JP2007175614A - 液滴吐出検査装置及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴吐出ヘッドによる液滴吐出を精度良く容易に検査することができる液滴吐出検査装置及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】入射した光を導いて通過させ、通過する光を着弾した液滴との界面から放射する光導層３１ａを有する検査基板３１に対し、光を照射する投光部３４と、投光部３４により照射され光導層３１ａを通過した光を受光する受光部３６と、受光部３６により受光した光の強度変化に基づいて、検査基板３１に対する液滴の着弾異常の発生を判断する判断部３７とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、液滴の着弾異常を検査する液滴吐出検査装置及びその液滴吐出検査装置を備える液滴吐出装置に関する。

通常、インクジェット方式の液滴吐出装置は、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置、電子放出装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等を製造するために用いられている。

この液滴吐出装置は、ノズルから微少な液滴を吐出する液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を備えており、その液滴吐出ヘッドにより記録媒体に液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を形成する。例えば、液晶表示装置の製造工程では、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて、透明基板上にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のインクをドット状に順次塗布することにより、各色のドットが順次配列されたカラーフィルタを作成する。

このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの液滴の不吐出により、ドット抜けが発生してしまったり、液滴の飛行曲がりにより、液滴の着弾位置が目標の着弾位置（正規の着弾位置）からずれ、ドットずれが発生してしまったりすることがある。これらのドット抜けやドットずれ、すなわち液滴の着弾異常を検査する方法としては、複数のドットの電子画像を撮像するカメラを用いる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−１４２１６号公報

しかしながら、カメラを用いる方法では、液滴が透明性を有している場合等、液滴の濃淡がはっきりせず、液滴を像として捉えることが困難である。このため、液滴の着弾異常の検査精度が低下してしまう。また、その検査精度を上げるためには、複雑な画像処理が必要となるが、その画像処理の構築は困難である。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、液滴の着弾異常を精度良く容易に検査することができる液滴吐出検査装置及び液滴吐出装置を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴吐出検査装置において、入射した光を導いて通過させ、通過する光を着弾した液滴との界面から放射する光導層を有する検査基板に対し、光を照射する投光部と、投光部により照射され光導層を通過した光を受光する受光部と、受光部により受光された光の強度変化に基づいて、検査基板に対する液滴の着弾異常の発生を判断する判断部とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、液滴吐出装置において、前述の第１の特徴に係る液滴吐出検査装置を備えることである。

本発明によれば、液滴の着弾異常を精度良く容易に検査することができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態について図１ないし図６を参照して説明する。

図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る液滴吐出装置１は、ノズルからインクの液滴Ｅを吐出する液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）２を用いて基板３にインクを塗布するためのインク塗布ボックス１Ａと、そのインク塗布ボックス１Ａにインクを供給するためのインク補給ボックス１Ｂと、液滴吐出ヘッド２の液滴Ｅの着弾異常を検査するための液滴吐出検査ボックス１Ｃとから構成されている。これらのインク塗布ボックス１Ａ、インク補給ボックス１Ｂ及び液滴吐出検査ボックス１Ｃは、互いに隣接して配置され、共に架台４の上面に固定されている。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、Ｙ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８が積層されている。これらのＹ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８は平板状に形成されている。

Ｙ軸方向スライド板５は架台４の上面に固定されている。Ｙ軸方向スライド板５の上面には、複数のガイド溝５ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝５ａには、Ｙ軸方向移動テーブル６の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｙ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向に移動可能にＹ軸方向スライド板５の上面に設けられている。このＹ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構により各ガイド溝５ａに沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸方向移動テーブル６の上面には、複数のガイド溝６ａがＸ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝６ａには、Ｘ軸方向移動テーブル７の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、Ｘ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向に移動可能にＹ軸方向移動テーブル６の上面に設けられている。このＸ軸方向移動テーブル７は、Ｘ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構により各ガイド溝６ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸方向移動テーブル７の上面には、基板３を保持する基板保持テーブル８が固定されている。この基板保持テーブル８は、基板３を把持する基板把持機構９を備えており、その基板把持機構９により基板保持テーブル８上に基板３を密着固定する。基板把持機構９としては、例えばコの字型の挟み金具等を用いる。なお、基板３の保持手段としては、基板把持機構９に代えて、例えば、基板３を吸着する基板吸着機構を設けるようにしてもよい。基板吸着機構としては、例えばゴム吸盤や吸引ポンプ等を用いる。

