KR20070057808A - 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법, 잉크 액적 확산 검사방법, 및 배향 막 형성 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프린트 헤드(3)의 복수의 노즐(4)로부터 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물(2)상에 잉크를 토출해서 피도포물(2)상에 막(B) 형성하는 막 형성 공정, 막 형성 공정에서 피도포물(2)상에 형성된 막(B)의 막 두께를 각 노즐(4)의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정하는 막 두께 측정 공정, 막 두께 측정 공정에서 측정된 각 노즐(4)의 잉크 토출 위치에서의 막 두께와 목표 막 두께(Ba)의 차이에 의거해서 각 노즐(4)로부터의 잉크의 토출량을 증감 보정하는 토출량 보정 공정을 갖는 잉크젯 프린터(1)의 토출량 제어 방법을 제공한다.

잉크젯 프린터, 피도포물, 막 두께 측정 수단, 토출량 보정 수단

Description

잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법, 잉크 액적 확산 검사 방법, 및 배향 막 형성 방법{INK JET PRINTER DISCHARGE AMOUNT CONTROL METHOD, INK DROPLET SPREAD CHECK METHOD, AND ORIENTATION FILM FORMATION METHOD}

본 발명은 잉크젯 프린터의 프린트 헤드에 있어서의 복수의 노즐로부터 토출된 잉크의 피도포물상에서의 토출량을 각 노즐 상호간에 균일화하는 기술, 그 잉크 액적의 확산성을 검사하는 기술, 및 그 잉크를 이용해서 유리 기판상에 배향 막을 형성하는 기술에 관한 것이다.

최근에 있어서는, 종이, 천, 수지, 또는 세라믹 등으로 이루어지는 기재상에 잉크젯 프린터에 의한 인쇄를 행하는 것에 더해서, 액정 표시 기기 등에 있어서의 투명 유리 기판상에 배향 막을 형성할 경우나, 유기 EL 표시기에 있어서의 투명 유리 기판상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 있어서도, 잉크젯 프린터가 사용되기에 이르고 있다. 자세히 설명하면, 액정 표시 기기의 경우에는 배향 막의 재료인 투명 PI 잉크(투명 폴리이미드 잉크)나 투명 UV 잉크를 유리 기판상에 토출해서 도포하는 것이 행해지고(예컨대, 특허문헌1 참조), 또한 유기 EL 표시 기기의 경우에는 코팅 재료인 예컨대 투명 UV 잉크를 유리 기판상에 토출해서 도포하는 것이 행해진다.

이 경우, 잉크젯 프린터의 프린트 헤드에 있어서의 복수의 노즐로부터 토출되는 잉크의 분출 양상은 각 노즐 상호간에 균일한 것이 바람직하고, 예컨대, 색을 주체로 한 인쇄물을 대상으로 할 경우에는 잉크를 흡수하는 특성(잉크 흡수성)을 갖는 피도포물상에 각 노즐로부터 색의 농담이 균일해지도록 배려가 된 후에 잉크의 토출이 행해졌었다. 이와 같이, 잉크 흡수성을 갖는 피도포물상에서 색의 농담을 균일화하는 것은 각 노즐로부터의 잉크 액적의 토출 상태가 적당히 균일하면 용이하게 실현하는 것이 가능하다.

그러나, 잉크를 흡수하지 않는 특성(잉크 비흡수성)을 갖는 피도포물, 예컨대 상술한 유리 기판상에 균일한 막 두께를 갖는 박막을 형성하는 것은 현재의 상황에서 사용되고 있는 잉크젯 프린터에 의해서는 많은 곤란화를 피할 수 없게 된다. 즉, 이 종류의 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물상에 1㎛미만의 균일한 막 두께를 갖는 박막을 형성하는 것은 특히 곤란하지만, 만일 1㎛이상의 막이어도, 균일한 막 두께로 하기에는 각 노즐로부터 잉크를 액적으로서 분출시킬 때에, 그 잉크 액적의 분출 상태를 정확히 개선할 필요가 있다.

그래서, 잉크젯 프린터의 프린트 헤드에 있어서의 각 노즐의 인가 전압(각 노즐의 개구에 통하는 압력실에 압력 변동을 생기게 하는 구동 전압)을 미세조정함으로써, 각 노즐로부터 토출되는 잉크 액적의 분출 상태를 적당히 균일화하고, 피도포물상에 균일한 막 두께를 갖는 막을 형성하는 것이 시험되고 있다. 더욱이, 하기의 특허문헌2에 의하면, 노즐로부터의 잉크 액적의 토출 속도를 조정하기 위해서, 상기 인가 전압(구동 전압)을 보정하는 것이 개시되어 있다.

또한, 잉크젯 프린터를 사용해서 상기 유리 기판과 같이 잉크를 흡수하지 않는 성질(잉크 비흡수성)을 지닌 피도포물상에 잉크를 토출할 경우에, 착탄후의 잉크 액적의 확산성을 충분히 파악하지 않고 있으면, 착탄된 각 잉크 액적끼리가 적정하게 융합되지 않는 등의 사태를 초래하고, 균일한 막 두께를 갖는 양질의 막을 피도포물상에 형성하는 것이 곤란해진다. 그 때문에, 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물상에 실제로 잉크를 토출해서 막을 형성할 때에는, 해당 피도포물상에 착탄시킨 후의 잉크 액적의 확산성을 미리 정확히 파악해 두는 것이 지극히 중요해진다.

이러한 실정을 감안하여, 종래에 있어서는 피도포물상에서의 착탄후에 있어서의 잉크 액적의 확산성을 파악하는 수법으로서, 피도포물의 표면에 순수나 잉크 자체를 적하하고, 기존의 접촉각계(接觸角計)를 이용해서, 도 19에 도시된 바와 같이, 그 잉크 액적(13)의 주변부(13a)의 표면과 피도포물(12)의 표면(12a)이 이루는 접촉각(α)을 측정하는 것이 행해졌었다. 그리고, 그 접촉각(α)이 예각에서 작아짐에 따라 피도포물의 표면의 친수성이 양호하게 되고, 또한 잉크 액적의 확산성도 양호하게 되고, 균일한 두께를 갖는 막을 형성하므로 유리하다고 판단되어 있었다. 그러나, 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성은 잉크의 특성이나 피도포물의 표면 상태에 따라서 상이할 뿐만 아니라, 토출되는 잉크 액적의 크기나 토출 속도 등과 같은 다른 요인에 의해서도 좌우된다. 이러한 사항을 감안하면, 상기 종래의 수법에서는 당연한 것이지만, 잉크 액적의 확산성을 적절히 파악할 수 없다고 하는 결론이 얻어진다.

더욱이, 잉크젯 프린터의 용도로서는 상기 유리 기판상에 배향 막 재료를 잉 크젯에서 드리블링(dribbling)해서 배향 막을 형성하는 것이 알려져 있다. 그러나, 잉크젯 방식이기 때문에 노즐의 고장이나 노즐의 방향, 노즐에서의 배향 막 원료의 막힘이라는 것이 원인이므로, 필요한 개소에 필요한 양을 적절히 드리블링할 수 없다고 하는 과제가 있었다.

이 과제를 해결하기 위해서, 액적 상태를 검사해서, 불충분할 경우는 배향 막 원료를 추가해서 보수하고, 부적합한 경우는 파기한다고 하는 것이 이루어져 있었다. 이 액적 상태의 검사로서, 배향 막이 형성된 기판을 간섭 막 두께 계측 장치에 통과시켜 그 막 두께를 측정하고, 부족할 경우는 잉크젯 노즐로 배향 막을 다시 드리블링해서 보강하고, 더욱이 간섭 막 두께 계측 장치에 의해 측정한다고 하는 것이 제안되어 있다(특허문헌3).

특허문헌1: 일본특허공개 2001-42330호 공보

특허문헌2: 일본특허공개 2003-191467호 공보

특허문헌3: 일본특허공개 평9-166783호 공보

그런데, 최근에 있어서는 예컨대 유리 기판의 대형화 등이 원인이 되고, 잉크젯 프린터에 의한 잉크의 도포폭을 넓히고, 또한 도포 길이를 길게 할 필요성이 발생됨과 아울러, 도포 시간의 단축도 요구되고 있는 것이 실정이다. 이러한 상황 하에서, 상술한 바와 같이 막 두께의 균일화를 도모하기 위해서, 프린트 헤드의 각 노즐의 인가 전압을 조정하려고 해도, 그 조정에는 여러가지 문제가 항상 따라다니게 된다.

즉, 잉크의 도포폭을 넓게 하기 위해서는 프린트 헤드 자체의 도포폭도 넓게 해서 노즐의 개수를 대폭 증가시키지 않으면 안되고, 이에 따라 프린트 헤드가 극히 고가로 되는 것은 물론, 이것을 컨트롤하는 제어계도 복잡하고 고가의 것으로 된다. 또한, 그 제어계의 정보량이 방대해지기 때문에, 각 노즐에 의한 잉크의 도포 스피드가 부당하게 저하된다고 하는 문제도 생긴다.

