KR102510963B1 - 약액 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액을 향하여 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사하고, 상기 적어도 두 개의 레이저 광선이 상기 약액을 지나감으로써 발생되는 레이저 스케터링으로부터 수득하는 간섭 패턴을 디텍팅하여 상기 약액의 상태를 확인할 수 있다.

Description

약액 검사 방법{Method for Inspecting Droplet}
본 발명은 약액 검사 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태를 검사하기 위한 약액 검사 방법에 관한 것이다.
잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태가 이상이 있을 경우 불량이 야기될 수 있다. 이에, 잉크젯 헤드를 사용하는 인쇄 공정에서는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태, 즉 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 약액의 토출 여부 등을 검사하고 있다.
그러나 종래에는 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 약액의 토출 여부를 한 번에 검사할 수 있는 방법을 제공하지 못하고 있다. 또한, 종래에는 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 개수에 따른 약액의 토출 이상 등을 정확하게 검사할 수 있는 방법을 제공하지 못하고 있다.
이에, 보다 정확한 검사를 위해서는 드롭 왓쳐(Drop Watcher)라는 검사 장치를 추가로 마련해야 하지만, 드롭 왓쳐의 경우 공간적인 제약이 따른 뿐만 아니라 검사 시간이 길어지는 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 및 약액의 토출 여부를 포함하는 약액의 상태를 한 번에 보다 간단하게 확인할 수 있는 약액 검사 방법을 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태를 검사하기 위한 것으로써, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액을 향하여 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사하고, 상기 적어도 두 개의 레이저 광선이 상기 약액을 지나감으로써 발생되는 레이저 스케터링으로부터 수득하는 간섭 패턴을 디텍팅하여 상기 약액의 상태를 확인할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액의 상태는 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 속도, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 각도, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 용량(volume), 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 개수, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 여부를 포함하고, 상기 토출 속도, 상기 토출 각도, 상기 토출 용량, 상기 토출 개수, 상기 토출 여부를 포함하는 상기 약액의 상태를 한 번에 확인할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 속도는 상기 약액이 상기 간섭 패턴에서의 제1 지점을 지나가는 제1 시간과 상기 제1 지점 아래의 수직 방향인 제2 지점을 지나가는 제2 시간, 및 상기 제1 지점과 상기 제2 지점 사이의 거리로부터 확인할 수 있는 것을 것이다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 각도는 상기 약액이 상기 간섭 패턴에서의 제3 지점과 제4 지점을 지나가고, 상기 제3 지점과는 수직하면서 상기 제4 지점과는 수평하는 지점을 상기 간섭 패턴에서의 제5 지점이라 정의할 때, 상기 제3 지점과 상기 제5 지점 사이의 거리 및 상기 제4 지점과 상기 제5 지점 사이의 거리에 따른 tan값으로부터 확인할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 용량은 상기 레이저 스케터링에 따른 상기 간섭 패턴에서의 상기 약액의 위상차로부터 확인할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 개수 및 상기 약액의 토출 여부는 상기 적어도 두 개의 레이저 광선을 지나가는 상기 약액을 카운팅함에 의해 확인할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선에 의해 발생되는 레이저 스케터링으로부터 수득하는 간섭 패턴을 디텍팅하여 약액의 상태를 확인하기 때문에 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 및 약액의 토출 여부를 포함하는 약액의 상태를 한 번에 보다 간단하게 확인할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 공간적인 제약을 극복할 수 있기 때문에 약액 토출이 이루어지는 인쇄 공정에서의 공간 효율성을 극대화활 수 있은 이점을 기대할 수 있을 것이다.
또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 및 약액의 토출 여부를 포함하는 약액의 상태를 한 번에 정확하게 확인할 수 있기 때문에 약액 검사에 따른 소요 시간의 단축을 통한 생산성의 향상을 기대할 수 있으며, 나아가 보다 정확한 약액 상태의 확인을 통하여 공정 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 잇을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서 약액의 토출 속도를 확인하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서 약액의 토출 각도를 확인하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며,
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 인쇄 공정에 있어 배향막, 컬러 필터 등과 같은 패턴의 형성에 사용되는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태가 이상이 있는 가를 확인하기 위한 것이다.
