KR20220021513A - 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

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강한림
장석원
이현민
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세메스 주식회사
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Abstract

검사 장치는 약액 토출 장치에 일정 간격으로 배치되게 구비되는 약액 토출용 노즐들의 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수득하도록 구비되는 수득부, 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 상기 수득부로부터 수신받아 확인하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리하도록 구비되는 처리부를 포함할 수 있다.

Description

검사 장치 및 검사 방법{INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD}
본 발명은 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 기판에 약액을 토출하기 위한 약액 토출 장치에서의 노즐들의 상태를 검사하기 위한 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 다수개의 노즐들이 일정 간격으로 배치되게 구비되는 잉크젯 헤드 등으로 이루어지는 약액 토출 장치를 이용하여 기판에 형성되는 픽셀들 각각에 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.
잉크젯 헤드에서의 노즐들 각각으로부터 토출되는 약액은 토출되는 지점에 대한 탄착 재현성, 토출량 등에 이상이 있을 경우 토출 불량으로 판정되기 때문에 균일하게 유지해야 한다.
잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 탄착 재현성, 토출량 등을 균일하게 유지하기 위해서는 노즐들 각각에 잔류하는 물질, 즉 약액에 대한 현재 프로파일, 노즐들 각각에서의 메니스커스(meniscus) 등이 정밀하게 제어되어야 한다.
이에, 종래에도 카메라 등을 사용하여 잉크젯 헤드에서의 노즐 각각에 대한 현재 프로파일, 메니스커스 등을 확인하고 있다.
그러나 최근의 보다 고도화되고 있는 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들 각각에 대한 현재 프로파일, 메니스커스 등을 카메라를 사용하여 확인할 경우에는 카메라가 갖는 해상도 등의 한계로 인하여 정확하게 확인하지 못하는 문제점이 있다.
본 발명의 일 과제는 고도화되고 있는 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들 각각에 대한 현재 프로파일, 메니스커스 등을 보다 정확하게 확인함과 아울러 확인을 통하여 신속하게 처리할 수 있는 검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 고도화되고 있는 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들 각각에 대한 현재 프로파일, 메니스커스 등을 보다 정확하게 확인함과 아울러 확인을 통하여 신속하게 처리할 수 있는 검사 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치는 약액 토출 장치에 일정 간격으로 배치되게 구비되는 약액 토출용 노즐들의 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수득하도록 구비되는 수득부, 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 상기 수득부로부터 수신받아 확인하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리하도록 구비되는 처리부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수득부는 스캔 구동을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역 사이의 노즐면 전체에 대한 현재 상태를 수득하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수득부는 레이저 공초점 센서(laser confocal sensor)를 포함하되, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가를 수득할 수 있도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 처리부는 상기 수득부로부터 수득하는 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일에 의해서는 상기 노즐들 각각이 막히지 않았는가를 확인하여 막힘이 있는 노즐이 발생할 경우 막힘이 있는 해당 노즐은 미사용 노즐로 처리하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 처리부는 상기 수득부로부터 수득하는 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가에 의해서는 상기 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있는 가를 확인하여 메니스커스에 이상이 있는 노즐이 발생할 경우 상기 노즐들 각각으로 상기 약액을 공급하기 위한 음압 및/또는 상기 약액의 공급 유량의 조정을 통하여 처리하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 검사 방법은 약액 토출 장치에 일정 간격으로 배치되게 구비되는 약액 토출용 노즐들의 상태를 검사하기 위한 검사 방법으로써, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수득하는 단계, 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수신받아 확인하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리하는 단계를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐들 각각의 입구 영역 사이의 노즐면 전체에 대한 현재 상태를 수득하는 단계를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태는 레이저 공초점 센서(laser confocal sensor)를 사용하여 수득하되, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가를 수득할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일에 의해서는 상기 노즐들 각각이 막히지 않았는가를 확인하여 막힘이 있는 노즐이 발생할 경우 막힘이 있는 해당 노즐은 미사용 노즐로 처리할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가에 의해서는 상기 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있는 가를 확인하여 메니스커스에 이상이 있는 노즐이 발생할 경우 상기 노즐들 각각으로 상기 약액을 공급하기 위한 음압 및/또는 상기 약액의 공급 유량의 조정을 통하여 처리할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치 및 검사 방법은 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 확인할 수 있기 때문에 고도화되고 있는 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들 각각에 대한 현재 프로파일, 메니스커스 등에 대해서도 보다 정확하게 확인할 수 있고, 이를 통하여 보다 정확한 처리를 수행할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치 및 검사 방법은 잉크젯 헤드에서의 노즐들 각각에 대한 보다 정확한 확인 및 처리를 수행할 수 있기 때문에 약액 토출 장치를 사용하는 공정의 수행에 따른 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 방법에 대하여 설명하기 위한 도면이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 디스플레이 소자의 제조시 기판에 약액(12)을 토출하기 위한 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드(11)에 구비되는 노즐들 각각에 대한 상태를 검사하기 위한 것이고, 더욱이 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 대한 상태와 함께 노즐들 각각의 입구(13) 영역 사이의 노줄면(15) 각각을 포함하는 노줄면(15) 전체에 대한 현재 상태를 검사하기 위한 것이다.