게다가, 현존하는 잉크젯 프린터에 있어서의 각 노즐의 인가 전압을 각각 조정해서, 잉크 액적의 도포를 균일화하려고 해도, 인가 전압의 정밀도에는 한계가 있고, 충분한 균일화를 도모하는 것은 곤란하다고 말하지 않을 수 없다. 즉, 예컨대 상술한 액정 표시 기기용의 유리 기판상에 형성되는 배향 막의 균일성(변동)은 2%전후가 요구되는 것에 관계없이, 현재의 상황에서 사용되고 있는 잉크젯 프린터의 고유의 액적 토출 정밀도는 5%전후이다. 따라서, 이러한 잉크젯 프린터에 있어서의 각 노즐의 인가 전압을 조정해서, 막의 균일성을 2%전후로 하기 위해서는 인가 전압의 정밀도(분해능)를 높일 필요가 있지만, 그것을 실현하는 것은 실질적으로 무리가 있고, 만일 실현했다고 해도, 제어계가 더욱 복잡화되거나 정보량이 과다해지고, 나아가서는 잉크의 도포 스피드의 저하를 더욱 초래한다.

따라서, 본 발명의 제 1 기술적 과제는 각 노즐의 인가 전압의 조정 정밀도의 영향을 받지 않고, 각 노즐로부터 토출되는 피도포물상에서의 잉크의 토출량을 정확히 균일화할 수 있도록 하여, 프린트 헤드의 제어계의 복잡화나 정보량의 과다 나아가서는 가격의 앙등을 초래하지 않는 잉크젯 프린터를 제공하는 것에 있다.

또한, 상술한 잉크 액적의 확산성을 적절히 파악할 수 없다고 하는 문제에 대해서는, 본 발명자 등은 실제로 사용하는 잉크젯 프린터를 이용해서, 실제의 도포대상인 피도포물상에 실제로 사용하는 잉크의 잉크 액적을 착탄시켜, 그 잉크 액적의 직경을 측정한다고 하는 수법을 안출하기에 이르렀다. 이 수법에 의하면, 잉크의 특성, 피도포물의 표면 상태, 토출되는 잉크 액적의 크기, 및 잉크 액적의 토출 속도 등의 요인을 모두 가미하면서, 피도포물상에 있어서의 잉크 액적의 확산성을 파악하는 것이 가능해지고, 균등한 두께의 양질의 막을 얻는 것을 기대할 수 있다.

그러나, 이러한 수법에 의한 것이라고 해도, 잉크가 투명 또는 반투명(이하, 「투명 또는 반투명」을 단지 「투명 등」이라 함)이면, 그 잉크 액적이 보이지 않거나 또는 보기 어렵기 때문에 잉크 액적의 직경을 측정하는 것이 곤란 또는 불가능하고, 게다가 피도포물도 투명 등이면, 그 잉크 액적은 더욱 보기 어려워져 잉크 액적의 직경의 측정에 더욱 지장이 생긴다.

이러한 문제는 상술한 액정 표시 기기등에 있어서의 투명 등의 유리 기판상에 배향 막의 재료인 투명 등의 PI 잉크나 UV 잉크를 토출할 경우나, 유기 EL 표시기에 있어서의 투명 등의 유리 기판상에 투명 등의 UV 잉크를 토출할 경우에 특히 현저하게 생기지만, 그 이외에 투명 등의 수지 기판상 또는 반도체 소자 제작용의 투명 등 기판상에 상기와 마찬가지의 또는 기타 투명 등의 잉크를 토출할 경우에도, 마찬가지로 해서 생길 수 있다.

따라서, 본 발명의 제 2 기술적 과제는 투명 등의 피도포물상에 있어서의 투명 등의 잉크 액적의 확산성을 적절히 검사해서 피도포물상에 균일한 두께를 갖는 양질의 막을 형성하는 것에 있다.

더욱이, 상술한 배향 막의 검사 또는 측정에 즈음해서는, 기판에 배향 막을 형성하고 나서 배향 막의 양부(良否)를 판정하고 있기 때문에, 만약 배향 막에 불량이 있었을 때에는, 기판마다 폐기하지 않으면 안되고, 재료의 낭비로 되는 것이었다. 또한, 기판에 배향 막을 형성한 후에 보수를 행했을 경우, 배향 막의 두께가 층상으로 형성되게 되고, 품질상 안정시키기 어려운 것도 생각된다. 또한, 잉크젯 노즐의 상태를 판단하지 않고 있으므로, 항상 보수할 필요가 생길 경우가 있었다.

따라서, 본 발명의 제 3 기술적 과제는 기판에 배향 막을 형성하기 전에 잉크젯 노즐이 이상인지 아닌지를 판단하여, 노즐의 수리를 조속히 하도록 한 배향 막의 형성 수법을 제공하는 것에 있다.

상기 제 1 기술적 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 의한 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법은 프린트 헤드의 복수의 노즐로부터 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물상에 잉크를 토출해서 상기 피도포물상에 막을 형성하는 막 형성 공정, 상기 막 형성 공정에서 피도포물상에 형성된 막의 막 두께를 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정하는 막 두께 측정 공정, 및 상기 막 두께 측정 공정에서 측정된 각 노즐의 잉크 토출 위치에서의 막 두께와 목표 막 두께의 차이에 의거해서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 증감 보정하는 토출량 보정 공정을 갖는 것에 특징이 있다.

이러한 방법에 의하면, 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물(예컨대 유리 기판)을 유효하게 이용하여 실제로 그 위에 잉크를 토출해서 막을 형성하고, 더욱이 그 막의 막 두께를 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정한 후, 그 측정 결과인 실제의 막 두께와 목표값인 목표 막 두께의 차이를 각각의 노즐의 잉크 토출 위치마다 산출해서, 각 노즐로부터의 잉크의 토출량(환언하면, 각 노즐로부터 토출된 피도포물상에서의 잉크의 토출량)을 증감 보정하는 것이 행하여진다. 따라서, 미리 각각의 노즐로부터의 잉크의 토출량의 변화를 검출해 두고, 그 변화가 없어지도록 각각의 노즐로부터의 토출량을 보정한 후에, 실제로 프린트 헤드에 의한 막 형성 등을 행하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 프린트 헤드의 제어계나 정보량에 부당한 영향을 주지 않고, 또한 잉크의 도포 시간의 단축화를 방해하지 않고, 각 노즐로부터 토출된 잉크의 피도포물상에서의 토출량을 균일화할 수 있게 되고, 최근에 있어서의 도포폭을 넓게 한다는 요청에 따르면서, 잉크의 도포를 균일하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 이 방법을 사용해서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 보정한 후에 실제로 도포를 행할 경우로서는, 액정 표시 기기등에 있어서의 투명 유리 기판상에 배향 막을 형성할 경우나, 유기 EL 표시기에 있어서의 투명 유리 기판상에 코팅 재료인 예컨대 투명 UV 잉크를 도포할 경우 등이 특히 유효하지만, 종이, 천, 수지, 또는 세라믹 등으로 이루어지는 기재상에 인쇄를 행할 경우가 배제되는 것은 아니다.

이 경우, 상기 토출량 보정 공정에서 각 노즐의 잉크의 토출량을 증감 보정하기 위한 보정 데이터를 작성하고, 상기 보정 데이터를 기억시켜 두는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 기억되어 있는 보정 데이터에 따라서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량이 증감 보정되는 것으로 되기 때문에, 프린트 헤드에 의한 실제의 잉크 도포시에는 기억 수단(기억부) 등으로부터 상기 보정 데이터를 판독해서 각 노즐을 조정하고, 잉크 토출량의 보정을 행하면 좋게 되고, 처리의 신속성이나 편리성을 향상시키는 것이 가능해진다. 또한, 예컨대 복수의 노즐을 구비한 프린트 헤드가 복수개 배열되어 1대의 잉크젯 프린터가 구성될 경우에, 각각의 노즐에 있어서의 잉크 토출량의 보정값이 보정 데이터로서 기억되므로, 프린트 헤드의 교환이나 배치 전환을 행해도 각각의 노즐로부터는 항상 정확히 보정된 양의 잉크가 토출될 수 있게 된다. 게다가, 경년 변화 또는 경시 변화 등에 기인해서 각 노즐의 토출 특성이 변화된 경우이어도, 보정 데이터를 새롭게 작성해서 기억해 두면, 보정 데이터를 갱신하는 것만을 가져서, 조금도 지장없이 상기 보정 데이터에 따라서 적정한 잉크의 토출을 행하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 토출량 보정 공정에서는 각 노즐로부터 토출된 잉크의 피도포물상에서의 액적수의 분포를 변화시키는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 각 노즐에 있어서의 잉크의 토출량의 증감 보정은 각 노즐로부터 토출된 잉크의 피도포물상에서의 액적수의 분포를 변화시킴으로써 이루어지기 때문에, 보정을 용이하게 또한 정확히 행할 수 있다고 하는 이점을 누릴 수 있다.

