CN115923340A - 喷嘴检查方法、喷嘴检查装置及包括其的基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够在短时间内准确地检测出喷墨头喷嘴的缺陷的喷嘴检查方法及喷嘴检查装置。所述喷嘴检查方法包括：利用第一喷嘴向基板的第一关注区域内喷射多个液滴，从而形成检查图案；以及基于检查图案判断第一喷嘴是否有缺陷。

Description

喷嘴检查方法、喷嘴检查装置及包括其的基板处理装置
技术领域
本发明涉及喷嘴检查方法、喷嘴检查装置及包括该喷嘴检查装置的基板处理装置。
背景技术
为了制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置，在基板上执行印刷工艺(例如，RGB图案化(RGB Patterning))。利用具有喷墨头的印刷设备执行印刷工艺。
发明内容
解决的技术问题
然而，当化学液没有从喷墨头的喷嘴适当地喷射时，可能会发生缺陷。因此，需要随时检查喷墨头的喷嘴是否异常。然而，现有的对喷墨头的检查需要大量的时间，且缺陷检测的准确度不高。
本发明要解决的技术问题在于，提供能够在短时间内准确地检测出喷墨头喷嘴的缺陷的喷嘴检查方法。
本发明要解决的另一技术问题在于，提供能够在短时间内准确地检测出喷墨头喷嘴的缺陷的喷嘴检查装置。
本发明要解决的又一技术问题在于，提供能够在短时间内准确地检测出喷墨头喷嘴的缺陷的基板处理装置。
本发明的技术问题不限于上述技术问题，本领域的技术人员可以通过下面的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。
解决方法
用于解决上述技术问题的、本发明的喷嘴检查方法的一方面(aspect)包括：利用第一喷嘴向基板的第一关注区域内喷射多个液滴，从而形成检查图案；以及基于所述检查图案判断所述第一喷嘴是否有缺陷。
用于解决上述另一技术问题的、本发明的喷嘴检查装置的一方面可以包括：载物台，能够使基板移动；喷墨头模块，布置在载物台上方，并且包括第一喷嘴，第一喷嘴向基板的第一关注区域内喷射多个液滴从而形成检查图案；视觉模块，布置在载物台上方，并且对检查图案进行拍摄；以及控制模块，基于拍摄的结果判断第一喷嘴是否有缺陷。
用于解决上述又一技术问题的、本发明的基板处理装置的一方面可以包括：第一载物台，布置在第一区域；第二载物台，布置在第二区域；机架，布置成横跨第一载物台和第二载物台；喷墨头模块，设置于机架，并且能够在第一区域或第二区域中喷射液滴；以及视觉模块，布置在第二载物台上方，其中，第二载物台能够使检查基板移动，喷墨头模块可以向检查基板的第一关注区域内喷射多个液滴从而形成检查图案，以及视觉模块可以对检查图案进行拍摄。
其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。
附图说明
图1是用于说明根据本发明的一些实施例的喷嘴检查装置的概念图。
图2是用于说明基板的多个关注区域的图。
图3是用于说明根据本发明的一些实施例的喷嘴检查方法的图。
图4和图5是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第一示例的中间步骤图。
图6至图9是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第二示例的中间步骤图。
图10是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第三示例的流程图。
图11和图12是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第四示例的中间步骤图。
图13示例性地示出通过喷墨头模块形成的检查图案。
图14是用于说明图3的缺陷判断步骤S2的流程图。
图15至图17是用于说明缺陷判断步骤的示例性的液滴形状。
图18是用于说明根据本发明的一些实施例的应用了喷嘴检查装置的基板处理装置的概念图。