배향막, 컬러 필터 등과 같은 패턴의 형성에 사용되는 잉크젯 헤드는 약액을 토출하기 위한 복수개의 노즐, 예를 들면 128개 또는 256개의 노즐이 배치되는 구조를 가질 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에 의해서 잉크젯 헤드에 배치되는 복수개의 노즐 각각으로부터 토출되는 약액의 상태를 확인할 수 있을 것이고, 약액의 상태에 대한 확인을 통하여 복수개의 노즐 각각에 대한 이상 여부까지도 확인할 수 있을 것이다.
먼저 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 약액에 대한 상태를 검사하도록 잉크젯 헤드로부터 약액을 토출시킬 수 있다.(S11 단계) 즉, 잉크젯 헤드의 복수개의 노즐로부터 약액을 토출시킬 수 있는 것이다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 향하여 레이저 광선을 조사할 수 있다. 특히, 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 향하여 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사할 수 있다.(S13 단계) 즉, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 잉크젯 헤드의 복수개의 노즐 각각으로부터 토출되는 약액을 향하여 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사할 수 있는 것이다.
레이저 광선의 조사는 레이저 광선을 조사할 수 있는 레이저 조사 부재를 사용함에 의해 달성할 수 있는 것으로써, 검사 방법 등에서는 발광부로 칭할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이 약액을 향하여 조사됨에 의해 약액을 지나가는 레이저 광선을 디텍팅하여 약액에 대한 상태를 확인하는 것으로써, 검사 방법 등에서는 수광부로 칭할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사할 수 있는 발광부 및 이를 디텍팅할 수 있는 수광부를 포함하는 검사 장치를 사용할 수 있는 것으로써, 예들 들어 4개의 레이저 광선의 조사가 가능한 광학계(transmitting optics)로 이루어지는 발광부 및 3개의 광검출기(photo detector)로 이루어지는 수광부를 포함하는 검사 장치를 사용할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선이 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 지나감으로써 레이저 스캐터링(scattering)이 발생할 수 있고, 그 결과 간섭 패턴이 형성될 수 있다.
즉, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사함에 의해 일정 크기를 갖는 측정 영역이 형성될 수 있고, 언급한 측정 영역을 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액이 지나감으로써 적어도 두 개의 레이저 광선으로부터 레이저 스캐터링이 발생하여 광학적인 간섭 패턴을 형성할 수 있는 것이다.
언급하는 간섭 패턴은 레이저 스캐터링에 의해 발생하는 주파수 크기와 위상차로부터 수득할 수 있는 것으로써, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서의 간섭 패턴은 후술하는 바와 같이 매트릭스 구성을 갖는 가상 패턴으로 나타낼 수도 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선이 약액을 지나감으로써 발생되는 레이저 스케터링으로부터 수득하는 간섭 패턴을 디텍팅함에 의해 약액의 상태를 확인할 수 있다.(S15 단계)
즉, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 상태를 확인하고자 하는 잉크젯 헤드의 노즐(이하, '해당 노즐'이라 한다)로부터 설정된 개수의 약액을 토출하여 적어도 두 개의 레이저 광선을 지나가도록 하고, 이로부터 수득하는 가상 패턴인 간섭 패턴을 확인함에 의해 해당 노즐 자체에 대한 이상 여부 및 해당 노즐로부터 토출되는 약액의 상태를 확인할 수 있고, 이를 통하여 이상에 따른 조치 및 보상을 수행할 수 있을 것이다.