언급한 약액 토출 장치는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 기판에 약액(12)을 토출하기 위한 것으로써, 특히 기판에 형성되는 다수개의 픽셀들 각각에 약액(12)을 토출하기 위한 것이다.
도시하지는 않았지만, 약액 토출 장치는 노즐들이 구비되는 잉크젯 헤드(11) 이외에도 스테이지, 갠트리, 이송부 등이 구비될 수 있다.
스테이지는 약액의 토출시 기판을 수용 및 지지하는 것으로써, 기판을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지일 수 있고, 특히 기판이 부상되는 높이를 보다 정밀하게 제어해야 할 필요가 있기에 기판 이면을 향하여 에어 분사 및 진공 흡인을 함께 공급할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
갠트리는 기판이 이송되는 방향과 수직하는 방향을 따라 스테이지를 가로지르도록 구비될 수 있고, 특히 갠트리가 구비되는 방향을 따라 잉크젯 헤드(11)가 지지될 수 있도록 구비될 수 있다.
이에, 약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출 공정의 수행에서는 스테이지를 따라 이송되는 기판 상부에서 기판을 향하여 약액을 토출할 수 있을 것이다.
이송부는 갠트리가 구비되는 방향과 수직하는 방향에서의 스테이지를 따라 기판을 이송시킬 수 있도록 구비되는 것으로써, 기판의 일측 또는 양측 단부를 파지할 수 있는 파지부, 스테이지의 일측 또는 양측 단부에 스테이지를 따라 나란하게 배치되게 구비되는 가이드 레일, 파지부가 움직일 수 있게 파지부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부로 이루어질 수 있고, 더욱이 파지부는 구동부로부터 구동력을 제공받아 가이드 레일을 따라 움직일 수 있게 가이드 레일에 배치되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 기판의 일측면 단부 또는 양측면 단부를 진공 흡인에 의해 파지하는 구조를 갖도록 구비되거나, 기판의 일측면 단부 또는 양측면 단부를 직접 파지하는 구조를 갖도록 구비될 수도 있다.
잉크젯 헤드(11)에서의 노즐들에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 압전 소자의 동작에 의해 노즐들을 통하여 기판으로 약액(12)을 토출시킬 수 있다. 즉, 노즐들 각각에 구비되는 압전 소자 각각의 동작에 의해 노즐들 각각을 통하여 기판으로 약액(12)을 토출시킬 수 있고, 특히 노즐들로부터 토출되는 약액(12)은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
그리고 약액 토출 장치는 잉크젯 헤드(11)와 연결됨과 아울러 기판에 토출하기 위한 약액(12)을 수용하는 레저버를 구비할 수 있다.
이에, 약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출 공정에서는 레저버에 양압을 가함으로써 레저버로부터 잉크젯 헤드(11)로 약액(12)이 공급됨과 아울러 노즐들 각각으로부터 기판으로 약액(12)이 토출될 수 있을 것이고, 레저버에 음압을 가함으로써 잉크젯 헤드(11)로의 약액(12) 공급이 중단됨과 아울러 노즐들 각각으로부터의 약액(12)은 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류할 수 있을 것이다.