具体实施方式
以下，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
图1是用于说明根据本发明的一些实施例的喷嘴检查装置的概念图。图2是用于说明基板的多个关注区域的图。
首先，参考图1，根据本发明的一些实施例的喷嘴检查装置10包括载物台120、第一机架210、喷墨头模块220、第二机架310、视觉模块320、控制模块500等。
载物台120是用于支承基板G并且使基板G移动的区域。在载物台120上移动基板G的方法不限于特定的方式。例如，可以由夹持器夹持并移动基板G，或者也可以通过以辊对辊方式移动的板来移动基板G。
载物台120例如可以在第二方向Y上延伸，并且可以使基板G沿着第二方向Y移动(参考附图标记121)。这里，基板G可以是用于检查的基板，且用于检查的基板可以是用于检查的膜，也可以是显示装置中所使用的透明基板(例如，玻璃基板)。
第一机架210在载物台120上方横跨载物台120而布置。第一机架210可以在第一方向X上延伸。
喷墨头模块220可以设置在第一机架210上，并且可以沿着第一机架210移动(参考附图标记221)。如图所示，喷墨头模块220可以在第一方向X上移动，但不限于此。喷墨头模块220可以包括喷射墨水的多个头部，且每个头部可以包括多个喷嘴。墨水可以是例如QD(Quantum Dot，量子点)墨水，但不限于此。在附图中，示出了喷墨头模块220的宽度与基板G的宽度几乎相同，但不限于此。
喷墨头模块220的多个喷嘴向基板G的多个关注区域ROI喷射多个液滴。
这里，参考图2，在基板G上，多个关注区域ROI可以沿第一方向X和第二方向Y布置。这里关注区域ROI意味着用于区分墨水被喷射的区域的虚拟区域。关注区域ROI可以通过控制模块500的计算来确定。如图所示，多个关注区域ROI可以布置成多条线L1至L4。上方线上的关注区域ROI和下方线上的关注区域ROI可以彼此错开地布置。例如，线L1的关注区域ROI的一端E1和线L2的关注区域ROI的一端E2可以彼此错开地布置。线L2的关注区域ROI的一端E2和线L3的关注区域ROI的一端E3可以彼此错开地布置。线L3的关注区域ROI的一端E3和线L4的关注区域ROI的一端E4可以彼此错开地布置。
这种多个关注区域ROI的布置可以具有与喷墨头模块220的多个喷嘴的布置相对应的形态。
具体地，喷墨头模块220的多个喷嘴中的第一喷嘴向对应的关注区域ROI喷射多个液滴从而形成检查图案(参考图3至图13)。
第二机架310在载物台120上方横跨载物台120而布置。第二机架310可以在第一方向X上延伸。
视觉模块320可以设置在第二机架310上，并且可以沿着第二机架310移动(参考附图标记321)。如图所示，视觉模块320可以在第一方向X上移动，但不限于此。视觉模块320对所形成的检查图案进行拍摄。
控制模块500控制载物台120、第一机架210、喷墨头模块220、第二机架310和视觉模块320等。此外，控制模块500可以基于所拍摄的检查图案来判断第一喷嘴是否有缺陷。后面将利用图14至图17描述判断方法。
虽然没有另外示出，但是第一机架210和第二机架310也可以在第二方向Y上移动。
以下，将利用图3至图17说明根据本发明的一些实施例的喷嘴检查方法。
图3是用于说明根据本发明的一些实施例的喷嘴检查方法的图。图4和图5是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第一示例的中间步骤图。
首先，参考图3，利用第一喷嘴229向第一关注区域ROI内喷射多个液滴，从而形成检查图案(S1)。
如图4所示，使基板G移动到要被喷射液滴的位置P0，然后使基板G停止。接着，利用第一喷嘴229向停止的基板G的第一关注区域内喷射第一液滴d1。
接着，如图5所示，利用第一喷嘴229再次向停止的基板G的第一关注区域内喷射第二液滴d2。
以这种方式，喷射预定次数的液滴。例如，当预设次数为5次时，连续喷射液滴5次。