ここで、基板保持テーブル８のＸ軸方向への移動量は、Ｘ軸方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出され、同様に、基板保持テーブル８のＹ軸方向への移動量は、Ｙ軸方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出される。

インク塗布ボックス１Ａの内部には、２本のコラム（支柱）１０が立設されている。また、液滴吐出検査ボックス１Ｃの内部にも、１本のコラム１０が立設されている。インク塗布ボックス１Ａの内部に位置する２本のコラム１０は、Ｙ軸方向スライド板５のガイド溝５ａと直交する方向、すなわちＸ軸方向においてＹ軸方向スライド板５を挟む位置に設けられている。また、液滴吐出検査ボックス１Ｃの内部に位置する１本のコラム１０は、２本のコラム１０と同一直線上に設けられている。

これらのコラム１０には、Ｘ軸方向スライド板１１が横架されている。Ｘ軸方向スライド板１１の前面には、ガイド溝１１ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このガイド溝１１ａには、液滴吐出ヘッド２をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドユニット１２を垂設するベース板１３の背面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合されている。これにより、ベース板１３はＸ軸方向に移動可能にＸ軸方向スライド板１１に設けられている。このベース板１３、すなわちインクジェットヘッドユニット１２は、ヘッドユニット移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構によりガイド溝１１ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

各インクジェットヘッドユニット１２の先端には、液滴吐出ヘッド２がそれぞれ設けられている。液滴吐出ヘッド２は、供給パイプ１４を介してインクタンク１５からインクの供給を受ける。この液滴吐出ヘッド２は、複数のノズルを有しており、これらのノズルからインクを液滴Ｅとして吐出する。なお、複数のノズルは、一定のピッチ間隔で直列に設けられている。インクタンク１５は、インク補給ボックス１Ｂに設けられたインク補給タンク１６に接続されており、常にインク補給タンク１６からインクの供給が受けられる状態になっている。

インクジェットヘッドユニット１２には、基板３面に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴吐出ヘッド２を移動させるＺ軸方向移動機構１２ａと、液滴吐出ヘッド２をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１２ｂと、液滴吐出ヘッド２をθ方向に回転させるθ方向回転機構１２ｃとが設けられている。これにより、液滴吐出ヘッド２は、Ｚ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸方向に移動可能に支持されている。

また、インク塗布ボックス１Ａの内部には、液滴吐出ヘッド２のノズルのインク目詰まり等を清掃するためのヘッドメンテユニット１７が設けられている。このヘッドメンテユニット１７は、インクジェットヘッドユニット１２の移動方向の延長線上であって基板３から離隔した位置に配置されている。なお、インクジェットヘッドユニット１２がヘッドメンテユニット１７に対向する位置まで移動すると、ヘッドメンテユニット１７はノズルの目詰まり等を自動的に洗浄する。

液滴吐出検査ボックス１Ｃの内部には、液滴吐出検査装置１８Ａが設けられている。液滴吐出検査装置１８Ａは、光の入射を遮るための検査ボックス１９を備えている。この検査ボックス１９には、シャッター２０が開閉可能に設けられている。このシャッター２０は、ヘッドメンテユニット１７が対向する位置まで移動すると、開閉機構（図示せず）により開放され、液滴吐出ヘッド２の吐出動作後に閉じられる。

架台４の内部には、液滴吐出装置１の各部を制御する制御部２１が設けられている。この制御部２１は、Ｙ軸方向移動テーブル６の移動制御、Ｘ軸方向移動テーブル７の移動制御、ベース板１３の移動制御、Ｚ軸方向移動機構１２ａの駆動制御、Ｙ軸方向移動機構１２ｂの駆動制御、θ方向回転機構１２ｃの駆動制御及び液滴吐出検査装置１８Ａの駆動制御等を行う。これにより、基板保持テーブル８に保持された基板３と、ベース板１３に垂設されたインクジェットヘッドユニット１２との相対位置を色々と変化させることができる。

次いで、液滴吐出検査装置１８Ａについて詳しく説明する。

図２及び図３に示すように、液滴吐出検査装置１８Ａが備える検査ボックス１９の内部には、入射した光を平面方向に導いて通過させる光導層３１ａを有する検査基板３１を載置するための台座３２と、検査基板３１に対して各投光レンズ３３を介して光を照射する２つの投光部３４と、投光部３４により照射され光導層３１ａを通過した光を各受光レンズ３５を介して受光する２つの受光部３６と、検査基板３１に対する液滴Ｅの着弾異常の発生を判断する判断部３７が設けられている。