그리고 약액 토출 공정에서는 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐들 각각으로부터 토출되는 약액(12)이 토출되는 지점에 대한 탄착 재현성, 토출량 등에 이상이 있을 경우 토출 불량으로 판정되기 때문에 언급한 탄착 재현성, 토출량 등이 균일하게 유지해야 할 것이고, 따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)를 사용하여 노즐들 각각에 대한 상태를 계속해서 검사해야 할 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 수득부(19), 처리부(21) 등으로 이루어질 수 있다.
수득부(19)는 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질, 즉 언급한 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 약액(12)의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질인 약액(12)에 대한 현재 상태를 수득하도록 구비될 수 있다.
수득부(19)는 스캔 구동을 통하여 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 대한 상태와 함께 노즐들 각각의 입구(13) 영역 사이의 노줄면(15) 각각을 포함하는 노줄면(15) 전체에 대한 현재 상태를 검사할 수 있도록 구비될 수 있다.
이에, 수득부(19)는 스캔 구동함과 아울러 약액(12) 및 노줄면(15) 등과 같은 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도를 측정할 수 있는 레이저 공초점 센서(laser confocal sensor)로 이루어질 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 레이저 공초점 센서를 사하여 노즐들 각각의 입구(13) 영역 및 노줄면(15) 전체에 대한 현재 상태를 검사할 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 레이저 공초점 센서를 사용함에 의해 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질인 약액(12)에 대한 현재 프로파일 및 노즐들 각각의 입구(13) 영역의 어떤 높이까지에 언급한 물질인 약액(12)이 잔류하는 가를 수득할 수 있을 것이다.
처리부(21)는 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질, 즉 약액(12)에 대한 현재 상태를 수득부(19)로부터 수신받아 확인하여 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질인 약액(12)에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리하도록 구비될 수 있다.
특히, 처리부(21)는 약액(12)에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 잉크젯 헤드(11)에 대한 기능, 레저버에 대한 기능 등과 같은 약액 토출 장치 자체에 대한 기능을 제어하도록 구비될 수 있다.
처리부(21)는 레이저 공초점 센서로 이루어지는 수득부(19)로부터 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일을 수신받고, 이를 통하여 노즐들 각각이 막히지 않았는 가를 확인하고, 그리고 확인 결과 막힘이 있는 노즐이 발생할 경우 막힘이 있는 해당 노즐은 미사용 노즐로 처리하도록 구비될 수 있다.
즉, 처리부(21)는 수득부(19)로부터의 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 약액(12)에 대한 현재 프로파일을 통하여 막힘이 있는 노즐을 확인할 수 있고, 그 결과 해당 노즐에 대해서는 미사용하도록 구비될 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 노즐에 막힘이 있을 경우 미사용 노즐로 처리하고, 다른 노즐을 사용하여 약액(12)을 토출하도록 약액 토출 장치를 제어함으로써 미사용 노즐로부터 약액(12)이 토출되지 못하는 상황을 사전에 방지할 수 있을 것이다.
또한, 처리부(21)는 레이저 공초점 센서로 이루어지는 수득부(19)로부터 노즐들 각각의 입구(13) 영역의 어떤 높이까지에 약액(12)이 잔류하는 가를 수신받고, 이를 통하여 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있는 가를 확인하고, 그리고 메니스커스에 이상이 있는 노즐이 발생할 경우 노즐들 각각으로 약액(12)을 공급, 특히 중단하기 위한 레저버에서의 음압 및/또는 약액(12)의 공급 유량의 조정을 통하여 처리하도록 구비될 수 있다.
여기서, 약액(12)의 공급 유량의 조정은 레저버에 제공되는 양압, 잉크젯 헤드(11)로 약액(12)을 공급하도록 구비되는 공급 펌프 등을 제어함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있을 경우 레저버에서의 음압, 약액(12)의 공급 유량의 조정 등을 통하여 해당 노즐에서의 메니스커스를 설정된 범위를 갖도록 처리할 수 있을 것이고, 그 결과 기판으로 토출되는 약액(12)의 토출량, 탄착 재현성 등을 일정하게 유지할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치(17)는 스캔 구동을 통하여 노줄면(15) 전체에 이상이 있는 가를 확인할 수 있고, 이를 통하여 처리를 수행할 수 있기 때문에 약액 토출 장치의 유지 보수를 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 방법에 대하여 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 방법에서는 먼저 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수득할 수 있다.(S23 단계)
특히, 노즐들 각각의 입구(13) 영역과 함께 노즐들 각각의 입구(13) 영역 사이의 노줄면(15) 전체에 대한 현재 상태를 수득할 수 있다.