接着，基于所形成的检查图案来判断第一喷嘴229是否有缺陷(S2)。
由于多个液滴喷射到一个关注区域从而形成检查图案，因此检查图案的尺寸变大，从而能够提高检查精度。此外，如果要通过用一个喷嘴分别向多个关注区域进行喷射以形成检查图案来进行检查，可能需要很多时间。然而，在根据本发明的一些实施例的喷嘴检查方法的情况下，由于向一个关注区域喷射多个液滴，所以可以缩短检查时间。
图6至图9是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第二示例的中间步骤图。
参考图6，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G1(参考附图标记121a)的同时，利用第一喷嘴229向第一关注区域内喷射第一液滴d11。
接着，参考图7，在从第二位置P2向第一位置P1移动基板G1(参考附图标记121b)的同时，利用第一喷嘴229向第二关注区域内喷射第二液滴d12。
接着，参考图8，再次从第一位置P1向第二位置P2移动基板G1(参考附图标记121c)，同时利用第一喷嘴229向第一关注区域内喷射第三液滴d21。由于在第一关注区域内滴落两次液滴(即，d11、d21)，所以第一关注区域内的液滴尺寸会增大。
接着，参考图9，再次从第二位置P2向第一位置P1移动基板G1(参考附图标记121d)，同时利用第一喷嘴229向第二关注区域内喷射第四液滴d22。由于在第二关注区域内滴落两次液滴(即，d21、d22)，所以第二关注区域内的液滴尺寸会增大。
图10是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第三示例的流程图。为了便于说明，将主要说明与利用图6至图9所说明的特征不同的特征。
参考图10，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G1的同时，利用第一喷嘴向第一关注区域内喷射液滴(第一液滴)(S21)。
接着，从第二位置P2向第一位置P1移动基板G1(S22)。当从第二位置P2向第一位置P1进行移动时，不执行液滴喷射操作。
接着，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G1的同时，利用第一喷嘴向第一关注区域内喷射附加液滴(第二液滴)(S23)。由于喷射附加液滴，所以第一关注区域内的液滴尺寸会增大。
接着，从第二位置P2向第一位置P1移动基板G1(S24)。当从第二位置P2向第一位置P1进行移动时，不执行液滴喷射操作。
图11和图12是用于说明图3的检查图案形成步骤S1的第四示例的中间步骤图。
参考图11，在从第一位置P1向第三位置P3移动基板G2(参考附图标记122a)的同时，利用第一喷嘴229依次向第一关注区域、第二关注区域和第三关注区域分别喷射第一液滴d11、第二液滴d12和第三液滴d13。
参考图12，在从第三位置P3向第一位置P1移动基板G2(参考附图标记122b)的同时，利用第一喷嘴229依次向第三关注区域、第二关注区域和第一关注区域分别喷射第四液滴d23、第五液滴d22和第六液滴。图12中示出了喷射第五液滴d22之后、喷射第六液滴之前的形状。
图13是示例性地示出通过喷墨头模块形成的检查图案的图。
参考图13，第一关注区域ROI1对应于正常喷射的情况。
第二关注区域ROI2、第四关注区域ROI4和第五关注区域ROI5对应于多个液滴喷射到非同一位置的情况。即，其对应于多个液滴没有喷射到正确位置的情况。这相当于“异常滴落”或“形成卫星液滴”。
第三关注区域ROI3对应于完全没有喷射液滴的情况。这相当于“未喷射”。
第六关注区域ROI6对应于多个液滴被喷射到正确位置但没有喷射预定量的情况。这相当于“喷射量缺陷”。
以下，参考图14至图17具体说明图3的缺陷判断步骤S2。
图14是用于说明图3的缺陷判断步骤S2的流程图。
参考图14，首先，检查在第一关注区域内是否存在满足最低基准的液滴(S7)。
