移動しながら、前記第1ノズルを用いて前記第3関心領域、第2関心領域、第1関心領域それぞれに第4液滴、第5液滴および第6液滴を順次吐出することを含む、請求項1に記載のノズル検査方法。 - 前記検査パターンに基づいて、前記第1ノズルが不良か否かを判断することは、前記検査パターンのサイズが第1基準値以上であるか否かを判断することを含む、請求項1に記載のノズル検査方法。
- 前記検査パターンに基づいて、前記第1ノズルが不良か否かを判断することは、前記検査パターンが前記第1関心領域内に一つのみ存在するのかを判断することを含む、請求項1に記載のノズル検査方法。
- 前記検査パターンに基づいて、前記第1ノズルが不良か否かを判断することは、前記検査パターンの面積が基準円の面積に比べて第2基準値以上を占めるか否かを判断することを含む、請求項1に記載のノズル検査方法。
- 前記基板は検査用基板である、請求項1に記載のノズル検査方法。
- 基板が移動できるステージと、
前記ステージ上に配置され、前記基板の第1関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成する第1ノズルを含むインクジェットヘッドモジュールと、
前記ステージ上に配置され、前記検査パターンを撮影するビジョンモジュールと、
前記撮影結果に基づいて、前記第1ノズルが不良か否かを判断する制御モジュールとを含む、ノズル検査装置。 - 前記ステージは前記基板を第1位置に停止させ、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルは、停止した前記基板の第1関心領域内に多数の液滴を吐出する、請求項11に記載のノズル検査装置。
- 前記基板が第1位置から第2位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルは前記第1関心領域内に第1液滴を吐出し、
次に、前記基板が前記第2位置から前記第1位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルは前記第1関心領域と異なる第2関心領域内に第2液滴を吐出し、
次に、前記基板が前記第1位置から第2位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルを用いて前記第1関心領域内に第3液滴を吐出することを含む、請求項11に記載のノズル検査装置。 - 前記制御モジュールは、前記検査パターンのサイズが第1基準値以上であるか否かを判断することを含む、請求項11に記載のノズル検査装置。
- 前記制御モジュールは、前記検査パターンが前記第1関心領域内に一つのみ存在するのかを判断することを含む、請求項11に記載のノズル検査装置。
- 第1領域に配置された第1ステージと、
第2領域に配置された第2ステージと、
前記第1ステージおよび前記第2ステージを横切るように配置されたガントリと、
前記ガントリに設けられ、前記第1ステージまたは第2ステージで液滴を吐出できるインクジェットヘッドモジュールと、
前記第2ステージ上に配置されたビジョンモジュールを含み、
前記第2ステージは検査基板を移動させることができ、
前記インクジェットヘッドモジュールは前記検査基板の第1関心領域内に多数の液滴を吐出して検査パターンを形成し、
前記ビジョンモジュールは前記検査パターンを撮影する、基板処理装置。 - 前記第2ステージは前記検査基板を第1位置に停止させ、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルは、停止した前記検査基板の第1関心領域内に多数の液滴を吐出する、請求項16に記載の基板処理装置。
- 前記検査基板が第1位置から第2位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルは前記第1関心領域内に第1液滴を吐出し、
次に、前記検査基板が前記第2位置から前記第1位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルは前記第1関心領域と異なる第2関心領域内に第2液滴を吐出し、
次に、前記検査基板が前記第1位置から第2位置に移動しながら、前記インクジェットヘッドモジュールの前記第1ノズルを用いて前記第1関心領域内に第3液滴を吐出することを含む、請求項16に記載の基板処理装置。 - 前記検査パターンのサイズが第1基準値以上であるか否かを判断することを含む制御モジュールをさらに含む、請求項16に記載の基板処理装置。
- 前記検査パターンが前記第1関心領域内に一つのみ存在するのかを判断する制御モジュールをさらに含む、請求項16に記載の基板処理装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2021-0111462 | 2021-08-24 | ||
KR1020210111462A KR102638457B1 (ko) | 2021-08-24 | 2021-08-24 | 노즐 검사 방법, 노즐 검사 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023031271A true JP2023031271A (ja) | 2023-03-08 |
Family
ID=85285586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022127625A Pending JP2023031271A (ja) | 2021-08-24 | 2022-08-10 | ノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230066695A1 (ja) |
JP (1) | JP2023031271A (ja) |
KR (1) | KR102638457B1 (ja) |
CN (1) | CN115923340A (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006264041A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの検査方法 |
WO2007072417A2 (en) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Ink jet device for the positioning of a substance onto a substrate, method for the positioning of a substance onto a substrate and use of an ink jet device |