더욱이, 상기 제 1 기술적 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 의한 잉크젯 프린터의 토출량 제어 장치는 프린트 헤드의 복수의 노즐로부터 잉크가 토출됨으로써 표면에 막이 형성되는 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물, 상기 피도포물상에 형성된 막의 막 두께를 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정하는 막 두께 측정 수단, 및 상기 막 두께 측정 수단에 의해 측정된 각 노즐의 잉크 토출 위치에서의 막 두께와 목표 막 두께의 차이에 의거해서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 증감 보정하는 토출량 보정 수단을 구비한 것에 특징이 있다.

이러한 장치에 의하면, 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물(예컨대 유리 기판) 상에 잉크의 토출에 의한 막이 형성되고, 막 두께 측정 수단의 동작에 의해 그 막의 막 두께가 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정된 후, 토출량 보정 수단의 동작에 의해 그 측정 결과인 실제의 막 두께와 목표값인 목표 막 두께의 차이가 각각의 노즐의 잉크 토출 위치마다 산출되고, 또한 각 노즐로부터의 잉크의 토출량(환언하면, 각 노즐로부터 토출된 피도포물상에서의 잉크의 토출량)을 증감 보정하는 것이 행하여진다. 이러한 보정이 행해짐으로써 이에 대응하는 사항에 대해서 이미 기술된 내용과 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 이 장치를 사용해서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 보정한 후에 실제로 도포를 행하는 대상이 되는 것도 이미 기술된 사항과 동일하다.

이 경우, 상기 장치는 토출량 보정 수단이 각 잉크의 토출량을 증감 보정하기 위한 보정 데이터를 기억하는 기억 수단을 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 된 경우에도, 기억 수단에 기억되어 있는 보정 데이터에 따라서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량이 증감 보정되는 것으로 되기 때문에, 이에 대응하는 사항에 대해서 이미 기술된 내용과 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다.

더욱이, 상기 복수의 노즐을 갖는 복수 개의 프린트 헤드가 노즐 배열 방향에 따르도록 인접 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 최근의 피도포물(예컨대, 액정 표시 기기용의 유리 기판)의 대형화에 따라 잉크의 도포폭이 넓어진 경우이어도, 단시간에 또한 균일성을 저해하지 않고 피도포물상에 잉크를 적정하게 토출해 나가는 것이 가능해진다.

한편, 상기 제 2 기술적 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 의한 방법은 잉크 비흡수성을 지닌 투명 또는 반투명의 피도포물상에 잉크 액적 토출 장치에 의해 투명 또는 반투명의 잉크를 잉크 액적으로서 토출하고, 상기 잉크 액적이 상기 피도포물상에 착탄된 때의 상기 잉크 액적의 확산성을 검사하는 검사 방법으로서, 상기 피도포물상에 상기 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출하고, 그들이 착탄되어 이루어지는 잉크 액적군의 주변부의 화상에 의거해서 상기 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성을 검사하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 잉크 액적 확산 검사 방법에 의하면, 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출해서 피도포물상에 착탄시켜 이루어지는 잉크 액적군(잉크 액적의 겹침 집합물)의 주변부는 일회만 토출해서 피도포물상에 착탄시켜 이루어지는 잉크 액적의 주변부와 비교해서, 피도포물의 표면으로브터 융기하는 정도가 커짐과 아울러, 그 주변부에서 반사나 굴절되는 광량이 기타 부위(평평한 중앙 부위 등)에서 반사나 굴절되는 광량보다도 정확히 많아진다. 이에 따라, 시각적으로 또는 CCD 카메라 등의 촬상 수단에 의해 잉크 액적군의 주변부를 명확히 시인할 수 있고, 예컨대 그 잉크 액적군의 직경이나 폭을 측정함으로써 그 잉크의 확산성을 정확히 파악하는 것이 가능해지기 때문에, 상기 피도포물상에 균일한 두께를 갖는 고품위의 막을 형성할 수 있다.

상세히 설명하면, 상술한 피도포물의 표면은 잉크 토출 공정의 이전 공정인 세정 공정에서 세정 작용을 받음으로써 각 피도포물의 각각의 표면 품질에 변화가 생기기 때문에, 잉크젯 프린터 등의 잉크 액적 토출 장치 및 잉크의 토출 조건이 일정하여도, 잉크 액적의 확산성은 한결같이 정해지지 않는다. 따라서, 피도포물의 표면 상태와, 잉크 액적 토출 장치 및 잉크의 토출 조건이 적절할 것인지 아닌지를 파악하기 위해서는, 본 발명과 같이 실제로 잉크 액적을 피도포물상에 토출시켜 그 확산성을 측정하는 것이 적절하다. 그리고, 그 확산성이 적절한 것을 확인한 후에, 연속적으로 잉크의 토출에 의한 막 형성을 행하면, 피도포물상에 고품위의 막이 형성되어 이루어지는 제품을 양산할 수 있게 된다. 이에 대하여, 상기한 바와 같이 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성이 적절한지 아닌지를 확인하지 않고, 연속적으로 잉크 토출에 의한 막 형성을 행하면, 불량품이 대량으로 발생해서 제품 수율이 현저히 저하한다고 하는 문제를 초래한다. 이러한 사항을 고려한 후에, 더욱이 본 발명에 의하면, 투명 등의 피도포물상에 투명 등의 잉크를 토출할 경우이어도, 그 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성을 정확히 인식할 수 있기 때문에, 상기와 같은 제품 수율의 현저한 저하를 유효하게 도모할 수 있다.

상기 방법에 있어서, 피도포물상에 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출할 때에는, 각 잉크 액적의 일부만이 겹치도록 토출하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 선행하는 잉크 액적이 피도포물상에 착탄한 후에, 후속의 잉크 액적이 토출된 경우에는 그 후속의 잉크 액적의 일부는 선행하는 잉크 액적의 표면에 착탄되지만, 기타 부분은 피도포물의 표면에 착탄되게 된다. 이에 따라, 각 잉크 액적의 전부가 겹칠 경우, 즉 선행해서 피도포물상에 착탄된 잉크 액적의 표면에 후속의 잉크 액적의 전부가 겹치도록 착탄된 경우에 생길 수 있는 잉크의 튐, 및 이에 기인하는 잉크 액적의 확산성 검사의 곤란화가 회피된다.

또한, 이상의 방법에 있어서, 피도포물에 있어서의 잉크 액적의 착탄측 또는 그 뒷쪽에 잉크 액적군의 주변부의 화상을 촬영하는 촬상 수단을 배치하고, 그 촬영된 화상에 의거해서 상기 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성을 검사하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 잉크 액적군의 주변부가 촬상 수단에 의해 화상으로서 캡쳐되기 때문에, 그 잉크 액적의 확산 직경 또는 확산 폭을 측정하는 점에서 유리해지고, 예컨대 그 측정을 자동적으로 행하는 것도 가능해진다. 또한, 피도포물이 투명 등이 때문에, 그 피도포물 잉크 액적의 착탄측과 그 뒷쪽의 어느 측에도 촬상 수단을 배치할 수 있는 것으로 되고, 레이아웃면에서의 문제가 생기기 어려워진다.

그리고, 이상의 발명에 있어서, 피도포물이 액정 표시 기기용 또는 유기 EL 표시기용의 유리 기판임과 아울러, 잉크가 액정 표시 기기용의 배향 막 재료 또는 유기 EL 표시 기기용의 코팅 재료이면, 액정 표시 기기 및 유기 EL 표시기의 고품질화를 도모하는데 도움이 된다. 또한, 상기 배향 막 재료로서는 투명 등의 PI 잉크(투명 폴리이미드 잉크)나 투명 등의 UV 잉크를 들 수 있고, 또한 상기 코팅 재료로서는 투명 등의 UV 잉크를 들 수 있다.

더욱이, 이상의 발명에 있어서, 잉크 액적 토출 장치가 잉크젯 프린터이면, 상술한 작용 효과를 유효하고 확실히 달성하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제 2 기술적 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 의한 장치는 잉크 비흡수성을 지닌 투명 또는 반투명의 피도포물상에 잉크 액적 토출 장치에 의해 투명 또는 반투명의 잉크를 잉크 액적으로서 토출하고, 상기 잉크 액적이 상기 피도포물상에 착탄된 때의 상기 잉크 액적의 확산성을 검사하도록 구성한 검사 장치로서, 상기 피도포물상에 상기 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출하고, 그들이 착탄되어 이루어지는 잉크 액적군의 주변부의 화상에 의거해서 상기 피도포물상에서 잉크 액적의 확산성을 검사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 잉크 액적 확산 검사 장치에 의하면, 상술한 방법에 있어서의 대응하는 구성 요소를 구비함으로써 상술한 이유에서 잉크의 확산성을 정확히 파악한 후에, 피도포물상에 균일한 두께를 갖는 고품위의 막을 형성할 수 있음과 아울러, 제품 수율의 현저한 저하를 회피하는 것이 가능해진다.