当在步骤S7中，当存在满足最低基准的液滴时(是)，进入下一步骤S8。当不存在满足最低基准的液滴时(否)，将喷射上述液滴的喷嘴判断为异常喷嘴(或缺陷喷嘴)。
具体地，如图15所示，在关注区域内，第一液滴A1和第二液滴A2可以是圆形，且第三液滴A3可以是无定形的。第三液滴A3被判断为由于微粒或底表面斑纹而产生，因此将其排除在判断之外。即，第三液滴A3不被判断为液滴。因此，成为判断对象的液滴(即，满足最低基准的液滴)是A1、A2。
或者，如图16所示，在关注区域内，第四液滴A4呈圆形，并且是作为判断对象的液滴。
接着，当在步骤S7中存在满足最低基准的液滴时，检查是否仅存在一个上述液滴(S8)。在步骤S8中，当液滴为一个时(是)，进入下一步骤S9。当判断液滴为两个以上时(否)，将喷射上述液滴的喷嘴判断为异常喷嘴。
具体地，由于图15中的液滴A1、A2被判断为2个，所以喷射上述液滴的喷嘴被判断为异常喷嘴。由于图16中的液滴A4被判断为是1个，所以进入下一步骤S9。
接着，检查液滴是否满足多重滴落(multi drop)基准(S9)。在步骤S9中，当液滴满足多重滴落基准时(是)，将喷嘴判断为正常喷嘴，当液滴不满足多重滴落基准时(否)，将喷射上述液滴的喷嘴判断为异常喷嘴。
多重滴落基准可以以液滴的尺寸(例如，直径、半径、周长)等为基准进行判断。即，可以确认液滴的尺寸是否对应于第一基准值以上且第二基准值以下。即，当液滴小于第一基准值时，由于其相当于未适量喷射的情况(即，滴落过少)，所以被判断为不满足多重滴落基准。相反，当液滴大于第二基准值时，由于其相当于未适量喷射的情况(即，滴落过多)，所以被判断为不满足多重滴落基准。
在图16中，液滴A4的直径为D1并且可以被判断为小于第一基准值。因此，喷射图16的液滴A4的喷嘴可以被判断为异常喷嘴。
另一方面，除了利用图14至图16说明的方式之外，还可以使用附加的方法。
例如，在关注区域内，可能形成如图17所示的雪人形态的液滴A5。雪人形态的液滴A5可以被判断为类似于无定形液滴(参考图15的A3)从而被排除。然而，在不排除的情况下，由于图17中的雪人形态的液滴A5为1个，所以喷射图17的液滴A5的喷嘴也可能被判断为正常喷嘴(即，可能发生判断错误)。为了改善这种问题，可以假设与液滴A5的直径D2对应的基准圆SC，并且计算液滴A5的宽度与基准圆SC的直径之差(即，判断液滴的宽度与基准圆的直径的比例是否为基准比例以上)。例如，由于雪人形态的液滴A5的宽度与基准圆SC的直径的比例小于基准比例(例如，90％)，所以喷射液滴A5的喷嘴可以被判断为异常喷嘴。
或者，可以比较液滴A5的周长和基准圆SC的周长，并且当其差异小时判断为正常喷嘴，当差异大时判断为异常喷嘴。例如，由于雪人形态的液滴A5的周长与基准圆SC的周长之差为基准值以上，所以可以判断为异常喷嘴。
或者，可以通过实验等预先获知在执行n次喷射的情况下的正常液滴的基准周长。因此，也可以通过测量作为评价对象的液滴的周长并且将该周长与上述基准周长进行比较来判断喷嘴是否异常。
图18是用于说明根据本发明的一些实施例的应用了喷嘴检查装置的基板处理装置的概念图。将省略与利用图1和图2所说明的特征实质相同的特征。
参考图18，基板处理装置包括第一载物台110、第二载物台120、第一机架210、第二机架310、喷墨头模块220、视觉模块320、夹持件(holder)107等。
第一载物台110布置在第一区域，且第二载物台120布置在与第一区域相邻的第二区域。
沿着第一载物台110的长度方向，布置有轨道108。夹持件107可以沿着轨道108移动。在第一载物台110上可以形成有多个孔112，且通过孔112可以提供气体，从而可以使用于制造的基板悬浮。在用于制造的基板悬浮的状态下，夹持件107可以夹持并移动用于制造的基板。
第一机架210横跨第一载物台110和第二载物台120而布置。喷墨头模块220可以设置在第一机架210上，并且可以沿着第一机架210移动，以在第一区域或第二区域中喷射液滴。