台座３２は、シャッター２０に対向する位置に設けられており、その上面に検査基板３１を支持する。検査基板３１上の光導層３１ａ、投光レンズ３３、投光部３４、受光レンズ３５及び受光部３６は、それぞれが略同一平面上になるように設けられている。

光導層３１ａは、検査基板３１の表面の全面に設けられている。この光導層３１ａは、入射した光を検査基板３１の平面方向に導いて通過させる特性を有し、さらに、その通過する光を着弾した液滴Ｅとの界面から放射する特性を有する層である。光導層３１ａとしては、例えば透明樹脂層を用いる。この光導層３１ａは、例えばスピンコート等により検査基板３１上に形成されている。検査基板３１としては、例えばガラス基板等を用いる。

ここで、図４及び図５に示すように、光導層３１ａの屈折率ｎ１は、検査基板３１の屈折率ｎ２及び検査基板３１の外気（空気）の屈折率ｎ３よりも大きくなるように設定されている（ｎ１＞ｎ２、ｎ１＞ｎ３）。さらに、光導層３１ａの屈折率ｎ１は、光導層３１ａに着弾した液滴Ｅの屈折率、すなわち液滴吐出ヘッド２に用いるインクの屈折率に応じて、光導層３１ａを通過する光が、着弾した液滴Ｅとの界面から放射するように設定されている。

各投光部３４及び各受光部３６は、光導層３１ａに着弾した液滴ＥのＸ軸方向のドット位置及びＹ軸方向のドット位置を検出するため、検査基板３１を挟んで光導層３１ａに光が入射する位置にそれぞれ設けられている。投光部３４は、光としてレーザ光を出射するレーザダイオード等の光源を備えている。また、受光部３６は、光を電気に変換する受光素子をライン状に有するＣＣＤ（Charge Coupled Device）ラインセンサ等を備えている。この受光部３６は、ＣＣＤラインセンサにより光の強度を検出し、その検出した光強度に応じて電圧信号を判断部３７に送信する。

ここで、光導層３１ａに対する光の入射角は、図５に示すように、反射距離Ｌ１が液滴Ｅの直径Ｌ２より大きくなるように設定されている。ここで、反射距離Ｌ１とは、同一平面上における光の反射位置から次の反射位置までの距離である。なお、光は光導層３１ａの界面により反射されて検査基板３１の平面方向に進行する。

投光レンズ３３は、投光部３４から照射された光を検査基板２１の幅方向に広げる平凹レンズ３３ａと、平凹レンズ３３ａにより広げられた光を平行光にするシリンドリカルレンズ３３ｂとから構成されている。この投光レンズ３３は、投光部３４により照射された光を広げて平行光にし、その光を光導層３１ａの側面に導く。

受光レンズ３５は、光導層３１ａを通過した光を検査基板２１の幅方向に広げる平凹レンズ３５ａと、平凹レンズ３５ａにより広げられた光を平行光にするシリンドリカルレンズ３５ｂとから構成されている。この受光レンズ３５は、光導層３１ａを通過した光を広げて平行光にし、その光を受光部３６に導く。

判断部３７は、制御部２１及び受光部３６に電気的に接続されており、制御部２１からの制御信号に応じて各種の処理を実行する。また、判断部３７は、受光部３６により検出された光強度の変化に基づいて、液滴吐出ヘッド２による検査基板３１に対する液滴Ｅの着弾異常の発生、例えば、ドット抜けやドットずれの発生を判断する。

ここで、例えば、図６に示すように、受光部３６により光強度の変化が得られる。図６では、光強度とＸ軸方向のドット位置との関係を示し、Ａは液滴Ｅの直径Ｌ２であり、Ｂはドットピッチであり、Ｃはドットずれ量である。光電層３１ａを通過する光は液滴Ｅにより光電層３１ａの界面から放射するため、液滴Ｅが存在する箇所の光強度が最小値になっている。これにより、Ｘ軸方向のドット位置が判別される（なお、Ｙ軸方向のドット位置も同様にして判別される）。Ｘ軸方向のドット位置Ｘ１では、光強度が最大値のままであり、Ｘ軸方向のドット位置Ｘ２では、ドット位置Ｘ２からのドットピッチＢ内で光強度が最小値になっているため、判断部３７は、ドットずれが発生したと判断する。また、Ｘ軸方向のドット位置Ｘ３では、光強度が最大値のままであり、ドット位置Ｘ３からのドットピッチＢ内で光強度が最小値になっていないため、判断部３７は、ドット抜けが発生したと判断する。