이 경우에 있어서, 상술한 잉크로서는 예컨대 점도가 5∼16cp이며, 표면 장력이 30∼40dyn/cm인 막 재료를 사용한 경우에, 상술한 여러가지의 효과를 현저히 얻을 수 있다.

더욱이, 상기 제 3 기술적 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 의한 배향 막 형성 방법은 잉크젯 노즐을 이용하여 배향 막 재료(예컨대, 점도가 5∼16cp이며, 표면 장력이 30∼40dyn/cm)를 액적에 의해 착탄시켜, 이 착탄된 액적 패턴으로부터 상기 잉크젯 노즐의 이상을 검사하는 검사 공정, 및 이 검사 공정에서 액적 패턴이 소정 범위내에 있을 때, 상기 잉크젯 노즐과 기판을 대향시켜, 이 기판상에 상기 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜 이루어지는 배향 막의 성막 공정을 구비한 것이다.

따라서, 검사 공정에서 잉크젯 노즐의 정상을 확인한 후가 아니면 배향 막의 성막 공정으로 이동하지 않으므로, 기판으로의 불필요한 배향 막 형성을 방지할 수 있다.

또한, 검사 공정은 투명체에 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜, 이 착탄된 액정 패턴을 투명체의 하면으로부터 화상 인식 카메라로 판독한 데이터와, 미리 기억되어 있던 데이터를 비교해서, 액적 패턴이 소정 범위내에 있는 것인지 아닌지를 검사함으로써 액적 범위에 작동물이 없으므로 작업 환경에 의한 컨테미네이션의 발생이 없어지고, 검사가 확실히 행해질 수 있는 것이다.

더욱이, 검사 공정은 액적 패턴과 미리 기억되어 있던 액적의 패턴을 비교해서, 액적 패턴이 소정 위치에 없을 경우 노즐 막힘으로 판단해서 표시하고, 액적 패턴의 위치가 소정 위치로부터 벗어나 있을 때 액적이 비행 굴곡되어 있는 것으로 판단해서 표시하고, 액적 패턴이 소정의 크기보다 크거나 또는 작을 경우, 잉크젯 노즐로부터의 토출량이 설정 토출량보다 많거나 또는 적다고 판단해서 표시함으로써 배향 막 재료의 결품(缺品)이나, 잉크젯 노즐의 불량을 간단히 파악할 수 있고, 수리를 할 수 있는 것이다.

또한, 상기 제 3 기술적 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 의한 배향 막 형성 장치는 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜, 이 착탄된 액적 패턴으로부터 상기 잉크젯 노즐의 이상을 검사하는 검사 에리어, 상기 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜 이루어지는 배향 막의 성막을 형성하는 성막 형성 에리어, 및 상기 검사에서 액적 패턴이 소정 범위내에 있을 때 상기 잉크젯 노즐을 검사 에리어 위치로부터 성막 형성 에리어 위치로, 또는 상기 검사 에리어 위치와 성막 형성 에리어 위치를 상기 잉크젯 노즐에 대향하는 위치로 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 장치에 의하면, 검사에서 잉크젯 노즐의 정상을 확인한 후가 아니면 잉크젯 노즐이 배향 막의 성막 형성 에리어로 이동하지 않으므로, 불필요하게 배향 막을 형성하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 검사 에리어는 잉크젯 노즐의 하방으로 배치된 투명체, 드리블링되어 착탄된 액적 패턴을 투명체의 하면으로부터 판독한 화상 인식 카메라, 이 카메라로부터 판독된 액적 패턴과 미리 기억된 정상의 패턴을 비교하는 비교 수단, 및 이 비교 수단의 결과가 정상인지 이상인지를 판단하는 판단 수단을 구비하고 있으므로, 투명체의 하면으로부터 화상 인식 카메라로 판독된 데이터와, 미리 기억되어 있던 데이터를 비교해서 액적 패턴이 소정 범위내에 있는지 없는지를 비교함으로써 액적 범위에 작동물이 없으므로 작업 환경에 의한 컨테미네이션의 발생이 없어지고, 검사를 확실히 행할 수 있는 것이다.

더욱이, 검사 에리어에서 액적 패턴과, 미리 기억되어 있던 액적의 패턴을 비교해서 액적 패턴이 소정 위치에 없을 경우, 노즐 막힘으로 판단해서 표시하고, 액적 패턴의 위치가 소정 위치로부터 벗어나 있을 때 액적이 비행 굴곡되어 있는 것으로 판단해서 표시하고, 액적 패턴이 소정의 크기보다 크거나 또는 작을 경우, 잉크젯 노즐로부터의 토출량이 설정 토출량보다 많거나 또는 적다고 판단해서 표시함으로써, 배향 막 재료의 결품이나 잉크젯 노즐의 불량을 간단히 파악할 수 있고, 수리를 할 수 있는 것이다.

[발명의 효과]

이상과 같이, 상기 제 1 기술적 과제에 대응하는 본 발명에 의한 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법 및 그 장치에 의하면, 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물상에 잉크를 토출해서 막을 형성하고, 그 막의 막 두께를 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정한 후, 그 측정 결과인 실제의 막 두께와 목표값인 목표 막 두께의 차이를 각각의 노즐의 잉크 토출 위치마다 산출해서, 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 증감 보정하는 것이 행하여지는 것으로 되기 때문에, 프린트 헤드의 제어계나 정보량에 부당한 악영향을 주지 않고, 또한 잉크의 도포 시간의 단축화를 방해하지 않고, 각 노즐로부터의 피도포물상에서의 잉크의 토출량을 균일화할 수 있게 되고, 최근에 있어서의 도포폭을 넓게 한다는 요청에 따르면서, 잉크의 도포를 균일하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제 2 기술적 과제에 대응하는 본 발명에 의한 잉크 액적 확산 검사 방법 및 그 장치에 의하면, 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출해서 피도포물상에 착탄시켜 이루어지는 잉크 액적군의 주변부는 일회만 토출해서 피도포물상에 착탄시켜 이루어지는 잉크 액적의 주변부와 비교해서, 반사나 굴절되는 광량이 다른 부위보다도 정확히 많아지기 때문에, 잉크 액적군의 주변부를 명확히 시인할 수 있고, 그 잉크의 확산성을 정확히 파악하는 것이 가능해짐으로써 피도포물상에 균일한 두께를 갖는 고품위의 막을 형성할 수 있다. 더욱이, 잉크 액적의 확산성이 적절한 것을 확인한 후에, 연속적으로 잉크의 토출에 의한 막 형성을 행할 수 있기 때문에, 피도포물상에 양질의 막이 형성되어 이루어지는 고품위의 제품을 양산할 수 있게 되고, 제품 수율을 향상시키는 것이 가능해진다.

더욱이, 상기 제 3 기술적 과제에 대응하는 본 발명에 의한 배향 막의 형성 방법 및 그 검사 장치에 의하면, 미리 액적의 상태로부터 잉크젯 노즐의 불량을 표시해서 대응함으로써 조기에 재료의 보급이나 노즐의 조정이 행해질 수 있으므로, 재료의 낭비를 방지할 수 있는 것이다. 더욱이 공장에서의 수율이 향상되는 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 잉크젯 프린터의 토출량 제어 장치의 개략 구성도이다.

도 2는 상기 토출량 제어 장치의 구체적 구성을 나타내는 개략도이다.

도 3은 상기 토출량 제어 장치로부터 토출되는 잉크의 액적의 착탄 상태를 나타내는 개략 평면도이다.

도 4는 상기 토출량 제어 장치로부터 토출되는 잉크의 액적의 착탄 상태를 나타내는 개략 평면도이다.

도 5는 상기 토출량 제어 장치에 의해 유리 기판상에 막을 형성한 상태를 나타내는 개략도이다.

도 6은 상기 토출량 제어 장치에 의해 유리 기판상에 형성된 막의 막 두께를 측정하고 있는 상태를 나타내는 개략도이다.

도 7은 상기 토출량 제어 장치에 의해 유리 기판상에 형성된 막을 나타내는 종단면도이다.

도 8은 상기 토출량 제어 장치에 의해 보정후에 토출되는 잉크의 액적의 착탄 상태를 나타내는 개략 평면도이다.

도 9는 상기 토출량 제어 장치에 의해 보정후에 유리 기판상에 형성된 막을 나타내는 종단면도이다.

도 10은 상기 토출량 제어 장치의 동작을 나타내는 개략도이다.

도 11은 상기 토출량 제어 장치의 동작을 나타내는 개략도이다.

도 12(a)는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 잉크 액적 확산 검사 장치의 구성 요소인 잉크젯 프린트 헤드 및 그 주변을 나타내는 개략 평면도, 도 12(b)는 그들의 개략 측면도이다.

도 13은 상기 잉크 액적 확산 검사 장치의 검사부의 구성을 나타내는 개략 측면도이다.