将用于检查的基板G置于第二载物台120上，并且喷墨头模块220向用于检查的基板G的第一关注区域内喷射多个液滴从而形成检查图案。
例如，在使基板G移动到将被喷射液滴的位置P0之后，使基板G停止。在基板G停止的状态下，喷墨头模块220向基板的关注区域ROI内多次喷射液滴。
或者，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G的同时，喷墨头模块220向第一关注区域内喷射液滴，且在从第二位置P2向第一位置P1重新移动基板G的同时，喷墨头模块220向第二关注区域内喷射液滴。接着，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G的同时，喷墨头模块220向第一关注区域内附加地喷射液滴。再次从第二位置P2向第一位置P1移动基板G，同时喷墨头模块220向第二关注区域内附加地喷射液滴。
或者，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G的同时，喷墨头模块220向第一关注区域内喷射液滴，然后从第二位置P2向第一位置P1重新移动基板G。接着，在从第一位置P1向第二位置P2移动基板G的同时，喷墨头模块220向第一关注区域内附加地喷射液滴。
或者，在从第一位置P1向第三位置P3移动基板G的同时，喷墨头模块220依次向第一关注区域、第二关注区域和第三关注区域分别喷射液滴。接着，在从第三位置P3向第一位置P1移动基板G的同时，喷墨头模块220以第三关注区域、第二关注区域、第一关注区域的顺序附加地喷射液滴。
视觉模块320对所形成的检查图案进行拍摄。
控制模块500(参考图1)基于所拍摄的检查图案来判断喷射液滴的喷墨头模块220的喷嘴是否有缺陷。如上所述，控制模块500可以检查关注区域内的液滴是否满足多重滴落基准。多重滴落基准可以以液滴的尺寸(例如，直径、半径、周长)等为基准进行判断。
以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员应该可以理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其它具体形态实施。因此，应该理解，以上描述的实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (20)

1.一种喷嘴检查方法，包括：
利用第一喷嘴向基板的第一关注区域内喷射多个液滴，从而形成检查图案；以及
基于所述检查图案判断所述第一喷嘴是否有缺陷。
2.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，形成所述检查图案包括：
使所述基板停止在第一位置；以及
利用所述第一喷嘴向停止的所述基板的第一关注区域内喷射所述多个液滴。
3.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，形成所述检查图案包括：
在从第一位置向第二位置移动所述基板的同时，利用所述第一喷嘴向所述第一关注区域内喷射第一液滴；
从所述第二位置向所述第一位置移动所述基板；以及
在从所述第一位置向所述第二位置移动所述基板的同时，利用所述第一喷嘴向所述第一关注区域内喷射第二液滴。
4.根据权利要求3所述的喷嘴检查方法，其中，从所述第二位置向所述第一位置移动所述基板包括：
在从所述第二位置向所述第一位置移动所述基板的同时，利用所述第一喷嘴向不同于所述第一关注区域的第二关注区域内喷射第三液滴。
5.根据权利要求4所述的喷嘴检查方法，还包括：
在向所述第一关注区域内喷射所述第二液滴之后，从所述第二位置向所述第一位置移动所述基板，同时利用所述第一喷嘴向所述第二关注区域内喷射第四液滴。
6.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，形成所述检查图案包括：