次に、このような構成の液滴吐出装置１の液滴吐出動作及び検査動作について説明する。なお、検査動作は、液滴吐出装置１の立上げ時に実行されたり、あるいは、定期的に例えば１時間毎に実行されたりする。

液滴吐出装置１の液滴吐出動作では、制御部２１は、インクジェットヘッドユニット１２を待機位置から基板３に対向する位置まで移動させる。これに応じて、インクジェットヘッドユニット１２はＸ軸方向スライド板１１のガイド溝１１ａに案内され、基板３に対向する位置まで移動する。この状態で、制御部２１は、Ｙ軸方向移動テーブル６及びＸ軸方向移動テーブル７を駆動制御し、加えて、インクジェットヘッドユニット１２の液滴吐出ヘッド２の吐出動作を駆動制御する。これに応じて、液滴吐出ヘッド２は、Ｙ軸方向に移動する基板３に液滴Ｅを着弾させ、所定のパターンのドット列を順次形成する。

液滴吐出装置１の検査動作では、制御部２１は、インクジェットヘッドユニット１２を液滴吐出検査装置１８Ａに対向する位置まで移動させる。これに応じて、インクジェットヘッドユニット１２はＸ軸方向スライド板１１のガイド溝１１ａに案内され、液滴吐出検査装置１８Ａに対向する位置まで移動する。この状態で、液滴吐出検査装置１８Ａのシャッター２０が開閉機構により開放され、インクジェットヘッドユニット１２の液滴吐出ヘッド２が液滴Ｅを検査基板３１に向けて吐出する。その液滴Ｅは、液滴吐出検査装置１８Ａが備える台座３２上の検査基板３１上の光導層３１ａにドット列として着弾する。その後、シャッター２０は開閉機構により閉じられる。

次いで、液滴吐出検査装置１８Ａの各投光部３４が光を照射する。この光が各投光レンズ３３により広げられて平行光にされ、検査基板３１上の光導層３１ａの側面に入射する。入射した光は光導層３１ａにより案内され、図４に示すように、その光導層３１ａ内を反射して通過する。このとき、図５に示すように、液滴Ｅが着弾した光導層３１ａの部分では、光導層３１ａを進行する光が光導層３１ａと液滴Ｅとの界面から放射する。

光導層３１ａを通過した光は、光導層３１ａの側面から出射し、再び各受光レンズ３５により広げられて平行光にされ、各受光部３６に入射する。各受光部３６は、入射した光を受光し、受光した光の強度を検出し、その光の強度に応じた電圧信号を判断部３７に送信する。判断部３７は、各受光部３６により検出された光強度の変化に基づいて、液滴吐出ヘッド２による検査基板３１に対する液滴Ｅの着弾異常の発生、例えば、図６に示すように、ドット抜けやドットずれの発生を判断する。

判断部３７は、ドット抜けやドットずれが発生したと判断した場合、すなわち、液滴Ｅの着弾異常が発生したと判断した場合、制御部２１に着弾異常の発生を知らせる異常発生信号を送信する。これに応じて、制御部２１は、液滴吐出ヘッド２の保守点検のため液滴吐出装置１の駆動を停止させたり、インクジェットヘッドユニット１２をヘッドメンテユニット１７に対向する位置まで移動させたりする。インクジェットヘッドユニット１２がＸ軸方向スライド板１１のガイド溝１１ａに案内され、ヘッドメンテユニット１７に対向する位置まで移動する。この状態で、ヘッドメンテユニット１７は、液滴吐出ヘッド２のノズルのインク目詰まり等を清掃する。

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、入射した光を導いて通過させ、通過する光を着弾した液滴Ｅとの界面から放射する光導層３１ａを有する検査基板３１に対し、光を照射する投光部３４と、投光部３４により照射され光導層３１ａを通過した光を受光する受光部３６と、受光部３６により受光された光の強度変化に基づいて検査基板３１に対する液滴Ｅの着弾異常の発生を判断する判断部３７とを設けることによって、画像処理等のような複雑な処理を必要とすることなく、液滴Ｅの着弾異常の発生、すなわちドット抜けやドットずれの発生が精度良く検出されるので、液滴吐出ヘッド２による液滴Ｅの着弾異常を精度良く容易に検査することができる。