특히, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법을 통하여 확인할 수 있는 약액의 상태는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 토출 속도, 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 토출 각도, 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 토출 용량(volume), 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 토출 개수, 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 여부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 언급하는 토출 속도, 토출 각도, 토출 용량, 토출 개수, 토출 여부를 포함하는 약액의 상태를 한 번에 확인할 수 있다. 즉, 해당 노즐로부터 토출되는 약액을 적어도 두 개의 레이저 광선을 지나가도록 하여 수득하는 간섭 패턴을 한 번만 확인하여도 해당 노즐에 대한 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 약액의 토출 여부를 포함하는 약액의 상태를 한 번에 모두 확인할 수 있을 것이다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 언급하는 검사 장치를 고정시킨 상태에서 잉크젯 헤드를 이동시키면서 수행하거나, 잉크젯 헤드를 고정시킨 상태에서 검사 장치를 이동시키면서 수행하거나 또는 검사 장치와 잉크젯 헤드를 동시에 이동시키면서 수행할 수 있을 것이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서 약액의 토출 속도를 확인하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서 약액의 토출 속도를 확인하기 위해서 해당 노즐로부터 약액(23)을 토출할 수 있다. 그리고 적어도 두 개의 레이저 광선을 해당 노즐로부터 토출되는 약액(23)을 향하여 조사할 수 있다.
그리고 적어도 두 개의 레이저 광선이 해당 노즐로부터 토출되는 약액(23)을 지나감으로써 레이저 스캐터링이 발생할 수 있고, 그 결과 해당 노즐로부터 토출되는 약액(23)의 파동 주파수의 변화를 나타낼 수 있는 간섭 패턴(21)을 수득할 수 있다.
이에, 해당 노즐로부터 토출되는 약액(23)의 토출 속도는 약액이 제1 지점(s1)을 지나가는 제1 시간(t1) 및 제1 지점(s1) 아래의 수직 방향인 제2 지점(s2)을 지나가는 제2 시간(s2)을 확인하고, 그리고 제1 지점(s1) 및 제2 지점(s2) 사이의 거리를 확인함에 의해 측정할 수 있을 것이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서 약액의 토출 각도를 확인하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서 약액의 토출 각도 또한 언급한 토출 속도에서와 간섭 패턴을 수득할 수 있다.
이에, 해당 노즐로부터의 약액의 토출 각도는 약액(33)이 제3 지점(s3)과 제4 지점(s4)을 지나갈 때, 제3 지점(s3)과는 수직하면서 제4 지점(s4)과는 수평하는 지점을 제5 지점(s5)이라 정의할 수 있을 것이고, 따라서 제3 지점(s3)과 제5 지점(s5) 사이의 거리 및 제4 지점(s4)과 제5 지점(s5) 사이의 거리에 따른 tan값을 확인함에 의해 측정할 수 있을 것이다.
또한, 해당 노즐로부터 토출되는 약액의 토출 용량은 레이저 스케터링에 따라 나타낼 수 있는 간섭 패턴에서의 약액의 위상차로부터 확인할 수 있을 것이다.
아울러, 해당 노즐로부터 토출되는 약액의 토출 개수 및 약액의 토출 여부는 상기 적어도 두 개의 레이저 광선을 지나가는 약액을 카운팅함에 의해 확인할 수 있을 것이다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선에 의해 발생되는 레이저 스케터링으로부터 수득하는 간섭 패턴을 디텍팅하여 약액의 상태를 확인하기 때문에 약액의 토출 속도, 약액의 토출 각도, 약액의 토출 용량, 약액의 토출 개수, 및 약액의 토출 여부를 포함하는 약액의 상태를 한 번에 보다 간단하게 확인할 수 있을 것이다.
또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사할 수 있는 발광부 및 이를 수광할 수 있는 수광부로 이루어지는 검사 장치를 사용하기 때문에 검사 장치로 인한 공간적인 제약을 극복할 수 있을 것이다.
아울러, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에서는 레이저 광선의 발광 및 수광을 수행하기 때문에 약액의 상태를 보다 빠른 시간 내에 확인할 수 있을 것이다.
그리고 예시적인 실시예들에 따르면, 약액의 토출 각도로부터 실제 기판 상에 약액이 토출되는 지점인 타점에 확인할 수 있을 것이다. 이에, 기판 상에 토출되는 약액의 타점이 오차 범위를 벗어날 경우에는 해당 노즐은 사선 토출이 발생하는 것으로 판단할 수 있고, 그 결과 해당 노즐에 대한 유지 보수 등과 같은 조치를 취할 수 있을 것이다.
또한 예시적인 실시예들에 따르면, 약액의 토출 개수의 측정으로부터 해당 노즐이 불량 노즐인가를 판단할 수 있을 것이다.