在从第一位置向第三位置移动所述基板的同时，利用所述第一喷嘴分别依次向所述第一关注区域、第二关注区域和第三关注区域喷射第一液滴、第二液滴和第三液滴；以及
在从所述第三位置向所述第一位置移动所述基板的同时，利用所述第一喷嘴依次向所述第三关注区域、所述第二关注区域和所述第一关注区域分别喷射第四液滴、第五液滴和第六液滴。
7.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，基于所述检查图案判断所述第一喷嘴是否有缺陷包括：
判断所述检查图案的尺寸是否为第一基准值以上。
8.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，基于所述检查图案判断所述第一喷嘴是否有缺陷包括：
判断所述第一关注区域内是否仅存在一个所述检查图案。
9.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，基于所述检查图案判断所述第一喷嘴是否有缺陷包括：
判断所述检查图案的宽度与基准圆的直径的比例是否为第二基准值以上。
10.根据权利要求1所述的喷嘴检查方法，其中，所述基板为用于检查的基板。
11.一种喷嘴检查装置，包括：
载物台，能够使基板移动；
喷墨头模块，布置在所述载物台上方，并且包括第一喷嘴，所述第一喷嘴向所述基板的第一关注区域内喷射多个液滴从而形成检查图案；
视觉模块，布置在所述载物台上方，并且对所述检查图案进行拍摄；以及
控制模块，基于所述拍摄的结果判断所述第一喷嘴是否有缺陷。
12.根据权利要求11所述的喷嘴检查装置，其中，
所述载物台使所述基板停止在第一位置，以及
所述喷墨头模块的所述第一喷嘴向停止的所述基板的第一关注区域内喷射所述多个液滴。
13.根据权利要求11所述的喷嘴检查装置，其中，
在所述基板从第一位置向第二位置移动的同时，所述喷墨头模块的所述第一喷嘴向所述第一关注区域内喷射第一液滴，
在所述基板从所述第二位置向所述第一位置移动的同时，所述喷墨头模块的所述第一喷嘴向不同于所述第一关注区域的第二关注区域内喷射第二液滴，以及
在所述基板从所述第一位置向所述第二位置移动的同时，所述喷墨头模块的所述第一喷嘴向所述第一关注区域内喷射第三液滴。
14.根据权利要求11所述的喷嘴检查装置，其中，
所述控制模块判断所述检查图案的尺寸是否为第一基准值以上。
15.根据权利要求11所述的喷嘴检查装置，其中，所述控制模块判断所述第一关注区域内是否仅存在一个所述检查图案。
16.一种基板处理装置，包括：
第一载物台，布置在第一区域；
第二载物台，布置在第二区域；
机架，布置成横跨所述第一载物台和所述第二载物台；
喷墨头模块，设置于所述机架，并且能够在所述第一区域或所述第二区域中喷射液滴；以及
视觉模块，布置在所述第二载物台上方，
其中，所述第二载物台能够使检查基板移动，
所述喷墨头模块向所述检查基板的第一关注区域内喷射多个液滴从而形成检查图案，以及
所述视觉模块对所述检查图案进行拍摄。
17.根据权利要求16所述的基板处理装置，其中，
所述第二载物台使所述检查基板停止在第一位置，以及
所述喷墨头模块的第一喷嘴向停止的所述检查基板的第一关注区域内喷射所述多个液滴。
18.根据权利要求16所述的基板处理装置，其中，
在所述检查基板从第一位置向第二位置移动的同时，所述喷墨头模块的第一喷嘴向所述第一关注区域内喷射第一液滴，
在所述检查基板从所述第二位置向所述第一位置移动的同时，所述喷墨头模块的所述第一喷嘴向不同于所述第一关注区域的第二关注区域内喷射第二液滴，以及
在所述检查基板从所述第一位置向第二位置移动的同时，所述喷墨头模块的所述第一喷嘴向所述第一关注区域内喷射第三液滴。
19.根据权利要求16所述的基板处理装置，还包括：
控制模块，判断所述检查图案的尺寸是否为第一基准值以上。
20.根据权利要求16所述的基板处理装置，还包括：
控制模块，判断所述第一关注区域内是否仅存在一个所述检查图案。
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