さらに、投光部３４により照射された光を広げて光導層３１ａに導く投光レンズ３３を設けることによって、投光部３４の光源を１つにすることが可能になるので、例えば複数の光源をライン状に設けた場合に比べ、光源の照射強度のばらつきにより検査精度が低下してしまうことを防止することができる。

また、光導層３１ａを通過した光を広げて受光部３６に導く受光レンズ３５を設けることによって、受光部３６が受ける光の幅が広がるので、受光部３６の光検出精度を向上させることができる。その結果として、液滴吐出ヘッド２による液滴Ｅの着弾異常の検査精度を向上させることができる。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図７を参照して説明する。

本発明の第２の実施の形態は、基本的に第１の実施の形態と同様である。第２の実施の形態では、第１の実施の形態との相違点である液滴吐出検査装置１８Ｂについて説明する。なお、第１の実施の形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する（他の実施の形態も同様とする）。

図７に示すように、液滴吐出検査装置１８Ｂの各受光部３６は、光を電気に変換する受光素子であるＣＣＤ３６ａと、そのＣＣＤ３６ａに光を集光する集光レンズ３６ｂとをそれぞれ備えている。これらの受光部３６は、検査基板３１の幅方向であるＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に設けられている。

Ｘ軸方向の受光部３６は、Ｘ軸方向に受光部３６を案内するガイドレール４１に移動可能に設けられており、Ｘ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構によりＸ軸方向に移動する。同様に、Ｙ軸方向の受光部３６は、Ｙ軸方向に受光部３６を案内するガイドレール４１に移動可能に設けられており、Ｙ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構によりＹ軸方向に移動する。

次に、このような構成の液滴吐出装置１の検査動作について説明する。なお、検査動作は、液滴吐出装置１の立上げ時に実行されたり、あるいは、定期的に例えば１時間毎に実行されたりする。

液滴吐出装置１の検査動作では、第１の実施の形態と同様にして、液滴Ｅが液滴吐出ヘッド２により検査基板３１上の光導層３１ａにドット列として着弾する。その後、シャッター２０は開閉機構により閉じられる。

次いで、液滴吐出検査装置１８Ａの各投光部３４が光を照射する。この光が各投光レンズ３３により広げられて平行光にされ、検査基板３１上の光導層３１ａの側面に入射する。入射した光は光導層３１ａにより案内され、図４に示すように、その光導層３１ａ内を反射して通過する。このとき、図５に示すように、液滴Ｅが着弾した光導層３１ａの部分では、光導層３１ａを進行する光が光導層３１ａと液滴Ｅとの界面から放射する。

光導層３１ａを通過した光は、光導層３１ａの側面から出射し、再び各受光レンズ３５により広げられて平行光にされ、各受光部３６に入射する。このとき、各受光部３６は、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動し、入射した光をＣＣＤ３６ａにより順次受光し、受光した光の強度を検出し、その光の強度に応じた電圧信号を判断部３７に送信する。判断部３７は、各受光部３６により検出された光強度の変化に基づいて、液滴吐出ヘッド２による検査基板３１に対する液滴Ｅの着弾異常の発生、例えば、図６に示すように、ドット抜けやドットずれの発生を判断する。その後の動作は第１の実施の形態と同様である。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、ＣＣＤ３６ａに対して光を集光する集光レンズ３６ｂを受光部３６に設けることによって、集光された光がＣＣＤ３６ａに入射するので、受光部３６の光検出精度を向上させることができる。その結果として、液滴吐出ヘッド２による液滴Ｅの着弾異常の検査精度を向上させることができる。

（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態について図８を参照して説明する。

本発明の第３の実施の形態は、基本的に第１の実施の形態と同様である。第３の実施の形態では、第１の実施の形態との相違点である液滴吐出検査装置１８Ｃについて説明する。

図８に示すように、液滴吐出検査装置１８Ｃの台座３２は、θ方向に回転可能に設けられている。この台座３２の下部には、台座３２をθ方向に回転させるθ方向回転機構（図示せず）が設けられている。

投光部３４及び受光部３６がそれぞれ１つだけ設けられている。受光部３６は、光を電気に変換する受光素子であるＣＣＤ３６ａと、そのＣＣＤ３６ａに光を集光する集光レンズ３６ｂとよりそれぞれ構成されている。これらの投光部３４及び受光部３６は、検査基板３１の幅方向であるＹ軸方向に移動可能に設けられている。