그리고 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태는 레이저 공초점 센서를 사용하여 수득할 수 있는데, 이 경우 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일 및 노즐들 각각의 입구(13) 영역의 어떤 높이까지에 물질이 잔류하는 가를 수득할 수 있다.
계속해서, 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수신받아 확인하여 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리할 수 있다.(S25 단계)
특히, 노즐들 각각의 입구(13) 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일에 의해서는 노즐들 각각이 막히지 않았는가를 확인하여 막힘이 있는 노즐이 발생할 경우 막힘이 있는 해당 노즐은 미사용 노즐로 처리할 수 있고, 노즐들 각각의 입구(13) 영역의 어떤 높이까지에 물질이 잔류하는 가에 의해서는 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있는 가를 확인하여 메니스커스에 이상이 있는 노즐이 발생할 경우 노즐들 각각으로 약액(12)을 공급하기 위한 음압, 약액(12)의 공급 유량의 조정 등을 통하여 처리할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 방법은 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐들 각각에 대한 보다 정확한 확인 및 처리를 수행할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 검사 장치 및 검사 방법은 디스플레이 소자의 제조시 기판에 약액을 토출하기 위한 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드의 결함 여부를 확인 및 처리할 수 있기 때문에 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 적극적으로 이용할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 잉크젯 헤드 12 : 약액
13 : 입구 15 : 토출면
17 : 검사 장치 19 : 수득부
21 : 처리부

Claims (10)

  1. 약액 토출 장치에 일정 간격으로 배치되게 구비되는 약액 토출용 노즐들의 상태를 검사하기 위한 검사 장치에 있어서,
    상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수득하도록 구비되는 수득부; 및
    상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 상기 수득부로부터 수신받아 확인하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리하도록 구비되는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 수득부는 스캔 구동을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역 사이의 노즐면 전체에 대한 현재 상태를 수득하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 수득부는 레이저 공초점 센서(laser confocal sensor)를 포함하되, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가를 수득할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 수득부로부터 수득하는 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일에 의해서는 상기 노즐들 각각이 막히지 않았는가를 확인하여 막힘이 있는 노즐이 발생할 경우 막힘이 있는 해당 노즐은 미사용 노즐로 처리하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 수득부로부터 수득하는 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가에 의해서는 상기 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있는 가를 확인하여 메니스커스에 이상이 있는 노즐이 발생할 경우 상기 노즐들 각각으로 상기 약액을 공급하기 위한 음압 및/또는 상기 약액의 공급 유량의 조정을 통하여 처리하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  6. 약액 토출 장치에 일정 간격으로 배치되게 구비되는 약액 토출용 노즐들의 상태를 검사하기 위한 검사 방법에 있어서,
    상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질의 고유 굴절율에 따라 달라지는 반사 속도의 측정을 통하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수득하는 단계; 및
    상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태를 수신받아 확인하여 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태에 이상이 있을 경우 이를 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 노즐들 각각의 입구 영역 사이의 노즐면 전체에 대한 현재 상태를 수득하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 상태는 레이저 공초점 센서(laser confocal sensor)를 사용하여 수득하되, 상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일 및 상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가를 수득하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 노즐들 각각의 입구 영역에 잔류하는 물질에 대한 현재 프로파일에 의해서는 상기 노즐들 각각이 막히지 않았는가를 확인하여 막힘이 있는 노즐이 발생할 경우 막힘이 있는 해당 노즐은 미사용 노즐로 처리하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 노즐들 각각의 입구 영역의 어떤 높이까지에 상기 물질이 잔류하는 가에 의해서는 상기 노즐들 각각에서의 메니스커스에 이상이 있는 가를 확인하여 메니스커스에 이상이 있는 노즐이 발생할 경우 상기 노즐들 각각으로 상기 약액을 공급하기 위한 음압 및/또는 상기 약액의 공급 유량의 조정을 통하여 처리하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
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