도 14는 상기 잉크 액적 확산 검사 장치에 의한 검사 대상인 피도포물상의 잉크 액적군을 나타내는 개략 측면도이다.

도 15는 상기 잉크 액적 확산 검사 장치에 의한 검사 대상인 잉크 액적군의 형상을 나타내는 개략 평면도이다.

도 16(a)는 상기 잉크 액적 확산 검사 장치에 의한 검사 대상인 피도포물상의 잉크 액적군의 다른 예를 나타내는 개략 평면도, 도 16(b)는 그 개략 측면도이다.

도 17은 상기 잉크 액적 확산 검사 장치에 의한 검사 대상인 잉크 액적군의 상기 다른 예의 형상을 나타내는 개략 평면도이다.

도 18은 상기 잉크 액적 확산 검사 장치의 검사부의 다른 예를 나타내는 개략 측면도이다.

도 19는 일회만 토출한 경우의 피도포물상의 잉크 액적의 상태를 나타내는 개략 측면도이다.

도 20은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치의 개략 측면도이다.

도 21은 상기 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치의 평면도이다.

도 22는 상기 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치의 요부 동작 블록도이다.

도 23은 도 22의 요부 플로우차트이다.

도 24는 상기 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치에 의해 잉크젯 노즐의 막힘을 검출한 때의 액적 패턴이다.

도 25는 상기 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치에 의해 잉크젯 노즐의 비행 굴곡을 검출한 때의 액적 패턴이다.

도 26은 상기 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치에 의해 잉크젯 노즐의 액적량을 검출한 때의 액적 패턴이다.

도 27은 상기 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치의 변형 예를 나타내는 개략 측면도이다.

도 28은 도 27에 나타낸 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치의 평면도이다.

부호의 설명

1: 잉크젯 프린터의 토출량 제어 장치

2: 유리 기판(피도포물)

3: 프린트 헤드

4: 노즐

6: 막 두께 측정 수단

7: 기억 수단

8: 토출량 제어 수단

A: 액적

B: 막

Ba: 목표 막 두께

이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 참조해서 설명한다.

[제 1 실시형태]

도 1∼도 11은 본 발명의 제 1 실시형태를 예시하는 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 잉크젯 프린터의 토출량 제어 장치(1)는 주된 구성 요소로서, 잉크 비흡수성을 지닌 액정 표시 기기용의 투명한 유리 기판(2)과, 프린트 헤드(3)의 복수의 노즐(4)로부터 토출되는 잉크의 양을 컨트롤하는 컨트롤러(5)와, 프린트 헤드(3)로부터의 잉크의 토출에 의해 유리 기판(2)상에 형성된 막의 막 두께를 각 노즐(4)의 토출 위치와 관련하여 측정하는 막 두께 측정 수단(6)을 가지고 있다. 더욱이, 이 토출량 제어 장치(1)는 막 두께 측정 수단(6)에 의해 측정된 각 노즐(4)의 잉크 토출 위치에서의 막 두께와 목표 막 두께의 각 차분에 상당하는 보정 데이터를 기억하는 기억 수단(7)과, 이 기억 수단(7)에 기억되어 있는 보정 데이터를 판독해서 컨트롤러(5)에 의거하는 프린트 헤드(3)의 각 노즐(4)로부터의 잉크의 토출량을 보정하는 토출량 보정 수단(8)을 구비하고 있다.

이러한 구성을 구비해서 이루어지는 토출량 제어 장치(1)의 보다 구체적인 구성, 및 그 작업 순서를 이하에 상세히 설명한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 이 제 1 실시형태에서 사용되는 잉크젯 프린터는 복수의 노즐을 갖는 프린트 헤드(3)가 노즐의 배열 방향에 따라 복수 개(도면의 예에서는 4개) 배치되어 있다. 작업 순서로서는 우선 컴퓨터(9)가 프린트 헤드(3)의 인가 전압을 목표 막 두께(막 두께의 목표값)에 상당하는 잉크의 액적수로부터 산출하고, 이 산출값을 컨트롤러(5)에 지령 신호로서 송출함으로써 컨트롤러(5)로부터 인가 전압 라인(10)을 통해서 인가 전압을 나타내는 신호가 프린트 헤드(3)에 송출됨으로써 프린트 헤드(3)의 각 노즐로부터 토출되는 잉크의 토출량이 조정된 다. 또한, 컨트롤러(5)로부터는 분출 데이터 라인(11)을 통해서 어떤 프린트 헤드(3)에 있어서의 어떤 노즐로부터 액적을 토출시키는 지를 나타내는 신호가 송출된다.

이러한 상태 하에서, 전체 프린트 헤드(3)의 전체 노즐로부터 상술한 바와 같이 조정된 토출량이 되도록, 유리 기판(2)상에 잉크의 액적이 토출된다. 이 경우의 유리 기판(2)상에 대한 잉크의 토출은, 도 3에 도시된 바와 같이, 인접한 노즐로부터 토출되는 액적(A)이 1/2피치의 벗어남을 교대로 생기게 하도록 행해지기 때문에, 전체 노즐에 의한 전체 토출량의 50%의 잉크의 액적(A)이 도시된 바와 같은 상태로 되어 유리 기판(2)상에 착탄된다(이 상태는 50%분출 패턴이라 칭함). 또한, 이에 대비하는 것으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 인접한 노즐로부터 토출되는 액적(A)이 피치의 벗어남을 생기게 하지 않고 또한 결락이 없을 경우에는, 전체 노즐에 의한 100%의 토출량에 상당하는 잉크의 액적(A)이 도시된 바와 같은 상태로 되어 피도포물상에 착탄되어 간다(이 상태는 100%분출 패턴이라 칭함).

그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)의 화살표(X) 방향으로의 이동을 수반시켜, 50%분출 패턴으로 4개의 프린트 헤드(3)로부터의 잉크의 토출이 완료된 시점에서, 유리 기판(2)상에는 넓은 도포폭(T)에 걸쳐서, 제 1∼제 4 도포 영역(A1, A2, A3, A4)에 박막이 형성된다. 그 후, 도 6에 도시된 바와 같이, 막 두께 측정 수단(6)을 사용해서, 도포폭(T1)의 제 1 도포 영역(A1)의 개시단으로부터 제 4 도포 영역(A4)의 종단에 이르기까지, 노즐 배열 방향에 따라 막 두께를 측정하고, 어떤 프린트 헤드(3)의 어떤 노즐(4)의 토출 위치에 있어서의 막 두께가 얇은 지 두꺼운지를 판단한다.

도 7은 상술한 도포폭(T1)의 제 1 도포 영역(A1)에 있어서의 막(B)의 형성 상태를 나타내는 종단면도이다. 동도에 도시된 바와 같이, 제 1 도포 영역(A1)의 막(B)이 상술한 목표 막 두께(Ba)에 대하여 막 두께 부족부(Bx)나 막 두께 과잉부(By)를 가지고 있을 경우에는, 그들에 대응하는 노즐로부터의 잉크의 액적수를 증감 보정한다. 구체적으로는, 도 8에 나타낸 유리 기판(2)상에서의 액적(A)의 분포 상태와 같이, 막 두께 부족부(Bx)에 대응하는 노즐에 대해서는 그 노즐로부터 토출되는 잉크의 액적수를 부호(Ax)로 나타내는 액적분에 대해서 증가시켜(공간 증가라 칭함), 또한 막 두께 과잉부(By)에 대응하는 노즐에 대해서는, 그 노즐로부터 토출되는 잉크의 액적수를 부호(Ay)로 나타내는 액적분에 대해서 감소시킨다(공간 삭감이라 칭함). 또한, 이러한 유리 기판(2)상에 있어서의 액적(A)의 분포 상태의 보정은 제 1∼제 4 도포 영역(A1∼A4)의 전체 영역에서 실행된다.

이상과 같은 보정이 실행됨으로써, 도 9에 도시된 바와 같이, 막 두께 부족부(Bx)와 막 두께 과잉부(By)가 목표 막 두께(Ba)에 근접한다. 그리고, 필요에 따라 도 4∼도 8에 의거해서 설명한 작업을 반복하고 실행함으로써 막 두께 부족부(Bx)와 막 두께 과잉부(By)를 목표 막 두께(Ba)에 가능한 한 가까이한다. 이에 따라, 유리 기판(2)상에 있어서의 제 1∼제 4 도포 영역(A1∼A4)의 전체 영역에 있어서의 막 두께의 균일성이 향상된다.

그 후, 상기한 바와 같이 잉크 유리 기판(2)상에서의 액적수를 증감 보정한 노즐을 포함시켜 전체 프린트 헤드(3)의 전체 노즐에 관한 잉크 유리 기판(2)상에 서의 액적수의 분포를 나타내는 분출 패턴을 보정 데이터로서, 도 10에 나타낸 데이터 기록 라인(12)을 통해서 컴퓨터(9)에 내장되어 있는 기억 수단(7)에 기억한다. 이렇게 해 두면, 예컨대 복수 개의 프린트 헤드(3)를 배열 순서를 교환해서 사용할 경우에는, 기억되어 있는 보정 데이터를 컴퓨터(9)에 내장되어 있는 토출량 보정 수단(8)이 판독하고, 이 토출량 보정 수단(8)으로부터, 도 11에 도시된 바와 같이, 각 프린트 헤드(3)에 기록(13)을 실행함으로써 용이하게 모든 프린트 헤드(3)가 균일한 막의 도포를 고정밀도로 행할 수 있게 된다.