즉, 해당 노즐을 통하여 실제로는 50개의 약액을 토출하는데 반하여 토출 개수의 측정 결과 20개만이 측정되는 것이 확인되면 해당 노즐은 30개를 토출하지 못한 것이거나 또는 사선 토출한 것으로 확인하고, 해당 노즐에 대한 조치를 취할 수 있을 것이다. 이에 반해, 측정 결과 해당 노즐이 100개를 토출한 것으로 확인되면 해당 노즐은 토출 도중에 두 개로 갈라지는 위상 변화를 보인 것으로 확인하고, 해당 노즐에 대한 조치를 취할 수 있을 것이다. 그리고 측정 결과 0개가 토출한 것으로 확인되면 해당 노즐은 미토출 노즐로 분류하고, 해당 노즐에 대한 조치를 취할 수 있을 것이다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 약액의 토출 개수 및 토출 여부와 같은 약액의 상태를 확인함으로써 해당 노즐에 대한 이상 여부를 확인할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법에 의해 확인할 수 있는 약액의 상태 및 해당 노즐에 대한 이상 여부를 데이터화하고, 이를 인터락으로 설정하여 기존 데이터 대비 산포 및 평균값에 대한 차이가 발생하면 해당 노즐을 이상 노즐로 표시할 수 있을 것이다. 그리고 이상 노즐로 인하야 해당 패턴이 올바르게 형성되지 못할 경우 자동 노즐 보상 알고리즘 등을 통하여 해당 패턴에 대한 보상 토출을 수행하도록 할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 잉크젯 헤드에 구비되는 복수개의 노즐 각각은 개별적으로 데이터화하여 이를 트렌드로 관리함으로써 잉크젯 헤드에 대한 이력 관리가 가능할 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 방법은 잉크젯 헤드에 대한 관리를 가능하게 하는 것으로써 이를 통하여 잉크젯 헤드를 사용하여 패턴을 형성하는 인쇄 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이고, 나아가 인쇄 공정을 통하여 수득할 수 있는 디스플레이 소자의 제조에 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
21 : 간섭 패턴
23, 33 : 약액

Claims (7)

  1. 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태를 검사하기 위한 약액 검사 방법에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액을 향하여 적어도 두 개의 레이저 광선을 조사하는 단계; 및
    상기 적어도 두 개의 레이저 광선이 상기 약액을 지나감으로써 발생되는 레이저 스캐터링(scattering)으로부터 수득하는 간섭 패턴을 디텍팅하여 상기 약액의 상태를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 약액의 상태는 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 속도, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 각도, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 용량(volume), 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 개수, 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 여부를 포함하고,
    상기 토출 속도, 상기 토출 각도, 상기 토출 용량, 상기 토출 개수, 상기 토출 여부를 포함하는 상기 약액의 상태를 한 번에 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 속도는 상기 약액이 상기 간섭 패턴에서의 제1 지점을 지나가는 제1 시간과 상기 제1 지점 아래의 수직 방향인 제2 지점을 지나가는 제2 시간, 및 상기 제1 지점과 상기 제2 지점 사이의 거리로부터 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 각도는 상기 약액이 상기 간섭 패턴에서의 제3 지점과 제4 지점을 지나가고, 상기 제3 지점과는 수직하면서 상기 제4 지점과는 수평하는 지점을 상기 간섭 패턴에서의 제5 지점이라 정의할 때,
    상기 제3 지점과 상기 제5 지점 사이의 거리 및 상기 제4 지점과 상기 제5 지점 사이의 거리에 따른 tan값으로부터 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 용량은 상기 레이저 스케터링에 따른 상기 간섭 패턴에서의 상기 약액의 위상차로부터 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 상기 약액의 토출 개수 및 상기 약액의 토출 여부는 상기 적어도 두 개의 레이저 광선을 지나가는 상기 약액을 카운팅함에 의해 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 간섭 패턴은 상기 레이저 스캐터링에 의해 발생하는 주파수 크기와 위상차로부터 수득할 수 있되, 매트릭스 구성을 갖는 가상 패턴으로 나타나는 것을 특징으로 하는 약액 검사 방법.
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