投光部３４は、Ｙ軸方向に投光部３４を案内するガイドレール４１に移動可能に設けられており、Ｙ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構によりＹ軸方向に移動する。同様に、受光部３６は、Ｙ軸方向に受光部３６を案内するガイドレール４１に設けられており、Ｙ軸方向移動モータ（図示せず）を用いる駆動機構によりＹ軸方向に移動する。

次に、このような構成の液滴吐出装置１の検査動作について説明する。なお、検査動作は、液滴吐出装置１の立上げ時に実行されたり、あるいは、定期的に例えば１時間毎に実行されたりする。

液滴吐出装置１の検査動作では、第１の実施の形態と同様にして、液滴Ｅが液滴吐出ヘッド２により検査基板３１上の光導層３１ａにドット列として着弾する。その後、シャッター２０は開閉機構により閉じられる。

次いで、液滴吐出検査装置１８Ａの各投光部３４が光を照射する。このとき、各投光部３４はＹ軸方向に移動し、光を走査する。この光が検査基板３１上の光導層３１ａの側面に入射する。入射した光は光導層３１ａにより案内され、図４に示すように、その光導層３１ａ内を反射して通過する。このとき、図５に示すように、液滴Ｅが着弾した光導層３１ａの部分では、光導層３１ａを進行する光が光導層３１ａと液滴Ｅとの界面から放射する。

光導層３１ａを通過した光は、光導層３１ａの側面から出射し、受光部３６に入射する。このとき、受光部３６はＹ軸方向に移動し、入射した光をＣＣＤ３６ａにより順次受光し、受光した光の強度を検出し、その光の強度に応じた電圧信号を判断部３７に送信する。判断部３７は、受光部３６により検出された光強度の変化に基づいて、液滴吐出ヘッド２による検査基板３１に対する液滴Ｅの着弾異常の発生、例えば、図６に示すように、ドット抜けやドットずれの発生を判断する。次に、制御部２１は台座３２をθ方向に回転させ、Ｘ軸方向のドット位置の検査を前述と同様にして行う。その後の動作は第１の実施の形態と同様である。

以上説明したように、本発明の第３の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。さらに、他の実施の形態に比べ、投光レンズ３３や受光レンズ３５を設ける必要がなくなるので、液滴吐出検査装置１８Ｃの小型化を実現することができる。加えて、台座３２を回転させることによって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の両方に投光部３４及び受光部３６を設ける必要がなくなるので、液滴吐出検査装置１８Ｃの小型化を実現することができる。

（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

例えば、前述の実施の形態においては、液滴吐出ヘッド２に対して基板３を移動させているが、これに限るものではなく、例えば基板３に対して液滴吐出ヘッド２を移動させてもよく、液滴吐出ヘッド２と基板３とを相対移動させるようにすればよい。

本発明の第１の実施の形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。 図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出検査装置の概略構成を示す断面図である。 図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出検査装置の概略構成を示す平面図である。 検査基板上の光導層の光通過を説明するための模式図である。 検査基板上の光導層の光通過を説明するための模式図である。 光強度とＸ軸方向のドット位置との関係を説明するための説明図である。 本発明の第２の実施の形態に係る液滴吐出装置が備える液滴吐出検査装置の概略構成を示す平面図である。 本発明の第３の実施の形態に係る液滴吐出装置が備える液滴吐出検査装置の概略構成を示す平面図である。

符号の説明

１…液滴吐出装置、１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ…液滴吐出検査装置、３１…検査基板、３１ａ…光導層、３３…投光レンズ、３４…投光部、３５…受光レンズ、３６…受光部、３７…判断部、Ｅ…液滴

Claims (4)

1. 入射した光を導いて通過させ、通過する前記光を着弾した液滴との界面から放射する光導層を有する検査基板に対し、光を照射する投光部と、
   前記投光部により照射され前記光導層を通過した前記光を受光する受光部と、
   前記受光部により受光された前記光の強度変化に基づいて、前記検査基板に対する前記液滴の着弾異常の発生を判断する判断部と、
   を備えることを特徴とする液滴吐出検査装置。
2. 前記投光部により照射された前記光を広げて前記光導層に導く投光レンズを備えることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出検査装置。
3. 前記光導層を通過した前記光を広げて前記受光部に導く受光レンズを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出検査装置。
4. 請求項１、２又は３記載の液滴吐出検査装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。

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