그리고, 이렇게 보정 데이터에 따라서 전체 프린트 헤드(3)의 전체 노즐로부터의 잉크의 액적수(보정 데이터에 의거하는 유리 기판(2)상에서의 액적의 분포 상태에 대응하는 잉크의 액적수)가 설정된 후는, 이 잉크젯 프린터에 의해 주로 액정 표시 기기용의 투명 유리 기판상으로의 배향 막의 도포, 유기 EL 표시기용의 투명 유리 기판상으로의 컬러 필터의 도포 등이 행해지고, 또한, 종이, 천, 수지, 또는 세라믹 등으로 이루어지는 기재상으로의 인쇄 등도 행해질 수 있다.

[제 2 실시형태]

도 12∼도 18은 본 발명의 제 2 실시형태를 예시하는 것이다. 도 12(a)는 잉크 액적 확산 검사 장치의 구성 요소인 잉크젯 프린트 헤드(1)와, 잉크 액적이 토출되기 전의 피도포물으로서 실선으로 그려진 투명 등의 유리 기판(2)과, 잉크 액적(잉크 액적군(3))이 토출된 후의 점선으로 그려진 동일 유리 기판(2)을 나타내는 개략 평면도, 도 12(b)는 마찬가지의 상태에 있는 그들의 각 구성 요소(1, 2)를 나타내는 개략 측면도이다. 또한, 도 13은 잉크 액적 확산 검사 장치의 구성 요소인 검사 카메라(4)와 복수 개의 조명(5, 6)의 배열 상태를 나타내는 개략 측면도이다.

이 제 2 실시형태에서는, 도 12(a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 정위치에 유지된 잉크젯 프린트 헤드(1)의 하방을 유리 기판(2)이 화살표 방향으로 이동할 때에, 유리 기판(2)의 표면에 잉크 액적이 토출되고, 유리 기판(2)이 점선으로 나타내는 위치에 이동한 시점에서, 유리 기판(2)의 표면에 착탄된 잉크 액적군(잉크 액적이 상하로 겹쳐서 형성되는 잉크 액적의 집합물)(3)의 확산성이 검사되게 되어 있다.

상기의 잉크 액적군(3)의 확산성을 검사하는 검사부(7)의 구성은, 도 13에 도시된 바와 같이, 유리 기판(2)에 있어서의 잉크 액적군(3)의 착탄측, 자세하게는 유리 기판(2)상의 잉크 액적군(3)의 바로 위에 배치되어 하방을 지향하는 CCD 카메라로 이루어지는 1개의 검사 카메라(4)와, 유리 기판(2)에 있어서의 잉크 액적군(3)의 착탄측에 배치되어 잉크 액적군(3)을 비스듬히 상방으로부터 대칭적으로 광을 조사하는 2개의 조명(5)과, 유리 기판(2)에 있어서의 잉크 액적군(3)의 착탄측의 뒷쪽에 배치되어 잉크 액적군(3)을 비스듬히 하방으로부터 대칭적으로 광을 조사하는 2개의 조명(6)을 구비해서 이루어진다.

이 경우, 유리 기판(2)상의 잉크 액적군(3)은 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 동일위치에 겹쳐서 토출함으로써 형성된 것이며, 도 14에 도시된 바와 같이, 잉크 액적군(3)의 주변부(3a)는 완만하게 만곡되어 있는 중앙부(3b)에 비해서 극단으로 만곡된 형상으로 되어 있다. 환언하면, 잉크 액적군(3)의 주변부(3a)의 유리 기판(2) 표면에 대한 접촉각(α)은 상술한 도 19에 나타낸 일회만 토출된 잉크 액 적(13)의 접촉각(α)과 비교해서 훨씬 커진다. 따라서, 이 잉크 액적군(3)을 상기 조명(5, 6)에 의해 광을 조사해서 검사 카메라(4)로 그 화상을 잡았을 경우에는, 도 15에 나타낸 원형의 중앙부(3b)는 상대적으로 평면이기 때문에 투명으로 되어 시인할 수 없는 것에 대해서, 동도에 나타낸 원환 형상의 주변부(3a)는 반사 또는 굴절하는 광량이 상대적으로 많기 때문에 희게 떠오른 상태로서 시인될 수 있다. 거기서, 이 잉크 액적군(3)의 직경(D)을 측정하면, 이 잉크젯 프린터에서 실제로 사용되는 잉크 유리 기판(2)을 대상으로 한 확산성을 미리 파악할 수 있다.

한편, 사용하는 잉크의 특성에 의해서는, 상기한 바와 같이 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐 동일 위치에 토출한 것에서는, 선행하는 잉크 액적 상에 후속의 잉크 액적이 착탄된 때에 잉크가 튀어서 잉크 액적군의 주변부가 상기 정도까지 만곡된 형상으로 안되고, 이것에 기인하여 그 주변부가 희게 떠오른 상태로 되지 않기 때문에, 검사 카메라로 잉크의 확산성을 파악할 수 없을 경우가 있다. 그러한 경우에는, 도 16(a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 복수 회에 걸쳐서 토출되는 복수의 잉크 액적(13)의 일부만이 겹치도록, 즉 각 잉크 액적(13)의 착탄 위치가 일부 겹치도록 일방향으로 이동되면서 토출됨으로써, 도 17에 나타낸 타원형의 투명한 중앙부(3b)와, 희게 떠오른 타원환 형상의 주변부(3a)로 이루어지는 화상을 검사 카메라로 잡을 수 있다. 그리고, 이 도 17에 나타낸 화상으로부터 잉크 액적군(3)의 폭(S)를 측정하면, 이 잉크젯 프린터에서 실제로 사용되는 잉크 유리 기판(2)을 대상으로 한 확산성을 미리 파악할 수 있다.

도 18은 검사부(7)의 다른 예를 나타내는 것이며, 조명(5, 6)은 상술한 것과 마찬가지의 배열로 한 후에, 검사 카메라(4)가 유리 기판(2)에 있어서의 잉크 액적군(3)의 착탄측의 뒷쪽, 자세하게는 유리 기판(2)상의 잉크 액적군(3)의 바로 아래에 배치되어 상방을 지향하도록 배열되어 있다. 이러한 조명(5, 6) 및 검사 카메라(4)의 배열 상태이어도, 상술한 경우와 마찬가지로 해서, 잉크 액적군(3)의 주변부(3a)를 희게 떠오른 상태로서 잡을 수 있고, 유리 기판(2)상에서의 잉크의 확산성을 미리 정확히 파악하는 것이 가능해진다.

한편, 이상의 실시형태에 의한 잉크 액적 확산 검사 장치는 액정 표시 기기 등에 있어서의 투명 등의 유리 기판상에 배향 막의 재료인 투명 등의 PI 잉크나 UV 잉크를 토출할 경우나, 유기 EL 표시기에 있어서의 투명 등의 유리 기판상에 투명 등의 UV 잉크를 토출할 경우에 특히 유용하지만, 이외에 투명 등의 수지기판상 또는 반도체 소자 제작용의 투명 등 기판상에, 상기와 마찬가지의 또는 기타 투명 등의 잉크를 토출할 경우에도, 마찬가지로 해서 적용가능하다.

[제 3 실시형태]

도 20∼도 26은 본 발명의 제 3 실시형태를 예시하는 것이다. 도 20은 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치의 개략 측면도, 도 21은 도 20의 표면도, 도 22는 제 3 실시형태의 요부 동작 블록도, 도 23은 도 22의 요부 플로우차트, 도 24는 잉크젯 노즐의 막힘을 검출한 때의 액적 패턴, 도 25는 잉크젯 노즐의 비행 굴곡을 검출한 때의 액적 패턴, 도 26은 잉크젯 노즐의 액적량을 검출한 때의 액적 패턴이다.

배향 막 형성 장치(1)는 8개의 잉크젯 노즐(A, B, C, D, E, F, G, H)로 이루 어지는 잉크젯군(2)에 의해 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜, 이 액적(Ap, Bp, Cp, Dp, Ep, Fp, Gp, Hp)의 패턴에 의해 상기 잉크젯 노즐의 이상을 검사하는 검사 에리어(3)와, 상기 잉크젯군(2)에 의해 배향 막 재료를 기판(4)에 액적에 의해 착탄시켜 이루어지는 배향 막의 성막을 형성하는 성막 형성 에리어(5)를 가지고 있다.