US20080079763A1 (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-03 | Weyerhaeuser Co. | Systems And Methods For Verifying The Operational Conditions Of Print Heads in a Digital Printing Environment |
KR20100135392A (ko) | 2009-06-17 | 2010-12-27 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 헤드 검사 장치 및 그 방법 |
KR101394392B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2014-05-14 | 세메스 주식회사 | 액정 검사 장치 |
KR101328214B1 (ko) | 2013-03-21 | 2013-11-14 | 삼성전기주식회사 | 유체 토출 장치 |
JP6876487B2 (ja) * | 2016-06-06 | 2021-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置、検査方法、機能液吐出装置及び補正方法 |
KR102510963B1 (ko) * | 2018-02-20 | 2023-03-16 | 세메스 주식회사 | 약액 검사 방법 |
JP2020052043A (ja) | 2018-09-21 | 2020-04-02 | 国立大学法人九州大学 | 粒子分析用の基板、粒子分析システム、及び粒子の分析方法 |
-
2021
- 2021-08-24 KR KR1020210111462A patent/KR102638457B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-07-21 CN CN202210861879.3A patent/CN115923340A/zh active Pending
- 2022-07-22 US US17/870,835 patent/US20230066695A1/en active Pending
- 2022-08-10 JP JP2022127625A patent/JP2023031271A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115923340A (zh) | 2023-04-07 |
KR20230029221A (ko) | 2023-03-03 |
US20230066695A1 (en) | 2023-03-02 |
KR102638457B1 (ko) | 2024-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101256424B1 (ko) | 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법, 잉크 액적 확산 검사방법, 및 배향 막 형성 방법 | |
TWI410333B (zh) | 具有可移動式列印頭之噴墨列印系統及其方法 | |
JP5713683B2 (ja) | インクジェットヘッドの吐出状態検査方法およびインクジェットヘッドの吐出状態検査装置 | |
JP4159525B2 (ja) | 配向膜形成方法およびインクジェット式プリントヘッド噴出検査装置 | |
US20070222809A1 (en) | Droplet jet inspecting device, droplet jetting applicator and method for manufacturing coated body | |
TWI448390B (zh) | 用於非接觸性材料沉積中之噴嘴補償方法與系統 | |
WO2013190837A1 (ja) | 溶液吐出装置の検査方法およびデバイスの製造方法 | |
KR20090126854A (ko) | 어레이 헤드형 잉크젯 화상형성장치 및 그 정렬 에러 보상방법 | |
TW201625426A (zh) | 噴墨印刷系統和處理晶圓的方法 | |
KR101639459B1 (ko) | 액적 도포 방법 및 장치 | |
JP2009220394A (ja) | インクジェット吐出検査装置 | |
JP2023031271A (ja) | ノズル検査方法、ノズル検査装置およびそれを含む基板処理装置 | |
JP6158726B2 (ja) | 塗布製品の量産方法 | |
JP2012206093A (ja) | 塗布方法および塗布装置 | |
JP5761896B2 (ja) | 液滴塗布方法及び装置 | |
CN117325563A (zh) | 喷墨装置、控制方法以及基板 | |
KR20210143663A (ko) | 잉크도포장치, 그 제어장치, 및 잉크젯헤드검사방법 | |
JP2007045068A (ja) | 液滴吐出装置およびそのノズル位置検出方法 | |
JP2019155307A (ja) | インクジェットの吐出検査方法とインクジェット塗布方法 | |
WO2010147159A1 (ja) | 液滴塗布状態判定装置および液滴塗布状態判定方法及びそれを用いた液滴塗布装置 | |
US20240149582A1 (en) | Substrate processing apparatus and method | |
JP7372432B2 (ja) | ノズル検査ユニットおよびそれを含む基板処理装置 | |
KR20240033864A (ko) | 잉크젯 헤드 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
JP5839670B2 (ja) | 塗布装置および着弾状態検査方法 | |
US20240034056A1 (en) | Droplet analysis unit and substrate treatment apparatus including the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231107 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20240401 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20240418 |