상기 잉크젯군(2)은 검사 에리어(3)의 위치로부터 성막 형성 에리어(5)의 위치로 구동 구조(도시되지 않음)에 의해 이동될 수 있다. 이 잉크젯군(2)은 3개의 위치로 이동되므로, 전술한 검사 에리어(3), 성막 형성 에리어(5) 및 양 에리어(3, 4)로부터 퇴피된 퇴피 에리어(6)(도 21 위에 있는 상태)이다.

이 잉크젯군(2)은 도 21 중상으로부터 아래로 화살표로 나타낸 바와 같이 이동하는 것이므로, 성막 형성 에리어(5)에서는 이동하면서 순차 기판(4)에 액적을 행하여 가는 것이므로, 기판(4)으로부터 보면 도 21 가운데 최상이 1열째, 아래가 n열째의 액적으로 된다.

상기 검사 에리어(3)는 성막 형성 에리어(5)와 대피 에리어(6) 사이에 위치하는 것이므로, 성막 형성 에리어(5)에 잉크젯군(2)이 이동하기 전에 검사 에리어(3)에서 잉크젯군(2)의 각 잉크젯 노즐(A∼H)의 상태를 체크하는 것이다.

검사 에리어(3)에는 잉크젯군(2)의 이동 방향을 가로지르도록 이동하는 필름으로 이루어지는 투명체(7)가 설치되어 있다. 이 투명체(7)는 롤상으로 감겨져 도 20 가운데 좌측에 회전가능하게 설치되어 있다. 그리고, 도 20 가운데 우측에서 잉크젯군(2)의 길이보다도 긴 위치에 권취용의 롤러(8)가 배치되어 있다. 이 롤러(8) 는 권취 수단(8a)에 의해 회전한 투명체(7)를 둘러 감고 있으므로, 일회의 권취 수단(8a)의 이동으로 적어도 잉크젯 노즐(A∼H)을 지나칠 때까지 투명체(7)는 이동될 수 있다.

잉크젯 노즐(A∼H)의 길이보다도 긴 투명 기판(9)이 투명체(7) 아래에 위치해서, 상기 잉크젯군(2)으로부터의 투명체(7)로의 액적이 평면에서 행해지도록 평탄하게 형성되어 있다.

또한, 화상 인식 카메라(10)는 일반적으로 알려져 있는 CCD 카메라이어도 좋고, 상기 투명체(7)와 투명 기판(9)의 하방을 상기 잉크젯군(2)이 이동하는 방향과 교차하는 방향으로 이동시키는 화상 인식 카메라 이동 수단(11)로 이동시킬 수 있다(이동 후는 도 20에 이점쇄선으로 나타냄). 즉, 투명체(7)의 길이 방향에 따라 이동하고 있는 것으로 된다.

그리고, 이 이동에 따라, 상기 투명체(7)에 적하된 액적(Ap, Bp, Cp, Dp, Ep, Fp, Gp, Hp)의 하면에서 본 액적 패턴을 제어 장치(12)의 액적 패턴 기억 수단(13)에 기억시킨다. 상기 제어 장치(12)는 퍼스널 컴퓨터이어도 좋고, 여러가지 상황을 표시할 수 있는 표시 수단으로서의 디스플레이(14)를 구비하고 있다. 이 때, 노즐(A)에 대하여 액적(Ap), 노즐(B)에 대하여 액적(Bp), ㆍㆍㆍ, 노즐(H)에 대하여 액적(Hp)과 대응시켜 있다.

그 다음, 검사 에리어(3)에 있어서의 잉크젯군(2), 화상 인식 카메라(10), 제어 장치(12)의 움직임을 도 22, 도 23을 참고하여 설명한다.

제어 장치(12)는 화상 인식 카메라(10), 투명체 공급량 검지 수단(15), 잉크 젯군 공급량 검지 수단(16)의 정보가 입력되어 있다. 투명체 공급량 검지 수단(15), 잉크젯군 공급량 검지 수단(16)은 스위치의 온, 오프로 위치 정보를 제공해도 좋음과 아울러, 타이머에 의한 시간 검지에서도 좋다.

또한, 제어 장치(12)는 잉크젯군(2)의 이동 수단(17), 잉크젯 노즐(A∼H)의 액적 동작 수단(18), 디스플레이(14), 화상 인식 카메라이동 수단(11), 투명체의 권취 수단(8a)를 제어하고 있다.

그리고, 제어 장치(12)는 내부에 CPU를 구비하고, 투명체(7)에 적하된 액적의 액적(Ap, Bp, Cp, Dp, Ep, Fp, Gp, Hp)의 패턴을 기억하는 액적 패턴 기억 수단(13), 정상 패턴 기억 수단(19), 적하된 액적(Ap, Bp, Cp, Dp, Ep, Fp, Gp, Hp)의 패턴과 정상 패턴을 비교하는 비교 수단(20), 이 비교 수단의 결과로부터 잉크젯 노즐(A∼H)의 상태를 판단하는 판단 수단(21)을 구비하고 있다.

1일의 작업을 개시 또는 휴식으로부터의 개시 또는 임의의 시간마다 스타트가 시작된다. 그렇다면, 스텝1로서 제어 장치(12)로부터 권취 수단(8a)에 신호가 송신되어, 소정의 길이 권취될 때까지 이동한다. 권취된 다음의 스텝2로서 잉크젯군(2)의 이동 수단(17)이 동작하고, 검사 에리어(3)에서 정지한다. 다음에 스텝3으로서 잉크젯 노즐(A∼H)의 액적 동작 수단(18)에 의해 투명체(8)상에 배향 막 재료를 일정 시간 액적에서 착탄시킨다.

스텝4로서 투명체(8)의 하면에 위치하는 화상 인식 카메라(10)를 동작시켜, 화상 인식 카메라이동 수단(11)을 동작시켜서, 스텝5로서 상기 잉크젯 노즐(A∼H)에 의해 형성된 액적(Ap, Bp, Cp, Dp, Ep, Fp, Gp, Hp)의 패턴 정보를 판독하고, 액적 패턴 기억 수단(13)으로 스텝6으로서 기억시킨다.

스텝7로서 이 액적 패턴 기억 수단(13)의 데이터와, 정상 패턴 기억 수단(19)으로부터 미리 등록되어 있는 데이터를 비교 수단(20)에서 판독하고, 그 차이를 판단 수단(21)으로 송신한다.

스텝8로서 판단 수단(21)으로 패턴 결여, 패턴 차이, 패턴 대ㆍ소를 판단하고, 스텝9에서 디스플레이(14)에 표시한다.

이 패턴 결여, 즉 액적 패턴이 소정 위치에 없을 경우(도 24의 점선으로 나타내는 원(Dp)이 결여되어 있는 개소), 착탄이 되지 않았다고 판단되므로, 노즐 막힘으로 판단해서 표시한다. 또한, 결여 부분이 다수 있을 경우는 배향 막 재료가 없어져 있을 경우도 있으므로 이 경우는 배향 막 재료의 보충을 재촉하는 표시를 한다.

더욱이, 패턴 벗어남, 즉 액적 패턴의 위치가 소정 위치로부터 벗어나 있을 때(도 25의 점선으로 나타내는 원이 정상 위치(Dr)에 대하여 Dp의 벗어난 패턴) 액적이 비행 굴곡되어 있는 것으로 판단해서 표시한다. 또한, 패턴 대ㆍ소, 즉 액적 패턴이 소정의 크기보다 크거나 또는 작을 경우(도 26의 Dp, Fp의 패턴), 잉크젯 노즐로부터의 토출량이 설정 토출량보다 많거나 또는 적은 것으로 판단해서 표시한다.

이에 따라, 디스플레이(14)의 표시 결과를 판단해서, 배향 막 재료의 보충이나 노즐의 수리를 행할 수 있다. 특히 바로 아래로부터의 화상으로 판단하고 있으므로, 노즐(A∼H)의 어느 하나가 기울고 있어도 그 상태의 파악이 간단히 행해질 수 있다. 또한, 투명체(7) 상에는 잉크젯군(2) 밖에 이동물이 없으므로, 주변의 먼지 등이 투명체(7)에 낙하할 일이 없으므로 컨테미네이션에 의한 오동작이 일어나기 어렵다.

스텝8에서 패턴 일치가 된 때에만, 스텝10으로서 잉크젯군(2)을 성막 형성 에리어(5)으로 이동시켜, 기판(4)에 순차 배향 막 재료를 적하해서 액적에 의한 배향 막의 형성이 확실히 행해질 수 있고, 기판 등의 고가 재료를 낭비하는 것이 없음과 아울러, 보수 작업도 할 필요가 없는 것이다.

또한, 이 제 3 실시형태에서는 잉크젯군(2)이 검사 에리어(3)의 위치로부터 성막 형성 에리어(5)의 위치로 이동하는 구성으로 했지만, 이 대신에, 도 27 및 도 28에 도시된 바와 같이, 잉크젯군(2)의 위치를 고정함과 아울러, 검사 에리어(3)와 성막 형성 에리어(5)를 연속해서 나란히 배치하고, 잉크젯군(2)에 대하여 검사 에리어(3)가 먼저 이동하고, 그 후 성막 형성 에리어(5)가 이동하도록 구성해도 좋다. 이러한 구성으로 한 경우에는, 도 28의 이점쇄선과 같이 검사 에리어(3)와, 성막 형성 에리어(5)가 이동한다. 이 경우, 검사 에리어(3)에서의 검사는 상기와 마찬가지이다.

또한, 이 제 3 실시형태에서는, 검사 에리어(3)에서의 검사가 종료된 후에, 성막 형성 에리어로 액적이 행해져 있지만, 이 검사 에리어(3)의 동작을 항상 행할 수 없고, 운전 개시시나 성막 형성을 몇회 행한 후에, 검사 에리어(3)의 동작을 행해도 마찬가지이다.

더욱이, 투명체를 필름상에서 설명했지만, 판체이어도 좋다. 노즐의 이상 상 태를 표시할 경우는, 성막 공정이나 성막 형성 에리어이 없어도 좋은 것은 명확하다.

Claims (22)

1. 프린트 헤드의 복수의 노즐로부터 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물상에 잉크를 토출해서 상기 피도포물상에 막을 형성하는 막 형성 공정;

   상기 막 형성 공정에서 피도포물상에 형성된 막의 막 두께를 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정하는 막 두께 측정 공정; 및

   상기 막 두께 측정 공정에서 측정된 각 노즐의 잉크 토출 위치에서의 막 두께와 목표 막 두께의 차이에 의거해서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 증감 보정하는 토출량 보정 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 토출량 보정 공정에서 각 노즐의 잉크의 토출량을 증감 보정하기 위한 보정 데이터를 작성하고, 상기 보정 데이터를 기억시켜 두는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 토출량 보정 공정에서는 각 노즐로부터 토출된 잉크의 피도포물상에서의 액적수의 분포를 변화시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법.
4. 프린트 헤드의 복수의 노즐로부터 잉크가 토출됨으로써 표면에 막이 형성되는 잉크 비흡수성을 지닌 피도포물;

   상기 피도포물상에 형성된 막의 막 두께를 각 노즐의 잉크 토출 위치와 관련하여 측정하는 막 두께 측정 수단; 및

   상기 막 두께 측정 수단에 의해 측정된 각 노즐의 잉크 토출 위치에서의 막 두께와 목표 막 두께의 차이에 의거해서 각 노즐로부터의 잉크의 토출량을 증감 보정하는 토출량 보정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터의 토출량 제어 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 토출량 보정 수단은 각 잉크의 토출량을 증감 보정하기 위한 보정 데이터를 기억하는 기억 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터의 토출량 제어 장치.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 복수의 노즐을 갖는 복수 개의 프린트 헤드를 노즐 배열 방향에 따라 인접 배치한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터의 토출량 제어 방법.
7. 잉크 비흡수성을 지닌 투명 또는 반투명의 피도포물상에 잉크 액적 토출 장 치에 의해 투명 또는 반투명의 잉크를 잉크 액적으로서 토출하고, 상기 잉크 액적이 상기 피도포물상에 착탄된 때의 상기 잉크 액적의 확산성을 검사하는 검사 방법으로서:

   상기 피도포물상에 상기 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출하고, 그들이 착탄되어 이루어지는 잉크 액적군의 주변부의 화상에 의거해서 상기 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성을 검사하는 것을 특징으로 하는 잉크 액적 확산 검사 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 피도포물상에 상기 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출할 때에는, 각 잉크 액적의 일부만이 겹치도록 토출하는 것을 특징으로 하는 잉크 액적 확산 검사 방법.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 피도포물에 있어서의 잉크 액적의 착탄측 또는 그 뒷쪽에 상기 잉크 액적군의 주변부의 화상을 촬영하는 촬상 수단을 배치하고, 그 촬영된 화상에 의거해서 상기 피도포물상에서의 잉크 액적의 확산성을 검사하는 것을 특징으로 하는 잉크 액적 확산 검사 방법.
10. 제 7 항에 있어서,

    상기 피도포물은 액정 표시 기기용 또는 유기 EL 표시기용의 유리 기판임과 아울러, 상기 잉크는 액정 표시 기기용의 배향 막 재료 또는 유기 EL 표시 기기용의 코팅 재료인 것을 특징으로 하는 잉크 액적 확산 검사 방법.
11. 제 7 항에 있어서,

    상기 잉크 액적 토출 장치는 잉크젯 프린터인 것을 특징으로 하는 잉크 액적 확산 검사 방법.
12. 잉크 비흡수성을 지닌 투명 또는 반투명의 피도포물상에 잉크 액적 토출 장치에 의해 투명 또는 반투명 잉크를 잉크 액적으로서 토출하고, 상기 잉크 액적이 상기 피도포물상에 착탄된 때의 상기 잉크 액적의 확산성을 검사하도록 구성한 검사 장치로서:

    상기 피도포물상에 상기 잉크 액적을 복수 회에 걸쳐서 겹치도록 토출하고, 그들이 착탄되어 이루어지는 잉크 액적군의 주변부의 화상에 의거해서 상기 피도포물상에서 잉크 액적의 확산성을 검사하도록 구성한 것을 특징으로 하는 잉크 액적 확산 검사 장치.
13. 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜, 이 착탄된 액적 패턴으로부터 상기 잉크젯 노즐의 이상을 검사하는 검사 공정; 및

    상기 검사 공정에서 액적 패턴이 소정 범위내에 있을 때, 상기 잉크젯과 기 판을 대향시켜, 이 기판상에 상기 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜 이루어지는 배향 막의 성막 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 배향 막 형성 방법.
14. 제 13 항에 있어서,

    상기 검사 공정은 투명체에 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜, 이 착탄된 액적 패턴을 투명체의 하면으로부터 화상 인식 카메라로 판독된 데이터와, 미리 기억되어 있는 데이터를 비교해서, 액적 패턴이 소정 범위내에 있는 것인지 아닌지를 검사하는 것을 특징으로 하는 배향 막 형성 방법.
15. 제 13 항에 있어서,

    상기 검사 공정은 액적 패턴과, 미리 기억되어 있던 액적의 패턴을 비교해서, 액적 패턴이 소정 위치에 없을 경우, 노즐 막힘으로 판단해서 표시하는 것을 특징으로 하는 배향 막 형성 방법.
16. 제 13 항에 있어서,

    상기 검사 공정은 액적 패턴과, 미리 기억되어 있던 액적의 패턴을 비교해서, 액적 패턴의 위치가 소정 위치로부터 벗어나 있을 때 액적이 비행 굴곡되어 있는 것으로 판단해서 표시하는 것을 특징으로 하는 배향 막 형성 방법.
17. 제 13 항에 있어서,

    상기 검사 공정은 액적 패턴과, 미리 기억되어 있던 액적의 패턴을 비교해서, 액적 패턴이 소정의 크기보다 크거나 또는 작을 경우, 잉크젯 노즐로부터의 토출량이 설정 토출량보다 많거나 또는 적은 것으로 판단해서 표시하는 것을 특징으로 하는 배향 막 형성 방법.
18. 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜, 이 착탄된 액적 패턴으로부터 상기 잉크젯 노즐의 이상을 검사하는 검사 에리어;

    상기 잉크젯 노즐을 이용해서 배향 막 재료를 액적에 의해 착탄시켜 이루어지는 배향 막의 성막을 형성하는 성막 형성 에리어;

    상기 검사에서 액적 패턴이 소정 범위내에 있을 때, 상기 잉크젯 노즐을 검사 에리어 위치로부터 성막 형성 에리어 위치로, 또는 상기 검사 에리어 위치와 성막 형성 에리어 위치를 상기 잉크젯 노즐에 대향하는 위치로 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치.
19. 제 18 항에 있어서,

    상기 검사 에리어는 잉크젯 노즐의 하방에 배치된 투명체, 드리블링되어 착탄된 액적 패턴을 투명체의 하면으로부터 판독한 화상 인식 카메라, 상기 카메라로부터 판독된 액적 패턴과 미리 기억된 정상 패턴을 비교하는 비교 수단, 및 상기 비교 수단의 결과 정상인지 이상인지를 판단하는 판단 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치.
20. 제 19 항에 있어서,

    상기 판단 수단에서 액적 패턴이 소정 위치에 없다고 판단된 경우, 잉크젯 노즐의 막힘으로 판단해서 표시하는 표시기를 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치.
21. 제 19 항에 있어서,

    상기 판단 수단에서 액적 패턴이 소정 위치 벗어나 있을 때 액적이 비행 굴곡되어 있는 노즐로 판단해서 표시하는 표시기를 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치.
22. 제 19 항에 있어서,

    상기 판단 수단에서 액적 패턴이 소정의 크기보다 크거나 또는 작을 경우, 잉크젯 노즐로부터의 토출량이 설정 토출량보다 많거나 또는 적은 것으로 판단해서 표시하는 표시 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯식 프린트 헤드 분출 검사 장치.

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